KR102526911B1 - 초음파 검사 장치 및 이를 이용한 초음파 검사 방법 - Google Patents

Abstract

피검체에 대해 보다 신속하고 정확한 초음파 검사가 가능한 초음파 검사 장치 및 이를 이용한 초음파 검사 방법을 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따른 초음파 검사 장치는, 피검체를 이송하도록 구성된 제 1 그리퍼 및 제 2 그리퍼를 구비한 이송부를 포함하는 로딩 모듈과, 상기 이송부에 의해 이송된 상기 피검체에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성된 검사 모듈 및 상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼의 작동 순서 및 상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼가 상기 검사 모듈에 포함된 각 구성에 대해 상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하도록 구성된 제어 모듈을 포함한다.

Description

초음파 검사 장치 및 이를 이용한 초음파 검사 방법{ULTRASONIC INSPECTION DEVICE AND ULTRASONIC INSPECTION METHOD USING THE SAME}

본 발명은 초음파 검사 장치 및 이를 이용한 초음파 검사 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피검체에 대해 보다 신속하고 정확한 초음파 검사가 가능한 초음파 검사 장치 및 이를 이용한 초음파 검사 방법에 관한 것이다.

초음파(ultrasonic wave) 영역의 주파수를 갖는 신호를 활용하여 검사 대상의 내부 이미지를 취득하는 기술이 신체 내부의 장기나 임신 중의 태아를 대상으로 하는 의료 분야나 제조 결과물을 변형시키지 않으면서 내부의 결함을 검출하는 비파괴검사(NDT) 분야 등에서 다양하게 활용되고 있다.

예시적으로, 복잡한 회로 패턴을 형성하고 있는 반도체 소자에 대해서도 초음파 검사 방식의 불량 검출이 수행될 수 있다. 종래에는 완성품 반도체 소자들 중 일부만을 선별하여 불량 비율을 산출하는 등의 용도로 초음파 검사가 수행될 수 있었다. 다만, 근래에 발전하고 있는 자율주행 기술과 관련하여, 소자 불량으로 인한 차량 사고 발생을 방지하기 위해 점차 자율주행 차량용 반도체에 대한 불량 검사의 기준이 강화되고 있다.

따라서, 자율주행 등 매우 높은 수준의 제조 품질이 요구되는 분야에서, 반도체 소자의 잠재적인 불량 요소들을 미리 검출해낼 수 있도록 높은 검사 정밀도를 가지면서, 선별 검사가 아닌 반도체 소자들에 대한 전수 검사를 실시할 수 있도록 검사 소요 시간을 줄일 수 있는 개선된 초음파 검사 장치의 개발이 요구될 수 있다.

본 발명은, 피검체에 대해 보다 신속하고 정확한 초음파 검사가 가능한 초음파 검사 장치 및 이를 이용한 초음파 검사 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

다만, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 상술한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래에 기재된 발명의 설명으로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 측면에 따른 초음파 검사 장치는, 피검체를 이송하도록 구성된 제 1 그리퍼 및 제 2 그리퍼를 구비한 이송부를 포함하는 로딩 모듈과, 상기 이송부에 의해 이송된 상기 피검체에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성된 검사 모듈 및 상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼의 작동 순서 및 상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼가 상기 검사 모듈에 포함된 각 구성에 대해 상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하도록 구성된 제어 모듈을 포함한다.

바람직하게는, 상기 로딩 모듈은 상기 피검체가 내부에 수용된 피검체 수용부를 더 포함하고, 상기 검사 모듈은 상기 이송부에 의해 상기 피검체 수용부로부터 이송된 상기 피검체의 정위치를 정렬하도록 구성된 피검체 정렬부와, 상기 이송부에 의해 상기 피검체 정렬부로부터 이송된 상기 피검체에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성된 초음파 검사부 및 상기 이송부에 의해 상기 초음파 검사부로부터 이송된 상기 피검체를 건조시키도록 구성된 건조부를 포함하고, 상기 제어 모듈은, 상기 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송시키는 공정 중 적어도 일부 공정에서, 상기 제 1 그리퍼 또는 상기 제 2 그리퍼가 각각, 상기 피검체를 이송하는 동작을 수행하도록 제어할 수 있다.

바람직하게는, 상기 제어 모듈은, 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 수용부로부터 상기 피검체 정렬부로 이송하는 제 1 동작 및 상기 제 1 동작의 종료 후에 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송하는 제 2 동작을 제어하도록 구성되고, 상기 제 2 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 초음파 검사부로부터 상기 건조부로 이송하는 제 3 동작 및 상기 제 3 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 건조부로부터 상기 피검체 수용부로 이송하는 제 4 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

바람직하게는, 상기 제어 모듈은, 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 수용부로부터 상기 피검체 정렬부로 이송하는 제 1 동작 및 상기 제 1 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송하는 제 2 동작을 제어하도록 구성되고, 상기 제 2 동작의 종료 후에 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 초음파 검사부로부터 상기 건조부로 이송하는 제 3 동작 및 상기 제 3 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 건조부로부터 상기 피검체 수용부로 이송하는 제 4 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

바람직하게는, 상기 피검체는 제 1 피검체 및 제 2 피검체를 포함하고, 상기 제어 모듈은, 상기 제 1 그리퍼가 상기 제 1 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송하는 제 1 동작 및 상기 제 1 동작에서 상기 제 1 그리퍼가 상기 제 1 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송시킨 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 제 2 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송하는 제 2 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

본 발명의 일 측면에 따른 초음파 검사 방법은, 피검체를 이송하도록 구성된 제 1 그리퍼 및 제 2 그리퍼를 구비한 이송부를 포함하는 로딩 모듈과, 상기 이송부에 의해 이송된 상기 피검체에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성된 검사 모듈 및 상기 이송부의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하는 초음파 검사 장치를 이용한 초음파 검사 방법으로서, 상기 제어 모듈이 상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼의 작동 순서 및 상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼가 상기 검사 모듈에 포함된 각 구성에 대해 상기 피검체를 이송하는 동작을 제어함으로써 상기 이송부의 동작을 제어하는 단계를 포함한다.

바람직하게는, 상기 로딩 모듈은 상기 피검체가 내부에 수용된 피검체 수용부를 더 포함하고, 상기 검사 모듈은 상기 이송부에 의해 상기 피검체 수용부로부터 이송된 상기 피검체의 정위치를 정렬하도록 구성된 피검체 정렬부와, 상기 이송부에 의해 상기 피검체 정렬부로부터 이송된 상기 피검체에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성된 초음파 검사부 및 상기 이송부에 의해 상기 초음파 검사부로부터 이송된 상기 피검체를 건조시키도록 구성된 건조부를 포함하고, 상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하는 단계에서, 상기 제어 모듈은 상기 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송시키는 공정 중 적어도 일부 공정에서, 상기 제 1 그리퍼 또는 상기 제 2 그리퍼가 각각, 상기 피검체를 이송하는 동작을 수행하도록 제어할 수 있다.

바람직하게는, 상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하는 단계는, 상기 제어 모듈이 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 수용부로부터 상기 피검체 정렬부로 이송하는 제 1 동작을 제어하는 단계와, 상기 제어 모듈이 상기 제 1 동작의 종료 후에 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송하는 제 2 동작을 제어하는 단계와, 상기 제어 모듈이 상기 제 2 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 초음파 검사부로부터 상기 건조부로 이송하는 제 3 동작을 제어하는 단계 및 상기 제어 모듈이 상기 제 3 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 건조부로부터 상기 피검체 수용부로 이송하는 제 4 동작을 제어하는 단계를 포함할 수 있다.

바람직하게는, 상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하는 단계는, 상기 제어 모듈이 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 수용부로부터 상기 피검체 정렬부로 이송하는 제 1 동작을 제어하는 단계와, 상기 제어 모듈이 상기 제 1 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송하는 제 2 동작을 제어하는 단계와, 상기 제어 모듈이 상기 제 2 동작의 종료 후에 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 초음파 검사부로부터 상기 건조부로 이송하는 제 3 동작을 제어하는 단계 및 상기 제어 모듈이 상기 제 3 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 건조부로부터 상기 피검체 수용부로 이송하는 제 4 동작을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.

바람직하게는, 상기 피검체는 제 1 피검체 및 제 2 피검체를 포함하고, 상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하는 단계는, 상기 제어 모듈이 상기 제 1 그리퍼가 상기 제 1 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송하는 제 1 동작을 제어하는 단계 및 상기 제어 모듈이 상기 제 1 동작에서 상기 제 1 그리퍼가 상기 제 1 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송시킨 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 제 2 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송하는 제 2 동작을 제어하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 피검체 수용부, 피검체 정렬부, 초음파 검사부 및 건조부가 검사체를 이송하는 이송부를 둘러싸는 형태로 배치되는 구조에서, 듀얼 그리퍼의 작동 순서 등을 적절하게 제어함으로써 보다 안정적이고 신속한 초음파 검사가 이루어질 수 있다.

이외에도 본 발명의 여러 실시예에 의하여, 여러 다른 추가적인 효과가 달성될 수 있다. 이러한 본 발명의 여러 효과들에 대해서는 각 실시예에서 상세하게 설명하거나, 당업자가 쉽게 이해할 수 있는 효과에 대해서는 그 설명을 생략한다.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 초음파 검사 장치 중 검사 모듈을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 A부분 확대도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 검사 장치를 블록도로 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1의 초음파 검사 장치를 이용한 초음파 검사 방법의 제 1 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 6은 도 1의 초음파 검사 장치를 이용한 초음파 검사 방법의 제 2 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 7은 도 1의 초음파 검사 장치를 이용한 초음파 검사 방법의 제 3 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 8은 도 1의 초음파 검사 장치를 이용한 초음파 검사 방법의 제 4 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 9 내지 도 11은 도 8의 초음파 검사 방법을 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 도 1의 초음파 검사 장치를 이용한 초음파 검사 방법의 제 5 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 13 내지 도 15는 도 12의 초음파 검사 방법을 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상에 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 검사 장치(10)를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 초음파 검사 장치(10) 중 검사 모듈(200)을 나타낸 도면이며, 도 3은 도 2의 A부분 확대도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 검사 장치(10)를 블록도로 나타낸 도면이다.

본 발명의 실시예에서, 도면에 도시된 X축 방향은 후술되는 초음파 검사 장치(10)의 좌우 방향, Y축 방향은 X축 방향과 수평면(XY평면)상에서 수직된 초음파 검사 장치(10)의 전후 방향, Z축 방향은 X축 방향 및 Y축 방향에 대해 모두 수직된 상하 방향을 의미할 수 있다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파 검사 장치(10)는, 로딩 모듈(100), 검사 모듈(200) 및 제어 모듈(300)을 포함할 수 있다.

상기 로딩 모듈(100)은, 피검체(W)를 수용하고, 이러한 피검체(W)를 이송하는 기능을 수행할 수 있다. 일례로서, 상기 피검체(W)는, 검사의 대상이 되는 반도체 소자를 포함하되, 초음파 신호가 피검체(W)에 조사됨으로써 검사가 수행될 수 있는 모든 객체를 포함하며, 워크(work)로 지칭될 수도 있다. 이러한 피검체(W)는 일정한 면적을 가지는 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.

일 실시예에서, 상기 피검체(W)는, 자율주행 차량용 전력 모듈 소자를 포함할 수 있다. 이러한 자율주행 차량용 전력 모듈 소자의 경우, 잠재적 결함 요소의 존재 여부가 향후 자율주행 차량 사고 위험과 직결되는 것이므로, 출하되는 모든 소자들에 대해 초음파 검사 장치(10)를 기반으로 한 초음파 결함 검사가 이루어질 수 있다.

구체적으로, 상기 로딩 모듈(100)은, 피검체 수용부(110) 및 이송부(120)를 포함할 수 있다.

상기 피검체 수용부(110)는, 내부에 적어도 하나의 피검체(W)를 수용할 수 있다. 이를 위해 피검체 수용부(110)에는 적어도 하나의 피검체(W)를 내부에 수용하기 위한 내부 수용 공간이 마련될 수 있다. 일례로서, 피검체 수용부(110)는, FOUP(Front Opening Unified Pod)일 수 있다.

이러한 피검체 수용부(110)는, 도 1에 도시된 바와 같이 2개로 구성될 수도 있다. 일 실시예에서, 피검체 수용부(110)는, 제 1 수용부(112) 및 제 2 수용부(114)를 포함할 수 있다.

상기 제 1 수용부(112)는, 초음파 검사 장치(10)에 의한 일련의 초음파 검사가 수행되기 전에 피검체(W)가 임시로 수용되는 구성일 수 있다.

상기 제 2 수용부(114)는, 초음파 검사 장치(10)에 의해 일련의 초음파 검사가 수행된 피검체(W)가 유입되는 구성일 수 있다.

상기 이송부(120)는, 초음파 검사 장치(10) 내에서 피검체(W)를 이송할 수 있다. 일례로서 이송부(120)는 로봇 암의 형태로 구현될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 소자 운반 기능을 갖는 다른 형태의 기계 구조로 구현될 수도 있다.

구체적으로, 이송부(120)는, 피검체(W)를 이송하도록 구성된 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)를 포함할 수 있다. 이 때, 도 1에서와 같이 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)는 다수의 관절을 가지는 형태로 구성되어 적어도 일부가 절곡되게 구동될 수 있다. 즉, 이송부(120)는, 제 1 그리퍼(122)와 제 2 그리퍼(124)를 포함하는 듀얼 로봇 암의 형태로 구현될 수 있다.

상기 검사 모듈(200)은, 이송부(120)에 의해 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112))로부터 이송된 피검체(W)에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성될 수 있다.

구체적으로 검사 모듈(200)은, 피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220) 및 건조부(230)를 포함할 수 있다.

상기 피검체 정렬부(210)는, 이송부(120)에 의해 피검체 수용부(110)로부터 이송된 피검체(W)의 정위치를 정렬하도록 구성될 수 있다.

일례로서, 이러한 피검체 정렬부(210)는, 피검체(W)를 회전시키면서 센서(미도시)를 이용해 피검체(W)의 노치를 감지함으로써 피검체(W)를 정위치로 정렬시킬 수 있다.

상기 초음파 검사부(220)는, 이송부(120)에 의해 피검체 정렬부(210)로부터 이송된 피검체(W)에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성될 수 있다.

이러한 초음파 검사부(220)는, 프로브(222)를 포함할 수 있다. 일례로서, 상기 프로브(222)는, 피검체(W)에 초음파 영역의 주파수를 갖는 검사 신호를 조사할 수 있다. 이에 따라, 프로브(222)는 피검체(W)의 층별 경계면에서 반사되는 에코 신호를 측정할 수 있다. 한편, 프로브(222)는 단일의 프로브 요소가 아닌 어레이 형태의 복수의 프로브 요소(미도시)들로 구성될 수 있다. 이에 따라, 피검체(W)에 대해 선 기반의 스캐닝이 아닌 면 기반의 스캐닝이 이루어질 수 있다.

한편, 프로브(222)에 의한 초음파 스캐닝 과정에서, 프로브(222)에 의해 피검체(W)에 조사되는 초음파 신호 및 피검체(W)로부터 반사되는 에코 신호는 초음파 전달용 매질을 통해 전달될 수 있다. 일례로서, 상기 초음파 전달용 매질은, 액체, 보다 구체적으로는 물(water)일 수 있다. 이 경우, 초음파 전달용 매질이 기체(예: 공기)인 경우에 비해 고주파수 영역에서의 초음파 신호 및 에코 신호의 감쇠가 감소할 수 있으므로, 보다 원활한 피검체(W)의 결함 검사가 수행될 수 있다. 한편, 초음파 전달용 매질은, 기체일 수도 있으며, 예시된 실시예 이외에도 신호 감쇠를 방지할 수 있는 다른 적절한 종류의 물질이 초음파 전달용 매질로 활용될 수 있다.

또한, 프로브(222)에 의해 피검체(W)의 내부 이미지, 즉 경계면 패턴 이미지가 생성될 수 있다. 이를 통해, 피검체(W)가 어떤 종류의 제조 결함을 갖는지가 판정될 수 있다. 상기 제조 결함은, 예시적으로, DBC(direct bonded copper) 크랙, 솔더 보이드, EMC(epoxy mold compound) 박리, 스페이서 비틀림, DMC 보이드 및 세라믹 패턴 박리 등과 같은 제조 결함일 수 있다.

일 실시예에서, 상기 프로브(222)는, 듀얼(dual) 프로브로 구성될 수 있다. 이러한 프로브(222)는, 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)를 포함할 수 있다. 이에 따라 프로브(222)는, 하나의 피검체(W)의 표면의 두 영역에 대해 동시에 초음파 검사를 수행할 수 있다. 또는, 프로브(222)는, 동시에 두 개의 피검체(W)를 검사할 수도 있다. 일례로서, 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 초음파 검사 장치(10)의 전후 방향(Y축 방향)에서 볼 때, 한 쌍으로 배치될 수 있다.

한편, 초음파 검사 장치(10)는, 프로브(222)의 상부에 구비된 전치 증폭기(PA)를 더 포함할 수 있다. 이러한 전치 증폭기(PA)는, 프로브(222)에 의해 피검체(W)에 조사되는 초음파 신호 및/또는 피검체(W)로부터 반사되는 에코 신호를 증폭시킬 수 있다.

또한, 초음파 검사부(220)는, 스테이지(224), 매질 수용부(226) 및 리니어 모션 구동부(228)를 더 포함할 수 있다.

상기 스테이지(224)는, 이송부(120)에 의해 피검체 정렬부(210)로부터 이송된 피검체(W)가 배치되는 부분일 수 있다. 이와 같이 피검체(W)가 스테이지(224)에 배치된 상태에서, 프로브(222)에 의해 피검체(W)에 대한 초음파 검사가 수행될 수 있다. 이 때, 스테이지(224)는 프로브(222)의 하부에 위치할 수 있고, 프로브(222)는 스테이지(224) 상에 위치한 피검체(W)에 초음파 신호를 조사할 수 있다.

상기 매질 수용부(226)는, 전술한 초음파 전달용 매질(예: 물)을 내부에 수용할 수 있다. 또한 매질 수용부(226)는, 스테이지(224)를 내부에 수용할 수 있다. 이러한 스테이지(224)는 초음파 전달용 매질 내에 잠긴 형태로 매질 수용부(226) 내에 수용될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 일례로서, 프로브(222)의 양측에 별도의 액체 공급라인(미도시)이 구비되어 상기 액체 공급라인이 상하방향(Z축 방향)으로 초음파 전달용 매질인 액체를 분사할 수 있다. 그리고, 이러한 초음파 전달용 매질을 통해 프로브(222)에 의해 피검체(W)에 조사되는 초음파 신호 및 피검체(W)로부터 반사되는 에코 신호의 원활한 전달이 이루어질 수 있다.

상기 리니어 모션 구동부(228)는, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 조절하도록 적어도 일 방향으로 직선 구동될 수 있다. 일례로서, 리니어 모션 구동부(228)의 구동은, 서보 모터(미도시)에 의해 이루어질 수 있다.

이러한 리니어 모션 구동부(228)는, 제 1 구동부(228a), 제 2 구동부(228b) 및 제 3 구동부(228c)를 포함할 수 있다.

상기 제 1 구동부(228a)는, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 초음파 검사 장치(10)의 좌우 방향(X축 방향)으로 조절하도록 구성될 수 있다.

상기 제 2 구동부(228b)는, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 초음파 검사 장치(10)의 전후 방향(Y축 방향)으로 조절하도록 구성될 수 있다.

상기 제 3 구동부(228c)는, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 상하 방향(Z축 방향)으로 조절하도록 구성될 수 있다.

이러한 제 1 구동부(228a), 제 2 구동부(228b) 및 제 3 구동부(228c)의 직선 구동은, 가이드 레일 형태의 리니어 모션 가이드부(G)에 의해 각각 가이드될 수 있다.

상기 건조부(230)는, 이송부(210)에 의해 초음파 검사부(220)로부터 이송된 피검체(W)를 건조시키도록 구성될 수 있다. 일례로서, 건조부(230)는 에어 나이프(air knife)일 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다.

또한, 초음파 검사 장치(10)는, 건조부(230)에 의해 건조된 피검체(W)의 검조 상태를 감지하도록 구성된 건조 감지부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 이러한 건조 감지부는, 습도 센서일 수 있다.

한편, 이송부(210)는, 건조된 피검체(W)를 제 2 수용부(114)로 이송할 수 있다.

상기 제어 모듈(300)은, 상기 로딩 모듈(100) 및 상기 검사 모듈(200)의 구동을 제어하도록 구성될 수 있다. 이러한 제어 모듈(300)은, 프로세서(processor)를 포함할 수 있다. 일례로서, 상기 프로세서는, 연산 처리 기능을 갖는 CPU, GPU, AP, 또는 그 조합의 형태 등으로 구현될 수 있고, 필요에 따라 DRAM, 플래시 메모리, SSD, 기타 다양한 형태의 메모리와 함께 구비될 수 있다.

또한, 제어 모듈(300)은, 이송 제어부(310), 프로브 제어부(320) 및 리니어 모션 제어부(330)를 포함할 수 있다.

상기 이송 제어부(310)는, 이송부(120)가 검사 모듈(200)에 포함된 각 구성(피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220), 건조부(230))에 대해 피검체(W)를 이송하는 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

상기 프로브 제어부(320)는, 피검체(W)의 표면에 초음파 신호를 조사하는 프로브(222)의 구동을 제어하도록 구성될 수 있다. 일례로서, 프로브 제어부(320)는, 피검체(W)로부터 반사되는 에코 신호를 활용하여 피검체(W)의 내부 이미지를 생성할 수 있다.

상기 리니어 모션 제어부(330)는, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 조절하는 리니어 모션 구동부(228)의 구동을 제어할 수 있다. 일례로서, 리니어 모션 제어부(330)는 PLC방식으로 리니어 모션 구동부(228)의 구동을 제어할 수 있다.

또한, 제어 모듈(300)은, 펄서부(미도시), 수신부(미도시) 및 아날로그-디지털 신호 변환부(미도시)를 더 포함할 수 있다.

상기 펄서부는, 스퀘어 펄스 신호를 프로브(222)에 전송할 수 있다.

상기 수신부는, 피검체(W)에서 결함이 발생된 부분으로부터 임피던스 차이로 반사된 에코 신호를 수신할 수 있다.

상기 아날로그-디지털 신호 변환부는, 상기 임피던스 차이로 반사된 에코 신호를 상기 수신부로부터 전송받아 디지털 신호로 변환할 수 있다.

한편, 본 발명의 초음파 검사 장치(10)는, 영상 출력 모듈(400)을 더 포함할 수 있다.

상기 영상 출력 모듈(400)은, 상기 아날로그-디지털 신호 변환부에서 디지털 신호로 변환된 신호를 기반으로 피검체(W)의 내부 이미지, 즉 경계면 패턴 이미지를 생성하여 사용자에게 출력할 수 있다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 초음파 검사 장치(10)는, 로딩 모듈(100), 검사 모듈(200) 및 제어 모듈(300)을 포함할 수 있다.

도 1을 참조하면, 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)를 포함하는 이송부(120)는, 초음파 검사 장치(10)의 좌우 방향(X축 방향)으로 피검체 정렬부(210)와 건조부(230) 사이에 위치할 수 있다. 이 때, 제 1 그리퍼(122)는 제 2 그리퍼(124)보다 피검체 정렬부(210)에 더 인접하게 위치할 수 있다. 또한, 제 2 그리퍼(124)는 제 1 그리퍼(122)보다 건조부(230)에 더 인접하게 위치할 수 있다.

또한, 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)를 포함하는 이송부(120)는, 초음파 검사 장치(10)의 전후 방향(Y축 방향)으로 피검체 수용부(110)와 초음파 검사부(220) 사이에 위치할 수 있다. 구체적으로, 이송부(120)는, 피검체 수용부(110)의 후측에 위치하고, 초음파 검사부(220)의 전측에 위치할 수 있다.

즉, 본 발명의 초음파 검사 장치(10)에서, 피검체 수용부(110), 피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220) 및 건조부(230)는 검사체(W)를 이송하는 이송부(120)를 둘러싸는 형태로 배치될 수 있다.

이러한 실시 구성에 따르면, 초음파 검사 과정에서의 피검체(W)의 이동 동선을 최소화면서도 보다 신속하고 안정적인 초음파 검사가 이루어질 수 있다.

그리고, 제 1 수용부(112) 및 제 2 수용부(114)는, 이송부(120)의 전측에서, 초음파 검사 장치(10)의 좌우 방향(X축 방향)으로 나란히 배치될 수 있다.

즉, 본 발명의 실시예에서, 초음파 검사가 수행되기 전에 피검체(W)가 임시로 수용되는 제 1 수용부(112)와 초음파 검사가 완료된 피검체(W)가 유입되는 제 2 수용부(114)를 이송부(120)의 전측에 나란히 배치할 수 있으므로, 피검체(W)의 이동 동선을 최소화하면서도 보다 단순한 구조로 초음파 검사 장치(10)를 구성할 수 있는 장점이 있다.

이하, 전술한 본 발명의 초음파 검사 장치(10) 구성을 기초로, 본 발명의 초음파 검사 방법 중 검사체(W)를 이송하는 공정에 대해 상세히 설명하기로 한다.

전술한 제어 모듈(300)은, 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)의 작동 순서 및 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)가 검사 모듈(200)에 포함된 각 구성에 대해 피검체(W)를 이송하는 동작을 제어하도록 구성될 수 있다. 즉, 제어 모듈(300)은, 이송부(120)에 포함된 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)의 작동 순서 등을 적절하게 제어할 수 있다. 구체적으로, 검사체(W)를 이송하는 공정은 제어 모듈(300) 중 이송 제어부(310)의 제어에 의해 이루어질 수 있다.

또한, 검사체(W)를 이송하는 공정에 관련된 본 발명의 초음파 검사 방법은, 제어 모듈(300)이 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)의 작동 순서 및 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)가 검사 모듈(200)에 포함된 각 구성에 대해 피검체(W)를 이송하는 동작을 제어하는 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 이러한 실시 구성에 의하면, 피검체 수용부(110), 피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220) 및 건조부(230)가 검사체(W)를 이송하는 이송부(120)를 둘러싸는 형태로 배치되는 구조에서, 듀얼 그리퍼(122, 124)의 작동 순서 등을 적절하게 제어함으로써 보다 안정적이고 신속한 초음파 검사가 이루어질 수 있다.

구체적으로, 제어 모듈(300)은, 피검체(W)를 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112)), 피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220), 건조부(230) 및 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 2 수용부(114))로 순차적으로 이송시키는 공정 중 적어도 일부 공정에서, 제 1 그리퍼(122) 또는 제 2 그리퍼(124)가 각각, 피검체(W)를 이송하는 동작을 수행하도록 제어할 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 듀얼 그리퍼(122, 124)의 작동 순서 등을 적절하게 제어함으로써 보다 안정적이고 신속한 초음파 검사가 이루어질 수 있다.

도 5는 도 1의 초음파 검사 장치(10)를 이용한 초음파 검사 방법의 제 1 실시예를 나타낸 흐름도이다.

상기 초음파 검사 방법의 제 1 실시예는, 전술한 본 발명의 초음파 검사 장치(10) 구성을 기초로 한 초음파 검사 방법 중 검사체(W)를 이송하는 공정의 일례를 나타낸 것이다.

상기 초음파 검사 방법의 제 1 실시예에서, 제어 모듈(300)은, 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112))로부터 피검체 정렬부(210)로 이송하는 제 1 동작 및 상기 제 1 동작의 종료 후에 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 피검체 정렬부(210)로부터 초음파 검사부(220)로 이송하는 제 2 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

또한, 제어 모듈(300)은, 상기 제 2 동작의 종료 후에 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 초음파 검사부(220)로부터 건조부(230)로 이송하는 제 3 동작 및 상기 제 3 동작의 종료 후에 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 건조부(230)로부터 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 2 수용부(114))로 이송하는 제 4 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

또한, 초음파 검사 방법의 제 1 실시예에서, 상기 피검체(W)를 이송하는 동작을 제어하는 단계는, 도 5에서와 같이 하기 S101 단계 내지 S104 단계를 포함할 수 있다.

상기 S101 단계에서, 제어 모듈(300)은, 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112))로부터 피검체 정렬부(210)로 이송하는 제 1 동작을 제어할 수 있다.

상기 S102 단계에서, 제어 모듈(300)은, 상기 제 1 동작의 종료 후에 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 피검체 정렬부(210)로부터 초음파 검사부(220)로 이송하는 제 2 동작을 제어할 수 있다.

한편, 상기 S102 단계가 완료된 후, 제어 모듈(300)은, 제 1 그리퍼(122)가 다시 제 1 수용부(112)로 이동하도록 제어하고, 제 1 그리퍼(122)가 상기 제 1 동작 및 상기 제 2 동작을 순차적으로 수행하도록 제어할 수 있다.

상기 S103 단계에서, 제어 모듈(300)은, 상기 제 2 동작의 종료 후에 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 초음파 검사부(220)로부터 건조부(230)로 이송하는 제 3 동작을 제어할 수 있다.

상기 S104 단계에서, 제어 모듈(300)이 상기 제 3 동작의 종료 후에 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 건조부(230)로부터 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 2 수용부(114))로 이송하는 제 4 동작을 제어할 수 있다.

한편, 상기 S104 단계가 완료된 후, 제어 모듈(300)은, 제 2 그리퍼(124)가 다시 초음파 검사부(220)로 이동하도록 제어하고, 제 2 그리퍼(124)가 상기 제 3 동작 및 상기 제 4 동작을 순차적으로 수행하도록 제어할 수 있다.

즉, 초음파 검사 방법의 제 1 실시예에서는, 듀얼 그리퍼(122, 124) 중 피검체 정렬부(210)에 인접한 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 제 1 수용부(112)로부터 피검체 정렬부(210)로 이송하는 제 1 동작 및 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 피검체 정렬부(210)로부터 초음파 검사부(220)로 이송하는 제 2 동작을 수행하도록 제어할 수 있다.

또한, 초음파 검사 방법의 제 1 실시예에서는, 듀얼 그리퍼(122, 124) 중 건조부(230)에 인접한 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 초음파 검사부(220)로부터 건조부(230)로 이송하는 제 3 동작 및 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 건조부(230)로부터 제 2 수용부(114)로 이송하는 제 4 동작을 수행하도록 제어할 수 있다.

이와 같은 초음파 검사 방법의 제 1 실시예에 의하면, 초음파 검사 장치(10)의 좌우 방향(X축 방향)에서의 중심을 기준으로 본 일측 영역(예: 좌측 영역)에서는 제 1 그리퍼(122)를 통해 피검체(W)의 이송 동작이 수행될 수 있고, 타측 영역(예: 우측 영역)에서는 제 2 그리퍼(124)를 통해 피검체(W)의 이송 동작이 수행될 수 있다.

이에 따라, 듀얼 그리퍼(122, 124)의 작동 소요를 최소화하면서도 보다 신속하고 효율적인 초음파 검사가 이루어질 수 있다.

또한, 피검체 정렬부(210)에 인접한 제 1 그리퍼(122)가 초음파 검사 장치(10)의 일측 영역에서 피검체(W)의 이송 동작을 수행하고, 건조부(230)에 인접한 제 2 그리퍼(124)가 초음파 검사 장치(10)의 타측 영역에서 피검체(W)의 이송 동작을 수행하므로, 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124) 간의 간섭이나 충돌 없이 보다 안정적으로 초음파 검사가 이루어질 수 있다.

도 6은 도 1의 초음파 검사 장치(10)를 이용한 초음파 검사 방법의 제 2 실시예를 나타낸 흐름도이다.

상기 초음파 검사 방법의 제 2 실시예는, 전술한 본 발명의 초음파 검사 장치(10) 구성을 기초로 한 초음파 검사 방법 중 검사체(W)를 이송하는 공정의 다른 예를 나타낸 것이다.

상기 초음파 검사 방법의 제 2 실시예에서, 제어 모듈(300)은, 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112))로부터 피검체 정렬부(210)로 이송하는 제 1 동작 및 상기 제 1 동작의 종료 후에 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 피검체 정렬부(210)로부터 초음파 검사부(220)로 이송하는 제 2 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

또한, 제어 모듈(300)은, 상기 제 2 동작의 종료 후에 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 초음파 검사부(220)로부터 건조부(230)로 이송하는 제 3 동작 및 상기 제 3 동작의 종료 후에 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 건조부(230)로부터 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 2 수용부(114))로 이송하는 제 4 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

또한, 초음파 검사 방법의 제 2 실시예에서, 상기 피검체(W)를 이송하는 동작을 제어하는 단계는, 도 6에서와 같이 하기 S201 단계 내지 S204 단계를 포함할 수 있다.

상기 S201 단계에서, 제어 모듈(300)은, 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112))로부터 피검체 정렬부(210)로 이송하는 제 1 동작을 제어할 수 있다.

상기 S202 단계에서, 제어 모듈(300)은, 상기 제 1 동작의 종료 후에 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 피검체 정렬부(210)로부터 초음파 검사부(220)로 이송하는 제 2 동작을 제어할 수 있다.

상기 S203 단계에서, 제어 모듈(300)은, 상기 제 2 동작의 종료 후에 제 1 그리퍼(122)가 피검체(W)를 초음파 검사부(220)로부터 건조부(230)로 이송하는 제 3 동작을 제어할 수 있다.

상기 S204 단계에서, 제어 모듈(300)이 상기 제 3 동작의 종료 후에 제 2 그리퍼(124)가 피검체(W)를 건조부(230)로부터 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 2 수용부(114))로 이송하는 제 4 동작을 제어할 수 있다.

즉, 초음파 검사 방법의 제 2 실시예에서는, 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)가 교대로 작동하여 피검체(W)를 제 1 수용부(112), 피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220), 건조부(230) 및 제 2 수용부(114)로 순차적으로 이송할 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)의 작동 소요를 최소화함으로써 이송부(120)의 작동 수명이 증가될 뿐 아니라, 신속하고 효율적인 초음파 검사가 이루어질 수 있다.

도 7은 도 1의 초음파 검사 장치(10)를 이용한 초음파 검사 방법의 제 3 실시예를 나타낸 흐름도이다.

상기 초음파 검사 방법의 제 3 실시예는, 전술한 본 발명의 초음파 검사 장치(10) 구성을 기초로 한 초음파 검사 방법 중 검사체(W)를 이송하는 공정의 또 다른 예를 나타낸 것이다.

본 발명의 초음파 검사 장치(10)에서, 피검체(W)는, 제 1 피검체(W1) 및 제 2 피검체(W2)를 포함할 수 있다. 이 때, 제 2 피검체(W2)는, 이송부(120)에 의해 제 1 피검체(W1)보다 나중에 이송되는 피검체(W)라고 할 수 있다.

상기 초음파 검사 방법의 제 3 실시예에서, 제어 모듈(300)은, 제 1 그리퍼(122)가 제 1 피검체(W1)를 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112)), 피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220), 건조부(230) 및 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 2 수용부(114))로 순차적으로 이송하는 제 1 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

또한, 제어 모듈(300)은, 상기 제 1 동작에서 제 1 그리퍼(122)가 제 1 피검체(W1)를 피검체 정렬부(210)로부터 초음파 검사부(220)로 이송시킨 후에 제 2 그리퍼(124)가 제 2 피검체(W2)를 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112)), 피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220), 건조부(230) 및 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 2 수용부(114))로 순차적으로 이송하는 제 2 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.

또한, 초음파 검사 방법의 제 3 실시예에서, 상기 피검체(W)를 이송하는 동작을 제어하는 단계는, 하기 S301 단계 및 S302 단계를 포함할 수 있다.

상기 S301 단계에서, 제어 모듈(300)은, 제 1 그리퍼(122)가 제 1 피검체(W1)를 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112)), 피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220), 건조부(230) 및 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 2 수용부(114))로 순차적으로 이송하는 제 1 동작을 제어할 수 있다.

상기 S302 단계에서, 제어 모듈(300)은, 상기 제 1 동작에서 제 1 그리퍼(122)가 제 1 피검체(W1)를 피검체 정렬부(210)로부터 초음파 검사부(220)로 이송시킨 후에 제 2 그리퍼(124)가 제 2 피검체(W2)를 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 1 수용부(112)), 피검체 정렬부(210), 초음파 검사부(220), 건조부(230) 및 피검체 수용부(110, 구체적으로 제 2 수용부(114))로 순차적으로 이송하는 제 2 동작을 제어할 수 있다.

즉, 초음파 검사 방법의 제 3 실시예에서는, 제 1 그리퍼(122) 또는 제 2 그리퍼(124)가 초음파 검사 장치(10) 내에서 피검체(W)를 이송하는 전체 과정을 수행할 수 있다. 그리고, 초음파 검사 방법의 제 3 실시예에서는, 제 1 그리퍼(122)에 의한 제 1 피검체(W1)의 이송이 시작된 이후에 바로 제 2 그리퍼(124)에 의한 다른 피검체(제 2 피검체(W2))의 이송이 수행될 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 듀얼 그리퍼(122, 124) 중 어느 하나에 의해 피검체(W) 이송의 전체 공정이 이루어지도록 함으로써 연속적이고 안정적인 초음파 검사가 이루어질 수 있다. 또한, 제 1 그리퍼(122) 및 제 2 그리퍼(124)에 의한 피검체(W) 이송의 전체 공정이 연속적으로 이루어질 수 있으므로, 보다 신속하고 효율적인 초음파 검사가 이루어질 수 있다.

전술한 바와 같은 초음파 검사 방법의 제 1 실시예 내지 제 3 실시예에 따르면, 작업 환경에 따라 듀얼 그리퍼(122, 124)의 작동 순서 등을 제어함으로써 보다 다각화된 초음파 검사 방법을 사용자에게 제공할 수 있다. 한편, 초음파 검사 장치(10) 내에서 피검체(W)를 이송하는 동작 관련한 초음파 검사 방법은, 전술한 제 1 실시예 내지 제 3 실시예에 한정되지 않는다.

도 8은 도 1의 초음파 검사 장치(10)를 이용한 초음파 검사 방법의 제 4 실시예를 나타낸 흐름도이고, 도 9 내지 도 11은 도 8의 초음파 검사 방법을 구체적으로 설명하기 위한 도면이다. 구체적으로 도 9 내지 도 11은 스테이지(224) 상에 배치된 피검체(W)를 상측에서 바라본 도면이다. 이 때, 도 9 내지 도 11에서 스테이지(224)의 도시는 생략하고, 관련된 구성을 최대한 간략히 나타내도록 한다.

이하, 전술한 본 발명의 초음파 검사 장치(10) 구성을 기초로, 도 8 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 초음파 검사 방법 중 피검체(W)에 대해 초음파 검사를 수행하는 공정에 대해 상세히 설명하기로 한다. 이 때, 상기 초음파 검사 방법의 제 4 실시예는, 피검체(W)에 대해 초음파 검사를 수행하는 공정의 일례를 나타낸 것이다.

앞서 언급한 바와 같이, 검사 모듈(200)은, 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)를 포함할 수 있다. 이러한 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)는, 하나의 피검체(W)의 표면의 두 영역에 대해 초음파 검사를 수행할 수 있다.

구체적으로 도 9를 참조하면, 상기 초음파 검사 방법의 제 4 실시예에서, 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)는 피검체(W)를 양분하여 피검체(W)의 표면에 초음파 신호를 조사하도록 구성될 수 있다.

또한, 제어 모듈(300)은, 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)의 구동을 독립적으로 제어하도록 구성될 수 있다. 이 때, 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)의 구동은, 제어 모듈(300) 중 프로브 제어부(320)의 제어에 의해 이루어질 수 있다.

그리고, 제어 모듈(300)은, 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)에 의한 초음파 신호의 조사 이전에, 제 1 프로브(222a) 또는 제 2 프로브(222b)가 피검체(W)의 표면에 대한 초음파 포커싱을 수행하도록 제어할 수 있다. 즉, 제어 모듈(300)은, 피검체(W)에 대한 초음파 검사가 정확하게 이루어지도록 초음파 신호의 조사 이전에 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 초점이 조절되게 제어할 수 있다.

일례로서, 제어 모듈(300) 중 리니어 모션 제어부(330)는, 리니어 모션 구동부(228)를 초음파 검사 장치(10)의 좌우 방향(X축 방향) 및/또는 초음파 검사 장치(10)의 전후 방향(Y축 방향)으로 일정 범위 내에서 구동시켜 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 초점이 조절되게 제어할 수 있다

또한, 초음파 검사 방법의 제 4 실시예는, 도 8에서와 같이 하기 S401 단계 및 S402 단계를 포함할 수 있다.

상기 S401 단계에서, 제어 모듈(300)은, 제 1 프로브(222a) 또는 제 2 프로브(222b)가 피검체(W)의 표면에 대한 초음파 포커싱을 수행하도록 제어할 수 있다.

상기 S402 단계에서, 제어 모듈(300)은, 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)를 포함하는 검사 모듈(200)이 피검체(W)를 양분하여 피검체(W)의 표면에 초음파 신호를 조사하도록 제어할 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 하나의 피검체(W)에 대해 2개의 프로브(222a, 222b)에 의한 초음파 검사가 수행될 수 있으므로, 프로브(222)의 이동 소요를 보다 최소화할 수 있다. 이에 따라, 신속하게 피검체(W)에 대한 초음파 검사를 수행할 수 있다.

보다 구체적으로, 도 9에서와 같이, 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)는, 각각, 피검체(W) 표면의 양분된 제 1 영역 및 제 2 영역에 대해 초음파 신호를 동시에 조사하도록 구성될 수 있다. 일례로서, 상기 제 1 영역은, 프로브 제어부(320)에 의해 설정된, 피검체(W)에 대한 제 1 프로브(222a)의 스캔 면적을 의미할 수 있다. 또한, 상기 제 2 영역은, 프로브 제어부(320)에 의해 설정된, 피검체(W)에 대한 제 2 프로브(222b)의 스캔 면적을 의미할 수 있다.

이 때, 프로브 제어부(320)는, 상기 제 1 영역 및 상기 제 2 영역으로부터 반사되는 에코 신호를 활용하여 피검체(W)의 전체 영역에 대한 내부 이미지를 생성할 수 있다. 즉, 프로브 제어부(320)는, 제 1 영역으로부터 반사된 에코 신호 및 제 2 영역으로부터 반사된 에코 신호를 합산하여 피검체(W)의 전체 영역에 대한 내부 이미지를 생성할 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 보다 확실하게 프로브(222)의 이동 소요를 최소화할 수 있고, 보다 신속하게 피검체(W)에 대한 초음파 검사를 수행할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 제 1 영역 및 상기 제 2 영역은, 동일한 면적을 가지도록 구성될 수 있다.

즉, 프로브 제어부(320)에 의해 설정된, 피검체(W)에 대한 제 1 프로브(222a)의 스캔 면적 및 제 2 프로브(222b)의 스캔 면적은 동일할 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 피검체(W)에 대한 보다 신속한 초음파 검사가 가능할 뿐만 아니라, 2개의 프로브(222a, 222b) 각각이 피검체(W)에 대해 동일한 면적을 스캔함으로써 초음파 검사가 안정적이고 정확하게 이루어질 수 있다.

일 실시예에서, 상기 제 1 영역 및 상기 제 2 영역은, 피검체(W) 표면의 중심을 기준으로 대칭되게 구성될 수 있다. 예시적으로, 제 1 영역 및 제 2 영역은, 원형의 피검체(W)의 중심선을 기준으로 초음파 검사 장치(10)의 전후 방향(Y축 방향)으로 대칭되게 구성될 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 피검체(W)에 대한 보다 안정적이고 정확한 초음파 검사가 수행될 수 있다.

도 10을 참조하면, 제어 모듈(300)은, 제 1 프로브(222a)에 의해 초음파 신호가 조사된 피검체(W)의 표면에 해당되는 영역이 제 2 영역과 적어도 일부 중첩되게 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)의 구동을 제어할 수 있다(도 10의 (a) 참조).

또한, 제어 모듈(300)은, 제 2 프로브(222b)에 의해 초음파 신호가 조사된 피검체(W)의 표면에 해당되는 영역이 제 1 영역과 적어도 일부 중첩되게 제 1 프로브(222a) 및 제 2 프로브(222b)의 구동을 제어할 수도 있다(도 10의 (b) 참조).

이 경우, 피검체(W)에 대한 제 1 프로브(222a)의 스캔 면적 및 제 2 프로브(222b)의 스캔 면적이 적어도 일부 중첩될 수 있다. 이에 따라, 제 1 프로브(222a)의 초음파 신호 조사에 의해 생성된 피검체(W)의 이미지 및 제 2 프로브(222b)의 초음파 신호 조사에 의해 생성된 피검체(W)의 이미지가 적어도 일부 중첩된 상태로 피검체(W)의 전체 영역에 대한 이미지가 생성될 수 있다.

즉, 본 실시예에서는, 제 1 프로브(222a) 또는 제 2 프로브(222b)의 성능 저하 또는 불량이 발생하더라도, 제 1 프로브(222a)의 초음파 신호 조사에 의해 생성된 피검체(W)의 이미지 및 제 2 프로브(222b)의 초음파 신호 조사에 의해 생성된 피검체(W)의 이미지가 중첩되도록 함으로써, 피검체(W)에 대한 초음파 검사의 정확도가 낮아지는 것을 최소화할 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 반복된 초음파 검사 장치(10)의 사용에 의해 발생될 수 있는 프로브(222)의 성능 저하 또는 불량에 의해 피검체(W)에 대한 초음파 검사의 정확도가 낮아지는 것을 보다 최소화할 수 있다.

도 11을 참조하면, 상기 제 1 영역은, 피검체(W) 표면 상에서 상기 제 2 영역보다 큰 면적을 가질 수 있다(도 11의 (a) 참조). 그리고, 제 1 프로브(222a)에 의해 제 1 영역에 조사되는 초음파 신호의 진폭은, 제 2 프로브(222b)에 의해 제 2 영역에 조사되는 초음파 신호의 진폭보다 클 수 있다. 이 때, 프로브 제어부(320)는, 제 1 영역, 제 2 영역의 설정 및 제 1 프로브(222a), 제 2 프로브(222b)의 진폭 설정을 수행할 수 있다.

또한, 상기 제 2 영역은, 피검체(W) 표면 상에서 상기 제 1 영역보다 큰 면적을 가질 수 있다(도 11의 (b) 참조). 그리고, 제 2 프로브(222b)에 의해 제 2 영역에 조사되는 초음파 신호의 진폭은, 제 1 프로브(222a)에 의해 제 1 영역에 조사되는 초음파 신호의 진폭보다 클 수 있다. 이 때, 프로브 제어부(320)는, 제 1 영역, 제 2 영역의 설정 및 제 1 프로브(222a), 제 2 프로브(222b)의 진폭 설정을 수행할 수 있다.

본 발명의 실시예에서, 피검체(W)인 반도체 소자는, 특정 영역에서 다른 영역보다 더 미세하고 핵심적인 구성들이 구비될 수 있다. 따라서, 보다 정확한 초음파 검사가 요구되는 피검체(W)의 영역에 대해 집중적으로 초음파 검사를 수행할 필요성이 있다.

즉, 본 실시예에서는, 보다 핵심적인 구성들이 구비된 피검체(W)의 제 1 영역(또는 제 2 영역)이 제 2 영역(또는 제 1 영역)보다 큰 면적을 가지고, 보다 큰 면적을 가지는 피검체(W)의 제 1 영역(또는 제 2 영역)에 보다 큰 진폭을 가지는 초음파 신호가 조사되도록 제어함으로써, 보다 집중적인 초음파 검사가 요구되는 피검체(W)의 영역에 대해 정확한 초음파 검사가 수행되도록 할 수 있다.

도 12는 도 1의 초음파 검사 장치(10)를 이용한 초음파 검사 방법의 제 5 실시예를 나타낸 흐름도이고, 도 13 내지 도 15는 도 12의 초음파 검사 방법을 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.

이하, 전술한 본 발명의 초음파 검사 장치(10) 구성을 기초로, 도 12 내지 도 15를 참조하여 본 발명의 초음파 검사 방법 중 피검체(W)에 대해 초음파 검사를 수행하는 공정에 대해 상세히 설명하기로 한다. 이 때, 상기 초음파 검사 방법의 제 5 실시예는, 피검체(W)에 대해 초음파 검사를 수행하는 공정의 다른 예를 나타낸 것이다.

앞서 언급한 바와 같이, 검사 모듈(200)은, 리니어 모션 구동부(228)를 포함할 수 있다.

상기 리니어 모션 구동부(228)는, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 조절하도록 적어도 일 방향으로 직선 구동될 수 있다.

또한, 제어 모듈(300)은, 이러한 리니어 모션 구동부(228)의 구동을 단계적으로 제어하도록 구성될 수 있다. 구체적으로, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 조절하는 공정은, 제어 모듈(300) 중 리니어 모션 제어부(330)의 제어에 의해 이루어질 수 있다. 일례로서, 제어 모듈(300) 중 리니어 모션 제어부(330)는, 리니어 모션 구동부(228)를 초음파 검사 장치(10)의 좌우 방향(X축 방향) 및/또는 초음파 검사 장치(10)의 전후 방향(Y축 방향)으로 일정 범위 내에서 구동시켜 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 초점이 조절되게 제어할 수 있다.

또한, 초음파 검사 방법의 제 5 실시예는, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 조절하도록 적어도 일 방향으로 리니어 모션 구동부(228)를 직선 구동하는 단계를 포함할 수 있다.

즉, 제어 모듈(300)은, 프로브(222)에 의한 초음파 신호의 조사 이전에, 프로브(222)가 피검체(W)의 표면에 대한 초음파 포커싱을 수행하도록 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 조절할 수 있다.

구체적으로, 리니어 모션 구동부(228)는, 제어 모듈(300)의 제어에 따라 그 구동이 단계적으로 제어될 수 있다. 이 때, 리니어 모션 구동부(228)의 구동이 단계적으로 제어된다는 것은, 리니어 모션 구동부(228)의 적어도 일 방향에서의 구동이 거시적인 수치 범위 내의 구동 범위에서 조절되다가 보다 미세한 수치 범위 내의 구동 범위에서 조절되는 것을 의미할 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 피검체(W)에 대해 프로브(222)가 거시적인 수치 범위 내의 구동 범위에서 이동하다가 순차적으로 미세한 수치 범위 내의 구동 범위에서 이동하면서 초음파 포커싱을 수행할 수 있으므로, 피검체(W)에 대해 보다 정확한 초음파 검사가 수행될 수 있다.

도 1, 도 13 내지 도 15를 참조하면, 제어 모듈(300)은, 수평면(XY 평면)상에서 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치가 단계적으로 제어되도록, 리니어 모션 구동부(228)의 구동을 제어할 수 있다.

구체적으로, 제어 모듈(300)의 리니어 모션 제어부(330)는, 제 1 구동부(228a) 및/또는 제 2 구동부(228b)의 구동을 제어할 수 있다. 이 때, 제 1 구동부(228a)는, 리니어 모션 제어부(330)의 제어에 따라, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 초음파 검사 장치(10)의 좌우 방향(X축 방향)으로 조절하도록 구성될 수 있다. 또한, 제 2 구동부(228b)는, 리니어 모션 제어부(330)의 제어에 따라, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 위치를 초음파 검사 장치(10)의 전후 방향(Y축 방향)으로 조절하도록 구성될 수 있다.

이와 같은 구성에 의하면, 피검체(W)에 대해 보다 더 정확한 초음파 검사가 수행될 수 있다.

상기 초음파 검사 방법의 제 5 실시예에서, 제어 모듈(300)의 리니어 모션 제어부(330)는, 제 1 구동 범위 제어부(332) 및 제 2 구동 범위 제어부(334)를 포함할 수 있다.

도 1 및 도 13에서와 같이 상기 제 1 구동 범위 제어부(332)는, 리니어 모션 구동부(228, 상세하게는 제 1 구동부(228a) 및/또는 제 2 구동부(228b))의 구동을 제 1 구동 범위 내에서 제어하도록 구성될 수 있다. 일례로서, 상기 제 1 구동 범위는, 1mm 내지 20mm의 수치 범위일 수 있다. 즉, 제 1 구동 범위 제어부(332)는, 1mm 내지 20mm의 수치 범위에서 리니어 모션 구동부(228)가 구동되도록 제어할 수 있다.

또한, 도 1 및 도 14에서와 같이 상기 제 2 구동 범위 제어부(334)는, 리니어 모션 구동부(228, 상세하게는 제 1 구동부(228a) 및/또는 제 2 구동부(228b))의 구동을 제 1 구동 범위보다 미세한 수치 범위인 제 2 구동 범위 내에서 제어하도록 구성될 수 있다. 일례로서, 상기 제 2 구동 범위는, 0.1mm 내지 1mm의 수치 범위일 수 있다. 즉, 제 2 구동 범위 제어부(334)는, 0.1mm 내지 1mm의 수치 범위에서 리니어 모션 구동부(228)가 구동되도록 제어할 수 있다.

또한, 초음파 검사 방법의 제 5 실시예에서, 상기 리니어 모션 구동부(228)를 직선 구동하는 단계는, 도 12에서와 같이 하기 S501 단계 및 S502 단계를 포함할 수 있다.

상기 S501 단계에서, 제어 모듈(300)은, 리니어 모션 구동부(228, 상세하게는 제 1 구동부(228a) 및/또는 제 2 구동부(228b))의 구동을 제 1 구동 범위 내에서 제어할 수 있다.

상기 S502 단계에서, 제어 모듈(300)은, 리니어 모션 구동부(228, 상세하게는 제 1 구동부(228a) 및/또는 제 2 구동부(228b))의 구동을 제 1 구동 범위보다 미세한 수치 범위인 제 2 구동 범위 내에서 제어할 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 피검체(W)에 대해 프로브(222)가 거시적인 수치 범위 내의 구동 범위에서 이동하다가 순차적으로 미세한 수치 범위 내의 구동 범위에서 이동하면서 초음파 포커싱을 수행할 수 있으므로, 피검체(W)에 대해 보다 정확한 초음파 검사가 수행될 수 있다.

상기 초음파 검사 방법의 제 5 실시예에서, 제어 모듈(300)의 리니어 모션 제어부(330)는, 제 3 구동 범위 제어부(336)를 더 포함할 수 있다.

도 1 및 도 15에서와 같이, 상기 제 3 구동 범위 제어부(336)는, 리니어 모션 구동부(228, 상세하게는 제 1 구동부(228a) 및/또는 제 2 구동부(228b))의 구동을 제 2 구동 범위보다 미세한 수치 범위인 제 3 구동 범위 내에서 제어하도록 구성될 수 있다. 일례로서, 상기 제 3 구동 범위는, 0.01mm 내지 0.1mm의 수치 범위일 수 있다. 즉, 제 3 구동 범위 제어부(334)는, 0.01mm 내지 0.1mm의 수치 범위에서 리니어 모션 구동부(228)가 구동되도록 제어할 수 있다.

또한, 초음파 검사 방법의 제 5 실시예에서, 상기 리니어 모션 구동부(228)를 직선 구동하는 단계는, 도 12에서와 같이 하기 S503 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 S503 단계에서, 제어 모듈(300)은, 리니어 모션 구동부(228, 상세하게는 제 1 구동부(228a) 및/또는 제 2 구동부(228b))의 구동을 상기 제 2 구동 범위보다 미세한 수치 범위인 제 3 구동 범위 내에서 제어할 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 피검체(W)에 대해 보다 더 정확한 초음파 검사가 수행될 수 있다.

한편, 제어 모듈(300)은, 피검체(W)와 프로브(222)가 서로 접촉되지 않도록, 리니어 모션 구동부(228)의 상하 방향으로의 구동 범위를 제한하도록 구성될 수 있다.

구체적으로, 제어 모듈(300)의 리니어 모션 제어부(330)는, 리니어 모션 구동부(228, 상세하게는 제 3 구동부(228c))의 상하 방향으로의 구동 범위를 제한할 수 있다. 즉, 리니어 모션 제어부(330)는, 프로브(222)와 피검체(W) 간의 접촉에 의한 충돌이 방지되도록, 리니어 모션 구동부(228)의 상하 방향으로의 구동 범위를 제한할 수 있다. 일례로서, 상기 리니어 모션 구동부(228)의 상하 방향으로의 구동 범위는, 0.5mm 내지 1mm의 수치 범위일 수 있다. 또는, 리니어 모션 구동부(228)의 상하 방향으로의 구동 범위는, 0.1mm 내지 0.4mm의 수치 범위일 수도 있다.

이 때, 리니어 모션 구동부(228)의 상하 방향으로의 구동 범위는, 프로브(222)로부터 피검체(W)에 조사되는 초음파 신호의 주파수 또는 피검체(W)의 상하 방향(Z축 방향) 두께에 따라 조절될 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 초음파 검사 과정에서 피검체(W) 및 프로브(222)의 손상을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 피검체(W)에 대해 보다 안정적이고 정확한 초음파 검사가 수행될 수 있다.

또한, 제어 모듈(300)은, 프로브(222)에 의해 피검체(W)의 표면에 조사되는 초음파 신호의 진폭이 리니어 모션 구동부(228)의 구동을 제 1 구동 범위 내에서 제어할 때보다 리니어 모션 구동부(228)의 구동을 제 2 구동 범위 내에서 제어할 때 더 크도록, 프로브(222)의 구동을 제어할 수 있다. 이 때, 프로브 제어부(320)는, 프로브(222)에 의해 피검체(W)의 표면에 조사되는 초음파 신호의 진폭이, 프로브(222)가 리니어 모션 구동부(228)의 제 1 구동 범위 내에서 이동될 때보다 프로브가(222)가 리니어 모션 구동부(228)의 제 2 구동 범위 내에서 이동될 때 더 크도록 프로브(222)의 진폭 설정을 수행할 수 있다.

그리고, 제어 모듈(300)은, 프로브(222)에 의해 피검체(W)의 표면에 조사되는 초음파 신호의 진폭이 리니어 모션 구동부(228)의 구동을 제 2 구동 범위 내에서 제어할 때보다 리니어 모션 구동부(228)의 구동을 제 3 구동 범위 내에서 제어할 때 더 크도록, 프로브(222)의 구동을 제어할 수 있다. 이 때, 프로브 제어부(320)는, 프로브(222)에 의해 피검체(W)의 표면에 조사되는 초음파 신호의 진폭이, 프로브(222)가 리니어 모션 구동부(228)의 제 2 구동 범위 내에서 이동될 때보다 프로브(222)가 리니어 모션 구동부(228)의 제 3 구동 범위 내에서 이동될 때 더 크도록 프로브(222)의 진폭 설정을 수행할 수 있다.

즉, 본 실시예에서는, 보다 미세한 수치 범위 내에서 프로브(222)에 의한 초음파 포커싱이 수행될 때, 프로브(222)에 의해 피검체(W)의 표면에 조사되는 초음파 신호의 진폭이 더 커질 수 있다.

이러한 실시 구성에 의하면, 피검체(W)에 대한 프로브(222)의 초음파 포커싱의 정확도가 극대화될 수 있어, 피검체(W)에 대해 보다 더 안정적이고 정확한 초음파 검사가 수행될 수 있다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

한편, 본 발명에서 상, 하, 좌, 우, 전, 후와 같은 방향을 나타내는 용어가 사용되었으나, 이러한 용어들은 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 대상이 되는 사물의 위치나 관측자의 위치 등에 따라 달라질 수 있음은 본 발명의 당업자에게 자명하다.

10 : 초음파 검사 장치
100 : 로딩 모듈
110 : 피검체 수용부
120 : 이송부
122 : 제 1 그리퍼
124 : 제 2 그리퍼
200 : 검사 모듈
210 : 피검체 정렬부
220 : 초음파 검사부
222 : 프로브
222a : 제 1 프로브
222b : 제 2 프로브
228 : 리니어 모션 구동부
230 : 건조부
300 : 제어 모듈
310 : 이송 제어부
320 : 프로브 제어부
330 : 리니어 모션 제어부
332 : 제 1 구동 범위 제어부
334 : 제 2 구동 범위 제어부
336 : 제 3 구동 범위 제어부

Claims (10)

1. 초음파 검사 장치에 있어서,
   피검체를 이송하도록 구성된 제 1 그리퍼 및 제 2 그리퍼를 구비한 이송부를 포함하는 로딩 모듈;
   상기 이송부에 의해 이송된 상기 피검체에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성된 검사 모듈; 및
   상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼의 작동 순서 및 상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼가 상기 검사 모듈에 포함된 각 구성에 대해 상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하도록 구성된 제어 모듈을 포함하고,
   상기 로딩 모듈은,
   상기 피검체가 내부에 수용된 피검체 수용부를 더 포함하고,
   상기 검사 모듈은,
   상기 이송부에 의해 상기 피검체 수용부로부터 이송된 상기 피검체의 정위치를 정렬하도록 구성된 피검체 정렬부;
   상기 이송부에 의해 상기 피검체 정렬부로부터 이송된 상기 피검체에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성된 초음파 검사부; 및
   상기 이송부에 의해 상기 초음파 검사부로부터 이송된 상기 피검체를 건조시키도록 구성된 건조부를 포함하고,
   상기 이송부는,
   상기 초음파 검사 장치의 좌우 방향으로 상기 피검체 정렬부와 상기 건조부 사이에 위치하고,
   상기 제 1 그리퍼는,
   상기 제 2 그리퍼보다 상기 피검체 정렬부에 더 인접하게 위치하고,
   상기 제 2 그리퍼는,
   상기 제 1 그리퍼보다 상기 건조부에 더 인접하게 위치하고,
   상기 이송부는,
   상기 초음파 검사 장치의 전후 방향으로 상기 피검체 수용부와 상기 초음파 검사부 사이에 위치하고,
   상기 이송부는,
   상기 피검체 수용부의 후측에 위치하고, 상기 초음파 검사부의 전측에 위치하며,
   상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부 및 상기 건조부는, 상기 이송부를 둘러싸도록 구성되고,
   상기 피검체 수용부는,
   상기 초음파 검사 장치에 의한 초음파 검사가 수행되기 전에 상기 피검체가 임시로 수용되는 제 1 수용부; 및
   상기 초음파 검사 장치에 의해 초음파 검사가 수행된 상기 피검체가 유입되는 제 2 수용부를 포함하고,
   상기 제 1 수용부 및 상기 제 2 수용부는,
   상기 이송부의 전측에서, 상기 초음파 검사 장치의 좌우 방향으로 나란히 배치되며,
   상기 제어 모듈은,
   상기 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송시키는 공정 중 적어도 일부 공정에서, 상기 제 1 그리퍼 또는 상기 제 2 그리퍼가 각각, 상기 피검체를 이송하는 동작을 수행하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 초음파 검사 장치.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,
   상기 제어 모듈은,
   상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 수용부로부터 상기 피검체 정렬부로 이송하는 제 1 동작 및 상기 제 1 동작의 종료 후에 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송하는 제 2 동작을 제어하도록 구성되고,
   상기 제 2 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 초음파 검사부로부터 상기 건조부로 이송하는 제 3 동작 및 상기 제 3 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 건조부로부터 상기 피검체 수용부로 이송하는 제 4 동작을 제어하도록 구성된 것을 특징으로 하는 초음파 검사 장치.
4. 제 1항에 있어서,
   상기 제어 모듈은,
   상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 수용부로부터 상기 피검체 정렬부로 이송하는 제 1 동작 및 상기 제 1 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송하는 제 2 동작을 제어하도록 구성되고,
   상기 제 2 동작의 종료 후에 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 초음파 검사부로부터 상기 건조부로 이송하는 제 3 동작 및 상기 제 3 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 건조부로부터 상기 피검체 수용부로 이송하는 제 4 동작을 제어하도록 구성된 것을 특징으로 하는 초음파 검사 장치.
5. 제 1항에 있어서,
   상기 피검체는,
   제 1 피검체 및 제 2 피검체를 포함하고,
   상기 제어 모듈은,
   상기 제 1 그리퍼가 상기 제 1 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송하는 제 1 동작 및 상기 제 1 동작에서 상기 제 1 그리퍼가 상기 제 1 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송시킨 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 제 2 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송하는 제 2 동작을 제어하도록 구성된 것을 특징으로 하는 초음파 검사 장치.
6. 피검체를 이송하도록 구성된 제 1 그리퍼 및 제 2 그리퍼를 구비한 이송부를 포함하는 로딩 모듈과, 상기 이송부에 의해 이송된 상기 피검체에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성된 검사 모듈 및 상기 이송부의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하는 초음파 검사 장치를 이용한 초음파 검사 방법에 있어서,
   상기 제어 모듈이 상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼의 작동 순서 및 상기 제 1 그리퍼 및 상기 제 2 그리퍼가 상기 검사 모듈에 포함된 각 구성에 대해 상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하는 단계를 포함하고,
   상기 로딩 모듈은,
   상기 피검체가 내부에 수용된 피검체 수용부를 더 포함하고,
   상기 검사 모듈은,
   상기 이송부에 의해 상기 피검체 수용부로부터 이송된 상기 피검체의 정위치를 정렬하도록 구성된 피검체 정렬부;
   상기 이송부에 의해 상기 피검체 정렬부로부터 이송된 상기 피검체에 대해 초음파 검사를 수행하도록 구성된 초음파 검사부; 및
   상기 이송부에 의해 상기 초음파 검사부로부터 이송된 상기 피검체를 건조시키도록 구성된 건조부;를 포함하고,
   상기 이송부는,
   상기 초음파 검사 장치의 좌우 방향으로 상기 피검체 정렬부와 상기 건조부 사이에 위치하고,
   상기 제 1 그리퍼는,
   상기 제 2 그리퍼보다 상기 피검체 정렬부에 더 인접하게 위치하고,
   상기 제 2 그리퍼는,
   상기 제 1 그리퍼보다 상기 건조부에 더 인접하게 위치하고,
   상기 이송부는,
   상기 초음파 검사 장치의 전후 방향으로 상기 피검체 수용부와 상기 초음파 검사부 사이에 위치하고,
   상기 이송부는,
   상기 피검체 수용부의 후측에 위치하고, 상기 초음파 검사부의 전측에 위치하며,
   상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부 및 상기 건조부는, 상기 이송부를 둘러싸도록 구성되고,
   상기 피검체 수용부는,
   상기 초음파 검사 장치에 의한 초음파 검사가 수행되기 전에 상기 피검체가 임시로 수용되는 제 1 수용부; 및
   상기 초음파 검사 장치에 의해 초음파 검사가 수행된 상기 피검체가 유입되는 제 2 수용부를 포함하고,
   상기 제 1 수용부 및 상기 제 2 수용부는,
   상기 이송부의 전측에서, 상기 초음파 검사 장치의 좌우 방향으로 나란히 배치되며,
   상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하는 단계에서,
   상기 제어 모듈은 상기 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송시키는 공정 중 적어도 일부 공정에서, 상기 제 1 그리퍼 또는 상기 제 2 그리퍼가 각각, 상기 피검체를 이송하는 동작을 수행하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 초음파 검사 방법.
7. 삭제
8. 제 6항에 있어서,
   상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하는 단계는,
   상기 제어 모듈이 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 수용부로부터 상기 피검체 정렬부로 이송하는 제 1 동작을 제어하는 단계;
   상기 제어 모듈이 상기 제 1 동작의 종료 후에 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송하는 제 2 동작을 제어하는 단계;
   상기 제어 모듈이 상기 제 2 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 초음파 검사부로부터 상기 건조부로 이송하는 제 3 동작을 제어하는 단계; 및
   상기 제어 모듈이 상기 제 3 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 건조부로부터 상기 피검체 수용부로 이송하는 제 4 동작을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 검사 방법.
9. 제 6항에 있어서,
   상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하는 단계는,
   상기 제어 모듈이 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 수용부로부터 상기 피검체 정렬부로 이송하는 제 1 동작을 제어하는 단계;
   상기 제어 모듈이 상기 제 1 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송하는 제 2 동작을 제어하는 단계;
   상기 제어 모듈이 상기 제 2 동작의 종료 후에 상기 제 1 그리퍼가 상기 피검체를 상기 초음파 검사부로부터 상기 건조부로 이송하는 제 3 동작을 제어하는 단계; 및
   상기 제어 모듈이 상기 제 3 동작의 종료 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 피검체를 상기 건조부로부터 상기 피검체 수용부로 이송하는 제 4 동작을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 검사 방법.
10. 제 6항에 있어서,
    상기 피검체는,
    제 1 피검체 및 제 2 피검체를 포함하고,
    상기 피검체를 이송하는 동작을 제어하는 단계는,
    상기 제어 모듈이 상기 제 1 그리퍼가 상기 제 1 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송하는 제 1 동작을 제어하는 단계; 및
    상기 제어 모듈이 상기 제 1 동작에서 상기 제 1 그리퍼가 상기 제 1 피검체를 상기 피검체 정렬부로부터 상기 초음파 검사부로 이송시킨 후에 상기 제 2 그리퍼가 상기 제 2 피검체를 상기 피검체 수용부, 상기 피검체 정렬부, 상기 초음파 검사부, 상기 건조부 및 상기 피검체 수용부로 순차적으로 이송하는 제 2 동작을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 검사 방법.

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