KR102526277B1 - Stretchable gas barrier layered structure having wrinkles and method for manufacturing the same - Google Patents

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Abstract

주름을 구비한 신축성 가스 배리어 적층 구조체로서, 신축성 기판; 및 상기 신축성 기판 상에 형성되는 가스 배리어 특성을 가지는 막;을 포함하고, 상기 가스 배리어 막은 적어도 하나의 주름을 포함하는 가스 배리어 적층 구조체가 개시된다. 해당 가스 배리어 적층 구조체는 신축성을 가지면서 고성능의 배리어 특성을 구현할 수 있다. 또한 주름의 변형으로 인해 소재에 응력을 최소화하면서 그 기능성을 유지할 수 있기 때문에 각종 신축성 전자 기기에 유용하게 활용될 수 있다. A stretchable gas barrier laminated structure having wrinkles, comprising: a stretchable substrate; and a film having gas barrier properties formed on the stretchable substrate, wherein the gas barrier film includes at least one wrinkle. The gas barrier laminated structure can implement high-performance barrier properties while having elasticity. In addition, it can be usefully used in various stretchable electronic devices because it can maintain its functionality while minimizing stress on the material due to deformation of the wrinkles.

Description

주름을 구비한 신축성 가스 배리어 적층 구조체 및 그 제조 방법{Stretchable gas barrier layered structure having wrinkles and method for manufacturing the same} Stretchable gas barrier layered structure having wrinkles and method for manufacturing the same}

본 명세서는 주름을 구비한 신축성 가스 배리어 적층 구조체 및 그 제조 방법에 관하여 기술한다. The present specification describes a stretchable gas barrier laminated structure having pleats and a manufacturing method thereof.

차세대 전자 기기는 딱딱한 기판의 한계를 벗어나 굽힘 특성뿐만 아니라 외부응력에도 자유로이 형태를 변형시킬 수 있는 신축 기능까지 요구되고 있다. Next-generation electronic devices go beyond the limitations of hard substrates and require not only bending properties but also stretch functions that can freely change their shape in response to external stress.

이를 위하여, 기존에 굽힘이 가능한 전자 기기는 적층 구조나 소자의 두께를 박막화 함으로써 굽힘 변형에 대한 안정성을 확보해 왔으나 이러한 접근방법으로는 신축성을 확보하기 어렵다. To this end, existing bendable electronic devices have secured stability against bending deformation by thinning the thickness of a laminated structure or element, but it is difficult to secure elasticity with this approach.

한편, 가스 베리어 필름의 경우 다양한 전자기기에서 사용되는 필수 구성요소이지만 외부 응력에 의한 기계적 변형 시 핀홀 및 크랙이 발생하게 되어 배리어 소재의 기능 손실을 가져 온다. 따라서, 신축형 전자기기의 구현에 치명적인 걸림돌이 되고 있다.On the other hand, the gas barrier film is an essential component used in various electronic devices, but pinholes and cracks occur when mechanically deformed by external stress, resulting in loss of functionality of the barrier material. Therefore, it has become a fatal obstacle to the implementation of stretchable electronic devices.

한국특허출원공개 제2011-83546호Korean Patent Application Publication No. 2011-83546

Large-scale pattern growth of graphene films for stretchable transparent electrodes Nature, 2009, 457, 706-710Large-scale pattern growth of graphene films for stretchable transparent electrodes Nature, 2009, 457, 706-710 Multifunctionality and control of the crumpling and unfolding of large-area graphene Nat. Maters, 2013, 12, 321Multifunctionality and control of the crumpling and unfolding of large-area graphene Nat. Maters, 2013, 12, 321 Super-Elastic Graphene Ripples for Flexible Strain Sensors ACS Nano 2011, 5 3645Super-Elastic Graphene Ripples for Flexible Strain Sensors ACS Nano 2011, 5 3645

본 발명의 구현예들의 목적은, 일측면에서, 신축성을 가지면서 고성능의 배리어 특성을 구현할 수 있는 미세 주름을 가진 가스 배리어 적층 구조체 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다. In one aspect, an object of embodiments of the present invention is to provide a gas barrier laminated structure having fine wrinkles and a manufacturing method capable of realizing high-performance barrier properties while having elasticity.

본 발명의 예시적인 구현예들에서는, 주름을 구비한 신축성 가스 배리어 적층 구조체로서, 신축성 기판; 및 상기 신축성 기판 상에 형성되는 가스 배리어 특성을 가지는 막;을 포함하고, 상기 가스 배리어 막은 적어도 하나의 주름을 포함하는가스 배리어 적층 구조체를 제공한다.In exemplary embodiments of the present invention, a stretchable gas barrier laminated structure having wrinkles is provided, comprising: a stretchable substrate; and a film having gas barrier properties formed on the stretchable substrate, wherein the gas barrier film includes at least one wrinkle.

또한, 발명의 예시적인 구현예들에서는, 상기 가스 배리어 적층 구조체를 포함하는 전자 기기를 제공한다.In addition, in exemplary embodiments of the invention, an electronic device including the gas barrier laminated structure is provided.

또한, 본 발명의 예시적인 구현예들에서는, 전술한 가스 배리어 적층 구조체 제조 방법으로서, 신축성 기판을 제공하는 단계; 및 상기 신축성 기판 상에 가스 배리어 막을 형성하고 가스 배리어 막에 주름을 부여하는 단계;를 포함하는 가스 배리어 적층 구조체 제조 방법을 제공한다.Further, in exemplary embodiments of the present invention, the above-described gas barrier laminate structure manufacturing method includes providing a stretchable substrate; and forming a gas barrier film on the stretchable substrate and applying wrinkles to the gas barrier film.

본 발명의 예시적인 구현예들에 의하면, 가스 배리어 적층 구조체를 신축성 기판 및 가스 배리어 막으로 구성하고 가스 배리어 막에 미세 주름을 부여함에 따라서, 신축성을 가지면서 고성능의 배리어 특성을 구현할 수 있다. 기존의 평면 공정 또는 소재를 이용해서는 고성능의 신축성 가스 배리어 필름을 구현할 수 없었으나, 본 발명의 예시적인 구현예들에 의한 미세 주름을 가지는 가스 배리어 적층 구조체의 경우 주름의 변형으로 인해 소재에 응력을 최소화하면서 그 기능성을 유지할 수 있다. 이러한 가스 배리어 적층 구조체는 전도성 소재의 결함과 전사공정의 한계를 뛰어넘는 것으로서, 각종 신축성 전자 기기에 유용하게 활용될 수 있다.According to exemplary embodiments of the present invention, as the gas barrier laminate structure is composed of a stretchable substrate and a gas barrier film and fine wrinkles are applied to the gas barrier film, it is possible to implement high-performance barrier properties while having elasticity. Although a high-performance stretchable gas barrier film could not be implemented using a conventional planar process or material, in the case of a gas barrier laminated structure having fine wrinkles according to exemplary embodiments of the present invention, deformation of the wrinkles causes stress to the material. It can be minimized while maintaining its functionality. Such a gas barrier laminated structure overcomes the defects of conductive materials and the limitations of the transfer process, and can be usefully utilized in various stretchable electronic devices.

도 1a는 본 발명의 예시적인 구현예에 따른 미세 주름 부여 방법을 나타내는 개략도이다.
도 1b는 주기와 높이를 나타내는 개념도이다.
도 2는 본 발명 실시예에서 제조된 주름을 가지는 연신 그래핀 가스 배리어 적층 구조체를 나타내는 FE-SEM 이미지이다. 도 2a는 예비 응력을 5%로 부여한 것을 나타내며, 도 2b는 이를 회전시킨 이미지(tiled image)이다.
도 3은 본 발명 실시예에서 제조된 주름을 가지는 연신 그래핀 가스 배리어 적층 구조체를 나타내는 FE-SEM 이미지이다. 도 3a는 예비 응력을 10%로 부여한 것을 나타내며, 도 3b는 이를 회전시킨 이미지(tiled image)이다.
도 4는 본 발명 실시예에서, 조된(거친) 주름을 가지는 연신 그래핀 가스 배리어 적층 구조체를 나타내는 AFM 사진이다. 도 4a는 예비 응력을 5%로 부여한 것이고, 도 4b는 예비 응력을 10% 부여한 것이다.
도 5는 본 발명 실시예에서 제조된 주름을 가지는 연신 그래핀 가스 배리어 적층 구조체에 대한 기계적 안정성 연신 테스트(mechanical stability stretching test)(도 5a) 및 비틀림 테스트(mechanical stability twisting test)(도 5b) 결과 그래프이다.
도 6은 본 발명 실시예에 제조된 미세 주름이 형성된 그래핀 기반 가스 배리어 적층 구조체의 가스 배리어 특성을 나타내는 그래프이다.
1A is a schematic diagram showing a method for imparting fine wrinkles according to an exemplary embodiment of the present invention.
1B is a conceptual diagram illustrating a period and a height.
2 is a FE-SEM image showing a stretched graphene gas barrier laminated structure having wrinkles manufactured in an example of the present invention. Figure 2a shows that the pre-stress is applied at 5%, and Figure 2b is a tiled image obtained by rotating it.
3 is a FE-SEM image showing an elongated graphene gas barrier laminate structure having wrinkles manufactured in an example of the present invention. Figure 3a shows that the preliminary stress is applied to 10%, Figure 3b is a rotated image (tiled image).
4 is an AFM photograph showing an elongated graphene gas barrier laminate structure having coarse (rough) wrinkles in an embodiment of the present invention. FIG. 4A shows a pre-stress applied at 5%, and FIG. 4B shows a pre-stress applied at 10%.
5 is a result of a mechanical stability stretching test ( FIG. 5a ) and a mechanical stability twisting test ( FIG. 5b ) for the stretched graphene gas barrier laminate structure having wrinkles prepared in an example of the present invention. it's a graph
6 is a graph showing gas barrier properties of a graphene-based gas barrier laminated structure having fine wrinkles manufactured according to an example of the present invention.

본 명세서에서 가스 배리어 적층 구조체란 가스 배리어 막과 신축성 기판을 포함하는 구조체를 의미한다. In this specification, a gas barrier laminated structure means a structure including a gas barrier film and a stretchable substrate.

본 명세서에서 가스 배리어 막은 표면에 미세 주름을 가지는 막 예컨대 단층 막을 의미한다.In this specification, a gas barrier film means a film having fine wrinkles on the surface, such as a single layer film.

본 명세서에서 미세 주름이란 가스 배리어 박막 표면에서 일정한 주기(wavelength)와 높이(amplituce)를 가진 형상을 의미한다(도 1b 참조). In the present specification, fine wrinkles mean a shape having a constant wavelength and height (amplitude) on the surface of the gas barrier thin film (see FIG. 1B).

예컨대, 미세 주름은 수 나노미터에서 수백 마이크로미터의 높이, 예컨대 1 nm 이상에서 500㎛ 이하)를 가지며 수십 나노미터에서 수백 마이크로미터 범위(예컨대 10 nm 이상 500㎛ 이하)의 주기를 가진 패턴일 수 있다. For example, the fine wrinkles may be a pattern having a height of several nanometers to hundreds of micrometers, for example, 1 nm or more to 500 μm or less, and a period ranging from tens of nanometers to hundreds of micrometers (eg, 10 nm or more to 500 μm or less). there is.

또한, 주름의 형상은 한 방향으로 반복적 주름을 가진 일방성의 주름 형상일 수 있거나, 또는 x, y측으로 반복적으로 변형되어 등방성 형태를 가지는 주름 형상일 수 있거나, 또는 불규칙적이지만 표면의 높고 낮음이 반복적인 패턴을 가진 주름 형상을 포함할 수 있다.In addition, the shape of the wrinkles may be a unidirectional wrinkle shape with repetitive wrinkles in one direction, or may be a wrinkle shape that is repeatedly deformed in the x and y directions and has an isotropic shape, or irregular but with repeated high and low surfaces. It may include a pleated shape with a pattern.

이하, 본 발명의 예시적인 구현예들을 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention are described in detail.

본 발명의 예시적인 구현예들에서는, 가스 배리어 적층 구조체로서, 기판; 상기 기판에 형성되는 적어도 하나 이상의 주름이 부여된 가스 배리어 막을 포함하는 가스 배리어 적층 구조체를 제공한다.In exemplary embodiments of the present invention, a gas barrier laminated structure comprising: a substrate; It provides a gas barrier laminated structure including a gas barrier film formed on the substrate and having at least one wrinkle applied thereto.

예시적인 일 구현예에서, 상기 기판은 신축성 기판일 수 있다.In one exemplary embodiment, the substrate may be a stretchable substrate.

예시적인 일 구현예에서, 상기 가스 배리어 막에는 응력 보호층이 형성되는 것일 수 있다.In an exemplary embodiment, a stress protection layer may be formed on the gas barrier layer.

예시적인 일 구현예에서, 상기 주름의 형상은 일방성의 미세주름 또는 등방성 주름 또는 불규칙적이지만 미세주름일 수 있다.In one exemplary embodiment, the shape of the wrinkles may be unidirectional fine wrinkles, isotropic wrinkles, or irregular but fine wrinkles.

예시적인 일 구현예에서, 상기 미세 주름은 1nm 이상 500㎛ 이하의 높이를 가지며 10nm 이상 500㎛ 이하의 주기를 가지는 패턴일 수 있다. In an exemplary embodiment, the fine wrinkles may be a pattern having a height of 1 nm or more and 500 μm or less and a period of 10 nm or more and 500 μm or less.

예시적인 일 구현예에서, 상기 가스 배리어 적층 구조체의 신축성은 1% 이상 1000% 미만일 수 있다.In one exemplary embodiment, the elasticity of the gas barrier laminated structure may be 1% or more and less than 1000%.

예시적인 일 구현예에서, 상기 가스 배리어 막 자체의 가스 배리어 특성은 WVTR(water vapor transmission rate)로 평가되는 특성으로서 1x10-4 g/m2·day 이상일 수 있다.In an exemplary embodiment, the gas barrier properties of the gas barrier film itself may be 1x10 -4 g/m 2 ·day or more as a property evaluated by water vapor transmission rate (WVTR).

또한, 본 발명의 예시적인 구현예들에서는, 전술한 가스 배리어 적층 구조체의 제조 방법으로서, 기판을 제공하는 단계; 및 상기 기판 상에 가스 배리어 막을 형성하고 가스 배리어 막에 주름을 부여하는 단계;를 포함하는 가스 배리어 적층 구조체 제조 방법을 제공한다.Further, in exemplary embodiments of the present invention, a manufacturing method of the gas barrier laminate structure described above includes providing a substrate; and forming a gas barrier film on the substrate and providing wrinkles to the gas barrier film.

예시적인 일 구현예애서, 상기 제조 방법은, 신축성 기판에 인장력을 부여하는 단계; 상기 인장력이 부여된 신축성 기판 상에 가스 배리어 막을 형성하여 가스 배리어 막에 주름을 부여하는 단계;를 포함할 수 있다.In an exemplary embodiment, the manufacturing method may include applying a tensile force to the stretchable substrate; The method may include forming a gas barrier film on the stretchable substrate to which the tensile force has been applied and providing wrinkles to the gas barrier film.

즉, 가스 배리어 막에 주름을 부여하기 위하여, 우선 신축성 기판에 예비 응력을 인가하고, 예비 응력이 인가된 신축성 기판에 가스 배리어 필름을 적층한 후 예비 응력을 제거하면 가스 배리어 막에 주름을 부여할 수 있다. 이때, 가스 배리어 막에 지나친 응력이 가해지는 것을 방지하기 위하여 응력 보호층 바람직하게는 신축성이 있는 응력 보호층을 가스 배리어 막에 부착하고 이를 신축성 기판 상에 적층한다.That is, in order to wrinkle the gas barrier film, first, pre-stress is applied to the stretchable substrate, the gas barrier film is laminated on the stretchable substrate to which the pre-stress is applied, and then the pre-stress is removed to form wrinkles on the gas barrier film. can At this time, in order to prevent excessive stress from being applied to the gas barrier film, a stress protection layer, preferably a flexible stress protection layer, is attached to the gas barrier film and laminated on the stretchable substrate.

도 1a는 본 발명의 예시적인 구현예에 따른 미세 주름 부여 방법을 나타내는 개략도이다. 1A is a schematic diagram showing a method for imparting fine wrinkles according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1a에 도시된 바와 같이, 우선 신축형 고분자로 기판을 형성하고, 인장력 또는 수축력 등과 같은 예비 응력(pre-strain)을 기판에 인가한다. 이어서 가스 배리어 소재 (도 1은 그래핀을 예로서 도시한다)를 기판 상에 위치시키고, 상기 예비 응력이 제거되면(substrate release), 미세 주름을 가진 신축성 가스 배리어 필름을 얻을 수 있다.As shown in FIG. 1A, first, a substrate is formed of a stretchable polymer, and a pre-strain such as tensile force or contractive force is applied to the substrate. Subsequently, a gas barrier material (Fig. 1 shows graphene as an example) is placed on a substrate, and when the prestress is released (substrate release), a stretchable gas barrier film having fine wrinkles can be obtained.

상기 신축성 기판의 소재로 사용되는 신축형 고분자의 경우 다양한 소재가 사용될 수 있다. In the case of the stretchable polymer used as the material of the stretchable substrate, various materials may be used.

비제한적인 예시에서, 상기 신축형 기판 소재는 탄성을 가지는 실리콘(silicone) 계열의 탄성체, 부타디엔(Butadiene) 계열의 탄성체, 스티렌-부타디엔(styrene butadiene) 계열의 탄성체, 플루오르(Fluoro) 계열의 탄성체, 클로로펜(chloroprene) 계열의 탄성체, 에틸렌 프로플렌 디엔(Ethylene propylene diene) 계열의 탄성체, 이소부틸렌 이소프렌(Isobutylene isoprene) 계열의 탄성체, 또는 자연계에 존재하는 천연 탄성체 등이 사용될 수 있다.In a non-limiting example, the stretchable substrate material includes a silicone-based elastic body having elasticity, a butadiene-based elastic body, a styrene-butadiene-based   elastic body, a Fluoro-based elastic body, A chloroprene-based elastomer, an ethylene propylene diene-based elastomer, an isobutylene isoprene-based elastomer, or a natural elastomer existing in nature may be used.

또한, 물체에 외력을 가하여 모양을 변형시키더라도 특정 조건(온도, 및 , PhH, 습도등)에서 원하는 형태로 다시 되돌아가는 성질을 가진 형상기억 소재를 사용할 수 있다. In addition, even if the shape is deformed by applying an external force to the object, it is possible to use a shape memory material having a property of returning to a desired shape under specific conditions (temperature, pH, pH, humidity, etc.).

비제한적인 예시로서, 폴리노르보넨 (poly-norbornene), 폴리이소프렌(poly-isoprene), 스티렌-부타디엔 공중합체(Styrene-butadiene copolymer), 폴리우레탄(Poly-urethane), 폴리에틸렌(Poly-ethylene), 폴리에스터(polyester) 계열의 고분자를 포함하나 이에 한정되는 것은 아니다. 폴리에스터 계열의 형상기억 고분자의 예로는 폴리포스파제(Polyphosphazene), 폴리무수물산(polyanhydride), 폴리아세탈(polyacetal), 폴리오쏘에스터(poly-ortho ester), 폴리인산디에스테르 (polyphosphoester), 폴리글리콜리드(polyglycolide), 폴리카프로락톤(poly-ε-caprolactone), 폴리락타이드(polylactide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리아미드(polyamide) 중 하나 또는 이들의 조합으로 선택될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. As non-limiting examples, poly-norbornene, polyisoprene, styrene-butadiene copolymer, polyurethane, polyethylene, It includes, but is not limited to, polyester-based polymers. Examples of polyester-based shape memory polymers include polyphosphazene, polyanhydride, polyacetal, poly-ortho ester, polyphosphoester, and polyglycol. It may be selected from one or a combination of lead (polyglycolide), polycaprolactone (poly-ε-caprolactone), polylactide (polylactide), polycarbonate (polycarbonate), and polyamide (polyamide), but is not limited thereto. no.

바람직하게는, 상기 신축형 소재로서 형상 기억 고분자를 사용할 수 있다. 형상 기억 고분자를 사용하여 예비 응력을 인가하면, 기판이 신축되어 있는 상태로 고정이 되고, 이후 에너지 (빛 또는 열 등)를 인가하면 해당 형상 기억 고분자가 원래대로 돌아가게 되므로, 인가된 예비 응력을 용이하게 제거하고 주름을 부여할 수 있다. Preferably, a shape memory polymer may be used as the stretchable material. When prestress is applied using a shape memory polymer, the substrate is fixed in a stretched state, and then when energy (light or heat, etc.) is applied, the shape memory polymer returns to its original state. It can be easily removed and wrinkled.

한편, 일 구현예에서는, 상기 예비 응력이 인가된 기판에 가스 배리어 필름 적층 시, 가스 배리어 필름의 가스 배리어 막 상단에 응력에 대한 보호층을 형성할 수 있다. Meanwhile, in one embodiment, when the gas barrier film is laminated on the substrate to which the prestress is applied, a protective layer against stress may be formed on top of the gas barrier film of the gas barrier film.

즉, 가스 배리어 필름 소재에 가해지는 응력을 최소화하기 위하여 기계적 변형시 응력에 대한 보호층 역할을 하는 응력 보호층 (또는 중립 응력층으로 명명될 수도 있다)을 형성하는 것이다. That is, in order to minimize the stress applied to the gas barrier film material, a stress protection layer (or may also be referred to as a neutral stress layer) serving as a protection layer against stress during mechanical deformation is formed.

예시적인 구현예들에서, 이러한 응력 보호층은 기판과 같이 신축성을 가진 소재를 사용하여 기재 상에 스프레이, 스핀코팅, 라미네이션 등과 같은 방법으로 형성할 수 있다. In exemplary embodiments, the stress protection layer may be formed on a substrate using a material having elasticity such as a substrate by a method such as spraying, spin coating, or lamination.

이상의 방법으로 제조된 신축형 가스 배리어 필름은 외부에서 인장 응력이 가해질 시 미세주름이 펴지면서 신축성 특성을 가질 수 있다. When tensile stress is applied from the outside, the stretchable gas barrier film prepared by the above method may have elasticity properties as fine wrinkles are smoothed out.

한편, 다른 예시적인 일 구현예에서, 상기 주름을 부여하는 단계는, 신축성을 가지는 기판상에 가스 배리어 막을 적층 한 뒤 에비 응력으로서 수축력을 부여하는 특정 환경(온도 및 pH, 습도 등)을 인가 또는 제공하여 기판을 수축시킴으로써 미세주름을 가진 배리어 필름을 제작할 수 있다.On the other hand, in another exemplary embodiment, the step of applying the wrinkles, applying a specific environment (temperature, pH, humidity, etc.) for applying a contractile force as an Ebi stress after laminating a gas barrier film on a substrate having elasticity, or It is possible to fabricate a barrier film having fine wrinkles by shrinking the substrate by providing the substrate.

한편, 다른 예시적인 일 구현예에서, 상기 주름을 부여하는 단계는, 미세 주름을 가지는 기판에 용액광정과 같은 스프레이, 스핀코팅, 건식 전사공정인 라미네이션 또는 습식 전사 법을 이용하여 가스 배리어 막을 기판 주름에 대응하도록 적층하는 것일 수 있다.On the other hand, in another exemplary embodiment, the step of providing wrinkles is to wrinkle the gas barrier film on a substrate having fine wrinkles by using a spray, spin coating, dry transfer process such as lamination or wet transfer, such as solution photolithography. It may be laminated to correspond to.

또 다른 예시적인 일 구현예에서, 상기 제조 방법은, 가스 배리어 적층 구조체 제조 시 적층 소재간의 열팽창 계수차이, 소재 계면간의 접착력 제어, 소재 내부 응력인가법 등의 방법을 통해 주름을 직접 인가되도록 하는 것일 수 있다. In another exemplary embodiment, the manufacturing method is to directly apply wrinkles through a method such as a difference in thermal expansion coefficient between laminated materials, adhesive force control between material interfaces, and a material internal stress application method when manufacturing a gas barrier laminated structure. can

이하, 본 발명의 예시적인 구현예들에 따른 구체적인 실시예를 더욱 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니며 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예들이 구현될 수 있고, 단지 하기 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 동시에 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 실시를 용이하게 하고자 하는 것임이 이해될 것이다. Hereinafter, specific embodiments according to exemplary embodiments of the present invention will be described in more detail. However, the present invention is not limited to the following examples, and various types of embodiments can be implemented within the scope of the appended claims, and only the following examples will complete the disclosure of the present invention and at the same time, common in the art. It will be understood that the intention is to facilitate practice of the invention to those skilled in the art.

[실시예][Example]

소재Material

기판은 실리콘(silicone) 계열의 기판인 PDMS(polydimethylsiloxane)을 사용하였다. 이때 기판의 두께는 3 mm였다. 가스 배리어 박막으로는 1층, 2층 4층 적층되어 이는 그래핀을 사용하였다. 그래핀 기반 가스 배리어 박막에 적층될 응력 보호층은 50 nm의 두께를 가진 PMMA(poly(methyl methacrylate)를 사용하였다. As the substrate, PDMS (polydimethylsiloxane), which is a silicon-based substrate, was used. At this time, the thickness of the substrate was 3 mm. As the gas barrier thin film, one layer, two layers, and four layers were stacked, and graphene was used. Poly(methyl methacrylate) (PMMA) with a thickness of 50 nm was used as the stress protection layer to be deposited on the graphene-based gas barrier thin film.

제조과정manufacturing process

PDMS 기판을 스트레칭 머신을 통하여 5% (또는 10%로 부여) 인장을 한 뒤, 스핀코팅법을 이용하여 PMMA 응력보호층이 적층되어 있는 그래핀 배리어 박막을 PDMS 기판상에 형성하였다. After stretching the PDMS substrate by 5% (or 10%) through a stretching machine, a graphene barrier thin film having a PMMA stress protection layer laminated thereon was formed on the PDMS substrate using a spin coating method.

이후, 그래핀 기반 가스 배리어 필름(PMMA/Graphene/PDMS)을 스트레칭 머신으로부터 분리시킴으로써 미세주름이 형성된 그래핀 기반 가스 배리어 필름을 완성하였다.After that, the graphene-based gas barrier film (PMMA/Graphene/PDMS) was separated from the stretching machine to complete the graphene-based gas barrier film with fine wrinkles.

도 2는 본 발명 실시예에서 제조된 주름을 가지는 연신 그래핀 배리어 필름을 나타내는 FE-SEM 이미지이다. 도 2a는 예비 응력을 5%로 부여한 것을 나타내며, 도 2b는 이를 회전시킨 이미지(tiled image)이다. 참고로, 도 2b에서 윗부분 주름진 부분은 실제 가스배리어 역할을 하는 박막이며, 아래 부분은 신축성 기판이다. 2 is a FE-SEM image showing a stretched graphene barrier film having wrinkles prepared in Example of the present invention. Figure 2a shows that the pre-stress is applied at 5%, and Figure 2b is a tiled image obtained by rotating it. For reference, in FIG. 2B, the upper wrinkled portion is a thin film serving as an actual gas barrier, and the lower portion is a stretchable substrate.

도 3은 본 발명 실시예에서 제조된 주름을 가지는 연신 그래핀 배리어 필름을 나타내는 FE-SEM 이미지이다. 도 3a는 예비 응력을 10%로 부여한 것을 나타내며, 도 3b는 이를 회전시킨 이미지(tiled image)이다. 참고로, 도 3b에서 윗부분 주름진 부분은 실제 가스배리어 역할을 하는 박막이며, 아래 부분은 신축성 기판이다. 3 is a FE-SEM image showing a stretched graphene barrier film having wrinkles prepared in Example of the present invention. Figure 3a shows that the preliminary stress is applied to 10%, Figure 3b is a rotated image (tiled image). For reference, in FIG. 3B, the upper wrinkled portion is a thin film serving as an actual gas barrier, and the lower portion is a stretchable substrate.

도 2 및 3에서와 같이, 그래핀 기반 가스 배리어 필름(PMMA/Graphene/PDMS)이 잘 제조되었음을 알 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3 , it can be seen that the graphene-based gas barrier film (PMMA/Graphene/PDMS) was well prepared.

도 4는 본 발명 실시예에서, 조된 주름을 가지는 연신 그래핀 배리어 필름을 나타내는 원자힘현미경(Atomic force microscope, AFM) 사진이다. 도 4a는 예비 응력을 5%로 부여한 것이고, 도 4b는 예비 응력을 10% 부여한 것이다. 도 4에서 측정 조건(measuring option)은 x방향 40um, y방향 40um의 면적을 측정한 것이다. 4 is an atomic force microscope (AFM) photograph showing a stretched graphene barrier film having coarse wrinkles in an embodiment of the present invention. FIG. 4A shows a pre-stress applied at 5%, and FIG. 4B shows a pre-stress applied at 10%. In FIG. 4, the measuring option is to measure an area of 40 μm in the x direction and 40 μm in the y direction.

도 4는 예비 응력을 5%준 주름보다 10%를 준 주름의 높이가 더 높은 것을 보여주며, 예비 응력의 정도를 조절해서 주름의 높이나 폭을 제어 할 수 있다.4 shows that the height of the wrinkles given 10% pre-stress is higher than that of the wrinkles given 5% pre-stress, and the height or width of the wrinkles can be controlled by adjusting the degree of pre-stress.

테스트 방법test method

제조된 미세주름이 형성된 그래핀 기반 가스 배리어 필름의 양 끝단에 액체 금속(liquid metal)을 이용하여 소스, 드레인 전극을 형성한 뒤 스트레칭 머신을 이용하여서 저항변화를 관찰하는 연신 테스트를 수행하였다. 참고로, 연신테스트는 직사각형 모양을 가지는 샘플의 한쪽 변(좌측변 또는 우측변)을 클립으로 고정 후 다른 반대변(우측변 또는 좌측변)을 당기면서(즉, 인장응력 인가) 저항의 변화를 관찰하는 테스트이다. 소스와 드레인 전극 사이의 거리는 10 mm이며, 샘플을 인장하는 속도는 3 mm/s 이하이다.After forming source and drain electrodes using liquid metal at both ends of the manufactured fine-wrinkled graphene-based gas barrier film, a stretching test was performed to observe the change in resistance using a stretching machine. For reference, in the stretching test, one side (left side or right side) of a sample having a rectangular shape is fixed with a clip, and the other opposite side (right side or left side) is pulled (i.e., tensile stress is applied) to measure the change in resistance. It is an observational test. The distance between the source and drain electrodes is 10 mm, and the rate of stretching the sample is 3 mm/s or less.

도 5는 본 발명 실시예에서 제조된 주름을 가지는 연신 그래핀 배리어 필름에 대한 기계적 안정성 연신 테스트(mechanical stability stretching test)(도 5a) 및 비틀림 테스트(mechanical stability twisting test)(도 5b) 결과 그래프이다.5 is a graph showing the results of a mechanical stability stretching test (FIG. 5a) and a mechanical stability twisting test (FIG. 5b) for a stretched graphene barrier film having wrinkles prepared in an example of the present invention. .

예비 응력을 주지 않은 경우(Non-prestrain) 샘플에 주름이 없기 때문에 인장응력에 의한 샘플 길이 변화율에 따라 배리어 필름이 손상을 받아 저항 변화율이 극격히 증가하는 것을 알 수 있다(검은색). When no prestress is applied (Non-prestrain), since there are no wrinkles on the sample, it can be seen that the barrier film is damaged according to the sample length change rate due to tensile stress, and the resistance change rate increases dramatically (black).

반면 5%의 예비 응력을 통해 주름을 형성 시킨 샘플은 5%의 길이 변화율까지는 주름이 펴지면서 손상이 없다가 5% 이상의 길이 변화율에서부터 필름에 손상이 생기면서 저항 변화율이 급격히 증가하게 된다. 10%의 예비 응력을 준 샘플도 같은 원리로 10%까지는 손상없이 안정적인 저항 변화율을 유지할 수 있다.On the other hand, in the sample formed with wrinkles through 5% pre-stress, wrinkles are straightened up to 5% length change rate and there is no damage. A sample subjected to 10% prestress can maintain a stable resistance change rate without damage up to 10% by the same principle.

이와 같이, 전기적 특성 결과 신축응력에서도 소재의 안정성을 가지는 것을 확인하였다. 즉, 최종적으로는 배리어 필름의 신축성을 필요에 따라 증가시키거나 줄일 수 있다. As such, as a result of electrical characteristics, it was confirmed that the material had stability even under stretching stress. That is, finally, the elasticity of the barrier film may be increased or decreased as needed.

가스 배리어 특성gas barrier properties

도 6은 본 발명 실시예에 제조된 미세 주름이 형성된 그래핀 기반 가스 배리어 적층 구조체의 가스 배리어 특성을 나타내는 그래프이다.6 is a graph showing gas barrier properties of a graphene-based gas barrier laminated structure having fine wrinkles manufactured according to an example of the present invention.

가스배리어의 WVTR측정을 위해서 Mocon 장비를 사용하였으며, 주름이 인가된 가스 배리어 필름을 거치대에 고정시키고 수분을 한쪽면으로 계속 분사하여 필름을 통과 후 반대편에서 검출되는 수분의 양을 센서가 포착, 이를 수치화 하였습니다.Mocon equipment was used to measure the WVTR of the gas barrier, and the gas barrier film with wrinkles applied was fixed to the cradle, and moisture was continuously sprayed to one side, and after passing through the film, the sensor captured the amount of moisture detected on the other side. digitized.

이상에서 본 발명의 비제한적이고 예시적인 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 기술 사상은 첨부 도면이나 상기 설명 내용에 한정되지 않는다. 본 발명의 기술 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 변형이 가능함이 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하며, 또한, 이러한 형태의 변형은 본 발명의 특허청구범위에 속한다고 할 것이다. Although non-limiting and exemplary embodiments of the present invention have been described above, the technical idea of the present invention is not limited to the accompanying drawings or the above description. It is obvious to those skilled in the art that various types of modifications are possible within the scope of the technical spirit of the present invention, and also, these types of modifications will fall within the scope of the claims of the present invention.

Claims (16)

주름을 구비한 신축성 가스 배리어 적층 구조체로서,
신축성 기판; 및
상기 신축성 기판 상에 형성되는 가스 배리어 특성을 가지는 막;을 포함하고,
상기 가스 배리어 막은 적어도 하나의 주름을 포함하고, 상기 가스 배리어 막에 응력 보호층을 더 포함하고, 상기 응력 보호층은 가스 배리어 특성을 가지는 막에 가해지는 응력을 최소화시키는, 가스 배리어 적층 구조체.
A stretchable gas barrier laminated structure having pleats,
stretchable substrate; and
A film having gas barrier properties formed on the stretchable substrate;
The gas barrier layer includes at least one wrinkle, and further includes a stress protection layer on the gas barrier layer, wherein the stress protection layer minimizes stress applied to the film having gas barrier properties.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 응력 보호층은 신축성을 가지는, 가스 배리어 적층 구조체.
According to claim 1,
The stress protection layer has elasticity, the gas barrier laminate structure.
제 1 항에 있어서,
상기 주름은 일방성 주름 또는 등방성 주름 또는 불규칙적인 패턴의 주름인, 가스 배리어 적층 구조체.
According to claim 1,
The wrinkles are unidirectional wrinkles or isotropic wrinkles or irregular patterned wrinkles, the gas barrier laminate structure.
제 4 항에 있어서,
상기 주름은 1nm 이상 500㎛ 이하의 높이를 가지며 10nm 이상 500㎛ 이하의 주기를 가지는 패턴인, 가스 배리어 적층 구조체.
According to claim 4,
The wrinkles are a pattern having a height of 1 nm or more and 500 μm or less and a period of 10 nm or more and 500 μm or less.
제 1 항에 있어서,
상기 가스 배리어 적층 구조체의 신축성은 1% 이상 1000% 미만인, 가스 배리어 적층 구조체.
According to claim 1,
The gas barrier laminate structure has an elasticity of 1% or more and less than 1000%.
제 1 항에 있어서,
상기 가스 배리어 막의 가스 배리어 특성은 WVTR 1x10-4 g/m2·day 이상인, 가스 배리어 적층 구조체.
According to claim 1,
Gas barrier properties of the gas barrier film is WVTR 1x10 -4 g / m 2 · day or more, the gas barrier laminated structure.
제 1 항에 있어서,
상기 가스 배리어 막은 그래핀 막인, 적층 구조체.
According to claim 1,
The gas barrier film is a graphene film, a laminated structure.
제 1 항에 있어서,
상기 신축성 기판은 형상 기억 소재로 이루어진, 적층 구조체.
According to claim 1,
The stretchable substrate is made of a shape memory material.
제 1 항 및 제 3 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항의 가스 배리어 적층 구조체를 포함하는, 전자 기기.
An electronic device comprising the gas barrier laminated structure according to any one of claims 1 and 3 to 9.
신축성 기판을 제공하는 단계;
가스 배리어 막에 응력 보호층을 형성하는 단계; 및
상기 신축성 기판 상에 가스 배리어 막을 형성하고 가스 배리어 막에 주름을 부여하는 단계;를 포함하며,
상기 응력 보호층은 가스 배리어 특성을 가지는 막에 가해지는 응력을 최소화시키는, 가스 배리어 적층 구조체 제조 방법
providing a stretchable substrate;
forming a stress protection layer on the gas barrier film; and
Forming a gas barrier film on the stretchable substrate and providing wrinkles to the gas barrier film;
The stress protection layer minimizes the stress applied to the film having gas barrier properties, a gas barrier laminate structure manufacturing method
제 11 항에 있어서,
상기 주름을 부여하는 단계는, 신축성 기판에 예비 응력을 인가하는 단계;
예비 응력이 인가된 신축성 기판에 가스 배리어 막을 적층하는 단계; 및
예비 응력을 제거하는 단계;를 포함하는, 가스 배리어 적층 구조체 제조 방법.
According to claim 11,
Applying the wrinkles may include applying a pre-stress to the stretchable substrate;
laminating a gas barrier film on the stretchable substrate to which a prestress has been applied; and
A method of manufacturing a gas barrier laminated structure comprising the steps of removing pre-stress.
삭제delete 제 12 항에 있어서,
상기 신축성 기판은 형상 기억 고분자로 이루어지는 것이고,
예비 응력 인가에 의하여 상기 신축성 기판은 신축 상태로 고정되고, 에너지를 인가하면 신축 전 상태로 회복되는, 가스 배리어 적층 구조체 제조 방법.
According to claim 12,
The stretchable substrate is made of a shape memory polymer,
The method of manufacturing a gas barrier laminate structure, wherein the stretchable substrate is fixed in a stretchable state by applying a preliminary stress and restored to a pre-stretched state when energy is applied.
제 11 항에 있어서,
상기 주름을 부여하는 단계는, 주름을 가지는 신축성 기판에 가스 배리어 막을 기판 주름에 대응하도록 적층하는, 가스 배리어 적층 구조체 제조 방법.
According to claim 11,
In the step of applying the wrinkles, the gas barrier layer is laminated on the stretchable substrate having the wrinkles to correspond to the substrate wrinkles.
제 11 항에 있어서,
상기 주름을 부여하는 단계는, 가스 배리어 필름 제조 시 주름이 직접 인가되도록 하는, 가스 배리어 적층 구조체 제조 방법.
According to claim 11,
In the step of applying the wrinkles, the gas barrier laminated structure manufacturing method allows the wrinkles to be directly applied during manufacturing of the gas barrier film.
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