KR102524604B1 - Apparatus for imprint and imprint method using the same - Google Patents

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Abstract

임프린트 장치는 피처리 기판을 지지하는 스테이지, 상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임, 상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임, 상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부, 상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부, 상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부, 및 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함한다.The imprint apparatus includes a stage supporting a substrate to be processed, a first frame movable in a horizontal direction on the stage, a second frame movable in a vertical direction with respect to the first frame, and a first vertical moving unit moving the second frame. , a first pressure roller support part movable in the vertical direction with respect to the second frame, a second pressure roller support part movable in the vertical direction with respect to the second frame and spaced apart from the first pressure roller support part, the first pressure roller support part A first fine vertical movement unit for moving the pressure roller support, a second fine vertical movement for moving the second pressure roller support, and a pressure roller supported by the first and second pressure roller supports. include

Figure R1020170172203
Figure R1020170172203

Description

임프린트 장치 및 이를 이용한 임프린트 방법{APPARATUS FOR IMPRINT AND IMPRINT METHOD USING THE SAME}Imprint device and imprint method using the same {APPARATUS FOR IMPRINT AND IMPRINT METHOD USING THE SAME}

본 발명은 임프린트 장치 및 상기 임프린트 장치를 이용한 임프린트 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가압롤을 이용하는 임프린트 장치 및 상기 임프린트 장치를 이용한 임프린트 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an imprint device and an imprint method using the imprint device, and more particularly, to an imprint device using a pressure roll and an imprint method using the imprint device.

최근 들어, 기술의 발전에 힘입어 소형, 경량화 되면서 성능은 더욱 뛰어난 디스플레이 제품들이 생산되고 있다. 지금까지 디스플레이 장치에는 기존 브라운관 텔레비전(cathode ray tube: CRT)이 성능이나 가격 면에서 많은 장점을 가지고 널리 사용되었으나, 소형화 또는 휴대성의 측면에서 CRT의 단점을 극복하고, 소형화, 경량화 및 저전력 소비 등의 장점을 갖는 표시 장치, 예를 들면 플라즈마 표시 장치, 액정 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 등이 주목을 받고 있다. In recent years, thanks to the development of technology, smaller and lighter display products with better performance are being produced. Conventional cathode ray tube (CRT) has been widely used as a display device with many advantages in terms of performance and price. A display device having advantages, such as a plasma display device, a liquid crystal display device, and an organic light emitting display device, is attracting attention.

상기 표시 장치들의 구성을 임프린트 방법에 의해 형성하기 위한 노력이 있었다. 예를 들면, 임프린트 방법등에 의해 와이어 그리드 편광 소자, 나아가 미세 패턴들을 형성할 수 있다. 그러나, 상기 임프린트 방법에 있어서, 임프린트 레진층에 균일한 임프린트 패턴이 전사 되도록하기 위해서는, 스탬프를 상기 임프린트 레진층에 균일하게 가압할 필요가 있다. Efforts have been made to form the configuration of the display devices by an imprint method. For example, a wire grid polarizing element and further fine patterns may be formed by an imprint method or the like. However, in the imprint method, in order to transfer a uniform imprint pattern to the imprint resin layer, it is necessary to uniformly press the stamp onto the imprint resin layer.

이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 균일한 가압이 가능한 가압 롤러를 포함하는 임프린트 장치를 제공하는 것이다. Therefore, the technical problem of the present invention has been focused on this point, and an object of the present invention is to provide an imprint apparatus including a pressure roller capable of uniform pressure.

본 발명의 다른 목적은 임프린트 장치를 이용한 임프린트 방법을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an imprint method using an imprint device.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 임프린트 장치는 피처리 기판을 지지하는 스테이지, 상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임, 상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임, 상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부, 상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부, 상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부, 및 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함한다.An imprint apparatus according to an embodiment for realizing the object of the present invention described above includes a stage supporting a substrate to be processed, a first frame movable in a horizontal direction on the stage, and a first frame movable in a vertical direction with respect to the first frame. 2 frames, a first vertical moving part for moving the second frame, a first pressure roller support part movable in the vertical direction with respect to the second frame, and movable in the vertical direction with respect to the second frame and with respect to the first A second pressure roller support spaced apart from the pressure roller support, a first fine vertical movement unit moving the first pressure roller support, a second fine vertical movement unit moving the second pressure roller support, and the first pressure roller and a pressure roller supported by a support portion and the second pressure roller support portion.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 프레임 사이에 배치되는 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부에 의해 상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에 대해 상기 수직 방향으로만 이동 가능할 수 있다. 상기 제1 수직 이동부는 상기 제1 프레임에 설치되어 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향을 따라 이동 시킬 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint apparatus further includes a first vertical linear guide disposed between the second frame and the first frame and a first vertical linear guide coupling part coupled to the first vertical linear guide. can do. The second frame may be movable only in the vertical direction with respect to the first frame by the first vertical linear guide and the first vertical linear guide coupling part. The first vertical movement unit may be installed on the first frame to move the second frame along the vertical direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제1 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동 시킬 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint device includes a first fine vertical linear guide disposed between the second frame and the first pressure roller support and a first fine vertical linear coupled to the first fine vertical linear guide. It may further include a guide coupling part. The first fine vertical movement unit may be installed on the second frame to move the first pressure roller support in the vertical direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동 시킬 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint device includes a second fine vertical linear guide disposed between the second frame and the second pressure roller support and a second fine vertical linear coupled to the second fine vertical linear guide. It may further include a guide coupling part. The second minute vertical movement unit may be installed on the second frame to move the second pressure roller support in the vertical direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 센서부, 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 센서부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 및 제2 센서부는 각각 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이의 압력을 측정할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint device includes a first sensor unit disposed between the first fine vertical movement unit and the first pressure roller support unit, and the second fine vertical movement unit and the second pressure roller. A second sensor unit disposed between the support units may be further included. The first and second sensor units may respectively measure pressure between the first fine vertical movement unit and the first pressure roller support and between the second fine vertical movement unit and the second pressure roller support.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 및 제2 센서부는 로드셀(load cell) 또는 정전용량(cap) 타입의 압력 센서일 수 있다. In one embodiment of the present invention, the first and second sensor units may be load cells or capacitance type pressure sensors.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 제1 수평 리니어 가이드가 형성되는 지지부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 프레임에는 상기 제1 수평 리니어 가이드와 결합하는 제1 수평 리니어 가이드 결합부가 형성되어, 상기 제1 프레임은 상기 제1 수평 리니어 가이드를 따라 상기 수평 방향으로 이동할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint device may further include a support on which a first horizontal linear guide is formed. A first horizontal linear guide coupling part coupled to the first horizontal linear guide is formed on the first frame, so that the first frame can move in the horizontal direction along the first horizontal linear guide.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부는 상기 가압 롤러를 사이에 두고 각각 좌측 및 우측에 배치되어, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부는 상기 수평 방향 및 상기 수직 방향과 수직한 방향으로 서로 이격될 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부는 각각 독립적으로 구동 가능할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the first pressure roller support portion and the second pressure roller support portion are disposed on the left and right sides, respectively, with the pressure roller interposed therebetween, and the first pressure roller support portion and the second pressure roller support portion The support parts may be spaced apart from each other in a direction perpendicular to the horizontal direction and the vertical direction. The first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit may be independently driven.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 필름을 제공하는 제1 롤, 상기 필름을 회수하는 제2 롤, 및 상기 필름 상에 스탬프를 제공하는 스탬프 제공부를 더 포함할 수 있다. 상기 가압 롤러가 상기 스탬프가 형성된 상기 필름을 상기 스테이지 상의 상기 피처리 기판에 가압하고, 상기 가압 롤러를 상기 수평 방향으로 진행시켜 임프린트 공정을 수행할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint apparatus may further include a first roll providing a film, a second roll collecting the film, and a stamp providing unit providing a stamp on the film. An imprint process may be performed by pressing the film on which the stamp is formed with the pressure roller on the processing target substrate on the stage and moving the pressure roller in the horizontal direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 수직 이동부는 서보 모터 이고, 상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부는 각각 피에조 모터일 수 있다. In one embodiment of the present invention, the first vertical movement unit may be a servo motor, and each of the first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit may be a piezo motor.

상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 임프린트 방법은 스테이지, 상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임, 상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임, 상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부, 상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부, 상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함하는 임프린트 장치를 이용할 수 있다. 상기 임프린트 방법은 상기 스테이지 상에 피처리 기판을 로딩(loading)하는 준비 단계, 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 제1 위치까지 1차적으로 이동시키는 수직 이동 단계, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부를 독립적으로 이동 시켜 상기 가압 롤러를 상기 피처리 기판을 가압하는 가압 위치인 제2 위치까지 이동시키는 미세 수직 이동 단계, 및 상기 제1 프레임을 상기 수평 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 상기 피처리 기판 상에서 상기 수평 방향으로 이동시키는 가압 단계를 포함할 수 있다. An imprint method according to an embodiment for realizing the object of the present invention described above includes a stage, a first frame movable in a horizontal direction on the stage, a second frame movable in a vertical direction with respect to the first frame, and the second frame. A first vertical movement unit for moving a frame, a first pressure roller support unit movable in the vertical direction with respect to the second frame, and movable in the vertical direction with respect to the second frame and spaced apart from the first pressure roller support unit. A second pressure roller support part, a first fine vertical movement part moving the first pressure roller support part, a second fine vertical movement part moving the second pressure roller support part, the first pressure roller support part, and the second pressure roller An imprint apparatus including a pressure roller supported by a support may be used. The imprint method may include a preparation step of loading a substrate to be processed on the stage, a vertical movement step of primarily moving the pressure roller to a first position by moving the second frame in the vertical direction, A fine vertical movement step of independently moving the first pressure roller support and the second pressure roller support to move the pressure roller to a second position that is a pressure position for pressing the substrate to be processed, and moving the first frame to the horizontal and a pressing step of moving the pressure roller in the horizontal direction on the target substrate by moving the pressure roller in the horizontal direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 방법은 상기 임프린트 장치의 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 미리 보정하는 위치 보정 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 위치 보정 단계는, 상기 가압 롤러의 가압 상태를 시험하는 임프린트 상태를 시험하는 단계, 상기 가압 상태를 바탕으로, 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 보정하는 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계, 및 보정된 상기 가압 위치를 이용하여 상기 가압 롤러의 가압 상태를 확인하는 확인 단계를 포함할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint method may further include a position correction step of pre-correcting the press position of the press roller of the imprint apparatus. The position correction step may include testing an imprint state of testing a press state of the press roller, a press position correcting step of the press roller correcting the press position of the press roller based on the press state, and correcting the press position of the press roller. A confirmation step of confirming a pressing state of the pressing roller using the pressing position may be included.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 센서부, 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 센서부를 더 포함하고, 상기 제1 및 제2 센서부는 각각 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이의 압력을 측정할 수 있다. 상기 위치 보정 단계의 상기 임프린트 상태를 시험하는 단계는, 상기 가압 롤러로 상기 피처리 기판을 가압하며, 상기 제1 센서부의 제1 기준 압력값 및 상기 제2 센서부의 제2 기준 압력값을 측정하고, 이와 동시에 상기 피처리 기판과 상기 가압 롤러 사이에 감압지를 위치시켜, 상기 가압 상태를 측정할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint device includes a first sensor unit disposed between the first fine vertical movement unit and the first pressure roller support unit, and the second fine vertical movement unit and the second pressure roller. A second sensor unit disposed between the support units, wherein the first and second sensor units are respectively located between the first fine vertical movement unit and the first pressure roller support and between the second fine vertical movement unit and the second pressure roller support unit. The pressure between the roller supports can be measured. In the step of testing the imprint state of the position correction step, the substrate to be processed is pressed with the pressure roller, and a first reference pressure value of the first sensor unit and a second reference pressure value of the second sensor unit are measured, , At the same time, by placing a pressure-sensitive paper between the target substrate and the pressure roller, the pressure state may be measured.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계는, 상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 이동 시켜, 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 균일하게 가압하기 위한 보정된 가압 위치를 결정할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the step of calibrating the pressing position of the pressure roller may independently move the first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit so that the pressure roller uniformly spreads the substrate to be processed. A calibrated pressing position for pressing can be determined.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 확인 단계는 상기 보정된 상기 가압 위치를 이용하여 상기 가압 롤러로 상기 스테이지상의 새로운 감압지를 가압하여 가압 상태를 확인하고, 이때, 상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부가 측정하는 압력값인 제1 보정 압력값 및 제2 보정 압력값을 보정된 압력값으로 결정할 수 있다. In one embodiment of the present invention, in the checking step, a new pressure-sensitive paper on the stage is pressed with the pressure roller using the corrected pressure position to confirm a pressure state, and at this time, the first sensor unit and the first pressure paper are pressed. The first corrected pressure value and the second corrected pressure value, which are pressure values measured by the two sensors, may be determined as the corrected pressure value.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 미세 수직 이동 단계에서는, 상기 제1 및 제2 센서부는 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정하고, 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 구동할 수 있다. In one embodiment of the present invention, in the fine vertical movement step, the first and second sensor units continuously measure pressure while the pressure roller presses the processing target substrate, and the first correction pressure value and The first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit may be independently driven so as not to deviate from the second correction pressure value.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가압 단계에서는, 상기 제1 및 제2 센서부는 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정하고, 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 구동할 수 있다. In one embodiment of the present invention, in the pressing step, the first and second sensor units continue to measure pressure while the pressing roller presses the processing target substrate, and the first corrected pressure value and the first correction pressure value 2 The first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit may be independently driven so as not to deviate from the corrected pressure value.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 프레임 사이에 배치되는 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부에 의해 상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에 대해 상기 수직 방향으로만 이동 가능하며, 상기 제1 수직 이동부는 상기 제1 프레임에 설치되어 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향을 따라 이동 시킬 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint apparatus further includes a first vertical linear guide disposed between the second frame and the first frame and a first vertical linear guide coupling part coupled to the first vertical linear guide. can do. The second frame is movable only in the vertical direction with respect to the first frame by the first vertical linear guide and the first vertical linear guide coupling part, and the first vertical moving part is installed on the first frame The second frame may be moved along the vertical direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제1 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동시킬 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint device includes a first fine vertical linear guide disposed between the second frame and the first pressure roller support and a first fine vertical linear coupled to the first fine vertical linear guide. It may further include a guide coupling part. The first minute vertical movement unit may be installed on the second frame to move the first pressure roller support in the vertical direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동시켜, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부는 별개로 구동될 수 있다. In one embodiment of the present invention, the imprint device includes a second fine vertical linear guide disposed between the second frame and the second pressure roller support and a second fine vertical linear coupled to the second fine vertical linear guide. It may further include a guide coupling part. The second fine vertical movement unit is installed on the second frame to move the second pressure roller support along the vertical direction, so that the first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit can be driven separately. .

본 발명의 실시예들에 따른 임프린트 장치 및 임프린트 방법에 따르면, 제2 프레임을 수직 방향으로 이동시켜, 가압 롤러를 제1 위치까지 1차적으로 이동시킨 후, 제1 가압 롤러 지지부 및 제2 가압 롤러 지지부를 독립적으로 이동 시켜, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 가압 위치인 제2 위치까지 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 가압 롤러의 가압 위치를 정밀하게 이동시킬 수 있고, 임프린트 공정에 있어서 균일한 가압이 가능하다. According to the imprint apparatus and the imprint method according to embodiments of the present invention, after moving the second frame in the vertical direction to primarily move the pressure roller to the first position, the first pressure roller support and the second pressure roller By independently moving the support part, the first pressure roller support part and the second pressure roller support part may be moved in the vertical direction to move the pressure roller to the second position, which is the pressure position. Accordingly, the pressing position of the pressing roller can be precisely moved, and uniform pressing is possible in the imprint process.

또한, 상기 임프린트 장치는 제1 센서부 및 제2 센서부를 포함하고, 상기 제1 및 제2 센서부를 통해 측정된 압력값을 이용하여, 제1 및 제2 미세 수직 이동부들을 구동하여, 균일한 가압이 가능하게 할 수 있다. In addition, the imprint device includes a first sensor unit and a second sensor unit, and drives the first and second fine vertical moving units using pressure values measured through the first and second sensor units to obtain uniform uniformity. Pressurization can be made possible.

또한, 상기 임프린트 방법은 상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부를 통해 측정된 압력값을 이용하여, 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 미리 보정하는 위치 보정 단계를 더 포함할 수 있으며, 이에 따라 균일한 가압이 가능하게 할 수 있다. In addition, the imprint method may further include a position correction step of pre-correcting the pressure position of the pressure roller using the pressure values measured through the first sensor unit and the second sensor unit, thereby uniformly One pressurization can be made possible.

다만, 본 발명의 효과는 상기 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다. However, the effects of the present invention are not limited to the above effects, and may be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 장치를 간략히 나타낸 측면도이다.
도 2는 도 1의 임프린트 장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 임프린트 방법을 나타낸 순서도이다.
도 4는 도 3의 위치 보정 단계를 상세히 나타낸 순서도이다.
도 5는 도 3의 임프린트 방법을 나타낸 순서도이다. 1 is a side view schematically illustrating an imprint apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the imprint apparatus of FIG. 1 .
3 is a flowchart illustrating an imprint method according to another embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a flowchart illustrating the position correction step of FIG. 3 in detail.
5 is a flowchart illustrating the imprint method of FIG. 3 .

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 장치를 간략히 나타낸 측면도이다. 1 is a side view schematically illustrating an imprint apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 상기 임프린트 장치는 제1 롤(20), 제2 롤(30), 제1 가이드 롤러(40), 제2 가이드 롤러(50), 스탬프 제공부(60), 스테이지(100) 및 가압 롤러(500)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , the imprint apparatus includes a first roll 20, a second roll 30, a first guide roller 40, a second guide roller 50, a stamp providing unit 60, and a stage 100. ) and a pressure roller 500.

상기 제1 롤(20)은 필름(2)을 제공하고, 상기 필름(2)은 상기 제2 롤(30)로 회수될 수 있다. 즉, 상기 제1 롤(20)과 상기 제2 롤(30)이 회전하면, 상기 제1 롤(20)에 감겨 있던 상기 필름(2)이 상기 스탬프 제공부(60), 상기 제1 가이드 롤러(40), 상기 가압 롤러(500) 및 상기 제2 가이드 롤러(50)를 지나 상기 제2 롤(30)에 감길 수 있다. The first roll 20 provides the film 2 , and the film 2 may be returned to the second roll 30 . That is, when the first roll 20 and the second roll 30 rotate, the film 2 wound around the first roll 20 is transferred to the stamp providing unit 60 and the first guide roller. 40 , the pressure roller 500 and the second guide roller 50 may be wound around the second roll 30 .

상기 제1 롤(20)에 감겨져 있는 상기 필름(2)이 상기 스탬프 제공부(60)로 제공될 수 있다. 상기 스탬프 제공부(60)에서는 상기 필름(2) 상에 패턴이 형성된 스탬프(미도시)를 제공할 수 있다. The film 2 wound around the first roll 20 may be provided to the stamp providing unit 60 . The stamp providing unit 60 may provide a stamp (not shown) on which a pattern is formed on the film 2 .

상기 스탬프가 형성된 상기 필름(2)은 상기 제1 가이드 롤러(40) 및 상기 제2 가이드 롤러(50)에 의해 가이드 되면서, 상기 가압 롤러(500)에 의해 상기 피처리 기판(10) 상에 가압될 수 있다. 예를 들면, 상기 가압 롤러(500)가 수직 방향인 제3 방향(D3)을 따라 하강하여 상기 필름(20)을 상기 피처리 기판(10) 상에 접촉시키고, 상기 가압 롤러(500)를 수평 방향인 제1 방향(D1)으로 이동 시킬 수 있다. 이에 따라 상기 피처리 기판(10) 상의 임프린트 레진층에 상기 스탬프의 패턴이 전사(imprint)될 수 있다. The film 2 on which the stamp is formed is pressed onto the substrate 10 by the pressure roller 500 while being guided by the first guide roller 40 and the second guide roller 50. It can be. For example, the pressure roller 500 descends along the third direction D3, which is a vertical direction, to bring the film 20 into contact with the processing target substrate 10, and the pressure roller 500 is moved horizontally. It can be moved in the first direction D1, which is the direction. Accordingly, the pattern of the stamp may be imprinted on the imprint resin layer on the substrate 10 to be processed.

도시하지 않았으나, 상기 임프린트 장치는 상기 패턴이 전사된 상기 피처리 기판(10) 상의 상기 임프린트 레진층에 자외선을 조사하는 UV 조사부를 더 포함할 수 있다. 상기 패턴이 전사된 상기 피처리 기판(10) 상의 상기 임프린트 레진층은 상기 UV 조사부에서 발생한 상기 자외선에 의해 경화될 수 있다. 이후, 상기 가압 롤(500), 상기 제1 및 제2 가이드 롤러(40, 50)들이 이동하여, 상기 스탬프가 형성된 상기 필름(2)이 상기 피처리 기판(10)으로부터 분리될 수 있다. Although not shown, the imprint apparatus may further include a UV irradiation unit for irradiating ultraviolet rays to the imprint resin layer on the processing target substrate 10 on which the pattern is transferred. The imprint resin layer on the processing target substrate 10 to which the pattern is transferred may be cured by the ultraviolet rays generated from the UV irradiation unit. Thereafter, the pressure roll 500 and the first and second guide rollers 40 and 50 move, so that the film 2 on which the stamp is formed can be separated from the substrate 10 to be processed.

임프틴트에 사용된 상기 필름(2)은 상기 제2 롤(30)에 제공되어, 상기 제2 롤(30)에 권취될 수 있다. 상기 절차가 반복되어 복수개의 피처리 기판에 임프린트 공정을 진행할 수 있다. The film 2 used for impinting may be provided to the second roll 30 and wound around the second roll 30 . By repeating the above procedure, the imprint process may be performed on a plurality of target substrates.

도 2는 도 1의 임프린트 장치의 단면도이다. FIG. 2 is a cross-sectional view of the imprint apparatus of FIG. 1 .

도 1 및 2를 참조하면, 상기 임프린트 장치는 스테이지(100), 지지부(110), 제1 수평 리니어 가이드(120a), 제2 수평 리니어 가이드(120b), 제1 프레임(200), 제1 수평 리니어 가이드 결합부(210a), 제2 수평 리니어 가이드 결합부(210b), 제1 수직 리니어 가이드(220a), 제2 수직 리니어 가이드(220b), 제1 수직 이동부(230a), 제2 수직 이동부(230b), 제2 프레임(300), 제1 수직 리니어 가이드 결합부(310a), 제2 수직 리니어 가이드 결합부(310b), 제1 미세 수직 리니어 가이드(320a), 제2 미세 수직 리니어 가이드(320b), 제1 미세 수직 이동부(330a), 제2 미세 수직 이동부(330b), 제1 가압 롤러 지지부(400a), 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410a), 제1 센서부(420a), 제2 가압 롤러 지지부(400b), 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410b), 제2 센서부(420b), 및 가압 롤러(500)를 포함할 수 있다. 1 and 2, the imprint apparatus includes a stage 100, a support 110, a first horizontal linear guide 120a, a second horizontal linear guide 120b, a first frame 200, and a first horizontal linear guide 120a. Linear guide coupling part 210a, second horizontal linear guide coupling part 210b, first vertical linear guide 220a, second vertical linear guide 220b, first vertical movement part 230a, second vertical movement Part 230b, second frame 300, first vertical linear guide coupling portion 310a, second vertical linear guide coupling portion 310b, first fine vertical linear guide 320a, second fine vertical linear guide (320b), the first fine vertical movement part 330a, the second fine vertical movement part 330b, the first pressure roller support part 400a, the first fine vertical linear guide coupling part 410a, the first sensor unit ( 420a), a second pressure roller support part 400b, a second fine vertical linear guide coupling part 410b, a second sensor part 420b, and a pressure roller 500.

스테이지(100)는 제1 방향(D1) 및 상기 제1 방향(D1)에 수직한 제2 방향(D2)이 형성하는 평면 상에 배치될 수 있다. 상기 스테이지(100) 상에는 피처리 기판(10)이 놓여질 수 있다. The stage 100 may be disposed on a plane formed by a first direction D1 and a second direction D2 perpendicular to the first direction D1. A target substrate 10 may be placed on the stage 100 .

상기 지지부(110) 상에는 상기 제1 수평 리니어 가이드(120a) 및 상기 제2 수평 리니어 가이드(120b)가 배치될 수 있다. 상기 제1 수평 리니어 가이드(120a) 및 상기 제2 수평 리니어 가이드(120b)는 상기 제1 프레임(200)이 상기 제1 방향(D1)을 따라 수평으로 이동하도록 가이드할 수 있다. The first horizontal linear guide 120a and the second horizontal linear guide 120b may be disposed on the support part 110 . The first horizontal linear guide 120a and the second horizontal linear guide 120b may guide the first frame 200 to move horizontally along the first direction D1.

상기 제1 프레임(200)은 상기 스테이지(100) 상에서 상기 제1 방향(D1)을 따라 이동할 수 있다. 상기 제1 프레임(200)에는 상기 제1 수평 리니어 가이드 결합부(210a), 상기 제2 수평 리니어 가이드 결합부(210b), 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)가 설치될 수 있다. The first frame 200 may move along the first direction D1 on the stage 100 . The first frame 200 includes the first horizontal linear guide coupling part 210a, the second horizontal linear guide coupling part 210b, the first vertical moving part 230a and the second vertical moving part 230b. ) can be installed.

상기 제1 수평 리니어 가이드 결합부(210a) 및 상기 제2 수평 리니어 가이드 결합부(210b)는 각각 상기 제1 수평 리니어 가이드(120a) 및 상기 제2 수평 리니어 가이드(120b)에 결합되어, 상기 제1 프레임(200)이 상기 제1 방향(D1)을 따라 이동하도록 할 수 있다. 상기 제1 프레임(200)은 서보 모터 등 알려진 다양한 구동 수단 등에 의해 상기 제1 방향(D1)을 따라 이동할 수 있다. The first horizontal linear guide coupling part 210a and the second horizontal linear guide coupling part 210b are coupled to the first horizontal linear guide 120a and the second horizontal linear guide 120b, respectively. One frame 200 may move along the first direction D1. The first frame 200 may move along the first direction D1 by various known driving means such as a servo motor.

상기 제1 수직 리니어 가이드(220a) 및 상기 제2 수직 리니어 가이드(220b)는 상기 제2 프레임(300)이 수직 방향인 제3 방향(D3)을 따라 수직으로 이동하도록 가이드할 수 있다. 도 2를 기준으로, 상기 제1 수직 리니어 가이드(220a) 및 상기 제2 수직 리니어 가이드(220b)는 각각 상기 제1 프레임(200)의 좌측 및 우측에 배치될 수 있다. The first vertical linear guide 220a and the second vertical linear guide 220b may guide the second frame 300 to move vertically along the third direction D3, which is a vertical direction. Referring to FIG. 2 , the first vertical linear guide 220a and the second vertical linear guide 220b may be disposed on left and right sides of the first frame 200, respectively.

상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)는 상기 제2 프레임(300)을 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동시킬 수 있다. 도 2를 기준으로, 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)는 상기 제1 프레임(200)의 좌우 측에 각각 설치되어, 상기 제2 프레임(300)을 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)는 선형 운동 가능한 서보 모터 등 이동 변위를 제어할 수 있는 알려진 다양한 구동 수단으로 구현될 수 있다. The first vertical moving part 230a and the second vertical moving part 230b may move the second frame 300 along the third direction D3. 2, the first vertical moving part 230a and the second vertical moving part 230b are installed on the left and right sides of the first frame 200, respectively, so that the second frame 300 It may be moved along the third direction D3. The first vertical movement unit 230a and the second vertical movement unit 230b may be implemented with various known driving means capable of controlling movement displacement, such as a servo motor capable of linear movement.

상기 제2 프레임(300)에는 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부(310a), 상기 제2 수직 리니어 가이드 결합부(310b), 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드(320a) 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드(320b), 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)가 설치될 수 있다. The second frame 300 includes the first vertical linear guide coupling part 310a, the second vertical linear guide coupling part 310b, the first fine vertical linear guide 320a and the second fine vertical linear guide. 320b, the first fine vertical movement part 330a and the second fine vertical movement part 330b may be installed.

상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부(310a) 및 상기 제2 수직 리니어 가이드 결합부(310b)는 각각 상기 제1 수직 리니어 가이드(220a) 및 상기 제2 수직 리니어 가이드(220b)에 결합되어, 상기 제2 프레임(300)이 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동하도록 할 수 있다. The first vertical linear guide coupling part 310a and the second vertical linear guide coupling part 310b are coupled to the first vertical linear guide 220a and the second vertical linear guide 220b, respectively. The second frame 300 may move along the third direction D3.

상기 제1 미세 수직 리니어 가이드(320a)는 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)가 상기 제3 방향(D3)을 따라 수직으로 이동하도록 가이드할 수 있다. The first fine vertical linear guide 320a may guide the first pressure roller support 400a to vertically move along the third direction D3.

상기 제2 미세 수직 리니어 가이드(320b)는 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)가 상기 제3 방향(D3)을 따라 수직으로 이동하도록 가이드할 수 있다. The second fine vertical linear guide 320b may guide the second pressure roller support 400b to vertically move along the third direction D3.

상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 각각 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)을 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동시킬 수 있다. 도 2를 기준으로, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 상기 제2 프레임(300)의 좌우 측에 각각 설치되어, 각각 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)을 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 선형 운동 가능한 서보 모터 등 이동 변위를 제어할 수 있는 알려진 다양한 구동 수단으로 구현될 수 있다. 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)보다 더 정밀한 제어가 가능한 구동 수단을 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 상기 제1 수직 이동부(230a) 및 상기 제2 수직 이동부(230b)는 서보 모터가 사용되고, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)는 피에조 모터 등이 사용될 수 있다. The first fine vertical movement part 330a and the second fine vertical movement part 330b respectively move the first pressure roller support part 400a and the second pressure roller support part 400b in the third direction D3. can be moved along Referring to FIG. 2 , the first fine vertical movement part 330a and the second fine vertical movement part 330b are installed on the left and right sides of the second frame 300, respectively, and are respectively the first pressure roller support part. (400a) and the second pressure roller support portion (400b) may be moved along the third direction (D3). The first fine vertical movement unit 330a and the second fine vertical movement unit 330b may be implemented with various known driving means capable of controlling movement displacement, such as a servo motor capable of linear movement. The first fine vertical movement unit 330a and the second fine vertical movement unit 330b are driving means capable of more precise control than the first vertical movement unit 230a and the second vertical movement unit 230b. It is preferable to use For example, servo motors are used for the first vertical movement unit 230a and the second vertical movement unit 230b, and the first fine vertical movement unit 330a and the second fine vertical movement unit 330b A piezo motor or the like may be used.

상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)에는 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410a)가 설치될 수 있다. 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410a)는 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드(320a)에 결합되어, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)가 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동하도록 할 수 있다. The first fine vertical linear guide coupling part 410a may be installed in the first pressure roller support part 400a. The first fine vertical linear guide coupling part 410a may be coupled to the first fine vertical linear guide 320a so that the first pressure roller support part 400a moves along the third direction D3. there is.

상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)에는 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410b)가 설치될 수 있다. 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부(410b)는 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드(320b)에 결합되어, 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)가 상기 제3 방향(D3)을 따라 이동하도록 할 수 있다. The second fine vertical linear guide coupling part 410b may be installed in the second pressure roller support part 400b. The second fine vertical linear guide coupling part 410b is coupled to the second fine vertical linear guide 320b so that the second pressure roller support part 400b moves along the third direction D3. there is.

상기 제1 센서부(420a)는 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 사이에 배치되어, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 사이에 걸리는 압력을 측정할 수 있다. 상기 제1 센서부(420a)는 로드셀(load cell) 또는 정전용량(cap) 타입의 압력 센서 일 수 있다. The first sensor unit 420a is disposed between the first fine vertical movement part 330a and the first pressure roller support part 400a, and the first fine vertical movement part 330a and the first pressure roller support part 400a. Pressure applied between the support portions 400a may be measured. The first sensor unit 420a may be a load cell or cap type pressure sensor.

상기 제2 센서부(420b)는 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)와 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b) 사이에 배치되어, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b) 사이에 걸리는 압력을 측정할 수 있다. 상기 제2 센서부(420b)는 로드셀(load cell) 또는 정전용량(cap) 타입의 압력 센서 일 수 있다. The second sensor part 420b is disposed between the second fine vertical movement part 330b and the second pressure roller support part 400b, and the first fine vertical movement part 330a and the second pressure roller support part 400b. Pressure applied between the support portions 400b may be measured. The second sensor unit 420b may be a load cell or cap type pressure sensor.

상기 가압 롤러(500)가 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)에 의해 지지되어, 상기 피처리 기판(10) 상에 상기 필름(2)을 가압하기 위해 상기 제1 방향(D1)으로 이동하며 회전될 수 있다. 상기 가압 롤러(500)는 상기 제2 방향(D2)으로 연장되는 원통형일 수 있다. 도 2를 기준으로, 상기 가압 롤러(500)의 좌우측에 각각 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)에 의해 상기 가압 롤러(500)의 축이 지지되어, 상기 가압 롤러(500)가 상기 축을 기준으로 회전할 수 있다. The pressure roller 500 is supported by the first pressure roller support portion 400a and the second pressure roller support portion 400b to press the film 2 on the substrate 10 to be processed. It may move and rotate in the first direction D1. The pressure roller 500 may have a cylindrical shape extending in the second direction D2. 2, the axis of the pressure roller 500 is supported by the first pressure roller support part 400a and the second pressure roller support part 400b on the left and right sides of the pressure roller 500, respectively, so that the pressure The roller 500 may rotate based on the axis.

이때, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)와 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)는 서로 이격되어 별개의 구성을 이루고, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)에 의해 각각 이동될 수 있으므로, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 제2 가압 롤러 지지부(400b)는 서로 독립적으로 움직일 수 있다. 예를 들어, 상기 피처리 기판(10)이 좌우로 미세하게 기울어 진 경우, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)의 이동 변위를 달리 하여 상기 가압 롤러(500)가 상기 제2 방향(D2)으로 상기 피처리 기판(10)을 균일하게 가압할 수 있다. At this time, the first pressure roller support part 400a and the second pressure roller support part 400b are spaced apart from each other to form separate configurations, and the first fine vertical movement part 330a and the second fine vertical movement part ( 330b), the first pressure roller support portion 400a and the second pressure roller support portion 400b can move independently of each other. For example, when the processing target substrate 10 is slightly tilted from side to side, the displacement of the first fine vertical movement part 330a and the second fine vertical movement part 330b is changed to change the pressure roller 500 may uniformly press the target substrate 10 in the second direction D2 .

상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)는 상기 가압 롤러(500)가 상기 필름(20) 및 상기 피처리 기판(10)을 가압하는 압력을 측정하기 위한 것으로, 상기 압력을 직접 측정하기 어려운 문제가 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)는 상기 가압 롤러(500)에 가장 가까운 구성인 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a)와 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 사이, 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)와 상기 제2 미세 수직 이동부(330b) 사이에 배치시켜, 상기 압력의 측정 오차 및 상기 임프린트 장치의 구조적 간결성을 동시에 만족할 수 있다. The first and second sensor units 420a and 420b are for measuring the pressure with which the pressure roller 500 presses the film 20 and the processing target substrate 10, and directly measure the pressure. There is a difficult problem. Therefore, the first and second sensor units 420a and 420b are located between the first pressure roller support 400a and the first minute vertical movement unit 330a, which are the components closest to the pressure roller 500, and By disposing between the second pressure roller support part 400b and the second fine vertical movement part 330b, the measurement error of the pressure and the structural simplicity of the imprint apparatus may be satisfied at the same time.

도 1 및 2를 다시 참조하면, 상기 임프린트 장치를 이용하여, 임프린트 공정을 진행할 수 있다. 상기 스테이지(100) 상에 상기 피처리 기판(10)을 로딩할 수 있다. 상기 피처리 기판(10) 상에는 상기 임프린트 레진층(미도시)이 형성될 수 있다.Referring again to FIGS. 1 and 2 , an imprint process may be performed using the imprint device. The target substrate 10 may be loaded on the stage 100 . The imprint resin layer (not shown) may be formed on the substrate 10 to be processed.

이후, 상기 제1 프레임(200)을 상기 제1 방향(D1)으로 이동 시켜, 상기 가압 롤러(500)를 상기 피처리 기판(10) 상에 위치시킬 수 있다. Thereafter, the first frame 200 may be moved in the first direction D1 to place the pressure roller 500 on the substrate 10 to be processed.

이후, 상기 제1 및 제2 수직 이동부들(230a, 230b)을 구동하여 상기 제2 프레임(300)을 상기 제3 방향(D3)으로 이동시켜, 상기 가압 롤러(500)를 제1 위치까지 1차적으로 이동시킬 수 있다. 상기 제1 위치는 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10) 상에 근첩하는 위치이다. Thereafter, the first and second vertical moving parts 230a and 230b are driven to move the second frame 300 in the third direction D3 to move the pressure roller 500 to a first position 1 can be moved incrementally. The first position is a position where the pressure roller 500 comes close to the target substrate 10 .

이후, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)를 독립적으로 구동하여, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)를 상기 제3 방향(D3)으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라 상기 가압 롤러(500)가 가압 위치인 제2 위치까지 이동할 수 있다. 이때, 상기 가압 롤러(500)는 위에서 설명된 바와 같이, 상기 피처리 기판(10)이 미세하게 기울어진 경우에도 상기 피처리 기판(10) 및 상기 필름(20)을 상기 제2 방향(D2)을 따라 균일하게 가압할 수 있다. Thereafter, the first fine vertical movement part 330a and the second fine vertical movement part 330b are independently driven to form the first pressure roller support part 400a and the second pressure roller support part 400b. It can be moved in the third direction D3. Accordingly, the pressure roller 500 may move to the second position, which is the pressure position. At this time, as described above, the pressure roller 500 moves the substrate 10 and the film 20 in the second direction D2 even when the substrate 10 is slightly tilted. can be applied evenly along the

이후, 상기 제1 프레임(100)을 상기 제1 방향(D1)으로 이동시킴에 따라, 상기 가압 롤러(500)가 회전하며, 상기 제1 방향(D1)으로 상기 피처리 기판(10)을 따라 이동할 수 있다. 이에 따라, 상기 필름(10)에 형성된 스탬프(도 1의 설명 참조)가 상기 임프린트 레진층에 전사(imprint)될 수 있다. Thereafter, as the first frame 100 moves in the first direction D1, the pressure roller 500 rotates and along the substrate 10 in the first direction D1. can move Accordingly, the stamp (refer to the description of FIG. 1 ) formed on the film 10 may be imprinted on the imprint resin layer.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 임프린트 방법을 나타낸 순서도이다. 도 4는 도 3의 위치 보정 단계를 상세히 나타낸 순서도이다. 도 5는 도 3의 임프린트 방법을 나타낸 순서도이다. 상기 임프린트 방법은 도 1 및 2의 임프린트 장치를 이용하여 수행될 수 있다. 3 is a flowchart illustrating an imprint method according to another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a flowchart illustrating the position correction step of FIG. 3 in detail. 5 is a flowchart illustrating the imprint method of FIG. 3 . The imprint method may be performed using the imprint apparatus of FIGS. 1 and 2 .

도 1 내지 5를 참조하면, 상기 임프린트 방법은 위치 보정 단계(S100) 및 임프린트 단계(S200)를 포함할 수 있다. 상기 위치 보정 단계(S100)는 임프린트 상태를 시험하는 단계(S110), 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계(S120), 및 확인 단계(S130)를 포함할 수 있다. 상기 임프린트 단계(S200)는 준비 단계(S210), 수직 이동 단계(S220), 미세 수직 이동 단계(S230) 및 가압 단계(S240)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 1 to 5 , the imprint method may include a position correction step ( S100 ) and an imprint step ( S200 ). The position correction step ( S100 ) may include a step of testing the imprint state ( S110 ), a step of correcting the pressure position of the pressure roller ( S120 ), and a check step ( S130 ). The imprint step (S200) may include a preparation step (S210), a vertical movement step (S220), a fine vertical movement step (S230), and a press step (S240).

상기 위치 보정 단계(S100)에서는, 상기 임프린트 장치의 상기 가압 롤러(500)의 가압 위치를 미리 보정할 수 있다. In the position correction step ( S100 ), the pressure position of the pressure roller 500 of the imprint apparatus may be corrected in advance.

상기 임프린트 상태를 시험하는 단계(S110)에서는, 상기 가압 롤러(500)로 상기 피처리 기판(10)을 가압하여 임프린트를 진행할 수 있다. 이때, 상기 제1 센서부(420a)의 제1 기준 압력값 및 상기 제2 센서부(420b)의 제2 기준 압력값을 측정할 수 있다. 이와 동시에, 상기 피처리 기판(10) 상에는 감압지를 올려 놓는 등의 압력 상태를 측정할 수 있는 수단을 이용하여, 상기 감압지의 가압 상태를 확인하여, 압력의 분포를 측정할 수 있다. 이에 따라 압력이 불균일한 부분을 확인할 수 있다. In the step of testing the imprint state ( S110 ), the imprint may be performed by pressing the target substrate 10 with the pressure roller 500 . At this time, the first reference pressure value of the first sensor unit 420a and the second reference pressure value of the second sensor unit 420b may be measured. At the same time, the pressure distribution can be measured by checking the pressurized state of the pressure sensitive paper using a means capable of measuring the pressure state, such as placing a pressure sensitive paper on the substrate 10 to be processed. Accordingly, it is possible to check a part where the pressure is non-uniform.

상기 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계(S120)에서는, 상기 감압지의 가압 상태 등을 바탕으로, 압력이 불균일한 부분을 확인할 수 있으며, 이를 바탕으로 상기 가압 롤러(500)의 위치를 보정할 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 미세 수직 이동부(330a) 및 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)를 독립적으로 이동 시켜, 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10)을 균일하게 가압하기 위한 보정된 가압 위치를 정할 수 있다. In the pressure position correcting step of the pressure roller (S120), based on the pressure state of the pressure sensitive paper, it is possible to check a portion where the pressure is uneven, and based on this, the position of the pressure roller 500 can be corrected. Specifically, by independently moving the first fine vertical movement part 330a and the second fine vertical movement part 330b, the pressure roller 500 uniformly presses the target substrate 10 A calibrated pressure position can be set.

상기 확인 단계(S130)에서는 상기 피처리 기판(10) 상에 새로운 감압지를 올려놓은 다음, 상기 보정된 가압 위치로 상기 가압 롤러(500)를 이용하여 임프린트 진행할 수 있다. 상기 감압지의 가압 상태가 균일하다면, 이때 측정된 상기 제1 센서부(420a)의 제1 보정 압력값 및 상기 제2 센서부(420b)의 제2 보정 압력값을 보정된 값으로 사용할 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)에서 측정되는 압력값이 각각 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값일 때, 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10)을 균일하게 가압하고 있는 것으로 판단할 수 있다. In the confirmation step (S130), after placing a new pressure-sensitive paper on the target substrate 10, imprinting may be performed using the pressure roller 500 to the corrected pressure position. If the pressure strip is uniformly pressed, the first corrected pressure value of the first sensor unit 420a and the second corrected pressure value of the second sensor unit 420b measured at this time may be used as corrected values. That is, when the pressure values measured by the first and second sensor units 420a and 420b are the first corrected pressure value and the second corrected pressure value, respectively, the pressure roller 500 moves the processing target substrate 10 ) can be judged to be uniformly pressurized.

상기 임프린트 단계(S200)에서는, 상기 스테이지 상에 상기 피처리 기판(10)을 위치시키고, 상기 피처리 기판 상에 임프린트를 진행할 수 있다. 예를 들면, 상기 피처리 기판(10) 상에 임프린트 레진층(미도시)을 형성한 후, 상기 필름(2) 상의 상기 스탬프를 상기 임프린트 레진층에 전사할 수 있다. 이때, 상기 UV 조사부를 이용하여, 상기 스탬프가 전사된 상기 임프린트 레진층을 경화 시킨 후, 상기 필름(2)을 상기 임프린트 레진층으로부터 분리시켜, 상기 임프린트를 진행할 수 있다. 상기 임프린트를 이용하여 표시 장치의 와이어 그리드 편광 소자 등을 제작할 수 있다. In the imprint step ( S200 ), the processing target substrate 10 may be positioned on the stage, and imprinting may be performed on the processing target substrate 10 . For example, after forming an imprint resin layer (not shown) on the substrate 10 to be processed, the stamp on the film 2 may be transferred to the imprint resin layer. At this time, after curing the imprint resin layer onto which the stamp is transferred by using the UV irradiation unit, the film 2 may be separated from the imprint resin layer to proceed with the imprint. A wire grid polarizing element or the like of a display device may be manufactured using the imprint.

상기 준비 단계(S210)에서는 상기 가압 롤러(500)를 상기 스테이지(100)로부터 상기 제3 방향(D3)의 반대방향으로 이격시킨 후, 상기 스테이지(100) 상에 상기 피처리 기판(10)을 로딩(loading)할 수 있다. 이후, 상기 제1 프레임(200)을 상기 제1 방향(D1)을 따라 이동시켜, 상기 가압 롤러(500)를 상기 피처리 기판(10) 상에 위치시킬 수 있다. In the preparation step (S210), after the pressure roller 500 is spaced apart from the stage 100 in a direction opposite to the third direction D3, the processing target substrate 10 is placed on the stage 100. can be loaded. Thereafter, the first frame 200 may be moved along the first direction D1 to place the pressure roller 500 on the substrate 10 to be processed.

상기 수직 이동 단계(S220)에서는, 상기 제2 프레임(300)을 상기 제3 방향(D3)으로 이동시켜, 상기 가압 롤러(500)를 제1 위치까지 1차적으로 이동시킬 수 있다. 상기 제1 위치는 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10) 상에 근첩하는 위치이다. In the vertical movement step ( S220 ), the pressure roller 500 may be primarily moved to a first position by moving the second frame 300 in the third direction D3 . The first position is a position where the pressure roller 500 comes close to the target substrate 10 .

상기 미세 수직 이동 단계(S230)에서는 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)를 독립적으로 이동 시켜, 상기 제1 가압 롤러 지지부(400a) 및 상기 제2 가압 롤러 지지부(400b)를 상기 제3 방향(D3)으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라 상기 가압 롤러(500)가 가압 위치인 제2 위치까지 이동할 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)는 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10)을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정할 수 있고, 이에 따라 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)를 독립적으로 구동하여, 상기 가압 롤러(500)의 적정 압력을 유지할 수 있다. In the fine vertical movement step (S230), the first pressure roller support part 400a and the second pressure roller support part 400b are moved independently, so that the first pressure roller support part 400a and the second pressure roller support part (400b) may be moved in the third direction (D3). Accordingly, the pressure roller 500 may move to the second position, which is the pressure position. At this time, the first and second sensor units 420a and 420b may continuously measure the pressure while the pressure roller 500 presses the target substrate 10, and accordingly, the first correction pressure. The first fine vertical movement part 330a and the second fine vertical movement part 330b are independently driven so as not to deviate from the pressure value and the second correction pressure value, thereby maintaining an appropriate pressure of the pressure roller 500. there is.

상기 가압 단계(S240)에서는 상기 가압 롤러(500)를 상기 제1 방향(D1)으로 이동시켜, 상기 피처리 기판(10) 전체에 상기 필름(2)을 전사할 수 있다. 상기 제1 프레임(200)이 상기 제1 방향(D1)으로 이동함에 따라, 상기 가압 롤러(500)가 상기 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 이에 따라 임프린트가 진행될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 센서부(420a, 420b)는 상기 가압 롤러(500)가 상기 피처리 기판(10)을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정할 수 있고, 이에 따라 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록 상기 제1 미세 수직 이동부(330a)와 상기 제2 미세 수직 이동부(330b)를 독립적으로 구동하여, 상기 가압 롤러(500)의 적정 압력을 유지할 수 있다. In the pressing step ( S240 ), the film 2 may be transferred to the entire substrate 10 by moving the pressing roller 500 in the first direction D1 . As the first frame 200 moves in the first direction D1, the pressure roller 500 may move in the first direction D1. Accordingly, imprinting may proceed. At this time, the first and second sensor units 420a and 420b may continuously measure the pressure while the pressure roller 500 presses the target substrate 10, and accordingly, the first correction pressure. The first fine vertical movement part 330a and the second fine vertical movement part 330b are independently driven so as not to deviate from the pressure value and the second correction pressure value, thereby maintaining an appropriate pressure of the pressure roller 500. there is.

본 발명의 실시예들에 따른 임프린트 장치 및 임프린트 방법에 따르면, 제2 프레임을 수직 방향으로 이동시켜, 가압 롤러를 제1 위치까지 1차적으로 이동시킨 후, 제1 가압 롤러 지지부 및 제2 가압 롤러 지지부를 독립적으로 이동 시켜, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 가압 위치인 제2 위치까지 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 가압 롤러의 가압 위치를 정밀하게 이동시킬 수 있고, 임프린트 공정에 있어서 균일한 가압이 가능하다. According to the imprint apparatus and the imprint method according to embodiments of the present invention, after moving the second frame in the vertical direction to primarily move the pressure roller to the first position, the first pressure roller support and the second pressure roller By independently moving the support part, the first pressure roller support part and the second pressure roller support part may be moved in the vertical direction to move the pressure roller to the second position, which is the pressure position. Accordingly, the pressing position of the pressing roller can be precisely moved, and uniform pressing is possible in the imprint process.

또한, 상기 임프린트 장치는 제1 센서부 및 제2 센서부를 포함하고, 상기 제1 및 제2 센서부를 통해 측정된 압력값을 이용하여, 제1 및 제2 미세 수직 이동부들을 구동하여, 균일한 가압이 가능하게 할 수 있다. In addition, the imprint device includes a first sensor unit and a second sensor unit, and drives the first and second fine vertical moving units using pressure values measured through the first and second sensor units to obtain uniform uniformity. Pressurization can be made possible.

또한, 상기 임프린트 방법은 상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부를 통해 측정된 압력값을 이용하여, 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 미리 보정하는 위치 보정 단계를 더 포함할 수 있으며, 이에 따라 균일한 가압이 가능하게 할 수 있다. In addition, the imprint method may further include a position correction step of pre-correcting the pressure position of the pressure roller using the pressure values measured through the first sensor unit and the second sensor unit, thereby uniformly One pressurization can be made possible.

이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described with reference to the above embodiments, those skilled in the art will understand that the present invention can be variously modified and changed without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will be able to.

2: 필름 10: 피처리 기판
20: 제1 롤 30: 제2 롤
40: 제1 가이드 롤러 50: 제2 가이드 롤러
100: 스테이지 200: 제1 프레임
300: 제2 프레임 400a: 제1 가압 롤러 지지부
400b: 제2 가압 롤러 지지부 500: 가압 롤러2: film 10: target substrate
20: first roll 30: second roll
40: first guide roller 50: second guide roller
100: stage 200: first frame
300: second frame 400a: first pressure roller support
400b: second pressure roller support 500: pressure roller

Claims (20)

피처리 기판을 지지하는 스테이지;
상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임;
상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임;
상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부;
상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부;
상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부;
상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부;
상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부; 및
상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함하고,
상기 제1 가압 롤러 지지부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 각각은, 서로 독립적으로 이동하는 임프린트 장치.a stage supporting a substrate to be processed;
a first frame movable in a horizontal direction on the stage;
a second frame movable in a vertical direction with respect to the first frame;
a first vertical moving unit moving the second frame;
a first pressure roller support part movable in the vertical direction with respect to the second frame;
a second pressure roller support portion movable in the vertical direction with respect to the second frame and spaced apart from the first pressure roller support portion;
a first minute vertical movement unit moving the first pressure roller support unit;
a second fine vertical movement unit moving the second pressure roller support unit; and
A pressure roller supported by the first pressure roller support and the second pressure roller support,
The imprint apparatus of claim 1 , wherein each of the first pressure roller support part and the second pressure roller support part moves independently of each other. 제1 항에 있어서,
상기 제2 프레임과 상기 제1 프레임 사이에 배치되는 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
상기 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부에 의해 상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에 대해 상기 수직 방향으로만 이동 가능하며,
상기 제1 수직 이동부는 상기 제1 프레임에 설치되어 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향을 따라 이동 시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치. According to claim 1,
Further comprising a first vertical linear guide disposed between the second frame and the first frame and a first vertical linear guide coupling portion coupled to the first vertical linear guide,
The second frame is movable only in the vertical direction with respect to the first frame by the first vertical linear guide and the first vertical linear guide coupling part,
The first vertical moving unit is installed on the first frame to move the second frame along the vertical direction. 제2 항에 있어서,
상기 제2 프레임과 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
상기 제1 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제1 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동 시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치. According to claim 2,
Further comprising a first fine vertical linear guide disposed between the second frame and the first pressure roller support and a first fine vertical linear guide coupling part coupled to the first fine vertical linear guide,
The first fine vertical movement unit is installed on the second frame to move the first pressure roller support in the vertical direction. 제3 항에 있어서,
상기 제2 프레임과 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
상기 제2 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동 시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치. According to claim 3,
Further comprising a second fine vertical linear guide disposed between the second frame and the second pressure roller support and a second fine vertical linear guide coupling part coupled to the second fine vertical linear guide,
The second fine vertical movement unit is installed on the second frame to move the second pressure roller support in the vertical direction. 제1 항에 있어서,
상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 센서부; 및
상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 센서부를 더 포함하고,
상기 제1 및 제2 센서부는 각각 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이의 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치. According to claim 1,
a first sensor unit disposed between the first fine vertical movement unit and the first pressure roller support unit; and
A second sensor unit disposed between the second fine vertical movement unit and the second pressure roller support unit;
The first and second sensor units respectively measure the pressure between the first fine vertical movement unit and the first pressure roller support and between the second fine vertical movement unit and the second pressure roller support, respectively. Device. 제5 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 센서부는 로드셀(load cell) 또는 정전용량(cap) 타입의 압력 센서인 것을 특징으로 하는 임프린트 장치. According to claim 5,
The imprint device, characterized in that the first and second sensor units are load cell or cap type pressure sensors. 제1 항에 있어서,
제1 수평 리니어 가이드가 형성되는 지지부를 더 포함하고,
상기 제1 프레임에는 상기 제1 수평 리니어 가이드와 결합하는 제1 수평 리니어 가이드 결합부가 형성되어, 상기 제1 프레임은 상기 제1 수평 리니어 가이드를 따라 상기 수평 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치. According to claim 1,
Further comprising a support on which the first horizontal linear guide is formed,
The first frame is formed with a first horizontal linear guide coupling part coupled to the first horizontal linear guide, so that the first frame moves in the horizontal direction along the first horizontal linear guide. 제1 항에 있어서,
상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부는 상기 가압 롤러를 사이에 두고 각각 좌측 및 우측에 배치되어, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부는 상기 수평 방향 및 상기 수직 방향과 수직한 방향으로 서로 이격되고,
상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부는 각각 독립적으로 구동 가능한 것을 특징으로 하는 임프린트 장치. According to claim 1,
The first pressure roller support and the second pressure roller support are disposed on left and right sides, respectively, with the pressure roller interposed therebetween, so that the first pressure roller support and the second pressure roller support are in the horizontal direction and the vertical direction. are spaced apart from each other in a direction perpendicular to
The imprint device according to claim 1 , wherein the first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit are independently driven. 제1 항에 있어서,
필름을 제공하는 제1 롤;
상기 필름을 회수하는 제2 롤; 및
상기 필름 상에 스탬프를 제공하는 스탬프 제공부를 더 포함하고,
상기 가압 롤러가 상기 스탬프가 형성된 상기 필름을 상기 스테이지 상의 상기 피처리 기판에 가압하고, 상기 가압 롤러를 상기 수평 방향으로 진행시켜 임프린트 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치. According to claim 1,
a first roll providing a film;
a second roll for recovering the film; and
Further comprising a stamp providing unit for providing a stamp on the film,
The imprint apparatus according to claim 1 , wherein the pressure roller presses the film on which the stamp is formed on the substrate to be processed on the stage, and moves the pressure roller in the horizontal direction to perform an imprint process. 제1 항에 있어서,
상기 제1 수직 이동부는 서보 모터 이고,
상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부는 각각 피에조 모터인 것을 특징으로 하는 임프린트 장치. According to claim 1,
The first vertical moving unit is a servo motor,
The first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit are each a piezo motor. 스테이지, 상기 스테이지 상에서 수평 방향으로 이동 가능한 제1 프레임, 상기 제1 프레임에 대해 수직 방향으로 이동 가능한 제2 프레임, 상기 제2 프레임을 이동시키는 제1 수직 이동부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능한 제1 가압 롤러 지지부, 상기 제2 프레임에 대해 상기 수직 방향으로 이동 가능하고 상기 제1 가압 롤러 지지부와 이격되는 제2 가압 롤러 지지부, 상기 제1 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제1 미세 수직 이동부, 상기 제2 가압 롤러 지지부를 이동시키는 제2 미세 수직 이동부, 상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부에 의해 지지되는 가압 롤러를 포함하는 임프린트 장치를 이용하여,
상기 스테이지 상에 피처리 기판을 로딩(loading)하는 준비 단계;
상기 제2 프레임을 상기 수직 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 제1 위치까지 1차적으로 이동시키는 수직 이동 단계;
상기 제1 가압 롤러 지지부 및 상기 제2 가압 롤러 지지부를 독립적으로 이동 시켜 상기 가압 롤러를 상기 피처리 기판을 가압하는 가압 위치인 제2 위치까지 이동시키는 미세 수직 이동 단계; 및
상기 제1 프레임을 상기 수평 방향으로 이동시켜, 상기 가압 롤러를 상기 피처리 기판 상에서 상기 수평 방향으로 이동시키는 가압 단계를 포함하는 임프린트 방법. A stage, a first frame movable in a horizontal direction on the stage, a second frame movable in a vertical direction with respect to the first frame, a first vertical moving unit for moving the second frame, the vertical movement with respect to the second frame a first pressure roller support that is movable in a direction, a second pressure roller support that is movable in the vertical direction with respect to the second frame and spaced apart from the first pressure roller support, and a first fine roller that moves the first pressure roller support. By using an imprint apparatus including a vertical movement unit, a second minute vertical movement unit moving the second pressure roller support unit, and a pressure roller supported by the first pressure roller support unit and the second pressure roller support unit,
a preparation step of loading a substrate to be processed on the stage;
a vertical movement step of primarily moving the pressure roller to a first position by moving the second frame in the vertical direction;
a fine vertical movement step of independently moving the first pressure roller support and the second pressure roller support to move the pressure roller to a second position that presses the target substrate; and
and a pressing step of moving the first frame in the horizontal direction and moving the pressure roller in the horizontal direction on the processing target substrate. 제11 항에 있어서,
상기 임프린트 장치의 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 미리 보정하는 위치 보정 단계를 더 포함하고,
상기 위치 보정 단계는,
상기 가압 롤러의 가압 상태를 시험하는 임프린트 상태를 시험하는 단계;
상기 가압 상태를 바탕으로, 상기 가압 롤러의 상기 가압 위치를 보정하는 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계; 및
보정된 상기 가압 위치를 이용하여 상기 가압 롤러의 가압 상태를 확인하는 확인 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법. According to claim 11,
a position correction step of preliminarily correcting the pressure position of the pressure roller of the imprint device;
The position correction step,
testing the imprint state of testing the pressing state of the pressure roller;
a pressure position correction step of a pressure roller for correcting the pressure position of the pressure roller based on the pressure state; and
and a confirmation step of confirming a pressure state of the pressure roller using the corrected pressure position. 제12 항에 있어서,
상기 임프린트 장치는 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 센서부, 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 센서부를 더 포함하고, 상기 제1 및 제2 센서부는 각각 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이 및 상기 제2 미세 수직 이동부와 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이의 압력을 측정하고,
상기 위치 보정 단계의 상기 임프린트 상태를 시험하는 단계는,
상기 가압 롤러로 상기 피처리 기판을 가압하며, 상기 제1 센서부의 제1 기준 압력값 및 상기 제2 센서부의 제2 기준 압력값을 측정하고,
이와 동시에 상기 피처리 기판과 상기 가압 롤러 사이에 감압지를 위치시켜, 상기 가압 상태를 측정하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법. According to claim 12,
The imprint apparatus includes a first sensor unit disposed between the first fine vertical movement unit and the first pressure roller support unit, and a second sensor unit disposed between the second fine vertical movement unit and the second pressure roller support unit. and wherein the first and second sensors respectively measure pressures between the first fine vertical movement unit and the first pressure roller support and between the second fine vertical movement unit and the second pressure roller support,
In the step of testing the imprint state of the position correction step,
Pressing the target substrate with the pressure roller and measuring a first reference pressure value of the first sensor unit and a second reference pressure value of the second sensor unit;
At the same time, the pressure-sensitive paper is placed between the target substrate and the pressure roller to measure the pressure state. 제13 항에 있어서,
상기 가압 롤러의 가압 위치 보정 단계는,
상기 제1 미세 수직 이동부 및 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 이동 시켜, 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 균일하게 가압하기 위한 보정된 가압 위치를 결정하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법. According to claim 13,
In the step of correcting the pressure position of the pressure roller,
The imprint method of claim 1 , wherein the first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit are independently moved to determine a corrected pressing position for uniformly pressing the substrate to be processed by the pressing roller. 제14 항에 있어서,
상기 확인 단계는
상기 보정된 상기 가압 위치를 이용하여 상기 가압 롤러로 상기 스테이지상의 새로운 감압지를 가압하여 가압 상태를 확인하고,
이때, 상기 제1 센서부 및 상기 제2 센서부가 측정하는 압력값인 제1 보정 압력값 및 제2 보정 압력값을 보정된 압력값으로 결정하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법. According to claim 14,
The verification step is
Pressing a new pressure-sensitive paper on the stage with the pressure roller using the corrected pressure position to confirm a pressure state;
At this time, the imprint method characterized in that the first correction pressure value and the second correction pressure value, which are the pressure values measured by the first sensor unit and the second sensor unit, are determined as the corrected pressure values. 제15 항에 있어서,
상기 미세 수직 이동 단계에서는,
상기 제1 및 제2 센서부는 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정하고, 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 구동하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법. According to claim 15,
In the fine vertical movement step,
The first and second sensor units continuously measure pressure while the pressure roller presses the processing target substrate, and the first minute vertical movement so as not to deviate from the first correction pressure value and the second correction pressure value. and the second fine vertical movement unit are independently driven. 제15 항에 있어서,
상기 가압 단계에서는,
상기 제1 및 제2 센서부는 상기 가압 롤러가 상기 피처리 기판을 가압하는 동안 계속해서 압력을 측정하고, 상기 제1 보정 압력값 및 상기 제2 보정 압력값을 벗어나지 않도록, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부를 독립적으로 구동하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법. According to claim 15,
In the pressing step,
The first and second sensor units continuously measure pressure while the pressure roller presses the processing target substrate, and the first minute vertical movement so as not to deviate from the first correction pressure value and the second correction pressure value. and the second fine vertical movement unit are independently driven. 제11 항에 있어서,
상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 프레임 사이에 배치되는 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
상기 제1 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 수직 리니어 가이드 결합부에 의해 상기 제2 프레임이 상기 제1 프레임에 대해 상기 수직 방향으로만 이동 가능하며, 상기 제1 수직 이동부는 상기 제1 프레임에 설치되어 상기 제2 프레임을 상기 수직 방향을 따라 이동 시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법. According to claim 11,
The imprint apparatus further includes a first vertical linear guide disposed between the second frame and the first frame and a first vertical linear guide coupling part coupled to the first vertical linear guide,
The second frame is movable only in the vertical direction with respect to the first frame by the first vertical linear guide and the first vertical linear guide coupling part, and the first vertical moving part is installed on the first frame and moving the second frame along the vertical direction. 제18 항에 있어서,
상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제1 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제1 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제1 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제1 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
상기 제1 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제1 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동시키는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법. According to claim 18,
The imprint device further includes a first fine vertical linear guide disposed between the second frame and the first pressure roller support and a first fine vertical linear guide coupling part coupled to the first fine vertical linear guide,
The imprinting method of claim 1 , wherein the first fine vertical movement unit is installed on the second frame and moves the first pressure roller support unit along the vertical direction. 제19 항에 있어서,
상기 임프린트 장치는 상기 제2 프레임과 상기 제2 가압 롤러 지지부 사이에 배치되는 제2 미세 수직 리니어 가이드 및 상기 제2 미세 수직 리니어 가이드와 결합하는 제2 미세 수직 리니어 가이드 결합부를 더 포함하고,
상기 제2 미세 수직 이동부는 상기 제2 프레임에 설치되어 상기 제2 가압 롤러 지지부를 상기 수직 방향을 따라 이동시켜, 상기 제1 미세 수직 이동부와 상기 제2 미세 수직 이동부는 별개로 구동되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
According to claim 19,
The imprint apparatus further includes a second fine vertical linear guide disposed between the second frame and the second pressure roller support and a second fine vertical linear guide coupling part coupled to the second fine vertical linear guide,
The second fine vertical movement unit is installed on the second frame and moves the second pressure roller support along the vertical direction, so that the first fine vertical movement unit and the second fine vertical movement unit are separately driven. imprint method.
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