KR102522596B1 - Operation method and apparatus for process operation in semiconductor process device - Google Patents

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Abstract

본 출원은 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업 가동의 방법, 장치를 제공한다. 상기 방법은 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 단계; 모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 단계; 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 단계; 및 모든 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되면, 제2 소정 규칙에 따라 모든 가동 가능한 공정 작업으로부터 타깃 가동 가능한 공정 작업을 선택하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하는 단계를 포함한다. 따라서 어느 한 순간에도 타깃 가동 가능한 공정 작업과 현재 공정 작업에서 대상으로 삼는 재료가 2개의 동일한 공정 영역에서 반대의 순서로 나타나는 상황이 발생하지 않아 교착 상태가 방지되므로 생산 효율이 향상된다.This application provides a method and apparatus for operating a process operation in a semiconductor process device. The method includes generating a process area relationship list of a semiconductor process device current process operation; determining all process operations to be operated, and generating a process area relationship list of each process operation to be operated; determining whether all of the process tasks to be started include movable process tasks according to a first predetermined rule, based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each to-be-started process task; and selecting a target movable process job from all movable process jobs according to a second predetermined rule, and activating the target movable process job if all of the movable process jobs are included in the movable process jobs. Therefore, at any moment, a situation in which the targetable process operation and the target material of the current process operation do not appear in the opposite order in the two identical process areas prevents deadlock, thereby improving production efficiency.

Description

반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법, 장치Operation method and apparatus for process operation in semiconductor process device

본 출원은 반도체 디바이스 기술 분야에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법, 장치에 관한 것이다.The present application relates to the field of semiconductor device technology, and more particularly, to a method and apparatus for operating a process operation in a semiconductor device.

교착 상태는 예를 들어 웨이퍼 세정 디바이스와 같은 반도체 공정 디바이스가 다중 작업을 수행하는 경우, 반도체 공정 디바이스의 작업 효율에 가장 큰 영향을 미치는 비정상적 상황이다. 교착 상태가 발생하면 반도체 공정 디바이스가 다운되고 반도체 공정 디바이스의 생산량에 영향을 미칠 수 있다. 또한 반도체 공정 디바이스가 장상적으로 작동되지 않을 수 있다.A deadlock is an abnormal situation that has the greatest impact on the work efficiency of a semiconductor process device, for example, when a semiconductor process device such as a wafer cleaning device performs multiple tasks. When a deadlock occurs, the semiconductor process device may go down and affect the yield of the semiconductor process device. Also, semiconductor processing devices may not operate normally.

웨이퍼 세정 디바이스를 예로 들면, 가동 시간이 인접한 제1 작업과 제2 작업의 경우, 제1 작업의 정순서 RouteRecipe는 Shelf -PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf로 나타난다. 제2 작업의 비순차 RouteRecipe는 Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank7-Tank8-Tank1-Tank2-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf로 나타난다. 제1 작업의 경우 Tank2의 재료를 Tank7로 이동시켜야 하고, 제2 작업의 경우 Tank8의 재료를 Tank1로 이동시켜야 한다. 산성수 바인딩 규칙으로 인해, Tank1, Tank2가 동일한 공정 영역에 속하고, Tank7, Tank8이 동일한 공정 영역에 속한다. 동일한 공정 영역에는 하나의 재료만 존재할 수 있으며, 재료는 적어도 한 세트의 웨이퍼(웨이퍼 칩으로 칭하기도 함)일 수 있다.Taking a wafer cleaning device as an example, in the case of a first operation and a second operation whose running times are adjacent, the forward order RouteRecipe of the first operation is Shelf -PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank7-Tank8-Dry-WTC -PDO1/PDO2-Shelf appears. The non-sequential RouteRecipe of the second task appears as Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank7-Tank8-Tank1-Tank2-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf. In the case of the first task, the material in Tank2 must be moved to Tank7, and in the case of the second task, the material in Tank8 must be moved to Tank1. Due to the acid water binding rule, Tank1 and Tank2 belong to the same process domain, and Tank7 and Tank8 belong to the same process domain. Only one material can exist in the same process area, and the material can be at least one set of wafers (also called wafer chips).

제1 작업의 경우, Tank8 중의 재료가 Tank7, Tank8로 구성된 공정 영역에 위치하고, 해당 공정 영역이 Tank8에 의해 점용되기 때문에, Tank2 중의 재료가 Tank7, Tank8로 구성된 공정 영역 중 Tank7로 이동할 수 없다. 마찬가지로 제2 작업의 경우 Tank2 중의 재료가 Tank1, Tank2로 구성된 공정 영역에 위치하고, 해당 공정 영역이 Tank2에 의해 점용되기 때문에, Tank8 중의 재료가 Tank1, Tank2로 구성된 공정 영역 중 Tank1로 이동할 수 없다. 따라서 교착 상태가 발생한다.In the case of the first task, since the material in Tank 8 is located in the process area composed of Tank 7 and Tank 8 and the process area is occupied by Tank 8, the material in Tank 2 cannot move to Tank 7 among the process areas composed of Tank 7 and Tank 8. Similarly, in the case of the second task, since the material in Tank2 is located in the process area composed of Tank1 and Tank2, and the process area is occupied by Tank2, the material in Tank8 cannot move to Tank1 among the process areas composed of Tank1 and Tank2. Thus deadlock occurs.

산성수 바인딩 규칙 하에서 상술한 교착 상태가 발생하는 것을 어떻게 방지할 것인가는 시급히 해결해야 할 문제이다.How to prevent the aforementioned deadlock from occurring under the acid water binding rule is an urgent problem to be solved.

관련 기술에 존재하는 문제를 극복하기 위해, 본 출원은 교착 상태 발생을 해결할 수 있는 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법, 장치를 제공한다.In order to overcome the problems existing in the related art, the present application provides a method and an apparatus for operating a process operation in a semiconductor process device capable of solving the deadlock.

본 출원 실시예의 제1 양상에 따라 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법을 제공한다. 여기에는 하기 단계가 포함된다.According to a first aspect of an embodiment of the present application, a method for operating a process operation in a semiconductor process device is provided. This includes the following steps.

상기 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다. 상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 현재 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함된다.A process area relation list of the current process operation of the semiconductor process device is created. The process area relation list of the current process task includes process area group identifiers of all process area groups related to the current process task.

모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다. 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 상기 가동할 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함된다.All process operations to be operated are determined, and a process area relationship list of each of the process operations to be operated is generated. The process area relation list of the process task to be operated includes process area group identifiers of all process area groups related to the process task to be operated.

상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정한다.Based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each of the process tasks to be started, it is determined according to a first predetermined rule whether or not all the process tasks to be started include operable process tasks. .

모든 상기 가동할 공정 작업에 상기 가동 가능한 공정 작업이 포함되면, 제2 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동 가능한 공정 작업으로부터 타깃 가동 가능한 공정 작업을 선택하고, 상기 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동한다.When all of the movable process jobs are included in the movable process jobs, a target movable process job is selected from all the movable process jobs according to a second predetermined rule, and the target movable process job is started.

본 출원 실시예의 제2 양상에 따라 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 장치를 제공한다. 여기에는 하기 구성요소가 포함된다.According to a second aspect of an embodiment of the present application, an apparatus for operating a process operation in a semiconductor process device is provided. It includes the following components.

생성 유닛은 상기 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다. 여기에서 상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 현재 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함된다.A generation unit generates a process region relationship list of the current process operation of the semiconductor process device. Here, the process area relation list of the current process task includes process area group identifiers of all process area groups related to the current process task.

제1 결정 유닛은 모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다. 여기에서 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 상기 가동할 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함된다.A first determination unit determines all the process jobs to be started, and generates a process area relationship list of each of the process jobs to be started. Here, the process area relation list of the process task to be operated includes process area group identifiers of all process area groups related to the process task to be operated.

제2 결정 유닛은 상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정한다.A second determination unit determines that all of the to-be-started process tasks include movable process tasks according to a first predetermined rule, based on the process-area relationship list of the current process-task and the process-area-relationship list of each of the to-be-started process tasks. decide whether or not

가동 유닛은 모든 상기 가동할 공정 작업에 상기 가동 가능한 공정 작업이 포함되면, 제2 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동 가능한 공정 작업으로부터 타깃 가동 가능한 공정 작업을 선택하고, 상기 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동한다.The movable unit selects a target movable process job from all the movable process jobs according to a second predetermined rule, and starts the target movable process job when all the movable process jobs are included in the movable process jobs. .

본 출원 실시예에서 제공하는 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법, 장치는 공정 영역 그룹 식별자를 이용하여 상이한 공정 작업 중 재료가 동일한 공정 영역에서 반대의 순서로 나타나는 상황을 식별한다. 가동 시간이 인접한 타깃 가동 가능한 공정 작업과 현재 공정 작업이 반도체 공정 디바이스에서 병렬 운행되는 과정에서, 모든 출현 가능한 재료가 2개의 동일한 공정 영역에서 반대의 순서로 나타나는 경우를 고려하였다.The operation method and apparatus of a process operation in the semiconductor processing device provided in the embodiments of the present application identify situations in which materials appear in the same process area in reverse order among different process operations by using a process area group identifier. The case where all possible materials appeared in the opposite order in two identical process regions was considered while the target operable process operation with adjacent operation times and the current process operation ran in parallel in the semiconductor process device.

가동 시간이 인접한 타깃 가동 가능한 공정 작업과 현재 공정 작업이 반도체 공정 디바이스에서 병렬 운행되는 과정에서, 어느 하나의 시각에도 교착 상태가 발생하지 않도록 보장한다.It is ensured that a deadlock does not occur at any point in the process of parallel operation of a target operable process operation with adjacent operation time and a current process operation in a semiconductor processing device.

본원의 첨부 도면은 명세서에 통합되어 본 명세서의 일부분을 구성한다. 이는 본 출원에 부합하는 실시예를 도시하였으며, 명세서와 함께 본 출원의 원리를 해석하는 데 사용된다.
도 1은 본 출원 실시예에 따른 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법의 제1 실시예의 흐름도이다.
도 2는 제1 세정기의 일 실시예의 구조도이다.
도 3은 제2 세정기의 일 실시예의 구조도이다.
도 4는 본 출원 실시예에 따른 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법의 제2 실시예의 흐름도이다.
도 5는 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자에 값을 할당하는 흐름도이다.
도 6은 제1 세정기 중의 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하는 하나의 흐름도이다.
도 7은 제2 세정기 중의 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하는 하나의 흐름도이다.
도 8은 본 출원 실시예에 따른 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 장치의 구조 블록도이다.The accompanying drawings herein are incorporated into and constitute a part of this specification. It shows an embodiment consistent with the present application, and together with the specification is used to interpret the principles of the present application.
1 is a flowchart of a first embodiment of an operation method of a process operation in a semiconductor processing device according to an embodiment of the present application.
2 is a structural diagram of an embodiment of a first cleaner.
3 is a structural diagram of an embodiment of a second cleaner.
4 is a flowchart of a second embodiment of a method for operating a process operation in a semiconductor process device according to an embodiment of the present application.
5 is a flowchart of assigning a value to a process area group identifier of a process area group to which a current process task is related.
6 is one flow diagram of operating a target movable process operation in a first scrubber.
Figure 7 is one flow diagram of operating a target movable process operation in a second scrubber.
8 is a structural block diagram of an operating apparatus for a process operation in a semiconductor process device according to an embodiment of the present application.

이하에서는 첨부 도면 및 실시예를 참조하여 본 출원을 보다 상세하게 설명한다. 본원에 설명된 구체적인 실시예는 관련 발명을 해석하기 위한 것일 뿐이며 본 발명을 한정하지 않음을 이해할 수 있다. 설명상 편의를 위해, 첨부 도면은 발명과 관련된 부분만 도시하였음에 유의한다.Hereinafter, the present application will be described in more detail with reference to the accompanying drawings and embodiments. It is to be understood that the specific embodiments described herein are only for interpreting the related invention and not limiting the invention. For convenience of explanation, it should be noted that the accompanying drawings only show parts related to the invention.

충돌이 없는 한, 본 출원의 실시예 및 실시예 중의 특징은 서로 결합될 수 있음에 유의한다. 이하에서는 첨부 도면과 실시예를 참조하여 본 출원을 상세하게 설명한다.Note that, as long as there is no conflict, the embodiments and features in the embodiments of the present application may be combined with each other. Hereinafter, the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings and embodiments.

도 1은 본 출원 실시예에 따른 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법의 제1 실시예의 흐름도이다. 상기 방법은 하기 단계를 포함한다.1 is a flowchart of a first embodiment of an operation method of a process operation in a semiconductor processing device according to an embodiment of the present application. The method includes the following steps.

단계 101: 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다.Step 101: Create a process area relationship list of a current process operation of a semiconductor process device.

이하에서는 먼저 본 출원 실시예에서 제공하는 공정 작업 가동 방법을 적용할 수 있는 웨이퍼 세정 디바이스 또는 세정기의 예시적 구조를 간단하게 설명한다.Hereinafter, an exemplary structure of a wafer cleaning device or cleaner to which the process operation method provided in the embodiments of the present application can be applied will be briefly described.

세정기는 Station 모듈 세트를 포함할 수 있다. Station 모듈 세트는 {shelf1, shelf2, shelf3, shelf4, shelf5, shelf6, shelf7, shelf8, shelf9, shelf10, shelf11, shelf12, shelf13, shelf14, shelf15, shelf16, PDO1, PDO2}로 나타낸다.The scrubber may include a set of Station modules. The Station module set is represented by {shelf1, shelf2, shelf3, shelf4, shelf5, shelf6, shelf7, shelf8, shelf9, shelf10, shelf11, shelf12, shelf13, shelf14, shelf15, shelf16, PDO1, PDO2}.

셸프(Shelf)는 웨이퍼 이송함(Foup)을 임시 보관하는 데 사용되며, 하나의 Foup에는 한 세트의 Wafer(웨이퍼 또는 웨이퍼 칩)를 보관할 수 있다. 각각의 Shelf 상에는 최대 하나의 Foup을 거치할 수 있으며, Shelf 상에는 Foup의 개수(0 또는 1)를 검출할 수 있는 센서가 있다. 세정기에는 총 16개의 Shelf가 있으며, 최대 16개의 Foup을 보관할 수 있다.A shelf is used to temporarily store a wafer transfer box (foup), and one set of wafers (wafers or wafer chips) can be stored in one foup. A maximum of one foup can be placed on each shelf, and there is a sensor on the shelf that can detect the number of foups (0 or 1). The scrubber has a total of 16 shelves and can store up to 16 foups.

PDO는 Foup 도어를 개폐하고 Mapping(스캐닝) 기능 수행을 구현하는 데 사용된다. 재료, 예를 들어 한 세트의 웨이퍼가 세정기에 진입해 PDO 상에 거치되면, PDO는 도어 개방 조작을 실행하여 Foup 중의 웨이퍼(즉, wafer)에 대해 Mapping 검증을 수행하고, 재료가 잔류하고 Wafer가 비정상적으로 거치되는 것을 방지한다.The PDO is used to open and close the foup door and implement the mapping (scanning) function. When a material, for example, a set of wafers enters the cleaning machine and is placed on the PDO, the PDO performs a door opening operation to perform mapping verification on the wafers in the foup (i.e., wafers), the material remains, and the wafer Prevent abnormal mounting.

세정기는 순차적으로 설치된 복수의 Tank 모듈을 포함한다. Tank 모듈은 공정 유닛으로 칭할 수 있으며, 세정기의 경우 공정 탱크로 칭할 수도 있다. Tank 모듈 세트는 {Tank1(T1), Tank2(T2), Tank3(T3), Tank4(T4), Tank5(T5), Tank6(T6), Tank7(T7), Tank8(T8), Dry, WTC, IOBuffer, EEWD}로 나타낼 수 있다.The cleaner includes a plurality of tank modules installed sequentially. A tank module may be referred to as a process unit, and may also be referred to as a process tank in the case of a cleaning machine. Tank module set {Tank1(T1), Tank2(T2), Tank3(T3), Tank4(T4), Tank5(T5), Tank6(T6), Tank7(T7), Tank8(T8), Dry, WTC, IOBuffer , EEWD}.

Tank 모듈은 재료인 적어도 한 세트의 Wafer에 대해 공정 작업을 실행하는 데 사용된다. 각각의 Tank 모듈에는 최대 두 세트의 Wafer가 거치될 수 있다. Tank 모듈의 모든 유형은 위험 공정 유닛(Critical Tank) 및 일단 공정 유닛(Rinse Tank)을 포함한다. Critical Tank 중의 재료 공정 정밀도 요구 기준이 비교적 높으며, Critical Tank는 과도침지가 허용되지 않는 산 공정 유닛일 수 있다. 과도침지가 허용되는 산 공정 유닛, 물 공정 유닛, Dry, IOBuffer, WTC, EEWD 등은 Rinse Tank이다.The Tank module is used to run process operations on at least one set of Wafers as materials. A maximum of two sets of wafers can be mounted on each tank module. All types of Tank modules include Critical Tank and Rinse Tank. The material processing precision requirements in the critical tank are relatively high, and the critical tank may be an acid processing unit in which over-immersion is not allowed. Acid process units, water process units, dry, IOBuffer, WTC, EEWD, etc. that allow over-immersion are rinse tanks.

Dry는 건조 공정 유닛이며, 재료에 대해 drying 공정 조작을 실행하여, 공정 작업(즉, job) 완료 후 재료가 건조하도록 확보하는 데 사용된다. IOBuffer는 재료에 대해 Align 보정 조작을 실행하는 데 사용된다. WTC는 동일 작업의 재료를 하나의 Tank에 합쳐 거치하여 동시에 공정 조작을 수행하는 데 사용된다. EEWD는 상이한 산 탱크 중 재료를 핸들링하는 매니퓰레이터에 대해 세척 조작을 수행하여, 상이한 산 공정 유닛 중 산에 대한 매니퓰레이터의 오염을 줄이는 데 사용된다.Dry is a drying process unit, and is used to execute a drying process operation on a material, ensuring that the material is dry after completion of a process job (i.e. job). IOBuffer is used to run an Align correction operation on the material. WTC is used to carry out process operation at the same time by combining materials of the same work into one tank. EEWD is used to perform cleaning operations on manipulators handling materials in different acid tanks, thereby reducing contamination of the manipulators with acids in different acid processing units.

세정기는 하나의 FoupRobot 매니퓰레이터, 하나의 WHR 매니퓰레이터, 하나의 WTR 매니퓰레이터, 복수의 DualLifter 매니퓰레이터를 포함할 수 있다. 웨이퍼 이송함 매니퓰레이터(Foup Robot, FR)는 Foup의 이송을 책임지는 매니퓰레이터이다. FR은 Shelf와 PDO 사이에서 양방향 이동을 수행하며, 1회에 1개 Foup을 핸들링한다. 웨이퍼 핸들링 매니퓰레이터(Wafer Handling Robot, WHR)는 건조한 재료의 이송을 책임지는 매니퓰레이터이다. WHR은 PDO와 WTC 사이에서 양방향 이동을 수행하며, WHR은 1회에 한 세트의 wafer를 핸들링할 수 있다. 웨이퍼 이송 매니퓰레이터(Wafer Transferring Robot, WTR)는 이중 슬롯 매니퓰레이터(Duallifter)를 사용하지 않는 Tank 사이의 습한 재료의 이송을 책임진다. WTR은 이중 슬롯 매니퓰레이터(Duallifter)를 사용하지 않는 2개의 Tank 모듈 사이에서 양방향 이동을 수행할 수 있다. WTR은 1회에 두 세트의 wafer를 핸들링할 수 있다. Duallifter는 습한 재료의 이송을 책임지는 매니퓰레이터이다. Duallifter는 그에 대응하는 고정된 2개의 Tank 사이에서 양방향 이동을 수행할 수 있다. Duallifter는 1회에 두 세트의 wafer를 핸들링할 수 있다.The scrubber may include one FoupRobot manipulator, one WHR manipulator, one WTR manipulator, and multiple DualLifter manipulators. The wafer transfer box manipulator (Foup Robot, FR) is a manipulator responsible for Foup transfer. FR performs bi-directional movement between shelf and PDO, and handles one foup at a time. A wafer handling robot (WHR) is a manipulator responsible for transporting dry materials. WHR performs bidirectional movement between PDO and WTC, and WHR can handle one set of wafers at a time. The Wafer Transferring Robot (WTR) is responsible for transferring wet materials between tanks without using a dual-slot manipulator (Duallifter). The WTR can perform bi-directional movement between two Tank modules without using a dual-slot manipulator (Duallifter). WTR can handle two sets of wafers at once. The Duallifter is the manipulator responsible for the transport of wet materials. The Duallifter can move in both directions between the two corresponding fixed tanks. Duallifter can handle two sets of wafers at once.

또한 본 출원의 실시예에서 제공하는 공정 작업 가동 방법은 제1 유형의 세정기 또는 제2 유형의 세정기에 적용할 수 있다. 제1 유형의 세정기는 제1 세정기로 칭할 수도 있다. 제2 유형의 세정기는 제2 세정기로 칭할 수도 있다.In addition, the process operation operating method provided by the embodiments of the present application can be applied to the first type of cleaner or the second type of cleaner. A scrubber of the first type may also be referred to as a first scrubber. A scrubber of the second type may also be referred to as a second scrubber.

도 2는 제1 세정기의 일 실시예의 구조도이다.2 is a structural diagram of an embodiment of a first cleaner.

제1 세정기에 있어서, 산 공정 유닛 세트는 Tank1, Tank3, Tank4, Tank7을 포함하고, 물 공정 유닛 세트는 Tank2, Tank5, Tank6, Tank8을 포함한다. Dry는 건조 공정 유닛이다. Tank1과 Tank2 사이의 재료의 이송, Tank7과 Tank8 사이의 재료의 이송은 모두 상응하는 Duallifter에서 책임진다. 나머지 Tank 사이의 재료의 이송은 모두 WTR에서 책임진다.In the first scrubber, the acid processing unit set includes Tank1, Tank3, Tank4, and Tank7, and the water processing unit set includes Tank2, Tank5, Tank6, and Tank8. Dry is the drying process unit. The transfer of material between Tank1 and Tank2 and between Tank7 and Tank8 is all handled by the corresponding Duallifter. The WTR is responsible for all material transfer between the remaining tanks.

제1 세정기 중의 Critical Tank 세트는 {T1, T3, T4, T7}로 나타낼 수 있다. 제1 세정기 중의 Rinse Tank 세트는 {T2, T5, T6, T8, Dry, IOBuffer, WTC, EEWD}로 나타낼 수 있다.The critical tank set in the first scrubber can be represented by {T1, T3, T4, T7}. The rinse tank set in the first scrubber can be expressed as {T2, T5, T6, T8, Dry, IOBuffer, WTC, EEWD}.

제1 세정기는 5개 매니퓰레이터를 포함할 수 있다. 제1 세정기의 매니퓰레이터 세트는 {FR, WTR, WHR, Duallifter12(D12), Duallifter78(D78)}로 나타낼 수 있다. D12는 Tank1과 Tank2 사이의 재료의 이송을 책임진다. D78은 Tank7과 Tank8 사이의 재료의 이송을 책임진다.The first cleaner may include 5 manipulators. The set of manipulators of the first cleaner can be represented as {FR, WTR, WHR, Duallifter12 (D12), Duallifter78 (D78)}. D12 is responsible for the transfer of material between Tank1 and Tank2. D78 is responsible for the transfer of material between Tank7 and Tank8.

제1 세정기의 Job의 공정 경로는 하기 공정 경로를 포함할 수 있다. 여기에서 병렬은 "/"를 이용해 나타낼 수 있으며, "/"는 경로에 이들 둘 중 하나가 포함된다는 것을 나타낸다.The process path of the job of the first cleaner may include the following process path. Parallelism can be indicated here using "/", which indicates that the path includes either of them.

전체 Duallifter RouteRecipe:Full Duallifter RouteRecipe:

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

단일 Duallifter RouteRecipe:Single Duallifter RouteRecipe:

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Dry-WTC-PDO1/PDO2- Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Dry-WTC-PDO1/PDO2- Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

직렬 전체 RouteRecipe:Serial full RouteRecipe:

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank5-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank5-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank4-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank4-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

병렬 전체 RouteRecipe:Parallel Full RouteRecipe:

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3/Tank4-Tank5/Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC- PDO1/PDO2 -Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3/Tank4-Tank5/Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Tank3Tank4 직렬, Tank5Tank6 병렬 RouteRecipe:Tank3Tank4 serial, Tank5Tank6 parallel RouteRecipe:

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5/Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5/Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank5/Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC- PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank5/Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank4-Tank5/Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank4-Tank5/Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Tank3Tank4 병렬, Tank5Tank6 직렬 RouteRecipe:Tank3Tank4 Parallel, Tank5Tank6 Serial RouteRecipe:

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3/Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3/Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3/Tank4-Tank5-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2- Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3/Tank4-Tank5-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2- Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3/Tank4-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3/Tank4-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

지정 PDO RouteRecipe:Specify PDO RouteRecipe:

Shelf-PDO1 - … - PDO1-Shelf;Shelf-PDO1 - … -PDO1-Shelf;

Shelf-PDO1 - … - PDO2-Shelf;Shelf-PDO1 - … -PDO2-Shelf;

비순차 RouteRecipe, 예를 들어 Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-A-C-B-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf이고, A, C, B는 실행하는 공정 조작이 공정 유닛이 속한 공정 영역에 발생하는 식별자를 나타낸다.A non-sequential RouteRecipe, e.g., Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-A-C-B-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf, where A, C, B are the process operations to be executed occur in the process area to which the process unit belongs. represents an identifier.

PDO 조합 방식: 모든 Job은 모두 단일 PDO를 지정하고, 모든 Job은 모두 병렬 PDO(PDO1/PDO2)를 사용한다.PDO combination method: All jobs specify a single PDO, and all jobs use parallel PDOs (PDO1/PDO2).

도 3은 제2 세정기의 일 실시예의 구조도이다.3 is a structural diagram of an embodiment of a second cleaner.

제2 세정기에 있어서, Tank1, Tank3, Tank5, Tank7은 산 공정 유닛이고, Tank2, Tank4, Tank6, Tank8은 물 공정 유닛이다. Tank1과 Tank2 사이의 재료 이송, Tank3과 Tank4 사이의 재료 이송, Tank5와 Tank6 사이의 재료 이송, Tank7과 Tank8 사이의 재료 이송은 모두 상응하는 Duallifter에서 책임진다.In the second scrubber, Tank1, Tank3, Tank5, and Tank7 are acid processing units, and Tank2, Tank4, Tank6, and Tank8 are water processing units. Material transfer between Tank1 and Tank2, material transfer between Tank3 and Tank4, material transfer between Tank5 and Tank6, and material transfer between Tank7 and Tank8 are all handled by the corresponding Duallifter.

제2 세정기의 Critical Tank 세트는 {T1, T3, T5, T7}로 나타낼 수 있다. 제2 세정기의 Rinse Tank 세트는 {T2, T4, T6, T8, Dry, IOBuffer, WTC, EEWD}로 나타낼 수 있다. 제2 세정기는 7개 매니퓰레이터를 포함할 수 있다. 제2 세정기의 매니퓰레이터 세트는 {FR, WTR, WHR, D12, Duallifter34(D34), Duallifter56(D56), D78}로 나타낼 수 있다. D34는 Tank3과 Tank4 사이의 재료 이송을 책임진다. D56은 Tank5와 Tank6 사이의 재료 이송을 책임진다.The critical tank set of the second cleaner can be expressed as {T1, T3, T5, T7}. The rinse tank set of the second cleaner can be expressed as {T2, T4, T6, T8, Dry, IOBuffer, WTC, EEWD}. The second cleaner may include 7 manipulators. The manipulator set of the second scrubber can be represented as {FR, WTR, WHR, D12, Duallifter34 (D34), Duallifter56 (D56), D78}. D34 is responsible for material transfer between Tank3 and Tank4. D56 is responsible for material transfer between Tank5 and Tank6.

제2 세정기의 Job의 공정 경로는 하기 공정 경로를 포함한다.The process path of the job of the second scrubber includes the following process path.

전체 RouteRecipe: Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Full RouteRecipe: Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

단일 Duallifter RouteRecipe:Single Duallifter RouteRecipe:

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank3-Tank4 - Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank3-Tank4 - Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2 -WTC-IOBuffer-Tank5-Tank6 - Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2 -WTC-IOBuffer-Tank5-Tank6 -Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf;

지정 PDO RouteRecipe:Specify PDO RouteRecipe:

Shelf-PDO1 - … - PDO1 - Shelf;Shelf-PDO1 - … - PDO1 - Shelf;

Shelf-PDO1 - … - PDO2 - Shelf;Shelf-PDO1 - … - PDO2 - Shelf;

비순차 RouteRecipe, 예를 들어 Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-B-C-A-D-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf이고, B, C, A, D는 실행하는 공정 조작이 공정 유닛이 속한 공정 영역에 발생하는 식별자를 나타낸다.A non-sequential RouteRecipe, e.g., Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-B-C-A-D-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf, where B, C, A, D are the process operations being executed in the process area to which the process unit belongs. Indicates an identifier that occurs.

PDO 조합 방식은, 모든 Job은 모두 단일 PDO를 지정하고, 모든 Job은 모두 병렬 PDO(PDO1/PDO2)를 사용하는 것을 포함한다.The PDO combination scheme includes all jobs specifying a single PDO and all jobs using parallel PDOs (PDO1/PDO2).

본 실시예에 있어서, 공정 작업을 Job으로 칭할 수 있다. 현재 Job은 이미 가동되었으나 아직 완료되지 않은 모든 Job 중에서 가동 시간이 가장 늦은 Job을 의미할 수 있다. 현재 Job은 최근 가동된 Job으로 칭할 수도 있다. 하나의 타깃 가동 가능한 Job을 결정할 때마다, 해당 회차에 결정한 타깃 가동 가능한 Job을 가동한다. 해당 회차에 결정한 타깃 가동 가능한 Job이 현재 Job이다.In this embodiment, a process operation may be referred to as a job. The current job may mean a job with the latest operation time among all jobs that have already been operated but have not yet been completed. The current job may also be referred to as a recently started job. Whenever one target movable job is determined, the target movable job determined in the corresponding round is activated. The job that can be operated as a target determined for the corresponding round is the current job.

반도체 공정 디바이스 중의 현재 Job의 공정 영역 관계 리스트를 routeRegionSort로 칭할 수 있다. 작업의 공정 경로는 RouteRecipe로 칭할 수 있다.A process region relation list of a current Job in a semiconductor process device may be referred to as routeRegionSort. A process path of an operation can be referred to as a RouteRecipe.

일부 실시예에 있어서, 현재 공정 작업은, 반도체 공정 디바이스가 실행 중인 공정 작업, 반도체 공정 디바이스가 신규 가동하는 공정 작업 중 하나이다.In some embodiments, the current process operation is one of a process operation being executed by the semiconductor processing device and a process operation newly started by the semiconductor processing device.

현재 공정 작업이 반도체 공정 디바이스가 실행 중인 공정 작업인 경우, 현재 공정 작업은 대상으로 삼은 재료가 공정 유닛에서 공정 조작이 수행되고 있으며 가동 시간이 가장 늦은 작업을 의미할 수 있다. 현재 공정 작업이 반도체 공정 디바이스가 신규 가동한 공정 작업인 경우, 현재 공정 작업은 이미 가동된 작업 중 대상으로 삼은 재료가 아직 셸프를 이탈하지 않았으며 가동 시간이 가장 늦은 작업을 의미할 수 있다.When the current process operation is a process operation in which the semiconductor processing device is being executed, the current process operation may mean a process operation of a target material being performed in a process unit and operating time is the latest. If the current process operation is a process operation in which the semiconductor processing device is newly operated, the current process operation may mean a operation in which the target material has not yet left the shelf and the operation time is the latest among already operated operations.

타깃 가동 가능한 Job을 결정할 때, 현재 Job이 대상으로 삼은 재료가 이미 셸프를 이탈하였으며, 현재 Job이 대상으로 삼은 재료가 공정 유닛에서 공정 조작이 수행되고 있을 수 있다. 이때, 현재 Job은 Tank에서 공정을 수행 중인 현재 Job으로 칭할 수 있다.When determining the target movable job, the material targeted by the current job may have already left the shelf, and the material targeted by the current job may be undergoing processing operations in the processing unit. At this time, the current job may be referred to as a current job performing a process in the tank.

타깃 가동 가능한 Job을 결정할 때, 현재 Job이 대상으로 삼은 재료가 아직 셸프를 이탈하지 않았을 수 있으며, 이때 현재 Job은 신규 가동한 Job으로 칭할 수 있다.When determining a target movable job, the material targeted by the current job may not have left the shelf yet, and at this time, the current job may be referred to as a newly started job.

본 실시예에 있어서, 상술한 세정기를 예로 들면, 공정 영역은 적어도 하나의 산 공정 유닛 및 적어도 하나의 물 공정 유닛을 포함하는 것을 의미할 수 있다. 공정 영역은 산-물 공정 영역으로 칭할 수도 있다.In this embodiment, taking the aforementioned scrubber as an example, the process region may mean that it includes at least one acid process unit and at least one water process unit. The process zone may also be referred to as an acid-water process zone.

본 실시예에 있어서, 복수의 공정 유닛은 복수의 공정 영역으로 나뉜다. 구체적으로 각각의 공정 유닛은 하나의 공정 영역에 각각 속할 수 있다. 복수의 공정 유닛은 모두 동일한 공정 영역에 속할 수 있다.In this embodiment, the plurality of process units are divided into a plurality of process regions. Specifically, each process unit may belong to one process region. A plurality of process units may all belong to the same process area.

예를 들어, Tank1-Tank2는 공정 영역 A에 속하고, Tank3-Tank4는 공정 영역 B에 속하며, Tank7-Tank8은 공정 영역 C에 속한다.For example, Tank1-Tank2 belong to process area A, Tank3-Tank4 belong to process area B, and Tank7-Tank8 belong to process area C.

현재 Job의 공정 영역 관계 리스트 routeRegionSort는 현재 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자를 포함한다.The process area relationship list routeRegionSort of the current job includes the process area group identifiers of all process area groups related to the current process task.

현재 Job의 공정 영역 관계 리스트 routeRegionSort 공정 영역 관계 리스트 중의 공정 영역 그룹 식별자는 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역의 공정 영역 식별자를 조합하여 획득할 수 있다.Process area relationship list of current job routeRegionSort The process area group identifier in the process area relationship list can be obtained by combining the process area identifiers of process areas related to the current process task.

현재 Job은 일련의 순차적으로 실행하는 재료를 대상으로 한 공정 조작을 포함한다. 각각의 공정 조작은 하나의 공정 유닛에서 각각 실행된다.A current job involves a process operation on a material that is executed sequentially in a series. Each process operation is individually executed in one process unit.

현재 Job의 공정 경로 RouteRecipe는 현재 Job 중의 공정 조작을 실행하는 공정 유닛의 순서를 설명한다.The process path of the current job RouteRecipe describes the sequence of process units that execute process operations in the current job.

본 실시예에 있어서, 현재 Job 실행 시, 재료를 대상으로 공정 조작을 실행하는 공정 유닛은 현재 Job이 관련된 공정 유닛으로 칭할 수 있다.In this embodiment, a process unit that executes a process operation on a material when the current job is executed may be referred to as a process unit related to the current job.

본 실시예에 있어서, 현재 Job이 관련된 공정 영역은, 현재 Job 실행 시, 재료를 대상으로 공정 조작을 실행하는 공정 유닛이 속한 공정 영역을 의미할 수 있다.In this embodiment, the process area related to the current job may refer to a process area to which a process unit that performs a process operation targeting a material belongs when the current job is executed.

본 실시예에 있어서, 반도체 공정 디바이스 중의 복수의 공정 영역을 조합하여, 반도체 공정 디바이스의 복수의 공정 영역 그룹을 획득할 수 있다.In this embodiment, a plurality of process region groups of the semiconductor process device may be obtained by combining a plurality of process regions in the semiconductor process device.

현재 Job이 관련된 공정 영역 그룹은, 반도체 공정 디바이스의 복수의 공정 영역 그룹 중의, 현재 Job이 관련된 2개의 공정 영역으로 구성된 공정 영역 그룹을 의미할 수 있다.The process area group related to the current job may refer to a process area group composed of two process areas related to the current job among a plurality of process area groups of the semiconductor process device.

본 실시예에 있어서, 현재 Job이 관련된 각각의 공정 영역 그룹의 경우, 현재 Job이 실행될 때, 재료가 현재 Job이 관련된 공정 영역을 이탈할 때 시각의 시간 순서 관계에 따라, 해당 공정 영역 그룹 중의, 현재 Job이 관련된 두 공정 영역의 전후 관계를 결정할 수 있다.In this embodiment, in the case of each process area group related to the current job, when the current job is executed, according to the time order relationship of the time when the material leaves the process area related to the current job, among the corresponding process area group, The context of the two process areas related to the current job can be determined.

현재 Job이 관련된 하나의 공정 영역 그룹의 경우, 현재 Job이 실행될 때, 재료가 해당 공정 영역 그룹 중 하나의 공정 영역을 이탈하는 시각이 재료가 해당 공정 영역 그룹 중 다른 하나의 공정 영역을 이탈하는 시각보다 이르면, 해당 공정 영역 그룹 중 두 공정 영역의 전후 관계는, 해당 하나의 공정 영역이 앞이고, 해당 다른 하나의 공정 영역이 뒤이다.In the case of one process area group related to the current job, when the current job is executed, the time at which the material leaves one process area of the corresponding process area group is the time at which the material leaves the other process area of the corresponding process area group. If earlier, in the context of the two process areas in the process area group, the one process area comes first, and the other process area follows.

본 실시예에 있어서, 현재 Job이 관련된 각각의 공정 영역에 있어서, 해당 공정 영역 그룹 중 두 공정 영역의 현재 Job 중에서의 전후 관계와 해당 두 공정 영역의 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 일치하면, 현재 Job에서 해당 공정 영역 그룹의 상태는 정순서 상태로 칭할 수 있다. 해당 공정 영역 그룹 중 두 공정 영역의 현재 Job 중에서의 전후 관계와 해당 두 공정 영역의 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 불일치하면, 현재 Job에서 해당 공정 영역 그룹의 상태는 역순서 상태로 칭할 수 있다.In this embodiment, in each process region related to the current job, if the context in the current job in two process regions of the corresponding process region group and the context in the semiconductor process device of the two process regions match, the current job The state of a corresponding process area group in a Job may be referred to as a forward order state. If the context in the current job of two process regions of the corresponding process region group and the context in the semiconductor process device of the corresponding two process regions do not match, the state of the corresponding process region group in the current job may be referred to as a reverse order state.

공정 영역 그룹의 상태는 공정 작업에 상대적임을 이해해야 한다. 동일한 공정 영역 그룹은 2개의 상이한 공정 작업에서의 상태가 같을 수도, 다를 수도 있다.It should be understood that the status of a process area group is relative to process operations. The same process area group may or may not have the same status in two different process operations.

예를 들어, 현재 Job의 완전 경로는 Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf이다.For example, the full path of the current job is Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf.

현재 Job이 대상으로 삼은 재료에 대해 공정 조작을 수행하는 시각의 이른 시각부터 늦은 시각의 순서에 따라 Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8로 배열한다. 즉, 먼저 Tank1에서 현재 Job이 대상으로 삼은 재료에 대해 공정 조작을 수행한 후, Tank2에서 현재 Job이 대상으로 삼은 재료에 대해 공정 조작을 수행한다. 이러한 순서로 유추한다.Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8 are arranged according to the order of early to late time when the process operation is performed on the material targeted by the current job. That is, first, process manipulation is performed on the material targeted by the current job in Tank1, and then process manipulation is performed on the material targeted by the current job in Tank 2. guess in this order.

현재 Job이 관련된 모든 공정 유닛은 Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8을 포함한다.All process units related to the current job include Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, and Tank8.

현재 Job이 대상으로 삼은 재료에 대해 공장 조작을 수행하는 시각의 이른 시각부터 늦은 시각의 순서는 Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8이다.The order of the time from early to late when factory operations are performed on the material targeted by the current job is Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8.

Tank1-Tank2는 공정 영역 A에 속하고, Tank3-Tank4는 공정 영역 B에 속하며, Tank7-Tank8은 공정 영역 C에 속한다.Tank1-Tank2 belong to process area A, Tank3-Tank4 belong to process area B, and Tank7-Tank8 belong to process area C.

반도체 공정 디바이스에 있어서, 공정 영역은 앞에서 뒤로의 순서가 공정 영역 A, 공정 영역 B, 공정 영역 C이다.In a semiconductor processing device, process regions are, in order from front to back, process region A, process region B, and process region C.

현재 Job이 관련된 모든 공정 영역은 공정 영역 A, 공정 영역 B, 공정 영역 C를 포함한다.All process areas related to the current job include process area A, process area B, and process area C.

현재 Job이 관련된 모든 공정 영역은 재료가 이탈하는 시각의 이른 시각부터 늦은 시각까지의 순서에 따라 공정 영역 A, 공정 영역 B, 공정 영역 C로 배열된다.All process areas related to the current job are arranged into process area A, process area B, and process area C according to the order from early to late when the material leaves.

다시 말해, 현재 Job이 관련된 모든 공정 영역은 순차적으로 공정 영역 A, 공정 영역 B, 공정 영역 C이다.In other words, all process areas related to the current job are process area A, process area B, and process area C sequentially.

현재 Job이 관련된 모든 공정 영역 그룹은, 공정 영역 A와 공정 영역 B로 구성되는 공정 영역 그룹, 공정 영역 A와 공정 영역 C로 구성되는 공정 영역 그룹, 공정 영역 B와 공정 영역 C로 구성되는 공정 영역 그룹을 포함한다.All process area groups to which the current job is related include a process area group composed of process area A and process area B, a process area group composed of process area A and process area C, and a process area composed of process area B and process area C. include a group

공정 영역 A와 공정 영역 B로 구성되는 공정 영역 그룹에서, 현재 Job이 실행될 때, 재료가 공정 영역 A를 이탈하는 시각은 공정 영역 B를 이탈하는 시각보다 이르다. 따라서 공정 영역 A와 공정 영역 B는 현재 Job에서의 전후 관계가 공정 영역 A가 공정 영역 B의 앞에 있다. 해당 공정 영역 그룹 중의 공정 영역 A와 공정 영역 B의 현재 Job에서의 전후 관계는 공정 영역 A와 공정 영역 B의 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계와 일치한다. 따라서 공정 영역 A와 공정 영역 B로 구성되는 공정 영역 그룹은 현재 Job에서의 상태가 정순서 상태이다.In the process area group consisting of process area A and process area B, when the current job is executed, the time at which the material leaves the process area A is earlier than the time at which the material leaves the process area B. Therefore, process area A and process area B have a context in the current job, process area A is in front of process area B. The context of the current job in process regions A and B of the corresponding process region group coincides with the context of semiconductor processing devices in process regions A and B. Therefore, the process area group consisting of process area A and process area B is in order in the current job.

공정 영역 A와 공정 영역 C로 구성되는 공정 영역 그룹에서, 공정 영역 A와 공정 영역 C는 현재 Job에서의 전후 관계가 공정 영역 A가 공정 영역 C의 앞에 있다. 해당 공정 영역 그룹 중의 공정 영역 A와 공정 영역 C의 현재 Job에서의 전후 관계는 공정 영역 A와 공정 영역 C의 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계와 일치한다. 따라서 공정 영역 A와 공정 영역 C로 구성되는 공정 영역 그룹은 현재 Job에서의 상태가 정순서 상태이다.In the process area group consisting of process area A and process area C, process area A and process area C have a context in the current job, process area A is in front of process area C. The context of the current job in process regions A and C of the corresponding process region group coincides with the context of semiconductor processing devices in process regions A and C. Therefore, the process area group consisting of process area A and process area C is in order in the current job.

공정 영역 B와 공정 영역 C로 구성되는 공정 영역 그룹에서, 공정 영역 B와 공정 영역 C는 현재 Job에서의 전후 관계가 공정 영역 B가 공정 영역 C의 앞에 있다. 해당 공정 영역 그룹 중의 공정 영역 B와 공정 영역 C의 현재 Job에서의 전후 관계는 공정 영역 B와 공정 영역 C의 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계와 일치한다. 따라서 공정 영역 B와 공정 영역 C로 구성되는 공정 영역 그룹은 현재 Job에서의 상태가 정순서 상태이다.In the process area group consisting of process area B and process area C, process area B and process area C have a context in the current job, and process area B is in front of process area C. The context of the current job in the process region B and C of the process region group matches the context of the semiconductor processing device in the process region B and C. Therefore, the process area group consisting of process area B and process area C is in order in the current job.

예를 들어, 현재 Job의 완전 경로는 Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank7-Tank8-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf이다.For example, the full path of the current job is Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank7-Tank8-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf.

반도체 공정 디바이스에 있어서, 모든 공정 유닛은 앞에서 뒤로의 순서가 Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8이다.In the semiconductor process device, the order of all process units from front to back is Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, and Tank8.

현재 Job이 관련된 모든 공정 유닛은 Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8을 포함한다.All process units related to the current job include Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, and Tank8.

현재 Job이 대상으로 삼은 재료에 대해 공정 조작을 수행하는 시각의 이른 시각부터 늦은 시각까지의 순서는 Tank1, Tank2, Tank7, Tank8, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6이다.The order from the early to late time when the process operation is performed on the material targeted by the current job is Tank1, Tank2, Tank7, Tank8, Tank3, Tank4, Tank5, and Tank6.

Tank1-Tank2는 공정 영역 A에 속하고, Tank3-Tank4는 공정 영역 B에 속하며, Tank7-Tank8은 공정 영역 C에 속한다.Tank1-Tank2 belong to process area A, Tank3-Tank4 belong to process area B, and Tank7-Tank8 belong to process area C.

현재 Job이 관련된 모든 공정 영역은 공정 영역 A, 공정 영역 B, 공정 영역 C를 포함한다.All process areas related to the current job include process area A, process area B, and process area C.

현재 Job이 관련된 모든 공정 영역은 재료가 공정 영역을 이탈하는 시각의 이른 시각부터 늦은 시각까지의 순서에 따라 공정 영역 A, 공정 영역 C, 공정 영역 B로 배열된다.All process areas related to the current job are arranged into process area A, process area C, and process area B according to the order from early to late when the material leaves the process area.

다시 말해, 현재 Job이 관련된 모든 공정 영역은 순차적으로 공정 영역 A, 공정 영역 C, 공정 영역 B이다.In other words, all process areas related to the current job are process area A, process area C, and process area B sequentially.

현재 Job이 관련된 모든 공정 영역 그룹은, 공정 영역 A와 공정 영역 B로 구성되는 공정 영역 그룹, 공정 영역 A와 공정 영역 C로 구성되는 공정 영역 그룹, 공정 영역 C와 공정 영역 B로 구성되는 공정 영역 그룹을 포함한다.All process area groups to which the current job is related include a process area group composed of process area A and process area B, a process area group composed of process area A and process area C, and a process area composed of process area C and process area B. include a group

공정 영역 A와 공정 영역 B로 구성되는 공정 영역 그룹에서, 공정 영역 A와 공정 영역 B는 현재 Job에서의 전후 관계가 공정 영역 A가 공정 영역 B의 앞에 있다. 해당 공정 영역 그룹 중의 공정 영역 A와 공정 영역 B의 현재 Job에서의 전후 관계는 공정 영역 A와 공정 영역 B의 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계와 일치한다. 따라서 공정 영역 A와 공정 영역 B로 구성되는 공정 영역 그룹은 현재 Job에서의 상태가 정순서 상태이다.In the process area group consisting of process area A and process area B, process area A and process area B have a context in the current job, process area A is in front of process area B. The context of the current job in process regions A and B of the corresponding process region group coincides with the context of semiconductor processing devices in process regions A and B. Therefore, the process area group consisting of process area A and process area B is in order in the current job.

공정 영역 A와 공정 영역 C로 구성되는 공정 영역 그룹에서, 공정 영역 A와 공정 영역 C는 현재 Job에서의 전후 관계가 공정 영역 A가 공정 영역 C의 앞에 있다. 해당 공정 영역 그룹 중의 공정 영역 A와 공정 영역 C의 현재 Job에서의 전후 관계는 공정 영역 A와 공정 영역 C의 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계와 일치한다. 따라서 공정 영역 A와 공정 영역 C로 구성되는 공정 영역 그룹은 현재 Job에서의 상태가 정순서 상태이다.In the process area group consisting of process area A and process area C, process area A and process area C have a context in the current job, process area A is in front of process area C. The context of the current job in process regions A and C of the corresponding process region group coincides with the context of semiconductor processing devices in process regions A and C. Therefore, the process area group consisting of process area A and process area C is in order in the current job.

공정 영역 C와 공정 영역 B로 구성되는 공정 영역 그룹에서, 현재 Job이 실행될 때, 재료가 공정 영역 C를 이탈하는 시각은 공정 영역 B를 이탈하는 시각보다 이르다. 따라서 공정 영역 C와 공정 영역 B는 현재 Job에서의 전후 관계가 공정 영역 C가 공정 영역 B의 앞에 있다. 해당 공정 영역 그룹 중의 공정 영역 C와 공정 영역 B의 현재 Job에서의 전후 관계는 공정 영역 B와 공정 영역 C의 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계와 일치하지 않는다. 따라서 공정 영역 C와 공정 영역 B로 구성되는 공정 영역 그룹은 현재 Job에서의 상태가 역순서 상태이다.In the process area group consisting of process area C and process area B, when the current job is executed, the time at which the material leaves the process area C is earlier than the time at which the material leaves the process area B. Therefore, process area C and process area B have a context in the current job, and process area C is in front of process area B. The context of the current job in the process region C and process region B in the corresponding process region group does not match the context of the semiconductor processing device in the process region B and process region C. Therefore, the process area group consisting of process area C and process area B is in reverse order in the current job.

본 실시예에 있어서, 반도체 공정 디바이스 중의 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하기 위해, 먼저 현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열을 생성할 수 있다.In this embodiment, in order to generate a process region relation list of a current process job in a semiconductor process device, first, a process unit identifier sequence of a current job may be generated.

현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열에는 현재 Job이 관련된 각각의 공정 유닛의 식별자가 포함된다.The process unit identifier sequence of the current job includes the identifier of each process unit related to the current job.

현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열에 있어서, 공정 유닛 식별자의 순서는 현재 Job의 공정 경로에 설명된 공정 유닛이 공정 조작을 실행하는 순서와 일치한다.In the process unit identifier sequence of the current job, the order of process unit identifiers corresponds to the order in which process units described in the process path of the current job execute process operations.

예를 들어, 현재 Job의 공정 경로는 Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf이다. 현재 Job은 공정 조작 수행을 위한 Tank3, 공정 조작 수행을 위한 Tank4, 공정 조작 수행을 위한 Tank5, 공정 조작 수행을 위한 Tank6, 공정 조작 수행을 위한 Tank7, 공정 조작 수행을 위한 Tank8 등 복수의 공정 유닛이 관련된다. 현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열은, Tank3의 공정 유닛 식별자 T3, Tank4의 공정 유닛 식별자 T4, Tank5의 공정 유닛 식별자 T5, Tank6의 공정 유닛 식별자 T6, Tank7의 공정 유닛 식별자 T7, Tank8의 공정 유닛 식별자 T8을 포함한다. Tank3의 공정 유닛 식별자 T3은 현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열 중의 제1 공정 유닛 식별자이다. Tank4의 공정 유닛 식별자 T4는 현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열 중의 제2 공정 유닛 식별자이다. 이러한 순서로 유추한다.For example, the process path of the current job is Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf. Currently, there are multiple process units such as Tank3 for performing process manipulation, Tank4 for performing process manipulation, Tank5 for performing process manipulation, Tank6 for performing process manipulation, Tank7 for performing process manipulation, and Tank8 for performing process manipulation. related The process unit identifier sequence of the current job is Tank3's process unit identifier T3, Tank4's process unit identifier T4, Tank5's process unit identifier T5, Tank6's process unit identifier T6, Tank7's process unit identifier T7, Tank8's process unit identifier T8 includes The process unit identifier T3 of Tank3 is the first process unit identifier in the process unit identifier sequence of the current job. The process unit identifier T4 of Tank4 is the second process unit identifier in the process unit identifier sequence of the current job. guess in this order.

본 실시예에 있어서, 반도체 공정 디바이스 중의 현재 Job의 공정 영역 관계 리스트를 생성하기 위해, 현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열을 생성한 후, 현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열을 순회할 수 있다. 순회 과정에서 매회 하나의 공정 유닛 식별자에 액세스하여, 현재 Job이 관련된 복수의 공정 영역의 공정 영역 식별자로 구성된, 현재 Job의 공정 영역 식별자 서열을 생성한다. 현재 Job의 공정 영역 식별자 서열 중의 모든 공정 영역 식별자는 현재 Job이 관련된 각각의 공정 유닛이 속한 공정 영역의 식별자를 집합시킨 후, 중복을 제거한 후 획득한 것이다.In this embodiment, in order to generate a process region relation list of a current job in a semiconductor processing device, after generating a process unit identifier sequence of the current job, the process unit identifier sequence of the current job may be traversed. In the traversal process, one process unit identifier is accessed each time to generate a process region identifier sequence of the current job, which is composed of process region identifiers of a plurality of process regions related to the current job. All process area identifiers in the process area identifier sequence of the current job are obtained after aggregating the process area identifiers to which each process unit related to the current job belongs, and then removing duplicates.

먼저 현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열 중의 제1 공정 유닛 식별자에 액세스한 후, 현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열 중의 제2 공정 유닛 식별자에 액세스한다. 이러한 방식으로 유추한다.First, the first process unit identifier in the process unit identifier sequence of the current job is accessed, and then the second process unit identifier in the process unit identifier sequence of the current job is accessed. infer in this way.

하나의 공정 유닛 식별자에 액세스하고, 해당 공정 유닛 식별자를 갖는 공정 유닛과 다음 공정 유닛 식별자에 대응하는 공정 유닛이 상이한 공정 영역에 속하면, 먼저 해당 공정 유닛 식별자를 갖는 공정 유닛이 속한 공정 영역의 공정 영역 식별자를 생성한다. 그 후, 해당 다음 공정 유닛 식별자에 대응하는 공정 유닛에 속하는 공정 영역을 갖는 공정 영역 식별자를 생성한다.If one process unit identifier is accessed, and the process unit with the corresponding process unit identifier and the process unit corresponding to the next process unit identifier belong to different process regions, the process of the process region to which the process unit with the corresponding process unit identifier belongs first. Generates an area identifier. Then, a process region identifier having a process region belonging to a process unit corresponding to the corresponding next process unit identifier is generated.

각각의 공정 영역은 하나의 공정 영역 식별자를 각각 갖는다. 예를 들어, 공정 영역 A의 공정 영역 식별자는 A이고, 공정 영역 B의 공정 영역 식별자는 B이며, 공정 영역 C의 공정 영역 식별자는 C이다.Each process area has one process area identifier respectively. For example, the process region identifier of process region A is A, the process region identifier of process region B is B, and the process region identifier of process region C is C.

액세스한 복수의 위치가 연속되는 공정 유닛 식별자 중의 각각의 공정 유닛 식별자가 속하는 공정 유닛이 모두 동일한 공정 영역에 속할 경우, 하나의 공정 영역 식별자, 즉 해당 동일한 공정 영역의 공정 영역 식별자만 생성한다. 소속된 공정 영역과 해당 복수의 위치가 연속되는 공정 유닛 식별자 중의 각각의 공정 유닛 식별자가 속하는 공정 영역이 상이한 공정 영역 식별자에 액세스할 때까지, 해당 공정 유닛 식별자가 속하는 공정 영역의 공정 영역 식별자를 재생성한다.If process units to which respective process unit identifiers among process unit identifiers in which a plurality of accessed locations are consecutive belong to the same process region, only one process region identifier, i.e., the process region identifier of the same process region, is generated. The process area identifier of the process area to which the corresponding process unit identifier belongs is regenerated until the process area to which it belongs and the process area to which each process unit identifier belongs among the process unit identifiers in which the plurality of positions are consecutive accesses a different process area identifier. do.

생성된 모든 공정 영역 식별자는 현재 Job의 공정 영역 식별자 서열을 구성할 수 있다. 현재 Job 공정 영역 식별자 서열에서, 모든 공정 영역 식별자의 순서는 공정 영역 식별자의 생성 시각 이른 시각부터 늦은 시각까지의 순서이다.All generated process area identifiers can constitute the process area identifier sequence of the current job. In the current job process area identifier sequence, the order of all process area identifiers is from early to late when the process area identifier was created.

현재 Job의 공정 영역 식별자 서열 중의 모든 공정 영역 식별자의 순서는 실제 현재 Job이 관련된 모든 공정 영역이 재료가 공정 영역을 이탈하는 시각의 이른 시각부터 늦은 시각으로 배열하여 획득한 순서이다.The order of all process area identifiers in the process area identifier sequence of the current job is actually obtained by arranging all process areas related to the current job from early to late when the material leaves the process area.

현재 Job의 공정 영역 식별자 서열을 생성한 후, 소정의 정순서 조합 방식으로 생성된 공정 영역 식별자 서열 중의 공정 영역 식별자를 조합하여, 적어도 하나의 공정 영역 그룹 식별자를 획득할 수 있다. 여기에서 정순서는 공정 유닛의 설치 순서일 수 있다.After generating the process region identifier sequence of the current job, at least one process region group identifier may be obtained by combining the process region identifier sequences among the generated process region identifier sequences in a predetermined direct order combination method. Here, the correct order may be an installation order of process units.

공정 영역 식별자 서열 중의 각각의 공정 영역 식별자의 경우, 해당 공정 영역 식별자가 공정 영역 식별자 서열 중 마지막 공정 영역 식별자가 아닌 경우, 해당 공정 영역 식별자를 각각 해당 공정 영역 식별자 뒤에 위치한 각각의 공정 영역 식별자와 조합하여, 해당 공정 영역 식별자에 대응하는 모든 공정 영역 그룹 식별자를 획득한다.For each process region identifier in the process region identifier sequence, if the corresponding process region identifier is not the last process region identifier in the process region identifier sequence, the corresponding process region identifier is combined with each process region identifier located after the corresponding process region identifier, respectively. Thus, all process area group identifiers corresponding to the corresponding process area identifier are obtained.

공정 영역 식별자 서열 중의 각각의 공정 영역 식별자의 경우, 해당 공정 영역 식별자에 대응하는 모든 공정 영역 그룹 식별자에서, 해당 공정 영역 식별자는 해당 공정 영역 식별자 뒤에 오는 공정 영역 식별자의 앞에 위치한다.For each process area identifier in the process area identifier sequence, in all process area group identifiers corresponding to the process area identifier, the process area identifier is located before the process area identifier following the corresponding process area identifier.

공정 영역 식별자 서열 중의 각각의 공정 영역 식별자에 각각 대응하는 모든 공정 영역 그룹 식별자를 획득한 후, 공정 영역 식별자 서열 중의 각각의 공정 영역 식별자에 각각 대응하는 모든 공정 영역 그룹 식별자는 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트로 조합된다.After acquiring all process area group identifiers respectively corresponding to respective process area identifiers in the process area identifier sequence, all process area group identifiers respectively corresponding to respective process area identifiers in the process area identifier sequence are the process areas of the current process operation. are assembled into a list of relationships.

제1 세정기를 예로 들면, 예를 들어 현재 Job의 공정 유닛 식별자 서열은, Tank3의 공정 유닛 식별자 T3, Tank4의 공정 유닛 식별자 T4, Tank5의 공정 유닛 식별자 T5, Tank6의 공정 유닛 식별자 T6, Tank7의 공정 유닛 식별자 T7, Tank8의 공정 유닛 식별자 T8을 포함한다. Tank3-Tank6는 모두 공정 영역 B에 속하고, Tank7-Tank8은 모두 공정 영역 C에 속한다.Taking the first cleaner as an example, the process unit identifier sequence of the current job is, for example, the process unit identifier T3 of Tank3, the process unit identifier T4 of Tank4, the process unit identifier T5 of Tank5, the process unit identifier T6 of Tank6, and the process unit identifier T6 of Tank7. Includes unit identifier T7, process unit identifier T8 of Tank8. Tank3-Tank6 all belong to process area B, and Tank7-Tank8 all belong to process area C.

Tank3의 공정 유닛 식별자 T3, Tank4의 공정 유닛 식별자 T4, Tank5의 공정 유닛 식별자 T5, Tank6의 공정 유닛 식별자 T6에 순차적으로 액세스한다. T3, T4, T5, T6은 복수의 위치가 연속되는 공정 유닛 식별자이다. Tank3-Tank6는 모두 공정 영역 B에 속한다. 따라서 공정 영역 B의 식별자 B만 생성한다.Process unit identifier T3 of Tank3, process unit identifier T4 of Tank4, process unit identifier T5 of Tank5, and process unit identifier T6 of Tank6 are sequentially accessed. T3, T4, T5, and T6 are process unit identifiers in which a plurality of positions are consecutive. Tank3-Tank6 all belong to process area B. Therefore, only identifier B of process area B is created.

T6이 속한 공정 유닛 Tank6와 Tank7은 상이하다. Tank7의 공정 유닛 식별자 T7에 액세스하면, 공정 영역 C의 공정 영역 식별자 C를 생성한다. Tank7의 공정 유닛 식별자, Tank8의 공정 유닛 식별자에 순차적으로 액세스한다. T7, T8은 복수의 위치가 연속되는 공정 유닛 식별자이다. Tank7-Tank8은 모두 공정 영역 C에 속한다. 따라서 공정 영역 C의 공정 영역 식별자 C만 생성한다.The process units Tank6 and Tank7 to which T6 belongs are different. When process unit identifier T7 of Tank7 is accessed, process area identifier C of process area C is generated. The process unit identifier of Tank7 and the process unit identifier of Tank8 are sequentially accessed. T7 and T8 are process unit identifiers in which a plurality of positions are consecutive. Tank7-Tank8 all belong to process area C. Therefore, only the process area identifier C of process area C is created.

생성된 모든 공정 영역 식별자는 B, C를 포함한다. 모든 공정 영역 식별자 B, C는 현재 Job의 공정 영역 식별자 서열을 구성할 수 있다. 현재 Job의 공정 영역 식별자 서열에서 B는 C 앞에 위치한다.All generated process area identifiers include B and C. All process area identifiers B and C can constitute the process area identifier sequence of the current job. In the process area identifier sequence of the current job, B is located before C.

현재 Job의 공정 영역 식별자 서열을 획득한 후, 소정의 정순서 조합 방식으로 공정 영역 식별자 서열 중의 공정 영역 식별자를 조합하여, 적어도 하나의 공정 영역 그룹 식별자를 획득한다. 공정 영역 식별자 B의 경우, 공정 영역 식별자 C는 공정 영역 식별자 B 뒤에 위치하며, 공정 영역 식별자 B를 공정 영역 식별자 C와 조합하여, 공정 영역 식별자 B에 대응하는 공정 영역 그룹 식별자 BC를 획득한다. C 뒤에는 다른 공정 영역 식별자가 없다. 따라서 C는 다른 공정 식별자와 조합할 수 없다. 따라서 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 BC를 포함한다.After obtaining the process region identifier sequence of the current job, at least one process region group identifier is obtained by combining the process region identifiers in the process region identifier sequence in a predetermined direct order combination method. For process area identifier B, process area identifier C is located after process area identifier B, and process area identifier B is combined with process area identifier C to obtain a process area group identifier BC corresponding to process area identifier B. There are no other process area identifiers after C. Therefore, C cannot be combined with other process identifiers. Therefore, the process area relationship list of the current process task includes BC.

단계 102: 모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다.Step 102: Determine all process operations to be started, and generate a process area relationship list of each process operation to be started.

여기에서 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 가동할 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자를 포함한다.Here, the process area relation list of the process task to be started includes process area group identifiers of all process area groups related to the process task to be started.

어느 하나의 가동할 Job의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 과정은 상술한 반도체 공정 디바이스에서의 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 과정과 유사하다. 상술한 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 과정을 참조하여, 어느 하나의 가동할 Job의 공정 영역 관계 리스트를 생성할 수 있다.A process of generating a process area relationship list of any one job to be operated is similar to the process of generating a process area relationship list of a current process operation in a semiconductor processing device described above. Referring to the process of generating the process area relationship list of the current process job described above, a process area relationship list of any one Job to be operated may be created.

예를 들어, 반도체 공정 디바이스는 공정 영역 A, 공정 영역 B, 공정 영역 C, 공정 영역 D 등의 공정 영역을 포함한다. Tank1-Tank2는 공정 영역 A에 속하고, Tank3-Tank4는 공정 영역 B에 속하고, Tank5-Tank6은 공정 영역 C에 속하고, Tank7-Tank8은 공정 영역 D에 속한다.For example, a semiconductor processing device includes process regions such as process region A, process region B, process region C, and process region D. Tank1-Tank2 belong to process area A, Tank3-Tank4 belong to process area B, Tank5-Tank6 belong to process area C, and Tank7-Tank8 belong to process area D.

하나의 가동할 Job의 완전 경로는 Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf이다.The complete path of one Job to be operated is Shelf-PDO1/PDO2-WTC-IOBuffer-Tank1-Tank2-Tank3-Tank4-Tank5-Tank6-Tank7-Tank8-Dry-WTC-PDO1/PDO2-Shelf.

해당 가동할 Job이 관련된 공정 유닛은 대상으로 삼은 재료에 대해 공정 조작을 수행하는 시각의 이른 시각부터 늦은 시각의 순서에 따라 Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8로 배열한다. 즉, 먼저 Tank1에서 재료에 대해 공정 조작을 수행한 후, 다시 Tank2에서 재료에 대해 공정 조작을 수행한다. 이러한 순서로 유추한다.The process units related to the job to be operated are arranged as Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, and Tank8 in the order of early to late time when the process operation is performed on the target material. That is, first, the process operation is performed on the material in Tank1, and then the process operation is performed on the material again in Tank2. guess in this order.

해당 가동할 Job이 관련된 복수의 공정 영역은 순차적으로 공정 영역 A, 공정 영역 B, 공정 영역 C, 공정 영역 D이다. 해당 가동할 Job이 관련된 복수의 공정 영역의 공정 영역 식별자는 공정 영역 식별자 서열을 구성한다. 공정 영역 식별자 서열에서, 공정 영역 A의 공정 영역 식별자 A, 공정 영역 B의 공정 영역 식별자 B, 공정 영역 C의 공정 영역 식별자 C, 공정 영역 D의 공정 영역 식별자 D를 순차적으로 포함한다.The plurality of process areas related to the job to be operated are sequentially process area A, process area B, process area C, and process area D. Process area identifiers of a plurality of process areas related to the job to be operated constitute a process area identifier sequence. In the process region identifier sequence, process region identifier A of process region A, process region identifier B of process region B, process region identifier C of process region C, and process region identifier D of process region D are sequentially included.

A는 A 뒤에 위치한 B, C, D와 각각 조합하여, 공정 영역 그룹 식별자 AB, AC, AD를 획득한다. B는 B 뒤에 위치한 C, D와 각각 조합하여, 공정 영역 그룹 식별자 BC, BD를 획득한다. C는 C 뒤에 위치한 D와 조합하여 공정 영역 그룹 식별자 CD를 획득한다.A is combined with B, C, and D located after A, respectively, to obtain process area group identifiers AB, AC, and AD. B is combined with C and D located after B, respectively, to obtain process area group identifiers BC and BD. C is combined with D located after C to obtain process area group identifier CD.

획득한 모든 공정 영역 그룹 식별자는 해당 가동할 Job의 공정 영역 관계 리스트를 구성할 수 있다. 해당 가동할 Job의 공정 영역 관계 리스트는 AB, AC, AD, BC, BD, CD를 포함한다.All acquired process area group identifiers can constitute a process area relationship list of the job to be operated. The process area relationship list of the job to be operated includes AB, AC, AD, BC, BD, and CD.

본 실시예의 일부 선택적 실시방식에 있어서, 모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 단계는, 해당 현재 공정 작업이 복수의 공정 영역 중의 하나의 소정 공정 영역에 관련된 경우, 현재 공정 작업 중 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형을 결정하는 단계; 모든 가동할 공정 작업 중 소정 공정 영역이 관련된 가동할 공정 작업을 결정하는 단계; 각각의 소정 공정 영역이 관련된 가동할 공정 작업 중 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형을 결정하는 단계; 소정 공정 영역이 관련되고 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형과 현재 공정 작업 중 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형이 서로 매칭되는 가동할 공정 작업을 타깃 가동할 공정 작업으로 결정하는 단계; 및 각각의 타깃 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 단계를 포함한다.In some optional implementations of this embodiment, the step of determining all process tasks to be started and generating a process area relationship list of each process task to be started includes: a corresponding current process task is selected from a predetermined process in one of a plurality of process areas. determining a series/parallel type corresponding to a predetermined process area among current process operations, if related to the area; determining a process operation to be operated among all the process operations to be operated to which a predetermined process area is related; determining a serial/parallel type corresponding to a predetermined process region among process operations to be operated with respect to each predetermined process region; determining a process operation to be operated in which a series/parallel type corresponding to a predetermined process area and a series/parallel type corresponding to the predetermined process area are matched with each other as a target process operation; and generating a process area relation list of each target process operation to be operated.

본 실시예에 있어서, 현재 공정 작업이 복수의 공정 영역 중 하나의 소정 공정 영역에 관련된 경우, 모든 가동할 작업 중 해당 소정 공정 영역이 관련되고 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형과 현재 공정 작업 중 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형이 서로 매칭되는 가동할 공정 작업을 타깃 가동할 공정 작업으로 칭할 수 있다.In the present embodiment, when the current process operation is related to one predetermined process area among a plurality of process areas, among all the operations to be operated, the corresponding predetermined process area is related and the serial/parallel type corresponding to the predetermined process area and the current process operation A process to be operated in which series and parallel types corresponding to a predetermined process region are matched may be referred to as a target process to be operated.

적어도 하나의 타깃 가동할 공정 작업이 존재하는 경우, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 과정에서, 각각의 타깃 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 우선적으로 생성하여, 후속 단계를 수행할 수 있다.If there is at least one target process job to be operated, in the process of generating a process area relationship list of each target process job to be started, a process area relationship list of each target process job to be started is first created, and a subsequent step is performed. can be performed.

하나의 공정 작업, 예를 들어 현재 공정 작업 또는 어느 하나의 가동할 공정 작업에 있어서,In one process operation, for example, the current process operation or any process operation to be operated,

해당 공정 작업 중 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형은 해당 공정 작업의 경로 중의 소정 공정 영역에 대응하는 서브 경로의 직병렬 유형을 의미할 수 있다.The serial/parallel type corresponding to a predetermined process region of a corresponding process operation may refer to a serial/parallel type of a sub-path corresponding to a predetermined process area of a path of the corresponding process operation.

하나의 공정 작업, 예를 들어 현재 공정 작업 또는 어느 하나의 가동할 공정 작업에 있어서, 해당 공정 작업의 경로 중의 소정 공정 영역에 대응하는 서브 경로는 해당 공정 작업의 경로 중의, 소정 공정 영역에 속하는 공정 유닛에 관련된 서브 경로를 의미할 수 있다.In one process operation, for example, the current process operation or any one of the process operations to be operated, a sub-path corresponding to a predetermined process area in the path of the process operation is a process belonging to the predetermined process area in the path of the process operation. It may mean a subpath related to a unit.

상술한 제1 세정기를 예로 들면, 소정 공정 영역은 공정 영역 B일 수 있다. 하나의 가동할 Job의 경로가 전체 Duallifter RouteRecipe인 경우, 해당 가동할 Job의 공정 경로는 소정 공정 영역, 즉 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로를 포함하지 않는다. 해당 가동할 Job의 공정 경로 중의 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로의 직병렬 유형은 비어 있다. 이에 상응하여, 가동할 Job 중에서 공정 영역 B에 대응하는 직병렬 유형은 비어 있다. 마찬가지로, 현재 Job의 경로가 전체 Duallifter RouteRecipe인 경우, 해당 현재 Job의 공정 경로는 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로를 포함하지 않는다. 현재 Job의 공정 경로 중의 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로의 직병렬 유형은 비어 있다. 이에 상응하여, 현재 Job 중에서 공정 영역 B에 대응하는 직병렬 유형은 비어 있다.Taking the aforementioned first cleaner as an example, the predetermined process region may be a process region B. When the path of one job to be operated is the entire Duallifter RouteRecipe, the process path of the job to be operated does not include a subpath corresponding to a predetermined process area, that is, process area B. The serial/parallel type of the sub-path corresponding to the process area B in the process path of the job to be operated is empty. Correspondingly, among the jobs to be operated, the serial/parallel type corresponding to process area B is empty. Similarly, if the path of the current job is the entire Duallifter RouteRecipe, the process path of the current job does not include the subpath corresponding to the process area B. The serial/parallel type of the sub-path corresponding to process area B in the process path of the current job is empty. Correspondingly, the serial/parallel type corresponding to process area B among the current jobs is empty.

이와 유사하게, 하나의 가동할 Job의 경로가 단일 Duallifter RouteRecipe인 경우, 해당 가동할 Job의 공정 경로는 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로를 포함하지 않는다. 해당 가동할 Job의 공정 경로 중의 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로의 직병렬 유형은 비어 있다. 마찬가지로, 현재 Job의 경로가 단일 Duallifter RouteRecipe인 경우, 현재 Job의 공정 경로는 소정 공정 영역에 대응하는 서브 경로를 포함하지 않는다. 현재 Job의 공정 경로 중의 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로의 직병렬 유형은 비어 있다.Similarly, if the path of one job to be operated is a single Duallifter RouteRecipe, the process path of the job to be operated does not include the subpath corresponding to process area B. The serial/parallel type of the sub-path corresponding to the process area B in the process path of the job to be operated is empty. Similarly, when the path of the current job is a single Duallifter RouteRecipe, the process path of the current job does not include sub-paths corresponding to a predetermined process area. The serial/parallel type of the sub-path corresponding to process area B in the process path of the current job is empty.

가동할 Job의 경로가 직렬 전체 RouteRecipe인 경우, 가동할 Job의 경로 중의 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로의 직병렬 유형은 Tank3과 Tank4 직렬이고 Tank5와 Tank6 직렬이다. 이에 상응하여, 가동할 Job 중에서 공정 영역 B에 대응하는 직병렬 유형은 Tank3과 Tank4 직렬이고 Tank5와 Tank6 직렬이다. 마찬가지로, 현재 Job의 경로가 직렬 전체 RouteRecipe인 경우, 현재 Job의 경로 중의 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로의 직병렬 유형은 Tank3과 Tank4 직렬이고 Tank5와 Tank6 직렬이다. 이에 상응하여, 현재 Job 중에서 공정 영역 B에 대응하는 직병렬 유형은 Tank3과 Tank4 직렬이고 Tank5와 Tank6 직렬이다.If the path of the job to be operated is a serial RouteRecipe, the serial and parallel type of the sub path corresponding to the process area B in the path of the job to be operated is Tank3 and Tank4 in series and Tank5 and Tank6 in series. Correspondingly, among the jobs to be operated, the serial and parallel types corresponding to process area B are Tank3 and Tank4 in series and Tank5 and Tank6 in series. Similarly, if the path of the current job is a serial RouteRecipe, the serial and parallel types of sub-paths corresponding to the process area B in the path of the current job are Tank3 and Tank4 in series and Tank5 and Tank6 in series. Correspondingly, among the current jobs, the serial and parallel types corresponding to process area B are Tank3 and Tank4 in series and Tank5 and Tank6 in series.

가동할 Job의 경로가 Tank3과 Tank4 직렬이고 Tank5와 Tank6 병렬인 RouteRecipe인 경우, 가동할 Job의 경로 중의 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로의 직병렬 유형은 Tank3과 Tank4 직렬이고 Tank5와 Tank6 병렬이다. 마찬가지로, 현재 Job의 경로가 Tank3과 Tank4 직렬이고 Tank5와 Tank6 병렬인 RouteRecipe인 경우, 현재 Job의 경로 중의 공정 영역 B에 대응하는 서브 경로의 직병렬 유형은 Tank3과 Tank4 직렬이고 Tank5와 Tank6 병렬이다.If the route of the job to be operated is Tank3 and Tank4 in series and Tank5 and Tank6 are parallel RouteRecipe, the serial and parallel type of the subpath corresponding to process area B among the routes of the job to be operated is Tank3 and Tank4 in series and Tank5 and Tank6 in parallel. Similarly, if the route of the current job is a RouteRecipe in which Tank3 and Tank4 are in series and Tank5 and Tank6 are parallel, the serial and parallel type of the subpath corresponding to process area B in the current job route is Tank3 and Tank4 in series and Tank5 and Tank6 in parallel.

단계 103: 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정한다.Step 103: Based on the process domain relationship list of the current process job and the process domain relationship list of each to-be-started process job, determine whether all the process jobs to be started include an operable process job according to a first predetermined rule. .

본 실시예에 있어서, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 타깃 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 모든 가동할 공정 작업에 적어도 하나의 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정할 때, 제1 소정 규칙을 다음과 같을 수 있다. 즉, 하나의 가동할 공정 작업과 현재 공정 작업이 모두 하나의 공정 영역 그룹에 관련되나, 해당 공정 영역 그룹이 해당 가동할 공정 작업과 현재 공정 작업에서의 상태가 상이할 경우, 해당 가동할 공정 작업은 가동 가능한 공정 작업에 속하지 않는다. 그렇지 않은 경우, 해당 가동할 공정 작업은 가동 가능한 공정 작업에 속한다.In this embodiment, based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each target process task to be activated, it is determined whether all the process tasks to be activated include at least one movable process task. In this case, the first predetermined rule may be as follows. That is, a process to be operated and a current process are both related to one process area group, but if the status of the process area group is different from the process to be operated and the current process, the process to be operated does not belong to the operational process operations. Otherwise, the process operation to be operated is an operable process operation.

상술한 상태는 정순서 상태와 역순서 상태를 포함한다. 여기에서, 정순서 상태는 공정 영역 그룹이 대응하는 공정 작업에서의 전후 관계와 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 일치함을 의미한다. 상술한 역순서 상태는 공정 영역 그룹이 대응하는 공정 작업에서의 전후 관계와 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 불일치함을 의미한다.The above state includes forward order state and reverse order state. Here, the orderly state means that the context in the process operation corresponding to the process region group coincides with the context in the semiconductor processing device. The aforementioned reverse order state means that the context in the process operation corresponding to the process region group and the context in the semiconductor process device do not match.

예를 들어, 하나의 공정 영역 그룹이 현재 공정 작업에서의 전후 관계와 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 일치할 경우, 해당 공정 영역 그룹은 해당 현재 공정 작업에서의 상태가 정순서 상태이다. 하나의 공정 영역 그룹이 현재 공정 작업에서의 전후 관계와 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 불일치할 경우, 해당 공정 영역 그룹은 해당 현재 공정 작업에서의 상태가 역순서 상태이다. 하나의 공정 영역 그룹이 하나의 가동할 공정 작업에서의 전후 관계와 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 일치할 경우, 해당 공정 영역 그룹은 해당 가동할 공정 작업에서의 상태가 정순서 상태이다. 하나의 공정 영역 그룹이 해당 가동할 공정 작업에서의 전후 관계와 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 불일치할 경우, 해당 공정 영역 그룹은 해당 가동할 공정 작업에서의 상태가 역순서 상태이다.For example, when the context of one process region group matches the context of the current process operation and the context of the semiconductor process device, the state of the corresponding process region group in the current process operation is in order. If the context of one process area group does not match the context of the current process operation and the context of the semiconductor process device, the process area group has a state in the current process operation in reverse order. When one process area group matches the context in a process operation to be operated and the context in a semiconductor process device, the state of the process area group in the process operation to be operated is in order. If the context of one process area group in the process to be operated is inconsistent with the context in the semiconductor process device, the process area group is in a reverse order state in the process to be operated.

현재 공정 작업이 하나의 특정 공작 영역 그룹에 관련되고, 해당 공작 영역 그룹이 현재 공정 작업에서의 상태가 정순서 상태라고 가정할 때, 각각의 가동할 공정 작업에 대해, 해당 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트가 해당 특정 공작 영역 그룹을 포함하고 그 상태가 역순서 상태인지 여부를 결정한다. 그렇지 않으면, 해당 가동할 공정 작업이 하나의 가동 가능한 공정 작업으로 사용될 수 있는 것으로 결정하고, 그러하면, 해당 가동할 공정 작업이 하나의 가동 가능한 공정 작업으로 사용될 수 없는 것으로 결정한다.Assuming that the current process operation is related to one specific work area group, and that the work area group is in an orderly state in the current process operation, for each operation operation operation, the operation process of the corresponding operation operation operation Determines whether the area relationship list contains that particular work area group and its status is in reverse order. Otherwise, it is determined that the process operation to be operated can be used as an operable process operation, and if so, it is determined that the process operation to be operated cannot be used as an operable process operation.

해당 특정 공작 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자 중 공정 영역 식별자의 순서는 현재 공정 작업 중 해당 특정 공작 영역 그룹의 공정 영역 식별자의 순서와 상이하거나 순서가 반대이다. 즉, 해당 공정 영역 그룹이 해당 가동 공정 작업과 현재 공정 작업에서의 상태가 상이함을 나타낸다. 그렇지 않으면 해당 공정 영역 그룹이 해당 가동 공정 작업과 현재 공정 작업에서의 상태가 동일함을 나타낸다.Among the process area group identifiers of the specific work area group, the order of the process area identifiers is different from or reversed from the order of the process area identifiers of the specific work area group in the current process operation. That is, it indicates that the state of the corresponding process area group is different from that of the current process operation. Otherwise, it indicates that the corresponding process area group has the same status in the current process operation as in the current process operation.

예를 들어, 현재 공정 작업의 공정 경로의 복수의 공정 영역은 순차적으로 A, B, C이다. 현재 공정 작업이 실행될 때, 먼저 공정 영역 A 중 적어도 하나의 공정 유닛에서 재료에 대해 공정을 수행한다. 그 후 공정 영역 B 중 적어도 하나의 공정 유닛에서 재료에 대해 공정을 수행한다. 마지막으로 공정 영역 C 중 적어도 하나의 공정 유닛에서 재료에 대해 공정을 수행한다.For example, the plurality of process regions of the process path of the current process operation are A, B, and C sequentially. When the current processing operation is executed, the material is first processed in at least one processing unit in the processing area A. Thereafter, the material is processed in at least one processing unit in the processing area B. Finally, the material is processed in at least one processing unit in the processing region C.

현재 공정 작업의 공정 영역 식별자 리스트에서, 공정 영역 식별자는 앞에서 뒤로 순차적으로 A, B, C이다. 소정의 정순서 조합 방식으로 공정 영역 식별자 리스트 중의 공정 영역 식별자를 조합하여, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다. 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 AB, AC, BC를 포함한다.In the process area identifier list of the current process job, the process area identifiers are A, B, and C sequentially from front to back. The process area identifiers in the process area identifier list are combined in a predetermined forward order combination method to obtain a process area relationship list of the current process task. The process area relationship list of the current process operation includes AB, AC, and BC.

하나의 가동할 공정 작업에 있어서, 해당 가동할 공정 작업이 관련된 복수의 공정 영역은 순차적으로 A, C, B이다. 상기 가동할 공정 작업을 실행할 경우, 먼저 공정 영역 A 중 적어도 하나의 공정 유닛에서 재료에 대해 공정을 수행한다. 그 후 공정 영역 C 중 적어도 하나의 공정 유닛에서 재료에 대해 공정을 수행한다. 마지막으로 공정 영역 B 중 적어도 하나의 공정 유닛에서 재료에 대해 공정을 수행한다.In one process operation to be operated, a plurality of process areas related to the process operation to be operated are sequentially A, C, and B. When the process to be operated is executed, first, at least one process unit in the process area A performs a process on the material. Thereafter, a process is performed on the material in at least one process unit in process region C. Finally, processing is performed on the material in at least one processing unit in the processing area B.

해당 가동할 공정 작업의 공정 영역 식별자 리스트에서, 공정 영역 식별자는 앞에서 뒤로 순차적으로 A, C, B이다. 소정의 정순서 조합 방식으로 공정 영역 식별자 리스트 중의 공정 영역 식별자를 조합하여, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다. 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 AC, AB, CB를 포함한다.In the list of process area identifiers of the process to be operated, the process area identifiers are A, C, and B sequentially from front to back. The process area identifiers in the process area identifier list are combined in a predetermined forward order combination method to obtain a process area relationship list of the current process task. The process area relationship list of the current process operation includes AC, AB, and CB.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB에 포함된 공정 영역 식별자는 동일하다. 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB는 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB의 공정 영역 그룹 식별자에 대응한다.The process area identifier included in AB in the process area relationship list of the process task to be started and AB in the process area relationship list of the current process task are the same. AB in the process area relationship list of the current process task corresponds to the process area group identifier of AB in the process area relationship list of the process task to start.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC에 포함된 공정 영역 식별자는 동일하다. 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC는 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC의 공정 영역 그룹 식별자에 대응한다.The process area identifier included in the AC in the process area relationship list of the process task to be started and the AC in the process area relationship list of the current process task are the same. AC in the process area relationship list of the current process task corresponds to the process area group identifier of the AC in the process area relationship list of the process task to start.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 CB와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 BC에 포함된 공정 영역 식별자는 동일하다. 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 BC는 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 CB의 공정 영역 그룹 식별자에 대응한다.The process area identifier included in CB in the process area relationship list of the process task to be started and BC in the process area relationship list of the current process task are the same. BC in the process area relationship list of the current process task corresponds to the process area group identifier of CB in the process area relationship list of the process task to start.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB는 순서가 동일하다. 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC는 순서가 동일하다. 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 CB와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 BC는 순서가 상이하다. 따라서 해당 가동할 공정 작업은 하나의 가동 가능한 공정 작업으로 사용할 수 없다.AB in the process area relationship list of the process job to be started and AB in the process area relationship list of the current process job have the same order. The order of the AC in the process area relationship list of the process task to be started and the AC in the process area relationship list of the current process task are the same. The order of CB in the process area relationship list of the process to be started and BC in the process area relationship list of the current process task are different. Therefore, the process operation to be operated cannot be used as one operational process operation.

다른 예를 들면, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 AB, AC, BC를 포함한다. 하나의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 AB, AC, BC를 포함한다.For another example, the process area relationship list of the current process operation includes AB, AC, and BC. The process area relation list of one process operation to be operated includes AB, AC, and BC.

해당 현재 공정 작업과 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB, AC, BC의 순서는 모두 동일하다. 따라서 해당 가동할 공정 작업은 하나의 가동 가능한 공정 작업으로 사용될 수 있다.The order of AB, AC, and BC in the process area relation list of the current process job and the process job to be started is the same. Therefore, the process operation to be operated can be used as one operational process operation.

상술한 하나의 가동할 공정 작업은 특정한 가동할 공정 작업을 특별히 지칭하지 않음에 유의한다. 상술한 하나의 가동할 공정 작업과 현재 공정 작업이 모두 관련된 하나의 공정 영역 그룹도 특정한 공정 영역 그룹을 특별히 지칭하지 않는다.Note that the above-mentioned one process operation to be operated does not specifically refer to a specific process operation to be operated. Neither the process area group related to the process operation to be operated nor the current process operation described above specifically refers to a specific process area group.

본 실시예에 있어서, 어느 하나의 가동할 공정 작업에 있어서, 해당 가동할 공정 작업과 현재 공정 작업이 함께 관련된 하나의 공정 영역 그룹은 해당 가동할 공정 작업과 현재 공정 작업이 모두 관련된 하나의 공정 영역 그룹으로 칭할 수 있다.In this embodiment, for any process to be operated, one process area group related to the process to be started and the current process is one process area related to both the process to be started and the current process. can be called a group.

어느 하나의 가동할 공정 작업에 있어서, 해당 가동할 공정 작업과 현재 공정 작업이 모두 하나의 공정 영역 그룹에 관련되고 해당 가동할 공정 작업에서 해당 공정 영역 그룹의 상태와 현재 공정 작업에서 해당 공정 영역 그룹의 상태가 상이할 경우, 해당 가동할 공정 작업이 가동 가능한 공정 작업에 속하지 않는 것으로 결정할 수 있다.For a process to be started, both the process to be started and the current process are related to a process area group, and the status of the process area group in the process to be started and the process area group in the current process If the status of is different, it may be determined that the process operation to be operated does not belong to the operation operation.

하나의 가동할 공정 작업에 있어서, 해당 가동할 공정 작업과 현재 공정 작업이 모두 관련된 각각의 공정 영역 그룹의 경우, 해당 가동할 공정 작업에서 해당 공정 영역 그룹의 상태와 현재 공정 작업에서 해당 공정 영역 그룹의 상태가 동일할 경우, 해당 가동 공정 작업은 가동 가능한 공정 작업으로 사용할 수 있다.For a process operation to be operated, for each process area group to which both the process operation to be operated and the current process operation are related, the status of the process area group in the operation to be operated and the corresponding process area group in the current process operation If the status of is the same, the corresponding operational process operation can be used as an operational process operation.

일부 실시예에 있어서, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트와 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 단계는, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트와 각각의 타깃 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 타깃 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 단계를 포함한다.In some embodiments, based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each to-be-started process task, whether all the process tasks to be activated include the movable process tasks according to the first predetermined rule. The step of determining includes movable process tasks in all target process tasks to be activated according to a first predetermined rule based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each target process task to be activated. It includes determining whether or not

본 출원에 있어서, 가동 가능한 공정 작업이 존재하는지 여부를 결정할 때, 모든 가동할 작업에 적어도 하나의 타깃 가동할 공정 작업이 포함된 경우, 모든 타깃 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부만 결정할 수 있다. 다시 말해, 모든 타깃 가동할 공정 작업으로부터만 가동 가능한 공정 작업을 조회하며, 가동 가능한 공정 작업은 모든 타깃 가동할 공정 작업으로부터 유래한다. 모든 타깃 가동할 공정 작업으로부터 적어도 하나의 가동 가능한 공정 작업을 조회할 때, 적어도 하나의 가동 가능한 공정 작업이 존재한다고 결정할 수 있다. 이에 상응하여, 모든 가동할 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함된다고 결정할 수 있다.In the present application, when determining whether there is an operable process operation, if all the operations to be operated include at least one target process operation to be operated, whether all target process operations to be operated include the operation operation. can only be determined In other words, an operable process operation is retrieved only from all target operation operations, and an operation operation operation is derived from all target operation operation operations. When retrieving at least one feasible process operation from all target operational operations, it may be determined that at least one operable process operation exists. Correspondingly, it can be determined that all operational operations include operational process operations.

일부 실시예에 있어서, 반도체 공정 디바이스 중의 각각의 공정 영역의 공정 영역 그룹 식별자를 하나의 바이너리 키 값 쌍에 대응시킨다. 초기값은 00이고, 정순서값은 01이고, 역순서값은 10이다. 이러한 설정에 따라, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트와 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 단계는 하기 단계를 포함한다. 즉, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에 대해 바이너리 또는 계산을 실행하여, 각각의 가동할 공정 작업의 계산 결과를 획득한다. 하나의 가동할 공정 작업의 계산 결과에 11이 포함되면, 해당 가동할 공정 작업이 가동 가능한 공정 작업에 속하지 않는 것으로 결정한다. 하나의 가동할 공정 작업의 계산 결과에 11이 포함되지 않으면, 해당 가동할 공정 작업이 가동 가능한 공정 작업인 것으로 결정한다.In some embodiments, a process region group identifier of each process region in a semiconductor process device corresponds to one binary key value pair. The initial value is 00, the forward order value is 01, and the reverse order value is 10. According to this setting, based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each to-be-started process task, whether or not all the process tasks to be started include the movable process tasks according to the first predetermined rule. The determining step includes the following steps. That is, binary or calculation is performed on the process area relationship list of each process task to be started and the process area relationship list of the current process task to obtain a calculation result of each process task to be started. If the calculation result of one operation operation includes 11, it is determined that the operation operation does not belong to the operation operation. If the calculation result of one operation operation does not include 11, it is determined that the operation operation is an operation operation.

본 실시예에 있어서, 하나의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에 대해 바이너리 또는 계산을 실행할 때, 해당 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 각각의 공정 영역 그룹 식별자의 경우, 해당 공정 영역 그룹 식별자의 값과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 해당 공정 영역 그룹 식별자의 값에 대해 바이너리 또는 계산을 수행한다. 따라서 해당 가동할 공정 작업의 복수의 계산 결과를 획득한다.In this embodiment, when performing binary or calculation on the process area relationship list of one process task to be started and the process area relationship list of the current process task, each process area in the process area relationship list of the process task to be started In the case of a group identifier, binary or calculation is performed on the value of the corresponding process area group identifier and the value of the corresponding process area group identifier in the process area relation list of the current process work. Accordingly, a plurality of calculation results of the process operation to be operated are obtained.

예를 들어, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 {{AB:01}, {AC:01}, {AD:00}, {BC:01}, {BD:00}, {CD:00}}로 나타낸다.For example, the process area relationship list for the current process task is {{AB:01}, {AC:01}, {AD:00}, {BC:01}, {BD:00}, {CD:00}} represented by

하나의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 {{AB:01}, {AC:10}, {AD:00}, {BC:10}, {BD:00}, {CD:00}}로 나타낸다.The process area relationship list of one process operation to be operated is {{AB:01}, {AC:10}, {AD:00}, {BC:10}, {BD:00}, {CD:00}} indicate

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB의 값 01과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB의 값 01에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하여, 바이너리 또는 연산 결과 01을 획득한다.A binary or calculation result of 01 is obtained by performing binary or calculation on AB value 01 in the process area relationship list of the process task to be started and AB value 01 in the process area relationship list of the current process task.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC의 값 01과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC의 값 10에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하여, 바이너리 또는 연산 결과 11을 획득한다.A binary or calculation result of 11 is obtained by performing binary or calculation on AC value 01 in the process area relationship list of the process task to be operated and AC value 10 in the process area relationship list of the current process task.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AD의 값 00과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AD의 값 00에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하여, 바이너리 또는 연산 결과 00을 획득한다. BD, CD의 값에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하는 과정과 마찬가지로, 계산 결과는 모두 00이다.A binary or calculation result of 00 is obtained by performing binary or calculation on the AD value 00 in the process area relationship list of the process task to be operated and the AD value 00 in the process area relationship list of the current process task. Similar to the process of performing binary or arithmetic on the values of BD and CD, all calculation results are 00.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 BC의 값 10과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 BC의 값 01에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하여, 바이너리 또는 연산 결과 11을 획득한다.A binary or calculation result of 11 is obtained by performing binary or calculation on BC value 10 in the process area relationship list of the process task to be started and BC value 01 in the process area relationship list of the current process task.

획득한 모든 바이너리 또는 연산 결과에는 2개의 11이 포함된다. 따라서 해당 가동할 공정 작업은 가동 가능한 공정 작업으로 사용할 수 없는 것으로 결정한다.Every binary or arithmetic result obtained contains two 11's. Therefore, it is determined that the process operation to be operated cannot be used as an operational process operation.

단계 104: 모든 가동할 공정 작업에 상기 가동 가능한 공정 작업이 포함되면, 제2 소정 규칙에 따라 모든 가동 가능한 공정 작업으로부터 타깃 가동 가능한 공정 작업을 선택하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동한다.Step 104: If the movable process is included in all the movable process tasks, a target movable process operation is selected from all the movable process tasks according to a second predetermined rule, and the target movable process operation is started.

본 실시예에 있어서, 제2 소정 규칙에 따라 랜덤 방식으로 모든 가동 가능한 공정 작업으로부터 타깃 가동 가능한 공정 작업을 선택할 수 있다. 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동시킨 후, 타깃 가동 가능한 공정 작업은 현재 공정 작업이 된다.In this embodiment, a target movable process operation may be selected from all movable process operations in a random manner according to the second predetermined rule. After activating the target movable process operation, the target movable process operation becomes the current process operation.

본 실시예의 일부 선택적 구현 방식에 있어서, 제2 소정 규칙은 모든 가동 가능한 공정 작업으로부터 대기 시간이 가장 긴 가동 가능한 공정 작업을 선택하여 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하는 것을 포함한다.In some optional implementation manners of this embodiment, the second predetermined rule includes selecting an operable process job having the longest waiting time from all available process jobs and using it as a target operable process job.

본 실시예의 일부 선택적 구현 방식에 있어서, 현재 공정 작업이 존재하지 않는 경우, 모든 가동할 공정 작업 중에서 대기 시간이 가장 긴 가동할 공정 작업을 가동하는 것을 더 포함한다. 예를 들어, 가동해야 하는 작업을 결정해야 하는 시각에, 모든 이미 가동된 작업이 이미 실행 완료된 경우, 현재 공정 작업이 존재하지 않는다. 모든 가동할 공정 작업 중의 대기 시간이 가장 긴 가동할 공정 작업을 가동할 수 있다.In some optional implementations of this embodiment, the process further includes starting the process to start with the longest waiting time among all the process to start if there is no current process. For example, if at the time it is to be determined which operation to run, all already running operations have already been executed, there is no current process operation. Of all the process operations to be started, the process operation to be started with the longest standby time can be started.

도 4는 본 출원 실시예에 따른 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법의 제2 실시예의 흐름도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 방법은 하기 단계를 포함한다.4 is a flowchart of a second embodiment of a method for operating a process operation in a semiconductor process device according to an embodiment of the present application. As shown in Fig. 4, the method includes the following steps.

단계 401: 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다. 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자와 할당된 값이 포함된다.Step 401: Create a process area relationship list of a current process operation of a semiconductor process device. The process area relationship list of the current process task includes the process area group identifiers and assigned values of the process area groups to which the current process task relates.

본 실시예에 있어서, 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 단계는, 반도체 공정 디바이스 중의 각각의 공정 영역에 공정 영역 식별자를 설정하는 단계; 반도체 공정 디바이스 중의 복수의 공정 유닛의 배열 순서를 기반으로 공정 영역 식별자를 조합하여, 각각의 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자를 획득하고, 모든 공정 영역 그룹 식별자를 포함하는 공정 영역 그룹 식별자 리스트를 생성하는 단계; 각각의 공정 영역 그룹 식별자에 초기값을 할당하는 단계 - 초기값은 해당 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하지 않음을 나타내는 데 사용됨 - ; 및 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 그 상태에 따라, 공정 영역 그룹 식별자 리스트 중 대응하는 공정 영역 그룹 식별자에 정순서값 또는 역순서값을 할당하여, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득하는 단계 - 정순서값은 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하고 정순서 상태에 있음을 나타내는 데 사용되고, 역순서값은 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하고 역순서 상태에 있음을 나타내는 데 사용됨 - 를 포함한다.In this embodiment, generating a process region relationship list of a current process operation of a semiconductor processing device includes: setting a process region identifier for each process region in the semiconductor processing device; Process region identifiers are combined based on the arrangement order of a plurality of process units in the semiconductor process device, process region group identifiers of each process region group are obtained, and a process region group identifier list including all process region group identifiers is generated. doing; Allocating an initial value to each process area group identifier - the initial value is used to indicate that there is no process area group corresponding to the corresponding process area group identifier -; and assigning a forward order value or an inverse order value to a corresponding process region group identifier in the process region group identifier list according to the process region group to which the current process task is associated and its status, thereby obtaining a process region relationship list of the current process task. Step - The forward order value is used to indicate that the process area group corresponding to the process area group identifier exists and is in a forward order state, and the reverse order value is used to indicate that a process area group corresponding to the process area group identifier exists and is in a reverse order state. Used to indicate that there is -.

현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성할 때, 먼저 반도체 공정 디바이스 중의 각각의 공정 영역에 공정 영역 식별자를 설정할 수 있다.When generating the process area relation list of the current process operation, first, a process area identifier may be set for each process area in the semiconductor processing device.

예를 들어, 반도체 공정 디바이스는 공정 영역 A, 공정 영역 B, 공정 영역 C, 공정 영역 D를 포함한다. 공정 영역 A의 공정 영역 식별자는 A, 공정 영역 B의 공정 영역 식별자는 B, 공정 영역 C의 공정 영역 식별자는 C, 공정 영역 D의 공정 영역 식별자는 D로 설정한다.For example, a semiconductor processing device includes process area A, process area B, process area C, and process area D. The process region identifier of process region A is set to A, the process region identifier of process region B is set to B, the process region identifier of process region C is set to C, and the process region identifier of process region D is set to D.

본 실시예에 있어서, 반도체 공정 디바이스 중의 복수의 공정 유닛의 배열 순서에 따라 공정 영역 식별자를 조합할 때, 먼저 반도체 공정 디바이스 중의 복수의 공정 유닛의 배열 순서를 기반으로, 반도체 공정 디바이스 중의 복수의 공정 영역의 배열 순서, 즉, 반도체 공정 디바이스에서 반도체 공정 디바이스 중의 복수의 공정 영역의 앞에서 뒤로의 순서를 결정한다. 공정 영역이 포함하는 공정 유닛의 위치가 앞에 가까울 수록 공정 영역의 위치가 앞에 가깝다.In this embodiment, when combining process region identifiers according to the arrangement order of the plurality of process units in the semiconductor process device, first, based on the arrangement order of the plurality of process units in the semiconductor process device, the plurality of processes in the semiconductor process device An arrangement order of regions, that is, a front to back order of a plurality of process regions in a semiconductor process device is determined. As the position of the process unit included in the process area is closer to the front, the position of the process area is closer to the front.

세정기를 예로 들면, 모든 공정 유닛은 앞에서 뒤로의 순서가 Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8이다.Taking a scrubber as an example, all process units are Tank1, Tank2, Tank3, Tank4, Tank5, Tank6, Tank7, Tank8 in order from front to back.

Tank1-Tank2는 공정 영역 A에 속하고, Tank3-Tank4는 공정 영역 B에 속하며, Tank7-Tank8은 공정 영역 C에 속한다.Tank1-Tank2 belong to process area A, Tank3-Tank4 belong to process area B, and Tank7-Tank8 belong to process area C.

복수의 공정 영역은 앞에서 뒤로의 순서가 공정 영역 A, 공정 영역 B, 공정 영역 C이다.The plurality of process areas are process area A, process area B, and process area C in order from front to back.

공정 영역은 앞에서 뒤로의 순서가 공정 영역 식별자의 앞에서 뒤로의 순서와 일치한다. 따라서 공정 영역의 앞에서 뒤로의 순서를 결정한 후, 공정 영역 식별자의 앞에서 뒤로의 순서를 결정할 수 있다. 그 후, 소정의 정순서 조합 방식으로 공정 영역의 공정 영역 식별자를 조합하여, 각각의 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자를 획득할 수 있다.The front-to-back order of process areas matches the front-to-back order of process area identifiers. Therefore, after determining the order from front to back of process areas, the order from front to back of process area identifiers can be determined. Thereafter, the process region identifiers of the process regions may be combined in a predetermined forward-order combination method to obtain the process region group identifier of each process region group.

소정의 정순서 조합 방식은, 각각의 공정 영역 식별자에 대해, 해당 공정 영역 식별자 뒤에 적어도 하나의 다른 공정 영역 식별자가 존재하는 경우, 해당 공정 영역 식별자를 각각 해당 공정 영역 식별자 뒤의 각각의 다른 공정 영역 식별자와 조합한다.In a predetermined forward-order combination method, for each process region identifier, if at least one other process region identifier exists after the corresponding process region identifier, the corresponding process region identifier is respectively assigned to each other process region following the corresponding process region identifier. combined with an identifier.

예를 들어, 제1 공정 영역 식별자는 A이고, 제2 공정 영역 식별자는 B이고, 제3 공정 영역 식별자는 C이고, 제4 공정 영역 식별자는 D이다. 즉, 복수의 공정 영역은 앞에서 뒤로의 순서가 A, B, C, D이다.For example, the first process region identifier is A, the second process region identifier is B, the third process region identifier is C, and the fourth process region identifier is D. That is, the order of the plurality of process regions from front to back is A, B, C, and D.

공정 영역 식별자 A, B, C, D의 경우 모두 해당 공정 영역 식별자 뒤의 다른 공정 영역 식별자이다. A를 각각 B, C, D와 조합하여, 공정 영역 그룹 식별자 AB, AC, AD를 획득한다.In the case of process area identifiers A, B, C, and D, all process area identifiers are followed by other process area identifiers. Combining A with B, C, and D, respectively, obtains process area group identifiers AB, AC, and AD.

공정 영역 식별자 B, C, D의 경우 모두 해당 공정 영역 식별자 뒤의 다른 공정 영역 식별자이다. B를 각각 C, D와 조합하여 BC, BD를 획득한다.In the case of process area identifiers B, C, and D, all process area identifiers are other process area identifiers after the corresponding process area identifier. B is combined with C and D respectively to obtain BC and BD.

공정 영역 식별자 C, D의 경우 모두 해당 공정 영역 식별자 뒤의 다른 공정 영역 식별자이다. C를 D와 조합하여, CD를 획득한다.In the case of process area identifiers C and D, it is another process area identifier after the process area identifier. Combine C with D to get CD.

획득한 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자는 AB, AC, AD, BC, BD, CD를 포함한다.Process area group identifiers of all acquired process area groups include AB, AC, AD, BC, BD, and CD.

각각의 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자를 획득한 후, 모든 공정 영역 그룹 식별자를 포함하는 공정 영역 그룹 식별자 리스트를 생성할 수 있다. 공정 영역 그룹 식별자 리스트는 combineRegionName으로 칭할 수 있다.After acquiring the process area group identifiers of each process area group, a process area group identifier list including all process area group identifiers may be generated. The process region group identifier list may be referred to as combineRegionName.

공정 영역 그룹 식별자 리스트 combineRegionName의 구조는 데이터 구조 중의 List 구조일 수 있다.The structure of the process region group identifier list combineRegionName may be a List structure among data structures.

예를 들어, 획득한 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자는 AB, AC, AD, BC, BD, CD를 포함한다. 공정 영역 그룹 식별자 리스트 combineRegionName은 List<string> combineRegionName={AB, AC, AD, BC, BD, CD}로 나타낼 수 있다.For example, process area group identifiers of all acquired process area groups include AB, AC, AD, BC, BD, and CD. The process area group identifier list combineRegionName can be expressed as List<string> combineRegionName={AB, AC, AD, BC, BD, CD}.

모든 공정 영역 그룹 식별자를 포함하는 공정 영역 그룹 식별자 리스트를 생성한 후, 각각의 공정 영역 그룹 식별자에 초기값을 할당한다. 여기에서 초기값은 해당 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하지 않음을 나타내는 데 사용된다.After creating a process area group identifier list including all process area group identifiers, an initial value is assigned to each process area group identifier. Here, the initial value is used to indicate that the process area group corresponding to the corresponding process area group identifier does not exist.

예를 들어, 공정 영역 그룹 식별자 리스트 combineRegionName은 List<string> combineRegionName={AB, AC, AD, BC, BD, CD}로 나타낼 수 있다. 각각의 공정 영역 그룹 식별자에 초기값을 할당하며, 초기값은 00이고, 획득한 데이터 구조는 {{AB:00}, {AC:00}, {AD:00}, {BC:00}, {BD:00, D:00}}로 나타낸다.For example, the process area group identifier list combineRegionName can be expressed as List<string> combineRegionName={AB, AC, AD, BC, BD, CD}. Each process area group identifier is assigned an initial value, the initial value is 00, and the acquired data structure is {{AB:00}, {AC:00}, {AD:00}, {BC:00}, { BD:00, D:00}}.

그 후, 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 이의 상기 상태에 따라, 공정 영역 그룹 식별자 리스트 중 대응하는 공정 영역 그룹 식별자에 정순서값 또는 역순서값을 할당하여, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다. 정순서값은 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하고 정순서 상태에 있음을 나타내는 데 사용된다. 역순서값은 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하고 역순서 상태에 있음을 나타내는 데 사용된다.Then, according to the process area group to which the current process task is related and the above state thereof, a forward order value or an inverse order value is assigned to a corresponding process area group identifier in the process area group identifier list, so that the process area relationship list of the current process task Acquire The order value is used to indicate that the process area group corresponding to the process area group identifier exists and is in order. The reverse order value is used to indicate that the process area group corresponding to the process area group identifier exists and is in reverse order state.

본 실시예에 있어서, 하나의 공정 영역 그룹 식별자에 있어서, 하나의 공정 영역 그룹에 해당 공정 영역 그룹 식별자 중에서 2개의 공정 영역 그룹 식별자 중 각각의 공정 영역 식별자 각각이 속한 공정 영역이 포함되면, 해당 공정 영역은 해당 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹으로 칭할 수 있다.In this embodiment, in one process area group identifier, if one process area group includes a process area to which each of the process area identifiers among two process area group identifiers among corresponding process area group identifiers belongs, the corresponding process A region may be referred to as a process region group corresponding to a corresponding process region group identifier.

해당 공정 영역 그룹이 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹이면, 해당 공정 영역 그룹이 존재하는 것으로 칭할 수 있다. 해당 공정 영역 그룹이 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹이 아니면, 해당 공정 영역 그룹이 존재하지 않는 것으로 칭할 수 있다.If the corresponding process area group is a process area group related to the current process operation, the corresponding process area group may be said to exist. If the corresponding process area group is not a process area group related to the current process operation, the corresponding process area group may be referred to as non-existent.

현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹의 상태는 현재 공정 작업에서 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹의 상태를 의미할 수 있다.The status of the process area group related to the current process task may mean the status of the process area group related to the current process task in the current process task.

현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중에서 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹에 속하는 각각의 공정 영역 그룹 식별자의 경우, 해당 공정 영역 그룹 식별자가 속한 공정 영역 그룹이 현재 공정 작업에서의 상태가 정순서값이면, 해당 공정 영역 그룹 식별자에 정순서값을 할당한다. 해당 공정 해당 공정 영역 그룹 식별자가 속한 공정 영역 그룹이 현재 공정 작업에서의 상태가 역순서값이면, 해당 공정 영역 그룹 식별자에 역순서값을 할당한다.In the case of each process area group identifier belonging to the process area group to which the current process task is related among the process area relationship list of the current process task, if the process area group to which the process area group identifier belongs is a value in the current process task, , assigns a positive order value to the corresponding process area group identifier. If the process area group to which the corresponding process area group identifier belongs has a reverse order value in the current process operation, the process area group identifier is assigned a reverse order value.

예를 들어, 각각의 공정 영역 그룹 식별자에 초기값을 할당하며, 초기값은 00이고, 획득한 데이터 구조는 {{AB:00}, {AC:00}, {AD:00}, {BC:00}, {BD:00}, {CD:00}}로 나타낸다. 현재 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자에 AB, AC가 포함된다고 가정하면, 공정 영역 식별자 AB가 속한 공정 영역 A와 공정 영역 B로 구성된 공정 영역 그룹은 현재 공정 작업에서의 상태가 정순서 상태이다. 공정 영역 식별자 AC가 속한 공정 영역 A와 공정 영역 C로 구성된 공정 영역 그룹은 현재 공정 작업에서의 상태가 역순서 상태이다. AB에 정순서값(예를 들어, 01일 수 있음)을 할당하고, AC에 역순서값(예를 들어 10일 수 있음)을 할당한다. 획득한 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 {{AB:01}, {AC:10}, {AD:00}, {BC:00}, {BD:00}, {CD:00}}로 나타낸다.For example, an initial value is assigned to each process area group identifier, the initial value is 00, and the obtained data structure is {{AB:00}, {AC:00}, {AD:00}, {BC: 00}, {BD:00}, {CD:00}}. Assuming that the process area group identifiers of all process area groups to which the current process task is related include AB and AC, the process area group consisting of process area A and process area B to which the process area identifier AB belongs has the status in the current process task. It is a state of order. The process area group consisting of process area A and process area C to which the process area identifier AC belongs is in reverse order in the current process operation. Assign AB a forward order value (eg, which may be 01), and AC an inverse order value (eg, which may be 10). The process area relationship list of the current process task acquired is represented by {{AB:01}, {AC:10}, {AD:00}, {BC:00}, {BD:00}, {CD:00}} .

도 5는 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자에 값을 할당하는 흐름도이다.5 is a flowchart of assigning a value to a process area group identifier of a process area group to which a current process task is related.

도 5에 도시된 바와 같이, 반도체 공정 디바이스의 공정 영역 식별자 서열 listRegionName을 획득한다.listRegionName에 따라 반도체 공정 디바이스의 공정 영역 그룹 식별자 리스트 combineRegionName을 획득한다. 각각의 공정 영역 그룹 식별자에 초기값을 할당한다. 현재 작업의 공정 영역 식별자 서열 listrouteRegionSort를 획득한다. 현재 공정 작업의 공정 영역 식별자 서열 listrouteRegionSort는 현재 공정 작업이 관련된 각각의 공정 영역의 공정 영역 식별자를 포함한다. listrouteRegionSort에 따라 현재 공정 작업의 공정 영역 그룹 식별자 리스트 currentregionname을 획득한다. 현재 공정 작업의 공정 영역 그룹 식별자 리스트 currentregionname은 현재 공정 작업이 관련된 각각의 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자를 포함한다.As shown in FIG. 5 , a process region identifier sequence listRegionName of a semiconductor process device is acquired. According to listRegionName, a process region group identifier list combineRegionName of a semiconductor process device is obtained. Each process area group identifier is assigned an initial value. Acquire the process region identifier sequence listrouteRegionSort of the current job. The process region identifier sequence listrouteRegionSort of the current process operation contains the process region identifier of each process region to which the current process operation is related. According to listrouteRegionSort, the process area group identifier list currentregionname of the current process task is acquired. The process region group identifier list currentregionname of the current process task includes the process region group identifier of each process region group to which the current process task is related.

currentregionname 중의 공정 영역 그룹 식별자를 순회할 수 있다. 하나의 공정 영역 그룹 식별자에 액세스할 때, 해당 공정 영역 그룹 식별자는 현재 액세스한 공정 영역 그룹 식별자이다.Process region group identifiers in currentregionname can be traversed. When accessing a process area group identifier, the corresponding process area group identifier is the currently accessed process area group identifier.

combineRegionName에 현재 액세스한 currentregionname 중의 공정 영역 그룹 식별자가 포함되는지 여부를 판단한다. combineRegionName에 현재 액세스한 currentregionname 중의 공정 영역 그룹 식별자가 포함되면, 현재 공정 작업에서 현재 액세스한 currentregionname 중의 공정 영역 그룹 식별자가 속한 공정 영역 그룹의 상태가 정순서 상태에 있는지 여부를 판단한다.Determines whether combineRegionName includes the process region group identifier in currentregionname currently accessed. If combineRegionName includes the process region group identifier in the currently accessed currentregionname, it is determined whether the state of the process region group to which the currently accessed process region group identifier belongs in the currentregionname in the current process operation is in a forward order state.

그러하면, 현재 액세스한 currentregionname 중의 공정 영역 그룹 식별자에 01을 할당한다. 그러하지 않으면, 현재 액세스한 currentregionname 중의 공정 영역 그룹 식별자에 10을 할당한다.If so, 01 is assigned to the process region group identifier in the currently accessed currentregionname. Otherwise, 10 is assigned to the process region group identifier in the currently accessed currentregionname.

combineRegionName에 현재 액세스한 currentregionname 중의 공정 영역 그룹 식별자가 포함되지 않으면, 리턴하여 currentregionname 중의 다음 공정 영역 그룹 식별자에 액세스한다.If combineRegionName does not contain the currently accessed process region group identifier in currentregionname, it returns and accesses the next process region group identifier in currentregionname.

단계 402: 모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다. 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 가동할 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함된다.Step 402: Determine all the process operations to be started, and generate a process area relationship list of each process operation to be started. The process area relation list of the process operation to be started includes the process area group identifiers of the process area groups to which the process operation to be started is related.

본 실시예에 있어서, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 단계는, 각각의 가동할 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 그 상태에 따라, 공정 영역 그룹 식별자 리스트 중 대응하는 공정 영역 그룹 식별자에 정순서값 또는 역순서값을 할당하여, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득하는 단계를 포함한다.In the present embodiment, the step of generating a process area relation list of each to-be-started process operation includes, according to the process area group to which each to-be-started process task is related and its status, a corresponding process area from the list of process area group identifiers. and assigning a forward order value or a reverse order value to the group identifier to obtain a process area relationship list of each process operation to be started.

가동할 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 그 정순서 상태에 따라 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득하는 과정은, 상술한 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 그 상태에 따라 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득하는 과정과 유사하다. 상술한 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 그 상태에 따라, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득하는 과정을 참고할 수 있다. 각각의 가동할 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 그 상태에 따라, 각각 공정 영역 그룹 식별자 리스트 중 대응하는 공정 영역 그룹 식별자에 정순서값 또는 역순서값을 할당하여, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다.The process of obtaining the process area relationship list of the process task to be started according to the process area group related to the process task to be operated and its order status, the process area group related to the current process task described above and the status of the current process task. It is similar to the process of obtaining the process area relationship list. According to the above-described process area group related to the current process task and its status, a process of obtaining a process area relationship list of the current process task may be referred to. According to the process area group to which each process operation to be operated is related and its status, a forward order value or a reverse order value is assigned to the corresponding process area group identifier in the list of process area group identifiers, respectively, so that each process operation of the process operation to be started is performed. Acquire a list of domain relationships.

단계 403: 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정한다.Step 403: Based on the process domain relationship list of the current process task and the process domain relationship list of each to-be-started process task, determine whether all the to-be-started process tasks include movable process tasks according to a first predetermined rule. .

본 실시예에 있어서, 반도체 공정 디바이스 중의 각각의 공정 영역의 공정 영역 그룹 식별자를 하나의 바이너리 키 값 쌍에 대응시킬 수 있다. 초기값은 00이고, 정순서값은 01이고, 역순서값은 10이다. 이러한 설정에 따라, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트와 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 단계는 하기 단계를 포함한다. 즉, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에 대해 바이너리 또는 계산을 각각 실행하여, 각각의 가동할 공정 작업의 계산 결과를 획득한다. 하나의 가동할 공정 작업의 계산 결과에 11이 포함되면, 해당 가동할 공정 작업이 가동 가능한 공정 작업에 속하지 않는 것으로 결정한다. 하나의 가동할 공정 작업의 계산 결과에 11이 포함되지 않으면, 해당 가동할 공정 작업이 가동 가능한 공정 작업인 것으로 결정한다.In this embodiment, a process region group identifier of each process region in a semiconductor process device may correspond to one binary key value pair. The initial value is 00, the forward order value is 01, and the reverse order value is 10. According to this setting, based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each to-be-started process task, whether or not all the process tasks to be started include the movable process tasks according to the first predetermined rule. The determining step includes the following steps. That is, binary or calculation is performed on the process area relationship list of each process task to be started and the process area relationship list of the current process task, respectively, to obtain a calculation result of each process task to be started. If the calculation result of one operation operation includes 11, it is determined that the operation operation does not belong to the operation operation. If the calculation result of one operation operation does not include 11, it is determined that the operation operation is an operation operation.

본 실시예에 있어서, 하나의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에 대해 바이너리 또는 계산을 실행할 때, 해당 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 각각의 공정 영역 그룹 식별자의 경우, 해당 공정 영역 그룹 식별자의 값과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 해당 공정 영역 그룹 식별자의 값에 대해 바이너리 또는 계산을 수행한다. 따라서 해당 가동할 공정 작업의 복수의 계산 결과를 획득한다.In this embodiment, when performing binary or calculation on the process area relationship list of one process task to be started and the process area relationship list of the current process task, each process area in the process area relationship list of the process task to be started In the case of a group identifier, binary or calculation is performed on the value of the corresponding process area group identifier and the value of the corresponding process area group identifier in the process area relation list of the current process work. Accordingly, a plurality of calculation results of the process operation to be operated are obtained.

예를 들어, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 {{AB:01}, {AC:01}, {AD:00}, {BC:01}, {BD:00}, {CD:00}}로 나타낸다.For example, the process area relationship list for the current process task is {{AB:01}, {AC:01}, {AD:00}, {BC:01}, {BD:00}, {CD:00}} represented by

하나의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트는 {{AB:01}, {AC:10}, {AD:00}, {BC:10}, {BD:00}, {CD:00}}로 나타낸다.The process area relationship list of one process operation to be operated is {{AB:01}, {AC:10}, {AD:00}, {BC:10}, {BD:00}, {CD:00}} indicate

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB의 값 01과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AB의 값 01에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하여, 바이너리 또는 연산 결과 01을 획득한다.A binary or calculation result of 01 is obtained by performing binary or calculation on AB value 01 in the process area relationship list of the process task to be started and AB value 01 in the process area relationship list of the current process task.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC의 값 01과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AC의 값 10에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하여, 바이너리 또는 연산 결과 11을 획득한다.A binary or calculation result of 11 is obtained by performing binary or calculation on AC value 01 in the process area relationship list of the process task to be operated and AC value 10 in the process area relationship list of the current process task.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AD의 값 00과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 AD의 값 00에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하여, 바이너리 또는 연산 결과 00을 획득한다. BD, CD의 값에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하는 과정과 마찬가지로, 계산 결과는 모두 00이다.A binary or calculation result of 00 is obtained by performing binary or calculation on the AD value 00 in the process area relationship list of the process task to be operated and the AD value 00 in the process area relationship list of the current process task. Similar to the process of performing binary or arithmetic on the values of BD and CD, all calculation results are 00.

가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 BC의 값 10과 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 중의 BC의 값 01에 대해 바이너리 또는 연산을 수행하여, 바이너리 또는 연산 결과 11을 획득한다.A binary or calculation result of 11 is obtained by performing binary or calculation on BC value 10 in the process area relationship list of the process task to be started and BC value 01 in the process area relationship list of the current process task.

획득한 모든 바이너리 또는 연산 결과에는 2개의 11이 포함된다. 따라서 해당 가동할 공정 작업은 가동 가능한 공정 작업으로 사용할 수 없는 것으로 결정한다.Every binary or arithmetic result obtained contains two 11's. Therefore, it is determined that the process operation to be operated cannot be used as an operational process operation.

단계 404: 모든 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되면, 제2 소정 규칙에 따라 모든 가동 가능한 공정 작업으로부터 타깃 가동 가능한 공정 작업을 선택하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동한다.Step 404: If all the to-be-actuated process tasks include the movable process task, a target movable process task is selected from all the movable process tasks according to a second predetermined rule, and the target movable process task is started.

단계 404의 실행 과정은 상술한 단계 104의 실행 과정에 유사하다. 단계 404의 실행 과정은 상술한 단계 104의 실행 과정을 참고할 수 있다.The execution process of step 404 is similar to the execution process of step 104 described above. The execution process of step 404 may refer to the execution process of step 104 described above.

도 6은 제1 세정기 중의 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하는 하나의 흐름도이다.6 is one flow diagram of operating a target movable process operation in a first scrubber.

실행 중인 현재 Job이 존재하는지 여부를 판단한다. 실행하고 있는 현재 Job이 존재하는지 여부를 판단하는 것은 실행 상태에 있는 현재 Job이 존재하는지 여부를 판단하는 것에 해당한다. 실행 중인 현재 Job는 대상으로 삼은 재료가 공정 유닛에서 공정 조작이 수행되고 있으며 가동 시간이 가장 늦은 작업을 의미할 수 있다.Determines whether there is a current Job that is being executed. Determining whether a current Job in execution exists corresponds to determining whether a current Job in an execution state exists. The current job being executed may mean a job in which a process operation is being performed in a process unit for the target material and the operation time is the latest.

실행 중인 현재 Job이 존재하면, 실행 중인 현재 Job의 T3-T6 공정 영역, 즉 B 공정 영역에서의 직병렬 모드를 획득한다.If there is a current job being executed, the serial/parallel mode in the T3-T6 process area of the current job being executed, that is, the B process area is obtained.

실행 중인 현재 Job이 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있는지 여부를 판단한다. 실행 중인 현재 Job이 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있지 않으면, T3-T6 공정 영역의 B 공정 영역에서의 직병렬 모드와 현재 Job의 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 일치하는 가동할 Job을 조회한다. 직병렬 모드가 일치하는 열 Joblist1을 생성한다. T3-T6 공정 영역의 B 공정 영역에서의 직병렬 모드와 현재 Job의 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 일치하는 가동할 Job이 존재하지 않으면, Joblist1은 비어 있다. Joblist1이 비어 있으면, 타깃 가동 가능한 Job이 존재하지 않는 것으로 결정한다. 적어도 하나의 T3-T6 공정 영역의 B 공정 영역에서의 직병렬 모드와 현재 Job의 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 일치하는 가동할 Job이 존재하면, Joblist1는 비어 있지 않다. Joblist1가 비어 있지 않으면, 실행 중인 현재 Job의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다. 실행 중인 현재 Job의 공정 영역 관계 리스트와 Joblist1 중의 가동할 작업의 공정 영역 관계 리스트에 따라, 가동할 Job을 조회한다. 다시 말해, 모든 T3-T6 공정 영역의 B 공정 영역에서의 직병렬 모드와 현재 Job의 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 일치하는 가동할 Job로부터, 가동 가능한 Job을 조회한다.The current job being executed determines whether the serial/parallel mode in the T3-T6 process area is empty. If the serial/parallel mode in process area T3-T6 of the current job being executed is not empty, the serial/parallel mode in process area B of process area T3-T6 matches the serial/parallel mode in process area T3-T6 of the current job. Search the Job to be operated. Create a column Joblist1 with matching serial/parallel mode. If there is no job to be operated whose serial/parallel mode in process area B of process area T3-T6 matches the serial/parallel mode in process area T3-T6 of the current job, Joblist1 is empty. If Joblist1 is empty, it is determined that no target movable job exists. If there is a job to be operated in which the serial/parallel mode of at least one process area B of process areas T3-T6 matches the serial/parallel mode of process area T3-T6 of the current job, Joblist1 is not empty. If Joblist1 is not empty, the process area relation list of the current job being executed is obtained. According to the process area relationship list of the current job being executed and the process area relationship list of the job to be operated in Joblist1, the job to be operated is searched. In other words, an operable job is retrieved from jobs to be operated in which the series-parallel mode in the B process area of all T3-T6 process areas and the serial-parallel mode in the T3-T6 process area of the current job match.

가동 가능한 공정 작업 리스트 Joblist2를 생성한다. 가동 가능한 Job을 조회하지 못하면, Joblist2는 비어 있다. Joblist2가 비어 있으면, 타깃 가동 가능한 Job이 존재하지 않는 것으로 결정한다. 적어도 하나의 가동 가능한 Job이 조회되면, Joblist2는 비어 있지 않다. Joblist2는 조회된 모든 가동 가능한 Job을 포함한다. Joblist2가 비어 있지 않으면, Joblist2 중의 대기 시간이 가장 긴 가동 가능한 Job을 선택하여 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동한다.Creates the movable process job list Joblist2. Joblist2 is empty if no available jobs are retrieved. If Joblist2 is empty, it is determined that no target movable job exists. If at least one runnable Job is queried, Joblist2 is non-empty. Joblist2 contains all the searchable flexible jobs. If Joblist2 is not empty, a movable job with the longest waiting time in Joblist2 is selected and used as a target movable process job, and the target movable process job is started.

실행 중인 현재 Job이 존재하고 실행 중인 현재 Job의 T3-T6공정 영역, 즉 B 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있으면, T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있는 가동할 job과 관련된 리스트 Joblist3을 생성한다. T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있는 가동할 job이 존재하지 않으면, Joblist3은 비어 있다. Joblist3이 비어 있으면, 타깃 가동 가능한 Job이 존재하지 않는 것으로 결정한다. 적어도 하나의 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있는 가동할 job이 존재하면, Joblist3은 비어 있지 않다. Joblist3이 비어 있지 않으면, 실행 중인 현재 Job의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다. 실행 중인 현재 Job과 Joblist3 중의 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있는 가동할 Job의 공정 영역 관계 리스트에 따라, 가동 가능한 Job을 조회한다. 가동 가능한 공정 작업 리스트 Joblist4를 생성한다. T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있는 가동할 Job의 가동 가능한 Job이 조회되지 않으면, Joblist4는 비어 있다. Joblist4가 비어 있으면, 타깃 가동 가능한 Job이 존재하지 않는 것으로 결정한다. 적어도 하나의 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있는 가동할 Job의 가동 가능한 Job이 조회되면, Joblist4는 비어 있지 않다.If the current job being executed exists and the serial/parallel mode in the T3-T6 process area, that is, the B process area, of the current job being executed is empty, the list related to the job to be operated in which the serial/parallel mode in the T3-T6 process area is empty Create Joblist3. If the serial/parallel mode in the T3-T6 process area does not exist and there is no job to run, Joblist3 is empty. If Joblist3 is empty, it is determined that no target movable job exists. Joblist3 is non-empty if there is a job to be run with an empty serial/parallel mode in at least one T3-T6 process area. If Joblist3 is not empty, the process area relation list of the current job being executed is acquired. According to the current job being executed and the process area relationship list of the job to be operated whose serial/parallel mode in T3-T6 process area is empty in Joblist3, the available job is searched. Create a list of possible process jobs, Joblist4. Joblist4 is empty if the operable job of the job to be operated is not searched for the serial/parallel mode in the T3-T6 process area. If Joblist4 is empty, it is determined that no target movable Job exists. If an operable job of a job to be operated for which serial/parallel mode in at least one T3-T6 process area is empty is inquired, Joblist4 is not empty.

Joblist4가 비어 있지 않으면, Joblist4 중의 모든 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 비어 있는 가동할 Job의 가동 가능한 Job 중의 대기 시간이 가장 긴 가동 가능한 Job을 선택하여, 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동한다.If Joblist4 is not empty, select an operable job with the longest waiting time among the operable jobs of which the serial and parallel mode is empty in all T3-T6 process areas in Joblist4, and use it as the target operable process job. , activates the target movable process operation.

실행 중인 현재 Job이 존재하지 않으면, NewJobID가 존재하지 않는 것으로 판단한다. NewJobID는 반도체 공정 디바이스가 신규 가동하는 공정 작업을 나타낸다. 반도체 공정 디바이스가 신규 가동하는 공정 작업은, 이미 가동된 작업 중 대상으로 삼은 재료가 아직 셸프를 이탈하지 않았으며 가동 시간이 가장 늦은 작업을 의미할 수 있다. 실행 중인 현재 Job이 존재하지 않고 NewJobID가 존재하는 경우, NewJobID를 현재 Job으로 사용한다.If the current Job being executed does not exist, it is determined that NewJobID does not exist. NewJobID represents a process job in which a semiconductor process device is newly operated. A process operation in which the semiconductor process device is newly operated may refer to a operation in which the target material has not yet left the shelf and the operation time is the latest among operations that have already been operated. If the current job being executed does not exist and NewJobID exists, NewJobID is used as the current job.

NewJobID가 존재하면, NewJobID의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다. NewJobID 및 각각의 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드와 NewJobID의 T3-T6 공정 영역에서의 직병렬 모드가 일치하는 가동할 작업의 공정 영역 관계 리스트에 따라, 가동 가능한 Job을 조회한다. 가동 가능한 공정 작업 리스트 Joblist5를 생성한다. 가동 가능한 Job이 조회되지 않으면, Joblist5는 비어 있다. Joblist5가 비어 있으면, 타깃 가동 가능한 Job이 존재하지 않는 것으로 결정한다. 적어도 하나의 가동 가능한 Job을 조회하면, Joblist5는 비어 있지 않다. Joblist5가 비어 있지 않으면, Joblist5 중의 대기 시간이 가장 긴 가동 가능한 Job을 선택해 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하며, NewJobID를 업데이트한다. 가동하는 타깃 가동 가능한 공정 작업은 셸프를 이탈하지 않았으며 가동 시간이 가장 늦기 때문에, 가동하는 타깃 가동 가능한 공정 작업은 새로운 NewJobID가 된다.If NewJobID exists, a process area relation list of NewJobID is acquired. According to the NewJobID and the process area relation list of the job to be operated in which the series/parallel mode in each T3-T6 process area and the serial/parallel mode in the T3-T6 process area of NewJobID match, a movable job is searched. Create a list of possible process jobs, Joblist5. Joblist5 is empty if no available jobs are retrieved. If Joblist5 is empty, it is determined that no target movable Job exists. Joblist5 is non-empty if at least one movable job is retrieved. If Joblist5 is not empty, the available job with the longest waiting time in Joblist5 is selected and used as the target operable process job, the target operable process job is started, and NewJobID is updated. Since the active target feasible process job has not left the shelf and has the latest uptime, the active target feasible process job becomes a new NewJobID.

NewJobID가 존재하지 않으면, 대기 시간이 가장 긴 가동할 Job이 존재하는지 여부를 판단한다. 대기 시간이 가장 긴 가동할 Job이 존재하면, 타깃 가동 가능한 Job이 존재하지 않는 것으로 결정한다. 대기 시간이 가장 긴 가동할 Job이 존재하면, 대기 시간이 가장 긴 가동할 Job을 선택하여 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하며, NewJobID를 업데이트한다.If NewJobID does not exist, it is determined whether there is a job to start with the longest waiting time. If there is a job to be operated with the longest waiting time, it is determined that the target operable job does not exist. If there is a Job to be started with the longest waiting time, the Job to be started with the longest waiting time is selected and used as a target workable process job, the target workable process job is started, and NewJobID is updated.

도 7은 제2 세정기 중의 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하는 하나의 흐름도이다.Figure 7 is one flow diagram of operating a target movable process operation in a second scrubber.

실행 중인 현재 Job이 존재하는지 여부를 판단한다. 실행하고 있는 현재 Job이 존재하는지 여부를 판단하는 것은 실행 상태에 있는 현재 Job이 존재하는지 여부를 판단하는 것에 해당한다. 실행 중인 현재 Job는 대상으로 삼은 재료가 공정 유닛에서 공정 조작이 수행되고 있으며 가동 시간이 가장 늦은 작업을 의미할 수 있다.Determines whether there is a current Job that is being executed. Determining whether a current Job in execution exists corresponds to determining whether a current Job in an execution state exists. The current job being executed may mean a job in which a process operation is being performed in a process unit for the target material and the operation time is the latest.

실행 중인 현재 Job이 존재하면, 실행 중인 현재 Job의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다. 실행 중인 현재 Job의 공정 영역 관계 리스트와 각각의 가동할 작업의 공정 영역 관계 리스트에 따라, 가동 가능한 Job을 조회한다. 가동 가능한 공정 작업 리스트를 생성한다. 가동 가능한 Job이 조회되지 않으면, 비어 있다. 가동 가능한 공정 작업 리스트가 비어 있으면, 타깃 가동 가능한 Job이 존재하지 않는 것으로 결정한다. 적어도 하나의 가동 가능한 Job이 조회되면, 가동 가능한 공정 작업 리스트는 비어 있지 않으며, 조회된 모든 가동 가능한 Job이 포함된다. 가동 가능한 공정 작업 리스트가 비어 있지 않으면, 가동 가능한 공정 작업 중의 대기 시간이 가장 긴 가동 가능한 Job을 선택하여 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동한다.If there is a current job being executed, a process area relation list of the current job being executed is acquired. According to the process area relationship list of the current job being executed and the process area relationship list of each job to be operated, the movable job is searched. Create a list of actionable process tasks. It is empty if no available Jobs are queried. If the movable process job list is empty, it is determined that the target movable job does not exist. If at least one movable job is inquired, the movable process job list is non-empty and includes all movable jobs inquired. If the movable process job list is not empty, a movable job having the longest standby time among movable process jobs is selected and used as a target movable process job, and the target movable process job is started.

실행 중인 현재 Job이 존재하지 않으면, NewJobID가 존재하지 않는 것으로 판단한다. NewJobID가 존재하면, NewJobID의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다. NewJobID의 공정 영역 관계 리스트와 각각의 가동할 작업의 공정 영역 관계 리스트에 따라, 가동 가능한 Job을 조회한다. 가동 가능한 공정 작업 리스트를 생성한다. 가동 가능한 Job이 조회되지 않으면, 비어 있다. 가동 가능한 공정 작업 리스트가 비어 있으면, 타깃 가동 가능한 Job이 존재하지 않는 것으로 결정한다. 적어도 하나의 가동 가능한 Job이 조회되면, 가동 가능한 공정 작업 리스트는 비어 있지 않으며, 조회된 모든 가동 가능한 Job이 포함된다. 가동 가능한 공정 작업 리스트가 비어 있지 않으면, 가동 가능한 공정 작업 중의 대기 시간이 가장 긴 가동 가능한 Job을 선택하여 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하며, NewJobID를 업데이트한다.If the current Job being executed does not exist, it is determined that NewJobID does not exist. If NewJobID exists, a process area relation list of NewJobID is acquired. According to the process area relationship list of NewJobID and the process area relationship list of each job to be operated, a movable job is searched. Create a list of actionable process tasks. It is empty if no available Jobs are queried. If the movable process job list is empty, it is determined that the target movable job does not exist. If at least one movable job is inquired, the movable process job list is non-empty and includes all movable jobs inquired. If the movable process job list is not empty, a movable job with the longest waiting time is selected and used as a target movable process job, the target movable process job is started, and NewJobID is updated.

NewJobID가 존재하지 않으면, 대기 시간이 가장 긴 가동할 Job이 존재하는지 여부를 판단한다. 대기 시간이 가장 긴 가동할 Job이 존재하지 않으면, 타깃 가동 가능한 Job이 존재하지 않는 것으로 결정한다. 대기 시간이 가장 긴 가동할 Job이 존재하면, 대기 시간이 가장 긴 가동 가능한 Job을 선택하여 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하며, NewJobID를 업데이트한다.If NewJobID does not exist, it is determined whether there is a job to start with the longest waiting time. If there is no Job to be operated with the longest waiting time, it is determined that there is no Job that can be operated as a target. If there is a job to be operated with the longest waiting time, the available job with the longest waiting time is selected and used as the target operable process job, the target operable process job is started, and the NewJobID is updated.

도 8은 본 출원 실시예에 따른 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 장치의 구조 블록도이다. 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 장치는 생성 유닛(801), 제1 결정 유닛(802), 제2 결정 유닛(803) 및 가동 유닛(804)을 포함한다.8 is a structural block diagram of an operating apparatus for a process operation in a semiconductor process device according to an embodiment of the present application. The operating apparatus of the process operation in the semiconductor processing device includes a generating unit 801 , a first determining unit 802 , a second determining unit 803 and an operating unit 804 .

생성 유닛(801)은 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다. 여기에서 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 현재 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함된다.The generation unit 801 generates a process region relationship list of a semiconductor process device current process operation. Here, the process area relationship list of the current process task includes process area group identifiers of all process area groups related to the current process task.

제1 결정 유닛(802)은 모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다. 여기에서 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 가동할 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함된다.The first determination unit 802 determines all process jobs to be started, and generates a process area relationship list of each process job to be started. Here, the process area relation list of the process task to be started includes process area group identifiers of all process area groups related to the process task to be started.

제2 결정 유닛(803)은 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정한다.The second determination unit 803 determines that all of the process jobs to be started include the process jobs that can be operated according to a first predetermined rule, based on the list of process domain relationships of the current process job and the list of process domain relationships of each process job to be started. decide whether or not

가동 유닛(804)은 모든 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되면, 제2 소정 규칙에 따라 모든 가동 가능한 공정 작업으로부터 타깃 가동 가능한 공정 작업을 선택하고, 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동한다.When the movable process jobs are included in all of the movable process jobs, the movable unit 804 selects a target movable process job from all movable process jobs according to a second predetermined rule, and starts the target movable process job.

일부 실시예에 있어서, 제1 결정 유닛(802)은 다음과 같이 더 구성된다. 즉, 현재 공정 작업이 복수의 공정 영역 중의 하나의 소정 공정 영역에 관련된 경우, 현재 공정 작업 중 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형을 결정한다. 모든 가동할 공정 작업 중 소정 공정 영역이 관련된 가동할 공정 작업을 결정한다. 각각의 소정 공정 영역이 관련된 가동할 공정 작업 중 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형을 결정한다. 소정 공정 영역이 관련되고 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형과 현재 공정 작업 중 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형이 서로 매칭되는 가동할 공정 작업을 타깃 가동할 공정 작업으로 결정한다. 각각의 타깃 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성한다.In some embodiments, the first decision unit 802 is further configured as follows. That is, when the current process operation is related to one predetermined process area among a plurality of process areas, a serial/parallel type corresponding to the predetermined process area among the current process operations is determined. Of all the process operations to be run, a given process area determines the process operation to be run. Of the process operations to be operated with respect to each predetermined process zone, a serial/parallel type corresponding to the predetermined process zone is determined. A process operation to be operated in which a predetermined process area is related and a series/parallel type corresponding to the predetermined process area and a series/parallel type corresponding to the predetermined process area among current process operations are matched with each other is determined as a target process operation. Create a process area relationship list for each target process to be operated.

일부 실시예에 있어서, 제2 결정 유닛(803)은 다음과 같이 더 구성된다.In some embodiments, the second decision unit 803 is further configured as follows.

현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 타깃 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 타깃 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정한다.Based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each target process task to be activated, it is determined according to a first predetermined rule whether or not all target process tasks to be activated include movable process tasks.

일부 실시예에 있어서, 제2 소정 규칙은 모든 가동 가능한 공정 작업으로부터 대기 시간이 가장 긴 가동 가능한 공정 작업을 선택하여 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하는 것을 포함한다.In some embodiments, the second predetermined rule includes selecting an available process job having the longest waiting time from all available process jobs and using it as a target operable process job.

일부 실시예에 있어서, 현재 공정 작업은, 반도체 공정 디바이스가 실행 중인 공정 작업, 반도체 공정 디바이스가 신규 가동하는 공정 작업 중 하나이다.In some embodiments, the current process operation is one of a process operation being executed by the semiconductor processing device and a process operation newly started by the semiconductor processing device.

일부 실시예에 있어서, 생성 유닛(801)은 다음과 같이 더 구성된다. 즉, 각각의 공정 영역에 공정 영역 식별자를 설정한다. 복수의 공정 유닛의 배열 순서를 기반으로 공정 영역 식별자를 조합하여, 각각의 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자를 획득하고, 모든 공정 영역 그룹 식별자를 포함하는 공정 영역 그룹 식별자 리스트를 생성한다. 각각의 공정 영역 그룹 식별자에 초기값을 할당한다. 여기에서, 초기값은 해당 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하지 않음을 나타내는 데 사용된다. 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 정/역순서 상태에 따라, 공정 영역 그룹 식별자 리스트 중 대응하는 공정 영역 그룹 식별자에 정순서값 또는 역순서값을 할당하여, 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득한다. 여기에서, 정순서값은 해당 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하고 정순서 상태에 있음을 나타내는 데 사용된다. 역순서값은 해당 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하고 역순서 상태에 있음을 나타내는 데 사용된다.In some embodiments, the generating unit 801 is further configured as follows. That is, a process area identifier is set for each process area. The process area identifiers are combined based on the arrangement order of the plurality of process units, the process area group identifiers of each process area group are obtained, and a process area group identifier list including all process area group identifiers is generated. Each process area group identifier is assigned an initial value. Here, the initial value is used to indicate that the process area group corresponding to the corresponding process area group identifier does not exist. According to the process area group related to the current process work and the forward/reverse order status, a forward order value or a reverse order value is assigned to the corresponding process area group identifier among the process area group identifier list, so that the process area relationship list of the current process work is created. Acquire Here, the order value is used to indicate that the process region group corresponding to the corresponding process region group identifier exists and is in order. The reverse order value is used to indicate that the process area group corresponding to the corresponding process area group identifier exists and is in reverse order state.

일부 실시예에 있어서, 제1 결정 유닛(802)은 각각의 가동할 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 그 상태에 따라, 공정 영역 그룹 식별자 리스트 중 대응하는 공정 영역 그룹 식별자에 정순서값 또는 역순서값을 할당하여, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득하도록 더 구성된다.In some embodiments, the first determining unit 802 assigns a forward order value or reverse order value to a corresponding process area group identifier in the list of process area group identifiers according to the process area group to which each process operation to be started is associated and its status. and assigning a value to obtain a process area relationship list of each process operation to be started.

일부 실시예에 있어서, 제1 소정 규칙은 다음을 포함한다. 즉, 하나의 가동할 공정 작업과 현재 공정 작업이 모두 하나의 공정 영역 그룹에 관련되나, 해당 공정 영역 그룹이 해당 가동 공정 작업과 현재 공정 작업에서의 상태가 상이할 경우, 해당 가동할 공정 작업은 가동 가능한 공정 작업에 속하지 않는다. 그렇지 않은 경우, 해당 가동할 공정 작업은 가동 가능한 공정 작업에 속한다.In some embodiments, the first predetermined rule includes: That is, a process to be operated and a current process are both related to one process area group, but if the status of the process area group is different from that of the current process, the process to be started is It is not part of the workable process. Otherwise, the process operation to be operated is an operable process operation.

일부 실시예에 있어서, 각각의 공정 영역 그룹 식별자는 바이너리 키 값 쌍에 대응하며, 초기값은 00이고, 정순서값은 01이고, 역순서값은 10이다. 제2 결정 유닛(803)은 다음과 같이 더 구성된다. 즉, 각각의 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트와 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에 대해 바이너리 또는 계산을 각각 실행하여, 각각의 가동할 공정 작업의 계산 결과를 획득한다. 하나의 가동할 공정 작업의 계산 결과에 11이 포함되면, 해당 가동할 공정 작업이 가동 가능한 공정 작업에 속하지 않는 것으로 결정한다. 하나의 가동할 공정 작업의 계산 결과에 11이 포함되지 않으면, 해당 가동할 공정 작업이 가동 가능한 공정 작업인 것으로 결정한다.In some embodiments, each process area group identifier corresponds to a binary key value pair, with an initial value of 00, a forward order value of 01, and a reverse order value of 10. The second decision unit 803 is further configured as follows. That is, binary or calculation is performed on the process area relationship list of each process task to be started and the process area relationship list of the current process task, respectively, to obtain a calculation result of each process task to be started. If the calculation result of one operation operation includes 11, it is determined that the operation operation does not belong to the operation operation. If the calculation result of one operation operation does not include 11, it is determined that the operation operation is an operation operation.

본 발명이 속한 기술 분야의 당업자는 명세서를 고려하고 본원에 개시된 출원을 실천한 후, 본 출원의 기타 실시방안을 용이하게 생각할 수 있다. 본 출원은 본 출원의 모든 변형, 용도 또는 적응적 변화를 포함하도록 의도된다. 이러한 변형, 용도 또는 적응적 변화는 본 출원의 일반적 원리를 따르며 본 출원에 개시되지 않은 당업계의 공지된 지식 또는 관용적 기술 수단을 포함한다. 명세서와 실시예는 예시적인 것일 뿐이며, 본 출원의 진정한 범위와 사상은 이하의 청구범위에 의해 제시된다.Those skilled in the art to which the present invention pertains may readily conceive of other implementations of the present application after considering the specification and practicing the application disclosed herein. This application is intended to cover any variations, uses or adaptations of this application. Such variations, uses or adaptive changes follow the general principles of this application and include known knowledge or conventional technical means in the art not disclosed in this application. The specification and examples are exemplary only, with the true scope and spirit of the application being set forth by the following claims.

본 출원은 상기에 설명된 내용과 첨부 도면에 도시된 정확한 구조에 국한되지 않으며, 그 범위를 벗어나지 않으면서 다양하게 수정 및 변경할 수 있다. 본 출원의 범위는 첨부된 청구 범위에 의해 한정된다.This application is not limited to the exact structure shown in the above description and accompanying drawings, and can be variously modified and changed without departing from its scope. The scope of this application is defined by the appended claims.

Claims (10)

반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 방법에 있어서,
상기 반도체 공정 디바이스는 순차적으로 설치된 복수의 공정 유닛을 포함하고, 상기 복수의 공정 유닛은 복수의 공정 영역으로 나뉘며, 상기 복수의 공정 영역은 상기 복수의 공정 유닛의 배열 순서에 따라 복수의 공정 영역 그룹으로 조합되고, 상기 방법은,
상기 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 단계 - 상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 상기 현재 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함됨 - ;
모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 단계 - 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 상기 가동할 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함됨 - ;
상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 단계; 및
모든 상기 가동할 공정 작업에 상기 가동 가능한 공정 작업이 포함되면, 제2 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동 가능한 공정 작업으로부터 타깃 가동 가능한 공정 작업을 선택하고, 상기 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.In the operation method of a process operation in a semiconductor process device,
The semiconductor processing device includes a plurality of process units installed sequentially, the plurality of process units are divided into a plurality of process regions, and the plurality of process regions are a plurality of process region groups according to the arrangement order of the plurality of process units. is combined, and the method,
generating a process area relationship list of the current process task of the semiconductor processing device, wherein the process area relationship list of the current process task includes process area group identifiers of all process area groups related to the current process task;
Determining all process tasks to be operated, and generating a process area relationship list of each of the process tasks to be operated - The process area relationship list of the process tasks to be operated includes processes of all process area groups related to the process task to be operated. Realm group identifier included - ;
Based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each of the process tasks to be started, according to a first predetermined rule, determining whether all the process tasks to be started include movable process tasks. step; and
selecting a target movable process job from all the movable process jobs according to a second predetermined rule, and starting the target movable process job if all of the movable process jobs are included in the movable process jobs; A method characterized by doing. 제1항에 있어서,
상기 제1 소정 규칙은,
하나의 가동할 공정 작업과 상기 현재 공정 작업이 모두 하나의 공정 영역 그룹에 관한 것이나, 상기 가동할 공정 작업과 상기 현재 공정 작업에서 상기 공정 영역 그룹의 상태가 상이한 경우, 상기 가동할 공정 작업은 가동 가능한 공정 작업에 속하지 않으며, 그렇지 않은 경우 상기 가동할 공정 작업은 가동 가능한 공정 작업에 속하는 것을 포함하고,
여기에서, 상기 상태는 정순서 상태 및 역순서 상태를 포함하고, 상기 정순서 상태는 상기 공정 영역 그룹이 대응하는 공정 작업에서의 전후 관계와 상기 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 일치함을 의미하고, 상기 역순서 상태는 상기 공정 영역 그룹이 대응하는 공정 작업에서의 전후 관계와 상기 반도체 공정 디바이스에서의 전후 관계가 불일치함을 의미하는 것을 특징으로 하는 방법.According to claim 1,
The first predetermined rule,
If one to-be-started process task and the current process task both relate to one process area group, but the status of the process-area group is different in the process-to-be-started operation and the current process task, the process-to-be-started operation is started. does not belong to a possible process operation, otherwise the process operation to be operated includes one belonging to an operable process operation;
Here, the state includes a forward order state and a reverse order state, and the forward order state means that the context in the process operation corresponding to the process region group matches the context in the semiconductor processing device; , The reverse order state means that a context in a process operation corresponding to the process region group and a context in the semiconductor processing device are inconsistent. 제1항에 있어서,
모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 상기 단계는,
상기 현재 공정 작업이 상기 복수 공정 영역 중 하나의 소정 공정 영역에 관한 것이면, 상기 현재 공정 작업 중 상기 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형을 결정하는 단계;
모든 상기 가동할 공정 작업 중 상기 소정 공정 영역에 관한 가동할 공정 작업을 결정하는 단계;
각각의 상기 소정 공정 영역에 관한 상기 가동할 공정 작업 중 상기 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형을 결정하는 단계;
상기 소정 공정 영역에 관한 것이고 상기 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형과 상기 현재 공정 작업 중 상기 소정 공정 영역에 대응하는 직병렬 유형이 서로 매칭되는 가동할 공정 작업을 타깃 가동할 공정 작업으로 결정하는 단계; 및
각각의 상기 타깃 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.According to claim 1,
The step of determining all the process operations to be operated and generating a process area relationship list of each of the process operations to be operated,
determining a series/parallel type corresponding to the predetermined process region among the current process operations, if the current process operation is related to one predetermined process region among the plurality of process regions;
determining a process operation to be operated for the predetermined process region among all the process operations to be operated;
determining a serial/parallel type corresponding to the predetermined process region among the process operations to be operated for each of the predetermined process regions;
Determining a process operation to be operated in which the series-parallel type corresponding to the predetermined process area and the serial-parallel type corresponding to the predetermined process area among the current process operations are matched with each other as the process operation to be operated as a target step; and
and generating a process area relationship list of each of the target process operations to be operated. 제3항에 있어서,
상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 상기 단계는,
상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 상기 타깃 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 상기 제1 소정 규칙에 따라 모든 상기 타깃 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.According to claim 3,
Based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each of the process tasks to be started, according to a first predetermined rule, determining whether all the process tasks to be started include movable process tasks. The step is
Based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each of the target process tasks to be activated, whether all the target process tasks to be activated include movable process tasks according to the first predetermined rule A method comprising the step of determining 제1항에 있어서,
상기 제2 소정 규칙은,
모든 상기 가동 가능한 공정 작업으로부터 대기 시간이 가장 긴 가동 가능한 공정 작업을 선택하여 상기 타깃 가동 가능한 공정 작업으로 사용하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.According to claim 1,
The second predetermined rule,
and selecting an operable process job having the longest standby time from all of the operable process jobs and using it as the target operable process job. 제1항에 있어서,
상기 현재 공정 작업은, 상기 반도체 공정 디바이스가 실행 중인 공정 작업, 상기 반도체 공정 디바이스가 신규 가동하는 공정 작업 중 하나인 것을 특징으로 하는 방법.According to claim 1,
The method of claim 1 , wherein the current process operation is one of a process operation being executed by the semiconductor processing device and a process operation newly operated by the semiconductor processing device. 제2항에 있어서,
상기 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 상기 단계는,
각각의 상기 공정 영역에 공정 영역 식별자를 설정하는 단계;
상기 복수의 공정 유닛의 배열 순서에 따라 상기 공정 영역 식별자를 조합하여, 각각의 상기 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자를 획득하고, 모든 상기 공정 영역 그룹 식별자를 포함하는 공정 영역 그룹 식별자 리스트를 생성하는 단계;
각각의 상기 공정 영역 그룹 식별자에 초기값을 할당하는 단계 - 상기 초기값은 상기 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하지 않음을 나타내는 데 사용됨 - 및
상기 현재 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 이의 상기 상태에 따라, 상기 공정 영역 그룹 식별자 리스트 중 대응하는 공정 영역 그룹 식별자에 정순서값 또는 역순서값을 할당하여, 상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득하는 단계 - 상기 정순서값은 상기 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하며 상기 정순서 상태에 있음을 나타내는 데 사용되고, 상기 역순서값은 상기 공정 영역 그룹 식별자에 대응하는 공정 영역 그룹이 존재하며 상기 역순서 상태에 있음을 나타내는 데 사용됨 - 를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.According to claim 2,
The step of generating a process area relationship list of the current process operation of the semiconductor process device,
setting a process area identifier for each of the process areas;
obtaining a process area group identifier of each process area group by combining the process area identifiers according to the arrangement order of the plurality of process units, and generating a process area group identifier list including all the process area group identifiers; step;
assigning an initial value to each of the process area group identifiers, wherein the initial value is used to indicate that a process area group corresponding to the process area group identifier does not exist; and
According to the process area group to which the current process task is related and the status thereof, a forward order value or an inverse order value is assigned to a corresponding process area group identifier in the process area group identifier list, so that the process area relationship list of the current process task is assigned. obtaining: the forward order value is used to indicate that a process area group corresponding to the process area group identifier exists and is in the forward order state, and the reverse order value is the process region corresponding to the process area group identifier; used to indicate that a group exists and is in said reverse order state. 제7항에 있어서,
각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 상기 단계는,
각각의 상기 가동할 공정 작업이 관련된 공정 영역 그룹 및 이의 상기 상태에 따라, 상기 공정 영역 그룹 식별자 리스트 중 대응하는 공정 영역 그룹 식별자에 정순서값 또는 역순서값을 할당하여, 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.According to claim 7,
The step of generating a process area relationship list of each of the process operations to be started,
According to the process area group to which each of the process operations to be started is associated and the status thereof, a forward order value or a reverse order value is assigned to a corresponding process area group identifier in the list of process area group identifiers, so that each of the process to be started operation and acquiring a list of process area relationships of the job. 제8항에 있어서,
각각의 상기 공정 영역 그룹 식별자를 하나의 바이너리 키 값 쌍에 대응시키며, 상기 초기값은 00이고, 상기 정순서값은 01이고 상기 역순서값은 10이고,
상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 상기 단계는,
각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에 대해 바이너리 또는 계산을 각각 수행하여, 각각의 상기 가동할 공정 작업의 계산 결과를 획득하는 단계; 및
하나의 가동할 공정 작업의 계산 결과에 11이 포함되면, 상기 가동할 공정 작업이 가동 가능한 공정 작업에 속하지 않는 것으로 결정하고, 하나의 가동할 공정 작업의 계산 결과에 11이 포함되지 않으면, 상기 가동할 공정 작업이 가동 가능한 공정 작업인 것으로 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.According to claim 8,
Each of the process area group identifiers corresponds to one binary key value pair, wherein the initial value is 00, the forward order value is 01 and the reverse order value is 10;
Based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each of the process tasks to be started, according to a first predetermined rule, determining whether all the process tasks to be started include movable process tasks. The step is
obtaining a calculation result of each of the to-be-started process tasks by performing binary or calculation on each of the process area relationship list of the process task to be started and the process area relationship list of the current process task; and
If the calculation result of one process operation to be started includes 11, it is determined that the process operation to be started does not belong to the process operation that can be operated; and determining that the process operation to be performed is an operable process operation. 반도체 공정 디바이스에서 공정 작업의 가동 장치에 있어서,
상기 장치는 반도체 공정 디바이스 상에 장착되고, 상기 반도체 공정 디바이스는 순차적으로 설치된 복수의 공정 유닛을 포함하고, 상기 복수의 공정 유닛은 복수의 공정 영역으로 나뉘고, 상기 복수의 공정 영역은 상기 복수의 공정 유닛의 배열 순서에 따라 복수의 공정 영역 그룹으로 조합되고, 상기 장치는,
상기 반도체 공정 디바이스 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 생성 유닛 - 상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 현재 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함됨 - ;
모든 가동할 공정 작업을 결정하고, 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 생성하는 제1 결정 유닛 - 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트에는 상기 가동할 공정 작업이 관련된 모든 공정 영역 그룹의 공정 영역 그룹 식별자가 포함됨 - ;
상기 현재 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트 및 각각의 상기 가동할 공정 작업의 공정 영역 관계 리스트를 기반으로, 제1 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동할 공정 작업에 가동 가능한 공정 작업이 포함되는지 여부를 결정하는 제2 결정 유닛; 및
모든 상기 가동할 공정 작업에 상기 가동 가능한 공정 작업이 포함되면, 제2 소정 규칙에 따라 모든 상기 가동 가능한 공정 작업으로부터 타깃 가동 가능한 공정 작업을 선택하고, 상기 타깃 가동 가능한 공정 작업을 가동하는 가동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.In the operating apparatus of the process operation in the semiconductor process device,
The apparatus is mounted on a semiconductor processing device, the semiconductor processing device includes a plurality of process units installed sequentially, the plurality of process units are divided into a plurality of process regions, and the plurality of process regions are the plurality of process units. It is combined into a plurality of process area groups according to the arrangement order of the units, and the device,
a generation unit for generating a process area relationship list of the semiconductor process device current process task, the process area relationship list of the current process task includes process area group identifiers of all process area groups to which the current process task is related;
A first determination unit for determining all process operations to be operated and generating a process area relationship list of each of the process operations to be operated - in the process area relationship list of the process operations to be operated, all process areas related to the process operation to be operated - contains the process area group identifier of the group;
Based on the process area relationship list of the current process task and the process area relationship list of each of the process tasks to be started, according to a first predetermined rule, determining whether all the process tasks to be started include movable process tasks. a second decision unit; and
When all of the movable process jobs are included in the movable process jobs, selecting a target movable process job from all the movable process jobs according to a second predetermined rule, and operating the movable unit to operate the target movable process jobs. A device characterized in that it comprises.
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