KR102518943B1 - 탄화규소 증착장치의 mts증착가스 제어시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템에 관련되며, 이때 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템은 노즐을 통하여 투입되는 MTS증착가스가 고가의 유량계를 사용하지 않고 각각의 가스공급부에 의해 정밀 제어되도록 구조 개선되어, 진공증착 장비의 제조단가가 크게 절감됨과 더불어 유지보수 비용 절감 및 유지보수로 인한 운전 정지시간을 최소화할 수 있도록 진공증착챔버(100), 가스공급부(200)를 포함하여 주요 구성한다.

Description

탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템{MTS deposition gas control system of silicon carbide deposition equipment}
본 발명은 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템에 관련되며, 보다 상세하게는 노즐을 통하여 투입되는 MTS증착가스가 고가의 유량계를 사용하지 않고 각각의 가스공급부에 의해 정밀 제어되도록 구조 개선되어, 진공증착 장비의 제조단가가 크게 절감됨과 더불어 유지보수 비용 절감 및 유지보수로 인한 운전 정지시간을 최소화할 수 있는 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템에 관한 것이다.
종래의 화학적 기상증착에 의한 탄화규소 증착장치는 탄화규소막질을 생성하는데 필요한 MTS(Methyltrichlorosilane)을 버블 상태로 처리조에 공급하여 고온하에서 증착형성이 구현되게 하고 있으나, 버블러의 특성상 일정량을 지속적으로 공급하는 것에 한계가 있고, 또 버블러를 통하여 공급한 MTS소스는 기화정도가 균등하지 못해 처리조에서 반응할 때, 변수가 많아 증착형성의 정밀성이 떨어지고, 두터운 증착형성이 어려울 뿐 아니라, 처리조의 구동과 관리가 복잡하여 사용이 불편하고, 제조원가가 높아지는 흠결이 있었다.
이에 종래에 개시된 등록특허 10-2146769호에서, 원통형상으로 되어 내벽과 외벽 사이에 저수실이 형성되어 냉각수가 순환되고 지지각에 의하여 일정높이를 유지하는 몸통과, 몸통의 상측개방부에 외주연이 결합되어 결합부에 패킹이 장치되고, 볼트와 너트로 체결되며, 돔형상으로 되어 스테인레스스틸 내벽과 외벽 사이에 저수실이 형성되어 냉각수가 순환되는 상부덮개와, 하측개방부에 외주연이 결합되어 결합부에 패킹이 장치되고, 볼트와 너트로 체결되며, 접시형상으로 되어 스테인레스스틸 내벽과 외벽 사이에 저수실이 형성되어 냉각수가 순환되고, 중앙부에 상하로 관통하는 중앙관통구멍이 형성되는 하부덮개로 구성되어 하부덮개는 몸통에서 분리되고, 결합될 수 있게 처리조를 형성하고, 처리조의 처리실내에 그라파이트모재를 적층하는 폴대를 장치하고, 처리실 주벽에 그라파이트 단열벽과 그라파이트 내벽을 일정간격에 형성되어 다중의 단열벽을 형성하고, 내벽 내측에 전기발열체를 배치하고, 몸통 외측에서 내벽을 관통하게 기화소스공급노즐을 장치하여, 1200∼1400℃로 기화시킨 MTS 기화소스와 수소를 혼합한 혼합가스를 노즐로 공급하고, 별도의 라인을 통해 질소와 수소를 공급하는 기술이 선 제시된 바 있다.
그러나, 상기 종래기술은 탄화규소(sic) 증착형성장치의 처리실에 압력 조정장치를 부착하여 내부압력을 설정값으로 유지하려는 것이나, 각각의 기화소스공급노즐을 통하여 주입되는 MTS 기화소스가 처리실 내부로 분사하 하향 낙하함에 따라 처리실 하부영역에 배치되는 그라파이트에 대한 MTS증착 두께가 상부영역 대비 두껍게 형성되는 증착 편차가 발생되고, 이로 인해 상부영역의 MTS증착 두께가 기준치에 도달할때까지 증착이 진행되면서 하부 영역의 MTS증착 두께가 과도하게 증가되어 MTS 재료비 부담 및 MTS 증착층 후가공에 따른 시간과 비용 부담이 증가되는 폐단이 따랐다.
뿐만 아니라, 기화소스공급노즐로 공급되는 MTS 기화소스가 고가의 액체유량제어기에 의해 제어됨에 따라 설비 구축에 따른 비용 부담 및 유지보수에 많은 시간과 비용이 소요되는 문제점이 따랐다.
이에 따라 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 착안 된 것으로서, 노즐을 통하여 투입되는 MTS증착가스가 고가의 유량계를 사용하지 않고 각각의 가스공급부에 의해 정밀 제어되도록 구조 개선되어, 진공증착 장비의 제조단가가 크게 절감됨과 더불어 유지보수 비용 절감 및 유지보수로 인한 운전 정지시간을 최소화할 수 있는 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템을 제공하는 것에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 특징은, 증착히터(110)에 의해 가열되고, 그라파이트모재(G)를 회전 가능하게 지지하는 거치대(120)가 등간격으로 원형 배치되며, 거치대(120)와 대응하는 위치에 복수의 노즐(130)이 종방향으로 이격되도록 구비되는 진공증착챔버(100); 및 상기 노즐(130)에 연결되어 증착챔버(100) 내부로 MTS증착가스를 투입하도록 구비되는 가스공급부(200);를 포함하고, 상기 진공증착챔버(100)는 내부 공간은 가상의 경계선을 기준으로 상, 하부 공간부(101)(102)로 분할되며, 상기 노즐(130)은 상부 공간부(101)에 대응하는 상부 노즐군(130a)과 하부 공간부(102)에 대응하는 하부 노즐군(130b)으로 구분되며, 상기 상, 하부 노즐군(130a)(130b)은 각각의 가스공급부(200)에 의해 MTS증착가스 투입 압력이 서로 상이하게 제어되어, 상부 노즐군(130a)으로 투입되는 MTS증착가스 압력 대비 하부 노즐군(130b)으로 투입되는 MTS증착가스 압력이 낮게 설정되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 가스공급부(200)는, MTS 원료를 수소가스로 버블링하여 1차 MTS기화가스를 생성하는 1차 기화모듈(210)과, 1차 기화모듈(210)에서 생성된 1차 MTS기화가스를 분배 출력하도록 제 1, 2 출력포트(221)(222)가 형성하는 1차 분배구(220)와, 제 1, 2출구포트(221)(222)에 각각 연결되고, 1차 MTS기화가스를 가열 기화하면서 수소가스와 혼합하여 2차 MTS기화가스를 생성하는 2차 상, 하부 기화모듈(230)(230')과, 2차 상, 하부 기화모듈(230)(230')에서 생성된 2차 MTS기화가스를 각각 상, 하부 노즐군(130a)(130b)으로 분배 출력하도록 복수의 제 3출력포트(241)가 형성되는 2차 상, 하부 분배구(240)(240')를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 2차 상, 하부 분배구(240)(240')에 질소, 수소 중 어느 하나 이상의 셔틀가스를 투입하는 주입구(242)가 구비되고, 상기 주입구(242)를 통하여 주입되는 셔틀가스 압력에 의해 2차 상, 하부 분배구(240)(240')를 통하여 상, 하부 노즐군(130a)(130b)으로 출력되는 MTS증착가스 투입 압력이 서로 상이하게 제어되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 노즐(130)과 대응하는 위치에 예비노즐(130')이 구비되고, 상기 예비노즐(130')은 삼방밸브(132)에 의해 2차 상, 하부 분배구(240)(240') 또는 질소, 수소 중 어느 하나 이상의 셔틀가스가 공급되는 셔틀가스라인(133)과 연통되도록 구비되며, 상기 노즐(130)을 통하여 MTS증착가스가 출력되어 그라파이트모재(G)에 진공증착공정이 수행되는 중에는 예비노즐(130')을 통하여 셔틀가스가 출력되고, 노즐(130)이 막힘 시, 삼방밸브(132) 작동에 의해 노즐(130) 측으로 전달되는 MTS증착가스가 예비노즐(130') 측으로 우회하여 출력되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상부 노즐군(130a)은 MTS증착가스가 세로방향으로 확산되는 세로형 부채꼴 분사영역(S1)을 형성하고, 상기 세로형 부채꼴 분사영역(S1)은 종방향으로 이웃하는 상부 노즐군(130a)의 노즐(130)에서 분사되는 세로형 부채꼴 분사영역(S1)과 세로방향 중첩영역(S1-1)을 형성하도록 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부 노즐군(130b)은 MTS증착가스가 가로방향으로 확산되는 가로형 부채꼴 분사영역(S2)을 형성하고, 상기 가로형 부채꼴 분사영역(S2)은 횡방향으로 이웃하는 하부 노즐군(130b)의 노즐(130)에서 분사되는 가로형 부채꼴 분사영역(S2)과 중첩되어 가로방향 중첩영역(S2-1)을 형성하면서 횡형 가스커튼(S2-2)을 형성하며, 상기 상부 노즐군(130a)을 통하여 진공증착챔버(100)의 상부 공간부(101)로 분사된 후 하부 공간부(102)로 하향 낙하하는 MTS증착가스가 횡형 가스커튼(S2-2)을 타고 횡방향으로 방향 전환되어 하부 공간부(102)에 배치된 그라파이트모재(G)에 증착되도록 유도되는 것을 특징으로 한다.
이상의 구성 및 작용에 의하면, 본 발명은 노즐을 통하여 투입되는 MTS증착가스가 고가의 유량계를 사용하지 않고 각각의 가스공급부에 의해 정밀 제어되도록 구조 개선되어, 진공증착 장비의 제조단가가 크게 절감됨과 더불어 유지보수 비용 절감 및 유지보수로 인한 운전 정지시간을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템을 전체적으로 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템을 평면에서 나타내는 구성도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템의 MTS증착가스 분사상태를 나타내는 구성도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템의 진공증착챔버 하부 공간부에 대한 MTS증착가스 분사상태를 평면에서 나타내는 구성도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템을 전체적으로 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템을 평면에서 나타내는 구성도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템의 MTS증착가스 분사상태를 나타내는 구성도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템의 진공증착챔버 하부 공간부에 대한 MTS증착가스 분사상태를 평면에서 나타내는 구성도이다.
본 발명은 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템에 관련되며, 이때 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템은 노즐을 통하여 투입되는 MTS증착가스가 고가의 유량계를 사용하지 않고 각각의 가스공급부에 의해 정밀 제어되도록 구조 개선되어, 진공증착 장비의 제조단가가 크게 절감됨과 더불어 유지보수 비용 절감 및 유지보수로 인한 운전 정지시간을 최소화할 수 있도록 진공증착챔버(100), 가스공급부(200)를 포함하여 주요 구성한다.
본 발명에 따른 진공증착챔버(100)는 증착히터(110)에 의해 가열되고, 그라파이트모재(G)를 회전 가능하게 지지하는 거치대(120)가 등간격으로 원형 배치되며, 거치대(120)와 대응하는 위치에 복수의 노즐(130)이 종방향으로 이격되도록 구비된다.
상기 진공증착챔버(100)는 원통형으로 형성되어 덮개에 마감되고 내부에 증착실이 형성되며, 증착실에 전기발열체로 형성되는 증착히터(110)가 설치되고, 증착실 내부 진공도를 조성하는 진공펌프와, 증착실에서 배기되는 가스를 여과하는 집진기를 포함한다.
이때, 상기 노즐(130)은 진공증착챔버(100) 외주면으로 방사형으로 배치되면서 진공증착챔버(100) 높이 방향으로 복층으로 이격 배치되고, 후술하는 가스공급부(200)에 연결되어 MTS증착가스, 수소가스, 질소가스, 퍼징가스 중 적어도 1종 이상의 가스가 투입되도록 구비된다.
그리고, 상기 거치대(120)는 모터에 의해 회전되는 폴대와, 폴대 길이 방향으로 그라파이트모재를 적층하는 다단거치부로 이루어진다.
여기서, 상기 그라파이트모재(G)는 링형 판으로 형성되어, 폴대와 동심원을 이루도록 배치되고, 후술하는 가스공급부(200)를 통하여 분사되는 MTS증착가스가 표면에 증착되어 탄화규소 증착층을 형성하게 된다.
또한, 본 발명에 따른 가스공급부(200)는 상기 노즐(130)에 연결되어 증착챔버(100) 내부로 MTS증착가스를 투입하도록 구비된다.
이때, 상기 진공증착챔버(100)는 내부 공간은 가상의 경계선을 기준으로 상, 하부 공간부(101)(102)로 분할되고, 상기 노즐(130)은 상부 공간부(101)에 대응하는 상부 노즐군(130a)과 하부 공간부(102)에 대응하는 하부 노즐군(130b)으로 구분되며, 상기 상, 하부 노즐군(130a)(130b)은 각각의 가스공급부(200)에 의해 MTS증착가스 투입 압력이 서로 상이하게 제어된다.
즉, 상기 노즐(130)을 통하여 투입되는 MTS증착가스가 고가의 유량계를 사용하지 않고 각각의 가스공급부(200)에 의해 제어되도록 구비됨에 따라 장비 제조단가가 크게 절감됨과 더불어 유지보수 비용 절감 및 유지보수로 인한 운전 정지시간을 최소화할 수 있는 이점이 있다.
이때, 상부 노즐군(130a)으로 투입되는 MTS증착가스 압력 대비 하부 노즐군(130b)으로 투입되는 MTS증착가스 압력이 낮게 설정되도록 구비된다.
이는 상기 진공증착챔버(100) 내부로 투입되는 MTS증착가스의 비중 차이로 인해 상부 공간부(101)로 분사된 MTS증착가스 중 일부가 낙하되어 하부 공간부(102)에 배치된 그라파이트모재(G)에 증착됨에 따라 하부 노즐군(130b)으로 투입되는 MTS증착가스 압력이 낮게 설정하므로, 상, 하부 공간부(101)(102)에 배치되는 그라파이트모재(G)에 대한 MTS증착 두께가 균일하게 제어되는 이점이 있다.
이때, 상기 가스공급부(200)는, MTS 원료를 수소가스로 버블링하여 1차 MTS기화가스를 생성하는 1차 기화모듈(210)과, 1차 기화모듈(210)에서 생성된 1차 MTS기화가스를 분배 출력하도록 제 1, 2 출력포트(221)(222)가 형성하는 1차 분배구(220)와, 제 1, 2출구포트(221)(222)에 각각 연결되고, 1차 MTS기화가스를 가열 기화하면서 수소가스와 혼합하여 2차 MTS기화가스를 생성하는 2차 상, 하부 기화모듈(230)(230')과, 2차 상, 하부 기화모듈(230)(230')에서 생성된 2차 MTS기화가스를 각각 상, 하부 노즐군(130a)(130b)으로 분배 출력하도록 복수의 제 3출력포트(241)가 형성되는 2차 상, 하부 분배구(240)(240')를 포함한다.
이처럼 상기 1차 기화모듈(210)과 2차 상, 하부 기화모듈(230)(230')에 의해 MTS 원료가 단계적으로 기화되므로 공급량을 정밀하게 제어할 수 있고, 특히 2차 상, 하부 기화모듈(230)(230')에 의해 상, 하부 노즐군(130a)(130b)으로 공급되는 MTS증착가스 압력이 독립적으로 제어되도록 구비되는바, 즉, 상기 2차 상, 하부 기화모듈(230)(230') 내부로 투입되는 수소가스 압력에 의해 2차 MTS기화가스 출력 압력이 제어되도록 구비됨에 따라 고가의 유량계를 배재할 수 있다.
이때, 상기 2차 상, 하부 분배구(240)(240')에 질소, 수소 중 어느 하나 이상의 셔틀가스를 투입하는 주입구(242)가 구비된다.
상기 주입구(242)를 통하여 주입되는 셔틀가스 압력에 의해 2차 상, 하부 분배구(240)(240')를 통하여 상, 하부 노즐군(130a)(130b)으로 출력되는 MTS증착가스 투입 압력이 서로 상이하게 제어되도록 구비됨에 따라 고가의 유량계를 배제할 수 있다.
또한, 상기 노즐(130)과 대응하는 위치에 예비노즐(130')이 구비된다.
상기 예비노즐(130')은 삼방밸브(132)에 의해 2차 상, 하부 분배구(240)(240') 또는 질소, 수소 중 어느 하나 이상의 셔틀가스가 공급되는 셔틀가스라인(133)과 연통되도록 구비된다.
그리고, 상기 노즐(130)을 통하여 MTS증착가스가 출력되어 그라파이트모재(G)에 진공증착공정이 수행되는 중에는 예비노즐(130')을 통하여 셔틀가스가 출력되고, 노즐(130)이 막힘 시, 삼방밸브(132) 작동에 의해 노즐(130) 측으로 전달되는 MTS증착가스가 예비노즐(130') 측으로 우회하여 출력되도록 구비됨에 따라 노즐(130)이 막히더라도 진공증착공정을 연속적으로 수행할 수 있는 이점이 있다.
도 3에서, 상기 상부 노즐군(130a)은 MTS증착가스가 세로방향으로 확산되는 세로형 부채꼴 분사영역(S1)을 형성한다.
그리고, 상기 세로형 부채꼴 분사영역(S1)은 종방향으로 이웃하는 상부 노즐군(130a)의 노즐(130)에서 분사되는 세로형 부채꼴 분사영역(S1)과 세로방향 중첩영역(S1-1)을 형성하도록 구비됨에 따라 그라파이트모재(G) 측으로 MTS증착가스가 집중되어 증착효율이 향상되는 이점이 있다.
도 4에서, 상기 하부 노즐군(130b)은 MTS증착가스가 가로방향으로 확산되는 가로형 부채꼴 분사영역(S2)을 형성한다.
상기 가로형 부채꼴 분사영역(S2)은 횡방향으로 이웃하는 하부 노즐군(130b)의 노즐(130)에서 분사되는 가로형 부채꼴 분사영역(S2)과 중첩되어 가로방향 중첩영역(S2-1)을 형성하면서 횡형 가스커튼(S2-2)을 형성한다.
그리고, 상기 상부 노즐군(130a)을 통하여 진공증착챔버(100)의 상부 공간부(101)로 분사된 후 하부 공간부(102)로 하향 낙하하는 MTS증착가스가 횡형 가스커튼(S2-2)을 타고 횡방향으로 방향 전환되어 하부 공간부(102)에 배치된 그라파이트모재(G)에 증착되도록 유도됨에 따라 하부 공간부(102)에서의 증착 효율이 향상됨과 더불어 고가의 MTS원료 낭비를 최소화하여 재료비를 대폭 절감할 수 있는 이점이 있다.
100: 진공증착챔버 200: 가스공급부

Claims (5)

  1. 증착히터(110)에 의해 가열되고, 그라파이트모재(G)를 회전 가능하게 지지하는 거치대(120)가 등간격으로 원형 배치되며, 거치대(120)와 대응하는 위치에 복수의 노즐(130)이 종방향으로 이격되도록 구비되는 진공증착챔버(100); 및 상기 노즐(130)에 연결되어 증착챔버(100) 내부로 MTS증착가스를 투입하도록 구비되는 가스공급부(200);를 포함하고,
    상기 진공증착챔버(100)는 내부 공간은 가상의 경계선을 기준으로 상, 하부 공간부(101)(102)로 분할되며,
    상기 노즐(130)은 상부 공간부(101)에 대응하는 상부 노즐군(130a)과 하부 공간부(102)에 대응하는 하부 노즐군(130b)으로 구분되며,
    상기 상, 하부 노즐군(130a)(130b)은 각각의 가스공급부(200)에 의해 MTS증착가스 투입 압력이 서로 상이하게 제어되어, 상부 노즐군(130a)으로 투입되는 MTS증착가스 압력 대비 하부 노즐군(130b)으로 투입되는 MTS증착가스 압력이 낮게 설정되도록 구비되며,
    상기 상부 노즐군(130a)은 MTS증착가스가 세로방향으로 확산되는 세로형 부채꼴 분사영역(S1)을 형성하고, 상기 세로형 부채꼴 분사영역(S1)은 종방향으로 이웃하는 상부 노즐군(130a)의 노즐(130)에서 분사되는 세로형 부채꼴 분사영역(S1)과 세로방향 중첩영역(S1-1)을 형성하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 가스공급부(200)는,
    MTS 원료를 수소가스로 버블링하여 1차 MTS기화가스를 생성하는 1차 기화모듈(210)과,
    1차 기화모듈(210)에서 생성된 1차 MTS기화가스를 분배 출력하도록 제 1, 2 출력포트(221)(222)가 형성하는 1차 분배구(220)와,
    제 1, 2출구포트(221)(222)에 각각 연결되고, 1차 MTS기화가스를 가열 기화하면서 수소가스와 혼합하여 2차 MTS기화가스를 생성하는 2차 상, 하부 기화모듈(230)(230')과,
    2차 상, 하부 기화모듈(230)(230')에서 생성된 2차 MTS기화가스를 각각 상, 하부 노즐군(130a)(130b)으로 분배 출력하도록 복수의 제 3출력포트(241)가 형성되는 2차 상, 하부 분배구(240)(240')를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 2차 상, 하부 분배구(240)(240')에 질소, 수소 중 어느 하나 이상의 셔틀가스를 투입하는 주입구(242)가 구비되고, 상기 주입구(242)를 통하여 주입되는 셔틀가스 압력에 의해 2차 상, 하부 분배구(240)(240')를 통하여 상, 하부 노즐군(130a)(130b)으로 출력되는 MTS증착가스 투입 압력이 서로 상이하게 제어되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 노즐(130)과 대응하는 위치에 예비노즐(130')이 구비되고,
    상기 예비노즐(130')은 삼방밸브(132)에 의해 2차 상, 하부 분배구(240)(240') 또는 질소, 수소 중 어느 하나 이상의 셔틀가스가 공급되는 셔틀가스라인(133)과 연통되도록 구비되며,
    상기 노즐(130)을 통하여 MTS증착가스가 출력되어 그라파이트모재(G)에 진공증착공정이 수행되는 중에는 예비노즐(130')을 통하여 셔틀가스가 출력되고, 노즐(130)이 막힘 시, 삼방밸브(132) 작동에 의해 노즐(130) 측으로 전달되는 MTS증착가스가 예비노즐(130') 측으로 우회하여 출력되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 하부 노즐군(130b)은 MTS증착가스가 가로방향으로 확산되는 가로형 부채꼴 분사영역(S2)을 형성하고, 상기 가로형 부채꼴 분사영역(S2)은 횡방향으로 이웃하는 하부 노즐군(130b)의 노즐(130)에서 분사되는 가로형 부채꼴 분사영역(S2)과 중첩되어 가로방향 중첩영역(S2-1)을 형성하면서 횡형 가스커튼(S2-2)을 형성하며,
    상기 상부 노즐군(130a)을 통하여 진공증착챔버(100)의 상부 공간부(101)로 분사된 후 하부 공간부(102)로 하향 낙하하는 MTS증착가스가 횡형 가스커튼(S2-2)을 타고 횡방향으로 방향 전환되어 하부 공간부(102)에 배치된 그라파이트모재(G)에 증착되도록 유도되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 증착장치의 MTS증착가스 제어시스템.
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