KR102510494B1

KR102510494B1 - Inductively coupled plasma reactor

Info

Publication number: KR102510494B1
Application number: KR1020200067461A
Authority: KR
Inventors: 배진호; 김민재; 유태욱
Original assignee: (주)엘오티씨이에스; (주)엘오티베큠
Priority date: 2020-06-04
Filing date: 2020-06-04
Publication date: 2023-03-17
Also published as: KR20210150699A

Abstract

본 발명에 의하면, 나란하게 배치되는 제1 연결관과 제2 연결관을 구비하는 유도결합 플라즈마용 반응 챔버에 결합되는 페라이트 코어에 있어서, 직사각형의 고리형상을 이루는 테두리부; 및 상기 테두리부의 내부 영역을 가로지르는 연결부를 포함하며, 상기 연결부의 길이방향 양단은 상기 테두리부의 대향하는 두 변부와 연결되어서, 상기 연결부는 상기 테두리부의 내부 영역을 상기 제1 연결관이 통과하는 제1 관통구와 상기 제2 연결관이 통과하는 제2 관통구로 분리하며, 복수개의 페라이트 부재들이 연결되어서 형성되며, 상기 복수개의 페라이트 부재들 중 적어도 하나는 'ㄱ'자형인, 유도결합 플라즈마용 페라이트 코어가 제공된다.According to the present invention, in a ferrite core coupled to a reaction chamber for inductively coupled plasma having a first connector and a second connector disposed side by side, the rim portion forming a rectangular annular shape; and a connecting portion crossing an inner region of the rim portion, both ends in a longitudinal direction of the connecting portion are connected to two opposite sides of the rim portion, so that the connecting portion is a first connector through which the first connector passes through the inner region of the rim portion. A ferrite core for inductively coupled plasma, separated into a first through-hole and a second through-hole through which the second connection pipe passes, formed by connecting a plurality of ferrite members, and at least one of the plurality of ferrite members having an 'L' shape. is provided.

Description

Inductively coupled plasma reactor {INDUCTIVELY COUPLED PLASMA REACTOR}

본 발명은 반도체 제조설비의 공정챔버에서 배출되는 배기가스를 플라즈마를 이용하여 처리하는 기술에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유도결합 플라즈마를 이용하여 반도체 제조설비의 공정챔버에서 배출되는 배기가스를 처리하기 위한 플라즈마 반응기에 관한 것이다.The present invention relates to a technique for treating exhaust gas discharged from a process chamber of a semiconductor manufacturing facility using plasma, and more particularly, to a method for treating exhaust gas discharged from a process chamber of a semiconductor manufacturing facility using inductively coupled plasma. It relates to a plasma reactor for

반도체 소자는 공정챔버에서 웨이퍼 상에 포토리소그래피, 식각, 확산 및 금속증착 등의 공정들이 반복적으로 수행됨으로써 제조되고 있다. 이러한 반도체 제조 공정 중에는 다양한 공정 가스가 사용되며, 공정이 완료된 후 공정챔버 내 잔류가스는 PFCs등의 다양한 유해성분을 포함한다. 공정챔버 내 잔류가스는 공정 완료 후 진공펌프에 의해 배기라인을 통해 배출되는데, 유해성분이 그대로 배출되지 않도록 배기가스는 배기가스 처리장치에 의해 정화된다.Semiconductor devices are manufactured by repeatedly performing processes such as photolithography, etching, diffusion, and metal deposition on a wafer in a process chamber. During the semiconductor manufacturing process, various process gases are used, and residual gas in the process chamber after the process is completed contains various harmful components such as PFCs. Residual gas in the process chamber is discharged through an exhaust line by a vacuum pump after the process is completed.

최근에는 플라즈마 반응을 이용하여 유해성분을 분해하여 처리하는 기술이 널리 사용되고 있다. 본 발명과 관련된 선행기술로서, 공개특허 제2019-19651호에는 유도결합 플라즈마를 이용하여 배기가스를 처리하는 플라즈마 챔버가 개시되어 있다. 유도결합 플라즈마는 무선주파수 전력이 안테나 코일에 인가되면 안테나에 흐르는 시변 전류에 의해 자기장이 유도되며 이에 의해 챔버 내부에 생성되는 전기장에 의해 플라즈마가 발생하는 것으로서, 일반적으로 유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기는 플라즈마가 발생하는 공간을 제공하는 챔버와, 챔버를 감싸도록 결합되는 페라이트 코어와 초기 플라즈마 점화를 위한 점화기로 구성된다. Recently, a technique of decomposing and treating harmful components using a plasma reaction has been widely used. As a prior art related to the present invention, Patent Publication No. 2019-19651 discloses a plasma chamber for processing exhaust gas using inductively coupled plasma. When radio frequency power is applied to an antenna coil, a magnetic field is induced by a time-varying current flowing through the antenna, and plasma is generated by an electric field generated inside the chamber. In general, a plasma reactor for inductively coupled plasma is plasma. It consists of a chamber providing a space in which ? is generated, a ferrite core coupled to surround the chamber, and an igniter for initial plasma ignition.

대한민국 공개특허공보 공개번호 10-2019-0019651 "배기가스 처리를 위한 플라즈마 챔버" (2019.02.27.)Republic of Korea Patent Publication Publication No. 10-2019-0019651 "Plasma Chamber for Exhaust Gas Treatment" (2019.02.27.)

본 발명의 목적은 유도결합 플라즈마용 페라이트 코어 및 이를 구비하는 유도결합 플라즈마 반응기를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a ferrite core for inductively coupled plasma and an inductively coupled plasma reactor having the same.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 나란하게 배치되는 제1 연결관과 제2 연결관을 구비하는 유도결합 플라즈마용 반응 챔버에 결합되는 페라이트 코어에 있어서, 직사각형의 고리형상을 이루는 테두리부; 및 상기 테두리부의 내부 영역을 가로지르는 연결부를 포함하며, 상기 연결부의 길이방향 양단은 상기 테두리부의 대향하는 두 변부와 연결되어서, 상기 연결부는 상기 테두리부의 내부 영역을 상기 제1 연결관이 통과하는 제1 관통구와 상기 제2 연결관이 통과하는 제2 관통구로 분리하며, 복수개의 페라이트 부재들이 연결되어서 형성되며, 상기 복수개의 페라이트 부재들 중 적어도 하나는 'ㄱ'자형인, 유도결합 플라즈마용 페라이트 코어가 제공된다.In order to achieve the above object of the present invention, according to one aspect of the present invention, in a ferrite core coupled to a reaction chamber for inductively coupled plasma having a first connector and a second connector disposed side by side, The edge portion forming a ring shape of; and a connecting portion crossing an inner region of the rim portion, both ends in a longitudinal direction of the connecting portion are connected to two opposite sides of the rim portion, so that the connecting portion is a first connector through which the first connector passes through the inner region of the rim portion. A ferrite core for inductively coupled plasma, separated into a first through-hole and a second through-hole through which the second connection pipe passes, formed by connecting a plurality of ferrite members, and at least one of the plurality of ferrite members having an 'L' shape. is provided.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 나란하게 배치되는 제1 연결관과 제2 연결관을 구비하는 유도결합 플라즈마용 반응 챔버에 결합되는 페라이트 코어에 있어서, 직사각형의 고리형상을 이루는 테두리부; 및 상기 테두리부의 내부 영역을 가로지르는 연결부를 포함하며, 상기 연결부의 길이방향 양단은 상기 테두리부의 대향하는 두 변부와 연결되어서, 상기 연결부는 상기 테두리부의 내부 영역을 상기 제1 연결관이 통과하는 제1 관통구와 상기 제2 연결관이 통과하는 제2 관통구로 분리하며, 복수개의 페라이트 부재들이 연결되어서 형성되며, 상기 복수개의 페라이트 부재들 중 적어도 하나는 'ㄷ'자형인, 유도결합 플라즈마용 페라이트 코어가 제공된다.In order to achieve the above object of the present invention, according to another aspect of the present invention, in a ferrite core coupled to a reaction chamber for inductively coupled plasma having a first connector and a second connector disposed side by side, The edge portion forming a ring shape of; and a connecting portion crossing an inner region of the rim portion, both ends in a longitudinal direction of the connecting portion are connected to two opposite sides of the rim portion, so that the connecting portion is a first connector through which the first connector passes through the inner region of the rim portion. A ferrite core for inductively coupled plasma, separated into a first through-hole and a second through-hole through which the second connection pipe passes, formed by connecting a plurality of ferrite members, and at least one of the plurality of ferrite members having a 'c' shape. is provided.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 플라즈마 반응 공간을 제공하고 나란하게 배치되는 제1 연결관과 제2 연결관을 구비하는 반응 챔버; 및 상기 플라즈마 반응 공간을 감싸도록 배치되는 페라이트 코어를 포함하며, 상기 페라이트 코어는, 복수개의 페라이트 부재들이 연결되어서 형성되며, 직사각형의 고리형상을 이루는 테두리부와, 상기 테두리부의 내부 영역을 가로지르는 연결부를 구비하며, 상기 연결부의 길이방향 양단은 상기 테두리부의 대향하는 두 변부와 연결되어서, 상기 연결부는 상기 테두리부의 내부 영역을 상기 제1 연결관이 통과하는 제1 관통구와 상기 제2 연결관이 통과하는 제2 관통구로 분리하며, 상기 복수개의 페라이트 부재들 중 적어도 하나는 'ㄱ'자형이며, 상기 연결부는 상기 제1 연결관과 상기 제2 연결관의 사이에 형성된 슬롯을 지나가는, 유도결합 플라즈마 반응기가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention described above, according to another aspect of the present invention, a reaction chamber having a first connection pipe and a second connection pipe provided in parallel to provide a plasma reaction space; and a ferrite core disposed to surround the plasma reaction space, wherein the ferrite core is formed by connecting a plurality of ferrite members, and includes an rim portion forming a rectangular annular shape and a connection portion crossing an inner region of the rim portion. Both ends in the longitudinal direction of the connection portion are connected to two opposite sides of the rim portion, so that the connection portion passes the first through-hole through which the first connection pipe passes through an inner region of the rim portion and the second connection pipe. The inductively coupled plasma reactor passes through a slot formed between the first connection pipe and the second connection pipe, and at least one of the plurality of ferrite members is 'L'-shaped, and the connection part passes through a slot formed between the first connection pipe and the second connection pipe. is provided.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 플라즈마 반응 공간을 제공하고 나란하게 배치되는 제1 연결관과 제2 연결관을 구비하는 반응 챔버; 및 상기 플라즈마 반응 공간을 감싸도록 배치되는 페라이트 코어를 포함하며, 상기 페라이트 코어는, 복수개의 페라이트 부재들이 연결되어서 형성되며, 직사각형의 고리형상을 이루는 테두리부와, 상기 테두리부의 내부 영역을 가로지르는 연결부를 구비하며, 상기 연결부의 길이방향 양단은 상기 테두리부의 대향하는 두 변부와 연결되어서, 상기 연결부는 상기 테두리부의 내부 영역을 상기 제1 연결관이 통과하는 제1 관통구와 상기 제2 연결관이 통과하는 제2 관통구로 분리하며, 상기 복수개의 페라이트 부재들 중 적어도 하나는 'ㄷ'자형이며, 상기 연결부는 상기 제1 연결관과 상기 제2 연결관의 사이에 형성된 슬롯을 지나가는, 유도결합 플라즈마 반응기가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention described above, according to another aspect of the present invention, a reaction chamber having a first connection pipe and a second connection pipe provided in parallel to provide a plasma reaction space; and a ferrite core disposed to surround the plasma reaction space, wherein the ferrite core is formed by connecting a plurality of ferrite members, and includes an rim portion forming a rectangular annular shape and a connection portion crossing an inner region of the rim portion. Both ends in the longitudinal direction of the connection portion are connected to two opposite sides of the rim portion, so that the connection portion passes the first through-hole through which the first connection pipe passes through an inner region of the rim portion and the second connection pipe. The inductively coupled plasma reactor passes through a slot formed between the first connection pipe and the second connection pipe, and at least one of the plurality of ferrite members has a 'c' shape, and the connection part passes through a slot formed between the first connection pipe and the second connection pipe. is provided.

본 발명에 의하면 앞서서 기재한 본 발명의 목적을 모두 달성할 수 있다. 구체적으로는, 유도결합 플라즈마 반응기에 사용되는 페라이트 코어에서 챔버의 두 연결관을 각각 감싸는 두 고리부가 하나의 연결부를 공유하는 형태로 이루어지므로 전체적인 크기를 줄일 수 있다.According to the present invention, all of the objects of the present invention described above can be achieved. Specifically, in the ferrite core used in the inductively coupled plasma reactor, the overall size can be reduced because the two ring parts respectively surrounding the two connecting tubes of the chamber share one connecting part.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유도결합 플라즈마 반응기를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 유도결합 플라즈마 반응기를 종단면도로 도시한 것이다.
도 3은 도 1에 도시된 유도결합 플라즈마 반응기를 분해 사시도로 도시한 것이다.
도 4는 도 3에 도시된 유도결합 플라즈마 반응기에서 페라이트 코어 조립체를 분해 사시도로 도시한 것이다.
도 5는 도 4에 도시된 페라이트 코어 조립체에서 페라이트 코어를 사시도로 도시한 것이다.
도 6은 도 5에 도시된 페라이트 코어를 분해 사시도로 도시한 것이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유도결합 플라즈마용 페라이트 코어를 사시도로서 도시한 것이다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 유도결합 플라즈마용 페라이트 코어를 평면도로서 도시한 것이다.1 is a perspective view showing an inductively coupled plasma reactor according to an embodiment of the present invention.
2 is a longitudinal cross-sectional view of the inductively coupled plasma reactor shown in FIG. 1;
3 is an exploded perspective view of the inductively coupled plasma reactor shown in FIG. 1;
FIG. 4 is an exploded perspective view of a ferrite core assembly in the inductively coupled plasma reactor shown in FIG. 3 .
5 is a perspective view of a ferrite core in the ferrite core assembly shown in FIG. 4;
FIG. 6 is an exploded perspective view of the ferrite core shown in FIG. 5 .
7 is a perspective view illustrating a ferrite core for inductively coupled plasma according to another embodiment of the present invention.
8 to 10 are plan views illustrating ferrite cores for inductively coupled plasma according to still other embodiments of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예의 구성 및 작용을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명의 일 실시예에 따른 유도결합 플라즈마 반응기가 도 1에는 사시도로 도시되어 있고, 도 2에는 종단면도로서 도시되어 있으며, 도 3에는 분해 사시도로 도시되어 있다. 도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유도결합 플라즈마 반응기(100)는, 반응 챔버(150)와, 반응 챔버(150)를 감싸도록 배치되는 페라이트 코어 조립체(110)와, 페라이트 코어 조립체(110)에 권취되어서 형성된 안테나 코일(180)을 포함한다. 본 실시예에서 유도결합 플라즈마 반응기(100)는 반도체 제조설비에서 공정챔버로부터 발생한 잔류가스를 배출시키는 배기관에 설치되어서 배기관을 따라 유동하는 배기가스를 유도결합 플라즈마를 이용하여 처리하는 것으로 설명하는데, 본 발명은 유도결합 플라즈마 반응기(100)의 용도 및 설치 위치를 이와 같이 한정하는 것은 아니다. 유도결합 플라즈마 반응기(100)는 전원(190)으로부터 적절한 교류 전력을 공급받아서 작동하게 된다.An inductively coupled plasma reactor according to an embodiment of the present invention is shown in a perspective view in FIG. 1 , a longitudinal cross-sectional view in FIG. 2 , and an exploded perspective view in FIG. 3 . 1, 2 and 3, the inductively coupled plasma reactor 100 according to an embodiment of the present invention includes a reaction chamber 150 and a ferrite core assembly disposed to surround the reaction chamber 150 ( 110) and an antenna coil 180 formed by winding around the ferrite core assembly 110. In this embodiment, the inductively coupled plasma reactor 100 is installed in an exhaust pipe for discharging residual gas generated from a process chamber in a semiconductor manufacturing facility, and the exhaust gas flowing along the exhaust pipe is treated using inductively coupled plasma. The invention does not limit the use and installation location of the inductively coupled plasma reactor 100 in this way. The inductively coupled plasma reactor 100 operates by receiving appropriate AC power from the power source 190 .

반응 챔버(150)는 토로이달(toroidal) 형상의 챔버로서 반응 챔버(150)의 내부에는 처리대상 가스에 대한 플라즈마 반응이 일어나는 플라즈마 반응 공간(153)이 형성된다. 반응 챔버(150)에는 플라즈마 반응 공간(153)과 연통되고 처리대상 가스를 플라즈마 반응 공간(153)으로 유입시키는 가스 유입구(154a)와, 플라즈마 반응 공간(153)에서 플라즈마 처리된 가스가 외부로 배출되는 가스 배출구(154b)가 구비된다. 반응 챔버(150)는 가스 유입구(154a)가 형성되는 제1 기초부(151a)와, 가스 배출구(154b)가 형성되는 제2 기초부(151b)와, 두 기초부(151a, 151b)를 연결하고 제1, 제2 연결 통로(155, 157)를 제공하는 제1, 제2 연결관(156, 159)을 구비한다. The reaction chamber 150 is a toroidal-shaped chamber, and a plasma reaction space 153 is formed inside the reaction chamber 150 in which a plasma reaction to a gas to be processed occurs. The reaction chamber 150 includes a gas inlet 154a that communicates with the plasma reaction space 153 and introduces a gas to be treated into the plasma reaction space 153, and a gas processed by plasma in the plasma reaction space 153 is discharged to the outside. A gas outlet 154b is provided. The reaction chamber 150 connects a first base part 151a where the gas inlet 154a is formed, a second base part 151b where the gas outlet 154b is formed, and the two base parts 151a and 151b. and first and second connection pipes 156 and 159 providing first and second connection passages 155 and 157.

제1 기초부(151a)는 내부에 제1 내부 공간(152a)을 제공하고, 제1 기초부(151a)에는 제1 내부 공간(152a)과 연통되고 처리 대상 가스가 유입되는 가스 유입구(154a)가 형성된다. 도시되지는 않았으나, 제1 기초부(151a)에는 점화기가 삽입되어서 설치된다.The first base portion 151a provides a first internal space 152a therein, and a gas inlet 154a communicates with the first internal space 152a and introduces a gas to be treated in the first base portion 151a. is formed Although not shown, an igniter is inserted and installed into the first base part 151a.

제1 내부 공간(152a)은 가스 유입구(154a), 제1 연결 통로(155) 및 제2 연결 통로(157)와 연통된다. 도면에서 제1 내부 공간(152a)의 상부에 가스 유입구(154a)가 연통되며, 제1 내부 공간(152a)의 하부에 제1, 제2 연결 통로(155, 157)가 연통된다. 가스 유입구(154a)를 통해 유입된 처리대상 가스는 제1 내부 공간(152a)을 거쳐서 제1 연결 통로(155) 및 제2 연결 통로(157)로 유동하게 된다.The first inner space 152a communicates with the gas inlet 154a, the first connection passage 155, and the second connection passage 157. In the figure, the gas inlet 154a communicates with the upper part of the first inner space 152a, and the first and second connection passages 155 and 157 communicate with the lower part of the first inner space 152a. The target gas introduced through the gas inlet 154a passes through the first inner space 152a and flows into the first connection passage 155 and the second connection passage 157 .

제2 기초부(151b)는 제1 기초부(151a)와 이격되어서 위치하며, 내부에 제2 내부 공간(152b)을 제공하고, 제2 기초부(151b)에는 제2 내부 공간(152b)과 연통되고 가스가 배출되는 가스 배출구(154b)가 형성된다. 도시되지는 않았으나, 제2 기초부(151b)에는 점화기가 삽입되어서 설치된다. 제2 기초부(151b)는 제1 연결관(156)과 제2 연결관(159)에 의해 제1 기초부(151a)와 연결된다.The second base part 151b is located apart from the first base part 151a, provides a second inner space 152b therein, and the second base part 151b has a second inner space 152b and A gas outlet 154b through which gas is discharged through communication is formed. Although not shown, an igniter is inserted and installed into the second base portion 151b. The second base part 151b is connected to the first base part 151a by the first connection pipe 156 and the second connection pipe 159 .

제2 내부 공간(152b)은 제1 내부 공간(152a)과 이격되어서 위치하고, 가스 배출구(154b), 제1 연결 통로(155) 및 제2 연결 통로(157)와 연통된다. 도면에서 제2 내부 공간(152b)은 제1 내부 공간(152a)보다 아래에 위치하고, 제2 내부 공간(152b)의 하부에 가스 배출구(154b)가 연통되며, 제2 내부 공간(152b)의 상부에 제1, 제2 연결 통로(155, 157)가 연통된다. 제1, 제2 연결 통로(155, 157)를 따라 유동하는 가스는 제2 내부 공간(152b)을 거쳐서 가스 배출구(154b)를 통해 외부로 배출된다.The second inner space 152b is positioned apart from the first inner space 152a and communicates with the gas outlet 154b, the first connection passage 155, and the second connection passage 157. In the drawing, the second inner space 152b is located below the first inner space 152a, the gas outlet 154b communicates with the lower part of the second inner space 152b, and the upper part of the second inner space 152b. The first and second connection passages 155 and 157 communicate with each other. The gas flowing along the first and second connection passages 155 and 157 passes through the second inner space 152b and is discharged to the outside through the gas outlet 154b.

제1 연결관(156)과 제2 연결관(159)은 나란하게 배치되어서 제1 기초부(151a)와 제2 기초부(151b)를 연결한다. 제1 연결관(156)의 내부에는 제1 기초부(151a)의 제1 내부 공간(152a)과 제2 기초부(151b)의 제2 내부 공간(152b)을 연통시키는 제1 연결 통로(155)가 형성되며, 제2 연결관(159)의 내부에는 제1 기초부(151a)의 제1 내부 공간(152a)과 제2 기초부(151b)의 제2 내부 공간(152b)을 연통시키는 제2 연결 통로(157)가 형성된다. 제1 연결관(156)과 제2 연결관(159)은 이격되도록 배치되어서 제1 연결관(156)과 제2 연결관(159)의 사이에는 슬롯(169)이 형성된다.The first connection pipe 156 and the second connection pipe 159 are arranged side by side to connect the first base part 151a and the second base part 151b. Inside the first connection pipe 156, there is a first connection passage 155 communicating the first inner space 152a of the first base part 151a and the second inner space 152b of the second base part 151b. ) is formed, and the first inner space 152a of the first base part 151a communicates with the second inner space 152b of the second base part 151b inside the second connection pipe 159. Two connecting passages 157 are formed. The first connection pipe 156 and the second connection pipe 159 are spaced apart from each other so that a slot 169 is formed between the first connection pipe 156 and the second connection pipe 159 .

서로 연결된 제1 내부 공간(151a), 제2 내부 공간(151b), 제1 연결 통로(155) 및 제2 연결 통로(157)가 플라즈마 반응 공간(153)을 형성한다. 플라즈마 반응 공간(153)에서 도 2에 파선으로 도시된 바와 같은 고리형 방전 루프(R)를 따라서 플라즈마가 발생한다.The first inner space 151a, the second inner space 151b, the first connection passage 155, and the second connection passage 157 connected to each other form the plasma reaction space 153. In the plasma reaction space 153, plasma is generated along an annular discharge loop R as shown by a broken line in FIG. 2 .

본 실시예에서는 반응 챔버(150)가 제1 챔버 유닛(150a)과 제2 챔버 유닛(150b)이 적절한 결합 수단에 의해 결합되어서 구성되는 것으로 설명한다. In this embodiment, it will be described that the reaction chamber 150 is configured by combining the first chamber unit 150a and the second chamber unit 150b by an appropriate coupling means.

제1 챔버 유닛(150a)은 제1 기초부(151a)와, 제1 기초부(151a)로부터 연장되는 제1A 연장관(156a) 및 제2A 연장관(159a)을 구비한다.The first chamber unit 150a includes a first base portion 151a, and a 1A extension pipe 156a and a 2A extension pipe 159a extending from the first base portion 151a.

제1 기초부(151a)는 내부에 제1 내부 공간(152a)을 제공하고, 제1 기초부(151a)에는 제1 내부 공간(152a)과 통하고 처리 대상 가스가 유입되는 가스 유입구(154a)가 형성된다. 도시되지는 않았으나, 제1 기초부(151a)에는 점화기가 삽입되어서 설치된다.The first base portion 151a provides a first internal space 152a therein, and a gas inlet 154a communicates with the first internal space 152a and into which the gas to be treated flows into the first base portion 151a. is formed Although not shown, an igniter is inserted and installed into the first base part 151a.

제1A 연장관(156a)과 제2A 연장관(159a)은 제1 기초부(151a)의 제1 내부 공간(152a)과 연통되며, 제1A 연장관(156a)의 끝단과 제2A 연장관(159a)의 끝단은 개방된다. 제1A 연장관(156a)의 개방된 끝단과 제2A 연장관(159a)의 개방된 끝단이 제2 챔버 유닛(150b)과 이어진다.The 1A extension pipe 156a and the 2A extension pipe 159a communicate with the first inner space 152a of the first base portion 151a, and the end of the 1A extension pipe 156a and the end of the 2A extension pipe 159a. is open The open end of the 1A extension pipe 156a and the open end of the 2A extension pipe 159a are connected to the second chamber unit 150b.

제2 챔버 유닛(150b)은 제1 챔버 유닛(150a)와 대체로 동일한 구조로서, 제2 기초부(151b)와, 제2 기초부(151b)로부터 연장되는 제1B 연장관(156b) 및 제2B 연장관(159b)를 구비한다. The second chamber unit 150b has substantially the same structure as the first chamber unit 150a, and includes a second base part 151b, a 1B extension pipe 156b extending from the second base part 151b, and a 2B extension pipe. (159b) is provided.

제2 기초부(151b)는 내부에 제2 내부 공간(152b)을 제공하고, 제2 기초부(151b)에는 제2 내부 공간(152b)과 통하고 처리된 가스가 외부로 배출되는 가스 배출구(154b)가 형성된다. 도시되지는 않았으나, 제2 기초부(151b)에는 점화기가 삽입되어서 설치된다.The second base portion 151b provides a second inner space 152b therein, and the second base portion 151b has a gas outlet communicating with the second inner space 152b and discharging the processed gas to the outside ( 154b) is formed. Although not shown, an igniter is inserted and installed into the second base portion 151b.

제1B 연장관(156b)과 제2B 연장관(159b)은 제2 기초부(151b)로부터 서로 평행하게 연장되어서 형성된다. 제1B 연장관(156b)과 제2B 연장관(159b)은 제2 기초부(151b)의 제2 내부 공간(152b)과 연통되며, 제1B 연장관(156b)의 끝단과 제2B 연장관(159b)의 끝단은 개방된다. 제1A 연장관(156a)과 제1B 연장관(156b)이 연결되어서 제1 연결관(156)을 형성하며, 제2A 연장관(159a)과 제2B 연장관(159b)이 연결되어서 제2 연결관(159)을 형성하는데, 제1A 연장관(156a)의 끝단과 제1B 연장관(156b)의 끝단 사이 및 제2A 연장관(156a)의 끝단과 제2B 연장관(156b)의 끝단 사이에는, 도시되지는 않았으나 DC 브레이커(DC breaker)가 위치한다.The 1B extension pipe 156b and the 2B extension pipe 159b are formed by extending parallel to each other from the second base portion 151b. The 1B extension pipe 156b and the 2B extension pipe 159b are in communication with the second inner space 152b of the second foundation 151b, and the end of the 1B extension pipe 156b and the end of the 2B extension pipe 159b. is open The 1A extension pipe 156a and the 1B extension pipe 156b are connected to form the first connection pipe 156, and the 2A extension pipe 159a and the 2B extension pipe 159b are connected to form the second connection pipe 159 Between the end of the 1A extension pipe 156a and the end of the 1B extension pipe 156b and between the end of the 2A extension pipe 156a and the end of the 2B extension pipe 156b, although not shown, a DC breaker ( DC breaker) is located.

도 4에는 페라이트 코어 조립체(110)가 분해 사시도로 도시되어 있다. 도 1, 도 2, 도 3 및 도 4를 참조하면, 페라이트 코어 조립체(110)는 페라이트 코어 적층체(140)와, 페라이트 코어 적층체(140)를 수용하는 페라이트 코어 수용 구조물(120a)을 구비한다.4 shows a ferrite core assembly 110 in an exploded perspective view. 1, 2, 3 and 4, the ferrite core assembly 110 includes a ferrite core laminate 140 and a ferrite core accommodating structure 120a accommodating the ferrite core laminate 140. do.

페라이트 코어 적층체(140)는 동일한 형상인 복수개의 페라이트 코어(Ferrite Core)(145)들이 차례대로 적층되어서 형성된 것으로서, 테두리벽(141)과, 테두리벽(141)의 내부에 위치하는 구획벽(144)을 구비한다. 페라이트 코어 적층체(140)는 반응 챔버(150)에 형성된 플라즈마 반응 공간(153)의 일부를 감싸도록 배치된다. 페라이트 코어 적층체(140)에는 도면에서 상하방향을 따라서 연장되는 제1 통로부(141a)와 제2 통로부(141b)가 형성된다. 제1 통로부(141a)와 제2 통로부(141b)는 페라이트 코어 적층체(140)를 관통하여 상단과 하단의 양단이 개방되고 측면이 막힌다. 페라이트 코어 적층체(140)는 페라이트 코어 수용 구조물(120a)에 수용된다. 도면에서는 6개의 페라이트 코어(145)가 적층되어서 페라이트 코어 적층체(140)를 형성하는 것으로 도시되어 있는데, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니며, 2개 내지 5개 또는 7개 이상의 페라이트 코어가 적층되어서 페라이트 코어 적층체를 형성할 수 있고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다.The ferrite core laminate 140 is formed by sequentially stacking a plurality of ferrite cores 145 having the same shape, and includes an edge wall 141 and a partition wall located inside the edge wall 141 ( 144) is provided. The ferrite core laminate 140 is disposed to surround a part of the plasma reaction space 153 formed in the reaction chamber 150 . A first passage portion 141a and a second passage portion 141b extending vertically in the drawing are formed in the ferrite core laminate 140 . The first passage portion 141a and the second passage portion 141b pass through the ferrite core laminate 140 so that both ends of the upper and lower ends are open and side surfaces are blocked. The ferrite core laminate 140 is accommodated in the ferrite core accommodating structure 120a. In the drawing, it is shown that six ferrite cores 145 are stacked to form the ferrite core stack 140, but the present invention is not limited thereto, and two to five or seven or more ferrite cores are stacked A ferrite core laminate can be formed, which also falls within the scope of the present invention.

테두리벽(141)은 평면 형상이 직사각형을 이루도록 둘레방향을 따라 연장되어서 형성되어서, 대향하는 제1, 제2 장벽부(142a, 142b)와, 대향하고 제1, 제2 장벽부(142a, 142b)보다 폭이 좁은 제1, 제2 단벽부(143a, 143b)를 구비한다. 제1 단벽부(143a)와 제2 단벽부(143b)들 각각은 제1 장벽부(142a)와 제2 장벽부(142b)의 대향하는 두 폭방향 양단을 연결하여, 제1 장벽부(142a), 제1 단벽부(143a), 제2 장벽부(143b) 및 제2 단벽부(143b)가 테두리벽(141)의 둘레방향을 따라서 연속적으로 이어지는 형태를 이룬다. 테두리벽(141)은 평면 형상이 정사각형일 수 있으며 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다.The rim wall 141 is formed to extend along the circumferential direction so as to form a rectangular planar shape, and is formed to face the first and second barrier portions 142a and 142b and the first and second barrier portions 142a and 142b to face each other. ) are provided with first and second end wall portions 143a and 143b narrower than the width. Each of the first end wall portion 143a and the second end wall portion 143b connects both opposite ends of the first barrier portion 142a and the second barrier portion 142b in the width direction, thereby forming the first barrier portion 142a. ), the first end wall portion 143a, the second barrier portion 143b, and the second end wall portion 143b are continuously connected along the circumferential direction of the edge wall 141. The rim wall 141 may have a square planar shape, which also falls within the scope of the present invention.

구획벽(144)은 테두리벽(141)의 대향하는 두 장벽부(142a, 142b)들 사이에 직선으로 연장된다. 구획벽(144)의 양단은 두 장벽부(142a, 142b)들 각각의 폭방향 가운데 부분과 이어진다. 구획벽(144)에 의해 테두리벽(141)의 내부 영역은 제1 단벽부(143a)와 구획벽(144) 사이에 형성되는 사각 형상의 제1 통로부(141a)와 제2 단벽부(143b)와 구획벽(144) 사이에 형성되는 사각 형상의 제2 통로부(141b)로 각각 분리된다. 구획벽(144)에는 안테나 코일(160)이 권취되어서 구비된다. 본 실시예에서 구획벽(144)은 두 장벽부(142a, 142b)들 사이에 연장되는 것으로 설명하지만, 이와는 달리 두 단벽부(143a, 143b)들 사이에 연장될 수 있으며, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다. 테두리벽(141)의 평면 형상이 정사각형인 경우에는 구획벽(144)은 장벽부와 단벽부의 구분없이 대향하는 두 벽부들 사이에 연장된다.The partition wall 144 extends in a straight line between the two opposing barrier portions 142a and 142b of the edge wall 141 . Both ends of the partition wall 144 are connected to the central portions in the width direction of each of the two barrier portions 142a and 142b. The inner region of the rim wall 141 by the partition wall 144 is formed between the first end wall part 143a and the partition wall 144, and the rectangular first passage part 141a and the second end wall part 143b ) and the partition wall 144 are separated from each other by the quadrangular second passage portion 141b. An antenna coil 160 is wound around the partition wall 144 and is provided. In this embodiment, the partition wall 144 is described as extending between the two barrier portions 142a and 142b, but may otherwise extend between the two end wall portions 143a and 143b, which is also of the present invention. that falls within the scope When the planar shape of the rim wall 141 is square, the partition wall 144 extends between two opposing wall portions without distinction between a barrier portion and an end wall portion.

페라이트 코어 적층체(140)는 반응 챔버(150)의 제1 기초부(151a)와 제2 기초부(151b)의 사이에 위치하며, 페라이트 코어 적층체(140)에 형성된 제1 통로부(141a)를 반응 챔버(150)의 제1 연결관(156)이 지나가며, 페라이트 코어(110)에 형성된 제2 통로부(141b)를 반응 챔버(150)의 제2 연결관(159)이 지나간다. 그에 따라, 페라이트 코어 적층체(110)의 구획벽(144)은 반응 챔버(150)의 제1 연결관(156)과 제2 연결관(159)의 사이에 형성된 슬롯(169)에 안테나 코일(160)과 함께 위치한다.The ferrite core laminate 140 is located between the first base part 151a and the second base part 151b of the reaction chamber 150, and the first passage part 141a formed in the ferrite core laminate 140 ), the first connection pipe 156 of the reaction chamber 150 passes through, and the second connection pipe 159 of the reaction chamber 150 passes through the second passage 141b formed in the ferrite core 110. Accordingly, the partition wall 144 of the ferrite core laminate 110 has an antenna coil ( 160) is located together.

도 5에는 페라이트 코어(145)가 사시도로 도시되어 있다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 페라이트 코어(145)는 복수개가 적층되어서 페라이트 코어 적층체(140)를 형성하는 것으로서, 둘레방향을 따라 연장되어서 직사각형의 고리형상을 이루는 테두리부(146)와, 테두리부(146)의 내부 영역을 가로지르는 연결부(148)를 구비한다. 테두리부(146)는 직사각형의 고리형상으로서, 대향하는 제1, 제2 장변부(146a, 146b)들과, 대향하는 제1, 제2 단변부(147a, 147b)들을 구비한다. 제1 단변부(147a)와 제2 단변부(147b)들 각각은 제1 장변부(146a)와 제2 장변부(146b)의 대향하는 두 길이방향 양단을 연결하여, 제1 장변부(146a), 제1 단변부(147a), 제2 장변부(146b) 및 제2 단변부(147b)가 테두리부(146)의 둘레방향을 따라서 연속적으로 이어지는 형태를 이룬다. 복수개의 페라이트 코어(145)들이 적층되어서 형성된 페라이트 코어 적층체(도 4의 140)에서, 적층된 복수개의 페라이트 코어(도 4의 145)들 각각의 제1 장변부(146a)들은 높이방향을 따라서 차례대로 이어져서 제1 장벽부(도 4의 142a)를 형성하며, 적층된 복수개의 페라이트 코어(도 4의 145)들 각각의 제2 장변부(146b)들은 높이방향을 따라서 차례대로 이어져서 제2 장벽부(도 4의 142b)를 형성하고, 적층된 복수개의 페라이트 코어(도 4의 145)들 각각의 제1 단변부(147a)들은 높이방향을 따라서 차례대로 이어져서 제1 단벽부(도 4의 143a)를 형성하며, 적층된 복수개의 페라이트 코어(도 4의 145)들 각각의 제2 단변부(147b)들은 높이방향을 따라서 차례대로 이어져서 제2 단벽부(도 4의 143b)를 형성한다. 테두리부(146)는 정사각형의 형상일 수 있으며 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다.5 shows a ferrite core 145 in a perspective view. 4 and 5, a plurality of ferrite cores 145 are stacked to form a ferrite core laminate 140, and an edge portion 146 extending in the circumferential direction to form a rectangular annular shape, A connection portion 148 crossing the inner region of the rim portion 146 is provided. The edge portion 146 has a rectangular annular shape, and includes opposing first and second long side portions 146a and 146b and opposing first and second short side portions 147a and 147b. Each of the first short side portion 147a and the second short side portion 147b connects opposite ends of the first long side portion 146a and the second long side portion 146b in the longitudinal direction, thereby forming the first long side portion 146a. ), the first short side portion 147a, the second long side portion 146b, and the second short side portion 147b are continuously connected along the circumferential direction of the edge portion 146. In the ferrite core laminate (140 in FIG. 4 ) formed by stacking a plurality of ferrite cores 145 , the first long side portions 146a of each of the plurality of ferrite cores (145 in FIG. 4 ) are stacked along the height direction. They are sequentially connected to form the first barrier portion (142a in FIG. 4 ), and the second long side portions 146b of each of the plurality of stacked ferrite cores (145 in FIG. 4 ) are sequentially connected along the height direction to form the first barrier portion (142a in FIG. 4 ). 2 barrier portions (142b in FIG. 4 ) are formed, and the first short side portions 147a of each of the plurality of stacked ferrite cores (145 in FIG. 4 ) are sequentially connected along the height direction to form the first end wall portion (FIG. 4 145). 4, 143a), and the second short side portions 147b of each of the plurality of stacked ferrite cores (145 in FIG. 4) are sequentially connected along the height direction to form the second end wall portion (143b in FIG. 4). form The rim portion 146 may have a square shape, which also falls within the scope of the present invention.

연결부(148)는 테두리부(146)의 대향하는 두 장변부(146a, 146b)들 사이를 연결하도록 직선으로 연장된다. 연결부(148)의 양단은 두 장변부(146a, 146b)들 각각의 길이방향 중심 부분과 이어진다. 연결부(148)에 의해 테두리부(146)의 내부 영역은 사각 형상의 제1 관통구(149a)와 제2 관통구(149b)로 각각 분리된다. 복수개의 페라이트 코어(145)들이 적층되어서 형성된 페라이트 코어 적층체(도 4의 140)에서, 적층된 복수개의 페라이트 코어(145)들 각각의 연결부(148)들이 높이방향을 따라서 차례대로 이어져서 구획벽(도 4의 144)을 형성하며, 적층된 복수개의 페라이트 코어(145)들 각각의 제1 관통구(149a)들이 높이방향을 따라서 연결되어서 페라이트 코어 적층체(도 4의 140)의 제1 통로부(141a)를 형성하고, 적층된 복수개의 페라이트 코어(145)들 각각의 제2 관통구(149b)들이 높이방향을 따라서 연결되어서 페라이트 코어 적층체(도 4의 140)의 제2 통로부(141b)를 형성한다. 본 실시예에서 연결부(148)는 두 장변부(146a, 146b)들 사이에 연장되는 것으로 설명하지만, 이와는 달리 두 단변부(147a, 147b)들 사이에 연장될 수 있으며, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다. 테두리부(146)의 평면 형상이 정사각형인 경우에는 연결부(148)는 장변부와 단변부의 구분없이 대향하는 두 변부들 사이에 연장된다.The connecting portion 148 extends in a straight line to connect between two opposing long side portions 146a and 146b of the edge portion 146 . Both ends of the connecting portion 148 are connected to the longitudinal central portions of the two long side portions 146a and 146b, respectively. The inner region of the edge portion 146 is divided into a first through-hole 149a and a second through-hole 149b having a rectangular shape by the connecting portion 148 . In the ferrite core laminate (140 in FIG. 4 ) formed by stacking a plurality of ferrite cores 145, the connection portions 148 of each of the plurality of stacked ferrite cores 145 are sequentially connected along the height direction to form a partition wall. (144 in FIG. 4) is formed, and the first through-holes 149a of each of the plurality of stacked ferrite cores 145 are connected along the height direction to form the first passage of the ferrite core laminate (140 in FIG. 4). The portion 141a is formed, and the second through-holes 149b of each of the plurality of stacked ferrite cores 145 are connected along the height direction to form the second passage portion of the ferrite core laminate ( 140 in FIG. 4 ) ( 141 b). In this embodiment, the connecting portion 148 is described as extending between the two long side portions 146a and 146b, but may otherwise extend between the two short side portions 147a and 147b, which is also within the scope of the present invention. that belongs to When the planar shape of the edge portion 146 is a square, the connecting portion 148 extends between two opposite sides without distinguishing between a long side and a short side.

본 발명에서 페라이트 코어(140)는 복수개의 페라이트 부재를 연결하여 '日'자형으로 형성되는 것을 특징으로 한다. 페라이트 코어(140)는 '日'자형을 갖도록 연결된 복수개의 페라이트 부재(160a, 160b, 160c)들을 구비한다. 도 6에는 페라이트 코어(140)가 분해 사시도로서 도시되어 있다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 복수개의 페라이트 부재(160a, 160b, 160c)들 각각은 직선으로 연장되는 막대형상으로서, 본 실시예에서는 직사각형의 횡단면 형상을 갖는 사각 막대 형상인 것으로 설명한다. 본 실시예에서 복수개의 페라이트 부재(160)들 각각의 폭(w)은 모두 동일하고, 복수개의 페라이트 부재(160)들 각각의 높이(h)도 모두 동일한 것으로 설명한다. 그에 따라, 페라이트 코어(145)의 테두리부(146) 및 연결부(148)는 모두 동일한 폭을 갖게 된다.In the present invention, the ferrite core 140 is characterized in that it is formed in a '日' shape by connecting a plurality of ferrite members. The ferrite core 140 includes a plurality of ferrite members 160a, 160b, and 160c connected to have a '日' shape. 6, the ferrite core 140 is shown as an exploded perspective view. Referring to FIGS. 5 and 6 , each of the plurality of ferrite members 160a, 160b, and 160c has a bar shape extending in a straight line, and in this embodiment, it will be described as having a rectangular bar shape having a rectangular cross-sectional shape. In this embodiment, it will be described that each of the plurality of ferrite members 160 has the same width w and the same height h of each of the plurality of ferrite members 160 . Accordingly, the edge portion 146 and the connection portion 148 of the ferrite core 145 all have the same width.

페라이트 코어(145)의 연결부(148)는 동일한 길이를 갖는 복수개의 제1 페라이트 부재(160a)들이 길이방향을 따라서 이어지도록 연결되어서 형성된다. 본 실시예에서는 3개의 제1 페라이트 부재(160a)들이 연결되어서 연결부(148)를 형성하는 것으로 설명한다. 본 실시예에서는 복수개의 제1 페라이트 부재(160a)들이 길이방향을 따라서 이어지도록 연결되어서 연결부(148)가 형성되는 것으로 설명하는데, 이와는 달리 도 7에 도시된 다른 실시예에 따른 페라이트 코어(245)에서와 같이 하나의 제1 페라이트 부재(260a)만으로 연결부(148)를 형성할 수 있으며 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다. The connecting portion 148 of the ferrite core 145 is formed by connecting a plurality of first ferrite members 160a having the same length in a longitudinal direction. In this embodiment, it will be described that three first ferrite members 160a are connected to form the connection portion 148 . In this embodiment, it is described that the plurality of first ferrite members 160a are connected in a longitudinal direction to form the connection portion 148, but unlike this, the ferrite core 245 according to another embodiment shown in FIG. 7 As in, the connection portion 148 can be formed with only one first ferrite member 260a, which also falls within the scope of the present invention.

도 5 및 도 6을 참조하면, 페라이트 코어(145)의 두 단변부(147a, 147b)들 각각은 동일한 길이를 갖는 복수개의 제2 페라이트 부재(160b)들이 연결되어서 형성된다. 본 실시예에서는 3개의 제2 페라이트 부재(160b)들이 연결되어서 하나의 단변부(147a, 147b)를 형성하는 것으로 설명한다. 본 실시예에서 연결부(148) 및 두 단변부(147a, 147b)의 형성에 사용되는 복수개의 제1, 제2 페라이트 부재(160a, 160b)들이 모두 동일한 길이를 갖는 것으로 설명한다. 본 실시예에서는 복수개의 제2 페라이트 부재(160b)들이 길이방향을 따라서 이어지도록 연결되어서 하나의 단변부(147a, 147b)가 형성되는 것으로 설명 하는데, 이와는 달리 도 7에 도시된 다른 실시예에 따른 페라이트 코어(245)에서와 같이 하나의 제2 페라이트 부재(260b)만으로 하나의 단변부(147a, 147b)를 형성할 수 있으며 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다.Referring to FIGS. 5 and 6 , each of the two short side portions 147a and 147b of the ferrite core 145 is formed by connecting a plurality of second ferrite members 160b having the same length. In this embodiment, three second ferrite members 160b are connected to form one short side portion 147a, 147b. In this embodiment, the plurality of first and second ferrite members 160a and 160b used to form the connecting portion 148 and the two short side portions 147a and 147b will be described as having the same length. In this embodiment, it is described that a plurality of second ferrite members 160b are connected in a longitudinal direction to form one short side portion 147a, 147b, but unlike this, according to another embodiment shown in FIG. As in the ferrite core 245, one short side portion 147a, 147b can be formed with only one second ferrite member 260b, and this also falls within the scope of the present invention.

도 5 및 도 6을 참조하면, 페라이트 코어(145)의 두 장변부(146a, 147b)들 각각은 동일한 길이를 갖는 복수개의 제3 페라이트 부재(160c)들이 연결되어서 형성된다. 본 실시예에서는 2개의 제3 페라이트 부재(160c)들이 길이방향을 따라서 이어지도록 연결되어서 연결부(148)의 제1 끝단(148a)의 제1 측면과 제1 단변부(147a)의 끝단(147a1)의 측면 사이를 연결하고, 2개의 제3 페라이트 부재(160c)들이 길이방향을 따라서 이어지도록 연결되어서 연결부(148)의 제1 끝단(148a)의 제2 측면과 제2 단변부(147b)의 끝단(147b1)의 측면 사이를 연결해서 제1 장변부(146a)를 형성하며, 2개의 제3 페라이트 부재(160c)들이 길이방향을 따라서 이어지도록 연결되어서 연결부(148)의 제2 끝단(148b)의 제1 측면과 제1 단변부(147a)의 끝단(147a2)의 측면 사이를 연결하고, 2개의 제3 페라이트 부재(160c)들이 길이방향을 따라서 이어지도록 연결되어서 연결부(148)의 제2 끝단(148b)의 제2 측면과 제2 단변부(147b)의 제2 끝단(147b2)의 측면 사이를 연결해서 제2 장변부(146b)를 형성하는 것으로 설명한다. 본 실시예에서는 연결부(148)와 두 단변부(147a, 147b)의 사이에 복수개의 제3 페라이트 부재(160c)들이 연결되는 것으로 설명하지만, 이와는 달리 도 7에 도시된 다른 실시예에 따른 페라이트 코어(245)에서와 같이 하나의 제3 페라이트 부재(260c)가 연결부(148)와 두 단변부(147a, 147b)의 사이에 배치되어서 연결될 수 있으며 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다.5 and 6 , each of the two long sides 146a and 147b of the ferrite core 145 is formed by connecting a plurality of third ferrite members 160c having the same length. In this embodiment, the two third ferrite members 160c are connected along the longitudinal direction so that the first side surface of the first end 148a of the connecting portion 148 and the end 147a1 of the first short side portion 147a are formed. The second side of the first end 148a of the connecting portion 148 and the end of the second short side portion 147b are connected so that the two third ferrite members 160c are connected along the longitudinal direction. The side surfaces of 147b1 are connected to form the first long side portion 146a, and the two third ferrite members 160c are connected along the longitudinal direction to form the second end 148b of the connecting portion 148. The first side surface and the side surface of the end 147a2 of the first short side portion 147a are connected, and the two third ferrite members 160c are connected along the longitudinal direction so that the second end of the connection portion 148 ( It will be described that the second long side portion 146b is formed by connecting the second side surface of the second short side portion 147b to the side surface of the second end portion 147b2 of the second short side portion 147b. In this embodiment, it is described that a plurality of third ferrite members 160c are connected between the connection part 148 and the two short side parts 147a and 147b, but unlike this, a ferrite core according to another embodiment shown in FIG. 7 As in 245, one third ferrite member 260c may be disposed and connected between the connecting portion 148 and the two short side portions 147a and 147b, which also falls within the scope of the present invention.

페라이트 코어(145)는 내부에 제1 관통구(149a)를 형성하는 직사각형의 제1 고리부(145a)와, 내부에 제2 관통구(149b)를 형성하는 직사각형의 제2 고리부(145b)를 구비한다. 제1 고리부(145a)는 연결부(148), 제1 단변부(147a), 제1 장변부(146a) 중 연결부(148)와 제1 단변부(147a)를 연결하는 부분 및 제2 장변부(146b) 중 연결부(148)와 제1 단변부(147a)를 연결하는 부분으로 이루어지며, 제2 고리부(145b)는 연결부(148), 제2 단변부(147b), 제1 장변부(146a) 중 연결부(148)와 제2 단변부(147b)를 연결하는 부분 및 제2 장변부(146b) 중 연결부(148)와 제2 단변부(147b)를 연결하는 부분으로 이루어진다. 즉, 두 고리부(145a, 145b)는 연결부(148)를 공유하는 구성이다. 두 고리부(145a, 145b)가 연결부(148)를 공유함으로써, 페라이트 코어(145)의 전체 크기가 줄어들고 그에 따라 유도결합 플라즈마 반응기(100) 전체의 크기도 줄어들 수 있다. 두 고리부(145a, 145b)가 공유하는 페라이트 코어(145)의 연결부(148)는 연결부(148)의 폭방향을 따라서 하나의 페라이트 부재(160a)만이 사용되어서 두 고리부(145a, 145b)가 별도로 분리될 수 없는 구조이다. The ferrite core 145 includes a rectangular first ring portion 145a forming a first through hole 149a therein and a rectangular second ring portion 145b forming a second through hole 149b therein. to provide The first ring portion 145a includes a portion connecting the connection portion 148 and the first short side portion 147a among the connection portion 148, the first short side portion 147a, and the first long side portion 146a, and the second long side portion. (146b) is composed of a portion connecting the connection portion 148 and the first short side portion 147a, and the second ring portion 145b includes the connection portion 148, the second short side portion 147b, and the first long side portion ( 146a) is composed of a portion connecting the connection portion 148 and the second short side portion 147b, and a portion of the second long side portion 146b connecting the connection portion 148 and the second short side portion 147b. That is, the two ring portions 145a and 145b share the connection portion 148 . Since the two ring portions 145a and 145b share the connection portion 148, the overall size of the ferrite core 145 may be reduced, and thus the overall size of the inductively coupled plasma reactor 100 may also be reduced. In the connection part 148 of the ferrite core 145 shared by the two ring parts 145a and 145b, only one ferrite member 160a is used along the width direction of the connection part 148, so that the two ring parts 145a and 145b It is a structure that cannot be separated.

도 3 및 도 4를 참조하면, 페라이트 코어 수용 구조물(120a)은 내부에 페라이트 코어 적층체(140)를 수용하는 수용 공간(121)을 제공한다. 페라이트 코어 수용 구조물(120a)의 재질은 전기 절연체로 이루어진다. 페라이트 코어 수용 구조물(120a)은 양단이 개방된 측벽 부재(120)와, 측벽 부재(120)의 개방된 양단에 각각 결합되는 제1 마감 부재(130a) 및 제2 마감 부재(130b)를 구비한다. 페라이트 코어 수용 구조물(120a)이 제공하는 수용 공간(121)은 수용되는 페라이트 코어 적층체(140)의 외형에 대응하는 형상 및 크기로 형성되어서, 페라이트 코어 적층체(140)가 페라이트 코어 수용 구조물(120a)의 수용 공간(121)에 수용되었을 때, 페라이트 코어 적층체(140)가 수용 공간(121) 내에서 흔들리지 않고 견고하게 형태를 유지하게 된다.Referring to FIGS. 3 and 4 , the ferrite core accommodating structure 120a provides an accommodating space 121 accommodating the ferrite core laminate 140 therein. The material of the ferrite core accommodating structure 120a is made of an electrical insulator. The ferrite core accommodating structure 120a includes a side wall member 120 with both ends open, and a first closure member 130a and a second closure member 130b coupled to both open ends of the side wall member 120, respectively. . The accommodation space 121 provided by the ferrite core accommodating structure 120a is formed in a shape and size corresponding to the outer shape of the ferrite core laminate 140 to be accommodated, so that the ferrite core laminate 140 is a ferrite core accommodating structure ( When accommodated in the accommodating space 121 of 120a), the ferrite core laminate 140 does not shake within the accommodating space 121 and maintains its shape firmly.

측벽 부재(120)는 전체적으로 사각형의 벽체 구조물로서, 도면에서 양단인 상단과 하단이 개방된다. 측벽 부재(120)는 내부에 수용 공간(121)을 형성하고, 수용 공간(121)에 페라이트 코어 적층체(140)가 수용된 상태에서 페라이트 적층체(140)의 측면을 감싼다. 측벽 부재(120)에는 수용 공간(121)과 외부를 연통시키는 복수개의 윈도우(122)들이 형성되고, 복수개의 윈도우(122)들을 통해 수용 공간(121)에 수용된 페라이트 코어 적층체(140)의 측면 상당 영역이 외부로 노출된다. 측벽 부재(120)의 개방된 상단에는 제1 마감 부재(130a)가 결합되고, 측벽 부재(120)의 개방된 하단에는 제2 마감 부재(130b)가 결합된다.The side wall member 120 is a rectangular wall structure as a whole, and its upper and lower ends, which are both ends, are open in the drawing. The side wall member 120 forms an accommodating space 121 therein, and surrounds a side surface of the ferrite core laminate 140 while the ferrite core laminate 140 is accommodated in the accommodating space 121 . A plurality of windows 122 communicating the accommodation space 121 and the outside are formed in the side wall member 120, and the side surface of the ferrite core laminate 140 accommodated in the accommodation space 121 through the plurality of windows 122. A significant area is exposed to the outside. The first closure member 130a is coupled to the open upper end of the side wall member 120, and the second closure member 130b is coupled to the open lower end of the side wall member 120.

제1 마감 부재(130a)는 측벽 부재(120)의 개방된 상단에 나사 결합과 같은 체결 수단을 통해 결합된다. 제1 마감 부재(130a)는 페라이트 코어(145)와 대체로 동일한 형상으로서, 제1 마감 부재(130a)에는 페라이트 코어 적층체(140)의 제1 통로부(141a)와 연통되는 제1A 개구부(131a)와 페라이트 코어 적층체(140)의 제2 통로부(141b)와 연통되는 제2A 개구부(132a)가 형성된다. 제1 마감 부재(130a)는 페라이트 코어 적층체(140)가 수용 공간(121)에 수용된 상태에서 페라이트 코어 적층체(140)의 최상부 페라이트 코어(145)와 밀착한다.The first closure member 130a is coupled to the open upper end of the side wall member 120 through a fastening means such as screw coupling. The first closure member 130a has substantially the same shape as the ferrite core 145, and the first closure member 130a has a 1A opening 131a communicating with the first passage 141a of the ferrite core laminate 140. ) and a 2A opening 132a communicating with the second passage 141b of the ferrite core laminate 140 are formed. The first closure member 130a comes into close contact with the uppermost ferrite core 145 of the ferrite core laminate 140 in a state where the ferrite core laminate 140 is accommodated in the accommodating space 121 .

제2 마감 부재(130b)는 측벽 부재(120)의 개방된 하단에 나사 결합과 같은 체결 수단을 통해 결합된다. 제2 마감 부재(130b)는 페라이트 코어(145)와 대체로 동일한 형상으로서, 제2 마감 부재(130b)에는 페라이트 코어 적층체(140)의 제1 통로부(141a)와 연통되는 제1B 개구부(131b)와 페라이트 코어 적층체(140)의 제2 통로부(141b)와 연통되는 제2B 개구부(132b)가 형성된다. 제2 마감 부재(130b)는 페라이트 코어 적층체(140)가 수용 공간(121)에 수용된 상태에서 페라이트 코어 적층체(140)의 최하부 페라이트 코어(145)와 밀착한다.The second closing member 130b is coupled to the open lower end of the side wall member 120 through a fastening means such as screw coupling. The second closure member 130b has substantially the same shape as the ferrite core 145, and the second closure member 130b has a 1B opening 131b communicating with the first passage 141a of the ferrite core laminate 140. ) and a second opening 132b communicating with the second passage 141b of the ferrite core laminate 140 are formed. The second closing member 130b comes into close contact with the lowermost ferrite core 145 of the ferrite core laminate 140 in a state where the ferrite core laminate 140 is accommodated in the accommodating space 121 .

페라이트 코어 조립체(110)는 측벽 부재(120)에 제2 마감 부재(130b)가 결합된 후 측벽 부재(120)의 개방된 상단을 통해 복수개의 페라이트 코어(145)들이 수용 공간(121)에 수용되어서 적층되고, 제1 마감 부재(130a)가 측벽 부재(120)의 개방된 상단에 결합되어서 완성될 수 있다.In the ferrite core assembly 110, after the second closing member 130b is coupled to the side wall member 120, the plurality of ferrite cores 145 are accommodated in the accommodation space 121 through the open top of the side wall member 120. They are stacked, and the first closure member 130a may be coupled to the open upper end of the side wall member 120 to be completed.

안테나 코일(160)은 전기 전도성 와이어가 페라이트 코어 조립체(140)의 구획벽(144)에 권취되어서 형성된 것이며, 페라이트 코어 조립체(140)의 구획벽(144)과 함께 반응 챔버(150)의 제1 연결관(156)과 제2 연결관(159)의 사이에 형성된 슬롯(169)에 위치한다.The antenna coil 160 is formed by winding an electrically conductive wire around the partition wall 144 of the ferrite core assembly 140, and the first portion of the reaction chamber 150 together with the partition wall 144 of the ferrite core assembly 140. It is located in the slot 169 formed between the connection pipe 156 and the second connection pipe 159.

도 5와 도 7에 도시된 실시예에서 페라이트 코어(145, 245)는 직선으로 연장되는 막대형상의 페라이트 부재들이 연결되어서 형성되는 것으로 설명하지만, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 본 발명에 따른 '日'자형 페라이트 코어를 형성하기 위하여 'ㄱ'자형, 'ㄷ'자형, 'ㅁ'자형 등 다양한 형태의 페라이트 부재들이 더 사용될 수 있으며, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다. 도 8 내지 도 9에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 페라이트 코어들의 평면도가 도시되어 있다. 도 8을 참조하면, 페라이트 코어(345)는 2개의 'ㄱ'자형 페라이트 부재(341)들과 하나의 'ㄷ'자형 페라이트 부재(342)가 연결되어서 '日'자형을 형성한다. 도 9를 참조하면, 페라이트 코어(445)는 2개의 'ㄷ'자형 페라이트 부재(441)와 하나의 직선형 페라이트 부재(442)가 연결되어서 '日'자형을 형성한다. 도 9의 페라이트 코어(445)에서는 연결부를 형성하는 직선형 페라이트 부재(442)의 양측에 'ㄷ'자형 페라이트 부재(441)가 각각 연결되어서 '日'자형을 형성한다. 상기 실시예들에서는 '日'자형 페라이트 코어가 복수개의 페라이트 부재들이 연결되어서 형성되는 것으로 설명하지만, 이와는 달리 도 10에 도시된 페라이트 코어(545)와 같이 '日'자형 페라이트 부재가 사용될 수도 있으며, 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이다.In the embodiment shown in FIGS. 5 and 7, the ferrite cores 145 and 245 are described as being formed by connecting bar-shaped ferrite members extending in a straight line, but the present invention is not limited thereto. In order to form the '日'-shaped ferrite core according to the present invention, various types of ferrite members such as 'a' shape, 'c' shape, and 'ㅁ' shape may be further used, which also fall within the scope of the present invention. 8 to 9 are plan views of ferrite cores according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 8 , the ferrite core 345 is formed in a 'Sun' shape by connecting two 'L'-shaped ferrite members 341 and one 'C'-shaped ferrite member 342 to each other. Referring to FIG. 9 , the ferrite core 445 is formed in a '日' shape by connecting two 'c'-shaped ferrite members 441 and one linear ferrite member 442 . In the ferrite core 445 of FIG. 9 , 'c'-shaped ferrite members 441 are connected to both sides of a linear ferrite member 442 forming a connecting portion to form a 'day' shape. In the above embodiments, the 'day'-shaped ferrite core is described as being formed by connecting a plurality of ferrite members, but, unlike this, a 'day'-shaped ferrite member may be used as in the ferrite core 545 shown in FIG. 10, This also falls within the scope of the present invention.

이상 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 실시예는 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정되거나 변경될 수 있으며, 본 기술분야의 통상의 기술자는 이러한 수정과 변경도 본 발명에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.Although the present invention has been described through the above examples, the present invention is not limited thereto. The above embodiments may be modified or changed without departing from the spirit and scope of the present invention, and those skilled in the art will recognize that such modifications and changes also belong to the present invention.

100 : 유도결합 플라즈마 반응기 110 : 페라이트 코어 조립체
120 : 측벽 부재 120a : 페라이트 코어 수용 구조물
121 : 수용 공간 130a : 제1 마감 부재
130b : 제2 마감 부재 140 : 페라이트 코어 적층체
141 : 테두리벽 141a : 제1 통로부
141b : 제2 통로부 144 : 구획벽
145 : 페라이트 코어 146 : 테두리부
148 : 연결부 150 : 반응 챔버
150a : 제1 챔버 유닛 150b : 제2 챔버 유닛
151a : 제1 기초부 151b : 제2 기초부
152a : 제1 내부 공간 152b : 제2 내부 공간
153 : 반응 공간 154a : 가스 유입구
154b : 가스 배출구 155 : 제1 연결 통로
156 : 제1 연결관 156a : 제1A 연장관
156b : 제1B 연장관 157 : 제2 연결 통로
159 : 제2 연결관 159a : 제2A 연장관
159b : 제2B 연장관 160a : 제1 페라이트 부재
160b : 제2 페라이트 부재 160c : 제3 페라이트 부재
169 : 슬롯 180 : 안테나 코일100: inductively coupled plasma reactor 110: ferrite core assembly
120: side wall member 120a: ferrite core receiving structure
121: accommodation space 130a: first closing member
130b: second closing member 140: ferrite core laminate
141: border wall 141a: first passage
141b: second passage part 144: partition wall
145: ferrite core 146: rim
148: connection part 150: reaction chamber
150a: first chamber unit 150b: second chamber unit
151a: first base 151b: second base
152a: first inner space 152b: second inner space
153: reaction space 154a: gas inlet
154b: gas outlet 155: first connection passage
156: first connector 156a: first A extension tube
156b: 1B extension pipe 157: second connecting passage
159: second connector 159a: second A extension tube
159b: 2B extension pipe 160a: first ferrite member
160b: second ferrite member 160c: third ferrite member
169: slot 180: antenna coil

Claims

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a reaction chamber having a first chamber unit and a second chamber unit and providing a plasma reaction space; and
It includes a ferrite core assembly disposed to surround the plasma reaction space,
The ferrite core assembly includes a ferrite core laminate having a plurality of stacked ferrite cores and a ferrite core accommodating structure in which the ferrite core laminate is accommodated,
The first chamber unit includes a first base, and a 1A extension pipe and a 2A extension pipe extending from the first base,
The second chamber unit includes a second base, and a 1B extension pipe and a 2B extension pipe extending from the second base,
The ferrite core is formed by connecting a plurality of ferrite members, a first ring portion in the form of a rectangular ring having a first through hole therein, and a second ring in the form of a rectangular ring having a second through hole therein. have wealth,
One of the four sides of the first ring portion and one of the four sides of the second ring portion are shared with each other,
A first passage is formed in the ferrite core laminate by communicating with the first through-holes of each of the plurality of ferrite members,
In the ferrite core laminate, a second passage portion is formed by communicating the second through holes of each of the plurality of ferrite members,
The 1A extension pipe and the 1B extension pipe are connected by being inserted into the first passage part in directions opposite to the first passage part,
The 2A extension pipe and the 2B extension pipe are connected by being inserted into the second passage part in directions opposite to the second passage part,
At least one of the plurality of ferrite members is 'a' shape or 'c' shape,
The plurality of ferrite members are formed by stacking,
The ferrite core accommodating structure includes a side wall member having open upper and lower ends, a first closure member coupled to the open upper end and having the same shape as the ferrite core, and coupled to the open lower end and having the same shape as the ferrite core. A second closing member having a,
In a state in which the sidewall member and the second closure member are coupled, the plurality of ferrite cores are accommodated and stacked in the sidewall member through the open upper end of the sidewall member, and then the first closure member is attached to the sidewall member. Combined to form the ferrite core assembly,
A plurality of windows through which the plurality of ferrite cores are exposed to the outside are formed on the side wall member,
Inductively Coupled Plasma Reactor.

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