KR102504286B1 - Surface treated copper foil and Method for producing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 측면에 따른 표면 처리 동박은, 동 또는 동 합금 기재; 및 상기 기재의 일측 표면 또는 양측 표면에 형성되는 거침 도금 처리층 및 배리어층 중 적어도 하나 이상의 층을 포함하는 표면 처리 동박에 있어서, 상기 표면 처리 동박은, 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하인 것을 특징으로 한다.A surface-treated copper foil according to an aspect of the present invention is a copper or copper alloy substrate; And a surface-treated copper foil comprising at least one or more of a rough plating treatment layer and a barrier layer formed on one or both surfaces of the substrate, wherein the surface-treated copper foil is a portion curved in an intaglio on the surface-treated surface It is characterized in that the number of micro grooves is 5 or less in the range of 50 μm × 50 μm in unit area.

Description

표면 처리 동박 및 그 제조방법{Surface treated copper foil and Method for producing the same}Surface treated copper foil and method for producing the same {Surface treated copper foil and Method for producing the same}

본 발명은 표면 처리 동박에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 박리강도 및 내화학성이 우수한 표면 처리 동박 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a surface-treated copper foil, and more particularly, to a surface-treated copper foil with excellent peel strength and chemical resistance and a method for manufacturing the same.

인쇄회로기판의 제작에 사용되는 기초소재인 동박은 전기도금법으로 구리 원박을 제조하는 제박공정과, 구리 원박에 대하여 노듈 처리, 내약품 처리, 내열 처리, 방청 처리 등을 수행하는 후처리 공정을 통하여 제조된다.Copper foil, which is a basic material used in the manufacture of printed circuit boards, is processed through a manufacturing process of manufacturing copper foil by electroplating and a post-treatment process of performing nodule treatment, chemical resistance treatment, heat resistance treatment, and rust prevention treatment on copper foil. are manufactured

통상의 제박공정에 의해 제조된 구리 원박은 제박장치의 음극 드럼에서 박리되어 상대적으로 조도가 낮은 광택면(S면: Shiny Side)과, 광택면(S면) 타면에 위치하고 상대적으로 조도가 높은 매트면(M면: Matte Side)을 포함한다.The copper foil produced by the usual manufacturing process is peeled off from the cathode drum of the manufacturing equipment and is located on the other side of the shiny side (S side: Shiny Side) with relatively low roughness and relatively high roughness Includes a matte side (M side: Matte Side).

상기 구리 원박은 후처리 공정에서 구리 노듈(Cu-nodule)과 배리어(barrier) 등을 형성하는 표면 처리를 거침으로써 인쇄회로기판용으로 적합한 물리적, 화학적 특성이 부여된다.The copper foil is subjected to surface treatment to form copper nodules and barriers in a post-treatment process, thereby imparting physical and chemical properties suitable for printed circuit boards.

후처리 공정에 의해 구리 원박의 매트면(M면) 위에는 구리노듈층이 형성되고, 구리노듈층 위에는 니켈(Ni), 크롬(Cr) 등의 도금층인 배리어층이 형성되어 내열, 내염산성, 내산화성 등이 부여된다. 배리어층 위에는 동박에 접착되는 수지 필름과의 접착력을 향상시키기 위해 실란 커플링 에이전트(silane coupling agent)가 추가로 피막된다.Through the post-treatment process, a copper nodule layer is formed on the mat surface (M surface) of the copper foil, and a barrier layer, which is a plating layer of nickel (Ni) or chromium (Cr), is formed on the copper nodule layer to provide heat resistance, hydrochloric acid resistance, and resistance to hydrochloric acid. Oxidation properties, etc. are imparted. A silane coupling agent is additionally coated on the barrier layer to improve adhesion with the resin film adhered to the copper foil.

전해 동박은 그 표면처리층의 구조에 의해 주요 물리적, 화학적 특성이 결정되는 바, 후처리 공정이 제대로 이루어지지 않을 경우에는 동박과 수지 필름 간의 접착 신뢰성이 좋지 않고, 에칭성, 박리강도, 내굴곡성 등에 열화가 발생할 수 있다. 또한, PCB 제조공정의 패턴 형성시 에칭액이나 현상액이 동박과 수지 사이에 침투하여 접착력을 저하시키고 제품불량을 초래하는 문제도 있다.The main physical and chemical properties of electrolytic copper foil are determined by the structure of the surface treatment layer. If the post-treatment process is not performed properly, the adhesion reliability between the copper foil and the resin film is not good, and the etching property, peel strength, bending resistance Deterioration may occur. In addition, there is also a problem that an etching solution or a developer penetrates between the copper foil and the resin during pattern formation in the PCB manufacturing process to decrease adhesive strength and cause product defects.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 동박의 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)를 최적화함으로써, 박리강도 및 내화학성이 우수한 표면 처리 동박 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was devised to solve the problems of the prior art as described above, and by optimizing the micro groove, which is a curved part in the intaglio on the surface of the copper foil, a surface with excellent peel strength and chemical resistance. Its purpose is to provide a treated copper foil and its manufacturing method.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 표면 처리 동박은, 동 또는 동 합금 기재; 및 상기 기재의 일측 표면 또는 양측 표면에 형성되는 거침 도금 처리층 및 배리어층 중 적어도 하나 이상의 층을 포함하는 표면 처리 동박에 있어서, 상기 표면 처리 동박은, 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하인 것을 특징으로 한다.The surface-treated copper foil according to an aspect of the present invention for achieving the above technical problem is a copper or copper alloy substrate; And a surface-treated copper foil comprising at least one or more of a rough plating treatment layer and a barrier layer formed on one or both surfaces of the substrate, wherein the surface-treated copper foil is a portion curved in an intaglio on the surface-treated surface It is characterized in that the number of micro grooves is 5 or less in the range of 50 μm × 50 μm in unit area.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 표면 처리 동박은, 동 또는 동 합금 기재; 및 상기 기재의 일측 표면 또는 양측 표면에 형성되는 거침 도금 처리층 및 배리어층 중 적어도 하나 이상의 층을 포함하는 표면 처리 동박에 있어서, 상기 표면 처리 동박은, 산성동 전기분해욕을 이용하여 피 처리 기재를 음극으로 하고, 상기 거침 도금 처리시 기재의 일측 또는 양면에 전기분해욕의 한계전류밀도 부근의 전류밀도로 전기분해하여 상기 기재 표면에 버닝 도금층을 형성하며, 표면 처리 완료 후, 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하인 것을 특징으로 한다.The surface-treated copper foil according to another aspect of the present invention for achieving the above technical problem is a copper or copper alloy substrate; and at least one or more of a rough plating treatment layer and a barrier layer formed on one or both surfaces of the substrate, wherein the surface-treated copper foil is formed on the substrate to be treated using an acid copper electrolysis bath. It is used as a cathode, and during the rough plating treatment, one side or both sides of the substrate is electrolyzed at a current density near the limit current density of the electrolysis bath to form a burning plating layer on the surface of the substrate, and after the surface treatment is completed, on the surface treated surface It is characterized in that there are 5 or less micro grooves in the range of a unit area of 50 μm × 50 μm, which is a curved part with an intaglio.

바람직하게, 상기 표면 처리 동박은, 표면 처리된 면에서 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 상기 마이크로 그루브(Micro Groove)가 차지하는 면적비가 50% 이하이다.Preferably, in the surface-treated copper foil, the area ratio occupied by the micro grooves in a unit area of 50 μm × 50 μm on the surface-treated surface is 50% or less.

바람직하게, 상기 마이크로 그루브(Micro Groove)는 음각으로 굴곡진 부분의 장직경이 10㎛ 이상인 것이다.Preferably, the micro groove has a long diameter of 10 μm or more at a curved portion of the intaglio.

바람직하게, 상기 표면 처리 동박의 두께는 1 ~ 70㎛이다.Preferably, the thickness of the surface-treated copper foil is 1 ~ 70㎛.

상기 기술적 과제는 본 발명에 따른 표면 처리 동박을 적용한 동장적층판에 의해 달성될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 표면 처리 동박을 적용한 동장적층판을 구비한 인쇄회로기판에 의해 달설될 수도 있다.The above technical problem can be achieved by a copper-clad laminate to which the surface-treated copper foil according to the present invention is applied. In addition, it may be installed by a printed circuit board having a copper-clad laminate to which the surface-treated copper foil according to the present invention is applied.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 표면 처리 동박의 제조방법은, 동 또는 동 합금 기재를 제공하는 단계; 및 상기 기재의 일측 표면 또는 양측 표면에 형성되는 거침 도금 처리층 및 배리어층 중 적어도 하나 이상의 층을 형성하는 단계;를 포함하는 표면 처리 동박의 제조방법에 있어서, 상기 표면 처리 동박은, 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하인 것을 특징으로 한다.A method for manufacturing a surface-treated copper foil according to an aspect of the present invention for achieving the above technical problem includes providing a copper or copper alloy substrate; And forming at least one or more of a rough plating treatment layer and a barrier layer formed on one surface or both surfaces of the substrate; It is characterized in that there are 5 or less micro grooves in the range of 50 μm × 50 μm in unit area, which is a curved part in the intaglio on the surface.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 표면 처리 동박의 제조방법은, 동 또는 동 합금 기재를 제공하는 단계; 및 상기 기재의 일측 표면 또는 양측 표면에 형성되는 거침 도금 처리층 및 배리어층 중 적어도 하나 이상의 층을 형성하는 단계;를 포함하는 표면 처리 동박의 제조방법에 있어서, 상기 표면 처리 동박은, 산성동 전기분해욕을 이용하여 피 처리 기재를 음극으로 하고, 상기 거침 도금 처리시 기재의 일측 또는 양면에 전기분해욕의 한계전류밀도 부근의 전류밀도로 전기분해하여 상기 기재 표면에 버닝 도금층을 형성하며, 표면 처리 완료 후, 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하인 것을 특징으로 한다.A method for manufacturing a surface-treated copper foil according to another aspect of the present invention for achieving the above technical problem includes providing a copper or copper alloy substrate; and forming at least one or more of a rough plating treatment layer and a barrier layer formed on one surface or both surfaces of the substrate, wherein the surface-treated copper foil is acid copper electrolyzed. Using a bath, the substrate to be treated is used as a cathode, and during the rough plating treatment, electrolysis is performed at a current density near the limit current density of the electrolysis bath on one side or both sides of the substrate to form a burning plating layer on the surface of the substrate, and surface treatment After completion, it is characterized in that there are no more than 5 micro grooves in the range of 50 μm × 50 μm in the unit area of the surface-treated surface.

본 발명에 따르면, 동박의 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 최적화됨에 따라 박리강도 및 내화학성이 우수한 표면 처리 동박을 구현하는 것이 가능하다.According to the present invention, it is possible to implement a surface-treated copper foil having excellent peel strength and chemical resistance by optimizing a micro groove, which is a curved portion in an intaglio on the surface-treated surface of the copper foil.

본 명세서에 첨부되는 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 후술되는 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 일반적인 전해 동박 제조 장치의 구조를 설명하기 위해 도시한 설명도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 처리 동박의 마이크로 그루브(Micro Groove)를 관찰한 전자현미경(SEM) 사진이다.
도 3은 도 2의 음각으로 굴곡진 부분의 윤곽으로 마이크로 그루브(Micro Groove)의 형상을 도시한 도면이다.
The drawings attached to this specification illustrate preferred embodiments of the present invention, and together with the detailed description of the invention serve to further understand the technical idea of the present invention, the present invention is limited only to those described in the drawings. and should not be interpreted.
1 is an explanatory diagram shown to explain the structure of a general electrodeposited copper foil manufacturing apparatus.
Figure 2 is an electron microscope (SEM) photograph of observing the micro groove (Micro Groove) of the surface-treated copper foil according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a view showing the shape of a micro groove as the contour of the curved portion in the intaglio of FIG. 2 .

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in this specification and claims should not be construed as being limited to the usual or dictionary meaning, and the inventor appropriately uses the concept of the term in order to explain his/her invention in the best way. It should be interpreted as a meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be defined. Therefore, since the embodiments described in this specification and the configurations shown in the drawings are only one of the most preferred embodiments of the present invention and do not represent all of the technical ideas of the present invention, various alternatives may be used at the time of this application. It should be understood that there may be equivalents and variations.

본 발명에 따른 표면 처리 동박은 그 공정의 단계에 따라 아래와 같은 용어를 사용한다. 먼저, 도 1에 도시된 통상의 전해 제박 장치를 통해 제조된 동박을 '미처리 동박'으로 지칭하고, 이 미처리 동박의 표면에 전기 화학적 또는 화학적 표면 처리를 수행한 것을 '표면 처리 동박'으로 지칭한다.The surface-treated copper foil according to the present invention uses the following terms according to the process step. First, the copper foil manufactured through the conventional electrolytic filming apparatus shown in FIG. 1 is referred to as 'untreated copper foil', and the surface of the untreated copper foil subjected to electrochemical or chemical surface treatment is referred to as 'surface treated copper foil'. .

먼저, 동 또는 동 합금 기재로서 상기 미처리 동박은 도 1의 전해 제박 장치를 통해 제조된다. 도면을 참조하면, 전해액(10)이 지속적으로 공급되는 전해조(C) 안에 음극으로 기능하는 원통 형상의 드럼(20)과 한쌍의 원호 형상의 양극(30a, 30b)이 설치된다. 상기 드럼(20)은 화살표 방향으로 회전하고, 드럼(20)과 한쌍의 양극(30a, 30b)은 전해액(10)이 개재될 수 있도록 이격된다.First, the untreated copper foil as a copper or copper alloy substrate is manufactured through the electrolytic forming apparatus of FIG. 1 . Referring to the drawings, a cylindrical drum 20 functioning as a cathode and a pair of arc-shaped anodes 30a and 30b are installed in an electrolytic cell C to which an electrolyte 10 is continuously supplied. The drum 20 rotates in the direction of the arrow, and the drum 20 and the pair of anodes 30a and 30b are spaced apart so that the electrolyte solution 10 can be interposed therebetween.

전해 동박의 제조시 상기 드럼(20)과 한쌍의 양극(30a, 30b) 사이에 전류가 가해진다. 이때, 드럼(20)은 화살표 방향으로 회전하고 있는 상태이다. 이에 따라, 드럼(20) 표면에 전해 동박(40)이 전착된 후 가이드 롤(50)을 통해 권취(take up)된다.When manufacturing the electrodeposited copper foil, current is applied between the drum 20 and the pair of anodes 30a and 30b. At this time, the drum 20 is rotating in the direction of the arrow. Accordingly, after the electrodeposited copper foil 40 is electrodeposited on the surface of the drum 20, it is taken up through the guide roll 50.

상기 전해액(10)은 황산 구리를 주성분으로 하고, 여기에 젤라틴, HEC(Hydroxyethyl Cellulose), SPS(bis(sodiumsulfopropyl) disulfide) 및 질화물과 같은 각종 첨가제가 첨가되고, 전류 밀도는 10ASD ~ 80ASD인 것이 바람직하다.The electrolyte 10 has copper sulfate as a main component, and various additives such as gelatin, HEC (Hydroxyethyl Cellulose), SPS (bis (sodiumsulfopropyl) disulfide) and nitride are added thereto, and the current density is preferably 10ASD to 80ASD. do.

상기 동 또는 동 합금 기재인 미처리 동박은 아래와 같은 표면 처리 공정을 순서대로 실행하는 것에 의해 '표면 처리 동박'으로 완성된다.The untreated copper foil, which is the copper or copper alloy base material, is completed as a 'surface treated copper foil' by performing the following surface treatment steps in order.

표면 처리 동박을 얻기 위해서는 일반적으로 표면 처리기라는 장치를 사용한다. 롤 형상으로 권취된 상기 미처리 동박을 한방향으로부터 감아내면서 연속 배치한 산세 처리조, 조면화(粗面化) 처리조, 방청 처리조, 전해 크로메이트 처리조 및 건조 처리부를 각각 통과시키는 것에 의해 '표면 처리 동박'을 완성한다.In order to obtain a surface-treated copper foil, a device called a surface treatment machine is generally used. 'Surface treatment' by passing the untreated copper foil wound in a roll shape from one direction and passing through a pickling treatment tank, a roughening treatment tank, an anti-rust treatment tank, an electrolytic chromate treatment tank, and a drying treatment unit, respectively, which are continuously arranged. Complete the 'Dongbak'.

상기 산세 처리란 미처리 동박에 부착한 수지 성분을 완전히 제거하는 탈지 처리 및 표면 산화 피막 제거 처리를 포함하는 표면 처리 공정이다. 이 산세 처리를 통해 미처리 동박의 청정화를 도모하고, 나머지 표면 처리 공정에서 균일한 전착 등을 확보할 수 있다. 이 산세 처리에는 염산계 용액, 황산계 용액, 황산-과산화 수소계 용액 등 여러가지의 용액을 사용하는 것이 가능하다. 그리고, 그 용액의 농도나 온도 등은 생산 라인의 특성에 따라서 조정하면 충분하다.The pickling treatment is a surface treatment process including a degreasing treatment for completely removing resin components adhering to untreated copper foil and a surface oxide film removal treatment. Through this pickling treatment, the untreated copper foil can be cleaned, and uniform electrodeposition can be secured in the remaining surface treatment steps. It is possible to use various solutions such as a hydrochloric acid-based solution, a sulfuric acid-based solution, and a sulfuric acid-hydrogen peroxide-based solution for this pickling treatment. It is sufficient to adjust the concentration, temperature, etc. of the solution according to the characteristics of the production line.

산세 처리를 종료하고, 수세조를 통과한 미처리 동박은 미세 동입자를 석출, 부착시키는 공정으로 들어간다. 여기서, 사용하는 동 전해용액은 동의 미세 입자를 석출시키지 않으면 안되기 때문에 버닝(burning) 도금 조건을 채용한다. 따라서, 미세 동입자를 석출, 부착시키는 공정에 사용되는 용액의 농도는 미처리 동박을 형성하기 위해 사용하는 용액의 농도에 비해 버닝 도금 조건을 만들어내기 쉽도록 낮은 농도로 되어 있다. 이 버닝(burning) 도금 조건은 특별히 한정되는 것은 아니고, 생산 라인의 특성을 고려하여 정해진다. 이후, 석출, 부착시킨 미세 동입자의 탈락을 방지하기 위하여 평활 도금조건에서 미세 동입자를 피복하도록 동을 균일하게 석출시키는 피복도금공정을 수행한다. 미세 동 입자를 형성하기 위한 동 전해액으로서는, 동 8∼25g/ℓ, 황산 80∼120g/ℓ, 9-페닐아크리딘 50∼300mg/ℓ, 액온 30∼40℃, 전류 밀도 20∼50A/d㎡이 극히 안정한 전해 조업을 가능하게 할 수 있는 범위가 된다After the pickling treatment is finished, the untreated copper foil that has passed through the water washing tank enters a step of depositing and adhering fine copper particles. Here, since the copper electrolytic solution used must precipitate copper fine particles, a burning plating condition is employed. Therefore, the concentration of the solution used in the process of depositing and adhering the fine copper particles is lower than that of the solution used to form the untreated copper foil so as to easily create the burning plating conditions. These burning plating conditions are not particularly limited, and are determined in consideration of the characteristics of the production line. Thereafter, in order to prevent the deposited and adhered fine copper particles from falling off, a coating plating process is performed to uniformly deposit copper to cover the fine copper particles under smooth plating conditions. As a copper electrolyte solution for forming fine copper particles, 8 to 25 g/L of copper, 80 to 120 g/L of sulfuric acid, 50 to 300 mg/L of 9-phenylacridine, 30 to 40 ° C. liquid temperature, and 20 to 50 A/d current density ㎡ becomes the range that enables extremely stable electrolytic operation.

다음으로, 전해 동박층의 표면이 산화 부식하는 것을 방지하기 위한 합금 도금이 수행됨으로써 배리어 층이 형성된다. 즉, 본 발명에 따른 배리어 층의 형성을 위한 도금은 구리(Cu), 코발트(Co), 철(Fe), 니켈(Ni), 아연(Zn), 크롬(Cr), 바나듐(V), 몰리브덴(Mo) 중에서 선택된 2종 이상의 합금에 의해 이루어진다. Next, a barrier layer is formed by performing alloy plating to prevent the surface of the electrolytic copper foil layer from being oxidized and corroded. That is, the plating for forming the barrier layer according to the present invention is copper (Cu), cobalt (Co), iron (Fe), nickel (Ni), zinc (Zn), chromium (Cr), vanadium (V), molybdenum It is made of two or more types of alloys selected from among (Mo).

배리어 층의 형성을 위한 도금이 완료된 동박의 표면에는 수세후에 방청을 위한 전해 크로메이트층이 형성된다. 이때의 전해 조건은 특별히 한정을 가지는 것은 아니나, 크롬산 1∼5g/ℓ, 액온 20∼40℃, pH 10∼12, 전류밀도 0.5∼4A/d㎡, 전해시간 1∼5초의 조건을 채용하는 것이 바람직하다. 이러한 전해 조건은 전해 동박의 표면을 균일하게 피복하기 위한 범위 조건이다.After washing with water, an electrolytic chromate layer for rust prevention is formed on the surface of the copper foil on which the plating for forming the barrier layer is completed. The electrolysis conditions at this time are not particularly limited, but it is preferable to adopt the following conditions: 1 to 5 g/L of chromic acid, 20 to 40 °C liquid temperature, 10 to 12 pH, 0.5 to 4 A/dm2 current density, and 1 to 5 seconds of electrolysis time. desirable. These electrolysis conditions are range conditions for uniformly coating the surface of the electrodeposited copper foil.

이렇게 전해 크로메이트층이 형성된 미처리 동박의 표면을 일단 건조시킨 후, 실란 커플링제의 흡착 처리를 행한다. 이때의 실란 커플링제의 흡착 방법은 침지법, 샤워링법, 분무법 등 특별히 방법은 한정되지 않는다. 공정 설계에 맞추어, 가장 균일하게 동박과 실란 커플링제를 함유한 용액을 접촉시켜 흡착시킬 수 있는 방법을 임의로 채용하면 좋은 것이다. 실란 커플링제로서는, 올레핀 그룹 기능성 실란(olefin-group-functional silanes), 에폭시 그룹 기능성 실란(epoxy-group-functional silanes), 아크릴 그룹 기능성 실란(acrylic-group-functional silanes), 아미노 그룹 기능성 실란(amino-group-introduced silanes) 및 메르캅토 그룹 기능성 실란(mercapto-groupfunctional silane)중 어느 하나를 선택적으로 사용할 수 있다. 여기에 열거한 실란 커플링제는 동박 기재의 접착면에 사용하더라도, 다음의 에칭 공정 및 프린트 배선판으로 된 후의 특성에 악영향을 주지 않는 일이 중요하게 된다.After drying once the surface of the untreated copper foil on which the electrolytic chromate layer was formed in this way, adsorption treatment of a silane coupling agent is performed. The adsorption method of the silane coupling agent at this time is not particularly limited, such as an immersion method, a showering method, or a spray method. According to the design of the process, a method capable of contacting and adsorbing the copper foil and the solution containing the silane coupling agent most uniformly may be arbitrarily adopted. As the silane coupling agent, olefin-group-functional silanes, epoxy-group-functional silanes, acrylic-group-functional silanes, amino-group functional silanes (amino -group-introduced silanes) and mercapto-group functional silanes (mercapto-group functional silane) may be selectively used. Even if the silane coupling agents listed here are used for the adhesive surface of the copper foil substrate, it is important not to adversely affect the following etching process and the characteristics after becoming a printed wiring board.

한편, 본 발명의 제박 공정에 있어서, 방청 처리까지 완료된 동박 표면의 마이크로 그루브(Micro groove)를 줄이기 위해서는 제박 공정에서 매트(Matte) 면이 평탄한 원박을 제조해야 한다. 이를 위해서 제박 전 드럼을 버핑할 때 브러쉬의 회전속도를 100 ~ 300rpm, 좌/우 오실레이팅(Oscillating) 속도를 50 ~ 150cycle/min 으로 유지하는 것이 중요하다. 특히, 버핑 압력의 편차를 20% 미만으로 해야 드럼 표면이 연마되고, 균일한 드럼 표면에서 평탄한 원박의 제조가 가능하다. 이렇게 버핑된 브러쉬 표면의 Rmax가 2㎛ 이하로 유지되어야 한다.On the other hand, in the manufacturing process of the present invention, in order to reduce the micro grooves on the surface of the copper foil that has been completed to the anti-rust treatment, it is necessary to manufacture a raw foil with a flat matte surface in the manufacturing process. To this end, it is important to maintain the rotation speed of the brush at 100 to 300 rpm and the left/right oscillating speed at 50 to 150 cycles/min when buffing the drum before stripping. In particular, the deviation of the buffing pressure should be less than 20% so that the drum surface is polished, and a flat original foil can be manufactured on a uniform drum surface. The R max of the brush surface thus buffed should be kept below 2 μm.

또한, 본 발명의 표면처리 공정에 있어서는, 거침 도금 총 전류 인가량과 파우더링 도금 총 전류 인가량의 비율을 0.5 에서 2.0배의 범위에서 진행해야 한다. 표면에 균일한 노듈층을 형성하기 위해서는 거침 도금 및 파우더링 도금 전류의 편차를 10% 미만으로 관리해야 한다.In addition, in the surface treatment process of the present invention, the ratio of the total current applied for rough plating to the total applied current for powdering should be in the range of 0.5 to 2.0 times. In order to form a uniform nodule layer on the surface, the deviation of rough plating and powdering plating currents should be managed to less than 10%.

이와 같이, 미처리 동박에 산세 처리, 조면화 처리, 방청 처리, 크로메이트 처리 및 실란 커플링제 흡착 처리를 통해 제조되는 본 발명의 표면 처리 동박은 아래와 같은 물리적 특성을 갖도록 하는 것을 특징으로 한다.As such, the surface-treated copper foil of the present invention, which is produced through pickling treatment, roughening treatment, rust prevention treatment, chromate treatment, and silane coupling agent adsorption treatment on untreated copper foil, is characterized by having the following physical properties.

본 발명에 따른 표면 처리 동박은 동 또는 동 합금 기재인 미처리 동박에 상술한 바와 같이 기재의 일측 표면 또는 양측 표면에 형성되는 거침 도금 처리층 및 배리어층 중 적어도 하나 이상의 층을 포함하는 것으로서, 그 두께가 1 ~ 70㎛이고, 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하인 것을 특징으로 한다.The surface-treated copper foil according to the present invention includes at least one layer of a rough plating treatment layer and a barrier layer formed on one surface or both surfaces of the substrate as described above in an untreated copper foil that is a copper or copper alloy substrate, the thickness is 1 to 70 μm, and micro grooves, which are intaglio curved portions on the surface-treated surface, are 5 or less in the range of 50 μm × 50 μm in unit area.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 표면 처리 동박의 마이크로 그루브(Micro Groove)를 관찰한 전자현미경(SEM) 사진이고, 도 3은 도 2의 음각으로 굴곡진 부분의 윤곽으로 마이크로 그루브(Micro Groove)의 형상을 도시한 도면이다.Figure 2 is an electron microscope (SEM) photograph of observing the micro groove (Micro Groove) of the surface-treated copper foil according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a micro groove (Micro Groove) is a drawing showing the shape.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 동박의 표면 처리된 면에서 전자현미경(SEM)으로 대략 1000배에서 관찰하였을 때 보이는 음각으로 굴곡진 부분(도 2의 일점쇄선 표시 참조) 중 장직경이 10㎛ 이상인 것(도 3 참조)을 마이크로 그루브(Micro Groove)라고 한다.Referring to FIGS. 2 and 3, the intaglio curved portion (see the dashed-dot line in FIG. 2) visible when observed at approximately 1000 times with an electron microscope (SEM) on the surface-treated surface of the copper foil according to the present invention. Those having a diameter of 10 μm or more (see FIG. 3) are referred to as micro grooves.

또한, 본 발명에 따른 표면 처리 동박은 산성동 전기분해욕을 이용하여 피 처리 기재를 음극으로 하고, 상기 거침 도금 처리시 기재의 일측 또는 양면에 전기분해욕의 한계전류밀도 부근의 전류밀도로 전기분해하여 상기 기재 표면에 버닝 도금층을 형성하며, 표면 처리 완료 후, 그 두께가 1 ~ 70㎛이고, 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하인 것을 특징으로 한다.In addition, the surface-treated copper foil according to the present invention uses an acid copper electrolysis bath to treat a substrate as a cathode, and during the rough plating process, one or both sides of the substrate is electrolyzed at a current density near the limiting current density of the electrolysis bath. to form a burning plating layer on the surface of the substrate, and after the surface treatment is completed, the thickness is 1 to 70 μm, and the micro groove, which is a curved part in the intaglio on the surface treated surface, has a unit area of 50 μm × 50 μm It is characterized in that it is 5 or less in the range of.

아울러, 본 발명에 따른 표면 처리 동박은 표면 처리된 면에서 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 상기 마이크로 그루브(Micro Groove)가 차지하는 면적비가 50% 이하인 것이 바람직하다.In addition, in the surface-treated copper foil according to the present invention, it is preferable that the area ratio occupied by the micro grooves is 50% or less in a unit area of 50 μm × 50 μm on the surface-treated surface.

이와 같이, 본 발명에 따른 표면 처리 동박은 표면 처리된 면에서 마이크로 그루브(Micro Groove)가 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하이고, 상기 마이크로 그루브(Micro Groove)가 차지하는 면적비가 50% 이하를 만족하도록 형성함으로써, 박리강도 및 내화학성이 우수한 표면 처리 동박을 제조할 수 있다.As described above, the surface-treated copper foil according to the present invention has 5 or less micro grooves in the area of 50 μm × 50 μm on the surface-treated surface, and the area ratio occupied by the micro grooves is 50%. By forming to satisfy the following, it is possible to manufacture a surface-treated copper foil excellent in peel strength and chemical resistance.

이는 동박의 표면 처리된 면에서 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개를 초과하게 되거나, 상기 마이크로 그루브(Micro Groove)가 차지하는 면적비가 50%를 초과하게 되면, 표면의 불균일이 발생하며, 이로 인해 동박과 수지간의 결합이 방해되어 박리강도가 저하되거나, 회로 패턴의 형성을 위한 에칭 공정에서 에칭액이 패턴의 에지부로 과도하게 침투되어 내화학성이 저하되기 때문이다.This is when the number of micro grooves on the surface-treated surface of the copper foil exceeds 5 in a unit area of 50 μm × 50 μm, or when the area ratio occupied by the micro grooves exceeds 50%, This is because surface unevenness occurs, which hinders the bonding between the copper foil and the resin, thereby reducing peel strength, or excessive penetration of the etching solution into the edge portion of the pattern in the etching process for forming the circuit pattern, resulting in a decrease in chemical resistance.

이러한 박리강도 및 내화학성은 다음과 같은 측면에서 중요한 요소이다. 즉, 박리강도가 1.0 이하인 경우 FPC 제조 후 전자기기에 장착된후 외부 충격 및 고온/고습 조건에서 사용되면 회로패턴이 분리되어 전자기기의 고장을 유발하게 되며, 내화학성 평가 후 30㎛ 이상 액침투가 발생되면 FPC 제조공정에서 여러 화학물질에 패턴의 하단부가 침식되어 패턴이 수지에서 탈리되는 불량을 발생시킨다. Such peel strength and chemical resistance are important factors in the following aspects. In other words, if the peel strength is less than 1.0, after FPC is manufactured and mounted on an electronic device, if it is used under external shock and high temperature / high humidity conditions, the circuit pattern is separated and causes the failure of the electronic device, and liquid penetration of 30㎛ or more after chemical resistance evaluation When occurs, the lower part of the pattern is eroded by various chemicals in the FPC manufacturing process, causing a defect in which the pattern is detached from the resin.

위에서 설명한 특성을 갖는 표면 처리 동박은 폴리이미드 수지층과 같은 절연층을 적층하는 것에 의해 동장적층판(편면 동장적층판 또는 양면 동장적층판)을 제조하는 것이 가능하다. 상기 폴리이미드 수지층은 공지의 디아민과 산무수물을 용매의 존재하에서 중합해서 제조할 수 있다. 또한, 이 동장적층판을 구비하고, 에칭 공정에 의해 상기 동장적층판에 소정의 회로 패턴이 형성되는 인쇄회로기판을 제조하는 것도 가능하다.The surface-treated copper foil having the characteristics described above can be made into a copper-clad laminate (single-sided copper-clad laminate or double-sided copper-clad laminate) by laminating an insulating layer such as a polyimide resin layer. The polyimide resin layer can be produced by polymerizing a known diamine and an acid anhydride in the presence of a solvent. It is also possible to manufacture a printed circuit board having this copper-clad laminate and having a predetermined circuit pattern formed on the copper-clad laminate by an etching process.

한편, 본 발명에 있어서, 미처리 동박의 표면 처리를 통해 형성되는 거침 도금 처리층, 배리어층, 방청층, 실란처리층은 그 처리 순서가 반드시 특정 순서에 따라 이루어져야 하는 것은 아니며, 이러한 층들 중 일부만 형성되거나 전부가 다 형성될 수도 있는 것이다.On the other hand, in the present invention, the rough plating treatment layer, the barrier layer, the rust prevention layer, and the silane treatment layer formed through the surface treatment of the untreated copper foil do not necessarily have to be performed in a specific order, and only some of these layers are formed. or it may be formed entirely.

이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시예 및 비교예를 들어 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명에 따른 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 발명의 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
Hereinafter, Examples and Comparative Examples will be described in detail to explain the present invention in detail. However, the embodiments according to the present invention can be modified in many different forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below. The embodiments of the present invention are provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art.

실시예 및 비교예Examples and Comparative Examples

아래의 표 1에는 본 발명에 따른 표면 처리 동박에 대한 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 마이크로 그루브(Micro Groove)의 개수(ea)와 마이크로 그루브(Micro Groove)의 면적비(%)의 바람직한 실시예(1 ~ 5)와 이에 대비되는 비교예(1 ~ 4)에 대해 박리강도 및 내화학성 시험을 실시하였고, 그 결과를 나타내었다.Table 1 below shows the preferred implementation of the number (ea) of micro grooves and the area ratio (%) of micro grooves in the range of unit area 50 μm × 50 μm for the surface-treated copper foil according to the present invention. Peel strength and chemical resistance tests were conducted on Examples (1 to 5) and Comparative Examples (1 to 4), and the results are shown.

Figure 112015062219909-pat00001
Figure 112015062219909-pat00001

본 발명의 실시예(1 ~ 5)와 비교예(1 ~ 4)에서는 상기 표 1의 마이크로 그루브(Micro Groove)의 수와 비율을 가지는 표면 처리후의 전해 동박 샘플을 준비하였다. 여기서, 상기 마이크로 그루브(Micro Groove)의 수와 비율은 전자현미경(SEM)을 이용하여 1000배로 표면 처리된 면의 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위를 관찰하여 음각으로 굴곡진 부분의 장직경이 10㎛ 이상인 마이크로 그루브(Micro Groove)의 수를 카운트하고, 각 마이크로 그루브(Micro Groove)의 면적을 합산하여 면적비를 산출하였다.
In Examples (1 to 5) and Comparative Examples (1 to 4) of the present invention, electrodeposited copper foil samples having the number and ratio of micro grooves in Table 1 after surface treatment were prepared. Here, the number and ratio of the micro grooves are observed in the range of 50 μm × 50 μm in unit area of the surface treated by 1000 times using an electron microscope (SEM), and the long diameter of the curved part in the intaglio is determined. The number of micro grooves of 10 μm or more was counted, and the area ratio was calculated by summing the areas of each micro groove.

실시예 및 비교예의 박리 강도 측정Peel strength measurement of Examples and Comparative Examples

상기 실시예(1 ~ 5)와 비교예(1 ~ 4)에 따른 표면 처리 동박에 폴리이미드 필름을 적층한 샘플을 제작하였고, 이 샘플에 대해 JIS C 6481 규격으로 동박과 폴리이미드 필름 사이의 박리강도를 측정하였다. 그 결과를 상기 표 1에 나타내었다.
Samples in which the polyimide film was laminated on the surface-treated copper foil according to Examples (1 to 5) and Comparative Examples (1 to 4) were prepared, and for these samples, peeling between the copper foil and the polyimide film was performed according to the JIS C 6481 standard. Strength was measured. The results are shown in Table 1 above.

실시예 및 비교예의 내화학성 평가Chemical resistance evaluation of Examples and Comparative Examples

상기 실시예(1 ~ 5)와 비교예(1 ~ 4)에 따른 표면 처리 동박에 폴리이미드 필름을 적층한 샘플을 제작하였고, 이 샘플에 1㎜의 회로 패턴을 형성하였다. 이 후 황산(5%) 및 과수(3%)의 소프트 애칭액(Etching Rate: 1.3㎛, 액온으로 Etching Rate 조절함)에 1분간 침적한 후 회로 패턴을 박리하여 에지 부분에 대한 에칭액의 침투 깊이를 측정하였다. 이때, 액침투 깊이는 가장 깊이 침투된 깊이를 기준으로 하였으며, 전자현미경(SEM)으로 500배에서 액침투 부위를 1차 확인 후 침투된 부위 확인시 1000 ~ 3000배로 확대하여 정확한 액침투 깊이를 측정하였다. 그 결과를 상기 표 1에 나타내었다.
Samples in which a polyimide film was laminated on the surface-treated copper foil according to Examples (1 to 5) and Comparative Examples (1 to 4) were prepared, and a 1 mm circuit pattern was formed on the samples. Then, after immersing in sulfuric acid (5%) and fruit water (3%) soft etching solution (Etching Rate: 1.3㎛, etching rate controlled by liquid temperature) for 1 minute, the circuit pattern is peeled off to determine the penetration depth of the etching solution to the edge portion was measured. At this time, the liquid penetration depth was based on the deepest penetration depth, and after first checking the liquid penetration area at 500 times with an electron microscope (SEM), when confirming the penetration area, magnify it 1000 to 3000 times to measure the accurate liquid penetration depth did The results are shown in Table 1 above.

상기 표 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 실시예(1 ~ 5)에 따른 표면 처리 동박들은 박리강도가 1.07kgf/cm 이상이고, 내화학성 특성을 나타내는 액침투 깊이가 28㎛ 이하로 박리강도 및 내화학성 특성이 모두 우수한 결과를 나타냄을 확인할 수 있다.As can be seen from Table 1, the surface-treated copper foils according to Examples 1 to 5 of the present invention have a peel strength of 1.07 kgf/cm or more and a liquid penetration depth of 28 μm or less showing chemical resistance characteristics. It can be seen that both strength and chemical resistance exhibit excellent results.

반면, 비교예1은 마이크로 그루브(Micro Groove)의 개수가 1개였지만, 그 면적비가 53%로 본 발명에 따른 표면 처리 동박의 기준에 충족되지 않음으로 인해 액침투 깊이가 37㎛로 내화학성 특성이 좋지 않음을 확인할 수 있다.On the other hand, in Comparative Example 1, although the number of micro grooves was 1, the area ratio was 53%, which did not meet the standard of the surface-treated copper foil according to the present invention, so the depth of liquid penetration was 37 μm, resulting in chemical resistance. I can confirm that this is not good.

비교예2는 마이크로 그루브(Micro Groove)의 개수가 5개였지만, 그 면적비가 51%로 본 발명에 따른 표면 처리 동박의 기준에 충족되지 않음으로 인해 박리강도가 0.98kgf/cm이었고, 액침투 깊이가 58㎛로 박리강도 및 내화학성 특성이 모두 좋지 않음을 확인할 수 있다.In Comparative Example 2, although the number of micro grooves was 5, the area ratio was 51%, which did not meet the criteria for the surface-treated copper foil according to the present invention, so the peel strength was 0.98 kgf / cm and the liquid penetration depth. It can be seen that both peel strength and chemical resistance properties are not good at 58 μm.

비교예3은 마이크로 그루브(Micro Groove)의 면적비가 11%였지만, 그 개수가 6개로 본 발명에 따른 표면 처리 동박의 기준에 충족되지 않음으로 인해 액침투 깊이가 35㎛로 내화학성 특성이 좋지 않음을 확인할 수 있다.In Comparative Example 3, although the area ratio of the micro grooves was 11%, the number of them was 6, which did not meet the standards of the surface-treated copper foil according to the present invention, so the liquid penetration depth was 35 μm, resulting in poor chemical resistance. can confirm.

비교예4는 마이크로 그루브(Micro Groove)의 면적비가 48%였지만, 그 개수가 6개로 본 발명에 따른 표면 처리 동박의 기준에 충족되지 않음으로 인해 박리강도가 0.92kgf/cm이었고, 액침투 깊이가 78㎛로 박리강도 및 내화학성 특성이 모두 좋지 않음을 확인할 수 있다.In Comparative Example 4, although the area ratio of the micro grooves was 48%, the number of the micro grooves was 6, which did not meet the standards of the surface-treated copper foil according to the present invention, so the peel strength was 0.92 kgf / cm, and the liquid penetration depth was It can be seen that both peel strength and chemical resistance properties are not good at 78 μm.

따라서, 비교예들의 표면 처리 동박에 비해 본 발명의 실시예에 따른 표면 처리 동박이 박리강도 및 내화학성 특성이 우수함을 확인할 수 있다.Therefore, it can be confirmed that the surface-treated copper foil according to the embodiment of the present invention has excellent peel strength and chemical resistance characteristics compared to the surface-treated copper foil of Comparative Examples.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by the limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical spirit of the present invention and the following by those skilled in the art to which the present invention belongs Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims to be described.

10: 전해액 20: 드럼
30a, 30b: 양극 40: 미처리 전해동박
50: 가이드 롤
10: electrolyte 20: drum
30a, 30b: anode 40: untreated electrodeposited copper foil
50: guide roll

Claims (7)

동 또는 동 합금 기재; 및 상기 기재의 일측 표면 또는 양측 표면에 형성되는 거침 도금 처리층 및 배리어층 중 적어도 하나 이상의 층을 포함하는 표면 처리 동박에 있어서,
상기 표면 처리 동박은, 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하이고,
상기 표면 처리 동박은 표면 처리된 면에서 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 상기 마이크로 그루브(Micro Groove)가 차지하는 면적비가 50% 이하이며,
상기 마이크로 그루브(Micro Groove)는 음각으로 굴곡진 부분의 장직경이 10㎛ 이상인 것을 특징으로 하는 표면 처리 동박.
copper or copper alloy substrates; And in the surface-treated copper foil comprising at least one or more layers of a rough plating treatment layer and a barrier layer formed on one surface or both surfaces of the substrate,
The surface-treated copper foil has 5 or less micro grooves in a unit area of 50 μm × 50 μm, which are intaglio curved portions on the surface-treated surface,
The surface-treated copper foil has an area ratio occupied by the micro grooves of 50% or less in a unit area of 50 μm × 50 μm on the surface-treated surface,
The micro groove (Micro Groove) is surface-treated copper foil, characterized in that the major diameter of the intaglio curved portion is 10㎛ or more.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 표면 처리 동박의 두께는 1 ~ 70㎛인 것을 특징으로 하는 표면 처리 동박.
According to claim 1,
Surface-treated copper foil, characterized in that the thickness of the surface-treated copper foil is 1 ~ 70㎛.
제1항에 따른 표면 처리 동박을 적용한 것을 특징으로 하는 동장적층판.A copper-clad laminate characterized in that the surface-treated copper foil according to claim 1 is applied. 제5항에 따른 동장적층판을 구비한 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판.A printed circuit board comprising the copper-clad laminate according to claim 5. 전해 제박 장치의 드럼을 버핑하는 단계; 상기 전해 제박 장치를 통해 동 또는 동 합금 기재를 제공하는 단계; 및 상기 기재의 일측 표면 또는 양측 표면에 형성되는 거침 도금 처리층 및 배리어층 중 적어도 하나 이상의 층을 형성하는 단계;를 포함하는 표면 처리 동박의 제조방법에 있어서,
상기 드럼을 버핑하는 단계는,
드럼을 버핑할 때 브러쉬의 회전속도를 100 ~ 300rpm, 좌/우 오실레이팅(Oscillating) 속도를 50 ~ 150cycle/min으로 유지하고,
버핑 압력의 편차를 20% 미만으로 하고, 버핑된 브러쉬 표면의 Rmax가 2㎛ 이하로 유지하며,
상기 표면 처리 동박은, 표면 처리된 면에서 음각으로 굴곡진 부분인 마이크로 그루브(Micro Groove)가 단위 면적 50㎛×50㎛의 범위에서 5개 이하인 것을 특징으로 하는 표면 처리 동박의 제조방법.
Buffing the drum of the electrolytic filmmaking machine; providing a copper or copper alloy substrate through the electrolytic forming apparatus; And forming at least one layer of a rough plating treatment layer and a barrier layer formed on one surface or both surfaces of the substrate; In the method of manufacturing a surface-treated copper foil comprising,
The step of buffing the drum,
When buffing the drum, keep the rotational speed of the brush at 100 ~ 300rpm and the left/right oscillating speed at 50 ~ 150cycle/min.
The variation of the buffing pressure is less than 20%, and the Rmax of the buffed brush surface is maintained at 2 μm or less,
The surface-treated copper foil is a surface-treated copper foil manufacturing method, characterized in that the number of micro grooves (Micro Groove), which is a curved part in the intaglio on the surface-treated surface, is 5 or less in the range of 50 μm × 50 μm in unit area.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100730834B1 (en) * 2006-03-15 2007-06-20 엘에스전선 주식회사 Method and apparatus for grinding drum for producing electrolytic copper foil
JP2009220386A (en) * 2008-03-17 2009-10-01 Nippon Mining & Metals Co Ltd Two-layer copper clad laminated sheet and manufacturing process of the same
JP2010205799A (en) 2009-02-27 2010-09-16 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Two-layer plated substrate and method of manufacturing the same

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101126831B1 (en) * 2009-09-02 2012-03-23 엘에스엠트론 주식회사 A Copper Foil And Method For Producing The Same
CN103125149B (en) * 2010-09-27 2016-09-14 吉坤日矿日石金属株式会社 Copper foil for printed circuit board, its manufacture method, resin substrate for printed circuit board and printed circuit board (PCB)
KR102066314B1 (en) * 2012-01-18 2020-01-14 제이엑스금속주식회사 Surface-treated copper foil and copper-clad laminate using same

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100730834B1 (en) * 2006-03-15 2007-06-20 엘에스전선 주식회사 Method and apparatus for grinding drum for producing electrolytic copper foil
JP2009220386A (en) * 2008-03-17 2009-10-01 Nippon Mining & Metals Co Ltd Two-layer copper clad laminated sheet and manufacturing process of the same
JP2010205799A (en) 2009-02-27 2010-09-16 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Two-layer plated substrate and method of manufacturing the same

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