KR102492500B1 - Repair apparatus of AlN heater - Google Patents

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Abstract

본 발명은 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 크랙이 발생한 플레이트를 가공으로 제거한 후에 페이스트를 도포하여 신품 플레이트와 페이스트 소결 접합함으로써 리페어하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 이를 위해 페이스트가 도포된 리페어 플레이트부에 압력을 가하는 프레스부, 프레스부와 리페어 플레이트부의 사이 공간에 배치되어 높이 차를 맞추고, 리페어 플레이트부에 하중을 가하는 복수의 단차 조절부, 프레스부의 압력에 따라 리페어 플레이트부에 페이스트 접합 압력이 전달되도록 하는 보론나이트라이드 지그부를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치가 개시된다.The present invention relates to a repair device and method for an aluminum nitride heater, and relates to a repair device and method for an aluminum nitride heater in which a cracked plate is removed by processing, then a paste is applied, and the paste is sintered and joined to a new plate to be repaired. . To this end, a press unit that applies pressure to the repair plate unit to which the paste is applied, a plurality of step adjusting units that are disposed in the space between the press unit and the repair plate unit to adjust the height difference and apply a load to the repair plate unit, A repair device for an aluminum nitride heater is disclosed, comprising a boron nitride jig part for transmitting paste bonding pressure to the repair plate part.

Description

지그를 통한 질화알루미늄 히터 리페어 장치{Repair apparatus of AlN heater}Aluminum nitride heater repair device through jig {Repair apparatus of AlN heater}

본 발명은 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 크랙이 발생한 플레이트를 가공으로 제거한 후에 페이스트를 도포하여 신품 플레이트와 페이스트 소결 접합함으로써 리페어하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a repair device and method for an aluminum nitride heater, and more particularly, to a repair device for an aluminum nitride heater that repairs a cracked plate by removing it by processing, applying a paste, and bonding the paste to a new plate by sintering the paste, and the same It's about how.

반도체 제조공정에 사용되는 질화알루미늄 히터는 제조공정 중에 몰리 단자 부위에 크랙이 자주 발생된다. 이는 노치가 형성된 단자에 에너지가 집중되어 스트레스를 받기 때문에 크랙이 빈번하게 발생되어 리페어를 요한다. In the aluminum nitride heater used in the semiconductor manufacturing process, cracks often occur at the moly terminal part during the manufacturing process. Since energy is concentrated on the notched terminal and subjected to stress, cracks frequently occur and repair is required.

이때, 대한민국 공개특허공보 KR 10-2016-0000970의 리페어 방법은 크랙 부위를 머시닝 가공하여 소결 본딩물질을 도포하여 소결 본딩온도로 소결하는 방법이 개시되어 있다. 이렇게 머시닝 가공을 하면 불필요하게 크랙 부위 이외의 영역까지 가공하게 되는 문제점이 있으며, 머시닝 가공에 따라 크랙 부위를 넘어서는 넓은 부위를 소결 본딩물질을 이용하여 소결하기 때문에 결국에는 본딩 영역이 원래 모재와 달라져 리페어 후에 사용시에 내구성이 좋지 못하고 균일한 온도를 보장하지 못하는 문제점이 있다. At this time, the repair method of Korean Patent Laid-open Publication KR 10-2016-0000970 discloses a method of machining a crack portion, applying a sinter bonding material, and sintering at a sinter bonding temperature. In this machining, there is a problem in that areas other than the crack area are unnecessarily processed, and since the machining process sinters a wide area beyond the crack area using a sintering bonding material, the bonding area is eventually different from the original base material and repair There is a problem in that durability is not good when used later and a uniform temperature cannot be guaranteed.

대한민국 공개특허공보 KR 10-2016-0000970Republic of Korea Patent Publication KR 10-2016-0000970 대한민국 공개특허공보 KR 10-2012-0102867Republic of Korea Patent Publication KR 10-2012-0102867

따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 크랙이 발생한 플레이트를 가공으로 제거한 후에 페이스트를 도포하여 신품 플레이트와 기존 플레이트를 페이스트 접합할 때 페이스트 접합 압력(ton), 복수의 압력점, 압력이 전달될 수 있는 지그부를 제공함으로써 페이스트 소결 접합이 달성될 수 있는 발명을 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention was created to solve the above-mentioned problems, and after removing the cracked plate by processing, paste bonding pressure (ton), a plurality of An object of the present invention is to provide an invention in which paste sinter bonding can be achieved by providing a pressure point and a jig portion through which pressure can be transmitted.

그러나, 본 발명의 목적들은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

전술한 본 발명의 목적은, 페이스트가 도포된 리페어 플레이트부에 압력을 가하는 프레스부, 프레스부와 리페어 플레이트부의 사이 공간에 배치되어 높이 차를 맞추고, 리페어 플레이트부에 하중을 가하는 복수의 단차 조절부, 프레스부의 압력에 따라 리페어 플레이트부에 페이스트 접합 압력이 전달되도록 하는 보론나이트라이드 지그부를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 히터의 리페어 장치를 제공함으로써 달성될 수 있다.An object of the present invention described above is a press unit for applying pressure to the repair plate unit to which the paste is applied, and a plurality of step adjustment units disposed in the space between the press unit and the repair plate unit to adjust the height difference and apply a load to the repair plate unit. , It can be achieved by providing a repair device for an aluminum nitride heater, characterized in that it includes a boron nitride jig portion that transfers the paste bonding pressure to the repair plate portion according to the pressure of the press portion.

또한, 보론나이트라이드 지그부는 리페어 플레이트부의 일면을 받치는 받침 지그부, 샤프트 접합부를 통과하여 리페어 플레이트부의 타면에 접촉됨으로써 페이스트 접합 압력이 리페어 플레이트부에 전달되도록 하는 플레이트 지그부, 샤프트 접합부의 둘레방향을 따라 접촉됨으로써 페이스트 접합 압력이 리페어 플레이트부에 전달되도록 하는 링 지그부를 포함한다.In addition, the boron nitride jig part passes through the support jig part supporting one side of the repair plate part, the shaft junction part and contacts the other surface of the repair plate part so that the paste bonding pressure is transmitted to the repair plate part The plate jig part and the circumferential direction of the shaft joint part and a ring jig part that is brought into contact with each other so that paste bonding pressure is transmitted to the repair plate part.

또한, 보론나이트라이드 지그부는 그라운드 메쉬부와 단자부까지를 포함하여 플레이트부의 일부가 제거된 경우에, 마운트 체결부에 일부 삽입됨으로써 페이스트 접합 압력이 리페어 플레이트부에 전달되도록 하는 마운트 지그부를 더 포함한다.In addition, the boron nitride jig part further includes a mount jig part that is partially inserted into the mount fastening part so that paste bonding pressure is transmitted to the repair plate part when a part of the plate part including the ground mesh part and the terminal part is removed.

또한, 플레이트 지그부는 샤프트 접합부가 관통되는 관통 홈이 중앙영역에 형성됨으로써 리페어 플레이트부의 타면에 접촉된다.In addition, the plate jig unit is in contact with the other surface of the repair plate unit by forming a through groove in the central region through which the shaft junction passes.

또한, 페이스 접합 압력은 0.520(ton) 내지 0.810(ton)의 값을 가지며, 리페어 플레이트부에 적어도 서로 다른 2지점의 페이스트 접합 압력이 가해진다.In addition, the face bonding pressure has a value of 0.520 (ton) to 0.810 (ton), and paste bonding pressure is applied to the repair plate unit at least two different points.

한편, 본 발명의 목적은 재생 전의 플레이트부의 크랙을 확인하는 단계, 크랙이 생성된 부위의 플레이트를 제거하는 단계, 제거된 플레이트에 상응하는 신품 플레이트와 기존 플레이트를 페이스트를 도포하여 접합하는 단계, 리페어 플레이트부에 적어도 서로 다른 2지점의 페이스트 접합 압력을 가하고, 기 설정된 온도를 제공함으로써 접합 부위가 소결되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 히터의 리페어 방법을 제공함으로써 달성될 수 있다.On the other hand, an object of the present invention is to identify cracks in the plate portion before regeneration, to remove the plate where the crack is generated, to join a new plate and an existing plate corresponding to the removed plate by applying paste, to repair It can be achieved by providing a repair method for an aluminum nitride heater, comprising the step of applying paste bonding pressure at least two different points to the plate portion and providing a preset temperature to sinter the bonding area.

또한, 적어도 서로 다른 2지점은 리페어 플레이트부의 하부면과 샤프트 접합부의 일면이다.In addition, at least two different points are the lower surface of the repair plate part and one surface of the shaft joint.

또한, 적어도 서로 다른 2지점은 그라운드 메쉬부와 단자부까지를 포함하여 플레이트부의 일부가 제거된 경우에, 마운트 체결부의 일면을 더 포함한다.In addition, at least two different points further include one surface of the mount fastening part when a part of the plate part including the ground mesh part and the terminal part is removed.

전술한 바와 같은 본 발명에 의하면 페이스트 접합 압력(ton), 복수의 압력점, 압력이 전달될 수 있는 지그부를 제공함으로써 페이스트 소결 접합에 의해 플레이트를 리페어할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention as described above, by providing a paste bonding pressure (ton), a plurality of pressure points, and a jig portion to which the pressure can be transmitted, there is an effect of repairing the plate by paste sinter bonding.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석 되어서는 아니 된다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 페이스트 접합에 의한 리페어 플레이트를 도시한 도면이고,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 제1,2,3 압력점을 도시한 도면이고,
도 4 및 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 리페어 플레이트부에 압력을 가하기 위한 프레스부, 지그부, 리페어 플레이트부를 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 페이스트 소결 접합 방법을 도시한 도면이고,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 챔버 내부에서 페이스트 접합 소결시의 테스트 결과를 도시한 것이다The following drawings attached to this specification illustrate a preferred embodiment of the present invention, and together with the detailed description of the present invention serve to further understand the technical idea of the present invention, the present invention is limited to those described in the drawings. It should not be construed as limiting.
1 and 2 are views showing a repair plate by paste bonding according to an embodiment of the present invention;
3 is a view showing first, second, and third pressure points according to an embodiment of the present invention;
4 and 5 are views showing a press unit, a jig unit, and a repair plate unit for applying pressure to the repair plate unit according to an embodiment of the present invention;
6 is a view showing a paste sintering bonding method according to an embodiment of the present invention;
Figure 7 shows the test results of paste bonding sintering inside the chamber according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 대해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 일실시예는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하지 않으며, 본 실시 형태에서 설명되는 구성 전체가 본 발명의 해결 수단으로서 필수적이라고는 할 수 없다. 또한, 종래 기술 및 당업자에게 자명한 사항은 설명을 생략할 수도 있으며, 이러한 생략된 구성요소(방법) 및 기능의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 충분히 참조될 수 있을 것이다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the embodiment described below does not unduly limit the contents of the present invention described in the claims, and the entire configuration described in the present embodiment cannot be said to be essential as a solution to the present invention. In addition, descriptions of matters obvious to prior art and those skilled in the art may be omitted, and descriptions of these omitted components (methods) and functions may be sufficiently referred to within the scope not departing from the technical spirit of the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 질화알루미늄 히터를 리페어 하기 위해서는 크랙이 발생한 히터의 플레이트를 제거한 후에 미리 제작해 둔 신품 플레이트를 페이스트를 이용하여 접합한 후에 챔버 내에서 지그를 통해 일정한 압력을 제공하고 동시에 기 설정된 온도를 제공하여 소결함으로써 히터의 플레이트를 재생할 수 있다. As shown in FIGS. 1 and 2, in order to repair the aluminum nitride heater, after removing the plate of the heater with the crack, a new plate manufactured in advance is bonded using a paste, and then a constant pressure is provided through a jig in the chamber. At the same time, the plate of the heater may be regenerated by sintering by providing a predetermined temperature.

도 1(a)에는 크랙 플레이트부(111)와 열선 플레이트부(112)가 도시되어 있다. 크랙 플레이트부(111)와 열선 플레이트부(112)는 히터의 신품 제작시에는 서로 일체로 소결 제작되며, 본 발명에서는 크랙이 형성된 플레이트를 구분하기 위하여 분리 설명하였다. 크랙 플레이트부(111)에는 플레이트의 표면에서 그라운드 메쉬부(10)를 포함하여 단자부(20)까지 크랙이 형성되어 있다. 또한, 열선 플레이트부(112)는 재치되는 웨이퍼나 디스플레이에 일정한 온도를 제공하기 위한 발열체가 내부에 매설되어 있으며, 크랙이 형성되지 않고 정상적인 플레이트이다. 크랙이 발생했는지 여부는 초음파 진단 등을 통해 테스트할 수 있다. 도 1(a)와 같이 크랙이 생성된 것을 초음파 진단 등을 통해 탐지하고, 크랙의 깊이를 확인하면 도 1(b)와 같이 크랙이 발생한 크랙 플레이트부(111)를 가공으로 제거한다. 제거된 크랙 플레이트부(111)와 동일한 신품 플레이트부(111')를 미리 제작하고, 도 1(c)와 같이 페이스트(113)를 이용하여 서로 페이스트 접합한다.1( a ) shows a crack plate part 111 and a hot wire plate part 112 . The crack plate part 111 and the hot wire plate part 112 are integrally sintered to each other when a new heater is manufactured, and in the present invention, it has been separately described to distinguish a plate with cracks. Cracks are formed in the crack plate portion 111 from the surface of the plate to the terminal portion 20 including the ground mesh portion 10 . In addition, the hot wire plate unit 112 has a heating element embedded therein to provide a constant temperature to a wafer or display to be placed thereon, and is a normal plate without cracks. Whether a crack has occurred can be tested through ultrasonic diagnosis or the like. As shown in FIG. 1(a), when the crack is detected through ultrasonic diagnosis or the like and the depth of the crack is confirmed, the crack plate portion 111 where the crack occurs is removed by processing as shown in FIG. 1(b). A new plate part 111' identical to the removed crack plate part 111 is manufactured in advance, and paste-bonded to each other using a paste 113 as shown in FIG. 1(c).

도 2(a)에는 도 1(a)와 마찬가지로 크랙 플레이트부(121)에 크랙이 형성된 것을 도시한 것이다. 다만, 도 1(a)와 다른 것은 플레이트의 표면에서 내부로 크랙이 형성되었으나 그라운드 메쉬부(10)까지 크랙이 형성되지는 않았다. 이에 따라 도 2(b)와 같이 크랙 플레이트부(121)를 가공으로 제거하고 도 2(c)와 같이 신품 플레이트부(121')를 페이스트(123)를 이용하여 열선 플레이트부(122)와 페이스 접합한다.FIG. 2(a) shows that cracks are formed in the crack plate portion 121 as in FIG. 1(a). However, unlike FIG. 1 (a), cracks were formed from the surface of the plate to the inside, but no cracks were formed to the ground mesh portion 10. Accordingly, as shown in FIG. 2(b), the crack plate part 121 is removed through processing, and the hot wire plate part 122 and the face plate 121' are replaced with a paste 123 as shown in FIG. 2(c). join

한편, 도 1과 도 2의 플레이트 리페어 방법은 크랙이 발생한 플레이트를 가공으로 제거하고 제거된 플레이트와 동일한 신품 플레이트를 가공 후 남아 있는 플레이트와 페이스트를 이용하여 접합하는 것이다. 다만, 도 1은 그라운드 메쉬부(10)와 단자부(20)가 포함된 플레이트를 가공하여 제거하고, 도 2는 그라운드 메쉬부(10)와 단자부(20)까지 크랙이 진행되지 않았기 때문에 그라운드 메쉬부(10)의 상측영역의 플레이트만 가공으로 제거된다. Meanwhile, in the plate repair method of FIGS. 1 and 2 , a cracked plate is removed by processing and a new plate identical to the removed plate is bonded to the plate remaining after processing using a paste. However, in FIG. 1, the plate including the ground mesh portion 10 and the terminal portion 20 is processed and removed, and in FIG. 2, since the crack does not progress to the ground mesh portion 10 and the terminal portion 20, the ground mesh portion Only the plate in the upper region of (10) is removed by machining.

한편, 플레이트를 리페어 하기 위해서는 신품 플레이트부(111',121')와 열선 플레이트부(112,122)를 페이스트(113,123)를 이용하여 각각 페이스트 접합하고, 소결하는 리페어 공정이 필요하다. 이때, 페이스트 접합에 따른 압력을 가하기 위해 도 1과 도 2에 따른 플레이트 리페어 접합시의 접합 압력 점이 서로 다르다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 제1,2,3 압력 점에 접합 압력이 페이스트 접합시에 가해져야 한다. 제1 압력 점은 가공 후 남아 있는 기존 플레이트부(211)의 하부면(211a)의 영역에 해당하는 압력 점이고, 제2 압력 점은 샤프트 접합부(221)의 둘레방향을 따라 가해지는 압력 점이고, 제3 압력 점은 마운트 체결부(222)에 가해지는 압력 점이다. 샤프트 접합부(221)는 히터의 신품 제작시에 샤프트부(220)와 플레이트 하부면(211a)을 접합하는 것으로서, 도 3에 도시된 바와 같이 "

Figure 112021022165238-pat00001
"로 형성된다. 따라서 샤프트 접합부(221)의 평평한 면의 둘레방향을 따라 제2 압력이 가해진다.Meanwhile, in order to repair the plate, a repair process of paste bonding the new plate parts 111' and 121' and the hot wire plate parts 112 and 122 using the paste 113 and 123, respectively, and sintering is required. At this time, in order to apply pressure according to paste bonding, bonding pressure points at the time of plate repair bonding according to FIGS. 1 and 2 are different from each other. That is, as shown in FIG. 3 , bonding pressure must be applied to the first, second and third pressure points during paste bonding. The first pressure point is a pressure point corresponding to the area of the lower surface 211a of the existing plate portion 211 remaining after processing, the second pressure point is a pressure point applied along the circumferential direction of the shaft joint 221, The 3 pressure points are the pressure points applied to the mount joint 222 . The shaft joint 221 joins the shaft portion 220 and the lower surface of the plate 211a when a new heater is manufactured, and as shown in FIG.
Figure 112021022165238-pat00001
". Therefore, the second pressure is applied along the circumferential direction of the flat surface of the shaft joint 221.

이때, 도 1과 같은 접합의 경우에는 제1,2,3 압력점 모두에 페이스트 접합 압력이 가해져야 하고, 도 2와 같은 접합의 경우에는 제1,2 압력점에 페이스트 접합 압력이 가해져야 한다. 도 2와 같은 접합의 경우에도 제3 압력점에 페이스트 접합 압력이 가해지면 플레이트에 압력 스트레스가 발생하여 접합시에 불량이 발생한다. 또한, 제1,2,3 압력점에 압력을 가하기 위해서는 압력을 가하기 위한 프레스부와 지그부가 필요하며 이하에서 첨부된 도면을 참고하여 자세히 설명하기로 한다.At this time, in the case of bonding as shown in FIG. 1, paste bonding pressure should be applied to all of the first, second, and third pressure points, and in the case of bonding as shown in FIG. 2, paste bonding pressure should be applied to the first and second pressure points. . Even in the case of bonding as shown in FIG. 2 , when paste bonding pressure is applied to the third pressure point, pressure stress is generated in the plate, resulting in defects during bonding. In addition, in order to apply pressure to the first, second, and third pressure points, a press unit and a jig unit for applying pressure are required, and will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 페이스트를 이용하여 접합한 리페어 플레이트부(210)에 일정한 압력과 소결 온도를 제공하기 위해 챔버부(도면 미도시), 열선부(도면 미도시), 프레스부(311), 복수의 단차 조절부(312), 지그부(321, 322,323,324)를 포함한다. 페이스트 접합된 리페어 플레이트부(211)에 압력과 소결 온도를 제공하기 위해 챔버부에 배치한다. 챔버부는 N2 분위기를 제공하면서 페이스트 소결 온도(또는 접합 온도)를 도 7에 도시된 바와 같이 1750 ~ 1850도씨로 유지한다. 이때, 소결 온도를 제공하기 위해 챔버부에는 열선부가 배치된다. 열선부는 챔버의 둘레방향으로 배치되는 열선 코일을 포함하며, 열선 코일은 카본 재질로 이루어지기 때문에 소결시에 하중 면의 카본 오염을 방지하기 위해 후술하는 지그부(321, 322,323,324)를 배치한다. As shown in FIGS. 4 and 5, a chamber part (not shown), a heating wire part (not shown), and a press part in order to provide constant pressure and sintering temperature to the repair plate part 210 bonded using paste. 311, a plurality of step adjustment units 312, and jig units 321, 322, 323, and 324. It is disposed in the chamber part to provide pressure and sintering temperature to the paste-bonded repair plate part 211 . The chamber unit maintains a paste sintering temperature (or junction temperature) at 1750 to 1850 degrees Celsius as shown in FIG. 7 while providing an N 2 atmosphere. At this time, a heating wire unit is disposed in the chamber unit to provide a sintering temperature. The heating wire part includes a heating wire coil disposed in the circumferential direction of the chamber, and since the heating wire coil is made of carbon material, jig parts 321, 322, 323, and 324 described below are disposed to prevent carbon contamination of the load surface during sintering.

프레스부(311)는 상하 이동에 따라 페이스트가 도포된 리페어 플레이트부(210)에 압력을 가한다. 이때, 가해지는 페이스트 접합 압력은 도 7에 도시된 바와 같이 0.520(ton) 내지 0.810(ton)의 값을 가지는 것이 바람직하다.The press unit 311 applies pressure to the repair plate unit 210 to which the paste is applied as it moves up and down. At this time, the applied paste joining pressure preferably has a value of 0.520 (ton) to 0.810 (ton) as shown in FIG. 7 .

복수의 단차 조절부(312)는 프레스부(311)와 리페어 플레이트부(210)의 사이 공간에 배치되어 높이 차를 맞춘다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 프레스부(311)에 의해 제1 압력점(f1, 샤프트 하부면(211a))에 페이스트 접합 압력을 가하기 위해서는 높이 차를 맞추어야 한다. 따라서 복수의 단차 조절부(312)는 플레이트 지그부(322)의 하부면과 프레스부(311)의 하부면의 사이 공간에 배치되어 하중 높이 차를 맞추도록 하고 프레스부(311)의 상하 이동에 따라 제1 압력점에 압력(f1)이 가해질 수 있도록 한다. 복수의 단차 조절부(312)는 리페어 플레이트부(210)의 사이즈에 따라 높이 차를 맞출 수 있도록 개수가 조정될 수 있다. 또한, 복수의 단차 조절부(312)는 자체 하중을 가지기 때문에 프레스부(311)에 의해 가해지는 압력 하중을 고려하여 자체 하중을 설정한다.The plurality of step adjustment units 312 are disposed in a space between the press unit 311 and the repair plate unit 210 to adjust the height difference. That is, as shown in FIG. 5 , in order to apply paste bonding pressure to the first pressure point f1 (lower surface 211a of the shaft) by the press part 311, the height difference must be matched. Therefore, the plurality of step adjustment units 312 are disposed in the space between the lower surface of the plate jig unit 322 and the lower surface of the press unit 311 to match the load height difference and to adjust the vertical movement of the press unit 311. Accordingly, the pressure f1 can be applied to the first pressure point. The number of the plurality of step adjustment units 312 may be adjusted to match the height difference according to the size of the repair plate unit 210 . In addition, since the plurality of step adjustment units 312 have their own load, their own load is set in consideration of the pressure load applied by the press unit 311 .

복수의 단차 조절부(312)의 내측에는 복수의 단차 조절부(312)의 각각의 하중 얼라인을 맞추기 위해 얼라인 핀 지그부(313)가 삽입된다.An alignment pin jig part 313 is inserted inside the plurality of step adjusting parts 312 to align each load of the plurality of step adjusting parts 312 .

보론나이트라이드 지그부(321, 322,323,324)는 하중 면에 카본 오염을 방지하고 프레스부(311)의 상하 이동에 따라 하중 면에 하중 압력을 가하기 위해 배치된다. 이를 위해 보론나이트라이드 지그부(321, 322,323,324)는 받침 지그부(321), 플레이트 지그부(322), 마운트 지그부(323), 링 지그부(324)를 포함한다.The boron nitride jig parts 321 , 322 , 323 , and 324 are disposed to prevent carbon contamination on the load surface and to apply load pressure to the load surface as the press unit 311 moves up and down. To this end, the boron nitride jig parts 321 , 322 , 323 , and 324 include a support jig part 321 , a plate jig part 322 , a mount jig part 323 , and a ring jig part 324 .

받침 지그부(321)는 리페어 플레이트부(210)의 상부면(또는 웨이퍼가 재치되는 재치면)을 받침 지지한다. The supporting jig unit 321 supports the upper surface (or the mounting surface on which the wafer is placed) of the repair plate unit 210 .

플레이트 지그부(322)는 샤프트 접합부(221)를 통과하여 리페어 플레이트부(210)의 하부면에 면 접촉된다. 프레스부(311)가 하측으로 이동하면 복수의 단차 조절부(312)에 의해 플레이트 지그부(322)에 압력 하중(f1)이 가해지고, 순차적으로 플레이트 하부면(211a)에 압력 하중이 가해진다.The plate jig part 322 passes through the shaft junction part 221 and comes into surface contact with the lower surface of the repair plate part 210 . When the press part 311 moves downward, a pressure load f1 is applied to the plate jig part 322 by the plurality of step adjusting parts 312, and a pressure load is sequentially applied to the lower surface 211a of the plate. .

플레이트 지그부(322)는 샤프트 접합부(221)가 관통될 수 있는 관통 홈(322a)이 중앙영역에 형성됨으로써 리페어 플레이트부(210)의 하부면(211a)에 면 접촉될 수 있다. The plate jig part 322 may come into surface contact with the lower surface 211a of the repair plate part 210 by forming a through groove 322a through which the shaft joint 221 can pass through in the central area.

링 지그부(324)는 샤프트 접합부(221)의 둘레방향을 따라 면 접촉됨으로써 페이스트 접합 압력(f2)이 리페어 플레이트부(210)에 전달되도록 한다. 이에 따라 링 지그부(324)는 프레스부(311)의 하부면과 샤프트 접합부(221)의 사이 공간에 배치된다. The ring jig part 324 makes surface contact along the circumferential direction of the shaft joint part 221 so that the paste bonding pressure f2 is transmitted to the repair plate part 210 . Accordingly, the ring jig part 324 is disposed in the space between the lower surface of the press part 311 and the shaft junction part 221 .

한편, 도 2에 도시된 바와 같은 리페어 플레이트부의 접합 공정에서는 상술한 바와 같이 플레이트 지그부(322)와 링 지그부(324)를 이용하여 제1,2 압력점에 압력 하중을 가하여 소결 접합한다. 이와 달리 도 1에 도시된 바와 같이 리페어 플레이트부의 접합 공정에서는 제3 압력점(f3)이 추가되어야 한다. 이에 따라 도 1과 같이 그라운드 메쉬부(10)와 단자부(20)까지를 포함하여 플레이트부의 일부가 제거된 경우에는 마운트 지그부(323)를 더 포함하여 압력을 가한다. Meanwhile, in the bonding process of the repair plate parts as shown in FIG. 2 , as described above, pressure loads are applied to the first and second pressure points using the plate jig part 322 and the ring jig part 324 to perform sinter bonding. Unlike this, as shown in FIG. 1 , in the bonding process of the repair plate unit, a third pressure point f3 should be added. Accordingly, when a part of the plate part including the ground mesh part 10 and the terminal part 20 is removed as shown in FIG. 1 , the mount jig part 323 is further included to apply pressure.

마운트 지그부(323)는 마운트 체결부(222)에 일부 삽입됨으로써 페이스트 접합 압력이 리페어 플레이트부(210)에 전달되도록 한다. 마운트 지그부(323)는 도 5를 기준으로 하측의 폭이 좁고 상측의 폭이 넓도록 형성된다. 이에 따라 폭이 좁은 하측부는 마운트 체결부(222)에 삽입되도록 하고, 폭이 넓은 상측부는 마운트 체결부(222)의 단부의 둘레방향으로 면 접촉한다. 따라서 프레스부(311)가 하부로 이동하면 하중 압력이 마운트 지그부(323)에 가해지고 순차적으로 마운트 체결부(222)에 하중 압력이 가해진다. The mount jig part 323 is partially inserted into the mount fastening part 222 so that paste bonding pressure is transmitted to the repair plate part 210 . The mount jig part 323 is formed such that the width of the lower side is narrow and the width of the upper side is wide based on FIG. 5 . Accordingly, the narrower lower part is inserted into the mount fastening part 222, and the wide upper part makes surface contact with the end of the mount fastening part 222 in the circumferential direction. Therefore, when the press part 311 moves downward, load pressure is applied to the mount jig part 323 and load pressure is sequentially applied to the mount fastening part 222 .

프레스부(311)에 의해 제1 압력점(f1), 제2 압력점(f2) 및 제3 압력점(f3)에 하중 압력이 전달됨으로써 페이스트가 도포된 리페어 플레이트부(210)에 골고루 페이스트 접합 압력이 전달되어 소결이 정상적으로 이루어질 수 있다.The paste is evenly bonded to the repair plate part 210 where the paste is applied as the load pressure is transmitted to the first pressure point f1, the second pressure point f2, and the third pressure point f3 by the press part 311. Pressure is transmitted so that sintering can be performed normally.

본 발명의 일실시예에 따른 질화알루미늄 히터의 리페어 방법은 도 6을 참고하여 설명하기로 한다. A method for repairing an aluminum nitride heater according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6 .

신품 히터에 크랙이 발생하여 리페어 요청이 오면 먼저 재생 전의 플레이트부의 크랙을 초음파 등을 이용하여 확인한다. 크랙을 확인하면 크랙이 생성된 부위의 플레이트를 제거한다. 이때, 크랙이 발생한 플레이트의 제거 깊이에 따라 상술한 바와 같이 제1,2 압력점에 압력 하중을 가하거나 또는 제1,2,3 압력점 모두에 압력 하중을 가하는 것이 결정된다.When a crack occurs in a new heater and a repair request is received, first, cracks in the plate portion before regeneration are confirmed using ultrasonic waves or the like. After confirming the crack, remove the plate where the crack was created. At this time, as described above, it is determined whether to apply pressure loads to the first and second pressure points or to apply pressure loads to all of the first, second, and third pressure points according to the removal depth of the cracked plate.

다음으로, 가공으로 제거된 플레이트와 동일한 미리 제작된 신품 플레이트(213,또는 복원 플레이트)와 기존 플레이트(211)를 페이스트(212)를 도포하여 접합한다. 즉, 기존 플레이트(211)의 일면에 페이스트(212)를 도포하고 건조한 후에 신품 플레이트(213)를 접합한다.Next, a new plate 213 (or restoration plate) manufactured in advance and the same as the plate removed by processing and the existing plate 211 are bonded by applying a paste 212 thereto. That is, after the paste 212 is applied to one surface of the existing plate 211 and dried, a new plate 213 is joined.

상술한 바와 같이 제1,2 압력점 또는 제1,2,3 압력점에 페이스 접합 압력을 0.520(ton) 내지 0.810(ton) 범위 내에서 가하고, 챔버 내부의 소결 온도를 환경에 맞게 1750 ~ 1850도씨로 내외로 유지함으로써 페이스트 접합 부위가 소결되어 리페어 공정이 마무리된다.As described above, the face bonding pressure is applied to the first and second pressure points or the first, second, and third pressure points within the range of 0.520 (ton) to 0.810 (ton), and the sintering temperature inside the chamber is 1750 to 1850 to suit the environment. By maintaining the inside and outside of the furnace, the paste bonding site is sintered and the repair process is completed.

도 7은 챔버 내부에서 페이스트 접합 소결시의 테스트 결과를 나타낸 것이다. 도 7에 도시된 바와 같이 순번 22번 내지 26번에서와 같은 조건에 의해 소결이 정상적으로 이루어지는 것을 확인할 수 있었다. 7 shows test results during paste bonding sintering inside the chamber. As shown in FIG. 7, it was confirmed that sintering was normally performed under the same conditions as in the order No. 22 to No. 26.

본 발명에서는 크랙이 발생한 플레이트를 가공으로 제거한 후에 신품 플레이트를 액상 페이스트를 도포하여 접합 소결할 때 리페어 플레이트부에 가해지는 압력(ton), 압력이 가해지는 압력점, 압력을 가하기 위한 지그부를 포함함으로써 페이스트 접합 소결을 통해 리페어 할 수 있다.In the present invention, the pressure (ton) applied to the repair plate part, the pressure point to which the pressure is applied, and the jig part for applying the pressure are included when the new plate is bonded and sintered by applying the liquid paste after removing the cracked plate by processing It can be repaired through paste bonding sintering.

본 발명을 설명함에 있어 종래 기술 및 당업자에게 자명한 사항은 설명을 생략할 수도 있으며, 이러한 생략된 구성요소(방법) 및 기능의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 충분히 참조될 수 있을 것이다. 또한, 상술한 본 발명의 구성요소는 본 발명의 설명의 편의를 위하여 설명하였을 뿐 여기에서 설명되지 아니한 구성요소가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 추가될 수 있다. In describing the present invention, descriptions of matters obvious to those skilled in the art and those skilled in the art may be omitted, and descriptions of these omitted components (methods) and functions will be sufficiently referred to within the scope that does not depart from the technical spirit of the present invention. You will be able to. In addition, the above-described components of the present invention have been described for convenience of description of the present invention, but components not described herein may be added within a range that does not deviate from the technical spirit of the present invention.

상술한 각부의 구성 및 기능에 대한 설명은 설명의 편의를 위하여 서로 분리하여 설명하였을 뿐 필요에 따라 어느 한 구성 및 기능이 다른 구성요소로 통합되어 구현되거나, 또는 더 세분화되어 구현될 수도 있다.The description of the configuration and function of each part described above has been separately described for convenience of explanation, but any one configuration and function may be implemented by integrating into other components or implemented in more subdivided form, if necessary.

이상, 본 발명의 일실시예를 참조하여 설명했지만, 본 발명이 이것에 한정되지는 않으며, 다양한 변형 및 응용이 가능하다. 즉, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 많은 변형이 가능한 것을 당업자는 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명과 관련된 공지 기능 및 그 구성 또는 본 발명의 각 구성에 대한 결합관계에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.Although the above has been described with reference to one embodiment of the present invention, the present invention is not limited thereto, and various modifications and applications are possible. That is, those skilled in the art will easily understand that many modifications are possible without departing from the gist of the present invention. In addition, when it is determined that the detailed description of known functions and their configurations related to the present invention or the coupling relationship of each component of the present invention may unnecessarily obscure the gist of the present invention, it should be noted that the detailed description is omitted. something to do.

10 : 그라운드 메쉬부
20 : 단자부
30 : 열선부
40 : 크랙
111 : 크랙 플레이트부
111' : 신품 플레이트부 또는 복원 플레이트부
112 : 열선 플레이트부 또는 기존 플레이트부
113 : 페이스트
121 : 크랙 플레이트부
121' : 신품 플레이트부 또는 복원 플레이트부
122 : 열선 플레이트부 또는 기존 플레이트부
123 : 페이스트
200 : 질화알루미늄 히터부
210 : 리페어 플레이트부
211 : 기존 플레이트부
211a : 플레이트 하부면
212 : 페이스트
213 : 신품 플레이트부 또는 복원 플레이트부
220 : 샤프트부
221 : 샤프트 접합부
222 : 마운트 체결부 또는 사프트 헤드부
311 : 프레스부
312 : 복수의 단차 조절부
313 : 얼라인 핀 지그부
321 : 받침 지그부
322 : 플레이트 지그부
322a : 관통 홈
323 : 마운트 지그부
324 : 링 지그부10: ground mesh part
20: terminal part
30: heat wire part
40 : Crack
111: crack plate portion
111 ': new plate part or restoration plate part
112: hot wire plate part or existing plate part
113: paste
121: crack plate portion
121 ': new plate part or restoration plate part
122: hot wire plate part or existing plate part
123: paste
200: aluminum nitride heater part
210: repair plate part
211: existing plate part
211a: plate lower surface
212: paste
213: new plate part or restoration plate part
220: shaft part
221: shaft joint
222: mount fastening part or shaft head part
311: press part
312: a plurality of step control units
313: align pin jig part
321: supporting jig part
322: plate jig part
322a: through groove
323: mount jig part
324: ring jig part

Claims (8)

페이스트가 도포된 리페어 플레이트부에 압력을 가하는 프레스부,
프레스부와 상기 리페어 플레이트부의 사이 공간에 배치되어 높이 차를 맞추고, 리페어 플레이트부에 하중을 가하는 복수의 단차 조절부,
상기 프레스부의 압력에 따라 상기 리페어 플레이트부에 페이스트 접합 압력이 전달되도록 하는 보론나이트라이드 지그부를 포함하며,
상기 보론나이트라이드 지그부는,
상기 리페어 플레이트부의 일면을 받치는 받침 지그부,
샤프트 접합부를 통과하여 상기 리페어 플레이트부의 타면에 접촉됨으로써 상기 페이스트 접합 압력이 상기 리페어 플레이트부에 전달되도록 하는 플레이트 지그부,
상기 샤프트 접합부의 둘레방향을 따라 접촉됨으로써 상기 페이스트 접합 압력이 상기 리페어 플레이트부에 전달되도록 하는 링 지그부를 포함하는 것을 특징으로 하는 지그를 통한 질화알루미늄 히터 리페어 장치.
A press unit for applying pressure to the repair plate unit to which the paste is applied;
A plurality of step adjusting units disposed in a space between the press unit and the repair plate unit to match a height difference and apply a load to the repair plate unit;
A boron nitride jig part for transmitting paste bonding pressure to the repair plate part according to the pressure of the press part,
The boron nitride jig part,
A support jig portion supporting one surface of the repair plate portion;
A plate jig part that passes through the shaft joint and contacts the other surface of the repair plate part so that the paste bonding pressure is transmitted to the repair plate part;
Aluminum nitride heater repair device through a jig, characterized in that it comprises a ring jig portion that is contacted along the circumferential direction of the shaft joint so that the paste joint pressure is transmitted to the repair plate portion.
 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 보론나이트라이드 지그부는,
그라운드 메쉬부와 단자부까지를 포함하여 플레이트부의 일부가 제거된 경우에,
마운트 체결부에 일부 삽입됨으로써 상기 페이스트 접합 압력이 상기 리페어 플레이트부에 전달되도록 하는 마운트 지그부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 지그를 통한 질화알루미늄 히터 리페어 장치.
According to claim 1,
The boron nitride jig part,
When a part of the plate part is removed, including the ground mesh part and the terminal part,
Aluminum nitride heater repair device through a jig, characterized in that it further comprises a mount jig portion that is partially inserted into the mount fastening portion so that the paste bonding pressure is transmitted to the repair plate portion.
 제 1 항에 있어서,
상기 플레이트 지그부는,
상기 샤프트 접합부가 관통되는 관통 홈이 중앙영역에 형성됨으로써 상기 리페어 플레이트부의 타면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 지그를 통한 질화알루미늄 히터 리페어 장치.
According to claim 1,
The plate jig part,
An aluminum nitride heater repair device through a jig, characterized in that the through-hole through which the shaft junction passes is formed in the central region to contact the other surface of the repair plate part.
 페이스트가 도포된 리페어 플레이트부에 압력을 가하는 프레스부,
프레스부와 상기 리페어 플레이트부의 사이 공간에 배치되어 높이 차를 맞추고, 리페어 플레이트부에 하중을 가하는 복수의 단차 조절부,
상기 프레스부의 압력에 따라 상기 리페어 플레이트부에 페이스트 접합 압력이 전달되도록 하는 보론나이트라이드 지그부를 포함하며,
상기 페이스트 접합 압력은,
0.520(ton) 내지 0.810(ton)의 값을 가지며,
상기 리페어 플레이트부에 적어도 서로 다른 2지점의 페이스트 접합 압력이 가해지는 것을 특징으로 하는 지그를 통한 질화알루미늄 히터 리페어 장치.A press unit for applying pressure to the repair plate unit to which the paste is applied;
A plurality of step adjusting units disposed in a space between the press unit and the repair plate unit to match a height difference and apply a load to the repair plate unit;
A boron nitride jig part for transmitting paste bonding pressure to the repair plate part according to the pressure of the press part,
The paste bonding pressure,
It has a value of 0.520 (ton) to 0.810 (ton),
An aluminum nitride heater repair device through a jig, characterized in that the paste bonding pressure of at least two different points is applied to the repair plate part. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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