KR102488086B1 - Electrostatic chuck - Google Patents

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Abstract

Disclosed is an electrostatic chuck, which includes a chuck body, an electrode terminal, a filler, and an anti-smudge coating layer. As the anti-smudge coating layer covers the filler, even if exposed to heat, plasma, etc. for a long time due to long-term use, there is an advantage in that a phenomenon in which the filler spreads out randomly along the surface of the chuck body can be prevented.

Description

정전척{Electrostatic chuck}Electrostatic chuck

본 발명은 정전척에 관한 것이다.The present invention relates to an electrostatic chuck.

정전척은 웨이퍼, 디스플레이용 글래스 기판 등의 고정 대상물을 정전기력을 이용하여 고정시켜주는 것으로, 이러한 정전척의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.An electrostatic chuck fixes an object to be fixed, such as a wafer or a glass substrate for a display, using electrostatic force, and examples of such an electrostatic chuck are those of the patent documents presented below.

도 1은 종래의 정전척의 일부를 확대한 사진이다.1 is an enlarged photograph of a part of a conventional electrostatic chuck.

도 1을 참조하면, 종래의 정전척에서는, 척 본체(10)의 내부에 삽설되어 정전기력을 형성시키는 내부 전극에 외부 전기를 인가하기 위해 상기 척 본체(10)의 저면으로부터 돌출되는 전극 단자(20)와 상기 척 본체(10) 사이에는 필러(filler)(30)가 메탈라이징(metallizing) 또는 브레이징(brazing)에 의해 형성된다.Referring to FIG. 1 , in a conventional electrostatic chuck, electrode terminals 20 protruding from the bottom surface of the chuck body 10 to apply external electricity to internal electrodes installed inside the chuck body 10 to generate electrostatic force. ) and the chuck body 10, a filler 30 is formed by metallizing or brazing.

그러나, 장기간 사용에 따른 열, 플라즈마 등의 영향으로 인해, 상기 필러(30)가 상기 척 본체(10)의 표면을 따라 임의로 번져나가는 현상(metal migration)이 발생(도면 번호 35 참조)되어, 상기 전극 단자(20)를 통해 인가된 전기가 상기 정전척의 다른 부분으로 누설되는 현상이 발생되고, 그에 따라 척킹 불균일 등 다양한 문제를 발생시키는 원인이 되고 있다.However, metal migration occurs (refer to reference number 35), in which the filler 30 randomly spreads along the surface of the chuck body 10 due to the influence of heat, plasma, etc. due to long-term use. Electricity applied through the electrode terminal 20 leaks to other parts of the electrostatic chuck, which causes various problems such as uneven chucking.

또한, 장기간 사용에 따라, 상기 척 본체(10)의 모서리가 곡면화되는 에지 라운드(edge round)가 발생되어, 상기 에지 라운드에 의한 정전기력 이상으로 인해 상기 고정 대상물이 정자세로 고정되지 못하는 문제가 발생되었다.In addition, with long-term use, an edge round in which the corner of the chuck body 10 is curved occurs, and the object to be fixed is not fixed in a straight posture due to an abnormal electrostatic force caused by the edge round. It became.

등록특허 제 10-0984748호, 등록일자: 2010.09.27., 발명의 명칭: 정전척, 조립형 정전 흡착 장치, 글라스 기판 접합 장치 및조립형 글라스 기판 접합 장치Registered Patent No. 10-0984748, Registration Date: 2010.09.27, Title of Invention: Electrostatic Chuck, Assembled Electrostatic Adsorption Device, Glass Substrate Bonding Device, and Assembled Glass Substrate Bonding Device

본 발명은 장기간 사용으로 인해 열, 플라즈마 등에 장기간 노출되더라도, 필러가 척 본체의 표면을 따라 임의로 번져나가는 현상이 방지될 수 있는 정전척을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an electrostatic chuck that can prevent a filler from spreading randomly along the surface of a chuck body even when exposed to heat or plasma for a long period of time due to long-term use.

본 발명의 다른 목적은 장기간 사용되더라도, 상기 척 본체의 모서리가 곡면화되는 에지 라운드의 발생이 방지될 수 있는 정전척을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an electrostatic chuck capable of preventing edge rounding in which the corner of the chuck body is curved, even when used for a long period of time.

본 발명의 일 측면에 따른 정전척은 정전기력을 형성시키는 내부 전극이 내부에 삽설되는 척 본체; 상기 내부 전극과 통전을 위해 연결되되, 상기 척 본체의 외부로 돌출되는 전극 단자; 상기 척 본체와 상기 전극 단자 사이에 형성되는 필러; 및 상기 필러가 상기 척 본체의 표면을 따라 번져나가는 현상이 방지될 수 있도록, 상기 필러를 덮어주는 번짐 방지 코팅층;을 포함하고, 상기 필러는 상기 척 본체의 내부에서 전극 단자를 구성하는 단자 몸체의 외부를 감싸는 형태로 형성되는 필러 몸체와, 상기 필러 몸체와 연결되되 상기 척 본체의 표면의 상측에서 상기 단자 몸체의 외부를 감싸는 형태로 형성되는 필러 노출체를 포함하고, 상기 번짐 방지 코팅층은 상기 척 본체, 상기 필러 노출체 및 상기 단자 몸체를 함께 덮어주도록 코팅되고, 그 상부에는 소정 깊이로 함몰된 홀 형태의 승강 홀이 형성되는 필러 코팅 본체와, 상기 필러 코팅 본체의 상기 승강 홀을 덮으면서 상기 필러 코팅 본체 상에 얹혀지는 필러 코팅 승강체와, 상기 필러 코팅 승강체의 저면으로부터 돌출되고, 그릇 형태로 함몰된 형태로 형성되어, 상기 필러 중 일부가 번져나가는 현상이 발생되었을 때 상기 필러의 번짐 물질이 그 상단에 수용될 수 있는 번짐 물질 수용체와, 상기 필러 코팅 본체 중 상기 필러 노출체를 덮는 부분의 상면 중 하측 부분으로부터 상기 번짐 물질 수용체 상으로 소정 길이 돌출되는 번짐 물질 가이드를 포함하고, 상기 필러 중 일부가 번져나가는 현상이 발생되어 상기 필러의 번짐 물질이 상기 필러 코팅 본체를 뚫고 상기 승강 홀로 유입되면, 상기 승강 홀로 유입된 상기 필러의 번짐 물질이 상기 번짐 물질 가이드를 통해 상기 번짐 물질 수용체의 상부로 향하여 수용됨에 따라, 상기 번짐 물질 수용체에 수용된 상기 필러의 번짐 물질의 하중에 의해 상기 번짐 물질 수용체가 하강되고, 그에 따라 상기 필러 코팅 승강체도 하강되어, 상기 필러 코팅 승강체, 상기 번짐 물질 수용체 및 상기 필러 코팅 본체가 상대적으로 서로 밀착되는 것을 특징으로 한다.An electrostatic chuck according to an aspect of the present invention includes a chuck body in which internal electrodes generating electrostatic force are inserted; an electrode terminal that is connected to the internal electrode for current and protrudes to the outside of the chuck body; a pillar formed between the chuck body and the electrode terminal; and an anti-spreading coating layer covering the filler to prevent the filler from spreading along the surface of the chuck body, wherein the filler is a part of a terminal body constituting an electrode terminal inside the chuck body. A filler body formed to surround the outside and a filler exposed body connected to the filler body and formed to surround the outside of the terminal body at an upper side of a surface of the chuck body, wherein the anti-smudge coating layer is formed on the chuck A filler coating body coated to cover the main body, the exposed pillar body, and the terminal body together, and having an elevation hole in the form of a hole recessed to a predetermined depth formed on the upper portion thereof, and covering the elevation hole of the filler coating body, A filler coating elevating body placed on the filler coating main body, protruding from the bottom surface of the filler coating elevating body, and formed in a bowl-shaped recessed form, When a phenomenon in which some of the filler spreads out occurs, the spread of the filler A spreading material receptor in which a material can be accommodated at its upper end, and a spreading material guide protruding a predetermined length from the lower part of the upper surface of the filler coating body covering the filler exposed body onto the spreading material receptor, When some of the filler spreads out and the spreading material of the filler penetrates the filler coating body and enters the elevating hole, the spreading material of the filler flowing into the elevating hole passes through the spreading material guide to the spreading material receptor. As it is accommodated upward, the spreading material container is lowered by the load of the spreading material of the filler accommodated in the spreading material container, and accordingly, the filler coated elevator body is also lowered, so that the filler coated elevator body and the spreading material container are lowered. And it is characterized in that the filler coating body is in close contact with each other relatively.

본 발명의 일 측면에 따른 정전척에 의하면, 상기 정전척이 척 본체와, 전극 단자와, 필러와, 번짐 방지 코팅층을 포함함에 따라, 상기 번짐 방지 코팅층이 상기 필러를 덮어주게 됨으로써, 장기간 사용으로 인해 열, 플라즈마 등에 장기간 노출되더라도, 상기 필러가 상기 척 본체의 표면을 따라 임의로 번져나가는 현상이 방지될 수 있게 되는 효과가 있다.According to the electrostatic chuck according to one aspect of the present invention, as the electrostatic chuck includes a chuck body, an electrode terminal, a filler, and an anti-smudge coating layer, the anti-smear coating layer covers the filler, so that it can be used for a long time. Even when exposed to heat, plasma, etc. for a long period of time, there is an effect of preventing the filler from spreading arbitrarily along the surface of the chuck body.

도 1은 종래의 정전척의 일부를 확대한 사진.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 정전척을 구현하기 위한 마스킹 부재가 적용된 모습을 보이는 단면도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 정전척을 구현하기 위한 마스킹 부재가 적용된 모습을 보이는 사진.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 정전척에 대한 단면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 정전척의 일부를 확대한 사진.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 정전척에 대한 단면도.
도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 정전척의 일부를 확대한 단면도.
도 8은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 정전척의 일부를 확대한 단면도.
도 9는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 정전척의 일부를 확대한 단면도.1 is an enlarged photograph of a part of a conventional electrostatic chuck;
2 is a cross-sectional view showing a state in which a masking member for implementing an electrostatic chuck according to a first embodiment of the present invention is applied.
3 is a photograph showing a state in which a masking member for implementing an electrostatic chuck according to a first embodiment of the present invention is applied.
4 is a cross-sectional view of an electrostatic chuck according to a first embodiment of the present invention.
5 is an enlarged photograph of a part of the electrostatic chuck according to the first embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of an electrostatic chuck according to a second embodiment of the present invention.
7 is an enlarged cross-sectional view of a part of an electrostatic chuck according to a third embodiment of the present invention.
8 is an enlarged cross-sectional view of a part of an electrostatic chuck according to a fourth embodiment of the present invention.
9 is an enlarged cross-sectional view of a part of an electrostatic chuck according to a fifth embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 정전척에 대하여 설명한다.Hereinafter, an electrostatic chuck according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 정전척을 구현하기 위한 마스킹 부재가 적용된 모습을 보이는 단면도이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 정전척을 구현하기 위한 마스킹 부재가 적용된 모습을 보이는 사진이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 정전척에 대한 단면도이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 정전척의 일부를 확대한 사진이다.2 is a cross-sectional view showing a state in which a masking member for implementing an electrostatic chuck according to a first embodiment of the present invention is applied, and FIG. 3 is a masking member for implementing an electrostatic chuck according to a first embodiment of the present invention is applied. FIG. 4 is a cross-sectional view of the electrostatic chuck according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 5 is an enlarged photograph of a part of the electrostatic chuck according to the first embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 5를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 정전척(100)은 척 본체(110)와, 전극 단자(120)와, 필러(130)와, 번짐 방지 코팅층(150)을 포함한다.2 to 5 together, the electrostatic chuck 100 according to the present embodiment includes a chuck body 110, an electrode terminal 120, a filler 130, and an anti-smudge coating layer 150. .

상기 척 본체(110)는 정전기력을 형성시키는 내부 전극(101)이 내부에 삽설되는 것으로, 소정 면적의 플레이트 형태로 형성된다.The chuck body 110 has internal electrodes 101 that generate electrostatic force inserted therein, and is formed in a plate shape with a predetermined area.

도면 번호 102는 상기 척 본체(110)의 내부에 상기 내부 전극(101)과 별도로 설치되어 발열될 수 있는 히터이다.Reference numeral 102 denotes a heater installed inside the chuck body 110 separately from the internal electrode 101 to generate heat.

상기 전극 단자(120)는 상기 내부 전극(101)과 통전을 위해 연결되되, 상기 척 본체(110)의 외부로 돌출되는 것이다.The electrode terminal 120 is connected to the internal electrode 101 for current and protrudes out of the chuck body 110 .

상기 전극 단자(120)는 단자 몸체(121)와, 단자 연결체(122)를 포함한다.The electrode terminal 120 includes a terminal body 121 and a terminal connection body 122.

상기 단자 몸체(121)는 소정 길이로 길게 형성되고, 상기 단자 몸체(121)의 일 측은 상기 내부 전극(101)과 연결되고, 상기 단자 몸체(121)의 타 측은 상기 척 본체(110)의 외부 상공으로 소정 길이 돌출된 형태로 이루어진다.The terminal body 121 has a predetermined length, one side of the terminal body 121 is connected to the internal electrode 101, and the other side of the terminal body 121 is outside the chuck body 110. It is made in the form of protruding a predetermined length into the sky.

상기 단자 연결체(122)는 상기 척 본체(110)의 외부로 돌출된 상기 단자 몸체(121)의 타 측의 말단에서 연장되고, 외부의 전기를 인가하기 위한 외부 구성(케이블 단자 등)과 연결되는 것이다.The terminal connection body 122 extends from the end of the other side of the terminal body 121 protruding out of the chuck body 110 and is connected to an external component (cable terminal, etc.) for applying external electricity. It will be.

상기 필러(130)는 상기 척 본체(110)와 상기 전극 단자(120) 사이에 형성되는 것이다.The pillar 130 is formed between the chuck body 110 and the electrode terminal 120 .

상기 필러(130)는 상기 척 본체(110)의 내부에서 상기 단자 몸체(121)의 외부를 감싸는 형태로 형성되는 필러 몸체(131)와, 상기 필러 몸체(131)와 연결되되 상기 척 본체(110)의 표면의 상측에서 상기 단자 몸체(121)의 외부를 감싸는 형태로 형성되는 필러 노출체(132)를 포함한다.The filler 130 is connected to a filler body 131 formed in a shape surrounding the outside of the terminal body 121 from the inside of the chuck body 110 and the filler body 131, but the chuck body 110 ) includes a pillar exposed body 132 formed in a shape surrounding the outside of the terminal body 121 on the upper side of the surface.

상기 필러 노출체(132)는 상기 척 본체(110)의 표면으로부터 상대적으로 이격될수록 상대적으로 좁아지면서 상기 단자 몸체(121)의 표면 쪽으로 수렴되는 테이퍼 형태로 형성될 수 있다.The pillar exposed body 132 may be formed in a tapered shape converging toward the surface of the terminal body 121 while being relatively narrower as it is relatively spaced apart from the surface of the chuck body 110 .

상기 번짐 방지 코팅층(150)은 상기 필러(130)가 상기 척 본체(110)의 표면을 따라 번져나가는 현상이 방지될 수 있도록, 상기 필러(130)를 덮어주는 것이다.The spreading prevention coating layer 150 covers the filler 130 to prevent the spreading of the filler 130 along the surface of the chuck body 110 .

상기 번짐 방지 코팅층(150)은 필러 코팅체(152)와, 단자 코팅체(153)와, 본체 코팅체(151)를 포함한다.The anti-smudging coating layer 150 includes a filler coating body 152 , a terminal coating body 153 , and a body coating body 151 .

상기 필러 코팅체(152)는 상기 필러(130) 중 상기 척 본체(110)의 표면 외부로 노출된 부분인 상기 필러 노출체(132)를 덮는 것으로, 상기 척 본체(110)의 표면으로부터 상대적으로 이격될수록 상대적으로 좁아지면서 상기 필러 노출체(132)의 표면 쪽으로 수렴되는 테이퍼 형태로 형성될 수 있다.The filler coating body 152 covers the filler exposed body 132, which is a portion of the filler 130 that is exposed to the outside of the surface of the chuck body 110, and is formed relatively from the surface of the chuck body 110. It may be formed in a tapered shape converging toward the surface of the pillar exposed body 132 while being relatively narrower as it is spaced apart.

상기 단자 코팅체(153)는 상기 필러 코팅체(152)와 일 측단에서 연결되되, 상기 전극 단자(120)의 상기 단자 몸체(121) 중 상기 필러(130)의 외부로 노출된 부분을 덮는 것이다.The terminal coating body 153 is connected to the filler coating body 152 at one end, and covers a portion exposed to the outside of the filler 130 of the terminal body 121 of the electrode terminal 120. .

상기 본체 코팅체(151)는 상기 필러 코팅체(152)와 타 측단에서 연결되되, 상기 척 본체(110)의 표면 중 상기 전극 단자(120)를 둘러싼 소정 면적의 부분을 덮는 것이다.The body coating body 151 is connected to the filler coating body 152 at the other end, and covers a portion of a predetermined area surrounding the electrode terminal 120 on the surface of the chuck body 110 .

상기 본체 코팅체(151)는 상기 전극 단자(120)를 중심으로 소정 면적의 원형 플레이트 형태로 형성되고, 상기 필러 코팅체(152)는 상기 본체 코팅체(151)와 연결되면서 상기 본체 코팅체(151)의 중앙부로부터 상기 필러 노출체(132)를 덮는 형태인 테이퍼 형태로 형성되고, 상기 단자 코팅체(153)는 상기 필러 코팅체(152)의 말단과 연결되면서 상기 전극 단자(120)의 상기 단자 몸체(121)를 소정 높이까지 덮는 원형 링 형태로 형성된다.The body coating body 151 is formed in the shape of a circular plate having a predetermined area around the electrode terminal 120, and the filler coating body 152 is connected to the body coating body 151 while the body coating body ( 151) is formed in a tapered shape that covers the pillar exposed body 132 from the central portion, and the terminal coating body 153 is connected to the end of the filler coating body 152 and the electrode terminal 120 It is formed in a circular ring shape covering the terminal body 121 to a predetermined height.

상기 번짐 방지 코팅층(150)은 산화알루미늄(Al2O3), 산화이트륨(Y2O3), 이산화규소(SiO2), 이산화타이타늄(TiO2), 산화지르코늄(ZrO2), 산화마그네슘(MgO), 크로뮴옥사이드(Cr2O3), 질화알루미늄(AlN), 질화규소(Si3N4), 질화붕소(BN), 탄화규소(SiC), 티타늄카바이드(TiC) 중 적어도 하나로 이루어질 수 있다.The anti-smudge coating layer 150 may include aluminum oxide (Al 2 O 3 ), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), silicon dioxide (SiO 2 ), titanium dioxide (TiO 2 ), zirconium oxide (ZrO 2 ), magnesium oxide ( MgO), chromium oxide (Cr 2 O 3 ), aluminum nitride (AlN), silicon nitride (Si 3 N 4 ), boron nitride (BN), silicon carbide (SiC), it may be made of at least one of titanium carbide (TiC).

본 실시예에서는, 상기 번짐 방지 코팅층(150)의 형성을 위해 마스킹 부재(140)가 적용될 수 있다.In this embodiment, a masking member 140 may be applied to form the anti-smudge coating layer 150 .

상기 마스킹 부재(140)는 상기 본체 코팅체(151)의 외경에 대응되는 내경으로 관통 형성되면서 상기 척 본체(110)의 표면을 덮는 본체측 마스크(141)와, 상기 단자 몸체(121) 중 상기 단자 연결체(122)로부터 소정 길이 연장된 부분 및 상기 단자 연결체(122) 전체를 감싸는 단자측 마스크(142)를 포함한다.The masking member 140 is formed through an inner diameter corresponding to an outer diameter of the main body coating body 151 and covers the main body side mask 141 covering the surface of the chuck main body 110 and the terminal body 121. A portion extending from the terminal connection body 122 by a predetermined length and a terminal side mask 142 covering the entire terminal connection body 122 are included.

상기 본체측 마스크(141)와 상기 단자측 마스크(142)가 적용됨에 따라, 상기 본체측 마스크(141)의 개방된 부분에는 상기 척 본체(110)의 표면이 노출된 형태로 본체 코팅홀(145)이 형성되고, 상기 필러 노출체(132) 및 상기 단자 몸체(121) 중 상기 필러 노출체(132)로부터 소정 높이까지 연장된 부분까지가 외부로 노출된 상태가 되어, 열용사, 저온분사코팅 등의 방식으로 상기 번짐 방지 코팅층(150)을 이루는 물질이 상기 본체 코팅홀(145), 상기 필러 노출체(132) 및 상기 단자 몸체(121) 중 상기 필러 노출체(132)로부터 소정 높이까지 연장된 부분까지에 분사됨으로써, 상기 번짐 방지 코팅층(150)이 일체로 형성될 수 있게 된다.As the body-side mask 141 and the terminal-side mask 142 are applied, the surface of the chuck body 110 is exposed in the open portion of the body-side mask 141, and the body coating hole 145 ) is formed, and a portion extending from the filler exposed body 132 to a predetermined height among the filler exposed body 132 and the terminal body 121 is exposed to the outside, and thermal spraying and low temperature spray coating are performed. In such a manner, the material constituting the anti-spreading coating layer 150 extends from the pillar exposed body 132 among the body coating hole 145, the filler exposed body 132, and the terminal body 121 to a predetermined height. By spraying to the stained area, the anti-smearing coating layer 150 can be integrally formed.

상기 번짐 방지 코팅층(150)의 형성이 완료된 다음에는, 상기 마스킹 부재(140)는 제거됨이 바람직하다.After the formation of the anti-smudge coating layer 150 is completed, the masking member 140 is preferably removed.

상기와 같이, 상기 정전척(100)이 상기 척 본체(110)와, 상기 전극 단자(120)와, 상기 필러(130)와, 상기 번짐 방지 코팅층(150)을 포함함에 따라, 상기 번짐 방지 코팅층(150)이 상기 필러(130)를 덮어주게 됨으로써, 장기간 사용으로 인해 열, 플라즈마 등에 장기간 노출되더라도, 상기 필러(130)가 상기 척 본체(110)의 표면을 따라 임의로 번져나가는 현상이 방지될 수 있게 된다.As described above, as the electrostatic chuck 100 includes the chuck body 110, the electrode terminal 120, the filler 130, and the spreading prevention coating layer 150, the spreading prevention coating layer Since the filler 150 covers the filler 130, even if it is exposed to heat or plasma for a long period of time due to long-term use, a phenomenon in which the filler 130 is arbitrarily spread along the surface of the chuck body 110 can be prevented. there will be

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예들에 따른 정전척에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, an electrostatic chuck according to other embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In performing this description, descriptions overlapping with those already described in the above-described embodiment of the present invention are replaced therewith, and will be omitted here.

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 정전척에 대한 단면도이다.6 is a cross-sectional view of an electrostatic chuck according to a second embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 정전척(200)은 측면 보호층(260)을 더 포함한다.Referring to FIG. 6 , the electrostatic chuck 200 according to the present embodiment further includes a side protection layer 260 .

상기 측면 보호층(260)은 척 본체(210)의 모서리가 곡면화되는 에지 라운드가 방지될 수 있도록, 상기 척 본체(210)의 측면을 덮어 보호하는 것이다.The side protection layer 260 covers and protects the side surface of the chuck body 210 to prevent edge rounding in which the corner of the chuck body 210 is curved.

본 실시예에서는, 상기 측면 보호층(260)은 상기 척 본체(210)의 측면을 따라 필름 단면 형태(박막의 직사각형 단면 형태)로 상기 척 본체(210)를 감싸, 상기 척 본체(210)의 측면을 보호하게 된다.In this embodiment, the side protective layer 260 surrounds the chuck body 210 in a film cross-section shape (a rectangular cross-section shape of a thin film) along the side surface of the chuck body 210, protect the sides.

상기 측면 보호층(260)은 플루오로엘라스토머릭 플루오로폴리머(fluoroelastomericfluoropolymers, FKM), 경화가능한 퍼플루오로엘라스토머릭 퍼플루오로폴리머(curable perfluoroelastomeric perfluoropolymers, FFKM), 테프론(Teflon), 퍼플 루오로 알콕시(Perfluoroalkoxy, PFA), 폴리이미디(polyimide) 중 적어도 하나로 이루어질 수 있다.The side protective layer 260 is made of fluoroelastomeric fluoropolymers (FKM), curable perfluoroelastomeric perfluoropolymers (FFKM), Teflon, perfluoroalkoxy ( It may be made of at least one of perfluoroalkoxy (PFA) and polyimide.

상기와 같이, 상기 측면 보호층(260)이 더 적용됨에 따라, 장기간 사용되더라도, 상기 척 본체(210)의 모서리가 곡면화되는 에지 라운드의 발생이 방지될 수 있게 된다.As described above, as the side protection layer 260 is further applied, even if used for a long time, occurrence of edge rounding in which the corner of the chuck body 210 is curved can be prevented.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 제 3 실시예에 따른 정전척에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예 및 제 2 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, an electrostatic chuck according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In performing this description, descriptions overlapping with those already described in the first and second embodiments of the present invention are replaced therewith, and will be omitted here.

도 7은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 정전척의 일부를 확대한 단면도이다.7 is a partially enlarged cross-sectional view of an electrostatic chuck according to a third embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 실시예에서는, 측면 보호층(360)이 척 본체(310)의 측면을 따라 필름 단면 형태로 상기 척 본체(310)를 감싸는 측면 보호 본체(361)와, 상기 측면 보호 본체(361) 중 웨이퍼, 디스플레이용 글래스 기판 등의 고정 대상물과 대면되는 말단 쪽으로부터 외부로 돌출되는 측면 보호 돌출체(362)를 포함한다.Referring to FIG. 7 , in this embodiment, the side protection layer 360 is formed along the side surface of the chuck body 310 in the form of a cross-section of a film, and includes a side protection body 361 surrounding the chuck body 310, and the side protection layer 360. Of the main body 361, a side protection protrusion 362 protrudes outward from an end facing a fixed object such as a wafer or a display glass substrate.

상기 측면 보호 돌출체(362)는 상기 측면 보호 본체(361)와 일체로 성형되되, 상기 측면 보호 본체(361)의 외부를 한 겹 더 감싼 플랜지 형태로 형성됨으로써, 상기 척 본체(310)의 모서리가 곡면화되는 에지 라운드의 발생이 더욱 효과적으로 방지될 수 있게 된다.The side protection protrusion 362 is integrally molded with the side protection body 361, and is formed in a flange shape that wraps around the outside of the side protection body 361 by one more layer, so that the corner of the chuck body 310 The occurrence of an edge round in which is curved can be more effectively prevented.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 제 4 실시예에 따른 정전척에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예 내지 제 3 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, an electrostatic chuck according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In performing this description, descriptions overlapping with those already described in the first to third embodiments of the present invention are replaced therewith, and will be omitted here.

도 8은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 정전척의 일부를 확대한 단면도이다.8 is a partially enlarged cross-sectional view of an electrostatic chuck according to a fourth embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 본 실시예에서는, 측면 보호층(460)이 측면 보호 본체(461) 및 측면 보호 돌출체(462)와 함께, 측면 이격 돌출체(463)를 더 포함한다.Referring to FIG. 8 , in this embodiment, the side protection layer 460 further includes a side protection protrusion 463 together with a side protection body 461 and a side protection protrusion 462 .

상기 측면 이격 돌출체(463)는 상기 측면 보호 본체(461) 및 상기 측면 보호 돌출체(462)와 일체로 성형되되, 상기 측면 보호 돌출체(462)와 소정 간격 이격되는 위치에서 상기 측면 보호 본체(461)의 외부를 한 겹 더 감싼 플랜지 형태로 형성됨으로써, 척 본체(410)의 모서리가 곡면화되는 에지 라운드의 발생이 더욱 효과적으로 방지될 수 있게 된다.The side surface protrusion 463 is integrally molded with the side protection body 461 and the side protection protrusion 462, and is spaced apart from the side protection protrusion 462 by a predetermined distance from the side protection body. By being formed in the form of a flange that wraps around the outside of the 461 by one more layer, the occurrence of edge rounds in which the corner of the chuck body 410 is curved can be more effectively prevented.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 제 5 실시예에 따른 정전척에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 제 1 실시예 내지 제 4 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, an electrostatic chuck according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In performing this description, descriptions overlapping with those already described in the first to fourth embodiments of the present invention are replaced therewith, and will be omitted here.

도 9는 본 발명의 제 5 실시예에 따른 정전척의 일부를 확대한 단면도이다.9 is an enlarged cross-sectional view of a part of an electrostatic chuck according to a fifth embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 본 실시예에서는, 번짐 방지 코팅층(550)이 필러 코팅 본체(555)와, 필러 코팅 승강체(556)와, 번짐 물질 수용체(558)와, 번짐 물질 가이드(559)를 포함한다.Referring to FIG. 9 , in this embodiment, the anti-smudging coating layer 550 includes a filler coating body 555, a filler coating elevator 556, a spreading material container 558, and a spreading material guide 559. include

상기 필러 코팅 본체(555)는 척 본체(510), 필러 노출체(532) 및 단자 몸체(521)를 함께 덮어주도록 코팅된 것으로, 그 상부에는 소정 깊이로 함몰된 홀 형태의 승강 홀(557)이 형성된다.The pillar coating body 555 is coated to cover the chuck body 510, the pillar exposed body 532, and the terminal body 521 together, and has a lifting hole 557 in the form of a hole recessed to a predetermined depth on the top thereof. is formed

상기 필러 코팅 승강체(556)는 상기 필러 코팅 본체(555)의 상기 승강 홀(557)을 덮으면서 상기 필러 코팅 본체(555) 상에 얹혀지는 것이다.The filler coating elevating member 556 is placed on the filler coating body 555 while covering the elevating hole 557 of the filler coating body 555 .

필러(530) 중 일부가 번져나가지 않는 정상적인 상황에서는, 상기 필러 코팅 승강체(556)는 상기 필러 코팅 본체(555)의 상부의 소정 높이에 덮인 형태를 이룸으로써, 상기 필러 코팅 본체(555)와 상기 필러 코팅 승강체(556) 사이에 소정 크기의 상기 승강 홀(557)이 형성될 수 있다.In a normal situation in which a portion of the filler 530 does not spread, the filler coating elevating body 556 is covered at a predetermined height on the upper portion of the filler coating body 555, so that the filler coating body 555 and The elevating hole 557 having a predetermined size may be formed between the filler-coated elevating members 556 .

상기 번짐 물질 수용체(558)는 상기 필러 코팅 승강체(556)의 저면으로부터 돌출되고, 그릇 형태로 함몰된 형태로 형성되어, 상기 필러(530) 중 일부가 번져나가는 현상이 발생되었을 때 상기 필러(530)의 번짐 물질이 그 상단에 수용될 수 있는 것이다.The smearing material receptor 558 protrudes from the bottom surface of the filler-coated elevating body 556 and is formed in a bowl shape, so that when a phenomenon in which some of the fillers 530 spreads out occurs, the filler ( 530) can be accommodated on top of it.

상기 필러(530) 중 일부가 번져나가지 않는 정상적인 상황에서는, 상기 번짐 물질 수용체(558)는 상기 승강 홀(557) 상의 소정 높이에 떠 있는 형태를 유지한다.In a normal situation in which some of the fillers 530 do not spread, the spreading material container 558 maintains a floating shape on the elevation hole 557 at a predetermined height.

상기 번짐 물질 가이드(559)는 상기 필러 코팅 본체(555) 중 상기 필러 노출체(532)를 덮는 부분의 상면 중 하측 부분으로부터 상기 번짐 물질 수용체(558) 상으로 소정 길이 돌출되는 것이다.The spreading material guide 559 protrudes from a lower portion of the upper surface of the filler coating body 555 covering the filler exposed body 532 onto the spreading material container 558 by a predetermined length.

도면 번호 558a는 상기 번짐 물질 수용체(558)로부터 상기 번짐 물질 가이드(559)의 하측 공간으로 소정 길이 연장되어 상기 번짐 물질 가이드(559)와 겹쳐지는 수용체측 가이드이다.Reference numeral 558a is a receiver-side guide extending a predetermined length from the spreading material container 558 to a lower space of the spreading material guide 559 and overlapping the spreading material guide 559 .

상기 필러(530) 중 일부가 번져나가는 현상이 발생되어 상기 필러(530)의 번짐 물질이 상기 필러 코팅 본체(555)를 뚫고 상기 승강 홀(557)로 유입되면, 상기 승강 홀(557)로 유입된 상기 필러(530)의 번짐 물질이 상기 번짐 물질 가이드(559)를 통해 상기 번짐 물질 수용체(558)의 상부로 향하여 수용됨에 따라, 상기 번짐 물질 수용체(558)에 수용된 상기 필러(530)의 번짐 물질의 하중에 의해 상기 번짐 물질 수용체(558)가 하강되고, 그에 따라 상기 필러 코팅 승강체(556)도 하강된다. 그러면, 상기 필러 코팅 승강체(556)의 하강에 따라, 상기 필러 코팅 승강체(556), 상기 번짐 물질 수용체(558) 및 상기 필러 코팅 본체(555)가 상대적으로 서로 밀착되면서, 상기 번짐 물질 수용체(558)에 수용된 상기 필러(530)의 번짐 물질이 외부로 임의 유출되지 아니할 수 있게 된다.When some of the filler 530 spreads out and the spreading material of the filler 530 penetrates the filler coating body 555 and flows into the elevating hole 557, it flows into the elevating hole 557. As the spreading material of the filler 530 is accommodated toward the top of the spreading material container 558 through the spreading material guide 559, the spreading material of the filler 530 accommodated in the spreading material container 558 spreads. The smearing material container 558 is lowered by the load of the material, and thus the filler coating elevator 556 is also lowered. Then, as the filler coating elevation member 556 descends, the filler coating elevation body 556, the spreading substance receptor 558, and the filler coating main body 555 are brought into relatively close contact with each other, and the spreading substance receptor The spreading material of the filler 530 accommodated in 558 may not leak out arbitrarily.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.Although the present invention has been shown and described in relation to specific embodiments above, those skilled in the art may modify the present invention in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. And it will be appreciated that it can be changed. However, it should be clearly stated that all of these modifications and variations are included within the scope of the present invention.

본 발명의 일 측면에 따른 정전척에 의하면, 장기간 사용으로 인해 열, 플라즈마 등에 장기간 노출되더라도, 필러가 척 본체의 표면을 따라 임의로 번져나가는 현상이 방지될 수 있고, 장기간 사용되더라도, 상기 척 본체의 모서리가 곡면화되는 에지 라운드의 발생이 방지될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to the electrostatic chuck according to one aspect of the present invention, even if it is exposed to heat, plasma, etc. for a long period of time due to long-term use, it is possible to prevent a phenomenon in which the filler spreads randomly along the surface of the chuck body, and even if used for a long period of time, the chuck body Since the occurrence of edge rounding in which corners are curved can be prevented, it can be said that the industrial applicability is high.

100 : 정전척
110 : 척 본체
120 : 전극 단자
130 : 필러
150 : 번짐 방지 코팅층100: electrostatic chuck
110: chuck body
120: electrode terminal
130: filler
150: anti-smudge coating layer

Claims (6)

정전기력을 형성시키는 내부 전극이 내부에 삽설되는 척 본체;
상기 내부 전극과 통전을 위해 연결되되, 상기 척 본체의 외부로 돌출되는 전극 단자;
상기 척 본체와 상기 전극 단자 사이에 형성되는 필러; 및
상기 필러가 상기 척 본체의 표면을 따라 번져나가는 현상이 방지될 수 있도록, 상기 필러를 덮어주는 번짐 방지 코팅층;을 포함하고,
상기 필러는
상기 척 본체의 내부에서 전극 단자를 구성하는 단자 몸체의 외부를 감싸는 형태로 형성되는 필러 몸체와,
상기 필러 몸체와 연결되되 상기 척 본체의 표면의 상측에서 상기 단자 몸체의 외부를 감싸는 형태로 형성되는 필러 노출체를 포함하고,
상기 번짐 방지 코팅층은
상기 척 본체, 상기 필러 노출체 및 상기 단자 몸체를 함께 덮어주도록 코팅되고, 그 상부에는 소정 깊이로 함몰된 홀 형태의 승강 홀이 형성되는 필러 코팅 본체와,
상기 필러 코팅 본체의 상기 승강 홀을 덮으면서 상기 필러 코팅 본체 상에 얹혀지는 필러 코팅 승강체와,
상기 필러 코팅 승강체의 저면으로부터 돌출되고, 그릇 형태로 함몰된 형태로 형성되어, 상기 필러 중 일부가 번져나가는 현상이 발생되었을 때 상기 필러의 번짐 물질이 그 상단에 수용될 수 있는 번짐 물질 수용체와,
상기 필러 코팅 본체 중 상기 필러 노출체를 덮는 부분의 상면 중 하측 부분으로부터 상기 번짐 물질 수용체 상으로 소정 길이 돌출되는 번짐 물질 가이드를 포함하고,
상기 필러 중 일부가 번져나가는 현상이 발생되어 상기 필러의 번짐 물질이 상기 필러 코팅 본체를 뚫고 상기 승강 홀로 유입되면, 상기 승강 홀로 유입된 상기 필러의 번짐 물질이 상기 번짐 물질 가이드를 통해 상기 번짐 물질 수용체의 상부로 향하여 수용됨에 따라, 상기 번짐 물질 수용체에 수용된 상기 필러의 번짐 물질의 하중에 의해 상기 번짐 물질 수용체가 하강되고, 그에 따라 상기 필러 코팅 승강체도 하강되어, 상기 필러 코팅 승강체, 상기 번짐 물질 수용체 및 상기 필러 코팅 본체가 상대적으로 서로 밀착되는 것을 특징으로 하는 정전척.A chuck body in which internal electrodes for generating electrostatic force are inserted;
electrode terminals that are connected to the internal electrodes for current and protrude outward from the chuck body;
a pillar formed between the chuck body and the electrode terminal; and
An anti-spreading coating layer covering the filler to prevent the filler from spreading along the surface of the chuck body;
The filler
A filler body formed inside the chuck body to surround the outside of the terminal body constituting the electrode terminal;
A pillar exposed body connected to the pillar body and formed in a shape surrounding the outside of the terminal body on the upper side of the surface of the chuck body,
The anti-smudge coating layer
A pillar coating body coated to cover the chuck body, the exposed pillar body, and the terminal body together, and having an elevation hole in the form of a hole recessed to a predetermined depth formed thereon;
A filler coating elevating body placed on the filler coating body while covering the elevating hole of the filler coating body;
A spreading material receptor that protrudes from the bottom surface of the filler-coated elevator and is formed in a bowl-shaped recessed form so that the spreading material of the filler can be accommodated at the top when a phenomenon in which some of the fillers spreads out occurs ,
A spreading material guide protruding a predetermined length from the lower part of the upper surface of the filler coating body covering the exposed filler body onto the spreading material receptor,
When some of the fillers spread out and the spreading material of the filler penetrates the filler coating body and enters the elevating hole, the spreading material of the filler flowing into the elevating hole passes through the spreading material guide to the spreading material receptor. As it is accommodated toward the top of the spreading material container, the spreading material receptor is lowered by the load of the spreading material of the filler accommodated in the spreading material container, and accordingly, the filler coating elevator body is also lowered, so that the filler coating elevator body and the spreading material An electrostatic chuck, characterized in that the receptor and the filler coating body are in close contact with each other. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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