KR102470908B1

KR102470908B1 - Apparatus for changing chemical filter

Info

Publication number: KR102470908B1
Application number: KR1020210081408A
Authority: KR
Inventors: 송용익; 이진우; 채희봉; 최락곤; 임우택; 신동혁; 이상철; 김만호; 박정훈
Original assignee: (주)에스티아이
Priority date: 2020-11-24
Filing date: 2021-06-23
Publication date: 2022-11-25
Also published as: KR102400242B1; WO2022114441A1; KR20220071871A; KR102400241B1; KR102277115B1

Abstract

본 발명은 카트리지 교체에 소요되는 시간을 줄임과 동시에 간단한 구조로 이루어진 케미컬 필터 교체장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 구현하기 위한 케미컬 필터 교체장치는, 새 카트리지를 파지하여 필터 고정부에 안착시키기 위한 제1 파지부, 폐 카트리지를 상기 필터 고정부로부터 분리하기 위해 파지하는 제2 파지부를 포함하는 카트리지 이송부를 구비하고, 상기 카트리지 이송부는 상기 새 카트리지를 파지한 제1 파지부와 상기 폐 카트리지를 파지한 제2 파지부를 이송하도록 구비된다.An object of the present invention is to provide a chemical filter replacement device having a simple structure while reducing the time required for cartridge replacement. A chemical filter replacement device for realizing this is a cartridge transfer unit including a first gripping unit for holding a new cartridge and seating it in a filter fixing unit, and a second gripping unit for holding a waste cartridge to separate it from the filter fixing unit. The cartridge transfer unit is provided to transfer a first gripping unit holding the new cartridge and a second gripping unit holding the waste cartridge.

Description

Chemical filter replacement device {Apparatus for changing chemical filter}

본 발명은 케미컬에 포함된 불순물을 여과하기 위한 필터 조립체의 카트리지를 교체할 수 있는 케미컬 필터 교체장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical filter replacement device capable of replacing a cartridge of a filter assembly for filtering impurities included in chemicals.

일반적으로 반도체, 반도체 장치, LCD, OLED를 제조하는 회사와 제약회사 및 페인트 회사 등 유해화학물질을 사용하는 모든 회사에서는 다양한 종류의 케미컬이 사용되고 있으며, 이러한 케미컬을 안전하게 공급하는 방식도 다양화되고 있다.In general, companies that manufacture semiconductors, semiconductor devices, LCDs, and OLEDs, as well as pharmaceutical companies and paint companies, use various types of chemicals in all companies that use hazardous chemicals, and the methods of safely supplying these chemicals are diversifying. .

이러한 케미컬은 제조공정의 특성에 따라 불순물이 최소화된 고순도의 상태로 사용하기 위해 케미컬 필터를 거쳐 공급하게 된다.These chemicals are supplied through a chemical filter to be used in a high purity state with minimized impurities according to the characteristics of the manufacturing process.

상기 케미컬 필터는 종류에 따라 모양 및 교체방법도 다르며, 케미컬의 종류 및 필요한 고순도의 상태 유지 기준에 따라 교체주기가 다양하다.The chemical filter has a different shape and replacement method depending on the type, and the replacement cycle varies depending on the type of chemical and the required high-purity state maintenance standard.

종래에는 작업자가 케미컬로부터 피해를 최소화하기 위해 내화학 복장 및 방독면 등의 안전보호구를 착용하고, 케미컬 필터를 일일이 수작업으로 교체하여 왔었다.Conventionally, in order to minimize damage from chemicals, workers have been wearing safety protective equipment such as chemical resistant clothes and gas masks, and have manually replaced chemical filters one by one.

그러나 케미컬 필터를 작업자가 수작업으로 교체하는 경우 케미컬 필터 교체 작업시 케미컬 및 흄(FUME)이 외부로 유출될 수 있고, 제조설비를 포함한 주변 환경의 오염과 손상, 파손을 유발할 뿐 아니라 작업자를 포함하여 주위 다른 사람들도 위험에 노출될 수 있다. However, if a worker manually replaces the chemical filter, chemicals and fumes may leak out during the chemical filter replacement operation, causing contamination, damage, and destruction of the surrounding environment, including manufacturing facilities, as well as causing damage to the worker and Other people around you may also be at risk.

또한, 작업자의 밸브 조작 실수가 있는 경우 필터 내부에 수용되어 있는 각종 유독성 케미컬이 외부로 유출되는 사고가 발생할 수 있다.In addition, when there is an operator's mistake in operating the valve, an accident may occur in which various toxic chemicals contained in the filter are leaked to the outside.

또한, 케미컬 필터를 수작업으로 교체하므로 필터 교체에 소요되는 작업공수가 증가하는 문제점이 있다.In addition, since the chemical filter is manually replaced, there is a problem in that the number of man-hours required for replacing the filter increases.

이러한 케미컬 필터를 수작업으로 교체하는 문제점을 해결하기 위한 종래기술로서 대한민국 특허등록 제10-1921600호가 개시되어 있다. Korean Patent Registration No. 10-1921600 is disclosed as a prior art for solving the problem of manually replacing the chemical filter.

상기 종래기술은 케미컬 필터를 자동으로 교체할 수 있는 케미컬 필터 자동교체장치에 관한 것이다. 상기 케미컬 필터 자동교체장치에는 카트리지를 이송하기 위한 그리퍼가 구비되어 있다. 상기 그리퍼는 새 카트리지 뿐만 아니라 폐 카트리지도 이송하도록 되어 있다. The prior art relates to an automatic chemical filter replacement device capable of automatically replacing a chemical filter. The automatic chemical filter replacement device includes a gripper for transporting the cartridge. The gripper is adapted to transport not only new cartridges but also used cartridges.

상기 종래기술의 케미컬 필터 자동교체장치에서는 하나의 그리퍼가 폐 카트리지를 파지하여 이송한 후 새 카트리지를 파지하여 이송하게 되면, 폐 카트리지에 잔존하는 케미컬이 그리퍼를 통해 새 카트리지가 오염되는 문제점이 있었다. 또한, 하나의 그리퍼가 구비된 카트리지 이송모듈을 이용하여 폐 카트리지를 보관부로 이송하고, 새 카트리지가 위치한 보관부에서 새 카트리지를 파지한 후 필터헤드의 위치까지 이송한 다음 새 카트리지를 필터헤드에 결합해야 하므로, 그리퍼의 이송 경로가 길어 카트리지 교체에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.In the automatic chemical filter replacement device of the prior art, when one gripper grips and transfers a waste cartridge and then grips and transfers a new cartridge, the chemical remaining in the waste cartridge contaminates the new cartridge through the gripper. In addition, the waste cartridge is transported to the storage unit using a cartridge transfer module equipped with one gripper, the new cartridge is gripped in the storage unit where the new cartridge is located, transported to the position of the filter head, and then the new cartridge is coupled to the filter head. However, since the transfer path of the gripper is long, there is a problem in that it takes a lot of time to replace the cartridge.

본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 카트리지 교체에 소요되는 시간을 줄임과 동시에 간단한 구조로 이루어진 케미컬 필터 교체장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a chemical filter replacement device having a simple structure while reducing the time required for cartridge replacement.

또한, 새 카트리지가 오염된 케미컬에 의해 오염되는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.It also aims to prevent contamination of new cartridges by contaminated chemicals.

또한, 카트리지를 필터헤드에 결합하거나, 필터헤드로부터 분리하는 경우 카트리지를 회전시킴으로써 오링과의 마찰을 최소화하여 오링이 밀리거나 빠지는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다. Another object of the present invention is to prevent the O-ring from being pushed or pulled out by minimizing friction with the O-ring by rotating the cartridge when the cartridge is coupled to or separated from the filter head.

또한, 외부의 흄(Fume)이 구동부 내부에 유입되는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to prevent external fumes from flowing into the driving unit.

상기의 목적을 달성하기 위한 케미컬 필터 교체장치는, 새 카트리지를 파지하여 필터 고정부에 안착시키기 위한 제1 파지부, 폐 카트리지를 상기 필터 고정부로부터 분리하기 위해 파지하는 제2 파지부를 포함하는 카트리지 이송부를 구비하고, 상기 카트리지 이송부는 상기 새 카트리지를 파지한 제1 파지부와 상기 폐 카트리지를 파지한 제2 파지부를 이송하도록 구비된다.A chemical filter replacement device for achieving the above object includes a first holding part for holding a new cartridge and seating it in a filter fixing part, and a second gripping part for holding a waste cartridge to separate it from the filter fixing part. A cartridge transfer unit is provided, and the cartridge transfer unit is provided to transfer a first gripping unit holding the new cartridge and a second gripping unit holding the waste cartridge.

상기 필터 고정부에 안착될 새 카트리지를 보관하는 카트리지 보관부를 더 포함할 수 있다.A cartridge storage unit for storing a new cartridge to be seated in the filter fixing unit may be further included.

상기 제1 파지부에 의해 파지된 새 카트리지가 상기 이송레일을 따라 이송되는 경로를 연결하는 제1라인과, 상기 카트리지 보관부에서 상기 새 카트리지가 파지되는 위치인 파지위치와 상기 카트리지 이송부에 의해 이송된 새 카트리지가 상기 필터 고정부에 안착되는 위치인 고정위치를 연결하는 제2라인은 서로 나란한 것일 수 있다.A first line connecting the path along which the new cartridge gripped by the first gripper is transported along the transfer rail, a gripping position at which the new cartridge is gripped in the cartridge storage unit, and transported by the cartridge transfer unit The second lines connecting the fixing positions, which are positions where the new cartridge is seated in the filter fixing part, may be parallel to each other.

상기 카트리지 이송부는, 상기 새 카트리지가 상기 카트리지 보관부와 필터 고정부 사이에 직선 이송이 이루어지도록 이송레일과 이송용 구동부를 포함할 수 있다.The cartridge transfer unit may include a transfer rail and a transfer drive unit so that the new cartridge is linearly transferred between the cartridge storage unit and the filter fixing unit.

상기 필터 고정부에 안착되어 있던 폐 카트리지를 회수하기 위한 카트리지 회수부를 더 포함할 수 있다.The filter may further include a cartridge recovery unit for recovering the waste cartridge seated in the filter fixing unit.

상기 카트리지 이송부는, 상기 폐 카트리지가 상기 필터 고정부와 카트리지 회수부 사이에 직선 이송이 이루어지도록 이송레일과 이송용 구동부를 포함할 수 있다.The cartridge transfer unit may include a transfer rail and a transfer drive unit so that the waste cartridge is linearly transferred between the filter fixing unit and the cartridge recovery unit.

상기 필터 고정부는 복수로 이루어지고; 상기 제2 파지부에 의해 파지된 폐 카트리지가 상기 이송레일을 따라 이송되는 경로를 연결하는 제1라인과, 상기 폐 카트리지가 안착되어 있던 위치인 상기 복수의 필터 고정부의 고정위치들 사이를 연결하는 제2라인은 서로 나란한 것일 수 있다.The filter fixing part is made up of a plurality; A connection between a first line connecting a path along which the waste cartridges gripped by the second gripping part are transported along the transfer rail and fixing positions of the plurality of filter fixing parts, which are positions where the waste cartridges are seated, The second line to do may be parallel to each other.

상기 필터 고정부에 안착될 새 카트리지를 보관하는 카트리지 보관부와 상기 필터 고정부에 안착되어 있던 폐 카트리지를 회수하기 위한 카트리지 회수부를 더 포함하고; 상기 카트리지 보관부와 필터 고정부 및 카트리지 회수부가 일측에서 타측으로 순차로 구비될 수 있다.It further includes a cartridge storage unit for storing a new cartridge to be seated in the filter fixing unit and a cartridge recovery unit for recovering a waste cartridge seated in the filter fixing unit; The cartridge storage unit, the filter fixing unit, and the cartridge recovery unit may be sequentially provided from one side to the other side.

상기 제1 파지부와 제2 파지부는 인접하게 구비되고; 상기 제1 파지부에 파지되어 있는 새 카트리지와 상기 제2 파지부 사이를 차단하는 보호커버가 구비될 수 있다.The first gripping part and the second gripping part are provided adjacent to each other; A protective cover may be provided to block a gap between the new cartridge held by the first gripping unit and the second gripping unit.

상기 보호커버를 상기 새 카트리지의 외측의 적어도 일부를 둘러싸는 제1위치와, 상기 새 카트리지를 상기 필터 고정부에 안착시키기 위해 상기 새 카트리지를 상기 필터 고정부 측으로 이송하기 위한 이송경로로부터 회피되는 제2위치로 이송하기 위한 보호커버 이송가이드; 상기 보호커버 이송 가이드를 따라 직선 이송되도록 하기 위한 구동력을 발생시키는 보호커버 이송 구동부가 구비될 수 있다.A first position in which the protective cover surrounds at least a part of the outer side of the new cartridge, and a second position where the protective cover is avoided from a transport path for transporting the new cartridge to the filter fixing part in order to seat the new cartridge in the filter fixing part. a protective cover transfer guide for transfer to the second position; A protective cover transport driving unit may be provided to generate a driving force for linear transport along the protective cover transport guide.

상기 보호커버 이송 가이드는 상기 제1 파지부와 제2 파지부 중 적어도 하나와 함께 상기 카트리지 이송부에 의해 이송될 수 있다.The protective cover transfer guide may be transported by the cartridge transfer unit together with at least one of the first and second gripping units.

일측이 상기 보호커버 이송 가이드에 결합되고 타측이 상기 보호커버에 결합되어 상기 보호커버 이송 가이드를 따라 상기 제1위치와 제2위치 사이에 이송되는 보호커버 고정부재가 구비될 수 있다.A protective cover fixing member having one side coupled to the protective cover transport guide and the other side coupled to the protective cover transported between the first position and the second position along the protective cover transport guide may be provided.

상기 제2위치는, 상기 제1 파지부와 제2 파지부 사이의 위치 또는 상기 제2 파지부가 구비된 위치가 될 수 있다.The second position may be a position between the first gripping part and the second gripping part or a position provided with the second gripping part.

상기 보호커버는, 상기 제1 파지부 또는 제2 파지부 중 어느 하나에 구비되거나, 상기 제1 파지부와 제2 파지부에 각각 구비될 수 있다.The protective cover may be provided on any one of the first gripping part and the second gripping part, or may be provided on each of the first gripping part and the second gripping part.

상기 보호커버는, 상기 새 카트리지의 측면의 적어도 일부를 둘러싸거나, 상기 폐 카트리지의 측면의 적어도 일부를 둘러싸도록 구비될 수 있다.The protective cover may be provided to surround at least a portion of a side surface of the new cartridge or to surround at least a portion of a side surface of the waste cartridge.

상기 보호커버는 상기 폐 카트리지의 측면의 적어도 일부를 둘러싸고, 상기 페 카트리지의 하부를 둘러싸도록 바닥부가 구비될 수 있다.The protective cover surrounds at least a portion of the side surface of the waste cartridge, and may have a bottom portion to surround the lower portion of the waste cartridge.

상기 보호커버는 상기 새 카트리지의 길이방향에 따른 길이를 갖되, 상기 폐 카트리지와의 사이를 차단하도록 상기 새 카트리지 둘레의 3면 이상을 둘러싸도록 구비될 수 있다.The protective cover may have a length along the longitudinal direction of the new cartridge, and may be provided to surround at least three surfaces around the new cartridge to block a gap between the new cartridge and the waste cartridge.

상기 제1 파지부는, 상기 새 카트리지를 상기 필터 고정부에 안착되어 있는 필터헤드에 결합시킬 때 회전시키기 위한 회전구동부를 포함할 수 있다.The first gripper may include a rotation driver for rotating the new cartridge when coupled to the filter head mounted on the filter fixing unit.

상기 제1 파지부는, 상기 새 카트리지를 상하로 승강시키기 위한 수직이송부를 포함할 수 있다.The first holding unit may include a vertical transfer unit for moving the new cartridge up and down.

상기 제1 파지부는, 상기 새 카트리지를 상기 카트리지 보관부와 필터 고정부 사이에 직선 이송되는 이송방향과 수직되는 수평방향인 상기 필터 고정부가 위치한 방향으로 직선 이송하기 위한 수평이송 가이드를 포함하고; 상기 새 카트리지는 상기 수평이송 가이드를 따라 직선 이송되는 것일 수 있다.the first gripping unit includes a horizontal transport guide for linearly transporting the new cartridge in a direction in which the filter fixing unit is located, which is a horizontal direction perpendicular to a transporting direction in which the new cartridge is linearly transported between the cartridge storage unit and the filter fixing unit; The new cartridge may be linearly transported along the horizontal transport guide.

상기 새 카트리지를 상기 필터 고정부에 안착되어 있는 필터헤드에 결합시킬 때 회전시키기 위한 회전구동부를 더 포함하고; 상기 회전구동부는 상기 수평이송 가이드를 따라 상기 새 카트리지와 함께 직선 이송될 수 있다.a rotation driver for rotating the new cartridge when coupled to the filter head seated in the filter fixing unit; The rotary driving unit may be linearly transported together with the new cartridge along the horizontal transport guide.

상기 제1 파지부는, 상기 새 카트리지를 파지하는 파지부재, 상기 파지부재에 연결되어 상기 회전구동부의 구동에 의해 회전하는 회전전달축을 포함할 수 있다.The first gripping unit may include a gripping member gripping the new cartridge and a rotation transmission shaft that is connected to the gripping member and rotates by driving the rotary driving unit.

상기 제2 파지부는, 상기 폐 카트리지를 상기 필터 고정부의 필터헤드로부터 분리할 때 회전시키기 위한 회전구동부를 더 포함할 수 있다.The second gripping unit may further include a rotation driving unit for rotating the waste cartridge when separating it from the filter head of the filter fixing unit.

상기 제2 파지부는, 상기 폐 카트리지를 상하로 승강시키기 위한 수직이송부를 포함할 수 있다.The second gripping unit may include a vertical transfer unit for vertically lifting the waste cartridge.

상기 제2 파지부는, 상기 폐 카트리지를 필터 고정부 및 카트리지 회수부 사이에 직선 이송되는 이송방향과 수직되는 수평방향인 상기 필터 고정부가 위치한 방향으로 직선 이송하기 위한 수평이송 가이드를 더 포함하고; 상기 폐 카트리지는 상기 수평이송 가이드를 따라 직선 이송될 수 있다.The second gripping unit further includes a horizontal transport guide for linearly transporting the waste cartridge in a direction in which the filter fixing unit is located, which is a horizontal direction perpendicular to a transport direction in which the waste cartridge is linearly transported between the filter fixing unit and the cartridge recovery unit; The waste cartridge may be linearly transported along the horizontal transport guide.

상기 폐 카트리지를 상기 필터 고정부의 필터헤드로부터 분리할 때 회전시키기 위한 회전구동부를 더 포함하고; 상기 회전구동부는 상기 수평이동 가이드를 따라 상기 폐 카트리지와 함께 직선 이송될 수 있다.Further comprising a rotary drive unit for rotating the waste cartridge when separating it from the filter head of the filter fixing unit; The rotary drive unit may be linearly transported together with the waste cartridge along the horizontal movement guide.

상기 제2 파지부는, 상기 폐 카트리지를 파지하는 파지부재, 상기 파지부재에 연결되어 상기 회전구동부의 구동에 의해 회전하는 회전전달축을 포함할 수 있다.The second gripping unit may include a gripping member for gripping the waste cartridge, and a rotation transmission shaft connected to the gripping member and rotated by driving the rotary driving unit.

상기 회전구동부의 회전력을 상기 회전전달축에 전달하기 위한 동력전달부재를 더 포함할 수 있다.A power transmission member for transmitting the rotational force of the rotary driving unit to the rotation transmission shaft may be further included.

상기 회전구동부는 모터 또는 유체의 공급에 의해 상기 회전전달축을 회전시키는 회전실린더로 이루어질 수 있다.The rotation drive unit may be formed of a rotation cylinder for rotating the rotation transmission shaft by a motor or fluid supply.

상기 회전구동부의 구동력을 전달하기 위한 부품 중 적어도 일부를 둘러싸는 차단커버가 구비되고; 상기 차단커버의 내부공간에 기체를 공급하기 위한 기체공급부가 구비될 수 있다.A blocking cover surrounding at least a part of the parts for transmitting the driving force of the rotary driving unit is provided; A gas supply unit for supplying gas to the inner space of the blocking cover may be provided.

상기 수평이송 가이드에 결합되어 상기 수평이송 가이드를 따라 이송되는 상판이 구비되고; 상기 상판의 상부에 상기 회전구동부의 구동력을 전달하기 위한 부품 중 적어도 일부가 구비되고; 상기 상판의 상부에 구비된 부품의 상부를 덮을 수 있도록 상부덮개가 구비될 수 있다.An upper plate coupled to the horizontal transfer guide and transported along the horizontal transfer guide is provided; At least a portion of parts for transmitting the driving force of the rotary driving unit is provided on the top of the top plate; An upper cover may be provided to cover an upper portion of a component provided on the top of the upper plate.

상기 카트리지 이송부에는, 상기 새 카트리지 또는 폐 카트리지를 이송하기 위한 구동부품의 적어도 일부를 둘러싸는 차단커버가 구비되고; 상기 차단커버의 내부공간에 기체를 공급하기 위한 기체공급부가 구비될 수 있다.The cartridge transfer unit is provided with a blocking cover that surrounds at least a part of a driving part for transferring the new cartridge or the waste cartridge; A gas supply unit for supplying gas to the inner space of the blocking cover may be provided.

이 경우 상기 필터 고정부에 안착되어 있던 폐 카트리지를 회수하기 위한 카트리지 회수부가 구비되고; 제어부는, 상기 카트리지 이송부가 초기위치에서 상기 카트리지 보관부의 새 카트리지를 파지하고, 상기 카트리지 보관부의 새 카트리지를 상기 필터 고정부가 위치한 교체위치로 이송하고, 상기 필터 고정부에 고정되어 있던 폐 카트리지를 필터헤드로부터 분리하고, 상기 이송된 새 카트리지를 상기 필터헤드에 결합하고, 상기 분리된 폐 카트리지를 상기 카트리지 회수부가 위치한 회수위치로 이송하여 회수하고, 상기 제1 파지부와 제2 파지부를 상기 초기위치로 복귀시키도록 제어할 수 있다.In this case, a cartridge recovery unit for recovering the waste cartridge seated in the filter fixing unit is provided; The control unit grips a new cartridge in the cartridge storage unit at the initial position of the cartridge transfer unit, transports the new cartridge in the cartridge storage unit to a replacement position where the filter fixing unit is located, and replaces the waste cartridge fixed in the filter fixing unit with a filter. It is separated from the head, the transferred new cartridge is coupled to the filter head, the separated waste cartridge is transported to a recovery position where the cartridge recovery unit is located, and the first and second gripping units are collected at the initial stage. It can be controlled to return to position.

또한, 상기 필터 고정부에 안착되어 있던 폐 카트리지를 회수하기 위한 카트리지 회수부가 구비되고; 제어부는, 상기 카트리지 이송부가 초기위치에서 상기 카트리지 보관부의 새 카트리지를 파지하고, 상기 필터 고정부에 고정되어 있던 폐 카트리지를 필터헤드로부터 분리하고, 상기 분리된 폐 카트리지를 상기 카트리지 회수부가 위치한 회수위치로 이송하여 회수하고, 상기 카트리지 보관부의 새 카트리지를 상기 필터 고정부가 위치한 교체위치로 이송하고, 상기 이송된 새 카트리지를 상기 필터헤드에 결합하고, 상기 제1 파지부와 제2 파지부를 상기 초기위치로 복귀시키도록 제어할 수 있다.In addition, a cartridge recovery unit for recovering the waste cartridge seated in the filter fixing unit is provided; The control unit grips a new cartridge in the cartridge storage unit at the initial position of the cartridge transfer unit, separates the waste cartridge fixed to the filter fixing unit from the filter head, and returns the separated waste cartridge to a recovery position where the cartridge recovery unit is located. transfer to and collect the new cartridge from the cartridge storage unit to a replacement position where the filter fixing unit is located, combine the transported new cartridge to the filter head, and It can be controlled to return to position.

상기 카트리지 이송부는 상기 제1 파지부와 상기 제2 파지부를 일체로 이송하도록 구비될 수 있다.The cartridge transfer unit may be provided to integrally transfer the first gripping unit and the second gripping unit.

상기 카트리지 이송부는 상기 제1 파지부와 제2 파지부를 각각 독립적으로 이송하도록 구비된 제1 카트리지 이송부와 제2 카트리지 이송부로 이루어질 수 있다.The cartridge transfer unit may include a first cartridge transfer unit and a second cartridge transfer unit provided to independently transfer the first and second grip units.

본 발명에 의하면, 케미컬 필터 교체장치를 간단한 구조로 구현할 수 있다.According to the present invention, a chemical filter replacement device can be implemented with a simple structure.

또한, 카트리지 교체에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. In addition, the time required for cartridge replacement can be reduced.

또한, 새 카트리지가 오염된 케미컬에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.Also, it can prevent the new cartridge from being contaminated by contaminated chemicals.

또한, 카트리지를 필터헤드에 결합하거나, 필터헤드로부터 분리하는 경우 카트리지의 오링과 필터헤드와의 마찰을 최소화하여 오링이 밀리거나 빠지는 것을 방지할 수 있다.In addition, when the cartridge is coupled to or separated from the filter head, the O-ring of the cartridge and the filter head By minimizing friction, the O-ring can be prevented from being pushed or pulled out.

또한, 외부의 흄(Fume)이 구동부 내부에 유입되는 것을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent external fumes from flowing into the driving unit.

도 1은 본 발명에 의한 케미컬 필터 교체장치를 보여주는 사시도
도 2는 도 1에 나타난 케미컬 필터 교체장치의 보관부 내부가 보이도록 도어가 제거된 사시도
도 3은 도 1에 나타난 케미컬 필터 교체장치의 내부 전체가 보이도록 나타낸 사시도
도 4는 도 3에 나타난 케미컬 필터 교체장치를 보여주는 평단면도
도 5는 필터하우징과 필터헤드가 결합된 상태를 보여주는 단면도
도 6은 도 3에 나타난 카트리지 이송부를 보여주는 사시도
도 7은 도 6의 상태에서 보호커버가 제거된 상태를 보여주는 사시도
도 8은 도 7의 상태에서 상부덮개를 제거하여 회전구동을 위한 구성을 보여주는 사시도
도 9는 카트리지를 회전시키기 위한 구성을 보여주는 사시도
도 10은 상부덮개와 상판으로 이루어진 차단커버를 보여주는 사시도1 is a perspective view showing a chemical filter replacement device according to the present invention
2 is a perspective view in which the door is removed to show the inside of the storage unit of the chemical filter replacement device shown in FIG. 1;
Figure 3 is a perspective view showing the entire interior of the chemical filter replacement device shown in Figure 1
Figure 4 is a planar cross-sectional view showing the chemical filter replacement device shown in Figure 3
5 is a cross-sectional view showing a coupled state of the filter housing and the filter head.
Figure 6 is a perspective view showing the cartridge transport shown in Figure 3
7 is a perspective view showing a state in which the protective cover is removed in the state of FIG. 6;
Figure 8 is a perspective view showing a configuration for rotational drive by removing the upper cover in the state of FIG.
Figure 9 is a perspective view showing a configuration for rotating the cartridge
10 is a perspective view showing a blocking cover composed of an upper cover and a top plate;

이하 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 5를 참조하여 일 실시예에 의한 케미컬 필터 교체장치(1)에 대해 설명한다.Referring to FIGS. 1 to 5 , a chemical filter replacement device 1 according to an embodiment will be described.

상기 케미컬 필터 교체장치(1)는, 카트리지 보관부(100), 카트리지 이송부(200), 필터 고정부(300), 카트리지 회수부(400), 필터하우징 탈착모듈(500)을 포함한다.The chemical filter replacement device 1 includes a cartridge storage unit 100, a cartridge transfer unit 200, a filter fixing unit 300, a cartridge recovery unit 400, and a filter housing detachment module 500.

상기 케미컬 필터 교체장치(1)는 장치 전체의 외측을 둘러싸는 외부하우징(2), 케미컬 필터 교체장치(1) 전체를 제어하기 위한 제어부(미도시)를 포함하여 구성된다.The chemical filter replacement device 1 includes an external housing 2 surrounding the outside of the entire device and a control unit (not shown) for controlling the entire chemical filter replacement device 1.

상기 카트리지 보관부(100)에는 교체할 새 카트리지(11-1)가 투입되어 안착되고, 안착된 새 카트리지(11-1)는 카트리지 이송부(200)에 의해 필터 고정부(300)로 이송되기까지 일시 보관된다.Until a new cartridge 11-1 to be replaced is inserted and seated in the cartridge storage unit 100, and the new cartridge 11-1 seated is transported to the filter fixing unit 300 by the cartridge transfer unit 200. temporarily stored.

상기 카트리지 이송부(200)는 카트리지 보관부(100)에 보관되어 있던 새 카트리지(11-1)를 필터 고정부(300)로 이송하고, 필터 고정부(300)에 고정되어 있던 폐 카트리지(11-2)를 카트리지 회수부(400)로 이송하기 위한 것이다.The cartridge transfer unit 200 transfers the new cartridge 11-1 stored in the cartridge storage unit 100 to the filter fixing unit 300, and transfers the waste cartridge 11-1 fixed to the filter fixing unit 300. 2) to the cartridge recovery unit 400.

상기 필터 고정부(300)에는 필터조립체(10)가 고정된다. 상기 필터조립체(10)는 케미컬 저장탱크(미도시)에 유입되는 케미컬을 여과하기 위한 프리 필터(Pre filter), 케미컬 저장탱크에서 배출되어 제조공정으로 공급되기 전에 케미컬을 여과하기 위한 파이널 필터(Final filter)로 이루어질 수 있다. 상기 프리 필터와 파이널 필터는 각각 복수로 구성될 수 있다.The filter assembly 10 is fixed to the filter fixing part 300 . The filter assembly 10 includes a pre filter for filtering chemicals flowing into a chemical storage tank (not shown), and a final filter for filtering chemicals before being discharged from the chemical storage tank and supplied to a manufacturing process. filter). Each of the pre-filter and the final filter may be configured in plurality.

상기 카트리지 보관부(100)에는 프리 필터용 카트리지(11a)와 파이널 필터용 카트리지(11b)가 각각 복수개 보관될 수 있다. 상기 필터 고정부(300)에 고정된 필터조립체(10) 중 교체 대상이 프리 필터인 경우에는 카트리지 이송부(200)가 상기 프리 필터용 카트리지(11a)를 이송하여 필터조립체(10)의 폐 카트리지(11-2)를 교체하고, 상기 필터 고정부(300)에 고정된 필터조립체(10) 중 교체 대상이 파이널 필터인 경우에는 카트리지 이송부(200)가 파이널 필터용 카트리지(11b)를 이송하여 필터조립체(10)의 폐 카트리지(11-2)를 교체하게 된다.A plurality of pre-filter cartridges 11a and final filter cartridges 11b may be stored in the cartridge storage unit 100, respectively. When the filter assembly 10 fixed to the filter fixing part 300 is a pre-filter to be replaced, the cartridge transfer unit 200 transfers the pre-filter cartridge 11a to the waste cartridge of the filter assembly 10 ( 11-2) is replaced, and if the replacement target among the filter assemblies 10 fixed to the filter fixing part 300 is a final filter, the cartridge transfer unit 200 transfers the final filter cartridge 11b to form a filter assembly. The waste cartridge 11-2 of (10) is replaced.

상기 필터 고정부(300)는 복수의 필터조립체(10)를 고정하기 위해 복수로 구비될 수 있고, 도 4를 기준으로 좌측에서부터 우측까지 이격되어 구비될 수 있다. 상기 복수의 필터 고정부(300) 중 일부에는 프리 필터용 필터조립체가 고정되고, 나머지에는 파이널 필터용 필터조립체가 고정될 수 있다.The filter fixing part 300 may be provided in plurality to fix the plurality of filter assemblies 10, and may be provided spaced apart from the left side to the right side with reference to FIG. 4 . A filter assembly for a pre-filter may be fixed to some of the plurality of filter fixing parts 300, and a filter assembly for a final filter may be fixed to the rest.

상기 필터조립체(10)는, 케미컬에 포함된 이물질을 여과하기 위한 카트리지(11), 상기 카트리지(11)를 내부에 수용하는 필터하우징(12), 상기 필터하우징(12)의 개방된 일측에 결합되는 필터헤드(13)로 이루어질 수 있다. The filter assembly 10 includes a cartridge 11 for filtering foreign substances contained in chemicals, a filter housing 12 accommodating the cartridge 11 therein, and coupled to one open side of the filter housing 12. It may be made of a filter head 13 to be.

상기 카트리지(11)는 일례로, 상하 방향의 길이를 갖는 원통 형상으로 이루어질 수 있다. For example, the cartridge 11 may have a cylindrical shape having a vertical length.

상기 필터하우징(12)은 상기 원통 형상의 카트리지(11)를 내부에 수용하기 위해 일측 단부가 개방되고 상기 개방된 일측을 통해 카트리지(11)의 입출이 가능하도록 원통 형상으로 이루어질 수 있다. The filter housing 12 may have a cylindrical shape such that one end is opened to accommodate the cylindrical cartridge 11 therein, and the cartridge 11 can be taken in and out through the opened one side.

상기 필터헤드(13)에는 케미컬이 내부로 유입되고, 상기 카트리지(11)를 통과한 케미컬을 외부로 배출시키고, 내부공간에 잔존하는 케미컬을 드레인시키며, 질소 가스가 유입되거나 배출되도록 하기 위한 복수의 연결부가 형성될 수 있다. 상기 복수의 각 연결부에는 케미컬 또는 질소의 이송을 위한 배관(미도시)이 연결될 수 있다. The filter head 13 has a plurality of filters for introducing chemicals into the inside, discharging chemicals that have passed through the cartridge 11 to the outside, draining chemicals remaining in the inner space, and allowing nitrogen gas to be introduced or discharged. Connections may be formed. A pipe (not shown) for transporting chemicals or nitrogen may be connected to each of the plurality of connection units.

상기 필터하우징(12)과 필터헤드(13)가 결합되는 부분에는 오링(14)이 개재되어 기밀을 유지할 수 있다.An O-ring 14 is interposed between the filter housing 12 and the filter head 13 to maintain airtightness.

또한, 상기 필터헤드(13)에는 카트리지(11)의 일측 단부가 삽입되는 카트리지 삽입부(13a)가 형성되어 있다. 상기 카트리지(11)의 일측 단부 외측면과 상기 카트리지 삽입부(13a)의 내측면 사이에는 오링(15)이 개재되어 기밀을 유지할 수 있다.In addition, a cartridge insertion portion 13a into which one end of the cartridge 11 is inserted is formed in the filter head 13 . An O-ring 15 is interposed between the outer surface of one end of the cartridge 11 and the inner surface of the cartridge insertion portion 13a to maintain airtightness.

상기 필터헤드(13)를 거치하기 위한 필터헤드 거치대(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 필터헤드 거치대의 상부에는 상기 필터헤드(13)가 안착될 수 있다.A filter head holder (not shown) for holding the filter head 13 may be provided. The filter head 13 may be seated on the top of the filter head holder.

상기 필터하우징 탈착모듈(500)은 필터하우징(12)을 필터헤드(13)로부터 분리하거나, 분리된 필터하우징(12)을 필터헤드(13)에 결합하기 위한 것이다. 상기 필터하우징 탈착모듈(500)은 필터하우징(12)의 외측을 잡는 그립부(510), 상기 그립부(510)를 승강시키기 위한 구동력을 제공하는 승강구동부(520)로 이루어질 수 있다. 상기 필터하우징 탈착모듈(500)은 필터하우징(12)을 잡고 상승시킴으로써 필터하우징(12)을 필터헤드(13)로부터 분리하고, 상승된 필터하우징(12)을 하강시킴으로써 분리된 필터하우징(12)을 필터헤드(13)에 결합시킬 수 있다. 도 3에는 필터하우징 탈착모듈(500)이 필터하우징(12)을 상승시켜 필터헤드(13)로부터 필터하우징(12)이 분리된 상태가 나타나 있다.The filter housing detachment module 500 separates the filter housing 12 from the filter head 13 or couples the separated filter housing 12 to the filter head 13 . The filter housing detachable module 500 may include a grip part 510 that grips the outside of the filter housing 12 and a lift driver 520 that provides a driving force for lifting the grip part 510 . The filter housing detachment module 500 separates the filter housing 12 from the filter head 13 by holding and raising the filter housing 12, and lowering the raised filter housing 12 to remove the separated filter housing 12. Can be coupled to the filter head (13). 3 shows a state in which the filter housing 12 is separated from the filter head 13 by the filter housing detachment module 500 lifting the filter housing 12 .

본 실시예에서는 필터헤드(13)가 하부에 위치하고, 필터하우징(12)이 상부에 위치한 것으로 예시하였으나, 필터하우징(12)이 하부에 위치하고, 필터헤드(13)가 상부에 위치하는 것으로 구성할 수도 있다.In this embodiment, the filter head 13 is located at the bottom and the filter housing 12 is located at the top, but the filter housing 12 is located at the bottom and the filter head 13 is located at the top. may be

도 4를 참조하면, 상기 케미컬 필터 교체장치(1)에는, 카트리지 이송부(200)의 파지부(220,230)에 의해 파지된 카트리지(11)가 이송레일(210)을 따라 이송되는 경로를 나타내는 제1라인(L1)이 나타나 있다. 또한, 카트리지 보관부(100)에서 카트리지(11)가 파지되는 위치인 파지위치(P1,P2), 카트리지 이송부(200)에 의해 이송된 카트리지(11)가 필터 고정부(300)에 안착되는 위치인 고정위치들(P3,P4), 상기 파지위치(P1,P2)와 고정위치들(P3,P4)을 연결하는 제2라인(L2)이 나타나 있다. 상기 제1라인(L1)과 제2라인(L2) 및 이송레일(210)과 나란하게 구비될 수 있다.Referring to FIG. 4 , in the chemical filter replacement device 1, a first step showing a path along which the cartridge 11 gripped by the gripping parts 220 and 230 of the cartridge conveying part 200 is transported along the conveying rail 210 Line L1 is shown. In addition, holding positions P1 and P2, which are positions at which the cartridge 11 is gripped in the cartridge storage unit 100, and positions at which the cartridge 11 transported by the cartridge transfer unit 200 is seated on the filter fixing unit 300 The fixing positions P3 and P4 are shown, and the second line L2 connecting the holding positions P1 and P2 and the fixing positions P3 and P4 is shown. The first line L1 and the second line L2 and the transfer rail 210 may be provided in parallel.

도 5를 참조하면, 상기 케미컬 필터 교체장치(1)는, 상기 필터헤드(13)에 결합되는 제1클램프(20), 상기 필터하우징(12)에 결합되는 제2클램프(30)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5 , the chemical filter replacement device 1 may include a first clamp 20 coupled to the filter head 13 and a second clamp 30 coupled to the filter housing 12. can

상기 제1클램프(20)와 제2클램프(30)는 대략 링 형상으로 이루어진 것으로서, 상기 제1클램프(20)는 상기 필터헤드(13)의 상단의 외측면 둘레를 감싸도록 구비되고, 상기 제2클램프(30)는 상기 필터하우징(12)의 하단의 외측면 둘레를 감싸도록 구비된다. The first clamp 20 and the second clamp 30 are formed in a substantially ring shape, and the first clamp 20 is provided to surround the circumference of the outer surface of the upper end of the filter head 13, 2 clamps 30 are provided to surround the outer circumference of the lower end of the filter housing 12 .

상기 제2클램프(30)가 상기 필터하우징(12)의 외측면 둘레를 감싸도록 결합된 상태에서 상기 필터하우징 탈착모듈(500)에 의해 상하 방향으로 일체로 이동된다. In a state in which the second clamp 30 is coupled to surround the outer circumference of the filter housing 12, the filter housing detachable module 500 moves integrally in the vertical direction.

상기 제1클램프(20)는 상기 필터헤드(13)의 외측면 둘레를 감싸도록 결합되고, 상기 제1클램프(20)가 결합된 상기 필터헤드(13)가 필터조립체 거치대에 안착된다. The first clamp 20 is coupled to surround the outer circumference of the filter head 13, and the filter head 13 to which the first clamp 20 is coupled is seated on the filter assembly holder.

상기 필터헤드 거치대의 상부에 필터조립체(10) 전체가 거치된 상태에서 폐 카트리지(11-2)를 새 카트리지(11-1)로 교체하는 경우, 필터하우징 탈착모듈(500)이 필터하우징(12)을 잡고 상향 이동시키면, 상기 필터하우징(12)은 필터헤드(13)로부터 분리된다. 이 경우 필터하우징(12)에 결합되어 있던 제2클램프(30)도 함께 상방향으로 상승하게 되므로, 상기 제2클램프(30)는 제1클램프(20)로부터 분리된다. 새 카트리지(11-1)를 필터헤드(13)에 결합한 상태에서 필터하우징 탈착모듈(500)이 제2클램프(30)가 결합된 필터하우징(12)을 하강시킨다. When the waste cartridge 11-2 is replaced with a new cartridge 11-1 in a state where the entire filter assembly 10 is mounted on the top of the filter head holder, the filter housing detachment module 500 moves the filter housing 12 ) is held and moved upward, the filter housing 12 is separated from the filter head 13. In this case, since the second clamp 30 coupled to the filter housing 12 also rises upward, the second clamp 30 is separated from the first clamp 20 . With the new cartridge 11-1 coupled to the filter head 13, the filter housing detachment module 500 lowers the filter housing 12 to which the second clamp 30 is coupled.

상기 필터하우징(12)을 하강시키면, 도 5에서와 같이 상기 필터하우징(12)과 필터헤드(13)가 결합된 상태가 되어, 제1클램프(20)의 상면과 제2클램프(30)의 하면이 마주보는 상태가 된다. 이 경우 가압수단(미도시)에 의해 상기 제2클램프(30)를 하방향으로 가압함으로써 필터헤드(13)의 상단부와 필터하우징(12)의 하단부의 대향하는 부분이 밀착되도록 할 수 있다.When the filter housing 12 is lowered, the filter housing 12 and the filter head 13 are combined as shown in FIG. The bottom faces each other. In this case, by pressing the second clamp 30 downward by a pressing means (not shown), the upper end of the filter head 13 and the lower end of the filter housing 12 may come into close contact with each other.

도 6 내지 도 10을 참조하여 카트리지 이송부(200)에 대하여 상세히 설명한다.Referring to Figures 6 to 10 will be described in detail with respect to the cartridge transfer unit 200.

상기 카트리지 이송부(200)는, 카트리지 보관부(100)에 보관되어 있는 새 카트리지(11-1)를 파지하여 필터 고정부(300)에 안착시키기 위한 제1 파지부(220), 상기 필터 고정부(300)에 안착되어 있던 폐 카트리지(11-2)를 상기 필터 고정부(300)로부터 분리하여 카트리지 회수부(400)로 이송하기 위해 폐 카트리지(11-2)를 파지하는 제2 파지부(230)를 포함한다. The cartridge transfer unit 200 includes a first gripping unit 220 for gripping the new cartridge 11-1 stored in the cartridge storage unit 100 and placing it on the filter fixing unit 300, the filter fixing unit A second gripping unit that grips the waste cartridge 11-2 in order to separate the waste cartridge 11-2 seated in the filter 300 from the filter fixing unit 300 and transport it to the cartridge recovery unit 400 ( 230).

상기와 같이 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)를 각각 별도로 구비하면, 새 카트리지(11-1)를 파지하는 부분과 폐 카트리지(11-2)를 파지하는 부분이 상이하므로, 새 카트리지(11-1)에 오염된 케미컬이 묻는 것을 방지할 수 있다.As described above, if the first gripping unit 220 and the second gripping unit 230 are provided separately, the part holding the new cartridge 11-1 and the part holding the waste cartridge 11-2 are different. , it is possible to prevent contamination of the new cartridge 11-1 with contaminated chemicals.

상기 카트리지 이송부(200)는 새 카트리지(11-1) 또는 폐 카트리지(11-2)를 파지한 상태에서 좌우 방향(도 4 기준, 카트리지 이송부의 이송방향)을 따라 직선 이송될 수 있다. 이를 위해 상기 카트리지 이송부(200)는 좌우 방향을 따라 길게 형성된 직선 형태의 이송레일(210)을 포함하고, 상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)는 상기 이송레일(210)을 따라 일체로 직선 이송될 수 있다.The cartridge transfer unit 200 may be linearly transferred along the left and right directions (refer to FIG. 4, the transfer direction of the cartridge transfer unit) while holding the new cartridge 11-1 or the waste cartridge 11-2. To this end, the cartridge transfer unit 200 includes a linear transfer rail 210 formed long along the left and right directions, and the first gripper 220 and the second gripper 230 are the transfer rail 210 It can be linearly transferred integrally along the

상기 이송레일(210)의 일측(하부)에는 상기 카트리지 보관부(100)와 필터 고정부(300) 및 카트리지 회수부(400)가 일직선 상에 순차 구비될 수 있다. The cartridge storage unit 100, the filter fixing unit 300, and the cartridge recovery unit 400 may be sequentially provided on one side (lower side) of the transfer rail 210 in a straight line.

상기 이송레일(210)의 일측 단부에는 상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)가 상기 이송레일(210)을 따라 직선 이동될 수 있도록 구동력을 제공하는 이송용 구동부(211)가 구비될 수 있다. At one end of the transfer rail 210, a transfer drive unit 211 for providing a driving force so that the first gripper 220 and the second gripper 230 can move linearly along the transfer rail 210. may be provided.

상기 이송레일(210)에는 수직판의 형상으로 이루어진 이송레일 결합부재(212a,212b)가 결합된다. 상기 이송레일 결합부재(212a,212b)는 상부에 구비된 제1 이송레일 결합부재(212a)와, 하부에 구비된 제2 이송레일 결합부재(212b)로 이루어질 수 있다. 상기 제1 이송레일 결합부재(212a)와 제2 이송레일 결합부재(212b)는 2개의 부품이 체결부재로 결합되도록 구비될 수도 있고, 하나의 연결된 부품의 상부와 하부로 이루어질 수도 있다.Transfer rail coupling members 212a and 212b formed in the shape of vertical plates are coupled to the transfer rail 210 . The transfer rail coupling members 212a and 212b may include a first transfer rail coupling member 212a provided at an upper portion and a second transport rail coupling member 212b provided at a lower portion. The first transfer rail coupling member 212a and the second transfer rail coupling member 212b may be provided so that two parts are coupled by a fastening member, or may be formed of an upper part and a lower part of one connected part.

상기 제1 이송레일 결합부재(212a)이 일측면은 상기 이송레일(210)측에 결합되어 있고, 타측면에는 보호커버 이송 가이드(242)가 결합되어 있다. 상기 제2 이송레일 결합부재(212b)의 타측면에는 상기 보호커버 이송 가이드(242)보다 낮은 위치에 상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)가 결합되어 있다. 따라서 상기 이송용 구동부(211)의 구동에 의해 상기 이송레일 결합부재(212a,212b)와 제1 파지부(220) 및 제2 파지부(230)가 이송레일(210)을 따라 일체로 직선 이동하게 된다.One side of the first transfer rail coupling member 212a is coupled to the transport rail 210, and the protective cover transport guide 242 is coupled to the other side. The first gripping part 220 and the second gripping part 230 are coupled to the other side surface of the second transfer rail coupling member 212b at a lower position than the protective cover transfer guide 242 . Therefore, by driving the transfer driving unit 211, the transfer rail coupling members 212a and 212b, the first gripping part 220, and the second gripping part 230 are linearly moved along the transfer rail 210 integrally. will do

상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)는 인접한 위치에 이격되어 구비되되, 상기 제1 파지부(220)가 카트리지 보관부(100) 측에 구비되고, 상기 제2 파지부(230)가 카트리지 회수부(400) 측에 구비될 수 있다.The first gripping part 220 and the second gripping part 230 are spaced apart from adjacent positions, the first gripping part 220 is provided on the side of the cartridge storage part 100, and the second gripping part 230 may be provided on the cartridge recovery unit 400 side.

상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)는 상기 이송레일 결합부재(212a,212b)의 수직 방향의 중심선을 기준으로 대칭되도록 구비될 수 있다.The first gripping part 220 and the second gripping part 230 may be provided symmetrically with respect to a center line in a vertical direction of the transfer rail coupling members 212a and 212b.

상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)는 동일한 구성으로 이루어질 수 있다. 도 9, 도 10에서는 도면 부호를 도시함에 있어 제1 파지부(220)를 구성하는 도면 부호와 제2 파지부(230)를 구성하는 도면 부호를 각각의 구성에 함께 병기하였다.The first gripping part 220 and the second gripping part 230 may have the same configuration. In FIGS. 9 and 10, reference numerals constituting the first gripping part 220 and reference numerals constituting the second gripping part 230 are written together for each component.

상기 제1 파지부(220)에는 새 카트리지(11-1)를 상하로 승강시키기 위한 수직이송부, 상기 제2 파지부(230)에는 상기 폐 카트리지(11-2)를 상하로 승강시키기 위한 수직이송부가 각각 구비되어 있다. 상기 제1 파지부(220)의 수직이송부와 제2 파지부(230)의 수직이송부 각각은, 상하 방향의 길이를 갖고 직선 이동이 이루어지도록 하는 수직이송 가이드(228,238)와, 상기 수직이송 가이드(228,238)를 따라 상하 방향으로의 구동력을 제공하는 수직이송 구동부(미도시)로 이루어질 수 있다.The first gripping part 220 has a vertical conveying part for moving the new cartridge 11-1 up and down, and the second gripping part 230 has a vertical conveying part for moving the waste cartridge 11-2 up and down. Each transfer unit is provided. Each of the vertical transfer unit of the first gripping unit 220 and the vertical transfer unit of the second gripping unit 230 has a length in the vertical direction and includes vertical transfer guides 228 and 238 for linear movement, and the vertical transfer It may be made of a vertical transfer driving unit (not shown) that provides a driving force in the vertical direction along the guides 228 and 238 .

상기 수직이송 가이드(228,238)에는 플레이트 형상으로 이루어져 수직이송 가이드(228,238)을 따라 상하 방향으로 승강가능하도록 연결부재(229,239)가 결합되어 있다. 상기 연결부재(229,239)에는 상기 새 카트리지(11-1) 또는 폐 카트리지(11-2)를 각각 파지하기 위한 구성들이 결합되어 있다. Connecting members 229 and 239 are coupled to the vertical transfer guides 228 and 238 so as to be formed in a plate shape and move up and down along the vertical transfer guides 228 and 238 . Components for holding the new cartridge 11-1 or the waste cartridge 11-2 are coupled to the connection members 229 and 239, respectively.

상기 새 카트리지(11-1) 또는 폐 카트리지(11-2)를 파지하기 위한 파지부재(224,234)가 구비된다. 상기 파지부재(224,234)는 방사상으로 구비된 복수의 파지용 핑거를 포함하고, 상기 복수의 파지용 핑거가 상기 새 카트리지(11-1) 또는 폐 카트리지(11-2)의 상단 둘레를 파지하도록 구비된다.Holding members 224 and 234 for holding the new cartridge 11-1 or the waste cartridge 11-2 are provided. The gripping members 224 and 234 include a plurality of radially provided gripping fingers, and the plurality of gripping fingers grip the upper circumference of the new cartridge 11-1 or the waste cartridge 11-2. do.

상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)는, 상기 새 카트리지(11-1) 또는 폐 카트리지(11-2)를 상기 카트리지 보관부(100)와 필터 고정부(300) 및 카트리지 회수부(400) 사이에 직선 이송되는 이송방향과 수직되는 수평방향인 상기 필터 고정부(300)가 위치한 방향으로 직선 이송하기 위한 수평이송 가이드(227,237), 상기 수평이송 가이드(227,237)를 따라 직선 이송될 수 있도록 구동력을 제공하는 수평이송 구동부(미도시)가 구비될 수 있다.The first gripping part 220 and the second gripping part 230 transfer the new cartridge 11-1 or the waste cartridge 11-2 to the cartridge storage part 100 and the filter fixing part 300 and Horizontal transport guides 227 and 237 for linear transport in the direction in which the filter fixing unit 300 is located, which is a horizontal direction perpendicular to the transport direction of linear transport between the cartridge recovery unit 400, along the horizontal transport guides 227 and 237 A horizontal transfer driver (not shown) may be provided to provide a driving force so as to be linearly transferred.

상기 수평이송 구동부를 구동시킴으로써, 상기 제1라인(L1) 상에 있는 새 카트리지(11-1)를 제2라인(L2) 상에 있는 필터헤드(13)의 고정위치(P3,P4)까지 직선 이송하거나, 상기 필터헤드(13)의 고정위치(P3,P4)에 있던 폐 카트리지(11-2)를 제1라인(L1) 상의 위치까지 직선 이송하게 된다.By driving the horizontal transfer driving unit, the new cartridge 11-1 on the first line L1 is moved in a straight line to the fixed positions P3 and P4 of the filter head 13 on the second line L2. or the waste cartridge 11-2 at the fixed positions P3 and P4 of the filter head 13 is linearly transferred to a position on the first line L1.

상기 수평이송 가이드(227,237)는 상기 연결부재(229,239) 상에 결합되어 상기 수직이송 구동부의 구동에 의해 상기 수직이송 가이드(228,238)를 따라 상하 방향으로 승강가능하다.The horizontal transfer guides 227 and 237 are coupled to the connecting members 229 and 239 and can move upward and downward along the vertical transfer guides 228 and 238 by driving the vertical transfer driver.

상기 수평이송 가이드(227,237) 상에는 플레이트 형상으로 이루어진 상판(225a,235a)이 결합되고, 상기 상판(225a,235a)에서 상기 제2라인(L2)에 가까운 단부 저면에는 측부커버(225b,235b)가 결합되어 있다. Plate-shaped upper plates 225a and 235a are coupled to the horizontal transport guides 227 and 237, and side covers 225b and 235b are provided on the bottom surface of the upper plates 225a and 235a close to the second line L2. are combined

상기 측부커버(225b,235b)는 상면이 개방되고, 하면의 적어도 일부가 개방되며, 측면 둘레가 막힌 대략 직육면체 형상으로 이루어져 있다. 상기 측부커버(225b,235b)의 내부공간에 회전전달축(223,233)과 파지부재(224,234)의 적어도 일부가 구비된다. 상기 파지부재(224,234)는 측부커버(225b,235b)의 하면의 개방된 부분을 통해 일부가 하부로 돌출되도록 구비될 수 있다.The side covers 225b and 235b have an approximate rectangular parallelepiped shape with upper surfaces open, at least a portion of lower surfaces open, and side circumferences blocked. At least a portion of the rotation transmission shafts 223 and 233 and the holding members 224 and 234 are provided in the inner space of the side covers 225b and 235b. A portion of the gripping members 224 and 234 may protrude downward through open portions of lower surfaces of the side covers 225b and 235b.

상기 파지부재(224,234)에는 상기 새 카트리지(11-1)를 상기 필터 고정부(300)에 안착되어 있는 필터헤드(13)에 결합시키거나 필터헤드(13)에 결합되어 있는 폐 카트리지(11-2)를 분리시키는 경우 상기 새 카트리지(11-1)와 폐 카트리지(11-2)를 회전시키기 위한 구성들이 연결되어 있다.The holding members 224 and 234 allow the new cartridge 11-1 to be coupled to the filter head 13 seated on the filter fixing part 300 or the waste cartridge 11-1 coupled to the filter head 13. 2) In case of separation, components for rotating the new cartridge 11-1 and the waste cartridge 11-2 are connected.

상기 새 카트리지(11-1)와 폐 카트리지(11-2)를 회전시키기 위해, 회전력을 발생시키는 회전구동부(221,231), 상기 회전구동부(221,231)의 회전력을 전달하기 위한 동력전달부재(222,232), 일측이 상기 동력전달부재(222,232)에 연결되고 타측에 상기 파지부재(224,234)에 연결된 회전전달축(223,233)가 구비된다. 상기 회전구동부(221,231)의 구동에 의해 상기 회전전달축(223,233)과 파지부재(224,234)가 일체로 회전하게 된다.In order to rotate the new cartridge 11-1 and the waste cartridge 11-2, rotational driving units 221 and 231 generating rotational force, power transmission members 222 and 232 for transmitting rotational force of the rotational driving unit 221 and 231, Rotation transmission shafts 223 and 233 are provided with one side connected to the power transmission members 222 and 232 and the other side connected to the gripping members 224 and 234 . The rotation transmission shafts 223 and 233 and the gripping members 224 and 234 are rotated integrally by driving of the rotation drive units 221 and 231 .

상기 동력전달부재(222,232)는 상기 상판(225a,235a)의 상부에 구비되고, 상기 상판(225a,235a)의 상부에는 상기 동력전달부재(222,232)의 상부를 덮을 수 있도록 상부덮개(226,236)가 결합된다.The power transmission members 222 and 232 are provided on tops of the top plates 225a and 235a, and upper covers 226 and 236 are provided on top of the top plates 225a and 235a to cover the tops of the power transmission members 222 and 232. are combined

상기 동력전달부재(222,232)는 일례로, 회전구동부(221,231)의 풀리와 회전전달축(223)의 풀리 사이를 연결하기 위한 벨트로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 회전력을 전달하기 위한 구성이라면 모두 적용 가능하다.The power transmission members 222 and 232 may be configured as, for example, a belt for connecting between the pulleys of the rotation drive units 221 and 231 and the pulleys of the rotation transmission shaft 223, but are not limited thereto and are configured to transmit rotational force. All are applicable.

상기 회전구동부(221,231)는 일례로, 모터로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 회전력을 발생시킬 수 있는 구성이라면 모두 적용 가능하다. 상기 회전구동부(221,231)의 다른 예로서, 유체의 공급에 의해 상기 회전전달축을 회전시키는 회전실린더로 이루어질 수 있다. 상기 회전실린더를 적용하게 되면 상기 동력전달부재(222,232)는 구비되지 않을 수 있다.The rotary driving units 221 and 231 may be configured as, for example, a motor, but are not limited thereto, and any configuration capable of generating rotational force may be applied. As another example of the rotary drive unit 221 or 231, it may be formed of a rotary cylinder that rotates the transmission shaft by supplying fluid. When the rotating cylinder is applied, the power transmission members 222 and 232 may not be provided.

이러한 구성으로 인해 상기 회전구동부(221,231)를 구동시켜 새 카트리지(11-1)를 회전시키면서 필터헤드(13)에 결합하거나, 상기 회전구동부(221,231)를 구동시켜 폐 카트리지(11-2)를 회전시키면서 필터헤드(13)로부터 분리하게 되면, 새 카트리지(11-1)의 오링(15)과 필터헤드(13)의 카트리지 삽입부(13a)와의 마찰 또는 폐 카트리지(11-2)의 오링(15)과 필터헤드(13)의 카트리지 삽입부(13a)와의 마찰을 최소화하여 오링(15)이 밀리거나 빠지는 것을 방지할 수 있다.Due to this configuration, the rotary drive units 221 and 231 are driven to rotate the new cartridge 11-1 while being coupled to the filter head 13, or the rotation drive units 221 and 231 are driven to rotate the waste cartridge 11-2. When separated from the filter head 13 while doing so, friction between the O-ring 15 of the new cartridge 11-1 and the cartridge insertion part 13a of the filter head 13 or the O-ring 15 of the waste cartridge 11-2 ) and the cartridge insertion portion 13a of the filter head 13 can be minimized to prevent the O-ring 15 from being pushed or pulled out.

상기 새 카트리지(11-1)와 폐 카트리지(11-2)를 회전시키기 위한 구성들은 연결부재(229,239)에 간접적으로 결합되어 있어, 상기 수직이송 구동부의 구동에 의해 상기 수직이송 가이드(228,238)를 따라 상하 방향으로 상기 파지부재(224,234)와 함께 일체로 승강된다.Components for rotating the new cartridge 11-1 and the waste cartridge 11-2 are indirectly coupled to the connecting members 229 and 239, so that the vertical transport guides 228 and 238 are driven by the vertical transport driver. Along with the holding members 224 and 234 in the up and down direction, it is lifted integrally.

또한, 상기 새 카트리지(11-1)와 폐 카트리지(11-2)를 회전시키기 위한 구성들은 상기 수평이송 가이드(227,237)를 따라 상기 새 카트리지(11-1) 또는 폐 카트리지(11-2)와 함께 직선 이송되도록 구비된다.In addition, components for rotating the new cartridge 11-1 and the waste cartridge 11-2 move along the horizontal transport guides 227 and 237 with the new cartridge 11-1 or the waste cartridge 11-2. It is provided to be linearly transported together.

상기 제1 파지부(220)에 파지되어 있는 새 카트리지(11-1)와 상기 제2 파지부(230)에 파지되어 있는 폐 카트리지(11-2) 사이를 차단하는 보호커버(241)가 구비될 수 있다.A protective cover 241 is provided to block the gap between the new cartridge 11-1 held by the first gripping part 220 and the waste cartridge 11-2 held by the second gripping part 230. It can be.

폐 카트리지(11-2)를 새 카트리지(11-1)로 교체하기 위해 필터조립체(10) 내부를 세척하게 되는데, 상기 세척이 이루어진 후에는 폐 카트리지(11-2)에 희석된 케미컬 또는 세척수가 잔존할 수 있다. 이 상태에서 상기 폐 카트리지(11-2)를 필터헤드(13)로부터 분리하는 경우에는 폐 카트리지(11-2)에 잔존하던 희석된 케미컬 또는 세척수가 비산하여 새 카트리지(11-1)에 묻을 수 있다. 만약 새 카트리지(11-1)에 희석된 케미컬 또는 세척수가 묻은 상태에서 케미컬이 새 카트리지(11-1)를 통과하게 되면 희석된 케미컬 또는 세척수가 혼합되어 공정에 공급될 수 있으므로 케미컬 농도 불균일, 오염 등의 문제가 발생할 수 있다. 따라서 보호커버(241)를 구비하여 새 카트리지(11-1)와 폐 카트리지(11-2) 사이를 차단함으로써 폐 카트리지(11-2)에 잔존하던 희석된 케미컬 또는 세척수가 새 카트리지(11-1)에 묻는 것을 방지할 수 있다.In order to replace the waste cartridge 11-2 with a new cartridge 11-1, the inside of the filter assembly 10 is washed. After the washing is performed, chemicals or washing water diluted in the waste cartridge 11-2 can remain In this state, when the waste cartridge 11-2 is separated from the filter head 13, the diluted chemical or washing water remaining in the waste cartridge 11-2 may scatter and be buried in the new cartridge 11-1. have. If the new cartridge 11-1 is contaminated with diluted chemical or washing water and the chemical passes through the new cartridge 11-1, the diluted chemical or washing water may be mixed and supplied to the process, resulting in uneven chemical concentration and contamination. problems may occur. Therefore, by providing a protective cover 241 to block the new cartridge 11-1 and the waste cartridge 11-2, the diluted chemical or washing water remaining in the waste cartridge 11-2 is removed from the new cartridge 11-1. ) can be avoided.

상기 보호커버(241)는 상기 새 카트리지(11-1)의 길이방향인 상하 방향에 따른 길이를 갖되, 상기 폐 카트리지(11-2)와의 사이를 차단하도록 플레이트 형상으로 이루어질 수 있다. 상기 보호커버(241)는 상기 폐 카트리지(11-2)와의 사이를 차단하도록 상기 새 카트리지(11-1) 둘레 4면 중 1면 또는 복수의 면을 둘러싸도록 구비될 수 있다. 바람직하게는 상기 보호커버(241)는 상기 새 카트리지(11-1)와 마주보는 면의 반대측면이 개방되고, 나머지 측면 중 3면을 둘러싸도록 구비될 수 있다. The protective cover 241 may have a length along the vertical direction, which is the longitudinal direction of the new cartridge 11-1, and may be formed in a plate shape to block a gap between the protective cover and the waste cartridge 11-2. The protective cover 241 may be provided to surround one or a plurality of surfaces out of four circumferential surfaces of the new cartridge 11-1 to block the space between the waste cartridge 11-2 and the waste cartridge 11-2. Preferably, the protective cover 241 may be provided so that a side opposite to the side facing the new cartridge 11-1 is open and surrounds three of the remaining sides.

또한, 상기 보호커버(241)에는 상기 보호커버(241)의 측면 하단부에 일체로 형성된 바닥부가 형성되어, 상기 새 카트리지(11-1)의 하부와 바닥 사이를 차단하도록 구비될 수 있다. 따라서 상기 보호커버(241)는 상기 새 카트리지(11-1)의 외측 3면 이상을 둘러싸는 것으로 구비될 수도 있다.In addition, the protective cover 241 may have a bottom portion integrally formed with a lower side portion of the protective cover 241 to block a gap between the lower portion and the bottom of the new cartridge 11-1. Accordingly, the protective cover 241 may be provided to surround at least three outer surfaces of the new cartridge 11-1.

상기 보호커버(241)가 상기 새 카트리지(11-1)의 외측을 둘러싸는 제1위치와, 상기 새 카트리지(11-1)가 상기 보호커버(241)에 의해 둘러싸인 내부공간으로부터 벗어난 제2위치로 상기 보호커버(241)를 이송하기 위한 보호커버 이송부가 구비될 수 있다. A first position in which the protective cover 241 surrounds the outside of the new cartridge 11-1 and a second position in which the new cartridge 11-1 is out of the inner space surrounded by the protective cover 241 A protective cover transfer unit for transferring the protective cover 241 may be provided.

상기 제2위치는 상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)의 사이의 위치가 될 수 있다. The second position may be a position between the first gripping part 220 and the second gripping part 230 .

또한, 상기 제2위치는 상기 제2 파지부(230)가 구비된 위치가 될 수 있다. 즉, 상기 보호커버(241)가 상기 제2 파지부(230)에 구비된 폐 카트리지(11-2)의 측면의 적어도 일부를 둘러싸도록 위치하여, 상기 새 카트리지(11-1)와 폐 카트리지(11-2) 사이가 차단되도록 구비될 수 있다. Also, the second position may be a position where the second gripping part 230 is provided. That is, the protective cover 241 is positioned to surround at least a part of the side surface of the waste cartridge 11-2 provided in the second gripping part 230, so that the new cartridge 11-1 and the waste cartridge ( 11-2) may be provided so as to be blocked.

또한, 상기 제1위치는 상기 폐 카트리지(11-2)의 외측을 둘러싸는 위치이고, 상기 제2위치는 상기 폐 카트리지(11-2)가 상기 보호커버(241)에 의해 둘러싸인 내부공간으로부터 벗어난 위치로 이루어질 수 있다. In addition, the first position is a position surrounding the outside of the waste cartridge 11-2, and the second position is a position where the waste cartridge 11-2 is out of the inner space surrounded by the protective cover 241. position can be made.

상기 보호커버 이송부는, 상기 보호커버(241)를 상기 이송레일(210)과 동일한 방향을 따라 직선 이송하기 위한 보호커버 이송 가이드(242)와, 상기 보호커버 이송 가이드(242)를 따라 직선 이송되도록 하기 위한 구동력을 발생시키는 보호커버 이송 구동부(미도시)로 이루어질 수 있다.The protective cover transport unit is configured to linearly transport the protective cover 241 along the protective cover transport guide 242 and the protective cover transport guide 242 for linearly transporting the protective cover 241 along the same direction as the transport rail 210. It may be made of a protective cover transfer drive unit (not shown) that generates a driving force to do so.

상기 보호커버 이송 가이드(242)는 상기 이송레일 결합부재(212)에 결합되어, 상기 제1 파지부(220) 및 제2 파지부(230)와 함께 상기 이송레일(210)을 따라 상기 이송용 구동부(211)의 구동에 의해 직선 이송될 수 있다.The protective cover transfer guide 242 is coupled to the transfer rail coupling member 212, and the transfer along the transfer rail 210 together with the first gripping part 220 and the second gripping part 230. It can be linearly transported by the driving of the driving unit 211 .

상기 보호커버 이송 가이드(242)에는 보호커버 고정부재(243)가 결합된다. 상기 보호커버 고정부재(243)는, 단면이 ㄴ 형상으로 이루어질 수 있고, 수직으로 세워진 일측이 상기 보호커버 이송 가이드(242)에 결합되고 평판 형상으로 이루어진 타측이 상기 보호커버(241)에 결합된다. 상기 보호커버(241)와 보호커버 고정부재(243)는 상기 보호커버 이송 가이드(242)를 따라 상기 제1위치와 제2위치 사이에 이송될 수 있다.A protective cover fixing member 243 is coupled to the protective cover transport guide 242 . The protective cover fixing member 243 may have an L-shaped cross section, one side erected vertically is coupled to the protective cover transport guide 242 and the other side formed in a flat plate shape is coupled to the protective cover 241 . The protective cover 241 and the protective cover fixing member 243 may be transported between the first position and the second position along the protective cover transport guide 242 .

상기 보호커버(241)가 상기 제1위치에 위치하게 되면, 상기 보호커버(241)가 새 카트리지(11-1)를 기준으로 폐 카트리지(11-2)가 위치한 방향의 반대 방향의 측면을 제외한 나머지 3면을 둘러싸게 된다. When the protective cover 241 is located in the first position, the protective cover 241 is removed from the new cartridge 11-1 except for the side opposite to the direction in which the waste cartridge 11-2 is located. It will cover the other 3 sides.

한편, 상기에서는 상기 보호커버(241)가 새 카트리지(11-1)의 측면의 적어도 일부와 하부를 둘러싸도록 구비된 실시예에 대해 설명하였으나, 상기 보호커버(241)가 폐 카트리지(11-2)의 측면의 적어도 일부와 하부를 둘러싸도록 구비될 수 있다. 이 경우 상기 보호커버(241)는 폐 카트리지(11-2)를 기준으로 새 카트리지(11-1)가 위치한 방향의 반대 방향의 측면을 제외한 나머지 3면을 둘러싸도록 구비될 수 있다. 또한, 상기 보호커버(241)에는 상기 폐 카트리지(11-2)의 하부를 둘러싸도록 바닥부가 구비될 수 있다. 이와 같은 구성에 의해 새 카트리지(11-1)와 폐 카트리지(11-2) 사이는 보호커버(241)에 의해 차단되어 폐 카트리지(11-2)에 잔존하는 희석된 케미컬 또는 희석수가 비산되어 새 카트리지(11-1)에 묻는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 보호커버(241)에 바닥부가 구비된 경우 폐 카트리지(11-2)로부터 희석된 케미컬 또는 희석수가 케미컬 필터 교체장치(1)의 바닥에 낙수되어 케미컬 필터 교체장치(1) 내부를 오염시키는 것을 방지할 수 있다.On the other hand, in the above, the protective cover 241 has been described for an embodiment provided to surround at least a part of the side surface and the lower part of the new cartridge 11-1, but the protective cover 241 is the waste cartridge 11-2. ) It may be provided to surround at least a part of the side surface and the lower part. In this case, the protective cover 241 may be provided to surround the remaining three surfaces of the waste cartridge 11-2 except for the side surface in the direction opposite to the direction in which the new cartridge 11-1 is located. In addition, the protective cover 241 may have a bottom portion to surround the lower portion of the waste cartridge 11-2. With this configuration, the protective cover 241 blocks the space between the new cartridge 11-1 and the waste cartridge 11-2, and the diluted chemical or diluted water remaining in the waste cartridge 11-2 is scattered to prevent new It is possible to prevent staining on the cartridge 11-1. In addition, when the protective cover 241 is provided with a bottom, the diluted chemical or diluted water from the waste cartridge 11-2 falls on the bottom of the chemical filter replacement device 1 and contaminates the inside of the chemical filter replacement device 1. can prevent doing so.

상기 카트리지 보관부(100)로부터 제1라인(L1)을 따라 이송되어 온 새 카트리지(11-1)를 필터헤드(13)에 결합하는 경우에는 보호커버 이송 구동부를 구동하여 상기 보호커버(241)가 보호커버 이송 가이드(242)를 따라 상기 제2위치로 이동함으로써 상기 새 카트리지(11-1)의 이송 경로로부터 회피하게 된다. 상기 보호커버(241)가 제2위치로 이동하면, 새 카트리지(11-1)를 필터헤드(13)에 결합하기 위해 수평이송 구동부를 구동시켜 새 카트리지(11-1)를 수평이송 가이드(227)를 따라 필터헤드(13)의 위치인 고정위치(P3,P4)까지 이송시킨다. When the new cartridge 11-1 transferred along the first line L1 from the cartridge storage unit 100 is coupled to the filter head 13, the protective cover 241 is moved by driving the protective cover transport driver. By moving to the second position along the protective cover transport guide 242, it escapes from the transport path of the new cartridge 11-1. When the protective cover 241 is moved to the second position, the new cartridge 11-1 is moved to the horizontal transfer guide 227 by driving the horizontal transfer driver to couple the new cartridge 11-1 to the filter head 13. ) to the fixed position (P3, P4) which is the position of the filter head (13).

새 카트리지(11-1)가 파지부재(224)에 파지된 상태에서 보호커버 이송 구동부를 구동하여 상기 제2위치에 있던 보호커버(241)를 제1위치로 이동시키면, 상기 보호커버(241)의 개방된 측면을 통해 새 카트리지(11-1)가 보호커버(241)의 내부에 위치하게 된다. When the new cartridge 11-1 is gripped by the holding member 224 and the protective cover transport driver is driven to move the protective cover 241 from the second position to the first position, the protective cover 241 Through the open side of the new cartridge (11-1) is located inside the protective cover (241).

도 10을 참조하면, 상부덮개(226,236)와 상판(225a,235a)으로 이루어진 차단커버가 나타나 있다.Referring to FIG. 10, a blocking cover composed of upper covers 226 and 236 and upper plates 225a and 235a is shown.

상기 상부덮개(226,236)는 플레이트 형상의 상면과, 상기 상면의 가장자리를 따라 하향 연장된 측면으로 이루어져, 저면이 개방되고 상면이 막힌 형상으로 형성되어 있다. 상기 상판(225a,235a)은 상기 상부덮개(226,236)의 개방된 저면을 덮도록 구비된다. The upper covers 226 and 236 are formed of a plate-shaped upper surface and a side surface extending downward along an edge of the upper surface, so that the lower surface is open and the upper surface is closed. The upper plates 225a and 235a are provided to cover the open lower surfaces of the upper covers 226 and 236 .

상기 상부덮개(226,236)와 상판(225a,235a)이 결합되면, 상부덮개(226,236)의 저면과 상판(225a,235a)의 상면 사이가 이격되어 내부공간(226a,236a)이 형성된다. When the upper covers 226 and 236 and the upper plates 225a and 235a are coupled, the lower surfaces of the upper covers 226 and 236 and the upper surfaces of the upper plates 225a and 235a are spaced apart to form inner spaces 226a and 236a.

상기 차단커버의 내부공간(226a,236a)에는 상기 새 카트리지(11-1) 또는 폐 카트리지(11-2)를 회전시키기 위한 구동부품의 적어도 일부가 구비될 수 있다. At least a part of a driving part for rotating the new cartridge 11-1 or the waste cartridge 11-2 may be provided in the inner spaces 226a and 236a of the blocking cover.

일례로, 상기 내부공간(226a,236a)에는 회전구동부(221,231)에 연결된 풀리, 회전전달축(223,233)에 연결된 풀리, 동력전달부재(222,232)가 구비될 수 있다. For example, the inner spaces 226a and 236a may include pulleys connected to the rotary drive units 221 and 231, pulleys connected to the rotation transmission shafts 223 and 233, and power transmission members 222 and 232.

상기 내부공간(226a,236a)에는 케미컬 필터 교체장치(1)가 설치된 공간에 존재하는 흄(Fume)이 침투할 수 있다. 상기 흄(Fume)이 내부공간(226a,236a)에 침투하면, 내부공간(226a,236a)에 구비된 동력전달을 위한 부품에 영향을 미쳐 부품의 내구성을 저하시킬 수 있다. 이러한 문제점을 방지하기 위해 상기 내부공간(226a,236a)에 기체공급부(미도시)로부터 기체를 공급하도록 구성할 수 있다. Fume present in the space where the chemical filter replacement device 1 is installed may penetrate into the inner spaces 226a and 236a. When the fume penetrates into the inner spaces 226a and 236a, it affects parts for power transmission provided in the inner spaces 226a and 236a, thereby reducing durability of the parts. In order to prevent this problem, gas may be supplied from a gas supply unit (not shown) to the inner spaces 226a and 236a.

상기 내부공간(226a,236a)에 기체를 공급하여 내부공간(226a,236a)을 양압 분위기로 유지함으로써 흄(Fume)이 내부공간(226a,236a)에 침투하는 것을 방지할 수 있다.By supplying gas to the inner spaces 226a and 236a to maintain the inner spaces 226a and 236a in a positive pressure atmosphere, it is possible to prevent fume from penetrating into the inner spaces 226a and 236a.

본 실시예에서는 기체를 공급하여 양압을 유지하는 구성이 카트리지를 회전시키기 위한 구동부품에만 적용된 것으로 예시하였으나, 이에 한정되지 않고 다른 구동부를 구성하는 부품에도 기체를 공급하여 양압 분위기를 형성하도록 구성할 수 있다.In the present embodiment, the configuration for maintaining positive pressure by supplying gas is illustrated as being applied only to the driving part for rotating the cartridge, but it is not limited thereto and may be configured to form a positive pressure atmosphere by supplying gas to parts constituting other driving parts. have.

일례로, 이송레일(210)과 이송레일 결합부재(212a)의 연결부 주위를 차단커버로 둘러싸도록 구성하거나, 이송레일(210) 전체 주위를 차단커버로 둘러싸도록 구성하고, 상기 차단커버의 내부공간에 기체공급부에서 기체를 공급하여 이송레일(210)을 따라 이송되도록 하는 동력전달부품을 흄(Fume)으로부터 보호할 수 있다.For example, it is configured to surround the connection portion of the transfer rail 210 and the transfer rail coupling member 212a with a blocking cover, or to surround the entire circumference of the transfer rail 210 with a blocking cover, and the inner space of the blocking cover It is possible to protect power transmission components that supply gas from the gas supply unit to be transported along the transfer rail 210 from fumes.

또한, 수직이송 구동부와 수직이송 가이드(228,238) 주위를 차단커버로 둘러싸도록 구성하고, 차단커버의 내부공간에 기체공급부에서 기체를 공급하여 수직이송을 위한 동력전달부품을 흄(Fume)으로부터 보호할 수 있다.In addition, the vertical transfer drive unit and the vertical transfer guides 228 and 238 are configured to be surrounded by a blocking cover, and gas is supplied from the gas supply unit to the inner space of the blocking cover to protect power transmission components for vertical transfer from fume. can

또한, 수평이송 구동부와 수평이송 가이드(227,237) 주위를 차단커버로 둘러싸도록 구성하고, 차단커버의 내부공간에 기체공급부에서 기체를 공급하여 수평이송을 위한 동력전달부품을 흄(Fume)으로부터 보호할 수 있다.In addition, the horizontal transfer drive unit and the horizontal transfer guides 227 and 237 are configured to be surrounded by a blocking cover, and gas is supplied from the gas supply unit to the inner space of the blocking cover to protect power transmission components for horizontal transfer from fume. can

상기와 같은 구성으로 이루어진 케미컬 필터 교체장치(1)에서의 카트리지 교체 과정에 대해 도 4를 참조하여 설명한다.A process of replacing a cartridge in the chemical filter replacement device 1 configured as described above will be described with reference to FIG. 4 .

필터조립체(10)의 폐 카트리지(11-2)를 새 카트리지(11-1)로 교체하는 과정은, 1) 카트리지 이송부(200)가 초기위치(S1)에서 카트리지 보관부(100)의 새 카트리지(11-1)를 파지하는 제1과정, 2) 카트리지 보관부(100)의 새 카트리지(11-1)를 필터 고정부(300)로 이송하는 제2과정, 3) 필터 고정부(300)에 고정되어 있던 폐 카트리지(11-2)를 필터조립체(10)로부터 분리하고 새 카트리지(11-1)를 필터조립체(10)에 결합하는 제3과정, 4) 폐 카트리지(11-2)를 카트리지 회수부(400)로 이송하여 회수하고, 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)가 초기위치로 복귀하는 제4과정으로 이루어질 수 있다.The process of replacing the waste cartridge 11-2 of the filter assembly 10 with a new cartridge 11-1 is: 1) the cartridge transfer unit 200 is in the initial position (S1) of the cartridge storage unit 100; 1st process of holding (11-1), 2) 2nd process of transferring new cartridge 11-1 from cartridge storage unit 100 to filter fixing unit 300, 3) filter fixing unit 300 The third process of separating the waste cartridge 11-2 fixed to the filter assembly 10 and combining the new cartridge 11-1 with the filter assembly 10, 4) the waste cartridge 11-2 The cartridge may be transported to the recovery unit 400 and collected, and a fourth process may be performed in which the first gripping unit 220 and the second gripping unit 230 return to their initial positions.

상기 제1과정에 대해 상세히 설명한다.The first process will be described in detail.

복수의 필터 고정부(300)에 필터조립체(10)가 각각 고정된 상태에서, 복수의 필터조립체(10) 중 프리필터를 통과한 케미컬이 케미컬 저장탱크로 공급되고, 파이널 필터를 통과한 케미컬이 제조공정으로 공급된다. 이 경우 카트리지 이송부(200)의 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)는 카트리지 보관부(100)에 인접한 초기위치(S1)에 위치하고 있다.In a state in which the filter assemblies 10 are respectively fixed to the plurality of filter fixing parts 300, the chemicals that have passed through the pre-filter among the plurality of filter assemblies 10 are supplied to the chemical storage tank, and the chemicals that have passed through the final filter supplied to the manufacturing process. In this case, the first gripping part 220 and the second gripping part 230 of the cartridge conveying part 200 are located at the initial position S1 adjacent to the cartridge storing part 100 .

이 상태에서 상기 복수의 필터조립체(10) 중 어느 하나의 필터조립체(10)의 카트리지 교체가 필요하다는 신호가 제어부에 수신되면, 제어부는 카트리지 보관부(100)에 보관되어 있던 복수의 새 카트리지(11-1; 11a,11b) 중 어느 하나를 제1 파지부(220)에서 파지하도록 제어한다.In this state, when a signal that the cartridge replacement of any one filter assembly 10 among the plurality of filter assemblies 10 is required is received by the control unit, the control unit receives a plurality of new cartridges stored in the cartridge storage unit 100 ( 11-1; Control any one of 11a and 11b) to be gripped by the first gripper 220.

즉, 카트리지 교체가 필요한 필터조립체(10)가 프리 필터인 경우에는 제어부는 제1 파지부(220)가 프리 필터용 카트리지(11a)가 위치한 파지위치(P1)에 대응되는 위치가 되도록 하고, 수평이송 구동부를 제어하여 파지부재(224)가 수평이송 가이드(227)를 따라 이송되어 파지위치(P1)에 위치하면, 수직이송 구동부를 제어하여 파지부재(224)가 하강하여 프리 필터용 카트리지(11a)를 파지한다. That is, when the filter assembly 10 requiring cartridge replacement is a pre-filter, the controller adjusts the first gripping part 220 to a position corresponding to the gripping position P1 where the pre-filter cartridge 11a is located, and horizontally When the gripping member 224 is transported along the horizontal transfer guide 227 by controlling the transfer drive unit and positioned at the gripping position P1, the control of the vertical transfer drive unit controls the gripping member 224 to lower the pre-filter cartridge 11a. ) to hold.

카트리지 교체가 필요한 필터조립체(10)가 파이널 필터인 경우에는 제어부는 제1 파지부(220)가 파이널 필터용 카트리지(11b)가 위치한 파지위치(P2)에 대응되는 위치가 되도록 하고, 수평이송 구동부를 제어하여 파지부재(224)가 수평이송 가이드(227)를 따라 이송되어 파지위치(P2)에 위치하면, 수직이송 구동부를 제어하여 파지부재(224)가 하강하여 파이널 필터용 카트리지(11b)를 파지한다. When the filter assembly 10 requiring cartridge replacement is a final filter, the control unit sets the first gripping unit 220 to a position corresponding to the gripping position P2 where the final filter cartridge 11b is located, and the horizontal transfer drive unit When the gripping member 224 is transported along the horizontal transport guide 227 and positioned at the gripping position P2 by controlling the vertical transport driving unit, the holding member 224 descends to remove the final filter cartridge 11b. to grip

상기 파지부재(224)가 새 카트리지(11a,11b)를 파지하면, 수직이송 구동부와 수평이송 구동부를 순차 역으로 제어하여 새 카트리지(11-1; 11a,11b)는 제1라인(L1) 상에 위치하여 이송레일(210)을 따라 이송될 수 있는 상태가 된다. When the gripping member 224 grips the new cartridges 11a and 11b, the vertical transfer drive unit and the horizontal transfer drive unit are sequentially and reversely controlled so that the new cartridges 11-1 (11a and 11b) are placed on the first line L1. It is located in a state in which it can be transferred along the transfer rail 210.

한편, 복수의 필터 고정부(300)의 필터조립체(10) 중에서 교체하고자 하는 폐 카트리지(11-2)가 있는 필터조립체(10)에는 상기 제1과정이 이루어지는 동안 필터조립체(10) 내부의 케미컬을 외부로 드레인하고, 필터조립체(10) 내부를 세척, 건조하는 과정이 진행된다.On the other hand, in the filter assembly 10 having the waste cartridge 11-2 to be replaced among the filter assemblies 10 of the plurality of filter fixing parts 300, the chemical inside the filter assembly 10 is removed during the first process. A process of draining to the outside and washing and drying the inside of the filter assembly 10 proceeds.

다음으로 상기 제2과정에 대해 상세히 설명한다.Next, the second process will be described in detail.

제어부는 이송용 구동부(211)를 제어하여 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)를 일체로 이송레일(210)을 따라 직선 이송하여, 교체가 필요한 카트리지가 있는 필터 고정부(300)의 대응되는 위치까지 이송한다. 이 위치를 교체위치(S2)라 한다.The control unit controls the transfer driving unit 211 to linearly transfer the first gripping unit 220 and the second gripping unit 230 integrally along the transfer rail 210, and the filter fixing unit with the cartridge requiring replacement ( 300) to the corresponding position. This position is referred to as the replacement position S2.

이 경우 제어부는 필터하우징 탈착모듈(500)의 승강구동부(520)를 제어하여 교체하고자 하는 폐 카트리지(11-2)가 있는 필터조립체(10)의 필터하우징(12)을 상승시켜 필터하우징(12)을 필터헤드(13)로부터 분리시킨다.In this case, the control unit controls the lifting and lowering driving unit 520 of the filter housing detachment module 500 to lift the filter housing 12 of the filter assembly 10 having the waste cartridge 11-2 to be replaced to move the filter housing 12 ) is separated from the filter head (13).

다음으로 상기 제3과정에 대해 상세히 설명한다.Next, the third process will be described in detail.

상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)가 교체위치(S2)가 되면, 제어부는 수평이송 구동부를 제어하여 제2 파지부(230)의 파지부재(234)를 수평이송 가이드(237)를 따라 이송시켜 교체 대상의 폐 카트리지(11-2)가 있는 고정위치(P4)까지 이송시킨다. 그 후, 제어부는 수직이송 구동부를 제어하여 파지부재(234)를 하강시켜 필터조립체(10)의 폐 카트리지(11-2)를 파지하고 다시 상승시킴으로써 필터헤드(13)로부터 분리시킨다. When the first gripping part 220 and the second gripping part 230 reach the replacement position (S2), the control unit controls the horizontal transfer drive unit to move the gripping member 234 of the second gripping unit 230 to the horizontal transfer guide. It is transported along 237 to a fixed position (P4) where the waste cartridge 11-2 to be replaced is located. Thereafter, the control unit controls the vertical transport driving unit to lower the gripping member 234 to grip the waste cartridge 11-2 of the filter assembly 10, and to separate the waste cartridge 11-2 from the filter head 13 by raising it again.

상기 폐 카트리지(11-2)를 상승시켜 필터헤드(13)로부터 분리시키는 경우에는 제어부는 회전구동부(231)를 제어하여 폐 카트리지(11-2)를 회전시키면서 분리하여 오링(15)이 폐 카트리지(11-2)로부터 밀리거나 빠지는 것을 방지할 수 있다.When the waste cartridge 11-2 is separated from the filter head 13 by lifting the waste cartridge 11-2, the control unit controls the rotary driving unit 231 to rotate and separate the waste cartridge 11-2 so that the O-ring 15 is removed from the waste cartridge. It can be prevented from being pushed or pulled out of (11-2).

이 경우 새 카트리지(11-1)는 제1 파지부(220)에 의해 파지된 상태에 있는데, 상기 폐 카트리지(11-2)를 필터헤드(13)로부터 분리하는 경우 폐 카트리지(11-2)에 잔존하는 희석된 케미컬 또는 세척수가 새 카트리지(11-1) 측으로 튀더라도 보호커버(241)에 의해 차단되어 오염된 케미컬이 새 카트리지(11-1)에 묻는 것을 방지할 수 있다.In this case, the new cartridge 11-1 is in a state of being gripped by the first gripper 220, and when the waste cartridge 11-2 is separated from the filter head 13, the waste cartridge 11-2 Even if the diluted chemical or washing water remaining in the water splashes toward the new cartridge 11-1, it is blocked by the protective cover 241, preventing the contaminated chemical from adhering to the new cartridge 11-1.

상기 폐 카트리지(11-2)를 상승시켜 필터헤드(13)로부터 분리되면, 제어부는 수평이송 구동부를 제어하여 파지부재(234)에 파지된 폐 카트리지(11-2)를 상기 분리된 폐 카트리지(11-2)가 있던 고정위치(P4)에 대응되는 제1라인(L1) 상의 위치로 이동시킨다.When the waste cartridge 11-2 is raised and separated from the filter head 13, the control unit controls the horizontal transfer drive unit to transfer the waste cartridge 11-2 held by the holding member 234 to the separated waste cartridge ( 11-2) is moved to a position on the first line (L1) corresponding to the fixed position (P4).

그 다음 제어부는 보호커버 이송 구동부를 제어하여 보호커버(241)를 제1위치로부터 제2위치로 이송하여 새 카트리지(11-1)를 필터헤드(13)에 결합되기 위한 고정위치(P3,P4)로 이송시키기 위한 경로로부터 회피시킨다.Then, the control unit controls the protective cover transfer drive unit to transfer the protective cover 241 from the first position to the second position, and the new cartridge 11-1 is coupled to the filter head 13 at fixed positions (P3, P4). ) to be avoided from the path for transport.

그 후 제어부는 수평이송 구동부를 제어하여 파지부재(224)를 수평이송 가이드(227)를 따라 이송하여 새 카트리지(11-1)를 고정위치(P4)가 되도록 한 후, 제어부는 수직이송 구동부를 제어하여 파지부재(224)에 파지된 새 카트리지(11-1)를 하강시켜 필터헤드(13)에 결합시킨다.After that, the control unit controls the horizontal transfer drive unit to transfer the gripping member 224 along the horizontal transfer guide 227 to bring the new cartridge 11-1 to the fixed position P4, and then the control unit controls the vertical transfer drive unit. Controlly lowers the new cartridge 11-1 held by the gripping member 224 and couples it to the filter head 13.

이 경우 제어부는 회전구동부(221)를 제어하여 새 카트리지(11-1)를 회전시키면서 필터헤드(13)에 결합하여 오링(15)이 새 카트리지(11-1)에서 밀리는 것을 방지할 수 있다.In this case, the control unit can prevent the O-ring 15 from being pushed away from the new cartridge 11-1 by controlling the rotary driving unit 221 to rotate the new cartridge 11-1 and engage it with the filter head 13.

상기 새 카트리지(11-1)가 필터헤드(13)에 결합되면, 제어부는 수직이송 구동부와 수평이송 구동부를 순차 역으로 제어하여 파지부재(224)가 제1라인(L1) 상에 위치하도록 하고, 필터하우징 탈착모듈(500)의 승강구동부(520)를 제어하여 필터헤드(13)로부터 분리되어 있던 필터하우징(12)을 하강시켜 필터하우징(12)을 필터헤드(13)에 결합시킨다.When the new cartridge 11-1 is coupled to the filter head 13, the control unit sequentially and reversely controls the vertical transfer drive unit and the horizontal transfer drive unit so that the gripping member 224 is located on the first line L1, The filter housing 12 separated from the filter head 13 is lowered by controlling the lift driver 520 of the filter housing detachment module 500 to couple the filter housing 12 to the filter head 13.

다음으로 상기 제4과정에 대해 상세히 설명한다.Next, the fourth process will be described in detail.

제어부는 이송용 구동부(211)를 제어하여 제1 파지부(220)와 폐 카트리지(11-2)가 파지된 제2 파지부(230)를 일체로 이송레일(210)을 따라 카트리지 회수부(400)가 위치한 방향으로 직선 이송시켜, 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)를 회수위치(S3)에 위치시킨다.The control unit controls the transfer driving unit 211 to unite the first gripping unit 220 and the second gripping unit 230 holding the waste cartridge 11-2 together along the transfer rail 210 along the cartridge recovery unit ( 400) is positioned, the first gripping part 220 and the second gripping part 230 are positioned at the recovery position S3.

제어부는 제2 파지부(230)에 파지된 폐 카트리지(11-2)가 카트리지 회수부(400)에 회수되도록 한 다음, 이송용 구동부(211)를 제어하여 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)가 상기 교체위치(S2)를 거쳐 상기 초기위치(S1)로 복귀하도록 함으로써, 카트리지 교체 과정이 완료된다.The control unit allows the waste cartridge 11-2 held by the second gripping unit 230 to be recovered in the cartridge collecting unit 400, and then controls the transfer driving unit 211 to remove the waste cartridge 11-2 from the first gripping unit 220. 2 The cartridge replacement process is completed by allowing the gripper 230 to return to the initial position S1 via the replacement position S2.

상기와 같은 구성에 의하면, 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)가 이송레일(210)을 따라 일체로 이송되도록 함으로써 필터 고정부(300)에서 카트리지 교체 과정이 한 번에 이루어질 수 있다. 즉, 제2 파지부(230)에서 폐 카트리지(11-2)를 파지한 후, 곧바로 제1 파지부(230)에 파지되어 있던 새 카트리지(11-1)를 필터헤드(13)에 결합할 수 있어 카트리지 교체에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.According to the configuration as described above, the cartridge replacement process in the filter fixing unit 300 can be performed at once by allowing the first gripping unit 220 and the second gripping unit 230 to be integrally transported along the transfer rail 210. can That is, after the waste cartridge 11-2 is gripped by the second gripping unit 230, the new cartridge 11-1 held by the first gripping unit 230 is immediately coupled to the filter head 13. This can reduce the time required for cartridge replacement.

또한, 카트리지 보관부(100)와 필터 고정부(300) 및 카트리지 회수부(400)가 대략 일직선상에 이웃하도록 구비되어 있고, 카트리지 이송부(200)는 제1라인(L1)의 일직선 상에 초기위치(S1)와 교체위치(S2) 및 회수위치(S3)가 구비됨으로써, 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)를 일체로 이송레일(210)을 따른 직선 이송만으로 카트리지 교체가 가능하므로, 케미컬 필터 교체장치(1)의 구조를 간단하게 할 수 있고, 카트리지 교체에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.In addition, the cartridge storage unit 100, the filter fixing unit 300, and the cartridge recovery unit 400 are provided to be adjacent to each other on a substantially straight line, and the cartridge transfer unit 200 is initially on a straight line of the first line L1. Since the position (S1), replacement position (S2), and recovery position (S3) are provided, the first gripping part 220 and the second gripping part 230 are integrally replaced by only linear transport along the transfer rail 210. Since it is possible, the structure of the chemical filter replacement device 1 can be simplified, and the time required for cartridge replacement can be reduced.

또한, 보호커버(241)에 의해 새 카트리지(11-1)가 케미컬에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있으며, 카트리지(11-1,11-2)를 필터헤드(13)에 결합하거나 필터헤드(13)로부터 분리하는 경우 카트리지(11-1,11-2)를 회전시킴으로써 오링(15)과의 마찰을 최소화하여 오링(15)이 밀리거나 빠지는 것을 방지할 수 있다.In addition, the new cartridge 11-1 can be prevented from being contaminated by chemicals by the protective cover 241, and the cartridges 11-1 and 11-2 can be combined with the filter head 13 or the filter head ( 13), by rotating the cartridges 11-1 and 11-2, friction with the O-ring 15 is minimized, thereby preventing the O-ring 15 from being pushed or pulled out.

상기한 실시예의 케미컬 필터 교체장치(1)는, 카트리지 이송부(200)가 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)를 일체로 이송하도록 구비된 것이다. 다른 실시예로서, 상기 카트리지 이송부(200)는 상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)를 각각 독립적으로 이송하도록 구비될 수 있다. In the chemical filter replacement device 1 of the above-described embodiment, the cartridge transfer unit 200 is provided to integrally transfer the first gripping unit 220 and the second gripping unit 230 . As another embodiment, the cartridge transfer unit 200 may be provided to independently transfer the first gripping unit 220 and the second gripping unit 230 respectively.

즉, 상기 제1 파지부(220)를 이송하는 제1 카트리지 이송부와, 상기 제2 파지부(230)를 이송하는 제2 카트리지 이송부가 각각 별도로 구비될 수 있다. That is, a first cartridge transfer unit for transferring the first gripping unit 220 and a second cartridge transfer unit for transferring the second gripping unit 230 may be separately provided.

이 경우 상기 카트리지 이송부는 2개의 이송레일과 2개의 이송용 구동부를 구비하는 것으로 구성될 수 있다. 즉, 상기 제1 카트리지 이송부는 제1 이송레일과 제1 이송용 구동부를 포함하고, 상기 제2 카트리지 이송부는 제2 이송레일과 제2 이송용 구동부를 포함할 수 있다. 상기 제1 이송레일과 제2 이송레일은 수평방향으로 이격되어 나란한 직선 형상으로 이루어지거나, 수직방향으로 이격되어 나란한 직선 형상으로 이루어질 수 있다.In this case, the cartridge transport unit may be configured to include two transport rails and two transport driving units. That is, the first cartridge transfer unit may include a first transfer rail and a first transfer driver, and the second cartridge transfer unit may include a second transfer rail and a second transfer driver. The first transfer rail and the second transfer rail may be spaced apart in a horizontal direction and formed in a parallel straight line shape, or spaced apart in a vertical direction and formed in a parallel line shape.

또한, 상기 카트리지 이송부는 하나의 이송레일에 2개의 이송용 구동부를 구비하는 것으로 구성될 수 있다. 일례로, 하나의 이송레일은, 상기 카트리지 보관부(100)와 필터고정부(300) 사이에서 새 카트리지(11-1)를 이송하는 이송레일의 일측부와, 상기 필터고정부(300)와 카트리지 회수부(400) 사이에서 폐 카트리지(11-2)를 이송하는 이송레일의 타측부로 이루어질 수 있다.In addition, the cartridge transport unit may be configured to include two transport driving units on one transport rail. For example, one transfer rail includes one side of the transfer rail for transporting a new cartridge 11-1 between the cartridge storage unit 100 and the filter fixing unit 300, and the filter fixing unit 300 and It may be formed as the other side of a transfer rail that transports the waste cartridges 11-2 between the cartridge collection unit 400.

이 경우 상기 보호커버(241)와 보호커버 이송 가이드(242) 및 보호커버 이송 구동부는 상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230) 중 어느 하나와 함께 상기 카트리지 이송부에 의해 이송되도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 보호커버(241)와 보호커버 이송 가이드(242) 및 보호커버 이송 구동부는 상기 제1 카트리지 이송부에 구비되거나, 상기 제2 카트리지 이송부에 구비되어, 새 카트리지(11-1)와 폐 카트리지(11-2) 사이를 차단하도록 구비될 수 있다.In this case, the protective cover 241, the protective cover transport guide 242, and the protective cover transport driver are transported by the cartridge transport unit together with any one of the first gripper 220 and the second gripper 230. may be provided. That is, the protective cover 241, the protective cover transport guide 242, and the protective cover transport driving unit are provided in the first cartridge transport unit or the second cartridge transport unit, so that the new cartridge 11-1 and the waste cartridge It may be provided to block between (11-2).

또한, 상기 보호커버(241)와 보호커버 이송 가이드(242) 및 보호커버 이송 구동부는 상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)에 각각 구비되어, 상기 카트리지 이송부에 의해 상기 제1 파지부(220) 또는 제2 파지부(230)와 함께 이송되도록 구비될 수 있다. In addition, the protective cover 241, the protective cover transport guide 242, and the protective cover transport driving unit are provided on the first gripping unit 220 and the second gripping unit 230, respectively, and the cartridge transfer unit It may be provided to be transported together with the first gripping part 220 or the second gripping part 230 .

이와 같이 상기 보호커버(241)가 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)에 각각 구비되면, 상기 제1 파지부(220)에 구비된 보호커버(241)와 상기 제2 파지부(230)에 구비된 보호커버(241)의 서로 마주보는 측면에 의해 새 카트리지(11-1)와 상기 제2 파지부(230)의 폐 카트리지(11-2) 사이가 차단될 수 있다. In this way, when the protective cover 241 is provided on the first gripping part 220 and the second gripping part 230, respectively, the protective cover 241 provided on the first gripping part 220 and the second gripping part 220 are provided. A gap between the new cartridge 11-1 and the waste cartridge 11-2 of the second gripper 230 can be blocked by the facing sides of the protective cover 241 provided on the branch 230.

상기 제1 파지부(220)에 구비된 보호커버(241)는 새 카트리지(11-1)의 오염을 방지할 수 있고, 상기 제2 파지부(230)에 구비된 보호커버(241)는 폐 카트리지(11-2)로부터 잔존하는 희석된 케미컬 또는 희석수가 비산되거나 낙수되어 케미컬 필터 교체장치(1) 내부를 오염시키는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2 파지부(230)에 구비된 보호커버(241)는 폐 카트리지(11-2)의 하부와 바닥 사이를 차단하는 바닥부가 구비되어, 상기 폐 카트리지(11-2)에 잔존하는 희석된 케미컬 또는 희석수가 상기 바닥부에 낙수되도록 함으로써 케미컬 필터 교체장치(1) 내부가 오염되는 것을 방지할 수 있다.The protective cover 241 provided on the first gripping part 220 can prevent the new cartridge 11-1 from being contaminated, and the protective cover 241 provided on the second gripping part 230 can prevent contamination of the new cartridge 11-1. Contamination of the inside of the chemical filter replacement device 1 due to scattering or dripping of the diluted chemical or diluted water remaining from the cartridge 11-2 can be prevented. The protective cover 241 provided on the second gripping part 230 is provided with a bottom portion that blocks the space between the bottom and the bottom of the waste cartridge 11-2, so that the diluted liquid remaining in the waste cartridge 11-2 Contamination of the inside of the chemical filter replacement device 1 can be prevented by allowing the chemical or dilution water to fall on the bottom portion.

상기와 같이 카트리지 이송부(200)가 상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)를 각각 독립적으로 이송하도록 구비된 경우, 제어부는, 상기 제1 카트리지 이송부가 초기위치에서 상기 카트리지 보관부(100)의 새 카트리지(11-1)를 파지하고, 상기 제2 카트리지 이송부가 상기 필터 고정부(300)에 고정되어 있던 폐 카트리지(11-2)를 필터헤드(13)로부터 분리한 후 상기 분리된 폐 카트리지(11-2)를 상기 카트리지 회수부(400)가 위치한 회수위치로 이송하여 회수하고, 상기 제1 카트리지 이송부가 상기 카트리지 보관부(100)의 새 카트리지(11-1)를 상기 필터 고정부(300)가 위치한 교체위치로 이송한 후 상기 이송된 새 카트리지(11-1)를 상기 필터헤드(13)에 결합하고, 상기 제1 파지부(220)와 제2 파지부(230)를 상기 초기위치로 복귀시키도록 제어할 수 있다.As described above, when the cartridge transfer unit 200 is provided to independently transfer the first gripping unit 220 and the second gripping unit 230, the control unit stores the cartridge in the initial position of the first cartridge transfer unit. After gripping the new cartridge 11-1 of the unit 100 and separating the waste cartridge 11-2 fixed to the filter fixing unit 300 from the filter head 13 by the second cartridge transfer unit, The separated waste cartridge 11-2 is transported to the recovery position where the cartridge recovery unit 400 is located and collected, and the first cartridge transport unit removes the new cartridge 11-1 from the cartridge storage unit 100. After transferring to the replacement position where the filter fixing part 300 is located, the transferred new cartridge 11-1 is coupled to the filter head 13, and the first gripping part 220 and the second gripping part ( 230) can be controlled to return to the initial position.

전술한 바와 같이 본 발명에 대하여 바람직한 실시예를 들어 상세히 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명에 속한다.As described above, the present invention has been described in detail with preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. It is possible to carry out by doing, and this also belongs to the present invention.

1 : 케미컬 필터 교체장치 2 : 외부하우징
10 : 필터조립체 11 : 카트리지
11a : 프리 필터용 카트리지 11b : 파이널 필터용 카트리지
11-1 : 새 카트리지 11-2 : 폐 카트리지
12 : 필터하우징 13 : 필터헤드
13a : 카트리지 삽입부 14, 15 : 오링
20 : 제1클램프 30 : 제2클램프
100 : 카트리지 보관부 200 : 카트리지 이송부
210 : 이송레일 211 : 이송용 구동부
212a : 제1 이송레일 결합부재 212b : 제2 이송레일 결합부재
220 : 제1 파지부 230 : 제2 파지부
221,231 : 회전구동부 222,232 : 동력전달부재
223,233 : 회전전달축 224,234 : 파지부재
225a,235a : 상판 225b,235b : 측부커버
226,236 : 상부덮개 226a,236a : 내부공간
227,237 : 수평이송 가이드 228,238 : 수직이송 가이드
229,239 : 연결부재 241 : 보호커버
242 : 보호커버 이송 가이드 243 : 보호커버 고정부재
300 : 필터 고정부 400 : 카트리지 회수부
500 : 필터하우징 탈착모듈 510 : 그립부
520 : 승강구동부 L1 : 제1라인
L2 : 제2라인 P1,P2 : 파지위치
P3,P4 : 고정위치 S1 : 초기위치
S2 : 교체위치 S3 : 회수위치1: Chemical filter replacement device 2: External housing
10: filter assembly 11: cartridge
11a: cartridge for pre-filter 11b: cartridge for final filter
11-1: new cartridge 11-2: waste cartridge
12: filter housing 13: filter head
13a: Cartridge insertion part 14, 15: O-ring
20: first clamp 30: second clamp
100: cartridge storage unit 200: cartridge transfer unit
210: transfer rail 211: drive unit for transfer
212a: first transfer rail coupling member 212b: second transfer rail coupling member
220: first gripping unit 230: second gripping unit
221,231: rotary drive unit 222,232: power transmission member
223,233: rotation transmission shaft 224,234: holding member
225a, 235a: top plate 225b, 235b: side cover
226,236: upper cover 226a, 236a: inner space
227,237: horizontal transfer guide 228,238: vertical transfer guide
229,239: connecting member 241: protective cover
242: protective cover transfer guide 243: protective cover fixing member
300: filter fixing unit 400: cartridge recovery unit
500: filter housing detachment module 510: grip part
520: lift drive unit L1: first line
L2: 2nd line P1,P2: gripping position
P3,P4: fixed position S1: initial position
S2: replacement position S3: recovery position

Claims

A cartridge transfer unit including a first gripping unit for holding a new cartridge and seated in the filter fixing unit and a second gripping unit for separating the waste cartridge from the filter fixing unit;
The cartridge transfer unit is provided to transport a first gripping unit holding the new cartridge and a second gripping unit holding the waste cartridge,
The first gripping part includes a rotation driving part for rotating the new cartridge when it is coupled to the filter head seated in the filter fixing part;
A blocking cover surrounding at least a part of the parts for transmitting the driving force of the rotary driving unit is provided,
The rotary driving unit and the blocking cover are provided in the cartridge transfer unit and transferred together with the new cartridge. Chemical filter replacement device

A cartridge transfer unit including a first gripping unit for holding a new cartridge and seated in the filter fixing unit and a second gripping unit for separating the waste cartridge from the filter fixing unit;
The cartridge transfer unit is provided to transport a first gripping unit holding the new cartridge and a second gripping unit holding the waste cartridge,
The second gripping unit includes a rotational driving unit for rotating the waste cartridge when separating it from the filter head of the filter fixing unit,
A blocking cover surrounding at least a part of the parts for transmitting the driving force of the rotary driving unit is provided,
The rotary drive unit and the blocking cover are provided in the cartridge transfer unit and transported together with the waste cartridge. Chemical filter replacement device

According to claim 1 or 2,
a cartridge storage unit for storing the new cartridge is provided;
the first gripping unit includes a horizontal transport guide for linearly transporting the new cartridge in a direction in which the filter fixing unit is located, which is a horizontal direction perpendicular to a transporting direction in which the new cartridge is linearly transported between the cartridge storage unit and the filter fixing unit;
The chemical filter replacement device, characterized in that the new cartridge is linearly transported along the horizontal transport guide

According to claim 3,
The chemical filter replacement device characterized in that the rotary drive unit is linearly transported together with the new cartridge along the horizontal transport guide.

According to claim 3,
The first gripping part,
A gripping member holding the new cartridge, a rotation transmission shaft connected to the gripping member and rotating by driving the rotation driving unit, and a power transmission member for transmitting rotational force of the rotation driving unit to the rotation transmission shaft. chemical filter replacement device

According to claim 1 or 2,
The second gripping part,
It further includes a horizontal transport guide for linearly transporting the waste cartridge in a direction in which the filter fixing unit is located, which is a horizontal direction perpendicular to a transport direction in which the waste cartridge is linearly transported between the filter fixing unit and the cartridge recovery unit;
The waste cartridge is a chemical filter replacement device, characterized in that linearly transported along the horizontal transport guide

According to claim 6,
The rotary drive unit is a chemical filter replacement device, characterized in that linearly transported together with the waste cartridge along the horizontal transport guide

According to claim 6,
The second gripping part,
A gripping member for gripping the waste cartridge, a rotation transmission shaft connected to the gripping member and rotating by driving the rotation driving unit, and a power transmission member for transmitting the rotational force of the rotation driving unit to the rotation transmission shaft. Chemical filter replacement device comprising

According to claim 3,
An upper plate coupled to the horizontal transfer guide and transported along the horizontal transfer guide is provided;
At least a portion of parts for transmitting the driving force of the rotary driving unit is provided on the top of the top plate;
Chemical filter replacement device characterized in that an upper cover is provided to cover the upper part of the part provided on the upper part of the upper plate

A cartridge transfer unit including a first gripping unit for holding a new cartridge and seated in the filter fixing unit and a second gripping unit for separating the waste cartridge from the filter fixing unit,
The cartridge transfer unit is provided to transport a first gripping unit holding the new cartridge and a second gripping unit holding the waste cartridge,
The cartridge transfer unit is provided with a blocking cover that surrounds at least a portion of a driving part for transferring the new cartridge or the waste cartridge,
The blocking cover is provided in the cartridge transport unit and transported together with the new cartridge or the waste cartridge. Chemical filter replacement device

The method of any one of claims 1, 2, and 10,
A chemical filter replacement device characterized in that a gas supply unit for supplying gas to the inner space of the blocking cover is provided

According to claim 6,
An upper plate coupled to the horizontal transfer guide and transported along the horizontal transfer guide is provided;
At least a portion of parts for transmitting the driving force of the rotary driving unit is provided on the top of the top plate;
Chemical filter replacement device characterized in that an upper cover is provided to cover the upper part of the part provided on the upper part of the upper plate