KR102467214B1 - Organic light emitting diode display device and manufacturing method for the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기발광층의 두께 균일성(uniformity)을 높여 표시품질을 향상시킬 수 있는 유기발광다이오드표시장치 및 이의 제조방법을 제공하기 위하여, 화소영역을 포함하는 기판과, 기판 상의 화소영역에 배치되는 제1전극과, 제1전극 가장자리를 덮으며 기판 상의 화소영역 경계부에 배치되는 뱅크와, 제1전극 상부 및 뱅크 측면에 배치되는 전이금속산화물패턴을 포함하고, 뱅크 상부면은 소수성을 갖는 유기발광다이오드표시장치 및 이의 제조방법을 제공한다.The present invention provides an organic light emitting diode display device capable of improving display quality by increasing the thickness uniformity of an organic light emitting layer and a method for manufacturing the same, a substrate including a pixel area, and a substrate disposed in the pixel area on the substrate An organic light emitting device comprising a first electrode, a bank disposed at a boundary of a pixel region on a substrate and covering an edge of the first electrode, and a transition metal oxide pattern disposed above the first electrode and on a side surface of the bank, wherein the upper surface of the bank has hydrophobicity. A diode display device and a manufacturing method thereof are provided.

Description

유기발광다이오드표시장치 및 이의 제조방법{Organic light emitting diode display device and manufacturing method for the same}Organic light emitting diode display device and manufacturing method for the same {Organic light emitting diode display device and manufacturing method for the same}

본 발명은 유기발광다이오드표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 특히 표시품질을 향상시킬 수 있는 유기발광다이오드표시장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting diode display and a method for manufacturing the same, and more particularly, to an organic light emitting diode display capable of improving display quality and a method for manufacturing the same.

현재, 플라즈마표시장치(plasma display panel : PDP), 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 유기발광다이오드표시장치(Organic light emitting diode display device : OLED)와 같은 평판표시장치가 널리 연구되며 사용되고 있다.Currently, flat panel display devices such as plasma display panel (PDP), liquid crystal display device (LCD), and organic light emitting diode display device (OLED) are widely studied and used. have.

위와 같은 평판표시장치 중에서, 유기발광다이오드표시장치는 자발광소자로서, 액정표시장치에 사용되는 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다.Among the above flat panel display devices, the organic light emitting diode display device is a self-emitting device and can be lightweight and thin because it does not require a backlight used in a liquid crystal display device.

또한, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다.In addition, it has excellent viewing angle and contrast ratio compared to liquid crystal displays, is advantageous in terms of power consumption, can be driven at low DC voltage, has a fast response speed, is resistant to external shocks because the internal components are solid, and has a wide operating temperature range. It has advantages.

특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.In particular, since the manufacturing process is simple, there is an advantage in that production costs can be significantly reduced compared to conventional liquid crystal display devices.

도 1은 종래의 유기발광다이오드표시장치를 도시한 단면도로서 뱅크의 소수성화 과정을 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 뱅크의 소수성화 과정 이후 유기발광다이오드표시장치를 도시한 도면이고, 도 3은 도2의 유기발광다이오드표시장치의 화소영역에 유기발광층이 형성된 모습을 도시한 도면이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting diode display, showing a bank hydrophobization process, and FIG. 2 is a view showing an organic light emitting diode display after the bank hydrophobization process of FIG. 1, FIG. 3 is a view showing how an organic light emitting layer is formed in a pixel region of the organic light emitting diode display of FIG. 2 .

도면에 도시한 바와 같이, 종래의 유기발광다이오드표시장치는 화소영역(P)을 포함하는 기판(11)과, 기판(11) 상의 화소영역(P)에 배치되는 제1전극(5)과, 제1전극(5) 가장자리를 덮으며 제1기판(11) 상의 화소영역(P) 경계부에 배치되는 제1뱅크(7)와, 제1뱅크(7) 가장자리를 노출하며 제1뱅크(7) 상부에 배치되는 제2뱅크(9)를 포함한다.As shown in the figure, a conventional organic light emitting diode display device includes a substrate 11 including a pixel region P, a first electrode 5 disposed in the pixel region P on the substrate 11, The first bank 7 covering the edge of the first electrode 5 and disposed at the boundary of the pixel region P on the first substrate 11, and the first bank 7 exposing the edge of the first bank 7 It includes a second bank 9 disposed on the upper part.

이하 도면을 참조하여 종래의 유기발광다이오드표시장치의 제조방법을 설명하겠다.A manufacturing method of a conventional organic light emitting diode display will be described with reference to the drawings below.

종래의 유기발광다이오드표시장치의 제조방법은 먼저, 기판(11) 상의 화소영역(P)에 제1전극(5)을 형성한다.In the conventional manufacturing method of the organic light emitting diode display device, first, the first electrode 5 is formed in the pixel region P on the substrate 11 .

이 때, 제1전극(5)은 투명도전성물질 예를 들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 등으로 이루어질 수 있다.At this time, the first electrode 5 may be made of a transparent conductive material, such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO).

다음, 기판(11) 및 제1전극(5) 상부에 제1뱅크층(미도시)을 형성한 후, 제1뱅크층(미도시)을 패터닝하여 화소영역(P) 경계부에 제1뱅크(7)를 형성한다. Next, after forming a first bank layer (not shown) on the substrate 11 and the first electrode 5, the first bank layer (not shown) is patterned to form a first bank (not shown) at the boundary of the pixel region (P). 7) form.

이 때, 제1뱅크층(미도시) 및 제1뱅크(7)는 무기물질 예를 들면 SiO2, SiNx 등으로 이루어질 수 있다.At this time, the first bank layer (not shown) and the first bank 7 may be made of an inorganic material, such as SiO2 or SiNx.

다음, 제1전극(5) 및 제1뱅크(7) 상부에 제2뱅크층(미도시)을 형성한다.Next, a second bank layer (not shown) is formed on the first electrode 5 and the first bank 7 .

이 때, 제2뱅크층(미도시)은 유기물질로 이루어질 수 있다. In this case, the second bank layer (not shown) may be made of an organic material.

다음, 제2뱅크층(미도시)을 패터닝하여 제1뱅크(7)의 가장자리를 노출시키며 제1뱅크(7) 상부에 제2뱅크(9)를 형성한다.Next, the second bank layer (not shown) is patterned to expose the edge of the first bank 7 to form the second bank 9 above the first bank 7 .

다음, 제1기판(11) 전면에 불소(F) 가스로 플로즈마 처리 하여, 제2뱅크(9) 전 표면(9a)이 소수성을 갖게 만든다.Next, the entire surface 9a of the second bank 9 is made hydrophobic by subjecting the entire surface of the first substrate 11 to plasma treatment with fluorine (F) gas.

다음, 화소영역(P)의 제1전극(5) 상부에 용액 공정(soluble process)으로 유기발광층(10a~10c)을 적층한다.Next, the organic emission layers 10a to 10c are stacked on the first electrode 5 of the pixel region P through a soluble process.

구체적으로, 각 화소영역(P)의 제1전극(5) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 각각 드롭핑(dropping)한다.Specifically, an organic light emitting material solution (not shown) is dropped on the first electrode 5 of each pixel region P.

이 때, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성이 클수록 유기발광물질용액(미도시)은 화소영역(P) 전체에 골고루 퍼져 유기발광층(10a~10c)의 두께 균일성(uniformity)이 향상될 수 있다.At this time, as the spreadability of the dropped organic light emitting material solution (not shown) increases, the organic light emitting material solution (not shown) spreads evenly throughout the pixel region P, increasing the uniformity of the thickness of the organic light emitting layers 10a to 10c. (uniformity) can be improved.

이러한 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성은 유기발광물질용액(미도시)의 표면장력과, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 화소영역(P)에 배치된 제1전극(5)과 화소영역(P) 경계부에 배치된 제1 및 제2뱅크(7, 9)의 표면에너지에 의해 결정된다.The spreadability of the organic light emitting material solution (not shown) is due to the surface tension of the organic light emitting material solution (not shown) and the pixel region P in contact with the dropped organic light emitting material solution (not shown). It is determined by the surface energy of the first and second banks 7 and 9 disposed at the boundary between the first electrode 5 and the pixel region P.

즉, 유기발광물질용액(미도시)의 표면장력이 작을수록 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성이 좋아지고, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 면의 표면에너지가 클수록 퍼짐성이 좋아진다.That is, the smaller the surface tension of the organic light emitting material solution (not shown), the better the spreadability of the organic light emitting material solution (not shown), and the surface of the surface in contact with the dropped organic light emitting material solution (not shown). The higher the energy, the better the spreadability.

한편, 표면장력이 작은 유기발광물질용액(미도시)은 건조 과정에서 불균일하게 건조되어 유기발광층(10a~10c)의 두께 균일성(uniformity)을 저하시키기 때문에, 일반적으로 표면장력이 비교적 큰 유기발광물질용액(미도시)을 사용한다.On the other hand, since the organic light emitting material solution (not shown) having a low surface tension is unevenly dried during the drying process and reduces the uniformity of the thickness of the organic light emitting layers 10a to 10c, generally organic light emitting materials having a relatively high surface tension A material solution (not shown) is used.

또한, 제1전극(5)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명도전성물질로 이루어지고, 제1뱅크(7)는 무기물질로 이루어지고, 제2뱅크(9)는 유기물질로 이루어지는데 불소(F) 가스를 이용한 플라즈마 처리를 통해 전 표면이 소수성을 띄게 된다.In addition, the first electrode 5 is made of a transparent conductive material having a relatively high work function value to serve as an anode electrode, the first bank 7 is made of an inorganic material, and the second bank 9 is made of an organic material. The entire surface becomes hydrophobic through plasma treatment using fluorine (F) gas.

이 때, 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 면의 표면에너지의 크기를 비교해 보면, 제2뱅크(9)의 전 표면(9a) < 제1전극(5) < 제1뱅크(7) 순이다.At this time, comparing the surface energy of the surface in contact with the organic light emitting material solution (not shown), the entire surface 9a of the second bank 9 < the first electrode 5 < the first bank 7 in order

이에 따라, 제2뱅크(9)의 전 표면(9a)은 가장 작은 표면에너지를 가짐으로써 각 화소영역(P)의 유기발광물질용액(9)이 서로 혼합되는 것을 방지하는 격벽 역할을 한다.Accordingly, the entire surface 9a of the second bank 9 has the smallest surface energy and serves as a barrier to prevent the organic light emitting material solution 9 of each pixel region P from being mixed with each other.

그러나, 제2뱅크(9) 상부면 뿐만 아니라 측면까지 가장 작은 표면에너지를 갖게 되어 제1뱅크(7)는 제2뱅크(9) 측면보다 더 높은 표면에너지를 갖게 되고, 제1뱅크(7)는 제1전극(5) 보다 더 높은 표면에너지를 갖기 때문에, 화소영역(P)의 제1전극(5) 상부에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)은 제2뱅크(9) 측면과 제1전극(5) 사이에 위치한 제1뱅크(7)로 치우치게 된다.However, not only the top surface of the second bank 9 but also the side surfaces have the smallest surface energy, so that the first bank 7 has a higher surface energy than the side surface of the second bank 9, and the first bank 7 has a higher surface energy than the side surface of the second bank 9. Since has a higher surface energy than the first electrode 5, the organic light emitting material solution (not shown) dropped on the first electrode 5 of the pixel region P is the second bank 9 ) is biased toward the first bank 7 located between the side and the first electrode 5.

이에 따라, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 각 화소영역(P)의 제1뱅크(7)에 볼록한 형상의 유기발광층(10a~10c)이 형성되어 유기발광다이오드표시장치의 표시품질이 저하되는 문제점이 발생한다.Accordingly, after the drying process of the organic light emitting material solution (not shown) dropped thereon, convex organic light emitting layers 10a to 10c are formed in the first bank 7 of each pixel region P, thereby emitting organic light emitting materials. A problem arises in that the display quality of the diode display device is degraded.

본 발명은 유기발광층의 두께 균일성(uniformity)을 높여 표시품질을 향상시킬 수 있는 유기발광다이오드표시장치 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an organic light emitting diode display device capable of improving display quality by increasing the thickness uniformity of an organic light emitting layer and a manufacturing method thereof.

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 화소영역을 포함하는 기판과, 기판 상의 화소영역에 배치되는 제1전극과, 제1전극 가장자리를 덮으며 기판 상의 화소영역 경계부에 배치되는 뱅크와, 제1전극 상부 및 뱅크 측면에 배치되는 전이금속산화물패턴을 포함하고, 뱅크 상부면은 소수성을 갖는 유기발광다이오드표시장치를 제공한다.The present invention for achieving the above object is a substrate including a pixel region, a first electrode disposed in the pixel region on the substrate, a bank covering the edge of the first electrode and disposed at the boundary of the pixel region on the substrate , a transition metal oxide pattern disposed on an upper portion of the first electrode and on a side surface of the bank, and an upper surface of the bank has hydrophobicity.

여기서, 전이금속산화물패턴은 WO3, MoO3 또는 VO3 중 어느 하나로 이루어지며, 뱅크는 유기물질로 이루어진다.Here, the transition metal oxide pattern is made of any one of WO 3 , MoO 3 or VO 3 , and the bank is made of an organic material.

또한, 기판 상의 화소영역에 제1전극을 형성하는 단계와, 제1전극 가장자리를 덮으며 기판 상의 화소영역 경계부에 뱅크를 형성하는 단계와, 제1전극 상부 및 뱅크 전면에 전이금속산화물막을 형성하는 단계와, 전이금속산화물막을 패터닝하여 뱅크 상부면을 노출시키는 전이금속산화물패턴을 형성하는 단계와, 뱅크 상부면을 소수성화 하는 단계를 포함하는 유기발광다이오드표시장치의 제조방법을 제공한다.In addition, forming a first electrode in the pixel region on the substrate, forming a bank at the boundary of the pixel region on the substrate while covering the edge of the first electrode, and forming a transition metal oxide film on the first electrode and on the entire surface of the bank A method of manufacturing an organic light emitting diode display comprising the steps of patterning the transition metal oxide film to form a transition metal oxide pattern exposing the upper surface of the bank, and making the upper surface of the bank hydrophobic.

또한, 뱅크를 형성하는 단계 및 전이금속산화물막을 형성하는 단계 사이에 제1전극 상부면을 전처리하는 단계를 더 포함한다.In addition, a step of pre-treating an upper surface of the first electrode between the step of forming the bank and the step of forming the transition metal oxide layer may be further included.

여기서, 뱅크 상부면을 소수성화 하는 단계는 불소(F)를 포함하는 가스를 이용하여 플라즈마 처리하는 단계이다.Here, the step of making the upper surface of the bank hydrophobic is a step of plasma treatment using a gas containing fluorine (F).

본 발명은 화소영역(P)에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액의 건조 과정 후, 뱅크 측면에 볼록한 형상의 유기발광층이 형성되는 것을 방지하여, 두께 균일성이 향상된 유기발광층을 형성함으로써 유기발광다이오드표시장치의 표시품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention prevents the organic light emitting layer having a convex shape from being formed on the bank side after drying the organic light emitting material solution dropped in the pixel region P, thereby forming an organic light emitting layer having improved thickness uniformity, thereby reducing the organic light emitting layer. There is an effect of improving the display quality of the light emitting diode display device.

도 1은 종래의 유기발광다이오드표시장치를 도시한 단면도로서 뱅크의 소수성화 과정을 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 뱅크의 소수성화 과정 이후 유기발광다이오드표시장치를 도시한 도면이다.
도 3은 도2의 유기발광다이오드표시장치의 화소영역에 유기발광층이 형성된 모습을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드표시장치를 도시한 평면도이다.
도 5는 도4의 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절단한 단면도로서 화소영역에 유기발광층이 적층된 모습을 도시한 도면이다.
도 6a 내지 도 6g는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드표시장치의 단계별 제조 공정 단면도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting diode display, and is a diagram illustrating a process of making a bank hydrophobic.
FIG. 2 is a view showing an organic light emitting diode display after hydrophobicity of the bank of FIG. 1 .
FIG. 3 is a view showing an organic light emitting layer formed in a pixel region of the organic light emitting diode display of FIG. 2 .
4 is a plan view illustrating an organic light emitting diode display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line V-V of FIG. 4, showing a state in which an organic light emitting layer is stacked in a pixel region.
6A to 6G are cross-sectional views of step-by-step manufacturing processes of an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드표시장치를 도시한 평면도이다.4 is a plan view illustrating an organic light emitting diode display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도면에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드표시장치는 다수의 화소영역(P)과, 화소영역(P)에 배치된 제1전극(도 5의 105)과, 제1전극(도 5의 105) 상부에 배치되는 전이금속산화물패턴(108)과, 각 화소영역(P)을 둘러싸며 격자형태를 이루며, 그 상부 표면(107a)이 소수성을 갖는 뱅크(도 5의 107)를 포함한다.As shown in the drawing, an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention includes a plurality of pixel areas P, a first electrode ( 105 in FIG. 5 ) disposed in the pixel area P, and a first The transition metal oxide pattern 108 disposed on the electrode (105 in FIG. 5) and the bank (107 in FIG. ).

도 5는 도4의 Ⅴ-Ⅴ를 따라 절단한 단면도로서 화소영역에 유기발광층이 적층된 모습을 도시한 도면이다.FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line V-V of FIG. 4, showing a state in which an organic light emitting layer is stacked in a pixel region.

도면에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드표시장치는 화소영역(P)을 포함하는 기판(101)과, 기판(101) 상의 화소영역(P)에 배치되는 제1전극(105)과, 제1전극(105) 가장자리를 덮으며 기판(101) 상의 화소영역(P) 경계부에 배치되는 뱅크(107)를 포함한다.As shown in the drawing, an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention includes a substrate 101 including a pixel area P, and a first electrode disposed in the pixel area P on the substrate 101. 105, and a bank 107 disposed at the boundary of the pixel region P on the substrate 101 while covering the edge of the first electrode 105.

구체적으로, 제1전극(105)은 투명도전성물질 예를 들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 등으로 이루어질 수 있다.Specifically, the first electrode 105 may be formed of a transparent conductive material, such as indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO).

또한, 뱅크(107)는 유기물질로 이루어질 수 있다.Also, the bank 107 may be made of an organic material.

특히, 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드표시장치는 제1전극(105) 상부 및 뱅크(107) 측면에 배치되는 전이금속산화물패턴(108)을 포함한다.In particular, the organic light emitting diode display device according to the embodiment of the present invention includes the transition metal oxide pattern 108 disposed on the first electrode 105 and on the side of the bank 107 .

또한, 뱅크(107) 상부면은 불소(F)를 포함하는 가스 예를 들면, SF6 또는 CF4 가스를 이용한 플라즈마 처리를 통해 소수성을 갖게 된다.In addition, the upper surface of the bank 107 becomes hydrophobic through plasma treatment using a gas containing fluorine (F), for example, SF6 or CF4 gas.

이 때, 전이금속산화물패턴(108)은 전이금속산화물(Transition Metal Oxide: TMO) 예를 들면, WO3, MoO3 또는 VO3 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.At this time, the transition metal oxide pattern 108 may be formed of any one of a transition metal oxide (TMO), for example, WO 3 , MoO 3 or VO 3 .

또한, 각 화소영역(P)의 제1전극(105) 및 전이금속산화물패턴(108) 상부에 유기발광층(110a~110c)이 배치된다.In addition, the organic emission layers 110a to 110c are disposed on the first electrode 105 and the transition metal oxide pattern 108 of each pixel region P.

여기서, 유기발광층(110a~110c)은 정공주입층(hole injection layer : HIL) 또는 정공수송층(hole transport layer : HTL)일 수 있다.Here, the organic light emitting layers 110a to 110c may be a hole injection layer (HIL) or a hole transport layer (HTL).

한편, 각 화소영역(P)의 제1전극(105) 상부에 배치되는 전이금속산화물패턴(108)이 전이금속산화물(Transition Metal Oxide: TMO)로 이루어짐에 따라 유기발광층(110a~110c)의 정공주입층(hole injection layer : HIL) 역할을 수행할 수도 있다.Meanwhile, as the transition metal oxide pattern 108 disposed above the first electrode 105 of each pixel region P is made of a transition metal oxide (TMO), holes in the organic light emitting layers 110a to 110c It may also serve as a hole injection layer (HIL).

또한, 유기발광층(110a~110c)은 각 화소영역(P)의 제1전극(105) 상부에 용액 공정(soluble process)으로 배치된다.In addition, the organic light emitting layers 110a to 110c are disposed on the first electrode 105 of each pixel region P through a soluble process.

구체적으로, 각 화소영역(P)의 제1전극(105) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 각각 드롭핑(dropping)한다.Specifically, an organic light emitting material solution (not shown) is dropped on the first electrode 105 of each pixel region P.

이 때, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성이 클수록 유기발광물질용액(미도시)은 화소영역(P) 전체에 골고루 퍼져 유기발광층(110a~110c)의 두께 균일성(uniformity)이 향상될 수 있다.At this time, as the spreadability of the dropped organic light emitting material solution (not shown) increases, the organic light emitting material solution (not shown) spreads evenly throughout the pixel area P, increasing the uniformity of the thickness of the organic light emitting layers 110a to 110c. (uniformity) can be improved.

이러한 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성은 유기발광물질용액(미도시)의 표면장력과, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 화소영역(P)에 배치된 제1전극(105)과 화소영역(P) 경계부에 배치된 뱅크(107)의 표면에너지에 의해 결정된다.The spreadability of the organic light emitting material solution (not shown) is due to the surface tension of the organic light emitting material solution (not shown) and the pixel region P in contact with the dropped organic light emitting material solution (not shown). It is determined by the surface energy of the bank 107 disposed at the boundary between the first electrode 105 and the pixel region P.

즉, 유기발광물질용액(미도시)의 표면장력이 작을수록 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성이 좋아지고, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 면의 표면에너지가 클수록 퍼짐성이 좋아진다.That is, the smaller the surface tension of the organic light emitting material solution (not shown), the better the spreadability of the organic light emitting material solution (not shown), and the surface of the surface in contact with the dropped organic light emitting material solution (not shown). The higher the energy, the better the spreadability.

한편, 표면장력이 작은 유기발광물질용액(미도시)은 건조 과정에서 불균일하게 건조되어 유기발광층(110a~110c)의 두께 균일성(uniformity)을 저하시키기 때문에, 일반적으로 표면장력이 비교적 큰 유기발광물질용액(미도시)을 사용한다.On the other hand, since the organic light emitting material solution (not shown) having a low surface tension is unevenly dried during the drying process and reduces the thickness uniformity of the organic light emitting layers 110a to 110c, organic light emitting materials having a relatively high surface tension are generally organic light emitting materials. A material solution (not shown) is used.

따라서, 유기발광물질용액(미도시)의 표면장력으로는 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성을 제어할 수 없고, 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 면의 표면에너지로 제어하는 것이 바람직하다.Therefore, the surface tension of the organic light emitting material solution (not shown) cannot control the spreadability of the organic light emitting material solution (not shown), and it is better to control it with the surface energy of the surface in contact with the organic light emitting material solution (not shown). desirable.

또한, 제1전극(105)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명도전성물질로 이루어지는데 제1전극(105) 상부에 전이금속산화물패턴(108)이 배치된다.In addition, the first electrode 105 is made of a transparent conductive material having a relatively high work function value to serve as an anode electrode, and a transition metal oxide pattern 108 is disposed on the first electrode 105 .

뱅크(107)는 유기물질로 이루어지는데 그 측면에 전이금속산화물패턴(108)이 배치되어 전이금속산화물패턴(108)에 의해 노출된 상부 표면(107a)만 소수성을 띄게 된다.The bank 107 is made of an organic material, and the transition metal oxide pattern 108 is disposed on the side thereof so that only the upper surface 107a exposed by the transition metal oxide pattern 108 has hydrophobicity.

이 때, 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 면의 표면에너지는 뱅크(107)의 상부 표면(107a)이 제1전극(105) 상부 및 뱅크(107) 측면에 배치된 전이금속산화물패턴(108)보다 작다.At this time, the surface energy of the surface in contact with the organic light emitting material solution (not shown) is the transition metal oxide pattern in which the top surface 107a of the bank 107 is disposed on the top of the first electrode 105 and on the side of the bank 107 (108) is less.

이에 따라, 전이금속산화물패턴(108)보다 작은 표면에너지를 갖는 뱅크(107)의 상부 표면(107a)에 의해, 뱅크(107)는 각 화소영역(P)의 유기발광물질용액(9)이 서로 혼합되는 것을 방지하는 격벽 역할을 한다.Accordingly, by the upper surface 107a of the bank 107 having a surface energy smaller than that of the transition metal oxide pattern 108, the bank 107 allows the organic light emitting material solution 9 of each pixel region P to mutually It acts as a barrier to prevent mixing.

또한, 제1전극(105) 상부 및 뱅크(107) 측면에 전이금속산화물패턴(108)이 배치됨으로써 동일한 표면에너지를 갖게 되어, 화소영역(P)의 제1전극(5) 상부에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)이 뱅크(107) 측면으로 치우치는 것을 방지할 수 있다.In addition, by disposing the transition metal oxide pattern 108 on the top of the first electrode 105 and on the side of the bank 107, it has the same surface energy, so that it is dropped on the top of the first electrode 5 in the pixel region P ( It is possible to prevent the dropped organic light emitting material solution (not shown) from being biased toward the side of the bank 107 .

이에 따라, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 각 화소영역(P)의 뱅크(107) 측면에 볼록한 형상의 유기발광층(110a~110c)이 형성되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, it is possible to prevent the convex organic light emitting layers 110a to 110c from being formed on the side of the bank 107 of each pixel region P after the drying process of the organic light emitting material solution (not shown) dropped thereon. can

또한, 각 화소영역(P)에 두께 균일성이 향상된 유기발광층(110a~110c)이 형성되어 유기발광다이오드표시장치의 표시품질을 향상시킬 수 있다.In addition, the organic light emitting layers 110a to 110c having improved thickness uniformity are formed in each pixel region P, so that the display quality of the organic light emitting diode display can be improved.

도 6a 내지 도 6g는 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드표시장치의 단계별 제조 공정 단면도이다.6A to 6G are cross-sectional views of step-by-step manufacturing processes of an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드표시장치의 제조방법은 제1전극(105)을 형성하는 단계와, 뱅크(107)를 형성하는 단계와, 전이금속산화물막(108a)을 형성하는 단계와, 전이금속산화물패턴(108)을 형성한는 단계와, 뱅크(107) 상부면을 소수성화 하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing an organic light emitting diode display device according to an embodiment of the present invention includes forming a first electrode 105, forming a bank 107, forming a transition metal oxide film 108a, and the like. , forming the transition metal oxide pattern 108 and making the top surface of the bank 107 hydrophobic.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유기발광다이오드표시장치의 제조방법을 구체적으로 설명하겠다.Hereinafter, a manufacturing method of an organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이, 기판(101) 상에 투명도전성물질층(미도시)을 형성하고, 투명도전성물질층(미도시)을 패터닝하여 각 화소영역(P)에 제1전극(105)을 형성한다.First, as shown in FIG. 6A, a transparent conductive material layer (not shown) is formed on the substrate 101, and the transparent conductive material layer (not shown) is patterned to form a first electrode (not shown) in each pixel region P. 105) form.

이 때, 투명도전성물질층(미도시)은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 등으로 이루어질 수 있다.At this time, the transparent conductive material layer (not shown) may be made of indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (IZO).

다음, 도 6b에 도시한 바와 같이, 제1전극(105) 상부를 포함한 기판(101) 전면에 유기물질로 이루어지는 뱅크층(미도시)을 형성하고, 뱅크층(미도시)을 패터닝하여 화소영역(P) 경계부에 제1전극(105) 가장자리를 덮으며 기판(101) 상의 화소영역(P) 경계부에 뱅크(107)를 형성한다.Next, as shown in FIG. 6B, a bank layer (not shown) made of an organic material is formed on the entire surface of the substrate 101 including the upper part of the first electrode 105, and the bank layer (not shown) is patterned to form a pixel area (P) The bank 107 is formed at the boundary of the pixel region P on the substrate 101 while covering the edge of the first electrode 105 at the boundary.

한편, 뱅크층(미도시)을 패터닝하는 과정에서 뱅크층(미도시)을 이루는 유기물질이 일부 제1전극(105) 상부면에 남겨 질 수 있다.Meanwhile, in the process of patterning the bank layer (not shown), organic materials constituting the bank layer (not shown) may partially remain on the upper surface of the first electrode 105 .

이와 같이, 제1전극(105) 상부면에 남겨진 유기물질은 유기발광다이오드의 발광효율을 저하시킨다.As such, the organic material remaining on the upper surface of the first electrode 105 lowers the light emitting efficiency of the organic light emitting diode.

따라서, 뱅크층(미도시)을 패터닝한 이후 제1전극(105) 상부면에 남겨진 유기물질을 제거하는 전처리 과정을 진행하게 된다.Therefore, after patterning the bank layer (not shown), a pretreatment process of removing organic materials remaining on the upper surface of the first electrode 105 is performed.

구체적으로, 기판(101) 전면에 플라즈마(Plasma) 또는 UVO(Ultra Violet Ozone) 등을 조사하여 제1전극(105) 상부에 남겨진 유기물질을 제거한다.Specifically, the organic material remaining on the first electrode 105 is removed by irradiating the entire surface of the substrate 101 with plasma or UVO (Ultra Violet Ozone).

다음, 도 6c에 도시한 바와 같이, 전이금속산화물(Transition Metal Oxide: TMO) 예를 들면, WO3, MoO3 또는 VO3 중 어느 하나로 이루어진 전이금속산화물막(108a)을 제1전극(105) 상부 및 뱅크(107) 전면에 형성한다.Next, as shown in FIG. 6C, a transition metal oxide film 108a made of a transition metal oxide (TMO), for example, any one of WO 3 , MoO 3 or VO 3 , is formed on the first electrode 105 It is formed on the top and the front of the bank 107.

이 때, 전이금속산화물막(108a)은 Thermal Evaporation, Sputter, CVD 또는 Solution Coating 등으로 형성할 수 있다.In this case, the transition metal oxide film 108a may be formed by thermal evaporation, sputtering, CVD, or solution coating.

다음, 도 6d에 도시한 바와 같이, 전이금속산화물막(108a)을 패터닝하여 뱅크(107) 상부면을 노출시키는 전이금속산화물패턴(108)을 형성한다. 즉, 전이금속산화물패턴(108)은 제1전극(105) 상부 및 뱅크(107) 측면에 형성된다.Next, as shown in FIG. 6D, the transition metal oxide layer 108a is patterned to form a transition metal oxide pattern 108 exposing the upper surface of the bank 107. That is, the transition metal oxide pattern 108 is formed on the top of the first electrode 105 and on the side of the bank 107 .

이 때, 제1전극(105) 상부에 배치되는 전이금속산화물패턴(108)은 전처리 과정 이후 제1전극(105) 남겨진 유기물질을 덮음으로써, 이후 전이금속산화물패턴(108) 상부에 드롭핑(dropping)되는 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성을 좋게 만들 수 있다.At this time, the transition metal oxide pattern 108 disposed on the first electrode 105 covers the organic material remaining on the first electrode 105 after the pretreatment process, and then drops on the transition metal oxide pattern 108 ( Dropping) can improve the spreadability of the organic light emitting material solution (not shown).

다음, 도 6e 및 도 6f에 도시한 바와 같이, 불소(F)를 포함하는 가스 예를 들면, SF6 또는 CF4 가스를 이용한 플라즈마 처리를 통해 뱅크(107) 상부 면(107a)을 소수성화 시킨다.Next, as shown in FIGS. 6E and 6F, the upper surface 107a of the bank 107 is hydrophobic through plasma treatment using a gas containing fluorine (F), for example, SF6 or CF4 gas.

이 때, 제1전극(105) 상부 및 뱅크(107) 측면은 전이금속산화물패턴(108)이 배치되고, 전이금속산화물패턴(108)은 불소(F)를 포함하는 가스와의 반응성이 비교적 작기 때문에, 제1전극(105) 및 뱅크(107) 전면에 플라즈마 처리를 하더라도 뱅크(107) 상부 면(107a)에만 소수성을 띄게 할 수 있다.At this time, the transition metal oxide pattern 108 is disposed on the top of the first electrode 105 and the side of the bank 107, and the transition metal oxide pattern 108 has a relatively small reactivity with a gas containing fluorine (F). Therefore, even if plasma treatment is applied to the entire surface of the first electrode 105 and the bank 107, only the upper surface 107a of the bank 107 can be hydrophobic.

다음, 도 6g에 도시한 바와 같이, 제1전극(105) 상부에 배치되는 전이금속산화물패턴(108) 상부에 유기발광층(110a~110c)을 형성하는 단계를 더 포함한다.Next, as shown in FIG. 6G , a step of forming organic light emitting layers 110a to 110c on the transition metal oxide pattern 108 disposed on the first electrode 105 is further included.

이 때, 유기발광층(110a~110c)은 정공주입층(hole injection layer : HIL) 또는 정공수송층(hole transport layer : HTL)일 수 있으며, 스크린 프린팅(Screen Printing) 방식, 잉크젯 프린팅(inkjet printing) 방식 또는 노즐 프린팅(nozzle printing) 방식을 포함한 용액 공정(soluble process)으로 형성된다.At this time, the organic light emitting layers 110a to 110c may be a hole injection layer (HIL) or a hole transport layer (HTL), and may be a screen printing method or an inkjet printing method. Or it is formed by a soluble process including a nozzle printing method.

한편, 각 화소영역(P)의 제1전극(105) 상부에 배치되는 전이금속산화물패턴(108)이 전이금속산화물(Transition Metal Oxide: TMO)로 이루어짐에 따라 유기발광층(110a~110c)의 정공주입층(hole injection layer : HIL) 역할을 수행할 수도 있다.Meanwhile, as the transition metal oxide pattern 108 disposed above the first electrode 105 of each pixel region P is made of a transition metal oxide (TMO), holes in the organic light emitting layers 110a to 110c It may also serve as a hole injection layer (HIL).

구체적으로, 각 화소영역(P)의 제1전극(105) 상부에 유기발광물질용액(미도시)을 각각 드롭핑(dropping)한다.Specifically, an organic light emitting material solution (not shown) is dropped on the first electrode 105 of each pixel region P.

이 때, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성이 클수록 유기발광물질용액(미도시)은 화소영역(P) 전체에 골고루 퍼져 유기발광층(110a~110c)의 두께 균일성(uniformity)이 향상될 수 있다.At this time, as the spreadability of the dropped organic light emitting material solution (not shown) increases, the organic light emitting material solution (not shown) spreads evenly throughout the pixel area P, increasing the uniformity of the thickness of the organic light emitting layers 110a to 110c. (uniformity) can be improved.

이러한 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성은 유기발광물질용액(미도시)의 표면장력과, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 화소영역(P)에 배치된 제1전극(105)과 화소영역(P) 경계부에 배치된 뱅크(107)의 표면에너지에 의해 결정된다.The spreadability of the organic light emitting material solution (not shown) is due to the surface tension of the organic light emitting material solution (not shown) and the pixel region P in contact with the dropped organic light emitting material solution (not shown). It is determined by the surface energy of the bank 107 disposed at the boundary between the first electrode 105 and the pixel region P.

즉, 유기발광물질용액(미도시)의 표면장력이 작을수록 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성이 좋아지고, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 면의 표면에너지가 클수록 퍼짐성이 좋아진다.That is, the smaller the surface tension of the organic light emitting material solution (not shown), the better the spreadability of the organic light emitting material solution (not shown), and the surface of the surface in contact with the dropped organic light emitting material solution (not shown). The higher the energy, the better the spreadability.

한편, 표면장력이 작은 유기발광물질용액(미도시)은 건조 과정에서 불균일하게 건조되어 유기발광층(110a~110c)의 두께 균일성(uniformity)을 저하시키기 때문에, 일반적으로 표면장력이 비교적 큰 유기발광물질용액(미도시)을 사용한다.On the other hand, since the organic light emitting material solution (not shown) having a low surface tension is unevenly dried during the drying process and reduces the thickness uniformity of the organic light emitting layers 110a to 110c, organic light emitting materials having a relatively high surface tension are generally organic light emitting materials. A material solution (not shown) is used.

따라서, 유기발광물질용액(미도시)의 표면장력으로는 유기발광물질용액(미도시)의 퍼짐성을 제어할 수 없고, 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 면의 표면에너지로 제어하는 것이 바람직하다.Therefore, the surface tension of the organic light emitting material solution (not shown) cannot control the spreadability of the organic light emitting material solution (not shown), and it is better to control it with the surface energy of the surface in contact with the organic light emitting material solution (not shown). desirable.

또한, 제1전극(105)은 애노드 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 큰 투명도전성물질로 이루어지는데 제1전극(105) 상부에 전이금속산화물패턴(108)이 배치된다.In addition, the first electrode 105 is made of a transparent conductive material having a relatively high work function value to serve as an anode electrode, and a transition metal oxide pattern 108 is disposed on the first electrode 105 .

앞서 설명한 바와 같이, 뱅크(107)는 유기물질로 이루어지는데 그 측면에 전이금속산화물패턴(108)이 배치되어 전이금속산화물패턴(108)에 의해 노출된 상부 표면(107a)만 소수성을 띄게 된다.As described above, the bank 107 is made of an organic material, and the transition metal oxide pattern 108 is disposed on the side thereof so that only the upper surface 107a exposed by the transition metal oxide pattern 108 has hydrophobicity.

이 때, 유기발광물질용액(미도시)과 접촉하는 면의 표면에너지는 뱅크(107)의 상부 표면(107a)이 제1전극(105) 상부 및 뱅크(107) 측면에 배치된 전이금속산화물패턴(108)보다 작다.At this time, the surface energy of the surface in contact with the organic light emitting material solution (not shown) is the transition metal oxide pattern in which the top surface 107a of the bank 107 is disposed on the top of the first electrode 105 and on the side of the bank 107 (108) is less.

이에 따라, 전이금속산화물패턴(108)보다 작은 표면에너지를 갖는 뱅크(107)의 상부 표면(107a)에 의해, 뱅크(107)는 각 화소영역(P)의 유기발광물질용액(9)이 서로 혼합되는 것을 방지하는 격벽 역할을 한다.Accordingly, by the upper surface 107a of the bank 107 having a surface energy smaller than that of the transition metal oxide pattern 108, the bank 107 allows the organic light emitting material solution 9 of each pixel region P to mutually It acts as a barrier to prevent mixing.

또한, 제1전극(105) 상부 및 뱅크(107) 측면에 전이금속산화물패턴(108)이 배치됨으로써 동일한 표면에너지를 갖게 되어, 화소영역(P)의 제1전극(5) 상부에 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)이 뱅크(107) 측면으로 치우치는 것을 방지할 수 있다.In addition, by disposing the transition metal oxide pattern 108 on the top of the first electrode 105 and on the side of the bank 107, it has the same surface energy, so that it is dropped on the top of the first electrode 5 in the pixel region P ( It is possible to prevent the dropped organic light emitting material solution (not shown) from being biased toward the side of the bank 107 .

이에 따라, 드롭핑(dropping)된 유기발광물질용액(미도시)의 건조 과정 후 각 화소영역(P)의 뱅크(107) 측면에 볼록한 형상의 유기발광층(110a~110c)이 형성되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, it is possible to prevent the convex organic light emitting layers 110a to 110c from being formed on the side of the bank 107 of each pixel region P after the drying process of the organic light emitting material solution (not shown) dropped thereon. can

또한, 각 화소영역(P)에 두께 균일성이 향상된 유기발광층(110a~110c)이 형성되어 유기발광다이오드표시장치의 표시품질을 향상시킬 수 있다.In addition, the organic light emitting layers 110a to 110c having improved thickness uniformity are formed in each pixel region P, so that the display quality of the organic light emitting diode display can be improved.

본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications are possible without departing from the spirit of the present invention.

101 : 기판
105 : 제1전극
107 : 뱅크
108 : 전이금속산화물패턴101: Substrate
105: first electrode
107: bank
108: transition metal oxide pattern

Claims (11)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 기판 상의 화소영역에 제1전극을 형성하는 단계;
상기 제1전극 가장자리를 덮으며 상기 기판 상의 상기 화소영역 경계부에 뱅크를 형성하는 단계;
상기 제1전극 상부 및 상기 뱅크 전면에 전이금속산화물막을 형성하는 단계;
상기 전이금속산화물막을 패터닝하여 상기 뱅크 상부면을 노출시키는 전이금속산화물패턴을 형성하는 단계; 및
이웃한 상기 전이금속산화물패턴 사이로 노출된 상기 뱅크 상부면에 대해 불소(F)를 포함하는 가스를 이용하여 플라즈마 처리하여 소수성화 하는 단계와;
상기 제1전극 및 전이금속산화물패턴 상부에 유기발광층을 형성하는 단계
를 포함하며,
상기 전이금속산화물패턴은 상기 뱅크 측벽 상단까지 연장하여, 상기 전이금속산화물패턴은 상기 뱅크 상부면과 접촉되도록 형성하며,
상기 뱅크 상부면은 상기 뱅크 측면 보다 작은 표면에너지를 갖고,
상기 유기발광층은 정공주입층 또는 정공수송층인
유기발광다이오드표시장치의 제조방법.
forming a first electrode in a pixel region on a substrate;
forming a bank at the boundary of the pixel region on the substrate while covering an edge of the first electrode;
forming a transition metal oxide film on the first electrode and on the entire surface of the bank;
patterning the transition metal oxide layer to form a transition metal oxide pattern exposing an upper surface of the bank; and
hydrophobicizing an upper surface of the bank exposed between the adjacent transition metal oxide patterns by plasma treatment using a gas containing fluorine (F);
Forming an organic light emitting layer on the first electrode and the transition metal oxide pattern
Including,
The transition metal oxide pattern extends to an upper end of the sidewall of the bank, and the transition metal oxide pattern is formed to contact an upper surface of the bank;
The upper surface of the bank has a smaller surface energy than the side surface of the bank,
The organic light-emitting layer is a hole injection layer or a hole transport layer
Manufacturing method of organic light emitting diode display.
 제 5 항에 있어서,
상기 뱅크를 형성하는 단계 및 상기 전이금속산화물막을 형성하는 단계 사이에 상기 제1전극 상부면을 전처리하는 단계를 더 포함하는 유기발광다이오드표시장치의 제조방법.
According to claim 5,
The manufacturing method of the organic light emitting diode display device further comprising a step of pre-processing an upper surface of the first electrode between the step of forming the bank and the step of forming the transition metal oxide layer.
 삭제delete 제 6 항에 있어서,
상기 전이금속산화물막은 WO3, MoO3 또는 VO3 중 어느 하나로 이루어지는 유기발광다이오드표시장치의 제조방법.
According to claim 6,
The transition metal oxide film is made of any one of WO 3 , MoO 3 or VO 3 Method of manufacturing an organic light emitting diode display device.
 제 8 항에 있어서,
상기 뱅크는 유기물질로 이루어지는 유기발광다이오드표시장치의 제조방법.
According to claim 8,
The method of manufacturing an organic light emitting diode display device in which the bank is made of an organic material.
 삭제delete 제 9 항에 있어서,
상기 유기발광층은 용액 공정(soluble process)으로 형성되는 유기발광다이오드표시장치의 제조방법.
According to claim 9,
The method of manufacturing an organic light emitting diode display device in which the organic light emitting layer is formed through a soluble process.
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