KR102466865B1 - 기밀성이 향상된 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템 - Google Patents

기밀성이 향상된 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템 Download PDF

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Abstract

기밀성이 향상된 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템이 개시된다. 본 개시의 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템은, 상기 클린 룸 구조의 측면 중 적어도 일 부분을 형성하고, 일정한 두께를 갖는 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제1 베이스 플레이트; 상기 클린 룸 구조의 측면 중 상기 적어도 일 부분과 다른 부분을 형성하고, 상기 일정한 두께를 갖는 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제2 베이스 플레이트; 상기 제1 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제1 메인 브라켓; 상기 제2 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제2 메인 브라켓; 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 천정 영역을 결합시키는 제1 보조 브라켓; 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 바닥 영역을 결합시키는 제2 보조 브라켓; 및 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트를 결합시키는 제3 보조 브라켓;을 포함하여 제공될 수 있다.

Description

기밀성이 향상된 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템{CLEAN ROOM STRUCTURE WITH IMPROVED CONFIDENTIALITY AND CLEAN ROOM SYSTEM INCLUDING THE SAME}
본 발명은 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각각의 베이스 플레이트의 연결 부분 및 각각의 베이스 플레이트와 천정 구조물 또는 바닥 구조물 사이의 연결 부분의 기밀성이 향상된 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 클린 룸은 실내의 공기 중의 부유입자를 정해진 제한 값 이하로 제어하는 룸을 말하며, 상기 클린 룸은 일반적으로 반도체, 전자부품, 정밀기기 또는 식품·의약품 공업 등에서의 생산시설, 검사실, 연구실 및 병원의 의료시설 등 고도의 먼지방지기능이 요구되는 다양한 분야에서 이용되고 있다.
이러한 클린 룸은 전체적으로는 실외에 설치한 공조설비에 의해 실내 공기를 순환시키고 순환되는 실내공기가 공조설비를 통과하는 과정에서 필터를 통과하여 공기 중의 먼지 등 미세입자를 제거하는 것이 일반적이다.
종래의 클린 룸은 클린 룸을 구성하는 벽체들 상호간의 결합 구조만을 제시하고, 클린 룸 내부의 있는 먼지 등을 제어하는 점에 중점적으로 연구가 진행되고 있었다.
그러나, 클린 룸을 구성하는 벽체들의 연결 부분이나, 벽체들과 천정 또는 바닥과의 연결 부분 또는 결합 부분에서 미세한 틈을 통해 유입되는 먼지나 이물질을 방지하기 위한 수단이 제시되지 않고 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-1893682호(2018년 08월 24일, 등록)
본 발명은 기밀성이 향상된 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명은 베이스 플레이트가 일 직선으로 연결될 때 또는 베이스 플레이트가 직각으로 연결될 때, 해당 연결 구조에 따른 기밀성을 확보할 수 있는 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명은 베이스 플레이트가 천정과 결합될 때 또는 베이스 플레이트가 바닥과 결합될 때, 해당 연결 구조에 따른 기밀성을 확보할 수 있는 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명은 베이스 플레이트가 다른 베이스 플레이트와 결합될 때 또는 베이스 플레이트가 천정이나 바닥과 결합될 때, 상호간에 결합력을 향상시킬 수 있는 브라켓 구조를 포함하는 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명은 베이스 플레이트가 다른 베이스 플레이트와 결합될 때 또는 베이스 플레이트가 천정이나 바닥과 결합될 때, 작업자가 보다 용이하게 결합 작업을 수행할 수 있는 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명은 클린 룸의 운용 과정에서 클린 룸의 내부의 먼지의 양이나 내부 온도를 감지할 수 있는 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명은 클린 룸의 운용 과정에서 클린 룸의 내부의 먼지의 양이 기 설정된 양보다 클 때, 클린 룸의 내부의 먼지의 양이 기 설정된 양보다 적어질 때까지 먼지가 자동으로 토출되도록 제어할 수 있는 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명은 클린 룸의 간단한 구조를 통해서도 클린 룸을 조립할 수 있으며, 또한 해체가 용이하여 부품들의 재활용이 용이한 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템을 제공할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조는, 상기 클린 룸 구조의 측면 중 적어도 일 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제1 베이스 플레이트; 상기 클린 룸 구조의 측면 중 상기 적어도 일 부분과 다른 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제2 베이스 플레이트; 상기 제1 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제1 메인 브라켓; 상기 제2 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제2 메인 브라켓; 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 천정 영역을 결합시키는 제1 보조 브라켓; 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 바닥 영역을 결합시키는 제2 보조 브라켓; 및 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트를 결합시키는 제3 보조 브라켓;을 포함하고, 상기 제1 메인 브라켓 및 상기 제2 메인 브라켓은, 각각 상기 제1 베이스 플레이트 또는 상기 제2 베이스 플레이트의 내부에 배치된 제1 메인 부분; 상기 제1 메인 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제1 메인 부분과 수직하게 배치된 제2 메인 부분; 상기 제2 메인 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제2 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분과 평행하게 배치된 제3 메인 부분; 상기 제3 메인 부분의 일단으로부터 상기 제1 메인 부분을 향해 연장되고, 상기 제3 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제2 메인 부분과 평행하게 배치된 제4 메인 부분; 상기 제4 메인 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제4 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분 및 상기 제3 메인 부분과 평행하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분과 이격된 제5 메인 부분; 및 상기 제5 메인 부분의 적어도 일 부분으로부터 연장되고, 상기 제1 메인 부분의 적어도 일 부분에 연결된 제6 메인 부분;을 포함하고, 상기 제1 베이스 플레이트 및 상기 제2 베이스 플레이트는, 각각 서로 이격된 한 쌍의 제1 베이스 부분; 상기 한 쌍의 제1 베이스 부분의 단부에서 각각 서로를 향해 연장되고, 적어도 일 부분이 상기 제3 메인 부분과 밀착되는 제2 베이스 부분; 및 상기 한 쌍의 제1 베이스 부분 사이에 배치되는 페이퍼 허니콤;을 포함할 수 있다.
상기 제1 보조 브라켓은, 적어도 일 부분이 상기 천정 영역에 볼트를 통해 고정되는 제1-1 보조 부분; 및 상기 제1 보조 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제1 베이스 부분의 외측에 밀착되는 제1-2 보조 부분;을 포함할 수 있다.
상기 제2 보조 브라켓은, 적어도 일 부분이 상기 바닥 영역에 고정되는 제2-1 보조 부분; 상기 제2-1 보조 부분의 적어도 일 부분으로부터 돌출되도록 연장된 제2-2 보조 부분; 및 상기 제2-2 보조 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제2-2 보조 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제2-2 보조 부분과 평행하게 배치된 제2-3 부분;을 포함할 수 있다.
상기 제3 보조 브라켓은, 적어도 일 부분이 상기 제5 메인 부분에 밀착되는 제3-1 보조 부분; 및 상기 제3 보조 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제3-1 보조 부분과 수직하게 배치되고, 적어도 일 부분이 상기 제4 메인 부분에 밀착되는 제3-2 보조 부분;을 포함할 수 있다.
상기 제1 베이스 플레이트가 상기 제2 베이스 플레이트와 수직으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트를 결합시키는 제4 보조 브라켓 및 제5 보조 브라켓을 더 포함하고, 상기 제4 보조 브라켓은, 적어도 일 부분이 상기 제2 베이스 부분에 밀착되는 제4-1 보조 부분; 및 상기 제4-1 보조 부분의 적어도 일 부분으로 돌출된 제4-2 보조 부분;을 포함하고, 상기 제5 보조 브라켓은, 상기 제4-2 보조 부분이 삽입 고정되도록 형성된 제5-1 보조 부분; 상기 제5-1 보조 부분의 일단으로부터 연장된 제5-2 보조 부분; 및 상기 제5-2 보조 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제5-2 보조 부분과 수직하게 배치된 제5-3 보조 부분;을 포함할 수 있다.
상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 메인 브라켓의 상기 제3 메인 부분과 상기 제2 메인 브라켓의 상기 제3 메인 부분 사이에 배치된 제1 씰링부; 및 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트의 상기 제2 베이스 부분과 상기 제2 베이스 플레이트의 상기 제2 베이스 부분 사이에 배치되고, 상기 제1 씰링부보다 상기 제3 보조 브라켓으로부터 멀리 배치된 제2 씰링부;를 포함할 수 있다.
상기 제1 베이스 플레이트와 상기 바닥 영역 사이에 배치되고, 상기 제2 보조 브라켓과 인접 배치된 제3 씰링부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조는, 상기 클린 룸 구조의 측면 중 적어도 일 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제1 베이스 플레이트; 상기 클린 룸 구조의 측면 중 상기 적어도 일 부분과 다른 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제2 베이스 플레이트; 상기 제1 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제1 메인 브라켓; 상기 제2 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제2 메인 브라켓; 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 천정 영역을 결합시키는 제1 보조 브라켓; 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 바닥 영역을 결합시키는 제2 보조 브라켓; 및 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트를 결합시키는 제3 보조 브라켓; 상기 클린 룸 구조의 내부 온도를 감지하도록 구성된 온도 센서; 및 상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양을 감지하도록 구성된 먼지 센서;를 포함할 수 있다.
상기 온도 센서로부터 감지된 상기 클린 룸 구조의 내부 온도에 대한 온도 정보를 수신하고, 상기 먼지 센서로부터 감지된 상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양에 대한 정보를 수신하도록 구성된 프로세서;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조를 포함하는 클린 룸 시스템은, 상기 클린 룸 구조의 측면 중 적어도 일 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제1 베이스 플레이트; 상기 클린 룸 구조의 측면 중 상기 적어도 일 부분과 다른 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제2 베이스 플레이트; 상기 제1 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제1 메인 브라켓; 상기 제2 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제2 메인 브라켓; 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 천정 영역을 결합시키는 제1 보조 브라켓; 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 바닥 영역을 결합시키는 제2 보조 브라켓; 및 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트를 결합시키는 제3 보조 브라켓; 상기 클린 룸 구조의 내부 온도를 감지하도록 구성된 온도 센서; 상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양을 감지하도록 구성된 먼지 센서; 상기 제1 베이스 플레이트 또는 상기 제2 베이스 플레이트에 마련된 유입팬; 상기 제1 베이스 플레이트 또는 상기 제2 베이스 플레이트에 마련되고, 상기 유입팬과 이격된 토출팬; 및 상기 온도 센서로부터 감지된 상기 클린 룸 구조의 내부 온도에 대한 온도 정보를 수신하고, 상기 먼지 센서로부터 감지된 상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양에 대한 정보를 수신하고, 상기 유입팬 및 상기 토출팬의 동작을 제어하도록 구성된 프로세서;를 포함하고, 상기 프로세서는, 상기 클린 룸 구조의 내부 온도가 기 설정된 온도보다 높을 때 또는 상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양이 기 설정된 양보다 많을 때, 상기 유입팬 및 상기 토출팬을 동작시키도록 설정될 수 있다.
본 발명의 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템은, 기밀성이 향상되어 외부의 이물질이 클린 룸의 내부로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있는 차별화되는 효과를 갖는다.
본 발명의 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템은, 베이스 플레이트가 일 직선으로 연결될 때 또는 베이스 플레이트가 직각으로 연결될 때, 해당 연결 구조에 따른 기밀성을 확보할 수 있는 차별화되는 효과를 갖는다.
본 발명의 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템은, 베이스 플레이트가 천정과 결합될 때 또는 베이스 플레이트가 바닥과 결합될 때, 해당 연결 구조에 따른 기밀성을 확보할 수 있는 차별화되는 효과를 갖는다.
본 발명의 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템은, 베이스 플레이트가 다른 베이스 플레이트와 결합될 때 또는 베이스 플레이트가 천정이나 바닥과 결합될 때, 브라켓 구조를 통해 상호간에 결합력을 향상시킬 수 있는 차별화되는 효과를 갖는다.
본 발명의 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템은, 베이스 플레이트가 다른 베이스 플레이트와 결합될 때 또는 베이스 플레이트가 천정이나 바닥과 결합될 때, 작업자가 보다 용이하게 결합 작업을 수행할 수 있는 차별화되는 효과를 갖는다.
본 발명의 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템은, 클린 룸의 운용 과정에서 클린 룸의 내부의 먼지의 양이나 내부 온도를 감지할 수 있는 차별화되는 효과를 갖는다.
본 발명의 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템은, 클린 룸의 운용 과정에서 클린 룸의 내부의 먼지의 양이 기 설정된 양보다 클 때, 클린 룸의 내부의 먼지의 양이 기 설정된 양보다 적어질 때까지 먼지가 자동으로 토출되도록 제어할 수 있는 차별화되는 효과를 갖는다.
본 발명의 클린 룸 구조 및 이를 포함하는 클린 룸 시스템은, 클린 룸의 간단한 구조를 통해서도 클린 룸을 조립할 수 있으며, 또한 해체가 용이하여 부품들의 재활용이 용이하여 적은 비용이 소모되는 차별화되는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조를 나타낸 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조의 메인 브라켓을 나타낸 단면도이다.
도 2b는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조의 제1 보조 브라켓을 나타낸 단면도이다.
도 2c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조의 제2 보조 브라켓을 나타낸 단면도이다.
도 2d는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조의 제3 보조 브라켓을 나타낸 단면도이다.
도 2e는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트와 메인 브라켓을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트가 다른 베이스 플레이트와 일 직선으로 결합된 제1 연결 구조를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트가 천정 영역과 결합된 제2 연결 구조를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트가 바닥 영역과 결합된 제3 연결 구조를 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트가 다른 베이스 플레이트와 수직하게 결합된 제4 연결 구조를 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트가 다른 베이스 플레이트와 일 직선으로 결합된 제1 연결 구조 및 팽창부를 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조의 제1 보조 브라켓을 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트가 바닥 영역과 결합된 제3 연결 구조 및 씰링부를 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트가 다른 베이스 플레이트와 수직하게 결합된 제4 연결 구조 및 가이드부를 나타낸 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 시스템을 나타낸 블록도이다.
도 12는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 클린 룸 구조 및 클린 룸 시스템의 먼지를 배출하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
이하에서는 본 발명의 실시 예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이하의 실시 예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 사상을 충분히 전달하기 위해 제시하는 것이다. 본 발명은 여기서 제시한 실시 예만으로 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 도면은 본 발명을 명확히 하기 위해 설명과 관계없는 부분의 도시를 생략하고, 이해를 돕기 위해 구성요소의 크기를 다소 과장하여 표현할 수 있다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 개시된 발명의 바람직한 일 예에 불과할 뿐이며, 본 출원의 출원시점에 있어서 본 명세서의 실시예와 도면을 대체할 수 있는 다양한 변형 예들이 있을 수 있다.
본 명세서의 각 도면에서 제시된 동일한 참조번호 또는 부호는 실질적으로 동일한 기능을 수행하는 부품 또는 구성요소를 나타낸다. 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 명확한 설명을 위해 과장된 것일 수 있다.
본 명세서에서 사용한 용어는 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 개시된 발명을 제한 및/또는 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는다.
본 명세서에서 사용한 “제1”, “제2”등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않으며, 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. “및/또는”이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
이하에서 사용되는 용어 "상단", "하단", "상부", "하부" 등은 도면을 기준으로 정의한 것이며, 이 용어에 의하여 각 구성요소의 형상 및 위치가 제한되는 것은 아니다.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다. 본 명세서가 실시 예들의 모든 요소들을 설명하는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 일반적인 내용 또는 실시 예들 간에 중복되는 내용은 생략한다.
명세서에서 사용되는 '부, 모듈, 장치'라는 용어는 소프트웨어 또는 하드웨어로 구현될 수 있으며, 실시 예들에 따라 복수의 '부, 모듈, 장치'가 하나의 구성요소로 구현되거나, 하나의 '부, 모듈, 장치'가 복수의 구성요소들을 포함하는 것도 가능하다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라, 간접적으로 연결되어 있는 경우를 포함하고, 간접적인 연결은 무선 통신망을 통해 연결되는 것을 포함한다.
또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 전술된 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 예외가 있지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
각 단계들에 있어 식별부호는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 실시될 수 있다.
도 1은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조(100)를 나타낸 사시도이다. 도 2a는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조(100)의 메인 브라켓(140)을 나타낸 단면도이다. 도 2e는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트(110)와 메인 브라켓(140)을 설명하기 위한 단면도이다.
이하, 설명의 편의를 위해, 도 1의 X 축 방향을 클린 룸 구조(100) 및 이의 구성요소들의 폭 방향으로 정의 및 해석하고, 도 1의 Y 축 방향을 클린 룸 구조(100) 및 이의 구성요소들의 길이 방향으로 정의 및 해석하고, 도 1의 Z 축 방향을 클린 룸 구조(100) 및 이의 구성요소들의 높이 방향으로 정의 및 해석하나, 이에 한정되지 않는다.
도 1, 도 2a 및 도 2e를 참조하면, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조(100)는, 베이스 플레이트(110), 천정 영역(120) 및 바닥 영역(130)을 포함할 수 있다.
클린 룸은, 실내의 공기 중의 부유입자를 정해진 제한 값 이하로 제어하는 룸을 말하며, 클린 룸은 일반적으로 반도체, 전자부품, 정밀기기 또는 식품·의약품 공업 등에서의 생산시설, 검사실, 연구실 및 병원의 의료시설 등 고도의 먼지방지기능이 요구되는 다양한 분야에서 활용될 수 있다.
본 발명의 기밀성이 향상된 클린 룸 구조(100)는, 전술한 클린 룸을 형성하기 위한 구조체 또는 건물 등으로 정의 및 해석될 수 있다. 그러나, 이에 한정하지 않고, 본 발명의 클린 룸 구조(100)는, 병원 내부의 병원체가 외부로 퍼지는 것을 차단하는 음압실 또는 음압 병실과 같은 특수 격리 병실을 형성하기 위한 구조체 또는 건물 등으로 정의 및 해석될 수도 있다.
클린 룸 구조(100)는, 클린 룸 구조(100)의 측면을 형성하는 베이스 플레이트(110)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 베이스 플레이트(110)는, 클린 룸 구조(100)가 형성하는 내부 공간의 벽면 또는 측면 등으로 정의될 수 있다.
베이스 플레이트(110)는 복수 개의 베이스 플레이트(110)로 구성될 수 있다. 복수 개의 베이스 플레이트(110)는 각각 다른 베이스 플레이트(110)와 결합되거나, 천정 영역(120) 또는 바닥 영역(130)과 결합될 수 있다.
도 2e를 참조하면, 베이스 플레이트(110)는, 서로 이격된 한 쌍의 제1 베이스 부분(111), 한 쌍의 제1 베이스 부분(111)의 단부에서 각각 서로를 향해 연장되고, 적어도 일 부분이 제3 메인 부분(143)과 밀착되는 제2 베이스 부분(172) 및 한 쌍의 제1 베이스 부분(111) 사이에 배치되는 페이퍼 허니콤(113)을 포함할 수 잇다.
페이퍼 허니콤(113)(Paper honeycomb)은, 종이를 육각기둥 모양으로 만들어 빈틈없이 붙여 판으로 만들어 놓은 것으로, 건축재 및 포장재일 수 있다.
한 쌍의 제1 베이스 부분(111)은, 페이퍼 허니콤(113)의 일면 및 상기 일면과 반대 방향을 향하는 타면에 도포된 또는 코팅된 에폭시일 수 있다. 다른 예로서, 한 쌍의 제1 베이스 부분(111)은, 페이퍼 허니콤(113)의 일면 및 상기 일면과 반대 방향을 향하는 타면에 에폭시를 통해 접합 적층된 알루미늄 재질의 커버층일 수 있다.
또한, 한 쌍의 제1 베이스 부분(111)은, 메인 브라켓(140)의 한 쌍의 제2 메인 부분(142)과 연결 또는 결합될 수 있다.
한 쌍의 제2 베이스 부분(172)은, 페이퍼 허니콤(113)에 연결된 또는 결합된 메인 브라켓(140)의 적어도 일부를 감싸도록 도포된 또는 코팅된 에폭시일 수 있다. 다른 예로서, 한 쌍의 제2 베이스 부분(172)은, 페이퍼 허니콤(113)에 연결된 또는 결합된 메인 브라켓(140)의 적어도 일부를 감싸도록 에폭시를 통해 접합 적층된 알루미늄 재질의 커버층일 수 있다.
베이스 플레이트(110)는, 가벼운 재질의 페이퍼 허니콤(113)을 사용하면서도 높은 강도를 확보할 수 있고, 이에 더해 방음이 구현되는 차별화되는 효과를 가질 수 있다.
베이스 플레이트(110)는, 사각형 플레이트의 형상을 가질 수 있다. 이 때, 사각형 플레이트의 면을 구성하는 일면 및 상기 일면과 반대 방향을 향하는 타면은 전술한 한 쌍의 제1 베이스 부분(111)으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 한 쌍의 제1 베이스 부분(111) 중 어느 하나는, 클린 룸 구조(100)의 내부 공간을 향하는 면일 수 있고, 나머지 하나는, 클린 룸 구조(100)의 외부 공간을 향하는 면일 수 있다.
복수 개의 베이스 플레이트(110)는, 각각 동일 또는 유사한 형상이나 결합 구조를 가질 수 있다. 이에 따라, 모듈화된 복수 개의 베이스 플레이트(110)는, 설계자의 설계 의도에 맞추어 복수 개의 베이스 플레이트(110)의 결합 방향이나 또는 결합 개수 등을 적절하게 선택함으로써, 설계자가 의도한 클린 룸 구조(100)의 크기나 또는 형상을 적절하게 형성할 수 있는 장점이 있다.
이하, 도 2e의 베이스 플레이트(110)에 대한 설명은 복수 개의 베이스 플레이트(110)에 동일 또는 유사하게 적용되고 해석될 수 있다.
메인 브라켓(140)은, 복수 개의 베이스 플레이트(110)에 각각 마련될 수 있다. 좀 더 구체적으로 살펴보면, 사각형 플레이트 형상을 갖는 복수 개의 베이스 플레이트(110)에 각각 마련될 수 있다. 또한, 메인 브라켓(140)은, 복수 개의 베이스 플레이트(110)의 각각의 가장자리에 배치될 수 있다. 예를 들어, 사각형 플레이트 형상의 베이스 플레이트(110)의 4 방향을 향하는 각각의 가장자리에 각각 메인 브라켓(140)이 마련될 수 있다.
메인 브라켓(140)은, 베이스 플레이트(110)가 다른 베이스 플레이트(110)와 결합되거나, 천정 영역(120)과 결합되거나 또는 바닥 영역(130)과 결합될 때, 결합 구조를 제공할 수 있다.
도 2a 및 도 2e를 참조하면, 메인 브라켓(140)은, 제1 메인 부분(141), 제2 메인 부분(142), 제3 메인 부분(143), 제4 메인 부분(144), 제5 메인 부분(145) 및 제6 메인 부분(146)을 포함할 수 있다.
메인 브라켓(140)은, 실질적으로 알루미늄 재질로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 메인 브라켓(140)은, 베이스 플레이트(110)의 가장자리를 따라 연장되는 프레임 또는 바 형상일 수 있으나, 이에 한정하지 않는다.
제1 메인 부분(141)은, 베이스 플레이트(110)의 내부에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 메인 부분(141)은, 페이퍼 허니콤(113)과 연결되는 영역일 수 있다.
제2 메인 부분(142)은, 제1 메인 부분(141)의 일단 또는 양단으로부터 연장되고, 제1 메인 부분(141)과 수직하게 배치될 수 있다. 제2 메인 부분(142)은, 한 쌍으로 구비될 수 있고, 제1 베이스 부분(111)과 연결되는 부분일 수 있다.
제3 메인 부분(143)은, 한 쌍의 제2 메인 부분(142)의 각각의 일단으로부터 연장되고, 제2 메인 부분(142)과 수직하게 배치될 수 있다. 또한, 제3 메인 부분(143)은, 한 쌍으로 구비될 수 있고, 서로 가까워지는 방향을 향해 연장될 수 있다. 또한, 제3 메인 부분(143)은, 실질적으로 제1 메인 부분(141)과 평행하게 배치될 수 있다.
제4 메인 부분(144)은, 한 쌍의 제3 메인 부분(143)의 각각의 일단으로부터 제1 메인 부분(141)을 향해 연장될 수 있다. 또한, 한 쌍의 제4 메인 부분(144)은, 제3 메인 부분(143)과 수직하게 배치될 수 있다. 제4 메인 부분(144)은, 제2 메인 부분(142)과 평행하게 배치될 수 있다.
제5 메인 부분(145)은, 한 쌍의 제4 메인 부분(144)의 일단으로부터 연장되어 연결되는 부분으로 정의될 수 있다. 제5 메인 부분(145)은, 제4 메인 부분(144)과 수직하게 배치되고, 제1 메인 부분(141) 및 제3 메인 부분(143)과 평행하게 배치되고, 제1 메인 부분(141)과 이격될 수 있다. 한편, 제5 메인 부분(145), 제4 메인 부분(144)에 의해 형성된 공간(147)은 후술하는 제3 보조 브라켓(170)이 배치될 수 있다.
제6 메인 부분(146)은, 제5 메인 부분(145)의 적어도 일 부분으로부터 연장되고, 제1 메인 부분(141)의 적어도 일 부분에 연결될 수 있다. 제6 메인 부분(146)은, 속이 빈 중공의 메인 브라켓(140)의 내부 공간에서 일 지점과 타 지점을 연결하는 부분으로써, 속이 비어 경량화된 메인 브라켓(140)의 강성을 확보하거나 향상시킬 수 있는 구성일 수 있다.
한편, 메인 브라켓(140)은 제1 베이스 플레이트(110A)에 마련된 메인 브라켓(140)을 제1 메인 브라켓(140A)으로, 제2 베이스 플레이트(110B)에 마련된 메인 브라켓(140)을 제2 메인 브라켓(140B)으로 정의, 지칭 및/또는 해석할 수 있다.
이하, 설명의 편의를 위해, 복수 개의 베이스 플레이트(110) 중 어느 하나를 제1 베이스 플레이트(110A)로 정의 및 지칭하고, 제1 베이스 플레이트(110A)와 연결 또는 결합되는 다른 베이스 플레이트(110)를 제2 베이스 플레이트(110B, 110C)로 정의 및 지칭한다. 그러나, 전술한 제1 베이스 플레이트(110A) 및 제2 베이스 플레이트(110B, 110C)는 복수 개의 베이스 플레이트(110) 중 특정한 베이스 플레이트(110)를 지칭하는 것이 아니며, 인접되는 복수 개의 베이스 플레이트(110)의 연결 관계에서 정의되는 것임을 명확히 한다.
이하, 설명의 편의를 위해, 110A의 도면 부호를 가지고 있는 베이스 플레이트(110)를 제1 베이스 플레이트(110A)로 정의 및 설명하고, 110B 또는 110C의 도면 부호를 가지고 있는 베이스 플레이트(110)를 제2 베이스 플레이트(110B, 110C)로 정의 및 설명하지만, 110B의 도면 부호 또는 110C의 도면 부호를 가지고 있는 베이스 플레이트(110)를 제1 베이스 플레이트로 정의 및 해석할 경우는, 110A의 도면 부호를 가지고 있는 베이스 플레이트(110)가 제2 베이스 플레이트로 정의 및 해석될 수 있다.
본 발명의 클린 룸 구조(100)는, 제1 베이스 플레이트(110A)와 클린 룸 구조(100)의 천정 영역(120)을 결합시키는 제1 보조 브라켓(150) 및 제1 베이스 플레이트(110A)와 클린 룸 구조(100)의 바닥 영역(130)을 결합시키는 제2 보조 브라켓(160)을 더 포함할 수 있다.
이에 더해, 본 발명의 클린 룸 구조(100)는, 제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110B)가 일 직선으로 결합될 때, 제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110B)를 결합시키는 제3 보조 브라켓(170)을 더 포함할 수 있다.
제1 보조 브라켓(150), 제2 보조 브라켓(160) 및 제3 보조 브라켓(170)에 관한 자세한 설명은 후술하도록 한다.
한편, 클린 룸 구조(100)의 천정을 형성하는 천정 영역(120)은, 특정한 건물의 실내 공간에서 천정으로 정의 및 해석될 수 있고, 이와 달리 별도의 몰드 바(mould bar)로 구성될 수도 있다. 또한, 이에 한정하지 않고, 천정 영역(120)은, 베이스 플레이트(110)로 구성될 수도 있다. 천정 영역(120)은, 클린 룸 구조(100)의 내부 공간의 상부를 커버하는 다양한 구성으로 정의 및 해석될 수 있다.
한편, 클린 룸 구조(100)의 바닥을 형성하는 바닥 영역(130)은, 특정한 건물의 실내 공간에서 바닥으로 정의 및 해석될 수 있고, 이와 달리 별도의 몰드 바(mould bar)로 구성될 수도 있다. 또한, 이에 한정하지 않고, 바닥 영역(130)은, 베이스 플레이트(110)로 구성될 수도 있다. 천정 영역(120)은, 클린 룸 구조(100)의 내부 공간의 바닥면을 형성하는 다양한 구성으로 정의 및 해석될 수 있다.
도 2b는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조(100)의 제1 보조 브라켓(150)을 나타낸 단면도이다. 도 4는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트(110)가 천정 영역(120)과 결합된 제2 연결 구조를 나타낸 단면도이다.
도 1, 도 2b 및 도 4를 참조하면, 제1 보조 브라켓(150)은, 제1 베이스 플레이트(110A)를 천정 영역(120)에 결합시킬 수 있다.
제1 보조 브라켓(150)은, 알루미늄 재질로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
제1 보조 브라켓(150)은, 적어도 일 부분이 천정 영역(120)에 볼트(B)를 통해 고정되는 제1-1 보조 부분(151)을 포함할 수 있다. 제1-1 보조 부분(151)은, 제1 보조 브라켓(150)의 몸체일 수 있으며, 천정 영역(120)에 면 대 면으로 접촉하며 결합되는 구성일 수 있다.
제1 보조 브라켓(150)은, 제1 보조 부분의 일단 또는 양단으로부터 연장되고, 제1 베이스 부분(111)의 외측에 밀착되는 제1-2 보조 부분(152)을 포함할 수 있다.
제1-2 보조 부분(152)은, 제1 보조 부분의 양단에서 연장되는 한 쌍으로 구성될 수 있다. 한 쌍의 제1-2 보조 부분(152)은, 서로 평행하게 배치되며 이격될 수 있다.
한 쌍의 제1-2 보조 부분(152)의 이격 거리는, 실질적으로 제1 베이스 플레이트(110A)의 두께(예: 도 4에서 좌우 방향으로의 두께)보다 작을 수 있다.
이에 따라, 제1 베이스 플레이트(110A)가 제1 보조 브라켓(150)에 결합될 때, 한 쌍의 제1 베이스 부분(111)이 한 쌍의 제1-2 보조 부분(152) 사이에 억지 끼움 결합 방식으로 삽입될 수 있다.
이에 따라, 작업자는 제1 베이스 플레이트(110A)와 제1 보조 브라켓(150)을 연결시키기 위해 별도의 체결부재나 결합부재를 사용하지 않고, 단순히 제1 보조 브라켓(150)에 제1 베이스 플레이트(110A)를 끼우는 방식으로 양자간의 결합이 구현되므로, 작업의 용이성이 확보될 수 있다.
한편, 제1 보조 브라켓(150)은 볼트(B)에 의해 천정 영역(120)에 고정된 상태이고 제1 베이스 플레이트(110A)는 제1 보조 브라켓(150)에 고정된 상태이므로, 제1 베이스 플레이트(110A) 및 천정 영역(120)은 상호간에 제1 보조 브라켓(150)을 통해 결합될 수 있다.
도 8은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조(100)의 제1 보조 브라켓(150)을 나타낸 단면도이다.
도 2e, 도 4 및 도 8을 참조하면, 제1 보조 브라켓(150)은, 제1-3 보조 부분(153) 및 제1-4 보조 부분(154)을 더 포함할 수 있다.
제1-3 보조 부분(153)은, 제1-2 보조 부분(152)의 적어도 일 부분에서 다른 제1-2 보조 부분(152)을 향해 연장되는 영역일 수 있다. 또한, 제1-3 보조 부분(153)은, 도시된 바와 같이 한 쌍으로 구비될 수 있다.
제1-4 보조 부분(154)은, 한 쌍의 제1-3 보조 부분(153)의 각각의 일단으로부터 제1-1 보조 부분(151)으로부터 멀어지는 방향으로 연장될 수 있다. 한 쌍의 제1-4 보조 부분(154)은, 실질적으로 제1-2 보조 부분(152)과 평행하게 배치될 수 있다.
한 쌍의 제1-4 보조 부분(154)이 형성하는 두께(예: 도 8의 좌우 방향으로의 두께)는, 메인 브라켓(140)이 형성하는 공간(147)의 두께(예: 도 2e의 좌우 방향으로의 두께)보다 클 수 있다. 이에 따라, 제1 플레이트가 천정 영역(120)에 결합될 때, 한 쌍의 제1-4 보조 부분(154)이 상기 공간(147)에 억지 끼움 결합 방식으로 삽입될 수 있다.
이에 따라, 제1 플레이트가 천정 영역(120)에 결합될 때, 한 쌍의 제1-4 보조 부분(154)과 메인 브라켓(140)의 공간(147)이 상호간에 고정되므로, 제1 플레이트와 천정 영역(120)의 결합력이 추가적으로 확보될 수 있는 장점이 있다.
한편, 한 쌍의 제1 베이스 부분(111)이 보조 브라켓의 제1-2 보조 부분(152)에 억지 끼움되고, 한 쌍의 제1-4 베이스 부분이 메인 브라켓(140)의 공간(147)에 억지 끼움되므로, 외부의 이물질이 천정 영역(120)과 제1 플레이트 사이를 통해 클린 룸 구조(100)의 내부로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다.
도 2c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조(100)의 제2 보조 브라켓(160)을 나타낸 단면도이다. 도 5는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트(110)가 바닥 영역(130)과 결합된 제3 연결 구조를 나타낸 단면도이다.
도 1, 도 2c 및 도 5를 참조하면, 제2 보조 브라켓(160)은, 제1 베이스 플레이트(110A)를, 바닥 영역(130)에 결합시킬 수 있다.
제2 보조 브라켓(160)은, 알루미늄 재질로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
제2 보조 브라켓(160)은, 적어도 일 부분이 바닥 영역(130)에 고정되는 제2-1 보조 부분(161)을 포함할 수 있다. 제2-1 보조 부분(161)은, 제2 보조 브라켓(160)의 몸체일 수 있으며, 바닥 영역(130)에 면 대 면으로 접촉하며 볼트(B)를 통해 결합되는 구성일 수 있다.
제2 보조 브라켓(160)은, 제2-1 보조 부분(161)의 적어도 일 부분으로부터 돌출되도록 연장된 제2-2 보조 부분(162)을 포함할 수 있다. 제2-2 보조 부분(162)은, 서로 이격된 한 쌍으로 구비될 수 있다.
제2 보조 브라켓(160)은, 제2-2 보조 부분(162)의 일단으로부터 연장되고, 제2-2 보조 부분(162)과 수직하게 배치되고, 제2-2 보조 부분(162)과 평행하게 배치된 제2-3 부분을 포함할 수 있다. 제2-2 보조 부분(162)은, 실질적으로 한 쌍의 제2-2 보조 부분(162)의 일단을 연결하는 부분일 수 있다.
제2-3 보조 부분 및 한 쌍의 제2-2 보조 부분(162)은, 제1 메인 브라켓(140A)이 형성하는 공간(147)에 배치될 수 있다.
제2-1 보조 부분(161)은, 한 쌍의 제1-2 베이스 부분과 접촉 또는 밀착되는 부분일 수 있다.
클린 룸 구조(100)는, 제3 씰링부(183)를 더 포함할 수 있다. 제3 씰링부(183)는, 제1 베이스 플레이트(110A)와 바닥 영역(130) 사이에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제3 씰링부(183)는, 제1 베이스 플레이트(110A)의 제1-2 베이스 부분과 바닥 영역(130) 사이에 배치될 수 있다.
제3 씰링부(183)는, 제2 보조 브라켓(160)과 인접 배치될 수 있다. 구체적으로, 제3 씰링부(183)는, 제2 보조 브라켓(160)의 제2-1 보조 부분(161)과 인접 배치될 수 있다.
제3 씰링부(183)는, 일 실시예로서, 리벳을 활용한 코킹(caulking) 부재일 수 있으나, 이에 한정하지 않고 러버(rubber) 부재일 수 있다.
제3 씰링부(183)는, 제1 베이스 플레이트(110A)와 바닥 영역(130) 사이에 형성된 갭을 밀폐할 수 있다.
이에 따라, 제1 베이스 플레이트(110A)가 바닥 영역(130)에 결합, 연결 또는 설치될 때, 제1-2 베이스 부분이 제2-1 보조 부분(161)에 밀착되고, 제1-2 베이스 부분과 바닥 영역(130) 사이에 형성된 갭은 제3 씰링부(183)를 통해 밀폐되므로, 외부의 이물질이나 먼지 등이 제1 베이스 플레이트(110A)와 바닥 영역(130) 사이를 통해 클린 룸 구조(100)의 내부로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다.
또한, 제1 베이스 플레이트(110A)는, 바닥 영역(130)에 설치된 제2 보조 브라켓(160)의 제2-2 보조 부분(162) 및 제2-3 보조 부분에 제1 메인 브라켓(140A)의 공간(147)이 삽입되도록 제1 베이스 플레이트(110A)의 위치를 조정할 수 있으므로, 작업자가 보다 용이하게 정 위치로 제1 베이스 플레이트(110A)를 배치시킬 수 있는 장점이 있다.
도 9는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트(110)가 바닥 영역(130)과 결합된 제3 연결 구조 및 씰링부를 나타낸 단면도이다.
도 2c, 도 5 및 도 9를 참조하면, 클린 룸 구조(100)는, 제4 씰링부(R)를 더 포함할 수 있다. 제4 씰링부(R)는, 제2-1 보조 부분(161)과 메인 브라켓(140)의 제3 메인 부분(143) 사이에 배치될 수 있다. 도시된 바와 같이, 제4 씰링부(R)는, 제2-1 보조 부분(161)에 형성된 홈에 삽입되도록 배치될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
제4 씰링부(R)는, 러버(rubber) 부재를 포함할 수 있다. 제4 씰링부(R)는, 제3 메인 부분(143)과 제2-1 보조 부분(161) 사이에 형성된 갭을 밀폐할 수 있다. 이에 따라, 제1 베이스 플레이트(110A)가 바닥 영역(130)에 설치될 때, 제3 씰링부(183) 및 제4 씰링부(R)에 의해 이중으로 이물질 유입 차단 구조를 형성하므로, 제1 베이스 플레이트(110A)와 바닥 영역(130) 사이를 통해 외부의 이물질이 클린 룸 구조(100)의 내부로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다.
도 2d는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 구조(100)의 제3 보조 브라켓(170)을 나타낸 단면도이다. 도 3은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트(110)가 다른 베이스 플레이트(110)와 일 직선으로 결합된 제1 연결 구조를 나타낸 단면도이다.
도 1, 도 2d 및 도 3을 참조하면, 제3 보조 브라켓(170)은, 제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110B)가 일 직선으로 결합, 연결 또는 설치될 때, 제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110B)를 결합, 연결 또는 상호간에 고정시키는 구성일 수 있다.
제3 보조 브라켓(170)은, 알루미늄 재질로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
제3 보조 브라켓(170)은, 적어도 일 부분이 제5 메인 부분(145)에 밀착되는 제3-1 보조 부분(171)을 포함할 수 있다. 제3-1 보조 부분(171)은, 제3-2 보조 부분(172)보다 짧은 길이를 가질 수 있다. 제3-1 보조 부분(171)은, 한 쌍으로 구성될 수 있고, 한 쌍의 제3-1 보조 부분(171)은, 각각 제1 메인 브라켓(140A)의 제5 메인 부분(145) 및 제2 메인 브라켓(140B)의 제5 메인 부분(145)에 밀착될 수 있다.
제3 보조 브라켓(170)은, 제3 보조 부분의 일단으로부터 연장되고, 제3-1 보조 부분(171)과 수직하게 배치되고, 적어도 일 부분이 제4 메인 부분(144)에 밀착되는 제3-2 보조 부분(172)을 포함할 수 있다.
제3-2 보조 부분(172)은, 한 쌍으로 구성될 수 있고, 한 쌍의 제3-2 보조 부분(172)은, 각각 한 쌍의 제3-1 보조 부분(171)의 양단을 연결할 수 있다. 이에 따라, 제3 보조 브라켓(170)은 단면 형상이 사각형이고 내부가 빈 중공의 형상을 가질 수 있다. 한 쌍의 제3-2 보조 부분(172)은, 각각 제1 메인 브라켓(140A) 및 제2 메인 브라켓(140B)의 제4 메인 부분(144)에 밀착될 수 있다.
한 쌍의 제3-2 보조 부분(172)이 형성하는 두께(도 3에서의 좌우 방향으로의 두께)는, 제1 메인 브라켓(140A) 및 제2 메인 브라켓(140B) 각각의 한 쌍의 제4 메인 부분(144)의 이격 거리(도 3에서의 좌우 방향으로의 이격 거리)보다 클 수 있다.
이에 따라, 제1 베이스 플레이트(110A)의 제1 메인 브라켓(140A)의 공간(147)에 제3 보조 브라켓(170)이 억지 끼움 결합 방식으로 삽입될 수 있고, 제2 베이스 플레이트(110B)의 제2 메인 브라켓(140B)의 공간(147)에 제3 보조 브라켓(170)이 억지 끼움 결합 방식으로 삽입될 수 있다.
이에 따라, 작업자는 어느 하나의 베이스 플레이트(110)의 메인 브라켓(140)에 우선적으로 제3 보조 브라켓(170)을 억지 끼움으로 결합하고, 나머지 하나의 베이스 플레이트(110)의 메인 브라켓(140)을 제3 보조 브라켓(170)에 억지 끼움으로 결합시킴으로써, 별도의 체결 부재 없이 베이스 플레이트(110)를 연결시킬 수 있으므로 작업의 용이성이 확보될 수 있다.
한편, 제1 메인 브라켓(140A) 및 제2 메인 브라켓(140B)에 제3 보조 브라켓(170)이 억지 끼움 방식으로 체결됨으로써, 제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110B) 사이의 공간을 통해 외부의 이물질의 클린 룸 구조(100)의 내부 공간으로 유입되는 것이 원천적으로 차단될 수 있다.
제3 보조 브라켓(170)을 통해 일 직선으로 결합, 연결 또는 설치된 제1 베이스 플레이트(110A) 및 제2 베이스 플레이트(110B)는, 실질적으로 평평한 내면(클린 룸 구조(100)의 실내 공간을 향하는 면) 및 평평한 외면(클린 룸 구조(100)의 외부 공간을 향하는 면)을 형성할 수 있다.
도 3을 참조하면, 클린 룸 구조(100)는, 제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110B)가 일 직선으로 결합될 때, 제1 메인 브라켓(140A)의 제3 메인 부분(143)과 제2 메인 브라켓(140B)의 제3 메인 부분(143) 사이에 배치된 제1 씰링부(181)를 더 포함할 수 있다.
제1 씰링부(181)는, 러버 부재 또는 코킹 부재 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 이에 한정되지 않고 틈 또는 갭을 밀폐하는 다양한 수단을 포함할 수 있다. 제1 씰링부(181)는, 제1 메인 브라켓(140A)의 제3 메인 부분(143)과 제2 메인 브라켓(140B)의 제3 메인 부분(143)에 밀착됨으로써, 제1 메인 브라켓(140A)의 제3 메인 부분(143)과 제2 메인 브라켓(140B)의 제3 메인 부분(143) 사이에 형성된 갭을 밀폐할 수 있다. 이에 따라, 외부의 이물질이 제1 메인 브라켓(140A)의 제3 메인 부분(143)과 제2 메인 브라켓(140B)의 제3 메인 부분(143) 사이에 형성된 갭을 통해 클린 룸 구조(100)의 내부 공간으로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다.
도 3을 참조하면, 클린 룸 구조(100)는, 제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110B)가 일 직선으로 결합될 때, 제1 베이스 플레이트(110A)의 제2 베이스 부분(172)과 제2 베이스 플레이트(110B)의 제2 베이스 부분(172) 사이에 배치되고, 제1 씰링부(181)보다 제3 보조 브라켓(170)으로부터 멀리 배치된 제2 씰링부(182)를 포함할 수 있다. 제2 씰링부(182)는, 적어도 일부가 제1 메인 브라켓(140A)의 제3 메인 부분(143)과 제2 메인 브라켓(140B)의 제3 메인 부분(143) 사이에 배치될 수도 있다.
제2 씰링부(182)는, 러버 부재 또는 코킹 부재 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 이에 한정되지 않고 틈 또는 갭을 밀폐하는 다양한 수단을 포함할 수 있다. 제2 씰링부(182)는, 제1 베이스 플레이트(110A)의 제2 베이스 부분(172)과 제2 베이스 플레이트(110B)의 제2 베이스 부분(172)에 밀착됨으로써, 제1 베이스 플레이트(110A)의 제2 베이스 부분(172)과 제2 베이스 플레이트(110B)의 제2 베이스 부분(172) 사이에 형성된 갭을 밀폐할 수 있다. 이에 따라, 외부의 이물질이 제1 베이스 플레이트(110A)의 제2 베이스 부분(172)과 제2 베이스 플레이트(110B)의 제2 베이스 부분(172) 사이에 통해 클린 룸 구조(100)의 내부 공간으로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다. 이에 따라, 제1 씰링부(181) 및 제2 씰링부(182)가 이중으로 외부의 이물질이 클린 룸 구조(100)로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트(110)가 다른 베이스 플레이트(110)와 일 직선으로 결합된 제1 연결 구조 및 팽창부(S)를 나타낸 단면도이다.
도 1, 도 2d, 도 3 및 도 7을 참조하면, 클린 룸 구조(100)는, 팽창부(S)를 더 포함할 수 있다.
팽창부(S)는, 제3 보조 브라켓(170)의 내부 공간(173)에 배치될 수 있다. 구체적으로 살펴보면, 팽창부(S)는, 용융 수지를 발포시켜 형성할 수 있다. 구체적으로 살펴보면, 용융 수지는 열가소성 탄성체(TPE, Thermo Plastic Elastomer) 및 발포제가 용융되어 마련될 수 있다. 예를 들어, 열가소성 탄성체 및 발포체가 용융된 용융 수지를 제3 보조 브라켓(170)의 내부 공간에 주입한 후, 이를 발포시킬 수 있다.
열가소성 탄성체(TPE, Thermo Plastic Elastomer)는 고온에서 유연하게 되는 플라스틱과 마찬가지로 성형할 수 있고, 상온에서는 고무탄성체(Elastomer)의 성질을 내는 고분자 재료이다. 열가소성 탄성체(TPE)는 사용 재료에 따라 Styrene계 (thermoplastic styrenic block copolymer, SBC), Olefin계 (thermoplastic olefinic elastomer, TPO) urethane계 (thermoplastic polyurethane, TPU), amide계 (thermoplastic polyamide, TPAE), polyester계 (thermoplastic polyester elastomer, TPEE)등으로 구분될 수 있다. 그리고 발포제는 화학적 발포제 또는 물리적 발포제로 마련될 수 있다.
용융 수지 주입기에 열가소성 탄성체와, 발포제가 용융되어 마련되며, 용융 수지(열가소성 탄성체와 발포제가 용융된 상태)가 제3 보조 브라켓(170)의 내부 공간으로 주입될 수 있다. 제3 보조 브라켓(170)을 가열기(미도시)와 연결한 후, 이를 발포시킬 수 있다.
팽창부(S)는, 용융 수지가 발포되어 부피가 커져 형성될 수 있다. 예를 들어, 팽창부(S)는, 스티로폼 부재로 이해될 수 있다. 팽창부(S)는, 제3 보조 브라켓(170)의 제한된 내부 공간에서 발포되어 부피가 증가되므로, 제3 보조 브라켓(170)은 어느 정도 늘어나며 그 단면적의 크기가 증가되게 된다. 이를 활용하여, 제3 보조 브라켓(170)이 제1 메인 브라켓(140A)과 제2 메인 브라켓(140B)에 억지 끼움 결합된 이후, 제3 보조 브라켓(170)의 내부에 용융 수지를 주입시켜 가열기를 통해 제3 보조 브라켓(170)을 가열시켜 용융 수지를 발포시킬 수 있고, 이에 따라 팽창부(S)가 형성될 수 있다. 팽창부(S)는, 부피가 증가되며 제3 보조 브라켓(170)의 내부에서 제3-1 보조 부분(171) 및 제3-2 보조 부분(172)을 제3 보조 브라켓(170)의 바깥 방향으로 밀어내는 압력을 가하게 되고, 이에 따라 한 쌍의 제3-2 보조 부분(172)은, 한 쌍의 제4-1 메인 부분을 가압하게 된다. 이에 따라, 제1 메인 브라켓(140A) 및 제2 메인 브라켓(140B)은 더욱 강하게 제3 보조 브라켓(170)에 고정될 수 있다.
도 6은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트(110)가 다른 베이스 플레이트(110)와 수직하게 결합된 제4 연결 구조를 나타낸 단면도이다.
도 1 및 도 6을 참조하면, 클린 룸 구조(100)는, 제4 보조 브라켓(191) 및 제5 보조 브라켓(195)을 더 포함할 수 있다.
제4 보조 브라켓(191) 및 제5 보조 브라켓(195)은, 제1 베이스 플레이트(110A)가 제2 베이스 플레이트(110C)에 수직한 방향으로 결합될 때, 제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110C)를 결합시키도록 구성될 수 있다.
제4 보조 브라켓(191) 및 제5 보조 브라켓(195)은, 각각 알루미늄 재질로 구성될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
제4 보조 브라켓(191)은, 적어도 일 부분이 제2 베이스 부분(172)에 밀착되는 제4-1 보조 부분(192)을 포함할 수 있다. 제4-1 보조 부분(192)은, 한 쌍으로 구비될 수 있고, 한 쌍의 제4-1 보조 부분(192)은 연결되되 서로 수직한 방향으로 연장될 수 있다.
한 쌍의 제4-1 보조 부분(192) 중 어느 하나는 제1 메인 브라켓(140A)의 제2 베이스 부분(172)에 면 대 면으로 접촉하며 결합되는 구성일 수 있고, 한 쌍의 제4-1 보조 부분(192) 중 나머지 하나는 제2 메인 브라켓(140C)의 제2 베이스 부분(172)에 면 대 면으로 접촉하며 결합되는 구성일 수 있다.
제4 보조 브라켓(191)은, 제4-1 보조 부분(192)의 적어도 일 부분으로부터 돌출된 제4-2 보조 부분(193)을 포함할 수 있다. 제4-2 보조 부분(193)은, 한 쌍의 제4-1 보조 부분(192)에 각각 마련되는 한 쌍으로 구비될 수 있다. 제4-2 보조 부분(193)은, 제5 보조 브라켓(195)의 제5-1 보조 부분(196)에 삽입될 수 있다.
제5 보조 브라켓(195)은, 제4-2 보조 부분(193)이 삽입 고정되도록 형성된 제5-1 보조 부분(196)을 포함할 수 있다. 제5-1 보조 부분(196)은, 적어도 일 부분이 다른 부분보다 함몰 형성된 홈을 포함할 수 있고, 상기 홈에 제4-2 보조 부분(193)이 삽입 고정될 수 있다. 제5-1 보조 부분(196)은, 한 쌍으로 마련되어 각각 한 쌍의 제4-2 보조 부분(193)이 하나씩 삽입 고정될 수 있다.
제5 보조 브라켓(195)은, 제5-1 보조 부분(196)의 일단으로부터 연장된 제5-2 보조 부분(197)을 포함할 수 있다. 제5-2 보조 부분(197)은, 한 쌍의 제5-1 보조 부분(196)의 각각의 일단으로부터 연장되는 한 쌍으로 구비될 수 있다. 한 쌍의 제5-2 보조 부분(197) 중 어느 하나는 제1 베이스 플레이트(110A)를 향하도록 배치되고, 나머지 하나는 제2 베이스 플레이트(110C)를 향하도록 배치될 수 있다. 또한, 한 쌍의 제5-2 보조 부분(197)은, 각각 한 쌍의 제4-1 보조 부분(192)과 적어도 일 부분이 밀착될 수 있다.
제5 보조 브라켓(195)은, 제5-2 보조 부분(197)의 일단으로부터 연장되고, 제5-2 보조 부분(197)과 수직하게 배치된 제5-3 보조 부분(198)을 포함할 수 있다. 제5-3 보조 부분(198)은, 각각 한 쌍의 제5-2 보조 부분(197)의 일단으로부터 연장되는 한 쌍으로 구비될 수 있고, 각각 연결된 한 쌍의 제5-2 보조 부분(197)에 대해 수직하게 배치될 수 있다. 한 쌍의 제5-3 보조 부분(198)은 단부가 서로 연결되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 한 쌍의 제5-3 보조 부분(198) 중 어느 하나는 나머지 하나에 대해 수직하게 배치 또는 연결될 수 있다.
제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110C)를 수직한 방향으로 결합시킬 때, 작업자는 제4 보조 브라켓(191)을 제1 메인 브라켓(140A) 및 제2 메인 브라켓(140C)에 볼트(B)를 통해 고정시킬 수 있다. 구체적으로, 제1 베이스 플레이트(110A)와 제2 베이스 플레이트(110C)를 어느 정도 수직한 배치 상태를 가지도록 위치시킨 후, 제4 보조 브라켓(191)에 제1 베이스 플레이트(110A) 및 제2 베이스 플레이트(110C)를 결합시킬 수 있다. 이 때, 제4 보조 브라켓(191)은, 한 쌍의 제4-1 보조 부분(192)이 서로에 대해 수직하게 배치되므로, 한 쌍의 제4-1 보조 부분(192)에 결합되는 제1 베이스 플레이트(110A)의 제2 베이스 부분(172) 및 제2 베이스 플레이트(110C)의 제2 베이스 부분(172)이 서로에 대해 수직하게 배치될 수 있다. 그러므로, 제1 베이스 플레이트(110A) 및 제2 베이스 플레이트(110C)가 수직한 방향으로 배치될 수 있고, 이 때 한 쌍의 제4-1 보조 부분(192)을 각각 볼트(B)를 통해 제1 메인 브라켓(140A)의 제5 메인 부분(145) 및 제2 메인 브라켓(140C)의 제5 메인 부분(145)에 고정시킬 수 있다.
또한, 한 쌍의 제4-2 보조 부분(193)이 각각 한 쌍의 제5-1 보조 부분(196)에 삽입되어 고정되므로, 제4 보조 브라켓(191)은 제5 보조 브라켓(195)에 의해 지지될 수 있다.
또한, 제4 보조 브라켓(191)은 제1 베이스 플레이트(110A) 및 제2 베이스 플레이트(110C)에 밀착되므로, 제4 보조 브라켓(191)과 제1 베이스 플레이트(110A) 사이 또는 제4 보조 브라켓(191)과 제2 베이스 플레이트(110C) 사이를 통해 외부의 이물질이 클린 룸 구조(100)의 내부로 유입되는 것을 원천적으로 차단할 수 있다.
또한, 제4 보조 브라켓(191)은 제5 보조 브라켓(195)에 고정되고, 제4-2 보조 부분(193)과 제5-1 보조 부분(196)이 결합되는 부분의 틈의 경로는 연속으로 복수 회 꺾이는 구조를 가지므로, 외부의 이물질이 상기 틈의 경로를 통해 클린 룸 구조(100)의 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도시되지는 않았지만, 서로 수직하게 배치되는 제1 베이스 플레이트(110A)의 제1 베이스 부분(111)(도 6의 제1 베이스 플레이트(110A)의 우측 제1 베이스 부분(111)) 및 제2 베이스 플레이트(110C)의 제1 베이스 부분(111)(도 6의 제2 베이스 플레이트(110C)의 상측 제1 베이스 부분(111))이 형성하는 모퉁이(corner)는 씰링부(미도시)가 배치될 수 있다. 상기 씰링부(미도시)는 리벳을 활용한 코킹(caulking) 부재일 수 있으나, 이에 한정하지 않고 러버(rubber) 부재일 수 있다. 이에 따라, 상기 모퉁이에 형성된 틈이나 갭을 통해 외부의 이물질이 클린 룸 구조(100)의 내부 공간으로 유입되는 것이 씰링부(미도시)에 의해 원천적으로 차단될 수 있다.
도 10은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 베이스 플레이트(110)가 다른 베이스 플레이트(110)와 수직하게 결합된 제4 연결 구조 및 가이드부를 나타낸 단면도이다.
도 10을 참조하면, 제4 보조 브라켓(191)은, 제4-3 보조 부분(194)을 더 포함할 수 있다. 제4-3 보조 부분(194)은, 제4-1 보조 부분(192)의 적어도 일 부분으로부터 돌출되고, 제4-2 보조 부분(193)과 반대 방향으로 돌출될 수 있다. 제4-3 보조 부분(194)은, 한 쌍의 제4-1 보조 부분(192)에 각각 마련되는 한 쌍으로 구비될 수 있다. 한 쌍의 제4-3 보조 부분(194) 중 적어도 하나는 제1 메인 브라켓(140A)의 제4 메인 부분(144) 중 어느 하나에 밀착되고, 나머지 하나는 제2 메인 브라켓(140C)의 제4 메인 부분(144) 중 어느 하나에 밀착될 수 있다. 이에 따라, 작업자가 제1 베이스 플레이트(110A) 및 제2 베이스 플레이트(110C)의 설치를 위해 배치를 정리할 때, 가이드부로 기능하는 제4-3 보조 부분(194)에 제1 메인 브라켓(140A) 및 제2 메인 브라켓(140C)의 각각의 제4-3 보조 부분(194)이 밀착되도록 함으로써 보다 쉽게 제1 베이스 플레이트(110A) 및 제2 베이스 플레이트(110C)의 설치를 위한 위치를 정렬할 수 있다.
도 11은 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 기밀성이 향상된 클린 룸 시스템(1000)을 나타낸 블록도이다. 도 12는 본 발명의 다양한 실시예에 따른, 클린 룸 구조(100) 및 클린 룸 시스템(1000)의 먼지를 배출하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도1, 도 11 및 도 12를 참조하면, 기밀성이 향상된 클린 룸 시스템(1000)은, 전술한 클린 룸 구조(100) 및 이의 구성요소들을 포함할 수 있다.
클린 룸 구조(100) 또는 클린 룸 구조(100)를 포함하는 클린 룸 시스템(1000)은, 온도 센서(1030), 먼지 센서(1040), 프로세서(1010), 메모리(1020), 유입팬(1050), 토출팬(1060) 및 통신 모듈을 포함할 수 있다.
온도 센서(1030)는, 클린 룸 구조(100)의 복수 개의 베이스 플레이트(110) 중 어느 하나에 마련되거나 복수 개에 각각 마련될 수 있다. 온도 센서(1030)는, 클린 룸 구조(100)의 내부 공간의 온도를 측정할 수 있다. 온도 센서(1030)로부터 측정된 클린 룸 구조(100)의 내부 공간의 온도에 대한 정보는 프로세서(1010)로 제공될 수 있다.
먼지 센서(1040)는, 클린 룸 구조(100)의 복수 개의 베이스 플레이트(110) 중 어느 하나에 마련되거나 복수 개에 각각 마련될 수 있다. 먼지 센서(1040)는, 클린 룸 구조(100)의 내부 공간의 먼지의 양을 측정할 수 있다. 먼지 센서(1040)로부터 측정된 클린 룸 구조(100)의 내부 공간의 먼지의 양에 대한 정보는 프로세서(1010)로 제공될 수 있다.
유입팬(1050)은, 제1 베이스 플레이트(110A) 또는 제2 베이스 플레이트(110B)에 마련될 수 있다. 토출팬(1060)은, 제1 베이스 플레이트(110A) 또는 제2 베이스 플레이트(110B)에 마련되고, 유입팬(1050)과 이격될 수 있다.
이하, 설명의 편의를 위해 서로 마주보도록 배치되고 이격된 한 쌍의 제1 베이스 플레이트(110A, 110D) 중 어느 하나(110D)에 유입팬(1050)이 마련되고 나머지 하나(110A)에 토출팬(1060)이 마련된 경우를 예로 들어 설명한다.
유입팬(1050)은, 제1 유입부(1052) 및 제1 토출부(1053)가 형성된 제1 하우징(1051), 제1 하우징(1051)의 내부에 배치되는 액츄에이터에 의해 동작되는 제1 팬(1054), 제1 유입부(1052)에 배치된 제1-1 메쉬 부재(1052a), 제1 토출부(1053)에 배치된 제1-2 메쉬 부재(1053a) 및 제1 토출부(1053)를 개폐하는 제1 도어(1055)를 포함할 수 있다.
제1 하우징(1051)은, 제1 유입부(1052) 및 제1 토출부(1053)가 연결되는 통형의 하우징일 수 있고, 제1 하우징(1051)의 내부에는 모터와 같은 액츄에이터에 의해 동작되는 제1 팬(1054)이 배치될 수 있다. 제1 하우징(1051)은, 제1 베이스 플레이트(110A)의 적어도 일 부분에 관통 배치될 수 있다.
제1-1 메쉬 부재(1052a)는, 제1 유입부(1052)에 설치되고, 지정된 직경 또는 크기의 홀들이 다수 형성된 메쉬 부재일 수 있다. 제1-2 메쉬 부재(1053a)는, 제1 토출부(1053)에 설치되고, 지정된 직경 또는 크기의 홀들이 다수 형성된 메쉬 부재일 수 있다.
제1 도어(1055)는, 제1 토출부(1053)를 개방시키거나 또는 제1 토출부(1053)를 폐쇄할 수 있다. 이에 따라, 제1 토출부(1053)가 제1 도어(1055)에 의해 개방된 경우, 클린 룸 구조(100)의 외부 공간과 내부 공간 사이에 공기가 유통될 수 있는 통로가 형성될 수 있고, 제1 토출부(1053)가 제1 도어(1055)에 의해 폐쇄된 경우 상기 유통될 수 있는 통로가 폐쇄될 수 있다.
토출팬(1060)은, 제2 유입부(1062) 및 제2 토출부(1063)가 형성된 제2 하우징(1061), 제2 하우징(1061)의 내부에 배치되는 액츄에이터에 의해 동작되는 제2 팬(1064), 제2 유입부(1062)에 배치된 제2-1 메쉬 부재(1062a), 제2 토출부(1063)에 배치된 제2-2 메쉬 부재(1063a) 및 제2 유입부(1062)를 개폐하는 제2 도어(1065)를 포함할 수 있다.
제2 하우징(1061)은, 제2 유입부(1062) 및 제2 토출부(1063)가 연결되는 통형의 하우징일 수 있고, 제2 하우징(1061)의 내부에는 모터와 같은 액츄에이터에 의해 동작되는 제2 팬(1064)이 배치될 수 있다. 제2 하우징(1061)은, 제2 베이스 플레이트(110B)의 적어도 일 부분에 관통 배치될 수 있다.
제2-1 메쉬 부재(1062a)는, 제2 유입부(1062)에 설치되고, 지정된 직경 또는 크기의 홀들이 다수 형성된 메쉬 부재일 수 있다. 제2-2 메쉬 부재(1063a)는, 제2 토출부(1063)에 설치되고, 지정된 직경 또는 크기의 홀들이 다수 형성된 메쉬 부재일 수 있다.
제2 도어(1065)는, 제2 유입부(1062)를 개방시키거나 또는 제2 유입부(1062)를 폐쇄할 수 있다. 이에 따라, 제2 유입부(1062)가 제2 도어(1065)에 의해 개방된 경우, 클린 룸 구조(100)의 외부 공간과 내부 공간 사이에 공기가 유통될 수 있는 통로가 형성될 수 있고, 제2 유입부(1062)가 제2 도어(1065)에 의해 폐쇄된 경우 상기 유통될 수 있는 통로가 폐쇄될 수 있다.
유입팬(1050)은, 바닥 영역(130)을 기준으로 토출팬(1060)보다 높게 배치될 수 있다. 이에 따라, 제1 팬(1054) 및 제2 팬(1064)을 일 방향으로 동작시킬 때, 클린 룸 구조(100)의 내부 공간에서 공기의 흐름(W)은 상부에서 하방을 향하도록 형성될 수 있다. 한편, 제1 팬(1054) 및 제2 팬(1064)을 상기 일 방향과 반대 방향인 타 방향으로 회전시킬 때, 클린 룸 구조(100)의 내부 공간에서 공기의 흐름은 하부에서 상방을 향하도록 형성시킬 수 있다.
프로세서(1010)는, 온도 센서(1030)로부터 감지된 상기 클린 룸 구조(100)의 내부 온도에 대한 온도 정보를 수신하고, 먼지 센서(1040)로부터 감지된 클린 룸 구조(100)의 내부 먼지 양에 대한 정보를 수신하고, 유입팬(1050) 및 토출팬(1060)의 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.
예를 들어, 프로세서(1010)는, 클린 룸 구조(100)의 내부 온도인 온도 정보가 메모리(1020)에 저장된 기 설정된 온도보다 높을 때 또는 클린 룸 구조(100)의 내부 먼지 양에 해당되는 내부 먼지 양에 대한 정보가 메모리(1020)에 저장된 기 설정된 양보다 많을 때 중 적어도 어느 하나인 경우, 제1 도어(1055) 및 제2 도어(1065)가 각각 제1 토출부(1053) 및 제2 유입부(1062)를 개방시키도록 제1 도어(1055) 및 제2 도어(1065)를 개방하고, 제1 팬(1054) 및 제2 팬(1064)을 일 방향 또는 타 방향으로 회전시켜 클린 룸 구조(100)의 내부 공간에서 공기의 흐름(W)을 형성할 수 있다.
프로세서(1010)는, 공기의 흐름(W)이 형성된 뒤, 내부 먼지 양 또는 내부 온도가 기 설정된 값들보다 낮아진 경우, 제1 도어(1055) 및 제2 도어(1065)가 각각 제1 토출부(1053) 및 제2 유입부(1062)를 폐쇄시키도록 제1 도어(1055) 및 제2 도어(1065)를 폐쇄하고, 제1 팬(1054) 및 제2 팬(1064)의 동작을 정지시킬 수 있다.
이에 따라, 내부 공간의 온도나 먼지의 양은 클린 룸 구조(100)의 외부 공기를 클린 룸 구조(100)의 내부 공간으로 유통시킴으로써 적절히 조절될 수 있다.
한편, 제1-1 메쉬 부재(1052a), 제1-2 메쉬 부재(1053a), 제2-1 메쉬 부재(1062a) 및 제2-2 메쉬 부재(1063a)는, 설계자의 설계에 따라 기공의 크기를 적절히 설계함으로써 클린 룸 구조(100)의 내부 공간으로 유통되는 먼지의 크기를 제한할 수 있다. 또한, 이에 한정되지 않고, 고어텍스 부재를 공기가 클린 룸 구조(100)의 내부 공간으로 유입되는 쪽에 메쉬 부재에 추가적으로 설치함으로써 먼지가 클린 룸 구조(100)의 내부 공간으로 유통되는 것을 원천적으로 차단하고, 공기가 토출되는 쪽의 메쉬 부재는 어느 정도 메쉬 부재들의 직경을 확보함으로써 먼지가 배출되는 것은 허용하도록 설계될 수도 있다.
도시되지는 않았지만, 클린 룸 구조(100) 및 클린 룸 구조(100)를 포함하는 클린 룸 시스템(1000)은, 통신 모듈(미도시)을 더 포함하고, 이에 따라 상기와 같은 먼지의 양이 많거나 내부 온도가 높은 상황일 때, 프로세서(1010)는 통신 모듈을 통해 사용자 또는 운영자의 사용자 디바이스(예: 컴퓨터 또는 스마트폰 등)로 해당 정보들을 송신할 수 있다. 이에 따라, 사용자 또는 운영자는 사용자 디바이스를 통해 유입팬(1050) 및 토출팬(1060)의 동작을 직접 제어할 수도 있다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
100 : 클린 룸 구조
110: 베이스 플레이트
120: 천정 영역
130: 바닥 영역
140: 메인 브라켓
150: 제1 보조 브라켓
160: 제2 보조 브라켓
170: 제3 보조 브라켓
191: 제4 보조 브라켓
195: 제5 보조 브라켓
1000: 클린 룸 시스템

Claims (10)

  1. 기밀성이 향상된 클린 룸 구조에 있어서,
    상기 클린 룸 구조의 측면 중 적어도 일 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제1 베이스 플레이트;
    상기 클린 룸 구조의 측면 중 상기 적어도 일 부분과 다른 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제2 베이스 플레이트;
    상기 제1 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제1 메인 브라켓;
    상기 제2 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제2 메인 브라켓;
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 천정 영역을 결합시키는 제1 보조 브라켓;
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 바닥 영역을 결합시키는 제2 보조 브라켓; 및
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트를 결합시키는 제3 보조 브라켓;을 포함하고,
    상기 제1 메인 브라켓 및 상기 제2 메인 브라켓은, 각각
    상기 제1 베이스 플레이트 또는 상기 제2 베이스 플레이트의 내부에 배치된 제1 메인 부분;
    상기 제1 메인 부분의 양단으로부터 연장되고, 상기 제1 메인 부분과 수직하게 배치된 한 쌍의 제2 메인 부분;
    상기 한 쌍의 제2 메인 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제2 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분과 평행하게 배치된 한 쌍의 제3 메인 부분;
    상기 한 쌍의 제3 메인 부분의 일단으로부터 상기 제1 메인 부분을 향해 연장되고, 상기 제3 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제2 메인 부분과 평행하게 배치된 한 쌍의 제4 메인 부분;
    상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제4 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분 및 상기 제3 메인 부분과 평행하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분과 이격된 제5 메인 부분;
    상기 제5 메인 부분의 적어도 일 부분으로부터 연장되고, 상기 제1 메인 부분의 적어도 일 부분에 연결된 제6 메인 부분; 및
    상기 제5 메인 부분 및 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 형성된 공간을 포함하고,
    상기 제1 베이스 플레이트 및 상기 제2 베이스 플레이트는, 각각
    서로 이격된 한 쌍의 제1 베이스 부분;
    상기 한 쌍의 제1 베이스 부분의 단부에서 각각 서로를 향해 연장되고, 적어도 일 부분이 상기 제3 메인 부분과 밀착되는 제2 베이스 부분; 및
    상기 한 쌍의 제1 베이스 부분 사이에 배치되는 페이퍼 허니콤;을 포함하고,
    상기 제1 보조 브라켓은,
    적어도 일 부분이 상기 천정 영역에 볼트를 통해 고정되는 제1-1 보조 부분; 및
    상기 제1 보조 부분의 양단으로부터 연장되는 한 쌍의 제1-2 보조 부분으로서, 서로 이격되어 평행하게 배치되고 상기 제1 베이스 부분의 외측에 밀착된 한 쌍의 제1-2 보조 부분;
    상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분 각각의 일 부분에서 다른 제1-2 보조 부분을 향해 연장된 한 쌍의 제1-3 보조 부분으로서, 상기 제1-1 보조 부분에 평행하게 연장된 한 쌍의 제1-3 보조 부분; 및
    상기 한 쌍의 제1-3 보조 부분 각각의 말단에서 상기 제1-1 보조 부분으로부터 멀어지는 방향으로 연장된 한 쌍의 제1-4 보조 부분으로서, 상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분과 평행하게 배치된 한 쌍의 제1-4 보조 부분
    을 포함하고,
    상기 제1 베이스 플레이트가 상기 천정 영역에 결합될 때, 상기 한 쌍의 제1 베이스 부분은 상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분 사이에 억지 끼움 결합되고, 상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분의 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 억지 끼움 결합되고,
    상기 제3 보조 브라켓은,
    적어도 일 부분이 상기 제5 메인 부분에 밀착되는 한 쌍의 제3-1 보조 부분;
    각각이 상기 한 쌍의 제3-1 보조 부분의 양단을 연결하도록 연장된 한 쌍의 제3-2 보조 부분으로서, 상기 한 쌍의 제3-2 보조 부분은 상기 제3-1 보조 부분과 수직하게 배치되고, 적어도 일 부분이 상기 한 쌍의 제4 메인 부분에 밀착되는 것인, 한 쌍의 제3-2 보조 부분;
    상기 한 쌍의 제3-1 보조 부분 및 상기 한 상의 제3-2 보조 부분의 사이에 중공 형성된 내부 공간; 및
    상기 내부 공간에 배치된 팽창부로서, 상기 팽창부는 용융 수지가 발포되어 형성되고, 상기 용융 수지는 열가소성 탄성체(TPE, Thermo Plastic Elastomer) 및 발포제가 용융되어 마련되는 것인, 팽창부
    을 포함하고,
    상기 제3 보조 브라켓의 일부는 상기 제1 베이스 플레이트측의 상기 제1 메인 브라켓의 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 억지 끼움 결합되고, 상기 제3 보조 브라켓의 나머지 일부는 상기 제2 베이스 플레이트측의 상기 제2 메인 브라켓의 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 억지 끼움 결합되고,
    상기 제3 보조 브라켓의 부피는 상기 팽창부에 의해 증가되고,
    상기 팽창부는, 상기 제3 보조 브라켓이 상기 제1 메인 브라켓 및 상기 제2 메인 브라켓에 억지 끼움 결합된 후, 상기 내부 공간에 상기 용융 수지가 주입되고 가열기에 의해 상기 제3 보조 브라켓이 가열됨으로써 발포되어 형성되는 것인, 클린 룸 구조.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 보조 브라켓은,
    적어도 일 부분이 상기 바닥 영역에 고정되는 제2-1 보조 부분;
    상기 제2-1 보조 부분의 적어도 일 부분으로부터 돌출되도록 연장된 제2-2 보조 부분; 및
    상기 제2-2 보조 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제2-2 보조 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제2-2 보조 부분과 평행하게 배치된 제2-3 부분;을 포함하는 클린 룸 구조.
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 베이스 플레이트가 상기 제2 베이스 플레이트와 수직으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트를 결합시키는 제4 보조 브라켓 및 제5 보조 브라켓을 더 포함하고,
    상기 제4 보조 브라켓은,
    적어도 일 부분이 상기 제2 베이스 부분에 밀착되는 제4-1 보조 부분; 및
    상기 제4-1 보조 부분의 적어도 일 부분으로 돌출된 제4-2 보조 부분;을 포함하고,
    상기 제5 보조 브라켓은,
    상기 제4-2 보조 부분이 삽입 고정되도록 형성된 제5-1 보조 부분;
    상기 제5-1 보조 부분의 일단으로부터 연장된 제5-2 보조 부분; 및
    상기 제5-2 보조 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제5-2 보조 부분과 수직하게 배치된 제5-3 보조 부분;을 포함하는 클린 룸 구조.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 메인 브라켓의 상기 제3 메인 부분과 상기 제2 메인 브라켓의 상기 제3 메인 부분 사이에 배치된 제1 씰링부; 및
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트의 상기 제2 베이스 부분과 상기 제2 베이스 플레이트의 상기 제2 베이스 부분 사이에 배치되고, 상기 제1 씰링부보다 상기 제3 보조 브라켓으로부터 멀리 배치된 제2 씰링부;를 포함하는 클린 룸 구조.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 바닥 영역 사이에 배치되고, 상기 제2 보조 브라켓과 인접 배치된 제3 씰링부;를 더 포함하는 클린 룸 구조.
  8. 바닥 영역, 복수의 측면 및 천정 영역을 갖는 클린 룸 구조에 있어서,
    상기 클린 룸 구조의 측면 중 적어도 일 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제1 베이스 플레이트;
    상기 클린 룸 구조의 측면 중 상기 적어도 일 부분과 다른 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제2 베이스 플레이트;
    상기 제1 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제1 메인 브라켓;
    상기 제2 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제2 메인 브라켓;
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 천정 영역을 결합시키는 제1 보조 브라켓;
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 바닥 영역을 결합시키는 제2 보조 브라켓; 및
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트를 결합시키는 제3 보조 브라켓;
    상기 클린 룸 구조의 내부 온도를 감지하도록 구성된 온도 센서; 및
    상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양을 감지하도록 구성된 먼지 센서;를 포함하고,
    상기 제1 메인 브라켓 및 상기 제2 메인 브라켓은, 각각
    상기 제1 베이스 플레이트 또는 상기 제2 베이스 플레이트의 내부에 배치된 제1 메인 부분;
    상기 제1 메인 부분의 양단으로부터 연장되고, 상기 제1 메인 부분과 수직하게 배치된 한 쌍의 제2 메인 부분;
    상기 한 쌍의 제2 메인 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제2 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분과 평행하게 배치된 한 쌍의 제3 메인 부분;
    상기 한 쌍의 제3 메인 부분의 일단으로부터 상기 제1 메인 부분을 향해 연장되고, 상기 제3 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제2 메인 부분과 평행하게 배치된 한 쌍의 제4 메인 부분;
    상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제4 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분 및 상기 제3 메인 부분과 평행하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분과 이격된 제5 메인 부분;
    상기 제5 메인 부분의 적어도 일 부분으로부터 연장되고, 상기 제1 메인 부분의 적어도 일 부분에 연결된 제6 메인 부분; 및
    상기 제5 메인 부분 및 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 형성된 공간을 포함하고,
    상기 제1 베이스 플레이트 및 상기 제2 베이스 플레이트는, 각각
    서로 이격된 한 쌍의 제1 베이스 부분;
    상기 한 쌍의 제1 베이스 부분의 단부에서 각각 서로를 향해 연장되고, 적어도 일 부분이 상기 제3 메인 부분과 밀착되는 제2 베이스 부분; 및
    상기 한 쌍의 제1 베이스 부분 사이에 배치되는 페이퍼 허니콤;을 포함하고,
    상기 제1 보조 브라켓은,
    적어도 일 부분이 상기 천정 영역에 볼트를 통해 고정되는 제1-1 보조 부분; 및
    상기 제1 보조 부분의 양단으로부터 연장되는 한 쌍의 제1-2 보조 부분으로서, 서로 이격되어 평행하게 배치되고 상기 제1 베이스 부분의 외측에 밀착된 한 쌍의 제1-2 보조 부분;
    상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분 각각의 일 부분에서 다른 제1-2 보조 부분을 향해 연장된 한 쌍의 제1-3 보조 부분으로서, 상기 제1-1 보조 부분에 평행하게 연장된 한 쌍의 제1-3 보조 부분; 및
    상기 한 쌍의 제1-3 보조 부분 각각의 말단에서 상기 제1-1 보조 부분으로부터 멀어지는 방향으로 연장된 한 쌍의 제1-4 보조 부분으로서, 상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분과 평행하게 배치된 한 쌍의 제1-4 보조 부분
    을 포함하고,
    상기 제1 베이스 플레이트가 상기 천정 영역에 결합될 때, 상기 한 쌍의 제1 베이스 부분은 상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분 사이에 억지 끼움 결합되고, 상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분의 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 억지 끼움 결합되고,
    상기 제3 보조 브라켓은,
    적어도 일 부분이 상기 제5 메인 부분에 밀착되는 한 쌍의 제3-1 보조 부분;
    각각이 상기 한 쌍의 제3-1 보조 부분의 양단을 연결하도록 연장된 한 쌍의 제3-2 보조 부분으로서, 상기 한 쌍의 제3-2 보조 부분은 상기 제3-1 보조 부분과 수직하게 배치되고, 적어도 일 부분이 상기 한 쌍의 제4 메인 부분에 밀착되는 것인, 한 쌍의 제3-2 보조 부분;
    상기 한 쌍의 제3-1 보조 부분 및 상기 한 상의 제3-2 보조 부분의 사이에 중공 형성된 내부 공간; 및
    상기 내부 공간에 배치된 팽창부로서, 상기 팽창부는 용융 수지가 발포되어 형성되고, 상기 용융 수지는 열가소성 탄성체(TPE, Thermo Plastic Elastomer) 및 발포제가 용융되어 마련되는 것인, 팽창부
    을 포함하고,
    상기 제3 보조 브라켓의 일부는 상기 제1 베이스 플레이트측의 상기 제1 메인 브라켓의 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 억지 끼움 결합되고, 상기 제3 보조 브라켓의 나머지 일부는 상기 제2 베이스 플레이트측의 상기 제2 메인 브라켓의 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 억지 끼움 결합되고,
    상기 제3 보조 브라켓의 부피는 상기 팽창부에 의해 증가되고,
    상기 팽창부는, 상기 제3 보조 브라켓이 상기 제1 메인 브라켓 및 상기 제2 메인 브라켓에 억지 끼움 결합된 후, 상기 내부 공간에 상기 용융 수지가 주입되고 가열기에 의해 상기 제3 보조 브라켓이 가열됨으로써 발포되어 형성되는 것인, 클린 룸 구조.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 온도 센서로부터 감지된 상기 클린 룸 구조의 내부 온도에 대한 온도 정보를 수신하고, 상기 먼지 센서로부터 감지된 상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양에 대한 정보를 수신하도록 구성된 프로세서;를 더 포함하는 클린 룸 구조.
  10. 기밀성이 향상된 클린 룸 구조를 포함하는 클린 룸 시스템에 있어서,
    상기 클린 룸 구조의 측면 중 적어도 일 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제1 베이스 플레이트;
    상기 클린 룸 구조의 측면 중 상기 적어도 일 부분과 다른 부분을 형성하고, 사각형 플레이트 형상으로 구성된 적어도 하나 이상의 제2 베이스 플레이트;
    상기 제1 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제1 메인 브라켓;
    상기 제2 베이스 플레이트의 각각의 가장자리에 배치된 제2 메인 브라켓;
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 천정 영역을 결합시키는 제1 보조 브라켓;
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 클린 룸 구조의 바닥 영역을 결합시키는 제2 보조 브라켓; 및
    상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트가 일 직선으로 결합될 때, 상기 제1 베이스 플레이트와 상기 제2 베이스 플레이트를 결합시키는 제3 보조 브라켓;
    상기 클린 룸 구조의 내부 온도를 감지하도록 구성된 온도 센서;
    상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양을 감지하도록 구성된 먼지 센서;
    상기 제1 베이스 플레이트 또는 상기 제2 베이스 플레이트에 마련된 유입팬;
    상기 제1 베이스 플레이트 또는 상기 제2 베이스 플레이트에 마련되고, 상기 유입팬과 이격된 토출팬; 및
    상기 온도 센서로부터 감지된 상기 클린 룸 구조의 내부 온도에 대한 온도 정보를 수신하고, 상기 먼지 센서로부터 감지된 상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양에 대한 정보를 수신하고, 상기 유입팬 및 상기 토출팬의 동작을 제어하도록 구성된 프로세서;를 포함하고,
    상기 프로세서는,
    상기 클린 룸 구조의 내부 온도가 기 설정된 온도보다 높을 때 또는 상기 클린 룸 구조의 내부 먼지 양이 기 설정된 양보다 많을 때, 상기 유입팬 및 상기 토출팬을 동작시키도록 설정되고,
    상기 제1 메인 브라켓 및 상기 제2 메인 브라켓은, 각각
    상기 제1 베이스 플레이트 또는 상기 제2 베이스 플레이트의 내부에 배치된 제1 메인 부분;
    상기 제1 메인 부분의 양단으로부터 연장되고, 상기 제1 메인 부분과 수직하게 배치된 한 쌍의 제2 메인 부분;
    상기 한 쌍의 제2 메인 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제2 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분과 평행하게 배치된 한 쌍의 제3 메인 부분;
    상기 한 쌍의 제3 메인 부분의 일단으로부터 상기 제1 메인 부분을 향해 연장되고, 상기 제3 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제2 메인 부분과 평행하게 배치된 한 쌍의 제4 메인 부분;
    상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 일단으로부터 연장되고, 상기 제4 메인 부분과 수직하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분 및 상기 제3 메인 부분과 평행하게 배치되고, 상기 제1 메인 부분과 이격된 제5 메인 부분;
    상기 제5 메인 부분의 적어도 일 부분으로부터 연장되고, 상기 제1 메인 부분의 적어도 일 부분에 연결된 제6 메인 부분; 및
    상기 제5 메인 부분 및 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 형성된 공간을 포함하고,
    상기 제1 베이스 플레이트 및 상기 제2 베이스 플레이트는, 각각
    서로 이격된 한 쌍의 제1 베이스 부분;
    상기 한 쌍의 제1 베이스 부분의 단부에서 각각 서로를 향해 연장되고, 적어도 일 부분이 상기 제3 메인 부분과 밀착되는 제2 베이스 부분; 및
    상기 한 쌍의 제1 베이스 부분 사이에 배치되는 페이퍼 허니콤;을 포함하고,
    상기 제1 보조 브라켓은,
    적어도 일 부분이 상기 천정 영역에 볼트를 통해 고정되는 제1-1 보조 부분; 및
    상기 제1 보조 부분의 양단으로부터 연장되는 한 쌍의 제1-2 보조 부분으로서, 서로 이격되어 평행하게 배치되고 상기 제1 베이스 부분의 외측에 밀착된 한 쌍의 제1-2 보조 부분;
    상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분 각각의 일 부분에서 다른 제1-2 보조 부분을 향해 연장된 한 쌍의 제1-3 보조 부분으로서, 상기 제1-1 보조 부분에 평행하게 연장된 한 쌍의 제1-3 보조 부분; 및
    상기 한 쌍의 제1-3 보조 부분 각각의 말단에서 상기 제1-1 보조 부분으로부터 멀어지는 방향으로 연장된 한 쌍의 제1-4 보조 부분으로서, 상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분과 평행하게 배치된 한 쌍의 제1-4 보조 부분
    을 포함하고,
    상기 제1 베이스 플레이트가 상기 천정 영역에 결합될 때, 상기 한 쌍의 제1 베이스 부분은 상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분 사이에 억지 끼움 결합되고, 상기 한 쌍의 제1-2 보조 부분의 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 억지 끼움 결합되고,
    상기 제3 보조 브라켓은,
    적어도 일 부분이 상기 제5 메인 부분에 밀착되는 한 쌍의 제3-1 보조 부분;
    각각이 상기 한 쌍의 제3-1 보조 부분의 양단을 연결하도록 연장된 한 쌍의 제3-2 보조 부분으로서, 상기 한 쌍의 제3-2 보조 부분은 상기 제3-1 보조 부분과 수직하게 배치되고, 적어도 일 부분이 상기 한 쌍의 제4 메인 부분에 밀착되는 것인, 한 쌍의 제3-2 보조 부분;
    상기 한 쌍의 제3-1 보조 부분 및 상기 한 상의 제3-2 보조 부분의 사이에 중공 형성된 내부 공간; 및
    상기 내부 공간에 배치된 팽창부로서, 상기 팽창부는 용융 수지가 발포되어 형성되고, 상기 용융 수지는 열가소성 탄성체(TPE, Thermo Plastic Elastomer) 및 발포제가 용융되어 마련되는 것인, 팽창부
    을 포함하고,
    상기 제3 보조 브라켓의 일부는 상기 제1 베이스 플레이트측의 상기 제1 메인 브라켓의 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 억지 끼움 결합되고, 상기 제3 보조 브라켓의 나머지 일부는 상기 제2 베이스 플레이트측의 상기 제2 메인 브라켓의 상기 한 쌍의 제4 메인 부분의 사이에 억지 끼움 결합되고,
    상기 제3 보조 브라켓의 부피는 상기 팽창부에 의해 증가되고,
    상기 팽창부는, 상기 제3 보조 브라켓이 상기 제1 메인 브라켓 및 상기 제2 메인 브라켓에 억지 끼움 결합된 후, 상기 내부 공간에 상기 용융 수지가 주입되고 가열기에 의해 상기 제3 보조 브라켓이 가열됨으로써 발포되어 형성되는 것인, 클린 룸 시스템.
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