KR102449761B1 - 다축 구동 정렬 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일실시예에 따른 다축 구동 정렬 장치는 정렬 대상체가 안착되는 안착 홀더와, 상기 안착 홀더를 제1축 방향으로 이동시키는 제1축 이동수단을 포함하는 제1축 이동모듈과, 상기 제1축 이동모듈이 이동가능하도록 결합되고, 상기 제1축 이동모듈을 제2축 방향으로 이동시키는 제2축 이동수단을 포함하는 제2축 이동모듈과, 상기 제2축 이동모듈이 회동가능하도록 결합되고, 상기 제2축 이동모듈을 제3축 방향으로 회동시키는 제3축 회동수단을 포함하는 제3축 회동모듈과, 상기 제3축 회동모듈이 결합되고, 상기 제3축 회동모듈을 제4축 방향으로 회동시키는 제4축 회동수단을 포함하는 제4축 회동모듈과, 상기 제4축 회동모듈이 결합되고, 상기 제4축 회동모듈을 제5축 방향으로 회동시키는 제5축 회동수단을 포함하는 제5축 회동모듈을 포함한다.

Description

다축 구동 정렬 장치{Apparatus for Multi-Axial Active Adjustment}
본 발명은 다축 구동 정렬 장치에 관한 것이다.
일반적으로 다축 구동 정렬 장치는 결합대상이 되는 두 개체의 결합축이 일치되도록 정렬시키는 장치이다. 이에 대한 일례로서 비전 검사 장치는 완제품, 부품 또는 중간 제품 등을 광학적으로 검사하여 불량이나 보정 대상을 검출하는 장치이다.
비전 검사 장치는 자동차나 철강, 필름 등 산업용 소재 분야에서부터, 디스플레이 패널, 전자 부품, 모바일기기등 외관이나 광학적 특성을 통해 이상 유무를 확인할 수 있는 다양한 제품 분야에 활용되고 있다.
특히, 스마트폰, 태블릿PC 등 다양한 모바일기기는 LCD(액정표시장치)나 OLED(유기발광표시장치) 등 고해상도의 디스플레이 패널이 탑재되어 핵심적인 기능을 수행하므로, 이러한 제품군에 대한 검수에 있어서 비전 검사장치는 매우 중요한 역할을 담당하게 된다.
디스플레이 패널 모듈 또는 그것이 탑재된 제품의 비전 검사를 위해서는, 먼저 비전 검사 장치에 포함된 카메라모듈이 피검체인 검사 대상 제품에 대해 정렬되도록 자세를 잡고 광학 이미지를 획득해야 한다. 비전 검사 장치의 설치 시에 검사 스테이지에 대한 조정 작업이 필요함은 물론이고, 피검체가 검사 스테이지로 이송될 때마다 그 위치나 자세가 미세하게 변동될 수 있으므로, 비전 검사 장치는 이에 능동적으로 대응하여 자세를 조정할 수 있는 다축 구동계를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 카메라 모듈을 제조하기 위해서는 렌즈와 인쇄회로기판의 결합시 정렬을 맞춰 결합시켜야 한다.
그러나 렌즈와 인쇄회로기판의 정렬을 위한 다축 구동 정렬 장치의 경우 다축 구동을 위해 각각의 이동모듈이 적층되고, 회동모듈은 이동모듈에 적층되도록 결합되거나 측부에 별도로 결합됨에 따라 부피가 증가된다. 또한, 정렬 대상체의 회전 중심점과 구동스테이지의 회전축 사이의 거리가 멀어서 정렬 대상체에 대한 회동구동시 정밀한 제어가 어려운 문제점을 지니고 있다.
본 발명의 목적은 전체적으로 부피를 줄임으로써 소형화가 가능한 다축 구동 정렬 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적은 대상체의 정밀한 제어가 가능한 다축 구동 정렬 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 다축 구동 정렬 장치는 정렬 대상체가 안착되는 안착 홀더와, 상기 안착 홀더를 제1축 방향으로 이동시키는 제1축 이동수단을 포함하는 제1축 이동모듈과, 상기 제1축 이동모듈이 이동가능하도록 결합되고, 상기 제1축 이동모듈을 제2축 방향으로 이동시키는 제2축 이동수단을 포함하는 제2축 이동모듈과, 상기 제2축 이동모듈이 회동가능하도록 결합되고, 상기 제2축 이동모듈을 제3축 방향으로 회동시키는 제3축 회동수단을 포함하는 제3축 회동모듈과, 상기 제3축 회동모듈이 결합되고, 상기 제3축 회동모듈을 제4축 방향으로 회동시키는 제4축 회동수단을 포함하는 제4축 회동모듈과, 상기 제4축 회동모듈이 결합되고, 상기 제4축 회동모듈을 제5축 방향으로 회동시키는 제5축 회동수단을 포함하는 제5축 회동모듈을 포함한다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제1축 이동모듈은 상기 제2축 이동모듈에 적층되고, 상기 제2축 이동모듈은 상기 제3축 회동모듈에 적층된다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제1축 이동수단은 신장바 및 지지부를 포함하는 피에조 구동모듈이고, 상기 신장바는 전류의 인가에 따라 길이가 변하고, 상기 지지부는 상기 신장바에 연결되고 상기 지지부는 상기 신장바의 변위에 따라 연동되고, 상기 안착 홀더는 상기 지지부에 접촉되고 상기 지지부의 제1축 방향 이동에 따라 상기 안착 홀더는 제1축 방향으로 이동된다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제2축 이동모듈은 상기 안착 홀더가 안착되는 제2축 바디를 더 포함하고, 상기 제2축 바디에는 제1축 이동수단 결합부가 형성되고, 상기 제1축 이동수단은 상기 제1축 이동수단 결합부에 삽입결합될 수 있다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제2축 이동수단은 신장바 및 지지부를 포함하는 피에조 구동모듈이고, 상기 신장바는 전류의 인가에 따라 길이가 변하고, 상기 지지부는 상기 신장바에 연결되고 상기 지지부는 상기 신장바의 변위에 따라 연동되고, 상기 제2축 바디는 상기 지지부에 접촉되고 상기 지지부의 제2축 방향 이동에 따라 상기 제2축 바디는 제2축 방향으로 이동된다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제2축 이동수단은 상기 제1축 이동수단에 대하여 직교방향으로 배치될 수 있다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제3축 회동모듈은 상기 제2축 바디가 안착되는 제3축 바디와, 상기 제3축 바디가 회동가능하도록 지지되고, 상기 제3축 회동수단이 결합된 제3축 베이스 바디를 더 포함하고, 상기 제3축 바디에는 제2축 이동수단 결합부가 형성되고, 상기 제2축 이동수단은 상기 제2축 이동수단 결합부에 삽입결합될 수 있다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제3축 베이스 바디에는 상기 제3축 회동수단이 결합되고, 상기 제3축 회동수단은 신장바 및 지지부를 포함하는 피에조 구동모듈이고, 상기 신장바는 전류의 인가에 따라 길이가 변하고, 상기 지지부는 상기 신장바에 연결되고 상기 지지부는 상기 신장바의 변위에 따라 연동되고, 상기 제3축 바디는 상기 지지부에 접촉되고 상기 지지부의 제3축 방향 회동에 따라 상기 제3축 바디는 제3축 방향으로 회동된다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제3축 회동수단은 서로 대향되고 일정간격 이격되도록 배치된 한 쌍으로 이루어진다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제4축 회동모듈은 상기 제3축 회동모듈이 결합되는 제4축 바디를 더 포함하고, 상기 제4축 회동수단은 상기 제4축 바디의 일측에 결합되고, 상기 제4축 바디를 제4축 방향으로 회동시킨다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제4축 바디는 상기 제3축 회동모듈의 외주부에 위치되는 프레임 형상으로 이루어질 수 있다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제5축 회동모듈은 상기 제4축 회동모듈이 결합되는 제5축 바디를 더 포함하고, 상기 제5축 회동수단은 상기 제5축 바디의 일측에 결합되고, 상기 제5축 바디를 제5축 방향으로 회동시킨다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제5축 바디는 상기 제4축 회동모듈의 외주부에 위치되는 프레임 형상으로 이루어질 수 있다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제5축 회동수단은 상기 제4축 회동수단에 대하여 직교방향으로 배치될 수 있다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제4축 회동수단과 상기 제5축 회동수단은 회전모터로 구현될 수 있다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 제1축 방향은 X축 방향이고, 상기 제2축 방향은 Y축 방향이고, 상기 제3축 방향은 회전축이 Z축 방향이고 Z축 방향에 대한 회전방향이고, 상기 제4축 방향은 회전축이 X축 방향이고 X축 방향에 대한 회전방향이고, 상기 제5축 방향은 회전축이 Y축 방향이고 Y축 방향에 대한 회전방향일 수 있다.
또한, 다축 구동 정렬 장치에 있어서, 상기 정렬 대상체에 대하여 결합 대상체를 이동시키는 제6축 이동모듈을 더 포함하고, 상기 제6축 이동모듈은 상기 결합 대상체를 Z축 방향으로 이동시킨다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 의하면 소형화가 가능하고, 대상체의 정밀한 제어가 가능한 다축 구동 스테이지를 제공함으로써, 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 다축 구동 정렬 장치를 얻을 수 있다.
본 발명의 기술적 사상의 실시예는, 구체적으로 언급되지 않은 다양한 효과를 제공할 수 있다는 것이 충분히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 다축 구동 정렬 장치의 기술사상을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 다축 구동 정렬 장치를 개략적으로 도시한 제1 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 다축 구동 정렬 장치를 개략적으로 도시한 제2 구성도이다.
도 4는 도 2에 도시한 다축 구동 정렬 장치의 개략적인 제1 분해사시도이다.
도 5는 도 2에 도시한 다축 구동 정렬 장치의 개략적인 제2 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 다축 구동 정렬 장치의 개략적인 사용상태도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 다축 구동 정렬 장치의 기술사상을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도시한 바와 같이, 다축 구동 정렬 장치는 정렬 대상체(10)를 결합 대상체(20)에 대하여 다축방향으로 이동시켜 얼라인을 맞추기 위한 것이다.
보다 구체적으로, 정렬 대상체(10)를 결합 대상체(20)에 대하여 선택적으로 제1 축인 X축 방향과 제2 축인 Y축 방향으로 이동시키고, 제3축 방향(회전축이 Z축 방향이고, Z축 방향에 대한 회전방향 인 θz방향), 제4축 방향(회전축이 X축 방향이고, X축 방향에 대한 회전방향 인 θx방향), 제5축 방향(회전축이 Y축 방향이고, Y축 방향에 대한 회전방향 인 θy방향)으로 회동시킨다.
이를 위해, 제1 축 방향 이동수단, 제2 축 방향 이동수단, 제3 축 방향 회동수단, 제4 축 방향 회동수단 및 제5 축 방향 회동수단을 포함한다.
제1 축 방향 이동수단, 제2 축 방향 이동수단, 제3 축 방향 회동수단, 제4 축 방향 회동수단 및 제5 축 방향 회동수단은 정렬 대상체(10)를 결합 대상체(20)에 대하여 선택적으로 5축 방향으로 이동 또는 회동시켜 정렬시킨다.
또한, 결합 대상체(20)를 제6 축 방향으로 이동시키는 제6축 이동모듈을 더 포함한다.
그리고 정렬 대상체(10)를 결합 대상체(20)에 대하여 정렬시킨 상태에서, 제6축 이동모듈은 결합 대상체(20)를 제6 축 방향인 Z축 방향으로 이동시켜 정렬 대상체(10)와 결합 대상체(20)를 결합시킨다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 다축 구동 정렬 장치를 개략적으로 도시한 제1 구성도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 다축 구동 정렬 장치를 개략적으로 도시한 제2 구성도이다.
도시한 바와 같이, 다축 구동 정렬 장치(1000)는 제1축 이동모듈(1100), 제2축 이동모듈(1200), 제3축 회동모듈(1300), 제4축 회동모듈(1400) 및 제5축 회동모듈(1500)을 포함한다.
보다 구체적으로, 제1축 이동모듈(1100), 제2축 이동모듈(1200) 및 제3축 회동모듈(1300)은 적층되도록 결합되고, 적층 결합된 제1축 이동모듈(1100), 제2축 이동모듈(1200) 및 제3축 회동모듈(1300)은 제4축 회동모듈(1400)에 결합되고, 제4축 회동모듈(1400)은 제5축 회동모듈(1500)에 결합된다.
이에 따라, 제1축 이동모듈(1100)에 결합되는 정렬 대상체(10)는 2축방향 이동 및 3축방향 회동이 가능하게 된다.
이하, 도 4 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 다축 구동 정렬 장치의 세부기술구성, 형상 및 유기적 결합관계에 대하여 보다 자세히 기술한다.
도 4는 도 2에 도시한 다축 구동 정렬 장치의 개략적인 제1 분해사시도이고, 도 5는 도 2에 도시한 다축 구동 정렬 장치의 개략적인 제2 분해사시도이다.
도시한 바와 같이, 제1축 이동모듈(1100)은 안착 홀더(1110)와 제1축 이동수단(1120)을 포함한다.
안착 홀더(1110)에는 정렬 대상체(도 1에 10으로 도시함)가 안착되고, 제1축 이동수단(1120)은 안착 홀더(1110)를 제1축 방향으로 이동시키기 위한 것이다. 이에 대한 일례로서 제1축 이동수단(1120)은 피에조 구동모듈로 이루어질 수 있다.
이 경우, 제1축 이동수단(1120)은 신장바(1121) 및 지지부(1122)를 포함하고, 신장바(1121)는 전류의 인가에 따라 길이가 변하고, 지지부(1122)는 상기 신장바에 연결되고, 상기 신장바의 변위에 따라 이동된다.
안착 홀더(1110)는 피에조 구동모듈인 제1축 이동수단(1120)의 지지부(1122)에 접촉되고, 제1축 이동수단(1120)에 전류가 인가될 경우 신장바(1121)의 신장에 따라 지지부(1122)는 제1축 방향으로 이동되고, 안착 홀더(1110)는 제1축 방향으로 연동된다.
또한, 제1축 이동수단(1120)은 서로 대향되고 일정간격 이격되도록 배치된 한 쌍으로 이루어질 수 있다.
제1축 이동모듈(1100)은 제2축 이동모듈(1200)에 이동가능하도록 결합되고, 제2축 이동모듈(1200)은 제1축 이동모듈(1100)을 제2축 방향으로 이동시킨다.
이를 위해 제2축 이동모듈(1200)은 제2축 바디(1210)와 제2축 이동수단(1220)을 포함한다.
제2축 바디(1210)에는 안착 홀더(1110)에 안착된다. 또한, 제1축 이동수단(1120)은 제2축 바디(1210)에 이동 가능하도록 삽입결합될 수 있다. 이를 위해 제2축 바디(1210)에는 제1축 이동수단 결합부(1211)가 형성될 수 있다.
제2축 이동수단(1220)은 제1축 이동모듈(1100)을 제2축 방향으로 이동시키기 위한 것이다. 이에 대한 일례로서 제2축 이동수단(1220)은 피에조 구동모듈로 이루어질 수 있다.
제2축 이동수단(1220)은 제2 신장바(1221) 및 제2 지지부(1222)를 포함한다. 또한, 제2축 이동수단(1220)은 제1축 이동수단(1120)에 직교방향으로 배치될 수 있다.
또한, 제2축 이동수단(1220)은 서로 대향되고 일정간격 이격되도록 배치된 한쌍으로 이루어질 수 있다.
제2축 바디(1210)에는 안착 홀더(1110)가 안착된 상태에서, 제2축 바디(1210)는 피에조 구동모듈인 제2축 이동수단(1220)의 제2 지지부(1222)에 접촉되고, 제2축 이동수단(1220)에 전류가 인가될 경우 제2 신장바(1221)의 신장에 따라 제2축 바디(1210)는 제2축 방향으로 이동된다.
다음으로, 제2축 이동모듈(1200)은 제3축 회동모듈(1300)에 회동가능하도록 결합되고, 제3축 회동모듈(1300)은 제2축 이동모듈(1200)을 제3축 방향(회전축이 Z축 방향이고, Z축 방향에 대한 회전방향(θz))으로 회동시킨다.
이를 위해 제3축 회동모듈(1300)은 제3축 바디(1310), 제3축 회동수단(1320) 및 제3축 베이스 바디(1330)를 포함한다.
제3축 바디(1310)에는 제2축 이동모듈(1200)에 안착된다. 또한, 제2축 이동수단(1220)은 제3축 바디(1310)에 이동 가능하도록 삽입결합될 수 있다. 이를 위해 제3축 바디(1310)에는 제2축 이동수단 결합부(1311)가 형성될 수 있다.
제3축 회동수단(1320)은 제2축 이동모듈(1200)을 제3축 방향으로 이동시키기 위한 것이다. 이에 대한 일례로서 제3축 회동수단(1320)은 피에조 구동모듈로 이루어질 수 있다.
제3축 회동수단(1320)은 제2축 이동수단과 동일한 피에조 구동모듈로 구현될 수 있고, 세부기술구성에 대한 설명은 전술한 바 생략한다.
제3축 바디(1310)에는 제2축 바디(1210)가 안착된 상태에서, 제3축 바디(1310)는 피에조 구동모듈인 제3축 회동수단(1320)의 제3 지지부(1322)에 접촉되고, 제3축 회동수단(1320)에 전류가 인가될 경우 제3 신장바(1321)의 신장에 따라 제3축 바디(1310)는 제3축 방향으로 회동된다.
또한, 제3축 회동수단(1320)은 서로 대향되고 일정간격 이격되도록 배치된 한 쌍으로 이루어질 수 있다.
제3축 베이스 바디(1330)에는 제3축 바디(1310)가 회동가능하도록 지지되고, 제3축 회동수단(1320)은 제3축 베이스 바디(1330)에 결합된다.
전술한 바에 따라 제1축 이동모듈(1100), 제2축 이동모듈(1200) 및 제3축 회동모듈(1300)은 순차적으로 적층된다.
다음으로, 제3축 회동모듈(1300)은 제4축 회동모듈(1400)에 결합되고, 제4축 회동모듈(1400)은 제1축 이동모듈(1100), 제2축 이동모듈(1200) 및 제3축 회동모듈(1300)을 일체로 제4축 방향(회전축이 X축 방향이고, X축 방향에 대한 회전방향(θx))으로 회동시킨다.
제4축 회동모듈(1400)은 제4축 바디(1410)와 제4축 회동수단(1420)을 포함한다.
제4축 바디(1410)에는 제3축 회동모듈(1300)의 제3축 베이스 바디(1330)가 결합된다. 제4축 회동수단(1420)은 제3축 베이스 바디(1330)의 일측에 결합되고 제3축 회동모듈(1300)을 제4축 방향으로 회동시킨다.
이를 위해 제3축 베이스 바디(1330)의 외측에 제4축 회동수단(1420)의 회전축(X축)이 결합되도록 제4축 회동수단(1420)은 제4축 바디(1410)에 결합된다.
제4축 바디(1410)는 제3축 회동모듈(1300)의 제3축 베이스 바디(1330)의 외주부에 위치되는 프레임 형상으로 이루어질 수 있다.
제4축 회동수단(1420)은 회전모터로 구현될 수 있다.
다음으로, 제4축 회동모듈(1400)은 제5축 회동모듈(1500)에 결합되고, 제5축 회동모듈(1500)은 제4축 회동모듈(1400)을 제5축 방향(회전축이 Y축 방향이고, Y축 방향에 대한 회전방향(θy))으로 회동시킨다.
제5축 회동모듈(1500)은 제5축 바디(1510)와 제5축 회동수단(1520)을 포함한다.
제5축 바디(1510)에는 제4축 회동모듈(1400)의 제4축 바디(1410)가 결합된다. 제5축 바디(1510)는 제4축 바디(1410)의 외주부에 위치되는 프레임 형상으로 이루어질 수 있다.
제5축 회동수단(1520)은 제5축 바디(1510)의 일측에 결합되고 제4축 바디(1410)를 제5축 방향으로 회동시킨다.
이를 위해 제4축 바디(1410)의 외측에 제5축 회동수단(1520)의 회전축(Y축)이 결합되도록 제5축 회동수단(1520)은 제5축 바디(1510)에 결합된다.
이에 대한 일례로서, 제5축 회동수단(1520)은 제5회동축(1521)이 형성되고, 제4축 바디(1410)에는 제5회동축(1521)에 결합되는 제5축 회동수단 결합부(1411)가 형성된다.
제5축 회동수단(1520)은 회전모터로 구현될 수 있다.
제5축 회동수단(1520)은 제4축 회동수단(1420)에 대하여 직교방향으로 배치될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 다축 구동 정렬 장치의 개략적인 사용상태도이다.
도시한 바와 같이, 다축 구동 정렬 장치(1000)는 제1축 이동모듈(1100)에 의해 정렬 대상체를 제1축 방향(M1)으로 이동시키고, 제2축 이동모듈(1200)에 의해 제1축 이동모듈을 제2축 방향(M2)으로 이동시키고, 제3축 회동모듈(1300)에 의해 제2축 이동모듈을 제3축 방향(θz)으로 회동시키고, 제4축 회동모듈(1400)에 의해 제3축 회동모듈(1300)을 제4축 방향(θx)으로 회동시키고, 제5축 회동모듈(1500)에 의해 제4축 회동모듈(1400)을 제5축 방향(θy)으로 회동시킨다.
이에 따라, 정렬 대상체는 2축방향으로 이동되고, 3축방향으로 회동되어 5축방향으로 조정된다.
상기한 바와 같이 정렬 대상체를 결합 대상체에 대하여 다축으로 조정하여 정렬한 후, 도 1에 도시한 바와 같이 결합 대상체(20)를 제6축 방향으로 이동시켜 정렬 대상체(10)에 결합시킨다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1000: 다축 구동 정렬 장치
1100: 제1축 이동모듈
1110: 안착 홀더
1120: 제1축 이동수단
1121: 신장바
1122: 지지부
1200: 제2축 이동모듈
1210: 제2축 바디
1211: 제1축 이동수단 결합부
1220: 제2축 이동수단
1221: 제2 신장바
1222: 제2 지지부
1300: 제3축 회동모듈
1310: 제3축 바디
1311: 제2축 이동수단 결합부
1320: 제3축 회동수단
1321: 제3 신장바
1322: 제3 지지부
1330: 제3축 베이스 바디
1400: 제4 회동모듈
1410: 제4축 바디
1420: 제4축 회동수단
1500: 제5축 회동모듈
1510: 제5축 바디
1520: 제5축 회동수단

Claims (17)

  1. 정렬 대상체가 안착되는 안착 홀더와, 상기 안착 홀더를 제1축 방향으로 이동시키는 제1축 이동수단을 포함하는 제1축 이동모듈;
    상기 제1축 이동모듈이 이동가능하도록 결합되고, 상기 제1축 이동모듈을 제2축 방향으로 이동시키는 제2축 이동수단을 포함하는 제2축 이동모듈;
    상기 제2축 이동모듈이 회동가능하도록 결합되고, 상기 제2축 이동모듈을 제3축 방향으로 회동시키는 제3축 회동수단을 포함하는 제3축 회동모듈;
    상기 제3축 회동모듈이 결합되고, 상기 제3축 회동모듈을 제4축 방향으로 회동시키는 제4축 회동수단을 포함하는 제4축 회동모듈; 및
    상기 제4축 회동모듈이 결합되고, 상기 제4축 회동모듈을 제5축 방향으로 회동시키는 제5축 회동수단을 포함하는 제5축 회동모듈을 포함하며,
    상기 제3축 회동 모듈과 결합된 상기 제4축 회동모듈은 상기 제4축 회동모듈의 제4축 바디의 외주부에 위치한 상기 제5축 회동모듈의 제5축 바디의 내부로 삽입되고,
    상기 제3축 회동 모듈은,
    상기 안착 홀더가 안착된 제2축 바디가 안착되는 제3축 바디; 및
    상기 제3축 바디가 회동가능하도록 지지되고, 상기 제3축 회동수단이 결합된 제3축 베이스 바디를 더 포함하는
    다축 구동 정렬 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1축 이동모듈은 상기 제2축 이동모듈에 적층되고, 상기 제2축 이동모듈은 상기 제3축 회동모듈에 적층된
    다축 구동 정렬 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1축 이동수단은 신장바 및 지지부를 포함하는 피에조 구동모듈이고, 상기 신장바는 전류의 인가에 따라 길이가 변하고, 상기 지지부는 상기 신장바에 연결되고 상기 지지부는 상기 신장바의 변위에 따라 연동되고, 상기 안착 홀더는 상기 지지부에 접촉되고 상기 지지부의 제1축 방향 이동에 따라 상기 안착 홀더는 제1축 방향으로 이동되는
    다축 구동 정렬 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2축 이동모듈은 상기 안착 홀더가 안착되는 상기 제2축 바디를 더 포함하고, 상기 제2축 바디에는 제1축 이동수단 결합부가 형성되고, 상기 제1축 이동수단은 상기 제1축 이동수단 결합부에 삽입결합되는
    다축 구동 정렬 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제2축 이동수단은 신장바 및 지지부를 포함하는 피에조 구동모듈이고, 상기 신장바는 전류의 인가에 따라 길이가 변하고, 상기 지지부는 상기 신장바에 연결되고 상기 지지부는 상기 신장바의 변위에 따라 연동되고, 상기 제2축 바디는 상기 지지부에 접촉되고 상기 지지부의 제2축 방향 이동에 따라 상기 제2축 바디는 제2축 방향으로 이동되는
    다축 구동 정렬 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제2축 이동수단은 상기 제1축 이동수단에 대하여 직교방향으로 배치된
    다축 구동 정렬 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제3축 바디에는 제2축 이동수단 결합부가 형성되고, 상기 제2축 이동수단은 상기 제2축 이동수단 결합부에 삽입결합되는
    다축 구동 정렬 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제3축 베이스 바디에는 상기 제3축 회동수단이 결합되고, 상기 제3축 회동수단은 신장바 및 지지부를 포함하는 피에조 구동모듈이고, 상기 신장바는 전류의 인가에 따라 길이가 변하고, 상기 지지부는 상기 신장바에 연결되고 상기 지지부는 상기 신장바의 변위에 따라 연동되고, 상기 제3축 바디는 상기 지지부에 접촉되고 상기 지지부의 제3축 방향 회동에 따라 상기 제3축 바디는 제3축 방향으로 회동되는
    다축 구동 정렬 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제3축 회동수단은 서로 대향되고 일정간격 이격되도록 배치된 한 쌍으로 이루어진
    다축 구동 정렬 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제4축 바디는 상기 제3축 회동모듈과이 결합되고,
    상기 제4축 회동수단은 상기 제4축 바디의 일측에 결합되고, 상기 제4축 바디를 제4축 방향으로 회동시키는
    다축 구동 정렬 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제4축 바디는 상기 제3축 회동모듈의 외주부에 위치되는 프레임 형상으로 이루어진
    다축 구동 정렬 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제5축 바디는 상기 제4축 회동모듈과 결합되고,
    상기 제5축 회동수단은 상기 제5축 바디의 일측에 결합되고, 상기 제5축 바디를 제5축 방향으로 회동시키는
    다축 구동 정렬 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제5축 바디는 상기 제4축 회동모듈의 외주부에 위치되는 프레임 형상으로 이루어진
    다축 구동 정렬 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제5축 회동수단은 상기 제4축 회동수단에 대하여 직교방향으로 배치된
    다축 구동 정렬 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제4축 회동수단과 상기 제5축 회동수단은 회전모터인
    다축 구동 정렬 장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1축 방향은 X축 방향이고,
    상기 제2축 방향은 Y축 방향이고,
    상기 제3축 방향은 회전축이 Z축 방향이고 Z축 방향에 대한 회전방향이고,
    상기 제4축 방향은 회전축이 X축 방향이고 X축 방향에 대한 회전방향이고,
    상기 제5축 방향은 회전축이 Y축 방향이고 Y축 방향에 대한 회전방향인
    다축 구동 정렬 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 정렬 대상체에 대하여 결합 대상체를 이동시키는 제6축 이동모듈을 더 포함하고,
    상기 제6축 이동모듈은 상기 결합 대상체를 Z축 방향으로 이동시키는
    다축 구동 정렬 장치.
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