KR102436696B1 - Detection unit for liquid quantity - Google Patents

Detection unit for liquid quantity Download PDF

Info

Publication number
KR102436696B1
KR102436696B1 KR1020160088605A KR20160088605A KR102436696B1 KR 102436696 B1 KR102436696 B1 KR 102436696B1 KR 1020160088605 A KR1020160088605 A KR 1020160088605A KR 20160088605 A KR20160088605 A KR 20160088605A KR 102436696 B1 KR102436696 B1 KR 102436696B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid
light
unit
sensor
light receiving
Prior art date
Application number
KR1020160088605A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20170009765A (en
Inventor
다카시 오노
Original Assignee
가부시기가이샤 디스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시기가이샤 디스코 filed Critical 가부시기가이샤 디스코
Publication of KR20170009765A publication Critical patent/KR20170009765A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102436696B1 publication Critical patent/KR102436696B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/284—Electromagnetic waves
    • G01F23/292—Light, e.g. infrared or ultraviolet
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F22/00—Methods or apparatus for measuring volume of fluids or fluent solid material, not otherwise provided for

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)

Abstract

본 발명은, 투광성을 갖는 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출하는 것을 목적으로 한다.
액량 검출 유닛(1)은, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지(L3)를 저류하는 탱크(2)와, 투과형 센서(3, 4)를 구비한다. 투과형 센서는, 측정광을 투광하는 투광부(30, 40)와, 측정광을 수광하는 수광부(31, 41)와, 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 액체 수지가 소정량 이하가 된 것을 판단하는 판단부(5)를 갖는다. 투광부와 수광부는 직선 상에 대향 배치된다. 판단부는, 액체 수지와 공기에 의해 굴절 또는 반사되는 측정광을 수광부가 수광하는지 여부에 따라 액체 수지의 액량을 검출한다.An object of the present invention is to detect the remaining amount of the liquid using a transmissive sensor even if it is a liquid having light-transmitting properties.
The liquid amount detection unit 1 includes a tank 2 that stores a transparent liquid resin L3 containing no filler, and transmissive sensors 3 and 4 . The transmissive sensor includes a light projecting unit 30 and 40 for transmitting measurement light, a light receiving unit 31 and 41 for receiving the measurement light, and whether the light receiving unit receives the measurement light. It has a judging unit 5 for judging. The light transmitting part and the light receiving part are arranged opposite to each other on a straight line. The determination unit detects the liquid amount of the liquid resin according to whether the light receiving unit receives the measurement light refracted or reflected by the liquid resin and air.

Description

액량 검출 유닛{DETECTION UNIT FOR LIQUID QUANTITY}Liquid amount detection unit {DETECTION UNIT FOR LIQUID QUANTITY}

본 발명은, 용기 내에 저류된 액체의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼에 도포되는 액체 수지의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a liquid amount detection unit for detecting a liquid amount of a liquid stored in a container, and more particularly, to a liquid amount detecting unit for detecting a liquid amount of a liquid resin applied to a wafer.

용기 내의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛으로서, 정전 용량형 센서를 이용한 것이 존재한다(예컨대, 특허문헌 1 또는 특허문헌 2 참조). 특허문헌 1에 기재된 액량 검출 유닛에서는, 용기의 하단부 근방에 센서가 설치되어 있고, 센서는 공기와 액체의 유전율의 차로부터 용기 내의 액체의 유무를 검출한다. 특허문헌 2에 기재된 액량 검출 유닛에서는, 용기 내의 액체에 센서를 직접 침지시켜, 센서의 침지 깊이에 따라 변화되는 정전 용량의 값으로부터 액량을 검출한다.As a liquid amount detection unit for detecting the amount of liquid in a container, there exist those using a capacitive sensor (for example, refer to Patent Document 1 or Patent Document 2). In the liquid amount detection unit described in Patent Document 1, a sensor is provided near the lower end of the container, and the sensor detects the presence or absence of liquid in the container from the difference in permittivity between air and liquid. In the liquid amount detection unit described in Patent Document 2, the sensor is directly immersed in the liquid in the container, and the liquid amount is detected from the value of the electrostatic capacitance that changes according to the immersion depth of the sensor.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 2012-083245호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 2012-083245 [특허문헌 2] 일본 특허 공개 평성 제5-118894호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Laid-Open No. 5-118894

그런데, 정전 용량형 센서의 경우, 액체의 종류(물질)가 변하면 정전 용량(유전율)이 변해 버리기 때문에, 적절히 액체를 검출할 수 없다고 하는 문제점이 있다. 그래서, 투과형(광학식) 센서를 이용하여 액체를 검출하는 경우도 생각할 수 있다. 투과형 센서는, 투광부와 수광부를 수평 방향으로 대향 배치하고, 투광부로부터의 측정광을 수광부가 수광하는지 여부에 따라 액량을 검출한다. 예컨대, 액면이 센서보다 높은 위치에 있는 경우는, 측정광이 액체에 의해 차단되는 한편, 액면이 센서보다 낮은 위치에 있는 경우는, 측정광은 차단되지 않고 수광부에 도달한다.However, in the case of a capacitive sensor, since the capacitance (dielectric constant) changes when the type (substance) of the liquid changes, there is a problem that the liquid cannot be properly detected. Therefore, the case of detecting a liquid using a transmission type (optical type) sensor is also conceivable. The transmissive sensor arranges the light projecting part and the light receiving part to face each other in the horizontal direction, and detects the amount of the liquid depending on whether the light receiving part receives the measurement light from the light projecting part. For example, when the liquid level is at a position higher than the sensor, the measurement light is blocked by the liquid, while when the liquid level is at a position lower than the sensor, the measurement light reaches the light receiving unit without being blocked.

그러나, 검출 대상이 되는 액체가 투광성을 갖는 경우, 상기한 투과형 센서에서는, 액면이 센서보다 높은 위치에 있어도, 측정광은 차단되지 않고 액체를 투과해 버린다. 이 때문에, 액면에 관계없이 수광부가 측정광을 수광해 버려, 적절히 액면을 검출할 수 없다고 하는 문제가 있었다.However, when the liquid to be detected has light-transmitting properties, in the above-described transmissive sensor, even if the liquid level is higher than the sensor, the measurement light is not blocked and the liquid is transmitted. For this reason, there existed a problem that the light receiving part received the measurement light irrespective of the liquid level, and the liquid level could not be properly detected.

본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 투광성을 갖는 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출할 수 있는 액량 검출 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to provide a liquid amount detection unit capable of detecting the remaining amount of the liquid using a transmissive sensor even if it is a light-transmitting liquid.

본 발명에 따른 액량 검출 유닛은, 투과형 센서를 이용하여 투명 용기에 저류된 투명 액체의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛으로서, 투과형 센서는, 측정광을 투광하는 투광부와, 투광부가 투광하는 측정광을 수광하는 수광부와, 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 소정량 이하가 된 것을 판단하는 판단부를 구비하고, 투광부와 수광부를 직선 상에 배치시켜, 투명 액체와 공기에 의해 측정광이 굴절 및 반사되어 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 소정량 이하가 된 것을 판단부가 판단하는 것을 특징으로 한다.A liquid amount detection unit according to the present invention is a liquid amount detection unit that detects a liquid amount of a transparent liquid stored in a transparent container using a transmission type sensor, wherein the transmission type sensor comprises: a light projecting unit for projecting measurement light; a light receiving unit for receiving light, and a determination unit for judging that the amount of transparent liquid is less than or equal to a predetermined amount depending on whether the light receiving unit receives measurement light The determination unit determines that the amount of the transparent liquid is equal to or less than a predetermined amount depending on whether the light is refracted and reflected and the light receiving unit receives the measurement light.

이 구성에 따르면, 투광부로부터 투광되는 측정광이 투명 액체와 공기와의 경계에서 굴절 및 반사된다. 그리고, 굴절 및 반사된 측정광을 수광부가 수광하는지 여부에 따라 투명 액체의 잔량을 검출할 수 있다. 이와 같이, 투명 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출할 수 있다.According to this configuration, the measurement light transmitted from the light-transmitting portion is refracted and reflected at the boundary between the transparent liquid and air. In addition, the remaining amount of the transparent liquid may be detected according to whether the light receiving unit receives the refracted and reflected measurement light. In this way, even if it is a transparent liquid, the remaining amount of the liquid can be detected using a transmission type sensor.

본 발명에 따른 상기 액량 검출 유닛은, 투광부와 수광부를 연결하는 직선이 투명 액체의 액면에 대하여 비스듬히 경사져 있고, 투명 액체의 액면에서 측정광이 굴절 및 반사되어 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 소정량 이하가 된 것을 판단부가 판단한다.In the liquid amount detection unit according to the present invention, the straight line connecting the light transmitting part and the light receiving part is obliquely inclined with respect to the liquid level of the transparent liquid, and the measurement light is refracted and reflected at the liquid level of the transparent liquid, so that the light receiving unit receives the measurement light. Accordingly, the determination unit determines that the amount of the transparent liquid is equal to or less than a predetermined amount.

또한, 본 발명에 따른 상기 액량 검출 유닛은, 투명 용기 내에 간격을 두고 원통을 2개 세우게 하여, 2개의 원통에 투광부와 수광부를 따로따로 설치하게 하고, 투광부와 수광부를 연결하는 직선은 2개의 원통의 중심을 어긋나게 하여 배치시키고, 원통의 내측과 외측이 되는 공기와 투명 액체에 의해 측정광이 굴절 및 반사되어 수광부가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 투명 액체가 소정량 이하가 된 것을 판단부가 판단한다.In addition, in the liquid amount detection unit according to the present invention, two cylinders are erected at intervals in the transparent container, and the light transmitting unit and the light receiving unit are separately installed in the two cylinders, and the straight line connecting the light transmitting unit and the light receiving unit is 2 Displace the centers of the cylinders, and the measurement light is refracted and reflected by the air and transparent liquid, which are inside and outside the cylinder, so that the transparent liquid is judged to be less than a predetermined amount depending on whether the light receiving unit receives the measurement light adjudicated

본 발명에 따르면, 측정광의 굴절 및 반사를 이용함으로써, 투광성을 갖는 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출할 수 있다.According to the present invention, by using the refraction and reflection of the measurement light, it is possible to detect the remaining amount of the liquid using a transmissive sensor, even if it is a translucent liquid.

도 1은 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 단면 모식도이다.
도 2는 종래의 액량 검출 유닛을 이용하여, 필러를 포함하는 액체 수지를 검출하는 경우의 모식도이다.
도 3은 종래의 액량 검출 유닛을 이용하여, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지를 검출하는 경우의 모식도이다.
도 4는 비교예에 따른 액량 검출 유닛의 상면 모식도이다.
도 5는 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 상면 모식도이다.
도 6은 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 액량 검출의 상태를 나타낸 도면이다.1 is a schematic cross-sectional view of a liquid amount detection unit according to the present embodiment.
Fig. 2 is a schematic diagram in the case of detecting a liquid resin containing a filler by using a conventional liquid amount detection unit.
3 is a schematic diagram in the case of detecting a transparent liquid resin containing no filler by using a conventional liquid amount detection unit.
4 is a schematic top view of a liquid amount detection unit according to a comparative example.
5 is a schematic top view of the liquid amount detecting unit according to the present embodiment.
6 is a diagram showing a state of liquid amount detection by the liquid amount detection unit according to the present embodiment.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛 및 종래의 액량 검출 유닛에 대해서 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 단면 모식도이다. 도 1A는 액량 검출 유닛의 종단면도를 나타내고, 도 1B는 액량 검출 유닛의 횡단면도를 나타내고 있다. 도 2는 종래의 액량 검출 유닛을 이용하여, 필러를 포함하는 액체 수지를 검출하는 경우의 모식도이다. 도 3은 종래의 액량 검출 유닛을 이용하여, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지를 검출하는 경우의 모식도이다. 또한, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛은, 이하에 나타내는 구성에 한정되지 않고, 적절하게 변경이 가능하다. 또한, 도 1B에 대해서는 설명의 편의상, 서브 탱크 및 제2 센서를 생략하고 있다.Hereinafter, a liquid amount detection unit according to the present embodiment and a conventional liquid amount detection unit will be described with reference to the accompanying drawings. 1 is a schematic cross-sectional view of a liquid amount detection unit according to the present embodiment. Fig. 1A shows a longitudinal cross-sectional view of the liquid amount detecting unit, and Fig. 1B shows a cross-sectional view of the liquid amount detecting unit. Fig. 2 is a schematic diagram in the case of detecting a liquid resin containing a filler by using a conventional liquid amount detection unit. 3 is a schematic diagram in the case of detecting a transparent liquid resin containing no filler by using a conventional liquid amount detection unit. In addition, the liquid amount detection unit which concerns on this embodiment is not limited to the structure shown below, It can change suitably. In addition, about FIG. 1B, the sub tank and the 2nd sensor are abbreviate|omitted for the convenience of description.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛(1)은, 탱크(2) 내에 저류된 액체(L)의 액량을 검출하도록 구성되어 있다. 액량 검출 유닛(1)은, 액체(L)를 저류하는 탱크(2)와, 탱크(2) 내의 액체(L)의 액면을 검출하는 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1 , the liquid amount detecting unit 1 according to the present embodiment is configured to detect the liquid amount of the liquid L stored in the tank 2 . The liquid amount detection unit 1 includes a tank 2 for storing a liquid L, and a first sensor 3 and a second sensor 4 for detecting the liquid level of the liquid L in the tank 2 . is composed by

탱크(2)는, 플라스틱 수지 등으로 형성되는 투명 용기이고, 상자형의 메인 탱크(20)와, 메인 탱크(20)의 바닥면에 연결되는 서브 탱크(21)를 갖고 있다. 메인 탱크(20)의 상면에는, 액체(L)를 투입하는 액체 투입구(22)가 설치되어 있다. 서브 탱크(21)는, 메인 탱크(20)의 바닥면으로부터 아래쪽으로 돌출 형성되어 있고, 메인 탱크(20)에 비하여 작은 용적을 갖고 있다. 서브 탱크(21)의 하단에는, 액체를 송출하기 위한 액체 송출구(23)가 설치되어 있다.The tank 2 is a transparent container made of plastic resin or the like, and has a box-shaped main tank 20 and a sub tank 21 connected to the bottom surface of the main tank 20 . On the upper surface of the main tank 20, a liquid inlet 22 for introducing the liquid L is provided. The sub tank 21 is formed to protrude downward from the bottom surface of the main tank 20 , and has a smaller volume than the main tank 20 . At the lower end of the sub tank 21, a liquid delivery port 23 for delivering the liquid is provided.

메인 탱크(20) 내에는, 상면으로부터 아래쪽으로 연장되는 2개의 원통부(24)가 수평 방향으로 간격을 두고 세워져 있다. 원통부(24)의 상단은, 메인 탱크(20)의 상면으로부터 돌출되어 개방되어 있다. 한편, 원통부(24)의 하단은 폐쇄되어 있고, 메인 탱크(20)의 바닥면보다 위쪽에 위치되어 있다. 이에 따라, 원통부(24) 내에 대한 액체(L)의 침입이 방지되고 있다.In the main tank 20, two cylindrical portions 24 extending downward from the upper surface are erected at intervals in the horizontal direction. The upper end of the cylindrical part 24 protrudes from the upper surface of the main tank 20 and is open. On the other hand, the lower end of the cylindrical portion 24 is closed and is located above the bottom surface of the main tank 20 . Accordingly, intrusion of the liquid L into the cylindrical portion 24 is prevented.

제1 센서(3) 및 제2 센서(4)는, 투과형 센서이며, 투광부(30, 40)로부터 투광되는 측정광을 각각 수광부(31, 41)에서 수광하도록 구성되어 있다. 또한, 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)는, 수광부(31, 41)가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 액체(L)의 유무를 판단하는 판단부(5)를 구비하고 있다.The first sensor 3 and the second sensor 4 are transmissive sensors, and are configured to receive the measurement light transmitted from the light projecting units 30 and 40 by the light receiving units 31 and 41, respectively. In addition, the first sensor 3 and the second sensor 4 are provided with a determination unit 5 for judging the presence or absence of the liquid L depending on whether the light receiving units 31 and 41 receive the measurement light. .

구체적으로는, 제1 센서(3)에 있어서 판단부(5)는, 투광부(30)로부터의 측정광을 수광부(31)가 수광하지 않으면 액체(L)가 있다고 판단하고, 수광부(31)가 측정광을 수광하면 액체(L)가 없다고 판단한다. 한편, 제2 센서(4)에 있어서 판단부(5)는, 투광부(40)로부터의 측정광을 수광부(41)가 수광하면 액체(L)가 있다고 판단하고, 수광부(41)가 측정광을 수광하지 않으면 액체(L)가 없다고 판단한다. 또한, 상세한 내용은 후술하지만, 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)는, 액체와 공기의 굴절률의 차이에 의해 굴절 또는 반사되는 측정광을 수광하는지 여부에 따라, 액체가 소정량 이하가 된 것을 검출한다.Specifically, in the first sensor 3 , the determination unit 5 determines that the liquid L is present if the light receiving unit 31 does not receive the measurement light from the light projecting unit 30 , and the light receiving unit 31 . When the measurement light is received, it is determined that there is no liquid L. On the other hand, in the second sensor 4 , the determination unit 5 determines that the liquid L is present when the light receiving unit 41 receives the measurement light from the light projecting unit 40 , and the light receiving unit 41 transmits the measurement light If the light is not received, it is determined that there is no liquid (L). In addition, although details will be described later, the first sensor 3 and the second sensor 4 receive the measurement light refracted or reflected by the difference in refractive index between the liquid and the air, depending on whether the liquid is less than or equal to a predetermined amount. detect what has been

제1 센서(3)는, 메인 탱크(20) 내에 설치되고, 메인 탱크(20) 내에서의 액체(L)의 액량을 검출한다. 보다 구체적으로는, 투광부(30)와 수광부(31)가 원통부(24) 내의 하단부에 각각 따로따로 설치되고, 투광부(30)와 수광부(31)가 직선 상에 위치되도록 대향 배치된다. 또한, 상면에서 보아, 투광부(30)와 수광부(31)를 연결하는 직선이 2개의 원통부(24)의 중심(을 연결하는 직선)으로부터 어긋나 있다.The first sensor 3 is provided in the main tank 20 and detects the liquid amount of the liquid L in the main tank 20 . More specifically, the light-transmitting part 30 and the light-receiving part 31 are installed separately at the lower end of the cylindrical part 24, respectively, and the light-transmitting part 30 and the light receiving part 31 are arranged opposite so that they may be positioned on a straight line. Further, when viewed from the top, a straight line connecting the light transmitting part 30 and the light receiving part 31 is deviated from the center (the connecting straight line) of the two cylindrical parts 24 .

제2 센서(4)는, 서브 탱크(21)의 외측에 설치되고, 서브 탱크(21) 내에서의 액체(L)의 액량을 검출한다. 보다 구체적으로는, 서브 탱크(21)의 측면 외측에 투광부(40)와 수광부(41)가 서브 탱크(21)를 사이에 두고 대향 배치된다. 또한, 투광부(40)와 수광부(41)를 연결하는 직선이 액체(L)의 액면에 대하여 비스듬히 경사져 있다. 도 1에서는, 투광부(40)에 대하여 수광부(41)가 하측에 위치되어 있다.The second sensor 4 is provided outside the sub tank 21 , and detects the liquid amount of the liquid L in the sub tank 21 . More specifically, the light transmitting unit 40 and the light receiving unit 41 are disposed to face each other on the outer side of the sub tank 21 with the sub tank 21 interposed therebetween. In addition, a straight line connecting the light transmitting part 40 and the light receiving part 41 is obliquely inclined with respect to the liquid level of the liquid L. In FIG. 1 , the light receiving unit 41 is located below the light transmitting unit 40 .

이와 같이 구성되는 액량 검출 유닛(1)에서는, 액체 투입구(22)로부터 액체(L)가 투입되고, 소정량의 액체(L)가 탱크(2) 내에 저류된다. 그리고, 액체(L)가 사용되는 경우에는, 액체 송출구(23)로부터 액체(L)가 송출됨으로써, 액체(L)의 액면이 서서히 내려가게 된다. 메인 탱크(20) 내에서 액면이 소정 높이까지 내려가면, 제1 센서(3)에 의해 액체(L)가 소정량 이하가 된 것이 검출된다. 액면이 더 내려가고, 서브 탱크(21) 내에서 액면이 소정 높이가 되면, 이번에는 제2 센서(4)에 의해 액체(L)가 소정량 이하가 된 것이 검출된다. 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)에 의해 액체(L)가 소정량 이하가 된 것이 검출되면, 외부의 모니터나 버저 등의 통지 수단(모두 도시하지 않음)에 의해 액체(L)의 부족이 통지되고, 오퍼레이터에 대하여 액체(L)의 보충이 재촉된다.In the liquid amount detection unit 1 configured in this way, the liquid L is injected from the liquid inlet 22 , and a predetermined amount of the liquid L is stored in the tank 2 . Then, when the liquid L is used, the liquid L is delivered from the liquid delivery port 23 so that the liquid level of the liquid L is gradually lowered. When the liquid level in the main tank 20 goes down to a predetermined height, the first sensor 3 detects that the liquid L has decreased to a predetermined amount or less. When the liquid level goes down further and the liquid level reaches a predetermined height in the sub tank 21 , this time the second sensor 4 detects that the liquid L has become less than or equal to the predetermined amount. When it is detected by the first sensor 3 and the second sensor 4 that the liquid L has become less than or equal to a predetermined amount, the liquid L is controlled by an external monitor or notification means such as a buzzer (both not shown). The shortage of is notified, and the replenishment of the liquid L is urged with respect to the operator.

그런데, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛(1)의 적용 분야로서, 예컨대, 반도체 제조 장치를 들 수 있다. 반도체 제조 장치의 분야에서는, 실리콘 등의 잉곳을 슬라이스하여 소정 두께의 웨이퍼를 형성할 때에 웨이퍼의 요철면이 연삭 가공된다. 이 경우, 웨이퍼의 요철면에 액체 수지를 도포하여 요철면이 평탄하게 고르게 된다.By the way, as an application field of the liquid amount detection unit 1 which concerns on this embodiment, a semiconductor manufacturing apparatus is mentioned, for example. In the field of semiconductor manufacturing apparatuses, when slicing an ingot such as silicon to form a wafer having a predetermined thickness, the uneven surface of the wafer is ground. In this case, a liquid resin is applied to the uneven surface of the wafer so that the uneven surface is even.

이러한 연삭 가공에 이용되는 액체 수지는, 웨이퍼의 두께 정밀도를 높이기 위해서, 경화 후에 소정의 경도가 필요로 되고 있다. 그래서, 액체 수지에는 충전제로서 필러가 소정의 비율로 혼합되어 있다. 필러를 포함하는 액체 수지는, 불투명하며, 차광성을 갖고 있다. 이 때문에, 종래의 액량 검출 유닛에서는, 투과형(광학식) 센서를 이용하여 액체 수지의 액량을 검출하고 있었다.The liquid resin used for such a grinding process requires predetermined hardness after hardening in order to raise the thickness precision of a wafer. Therefore, the liquid resin is mixed with a filler as a filler in a predetermined ratio. Liquid resin containing a filler is opaque and has light-shielding property. For this reason, in the conventional liquid amount detection unit, the liquid amount of the liquid resin was detected using a transmission type (optical) sensor.

도 2에 도시된 바와 같이, 액량 검출 유닛(6)에서는, 필러를 포함하는 액체 수지(L2)가 저류된 용기(60)의 외측에, 투과형 센서(61)가 설치되어 있다. 투과형 센서(61)는, 용기(60)를 좌우에서 끼우도록 투광부(62)와 수광부(63)를 대향 배치하여 구성된다. 도 2A에 도시된 바와 같이, 액체 수지(L2)의 액면이 투과형 센서(61)보다 높은 위치에 있으면, 투광부(62)로부터 투광되는 측정광이 불투명 액체 수지(L2)에 의해 난반사되기 때문에, 수광부(63)에서는 측정광을 수광할 수 없다. 이 경우, 액량 검출 유닛(6)은, 액체 수지(L2)가 소정량으로 존재한다고 판단한다.As shown in FIG. 2 , in the liquid amount detection unit 6 , a transmission type sensor 61 is provided outside the container 60 in which the liquid resin L2 containing the filler is stored. The transmissive sensor 61 is configured by arranging the light transmitting unit 62 and the light receiving unit 63 to face each other so that the container 60 is sandwiched from the left and right. As shown in Fig. 2A, when the liquid level of the liquid resin L2 is at a higher position than the transmission type sensor 61, the measurement light transmitted from the light projection unit 62 is diffusely reflected by the opaque liquid resin L2, The light receiving unit 63 cannot receive the measurement light. In this case, the liquid amount detecting unit 6 determines that the liquid resin L2 is present in a predetermined amount.

또한, 도 2B에 도시된 바와 같이, 액체 수지(L2)의 액면이 투과형 센서(61)보다 낮은 위치에 있으면, 투광부(62)로부터 투광되는 측정광은 액체 수지(L2)에 의해 차단되지 않고 수광부(63)에 도달한다. 이 경우, 액량 검출 유닛(6)은, 액체 수지(L2)가 소정량 이하가 되었다고 판단한다. 이와 같이, 수광부(63)가 측정광을 수광하는지 여부에 따라 액체 수지(L2)가 소정량 이하가 된 것을 검출할 수 있다.In addition, as shown in Fig. 2B, when the liquid level of the liquid resin L2 is at a position lower than that of the transmission type sensor 61, the measurement light transmitted from the light-transmitting part 62 is not blocked by the liquid resin L2. The light receiving unit 63 is reached. In this case, the liquid amount detection unit 6 determines that the liquid resin L2 is equal to or less than a predetermined amount. In this way, it can be detected that the liquid resin L2 has become less than or equal to a predetermined amount depending on whether or not the light receiving unit 63 receives the measurement light.

또한, 상기한 바와 같이 필러를 포함하는 액체 수지가 이용되는 한편, 경화 후의 경도가 너무 높으면, 연삭 가공시에 연삭 지석의 자국, 소위 쏘 마크(saw mark)가 형성되어 버린다고 하는 문제가 있다. 또한, 경화 후의 수지를 웨이퍼로부터 잡아당겨 벗길 때에 웨이퍼가 깨지기 쉽게 되어 버린다고 하는 문제도 있다. 이 때문에, 액체 수지에 어느 정도의 탄력성을 갖게 하고 싶다고 하는 요망도 있어, 최근에는, 필러를 포함하지 않는 액체 수지를 이용하는 경우가 늘어나고 있다. 필러를 포함하지 않는 액체 수지에 따르면, 연삭 가공시에 쏘 마크가 형성되는 것을 방지함과 더불어, 경화 후의 수지가 박리하기 쉬워진다고 하는 효과가 있다.Moreover, while the liquid resin containing a filler is used as mentioned above, if the hardness after hardening is too high, there exists a problem that the trace of a grindstone, a so-called saw mark, will be formed at the time of grinding process. In addition, there is also a problem that the wafer becomes brittle when the cured resin is pulled off from the wafer. For this reason, there is also a request to give the liquid resin some elasticity, and in recent years, the case of using a liquid resin containing no filler is increasing. According to the liquid resin not containing a filler, while preventing the saw mark from being formed at the time of grinding, there exists an effect that the resin after hardening becomes easy to peel.

여기서, 필러를 포함하지 않는 액체 수지를 종래의 액량 검출 유닛으로 검출하는 경우에 대해서 설명한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 필러를 포함하지 않는 액체 수지(L3)는 투명하고, 액체 수지(L3)의 액면이 투과형 센서(61)보다 높은 위치에 있어도, 측정광은 투명한 액체 수지(L3)를 투과하여 수광부(63)에 도달한다(도 3A 참조). 또한, 액체 수지(L3)의 액면이 투과형 센서(61)보다 낮은 위치에 있는 경우라도, 측정광은 액체 수지(L3)에 의해 차단되지 않고 수광부(63)에 도달한다(도 3B 참조). 이와 같이, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지(L3)에서는, 액면의 높이에 상관없이 수광부(63)가 측정광을 수광해 버리기 때문에, 액량을 적절히 검출할 수 없다.Here, a case in which the liquid resin containing no filler is detected by the conventional liquid amount detection unit will be described. As shown in FIG. 3 , the liquid resin L3 containing no filler is transparent, and even if the liquid level of the liquid resin L3 is higher than the transmissive sensor 61, the measurement light is transparent to the liquid resin L3. to reach the light receiving part 63 (refer to FIG. 3A). Further, even when the liquid level of the liquid resin L3 is at a position lower than that of the transmissive sensor 61, the measurement light reaches the light receiving portion 63 without being blocked by the liquid resin L3 (see Fig. 3B). As described above, in the transparent liquid resin L3 containing no filler, since the light receiving unit 63 receives the measurement light regardless of the liquid level, the liquid amount cannot be properly detected.

그래서, 본 발명자는, 액체와 공기의 굴절률의 차이, 또는 액체와 용기의 굴절률의 차이에 착안하여 본 발명에 상도하였다. 즉, 본 발명의 골자는, 굴절 또는 반사된 측정광을 수광부가 수광하는지 여부에 따라 액체의 유무를 검출하는 것이다. 이에 따라, 통상은 필러를 포함하는 액체 수지(차광성을 갖는 불투명한 액체)밖에 검출할 수 없는 투과형 센서를 이용하여, 필러를 포함하지 않는 액체 수지(투명 액체)의 액량을 검출하는 것이 가능하게 되어 있다.Then, the present inventors considered the difference of the refractive index of a liquid and air, or the difference of the refractive index of a liquid and a container, paying attention to this invention. That is, the gist of the present invention is to detect the presence or absence of liquid according to whether the light receiving unit receives the refracted or reflected measurement light. This makes it possible to detect the liquid amount of the liquid resin (transparent liquid) not containing a filler using a transmission type sensor that can normally only detect a liquid resin containing a filler (opaque liquid having light-shielding properties). has been

다음에, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛에 의한 액량 검출에 대해서 설명한다. 도 4는 비교예에 따른 액량 검출 유닛의 상면 모식도이다. 도 5는 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 상면 모식도이다. 도 4A 및 도 5A는 액면이 제1 센서보다 높은 위치에 있는 상태를 나타내고, 도 4B 및 도 5B는 탱크 내에 액체가 없거나 또는 액면이 제1 센서보다 낮은 위치에 있는 상태를 나타내고 있다. 또한, 도 4에 도시된 비교예는, 상면에서 본 제1 센서의 위치만이 본 실시형태와 차이가 나고 있다. 이 때문에, 동일 명칭의 구성에 대해서는 동일한 부호를 나타내고, 그 설명을 생략한다. 도 6은 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛의 액량 검출의 상태를 나타낸 도면이다. 도 6A는 액면이 제1 센서보다 낮은 위치에 있는 상태를 나타내고, 도 6B는 액면이 제2 센서의 투광부와 수광부 사이의 위치에 있는 상태를 나타내고 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서는, 액체로서 투명 액체(필러를 포함하지 않는 액체 수지)가 이용되는 것으로 한다.Next, the liquid amount detection by the liquid amount detection unit according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 4 to 6 . 4 is a schematic top view of a liquid amount detection unit according to a comparative example. 5 is a schematic top view of the liquid amount detecting unit according to the present embodiment. 4A and 5A show a state in which the liquid level is higher than the first sensor, and FIGS. 4B and 5B show a state in which there is no liquid in the tank or the liquid level is lower than the first sensor. In addition, the comparative example shown in FIG. 4 differs from this embodiment only in the position of the 1st sensor seen from the upper surface. For this reason, about the structure of the same name, the same code|symbol is shown and the description is abbreviate|omitted. 6 is a diagram showing a state of liquid amount detection by the liquid amount detection unit according to the present embodiment. Fig. 6A shows a state where the liquid level is lower than that of the first sensor, and Fig. 6B shows a state where the liquid level is located between the light transmitting part and the light receiving part of the second sensor. In addition, in the following description, it is assumed that a transparent liquid (liquid resin which does not contain a filler) is used as a liquid.

우선, 비교예에 대해서 설명한다. 도 4에 도시된 바와 같이 비교예에서는, 상면에서 보아, 제1 센서(3)의 투광부(30)와 수광부(31)가 각각 원통부(24) 내에 설치되고, 2개의 원통부(24)의 중심을 연결하는 직선 상에 배치되어 있다. 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지(L3)의 액면이 제1 센서(3)보다 높은 위치에 있는 경우, 도 4A에 도시된 바와 같이, 투광부(30)로부터 투광되는 측정광은, 원통부(24)의 측면을 관통하여 액체 수지(L3) 내를 투과한다. 이 때, 원통부(24)와 액체 수지(L3)의 경계면에 대하여 측정광이 직교하도록 입사되기 때문에, 측정광은 굴절되지 않고 똑바로 수광부(31)에 도달한다. 이 경우, 판단부(5)는, 수광부(31)가 측정광을 수광한 것을 인식하여 액체 수지(L3)가 소정량 이하가 되었다고 잘못 판단해 버린다.First, a comparative example is demonstrated. As shown in FIG. 4 , in the comparative example, when viewed from the top, the light transmitting part 30 and the light receiving part 31 of the first sensor 3 are provided in the cylindrical part 24, respectively, and the two cylindrical parts 24 It is placed on a straight line connecting the centers of When the liquid level of the transparent liquid resin L3 containing no filler is at a higher position than the first sensor 3, as shown in FIG. 4A, the measurement light transmitted from the light transmitting unit 30 is 24) and penetrates into the liquid resin L3. At this time, since the measurement light is incident so as to be perpendicular to the interface between the cylindrical portion 24 and the liquid resin L3, the measurement light is not refracted and directly reaches the light receiving portion 31 . In this case, the determination unit 5 recognizes that the light receiving unit 31 has received the measurement light, and erroneously determines that the liquid resin L3 has become the predetermined amount or less.

한편, 액체 수지(L3)의 액면이 제1 센서(3)보다 낮은 위치에 있는 경우, 도 4B에 도시된 바와 같이, 투광부(30)로부터의 측정광은 액체 수지(L3)에 의해 차단되지 않고 수광부(31)에 도달한다. 이 때 판단부(5)는, 액체 수지(L3)가 소정량 이하가 되었다고 판단한다. 이와 같이, 비교예에서는, 투과형 센서를 이용하여 투명한 액체 수지(L3)를 적절히 검출할 수 없다.On the other hand, when the liquid level of the liquid resin L3 is at a lower position than the first sensor 3, as shown in FIG. 4B, the measurement light from the light transmitting part 30 is not blocked by the liquid resin L3. without reaching the light receiving unit 31 . At this time, the determination unit 5 determines that the liquid resin L3 is equal to or less than a predetermined amount. Thus, in the comparative example, the transparent liquid resin L3 cannot be properly detected using the transmission type sensor.

이것에 대하여 본 실시형태에서는, 도 5에 도시된 바와 같이, 투광부(30)와 수광부(31)를 연결하는 직선이 2개의 원통부(24)의 중심을 연결하는 직선으로부터 어긋나 있다. 이 때문에, 액체 수지(L3)의 액면이 제1 센서(3)보다 높은 위치에 있는 경우, 도 5A에 도시된 바와 같이, 투광부(30)로부터 투광되는 측정광은 원통부(24)를 투과하여 원통부(24)의 측면으로부터 액체 수지(L3) 내로 들어간다.In contrast, in the present embodiment, as shown in FIG. 5 , the straight line connecting the light transmitting part 30 and the light receiving part 31 is deviated from the straight line connecting the centers of the two cylindrical parts 24 . For this reason, when the liquid level of the liquid resin L3 is at a position higher than that of the first sensor 3 , as shown in FIG. 5A , the measurement light transmitted from the light projection part 30 passes through the cylindrical part 24 . and enters the liquid resin L3 from the side surface of the cylindrical portion 24 .

이 때, 원통부(24)와 액체 수지(L3)의 경계면에 대하여 측정광이 직교하는 방향이 아니라 소정의 각도를 이루며 입사된다. 또한, 원통부(24)와 액체 수지(L3)의 굴절률의 차이에도 기인하여, 측정광은 원통부(24)와 액체 수지(L3)의 경계면에서 굴절되어 수광부(31)를 향하는 방향과는 상이한 방향으로 진행한다. 이 결과, 수광부(31)측에서는 측정광이 수광되지 않고, 판단부(5)는, 액체 수지(L3)가 소정량보다 많이 존재한다고 판단할 수 있다.At this time, the measurement light is incident with respect to the interface between the cylindrical portion 24 and the liquid resin L3 at a predetermined angle rather than in a direction perpendicular to each other. In addition, due to the difference in refractive index between the cylindrical portion 24 and the liquid resin L3, the measurement light is refracted at the interface between the cylindrical portion 24 and the liquid resin L3 and is different from the direction toward the light receiving portion 31. proceed in the direction As a result, the measurement light is not received on the light receiving unit 31 side, and the determination unit 5 can determine that the liquid resin L3 is present in more than a predetermined amount.

한편, 액체 수지(L3)의 액면이 제1 센서(3)보다 낮은 위치에 있는 경우(도 6A 참조), 도 5B에 도시된 바와 같이, 원통부(24)를 투과하는 측정광은 굴절되지 않고 수광부(31)에 도달한다. 판단부(5)는, 수광부(31)가 측정광을 수광한 것을 인식하여 액체 수지(L3)가 소정량 이하가 되었다고 판단할 수 있다. 이와 같이, 제1 센서(3)에서는, 원통부(24)의 중심에 대하여 투광부(30) 및 수광부(31)를 어긋나게 하여 배치하고, 측정광을 굴절시킴으로써, 필러를 포함하지 않는 액체 수지(L3)(투명 액체)여도, 투과형 센서(제1 센서(3))를 이용하여 액량을 검출할 수 있다.On the other hand, when the liquid level of the liquid resin L3 is at a lower position than the first sensor 3 (see FIG. 6A ), as shown in FIG. 5B , the measurement light passing through the cylindrical portion 24 is not refracted. The light receiving unit 31 is reached. The determination unit 5 may recognize that the light receiving unit 31 has received the measurement light, and may determine that the liquid resin L3 is equal to or less than a predetermined amount. In this way, in the first sensor 3, the light transmitting part 30 and the light receiving part 31 are displaced with respect to the center of the cylindrical part 24, and the liquid resin containing no filler ( L3) (transparent liquid), the amount of liquid can be detected using the transmission type sensor (first sensor 3).

또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에서는, 메인 탱크(20) 내의 액량을 검출하는 제1 센서(3) 외에, 서브 탱크(21) 내의 액량을 검출하는 제2 센서(4)가 설치되어 있다. 제1 센서(3) 및 제2 센서(4)를 이용하여 액체 수지(L3)의 액량을 검출함으로써, 오퍼레이터에 대하여 2단계로 액체 수지(L3)의 부족을 통지할 수 있다. 이 결과, 보다 확실하게 오퍼레이터에 대하여 액체 수지(L3)의 보급을 재촉할 수 있다. 이하, 제2 센서(4)에 의한 액량 검출에 대해서 설명한다.6, in this embodiment, in addition to the first sensor 3 for detecting the amount of liquid in the main tank 20, a second sensor 4 for detecting the amount of liquid in the sub tank 21 is provided. installed. By detecting the liquid amount of the liquid resin L3 using the first sensor 3 and the second sensor 4, it is possible to notify the operator of the shortage of the liquid resin L3 in two steps. As a result, the supply of the liquid resin L3 to the operator can be promoted more reliably. Hereinafter, the detection of the liquid amount by the second sensor 4 will be described.

도 6A에 도시된 바와 같이, 액체 수지(L3)의 액면이 제2 센서(4)(투광부(40))보다 높은 위치에 있는 경우, 투광부(40)로부터 투광되는 측정광은 서브 탱크(21) 및 액체 수지(L3)를 투과하여 직접 수광부(41)에 입사된다. 판단부(5)에서는, 수광부(41)가 측정광을 수광했다고 인식하고, 액체 수지(L3)가 소정량보다 많이 존재한다고 판단한다.As shown in Fig. 6A, when the liquid level of the liquid resin L3 is at a position higher than that of the second sensor 4 (transmitting part 40), the measurement light emitted from the transmissive part 40 is transmitted to the sub-tank ( 21) and the liquid resin L3 to be directly incident on the light receiving unit 41 . The determination unit 5 recognizes that the light receiving unit 41 has received the measurement light, and determines that the liquid resin L3 exists in an amount greater than a predetermined amount.

액체 수지(L3)의 액면이 내려가고, 도 6B에 도시된 바와 같이, 액면이 투광부(40)와 수광부(41) 사이의 높이에 위치하고 있는 경우, 투광부(40)로부터 투광되는 측정광은, 서브 탱크(21)의 측벽을 투과한 후, 일부가 서브 탱크(21) 내의 공기와 액체 수지(L3)와의 경계면(액면)에서 반사됨과 더불어, 일부는 공기와 액체 수지(L3)의 경계면에서 굴절되어 액체 수지(L3)를 투과한다. 이 때문에, 측정광이 수광부(41)에 도달하는 일이 없어, 판단부(5)에서는, 수광부(41)가 측정광을 수광하지 않는다고 인식하고, 액체 수지(L3)가 소정량 이하가 되었다고 판단한다.When the liquid level of the liquid resin L3 goes down and the liquid level is located at a height between the light transmitting unit 40 and the light receiving unit 41 as shown in FIG. 6B, the measurement light transmitted from the light transmitting unit 40 is , after passing through the side wall of the sub tank 21, a part is reflected at the interface (liquid level) between the air in the sub tank 21 and the liquid resin L3, and a part is reflected at the interface between the air and the liquid resin L3. It is refracted and penetrates the liquid resin L3. For this reason, the measurement light does not reach the light receiving unit 41, and the determination unit 5 recognizes that the light receiving unit 41 does not receive the measurement light, and determines that the liquid resin L3 is equal to or less than a predetermined amount. do.

이와 같이, 제2 센서(4)에서는, 투광부(40)와 수광부(41)를 연결하는 직선을 액면에 대하여 경사지게 하고, 공기와 액체 수지(L3)의 굴절률의 차이를 이용함으로써, 필러를 포함하지 않는 액체 수지(L3)(투명 액체)여도, 투과형 센서(제2 센서(4))를 이용하여 액량을 검출할 수 있다.In this way, in the second sensor 4, the straight line connecting the light transmitting unit 40 and the light receiving unit 41 is inclined with respect to the liquid level, and by using the difference in refractive index between air and liquid resin L3, a filler is included. Even if it is the liquid resin L3 (transparent liquid) which is not used, the amount of liquid can be detected using the transmission type sensor (second sensor 4).

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시하는 것이 가능하다. 상기 실시형태에 있어서, 첨부 도면에 도시되어 있는 크기나 형상 등에 대해서는, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘하는 범위 내에서 적절하게 변경하는 것이 가능하다. 그 밖에, 본 발명의 목적 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시하는 것이 가능하다.In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It is possible to implement with various changes. In the said embodiment, about the size, shape, etc. shown in an accompanying drawing, it is not limited to this, It is possible to change suitably within the range which exhibits the effect of this invention. In addition, as long as it does not deviate from the objective range of this invention, it can change suitably and implement.

예컨대, 상기한 실시형태에서는, 투명 액체로서 필러를 포함하지 않는 액체 수지(L3)를 예를 들었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 투명 액체는, 어떠한 액체라도 적용 가능하다.For example, although the liquid resin L3 which does not contain a filler was mentioned as a transparent liquid in said embodiment, it is not limited to this structure. The transparent liquid is applicable to any liquid.

또한, 상기한 실시형태에서는, 제2 센서(4)에 있어서, 투광부(40)에 대하여 수광부(41)가 하측에 위치되는 구성으로 하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 투광부(40)에 대하여 수광부(41)가 상측에 위치되어도 좋다.In addition, in the above-described embodiment, in the second sensor 4 , the light receiving unit 41 is positioned below the light transmitting unit 40 , but it is not limited to this configuration. The light receiving unit 41 may be located above the light transmitting unit 40 .

또한, 상기한 실시형태에서는, 필러를 포함하지 않는 투명한 액체 수지(L3)를 액량 검출 유닛(1)에 의해 검출하는 구성으로 하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 본 실시형태에 따른 액량 검출 유닛(1)으로, 필러를 포함하는 차광성의 액체 수지를 검출하여도 좋다. 예컨대, 제1 센서(3)에서는, 액체 수지에 의해 측정광이 차광됨으로써, 액체 수지가 소정량 존재하는 것을 검출할 수 있다. 한편, 액면이 제1 센서(3)보다 내려가 있으면, 액체 수지에 의해 차단되지 않고 수광부(31)가 측정광을 수광할 수 있기 때문에, 액체 수지가 소정량 이하가 된 것을 검출할 수 있다. 또한, 제2 센서(4)에서는, 판단부(5)의 판단을 상기한 실시형태와 반대로 하고, 투광부(40)로부터의 측정광이 액체 수지에 의해 차광됨으로써, 액체 수지가 소정량 존재하는 것을 판단부(5)가 판단하게 할 수 있다. 한편, 액면이 수광부(41)보다 낮은 위치에 있는 경우, 투광부(40)로부터의 측정광이 액체 수지에 의해 차단되지 않고 수광부(41)에 도달한다. 이에 따라, 판단부(5)는, 액체 수지가 소정량 이하가 되었다고 판단할 수 있다.In addition, although it was set as the structure which detects the transparent liquid resin L3 which does not contain a filler by the liquid amount detection unit 1 in said embodiment, it is not limited to this structure. With the liquid amount detection unit 1 according to the present embodiment, light-shielding liquid resin containing a filler may be detected. For example, the first sensor 3 can detect the presence of a predetermined amount of the liquid resin by blocking the measurement light by the liquid resin. On the other hand, when the liquid level is lower than the first sensor 3, the light receiving unit 31 can receive the measurement light without being blocked by the liquid resin, so that it is possible to detect that the liquid resin has decreased to a predetermined amount or less. In the second sensor 4, the determination of the determination unit 5 is reversed from that of the above-described embodiment, and the measurement light from the light projection unit 40 is blocked by the liquid resin, so that a predetermined amount of the liquid resin is present. that the determination unit 5 may determine. On the other hand, when the liquid level is at a lower position than the light receiving unit 41 , the measurement light from the light transmitting unit 40 reaches the light receiving unit 41 without being blocked by the liquid resin. Accordingly, the determination unit 5 can determine that the liquid resin is equal to or less than a predetermined amount.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 투광성을 갖는 액체여도, 투과형 센서를 이용하여 액체의 잔량을 검출할 수 있다고 하는 효과를 가지며, 특히, 웨이퍼에 도포되는 액체 수지의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛에 유용하다.As described above, the present invention has the effect that the remaining amount of the liquid can be detected using a transmissive sensor even if it is a light-transmitting liquid. useful.

1 : 액량 검출 유닛
2 : 탱크(투명 용기)
24 : 원통부(원통)
3 : 제1 센서(투과형 센서)
4 : 제2 센서(투과형 센서)
5 : 판단부
30, 40 : 투광부
31, 41 : 수광부
L : 액체(투명 액체)
L3 : 액체 수지(투명 액체)1: Liquid amount detection unit
2: Tank (transparent container)
24: cylindrical part (cylindrical)
3: first sensor (transmissive sensor)
4: 2nd sensor (transmissive sensor)
5: judgment unit
30, 40: Transmitting part
31, 41: light receiving unit
L: liquid (transparent liquid)
L3: liquid resin (transparent liquid)

Claims (3)

투과형 센서를 이용하여 투명 용기에 저류된 투명 액체의 액량을 검출하는 액량 검출 유닛으로서,
상기 투명 용기 내에 간격을 두고 평행하게 세워지는 제1 원통부와 제2 원통부를 구비하고,
투과형 센서의 제1 센서는,
상기 제1 원통부 내에 배치되어 제1 측정광을 투광하는 제1 투광부와,
상기 제2 원통부 내에 배치되어 상기 제1 측정광을 수광하는 제1 수광부와,
상기 제1 투광부가 투광하는 상기 제1 측정광이 상기 투명 액체와 공기의 굴절률의 차이로 굴절 또는 반사하여 상기 제1 수광부가 상기 제1 측정광을 수광하는지 여부에 따라 상기 투명 액체가 미리 정해진 양 이하 또는 미리 정해진 양보다 많다고 판단하는 판단부를 구비하고,
상기 제1 투광부와 상기 제1 수광부를 연결하는 직선은, 상기 제1 원통부 및 상기 제2 원통부의 연장 방향에 직교하는 방향으로, 상기 제1 원통부 및 상기 제2 원통부 각각의 중심으로부터 직경 방향에서 같은 방향으로 어긋나게 배치되고,
상기 판단부는, 상기 제1 투광부가 투광한 상기 제1 측정광을 상기 제1 수광부가 수광하지 않은 경우에 상기 투명 액체가 미리 정해진 양보다 많다고 판단하고, 상기 제1 투광부가 투광한 상기 제1 측정광을 상기 제1 수광부가 수광한 경우에 상기 투명 액체가 미리 정해진 양 이하로 되었다고 판단하는 액량 검출 유닛.A liquid amount detection unit for detecting a liquid amount of a transparent liquid stored in a transparent container using a transmissive sensor, comprising:
Having a first cylindrical portion and a second cylindrical portion erected in parallel with a distance in the transparent container,
The first sensor of the transmission type sensor,
a first light-transmitting part disposed in the first cylindrical part to transmit a first measurement light;
a first light receiving unit disposed in the second cylindrical unit to receive the first measurement light;
A predetermined amount of the transparent liquid is obtained according to whether the first measurement light transmitted by the first light transmitting unit is refracted or reflected by a difference in refractive indices of the transparent liquid and air, and the first light receiving unit receives the first measurement light. and a determination unit that determines that the amount is less than or greater than a predetermined amount,
A straight line connecting the first light transmitting part and the first light receiving part is perpendicular to the extending directions of the first cylindrical part and the second cylindrical part from the center of each of the first cylindrical part and the second cylindrical part Displaced in the same direction in the radial direction,
The determination unit may be configured to determine that the amount of the transparent liquid is greater than a predetermined amount when the first light receiving unit does not receive the first measurement light transmitted by the first light transmitting unit, and the first measuring light transmitted by the first light transmitting unit a liquid amount detecting unit for judging that the transparent liquid has become less than or equal to a predetermined amount when the first light receiving portion receives light. 제1항에 있어서,
투과형 센서의 제2 센서는, 상기 투명 용기의 외측에 상기 투명 용기를 사이에 두고 대향 배치되어 제2 측정광을 투광하는 제2 투광부 및 제2 측정광을 수광하는 제2 수광부를 더 구비하고,
상기 제2 투광부와 상기 제2 수광부를 연결하는 직선이 상기 투명 액체의 액면에 대하여 비스듬히 경사져 있고,
상기 판단부는, 상기 제2 투광부가 투광하는 상기 제2 측정광이 상기 투명 액체와 공기의 굴절률의 차이로 굴절 또는 반사하여 상기 제2 투광부가 투광한 상기 제2 측정광을 상기 제2 수광부가 수광한 경우에 상기 투명 액체가 미리 정해진 양보다 많다고 판단하고, 상기 제2 투광부가 투광한 상기 제2 측정광을 상기 제2 수광부가 수광하지 않은 경우에 상기 투명 액체가 미리 정해진 양 이하로 되었다고 판단하는 것인 액량 검출 유닛.The method of claim 1,
The second sensor of the transmissive sensor is disposed oppositely to the outside of the transparent container with the transparent container interposed therebetween and further comprising a second light transmitting part for transmitting the second measurement light and a second light receiving part for receiving the second measurement light, ,
a straight line connecting the second light-transmitting part and the second light-receiving part is obliquely inclined with respect to the liquid level of the transparent liquid,
The determination unit may include: The second light receiving unit receives the second measurement light transmitted by the second light transmitting unit by refracting or reflecting the second measurement light transmitted by the second light transmitting unit by a difference in refractive index between the transparent liquid and air In one case, it is determined that the amount of the transparent liquid is greater than the predetermined amount, and when the second light receiving unit does not receive the second measurement light transmitted by the second light transmitting unit, it is determined that the transparent liquid is less than the predetermined amount a liquid amount detection unit. 삭제delete
KR1020160088605A 2015-07-16 2016-07-13 Detection unit for liquid quantity KR102436696B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015141878A JP6542054B2 (en) 2015-07-16 2015-07-16 Liquid level detection unit
JPJP-P-2015-141878 2015-07-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170009765A KR20170009765A (en) 2017-01-25
KR102436696B1 true KR102436696B1 (en) 2022-08-25

Family

ID=57945937

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160088605A KR102436696B1 (en) 2015-07-16 2016-07-13 Detection unit for liquid quantity

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6542054B2 (en)
KR (1) KR102436696B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5370926B2 (en) 2007-02-28 2013-12-18 味の素株式会社 Liquid level control method for ion exchange resin tower, liquid level control system and interface level sensor

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59217117A (en) * 1983-05-26 1984-12-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Liquid level detector
JP3165484B2 (en) 1991-10-29 2001-05-14 京セラ株式会社 Liquid level sensor
CA2186805C (en) * 1995-12-01 2001-03-27 Christopher C. Jung Apparatus and method for sensing fluid level
US9065060B2 (en) 2011-01-17 2015-06-23 Lg Chem, Ltd. Compound and organic light-emitting device comprising same

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5370926B2 (en) 2007-02-28 2013-12-18 味の素株式会社 Liquid level control method for ion exchange resin tower, liquid level control system and interface level sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JP6542054B2 (en) 2019-07-10
JP2017026335A (en) 2017-02-02
KR20170009765A (en) 2017-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11013860B2 (en) Drip chamber with hydrophobic interior surface
US7259384B2 (en) Fluid level optical detector with float having opaque and transmissive portions
US20190003873A1 (en) Optical System and Method for Measuring Fluid Level
JPH03501051A (en) optical liquid level sensor
US20060006353A1 (en) Optical transducer for continuously determining liquid level
US7259383B2 (en) Optical transducer for detecting liquid level
US20110114828A1 (en) Non-contact probe and measuring machine
KR102436696B1 (en) Detection unit for liquid quantity
KR20050012664A (en) Liquid accommodation container
US6693285B1 (en) Fluorescent fluid interface position sensor
JP2009014660A (en) Two-liquid leakage sensor and prism for the same
CN112816028A (en) Liquid level measuring device, oil tank and vehicle
JP5904578B2 (en) Optical liquid leak detection apparatus and method
EP1943930A1 (en) Beverage machine
EP1960745A1 (en) A float transducer
JP2012093232A (en) Photosensor and level sensor
CN113805188A (en) ToF type distance sensor and electronic device
JP4081036B2 (en) Liquid detector and liquid container used therefor
US11898891B2 (en) Capacitive fluid level detector
JP5356738B2 (en) Optical sensor for liquid detection, liquid level sensor and liquid leakage sensor thereby
US20230296509A1 (en) Refractometer, optically transmissive structure, and method of making an optically transmissive structure
US20230018969A1 (en) Optical bubble sensor
GB2533374A (en) A gauge for indicating a height of a liquid
CN112985543A (en) Liquid storage tank liquid storage state detection method and device
JP2021148590A (en) Optical level detection device and measuring method

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant