KR102433050B1 - Work conveying apparatus and adjustment method in work conveying apparatus - Google Patents

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Abstract

요구되는 설계 정밀도 및 조정 정밀도가, 워크의 반송에 지장이 발생하지 않을 정도로 완화된, 워크 반송 장치 및 그 조정 방법을 제공한다.
워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면(331, 431, 441)을 갖는 반송부(31, 41)와, 적어도 상기 반송면(331, 431, 441)에 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하는 워크 반송 장치에 있어서, 상기 진행파에 의한 상기 반송면(331, 431, 441)에 있어서의 수직 진폭 중, 상기 반송면(331, 431, 441) 중 소정 범위에서 가장 크게 진동하는 위치에 있어서의 최대 진폭에 대한, 상기 소정 범위에서 가장 작게 진동하는 위치에 있어서의 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비가, 0.13 이상이다.Provided are a workpiece conveying apparatus and an adjustment method thereof, in which the required design precision and adjustment precision are relaxed to such an extent that the conveyance of the workpiece is not affected.
A transport unit (31, 41) having transport surfaces (331, 431, 441) for transporting a workpiece in a loaded state, and traveling wave generating means for generating traveling waves at least on the transport surfaces (331, 431, 441) In the workpiece conveying apparatus, among the vertical amplitudes on the conveying surfaces 331, 431, 441 by the traveling wave, the maximum at the position where the largest vibration occurs in a predetermined range among the conveying surfaces 331, 431, 441. A traveling wave ratio defined as a ratio of an amplitude to a minimum amplitude at a position that vibrates the smallest in the predetermined range is 0.13 or more.

Figure R1020170113910
Figure R1020170113910

Description

워크 반송 장치 및 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법{WORK CONVEYING APPARATUS AND ADJUSTMENT METHOD IN WORK CONVEYING APPARATUS}A work conveying apparatus and an adjustment method in a work conveying apparatus TECHNICAL FIELD

본 발명은 반송면에 진행파를 발생시킴으로써 워크를 반송하는 워크 반송 장치 및, 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a work conveying apparatus that conveys a work by generating traveling waves on a conveying surface, and an adjustment method in the work conveying apparatus.

종래의 워크 반송 장치로서, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이러한 워크 반송 장치는, 특허문헌 1에 원리가 기재되어 있는 바와 같이, 워크가 접촉하는 반송면을 압전체에 의해 휘게 함으로써 진행파를 발생시킨다. 이 진행파에 의해, 반송면의 각 위치에 타원 운동이 발생하게 되고, 반송면에 적재된 워크는 이 타원 운동에 수반하여, 진행파의 진행 방향과는 역방향으로 반송되어 간다.As a conventional workpiece conveyance apparatus, there exists a thing of patent document 1, for example. As the principle is described in Patent Document 1, such a work conveying apparatus generates a traveling wave by bending a conveying surface with which the work comes into contact with a piezoelectric body. By this traveling wave, an elliptical motion is generated at each position of the conveying surface, and the workpiece loaded on the conveying surface is conveyed in a direction opposite to the traveling direction of the traveling wave with this elliptical motion.

이 워크 반송 장치는, 예를 들어 주회하는 형상에 있어서의 대략 대칭 위치에 배치된 2군에 속하는 복수의 압전체를, 군마다 상이한 위상으로 구동시킴으로써, 각 군에 속하는 압전체에 의해 반송면에 발생한 정재파(동일 위치에서 진동할 뿐인 파)가 합성되어 진행파를 발생시킨다. 그러나, 반송면을 완전한(이상적인) 대칭 형상으로 제작할 수는 없고, 반송면에 대한 압전체의 위치나 각 압전체의 구동 형태에도 변동이 있기 때문에, 완전한 진행파를 발생시키는 것은 불가능하며, 실제로는 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동(대소)이 있는 진행파가 발생한다. 여기서, 주회 방향의 위치에 따른 진폭의 변동이 크면, 부분적으로 워크의 이동이 되기 어려워지거나 멈추거나 하는 점에서, 반송면에 있어서의 워크의 원활한 반송이 저해되어 버린다. 그러나, 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동이 없는, 완전한 진행파를 발생시키는 것을 목표로 하여, 높은 정밀도로 워크 반송 장치를 설계해서 조정하는 것은, 상술한 바와 같이 매우 곤란하다.This work conveying apparatus drives, for example, a plurality of piezoelectric bodies belonging to two groups arranged at substantially symmetrical positions in a revolving shape, in different phases for each group, so that standing waves generated on the conveying surface by the piezoelectric bodies belonging to each group are driven. (waves that only vibrate at the same position) are synthesized to generate a traveling wave. However, since the carrying surface cannot be manufactured in a perfectly (ideal) symmetrical shape and there are variations in the position of the piezoelectric body relative to the carrying surface and the driving shape of each piezoelectric body, it is impossible to generate a perfect traveling wave, and in reality, the A traveling wave with fluctuations (large or small) in amplitude depending on the position is generated. Here, when the fluctuation of the amplitude according to the position in the circumferential direction is large, the smooth conveyance of the work on the conveyance surface is inhibited because the movement of the work partially becomes difficult or stops. However, as described above, it is very difficult to design and adjust a workpiece conveying apparatus with high precision with the aim of generating a perfect traveling wave with no fluctuation in amplitude depending on the position in the winding direction.

일본 특허 공개 평6-127655호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 6-127655

그래서 본 발명은 요구되는 설계 정밀도 및 조정 정밀도가, 워크의 반송에 지장이 발생하지 않을 정도로 완화된, 워크 반송 장치 및, 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.Then, an object of this invention is to provide the workpiece conveyance apparatus and the adjustment method in the workpiece conveyance apparatus in which the design precision and adjustment precision requested|required were relieved to the extent that the conveyance of a workpiece|work is not impaired to a problem.

본 발명의 워크 반송 장치는, 워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면을 갖는 반송부와, 적어도 상기 반송면에 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하는 워크 반송 장치에 있어서, 상기 진행파 발생 수단에 의해 발생하는 진행파의 최대 진폭에 대한 최소 진폭의 비인 진행파 비를 조정하는 진행파 비 조정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.A work conveying apparatus of the present invention is a work conveying apparatus comprising: a conveying unit having a conveying surface for conveying a work in a loaded state; and traveling wave generating means for generating a traveling wave at least on the conveying surface. and a traveling wave ratio adjusting means for adjusting a traveling wave ratio that is a ratio of a minimum amplitude to a maximum amplitude of a traveling wave generated by the

본 발명에 따르면, 진행파 발생 수단에 의해 발생하는 진행파의 최소 진폭과 최대 진폭이 동일하게 가까워지면, 최소 진폭과 최대 진폭의 진폭 차가 0에 가까워지게 된다. 이에 의해, 반송면의 어느 위치에 있어서도 동일한 크기의 진폭의 진동이 부여되기 쉬워져, 워크의 반송 속도의 변동을 억제할 수 있다. 따라서, 진행파 발생 수단에 의해 발생하는 진행파의 최대 진폭에 대한 최소 진폭의 비인 진행파 비를 조정하는 진행파 비 조정 수단에 의해, 진행파 비를 조정함으로써, 워크의 반송 속도의 변동을 억제할 수 있다.According to the present invention, when the minimum amplitude and the maximum amplitude of the traveling wave generated by the traveling wave generating means are equally close, the difference in amplitude between the minimum amplitude and the maximum amplitude approaches zero. Thereby, it becomes easy to provide the vibration of the amplitude of the same magnitude also in any position of a conveyance surface, and it can suppress the fluctuation|variation of the conveyance speed of a workpiece|work. Therefore, by adjusting the traveling wave ratio by the traveling wave ratio adjusting means that adjusts the traveling wave ratio, which is the ratio of the minimum amplitude to the maximum amplitude of the traveling wave generated by the traveling wave generating means, it is possible to suppress fluctuations in the conveying speed of the workpiece.

그리고, 상기 진행파 비 조정 수단은, 진행파 비가, 0.13 이상인 것을 특징으로 하는 워크 반송 장치이다.And the said traveling wave ratio adjusting means is a workpiece conveying apparatus characterized by the traveling wave ratio being 0.13 or more.

이 구성에 의하면, 완전한 진행파의 발생을 목표로 하지 않아도, 실용상 지장없이 워크를 반송 가능한 워크 반송 장치를 형성할 수 있다.According to this structure, even if it does not aim at generation|occurrence|production of a complete traveling wave, it is possible to form the workpiece|work conveyance apparatus which can convey a workpiece|work without hindrance in practical use.

그리고, 상기 진행파 비는, 상기 진행파 발생 수단을 전기적으로 조작함으로써 출력이 조정되는 것으로 할 수 있다.In addition, the traveling wave ratio may be such that the output is adjusted by electrically operating the traveling wave generating means.

이 구성에 의하면, 진행파 발생 수단을 전기적으로 조작하면 되므로, 조정이 용이하다.According to this configuration, since the traveling wave generating means may be electrically operated, adjustment is easy.

그리고, 상기 진행파 발생 수단은, 상기 반송부의 워크 반송 방향에 있어서의 상이한 위치에, 출력 위상이 상이한 적어도 두개의 군으로 나뉘어서 배치되어 있고, 상기 진행파 발생 수단의 상기 전기적인 조작은, 상기 적어도 두개의 군 중 한쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단과 다른 쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단 사이의 위상차 변경, 상기 한쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단과 상기 다른 쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단 사이의 진폭비의 변경, 모든 상기 진행파 발생 수단의 가진 주파수의 변경, 중 적어도 하나를 행하는 조작인 것으로 할 수 있다.And, the traveling wave generating means is arranged at different positions in the workpiece conveying direction of the conveying section, divided into at least two groups having different output phases, and the electrical operation of the traveling wave generating means is performed by the at least two Changing the phase difference between the traveling wave generating means belonging to one group and the traveling wave generating means belonging to the other group, between the traveling wave generating means belonging to the one group and the traveling wave generating means belonging to the other group It may be an operation which performs at least one of changing the amplitude ratio of

이 구성에 의하면, 위상차, 진폭비, 가진 주파수 중 어느 변경을 행하면 진행파 비를 조정할 수 있으므로, 상황에 따라 조정에 적합한 변경 대상을 선택할 수 있어, 조정의 자유도를 높일 수 있다.According to this configuration, the traveling wave ratio can be adjusted by changing any of the phase difference, the amplitude ratio, and the excitation frequency, so that a change target suitable for adjustment can be selected according to the situation, and the degree of freedom of adjustment can be increased.

또한, 본 발명의 워크 반송 장치는, 상기 진행파 비 조정 수단이, 상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단, 당해 반송부의 특정 부분의 질량을 조정하는 수단, 상기 반송면의 특정 부분 진동의 감쇠 특성을 조정하는 수단 중 적어도 하나의 수단을 갖고 있어도 된다.Further, in the workpiece conveying apparatus of the present invention, the traveling wave ratio adjusting means includes: means for adjusting the rigidity of a specific part of the conveying part; means for adjusting the mass of the specific part of the conveying part; You may have at least one means among means for adjusting a characteristic.

상기한 바와 같이 반송부의 특정 부분의 강성, 반송부의 특정 부분의 질량, 반송면의 특정 부분 진동의 감쇠 특성 중 적어도 하나를 조정함으로써, 진행파 비를 조정할 수 있다.As described above, the propagating wave ratio can be adjusted by adjusting at least one of the stiffness of a specific part of the transport section, the mass of the specific part of the transport section, and damping characteristics of the vibration of a specific part of the transport surface.

또한, 본 발명의 워크 반송 장치는, 상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단이, 상기 반송부의 워크 통과 부분 이외에 설치되며, 또한, 당해 반송부와 함께 탄성 변형 가능하게 구성되는 부재로 구성되어 있어도 된다.Further, in the work conveying apparatus of the present invention, the means for adjusting the rigidity of the specific portion of the conveying unit is provided other than the work passing portion of the conveying unit, and is composed of a member configured to be elastically deformable together with the conveying unit, there may be

상기한 바와 같이 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단이, 반송부의 워크 통과 부분 이외에 설치되며, 또한, 반송부와 함께 탄성 변형 가능하게 구성되는 부재로 구성되어 있으면, 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하면서도, 반송부와 함께 탄성 변형됨으로써, 진행파의 진행이 저해되기 어렵다.As described above, if the means for adjusting the rigidity of the specific portion of the conveying unit is provided other than the workpiece passing portion of the conveying unit and is composed of a member configured to be elastically deformable together with the conveying unit, the rigidity of the specific portion of the conveying unit is reduced. While adjusting, the propagation of a traveling wave is hardly inhibited by elastically deforming together with the carrying unit.

그리고, 본 발명은 워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면을 갖는 반송부와, 적어도 상기 반송면에 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하는 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법이며, 상기 반송면에 있어서의 수직 진폭을, 상기 반송면의 워크 반송 방향에 있어서의 복수의 위치에서 측정하는 진폭 측정 스텝과, 상기 진폭 측정 스텝에 의해 얻어진, 상기 반송면 중 소정 범위에서 가장 크게 진동하는 위치에 있어서 최대 진폭에 대한, 상기 소정 범위에서 가장 작게 진동하는 위치에 있어서 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비를 소정값으로 조정하는 진행파 비 조정 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법이다.And, the present invention is an adjustment method in a work conveying apparatus comprising a conveying unit having a conveying surface for conveying a work in a loaded state, and traveling wave generating means for generating a traveling wave at least on the conveying surface, The amplitude measuring step of measuring the vertical amplitude at a plurality of positions in the workpiece transport direction of the transport surface, and the amplitude measuring step, obtained by the amplitude measuring step, is the largest at the position where the largest vibration in a predetermined range among the transport planes is obtained. Adjustment method in a workpiece conveyance apparatus characterized by comprising a traveling wave ratio adjustment step of adjusting a traveling wave ratio defined as a ratio of a minimum amplitude to a predetermined value at a position that vibrates the smallest in the predetermined range with respect to the amplitude. to be.

이 구성에 의하면, 진폭 측정 스텝과 진행파 비 조정 스텝에 의해, 실용상 지장없이 워크를 반송 가능한 워크 반송 장치를 형성하도록 조정할 수 있다.According to this configuration, the amplitude measuring step and the traveling wave ratio adjusting step can be adjusted to form a work conveying apparatus capable of conveying the work without any practical difficulties.

본 발명은 진행파 비를 조정하는 진행파 비 조정 수단을 구비함으로써, 워크의 반송 속도가 변동되는 것을 억제할 수 있고, 완전한 진행파의 생성을 목표로 하지 않아도, 실용상 지장없이 워크를 반송 가능한 워크 반송 장치를 형성할 수 있다. 따라서, 요구되는 설계 정밀도 및 조정 정밀도를, 워크의 반송에 지장이 발생하지 않을 정도로 완화할 수 있다.According to the present invention, by providing a traveling wave ratio adjusting means for adjusting the traveling wave ratio, fluctuations in the conveying speed of the work can be suppressed, and the work conveying apparatus capable of conveying the work without any practical difficulties even without aiming for the generation of a complete traveling wave. can form. Therefore, the required design precision and adjustment precision can be relaxed to such an extent that the conveyance of a workpiece|work is not impaired.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 워크 반송 장치(파츠 피더)를 도시하는 사시도이다.
도 2는 상기 워크 반송 장치(파츠 피더)의 볼 피더와 리니어 피더의 일부를 나타내는 주요부 확대 사시도이다.
도 3은 상기 워크 반송 장치(파츠 피더)의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 4는 진행파 비의 개념을 설명하기 위한 그래프이다.
도 5는 진행파 비와 고유 진동수 차율의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 6은 상기 워크 반송 장치(파츠 피더)의 조정을 행할 때의 흐름도이다.
도 7은 다른 형태의 진행파 발생 수단을 나타내고, (a)는 평면도, (b)는 측면도, (c)은 저면도이다.
도 8은 다른 형태의 진행파 발생 수단을 나타내고, (a)는 평면도, (b)는 측면도이다.
도 9는 리니어 피더의 측면도이다.
도 10은 리니어 피더의 저면도이다.
도 11은 다른 형태의 워크 반송 장치의 블록도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the workpiece conveyance apparatus (parts feeder) which concerns on one Embodiment of this invention.
Fig. 2 is an enlarged perspective view of a principal part showing a part of a ball feeder and a linear feeder of the workpiece conveying device (parts feeder).
Fig. 3 is a block diagram showing the configuration of the workpiece conveying device (parts feeder).
4 is a graph for explaining the concept of a traveling wave ratio.
5 is a graph illustrating a relationship between a traveling wave ratio and a natural frequency difference.
Fig. 6 is a flowchart for adjusting the work conveying device (parts feeder).
7 shows a traveling wave generating means of another form, (a) is a plan view, (b) is a side view, (c) is a bottom view.
8 shows a traveling wave generating means of another form, (a) is a plan view, (b) is a side view.
9 is a side view of the linear feeder.
10 is a bottom view of the linear feeder.
Fig. 11 is a block diagram of another type of work transport apparatus.

본 발명에 대해, 일 실시 형태를 들어, 도면과 함께 이하 설명을 행한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION About this invention, one Embodiment is given and the following description is made with drawing.

도 1에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 워크 반송 장치로서의 파츠 피더(1)는 베이스부(2) 위에 원반상의 볼 피더(3)와, 볼 피더(3)의 직경외로 연장되도록 접속된 리니어 피더(4)를 구비한다.As shown in Fig. 1, the parts feeder 1 as a workpiece conveying device according to the present embodiment is connected to a disk-shaped ball feeder 3 on a base 2, and to extend outside the diameter of the ball feeder 3. A linear feeder (4) is provided.

볼 피더(3)는 원반상의 부재인 볼 피더측 반송부(31)를 구비한다. 이 볼 피더측 반송부(31)는, 중앙에 위치하는 고정부(32)에서 베이스부(2)에 고정되어 있다. 이 고정은, 본 실시 형태에서는, 원판을 개재시킨 1개의 볼트 고정에 의해 이루어져 있지만, 볼트의 수량은 한정되지 않고, 또한, 다른 수단에 의한 것도 가능하다. 볼 피더측 반송부(31)의 상면은, 도시와 같이, 중앙으로부터 일단 하강한 후에 주연을 향하여 상승하고 있다. 반송해야 할 워크 W는, 볼 피더측 반송부(31)에 있어서 오목한 부분에 투입될 수 있다. 볼 피더(3)에는, 워크 W를 반송하기 위한 반송 트랙으로서, 볼 피더측 반송부(31)의 상면에 나선상의 홈인 나선 트랙(33)이, 볼 피더측 반송부(31)의 내주 위치로부터 외주 위치에 걸쳐서 형성되어 있다. 나선 트랙(33)은 워크 W가 접촉하는 반송면(331)을 갖는다. 이 반송면(331)이, 진행파 발생 수단(5)에 의해 휘듯이 변형됨으로써, 워크 W가 반송된다. 나선 트랙(33)의 외주 단부(332)는, 워크 W를 리니어 피더(4)의 메인 트랙(43)에 걸칠 수 있는 위치에 형성되어 있다. 볼 피더(3)의 운전 중, 워크 W는 도 2에 화살표로 나타낸 바와 같이 나선 트랙(33)을 밀려 올라가듯이 이동하여, 워크 W의 반송 방향에 있어서의 하류단인 외주 단부(332)로부터 메인 트랙(43)에 전달된다.The ball feeder 3 is provided with the ball feeder side conveyance part 31 which is a disk-shaped member. This ball feeder-side conveyance part 31 is being fixed to the base part 2 by the fixing part 32 located in the center. In this embodiment, although this fixing is made|formed by one bolt clamping via a disc, the quantity of bolts is not limited, Moreover, it is also possible by other means. As shown in the figure, the upper surface of the ball-feeder-side conveyance unit 31 rises toward the periphery after being once descended from the center. The work W to be conveyed can be fed into a concave portion in the ball feeder-side conveying unit 31 . In the ball feeder 3 , as a conveying track for conveying the workpiece W, a spiral track 33 which is a spiral groove on the upper surface of the ball feeder-side conveying unit 31 is provided from an inner peripheral position of the ball-feeder-side conveying unit 31 . It is formed over the outer peripheral position. The spiral track 33 has a conveying surface 331 on which the workpiece W is in contact. This conveying surface 331 is deformed to be bent by the traveling wave generating means 5, so that the workpiece W is conveyed. The outer peripheral edge part 332 of the spiral track 33 is formed in the position where the workpiece|work W can span the main track 43 of the linear feeder 4 . During operation of the ball feeder 3, the work W moves as if it is pushed up on the spiral track 33 as indicated by an arrow in FIG. transmitted to the track 43 .

리니어 피더(4)는 평면에서 볼 때 직사각 형상인 리니어 피더측 반송부(41)를 구비한다. 이 리니어 피더측 반송부(41)는, 폭 방향 중앙에 위치하는 고정부(42)에서 베이스부(2)에 고정되어 있다. 이 고정은, 본 실시 형태에서는 복수의 볼트 고정에 의해 이루어져 있지만 다른 수단에 의한 것도 가능하다. 리니어 피더(4)에 있어서의 반송 트랙은, 메인 트랙(43)과 리턴 트랙(44)에 의해 구성되어 있다. 메인 트랙(43)은 리니어 피더측 반송부(41)의 상면에 이송측에 있어서 긴 쪽 방향으로 연장되는 직선상의 홈을 갖는다. 리턴 트랙(44)은 리니어 피더측 반송부(41)의 상면에 폭 방향의 일방측(이하 「이송측」) 및 폭 방향의 타방측(이하 「복귀측」)에 있어서 긴 쪽 방향으로 연장되는 직선상의 홈과, 상기 각 홈을 리니어 피더(4)에 있어서의 볼 피더(3)로부터 먼 측의 단부 가까이에서 접속하는 만곡된 홈, 전체로 U자형의 홈을 갖는다. 복귀측의 홈은 볼 피더측 반송부(31)에 이어져 있다. 이와 같이, 반송 트랙은 순환하도록 폐쇄된 형상에 한정되지 않고, 일단 또는 양단이 개방된 형상이면 된다. 메인 트랙(43) 및 리턴 트랙(44)은 워크 W가 접촉하는 반송면(431, 441)을 갖는다. 이들 반송면(431, 441)이, 진행파 발생 수단(5)에 의해 휘듯이 변형함으로써, 워크 W가 반송된다.The linear feeder 4 is provided with the linear feeder-side conveyance part 41 which is rectangular in planar view. This linear feeder side conveyance part 41 is being fixed to the base part 2 by the fixing part 42 located in the center of the width direction. Although this fixing is made|formed by the several bolt fixing in this embodiment, it is also possible by other means. The conveyance track in the linear feeder 4 is comprised by the main track 43 and the return track 44. As shown in FIG. The main track 43 has a linear groove extending in the longitudinal direction on the conveying side on the upper surface of the linear feeder-side conveying unit 41 . The return track 44 extends in the longitudinal direction on one side in the width direction (hereinafter referred to as the "transfer side") and the other side in the width direction (hereinafter "return side") on the upper surface of the linear feeder-side conveying unit 41 . It has a straight groove|channel, a curved groove|channel which connects each said groove|channel in the linear feeder 4 in the vicinity of the edge part on the far side from the ball feeder 3, and a U-shaped groove|channel as a whole. The groove on the return side is connected to the ball feeder side conveyance part 31 . In this way, the conveying track is not limited to a closed shape so as to circulate, and may be a shape in which one or both ends are open. The main track 43 and the return track 44 have conveying surfaces 431 and 441 on which the work W contacts. The work W is conveyed by bending these conveyance surfaces 431 and 441 by the traveling wave generating means 5. As shown in FIG.

본 실시 형태에서는, 메인 트랙(43)과 리턴 트랙(44)의 일부가 평행하게 형성되어 있고, 메인 트랙(43)으로부터 볼 피더(3)에 돌아와야 할 워크 W는, 도시하지 않은 이동 수단(에어 노즐 등)에 의해 이동됨으로써, 메인 트랙(43)으로부터 리턴 트랙(44)으로 바꾸어 실을 수 있다.In this embodiment, the main track 43 and a part of the return track 44 are formed in parallel, and the workpiece|work W which should return to the ball feeder 3 from the main track 43 is a moving means (air) not shown. nozzle or the like), so that loading can be carried out from the main track 43 to the return track 44 .

이와 같이, 볼 피더(3) 및 리니어 피더(4)는 고정부(32, 42)의 주위를 주회하는 형상이며, 상기 형상을 갖는 부분 중 적어도 일부가, 워크 W를 적재한 상태에서 반송하는 반송면(331, 431, 441)이 된 반송부[볼 피더측 반송부(31), 리니어 피더측 반송부(41)]로 되어 있다. 각 반송부(31, 41)는, 후술하는 진행파 발생 수단(5)에 의해 물결치듯이 변형할 수 있을 정도의 탄성을 갖고 있다. 또한, 상기 「주회하는 형상」이란, 반송면(331, 431, 441) 및 반송 트랙(33, 43, 44)이 도중에 끊어지지 않고 일주하고 있는 형상인 것을 말하는 것이 아니라, 진행파를 발생시키는 부분이 주회하는 형상으로 되어 있는 것을 말한다. 이로 인해, 이 「주회하는 형상」은, 원반상인 볼 피더측 반송부(31)는 물론이고, 고정부(42)의 주위에 타원상의 영역이 존재하는 리니어 피더측 반송부(41)도 해당하고 있다.In this way, the ball feeder 3 and the linear feeder 4 have a shape that goes around the fixed parts 32 and 42, and at least a part of the parts having the shape are conveyed in a state in which the workpiece W is loaded. It is a conveyance part (ball feeder side conveyance part 31, linear feeder side conveyance part 41) which became the surfaces 331, 431, 441. Each of the carrying parts 31 and 41 has elasticity enough to be deformed like a wave by a traveling wave generating means 5 which will be described later. In addition, the above-mentioned "circling shape" does not mean a shape in which the conveying surfaces 331, 431, 441 and the conveying tracks 33, 43, 44 go round without being interrupted on the way, but a portion that generates a traveling wave It means that it is in the shape of revolving. For this reason, this "circling shape" corresponds not only to the disk-shaped ball feeder-side conveying unit 31, but also to the linear feeder-side conveying unit 41 having an elliptical region around the fixed portion 42. have.

볼 피더(3) 및 리니어 피더(4)는 각 반송면(331, 431, 441)을 물결치듯이 휘게 하여 탄성 진동시킴으로써, 상기 각 반송면(331, 431, 441)에 주회 방향으로 진행되어 가는 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단(5)을 구비한다[리니어 피더(4)에 관하여 도 3 참조]. 본 실시 형태의 진행파 발생 수단(5)은 초음파 영역(구체적으로는 20㎑ 이상)의 주파수로 구동된다. 진행파 발생 수단(5)의 구체예로서는, 통전에 의해 신축 또는 만곡하듯이 변형되는 압전 소자를 예시할 수 있지만, 통전에 의해 다양한 동작을 이루는 다른 수단을 채용할 수도 있다. 진행파 발생 수단(5)은 볼 피더측 반송부(31) 및 리니어 피더측 반송부(41)의 이측, 즉, 상기 각 반송면(331, 431, 441)이 형성된 측과 반대측에 마련되어 있다.The ball feeder 3 and the linear feeder 4 bend each conveying surface 331, 431, 441 like a wave to elastically vibrate, so that each conveying surface 331, 431, 441 advances in the circumferential direction. A traveling wave generating means 5 for generating a traveling wave is provided (refer to Fig. 3 for the linear feeder 4). The traveling wave generating means 5 of the present embodiment is driven at a frequency in the ultrasonic region (specifically, 20 kHz or more). As a specific example of the traveling wave generating means 5, a piezoelectric element that deforms as if it expands or contracts when energized can be exemplified, but other means for performing various operations by energization can also be employed. The traveling wave generating means 5 is provided on the back side of the ball feeder side conveyance part 31 and the linear feeder side conveyance part 41, ie, on the side opposite to the side on which the said each conveyance surface 331, 431, 441 was formed.

복수의 진행파 발생 수단(5)은 리니어 피더(4)에 대해서는, 도 3에 대략 도시하는 바와 같이, 출력 위상이 상이한 이송측의 군(5F)과 복귀측의 군(5B)의 2군이, 리니어 피더측 반송부(41)의 주회 방향(워크 반송 방향)에 있어서의 상이한 위치로 나뉘어지고, 각각 긴 쪽 방향으로 배열되어 있다. 도 3에서는 각 군에서 4개의 진행파 발생 수단(5)이 나타나 있지만, 진행파 발생 수단(5)의 수량은 이것에 한정되지 않는다. 각 군(5F, 5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)은 진동 모드(파형)의 파복의 위치에 1/2 파장 간격으로, 또한, 인접하는 진행파 발생 수단(5)의 극성(도시 「+」 「-」)이 반대가 되도록 배열되어 있다. 이에 의해, 이송측의 군(5F)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)이 이송측의 가진 영역(제1 가진 영역)을 형성하고, 복귀측의 군(5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)이 복귀측의 가진 영역(제2 가진 영역)을 형성한다. 그리고, 리니어 피더(4)에 있어서 이송측의 군(5F)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)과, 복귀측의 군(5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)은, 리니어 피더측 반송부(41)의 긴 쪽 방향으로 1/4 파장(도시 「λ/4」) 어긋나 배치되어 있다. 또한, 도 3에 도시하는 바와 같이, 이송측의 군(5F)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)은 제1 증폭기(611)에 접속되고, 복귀측의 군(5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)은 제2 증폭기(612)에 접속되어 있다. 제1 증폭기(611)에는 제1 진폭 조정 수단(621)이 접속되어 있다. 제2 증폭기(612)에는 제2 진폭 조정 수단(622)이 접속되어 있다. 또한, 제1 진폭 조정 수단(621)에는 가진 주파수 조정 수단(63)이 접속되어 있다. 제2 진폭 조정 수단(622)에는 전기적 위상 조정 수단(64)을 통해 가진 주파수 조정 수단(63)이 접속되어 있다. 또한, 가진 주파수 조정 수단(63)에는 파형 선택 수단(65)이 접속되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 진폭 조정 수단(621), 제2 진폭 조정 수단(622), 가진 주파수 조정 수단(63), 전기적 위상 조정 수단(64), 파형 선택 수단(65)이 일체가 되어 발신기(6A)를 구성하고 있다.As for the linear feeder 4, the plurality of traveling wave generating means 5 has two groups: a group 5F on the transfer side and a group 5B on the return side, which have different output phases, as shown in FIG. 3 , The linear feeder-side conveyance section 41 is divided into different positions in the circumferential direction (workpiece conveyance direction), and is arranged in the longitudinal direction, respectively. Although four traveling wave generating means 5 are shown in each group in FIG. 3, the quantity of the traveling wave generating means 5 is not limited to this. A plurality of traveling wave generating means 5 belonging to each group 5F, 5B is at the position of the oscillation mode (waveform) at an interval of 1/2 wavelength, and the polarity of the adjacent traveling wave generating means 5 (shown in " +” “-”) are arranged so that they are reversed. Thereby, the plurality of traveling wave generating means 5 belonging to the group 5F on the transfer side forms an excitation region (first excitation region) on the transfer side, and a plurality of traveling wave generating means belonging to the group 5B on the return side. (5) forms a return-side excitation region (second excitation region). And in the linear feeder 4, the plurality of traveling wave generating means 5 belonging to the group 5F on the transfer side and the plurality of traveling wave generating means 5 belonging to the group 5B on the return side are connected to the linear feeder side. They are arranged to be shifted by 1/4 wavelength (shown in the figure "λ/4") in the longitudinal direction of the carrying unit 41 . Further, as shown in Fig. 3, the plurality of traveling wave generating means 5 belonging to the group 5F on the transfer side are connected to the first amplifier 611, and the plurality of traveling waves belonging to the group 5B on the return side are connected. The generating means 5 is connected to the second amplifier 612 . A first amplitude adjusting means 621 is connected to the first amplifier 611 . A second amplitude adjusting means 622 is connected to the second amplifier 612 . In addition, the excitation frequency adjusting means 63 is connected to the first amplitude adjusting means 621 . The second amplitude adjusting means 622 is connected to an excitation frequency adjusting means 63 via an electric phase adjusting means 64 . Moreover, the waveform selection means 65 is connected to the excitation frequency adjustment means 63. As shown in FIG. In the present embodiment, the first amplitude adjusting means 621, the second amplitude adjusting means 622, the excitation frequency adjusting means 63, the electric phase adjusting means 64, and the waveform selecting means 65 are integrated into the transmitter. (6A) constitutes.

전기적 위상 조정 수단(64)에 의해, 이송측의 진행파 발생 수단(5)과 복귀측의 진행파 발생 수단(5)에 있어, 시간적으로 위상이 90° 어긋난 정현파 진동을 발생시킬 수 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 증폭기(611)에 의한 가진 모드를 「90° 모드」라 하고, 제2 증폭기(612)에 의한 가진 모드를 「0° 모드」라 하여 설명한다.With the electric phase adjusting means 64, the traveling wave generating means 5 on the transfer side and the traveling wave generating means 5 on the return side can generate sinusoidal vibrations that are out of phase by 90 degrees in time. In this embodiment, the excitation mode by the first amplifier 611 is referred to as "90° mode", and the excitation mode by the second amplifier 612 is described as "0 degree mode".

도시는 하지 않지만, 볼 피더(3)에 대해서도 마찬가지이며, 볼 피더측 반송부(31)의 중앙을 사이에 두고 일방측의 반주분과 타방측의 반주분의 관계가 리니어 피더(4)에 있어서의 이송측, 복귀측과 마찬가지의 관계가 되어 있다.Although not shown, the same is true for the ball feeder 3, with the center of the ball feeder-side conveying section 31 interposed between the relationship between the half circumference on one side and the half circumference on the other side in the linear feeder 4 The relationship is similar to that of the transfer side and the return side.

개개의 진행파 발생 수단(5)이 구동됨으로써, 각 반송면(331, 431, 441)을 물결치듯이 휘게 하여 탄성 진동시킬 수 있다. 여기서, 상술한 바와 같은 구성에 의해, 이송측의 진행파 발생 수단(5)과 복귀측의 진행파 발생 수단(5)에 있어, 시간적으로 위상이 90° 어긋난 정현파 진동을 발생시킬 수 있다. 이로 인해, 각 반송부(31, 41)에 발생한 정재파(일정한 위치에서 단순히 상하 이동하는 파)가 공간적 또한 시간적으로 중첩됨으로써, 상기 각 반송면(331, 431, 441)에, 볼 피더(3) 및 리니어 피더(4)에 있어서의 주회 방향으로 진행해 가는 진행파를 발생시킬 수 있다. 본 실시 형태의 진행파는, 평면에서 볼 때 반시계 방향으로 진행한다. 본 실시 형태의 파츠 피더(1)에서는, 각 반송면(331, 431, 441)에, 각 반송부(31, 41)의 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동이 없는, 완전한 진행파가 나타나는 것은 아니며, 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동(대소)이 있는 진행파가 발생한다.When the individual traveling wave generating means 5 are driven, the respective conveying surfaces 331, 431, 441 can be undulated and elastically oscillated. Here, with the configuration as described above, it is possible to generate sinusoidal vibrations in which the phase is shifted by 90 degrees in time in the traveling wave generating means 5 on the transfer side and the traveling wave generating means 5 on the return side. For this reason, the standing waves (waves that simply move up and down at a fixed position) generated in the respective conveying units 31 and 41 are spatially and temporally superimposed on each of the conveying surfaces 331, 431, 441, and the ball feeder 3 And the traveling wave which advances in the winding direction in the linear feeder 4 can be generate|occur|produced. The traveling wave of the present embodiment travels in a counterclockwise direction in plan view. In the parts feeder 1 of this embodiment, on each of the carrying surfaces 331 , 431 , 441 , a perfect traveling wave with no change in amplitude depending on the position in the circumferential direction of each of the carrying parts 31 and 41 does not appear. , A traveling wave with a fluctuation (large or small) in amplitude is generated depending on the position in the circumferential direction.

진행파가 발생하고 있는 각 반송면(331, 431, 441)의 한점에는 타원 운동이 발생하고 있다. 이 타원 운동이 움직이는 방향은, 타원 운동의 궤적에 있어서의 정상부에 있어서 진행파의 진행 방향과 반대로 되어 있다. 그리고, 각 반송면(331, 431, 441)과 워크 W의 사이의 마찰에 의해, 각 반송면(331, 431, 441) 위의 워크 W에 추진력이 발생하고, 워크 W는 진행파와는 역방향으로 반송되어 간다.An elliptical motion is generated at one point on each of the carrier surfaces 331, 431, and 441 where the traveling wave is generated. The direction in which this elliptical motion moves is opposite to the traveling direction of the traveling wave at the top of the trajectory of the elliptical motion. Then, by friction between the respective conveying surfaces 331, 431, 441 and the work W, a driving force is generated in the work W on each of the conveying surfaces 331, 431, 441, and the work W moves in the opposite direction to the traveling wave. is sent back

본 실시 형태의 각 반송부(31, 41)에 있어서의 상부에는, 소정 간격을 두고 복수의 슬릿(34, 45)이 형성되어 있다. 볼 피더(3)에 있어서의 슬릿(34)은 직경 방향으로 연장되도록 형성되어 있고, 리니어 피더(4)에 있어서의 슬릿(45)은 폭 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 이들 슬릿(34, 45)이 형성됨에 따라, 중립축[각 반송부(31, 41)가 만곡할 때의 굽힘 중심이 되는 가상축]이 하방에 위치하게 되어, 각 반송부(31, 41)를 진행파의 진행 방향으로 변형시키기 쉽게 해서, 상기 타원 운동에 관한 타원을 가로로 긴 형상으로 변형할 수 있다. 이로 인해, 워크 W에 작용하는 힘의 수평 성분을 증대시킴과 함께, 수직 성분을 저감시킬 수 있다. 따라서, 슬릿(34, 45)이 형성되어 있지 않은 반송부를 사용한 경우와 비교하면, 반송면 위에서 워크 W를 튀어 오르게 하지 않고, 반송 속도를 향상시켜서 효율적으로 이동시킬 수 있다.A plurality of slits 34 and 45 are formed at an upper portion of each of the conveying units 31 and 41 of the present embodiment at predetermined intervals. The slits 34 in the ball feeder 3 are formed to extend in the radial direction, and the slits 45 in the linear feeder 4 are formed to extend in the width direction. As these slits 34 and 45 are formed, the neutral axis (the imaginary axis serving as the bending center when each of the carrying parts 31 and 41 is bent) is located below, and the carrying parts 31 and 41 are separated from each other. By making it easy to deform in the traveling direction of the traveling wave, the ellipse related to the elliptical motion can be deformed into a horizontally elongated shape. For this reason, while increasing the horizontal component of the force acting on the workpiece|work W, a vertical component can be reduced. Therefore, compared with the case where the conveyance part in which the slits 34 and 45 are not formed is used, the workpiece|work W does not bounce off on a conveyance surface, but a conveyance speed can be improved and it can move efficiently.

이상과 같이 구성된 본 실시 형태의 파츠 피더(1)에서는, 각 반송면(331, 431, 441)에 완전한 진행파가 나타나는 것은 아니며, 각 반송부(31, 41)의 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동(대소)이 있는 진행파가 발생한다. 이로 인해, 각 반송면(331, 431, 441)에는, 진폭이 큰 위치(파형을 도 4의 「최대 시」로 나타냄)와 진폭이 작은 위치(파형을 도 4의 「최소 시」로 나타냄)가 교대로 나타난다. 본 실시 형태에서는, 진행파에 의한 각 반송면(331, 431, 441)에 있어서의 수직 진폭 중, 상기 각 반송면(331, 431, 441) 중 소정 범위에서 가장 크게 진동하는 위치에 있어서의 최대 진폭에 대한, 상기 소정 범위에서 가장 작게 진동하는 위치에 있어서의 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비가, 0.13 이상으로 설정되어 있다. 이 설정값은, 바람직하게는 0.20 이상, 보다 바람직하게는 0.25 이상으로 설정할 수 있다. 덧붙여서 말하면, 각 반송면(331, 431, 441)에 완전한 진행파가 나타나는 경우의 진행파 비는 1이다. 또한, 워크 W의 질량에 따라 반송면 위에서의 워크 W의 튀어 오르기 쉬움은 상이하다. 워크 W의 도약은 워크 W의 원활한 반송을 저해하는 요인이 된다. 이로 인해, 상기 설정되는 진행파 비는, 제1 진폭 조정 수단(621) 및 제 2 진폭 조정 수단(622)에 의한 진폭의 조정이 이루어지고, 반송면 위에서의 워크 W의 도약이 억제되어 있는 것이 조건이 된다.In the parts feeder 1 of this embodiment configured as described above, a perfect traveling wave does not appear on each of the carrying surfaces 331, 431, 441, and the amplitude varies depending on the position in the circumferential direction of each of the carrying parts 31, 41. A traveling wave with fluctuations (large or small) is generated. For this reason, on each of the transport surfaces 331, 431, and 441, a position with a large amplitude (the waveform is indicated by "maximum time" in Fig. 4) and a position with a small amplitude (the waveform is indicated by a "minimum time" in Fig. 4). appear alternately. In the present embodiment, among the vertical amplitudes on the respective carrier surfaces 331, 431, and 441 by the traveling wave, the maximum amplitude at the position where the largest vibration occurs within a predetermined range among the respective carrier surfaces 331, 431, and 441. A traveling wave ratio defined as a ratio of a minimum amplitude at a position with the smallest oscillation in the predetermined range is set to 0.13 or more. This setting value becomes like this. Preferably it is 0.20 or more, More preferably, it can be set to 0.25 or more. Incidentally, the traveling wave ratio in the case where a perfect traveling wave appears on each of the carrier surfaces 331 , 431 , 441 is one. In addition, depending on the mass of the work W, the easiness of bounce of the work W on the conveyance surface is different. The jump of the work W becomes a factor that hinders the smooth conveyance of the work W. For this reason, it is the condition that the amplitude of the set traveling wave ratio is adjusted by the first amplitude adjusting means 621 and the second amplitude adjusting means 622, and the jump of the workpiece W on the carrier surface is suppressed. becomes this

0° 모드와 90° 모드에 있어서의 고유 진동수는 서로 상이한 값이 된다. 고유 진동수의 차에 대해서는, 고유 진동수(f1)에 대한 고유 진동수(f2)의 차의 비율인 고유 진동수 차율(Δf)로서, 다음 식과 같이 나타낼 수 있다.The natural frequencies in the 0° mode and the 90° mode are different values from each other. The difference in natural frequency is expressed as the natural frequency difference ratio ?f, which is the ratio of the difference between the natural frequency f1 to the natural frequency f2, and is expressed by the following equation.

Δf=(f2-f1)/f1×100(단 f2>f1로 함)Δf=(f2-f1)/f1×100 (provided that f2>f1)

또한 도 5에, 진행파 비와 고유 진동수 차율 Δf의 관계를 나타낸다. 도 5의 그래프에 있어서의 횡축(고유 진동수 차율 Δf)은 백분율(％)로 표시되어 있다. 상기 식 및 도 5로부터, 본 실시 형태에 대하여 설명한, 진행파 비가 0.13 이상이 되는 고유 진동수 차율 Δf의 값이, 고유 진동수 차율 Δf≤1.54가 되는 것을 알 수 있다. 따라서, 고유 진동수 차율 Δf≤1.54이면, 실용상 지장 없이 워크 W를 반송 가능한 워크 반송 장치[파츠 피더(1)]를 형성할 수 있다.Fig. 5 also shows the relationship between the traveling wave ratio and the natural frequency difference ratio ?f. The horizontal axis (natural frequency difference Δf) in the graph of FIG. 5 is expressed as a percentage (%). From the above formula and Fig. 5, it can be seen that the value of the natural frequency difference ratio Δf at which the traveling wave ratio is 0.13 or more described in the present embodiment becomes the natural frequency difference ratio Δf ≤ 1.54. Therefore, if the natural frequency difference ratio Δf ≤ 1.54, it is possible to form a work conveying device (parts feeder 1) capable of conveying the work W in practical use without any hindrance.

여기서, 본원의 발명자가 워크 W의 반송의 원활함을 실험으로 확인하였다. 실험에 제공한 워크 W의 크기는 3.2㎜×1.6㎜이고, 두께 1.6㎜, 중량이 약 50㎎인 판상체, 구체적으로 이 워크 W는 세라믹판에 금속 전극이 설치된 칩 콘덴서이다. 실험은 리니어 피더(4)로 행하였다. 표 1에 나타나는 조건 하에서, 리니어 피더(4)의 메인 트랙(43)에서 반송되는 워크 W의 이동 상황을 관찰자가 육안 관찰하였다. 평가는, 워크 W가 메인 트랙(43)의 도중에 멈추어 버렸을 경우를 「×」, 이동 속도가 일정하지 않다고 보였을 경우를 「△」, 워크 W가 정체 없이 원활하게 이동하고 있는 것처럼 보이는 경우를 「○」로 하였다. 실험은 진행파 비를 바꾼 8패턴으로 행하였다.Here, the inventor of this application confirmed the smoothness of conveyance of the workpiece|work W by experiment. The size of the work W provided for the experiment was 3.2 mm × 1.6 mm, a thickness of 1.6 mm, and a weight of about 50 mg. The work W was a chip capacitor with a metal electrode installed on a ceramic plate. The experiment was performed with the linear feeder (4). An observer visually observed the movement state of the workpiece|work W conveyed by the main track 43 of the linear feeder 4 under the conditions shown in Table 1. The evaluation was evaluated as “×” when the work W stopped in the middle of the main track 43, “Δ” when it was seen that the moving speed was not constant, and “○” when the work W seemed to be moving smoothly without stagnation. ' was made. The experiment was conducted with 8 patterns in which the traveling wave ratio was changed.

Figure 112017086596905-pat00001
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표 1에 있어서 진행파 비는, 평균값과 최솟값(최소 진폭값을 최대 진폭값으로 나눈 값)을 나타냈다. 평균값은, 메인 트랙(43)의 반송면(431)에 있어서의 수직 진폭의 측정에 관한, 복수의 측정 에어리어(본 실험에서는 이송측과 복귀측을 상류측, 하류측에서 각각 1/2로 나눈 4에어리어)에 있어서의 진행파 비의 평균값이다. 최솟값은, 복수의 측정 에어리어에 있어서의 진행파 비의 최솟값이다.In Table 1, the traveling wave ratio showed the average value and the minimum value (the value obtained by dividing the minimum amplitude value by the maximum amplitude value). The average value relates to the measurement of the vertical amplitude on the conveyance surface 431 of the main track 43, and is divided into a plurality of measurement areas (in this experiment, the conveying side and the return side are divided by 1/2 at the upstream side and the downstream side, respectively) It is the average value of the ratio of traveling waves in 4 areas). The minimum value is the minimum value of the ratio of traveling waves in a plurality of measurement areas.

실험의 결과, 복수의 워크 W를 연이어서 반송하는 경우에는, 메인 트랙(43)에 따르는 진행파 비의 최솟값으로 평가하여 0.13 이상이면 원활하게 반송할 수 있음을 확인할 수 있었다. 즉, 반송 한계 진행파 비는 0.13이다. 또한, 워크 W를 단독으로 반송하는 경우에는, 메인 트랙(43)에 따르는 진행파 비의 최솟값으로 평가하여 0.20 이상이면 원활하게 반송할 수 있음을 확인할 수 있었다. 또한, 복수의 워크 W를 반송하는 경우 쪽이 작은 진행파 비로 원활한 반송이 가능한 것은, 복수의 워크 W끼리가 이동 방향의 전후에 맞닿고 있어, 후방의 워크 W에 눌려서 이동이 도움을 받기 때문이라 추정된다.As a result of the experiment, when a plurality of workpieces W were conveyed one after another, it was evaluated as the minimum value of the traveling wave ratio along the main track 43, and it was confirmed that if it was 0.13 or more, it could be conveyed smoothly. That is, the carrier limit traveling wave ratio is 0.13. In addition, when the workpiece W was transported independently, it was evaluated as the minimum value of the traveling wave ratio along the main track 43, and it was confirmed that the workpiece W could be transported smoothly if it was 0.20 or more. In addition, when conveying a plurality of workpieces W, it is estimated that the reason why smooth transportation is possible with a smaller traveling wave ratio is because the plurality of workpieces W are in contact with each other before and after in the direction of movement, and are pressed by the workpiece W at the rear to aid movement. do.

완전한 진행파의 경우, 각 반송부(31, 41)의 주회 방향의 위치에 따라 진폭에 변동이 없기 때문에, 진행파 비는 1이다. 한편, 진행파가 전혀 발생하지 않고 정재파뿐인 경우에는, 최소 진폭이 0(파형의 파절 부분)이기 때문에, 진행파 비는 0이다. 이로 인해, 본 실시 형태에서 최저값(반송 한계 진행파 비)으로서 설정한 진행파 비 0.13은, 완전한 진행파를 기준으로 하면 진행파의 발생 상태가 작기 때문에, 상당히 완만한 수치라고 할 수 있다. 이 정도의 설정으로, 워크 W를 유효하게 반송할 수 있고, 실용상 문제가 없는 파츠 피더(1)를 제공할 수 있는 것이다. 따라서, 파츠 피더(1)에 있어서 진행파를 발생시키기 위한 기구를 설계 및 조정할 때의 엄밀도(설계 정밀도, 조정 정밀도)를 완화할 수 있어, 결과적으로 파츠 피더(1)의 제조 비용을 저감할 수 있을 가능성이 있다.In the case of a perfect traveling wave, the traveling wave ratio is 1 because there is no change in amplitude depending on the position of each of the carriers 31 and 41 in the circumferential direction. On the other hand, when there is no traveling wave and only a standing wave, the minimum amplitude is 0 (fractured portion of the waveform), so the traveling wave ratio is 0. For this reason, it can be said that the traveling wave ratio 0.13 set as the lowest value (carrier limit traveling wave ratio) in this embodiment is a fairly gradual value since the generation state of a traveling wave is small when a perfect traveling wave is used as a reference. With such a setting, the workpiece W can be effectively conveyed and the parts feeder 1 having no practical problems can be provided. Therefore, the strictness (design precision, adjustment precision) in designing and adjusting the mechanism for generating traveling waves in the parts feeder 1 can be relaxed, and as a result, the manufacturing cost of the parts feeder 1 can be reduced. there is a possibility

진행파 비는, 진행파 발생 수단(5)을 전기적으로 조작함으로써 출력이 조정되는 것으로 할 수 있다. 이 전기적인 조작은, 예를 들어 진행파 발생 수단(5)에 접속된[보다 구체적으로는 진행파 발생 수단(5)을 구동시키는 제1 증폭기(611) 및 제 2 증폭기(612)에 접속된] 조정 수단으로 위상차, 진폭비, 가진 주파수 중 적어도 하나를 변경하기 위한 조작이다. 구체적으로는, 이송측의 군(5F)에 속하는 진행파 발생 수단(5)과 복귀측의 군(5B)에 속하는 진행파 발생 수단(5) 사이의 위상차의 변경, 이송측의 군(5F)에 속하는 진행파 발생 수단(5)과 복귀측의 군(5B)에 속하는 진행파 발생 수단(5) 사이의 진폭비의 변경, 모든 진행파 발생 수단(5)의 가진 주파수의 변경, 중 적어도 하나를 행하는 조작이다. 위상차, 진폭비, 가진 주파수 중 어느 것을 변경하면 진행파 비를 조정할 수 있으므로, 상황에 따라 조정에 적합한 변경 대상을 선택할 수 있어, 조정의 자유도를 높일 수 있다.The traveling wave ratio can be such that the output is adjusted by electrically operating the traveling wave generating means 5 . This electrical operation is, for example, an adjustment connected to the traveling wave generating means 5 (more specifically, connected to the first amplifier 611 and the second amplifier 612 for driving the traveling wave generating means 5). It is an operation for changing at least one of phase difference, amplitude ratio, and excitation frequency as a means. Specifically, a change in the phase difference between the traveling wave generating means 5 belonging to the group 5F on the transfer side and the traveling wave generating means 5 belonging to the group 5B on the return side, and belonging to the group 5F on the transfer side. It is an operation of at least one of changing the amplitude ratio between the traveling wave generating means 5 and the traveling wave generating means 5 belonging to the group 5B on the return side, and changing the excitation frequencies of all the traveling wave generating means 5 . By changing any of the phase difference, amplitude ratio, and excitation frequency, the traveling wave ratio can be adjusted, so that it is possible to select a change target suitable for adjustment according to the situation, thereby increasing the degree of freedom of adjustment.

본 실시 형태의 구체적인 조정 수단은, 도 3에 도시하는 제1 진폭 조정 수단(621) 및 제 2 진폭 조정 수단(622), 가진 주파수 조정 수단(63), 전기적 위상 조정 수단(64)이다. 위상차는 전기적 위상 조정 수단(64)으로 조정할 수 있다. 또한, 진폭비는 제1 진폭 조정 수단(621) 및 제 2 진폭 조정 수단(622)으로 조정할 수 있다. 가진 주파수는 가진 주파수 조정 수단(63)으로 조정할 수 있다. 또한 본 실시 형태에서는, 파형에 대해서도 파형 선택 수단(65)으로 조정할 수 있다. 이들 조정 수단의 조정은 전기적인 조작으로 충분하기 때문에, 파츠 피더(1)의 구성을 물리적으로 변경하는 것에 비해, 조정이 용이한 점을 이점으로서 들 수 있다.The specific adjustment means of this embodiment are the 1st amplitude adjustment means 621 and the 2nd amplitude adjustment means 622, the excitation frequency adjustment means 63, and the electrical phase adjustment means 64 shown in FIG. The phase difference can be adjusted by the electrical phase adjusting means 64 . In addition, the amplitude ratio can be adjusted by the first amplitude adjusting means 621 and the second amplitude adjusting means 622 . The excitation frequency can be adjusted by the excitation frequency adjusting means 63 . Moreover, in this embodiment, the waveform can also be adjusted by the waveform selection means 65. As shown in FIG. Since adjustment of these adjustment means is sufficient by electrical operation, an advantage is that adjustment is easy compared to physically changing the configuration of the parts feeder 1 .

진행파 비는, 각 반송부(31, 41)의 구성을 물리적으로 변경함으로써, 각 반송부(31, 41)에 발생하는 진행파의 발생 상황이 변하도록 조정되는 것으로도 할 수 있다. 물리적인 변경은, 변경된 구성이 다시 변경되지 않는 한 지속되기 때문에, 정전 등에 의해 변경이 리셋되어 버릴 가능성이 있는 전기적 조작에 의한 조정에 비해, 안정성이 높은 조정이 가능한 점을 상대적인 이점으로서 들 수 있다. 이 조정은, 구체적으로는 각 반송부(31, 41)에 부분적으로 조정 부재를 설치함으로써 조정할 수 있다. 조정 부재는 예를 들어 판상체(조정판)로 할 수 있지만, 형상은 한정되지 않는다. 또한, 각 반송부(31, 41)에 있어서의 조정 부재의 설치 위치는 예를 들어 이면으로 할 수 있지만, 특별히 한정되지 않는다. 조정 부재의 설치는, 복수를 다른 개소에 설치할 수도 있고, 동일 개소에 복수를 중복하여 설치할 수도 있다. 설치 형태는, 접착제 등에 의한 부착, 나사 고정, 끼워 넣기, 용접 등의 다양한 형태로 할 수 있다. 또한, 상기와는 반대로, 당초부터 분리 가능하게 조정 부재를 설치해 두고, 필요에 따라 조정 부재를 떼어내도록 구성할 수도 있다.The traveling wave ratio can also be adjusted so that the generation state of the traveling wave generated in each of the carriers 31 and 41 is changed by physically changing the configuration of each of the carriers 31 and 41 . Since a physical change persists as long as the changed configuration is not changed again, a relative advantage is that adjustment with high stability is possible compared to adjustment by electrical operation in which the change may be reset due to a power failure or the like. . Specifically, this adjustment can be adjusted by providing an adjustment member in each conveyance part 31 and 41 partially. Although the adjustment member can be made into a plate-shaped object (adjustment board), for example, a shape is not limited. In addition, although the installation position of the adjustment member in each conveyance part 31 and 41 can be set as the back surface, for example, it is not specifically limited. Installation of an adjustment member may provide a plurality in a different location, and may provide overlapping plurality in the same location. The installation form can be made into various forms, such as attachment with an adhesive agent etc., screwing, fitting, welding, etc. Moreover, contrary to the above, an adjustment member is provided detachably from the beginning, and it can also be comprised so that an adjustment member may be removed as needed.

이어서, 본 실시 형태의 파츠 피더(1)의 조정 방법에 대해서, 흐름도(도 6)와 함께 설명한다. 먼저, 수직 진폭을, 각 반송면(331, 431, 441)의 주회 방향(워크 반송 방향)에 있어서의 복수의 위치에서 측정하는 진폭 측정 스텝(도 6에 나타내는 스텝 S1 내지 스텝 S3에 상당)을 실시한다. 이 진폭 측정 스텝은, 보다 상세하게는 이하의 순으로 행한다. 먼저, 0° 모드 및 90° 모드에 있어서의 고유 진동수(f1, f2)를 측정한다(스텝 S1). 고유 진동수의 측정은, 0° 모드, 90° 모드 각각 단독으로 구동시키고, 각각의 모드에 대해서, 주파수를 변화시키면서, 각 반송면(331, 431, 441)이 있는 점(파형의 파복의 위치)의 진폭이 최대가 되는 주파수를 탐색함으로써 이루어진다. 이 탐색된 주파수가 고유 진동수이다. 그리고, 가진 주파수를 상기 고유 진동수의 각 측정값의 중간값으로 하고, 진폭비를 1, 전기적 위상을 90°로 설정하여 파츠 피더(1)를 가진한다(스텝 S2). 그리고, 각 반송부(31, 41)를 복수의 측정 에어리어로 나누고, 각 측정 에어리어에서 수직 진폭을 측정하여, 진행파 비를 구한다(스텝 S3). 수직 진폭은, 각 에어리어에서 반송 트랙의 상방에서 측정 수단을 워크 W의 반송 방향으로 스캔함으로써, 복수의 위치에서의 측정이 행해진다. 본 실시 형태에서는 측정 수단으로서 도플러 진동계를 사용하고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 진동을 측정 가능한 다양한 수단을 사용할 수 있다.Next, the adjustment method of the parts feeder 1 of this embodiment will be described together with the flowchart (FIG. 6). First, the amplitude measurement step (corresponding to steps S1 to S3 shown in Fig. 6) of measuring the vertical amplitude at a plurality of positions in the circumferential direction (workpiece conveying direction) of the respective conveying surfaces 331, 431, 441 is performed. Conduct. This amplitude measurement step is performed in the following order in more detail. First, the natural frequencies f 1 , f 2 in the 0° mode and the 90° mode are measured (step S1 ). Measurement of the natural frequency is carried out independently in 0° mode and 90° mode, and for each mode, while changing the frequency, points with respective carrier planes 331 , 431 , 441 (position of wave waveform) This is done by searching for the frequency at which the amplitude of is maximum. This searched frequency is the natural frequency. Then, the parts feeder 1 is excited by setting the excitation frequency as an intermediate value of each measured value of the natural frequency, setting the amplitude ratio to 1 and the electrical phase to 90° (step S2). Then, each carrier unit 31, 41 is divided into a plurality of measurement areas, the vertical amplitude is measured in each measurement area, and the traveling wave ratio is obtained (step S3). The vertical amplitude is measured at a plurality of positions by scanning the measuring means in the conveying direction of the work W from above the conveying track in each area. Although the Doppler vibration meter is used as a measuring means in this embodiment, it is not limited to this, Various means which can measure a vibration can be used.

이어서, 상기 진폭 측정 스텝에 의해 얻어진 진행파 비를 소정값으로 조정하는 진행파 비 조정 스텝[도 6에 도시하는 스텝 S3(반복 시) 내지 스텝 S9에 상당]을 실시한다. 이 진행파 비 조정 스텝은, 보다 상세하게는 이하의 순으로 행한다.Next, a traveling wave ratio adjustment step (corresponding to steps S3 (repeated) to step S9 shown in FIG. 6) for adjusting the traveling wave ratio obtained by the amplitude measurement step to a predetermined value is performed. This traveling wave ratio adjustment step is performed in the following order in more detail.

먼저, 상기 각 측정 에어리어에 있어서의 진행파 비(TWR) 중 최솟값이, 반송 한계 진행파 비인 0.13 이상인지 여부를 판단한다(스텝 S4). 0.13 이상인 경우(흐름도 상의 「Y」), 조정을 종료한다. 그렇지 않을 경우(흐름도 상의 「N」), 전기적 위상 조정 수단(64)을 조작하여 전기적 위상차를 변경한다(스텝 S5). 변경 후 상기 스텝 S3으로 복귀한다.First, it is judged whether the minimum value among the traveling wave ratios TWR in each measurement area is 0.13 or more which is a carrier limit traveling wave ratio (step S4). If it is 0.13 or more (“Y” in the flowchart), the adjustment is finished. Otherwise (“N” in the flowchart), the electrical phase adjustment means 64 is operated to change the electrical phase difference (step S5). After the change, the process returns to step S3.

만약 전기적 위상차의 변경만으로는 조정 불가능할 경우(예를 들어 스텝 S3 내지 S5의 반복 횟수가 소정 횟수 이상이 되었을 경우), 제1 진폭 조정 수단(621) 및 제 2 진폭 조정 수단(622)을 조작하여 진폭비를 변경한다(스텝 S6). 변경 후 상기 스텝 S3으로 복귀된다.If it is impossible to adjust only by changing the electrical phase difference (for example, when the number of repetitions of steps S3 to S5 is greater than or equal to a predetermined number), the first amplitude adjusting means 621 and the second amplitude adjusting means 622 are operated to adjust the amplitude ratio is changed (step S6). After the change, the process returns to step S3.

만약 전기적 위상차 및 진폭비의 변경만으로는 조정 불가능할 경우(예를 들어 스텝 S3 내지 S6의 반복 횟수가 소정 횟수 이상이 되었을 경우), 가진 주파수 조정 수단(63)을 조작하여 가진 주파수를 변경한다(스텝 S7). 가진 주파수의 변경은, 0° 모드에 있어서의 고유 진동수의 주파수와 90° 모드에 있어서의 고유 진동수의 주파수의 범위를 내외로 예를 들어 1％ 확장한 범위 내에서 행한다. 변경 후 상기 스텝 S3으로 복귀된다.If it is impossible to adjust only by changing the electrical phase difference and amplitude ratio (for example, when the number of repetitions of steps S3 to S6 becomes more than a predetermined number of times), the excitation frequency adjusting means 63 is operated to change the excitation frequency (step S7) . The change of the excitation frequency is performed within the range which expanded the range of the frequency of the natural frequency in 0 degree mode, and the frequency of the natural frequency in 90 degree mode inside and outside, for example, 1%. After the change, the process returns to step S3.

만약 전기적 위상차, 진폭비, 가진 주파수의 변경으로도 조정 불가능할 경우(예를 들어 스텝 S3 내지 S7의 반복 횟수가 소정 횟수 이상이 되었을 경우), 진동 모드의 차수를 변경한다(스텝 S8). 진동 모드의 차수 변경은, 파수(파장)가 바뀌는 진동 모드(고유 진동수)에서 가진할 수 있도록, 스텝 S7이 행해지는 주파수의 변경 범위를 초과하여 주파수를 크게 변경한다. 변경 후 상기 스텝 S3으로 복귀된다.If adjustment is not possible even with changes in the electrical phase difference, amplitude ratio, and excitation frequency (for example, when the number of repetitions of steps S3 to S7 becomes a predetermined number or more), the order of the vibration mode is changed (step S8). The order change of the vibration mode greatly changes the frequency beyond the frequency change range in which step S7 is performed so that it can excite in the vibration mode (natural frequency) in which the wave number (wavelength) is changed. After the change, the process returns to step S3.

만약 전기적 위상차, 진폭비, 가진 주파수, 진동 모드의 차수 변경으로도 조정 불가능할 경우(예를 들어 스텝 S3 내지 S8의 반복 횟수가 소정 횟수 이상이 되었을 경우), 진행파 발생 수단(5)을 전기적으로 조작하는 것에 의한 진행파 비의 조정은 단념된다. 이 경우, 각 반송부(31, 41)의 구성을 물리적으로 변경함으로써 진행파 비가 조정된다(스텝 S9). 예를 들어, 각 반송부(31, 41)의 이면에 조정판이 부착됨으로써, 각 반송부(31, 41)의 일부의 진동 형태를 변화시킨다.If it is impossible to adjust the electric phase difference, amplitude ratio, excitation frequency, or order change of the vibration mode (for example, when the number of repetitions of steps S3 to S8 becomes more than a predetermined number of times), electrically operating the traveling wave generating means 5 The adjustment of the propagation wave ratio by In this case, the traveling wave ratio is adjusted by physically changing the configuration of each of the carrying units 31 and 41 (step S9). For example, when an adjustment plate is attached to the back surface of each conveyance part 31, 41, the vibration form of a part of each conveyance part 31, 41 is changed.

이와 같이, 상기 진폭 측정 스텝과 진행파 비 조정 스텝에 의해, 실용상 지장 없이 워크 W를 반송 가능한 파츠 피더(1)를 형성하도록 조정할 수 있다.In this way, by the amplitude measuring step and the traveling wave ratio adjusting step, it is possible to adjust so as to form the parts feeder 1 capable of conveying the workpiece W practically without any hindrance.

또 다른 실시형태로 파츠 피더(1)에서는, 각 반송면(331, 431, 441)에 완전한 진행파가 나타나는 것은 아니고, 반송면의 위치에 따라 진폭의 크기가 변동된 진행파가 나타난다. 이로 인해, 각 반송면(331, 431, 441)에는, 진폭이 큰 위치(파형을 도 4의 「최대 시」로 나타냄)와 진폭이 작은 위치(파형을 도 4의 「최소 시」로 나타냄)가 교대로 나타난다. 그래서, 진행파에 의한 각 반송면(331, 431, 441)에 있어서의 수직 진폭 중, 가장 크게 진동하는 위치에 있어서의 최대 진폭에 대한, 가장 작게 진동하는 위치에 있어서의 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비=최소 진폭/최대 진폭을 조정하는 진행파 비 조정 수단을 구비하고 있다. 완전한 진행파는, 2상의 정재파가 모두 공간적 위상차, 시간적 위상차가 모두 90도이며 또한 진폭이 동등할 때 형성된다.In another embodiment, in the parts feeder 1 , a traveling wave whose amplitude is varied according to the position of the carrier surface appears, not on each of the carrier surfaces 331 , 431 , and 441 . For this reason, on each of the transport surfaces 331, 431, and 441, a position with a large amplitude (the waveform is indicated by "maximum time" in Fig. 4) and a position with a small amplitude (the waveform is indicated by a "minimum time" in Fig. 4). appear alternately. Therefore, among the vertical amplitudes on the respective carrier surfaces 331, 431 and 441 of the traveling wave, it is defined as the ratio of the maximum amplitude at the position where it vibrates the most to the minimum amplitude at the position where it vibrates the least. Traveling wave ratio = traveling wave ratio adjusting means for adjusting the minimum amplitude/maximum amplitude is provided. A perfect traveling wave is formed when both the two-phase standing waves have a spatial phase difference and a temporal phase difference of 90 degrees and have the same amplitude.

진행파 비는, 완전한 진행파인 경우에는 1이 되고, 진행파가 완전히 발생하지 않고 정재파만인 경우에는 0이 된다. 따라서, 진행파 비가 1에 가까워지도록, 진행파 비 조정 수단에 의해 조정하게 된다. 이 진행파 비 조정 수단은, 반송부(31, 41)의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단, 반송부(31, 41)의 특정 부분의 질량을 증감시키는 수단, 반송면(331, 431, 441) 진동의 감쇠 특성을 조정하는 수단 중 적어도 하나의 수단으로 구성할 수 있다.The traveling wave ratio becomes 1 in the case of a perfect traveling wave, and becomes 0 in the case of only a standing wave without completely generating a traveling wave. Accordingly, the traveling wave ratio is adjusted by the traveling wave ratio adjusting means so that the traveling wave ratio is close to 1. The traveling wave ratio adjusting means includes means for adjusting the rigidity of a specific portion of the carrying parts 31 and 41 , means for increasing/decreasing the mass of a specific portion of the carrying parts 31 , 41 , and carrying surfaces 331 , 431 , 441 . It may be configured as at least one means among means for adjusting the damping characteristics of vibration.

반송부(31, 41) 중 리니어 피더측 반송부(41)의 특정 부분의 강성을 조정하는 강성 조정 수단(7)을 도 9 및 도 10에 도시하고 있다. 도 9 및 도 10에서는, 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)에 중복되지 않도록 반송부(41)에 설치된 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)로 강성 조정 수단(7)을 구성하고 있다. 또한, 반송부(41) 4장에 대한 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)의 설치는, 접착제 또는 비스 등에 의해 행한다.The rigidity adjusting means 7 which adjusts the rigidity of the specific part of the linear feeder side conveyance part 41 among the conveyance parts 31 and 41 is shown in FIG.9 and FIG.10. 9 and 10, the rigidity adjusting means 7 is constituted by the four plate members 71, 72, 73, 74 provided in the conveying part 41 so as not to overlap with the traveling wave generating means (piezoelectric element) 5. are doing In addition, installation of the plate members 71, 72, 73, 74 of 4 sheets with respect to 4 sheets of conveyance part 41 is performed with an adhesive agent, a screw, etc.

상기 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)는, 반송부(41)의 워크 통과 부분 이외에 설치되고, 또한, 반송부(41)와 함께 탄성 변형 가능하게 구성되는 부재이다. 구체적으로는, 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)는, 반송부(41)의 이면에 설치되어 있다. 반송부(41)의 이면의 폭 방향[반송부(41)의 짧은 방향] 양단부 각각에, 8개의 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)이 리니어 피더측 반송부(41)의 긴 쪽 방향으로 1/4 파장의 공간적 위상차가 있는 상태로 배치되어 있다. 또한, 이들 각 8개의 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)이 설치되어 있지 않은 리니어 피더측 반송부(41)의 폭 방향 양단부이며 또한 반송부(41)의 긴 쪽 방향의 양단부 4개소에 판 부재(71, 72, 73, 74)가 설치되어 있다. 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74)를 설치함으로써, 설치한 부분의 강성을 높이고 있다. 이에 의해, 설치한 부분에서의 진폭이 변화함으로써, 리니어 피더측 반송부(41)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화하여, 진행파 비를 조정할 수 있다. 특히 정재파의 파복에 해당하는 부분에 판 부재(71, 72, 73, 74)를 설치하도록 함으로써, 진동 특성이 크게 변화한다.The four plate members 71 , 72 , 73 , and 74 are provided other than the workpiece passing portion of the conveyance unit 41 , and are members configured to be elastically deformable together with the conveyance unit 41 . Specifically, the four plate members 71 , 72 , 73 , and 74 are provided on the back surface of the carrying unit 41 . Eight traveling wave generating means (piezoelectric elements) 5 are provided at each of both ends in the width direction of the back surface of the conveying unit 41 (in the transverse direction of the conveying unit 41 ) in the longitudinal direction of the linear feeder-side conveying unit 41 . They are arranged in a state where there is a spatial phase difference of 1/4 wavelength. In addition, each of these eight traveling wave generating means (piezoelectric elements) 5 is provided at both ends of the linear feeder-side conveying section 41 in the width direction, and plates are placed at four opposite ends of the conveying section 41 in the longitudinal direction. Members 71, 72, 73, and 74 are provided. By providing the plate members 71, 72, 73, and 74 of 4 sheets, the rigidity of the provided part is improved. Thereby, when the amplitude in the provided part changes, the vibration characteristic in the specific part of the linear feeder side conveyance part 41 changes, and the traveling wave ratio can be adjusted. In particular, by providing the plate members 71, 72, 73, and 74 in the portion corresponding to the failure of the standing wave, the vibration characteristics change greatly.

판 부재(71, 72, 73, 74)는, 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)과 대략 동일 폭이며 또한 대략 동일 두께로 하고 있지만, 리니어 피더측 반송부(41)의 강성이 어느 부분에 있어서도 대략 동일해지도록, 판 부재(71, 72, 73, 74)의 폭이나 두께를 설정하게 된다. 또한, 4장의 판 부재(71, 72, 73, 74) 중 리니어 피더측 반송부(41)의 폭 방향 일단측에 설치하는 판 부재(71, 72)의 길이와, 리니어 피더측 반송부(41)의 폭 방향 타단측에 설치하는 판 부재(73, 74)의 길이를, 대략 동일하게 함으로써, 리니어 피더측 반송부(41)의 폭 방향 일단의 강성과 폭 방향 타단의 강성을 일치시키기 쉽다. 또한, 판 부재(71, 72, 73, 74)를 구성하는 재료는, 리니어 피더측 반송부(41)의 재료와 같은 금속(예를 들어 알루미늄)으로 구성하면, 진행파에 의해 반송부와 동일하게 탄성 변형할 수 있지만, 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)과 동일한 재료[동일한 물]로 구성할 수도 있다. 또한, 볼 피더측 반송부(31)의 특정 부분에도, 판 부재를 설치하고, 설치한 부분에서의 진폭이 변화함으로써, 볼 피더측 반송부(31)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화하여, 진행파 비를 조정할 수 있다. 여기에서는, 판 부재를 반송부의 이면에 설치하고 있지만, 반송부의 측면에 설치할 수도 있다.The plate members 71, 72, 73, and 74 have substantially the same width and substantially the same thickness as the traveling wave generating means (piezoelectric element) 5. However, the rigidity of the linear feeder-side conveying unit 41 is at which part. The widths and thicknesses of the plate members 71, 72, 73, and 74 are set so that they are substantially the same also in the case. Moreover, the length of the plate members 71 and 72 provided in the width direction one end side of the linear feeder side conveyance part 41 among the board members 71, 72, 73, 74 of 4 sheets, and the linear feeder side conveyance part 41 ), by making the lengths of the plate members 73 and 74 provided on the other end side in the width direction substantially the same, it is easy to make the rigidity of the width direction end of the linear feeder side conveyance part 41 coincide with the rigidity of the other end in the width direction. In addition, if the material constituting the plate members 71 , 72 , 73 , and 74 is made of the same metal (eg, aluminum) as the material of the linear feeder-side conveying unit 41, the traveling wave generates the same as the conveying unit. Although it can elastically deform, it can also be comprised with the same material (same water) as the traveling wave generating means (piezoelectric element) 5. Further, a plate member is also provided in a specific portion of the ball feeder-side conveying unit 31, and the amplitude at the provided portion changes, so that the vibration characteristics in the specific portion of the ball-feeder-side conveying unit 31 change, , the traveling wave ratio can be adjusted. Here, although the plate member is provided on the back surface of a conveyance part, it can also be provided in the side surface of a conveyance part.

반송부(31)의 특정 부분의 질량을 증감시키는 수단으로서는, 예를 들어 반송부(31, 41)의 특정 부분에 추를 부가하는 수단으로 구성할 수 있다. 즉, 반송부(31, 41) 이면의 일부에 추를 부착하거나, 또는 현수하는 수단이다. 이에 의해, 반송부(31, 41)의 중량을 부분적으로 증가시키도록 조정함으로써, 반송부(31, 41)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화하여, 진행파 비를 조정할 수 있다. 또한, 예를 들어 반송부(31, 41)를 삭감하는 것에 의해, 반송부(31, 41)의 두께를 얇게 함으로써 반송부(31)의 특정 부분의 질량을 감소시켜도 된다.As a means for increasing/decreasing the mass of the specific part of the conveyance part 31, it can comprise, for example as a means for adding a weight to the specific part of the conveyance parts 31 and 41. That is, it is a means for attaching a weight to a part of the back surface of the conveyance parts 31 and 41, or for suspending it. Thereby, by adjusting so that the weight of the conveyance parts 31 and 41 may be partially increased, the vibration characteristic in the specific part of the conveyance parts 31 and 41 changes, and the traveling wave ratio can be adjusted. Moreover, you may reduce the mass of the specific part of the conveyance part 31 by reducing the thickness of the conveyance parts 31 and 41 by reducing the conveyance parts 31 and 41, for example.

반송면(331, 431, 441)의 진동의 감쇠 특성을 조정하는 수단으로서, 반송부(31, 41)에 댐퍼를 설치하여, 감쇠 특성을 변화시키는 수단을 들 수 있다. 이것들에 의해, 반송부(31, 41)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화하여, 진행파 비를 조정할 수 있다.As a means for adjusting the damping characteristic of the vibration of the carrying surfaces 331, 431, 441, a means for providing a damper to the carrying parts 31 and 41 and changing a damping characteristic is mentioned. Thereby, the vibration characteristic in the specific part of the conveyance parts 31 and 41 changes, and the traveling wave ratio can be adjusted.

또한, 반송부(31, 41)를 고정하고 있는 고정부(32, 42) 중 일부의 고정부(32, 42)를 떼어내거나, 일부 또는 전부의 고정부(32, 42)의 체결력을 조정함으로써, 반송부(31, 41)의 특정 부분에 있어서의 진동 특성이 변화되어, 진행파 비를 조정할 수도 있다.In addition, by removing some of the fixing parts (32, 42) of the fixing parts (32, 42) fixing the carrying parts (31, 41), or by adjusting the fastening force of some or all of the fixing parts (32, 42) , the vibration characteristic in a specific part of the conveyance parts 31 and 41 is changed, and a traveling wave ratio can also be adjusted.

또한, 진행파 비를 전기적으로 조정할 수도 있다. 예를 들어, 도 11에 도시하는 바와 같이, 이송측의 군(5F)에 속하는 각 진행파 발생 수단(5)에 대하여 증폭기(61) 및 전압 조정 수단(62)이 직렬로 접속되고, 복귀측의 군(5B)에 속하는 각 진행파 발생 수단(5)에 대해서도 증폭기(61) 및 전압 조정 수단(62)이 직렬로 접속되어 있다. 따라서, 전압 조정 수단(62)의 전압을 조정함으로써, 진행파 비를 전기적으로 조정한다. 또한, 이송측의 전압 조정 수단(62)에는, 가진 주파수 조정 수단(63)이 접속되어 있다. 또한, 복귀측의 전압 조정 수단(62)에는, 전기적 위상 조정 수단(64)을 통해 가진 주파수 조정 수단(63)이 접속되어 있다. 또한, 가진 주파수 조정 수단(63)에는, 파형 선택 수단(65)이 접속되어 있다.It is also possible to electrically adjust the traveling wave ratio. For example, as shown in FIG. 11, the amplifier 61 and the voltage adjusting means 62 are connected in series to each traveling wave generating means 5 belonging to the group 5F on the transfer side, and the The amplifier 61 and the voltage adjusting means 62 are also connected in series to each traveling wave generating means 5 belonging to the group 5B. Therefore, by adjusting the voltage of the voltage adjusting means 62, the traveling wave ratio is electrically adjusted. Moreover, the excitation frequency adjusting means 63 is connected to the voltage adjusting means 62 on the transfer side. Further, to the voltage adjusting means 62 on the return side is connected a frequency adjusting means 63 with an electric phase adjusting means 64 . In addition, the waveform selection means 65 is connected to the excitation frequency adjusting means 63 .

또한, 본 발명에 관한 워크 반송 장치는, 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.In addition, the workpiece conveyance apparatus which concerns on this invention is not limited to the said embodiment, Various changes are possible in the range which does not deviate from the summary of this invention.

예를 들어, 반송 트랙은 순환하도록 폐쇄된 형상에 한정되지 않고, 일단 또는 양단이 개방된 형상이면 된다.For example, the conveying track is not limited to a closed shape to circulate, and may be a shape in which one or both ends are open.

또한, 반송부(31, 41)의 특정 부분의 강성을 조정하는 다른 수단으로서, 스프링을 추가하여 반송부의 특정 부분의 강성을 조정할 수도 있다.In addition, as another means for adjusting the rigidity of the specific part of the carrying parts 31 and 41, a spring may be added to adjust the rigidity of the specific part of the carrying part.

이상, 본 발명에 대하여 실시 형태를 다루어 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.As mentioned above, although embodiment was dealt and demonstrated about this invention, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the summary of this invention.

또한, 상기 실시 형태의 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)은, 전기적으로 절연하기 위한 절연체인 세라믹부와 세라믹부의 양측면에 형성된 전극으로 이루어져 있고, 통상은, 1매의 세라믹부의 양측면의 각각에 전극을 부착하여 구성되는 압전 소자의 필요수를 반송부에 부착하고 있지만, 도 7의 (a), (b), (c)와 같이 구성하여 실시해도 된다. 즉, 세라믹부(531)를 일체로 한 압전 소자(5)를 사용해도 된다. 이 경우, 도 7의 (a)에 「+」 「-」로 나타내듯이, 1/2 파장(λ/2)마다 분극 방향이 상이하다. 또한, 세라믹부(531)의 양측면 중 반송부(도체)에 대한 부착면측의 전극(51)과는 반대측의 전극(52)을 일체화한다. 그렇게 함으로써, 세라믹부(531)에 대한 전극(51, 52)의 부착 정밀도의 향상 및 상기 반대측 전극(52)의 커먼 작업의 삭감을 도모할 수 있다. 또한, 반송부(도체)에 부착하는 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)은, 반송부(도체)에 부착할 때, 반송부에 대하여 도통함으로써 커먼이 되기 때문에, 커먼 작업을 할 필요가 없다. 또한, 반송부(도체)에 대한 부착면측의 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)도 일체화해도 된다. 단, 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)을 일체로 하게 하는 공정은, 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)을 제작한 후의 공정이 되므로, 제조 비용의 삭감을 생각하면, 도 7의 (a), (b), (c)와 같이, 반송부의 부착면과는 반대측의 전극(52)만을 일체로 하는 편이 유리하다.In addition, the traveling wave generating means (piezoelectric element) 5 of the above embodiment consists of a ceramic part which is an insulator for electrical insulation, and electrodes formed on both sides of the ceramic part, and is usually formed on each of both sides of a ceramic part. Although the required number of piezoelectric elements constituted by attaching electrodes is attached to the transport unit, it may be configured and implemented as shown in Figs. 7(a), (b) and (c). That is, the piezoelectric element 5 in which the ceramic part 531 is integrated may be used. In this case, as indicated by “+” and “-” in FIG. 7A , the polarization direction is different for each 1/2 wavelength (λ/2). Moreover, the electrode 52 on the opposite side to the electrode 51 on the side of the attachment surface to the conveyance part (conductor) among the both surfaces of the ceramic part 531 is integrated. By doing so, it is possible to improve the accuracy of attaching the electrodes 51 and 52 to the ceramic portion 531 and reduce the common operation of the opposite electrode 52 . In addition, since a plurality of (eight in the drawing) electrodes 51 attached to the carrying unit (conductor) become common by conducting conduction to the carrying unit (conductor) when attached to the carrying unit (conductor), it is necessary to perform a common operation. there is no Moreover, you may integrate the several (eight in figure) electrodes 51 on the side of the attachment surface with respect to a conveyance part (conductor). However, since the step of integrating the plurality of (eight in the drawing) electrodes 51 is a step after manufacturing the plurality (eight in the drawing) of the electrodes 51, when the reduction in manufacturing cost is considered, It is advantageous to integrate only the electrode 52 on the opposite side to the attachment surface of the transport unit as shown in Figs. 7(a), (b), and (c).

또한, 상기 실시 형태의 진행파 발생 수단(압전 소자)(5)을, 도 8의 (a), (b)와 같이 구성해도 된다. 즉, 도 7의 (a), (b), (c)와 마찬가지로, 세라믹부(531)를 일체로 한 압전 소자(5)를 사용해도 된다. 이 경우, 도 8의 (a)에 「+」 「-」로 나타내듯이, 1/2 파장(λ/2)마다 분극 방향이 상이하다. 그렇게 함으로써, 세라믹부(531)에 대한 전극(51, 52)의 부착 정밀도의 향상을 도모할 수 있다. 이 경우에는, 반송부(도체)에 부착하는 복수(도면에서는 8개)의 전극(51)은, 반송부(도체)에 부착할 때, 반송부에 대하여 도통함으로써 커먼이 되기 때문에, 커먼 작업을 할 필요가 없지만, 상기 전극(51)과는 반대측의 복수(도면에서는 8개)의 전극(521)에 대하여 커먼 작업이 필요해진다.Further, the traveling wave generating means (piezoelectric element) 5 of the above embodiment may be configured as shown in Figs. 8(a) and 8(b). That is, similarly to (a), (b) and (c) of FIG. 7 , the piezoelectric element 5 in which the ceramic part 531 is integrated may be used. In this case, as indicated by “+” and “-” in FIG. 8A , the polarization direction is different for each 1/2 wavelength (λ/2). By doing so, the precision of attaching the electrodes 51 and 52 to the ceramic portion 531 can be improved. In this case, the plurality of (eight in the drawing) electrodes 51 attached to the carrying unit (conductor) becomes a common by conducting to the carrying unit (conductor) when attached to the carrying unit (conductor). Although it is not necessary, a common operation is required for the plurality of (eight in the drawing) electrodes 521 on the opposite side to the electrode 51 .

또한, 상기 실시 형태에서는, 복수의 진행파 발생 수단(5)을 2군으로 나누고, 한쪽의 군과 다른 쪽의 군에서 구동시키는 위상차[진행파 발생 수단(5)에 지시하는 위상차]를 90°로 설정하고 있었지만, 이것에 한정되지 않고, 위상차를 다른 각도로 설정해도 된다. 또한, 복수의 진행파 발생 수단(5)을 3군 이상으로 나눌 수도 있다.Further, in the above embodiment, the plurality of traveling wave generating means 5 is divided into two groups, and the phase difference (phase difference instructing the traveling wave generating means 5) to be driven by one group and the other group is set to 90°. However, it is not limited to this, You may set the phase difference to another angle. In addition, the plurality of traveling wave generating means 5 may be divided into three or more groups.

또한, 상기 실시 형태에서는, 이송측의 군(5F)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)에 제1 증폭기(611) 및 제1 진폭 조정 수단(621)이 접속되고, 복귀측의 군(5B)에 속하는 복수의 진행파 발생 수단(5)에 제2 증폭기(612) 및 제 2 진폭 조정 수단(622)이 접속되어 있었다. 그러나 이 이외에, 복수의 진행파 발생 수단(5)의 각각에 증폭기 및 진폭 조정 수단을 접속할 수도 있고, 각 진폭 조정 수단을 조작함으로써 진행파 비를 조정할 수 있다.Further, in the above embodiment, the first amplifier 611 and the first amplitude adjusting means 621 are connected to the plurality of traveling wave generating means 5 belonging to the group 5F on the transfer side, and the group 5B on the return side is connected. A second amplifier 612 and a second amplitude adjusting means 622 are connected to the plurality of traveling wave generating means 5 belonging to ). However, other than this, an amplifier and an amplitude adjusting means may be connected to each of the plurality of traveling wave generating means 5, and the traveling wave ratio can be adjusted by operating each amplitude adjusting means.

또한, 상기 실시 형태에서는, 진행파 발생 수단(5)에 의해 각 반송면(331, 431, 441)에 발생하는 진동의 파는 상기 실시 형태에서는 정현파였지만, 구형파, 삼각파 등, 다른 형상의 파여도 된다.Moreover, in the said embodiment, the wave of the vibration which generate|occur|produces on each carrier surface 331, 431, 441 by the traveling wave generating means 5 was a sine wave in the said embodiment, but a wave of other shapes, such as a square wave and a triangular wave, may be sufficient.

또한, 본 실시 형태의 각 반송부(31, 41)는 주회하는 형상으로 되어 있었지만, 반송부의 형상은 이것에 한정되지 않고, 직선상이나 주회하지 않는 만곡 선상 이어도 된다.In addition, although each conveyance part 31 and 41 of this embodiment was made into the shape which revolves, the shape of a conveyance part is not limited to this, A straight line shape or the curved line shape which does not go round may be sufficient.

또한, 상기 실시 형태에서는, 각 반송부(31, 41)에 복수의 진행파 발생 수단(5)이 배열되어 있었지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들어 탄성적으로 지지된 반송부의 양단만을, 위상차를 가져서 가진하거나, 일단에서 가진하고, 타단에서 진동을 흡수하거나 함으로써 진행파를 발생시킬 수도 있다.In addition, in the above embodiment, a plurality of traveling wave generating means 5 are arranged on each of the conveying units 31 and 41, but the present invention is not limited thereto. A traveling wave can also be generated by excitation by having it, excitation at one end, and absorbing vibration at the other end.

1: 워크 반송 장치, 파츠 피더
2: 베이스부
3: 볼 피더
31: 반송부, 볼 피더측 반송부
32: 고정부(볼 피더)
33: 반송 트랙, 나선 트랙
331: 반송면(나선 트랙)
34, 35: 슬릿
4: 리니어 피더
41: 반송부, 리니어 피더측 반송부
42: 고정부(리니어 피더)
43: 반송 트랙, 메인 트랙
431: 반송면(메인 트랙)
44: 반송 트랙, 리턴 트랙
45: 슬릿
441: 반송면(리턴 트랙)
5: 진행파 발생 수단
5B: 복귀측의 군
5F: 이송측의 군
7: 강성 조정 수단
51, 52, 521: 전극
53, 531: 세라믹부
61: 증폭기
62: 전압 조정 수단
63: 가진 주파수 조정 수단
64: 전기적 위상 조정 수단
65: 파형 선택 수단
71, 72, 73, 74: 판 부재
332: 외주 단부
414: 반송부
611: 제1 증폭기
612: 제2 증폭기
W: 워크
S1 내지 S3: 진폭 측정 스텝
S3 내지 S9: 진행파 비 조정 스텝1: Work transfer device, parts feeder
2: base part
3: ball feeder
31: conveyance part, ball feeder side conveyance part
32: fixed part (ball feeder)
33: bounce track, spiral track
331: conveying surface (spiral track)
34, 35: slit
4: Linear feeder
41: conveyance part, linear feeder side conveyance part
42: fixed part (linear feeder)
43: return track, main track
431: conveyance surface (main track)
44: return track, return track
45: slit
441: conveyance surface (return track)
5: means of generating a traveling wave
5B: group on the return side
5F: group on the transfer side
7: Stiffness adjustment means
51, 52, 521: electrode
53, 531: ceramic part
61: amplifier
62: voltage regulation means
63: excitation frequency adjustment means
64: electrical phase adjustment means
65: waveform selection means
71, 72, 73, 74: plate member
332: outer peripheral end
414: transfer unit
611: first amplifier
612: second amplifier
W: work
S1 to S3: amplitude measurement step
S3 to S9: Step of adjusting the ratio of the traveling wave

Claims (7)

워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면을 갖고, 탄성 변형 가능한 반송부와,
적어도 상기 반송면에 상이한 위상으로 구동시켜서 발생하는 2개의 정재파가 합성됨으로써 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하고,
상기 반송면의 위치에 따라서 상기 진행파의 진폭의 크기가 변동할 수 있는 상황하에 있어서 상기 진행파를 발생시키는 경우에, 상기 반송면에 진폭이 큰 위치와 진폭이 작은 위치가 교대로 나타나고, 상기 반송면에 생기는 진폭 중 진행파의 가장 크게 진동하는 위치에 있어서의 최대 진폭에 대한 가장 작게 진동하는 위치에 있어서의 최소 진폭의 비인 진행파 비를 조정하는 진행파 비 조정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.A transport unit having a transport surface for transporting a workpiece in a loaded state and capable of elastic deformation;
traveling wave generating means for generating a traveling wave by synthesizing at least two standing waves generated by driving in different phases on the carrier surface;
In the case of generating the traveling wave under a situation in which the amplitude of the traveling wave may fluctuate depending on the position of the carrier surface, a position with a large amplitude and a position with a small amplitude appear alternately on the carrier surface, and a traveling wave ratio adjusting means for adjusting a traveling wave ratio that is a ratio of a minimum amplitude at a position where the traveling wave vibrates the most to the maximum amplitude at a position where the traveling wave vibrates the most among the amplitudes generated in Device. 제1항에 있어서,
상기 진행파 비 조정 수단은, 진행파 비가 0.13 이상인 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.According to claim 1,
The traveling wave ratio adjusting means is characterized in that the traveling wave ratio is 0.13 or more. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 진행파 비는, 상기 진행파 발생 수단을 전기적으로 조작함으로써 출력이 조정되는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.3. The method of claim 1 or 2,
The traveling wave ratio is characterized in that the output is adjusted by electrically operating the traveling wave generating means. 제3항에 있어서,
상기 진행파 발생 수단은, 상기 반송부의 워크 반송 방향에 있어서의 상이한 위치에, 출력 위상이 상이한 적어도 두개의 군으로 나뉘어서 배치되어 있고,
상기 진행파 발생 수단의 상기 전기적으로 조작은, 상기 적어도 두개의 군 중 한쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단과 다른 쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단 사이의 위상차 변경, 상기 한쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단과 상기 다른 쪽의 군에 속하는 상기 진행파 발생 수단 사이의 진폭비의 변경, 모든 상기 진행파 발생 수단의 가진 주파수의 변경, 중 적어도 하나를 행하는 조작인 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.4. The method of claim 3,
The traveling wave generating means is arranged at different positions in the workpiece conveying direction of the conveying unit, divided into at least two groups having different output phases;
The electrically operating of the traveling wave generating means includes changing a phase difference between the traveling wave generating means belonging to one of the at least two groups and the traveling wave generating means belonging to the other group, and the traveling wave belonging to the one group. An operation for performing at least one of changing an amplitude ratio between the generating means and the traveling wave generating means belonging to the other group, and changing the excitation frequencies of all of the traveling wave generating means, the work transporting apparatus characterized in that it is an operation. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 진행파 비 조정 수단은, 상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단, 당해 반송부의 특정 부분의 질량을 조정하는 수단, 상기 반송면의 특정 부분 진동의 감쇠 특성을 조정하는 수단 중 적어도 하나의 수단을 갖는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.3. The method of claim 1 or 2,
The traveling wave ratio adjusting means includes at least one of means for adjusting the rigidity of the specific part of the carrying part, means for adjusting the mass of the specific part of the carrying part, and means for adjusting the damping characteristic of the vibration of the specific part of the carrying surface. A work transport apparatus, characterized in that it has a. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 진행파 비 조정 수단은, 상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단을 갖거나, 또는 상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단과 함께 당해 반송부의 특정 부분의 질량을 조정하는 수단, 상기 반송면의 특정 부분 진동의 감쇠 특성을 조정하는 수단 중 적어도 하나의 수단을 더 갖고,
상기 반송부의 특정 부분의 강성을 조정하는 수단은, 상기 반송부의 워크 통과 부분 이외에 설치되며, 또한, 당해 반송부와 함께 탄성 변형 가능하게 구성되는 부재로 구성되는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치.3. The method of claim 1 or 2,
The traveling wave ratio adjusting means includes means for adjusting the rigidity of the specific part of the carrying part, or means for adjusting the mass of the specific part of the carrying part together with the means for adjusting the rigidity of the specific part of the carrying part; at least one of means for adjusting the damping characteristic of a specific partial vibration of the surface;
The means for adjusting the rigidity of the specific part of the said conveyance part is comprised by the member which is provided other than the workpiece passing part of the said conveyance part, and is comprised with the said conveyance part elastically deformable, The workpiece conveying apparatus characterized by the above-mentioned. 워크를 적재한 상태에서 반송하는 반송면을 갖고, 탄성 변형 가능한 반송부와,
적어도 상기 반송면에 상이한 위상으로 구동시켜서 발생하는 2개의 정재파가 합성됨으로써 진행파를 발생시키는 진행파 발생 수단을 구비하는 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법이며,
상기 반송면에 있어서의 수직 진폭을, 상기 반송면의 워크 반송 방향에 있어서 복수의 위치에서 측정하는 진폭 측정 스텝과,
상기 반송면의 위치에 따라서 상기 진행파의 진폭의 크기가 변동할 수 있는 상황하에 있어서 상기 진행파를 발생시키는 경우에, 상기 반송면에 진폭이 큰 위치와 진폭이 작은 위치가 교대로 나타나고, 상기 진폭 측정 스텝에 의해 얻어진, 상기 반송면에 있어서의 수직 진폭 중 가장 크게 진동하는 위치에 있어서의 최대 진폭에 대한 가장 작게 진동하는 위치에 있어서의 최소 진폭의 비로서 정의되는 진행파 비를 소정값으로 조정하는 진행파 비 조정 스텝
을 구비하는 것을 특징으로 하는, 워크 반송 장치에 있어서의 조정 방법.A transport unit having a transport surface for transporting a workpiece in a loaded state and capable of elastic deformation;
It is an adjustment method in a workpiece conveying apparatus comprising at least a traveling wave generating means for generating a traveling wave by synthesizing two standing waves generated by driving in different phases on the conveying surface,
an amplitude measuring step of measuring the vertical amplitude on the conveyance surface at a plurality of positions in the workpiece conveyance direction of the conveyance surface;
In the case of generating the traveling wave under a situation in which the amplitude of the traveling wave may vary according to the position of the carrier surface, a position with a large amplitude and a position with a small amplitude appear alternately on the carrier surface, and the amplitude is measured A traveling wave for adjusting a traveling wave ratio defined as a ratio of a minimum amplitude at a position of the smallest vibration to a maximum amplitude at a position of the largest vibration among the vertical amplitudes on the carrier surface obtained by the step to a predetermined value. non-adjustment step
An adjustment method in a work transport apparatus, characterized in that it is provided.
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