KR102420248B1 - Vacuum pump - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공펌프에 관한 것으로서, 효율이 2배이상으로 향상될 수 있을 뿐만 아니라 진동이 발생될 우려가 없고, 나아가, 회전몸체 및 회전캠의 회전운동과정 중 롤러부 및 피스톤로드가 이탈될 우려가 없을 뿐만 아니라 상기 회전몸체 및 회전캠의 회전력을 용이하게 분산시킬 수 있고, 더불어 상기 회전캠의 회전과정 중 떨림현상이 발생될 우려가 없어 상기 회전캠의 내구성 및 수명이 크게 향상될 수 있으며, 아울러, 스프링 등의 별도의 탄성부재를 사용할 필요가 없어 내구성 및 수명이 더욱 향상 및 유지보수가 간편한 효과가 있다.The present invention relates to a vacuum pump, wherein the efficiency can be improved more than twice, and there is no fear of vibration, and furthermore, there is a possibility that the roller part and the piston rod may be separated during the rotational movement of the rotating body and the rotating cam. In addition to the absence of the rotational force, the rotational force of the rotational body and the rotational cam can be easily dispersed, and there is no fear of vibration occurring during the rotational process of the rotational cam, so that the durability and lifespan of the rotational cam can be greatly improved, In addition, since there is no need to use a separate elastic member such as a spring, durability and lifespan are further improved, and maintenance is easy.

Description

진공펌프{Vacuum pump}vacuum pump

본 발명은 효율이 2배이상으로 향상될 수 있을 뿐만 아니라 진동이 발생될 우려가 없고, 나아가, 회전몸체 및 회전캠의 회전운동과정 중 롤러부 및 피스톤로드가 이탈될 우려가 없을 뿐만 아니라 상기 회전몸체 및 회전캠의 회전력을 용이하게 분산시킬 수 있고, 더불어 상기 회전캠의 회전과정 중 떨림현상이 발생될 우려가 없어 상기 회전캠의 내구성 및 수명이 크게 향상될 수 있으며, 아울러, 스프링 등의 별도의 탄성부재를 사용할 필요가 없어 내구성 및 수명이 더욱 향상 및 유지보수가 간편한 진공펌프에 관한 것이다.In the present invention, not only can the efficiency be improved more than twice, but there is no possibility of vibration being generated, and further, there is no fear that the roller part and the piston rod are separated during the rotational motion process of the rotating body and the rotating cam, as well as the rotation. The rotational force of the body and the rotation cam can be easily distributed, and there is no fear of vibration during the rotation process of the rotation cam, so that the durability and lifespan of the rotation cam can be greatly improved. It relates to a vacuum pump with improved durability and lifespan and easy maintenance because it does not require the use of elastic members.

일반적으로, 진공펌프는 일정한 공간 내의 기체분자들을 인공적으로 조절하여 공간을 진공상태로 만들어주는 기기로서, 공간내의 이물질 및 불필요 기체 등을 제거하여 청정도가 높고 고정밀도를 요구하는 반도체 및 디스플레이 장치의 제조 공정 및 제품 생산에 적합한 작업환경을 조성하거나, 제조과정에서 발생하는 가스 등을 배출하기 위해 사용되고 있다.In general, a vacuum pump is a device that makes a space in a vacuum state by artificially controlling gas molecules in a certain space. It removes foreign substances and unnecessary gases in the space to manufacture semiconductors and display devices requiring high cleanliness and high precision. It is used to create a work environment suitable for process and product production, or to discharge gases generated during the manufacturing process.

이러한 진공펌프는, 크게 습식과 건식으로 구분할 수 있다.Such a vacuum pump can be largely divided into a wet type and a dry type.

여기서, 습식 진공펌프는 고진공을 실현하기 위해 기름을 사용하는 구조이다.Here, the wet vacuum pump has a structure that uses oil to realize a high vacuum.

그리고, 건식 진공펌프는 상대적으로 진공도가 낮지만 기름을 사용하지 않으므로 구조가 간단하고, 내구성이 좋으면서, 유지 보수가 용이한 장점이 있다.In addition, the dry vacuum pump has a relatively low degree of vacuum, but does not use oil, so it has a simple structure, good durability, and easy maintenance.

이와 같은 진공펌프와 관련하여 수분 및 가스의 흡입이 용이하고, 진공압력이 낮아도 오일이 역류되지 않아 청정한 진공을 도달시킬 수 있는 진공 피스톤식 진공펌프 및 터번식 진공펌프가 국내공개특허공보 공개번호 특1997-0011395로 제안된 바 있다.In relation to such a vacuum pump, a vacuum piston type vacuum pump and a turban type vacuum pump that can easily suction moisture and gas and achieve a clean vacuum without oil backflow even when the vacuum pressure is low are disclosed in Korean Patent Laid-Open No. It has been proposed as 1997-0011395.

그러나, 상기 국내공개특허공보 공개번호 특1997-0011395 등으로 제안된 진공펌프의 경우, 대게 피스톤의 전진과 후진에 따라 유체의 흡입 및 토출을 위한 압축운동 및 팽창운동이 각각 1회발생하는 1행정으로서, 진공펌프의 효율향상에 한계가 있는 문제점이 있다.However, in the case of the vacuum pump proposed in the Korean Patent Application Laid-Open No. 1997-0011395, etc., in general, the compression and expansion movements for suction and discharge of the fluid occur once each according to the forward and backward movement of the piston, one stroke. As such, there is a problem in that there is a limit to improving the efficiency of the vacuum pump.

국내공개특허공보 공개번호 특1997-0011395Korean Patent Application Laid-Open Publication No. 1997-0011395

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 효율이 2배이상으로 향상될 수 있을 뿐만 아니라 진동이 발생될 우려가 없고, 나아가, 회전몸체 및 회전캠의 회전운동과정 중 롤러부 및 피스톤로드가 이탈될 우려가 없을 뿐만 아니라 상기 회전몸체 및 회전캠의 회전력을 용이하게 분산시킬 수 있고, 더불어 상기 회전캠의 회전과정 중 떨림현상이 발생될 우려가 없어 상기 회전캠의 내구성 및 수명이 크게 향상될 수 있으며, 아울러, 스프링 등의 별도의 탄성부재를 사용할 필요가 없어 내구성 및 수명이 더욱 향상 및 유지보수가 간편한 진공펌프를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention was created to solve the above problems, and the efficiency can be improved more than twice as well as there is no possibility of vibration occurring, and furthermore, the roller part and the piston during the rotational movement of the rotating body and the rotating cam. There is no fear that the rod is detached, and the rotational force of the rotating body and the rotating cam can be easily dispersed. In addition, there is no risk of vibration occurring during the rotating process of the rotating cam, so that the durability and lifespan of the rotating cam are greatly improved. An object of the present invention is to provide a vacuum pump with improved durability and lifespan and easy maintenance because there is no need to use a separate elastic member such as a spring.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 일측과 타측에 각각 볼록부가 형성되고, 상부와 하부에 각각 오목부가 형성되며, 구동부에 의해 회전하는 회전캠과; 상기 회전캠의 전측과 후측에 각각 형성되고, 상기 회전캠 주변 부위에 상기 회전캠의 가장자리를 따라 연장되는 가이드홈이 형성되며, 상기 회전캠과 함께 회전하는 회전몸체와; 상기 회전몸체의 가이드홈에 구름운동가능하게 수용되는 롤러부와; 상기 롤러부와 연결되는 피스톤로드가 구비되고, 상기 회전몸체의 일측방향과 타측방향에 각각 구비되며, 상기 회전캠의 회전운동과정 중 상기 회전몸체의 일측에서 타측방향으로 좌우직선이동하는 상기 피스톤로드를 통해 유체를 흡입 및 배출하는 실린더;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공펌프를 제공한다.The present invention for achieving the above object is a rotary cam having convex portions formed on one side and the other side, respectively, concave portions formed on the upper and lower portions, respectively, and rotating by a driving unit; a rotating body formed on the front and rear sides of the rotating cam, a guide groove extending along an edge of the rotating cam in a region around the rotating cam, and rotating together with the rotating cam; a roller portion operably accommodated in the guide groove of the rotating body; The piston rod is provided with a piston rod connected to the roller unit, respectively provided in one direction and the other direction of the rotating body, and the piston rod moves in a straight line from one side of the rotating body to the other side during the rotational motion of the rotating cam. It provides a vacuum pump comprising a; cylinder for sucking and discharging the fluid through the.

여기서, 상기 회전캠은 후측회전캠과; 상기 후측회전캠의 전측에 결합되는 전측회전캠;을 포함하여 구성되고, 상기 회전몸체는 상기 후측회전캠의 후측에 형성되는 후측회전몸체와; 상기 후측회전몸체의 전측에 위치하도록 후측에 상기 후측회전캠과 결합되는 상기 전측회전캠이 형성되는 전측회전몸체;를 포함하여 구성되며, 상기 후측회전캠 주변의 상기 후측회전몸체의 전측부위 및 상기 전측회전캠 주변의 상기 전측회전몸체의 후측부위에 상기 후측회전캠의 가장자리 및 상기 전측회전캠의 가장자리를 따라 연장되는 상기 가이드홈이 각각 형성되는 것이 바람직하다.Here, the rotation cam includes a rear rotation cam; a front rotation cam coupled to the front side of the rear rotation cam; the rotation body includes: a rear rotation body formed at a rear side of the rear rotation cam; and a front rotating body in which the front rotating cam coupled to the rear rotating cam is formed on the rear side so as to be located on the front side of the rear rotating body, and a front portion of the rear rotating body around the rear rotating cam and the It is preferable that the guide grooves extending along the edge of the rear rotation cam and the edge of the front rotation cam are formed in the rear portion of the front rotation body around the front rotation cam, respectively.

그리고, 상기 후측회전캠에 상기 전측회전캠을 결합시키는 결합부;가 구비되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a coupling portion for coupling the front rotation cam to the rear rotation cam is provided.

여기서, 상기 후측회전캠과 상기 후측회전몸체에 서로 연통되는 나사공이 일정간격으로 각각 형성되고, 상기 전측회전캠과 상기 전측회전몸체에 서로 연통되는 나사공이 일정간격으로 각각 형성되며, 상기 결합부는 상기 전측회전몸체의 나사공과 상기 전측회전캠의 나사공 및 상기 후측회전캠의 나사공과 상기 후측회전몸체의 나사공을 순차적으로 관통한 상태로 나사결합되는 볼트부재로 이루어지는 것이 바람직하다.Here, screw holes communicating with each other in the rear rotation cam and the rear rotation body are formed at regular intervals, respectively, and screw holes communicating with each other in the front rotation cam and the front rotation body are formed at predetermined intervals, respectively, and the coupling portion is the Preferably, it is made of a bolt member screwed through the screw hole of the front rotating body, the screw hole of the front rotating cam, the screw hole of the rear rotating cam, and the screw hole of the rear rotating body sequentially.

나아가, 상기 후측회전캠의 나사공 주변의 상기 후측회전캠부위와 상기 전측회전캠의 나사공 주변의 상기 전측회전캠부위에 각각 고정홈이 일정간격으로 형성되고, 상기 후측회전캠의 고정홈 및 상기 전측회전캠의 고정홈에 각각 후측과 전측이 삽입고정되는 고정핀이 구비되는 것이 바람직하다.Further, fixing grooves are respectively formed at regular intervals in the rear rotation cam portion around the screw hole of the rear rotation cam and the front rotation cam portion around the screw hole of the front rotation cam, the fixing groove of the rear rotation cam and It is preferable that a fixing pin having a rear side and a front side inserted and fixed, respectively, is provided in the fixing groove of the front rotation cam.

더불어, 상기 후측회전캠의 전측에 상기 후측회전캠의 전측외부방향으로 돌출되는 고정턱이 형성되고, 상기 전측회전캠의 후측에 상기 고정턱이 삽입고정되는 삽입홈이 형성되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that a fixing jaw protruding in the front-outer direction of the rear rotation cam is formed on the front side of the rear rotation cam, and an insertion groove into which the fixing jaw is inserted and fixed is formed on the rear side of the front rotation cam.

아울러, 상기 롤러부는 상기 실린더의 피스톤로드의 전측과 후측에 축결합되어 상기 전측회전몸체의 가이드홈 및 상기 후측회전몸체의 가이드홈에 구름운동가능하게 수용되는 전측롤러 및 후측롤러를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.In addition, the roller part is axially coupled to the front and rear sides of the piston rod of the cylinder and includes a front roller and a rear roller which are accommodated in a rolling motion in the guide groove of the front rotating body and the guide groove of the rear rotating body. it is preferable

본 발명은 회전캠 및 회전몸체의 1회전과정 중 피스톤로드의 흡입 및 배출운동이 각각 2회 발생하는 2행정이므로, 진공펌프의 효율이 2배이상으로 향상될 수 있을 뿐만 아니라 상기 회전캠의 무게중심이 중간이므로 상기 회전캠의 회전과정 중 진동이 발생될 우려가 없는 효과가 있다. In the present invention, since the suction and discharge movements of the piston rod occur twice during one rotation of the rotating cam and the rotating body, respectively, two strokes, the efficiency of the vacuum pump can be improved more than twice as well as the weight of the rotating cam Since the center is in the middle, there is an effect that there is no possibility of vibration occurring during the rotation process of the rotary cam.

그리고, 상기 피스톤로드와 연결된 롤러부가 상기 회전몸체의 가이드홈에 구름운동가능하게 수용되기 때문에 상기 회전캠 및 상기 회전몸체의 회전운동과정 중에 상기 회전몸체로부터 상기 롤러부 및 상기 피스톤로드가 이탈될 우려가 없음은 물론 상기 회전캠 및 상기 회전몸체의 회전력을 상기 롤러부의 일측방향과 타측방향에 각각 위치하는 가이드홈의 내면 방향으로 각각 용이하게 분산시킬 수 있는 효과가 있다. And, since the roller part connected to the piston rod is accommodated in a rolling motion in the guide groove of the rotating body, the roller unit and the piston rod may be separated from the rotating body during the rotational movement of the rotating cam and the rotating body. Of course, there is an effect of easily distributing the rotational force of the rotating cam and the rotating body in the direction of the inner surface of the guide grooves respectively located in one direction and the other direction of the roller part.

또한, 상기 회전몸체와 함께 상기 회전캠이 동시에 회전될 수 있도록 상기 후측회전캠과 전측회전캠을 정확하게 오차없이 조립할 수 있기 때문에 상기 회전캠의 회전과정 중 떨림현상이 발생되는 것을 용이하게 방지할 수 있어 상기 회전캠의 내구성 및 수명이 크게 향상될 수 있는 효과가 있다.In addition, since the rear rotation cam and the front rotation cam can be accurately assembled without error so that the rotation cam can be rotated simultaneously with the rotation body, it is possible to easily prevent the vibration phenomenon from occurring during the rotation process of the rotation cam. There is an effect that the durability and lifespan of the rotary cam can be greatly improved.

나아가, 스프링 등의 별도의 탄성부재를 사용하지 않고도 상기 피스톤로드의 압축 및 팽창운동이 용이하게 발생될 수 있기 때문에 내구성 및 수명이 더욱 향상 될 수 있을 뿐만 아니라 유지보수가 간편한 효과가 있다.Furthermore, since compression and expansion motion of the piston rod can be easily generated without using a separate elastic member such as a spring, durability and lifespan can be further improved, and maintenance is easy.

도 1은 본 발명의 일실시예인 진공펌프를 개략적으로 나타내는 사시도이고,
도 2 및 도 3은 각각 도 1의 분리사시도이고,
도 4는 도 1의 A - A선에 따른 결합단면도이고,
도 5는 도 4의 분리단면도이고,
도 6은 도 1의 B - B선에 따른 결합단면도이고,
도 7은 도 6의 분리단면도이고,
도 8 내지 도 12는 회전몸체의 1회전에 따른 실린더의 피스톤로드 작동과정을 순차적으로 나타내는 일부절개정면도이다.1 is a perspective view schematically showing a vacuum pump according to an embodiment of the present invention;
2 and 3 are each an exploded perspective view of FIG. 1,
4 is a coupling cross-sectional view taken along line A - A of FIG. 1;
Figure 5 is an exploded cross-sectional view of Figure 4,
Figure 6 is a coupling cross-sectional view taken along the line B - B of Figure 1,
Figure 7 is an exploded cross-sectional view of Figure 6,
8 to 12 are partially cut-away front views sequentially showing the operation process of the piston rod of the cylinder according to one rotation of the rotating body.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 물론 본 발명의 권리범위는 하기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 기술분야의 통상적인 지식을 가진자에 의하여 다양하게 변형 실시될 수 있다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail based on the accompanying drawings. Of course, the scope of the present invention is not limited to the following examples, and various modifications may be made by those of ordinary skill in the art without departing from the technical gist of the present invention.

도 1은 본 발명의 일실시예인 진공펌프를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 2 및 도 3은 각각 도 1의 분리사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a vacuum pump according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are respectively an exploded perspective view of FIG. 1 .

본 발명의 일실시예인 진공펌프는 도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이 크게, 회전캠(10), 회전몸체(20), 롤러부(30) 및 실린더(40)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 1 to 3 , the vacuum pump according to an embodiment of the present invention largely includes a rotating cam 10 , a rotating body 20 , a roller unit 30 and a cylinder 40 .

먼저, 상기 회전캠(10)의 일측과 타측에는 상기 회전캠(10)의 일측 외부방향 및 타측 외부방향으로 각각 아크형상 등으로 볼록하게 돌출되는 볼록부(11)가 형성될 수 있다.First, on one side and the other side of the rotation cam 10, the convex portions 11 convexly protruding in an arc shape or the like may be formed in the outer direction of one side and the outer direction of the other side of the rotation cam 10, respectively.

상기 회전캠(10)의 상부 중간과 하부 중간에는 상기 회전캠(10)의 내측으로 오목하게 일정깊이로 함몰되는 홈 형태의 오목부(12)가 형성될 수 있다.A recessed portion 12 in the form of a groove recessed to a predetermined depth concavely inward of the rotation cam 10 may be formed in the middle of the upper middle and lower middle of the rotation cam 10 .

상기 회전캠(10)은 구동모터 등 다양한 종류로 이루어질 수 있는 구동부(미도시)에 의해 회전할 수 있다.The rotating cam 10 may be rotated by a driving unit (not shown) that may be made of various types such as a driving motor.

다음으로, 상기 회전몸체(20)는 상기 회전캠(10)의 전측과 후측에 각각 형성되어 상기 회전캠(10)과 함께 회전한다.Next, the rotating body 20 is formed on the front and rear sides of the rotating cam 10 , respectively, and rotates together with the rotating cam 10 .

상기 회전캠(10) 주변의 상기 회전캠(10) 부위에는 상기 회전캠(10)의 가장자리를 따라 연장되는 가이드홈(201, 202)이 형성될 수 있다.Guide grooves 201 and 202 extending along the edge of the rotation cam 10 may be formed in a portion of the rotation cam 10 around the rotation cam 10 .

다음으로, 상기 롤러부(30)는 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201, 202)에 구름운동가능하게 수용된다.Next, the roller unit 30 is accommodated in the guide grooves 201 and 202 of the rotating body 20 so as to be capable of rolling motion.

다음으로, 상기 실린더(40)에는 상기 롤러부(30)와 연결되는 피스톤로드(401)가 구비된다.Next, the cylinder 40 is provided with a piston rod 401 connected to the roller unit 30 .

상기 실린더(40)는 상기 회전몸체(20)의 일측방향과 타측방향에 각각 구비된다.The cylinder 40 is provided in one direction and the other direction of the rotating body 20, respectively.

상기 실린더(40)의 피스톤로드(401)는 상기 회전캠(10)의 회전운동과정 중 상기 회전몸체(20)의 일측에서 타측방향으로 좌우익선운동하면서 압축 및 팽창운동하게 된다.The piston rod 401 of the cylinder 40 is compressed and expanded while moving left and right from one side of the rotating body 20 to the other during the rotational movement of the rotating cam 10 .

도 4는 도 1의 A - A선에 따른 결합단면도이고, 도 5는 도 4의 분리단면도이다.4 is a coupling cross-sectional view taken along line A - A of FIG. 1, and FIG. 5 is an exploded cross-sectional view of FIG.

다음으로, 상기 회전캠(10)은 일예로, 도 2 내지 도 4에서 보는 바와 같이 크게, 후측회전캠(110)과 전측회전캠(120)을 포함하여 구성될 수 있다.Next, as an example, the rotation cam 10 may be largely configured to include a rear rotation cam 110 and a front rotation cam 120 as shown in FIGS. 2 to 4 .

상기 후측회전캠(110)의 전측에 상기 전측회전캠(120)이 분리가능하게 결합될 수 있다.The front side rotation cam 120 may be detachably coupled to the front side of the rear side rotation cam 110 .

그리고, 상기 회전몸체(20)는 일예로, 도 2 내지 도 5에서 보는 바와 같이 크게, 후측회전몸체(210)와 전측회전몸체(220)를 포함하여 구성될 수 있다.And, the rotating body 20 may be configured to include, for example, a rear rotating body 210 and a front rotating body 220, as shown in FIGS. 2 to 5 .

상기 후측회전몸체(210)는 상기 후측회전캠(110)의 전측의 반대측인 후측에 형성될 수 있다.The rear rotating body 210 may be formed on the rear side opposite to the front side of the rear rotating cam 110 .

도 2에서 보는 바와 같이 상기 후측회전캠(110) 주변의 상기 후측회전몸체(210)의 전측부위에 상기 후측회전캠(110)의 가장자리를 따라 연장되는 가이드홈(201)이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 2 , a guide groove 201 extending along an edge of the rear rotating cam 110 may be formed in a front portion of the rear rotating body 210 around the rear rotating cam 110 .

상기 전측회전몸체(220)가 상기 후측회전몸체(210)의 전측에 위치하도록 상기 전측회전몸체(220)의 전측의 반대측인 후측에 상기 후측회전몸체(210)와 결합되는 상기 전측회전캠(120)이 형성될 수 있다.The front rotating cam 120 coupled to the rear rotating body 210 on the rear side opposite to the front side of the front rotating body 220 so that the front rotating body 220 is located on the front side of the rear rotating body 210 . ) can be formed.

도 3에서 보는 바와 같이 상기 전측회전캠(120) 주변의 상기 전측회전몸체(220)의 후측부위에 상기 전측회전캠(120)의 가장자리를 따라 연장되는 가이드홈(202)이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3 , a guide groove 202 extending along the edge of the front rotating cam 120 may be formed in the rear portion of the front rotating body 220 around the front rotating cam 120 .

도 6은 도 1의 B - B선에 따른 결합단면도이고, 도 7은 도 6의 분리단면도이다.6 is a coupling cross-sectional view taken along the line B - B of FIG. 1, and FIG. 7 is an exploded cross-sectional view of FIG.

다음으로, 도 2 내지 도 7에서 보는 바와 같이 상기 후측회전캠(110)의 전측에 상기 전측회전캠(120)을 분리가능하게 결합시키기 위한 결합부(50)가 구비될 수 있다.Next, as shown in FIGS. 2 to 7 , a coupling part 50 for detachably coupling the front rotation cam 120 to the front side of the rear rotation cam 110 may be provided.

도 2에서 보는 바와 같이 상기 후측회전캠(110)의 중심부 주변의 상기 후측회전캠(110)의 상부 일측, 상부 타측, 하부 일측 및 하부 타측에 각각 나사공(111)이 일정간격으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 2, screw holes 111 may be formed at regular intervals on the upper one side, the upper other side, the lower one side and the other lower side of the rear rotation cam 110 around the center of the rear rotation cam 110, respectively. have.

도 3에서 보는 바와 같이 상기 후측회전몸체(210)의 중심부 주변의 상기 후측회전몸체(210)의 상부 일측, 상부 타측, 하부 일측 및 하부 타측에는 상기 후측회전캠(110)의 나사공(111)과 연통되는 나사공(211)이 일정간격으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3, the upper one side, the upper other side, the lower one side and the lower other side of the rear rotating body 210 around the center of the rear rotating body 210 have a screw hole 111 of the rear rotating cam 110. The screw holes 211 communicating with it may be formed at regular intervals.

도 3에서 보는 바와 같이 상기 전측회전캠(120)의 중심부 주변의 상기 전측회전캠(120)의 상부 일측, 상부 타측, 하부 일측 및 하부 타측에 각각 나사공(121)이 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3 , screw holes 121 may be respectively formed on one upper side, the other upper side, one lower side, and the other lower side of the front rotation cam 120 around the center of the front rotation cam 120 .

도 2에서 보는 바와 같이 상기 전측회전몸체(220)의 중심부 주변의 상기 전측회전몸체(220)의 상부 일측, 상부 타측, 하부 일측 및 하부 타측에는 상기 전측회전캠(120)의 나사공(121)과 연통되는 나사공(221)이 일정간격으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 2 , there are screw holes 121 of the front rotating cam 120 on the upper one side, the upper other side, the lower one side and the other lower side of the front rotating body 220 around the center of the front rotating body 220 . Screw holes 221 communicating with it may be formed at regular intervals.

상기 결합부(50)는 일예로, 도 2, 도 3, 도 6 및 도 7에서 보는 바와 같이 상기 전측회전몸체(220)의 나사공(221)과 상기 전측회전캠(120)의 나사공(121) 및 상기 후측회전캠(110)의 나사공(111)과 상기 후측회전몸체(210)의 나사공(211)을 순차적으로 수평관통한 상태로 나사결합되는 볼트부재로 이루어질 수 있다.The coupling part 50 is an example, as shown in FIGS. 2, 3, 6 and 7, the screw hole 221 of the front rotating body 220 and the screw hole of the front rotating cam 120 ( 121) and the screw hole 111 of the rear rotation cam 110 and the screw hole 211 of the rear rotation body 210 are sequentially horizontally penetrated through the screwed bolt member.

한편, 상기 결합부(50)를 이룰 수 있는 볼트부재와 상기 나사공(221, 121, 111, 211)의 공차가 발생된 경우, 상기 후측회전캠(110)과 상기 전측회전캠(120)이 동시에 함께 회전되지 못하고 시간차를 두고 회전되어 상기 회전캠(10)의 회전과정 중 떨림현상이 발생 및 이로 인해 상기 회전캠(10)의 내구성과 수명이 저하될 우려가 다분한 문제점이 있다.On the other hand, when the tolerance between the bolt member capable of forming the coupling part 50 and the screw holes 221 , 121 , 111 , 211 occurs, the rear rotation cam 110 and the front rotation cam 120 are At the same time, they cannot be rotated together but are rotated with a time difference, so that vibration occurs during the rotation process of the rotation cam 10 , and there is a high risk that the durability and lifespan of the rotation cam 10 may be deteriorated.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해, 도 2에서 보는 바와 같이 상기 후측회전캠(110)의 나사공(111) 주변의 상기 후측회전캠(110)의 일측부위와 타측부위에 고정홈(112)이 일정간격으로 형성될 수 있다.In order to solve this problem, as shown in FIG. 2 , a fixing groove 112 is fixed on one side and the other side of the rear rotation cam 110 around the screw hole 111 of the rear rotation cam 110 . may be formed at intervals.

그리고, 도 3에서 보는 바와 같이 상기 전측회전캠(120)의 나사공(121) 주변의 상기 전측회전캠(120)의 일측부위와 타측부위에 고정홈(122)이 일정간격으로 형성될 수 있다.And, as shown in FIG. 3 , fixing grooves 122 may be formed at regular intervals on one side and the other side of the front side rotation cam 120 around the screw hole 121 of the front side rotation cam 120 . .

도 2 내지 도 7에서 보는 바와 같이 상기 전측회전캠(120)의 고정홈(122) 및 상기 후측회전캠(110)의 고정홈(112)에 고정핀(60)의 전측과 후측이 각각 삽입고정될 수 있다.2 to 7, the front side and the rear side of the fixing pin 60 are respectively inserted and fixed into the fixing groove 122 of the front rotation cam 120 and the fixing groove 112 of the rear rotation cam 110. can be

상기 고정핀(60)의 외경크기는 상기 고정핀(60)의 외주면이 상기 고정홈(122, 112)의 내주면에 밀착고정될 수 있을 정도면 족하다.The outer diameter size of the fixing pin 60 is sufficient enough that the outer circumferential surface of the fixing pin 60 can be closely fixed to the inner circumferential surface of the fixing grooves 122 and 112 .

이와 같은 상기 고정핀(60)을 통해 상기 회전몸체(20)와 함께 상기 회전캠(10)이 동시에 회전될 수 있도록 상기 후측회전캠(110)과 전측회전캠(120)을 정확하게 오차없이 조립할 수 있기 때문에 상기 회전캠(10)의 회전과정 중 떨림현상이 발생되는 것을 용이하게 방지할 수 있어 상기 회전캠(10)의 내구성 및 수명이 크게 향상될 수 있는 이점이 있게 된다.The rear rotation cam 110 and the front rotation cam 120 can be accurately assembled without errors so that the rotation cam 10 can be rotated simultaneously with the rotation body 20 through the fixing pin 60 as described above. Therefore, it is possible to easily prevent a vibration phenomenon from occurring during the rotation process of the rotation cam 10 , so that the durability and lifespan of the rotation cam 10 can be greatly improved.

다음으로, 상기 후측회전캠(110)과 상기 전측회전캠(120)의 조립용이성향상을 위해, 도 2 내지 도 4에서 보는 바와 같이 상기 후측회전캠(110)에 고정턱(130)이 형성 및 상기 전측회전캠(120)에 삽입홈(140)이 형성될 수 있다.Next, in order to improve the ease of assembly of the rear rotation cam 110 and the front rotation cam 120, a fixed jaw 130 is formed on the rear rotation cam 110 as shown in FIGS. 2 to 4 and An insertion groove 140 may be formed in the front rotation cam 120 .

환형형상 등 다양한 형상으로 형성될 수 있는 상기 고정턱(130)은 상기 후측회전캠(110)의 중심부 주변의 상기 후측회전캠(110)의 전측부위에서 상기 후측회전캠(110)의 전측 외부방향으로 돌출형성될 수 있다.The fixed jaw 130, which may be formed in various shapes such as an annular shape, is located at the front portion of the rear rotation cam 110 around the central portion of the rear rotation cam 110 in the front external direction of the rear rotation cam 110. can be formed to protrude.

환형형상 등 다양한 형상으로 형성될 수 있는 상기 삽입홈(140)은 상기 전측회전캠(120)의 중심부 주변의 상기 후측회전캠(110)의 후측부위에 형성될 수 있다.The insertion groove 140 , which may be formed in various shapes such as an annular shape, may be formed in a rear portion of the rear rotation cam 110 around the central portion of the front rotation cam 120 .

상기 삽입홈(140)에 상기 고정턱(130)이 분리가능하게 삽입고정될 수 있다.The fixing jaw 130 may be detachably inserted and fixed into the insertion groove 140 .

다음으로, 상기 롤러부(30)는 일예로, 도 2 내지 도 6에서 보는 바와 같이 전측롤러(310)와 후측롤러(320)를 포함하여 구성될 수 있다.Next, the roller unit 30 may be configured to include, for example, a front roller 310 and a rear roller 320 as shown in FIGS. 2 to 6 .

상기 전측롤러(310)는 상기 실린더(40)의 피스톤로드(401)의 전측에 축결합되어 상기 전측회전몸체(220)의 가이드홈(202)에 구름운동가능하게 수용될 수 있다.The front roller 310 may be axially coupled to the front side of the piston rod 401 of the cylinder 40 to be accommodated in the guide groove 202 of the front rotating body 220 to be capable of rolling motion.

상기 후측롤러(320)는 상기 실린더(40)의 피스톤로드(401)의 후측에 축결합되어 상기 후측회전몸체(210)의 가이드홈(201)에 구름운동가능하게 수용될 수 있다.The rear roller 320 may be axially coupled to the rear side of the piston rod 401 of the cylinder 40 to be accommodated in a rolling motion in the guide groove 201 of the rear rotating body 210 .

상기 피스톤로드(401)와 연결된 상기 롤러부(30)가 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201, 202)에 구름운동가능하게 수용되기 때문에 상기 회전캠(10) 및 상기 회전몸체(20)의 회전운동과정 중에 상기 회전몸체(20)로부터 상기 롤러부(30) 및 상기 피스톤로드(401)가 이탈될 우려가 없음은 물론 상기 회전캠(10) 및 상기 회전몸체(20)의 회전력을 상기 롤러부(30)의 일측방향과 타측방향에 각각 위치하는 상기 가이드홈(201, 202)의 내면방향으로 각각 용이하게 분산시킬 수 있는 이점이 있다.Since the roller part 30 connected to the piston rod 401 is operably accommodated in the guide grooves 201 and 202 of the rotating body 20, the rotating cam 10 and the rotating body 20 There is no risk of the roller part 30 and the piston rod 401 being separated from the rotating body 20 during the rotational movement process of the rotating cam 10 and the rotating force of the rotating body 20 There is an advantage that it can be easily dispersed in the inner direction of the guide grooves 201 and 202 respectively located in one direction and the other direction of the roller unit 30 .

도 2 내지 도 3에서 보는 바와 같이 상기 회전캠(10)의 중심부와 상기 회전몸체(20)의 중심부에 서로 연통되는 관통구(203, 204)가 형성될 수 있다.As shown in FIGS. 2 to 3 , through-holes 203 and 204 communicating with each other may be formed in the central portion of the rotation cam 10 and the central portion of the rotation body 20 .

상기 회전몸체(20)와 함께 상기 회전캠(10)을 회전시키기 위한 상기 구동부(미도시)를 이룰 수 있는 구동모터의 구동축은 상기 관통구(203, 204)를 순차적으로 수평관통한 상태로 상기 관통구(203, 204)에 용접고정, 볼트고정 등 다양한 방식으로 고정될 수 있다.A drive shaft of a drive motor capable of forming the drive unit (not shown) for rotating the rotary cam 10 together with the rotary body 20 passes through the through holes 203 and 204 sequentially horizontally. It can be fixed to the through-holes 203 and 204 in various ways, such as welding and fixing bolts.

도 8 내지 도 12는 회전몸체의 1회전에 따른 실린더의 피스톤로드 작동과정을 순차적으로 나타내는 일부절개정면도이다.8 to 12 are partially cut-away front views sequentially showing the operation process of the piston rod of the cylinder according to one rotation of the rotating body.

상기 회전몸체(20)의 일측방향과 타측방향에 각각 구비된 상기 실린더(40)는 물, 오일 등의 액체 또는 가스 등의 기체 등 다양한 종류로 이루어질 수 있는 유체가 내부에 저장될 수 있는 유체저장실(3)로부터 유체를 흡입하여 상기 실린더(40)의 외부방향으로 흡입한 유체를 토출할 수 있다.The cylinder 40 provided in one direction and the other direction of the rotating body 20, respectively, is a fluid storage chamber in which various types of fluids, such as liquids such as water and oil, or gases such as gas, can be stored therein. By sucking the fluid from (3), it is possible to discharge the sucked fluid toward the outside of the cylinder (40).

상기 유체저장실(3)의 하부방향에는 파이프, 호스 등 다양한 종류로 이루어질 수 있는 흡입라인(7)이 구비될 수 있다.A suction line 7 made of various types such as pipes and hoses may be provided in the lower direction of the fluid storage chamber 3 .

상기 흡입라인(7)의 일측과 타측은 상기 회전몸체(20)의 일측방향과 타측방향과 구비된 상기 실린더(40)에 각각 연결될 수 있다.One side and the other side of the suction line 7 may be respectively connected to the cylinder 40 provided with the one side direction and the other side direction of the rotating body 20 .

상기 흡입라인(7)의 일측과 타측에는 상기 흡입라인(7)의 일측과 타측을 개폐하기 위한 개폐밸브(7a)가 각각 구비될 수 있다.An opening/closing valve 7a for opening and closing one side and the other side of the suction line 7 may be provided at one side and the other side of the suction line 7, respectively.

상기 유체저장실(3)의 하부에는 상기 유체저장실(3)과 상기 흡입라인(7)을 연결하기 위한 파이프, 호스 등 다양한 종류로 이루어질 수 있는 연결라인(5)이 구비될 수 있다.A connection line 5 made of various types such as pipes and hoses for connecting the fluid storage chamber 3 and the suction line 7 may be provided at a lower portion of the fluid storage chamber 3 .

상기 연결라인(5)이 상기 유체저장실(3)과 연통되도록 상기 연결라인(5)의 상부는 상기 유체저장실(3)의 하부에 연결될 수 있다.An upper portion of the connection line 5 may be connected to a lower portion of the fluid storage chamber 3 so that the connection line 5 communicates with the fluid storage chamber 3 .

상기 연결라인(5)이 상기 흡입라인(7)과 연통되도록 상기 연결라인(5)의 하부는 상기 흡입라인(7)의 중간부에 연결될 수 있다.A lower portion of the connection line 5 may be connected to a middle portion of the suction line 7 so that the connection line 5 communicates with the suction line 7 .

상기 회전몸체(20)의 일측방향과 타측방향에 각각 구비된 상기 실린더(40)에는 상기 흡입라인(7)의 일측 및 타측과 일정간격을 유지하는 파이프, 호스 등 다양한 종류로 이루어질 수 있는 배출라인(9)이 각각 구비될 있다.The cylinder 40 provided in one direction and the other direction of the rotating body 20, respectively, has a discharge line that can be made of various types such as pipes and hoses maintaining a predetermined distance from one side and the other side of the suction line 7 . (9) may be provided respectively.

상기 배출라인(9)에는 상기 배출라인(9)을 개폐하기 위한 개폐밸브(9a)가 구비될 수 있다.The discharge line 9 may be provided with an opening/closing valve 9a for opening and closing the discharge line 9 .

도 8 내지 도 12에서 보는 바와 같이 상기 구동부(미도시)에 의해 상기 회전캠(10) 및 상기 회전몸체(20)가 1회전하는 과정 중에 상기 실린더(40)의 피스톤로드(401)의 흡입 및 배출운동이 각각 2회 발생할 수 있다.As shown in FIGS. 8 to 12 , the piston rod 401 of the cylinder 40 is sucked and The ejection movement may occur twice each.

일예로, 상기 회전캠(10) 및 상기 회전몸체(20)가 정방향으로 1회전하는 과정 중에 도 8 및 도 9에서 보는 바와 같이 상기 회전캠(10)과 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201, 202)이 1차적으로 수직으로 세워질 수 있다.For example, during the process of rotating the rotating cam 10 and the rotating body 20 in the forward direction once, as shown in FIGS. 8 and 9, the guide grooves of the rotating cam 10 and the rotating body 20 ( 201, 202) may be primarily erected vertically.

이때, 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201, 202)에 구름운동가능하게 수용된 상기 롤러부(30)와 함께 상기 실린더(40)의 피스톤로드(401)가 수직으로 세워진 상기 회전캠(10)의 오목부(12)방향으로 당겨지면서 1차흡입운동을 할 수 있고, 이로 인해 상기 유체저장실(3)의 내부에 저장된 유체가 상기 연결라인(5)과 상기 흡입라인(7)을 통해 상기 실린더(40)의 내부로 흡입될 수 있다.At this time, the rotation cam 10 in which the piston rod 401 of the cylinder 40 is vertically erected together with the roller part 30 accommodated in the guide grooves 201 and 202 of the rotation body 20 to be able to roll. ), a primary suction movement can be made while being pulled in the direction of the concave portion 12, whereby the fluid stored in the fluid storage chamber 3 flows through the connection line 5 and the suction line 7 It may be sucked into the interior of the cylinder 40 .

상기 회전캠(10) 및 상기 회전몸체(20)가 정방향으로 1회전하는 과정 중에 수직으로 1차적으로 세워진 상기 회전캠(10)과 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201. 202)이 도 10에서 보는 바와 같이 1차적으로 수평으로 눕혀질 수 있다.The rotation cam 10 and the guide groove 201. 202 of the rotation cam 10 and the rotation body 20, which are primarily erected vertically during the process of rotating the rotation cam 10 and the rotation body 20 in the forward direction, are shown in Fig. As shown in Fig. 10, it can primarily be laid horizontally.

이때, 상기 회전캠(10)의 볼록부(11)가 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201, 202)에 구름운동가능하게 수용된 상기 롤러부(30)와 함께 상기 실린더(40)의 피스톤로드(401)를 상기 회전몸체(20)에서 상기 실린더(40) 방향으로 밀게되면서 상기 피스톤로드(401)가 1차배출운동을 할 수 있고, 이로 인해 상기 실린더(40)의 내부로 흡입된 유체가 압축된 상태로 상기 배출라인(9)을 통해 상기 실린더(40)의 외부로 배출될 수 있다.At this time, the convex part 11 of the rotating cam 10 is the piston of the cylinder 40 together with the roller part 30 accommodated in the guide grooves 201 and 202 of the rotating body 20 to be able to roll. As the rod 401 is pushed in the direction of the cylinder 40 from the rotating body 20 , the piston rod 401 may perform a primary discharge motion, and thereby the fluid sucked into the cylinder 40 . may be discharged to the outside of the cylinder 40 through the discharge line 9 in a compressed state.

상기 회전캠(10) 및 상기 회전몸체(20)가 정방향으로 1회전하는 과정 중에 수평으로 1차적으로 눕혀진 상기 회전캠(10)과 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201. 202)은 도 11에서 보는 바와 같이 2차적으로 수직으로 다시 세워질 수 있다.Guide grooves 201. 202 of the rotating cam 10 and the rotating body 20, which are primarily laid horizontally during the process of rotating the rotating cam 10 and the rotating body 20 in the forward direction, are As shown in FIG. 11 , it may be secondarily erected vertically.

이때, 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201, 202)에 구름운동가능하게 수용된 상기 롤러부(30)와 함께 상기 실린더(40)의 피스톤로드(401)가 수직으로 세워진 상기 회전캠(10)의 오목부(12)방향으로 당겨지면서 2차흡입운동을 할 수 있고, 이로 인해 상기 유체저장실(3)의 내부에 저장된 유체가 상기 연결라인(5)과 상기 흡입라인(7)을 통해 상기 실린더(40)의 내부로 다시 흡입될 수 있다. At this time, the rotating cam 10 in which the piston rod 401 of the cylinder 40 is vertically erected together with the roller unit 30 accommodated in the guide grooves 201 and 202 of the rotating body 20 to be able to roll. ), a secondary suction movement can be performed while being pulled in the direction of the concave portion 12, whereby the fluid stored in the fluid storage chamber 3 flows through the connection line 5 and the suction line 7 It may be sucked back into the cylinder 40 .

상기 회전캠(10) 및 상기 회전몸체(20)가 정방향으로 1회전하는 과정 중에 수직으로 2차적으로 세워진 상기 회전캠(10)과 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201. 202)은 도 12에서 보는 바와 같이 2차적으로 수평으로 다시 눕혀질 수 있다.The guide grooves 201. 202 of the rotating cam 10 and the rotating body 20 that are secondarily erected vertically during the process of rotating the rotating cam 10 and the rotating body 20 in the forward direction are shown in Fig. As shown in Fig. 12, it can be secondarily laid back horizontally.

이때, 상기 회전캠(10)의 볼록부(11)가 상기 회전몸체(20)의 가이드홈(201, 202)에 구름운동가능하게 수용된 상기 롤러부(30)와 함께 상기 실린더(40)의 피스톤로드(401)를 상기 회전몸체(20)에서 상기 실린더(40) 방향으로 밀게되면서 상기 피스톤로드(401)가 2차배출운동을 할 수 있고, 이로 인해 상기 실린더(40)의 내부로 흡입된 유체가 압축된 상태로 상기 배출라인(9)을 통해 상기 실린더(40)의 외부로 다시 배출될 수 있다.At this time, the convex part 11 of the rotating cam 10 is the piston of the cylinder 40 together with the roller part 30 accommodated in the guide grooves 201 and 202 of the rotating body 20 to be able to roll. As the rod 401 is pushed in the direction of the cylinder 40 from the rotating body 20 , the piston rod 401 may perform a secondary discharge motion, and thereby the fluid sucked into the cylinder 40 . may be discharged back to the outside of the cylinder 40 through the discharge line 9 in a compressed state.

이와 같이 본 발명은 상기 회전캠(10) 및 회전몸체(20)의 1회전과정 중 피스톤로드(401)의 흡입 및 배출운동이 각각 2회 발생하는 2행정이므로, 진공펌프의 효율이 2배이상으로 향상될 수 있을 뿐만 아니라 상기 회전캠(10)의 무게중심이 중간이므로 상기 회전캠(10)의 회전과정 중 진동이 발생될 우려가 없는 이점이 있다. As described above, in the present invention, since the suction and discharge motions of the piston rod 401 occur twice during one rotation of the rotating cam 10 and the rotating body 20, the two-stroke, the efficiency of the vacuum pump is more than doubled. In addition to being able to be improved, since the center of gravity of the rotation cam 10 is in the middle, there is an advantage that there is no possibility of vibration occurring during the rotation process of the rotation cam 10 .

나아가, 스프링 등의 별도의 탄성부재를 사용하지 않고도 상기 피스톤로드(401)의 압축 및 팽창운동이 용이하게 발생될 수 있기 때문에 내구성 및 수명이 더욱 향상 될 수 있을 뿐만 아니라 유지보수가 간편한 이점이 있다.Furthermore, since compression and expansion movements of the piston rod 401 can be easily generated without using a separate elastic member such as a spring, durability and lifespan can be further improved, and maintenance is easy. .

10; 회전캠, 20; 회전몸체,
30; 롤러부, 40; 실린더.10; rotating cam, 20; rotating body,
30; roller unit, 40; cylinder.

Claims (7)

일측과 타측에 각각 볼록부가 형성되고, 상부와 하부에 각각 오목부가 형성되며, 구동부에 의해 회전하는 회전캠과;
상기 회전캠의 전측과 후측에 각각 형성되고, 상기 회전캠 주변 부위에 상기 회전캠의 가장자리를 따라 연장되는 가이드홈이 형성되며, 상기 회전캠과 함께 회전하는 회전몸체와;
상기 회전몸체의 가이드홈에 구름운동가능하게 수용되는 롤러부와;
상기 롤러부와 연결되는 피스톤로드가 구비되고, 상기 회전몸체의 일측방향과 타측방향에 각각 구비되며, 상기 회전캠의 회전운동과정 중 상기 회전몸체의 일측에서 타측방향으로 좌우직선이동하는 상기 피스톤로드를 통해 유체를 흡입 및 배출하는 실린더;를 포함하여 이루어지고,
상기 회전캠은 후측회전캠과;
상기 후측회전캠의 전측에 결합되는 전측회전캠;을 포함하여 구성되며,
상기 회전몸체는 상기 후측회전캠의 후측에 형성되는 후측회전몸체와;
상기 후측회전몸체의 전측에 위치하도록 후측에 상기 후측회전캠과 결합되는 상기 전측회전캠이 형성되는 전측회전몸체;를 포함하여 구성되고,
상기 후측회전캠과 상기 후측회전몸체에 서로 연통되는 나사공이 일정간격으로 각각 형성되며,
상기 전측회전캠과 상기 전측회전몸체에 서로 연통되는 나사공이 일정간격으로 각각 형성되고,
상기 후측회전캠의 나사공 주변의 후측회전캠 부위와 상기 전측회전캠의 나사공 주변의 전측회전캠 부위에 각각 고정홈이 일정간격으로 형성되고,
상기 후측회전캠의 고정홈 및 상기 전측회전캠의 고정홈에 각각 후측과 전측이 삽입고정되는 고정핀이 구비되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
a rotary cam having convex portions formed on one side and the other side, respectively, concave portions formed on the upper and lower portions, respectively, and rotating by the driving unit;
a rotating body formed on the front and rear sides of the rotating cam, a guide groove extending along an edge of the rotating cam in a region around the rotating cam, and rotating together with the rotating cam;
a roller portion operably accommodated in the guide groove of the rotating body;
The piston rod is provided with a piston rod connected to the roller unit, respectively provided in one direction and the other direction of the rotating body, and the piston rod moves in a straight line from one side of the rotating body to the other side during the rotational motion of the rotating cam. Cylinder for sucking and discharging the fluid through;
The rotation cam includes a rear rotation cam;
and a front rotation cam coupled to the front side of the rear rotation cam.
The rotating body includes a rear rotating body formed on the rear side of the rear rotating cam;
and a front rotating body in which the front rotating cam coupled to the rear rotating cam is formed on the rear side so as to be located on the front side of the rear rotating body,
Screw holes communicating with each other in the rear rotating cam and the rear rotating body are formed at regular intervals, respectively,
Screw holes communicating with each other in the front rotating cam and the front rotating body are formed at regular intervals, respectively,
Fixing grooves are formed at regular intervals in a portion of the rear rotation cam around the screw hole of the rear rotation cam and in a portion of the front rotation cam around the screw hole of the front rotation cam, respectively,
The vacuum pump, characterized in that the fixing pins of the rear and front sides are inserted and fixed in the fixing groove of the rear rotation cam and the fixing groove of the front rotation cam, respectively.
 제 1항에 있어서,
상기 후측회전캠 주변의 상기 후측회전몸체의 전측부위 및 상기 전측회전캠 주변의 상기 전측회전몸체의 후측부위에 상기 후측회전캠의 가장자리 및 상기 전측회전캠의 가장자리를 따라 연장되는 상기 가이드홈이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
The method of claim 1,
The guide grooves extending along the edge of the rear rotation cam and the edge of the front rotation cam are provided on the front portion of the rear rotation body around the rear rotation cam and on the rear portion of the front rotation body around the front rotation cam. A vacuum pump, characterized in that formed.
 제 2항에 있어서,
상기 후측회전캠에 상기 전측회전캠을 결합시키는 결합부;가 구비되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
3. The method of claim 2,
and a coupling part for coupling the front rotation cam to the rear rotation cam.
 제 3항에 있어서,
상기 결합부는 상기 전측회전몸체의 나사공과 상기 전측회전캠의 나사공 및 상기 후측회전캠의 나사공과 상기 후측회전몸체의 나사공을 순차적으로 관통한 상태로 나사결합되는 볼트부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
4. The method of claim 3,
The coupling part comprises a bolt member screwed in a state in which the screw hole of the front rotating body, the screw hole of the front rotating cam, the screw hole of the rear rotating cam, and the screw hole of the rear rotating body are sequentially passed through. vacuum pump.
 제 2항에 있어서,
상기 후측회전캠의 전측에 상기 후측회전캠의 전측외부방향으로 돌출되는 고정턱이 형성되고,
상기 전측회전캠의 후측에 상기 고정턱이 삽입고정되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.
3. The method of claim 2,
A fixing jaw protruding in the front-outward direction of the rear rotation cam is formed on the front side of the rear rotation cam,
Vacuum pump, characterized in that an insertion groove into which the fixing jaw is inserted and fixed is formed on the rear side of the front rotation cam.
 제 2항에 있어서,
상기 롤러부는 상기 실린더의 피스톤로드의 전측과 후측에 축결합되어 상기 전측회전몸체의 가이드홈 및 상기 후측회전몸체의 가이드홈에 구름운동가능하게 수용되는 전측롤러 및 후측롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공펌프.3. The method of claim 2,
The roller part is shaft-coupled to the front and rear sides of the piston rod of the cylinder and includes a front roller and a rear roller which are movably accommodated in the guide groove of the front rotating body and the guide groove of the rear rotating body. vacuum pump with 삭제delete
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