KR102418764B1 - Rack cassette for etching of glass - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시 예는, 상측이 개방된 케이싱;과, 상기 케이싱의 내부에 장착되는 하나 이상의 글라스 가이드부;를 포함하며, 상기 글라스 가이드부는, 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 토션 플레이트;와, 상기 각각의 토션 플레이트에서 상기 케이싱 방향으로 연장되어 상기 케이싱에 안착되는 한 쌍의 구동 샤프트;와, 상기 한 쌍의 토션 플레이트를 연결하는 복수의 토션바;와, 복수의 글라스를 나란하게 가이드하기 위한 복수의 가이드 플레이트;와, 상기 가이드 플레이트와 상기 토션바를 연결하여 상기 가이드 플레이트를 지지하기 위한 복수의 지지 플레이트;를 포함하는, 글라스 식각용 랙 카세트를 제공한다. An embodiment of the present invention includes a casing with an open upper side; and at least one glass guide part mounted on the inside of the casing, wherein the glass guide part includes a pair of torsion plates disposed to face each other; and , a pair of drive shafts extending in the direction of the casing from each torsion plate and seated on the casing; and a plurality of torsion bars connecting the pair of torsion plates; and guiding a plurality of glasses side by side A plurality of guide plates for; and a plurality of support plates for supporting the guide plate by connecting the guide plate and the torsion bar.

Description

글라스 식각용 랙 카세트{RACK CASSETTE FOR ETCHING OF GLASS}Rack Cassette for Glass Etching

본 발명은 글라스 식각용 랙 카세트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 최소한의 점접촉 형태로 복수의 글라스를 나란하게 가이드할 수 있으며, 식각 시 글라스의 회전을 통해 균일한 식각이 가능하도록 하는 글라스 식각용 랙 카세트에 관한 것이다. The present invention relates to a rack cassette for glass etching, and more particularly, for glass etching that can guide a plurality of glasses side by side in a minimal point contact form, and enables uniform etching through rotation of the glass during etching It is about a rack cassette.

일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display), PDP, OLED(Organic Light Emitting Diode) 등과 같은 평판 디스플레이는, 그 구성요소로서 실리콘 산화물이 주성분으로 이루어진 유리기판을 포함한다. In general, a flat panel display such as a liquid crystal display (LCD), a PDP, or an organic light emitting diode (OLED) includes a glass substrate mainly composed of silicon oxide as a component thereof.

유리 기판은 평판 디스플레이에서 차지하는 중량이 가장 크기 때문에, 평판 디스플레이의 경량화 및 박막화의 일환으로서 유리 기판의 중량을 줄이는 연구가 활발히 진행되고 있다. 유리 기판의 중량을 줄이는 방법의 대표적인 예는 유리 기판의 두께를 얇게 만드는 박판화이다. 유리 기판의 박판화는 식각 공정을 수행한 후, 표면이 매끄러워야 한다. 즉, 유리 기판의 박판화는 균일도가 중요하며, 균일도가 확보되지 못하면 평판 디스플레이의 화질에 결함이 발생할 수 있다.Since the glass substrate occupies the largest weight in the flat panel display, research to reduce the weight of the glass substrate is actively conducted as part of the weight reduction and thinning of the flat panel display. A representative example of a method for reducing the weight of a glass substrate is thinning to make the thickness of the glass substrate thin. After performing the etching process for thinning the glass substrate, the surface should be smooth. That is, uniformity is important for thinning a glass substrate, and if the uniformity is not secured, a defect may occur in the image quality of the flat panel display.

또한, 현재에는 폴더블(Foldable) 스마트폰에 초박막 강화 유리(Ultra Thin Glass)인 폴더블 윈도우 글라스(Foldable Window Glass)가 장착되고 있다.In addition, a foldable window glass, which is an ultra-thin glass, is currently being installed in a foldable smart phone.

이와 같이, 최근에는 초슬림 패널이 요구됨에 따라 유리기판의 슬리밍 공정을 위해 생산성이 우수한 화학적 습식 에칭법이 많이 사용된다. 화학적 습식 에칭법에는 유리기판을 에칭액에 담근 상태에서 에어 버블을 형성시키는 디핑법, 유리기판에 에칭액을 분사시키는 스프레이법, 유리기판을 에칭액에 담근 상태에서 에칭액의 흐름을 강력하게 발생시키는 젯플로우법이 있다. As such, in recent years, as ultra-slim panels are required, a chemical wet etching method with excellent productivity is widely used for a slimming process of a glass substrate. The chemical wet etching method includes a dipping method that forms air bubbles in a state in which a glass substrate is immersed in an etching solution, a spray method that sprays the etching solution on the glass substrate, and a jet flow method that generates a strong flow of the etching solution while the glass substrate is immersed in the etching solution. There is this.

종래에는, 글라스를 슬림화하기 위해 여러 장의 글라스를 적층시키되, 글라스와 글라스 사이에는 스페이서로서 레진이 도포되었다. 이후, 적층된 글라스를 CNC를 이용하여 커팅하고, 커팅면을 에칭한 후에 도포된 레진을 박리시켜야 하므로 수율이 떨어지는 문제가 있었다. Conventionally, in order to slim the glass, a plurality of sheets of glass are stacked, and a resin is applied as a spacer between the glass and the glass. Thereafter, the laminated glass was cut using CNC, and the applied resin had to be peeled off after the cutting surface was etched, so there was a problem in that the yield was lowered.

대한민국 등록특허공보 제10-2022450호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2022450

본 발명은 최소한의 점접촉 형태로 복수의 글라스를 나란하게 가이드할 수 있으며, 식각 시 글라스의 회전을 통해 균일한 식각이 가능하도록 하는 글라스 식각용 랙 카세트를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a rack cassette for glass etching that can guide a plurality of glasses side by side in the form of minimal point contact, and enables uniform etching through rotation of the glass during etching.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned can be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the description below. will be.

상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시 예는, 상측이 개방된 케이싱;과, 상기 케이싱의 내부에 장착되는 하나 이상의 글라스 가이드부;를 포함하며, 상기 글라스 가이드부는, 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 토션 플레이트;와, 상기 각각의 토션 플레이트에서 상기 케이싱 방향으로 연장되어 상기 케이싱에 안착되는 한 쌍의 구동 샤프트;와, 상기 한 쌍의 토션 플레이트를 연결하는 복수의 토션바;와, 복수의 글라스를 나란하게 가이드하기 위한 복수의 가이드 플레이트;와, 상기 가이드 플레이트와 상기 토션바를 연결하여 상기 가이드 플레이트를 지지하기 위한 복수의 지지 플레이트;를 포함하는, 글라스 식각용 랙 카세트를 제공한다. An embodiment of the present invention for solving the above problems includes a casing with an open upper side; and one or more glass guide parts mounted inside the casing, wherein the glass guide parts are arranged to face each other A pair of torsion plates; A pair of drive shafts extending from the respective torsion plates in the direction of the casing to be seated on the casing; and a plurality of torsion bars connecting the pair of torsion plates; A plurality of guide plates for guiding the glass side by side; and a plurality of support plates for supporting the guide plate by connecting the guide plate and the torsion bar.

또한, 상기 구동 샤프트에 설치되는 피니언 기어;를 더 포함할 수 있다. In addition, it may further include a; pinion gear installed on the drive shaft.

또한, 상기 각각의 가이드 플레이트는, 상기 복수의 글라스가 나란하게 배치되는 방향을 따라 연장될 수 있다. In addition, each of the guide plates may extend along a direction in which the plurality of glasses are arranged side by side.

또한, 상기 각각의 가이드 플레이트에는, 상기 복수의 글라스 각각과 점접촉하기 위한 복수의 가이드 홈이 형성될 수 있다. In addition, a plurality of guide grooves for point contact with each of the plurality of glasses may be formed in each of the guide plates.

또한, 상기 복수의 가이드 플레이트는, 상기 글라스의 각 변당 적어도 하나씩 배치될 수 있다. In addition, the plurality of guide plates may be arranged at least one for each side of the glass.

또한, 상기 글라스가 직사각형 형상인 경우, 상기 복수의 가이드 플레이트는, 상기 글라스의 짧은 변당 한개씩, 상기 글라스의 긴 변당 두개씩 배치될 수 있다. In addition, when the glass has a rectangular shape, the plurality of guide plates may be disposed, one for each short side of the glass, and two for each long side of the glass.

또한, 상기 케이싱의 내부에는 2개의 글라스 가이드부가 나란하게 장착될 수 있다. In addition, two glass guide units may be mounted side by side inside the casing.

본 발명에 따르면, 최소한의 점접촉 형태로 복수의 글라스를 나란하게 가이드할 수 있으므로, 종래 복수의 글라스를 적층시키는 적층 공정을 없앰으로써 수율이 좋은 장점이 있다. According to the present invention, since a plurality of glasses can be guided side by side in the form of minimal point contact, there is an advantage in good yield by eliminating the conventional lamination process of stacking a plurality of glasses.

또한, 복수의 글라스를 일정 간격으로 정렬시킬 수 있으며, 식각 시 글라스들을 회전시킴으로써, 균일한 식각이 가능하도록 하며, 복수의 글라스를 한번에 에칭할 때 글라스들의 두께를 일정하게 제조할 수 있다. In addition, a plurality of glasses can be aligned at regular intervals, and by rotating the glasses during etching, uniform etching is possible, and when the plurality of glasses are etched at a time, the thickness of the glasses can be uniformly manufactured.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 식각용 랙 카세트를 도시한 사시도,
도 2는 도 1에서 글라스 가이드부가 케이싱에 장착되기 전 상태를 도시한 사시도,
도 3은 도 1에서 글라스 가이드부가 일정 각도 회전한 상태를 도시한 사시도,
도 4는 도 3에서 글라스 가이드부가 일정 각도 더 회전한 상태를 도시한 사시도,
도 5는 도 1의 글라스 식각용 랙 카세트가 내부에 배치된 식각 챔버를 도시한 사시도이다. 1 is a perspective view showing a rack cassette for glass etching according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a perspective view showing a state before the glass guide unit is mounted on the casing in Figure 1;
3 is a perspective view showing a state in which the glass guide part is rotated at a certain angle in FIG. 1;
4 is a perspective view showing a state in which the glass guide part is further rotated by a predetermined angle in FIG. 3;
5 is a perspective view illustrating an etching chamber in which the rack cassette for etching the glass of FIG. 1 is disposed therein.

이하, 본 발명의 글라스 식각용 랙 카세트에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the rack cassette for glass etching of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으며, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하다.In addition, the terms to be described below are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of the user or operator, and the following embodiments do not limit the scope of the present invention, but rather the scope of the present invention. It is merely exemplary of the elements presented in the claims.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다. In order to clearly explain the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar components throughout the specification. Throughout the specification, when a part "includes" a certain element, it means that other elements may be further included, rather than excluding other elements, unless otherwise stated.

도 1 내지 4를 참고하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 식각용 랙 카세트(1)에 대하여 설명하도록 한다. 1 to 4 will be described with respect to the rack cassette (1) for glass etching according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시 예에 따른 글라스 식각용 랙 카세트(1)는 케이싱(100) 및 상기 케이싱(100)의 내부에 장착되는 하나 이상의 글라스 가이드부(200)를 포함한다. 본 실시 예에서, 상기 케이싱(100)의 내부에는 2개의 글라스 가이드부(200)가 나란하게 장착되나, 이에 한정되는 것은 아니다. The rack cassette 1 for glass etching according to an embodiment of the present invention includes a casing 100 and one or more glass guide parts 200 mounted inside the casing 100 . In the present embodiment, two glass guide parts 200 are mounted side by side in the inside of the casing 100 , but the present invention is not limited thereto.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 케이싱(100)은 상측이 개방되어 상기 글라스 가이드부(200)가 상기 케이싱(100)의 상측을 통해 장착되거나 탈거될 수 있다. 상기 케이싱(100)의 측면과 하부에 개구가 형성될 수도 있음은 물론이다. As shown in FIG. 2 , the upper side of the casing 100 is opened so that the glass guide part 200 can be mounted or detached through the upper side of the casing 100 . Of course, openings may be formed in the side and lower portions of the casing 100 .

상기 글라스 가이드부(200)는 복수의 글라스(10)를 가이드하기 위한 것으로, 상기 케이싱(100)의 내부에서 회전 가능하도록 장착되어 식각 시 글라스(10)의 회전을 가능하도록 한다. 이하, 상기 글라스 가이드부(200)의 구조를 상세히 살펴보도록 한다. The glass guide part 200 is for guiding the plurality of glasses 10 , and is rotatably mounted inside the casing 100 to enable rotation of the glass 10 during etching. Hereinafter, the structure of the glass guide part 200 will be described in detail.

상기 글라스 가이드부(200)는, 서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 토션 플레이트(210)와, 상기 각각의 토션 플레이트(210)에서 상기 케이싱(100) 방향으로 연장되어 상기 케이싱(100)에 안착되는 한 쌍의 구동 샤프트(220)와, 상기 한 쌍의 토션 플레이트(210)를 연결하는 복수의 토션바(230)와, 복수의 글라스를 나란하게 가이드하기 위한 복수의 가이드 플레이트(240)와, 상기 가이드 플레이트(240)와 상기 토션바(230)를 연결하여 상기 가이드 플레이트(240)를 지지하기 위한 복수의 지지 플레이트(250)를 포함한다. The glass guide part 200 includes a pair of torsion plates 210 disposed to face each other, and extending from each torsion plate 210 in the direction of the casing 100 to be seated on the casing 100 . A pair of drive shafts 220, a plurality of torsion bars 230 connecting the pair of torsion plates 210, a plurality of guide plates 240 for guiding a plurality of glasses in parallel, and the A plurality of support plates 250 for supporting the guide plate 240 by connecting the guide plate 240 and the torsion bar 230 are included.

상기 한 쌍의 토션 플레이트(210)는 직사각형의 형상으로 이루어지며, 4개의 토션바(230)가 상기 한 쌍의 토션 플레이트(210)의 각 모서리를 연결할 수 있다. The pair of torsion plates 210 may have a rectangular shape, and four torsion bars 230 may connect respective corners of the pair of torsion plates 210 .

상기 한 쌍의 구동 샤프트(220)는 각 토션 플레이트(210)의 중심에서 연장될 수 있으며, 상기 케이싱(100)에는 상기 구동 샤프트(220)가 안착되기 위한 안착홈(120)이 형성될 수 있다. The pair of drive shafts 220 may extend from the center of each torsion plate 210 , and a seating groove 120 for seating the drive shaft 220 may be formed in the casing 100 . .

상기 한 쌍의 토션 플레이트(210) 사이에는 복수의 글라스(10)가 배치되되, 상기 복수의 글라스(10)를 나란하게 가이드하기 위해 복수의 가이드 플레이트(240)가 설치된다. 상기 각각의 가이드 플레이트(240)는 상기 복수의 글라스(10)가 나란하게 배치되는 방향을 따라 연장되어 복수의 글라스(10)를 동시에 가이드할 수 있다. A plurality of glasses 10 are disposed between the pair of torsion plates 210 , and a plurality of guide plates 240 are installed to guide the plurality of glasses 10 in parallel. Each of the guide plates 240 may extend along a direction in which the plurality of glasses 10 are arranged in parallel to guide the plurality of glasses 10 at the same time.

상기 복수의 가이드 플레이트(240)는 각각의 가이드 플레이트(240)와 상기 토션바(230)를 연결하는 복수의 지지 플레이트(250)에 의해 지지될 수 있다. 본 실시 예에서 상기 각각의 지지 플레이트(250)는 하나의 토션바(230)로부터 일측으로 연장되어 하나의 가이드 플레이트(240)를 연결하는 암(arm) 형태로 이루어지고 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 지지 플레이트가 인접한 토션바를 연결하는 바(bar) 형태로 이루어지고, 상기 가이드 플레이트가 상기 지지 플레이트의 중간에 설치될 수도 있다. The plurality of guide plates 240 may be supported by a plurality of support plates 250 connecting each of the guide plates 240 and the torsion bar 230 . In the present embodiment, each of the support plates 250 extends from one torsion bar 230 to one side and is formed in the form of an arm that connects one guide plate 240 . However, the present invention is not limited thereto, and the support plate may be formed in the form of a bar connecting adjacent torsion bars, and the guide plate may be installed in the middle of the support plate.

상기 복수의 가이드 플레이트(240)는, 상기 복수의 글라스(10)를 안정적으로 가이드할 수 있도록, 글라스(10)의 각 변당 적어도 하나씩 배치되는 것이 바람직하다. 본 실시 예에서는, 상기 글라스(10)가 직사각형 형상으로 이루어지고 있으며, 상기 복수의 가이드 플레이트(240)는 상기 글라스(10)의 짧은 변당 한개씩, 상기 글라스(10)의 긴 변당 두개씩 배치되고 있다. The plurality of guide plates 240 are preferably disposed at least one on each side of the glass 10 so as to stably guide the plurality of glasses 10 . In this embodiment, the glass 10 is formed in a rectangular shape, and the plurality of guide plates 240 are arranged one for each short side of the glass 10 and two for each long side of the glass 10 .

이때, 상기 각각의 가이드 플레이트(240)에는, 상기 복수의 글라스(10) 각각과 점접촉하기 위한 복수의 가이드 홈(242)이 형성될 수 있다. 본 실시 예에서는, 4개의 글라스(10)가 일정 간격으로 나란하게 가이드되고 있으므로, 상기 각각의 가이드 플레이트(240)에는 4개의 가이드 홈(242)이 일정한 간격으로 형성되고 있다. In this case, a plurality of guide grooves 242 for point contact with each of the plurality of glasses 10 may be formed in each of the guide plates 240 . In this embodiment, since the four glasses 10 are guided side by side at regular intervals, four guide grooves 242 are formed at regular intervals in each of the guide plates 240 .

이하, 도 5를 참고하여, 상기 글라스 식각용 랙 카세트(1)가 식각 챔버(1000)의 내부에 배치되어 식각이 이루어지는 글라스 식각 시스템에 관하여 살펴보도록 한다. Hereinafter, with reference to FIG. 5 , the glass etching system in which the rack cassette 1 for glass etching is disposed inside the etching chamber 1000 to be etched will be described.

상기 식각 챔버(1000)의 상측에는 식각액을 분사하기 위한 분사부(1200)가 구비된다. 본 실시 예에서의 식각 방식은 Top Spray(Flow) 방식으로, 이는 식각액으로서 불산 및 혼산물(황산, DI)을 수직 분사하여 식각하는 방식이다. 상기 분사부(1200)에서 분사되는 입자의 형태는 미스트(mist)이며, 입자의 크기, 양, 시간은 테스트를 통해 결정될 수 있다. An injection unit 1200 for injecting an etchant is provided above the etch chamber 1000 . The etching method in this embodiment is a Top Spray (Flow) method, which is a method of etching by vertically spraying hydrofluoric acid and mixed products (sulfuric acid, DI) as an etchant. The shape of the particles sprayed from the injection unit 1200 is mist, and the size, amount, and time of the particles may be determined through a test.

또한, 상기 식각 챔버(1000)의 하측에는 상기 랙 카세트(1)를 식각 챔버의 좌우로 이동시키기 위한 롤러 컨베이어(roller conveyor; 1400)가 설치된다. 이에 따라, 글라스의 식각 공정 중 상기 랙 카세트(1)가 식각 챔버(1000)의 좌우로 진동(oscillation)될 수 있으며, 식각 공정이 효과적으로 이루어질 수 있다. In addition, a roller conveyor 1400 for moving the rack cassette 1 to the left and right of the etching chamber is installed under the etching chamber 1000 . Accordingly, during the glass etching process, the rack cassette 1 may be oscillated to the left and right of the etching chamber 1000, and the etching process may be performed effectively.

다음으로, 상기 랙 카세트(1)의 글라스 가이드부(200)가 회전하기 위한 구조를 살펴보도록 한다. Next, let's look at the structure for rotating the glass guide part 200 of the rack cassette (1).

상기 랙 카세트(1)는 상기 구동 샤프트(220)에 설치되는 피니언 기어(260)를 포함하며, 상기 식각 챔버(1000)는 상기 피니언 기어(260)와 맞물리는 랙 기어(1600)를 포함할 수 있다. 이와 같이, 랙과 피니언 구조를 통해 직선 운동을 회전 운동으로 변환함에 따라, 상기 글라스 가이드부(200)를 회전시킬 수 있다. 상기 글라스 가이드부(200)의 회전에 따라 상기 글라스(10)가 함께 회전하게 되며, 글라스의 식각 공정 중 글라스의 정, 역회전을 통해 식각이 균일하게(uniformity) 이루어지도록 한다. The rack cassette 1 may include a pinion gear 260 installed on the drive shaft 220 , and the etching chamber 1000 may include a rack gear 1600 meshing with the pinion gear 260 . have. In this way, as the linear motion is converted into a rotational motion through the rack and pinion structure, the glass guide unit 200 can be rotated. As the glass guide part 200 rotates, the glass 10 rotates together, and during the etching process of the glass, the glass is etched uniformly through forward and reverse rotation.

즉, 상기 분사부(1200)에 의해 식각액이 분사되며 글라스(10)의 식각이 이루어질 때, 상기 랙 카세트(1)가 상기 롤러 컨베이어(1400)에 의해 식각 챔버(1000)의 좌우로 반복적으로 이동될 수 있다. 이때, 상기 랙 카세트(1)가 식각 챔버(1000)의 오른쪽으로 이동할 경우에는 상기 글라스(10)가 정회전하고, 상기 랙 카세트(1)가 식각 챔버(1000)의 왼쪽으로 이동할 경우에는 상기 글라스(10)가 역회전할 수 있는 것이다. That is, when the etchant is sprayed by the injection unit 1200 and the glass 10 is etched, the rack cassette 1 is repeatedly moved to the left and right of the etching chamber 1000 by the roller conveyor 1400 . can be At this time, when the rack cassette 1 moves to the right of the etching chamber 1000, the glass 10 rotates forward, and when the rack cassette 1 moves to the left of the etching chamber 1000, the glass ( 10) can be reversed.

종래에는 원장 글라스의 식각을 진행한 후 컷팅이 이루어졌으나, 본 발명에서는 원장 글라스를 셀 글라스로 컷팅한 후 셀 글라스를 랙 카세트에 장착함에 따라 식각 공정을 진행할 수 있다. 이를 통해 공정 후에는, 두께 35um의 박막 글라스로 슬림화될 수 있다. Conventionally, the cutting was performed after etching the ledger glass, but in the present invention, the ledger glass is cut into the cell glass and then the etching process can be performed as the cell glass is mounted on the rack cassette. After the process through this, it can be slimmed down to a thin glass with a thickness of 35um.

본 발명에 따르면, 상기 랙 카세트(1)가 최소한의 점접촉 형태로 복수의 글라스(10)를 나란하게 가이드할 수 있으므로, 종래 복수의 글라스를 적층시키는 적층 공정을 없앰으로써 수율이 좋은 장점이 있다. According to the present invention, since the rack cassette 1 can guide the plurality of glasses 10 side by side in the form of minimal point contact, there is an advantage in good yield by eliminating the conventional lamination process of stacking a plurality of glasses .

또한, 복수의 글라스(10)를 일정 간격으로 정렬시킬 수 있으며, 식각 시 글라스들을 회전시킴으로써, 균일한 식각이 가능하도록 하며, 복수의 글라스를 한번에 에칭할 때 글라스들의 두께를 일정하게 제조할 수 있다. In addition, the plurality of glasses 10 can be aligned at regular intervals, and by rotating the glasses during etching, uniform etching is possible, and when the plurality of glasses are etched at a time, the thickness of the glasses can be uniformly manufactured. .

본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 설명에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능하며, 그와 같은 변형은 본 발명의 보호 범위 내에 있게 된다. The present invention is not limited to the specific embodiments and descriptions described above, and various modifications can be made by anyone with ordinary skill in the art to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. and such modifications shall fall within the protection scope of the present invention.

1: 랙 카세트 10: 글라스
100: 케이싱 120: 안착홈
200: 글라스 가이드부 210: 토션 플레이트
220: 구동 샤프트 230: 토션바
240: 가이드 플레이트 242: 가이드홈
250: 지지 플레이트 260: 피니언 기어
1000: 식각 챔버 1200: 분사부
1400: 롤러 컨베이어 1600: 랙 기어 1: rack cassette 10: glass
100: casing 120: seating groove
200: glass guide part 210: torsion plate
220: drive shaft 230: torsion bar
240: guide plate 242: guide groove
250: support plate 260: pinion gear
1000: etching chamber 1200: injection unit
1400: roller conveyor 1600: rack gear

Claims (4)

상측이 개방된 케이싱;
상기 케이싱의 내부에 장착되는 하나 이상의 글라스 가이드부;를 포함하며,
상기 글라스 가이드부는,
서로 마주보도록 배치되는 한 쌍의 토션 플레이트,
상기 각각의 토션 플레이트에서 상기 케이싱 방향으로 연장되어 상기 케이싱에 안착되는 한 쌍의 구동 샤프트,
상기 한 쌍의 토션 플레이트를 연결하는 복수의 토션바,
복수의 글라스를 나란하게 가이드하기 위한 복수의 가이드 플레이트,
상기 가이드 플레이트와 상기 토션바를 연결하여 상기 가이드 플레이트를 지지하기 위한 복수의 지지 플레이트를 포함하고,
상기 구동 샤프트에 설치되는 피니언 기어를 더 포함하며,
상기 각각의 가이드 플레이트는, 상기 복수의 글라스가 나란하게 배치되는 방향을 따라 연장되고,
상기 각각의 가이드 플레이트에는, 상기 복수의 글라스 각각과 점접촉하기 위한 복수의 가이드 홈이 형성되고,
상기 복수의 가이드 플레이트는, 상기 글라스의 각 변당 적어도 하나씩 배치되며,
상기 글라스가 직사각형 형상인 경우, 상기 복수의 가이드 플레이트는, 상기 글라스의 짧은 변당 한개씩, 상기 글라스의 긴 변당 두개씩 배치되고,
상기 케이싱의 내부에는 2개의 글라스 가이드부가 나란하게 장착되며,
상기 글라스 가이드부가 상기 케이싱의 상측을 통해 장착되거나 탈거되고,
상기 케이싱의 측면과 하부에 개구가 형성되며,
한 쌍의 상기 토션 플레이트는 직사각형의 형상으로 이루어지고,
4개의 토션바가 한 쌍의 상기 토션 플레이트의 각 모서리를 연결하며,
상기 케이싱에는 상기 구동 샤프트가 안착되기 위한 안착홈이 형성되고,
각각의 상기 지지 플레이트는 하나의 토션바로부터 일측으로 연장되어 하나의 가이드 플레이트를 연결하는 암(arm) 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 글라스 식각용 랙 카세트.
a casing with an open upper side;
Including; at least one glass guide part mounted on the inside of the casing;
The glass guide part,
A pair of torsion plates disposed to face each other,
A pair of drive shafts extending in the direction of the casing from each torsion plate and seated on the casing;
a plurality of torsion bars connecting the pair of torsion plates;
A plurality of guide plates for guiding a plurality of glasses side by side,
A plurality of support plates for supporting the guide plate by connecting the guide plate and the torsion bar,
Further comprising a pinion gear installed on the drive shaft,
Each of the guide plates extends along a direction in which the plurality of glasses are arranged side by side,
A plurality of guide grooves for point contact with each of the plurality of glasses are formed in each of the guide plates,
The plurality of guide plates are arranged at least one for each side of the glass,
When the glass has a rectangular shape, the plurality of guide plates are arranged, one for each short side of the glass, and two for each long side of the glass,
Two glass guide parts are mounted side by side inside the casing,
The glass guide part is mounted or removed through the upper side of the casing,
Openings are formed in the side and lower portions of the casing,
A pair of the torsion plates are formed in a rectangular shape,
Four torsion bars connect each edge of the pair of torsion plates,
A seating groove for seating the drive shaft is formed in the casing,
Each of the support plates is extended from one torsion bar to one side to form an arm that connects one guide plate to a glass etching rack cassette.
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