KR102404787B1 - FMM(Fine-Metal Mask) HANDLING JIG FOR PATTERNING - Google Patents

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KR102404787B1
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이지훈
금병훈
변운길
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이알케이(주)
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    • H01L51/0011
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H01L51/56

Abstract

FMM(Fine-Metal Mask)를 고정할 수 있는 지그가 개시된다.
본 발명인 지그는 자력을 형성하는 고정부를 포함하여서 FMM(Fine-Metal Mask)을 자력을 통하여 흡착하여 고정할 수 있다.
따라서 본 발명은 FMM(Fine-Metal Mask)을 용이하게 핸들링할 수 있다.
Disclosed is a jig capable of fixing a Fine-Metal Mask (FMM).
The jig of the present invention includes a fixing part that forms a magnetic force, and can adsorb and fix the FMM (Fine-Metal Mask) through magnetic force.
Accordingly, the present invention can easily handle a fine-metal mask (FMM).

Description

패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그{FMM(Fine-Metal Mask) HANDLING JIG FOR PATTERNING}FMM (Fine-Metal Mask) handling jig for pattern formation {FMM (Fine-Metal Mask) HANDLING JIG FOR PATTERNING}

본 발명은 FMM(Fine-Metal Mask)을 용이하게 핸들링 할 수 있는 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a jig capable of easily handling a fine-metal mask (FMM).

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 표시장치에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display: FED), 유기발광 표시장치(Organic Light Emitting Display Device) 등이 있다.Recently, various display devices capable of reducing weight and volume, which are disadvantages of a cathode ray tube, have been developed. Such display devices include a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), an organic light emitting display device, etc. There is this.

유기발광 표시장치는 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광 효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 또한, 플라스틱과 같은 유연한 기판 상에 소자를 형성할 수 있어 플렉서블한 표시장치를 구현할 수 있다.The organic light emitting display device is a self-luminous device that emits light by itself, and has advantages of fast response speed, luminous efficiency, luminance and viewing angle. In addition, since the device can be formed on a flexible substrate such as plastic, a flexible display device can be realized.

최근에는 대면적의 고해상도 유기발광 표시장치가 요구됨에 따라 단일 패널에 다수의 서브 픽셀이 포함된다. 일반적으로, 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 서브 픽셀 패터닝(patterning)을 위해 마스크를 이용하기 때문에, 대면적의 표시장치를 구현하기 위해서는 이와 대응되는 대면적의 FMM(Fine-Metal Mask)이 필요하다.Recently, as a large-area, high-resolution organic light emitting display device is required, a plurality of sub-pixels are included in a single panel. In general, since a mask is used for patterning the red (R), green (G), and blue (B) sub-pixels, in order to implement a large-area display device, a corresponding large-area fine-pixel (FMM) is used. Metal Mask) is required.

이처럼 픽셀 패터닝을 위하여 FMM을 활용하는바, FMM에 미세한 패턴을 형성하는 것이 우선된다. 그러나 현재에는 이것이 매우 어려운 기술로 인식되고 있는데 이는 FMM을 다루기 어렵기 때문이다.As such, since the FMM is used for pixel patterning, it is preferred to form a fine pattern in the FMM. However, it is now recognized as a very difficult technique because FMM is difficult to deal with.

FMM은 명칭에서 알 수 있듯이 매우 얇은 두께를 가진다. 그러기에 FMM은 고정이 쉽지 않으며, 아주 작은 힘에도 접히거나 손상이 되는 등 다양한 문제가 발생되고 있다. 그러기에 FMM에 패턴을 형성하기 위하여 가장 중요한 기술은 FMM을 안정적으로 고정하고, 필요에 따라 FMM을 움직일 수 있는 기술이다.FMM, as the name suggests, has a very thin thickness. Therefore, it is not easy to fix the FMM, and various problems such as folding or damage even with a very small force are occurring. Therefore, the most important technology to form a pattern on the FMM is to stably fix the FMM and move the FMM as needed.

대한민국 공개특허 공개번호 "10-2018-0071036"Republic of Korea Patent Publication No. "10-2018-0071036"

일 실시예에 의한 본 발명은 FMM을 안정적으로 고정하고, 움직일 수 있어서, FMM을 용이하게 핸들링 할 수 있는 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그를 제공하는 데 목적이 있다.An object of the present invention according to one embodiment is to provide a FMM (Fine-Metal Mask) handling jig for pattern formation that can stably fix and move the FMM, and can easily handle the FMM.

일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그는 마스크가 배치되는 베이스부 및 상기 베이스부의 일측에 위치되어 자력을 인가하여 상기 마스크가 고정되도록 하는 고정부를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation includes a base part on which a mask is disposed, and a fixing part positioned at one side of the base part to apply a magnetic force to fix the mask.

상기 고정부는 축을 기준으로 회전될 수 있는 자성컨트롤체와, 상기 자성컨트롤체의 일측에 배치된 자성바를 포함한다.The fixing unit includes a magnetic control body rotatable about an axis, and a magnetic bar disposed on one side of the magnetic control body.

상기 자성컨트롤체는 일측을 향하여 함몰된 설치홈을 포함하며, 상기 자성바는 상기 설치홈에 배치되는 것을 특징으로 한다.The magnetic control body includes an installation groove recessed toward one side, and the magnetic bar is disposed in the installation groove.

상기 베이스부의 일측에 위치되며 상기 자성컨트롤체의 일측과 맞닿는 푸셔부를 더 포함한다.It is located on one side of the base portion and further includes a pusher portion in contact with one side of the magnetic control body.

상기 자성컨트롤체는 내측을 향하여 함몰된 배치홈을 포함하며, 상기 배치홈에는 적어도 일면이 평평하게 형성된 보조바가 상기 배치홈에 배치되는 것을 특징으로 한다.The magnetic control body includes an arrangement groove recessed toward the inside, and an auxiliary bar having at least one surface formed flat in the arrangement groove is disposed in the arrangement groove.

상기 푸셔부의 일측는 상기 보조바의 평평한 일면과 맞닿는 것을 특징으로 한다.One side of the pusher part is characterized in that it is in contact with a flat surface of the auxiliary bar.

상기 고정부는 상기 자성컨트롤체의 타측을 일방향으로 미는 힘을 인가하는 탄성연결체를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The fixing part is characterized in that it further comprises an elastic connector for applying a force to push the other side of the magnetic control body in one direction.

상기 마스크의 단부에는 상기 마스크의 단부를 고정하며 상기 자성바와 대향하는 위치에 배치되는 브라켓부가 배치되는 것을 특징으로 한다.A bracket portion is disposed at the end of the mask to fix the end of the mask and to face the magnetic bar.

상기 브라켓부는 상기 마스크의 단부가 일측에서 타측으로 관통하며 이동될 수 있는 고정홀을 포함하는 것을 특징으로 한다.The bracket part is characterized in that it includes a fixing hole through which the end of the mask can be moved from one side to the other side.

일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그는 가이드되는 방향으로 자력을 인가하는 고정부를 통하여 FMM(Fine-Metal Mask)을 고정하는바, FMM(Fine-Metal Mask)을 안정적으로 고정하고, 위치를 변경할 수 있어서, 용이하게 FMM(Fine-Metal Mask)을 핸들링할 수 있다.The FMM (Fine-Metal Mask) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention fixes a FMM (Fine-Metal Mask) through a fixing part that applies magnetic force in a guided direction, and FMM (Fine-Metal Mask) ) can be stably fixed and the position can be changed, so that the FMM (Fine-Metal Mask) can be handled easily.

도 1은 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 사시도이다.
도 2는 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 프레임부의 사시도이다.
도 3은 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 지그부의 사시도이다.
도 4는 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그를 활용하여 FMM(Fine-Metal Mask)을 핸들링하는 과정을 순서대로 도시한 것이다.
도 5는 일 실시예에 의한 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 지그부의 일부 분해 확대도이다.
도 6은 일 실시예에 의한 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 지그부의 일부 절개도이다.
도 7은 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 푸셔부와 고정부의 상면도이다.
도 8은 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 푸셔부의 확대도이다.
도 9는 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 브라켓부를 확대도이다.
도 10은 일 실시예에 의한 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 브라켓부에 FMM(Fine-Metal Mask)이 연결된 상태를 도시한 것이다.
1 is a perspective view of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view of a frame part of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention;
3 is a perspective view of a jig part of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention;
4 is a flowchart sequentially illustrating a process of handling a fine-metal mask (FMM) using a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention.
5 is an exploded and partially exploded view of a jig part of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment.
6 is a partially cutaway view of a jig portion of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment.
7 is a top view of a pusher part and a fixing part of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention;
8 is an enlarged view of a pusher part of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention;
9 is an enlarged view of a bracket part of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention;
10 illustrates a state in which a Fine-Metal Mask (FMM) is connected to a bracket part of a Fine-Metal Mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an exemplary embodiment.

이하, 본 발명의 일실시예를 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 그러나 이는 본 발명의 범위를 한정하려고 의도된 것은 아니다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to exemplary drawings. However, this is not intended to limit the scope of the present invention.

각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.In adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components are given the same reference numerals as much as possible even though they are indicated on different drawings. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐이고, 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다.In addition, the size or shape of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation. In addition, terms specifically defined in consideration of the structure and operation of the present invention are only for describing the embodiments of the present invention, and do not limit the scope of the present invention.

도 1은 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 사시도이고, 도 2는 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 프레임부의 사시도이고, 도 3은 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 지그부의 사시도이고, 도 4는 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그를 활용하여 FMM(Fine-Metal Mask)을 핸들링하는 과정을 순서대로 도시한 것이다.1 is a perspective view of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a frame of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention. 3 is a perspective view of a jig part of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a fine-metal (FMM) for pattern formation according to an embodiment of the present invention. Mask) The process of handling FMM (Fine-Metal Mask) using a handling jig is shown in order.

이하에서 FMM(Fine-Metal Mask)은 마스크로 명명하도록 하겠다. Hereinafter, the Fine-Metal Mask (FMM) will be referred to as a mask.

일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그는 크게 프레임부(100)와 지그부(200)로 구성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation may be largely composed of a frame part 100 and a jig part 200 .

프레임부(100)는 도 2에서 확인되는 바와 같이 평평하고 넓은 면을 포함하고 있으며, 가이드정렬부(110)가 대칭되는 위치에 복수개 배치될 수 있다. 가이드정렬부(110)는 하측, 중간측, 상측에 각각 2개가 이격되어 배치될 수 있으며, 하측, 중간측, 상측으로 갈수록 길이가 점점 길어지도록 배치될 수 있다.The frame unit 100 includes a flat and wide surface as shown in FIG. 2 , and a plurality of guide alignment units 110 may be disposed at symmetrical positions. Two guide alignment units 110 may be disposed to be spaced apart from each other on the lower side, the middle side, and the upper side, and may be arranged such that the length gradually increases toward the lower side, the middle side, and the upper side.

지그부(200)는 프레임부(100)의 가이드정렬부(110)에 양측이 맞닿으며 배치될 수 있는데, 하측에 위치된 가이드정렬부(110)에 정렬되어 배치되는 경우, 프레임부(100)의 평평한 일면과 맞닿으며 배치될 수 있고, 중간측, 상측의 가이드정렬부(110)에 정렬되어 배치되는 경우 프레임부(100)의 평평한 일면과 이격되어 배치될 수 있다.The jig unit 200 may be disposed while both sides abut against the guide alignment unit 110 of the frame unit 100. When the jig unit 200 is aligned with the guide alignment unit 110 located on the lower side, the frame unit 100. may be disposed in contact with a flat surface of the , and may be disposed to be spaced apart from the flat surface of the frame unit 100 when aligned with the guide alignment unit 110 on the middle side and upper side.

한편, 가이드정렬부(110)는 설정된 깊이를 가지는 가이드홈이 형성된다. 가이드홈의 깊이는 도 2에서 확인할 수 있는 고정돌기(201)를 두 개 이상 수용할 수 있을 정도로 형성된다. 따라서 복수개의 지그부(200)가 가이드정렬부(110)에 정렬되어 배치될 수 있다.On the other hand, the guide alignment unit 110 is formed with a guide groove having a set depth. The depth of the guide groove is formed enough to accommodate two or more fixing protrusions 201 that can be confirmed in FIG. 2 . Accordingly, the plurality of jig units 200 may be arranged in alignment with the guide alignment unit 110 .

이러한 프레임부(100), 지그부(200)를 통하여 마스크를 정렬하여 고정하는 것을 도 4를 통하여 살펴보면, 사용자는 상측에 위치된 가이드정렬부(110)에 어느 하나의 지그부(200)를 위치시키고, 가운데 위치된 가이드정렬부(110) 또는 다른 위치에 다른 하나의 지그부(200)를 위치시킨다.Referring to FIG. 4 to align and fix the mask through the frame unit 100 and the jig unit 200, the user places any one jig unit 200 on the guide alignment unit 110 located on the upper side. and the other jig part 200 is positioned at the center-positioned guide alignment part 110 or another position.

이후 하측에 위치된 가이드정렬부(110) 사이에 마스크를 위치시킨다. 이후 다른 하나의 지그부(200)를 마스크가 정렬되어 배치된 가이드정렬부(110)에 위치시킨다. 이후 지그부(200)를 동작시켜 자력을 발생하여 마스크의 양측이 지그부(200)에 고정되도록 한다. 이렇게 마스크가 고정된 지그부(200)를 가운데 위치된 가이드정렬부(110)로 이동시킨다. 이후에 지그부(200)를 180도 회전시킨다. Thereafter, a mask is placed between the guide alignment units 110 located on the lower side. Thereafter, the other jig unit 200 is positioned on the guide alignment unit 110 in which the mask is aligned. Thereafter, the jig unit 200 is operated to generate a magnetic force so that both sides of the mask are fixed to the jig unit 200 . The jig part 200 to which the mask is fixed in this way is moved to the guide alignment part 110 located in the center. Thereafter, the jig part 200 is rotated 180 degrees.

이후 마스크를 다시 옮길 필요가 있는 경우, 상측에 위치된 가이드정렬부(110)에 정렬되어 위치되어 있던 지그부(200)를 가운데 위치된 가이드정렬부(110)로 이동시킨다. 그러면 마스크를 기준으로 상측, 하측에 각각 지그부(200)가 대칭되어 배치될 수 있다. 이후에 마스크의 하측에 위치된 지그부(200)의 자력을 차단하고, 상측에 위치된 지그부(200)를 동작시켜 자력을 형성한다. 그러면 상측에 위치된 지그부(200)에 마스크가 부착될 것이다. 이후 마스크의 상측에 위치된 지그부(200)를 이동시키면 마스크는 지그부(200)와 함께 이동될 수 있다.Afterwards, when it is necessary to move the mask again, the jig unit 200 aligned with the guide alignment unit 110 located on the upper side is moved to the guide alignment unit 110 located at the center. Then, the jig unit 200 may be symmetrically disposed on the upper side and the lower side with respect to the mask. Thereafter, the magnetic force of the jig unit 200 located on the lower side of the mask is blocked, and the magnetic force is formed by operating the jig unit 200 located on the upper side of the mask. Then, the mask will be attached to the jig part 200 located on the upper side. Thereafter, when the jig unit 200 located on the upper side of the mask is moved, the mask may be moved together with the jig unit 200 .

도 5는 일 실시예에 의한 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 지그부의 일부 분해 확대도이고, 도 6은 일 실시예에 의한 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 지그부의 일부 분해도이다.5 is an exploded and partially exploded view of a jig part of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment, and FIG. 6 is a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment. It is an exploded view of a part of the jig part.

일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 지그부(200)는 베이스부(210)와 고정부(220)를 포함한다.The jig part 200 of the FMM (fine-metal mask) handling jig for pattern formation according to the present invention according to an embodiment includes a base part 210 and a fixing part 220 .

베이스부(210)는 설정된 길이로 형성되며 평평한 일면을 포함한다. 베이스부(210)의 평평한 일면은 마스크가 배치될 수 있다. 베이스부(210)의 양단부에는 고정부(220)가 형성될 수 있다. 여기서 고정부(220)는 베이스부(210)의 양단부의 타면(도 3에서는 관찰되는 상측의 면)에 형성될 수 있다.The base portion 210 is formed with a set length and includes a flat surface. A mask may be disposed on a flat surface of the base part 210 . Fixing parts 220 may be formed at both ends of the base part 210 . Here, the fixing part 220 may be formed on the other surface (the upper surface observed in FIG. 3 ) of both ends of the base part 210 .

베이스부(210)의 타면에는 그립부가 형성될 수 있다. 그립부는 “U”의 형상으로 형성되며, 그립될 수 있게 이격되어 형성된다. A grip portion may be formed on the other surface of the base portion 210 . The grip portion is formed in the shape of a “U” and is spaced apart to be gripped.

고정부(220)는 일방향으로 자력을 인가하여 마스크가 베이스부(210)에 부착되도록 할 수 있다. 여기서, 마스크는 FMM으로 메탈로 제조되는바 마스크에 인력을 인가하여 마스크가 부착되도록 할 수 있다.The fixing part 220 may apply a magnetic force in one direction so that the mask is attached to the base part 210 . Here, since the mask is made of metal using FMM, an attractive force may be applied to the mask so that the mask is attached.

고정부(220)는 하우징(221), 자성컨트롤체(222), 자성바(223)를 포함할 수 있다.The fixing unit 220 may include a housing 221 , a magnetic control body 222 , and a magnetic bar 223 .

하우징(221)은 고정부(220)의 외관을 구성하는 것으로 내부에 공간이 형성되어 있다. 하우징(221)의 내부에 공간에는 자성컨트롤체(222), 자성바(223) 등이 배치될 수 있다. 하우징(221)은 타면에 길이방향을 따라서 무빙홈이 형성될 수 있다. 무빙홈에는 후술하여 설명할 무빙부(224)가 배치될 수 있다.The housing 221 constitutes the exterior of the fixing part 220 and a space is formed therein. A magnetic control body 222 , a magnetic bar 223 , etc. may be disposed in a space inside the housing 221 . The housing 221 may have a moving groove formed on the other surface along the longitudinal direction. A moving unit 224, which will be described later, may be disposed in the moving groove.

자성컨트롤체(222)는 원통형의 형상으로 형성되어 있다. 자성컨트롤체(222)는 하우징(221) 내에서 축을 기준으로 회전 가능하게 형성되어 있다. 즉, 자성컨트롤체(222)는 양측에 회전축(222a)이 배치되어 있고, 이 회전축(222a)은 후술하여 자세히 설명할 제1실린더(231)와 제2실린더(232) 사이에 배치되어 있을 수 있다. 자성컨트롤체(222)는 제1실린더(231)와 제2실린더(232) 사이에서 회전축(222a)이 회전되도록 형성되어 회전될 수 있다.The magnetic control body 222 is formed in a cylindrical shape. The magnetic control body 222 is rotatably formed in the housing 221 based on the axis. That is, the magnetic control body 222 has rotation shafts 222a disposed on both sides, and the rotation shaft 222a may be disposed between the first cylinder 231 and the second cylinder 232, which will be described in detail later. have. The magnetic control body 222 is formed so that the rotation shaft 222a is rotated between the first cylinder 231 and the second cylinder 232 and can be rotated.

여기서, 자성컨트롤체(222)는 설정된 길이를 가지는 바의 형태의 무빙부(224)와 연결되어 있을 수 있다. 무빙부(224)는 도 5에서 확인되는 바와 같이 하우징(221)의 무빙홈을 관통하며 외부로 관찰 가능하게 배치되어 있다. 따라서 자성컨트롤체(222)는 무빙부(224)에 인가되는 힘에 의하여 설정된 각도로 회전될 수 있다. Here, the magnetic control body 222 may be connected to the moving part 224 in the form of a bar having a set length. The moving part 224 passes through the moving groove of the housing 221 as shown in FIG. 5 and is disposed to be observable to the outside. Accordingly, the magnetic control body 222 may be rotated at an angle set by the force applied to the moving unit 224 .

자성컨트롤체(222)는 설치홈(222b)이 형성되어 있다. 자성컨트롤체(222)의 설치홈(222b)은 블록의 형태로 형성될 수 있다. 설치홈(222b)에는 자력을 형성하는 자성바(223)가 배치될 수 있다. 따라서 자성컨트롤체(222)의 움직임에 따라 자성바(223)가 인가하는 자력이 베이스부(210)의 일면을 향할 수 있다.The magnetic control body 222 is formed with an installation groove (222b). The installation groove 222b of the magnetic control body 222 may be formed in the form of a block. A magnetic bar 223 that forms a magnetic force may be disposed in the installation groove 222b. Accordingly, the magnetic force applied by the magnetic bar 223 according to the movement of the magnetic control body 222 may be directed toward one surface of the base portion 210 .

즉, 무빙부(224)가 도 5를 기준으로 우측으로 이동되는 경우, 자성컨트롤체(222)는 무빙부(224)의 움직임에 따라 시계방향으로 회전되어 자성바(223)가 베이스부(210)의 중심을 향하도록 배치되어 자력이 베이스부(210)의 일측면을 향하지 않도록 배치될 수 있으며, 반대로 무빙부(224)가 좌측으로 이동되는 경우, 자성컨트롤체(222)는 반시계방향으로 움직이며, 자성바(223)가 일측면을 향하여 배치될 수 있다. 그러므로 베이스부(210)의 일측면에 배치된 마스크는 고정부(220)에 의하여 양측이 베이스부(210)의 일측면에 부착될 수 있다.That is, when the moving part 224 is moved to the right with reference to FIG. 5 , the magnetic control body 222 is rotated clockwise according to the movement of the moving part 224 so that the magnetic bar 223 is moved to the base part 210 . ) may be disposed to face the center so that the magnetic force does not face one side of the base unit 210. Conversely, when the moving unit 224 is moved to the left, the magnetic control body 222 rotates counterclockwise. Moving, the magnetic bar 223 may be disposed toward one side. Therefore, both sides of the mask disposed on one side of the base unit 210 may be attached to one side of the base unit 210 by the fixing unit 220 .

한편, 이러한 자력을 가이드하기 위하여 자성컨트롤체(222)는 자성바(223)의 자력이 통과되지 못하는 물질(일례로 강자성체 또는 준강자성체)로 제조됨이 바람직하다. 따라서 자성바(223)가 형성되는 자력은 자성컨트롤체(222)와 자성바(223)가 맞닿지 않는 방향으로만 형성될 수 있다.Meanwhile, in order to guide the magnetic force, the magnetic control body 222 is preferably made of a material through which the magnetic force of the magnetic bar 223 does not pass (eg, a ferromagnetic material or a quasi-ferromagnetic material). Accordingly, the magnetic force in which the magnetic bar 223 is formed may be formed only in a direction in which the magnetic control body 222 and the magnetic bar 223 do not contact each other.

도 7은 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 푸셔부와 고정부의 상면도이고, 도 8은 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 푸셔부의 확대도이다.7 is a top view of a pusher part and a fixing part of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern forming according to an embodiment of the present invention, and FIG. It is an enlarged view of the pusher part of the metal mask) handling jig.

일 실시예에 의한 본 발명은 푸셔부(230)를 포함할 수 있다. 푸셔부(230)는 고정부(220)를 베이스부(210)의 중심에서 멀어지는 외측 방향 또는 중심에서 가까워지는 내측 방향으로 이동시킬 수 있다. 보다 정확하게 푸셔부(230)는 자성컨트롤체(222)를 이동시킬 수 있다. 그럼으로 인하여 자성바(223)의 위치를 변경할 수 있다. 따라서 본 발명은 마스크의 양측 단부를 이동시켜 마스크를 팽팽하게 당길 수 있다. 또는 반대로 본 발명은 마스크를 느슨하게 만들 수도 있다.The present invention according to an embodiment may include a pusher unit 230 . The pusher part 230 may move the fixing part 220 in an outward direction away from the center of the base part 210 or in an inward direction closer to the center of the base part 210 . More precisely, the pusher unit 230 may move the magnetic control body 222 . Accordingly, the position of the magnetic bar 223 may be changed. Therefore, the present invention can pull the mask taut by moving both ends of the mask. Or conversely, the present invention may loosen the mask.

이러한 동작이 가능하게 하는 푸셔부(230)를 살펴보면, 푸셔부(230)는 핸들부(231), 연결부(232), 동작부(233)를 포함할 수 있다. 핸들부(231)는 베이스부(210)의 타면에 배치되어 있고, 바의 형태로 형성되어 그립이 편하게 할 수 있다. 이러한 핸들부(231)는 상, 또는 하로 이동될 수 있다. 연결부(232)는 일측이 핸들부(231)와 연결되되 힌지 연결이 되어 있다. 따라서 연결부(232)는 핸들부(231)의 상, 하 이동을 수평 방향의 이동인 좌, 우로 변경할 수 있다. 동작부(233)는 일측이 연결부(232)의 타측과 힌지 연결되어 있다. 동작부(233)는 도 7에서 확인할 수 있듯이, 하우징(221)을 관통하며 형성되어 있다. 따라서 동작부(233)는 연결부(232)의 움직임에 따라 직선 방향으로 움직일 수 있다. 동작부(233)는 타측이 자성컨트롤체(222)와 맞닿을 수 있다. 그러므로 동작부(233)의 움직임에 따라 자성컨트롤체(222)는 동작부(233)에 밀려 위치가 변화될 수 있다.Looking at the pusher unit 230 that enables such an operation, the pusher unit 230 may include a handle unit 231 , a connection unit 232 , and an operation unit 233 . The handle part 231 is disposed on the other surface of the base part 210 , and is formed in the shape of a bar to make the grip comfortable. The handle portion 231 may be moved up or down. The connection part 232 has one side connected to the handle part 231 and a hinge connection. Accordingly, the connection unit 232 may change the upper and lower movements of the handle unit 231 to left and right horizontal movements. One side of the operation unit 233 is hinge-connected to the other side of the connection unit 232 . As can be seen in FIG. 7 , the operation unit 233 penetrates through the housing 221 . Accordingly, the operation unit 233 may move in a linear direction according to the movement of the connection unit 232 . The operation unit 233 may have the other side in contact with the magnetic control body 222 . Therefore, the position of the magnetic control body 222 may be changed by being pushed by the operation unit 233 according to the movement of the operation unit 233 .

여기서, 동작부(233)의 단부에는 안정적으로 부드러운 자성컨트롤체(222)의 이동을 위하여 원형의 롤러가 배치되어 있을 수 있다. Here, a circular roller may be disposed at the end of the operation unit 233 for the stable and smooth movement of the magnetic control body 222 .

한편, 도 6에서 확인할 수 있듯이 자성컨트롤체(222)는 동작부(233)의 움직임에 따라 정확하게 움직이기 위하여 배치홈(222c) 및 보조바(225)를 포함할 수 있다.Meanwhile, as can be seen in FIG. 6 , the magnetic control body 222 may include an arrangement groove 222c and an auxiliary bar 225 to accurately move according to the movement of the operation unit 233 .

여기서 배치홈(222c)은 설치홈(222b)과 설정된 만큼 자성컨트롤체(222)의 둘레를 따라서 설치홈(222b)과 이격되어 배치될 수 있다. 배치홈(222c)은 설치홈(222b)과 동일한 형태로 육면체 형상으로 형성되어 있다. 이러한 배치홈(222c)에는 적어도 일면이 평평하게 형성된 보조바(225)가 배치된다. Here, the arrangement groove 222c may be arranged to be spaced apart from the installation groove 222b along the circumference of the magnetic control body 222 as much as the installation groove 222b is set. The arrangement groove 222c is formed in a hexahedral shape in the same form as the installation groove 222b. An auxiliary bar 225 having at least one surface flattened is disposed in the arrangement groove 222c.

따라서 무빙부(224)가 맞닿게 되는 것은 자성컨트롤체(222)가 아닌 평평한 형태의 보조바(225)일 수 있다. 따라서 무빙부(224)는 평평한 부분을 일방향으로 밀게 되므로, 자성컨트롤체(222)는 안정적으로 이동될 수 있다.Accordingly, the moving part 224 may be in contact with the auxiliary bar 225 in a flat form, not the magnetic control body 222 . Therefore, since the moving part 224 pushes the flat part in one direction, the magnetic control body 222 can be moved stably.

또한, 푸셔부(230)의 이동에 따라 자성컨트롤체(222)가 안정적으로 이동될 수 있도록 자성컨트롤체(222)는 제1실린더(231) 및 탄성체(233)가 감싸진 제2실린더(232)로 구성된 탄성연결체에 의하여 회전축(222a)이 배치될 수 있다.In addition, the magnetic control body 222 is a second cylinder 232 in which the first cylinder 231 and the elastic body 233 are wrapped so that the magnetic control body 222 can be stably moved according to the movement of the pusher unit 230 . ), the rotating shaft 222a may be disposed by an elastic connector composed of.

도 7에서 확인할 수 있듯이, 자성컨트롤체(222)의 회전축(222a)은 제1실린더(231)와 탄성연결체 사이에 배치되어 있다. 탄성연결체는 제2실린더(232)와 제2실린더(232)를 감싸는 탄성체(233)를 포함할 수 있다. 제1실린더(231)와 제2실린더(232)는 각각 단부가 이격되어 위치될 수 있으며, 그 사이에는 자성컨트롤체(222)의 회전축(222a)이 배치되어 있을 수 있다.As can be seen in FIG. 7 , the rotation shaft 222a of the magnetic control body 222 is disposed between the first cylinder 231 and the elastic connector. The elastic connector may include a second cylinder 232 and an elastic body 233 surrounding the second cylinder 232 . The first cylinder 231 and the second cylinder 232 may be respectively positioned to be spaced apart from each other, and the rotation shaft 222a of the magnetic control body 222 may be disposed therebetween.

따라서 동작부(233)가 자성컨트롤체(222)를 밀거나 당김에 따라서 제1실린더(231), 제2실린더(232)의 위치가 변경될 수 있다. 그리고 또한, 제2실린더(232)를 둘러싸며 배치되는 탄성체(233)에 의하여 제2실린더(232)는 탄성력을 인가하는바 자성컨트롤체(222)의 이동이 탄성력에 의하여 급격하게 이동되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, as the operation unit 233 pushes or pulls the magnetic control body 222 , the positions of the first cylinder 231 and the second cylinder 232 may be changed. In addition, the second cylinder 232 applies an elastic force to the second cylinder 232 by the elastic body 233 disposed to surround the second cylinder 232 and prevents the magnetic control body 222 from being moved abruptly by the elastic force. can do.

도 9는 일 실시예에 의한 본 발명인 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 브라켓부를 확대도이며, 도 10은 일 실시예에 의한 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그의 브라켓부에 FMM(Fine-Metal Mask)이 연결된 상태를 도시한 것이다.9 is an enlarged view of a bracket portion of a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation according to an embodiment. It shows the state in which the FMM (Fine-Metal Mask) is connected to the bracket part.

한편, 자성바(223)에 의하여 자력이 인가된다 하여도 자성바(223)의 자력이 너무 강하거나 약하여 마스크가 제대로 흡착(자력에 의한 인력)되지 않을 문제가 있으며, 또는 자력의 방향이 마스크와 수직 방향이 아니게 되어 마스크가 잘못 지그부(200)에 고정되는 문제가 발생될 수 있다.On the other hand, even if the magnetic force is applied by the magnetic bar 223, there is a problem that the magnetic force of the magnetic bar 223 is too strong or weak, so that the mask is not properly adsorbed (attraction due to magnetic force), or the direction of the magnetic force is different from the mask Since it is not in a vertical direction, a problem in which the mask is incorrectly fixed to the jig part 200 may occur.

따라서 본 발명은 이를 해결하기 위하여 브라켓부(300)를 포함할 수 있다. 브라켓부(300)는 메탈로 형성되며 중앙에 길이방향을 따라서 고정홀(310)이 형성될 수 있다. 브라켓부(300)에는 도 10에서 도시된 바와 같이 마스크의 단부가 브라켓부(300)의 일측에서 타측을 향하여 고정홀(310)을 관통하며, 타측면에서는 절곡되어 브라켓부(300)에 고정될 수 있다. 따라서 전술한 마스크와 고정부(220)의 고정은 실제로는 마스크가 고정된 브라켓부(300)와 고정부(220)의 고정일 수 있다. Therefore, the present invention may include the bracket part 300 to solve this problem. The bracket part 300 is formed of metal, and a fixing hole 310 may be formed in the center along the longitudinal direction. In the bracket part 300, as shown in FIG. 10, the end of the mask passes through the fixing hole 310 from one side of the bracket part 300 toward the other side, and is bent at the other side to be fixed to the bracket part 300. can Therefore, the above-described fixing of the mask and the fixing unit 220 may actually be the fixing of the bracket unit 300 and the fixing unit 220 to which the mask is fixed.

이처럼 본 발명은 브라켓부(300)를 활용하여 고정부(220)와 마스크가 더욱 견고하게 부착되어 이동되도록 한바, 베이스부(210)에 마스크가 더욱 견고하게 부착될 수 있으며, 푸셔부(230)에 의한 이동에 따라 마스크가 자성컨트롤체(222)의 위치 변화에 대응하여 더욱 정밀하게 움직일 수 있다. As such, the present invention utilizes the bracket unit 300 so that the fixing unit 220 and the mask are more firmly attached and moved, so that the mask can be more firmly attached to the base unit 210 , and the pusher unit 230 . According to the movement by , the mask can move more precisely in response to a change in the position of the magnetic control body 222 .

본 발명은 특정한 실시 예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 한도 내에서, 본 발명이 다양하게 개량 및 변화될 수 있다는 것은 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 자명할 것이다.Although the present invention has been shown and described in relation to specific embodiments, it is within the art that the present invention can be variously improved and changed without departing from the spirit of the present invention provided by the following claims. It will be obvious to those of ordinary skill in the art.

100 : 프레임부
110 : 가이드정렬부
200 : 지그부
201 : 고정돌기
210 : 베이스부
220 : 고정부
221 : 하우징
222 : 자성컨트롤체
222a : 회전축
222b : 설치홈
222c : 배치홈
223 : 자성바
224 : 무빙부
225 : 보조바
231 : 제1실린더
232 : 제2실린더
233 : 탄성체
240 : 푸셔부
241 : 핸들부
242 : 연결부
243 : 동작부
300 : 브라켓부
310 : 고정홀
100: frame part
110: guide alignment unit
200: jig part
201: fixed projection
210: base part
220: fixed part
221: housing
222: magnetic control body
222a: axis of rotation
222b: installation home
222c: placement groove
223: magnetic bar
224: moving part
225: auxiliary bar
231: first cylinder
232: second cylinder
233: elastic body
240: pusher unit
241: handle part
242: connection part
243: operation part
300: bracket part
310: fixing hole

Claims (9)

마스크가 배치되는 베이스부; 및
상기 베이스부의 일측에 위치되어 자력을 인가하여 상기 마스크가 고정되도록 하는 고정부를 포함하며,
상기 고정부는
축을 기준으로 회전될 수 있는 자성컨트롤체와, 상기 자성컨트롤체의 일측에 배치된 자성바를 포함하는 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그.
a base on which the mask is disposed; and
and a fixing part positioned on one side of the base part to apply a magnetic force to fix the mask,
the fixing part
A fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation, comprising: a magnetic control body that can be rotated about an axis; and a magnetic bar disposed on one side of the magnetic control body.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 자성컨트롤체는
일측을 향하여 함몰된 설치홈을 포함하며, 상기 자성바는 상기 설치홈에 배치되는 것
을 특징으로 하는 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그.
According to claim 1,
The magnetic control body is
It includes an installation groove recessed toward one side, and the magnetic bar is disposed in the installation groove
FMM (Fine-Metal Mask) handling jig for pattern formation, characterized by
제1항에 있어서,
상기 베이스부의 일측에 위치되며 상기 자성컨트롤체의 일측과 맞닿는 푸셔부를 더 포함하는 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그.
According to claim 1,
A fine-metal mask (FMM) handling jig for pattern formation, which is located on one side of the base and further includes a pusher unit in contact with one side of the magnetic control body.
제4항에 있어서,
상기 자성컨트롤체는
내측을 향하여 함몰된 배치홈을 포함하며,
상기 배치홈에는 적어도 일면이 평평하게 형성된 보조바가 상기 배치홈에 배치되는 것
을 특징으로 하는 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그.
5. The method of claim 4,
The magnetic control body is
It includes an arrangement groove recessed toward the inside,
In the arrangement groove, an auxiliary bar having at least one surface formed to be flat is disposed in the arrangement groove
FMM (Fine-Metal Mask) handling jig for pattern formation, characterized by
제5항에 있어서,
상기 푸셔부의 일측는
상기 보조바의 평평한 일면과 맞닿는 것
을 특징으로 하는 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그.
6. The method of claim 5,
One side of the pusher
Abutting the flat surface of the auxiliary bar
FMM (Fine-Metal Mask) handling jig for pattern formation, characterized by
제4항에 있어서,
상기 고정부는
상기 자성컨트롤체의 타측을 일방향으로 미는 힘을 인가하는 탄성연결체를 더 포함하는 것
을 특징으로 하는 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그.
5. The method of claim 4,
the fixing part
Further comprising an elastic connector for applying a force to push the other side of the magnetic control body in one direction
FMM (Fine-Metal Mask) handling jig for pattern formation, characterized by
제1항에 있어서,
상기 마스크의 단부에는 상기 마스크의 단부를 고정하며 상기 자성바와 대향하는 위치에 배치되는 브라켓부가 배치되는 것
을 특징으로 하는 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그.
According to claim 1,
A bracket portion is disposed at the end of the mask to fix the end of the mask and to face the magnetic bar
FMM (Fine-Metal Mask) handling jig for pattern formation, characterized by
제8항에 있어서,
상기 브라켓부는
상기 마스크의 단부가 일측에서 타측으로 관통하며 이동될 수 있는 고정홀을 포함하는 것
을 특징으로 하는 패턴 형성용 FMM(Fine-Metal Mask) 핸들링 지그.
9. The method of claim 8,
The bracket part
That the end of the mask includes a fixing hole that can be moved and penetrated from one side to the other side
FMM (Fine-Metal Mask) handling jig for pattern formation, characterized by
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