KR102402207B1 - Clamp for substrate - Google Patents
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- H05K3/188—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by direct electroplating
Abstract
Description
본 발명은 기판용 클램프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 인쇄회로기판의 제조시 포토리소그래프 공정의 노광, 현상, 에칭이나 도금, 세정 등에서 기판을 파지 고정하는데 사용되며 특히 현상 공정에서 기판을 파지 고정하여 사용하는데 적합한 기판용 클램프에 관한 것이다.The present invention relates to a clamp for a substrate, and more particularly, it is used to hold and fix a substrate in exposure, development, etching, plating, cleaning, etc. of the photolithography process in the manufacture of a printed circuit board. It relates to a clamp for a substrate suitable for use.
기판용 클램프에 관한 기술로는 대한민국 공개실용신안공보 제20-2011-0004279호의 '전기 도금용 클램프'(이하, '선행기술'이라고 함)가 제시되어 있다.As a technology related to a clamp for a substrate, a 'electroplating clamp' (hereinafter referred to as 'prior art') of Korean Utility Model Publication No. 20-2011-0004279 has been proposed.
상기 선행기술은 "통전용 팁을 각각 구비하고 힌지 결합 지점을 중심으로 벌어지거나 오므라지면서 전기 도금이 가능하게 박막형 피도금체를 잡아줄 수 있도록 형성된 제1 죠우(jaw)와 제2 죠우(jaw)를 포함하는 전기 도금용 클램프에 있어서, 상기 제1 죠우와 제2 죠우의 재질은 금속재 중에서 알루미늄을 사용하고, 외부면에는 접촉 충격이나 마찰에 대한 내성을 부여하기 위한 보강용 피막층이 형성된 것을 특징"으로 하는 것으로서, 제작비가 저렴하면서 만족할 만한 내구성 및 전기 전도성을 확보할 수 있도록 한 전기 도금용 클램프에 관한 기술이다.The prior art is "a first jaw and a second jaw formed to hold a thin film-type object to be plated so that electroplating is possible while having a tip for energization, respectively, and opening or closing around a hinge coupling point. In an electroplating clamp comprising It is a technology related to a clamp for electroplating that can secure satisfactory durability and electrical conductivity while having a low manufacturing cost.
상기 선행기술을 비롯한 종래의 기판용 클램프는 기판과 접촉하게 되는 부분이 힌지축을 중심으로 회전하여 상호 벌어지거나 좁혀짐으로써 기판을 파지하는 구조를 갖는다.The conventional clamp for a substrate, including the prior art, has a structure for gripping the substrate by rotating the part that comes into contact with the substrate about the hinge axis to widen or narrow the substrate.
그런데 상기와 같이 힌지축을 구비한 종래의 클램프는 장시간 사용시 힌지축과 클램프의 연결부위가 마모되어 클램프가 원활하게 작동되지 못하거나 마찰에 의한 소음이 발생하게 되는 문제가 있으며, 심할 경우 힌지축 또는 힌지축과 클램프의 연결부위가 파손되는 문제가 있다. 아울러, 노광, 현상, 에칭, 도금 등의 공정에서 힌지축과 클램프의 사이에 낀 오염물이 수세, 탕세 등의 세정 공정에서 깨끗하게 제거되기 어려우므로, 힌지축과 클램프의 사이에 낀 오염물이 클램프의 작동 및 기판 제품의 품질에 악영향을 끼치게 되는 문제가 있다.However, the conventional clamp having a hinge shaft as described above has a problem in that the connection part between the hinge shaft and the clamp wears out when used for a long time, so that the clamp cannot operate smoothly or noise due to friction is generated. In severe cases, the hinge shaft or the hinge There is a problem that the connection part between the shaft and the clamp is damaged. In addition, since it is difficult to cleanly remove contaminants between the hinge shaft and the clamp in the process of exposure, development, etching, plating, etc. And there is a problem that adversely affects the quality of the substrate product.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 클램프의 작동구조를 개선함으로써 장시간 사용시에도 클램프가 원활하게 작동할 수 있으며, 세정이 용이한 기판용 클램프를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been devised to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a clamp for a substrate that can smoothly operate even when used for a long time and is easy to clean by improving the operation structure of the clamp.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 언급한 과제로 제한되지 않는다. 언급하지 않은 다른 기술적 과제들은 이하의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the aforementioned problems. Other technical problems not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the following description.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 실시예에 의한 기판용 클램프는, 하단에 기판의 일면과 접하게 되는 제1접촉부를 갖는 제1클램프바디; 상기 제1클램프바디와 마주하게 배치되고, 하단에 기판의 타면과 접하게 되는 제2접촉부를 갖는 제2클램프바디; 및 상기 제1클램프바디와 제2클램프바디의 사이에 개재되어 상기 제1접촉부와 제2접촉부가 상호 벌어지거나 좁혀질 수 있도록 제1클램프바디와 제2클램프바디를 연결하되, 제1접촉부와 제2접촉부가 좁혀지도록 탄성력을 발휘하는 판스프링;을 포함하여 이루어진다.In order to solve the above problems, a clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention includes: a first clamp body having a first contact portion in contact with one surface of the substrate at a lower end; a second clamp body disposed to face the first clamp body and having a second contact portion at a lower end contacting the other surface of the substrate; and the first clamp body and the second clamp body are interposed between the first clamp body and the second clamp body so that the first contact part and the second contact part can be widened or narrowed from each other, but the first contact part and the second clamp body are connected. 2 A plate spring that exerts an elastic force so that the contact portion is narrowed; and a.
본 발명의 실시예에서, 상기 판스프링은, 상기 제1클램프바디의 상단에 결합된 제1상부결합부와, 상기 제1상부결합부의 하단에서 상기 제2클램프바디 측으로 하방 경사지게 연장 형성된 제1경사부와, 상기 제1경사부의 하단에서 하방 연장되게 형성된 제1하부결합부를 갖는 제1판스프링; 상기 제2클램프바디의 상단에 결합된 제2상부결합부와, 상기 제2상부결합부의 하단에서 상기 제1경사부의 하단에 인접하도록 하방 연장되게 형성된 제2경사부와, 상기 제2경사부의 하단에서 하방 연장되게 형성되어 상기 제1하부결합부와 겹쳐지게 되는 제2하부결합부를 갖는 제2판스프링; 및 상기 제1하부결합부와 제2하부결합부를 상호 고정하는 접합부;를 포함하여 이루어진다.In an embodiment of the present invention, the leaf spring includes a first upper coupling part coupled to an upper end of the first clamp body, and a first inclination formed to extend obliquely downward from the lower end of the first upper coupling part toward the second clamp body. a first plate spring having a portion and a first lower coupling portion formed to extend downwardly from a lower end of the first inclined portion; A second upper coupling part coupled to the upper end of the second clamp body, a second inclined part formed to extend downwardly from the lower end of the second upper coupling part to be adjacent to the lower end of the first inclined part, and a lower end of the second inclined part a second plate spring having a second lower coupling portion formed to extend downwardly and overlapping the first lower coupling portion; and a joint for fixing the first lower coupling part and the second lower coupling part to each other.
본 발명의 실시예에서, 상기 접합부는 상기 제1하부결합부와 제2하부결합부를 관통하도록 체결된 리벳으로 구성되거나, 스폿용접에 의해 상기 제1하부결합부와 제2하부결합부에 형성된 용착부로 구성된다.In an embodiment of the present invention, the joint portion is composed of a rivet fastened to pass through the first lower joint portion and the second lower joint portion, or a welding formed in the first lower joint portion and the second lower joint portion by spot welding. made up of wealth
본 발명의 실시예에서, 상기 제1하부결합부와 제2하부결합부는 상기 제1클램프바디와 제2클램프바디 사이의 중간에 배치됨으로써, 상기 제1판스프링의 하면과 제2판스프링의 하면은 클램프의 하측에서부터 상승하여 상기 제1접촉부와 제2접촉부의 사이로 공급되는 기판의 상면과 접촉되어 기판의 상승을 제한하게 된다.In an embodiment of the present invention, the first lower coupling part and the second lower coupling part are disposed in the middle between the first clamp body and the second clamp body, so that the lower surface of the first plate spring and the lower surface of the second plate spring The silver rises from the lower side of the clamp and comes into contact with the upper surface of the substrate supplied between the first and second contact portions to limit the rise of the substrate.
본 발명의 실시예에서, 상기 제1접촉부는, 상기 제1클램프바디의 하단에 상기 제2클램프바디 측으로 돌출되게 설치된 제1접촉부바디와, 상기 제1접촉부바디의 전면에 형성된 제1요철부와, 상기 제1접촉부바디의 후면 중앙에 돌출 형성되어 상기 제1클램프바디의 하단에 리벳 방식으로 체결되는 제1체결부를 포함하여 이루어지고, 상기 제2접촉부는, 상기 제2클램프바디의 하단에 상기 제1클램프바디 측으로 돌출되어 상기 제1접촉부바디와 마주하게 설치된 제2접촉부바디와, 상기 제2접촉부바디의 전면에 형성된 제2요철부와, 상기 제2접촉부바디의 후면 중앙에 돌출 형성되어 상기 제2클램프바디의 하단에 리벳 방식으로 체결되는 제2체결부를 포함하여 이루어진다.In an embodiment of the present invention, the first contact portion includes a first contact portion body installed at the lower end of the first clamp body to protrude toward the second clamp body, and a first concave-convex portion formed on the front surface of the first contact portion body; and a first fastening part protruding from the center of the rear surface of the first contact part body and fastened to the lower end of the first clamp body in a rivet manner, wherein the second contact part is formed at the lower end of the second clamp body. A second contact portion body protruding toward the first clamp body and installed to face the first contact portion body, a second concave-convex portion formed on the front surface of the second contact portion body, and the second contact portion body are formed to protrude from the center of the rear surface of the second contact portion body. It comprises a second fastening portion fastened to the lower end of the second clamp body in a rivet manner.
본 발명의 실시예에서, 상기 제1판스프링은 상기 제1하부결합부의 하단에서 상기 제1클램프바디 측으로 연장되게 형성된 제1차단부를 더 포함하여 이루어지고, 상기 제2판스프링은 상기 제2하부결합부의 하단에서 상기 제2클램프바디 측으로 연장되게 형성된 제2차단부를 더 포함하여 이루어져, 상기 제1차단부와 제2차단부는 클램프의 하측에서부터 상승하여 상기 제1접촉부와 제2접촉부의 사이로 공급되는 기판의 상면과 접촉되어 기판의 상승을 제한하게 된다.In an embodiment of the present invention, the first plate spring further includes a first blocking part formed to extend from the lower end of the first lower coupling part toward the first clamp body, and the second plate spring is the second lower part. It further comprises a second blocking portion formed to extend from the lower end of the coupling portion toward the second clamp body, wherein the first blocking portion and the second blocking portion rise from the lower side of the clamp and are supplied between the first contact portion and the second contact portion It is in contact with the upper surface of the substrate to limit the elevation of the substrate.
본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프는 제1클램프바디의 제1접촉부와 제2클램프바디의 제2접촉부가 상호 벌어지거나 좁혀지는 동작이 판스프링의 탄성 변형에 의해 이루어지게 됨으로써, 별도의 힌지축이 필요치 않아 구조가 간단하고 제작비가 절감될 수 있는 효과가 있다.In the clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention, the operation of opening or narrowing the first contact portion of the first clamp body and the second contact portion of the second clamp body is made by elastic deformation of the leaf spring, so that a separate hinge Since no shaft is required, the structure is simple and the production cost can be reduced.
아울러 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프는 장시간 사용시에도 클램프가 원활하게 작동할 수 있으며, 노광, 현상, 에칭, 도금 등의 공정에서 묻은 오염물이 수세, 탕세 등의 세정 공정에서 원활하게 제거될 수 있는 효과가 있다.In addition, the clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention can operate smoothly even when used for a long time, and contaminants deposited in processes such as exposure, development, etching, plating, etc. can be smoothly removed in cleaning processes such as washing with water and hot water. can have an effect.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프의 사용상태를 도시한 단면도.
도 3은 도 2에서 제2클램프바디가 회전된 상태를 도시한 단면도.
도 4는 도 3에서 판스프링에 차단부가 형성된 상태를 도시한 단면도.1 is a perspective view of a clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view showing a state of use of the clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a cross-sectional view showing a state in which the second clamp body is rotated in Figure 2;
4 is a cross-sectional view illustrating a state in which a blocking portion is formed on the leaf spring in FIG. 3;
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 설명의 편의를 위해 도면에 도시된 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 표현될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. For convenience of description, components shown in the drawings may be exaggerated, omitted, or schematically represented.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프의 사용상태를 도시한 단면도이며, 도 3은 도 2에서 제2클램프바디가 회전된 상태를 도시한 단면도이다.1 is a perspective view of a clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state of use of the clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a second clamp body in FIG. It is a cross-sectional view showing a rotated state.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프는 크게 제1클램프바디(100), 제2클램프바디(200) 및 판스프링(300)을 포함하여 이루어진다.1 to 3 , the clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention largely includes a
상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)는 상기 판스프링(300)을 매개로 상호 마주하게 결합된다.The
상기 제1클램프바디(100)의 하단에는 기판(10)의 일면과 접하게 되는 제1접촉부(110)가 형성되고, 상기 제2클램프바디(200)의 하단에는 기판(10)의 타면과 접하게 되는 제2접촉부(210)가 형성된다. 즉, 상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)는 상기 제1접촉부(110)와 제2접촉부(210)가 기판(10)의 양면을 가압 파지하여 기판(10)을 고정하게 된다.A
상기 제1접촉부(110)와 제2접촉부(210)는 상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)에 각각 일체로 형성될 수 있으며, 본 실시예와 같이 제1클램프바디(100) 및 제2클램프바디(200)와 별도로 제작된 후 조립된 구조로 형성될 수 있다.The
본 실시예에 의하면 상기 제1접촉부(110)는, 상기 제1클램프바디(100)의 하단에 상기 제2클램프바디(200) 측으로 돌출되게 설치된 제1접촉부바디(111)와, 상기 제1접촉부바디(111)의 전면에 형성된 제1요철부(112)와, 상기 제1접촉부바디(111)의 후면 중앙에 돌출 형성되어 상기 제1클램프바디(100)의 하단에 리벳 방식으로 체결되는 제1체결부(113)를 포함하여 이루어진다.According to the present embodiment, the
그리고 상기 제2접촉부(210)는, 상기 제2클램프바디(200)의 하단에 상기 제1클램프바디(100) 측으로 돌출되어 상기 제1접촉부바디(111)와 마주하게 설치된 제2접촉부바디(211)와, 상기 제2접촉부바디(211)의 전면에 형성된 제2요철부(212)와, 상기 제2접촉부바디(211)의 후면 중앙에 돌출 형성되어 상기 제2클램프바디(200)의 하단에 리벳(rivet) 방식으로 체결되는 제2체결부(213)를 포함하여 이루어진다.And the
여기서 상기 제1요철부(112)와 제2요철부(212)는 클램프에 매달린 기판(10)이 하측으로 미끄러지지 않도록 상하로 반복되는 톱니 형상으로 이루어진다.Here, the first and
상기 제1체결부(113)와 제2체결부(213)는 상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)의 하단에 각각 형성된 구멍에 삽입한 상태에서, 구멍을 통과하여 돌출된 단부를 확장 변형시킴으로써 리벳 방식으로 체결된다.The first fastening
상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)는 클램프의 작동시 각각 고정부와 가동부가 될 수 있다. 즉, 제1클램프바디(100)는 노광, 현상, 에칭, 도금, 세정 등의 공정을 수행하기 위한 설비의 지그(20)에 결합되어 고정된 상태를 유지하게 되며, 제2클램프바디(200)는 클램프의 작동을 위한 구동부와 연결되어 상기 제2접촉부(210)가 제1접촉부(110)에서 벌어지거나 좁혀지도록 작동하게 된다. 이에 따라 상기 제1클램프바디(100)의 상단과 후술될 판스프링(100)의 제1상부결합부(311)에는 제1클램프바디(100)를 설비의 지그(20)에 고정하기 위한 제1결합공(400)이 형성되고, 상기 제2클램프바디(200)의 상단과 후술될 판스프링(100)의 제2상부결합부(321)에는 제2클램프바디(200)를 클램프의 작동을 위한 구동부(미도시)와 연결하기 위한 제2결합공(500)이 형성된다. 이때 상기 제1결합공(400)은 상기 제1클램프바디(100)가 설비의 지그(20)에 안정적으로 고정될 수 있도록 상하로 둘 이상이 배열될 수 있다.The
상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)는 스테인리스나 철금속 재질로 제작될 수 있으며, 본 발명의 클램프가 도금 공정을 제외한 노광, 현상, 에칭 공정 등에 사용될 경우 상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)는 스테인리스나 철금속 외에도 세라믹 등의 내화학성이 우수한 재질이나 비철금속 재질로 이루어져도 무방할 것이다. 또한, 본 발명의 클램프가 도금 공정에 사용될 경우 상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)의 표면에는 절연피복이 형성될 수 있을 것이다.The
상기 판스프링(300)은 상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)의 사이에 개재되어 상기 제1접촉부(110)와 제2접촉부(210)가 상호 벌어지거나 좁혀질 수 있도록 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200)를 연결하되 제1접촉부(110)와 제2접촉부(210)가 좁혀지도록 탄성력을 발휘하는 것으로서, 상기 제1클램프바디(100)의 상단에 결합된 제1상부결합부(311)와, 상기 제1상부결합부(311)의 하단에서 상기 제2클램프바디(200) 측으로 하방 경사지게 연장 형성된 제1경사부(312)와, 상기 제1경사부(312)의 하단에서 하방 연장되게 형성된 제1하부결합부(313)를 갖는 제1판스프링(310); 상기 제2클램프바디(200)의 상단에 결합된 제2상부결합부(321)와, 상기 제2상부결합부(321)의 하단에서 상기 제1경사부(312)의 하단에 인접하도록 하방 연장되게 형성된 제2경사부(322)와, 상기 제2경사부(322)의 하단에서 하방 연장되게 형성되어 상기 제1하부결합부(313)와 겹쳐지게 되는 제2하부결합부(323)를 갖는 제2판스프링(320); 및 상기 제1하부결합부(313)와 제2하부결합부(323)를 상호 고정하는 접합부(330);를 포함하여 이루어진다.The
상기 제1판스프링(310)과 제2판스프링(320)은 스프링강 또는 스프링용 스테인리스강 재질로 된 판재를 길게 절단한 후 이를 벤딩(bending) 가공함으로써 제작할 수 있다.The
상기 제1판스프링(310)은 상기 제1결합공(400)을 통해 설비의 지그(20)에 체결되는 볼트(30)에 의해 상기 제1클램프바디(100)에 결합될 수 있다. 상기 제1판스프링(310)과 상기 제1클램프바디(100)가 더욱 견고하게 상호 결합될 수 있도록 상기 제1상부결합부(311)와 제1클램프바디(100)는 스폿 용접(spot welding) 등의 용접 방식에 의해 상호 결합될 수 있다. 상기 제2판스프링(320)도 상기 제1판스프링(310)과 동일한 방식으로 상기 제2클램프바디(200)에 결합될 수 있다.The
상기 제1경사부(312)와 제2경사부(322)는 쉽게 탄성 변형될 수 있게 구성됨으로써 스프링의 기능을 수행하게 된다. 이때 제1경사부(312)와 제1하부결합부(313)의 연결부위, 그리고 제2경사부(322)와 제2하부결합부(323)의 연결부위는 클램프의 회동축의 기능을 수행하는 부분이 된다.The first
상기 접합부(330)는 상기 제1하부결합부(313)와 제2하부결합부(323)를 광통하도록 체결된 리벳으로 구성될 수 있다. 이때 상기 접합부(330)를 이루는 리벳은 내식성이 우수한 스테인리스 재질의 리벳이 사용되는 것이 바람직하다.The
필요에 따라 상기 제1하부결합부(313)와 제2하부결합부(323)는 스폿 용접에 의해 상호 고정될 수 있다. 이때 상기 접합부(330)는 스폿 용접에 의해 상기 제1하부결합부(313)와 제2하부결합부(323)에 형성된 용착부로 구성될 것이다.If necessary, the first
상기 제1하부결합부(313)와 제2하부결합부(323)는 상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200) 사이의 중간에 배치된다. 이에 의하면, 상기 제1판스프링(310)의 하면과 제2판스프링(320)의 하면이 클램프의 하측에서부터 상승하여 상기 제1접촉부(110)와 제2접촉부(210)의 사이로 공급되는 기판(10)의 상면과 접촉하게 됨으로써 기판(10)의 상승을 제한하게 된다.The first
한편, 상기와 같이 판스프링(300)이 기판(10)의 상승을 제한하는 기능을 더욱 효과적으로 수행할 수 있도록, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1판스프링(310)과 제2판스프링(320)은 각각 제1차단부(314)와 제2차단부(324)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.On the other hand, as shown in FIG. 4 , the
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프에서 판스프링에 차단부가 형성된 상태를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating a state in which a blocking portion is formed on a plate spring in a clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1차단부(314)는 상기 제1하부결합부(313)의 하단에서 상기 제1클램프바디(100) 측으로 연장되게 형성되고, 상기 제2차단부(324)는 상기 제2하부결합부(323)의 하단에서 상기 제2클램프바디(200) 측으로 연장되게 형성된다. 이에 의하면, 상기 제1차단부(314)가 제2차단부(324)가 클램프의 하측에서부터 상승하여 상기 제1접촉부(110)와 제2접촉부(210)의 사이로 공급되는 기판(10)의 상면과 접촉하게 됨으로써 기판(10)의 상승을 더욱 효과적으로 제한할 수 있다.4, the
또한, 상기 제1차단부(314)와 제2차단부(324)는 각각 하방으로 경사지게 연장 형성될 수 있는데, 이와 같은 구조에 의하면 제1차단부(314)와 제2차단부(324)가 기판(10)의 상면을 중앙으로 유도하게 됨으로써 기판(10)이 정확한 위치에 파지될 수 있다.In addition, the
상기와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프는 제1클램프바디(100)의 제1접촉부(110)와 제2클램프바디(200)의 제2접촉부(210)가 상호 벌어지거나 좁혀지는 동작이 판스프링(300)의 탄성 변형에 의해 이루어지게 됨으로써, 별도의 힌지축이 필요치 않아 구조가 간단하고 제작비가 절감될 수 있다.In the clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention configured as described above, the
아울러 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프는 판스프링에 의해 판스프링이 겹치는 접합점 또는 그 부근위치를 회동중심점으로 하여 회동하는 작용을 하게 됨으로써 장시간 사용시에도 클램프가 원활하게 작동할 수 있으며, 노광, 현상, 에칭, 도금 등의 공정에서 묻은 오염물이 수세, 탕세 등의 세정 공정에서 원활하게 제거될 수 있다.In addition, the clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention rotates at the junction point where the plate springs overlap or the position near it by the plate spring as the center of rotation, so that the clamp can operate smoothly even when used for a long time, exposure, Contaminants deposited in processes such as developing, etching, and plating can be smoothly removed in cleaning processes such as washing with water and hot water.
본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프는 낱장(sheet) 형태의 PCB(Printed Circuit Board)를 파지하는데 적용될 수 있음은 물론이고, 필요에 따라 롤투롤(roll to roll) 방식으로 진행하는 기판을 파지하는데 적용될 수 있다.The clamp for a board according to an embodiment of the present invention can be applied to grip a printed circuit board (PCB) in the form of a sheet, as well as gripping a board that proceeds in a roll to roll method if necessary. can be applied to
또한, 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프는 도금 공정 설비에 적용되는 경우 PCB뿐만 아니라 FCCL(Flexible Copper Clad Laminate : 연성동박적층판)이나 CCL(Copper Clad Laminate : 동박적층판)을 파지하는데 사용될 수 있다.In addition, when the clamp for a substrate according to an embodiment of the present invention is applied to a plating process facility, it can be used to hold not only a PCB, but also FCCL (Flexible Copper Clad Laminate) or CCL (Copper Clad Laminate: Copper Clad Laminate). .
이상에서 본 발명을 설명함에 있어 한정된 실시예 및 도면을 참조하여 설명하였으나, 이는 예시적인 것으로서, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 다양한 변형 실시가 가능하다는 점은 통상의 기술자에게 자명할 것이다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 청구범위의 기재 및 그 균등 범위에 의해 정해져야 한다.Although the present invention has been described above with reference to limited embodiments and drawings, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications are possible within the scope of the technical idea of the present invention. Accordingly, the protection scope of the present invention should be defined by the description of the claims and their equivalents.
10 : 기판 20 : 지그
30 : 볼트 100 : 제1클램프바디
110 : 제1접촉부 111 : 제1접촉부바디
112 : 제1요철부 113 : 제1체결부
200 : 제2클램프바디 210 : 제2접촉부
211 : 제2접촉부바디 212 : 제2요철부
213 : 제2체결부 300 : 판스프링
310 : 제1판스프링 311 : 제1상부결합부
312 : 제1경사부 313 : 제1하부결합부
314 : 제1차단부 320 : 제2판스프링
321 : 제2상부결합부 322 : 제2경사부
323 : 제2하부결합부 324 : 제2차단부
330 : 접합부 400 : 제1결합공
500 : 제2결합공10: substrate 20: jig
30: bolt 100: first clamp body
110: first contact portion 111: first contact portion body
112: first concavo-convex part 113: first fastening part
200: second clamp body 210: second contact part
211: second contact part body 212: second concave-convex part
213: second fastening part 300: leaf spring
310: first plate spring 311: first upper coupling part
312: first inclined part 313: first lower coupling part
314: first blocking part 320: second plate spring
321: second upper coupling part 322: second inclined part
323: second lower coupling part 324: second blocking part
330: junction 400: first coupling hole
500: second coupling hole
Claims (7)
상기 판스프링(300)은, 상기 제1클램프바디(100)의 상단에 결합된 제1상부결합부(311)와, 상기 제1상부결합부(311)의 하단에서 상기 제2클램프바디(200) 측으로 하방 경사지게 연장 형성된 제1경사부(312)와, 상기 제1경사부(312)의 하단에서 하방 연장되게 형성된 제1하부결합부(313)를 갖는 제1판스프링(310); 상기 제2클램프바디(200)의 상단에 결합된 제2상부결합부(321)와, 상기 제2상부결합부(321)의 하단에서 상기 제1경사부(312)의 하단에 인접하도록 하방 연장되게 형성된 제2경사부(322)와, 상기 제2경사부(322)의 하단에서 하방 연장되게 형성되어 상기 제1하부결합부(313)와 겹쳐지게 되는 제2하부결합부(323)를 갖는 제2판스프링(320); 및 상기 제1하부결합부(313)와 제2하부결합부(323)를 상호 고정하는 접합부(330);를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판용 클램프.
A first clamp body 100 having a first contact portion 110 in contact with one surface of the substrate 10 at the lower end; a second clamp body 200 disposed to face the first clamp body 100 and having a second contact portion 210 at a lower end thereof that comes into contact with the other surface of the substrate 10; and the first clamp body 100 interposed between the first clamp body 100 and the second clamp body 200 so that the first contact part 110 and the second contact part 210 can be mutually widened or narrowed. ) and the second clamp body 200, but a leaf spring 300 exerting an elastic force so that the first contact portion 110 and the second contact portion 210 are narrowed; includes;
The leaf spring 300 includes a first upper coupling part 311 coupled to the upper end of the first clamp body 100 and the second clamp body 200 at the lower end of the first upper coupling part 311 . ) A first plate spring 310 having a first inclined portion 312 formed to extend downwardly and a first lower coupling portion 313 formed to extend downwardly from the lower end of the first inclined portion 312; The second upper coupling part 321 coupled to the upper end of the second clamp body 200 and the lower end of the second upper coupling part 321 extend downward to be adjacent to the lower end of the first inclined part 312 . Having a second inclined portion 322 formed to be so, and a second lower engaging portion 323 formed to extend downward from the lower end of the second inclined portion 322 and overlapping with the first lower engaging portion 313. second plate spring 320; and a bonding part 330 for mutually fixing the first lower coupling part 313 and the second lower coupling part 323 to each other.
상기 접합부(330)는 상기 제1하부결합부(313)와 제2하부결합부(323)를 관통하도록 체결된 리벳으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판용 클램프.
According to claim 1,
The bonding portion (330) is a clamp for a substrate, characterized in that composed of a rivet fastened to pass through the first lower coupling portion (313) and the second lower coupling portion (323).
상기 접합부(330)는 스폿용접에 의해 상기 제1하부결합부(313)와 제2하부결합부(323)에 형성된 용착부로 구성된 것을 특징으로 하는 기판용 클램프.
According to claim 1,
The bonding portion (330) is a clamp for a substrate, characterized in that it is composed of a welding portion formed in the first lower coupling portion (313) and the second lower coupling portion (323) by spot welding.
상기 제1하부결합부(313)와 제2하부결합부(323)는 상기 제1클램프바디(100)와 제2클램프바디(200) 사이의 중간에 배치됨으로써, 상기 제1판스프링(310)의 하면과 제2판스프링(320)의 하면은 클램프의 하측에서부터 상승하여 상기 제1접촉부(110)와 제2접촉부(210)의 사이로 공급되는 기판(10)의 상면과 접촉되어 기판(10)의 상승을 제한하게 되는 것을 특징으로 하는 기판용 클램프.
According to claim 1,
The first lower coupling part 313 and the second lower coupling part 323 are disposed in the middle between the first clamp body 100 and the second clamp body 200, so that the first plate spring 310 and the lower surface of the second plate spring 320 rises from the lower side of the clamp and comes into contact with the upper surface of the substrate 10 supplied between the first contact part 110 and the second contact part 210 to contact the substrate 10 Clamp for a substrate, characterized in that to limit the rise of the.
상기 제1접촉부(110)는, 상기 제1클램프바디(100)의 하단에 상기 제2클램프바디(200) 측으로 돌출되게 설치된 제1접촉부바디(111)와, 상기 제1접촉부바디(111)의 전면에 형성된 제1요철부(112)와, 상기 제1접촉부바디(111)의 후면 중앙에 돌출 형성되어 상기 제1클램프바디(100)의 하단에 리벳 방식으로 체결되는 제1체결부(113)를 포함하여 이루어지고,
상기 제2접촉부(210)는, 상기 제2클램프바디(200)의 하단에 상기 제1클램프바디(100) 측으로 돌출되어 상기 제1접촉부바디(111)와 마주하게 설치된 제2접촉부바디(211)와, 상기 제2접촉부바디(211)의 전면에 형성된 제2요철부(212)와, 상기 제2접촉부바디(211)의 후면 중앙에 돌출 형성되어 상기 제2클램프바디(200)의 하단에 리벳 방식으로 체결되는 제2체결부(213)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판용 클램프.
6. The method of any one of claims 1, 3, 4 and 5, wherein
The first contact part 110 includes a first contact part body 111 installed at the lower end of the first clamp body 100 to protrude toward the second clamp body 200, and the first contact part body 111. A first concave-convex portion 112 formed on the front surface, and a first fastening portion 113 protruding from the center of the rear surface of the first contact portion body 111 and fastened to the lower end of the first clamp body 100 in a rivet manner. is made, including
The second contact portion 210 is a second contact portion body 211 protruding toward the first clamp body 100 at the lower end of the second clamp body 200 to face the first contact portion body 111 . And, a second concave-convex portion 212 formed on the front surface of the second contact portion body 211, and a rivet formed to protrude from the center of the rear surface of the second contact portion body 211, the lower end of the second clamp body (200) A clamp for a substrate, characterized in that it comprises a second fastening portion (213) fastened in this way.
상기 제1판스프링(310)은 상기 제1하부결합부(313)의 하단에서 상기 제1클램프바디(100) 측으로 연장되게 형성된 제1차단부(314)를 더 포함하여 이루어지고, 상기 제2판스프링(320)은 상기 제2하부결합부(323)의 하단에서 상기 제2클램프바디(200) 측으로 연장되게 형성된 제2차단부(324)를 더 포함하여 이루어져, 상기 제1차단부(314)와 제2차단부(324)는 클램프의 하측에서부터 상승하여 상기 제1접촉부(110)와 제2접촉부(210)의 사이로 공급되는 기판(10)의 상면과 접촉되어 기판(10)의 상승을 제한하게 되는 것을 특징으로 하는 기판용 클램프.According to any one of claims 1, 3, 4,
The first plate spring 310 further includes a first blocking portion 314 formed to extend from the lower end of the first lower coupling portion 313 toward the first clamp body 100, and the second The leaf spring 320 further includes a second blocking portion 324 formed to extend from the lower end of the second lower coupling portion 323 toward the second clamp body 200, and the first blocking portion 314 ) and the second blocking portion 324 rise from the lower side of the clamp and come into contact with the upper surface of the substrate 10 supplied between the first contact portion 110 and the second contact portion 210 to raise the substrate 10 . Clamp for a substrate, characterized in that it is limited.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210166573A KR102402207B1 (en) | 2021-11-29 | 2021-11-29 | Clamp for substrate |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102402207B1 true KR102402207B1 (en) | 2022-05-26 |
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|---|---|
| KR (1) | KR102402207B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102560828B1 (en) | 2022-06-17 | 2023-07-27 | 김창현 | system for gripping of printed circuit board through selectively control tension |
Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| KR20110004279U (en) | 2009-10-23 | 2011-04-29 | 박경이 | Electroplating clamp |
| KR20120001383A (en) * | 2010-06-29 | 2012-01-04 | 박경이 | Electroplating clamp |
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- 2021-11-29 KR KR1020210166573A patent/KR102402207B1/en active IP Right Grant
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