KR102387955B1 - 자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서 - Google Patents

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이길호
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서울대학교산학협력단
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Abstract

본 발명은 자기소용돌이 구조를 가지는 자성 박막 구조체를 복수개 포함하는 멀티플렉서(multiplexer)로서, 복수의 경로의 일단에 배치되는 신호 입력부; 및 각각의 경로의 타단에 배치되는 신호 출력부;를 포함하며, 신호 입력부 상에는 자성 박막 구조체인 제1 구조체가 배치되고, 신호 출력부까지 연장되는 각각의 경로 상에는 자성 박막 구조체인 제2 구조체, 제3 구조체 중 적어도 하나가 배치되며, 제1 구조체와 제3 구조체는 대칭 형태이며, 제2 구조체는 비대칭 형태인 것을 특징으로 한다.

Description

자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서 {MULTIPLEXER USING MAGNETIC THIN FILM STRUCTURE}
본 발명은 자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 멀티플렉싱/디멀티플레싱을 수행할 수 있는 자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서에 관한 것이다.
정보 신호의 멀티플렉싱 기능은 컴퓨터 네트워크와 함께 통신 기술에서 데이터 전송에 널리 사용되는 핵심이다. 데이터 전송에서 단일 전송 라인을 통해 다중 데이터 신호를 전송하는 것은 각종 분야에서 목표가 되고 있다. 또한, 효율적으로 회로를 통해 신호를 전송하는 수단으로서, 시간 분할(time division) 및 주파수 분할(frequency division)의 가능성이 실험적으로 입증되었다.
한편, CMOS 기반의 정보 처리 방법론을 대체하기 위해서 전자, 즉, 전하의 이동에 의한 정보 처리 방법에서 탈피하여 전자가 가지고 있는 양자적 특성인 스핀을 이용한 정보 처리 방법에 대한 연구가 수행되고 있다. 예를 들어, 나노 자성체에서 솔리톤(Soliton)을 이용한 자기 양자 셀 방식 자동장치(MQCA) 소자와 정보의 전달과 처리에 자성체에서 발생된 스핀파를 응용하기 위한 연구가 수행되고 있다.
자기소용돌이는 면에 수직방향인 자기소용돌이 핵(core) 주변을 시계 혹은 반시계 방향으로 자화가 회전하는 구조를 가지고 있다. 자기소용돌이에 신호를 주입할 시, 자기소용돌이 핵의 회전운동이 여기될 수 있으며 이는 고유 모드를 가지고 있다. 이러한 자기소용돌이 또는 스커미온(skymion) 구조를 갖는 자성 박막 구조체들이 여러 개 인접해 있으면 그에 따른 결합 모드(coupled mode), 결합된 회전 모드(coupled gyration mode)가 존재하게 된다.
자기소용돌이 또는 스커미온을 이용하면 적은 에너지로도 쉽게 신호를 발생시킬 수 있으며, 에너지 손실이 거의 없고, 빠른 전파속도 및 제어 가능성이 있으므로, 통신 소자, 메모리 소자, 논리 소자 등 정보 처리 소자로의 응용이 기대된다.
그러나 이러한 종래의 자기소용돌이 또는 스커미온을 이용하는 기술은, 결합 모드에서의 신호 전달에 대해서 응용이 보고되었으나, 이를 이용하여 멀티플렉싱/디멀티플렉싱 동작을 구현하는 방안에 대해서는 연구가 필요한 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 적은 에너지 소모를 가지고, 파동 특성의 제어가 쉬운 자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
그리고, 본 발명은 시간 분할 멀티플렉싱/디멀티플렉싱, 주파수 분할 멀티플렉싱/디멀티플렉싱을 수행할 수 있는, 자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서를 제공하는 것을 목적으로 한다.
그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 자기소용돌이 구조를 가지는 자성 박막 구조체를 복수개 포함하는 멀티플렉서(multiplexer)로서, 복수의 경로의 일단에 배치되는 신호 입력부; 및 각각의 경로의 타단에 배치되는 신호 출력부;를 포함하며, 신호 입력부 상에는 자성 박막 구조체인 제1 구조체가 배치되고, 신호 출력부까지 연장되는 각각의 경로 상에는 자성 박막 구조체인 제2 구조체, 제3 구조체 중 적어도 하나가 배치되며, 제1 구조체와 제2 구조체는 대칭 형태이며, 제2 구조체는 비대칭 형태인, 자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서가 제공된다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 각각의 경로 상에는 하나의 제2 구조체 및 하나의 제3 구조체가 이격 배치되고, 신호 출력부 상에 제3 구조체가 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 일직선 형태로 대향하며 연결된 2개의 경로를 포함하며, 제1 경로와 제2 경로의 사이에 제1 구조체가 배치되고, 제1 구조체에서 제1 경로를 따라 제2 구조체 및 제3 구조체가 순차적으로 이격 배치되고, 제1 구조체에서 제2 경로를 따라 제2 구조체 및 제3 구조체가 순차적으로 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제2 구조체는 비대칭한 일측 부분이 제3 구조체를 향하도록 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, xy 평면상에 자성 박막 구조체가 배치될 때, y축 방향으로 자기장을 인가하면 제1 구조체의 입력 신호가 제2 경로를 따라 제2 구조체를 거쳐 제3 구조체로 전달되고, -y축 방향으로 자기장을 인가하면 제1 구조체의 입력 신호가 제1 경로를 따라 제2 구조체를 거쳐 제3 구조체로 전달될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 구조체, 및 제3 구조체는 전체적으로 디스크(disk) 형태이고, 제2 구조체는 디스크 형태에서 적어도 일부가 비대칭한 형태일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제2 구조체는 디스크 형태에서 적어도 플랫한 모서리를 가지는 형태일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 각각의 경로 상에는 복수의 제2 구조체, 또는 복수의 제3 구조체가 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 일직선 형태로 대향하며 연결된 2개의 경로를 포함하며, 제1 경로와 제2 경로의 사이에 제1 구조체가 배치되고, 제1 구조체에서 제1 경로를 따라 복수의 제2 구조체가 이격 배치되고, 제1 구조체에서 제2 경로를 따라 복수의 제3 구조체가 이격 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 복수의 제2 구조체는 비대칭한 일측 부분이 경로가 연장되는 바깥을 향하도록 이격 배치될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, xy 평면상에 자성 박막 구조체가 배치되고, y축 방향으로 자기장을 인가될 때, 제1 구조체의 입력 신호의 주파수 대역에 따라 신호가 제1 경로 또는 제2 경로를 따라 전달되고, 제1 경로를 따라 신호가 전달될 때의 제1 구조체의 입력 신호의 주파수는, 제2 경로를 따라 신호가 전달될 때의 주파수보다 낮을 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 적은 에너지 소모를 가지고, 파동 특성의 제어가 쉬운 자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서를 구현할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 시간 분할 멀티플렉싱/디멀티플렉싱, 주파수 분할 멀티플렉싱/디멀티플렉싱을 수행할 수 있는 효과가 있다.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자성 박막 구조체의 형태를 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자성 박막 구조체의 바이어스 필드(bias field)에 따른 FFT Power를 나타내는 그래프이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자성 박막 구조체의 면내 자기장(in-plane magnetic bias field) 세기에 따른 회전 공진 주파수의 변화를 나타내는 그래프이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 신호 전달 소자의 동작을 나타내는 개략도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자를 나타내는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자의 바이어스 필드(bias field)에 대한 FFT Power를 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자의 바이어스 필드(bias field)에 대한 핵(core)의 궤도를 나타내는 개략도이다.
도 8은 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자의 제1 구조체 및 제3 구조체의 회전 신호(gyration signal)의 세기를 나타내는 그래프이다.
도 9는 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자의 제1 구조체 및 제3 구조체의 주파수 대비 회전 신호(gyration signal)의 세기를 나타내는 그래프이다.
도 10은 디멀티플렉서의 개략도 및 Truth 표를 나타낸다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티플렉서/디멀티플렉서의 동작을 나타내는 개략도이다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티플렉서/디멀티플렉서의 바이어스 필드에 대한 신호 전달 및 신호 입력부와 신호 출력부의 주파수 대비 회전 신호의 세기를 나타내는 그래프이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티플렉서/디멀티플렉서의 바이어스 필드에 대한 신호 전달 및 신호 입력부와 신호 출력부의 주파수 대비 회전 신호의 세기를 나타내는 그래프이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자성 박막 구조체의 형태를 나타내는 개략도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에서 신호 전달 소자를 구현하기 위해 사용하는 자성 박막 구조체는 2가지 종류일 수 있다. 자성 박막 구조체는 도 1(b)와 같이 디스크, 원판 형태를 가지는 제1 구조체(10), 및 도 1(a)와 같이 대칭 형태의 제1 구조체(10)에서 비대칭한 부분을 가지는 형태 또는 적어도 일부가 플랫(flat)한 모서리(21)를 가지는 제2 구조체(20)의 2가지 종류일 수 있다. 본 발명에서는 비대칭한 부분을 가지는 형태로서, 적어도 일부가 플랫한 모서리를 가지는 원판 형태를 예를 들어 설명한다. 하지만, 제2 구조체(20)의 형상은 반드시 이에 제한되지는 않음을 밝혀둔다. 예를 들어, 원판 형태에서 적어도 일부가 나머지 부분과 다른 곡률을 가지거나, 복수의 모서리를 가지는 등, 핵이 원판의 중심에서 벗어나게 될 수 있는 구조라면 비대칭 형태로 포함시킬 수 있고, 반드시 원판이 아닌, 다각형에서 비대칭 부분을 가지는 형태도 이에 포함될 수 있다. 후술하는 제3 구조체(30)는 실질적으로 제1 구조체(10)와 동일한 형상일 수 있다. 이하에서, 제1 구조체(10)는 '원형 디스크(circular disk)', 제2 구조체(20)는 '잘린 디스크(chopped disk)'라고도 지칭한다.
자성 박막 구조체는 예를 들어 스퍼터링, 전자빔 증착법, 열 증착법 등과 같은 박막 형성 방법을 이용하여 형성될 수 있다. 제2 구조체(20)는 제1 구조체(10)와 같은 방법으로 형성하되, 패터닝 공정을 더하여 비대칭한 부분을 가지는 형태 또는 적어도 일부가 플랫한 모서리(21)를 가지도록 형성할 수 있다.
자성 박막 구조체는 강자성 물질로 형성될 수 있으며, 그 예로 코발트(Co), 철(Fe), 니켈(Ni), 철-니켈 합금, 철-니켈 코발트 합금 또는 철-니켈-몰리브덴 합금 등의 재질이 사용될 수 있다.
강자성체 박막에서는 형상, 두께 및 직경 등에 따라 내부에 형성되는 자화 구조가 결정이 된다. 이때, 특히 수 백에서 수 마이크로 미터의 직경을 가지고 수십 나노미터의 두께를 가지는 원통에서는 직경이 약 10nm인 중심부에 원판 평면에 수직한 방향으로 자화된 핵과 주변부에 평면에서 시계/반시계 방향으로 회전하는 자화 방향을 지닌 자기소용돌이 구조(Vortex)가 형성된다. 이러한 자기소용돌이의 구조는 방위각 스핀파 자화 방향(polarity) 및 회전 방향(chirality)에 따라 4가지로 구분된다. 이러한 자기소용돌이 구조는 열적 안정성이 매우 높으며, 에너지적으로 매우 안정한 구조이다.
일 실시예에 따르면, 제1 구조체(10)는 직경 D = 1,000nm이고, 제2 구조체(20)는 직경 D = 1,000nm, 잘린 부분의 폭 E = 150nm이고, 두께는 각각 40nm이며, 퍼멀로이(Py: Ni81Fe19) 재질인 자성 박막 구조체를 사용할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 자성 박막 구조체의 바이어스 필드(bias field)에 따른 FFT Power를 나타내는 그래프이다. 자성 박막 구조체의 바이어스 필드에 따른 공명 모드(resonant mode)를 나타낸다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자성 박막 구조체의 면내 자기장(in-plane magnetic bias field) 세기에 따른 회전 공진 주파수의 변화를 나타내는 그래프이다.
제1, 2 구조체(10, 20)의 자기소용돌이 구성에서 개별 자화의 움직임을 풀기 위해, Landmag-Lifshitz-Gilbert (LLG) 식을 사용하는 oommf, mumax3 등의 미소자기전산모사 (micromagnetic simulation) 코드를 사용하거나, 직접 식을 풀 수 있다.
Figure 112020122452170-pat00001
[Heff는 전체 유효 필드(total effective field), Ms는 포화 자화(saturation magnetizaton), α는 Gilbert 댐핑 상수(damping constant)]
퍼멀로이(Py)의 파라미터는, Ms = 8.0 X 105 A/M, 교환 강성 상수(exchange stiffness constant) Aex = 1.3 X 10-11 J/M, Gilbert 댐핑 상수 α=0.01, 자감비(gyromagnetic ratio) γ = 2.21 X 105 M/A˙S, 자기결정이방성은 0 이다. 셀 크기는 5 X 5 X 40 nm3이다.
단일 원판형(disk type) 자성 박막 구조체 내에 존재하는 자기소용돌이는 외부에서 인가된 자기장이 없을 경우 자기소용돌이 핵이 원판의 중심에 위치하는 것이 에너지적으로 안정하다. 하지만, 특정 외부 자기장 혹은 전류가 인가되면 자기소용돌이는 원판의 중심에서 벗어나 회전운동을 하게 된다. 이때, 자기소용돌이 핵은 자성 박막 구조체의 구조 및 구성 물질 등에 따라 특정한 고유진동수(eigenfrequency)를 가지고 회전운동을 한다. 따라서, 외부에서 고유 진동수에 해당하는 자기장을 인가해 주면 공명현상에 의해 작은 자기장 세기에서도 자기소용돌이 핵의 회전운동을 유도할 수 있다.
본 발명에서, 외부에서 신호를 입력하기 위하여 자성 박막 구조체에 자기소용돌이 핵의 회전운동을 인가하는 것은, 해당 자기소용돌이 핵의 위치를 자성 박막 구조체의 중앙으로부터 이탈시킴에 의해 이루어질 수 있다. 여기서 중앙이란 자기소용돌이 핵이 외부 자기장에 의한 영향을 받지 않고 안정한 상태에 있을 때의 위치를 말한다.
자성 박막 구조체의 자기소용돌이 핵의 위치를 중앙으로부터 이탈시키는 것은, 자성 박막 구조체에 자기장을 인가하거나 전류를 인가함에 의해 이루어질 수 있다. 여기서, 자성 박막 구조체에 자기장을 직접 인가하는 방법으로는, 예를 들어 선형 자기장을 인가하는 방법 등이 있다. 선형 자기장을 인가하는 방법은 자성 박막 구조체 위 또는 아래에 자성 박막 구조체와 평행하게 도선을 배치시키고 도선에 전류를 흘려줌으로써 자기장을 발생시킬 수 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 직경 D = 1,000nm, 두께는 40nm인 제1 구조체(10)[원형 디스크(Circular disk)], 잘린 폭 E = 150nm인 제2 구조체(20)[잘린 디스크(Chopped disk)]의 2가지 형태를 비교하였다. 각 구조체(10, 20)의 자기 소용돌이는 상향 코어(upward core), 평면 회전 자화는 반시계(CCW) 방향으로 상정하였다. 자기장 Hy의 함수로 공진 주파수를 확인하였다.
Hy = 0mT일때와 Hy = 15mT일때는 잘린 디스크와 원형 디스크의 공진 주파수가 거의 유사하게 나타난다. 잘린 디스크의 좌측 형상이 원형 디스크와 유사하므로 자기소용돌이 핵의 운동이 비슷하게 나타나게 때문이다.
반면에, Hy = -15mT 일때는 잘린 디스크와 원형 디스크의 공진 주파수의 차이가 명백하게 나타난다.
특히, 도 3에 도시된 바와 같이, 원형 디스크에서는 자기장의 방향과 관계 없이 자기장이 세질수록 핵이 디스크 중심에서 멀어짐에 따라 주파수가 높아지지만, 잘린 디스크에서는 자기장이 방향이 핵을 플랫한 모서리 근처로 접근시키는 방향일 때 자기장이 세질수록 공진 주파수가 감소한 것을 확인할 수 있다. 그 이유는 회전성(gyrotropic) 운동을 하는 핵이 플랫한 모서리에 접근하였을 때 동적 강성이 감소하기 때문이다.
이하에서는, 도 1 내지 도 3의 원리를 응용하여 설계한 본 발명의 신호 전달 소자에 대해서 살펴본다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 신호 전달 소자의 동작을 나타내는 개략도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 신호 전달 소자는, 제1 구조체(10), 제2 구조체(20), 제3 구조체(30)가 이격되도록 배치된 형태일 수 있다. 제1 구조체(10)와 제3 구조체(30)는 실질적으로 동일한 원형 디스크 형상일 수 있고, 제2 구조체(20)는 플랫한 모서리(21)를 가지는 잘린 디스크 형상일 수 있다.
본 발명의 신호 전달 소자는 제1 구조체(10)에 신호가 입력되고, 제2 구조체(20)의 핵 운동에 따라 제3 구조체(30)에서 출력되는 신호가 제어되는 것을 특징으로 한다.
도 4에서는 제1, 2, 3 구조체(10, 20, 30)로 구성되는 가장 기본적인 형태의 신호 전달 소자를 도시하나, 제2 구조체(20)를 적어도 하나 포함하는 범위 내에서는 신호 전달 소자의 형상, 구조, 크기 등의 다양한 요소를 고려하여, 제1, 2, 3 구조체(10, 20, 30)의 조합으로 신호 전달 소자를 구현할 수 있다. 또한, 자성 박막 구조체들은 직선 또는 곡선 등의 선형으로 배열될 수 있을 뿐만 아니라, 이차원의 평면형 구조로 배열될 수 있고, 나아가 삼차원의 입체형으로도 배열될 수 있다.
제1 구조체(10)의 자기소용돌이 핵의 회전운동으로 제2 구조체(20)의 핵의 회전운동을 유발하고, 제2 구조체(20)의 핵의 회전운동이 다시 제3 구조체(30)의 핵의 회전운동을 유발함에 따라 신호가 전달될 수 있다. 자성 박막 구조체에 신호 주입 시 자성 박막 구조체에 인가된 자기소용돌이 핵의 회전운동이 그와 인접한 자성 박막 구조체의 자기소용돌이 핵의 회전운동을 유발함에 따라 신호를 전달할 수 있다.
주변 자기소용돌이 간 상호 작용은 자기소용돌이 간의 쌍극자-쌍극자 상호 작용(dipole-dipole interaction)에 의한 것으로, 특정 자성 박막 구조체의 자기소용돌이의 핵이 중심부로부터 이동(shift)하게 되면 자성 박막 구조체 내부에는 유효 자화(effective magnetization)가 형성되며 주변에 표유자계(stray field)가 분포되어, 이들 간의 상호작용으로 인해 자기 박막 내부의 에너지 상태가 변하게 된다.
해당 표유자계(stray field)는 자기소용돌이 핵이 회전함에 따라 반대의 회전 방향과 주파수를 가지고 회전하게 된다. 이때, 회전하는 표유자계(stray field)는 주변의 다른 원판형 자성박막 내부에 존재하는 자기소용돌이 핵과 상호작용하며 인접한 자성박막 내부에 존재하는 자기소용돌이 핵의 회전운동을 유발한다. 따라서, 특정 원판형 자성 박막 구조체에 외부 자기장 및 전류 등을 이용해 자기소용돌이 핵의 회전운동을 유발시키면 주변 자기소용돌이 간의 쌍극자-쌍극자 상호 작용에 의해 인접한 원판 자성 박막 구조체에 존재하는 자기소용돌이 핵들의 위치가 순차적으로 변화하면서 자기소용돌이의 회전운동이 주변으로 전파된다.
여기서, 자기소용돌이의 고유 모드의 공명 현상을 이용하여 작은 전력으로 큰 신호를 발생시킬 수 있다. 즉, 자성 박막에 형성된 자기소용돌이의 고유 진동수와 동일한 진동수를 갖는 자기장을 형성하여 자성 박막 구조체에 인가함으로써 공명 현상에 의해 작은 에너지로도 큰 신호를 발생시킬 수 있다.
다시 도 4(a)를 참조하면, 자기장 Hy = 0mT 일때는 제1 구조체(10)와 제2 구조체(20)의 공명 주파수가 같으므로[도 2 참조], 제1 구조체(10)에서 제2 구조체(20)로 회전 신호가 전달될 수 있고, 제2 구조체(20)에서 제3 구조체(30)로 신호가 다시 전달될 수 있다.
도 4(b)를 참조하면, 자기장 Hy가 양의 값으로 인가될 때는 제1 구조체(10)와 제2 구조체(20)의 공명 주파수가 거의 같으므로[도 2 참조], 제1 구조체(10)에서 제2 구조체(20)로 회전 신호가 전달될 수 있고, 제2 구조체(20)에서 제3 구조체(30)로 신호가 다시 전달될 수 있다.
하지만, 도 4(c)를 참조하면, 자기장 Hy가 음의 값으로 인가될 때는 제1 구조체(10)와 제2 구조체(20)의 공명 주파수가 차이나게 되므로[도 2 참조], 제1 구조체(10)에서 제2 구조체(20)로 회전 신호가 전달될 수 없고, 제 2 구조체(20)에서 제3 구조체(30)로 신호의 전달도 억제된다. 제1 구조체(10)와 제2 구조체(20)의 공명 주파수의 차이가 나타나도록, 제2 구조체(20)의 플랫한 모서리(21)가 제3 구조체(30)를 향하도록 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명의 신호 전달 소자는 도 4(a), (b) 및 (c)의 차이를 이용하여 제1, 2 구조체(10, 20)의 공명 주파수에 따른 신호 전달을 제어할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자를 나타내는 개략도이다.
일 실시예로, 직경 D = 1,000nm, 두께 t = 40nm, 간격 Dint = 100nm인 3개의 퍼멀로이(Py: Ni81Fe19) 자성 박막 구조체를 사용하였다.
본 발명의 실시예는 도 5의 상부와 같이, 제1 구조체(10), 제2 구조체(20), 제3 구조체(30)를 배치한 형태로서, 제2 구조체(20)는 잘린 디스크 형태이며, "제1 타입(Type Ⅰ)"이라고 한다.
비교예는 도 5의 하부와 같이, 제1 구조체(10), 제2 구조체(20'), 제3 구조체(30)를 배치한 형태로서, 제 2 구조체(20')는 제1, 3 구조체(30)와 동일한 원형 디스크 형태이며, "제2 타입(Type Ⅱ)"이라고 한다.
도 6은 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자의 바이어스 필드(bias field)에 대한 FFT Power를 나타내는 그래프이다. 바이어스 필드에 따른 결합 모드(coupled mode)를 나타낸다.
제1, 2 타입에서 가능한 결합 모드를 모두 살펴볼 수 있도록, 제1 구조체(10)에 +x 방향으로 정자기장을 가함으로써 초기에 중심에 위치한 핵을 +y 방향으로 옮겼다. 자기장의 인가를 해제하고, 각 구조체의 핵의 위치를 모니터링하고, 고속 푸리에 변환(Fast Fourier Transformations, FFTs)을 수행하였다.
Hy = 0mT일때는 제1, 2 타입 모두에서 3개의 결합 모드가 나타났다.
Hy = 15mT도 제1, 2 타입 모두에서 0mT보다 큰 주파수로 3개의 결합 모드가 나타났다. 평면 내 바이어스 필드가 세질수록 모든 모드 주파수가 높아진다. 각각의 피크의 위치는 거의 차이가 없었다.
반면, Hy = -15mT 일때는 제2 타입에서는 3개의 결합 모드가 나타났지만, 제1 타입에서는 2개의 모드만 나타났다. 2개의 모드 중 하나는 다른 하나에 비해 상대적으로 매우 작게 나타났다. 이는, 제1 구조체(10)와 제2 구조체(20)의 자기소용돌이의 공진 주파수 차이로 인해 결합이 매우 약하게 나타난 것을 의미한다.
도 7은 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자의 바이어스 필드(bias field)에 대한 핵(core)의 궤도를 나타내는 개략도이다. 궤도는 설명의 편의상 5배 확대 도시하였다.
제1, 2 타입에서의 회전 신호 전파를 핵의 궤도를 통해 살펴본다. 0.2mT 의 정현파장(sinusoidal field)을 적용하여 회전 신호가 여기된다. Hy = 0mT의 경우 f = 320MHz, Hy = ± 15mT의 경우 f = 350MHz의 정현파장을 사용하였다.
도 7을 참조하면, 제2 타입에서는 Hy = 0mT, Hy = ± 15mT 의 경우 모두 회전 신호가 제1, 2, 3 구조체(10, 20', 30)로 전파된다.
반면, 제1 타입에서는 Hy = 0mT, Hy = +15mT의 경우에는 회전 신호가 제1, 2, 3 구조체(10, 20, 30)로 전파되나, Hy = -15mT의 경우에는 회전 신호가 제2 구조체(20)에 의해 방해된다. Hy = -15mT의 경우에는 제2 구조체(20)의 핵이 플랫한 모서리 쪽으로 이동하기 때문에, 공진 주파수의 차이에 따라 제3 구조체(30)로의 신호 전달이 방해된다.
도 8은 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자의 제1 구조체 및 제3 구조체의 회전 신호(gyration signal)의 세기를 나타내는 그래프이다. 각각의 시간(그래프 x 축)에 따른 x방향 자화(그래프 y축)의 변화를 통해 회전 신호의 크기를 비교한다.
도 8을 참조하면, 도 7에서 살펴본 바와 마찬가지로, 제1 타입에서 Hy = -15mT의 경우에만 제3 구조체(30)(Disk 3)로 회전 신호가 전파되지 않는 것을 확인할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시예 및 비교예에 따른 신호 전달 소자의 제1 구조체 및 제3 구조체의 주파수 대비 회전 신호(gyration signal)의 세기를 나타내는 그래프이다.
도 9를 참조하면, 회전 신호의 세기는 정현파장의 주파수에 의존하는 것을 확인할 수 있다. 제1, 2 타입 모두에서 제1 구조체(10)(Disk 1)의 회전 신호는 대응하는 바이어스 필드 하에서 결합 모드 주파수 근처에서 피크를 나타낸다. 대체로 특정 주파수 근처에서 회전 신호의 전파가 잘 되는 것을 확인할 수 있다.
제1 타입에서 Hy = -15mT를 인가할 때는 f = 350MHz 근처에서 회전 신호가 거의 전송되지 않음을 확인할 수 있고, f= 290 MHz 근처에서 나타나는 작은 신호는Hy = -15mT에서 제2 구조체(20)(Disk 2)의 공명 주파수이다. 반대로, 제1 타입에서 Hy = +15mT를 인가할 때는 330 MHz < f <350 MHz 범위에서 회전 신호가 잘 전파됨을 확인할 수 있다.
위에서 살펴본 신호 전달 소자 및 신호 전달의 원리를 응용하여, 원형 디스크 및 잘린 디스크 어레이를 기반으로 시간 및 주파수 분할 멀티플렉서/디멀티플렉서를 구현하는 것을 제안한다.
도 10은 디멀티플렉서의 개략도 및 Truth 표를 나타낸다.
가장 간단한 형태의 디멀티플렉서로서 도 10과 같이 하나의 입력 신호(Input)를 받아 두개의 출력 신호 1(Output 1), 출력 신호 2(Output 2) 중 선택하는 간단한 모델을 도시하였다. 입력 신호(Input)와 선택(Select)을 제어하여 출력 신호 1(Output 1) 또는 출력 신호 2(Output 2)가 0 또는 1의 값을 가질 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티플렉서/디멀티플렉서(100)의 동작을 나타내는 개략도이다. 이하에서는 신호를 수신하는 단계에서 신호를 분배하는 디멀티플렉서를 예를 들어 설명하나, 신호를 송신하는 단계에서 신호를 선택해서 본내는 멀티플렉서로서 적용도 가능함을 밝혀둔다.
도 11(a)를 참조하면, 도 10과 같은 디멀티플렉서(100)의 기본적인 형태를 구현하기 위한 자성 박막 구조체의 배열 형태가 제안된다. 여기에서 제1 구조체(110)는 제1 구조체(10)와 실질적으로 구성이 동일하고, 제3 구조체(120, 130)는 제1 구조체(110)와 동일할 수 있다. 플랫한 모서리(141, 151)를 갖는 제2 구조체(140, 150)는 제2 구조체(20)와 동일할 수 있다.
제1 구조체(110)는 디멀티플렉서(100)의 신호 입력부로서 사용될 수 있다. 제1 구조체(110)를 시작으로 하여 복수의 경로를 따라 제2, 3 구조체(120, 130, 140, 150)들이 배치될 수 있고, 각각의 경로의 단부에 신호 출력부가 배치될 수 있다. 경로에 따라 제3 구조체(120, 130) 또는 제2 구조체(140, 150)가 신호 출력부로 사용될 수 있다. 또한, 제3 구조체(120, 130) 또는 제2 구조체(140, 150)의 개수는 변경될 수 있다.
본 발명에서는 제1 구조체(110)[신호 입력부]에서 양측으로 2개의 경로가 형성되어, 각 경로마다 제2, 3 구조체(140, 120)(150, 130)가 순차적으로 하나씩 배치되는 것을 예로 들어 설명한다. 2개의 경로는 일직선 형태로 대향하며 연결되며, 각 경로의 단부에 배치된 제3 구조체(140, 150)는 신호 출력부로 사용될 수 있다. 각각의 제2 구조체(140, 150)는 플랙한 모서리(141, 151)가 제3 구조체(120, 130)를 향하도록 배치될 수 있다. 각 경로를 따라 전극이 연결되어 자기장, 전류의 흐름을 형성할 수 있다.
도 11(b)를 참조하면, Hy > 0mT인 경우, 모든 자성 박막 구조체의 핵이 중심부로부터 좌측으로 이동(shift)하며 회전할 수 있다. 여기에서, 제1 구조체(110)에 신호를 입력하면, 제2 경로를 따라서는(우측 방향) 제1 구조체(110)에서 제2 구조체(150)로 회전 신호가 전달될 수 있고, 제2 구조체(150)에서 제3 구조체(130)로 신호가 다시 전달될 수 있다. 이는 도 4 (b)와 마찬가지의 원리이다.
반대로, 제1 경로를 따라서는(좌측 방향) 제1 구조체(110)에서 제2 구조체(140)로 회전 신호가 전달될 수 없고, 제2 구조체(140)에서 제3 구조체(120)로 신호의 전달도 억제된다. 이는 도 4 (c)와 마찬가지의 원리이다.
따라서, 제1 구조체(110)의 입력(Input)은 제3 구조체(130)에서 출력(Output 2)되고, 제3 구조체(120)에서는 출력(Output 1)되지 않는다.
도 11(c)를 참조하면, Hy < 0mT인 경우, 모든 자성 박막 구조체의 핵이 중심부로부터 우측으로 이동(shift)하며 회전할 수 있다. 여기에서, 제1 구조체(110)에 신호를 입력하면, 제1 경로를 따라서는(좌측 방향) 제1 구조체(110)에서 제4 구조체(150)로 회전 신호가 전달될 수 있고, 제2 구조체(140)에서 제3 구조체(120)로 신호가 다시 전달될 수 있다. 이는 도 4 (b)와 마찬가지의 원리이다.
반대로, 제2 경로를 따라서는(우측 방향) 제1 구조체(110)에서 제2 구조체(150)로 회전 신호가 전달될 수 없고, 제2 구조체(150)에서 제3 구조체(130)로 신호의 전달도 억제된다. 이는 도 4 (c)와 마찬가지의 원리이다.
따라서, 제1 구조체(110)의 입력(Input)은 제3 구조체(120)에서 출력(Output 1)되고, 제3 구조체(130)에서는 출력(Output 2)되지 않는다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티플렉서/디멀티플렉서의 바이어스 필드에 대한 신호 전달 및 신호 입력부와 신호 출력부의 주파수 대비 회전 신호의 세기를 나타내는 그래프이다.
일반적인 시간 분할 디멀티플렉서는 하나의 입력 라인을 취한 후에 한번에 여러개의 출력 라인 중 하나로 전환한다. 본 발명의 실시예에서는 제1 구조체(110)에 335MHz < f <350MHz의 주파수 범위를 갖는 정현파장을 적용하고, 양쪽 끝 제3 구조체(120, 130)에 해당하는 회전 신호를 확인하였다. 디스크 어레이에 연결되는 전극의 DC 전류 방향(자기장 인가 방향)을 전환함에 따라 회전 신호의 전파 방향을 선택하였다.
먼저, 도 12(a)를 참조하면, Hy = 15mT의 정자기장을 인가[(Select) = 1]한 상태에서, 제1 구조체(110)에 입력 신호로 H0 = 0.2mT인 정현파장을 적용[(Input) = 1]하여 회전 신호를 여기하였다. 도 11(b)와 마찬가지로, 제2 구조체(140)는 핵이 플랫한 모서리쪽으로 변위되고, 제2 구조체(150)는 핵이 둥근변쪽으로 변위되기 때문에, 제1 구조체(110)의 입력 신호는 제2 경로를 따라서(우측 방향) 제2 구조체(150)로 전달되어, 제3 구조체(130)에서 출력(Output 2)될 수 있다.
도 12(b)를 참조하면, 330MHz < f < 350MHz의 주파수 범위에서 출력 1(Output 1)과 출력 2(Output 2)의 회전 신호 비율은 약 10dB에 해당함을 확인할 수 있다.
다음으로, 도 13(a)를 참조하면, Hy = -15mT의 정자기장을 인가[(Select) = 0]한 상태에서, 제1 구조체(110)에 입력 신호로 H0 = 0.2mT인 정현파장을 적용[(Input) = 1]하여 회전 신호를 여기하였다. 도 11(c)와 마찬가지로, 제2 구조체(140)는 핵이 둥근변쪽으로 변위되고, 제2 구조체(150)는 핵이 플랫한 모서리쪽으로 변위되기 때문에, 제1 구조체(110)의 입력 신호는 제1 경로를 따라서(좌측 방향) 제2 구조체(140)로 전달되어, 제3 구조체(120)에서 출력(Output 1)될 수 있다.
도 13(b)를 참조하면, 330MHz < f < 350MHz의 주파수 범위에서 출력 2(Output 2)와 출력 1(Output 1)의 회전 신호 비율은 약 10dB에 해당함을 확인할 수 있다.
도 12 및 도 13의 동작은 도 10(b)에 제시된 Truth 표와 일치한다. 제1 구조체(110)에 입력 신호가 적용[(Input) = 1]될 때, Hy = -15mT[(Select) = 0]이면, 제3 구조체(140)에서 신호가 출력(Output 1)된다. 제1 구조체(110)에 입력 신호가 적용[(Input) = 1]될 때, Hy = 15mT[(Select) = 1]이면, 제3 구조체(150)에서 신호가 출력(Output 2)된다.
이를 통해, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 정보 채널의 전환이 가능하고, 시간 분할 멀티플렉서/디멀티플렉서로서 적용이 가능함을 확인할 수 있다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 멀티플렉서/디멀티플렉서의 바이어스 필드에 대한 신호 전달 및 신호 입력부와 신호 출력부의 주파수 대비 회전 신호의 세기를 나타내는 그래프이다.
도 14(a)를 참조하면, 제1 구조체(110)를 제1 경로(좌측 방향), 제2 경로(우측 방향) 사이에 배치하고, 제1 경로를 따라서는 복수의 제2 구조체, 제2 경로를 따라서는 복수의 제3 구조체를 이격 배치할 수 있다. 복수의 제2 구조체는 플랫한 모서리가 제1 경로(좌측 방향)이 연장되는 바깥쪽을 향하도록 배치할 수 있다. Hy = 15mT 로 고정하고, 제1 구조체(110)에 주파수를 달리하여 입력 신호를 적용할 수 있다.
제1 경로(좌측 방향)의 모든 제2 구조체는 핵이 플랫한 모서리쪽으로 변위되어 공명 주파수가 낮게 나타날 수 있다. 반대로 제2 경로(우측 방향)의 모든 제3 구조체는 공명 주파수가 높게 나타날 수 있다. 이에 따라 주파수 f1에 대해서는 제1 경로(좌측 방향)이 채널이 되고, 주파수 f1보다 높은 주파수 f2에 대해서는 제2 경로(우측 방향)이 채널이 될 수 있다.
도 12(b)에 도시된 바와 같이, f1 = 290MHz일때 Output 1에서 가장 큰 진폭을 나타내고, f2 = 345MHz일때 Output 2에서 가장 큰 진폭을 나타냄을 확인할 수 있다. Output 1 대 Output 2의 회전 신호 비율은 f1에서 9.25dB이고, Output 2 대 Output 1의 회전 신호 비율은 f2에서 13.4dB였다.
이를 통해, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 주파수 분할 멀티플렉서/디멀티플렉서로서 적용이 가능함을 확인할 수 있다.
이에 따라, 본 발명의 실시예(제1 타입)의 신호 전달 소자는, 바이어스 필드 방향에 따라 회전 신호의 전파에 대한 "On" 및 "Off"를 전환할 수 있게 하는 효과가 있다. 그리고, 본 발명은 적은 에너지 소모를 가지고, 파동 특성의 제어가 쉬운 자성 박막 구조체를 이용한 신호 전달 소자를 구현하여, 선택적으로 신호를 전달할고, 신뢰성 있는 신호 전달이 가능한 효과가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
10: 제1 구조체, 원형 디스크(circular disk)
20: 제2 구조체, 잘린 디스크(chopped disk)
20': 제2 구조체(비교예의 원형 디스크)
21, 141, 151: 플랫(flat)한 모서리
30: 제3 구조체, 원형 디스크(circular disk)
100: 멀티플렉서, 디멀티플렉서
110: 제1 구조체, 원형 디스크(circular disk)
120, 130: 제3 구조체, 원형 디스크(circular disk)
140, 150: 제2 구조체, 잘린 디스크(chopped disk)

Claims (11)

  1. 자기소용돌이 구조를 가지는 자성 박막 구조체를 복수개 포함하는 멀티플렉서(multiplexer)로서,
    복수의 경로의 일단에 배치되는 신호 입력부; 및 각각의 경로의 타단에 배치되는 신호 출력부;를 포함하며,
    신호 입력부 상에는 자성 박막 구조체인 제1 구조체가 배치되고,
    신호 출력부까지 연장되는 각각의 경로 상에는 자성 박막 구조체인 적어도 하나의 제2 구조체 및 자성 박막 구조체인 적어도 하나의 제3 구조체가 배치되며,
    제1 구조체와 제3 구조체는 대칭 형태, 제2 구조체는 비대칭 형태이고,
    자성 박막 구조체들은 상호 이격되도록 배치되며, 신호 입력부에서 신호 출력부의 방향을 따라 앞에 배치된 자성 박막 구조체가 뒤에 배치된 자성 박막 구조체에 대해 순차적으로 핵의 회전운동을 유발함에 따라 신호가 전달되되,
    제2 구조체 내에서 핵의 회전운동의 중심이 비대칭한 일측 부분에 편향되면 신호의 전달이 차단되고, 제2 구조체 내에서 핵의 회전운동의 중심이 상기 비대칭한 일측의 반대 방향으로 편향되면 신호가 전달되는,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    일직선 형태로 대향하며 연결된 2개의 경로를 포함하며,
    제1 경로와 제2 경로의 사이에 제1 구조체가 배치되고,
    제1 구조체에서 제1 경로를 따라 제2 구조체 및 제3 구조체가 순차적으로 이격 배치되고,
    제1 구조체에서 제2 경로를 따라 제2 구조체 및 제3 구조체가 순차적으로 배치되는,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
  4. 제3항에 있어서,
    제2 구조체는 비대칭한 일측 부분이 제3 구조체를 향하도록 배치되는,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
  5. 제4항에 있어서,
    xy 평면상에 자성 박막 구조체가 배치될 때,
    y축 방향으로 자기장을 인가하면 제1 구조체의 입력 신호가 제2 경로를 따라 제2 구조체를 거쳐 제3 구조체로 전달되고,
    -y축 방향으로 자기장을 인가하면 제1 구조체의 입력 신호가 제1 경로를 따라 제2 구조체를 거쳐 제3 구조체로 전달되는,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
  6. 제1항에 있어서,
    제1 구조체, 및 제3 구조체는 전체적으로 디스크(disk) 형태이고, 제2 구조체는 디스크 형태에서 적어도 일부가 비대칭한 형태인,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
  7. 제6항에 있어서,
    제2 구조체는 디스크 형태에서 적어도 플랫한 모서리를 가지는 형태인,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
  8. 자기소용돌이 구조를 가지는 자성 박막 구조체를 복수개 포함하는 멀티플렉서(multiplexer)로서,
    복수의 경로의 일단에 배치되는 신호 입력부; 및 각각의 경로의 타단에 배치되는 신호 출력부;를 포함하며,
    신호 입력부 상에는 자성 박막 구조체인 제1 구조체가 배치되고,
    신호 출력부까지 연장되는 각각의 경로 상에는 자성 박막 구조체인 복수의 제2 구조체, 또는 자성 박막 구조체인 복수의 제3 구조체가 배치되며,
    제1 구조체와 제3 구조체는 대칭 형태, 제2 구조체는 비대칭 형태이고,
    자성 박막 구조체들은 상호 이격되도록 배치되며, 신호 입력부에서 신호 출력부의 방향을 따라 앞에 배치된 자성 박막 구조체가 뒤에 배치된 자성 박막 구조체에 대해 순차적으로 핵의 회전운동을 유발함에 따라 신호가 전달되되,
    제2 구조체 내에서 핵의 회전운동의 중심이 비대칭한 일측 부분에 편향되면 신호의 전달이 차단되고, 제2 구조체 내에서 핵의 회전운동의 중심이 상기 비대칭한 일측의 반대 방향으로 편향되면 신호가 전달되는,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
  9. 제8항에 있어서,
    일직선 형태로 대향하며 연결된 2개의 경로를 포함하며,
    제1 경로와 제2 경로의 사이에 제1 구조체가 배치되고,
    제1 구조체에서 제1 경로를 따라 복수의 제2 구조체가 이격 배치되고,
    제1 구조체에서 제2 경로를 따라 복수의 제3 구조체가 이격 배치되는,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
  10. 제8항에 있어서,
    복수의 제2 구조체는 비대칭한 일측 부분이 경로가 연장되는 바깥을 향하도록 이격 배치되는,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
  11. 제10항에 있어서,
    xy 평면상에 자성 박막 구조체가 배치되고, y축 방향으로 자기장을 인가될 때,
    제1 구조체의 입력 신호의 주파수 대역에 따라 신호가 제1 경로 또는 제2 경로를 따라 전달되고,
    제1 경로를 따라 신호가 전달될 때의 제1 구조체의 입력 신호의 주파수는, 제2 경로를 따라 신호가 전달될 때의 주파수보다 낮은,
    자성 박막 구조체를 이용한 멀티플렉서.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070036673A (ko) * 2005-09-29 2007-04-03 재단법인서울대학교산학협력재단 강한 스핀파 발생 방법 및 스핀파를 이용한 초고속 정보처리 스핀파 소자
KR20160004838A (ko) * 2014-07-04 2016-01-13 울산과학기술원 산학협력단 비대칭 나노 디스크를 이용한 단위 정보 저장 장치 및 정보 저장 장치

Patent Citations (2)

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