KR102385310B1 - Chiller system - Google Patents

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KR102385310B1
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circulation
cooling
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김형규
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주식회사 차고엔지니어링
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Abstract

To achieve an idea as described above, according to various embodiments of the present disclosure, a chiller system is disclosed. The chiller system comprises: a fluid circulation unit supplying fluid to a cooling target; a heat exchanger allowing the fluid to exchange heat with a refrigerant; and a cooling unit supplying the refrigerant to the heat exchanger. At least a portion of the fluid discharged according to temperature of the fluid discharged from the fluid circulation unit is supplied to the heat exchanger.

Description

칠러 시스템{CHILLER SYSTEM} chiller system {CHILLER SYSTEM}

본 개시는 칠러 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 산업용 설비(예컨대, 반도체 제조 설비, 레이저, 사출기, 의료기기 및 화학 공정설비 등)의 열 부하를 냉각시켜 안정적인 공정을 수행하도록 하는 냉각 장치에 관한 것이다. The present disclosure relates to a chiller system, and more specifically, to a cooling device for performing a stable process by cooling the thermal load of industrial facilities (eg, semiconductor manufacturing facilities, lasers, injection machines, medical devices and chemical processing facilities, etc.) will be.

일반적으로, 칠러 시스템(chiller system)은 냉수 또는 냉매를 공조기나 냉동기 등의 냉각 수요처로 공급하는 냉각장치 또는 냉동장치로서, 냉각부, 열교환기, 유체순환장치, 냉각타겟 및 유체 이동관을 포함할 수 있다. 예컨대, 냉각부, 열교환기, 유체순환장치 및 냉각타겟은 유체 이동관을 통해 상호 연결되어 있을 수 있으며, 연결된 유체 이동관을 통해 열전달 효율이 좋은 냉각 유체(예컨대, coolant)가 순환됨에 따라 냉각타겟에 저온을 공급하여 냉각시킬 수 있다.In general, a chiller system is a cooling device or refrigeration device that supplies chilled water or refrigerant to a cooling demand such as an air conditioner or a refrigerator, and may include a cooling unit, a heat exchanger, a fluid circulation device, a cooling target, and a fluid movement pipe. there is. For example, the cooling unit, the heat exchanger, the fluid circulation device, and the cooling target may be interconnected through a fluid flow pipe, and as a cooling fluid (eg, coolant) with good heat transfer efficiency circulates through the connected fluid flow pipe, the low temperature to the cooling target can be supplied for cooling.

자세히 설명하면, 칠러 시스템에 포함된 열교환기는, 냉각부의 압축, 응축, 팽창 및 증발 과정을 통해 발생하는 기화열에 기초한 열 교환을 통해 저온의 냉각 유체를 확보하여 유체순환장치로 전달시킬 수 있다. 여기서, 유체순환장치는, 열교환기 및 냉각타겟 각각에 냉각 유체를 순환시키는 역할을 수행한다.More specifically, the heat exchanger included in the chiller system may secure a low-temperature cooling fluid through heat exchange based on heat of vaporization generated through compression, condensation, expansion, and evaporation of the cooling unit and deliver it to the fluid circulation device. Here, the fluid circulation device serves to circulate the cooling fluid to each of the heat exchanger and the cooling target.

구체적으로, 유체순환장치는 열교환기로 냉각 유체를 공급할 수 있으며, 열교환기에서 수행되는 냉각부와의 열 교환 과정을 통해 획득된 저온의 냉각 유체를 전달받을 수 있다. 유체순환장치가 열교환기로부터 전달받은 저온의 냉각 유체는 냉각타겟을 저온으로 유지시키기 위해 공급되며, 냉각타겟에서의 열 교환 후 다시 유체순환장치로 돌아오게 된다.Specifically, the fluid circulation device may supply a cooling fluid to the heat exchanger, and may receive a low-temperature cooling fluid obtained through a heat exchange process with a cooling unit performed in the heat exchanger. The low-temperature cooling fluid received by the fluid circulation device from the heat exchanger is supplied to maintain the cooling target at a low temperature, and is returned to the fluid circulation device after heat exchange in the cooling target.

이 경우, 냉각타겟에 공급되는 저온의 냉각유체는 순환 과정에서 냉각타겟과의 열 교환을 통해 온도가 상승되게 된다. 즉, 냉각타겟을 순환하여 유체순환장치로 돌아온 냉각 유체의 온도는 냉각타겟을 지속적으로 냉각시키기 위한 적정한 온도가 아닌 비교적 고온일 수 있다. 이에 따라, 유체순환장치는 냉각 유체가 냉각타겟을 저온으로 유지시키기 위한 적정한 온도를 유지하도록, 열교환기로부터 전달된 냉각 유체(즉, 저온의 냉각 유체)와 냉각타겟을 순환하고 돌아온 냉각 유체(즉, 비교적 고온의 냉각 유체)를 열교환시킬 수 있다.In this case, the temperature of the low-temperature cooling fluid supplied to the cooling target is increased through heat exchange with the cooling target during the circulation process. That is, the temperature of the cooling fluid returned to the fluid circulation device by circulating the cooling target may be a relatively high temperature, not an appropriate temperature for continuously cooling the cooling target. Accordingly, the fluid circulating device circulates the cooling fluid (ie, low-temperature cooling fluid) and the cooling target delivered from the heat exchanger so that the cooling fluid maintains an appropriate temperature for maintaining the cooling target at a low temperature (that is, the cooling fluid , a relatively high temperature cooling fluid) can be heat exchanged.

다시 말해, 유체순환장치는 냉각 유체를 열교환기 및 냉각타겟 각각으로 공급하여 순환시키고, 순환되어 돌아온 양 방향의 냉각 유체를 믹싱할 수 있다. 이를 위해, 유체순환장치는, 냉각 유체를 열교환기로 순환시키는 내부순환과 냉각타겟으로 순환시키는 외부순환 각각을 수행하기 위한 2개의 펌프를 구비할 수 있다. 예컨대, 유체순환장치는, 내부 순환 펌프 및 위부 순환 펌프 2개의 펌프를 포함할 수 있으며, 각 펌프를 통해 각 순환 사이클 별로 외부순환과 내부순환을 수행할 수 있다. In other words, the fluid circulation device may supply and circulate the cooling fluid to each of the heat exchanger and the cooling target, and may mix the circulating cooling fluid in both directions. To this end, the fluid circulation device may include two pumps for performing each of an internal circulation for circulating the cooling fluid to the heat exchanger and an external circulation for circulating the cooling target to the cooling target. For example, the fluid circulation device may include two pumps, an internal circulation pump and an upper circulation pump, and may perform external circulation and internal circulation for each circulation cycle through each pump.

다만, 종래의 유체순환장치는, 내부순환 및 외부순환을 위한 2개의 펌프를 구비하여야 하므로, 구비 사이즈가 방대해질 수 있다. 또한, 2개의 펌프를 별도로 운용함에 따라, 에너지 효율 측면에서 효율적이지 못할 수 있다. However, the conventional fluid circulation device, since it must be provided with two pumps for internal circulation and external circulation, the provided size can be enormous. In addition, as the two pumps are operated separately, it may not be efficient in terms of energy efficiency.

또한, 냉각 타겟을 냉각시켜 안정적인 공정을 수행(즉, 냉각 타겟이 특정 온도 범위 내에서 동작할 수 있도록)하도록 하기 위해, 유체순환장치는 일정한 온도 및 압력을 가진 냉각 유체를 냉각부로 공급하여야 하나, 냉각 유체의 온도 및 압력 편차를 일정하게 제어하는데 어려움이 있다.In addition, in order to cool the cooling target to perform a stable process (that is, to allow the cooling target to operate within a specific temperature range), the fluid circulation device must supply a cooling fluid having a constant temperature and pressure to the cooling unit, It is difficult to constantly control the temperature and pressure deviation of the cooling fluid.

대한민국 공개특허 10-2018-0121606호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2018-0121606

본 개시가 해결하고자 하는 과제는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 냉각타겟으로 공급되는 유체의 온도 및 압력을 일정하게 유지하여 냉각타겟을 안정적으로 냉각시킬 수 있는 칠러 시스템을 제공하기 위함이다.An object of the present disclosure is to solve the above problems, and to provide a chiller system capable of stably cooling a cooling target by maintaining a constant temperature and pressure of a fluid supplied to the cooling target.

본 개시가 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급된 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present disclosure are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 개시의 다양한 실시예에 따른 칠러시스템이 개시된다. 상기 칠러시스템은, 냉각타겟으로 유체를 공급하는 유체순환부, 유체를 공급받은 냉매와 열교환시키는 열교환기 및 상기 냉매를 상기 열교환기로 공급하는 냉각부를 포함하고, 상기 유체순환부에서 토출된 유체의 온도에 따라 토출된 유체의 적어도 일부가 상기 열교환기로 공급되는 것을 특징으로 할 수 있다. A chiller system according to various embodiments of the present disclosure for solving the above-described problems is disclosed. The chiller system includes a fluid circulation unit for supplying a fluid to a cooling target, a heat exchanger for exchanging heat with the refrigerant supplied with the fluid, and a cooling unit for supplying the refrigerant to the heat exchanger, the temperature of the fluid discharged from the fluid circulation unit It may be characterized in that at least a portion of the discharged fluid is supplied to the heat exchanger.

대안적인 실시예에서, 상기 유체순환부는, 내부에 유체를 저장하는 순환탱크, 유체의 흐름을 발생시키는 펌프, 상기 펌프로부터 토출된 유체의 압력을 제어하는 릴리프밸브, 상기 열교환기로부터 상기 순환탱크로 공급되는 유체량을 제어하는 컨트롤밸브, 상기 순환탱크에 저장된 유체를 토출시키는 유체토출관 및 상기 순환탱크로 유체를 유입시키는 유체유입관을 포함할 수 있다. In an alternative embodiment, the fluid circulation unit, a circulation tank for storing the fluid therein, a pump for generating a flow of the fluid, a relief valve for controlling the pressure of the fluid discharged from the pump, from the heat exchanger to the circulation tank It may include a control valve for controlling the amount of supplied fluid, a fluid discharge pipe for discharging the fluid stored in the circulation tank, and a fluid inlet pipe for introducing the fluid into the circulation tank.

대안적인 실시예에서, 상기 유체토출관은, 토출된 유체의 온도를 측정하는 온도센서, 토출된 유체가 나뉘는 분지부, 상기 냉각타겟과 연결되는 제1공급관, 상기 열교환기와 연결되는 제2공급관을 포함하고, 상기 온도센서에서 측정된 값에 따라 상기 컨트롤밸브의 작동이 제어되는 것을 특징으로 할 수 있다. In an alternative embodiment, the fluid discharge pipe includes a temperature sensor for measuring the temperature of the discharged fluid, a branch for dividing the discharged fluid, a first supply pipe connected to the cooling target, and a second supply pipe connected to the heat exchanger. Including, it may be characterized in that the operation of the control valve is controlled according to the value measured by the temperature sensor.

대안적인 실시예에서, 상기 유체유입관은, 상기 냉각타겟과 연결되는 제1유입관 및 상기 열교환기와 연결되는 제2유입관을 포함하고, 상기 제2유입관으로부터 유입되는 유체는 상기 컨트롤밸브를 통해 상기 순환탱크로 설정된 양만큼 유입되는 것을 특징으로 할 수 있다. In an alternative embodiment, the fluid inlet pipe includes a first inlet pipe connected to the cooling target and a second inlet pipe connected to the heat exchanger, and the fluid flowing in from the second inlet pipe operates the control valve. It may be characterized in that the amount introduced into the circulation tank through the set amount.

대안적인 실시예에서, 상기 릴리프밸브는, 상기 온도센서와 상기 펌프 사이에 구비되고 설정된 압력 이상의 유체를 순환탱크로 배출시키는 것을 특징으로 할 수 있다. In an alternative embodiment, the relief valve, provided between the temperature sensor and the pump, may be characterized in that the fluid above a set pressure is discharged to the circulation tank.

대안적인 실시예에서, 상기 유체순환부는, 상기 순환탱크 내부의 유체 온도를 제어하는 히터, 상기 펌프의 전단에 구비되어 유체를 필터링하는 필터 및 상기 순환탱크로 유체를 보충하는 하부탱크를 더 포함할 수 있다. In an alternative embodiment, the fluid circulation unit may further include a heater for controlling the temperature of the fluid inside the circulation tank, a filter provided at the front end of the pump to filter the fluid, and a lower tank for replenishing the fluid to the circulation tank. can

대안적인 실시예에서, 상기 순환탱크는, 외부로부터 유체가 공급되는 유체리필관 및 상기 순환탱크 내부 유체의 수위를 조정하는 수위조절관을 더 포함하고, 상기 수위조절관으로 유입된 유체는 상기 하부탱크로 향하는 것을 특징으로 할 수 있다. In an alternative embodiment, the circulation tank further includes a fluid refill pipe to which a fluid is supplied from the outside, and a water level control pipe for adjusting the level of the fluid inside the circulation tank, and the fluid introduced into the water level control pipe is the lower It may be characterized by heading to the tank.

대안적인 실시예에서, 상기 펌프는, 복수 개로 구비되는 헬리코기어 간의 상호 회전을 통해 야기되는 흡입력으로 유체의 흐름을 발생시키며, 상기 복수 개의 헬리코기어 중 적어도 하나는, 모터와 회전 중심축을 공유하도록 커플링 연결되는 것을 특징으로 할 수 있다. In an alternative embodiment, the pump generates a flow of fluid with a suction force caused through mutual rotation between a plurality of helico gears, and at least one of the plurality of helico gears shares a motor and a central axis of rotation It may be characterized in that it is coupled to the coupling.

대안적인 실시예에서, 상기 컨트롤밸브는, 동작을 제어하는 솔레노이드밸브, 상기 솔레노이드밸브의 제어 동작에 기초한 실린더의 수직 운동을 허용하는 수용공간을 포함하는 상측바디부 및 상기 실린더의 일단에 연결되어 유체를 토출하기 위한 통로를 형성하는 하측바디부를 포함할 수 있다. In an alternative embodiment, the control valve is connected to one end of the cylinder and a solenoid valve for controlling the operation, an upper body portion including an accommodating space that allows vertical movement of the cylinder based on the control operation of the solenoid valve, and the fluid It may include a lower body portion forming a passage for discharging the.

대안적인 실시예에서, 상기 유체순환부는 복수 개로 구비되고, 각각의 유체순환부로부터 토출되는 유체는 상기 열교환기 내에 구비된 냉매관과 동시에 열교환하는 것을 특징으로 할 수 있다. In an alternative embodiment, the fluid circulation part may be provided in plurality, and the fluid discharged from each fluid circulation part may be characterized in that it exchanges heat with a refrigerant pipe provided in the heat exchanger at the same time.

본 개시의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the present disclosure are included in the detailed description and drawings.

본 개시는 냉각타겟으로 공급되는 유체의 온도 및 압력을 일정하게 유지하여 냉각타겟을 안정적으로 냉각시킬 수 있는 칠러 시스템을 제공할 수 있다. The present disclosure may provide a chiller system capable of stably cooling the cooling target by maintaining a constant temperature and pressure of the fluid supplied to the cooling target.

또한, 내부 및 외부 순환을 하나의 펌프에서 동시에 수행하도록 하여 에너지 효율을 극대화시킴과 동시에 장치의 구비 사이즈 최소화하여 dimension 효율을 향상시키는 등, 순환 시스템의 효율성을 극대화시키는 효과를 제공할 수 있다.In addition, it is possible to provide the effect of maximizing the efficiency of the circulation system, such as maximizing energy efficiency by simultaneously performing internal and external circulation in one pump, and improving dimensional efficiency by minimizing the size of the device at the same time.

본 개시의 효과들은 이상에서 언급된 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present disclosure are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

다양한 양상들이 이제 도면들을 참조로 기재되며, 여기서 유사한 참조 번호들은 총괄적으로 유사한 구성요소들을 지칭하는데 이용된다. 이하의 실시예에서, 설명 목적을 위해, 다수의 특정 세부사항들이 하나 이상의 양상들의 총체적 이해를 제공하기 위해 제시된다. 그러나, 그러한 양상(들)이 이러한 구체적인 세부사항들 없이 실시될 수 있음은 명백할 것이다.
도 1은 본 개시의 일 실시예와 관련된 칠러 시스템의 전체적인 개략도를 도시한다.
도 2는 본 개시의 일 실시예와 관련된 냉각부의 냉각 사이클을 예시적으로 나타낸 예시도이다.
도 3은 본 개시의 일 실시예와 관련된 칠러 시스템의 세부 블록 구성도를 예시적으로 나타낸 예시도이다.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 관련된 유체순환부의 전체 사시도를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 개시의 일 실시예에 관련된 측면에서 바라본 유체순환부를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 본 개시의 일 실시예에 관련된 펌프를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 7은 본 개시의 일 실시예와 관련된 릴리프밸브를 예시적으로 나타낸 도면이다.
도 8은 본 개시의 실시예와 관련된 컨트롤밸브를 예시적으로 도시한 예시도이다.
Various aspects are now described with reference to the drawings, wherein like reference numbers are used to refer to like elements throughout. In the following example, for purposes of explanation, numerous specific details are set forth in order to provide a thorough understanding of one or more aspects. It will be evident, however, that such aspect(s) may be practiced without these specific details.
1 shows an overall schematic diagram of a chiller system related to an embodiment of the present disclosure;
2 is an exemplary view illustrating a cooling cycle of a cooling unit related to an embodiment of the present disclosure.
3 is an exemplary diagram illustrating a detailed block configuration diagram of a chiller system related to an embodiment of the present disclosure.
4 is a view illustrating an overall perspective view of a fluid circulation unit related to an embodiment of the present disclosure.
5 is a view showing an exemplary fluid circulation unit viewed from the side related to an embodiment of the present disclosure.
6 is a view exemplarily showing a pump according to an embodiment of the present disclosure.
7 is a view showing an exemplary relief valve related to an embodiment of the present disclosure.
8 is an exemplary view illustrating a control valve related to an embodiment of the present disclosure.

다양한 실시예들 및/또는 양상들이 이제 도면들을 참조하여 개시된다. 하기 설명에서는 설명을 목적으로, 하나 이상의 양상들의 전반적 이해를 돕기 위해 다수의 구체적인 세부사항들이 개시된다. 그러나, 이러한 양상(들)은 이러한 구체적인 세부사항들 없이도 실행될 수 있다는 점 또한 본 개시의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 감지될 수 있을 것이다. 이후의 기재 및 첨부된 도면들은 하나 이상의 양상들의 특정한 예시적인 양상들을 상세하게 기술한다. 하지만, 이러한 양상들은 예시적인 것이고 다양한 양상들의 원리들에서의 다양한 방법들 중 일부가 이용될 수 있으며, 기술되는 설명들은 그러한 양상들 및 그들의 균등물들을 모두 포함하고자 하는 의도이다. 구체적으로, 본 명세서에서 사용되는 "실시예", "예", "양상", "예시" 등은 기술되는 임의의 양상 또는 설계가 다른 양상 또는 설계들보다 양호하다거나, 이점이 있는 것으로 해석되지 않을 수도 있다.Various embodiments and/or aspects are now disclosed with reference to the drawings. In the following description, for purposes of explanation, numerous specific details are set forth to provide a thorough understanding of one or more aspects. However, it will also be appreciated by one of ordinary skill in the art that such aspect(s) may be practiced without these specific details. The following description and accompanying drawings set forth in detail certain illustrative aspects of one or more aspects. These aspects are illustrative, however, and some of various methods may be employed in the principles of the various aspects, and the descriptions set forth are intended to include all such aspects and their equivalents. Specifically, as used herein, “embodiment”, “example”, “aspect”, “exemplary”, etc. are not to be construed as advantageous or advantageous over any aspect or design described herein. It may not be.

이하, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략한다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않는다.Hereinafter, the same or similar components are assigned the same reference numerals regardless of reference numerals, and overlapping descriptions thereof will be omitted. In addition, in describing the embodiments disclosed in the present specification, if it is determined that detailed descriptions of related known technologies may obscure the gist of the embodiments disclosed in the present specification, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the accompanying drawings are only for easy understanding of the embodiments disclosed in the present specification, and the technical ideas disclosed in the present specification are not limited by the accompanying drawings.

비록 제 1, 제 2 등이 다양한 소자나 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자나 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자나 구성요소를 다른 소자나 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 소자나 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제 2 소자나 구성요소 일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements or elements, these elements or elements are not limited by these terms, of course. These terms are only used to distinguish one element or component from another. Accordingly, it goes without saying that the first element or component mentioned below may be the second element or component within the spirit of the present invention.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used with the meaning commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. In addition, terms defined in a commonly used dictionary are not to be interpreted ideally or excessively unless clearly defined in particular.

더불어, 용어 "또는"은 배타적 "또는"이 아니라 내포적 "또는"을 의미하는 것으로 의도된다. 즉, 달리 특정되지 않거나 문맥상 명확하지 않은 경우에, "X는 A 또는 B를 이용한다"는 자연적인 내포적 치환 중 하나를 의미하는 것으로 의도된다. 즉, X가 A를 이용하거나; X가 B를 이용하거나; 또는 X가 A 및 B 모두를 이용하는 경우, "X는 A 또는 B를 이용한다"가 이들 경우들 어느 것으로도 적용될 수 있다. 또한, 본 명세서에 사용된 "및/또는"이라는 용어는 열거된 관련 아이템들 중 하나 이상의 아이템의 가능한 모든 조합을 지칭하고 포함하는 것으로 이해되어야 한다.In addition, the term “or” is intended to mean an inclusive “or” rather than an exclusive “or.” That is, unless otherwise specified or clear from context, "X employs A or B" is intended to mean one of the natural implicit substitutions. That is, X employs A; X employs B; or when X employs both A and B, "X employs A or B" may apply to either of these cases. It should also be understood that the term “and/or” as used herein refers to and includes all possible combinations of one or more of the listed related items.

또한, "포함한다" 및/또는 "포함하는"이라는 용어는, 해당 특징 및/또는 구성요소가 존재함을 의미하지만, 하나 이상의 다른 특징, 구성요소 및/또는 이들의 그룹의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 달리 특정되지 않거나 단수 형태를 지시하는 것으로 문맥상 명확하지 않은 경우에, 본 명세서와 청구범위에서 단수는 일반적으로 "하나 또는 그 이상"을 의미하는 것으로 해석되어야 한다.Also, the terms "comprises" and/or "comprising" mean that the feature and/or element is present, but excludes the presence or addition of one or more other features, elements, and/or groups thereof. should be understood as not Also, unless otherwise specified or unless it is clear from context to refer to a singular form, the singular in the specification and claims should generally be construed to mean “one or more”.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 “연결되어” 있다거나 “접속되어” 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 “직접 연결되어” 있다거나 “직접 접속되어” 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.When a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it is understood that it may be directly connected or connected to the other component, but other components may exist in between. it should be On the other hand, when it is said that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there is no other element in the middle.

이하의 설명에서 사용되는 구성 요소에 대한 접미사 “모듈” 및 “부”는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다.The suffixes “module” and “part” for components used in the following description are given or mixed in consideration of only the ease of writing the specification, and do not have distinct meanings or roles by themselves.

구성 요소(elements) 또는 층이 다른 구성 요소 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 구성 요소 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 구성 요소를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 구성 요소가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 구성 요소 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.References to an element or layer “on” or “on” another component or layer mean that another layer or other component in between as well as directly above the other component or layer. Including all intervening cases. On the other hand, when a component is referred to as “directly on” or “immediately on”, it indicates that another component or layer is not interposed therebetween.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 구성 요소 또는 다른 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다.Spatially relative terms "below", "beneath", "lower", "above", "upper", etc. It can be used to easily describe a component or a correlation with other components. The spatially relative terms should be understood as terms including different orientations of the device during use or operation in addition to the orientation shown in the drawings.

예를 들면, 도면에 도시되어 있는 구성 요소를 뒤집을 경우, 다른 구성 요소의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 구성 요소는 다른 구성 요소의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 구성 요소는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.For example, when a component shown in the drawing is turned over, a component described as “beneath” or “beneath” of another component may be placed “above” of the other component. can Accordingly, the exemplary term “below” may include both directions below and above. Components may also be oriented in other orientations, and thus spatially relative terms may be interpreted according to orientation.

본 개시의 목적 및 효과, 그리고 그것들을 달성하기 위한 기술적 구성들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 본 개시를 설명하는데 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 개시의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 개시에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로써 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다.Objects and effects of the present disclosure, and technical configurations for achieving them will become clear with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. In describing the present disclosure, if it is determined that a detailed description of a well-known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present disclosure, the detailed description thereof will be omitted. In addition, the terms described below are terms defined in consideration of functions in the present disclosure, which may vary according to intentions or customs of users and operators.

그러나 본 개시는 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 단지 본 실시예들은 본 개시가 완전하도록 하고, 본 개시가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 개시의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 개시는 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.However, the present disclosure is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various different forms. Only the present embodiments are provided so that the present disclosure is complete, and to fully inform those of ordinary skill in the art to which the present disclosure belongs, the scope of the disclosure, and the present disclosure is only defined by the scope of the claims . Therefore, the definition should be made based on the content throughout this specification.

도 1은 본 개시의 일 실시예와 관련된 칠러 시스템의 전체적인 개략도를 도시한다. 1 shows an overall schematic diagram of a chiller system related to an embodiment of the present disclosure;

본 개시의 칠러시스템(1)은, 냉수 또는 냉매를 공조기나 냉동기 등의 냉각타겟(10)으로 공급하는 냉각장치 또는 냉동장치를 의미할 수 있다. 이러한 칠러시스템(1)은 냉각부(300)와 열 교환을 수행하는 열교환기(200)를 통해 저온의 유체를 확보할 수 있으며, 확보된 유체를 냉각타겟(10)으로 공급하여 냉각타겟(10)을 냉각시킬 수 있다.The chiller system 1 of the present disclosure may refer to a cooling device or a refrigeration device that supplies cold water or refrigerant to the cooling target 10 such as an air conditioner or a refrigerator. The chiller system 1 can secure a low-temperature fluid through the heat exchanger 200 that performs heat exchange with the cooling unit 300 , and supplies the secured fluid to the cooling target 10 to the cooling target 10 . ) can be cooled.

여기서 냉각타겟(10)은, 저온을 필요로하는 산업용 설비를 의미할 수 있으며, 예를 들어, 반도체 제조 설비, 레이저, 사출기, 의료기기 및 화학 공정 설비 등을 포함할 수 있다. 전술한 냉각타겟에 관련한 산업용 설비에 대한 구체적인 기재는 예시일 뿐, 본 개시는 이에 제한되지 않는다.Here, the cooling target 10 may refer to industrial equipment requiring low temperature, and may include, for example, semiconductor manufacturing equipment, lasers, injection machines, medical devices, and chemical process equipment. The detailed description of the industrial equipment related to the above-described cooling target is only an example, and the present disclosure is not limited thereto.

본 개시의 일 실시예에 따른 칠러시스템(1)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 냉각타겟(10), 유체순환부(100), 열교환기(200) 및 냉각부(300)를 포함할 수 있다. 도 1에서 도시되는 컴포넌트들은 예시적인 것으로, 추가적인 컴포넌트들이 존재하거나 또는 도 1에서 도시되는 컴포넌트들 중 일부는 생략될 수 있다. 본 개시의 실시예들에 따른 냉각타겟(10), 유체순환부(100), 열교환기(200) 및 냉각부(300)는 유체 이동을 위한 이동관을 통해 상호 연결되거나, 또는 이동관과 미리 정해진 이격 거리를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 각 컴포넌트들을 연결하는 이동관을 통해 유체가 순환됨에 따라 냉각타겟를 저온으로 유지시킬 수 있다. The chiller system 1 according to an embodiment of the present disclosure, as shown in FIG. 1 , includes a cooling target 10 , a fluid circulation unit 100 , a heat exchanger 200 , and a cooling unit 300 . can The components illustrated in FIG. 1 are exemplary, and additional components may exist or some of the components illustrated in FIG. 1 may be omitted. The cooling target 10, the fluid circulation unit 100, the heat exchanger 200 and the cooling unit 300 according to embodiments of the present disclosure are interconnected through a moving pipe for fluid movement, or a predetermined distance from the moving pipe. It may be provided to have a distance. That is, the cooling target can be maintained at a low temperature as the fluid circulates through the moving pipe connecting each component.

칠러시스템(1)에 포함된 냉각부(300)는, 열교환기(200)와의 열 교환을 통해 열교환기(200)를 순환하는 유체를 저온으로 유지시킬 수 있다. 구체적으로, 냉각부(300)는 열교환기(200)와 인접하게 배치되어 구비될 수 있다. 이 경우, 냉각부(300)는 주변의 열을 흡수하는 기화열을 야기시켜 열교환기(200) 내부를 관통하는 냉매관(210)을 저온으로 유지시킬 수 있다.The cooling unit 300 included in the chiller system 1 may maintain the fluid circulating in the heat exchanger 200 at a low temperature through heat exchange with the heat exchanger 200 . Specifically, the cooling unit 300 may be disposed adjacent to the heat exchanger 200 . In this case, the cooling unit 300 may maintain the refrigerant pipe 210 penetrating the inside of the heat exchanger 200 at a low temperature by causing the heat of vaporization to absorb the surrounding heat.

자세히 설명하면, 냉각부(300)는 압축기, 응축기, 팽창밸브 및 증발기를 포함할 수 있다. 또한, 냉각부(300)는 냉각 유체(예컨대, 냉매)가 이동하는 이동관을 포함할 수 있으며, 해당 이동관은 압축기, 응축기, 팽창밸브 및 증발기를 상호 연결시킬 수 있다. 이동관을 통해 냉각 유체는 압축기, 응축기, 팽창밸브 및 증발기를 순환할 수 있다.In detail, the cooling unit 300 may include a compressor, a condenser, an expansion valve, and an evaporator. Also, the cooling unit 300 may include a moving pipe through which a cooling fluid (eg, a refrigerant) moves, and the moving pipe may interconnect a compressor, a condenser, an expansion valve, and an evaporator. Through the moving tube, the cooling fluid may circulate through the compressor, the condenser, the expansion valve and the evaporator.

한편, 냉각부(300)는 압축기, 응축기, 팽창밸브 및 증발기를 기본 구성으로 하는 냉각사이클을 2개 이상 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1냉각사이클에서 냉각된 냉매와 제2냉각사이클을 순환하는 냉매를 서로 열교환시켜 제2냉각사이클에서 팽창밸브를 통해 토출된 냉매의 온도를 최저치로 낮출 수 있다. Meanwhile, the cooling unit 300 may include two or more cooling cycles having a compressor, a condenser, an expansion valve, and an evaporator as a basic configuration. For example, the refrigerant cooled in the first cooling cycle and the refrigerant circulating in the second cooling cycle exchange heat with each other to lower the temperature of the refrigerant discharged through the expansion valve in the second cooling cycle to the lowest value.

열교환기(200)는 냉각부(300)의 냉각사이클을 통해 생성된 저온의 냉매와 유체순환부(100) 내의 유체가 서로 열교환을 수행할 수 있는 공간을 제공하며, 상기 냉매와 열교환을 마친 유체는 다시 유체순환부(100)로 유입된 후에 적어도 일부가 냉각타겟(10)으로 공급된다. 여기서, 냉각부(300)를 순환하는 냉각 유체와 유체순환부(100)로 공급 또는 전달되는 유체는 서로 상이한 유체를 의미하는 것일 수 있다. 냉각 유체와 유체는 서로 상이한 이동관을 통해 냉각부(300)와 열교환기(200) 각각을 순환하는 것일 수 있다. 냉각부(300)의 냉각 사이클에 대한 보다 구체적인 설명은 도 2를 참조하여 이하에서 후술하도록 한다. The heat exchanger 200 provides a space where the low-temperature refrigerant generated through the cooling cycle of the cooling unit 300 and the fluid in the fluid circulation unit 100 can exchange heat with each other, and the refrigerant and the fluid that has completed heat exchange After flowing into the fluid circulation unit 100 again, at least a portion is supplied to the cooling target (10). Here, the cooling fluid circulating in the cooling unit 300 and the fluid supplied or delivered to the fluid circulation unit 100 may mean different fluids. The cooling fluid and the fluid may each circulate through the cooling unit 300 and the heat exchanger 200 through different moving pipes. A more detailed description of the cooling cycle of the cooling unit 300 will be described below with reference to FIG. 2 .

도 2는 본 개시의 일 실시예와 관련된 냉각부의 냉각 사이클을 예시적으로 나타낸 예시도이다. 2 is an exemplary view illustrating a cooling cycle of a cooling unit related to an embodiment of the present disclosure.

본 개시의 일 실시예에 따르면, 냉각부(300)는 냉각 유체를 압축시키는 압축기를 포함할 수 있다. 압축기는 저온, 저압의 냉각 유체를 가압하여 냉각 유체를 고온, 고압 상태로 유지시킬 수 있다. 예컨대, 압축기는, 냉각 유체를 압축하는 임펠러와 임펠러에 연결된 회전축 및 회전축을 회전시키는 모터를 포함하여 구비될 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the cooling unit 300 may include a compressor for compressing a cooling fluid. The compressor pressurizes the cooling fluid of low temperature and low pressure to maintain the cooling fluid at high temperature and high pressure. For example, the compressor may include an impeller for compressing the cooling fluid, a rotary shaft connected to the impeller, and a motor for rotating the rotary shaft.

또한, 냉각부(300)는 압축기에서 압축된 냉각 유체에서 열을 토출하여 냉각 유체를 응축하는 응축기를 포함할 수 있다. 응축기는, 내부에 냉각 유체가 응축될 수 있는 응축공간을 포함할 수 있으며, 압축기에서 전달받은 고온, 고압의 냉각 유체를 응축(또는 액화)시킬 수 있다. 예컨대, 응축기는, 압축기로부터 전달받은 고온, 고압의 기체에 외부에서 흡입된 공기를 공급하여 액화시킬 수 있다. 이 경우, 열이 발생됨에 따라 더운 공기가 토출될 수 있다. In addition, the cooling unit 300 may include a condenser for condensing the cooling fluid by discharging heat from the cooling fluid compressed by the compressor. The condenser may include a condensing space in which the cooling fluid may be condensed, and may condense (or liquefy) the high-temperature and high-pressure cooling fluid received from the compressor. For example, the condenser may supply air sucked in from the outside to the high-temperature, high-pressure gas delivered from the compressor to liquefy it. In this case, hot air may be discharged as heat is generated.

또한, 냉각부(300)는 응축기를 통해 응축된 냉매를 팽창시키도록 형성된 팽창밸브를 포함할 수 있다. 냉각 유체는 냉각부(300)를 순환하는 과정에서 용적이 변화되는데, 이러한 용적 변화를 흡수하여 냉각 작용이 원활하게 수행될 수 있도록 팽창밸브가 구비될 수 있다. 냉각 유체는 좁은 팽창밸브를 통과하는 과정에서 모세관 현상에 의해 속도가 커지고 압력이 낮아질 수 있다. 이러한 팽창밸브는, 예를 들어, 수축과 팽창이 가능하도록 열에 강한 합성수지로 형성될 수 있다.In addition, the cooling unit 300 may include an expansion valve formed to expand the refrigerant condensed through the condenser. The volume of the cooling fluid is changed in the process of circulating the cooling unit 300 , and an expansion valve may be provided to absorb the volume change to smoothly perform the cooling action. As the cooling fluid passes through the narrow expansion valve, the velocity may increase and the pressure may decrease due to capillary action. Such an expansion valve, for example, may be formed of a heat-resistant synthetic resin to enable contraction and expansion.

또한, 냉각부(300)는 팽창밸브로부터 전달된 저압의 액체 상태의 냉각 유체를 증발시키는 증발기를 포함할 수 있다. 증발기는, 저압의 액체 상태의 냉각 유체에 더운 공기를 공급하여 기화시킬 수 있다. 즉, 냉각 유체는 팽창밸브를 통과하는 과정에서 저압의 액체 상태가 되며, 증발기가 발생시키는 열에 의해 압력이 낮은 냉각 유체가 쉽게 기화될 수 있다. 열을 흡수하는 기화열에 의해 주위의 공기는 차가워지게 될 수 있다. 완전히 증발된 기체 상태의 냉각 유체는 다시 압축기로 들어가 냉각부의 냉각 시스템의 순환이 계속될 수 있다.In addition, the cooling unit 300 may include an evaporator for evaporating the low-pressure liquid cooling fluid delivered from the expansion valve. The evaporator may be vaporized by supplying hot air to the low-pressure liquid cooling fluid. That is, the cooling fluid becomes a low-pressure liquid state in the process of passing through the expansion valve, and the low-pressure cooling fluid can be easily vaporized by the heat generated by the evaporator. The heat of vaporization, which absorbs heat, can cause the surrounding air to cool. The completely evaporated gaseous cooling fluid enters the compressor again, so that the circulation of the cooling system of the cooling unit can be continued.

이러한 냉각부(300)의 증발기에 해당하는 부분은 도3에 도시된 바와 같이, 열교환기(200)의 내측을 관통하는 냉매관(210)에 해당할 수 있다. 즉, 열교환기(200)는 냉각부(300)에서 생성된 저온의 냉매가 흐르는 냉매관(210)과 유체순환부(100)로부터 토출되는 유체를 공급하는 공급관(예컨대, 제2공급관)을 간접 접촉시킴으로써, 유체순환부(100)로부터 공급되어 열교환기(200)를 순환하는 유체를 일정 온도 이하의 저온으로 유지시킬 수 있다. 구체적으로, 냉매관(210)은 유체순환부(100)와 연결된 제2공급관(174)과 인접하게 구비될 수 있으며, 열교환을 통해 제2공급관(174) 내측을 순환하는 유체를 저온으로 유지지킬 수 있다. As shown in FIG. 3 , the portion corresponding to the evaporator of the cooling unit 300 may correspond to the refrigerant pipe 210 passing through the inside of the heat exchanger 200 . That is, the heat exchanger 200 indirectly connects the refrigerant pipe 210 through which the low-temperature refrigerant generated by the cooling unit 300 flows and the supply pipe (eg, the second supply pipe) for supplying the fluid discharged from the fluid circulation unit 100 . By contacting, the fluid supplied from the fluid circulation unit 100 and circulating in the heat exchanger 200 may be maintained at a low temperature below a certain temperature. Specifically, the refrigerant pipe 210 may be provided adjacent to the second supply pipe 174 connected to the fluid circulation unit 100, and maintain the fluid circulating inside the second supply pipe 174 through heat exchange at a low temperature. can

본 개시의 열교환기(200)는, 전술한 바와 같이, 유체순환부(100)를 통해 토출된 유체를 일정 온도 이하의 저온으로 냉각시킬 수 있다. 유체순환부(100)는 제2공급관(174)을 통해 유체순환부(100) 내측의 유체 중 적어도 일부를 열교환기(200)로 공급 또는 전달할 수 있다. 유체순환부(100)로부터 열교환기(200)로 전달되는 유체는, 냉각타겟(10)과의 열 교환 과정에서 상대적 고온으로 변환된 유체일 수 있다. As described above, the heat exchanger 200 of the present disclosure may cool the fluid discharged through the fluid circulation unit 100 to a low temperature below a certain temperature. The fluid circulation unit 100 may supply or deliver at least a portion of the fluid inside the fluid circulation unit 100 to the heat exchanger 200 through the second supply pipe 174 . The fluid transferred from the fluid circulation unit 100 to the heat exchanger 200 may be a fluid converted to a relatively high temperature during heat exchange with the cooling target 10 .

또한 열교환기(200)는 유체순환부(100)로부터 전달된 유체를 냉매관(210)과 열교환시켜 유체를 설정된 온도 이하의 저온으로 변환하여 유체순환부(100)로 재전달할 수 있다. In addition, the heat exchanger 200 may heat-exchange the fluid delivered from the fluid circulation unit 100 with the refrigerant pipe 210 to convert the fluid to a low temperature below a set temperature and re-deliver it to the fluid circulation unit 100 .

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는, 순환탱크(110), 펌프(120), 릴리프밸브(130), 컨트롤밸브(140), 유체토출관(170) 및 유체유입관(180)을 포함할 수 있다. 유체순환부(100)는 유체를 열교환기(200) 및 냉각타겟(10) 각각으로 공급하여 순환시키고, 순환되어 돌아온 양 방향의 유체를 순환탱크(110) 내부에서 믹싱할 수 있다. 이 경우, 열교환기(200) 및 냉각타겟(10) 각각을 순환하고 돌아온 양 방향의 유체를 믹싱하는 것은, 유체가 냉각타겟을 저온으로 유지시키기 위한 적정한 온도를 유지하도록 하기 위함이다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 includes a circulation tank 110 , a pump 120 , a relief valve 130 , a control valve 140 , a fluid discharge pipe 170 , and a fluid inlet pipe. (180). The fluid circulation unit 100 may supply and circulate the fluid to each of the heat exchanger 200 and the cooling target 10 , and mix the circulated and returned fluids in both directions in the circulation tank 110 . In this case, mixing the fluid in both directions circulating and returning each of the heat exchanger 200 and the cooling target 10 is to maintain the fluid at an appropriate temperature for maintaining the cooling target at a low temperature.

유체의 흐름을 간략히 살펴보면, 열교환기(200)에서 냉각부(300)로부터 공급된 냉매와 열교환을 마친 유체는 컨트롤밸브(140)를 통해 순환탱크(110) 내측으로 유입된다. 순환탱크(110) 내측에 채워진 유체는 펌프(120)의 작용에 의해 필터(160) 및 릴리프밸브(130)를 차례로 지나친다. 펌프(120)를 통과한 유체의 압력이 설정된 수치 이상일 경우 일부 유체는 릴리프밸브(130)를 통해 다시 순환탱크(110) 내부로 배출된다. 나머지 유체는 온도센서(172) 및 분지부(171)를 지나 일부는 냉각타겟(10)으로 흐르고 일부는 열교환기(200)로 흐른다. 온도센서(172)에서 측정되는 유체의 온도에 따라 분지부(171) 개방 및 컨트롤밸브(140)의 작동 여부가 결정된다. 냉각타겟(10) 및 열교환기(200)에서 각각 열교환을 완료한 유체는 순환탱크(110) 내로 유입되어 서로 섞인다. Briefly looking at the flow of the fluid, the fluid that has undergone heat exchange with the refrigerant supplied from the cooling unit 300 in the heat exchanger 200 is introduced into the circulation tank 110 through the control valve 140 . The fluid filled inside the circulation tank 110 passes through the filter 160 and the relief valve 130 in turn by the action of the pump 120 . When the pressure of the fluid that has passed through the pump 120 is greater than or equal to a set value, some fluid is discharged back into the circulation tank 110 through the relief valve 130 . The remaining fluid passes through the temperature sensor 172 and the branch 171 , some flows to the cooling target 10 , and some flows to the heat exchanger 200 . Depending on the temperature of the fluid measured by the temperature sensor 172, it is determined whether the branch 171 is opened and the control valve 140 is operated. The fluids that have each completed heat exchange in the cooling target 10 and the heat exchanger 200 are introduced into the circulation tank 110 and mixed with each other.

유체순환부(100)에 대한 구조적 특징 및 해당 구조적 특징을 통해 발생하는 효과에 대한 구체적인 설명은 이하의 도 4 내지 도 8을 참조하여 후술하도록 한다. A detailed description of the structural features of the fluid circulation unit 100 and the effects generated through the structural features will be described later with reference to FIGS. 4 to 8 below.

도 4는 본 개시의 일 실시예에 관련된 유체순환부의 전체 사시도를 예시적으로 나타낸 도면이다. 도 5는 본 개시의 일 실시예에 관련된 측면에서 바라본 유체순환부를 예시적으로 나타낸 도면이다. 도 6은 본 개시의 일 실시예에 관련된 펌프를 예시적으로 나타낸 도면이다. 도 7은 본 개시의 일 실시예와 관련된 릴리프밸브를 예시적으로 나타낸 도면이다. 도 8은 본 개시의 실시예와 관련된 컨트롤밸브를 예시적으로 도시한 예시도이다.4 is a view illustrating an overall perspective view of a fluid circulation unit related to an embodiment of the present disclosure. 5 is a view showing an exemplary fluid circulation unit viewed from the side related to an embodiment of the present disclosure. 6 is a view exemplarily showing a pump according to an embodiment of the present disclosure. 7 is a view showing an exemplary relief valve related to an embodiment of the present disclosure. 8 is an exemplary view illustrating a control valve related to an embodiment of the present disclosure.

구체적으로, 유체순환부(100)는 내부에 유체를 저장하는 순환탱크(110), 유체의 흐름을 발생시키는 펌프(120), 펌프(120)로부터 토출된 유체의 압력을 제어하는 릴리프밸브(130), 열교환기(200)로부터 순환탱크(110)로 공급되는 유체량을 제어하는 컨트롤밸브(140), 순환탱크(110)에 저장된 유체를 토출시키는 유체토출관(170) 및 순환탱크(110)로 유체를 유입시키는 유체유입관(180)을 포함할 수 있다. Specifically, the fluid circulation unit 100 includes a circulation tank 110 for storing a fluid therein, a pump 120 for generating a flow of fluid, and a relief valve 130 for controlling the pressure of the fluid discharged from the pump 120 . ), a control valve 140 for controlling the amount of fluid supplied from the heat exchanger 200 to the circulation tank 110 , a fluid discharge pipe 170 for discharging the fluid stored in the circulation tank 110 , and a circulation tank 110 ) It may include a fluid inlet pipe 180 for introducing a fluid into the furnace.

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는 내부에 유체를 저장하는 순환탱크(110)를 포함할 수 있다. 순환탱크(110)는 열교환기(200) 및 냉각타겟(10) 각각을 순환하고 돌아온 유체들이 저장되는 저장공간을 의미할 수 있다. 예컨대, 열교환기(200)를 순환하는 유체는, 냉매관(210)과의 열 교환을 통해 저온의 유체로 변환되어 순환탱크(110)로 돌아올 수 있으며, 냉각타겟(10)을 순환하는 유체는, 냉각타겟(10)과의 열 교환을 통해 고온의 유체로 변환되어 순환탱크(110)로 돌아올 수 있다. 유체순환부(100)는 유체가 냉각타겟(10)을 저온으로 유지시키기 위한 적정한 온도를 유지하도록 하기 위하여, 열교환기(200) 및 냉각타겟(10) 각각을 순환한 유체를 믹싱하여 순환탱크(110)에 저장될 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 may include a circulation tank 110 for storing a fluid therein. The circulation tank 110 may mean a storage space in which fluids returned after circulating each of the heat exchanger 200 and the cooling target 10 are stored. For example, the fluid circulating in the heat exchanger 200 may be converted into a low-temperature fluid through heat exchange with the refrigerant pipe 210 and returned to the circulation tank 110 , and the fluid circulating in the cooling target 10 may be , may be converted into a high-temperature fluid through heat exchange with the cooling target 10 and return to the circulation tank 110 . The fluid circulation unit 100 mixes the fluid circulated through each of the heat exchanger 200 and the cooling target 10 in order for the fluid to maintain an appropriate temperature for maintaining the cooling target 10 at a low temperature, thereby forming a circulation tank ( 110) can be stored.

구체적인 예를 들어, 반도체 제조 설비에 관련한 냉각타겟(10)이 공정을 적정하게 수행하기 위한 온도는 -50℃일 수 있다. 이 경우, 냉각타겟(10)으로 -60℃의 유체가 공급될 수 있다. 다만, -50℃로 냉각타겟(10) 유지시키기 위한 순환 과정에서 타겟과의 열 교환이 발생하게 되며, 이에 따라, 순환되어 돌아오는 유체는 -40℃의 온도로 변화될 수 있다. 즉, 공정 과정의 냉각타겟(10)과의 열 교환을 통해 유체의 온도가 상승될 수 있다. As a specific example, the temperature for properly performing the process of the cooling target 10 related to the semiconductor manufacturing facility may be -50°C. In this case, a fluid of -60°C may be supplied to the cooling target 10 . However, heat exchange with the target occurs in the circulation process for maintaining the cooling target 10 at -50°C, and accordingly, the circulated and returned fluid may be changed to a temperature of -40°C. That is, the temperature of the fluid may be increased through heat exchange with the cooling target 10 in the process.

이 경우, 유체순환부(100)는 냉각타겟(10)을 순환하고 돌아온 유체(예컨대, -40℃)와 열교환기(200)를 통해 순환하여 돌아온 유체(예컨대, -70℃)를 믹싱할 수 있다. 즉, 냉각타겟(10)을 순환하는 과정에서 상승된 온도를 가지는 유체는, 열 교환기를 순환하고 돌아온 저온의 유체와 믹싱됨에 따라 저온으로 변화될 수 있다. 믹싱되어 다시 저온으로 변화된 유체는 냉각타겟(10) 및/또는 열교환기(200) 각각을 다시 순환하게 되며, 상기의 과정을 반복함에 따라, 냉각타겟(10)을 반도체 설비 공정에 적정한 저온으로 유지시킬 수 있다. 이를 위해, 순환탱크(110)에는 열교환기(200) 및 냉각타겟(10) 각각에 연결되는 유체토출관 및 유체유입관이 연결되어 구비될 수 있다.In this case, the fluid circulation unit 100 can mix the returned fluid (eg, -40 ℃) and the returned fluid (eg, -70 ℃) through the heat exchanger 200 circulating through the cooling target 10. there is. That is, the fluid having an elevated temperature in the process of circulating the cooling target 10 may be changed to a low temperature as it is mixed with the low-temperature fluid returned after circulating the heat exchanger. The mixed fluid changed to a low temperature again circulates through each of the cooling target 10 and/or the heat exchanger 200, and by repeating the above process, the cooling target 10 is maintained at a low temperature suitable for the semiconductor equipment process. can do it To this end, the circulation tank 110 may be provided with a fluid discharge pipe and a fluid inlet pipe connected to each of the heat exchanger 200 and the cooling target 10 are connected.

한편, 만약 순환탱크(110) 내측에 믹싱된 유체의 온도가 목표 온도에 비해 낮을 경우 순환탱크(110) 내측으로 삽입되는 히터(150)를 작동시켜 유체의 온도를 목표 온도까지 상승시킬 수 있다.On the other hand, if the temperature of the fluid mixed inside the circulation tank 110 is lower than the target temperature, the heater 150 inserted into the circulation tank 110 may be operated to increase the temperature of the fluid to the target temperature.

유체토출관(170)은 순환탱크(110)에서 열교환기(200) 및 냉각타겟(10) 각각으로 유체를 토출 또는 공급하는 연결관을 의미할 수 있다. 유체토출관은, 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 순환탱크(110)로부터 토출된 유체를 냉각타겟(10)으로 전달하는 제1공급관(173) 및 순환탱크(110)로부터 토출된 유체를 열교환기(200)로 전달하는 제2공급관(174)을 포함할 수 있다.The fluid discharge pipe 170 may mean a connection pipe for discharging or supplying a fluid from the circulation tank 110 to the heat exchanger 200 and the cooling target 10 , respectively. The fluid discharge pipe is, as shown in FIGS. 4 to 5 , the first supply pipe 173 for transferring the fluid discharged from the circulation tank 110 to the cooling target 10 and the fluid discharged from the circulation tank 110 . It may include a second supply pipe 174 for transferring the to the heat exchanger (200).

유체유입관은 열교환기(200) 및 냉각타겟(10) 각각을 순환하여 순환탱크(110)로 유체를 전달하는 연결관을 의미할 수 있다. 유체유입관은, 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 냉각타겟(10)을 순환한 유체를 순환탱크(110)로 전달하는 제1유입관(181) 및 열교환기(200)를 순환한 유체를 순환탱크(110)로 전달하는 제2유입관(182)을 포함할 수 있다. The fluid inlet pipe may refer to a connection pipe that circulates each of the heat exchanger 200 and the cooling target 10 to transfer the fluid to the circulation tank 110 . As shown in FIGS. 4 to 5 , the fluid inlet pipe circulates the first inlet pipe 181 and the heat exchanger 200 for transferring the fluid circulated through the cooling target 10 to the circulation tank 110 . A second inlet pipe 182 for transferring the fluid to the circulation tank 110 may be included.

추가적인 실시예에서, 순환탱크(110)는 외부로부터 유체가 공급되는 유체리필관(111)을 포함할 수 있다. 유체리필관(111)은 유체의 양을 리필(refill)시키기 위하여 구비되는 관일 수 있다. 예컨대, 본 개시의 칠러시스템(1)을 순환하는 유체는, 순환 과정에서 배관 내 압력 손실 또는 장시간의 미세한 누설 등에 의해 유체의 양이 다소 감소될 수 있다. 유체의 양의 감소는 냉각 타겟에 저온의 열 전달 효율의 저하를 야기시킬 수 있다. 이 경우, 유체리필관(111)을 통해 순환탱크(110)에 유체를 적정한의 유체 양을 유지하도록 할 수 있다.In an additional embodiment, the circulation tank 110 may include a fluid refill pipe 111 to which a fluid is supplied from the outside. The fluid refill tube 111 may be a tube provided to refill the amount of fluid. For example, in the fluid circulating in the chiller system 1 of the present disclosure, the amount of the fluid may be somewhat reduced due to a pressure loss in the pipe or a minute leakage for a long time during the circulation process. A decrease in the amount of fluid may cause a decrease in the low temperature heat transfer efficiency to the cooling target. In this case, the fluid in the circulation tank 110 through the fluid refill pipe 111 can be maintained in an appropriate amount of the fluid.

또한, 순환탱크(110)는 내부 유체의 수위를 조정하는 수위조절관(112)을 포함할 수 있다. 수위조절관(112)은 순환탱크(110)의 하부측에 위치한 하부탱크(190)와 연결된 이동관을 의미하며, 순환탱크(110) 내부에 일정 수위 이상의 유체가 공급되어 오버플로우(overflow)되는 경우, 하부탱크(190)로 유체를 배출시키는 역할을 한다. 예컨대, 수위조절관(112)은 내부가 중공인 원통 형상으로 구비될 수 있으며, 순환탱크(110) 내에서 미리 정해진 높이를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 유체의 수위가 일정 높이를 초과하는 경우, 초과된 유체는 수위조절관(112)으로 유입될 수 있다. In addition, the circulation tank 110 may include a water level control pipe 112 for adjusting the level of the internal fluid. The water level control pipe 112 means a moving pipe connected to the lower tank 190 located on the lower side of the circulation tank 110, and when a fluid above a certain water level is supplied into the circulation tank 110 and overflows , serves to discharge the fluid to the lower tank (190). For example, the water level control tube 112 may be provided in a cylindrical shape with a hollow inside, and may be provided to have a predetermined height in the circulation tank 110 . That is, when the level of the fluid exceeds a certain height, the excess fluid may be introduced into the water level control tube 112 .

다시 말해, 수위조절관(112)으로 유입된 유체는, 하부탱크로 향하는 것을 특징으로 할 수 있다. 이에 따라, 유체리필관(111)을 통해 유체를 보충하는 과정에서, 유체의 과공급에도 순환탱크(110)에 일정 기준 이상의 유체 양이 저장 또는 보관되는 것을 방지하여 시스템의 효율 저하를 예방하는 효과를 제공할 수 있다. In other words, the fluid introduced into the water level control pipe 112 may be directed to the lower tank. Accordingly, in the process of replenishing the fluid through the fluid refill pipe 111, even when the fluid is over-supplied, the amount of fluid above a certain standard is prevented from being stored or stored in the circulation tank 110, thereby preventing a decrease in system efficiency. can provide

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는 유체의 흐름을 발생시키는 펌프(120)를 포함할 수 있다. 본 개시의 칠러시스템(1)은 하나의 펌프를 포함하여 구비되는 것을 특징으로 할 수 있다.According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 may include a pump 120 for generating a flow of the fluid. The chiller system 1 of the present disclosure may be characterized in that it includes one pump.

보다 구체적인 예를 들어, 일반적인, 유체순환부의 경우, 냉각타겟으로 유체를 순환시키기 위한 제1펌프 및 열교환기로 유체를 순환시키시 위한 제2펌프 즉 2개의 펌프를 포함하여 구비될 수 있다. 즉, 일반적인 칠러시스템의 경우, 순환 사이클 별로 각 펌프를 통해 유체의 순환을 유도하여 유체를 적정한 온도(즉, 냉각타겟을 저온으로 유지시키기 위한 적정한 온도)로 유지시킬 수 있다. 다만, 이 경우, 2개의 펌프를 구비하여야 하므로, 유체순환부의 구비 사이즈가 방대해질 수 있다. 또한, 2개의 펌프를 운용함에 따라, 에너지 효율 측면에서 효율적이지 못할 수 있다. For a more specific example, in the case of a general fluid circulation unit, a first pump for circulating the fluid to the cooling target and a second pump for circulating the fluid to the heat exchanger may be included, ie, two pumps. That is, in the case of a general chiller system, it is possible to maintain the fluid at an appropriate temperature (ie, an appropriate temperature for maintaining the cooling target at a low temperature) by inducing circulation of the fluid through each pump for each circulation cycle. However, in this case, since two pumps must be provided, the size of the fluid circulation unit may be increased. In addition, as two pumps are operated, it may not be efficient in terms of energy efficiency.

이에 따라, 본 개시의 유체순환부(100)는 하나의 펌프(120)를 포함하도록 설계되어 운용 효율 및 구비 효율을 향상시키는 것을 특징으로 할 수 있다. 본 개시의 펌프(120)에 대한 보다 구체적인 설명은 도 6을 참조하면 이하에서 후술하도록 한다. Accordingly, the fluid circulation unit 100 of the present disclosure may be designed to include one pump 120 to improve operational efficiency and provision efficiency. A more detailed description of the pump 120 of the present disclosure will be described below with reference to FIG. 6 .

도 6에 도시된 바와 같이, 펌프(120)는 제1하우징(121), 제2하우징(122) 및 모터(123)를 포함할 수 있다. 펌프(120)에 포함된 제1하우징(121)은 흡입력을 발생시키고, 발생된 흡입력을 통한 유체의 이동을 허용할 수 있다. 6 , the pump 120 may include a first housing 121 , a second housing 122 , and a motor 123 . The first housing 121 included in the pump 120 may generate a suction force and allow movement of the fluid through the generated suction force.

모터(123)는 전류가 흐르는 도체가 자기장 속에서 받는 힘을 이용하여 전기 에너지를 역학적 에너지로 바꾸는 장치를 의미하는 것으로, 발생된 역학적 에너지를 통해 회전축(122a)을 회전을 인가하는 것을 특징으로 할 수 있다. 모터는 도 6에 도시된 바와 같이, 회전축(122a)과 커플링 연결될 수 있으며, 발생된 역학 에너지를 통해 회전축을 회전시킬 수 있다.The motor 123 refers to a device that converts electrical energy into mechanical energy using a force received by a conductor through which a current flows in a magnetic field, characterized in that it applies rotation to the rotating shaft 122a through the generated mechanical energy. can As shown in FIG. 6 , the motor may be coupled to the rotation shaft 122a, and may rotate the rotation shaft through the generated mechanical energy.

제2하우징(122)은 모터(123)와 커플링 연결되는 회전축(122a)을 수용하기 위한 수용공간을 형성할 수 있다. 해당 수용공간에는, 회전축(122a)의 외주면 둘레를 따라 구비되는 제1보온재(122b)를 포함할 수 있다. 본 개시의 칠러시스템(1)은 냉각타겟(10)을 극저온으로 유지시키기 위한 냉각 시스템일 수 있다. 이에 따라, 저온 영향에 따른 효율 저하를 예방하기 위하여 제2하우징 내부 수용공간의 일부에 제1보온재(122b)를 구비할 수 있다. 이는 극저온에서 지속적인 활용이 가능해지는 등 운용 효율을 향상시키는 효과를 제공할 수 있다.The second housing 122 may form an accommodation space for accommodating the rotation shaft 122a coupled to the motor 123 . The accommodating space may include a first heat insulating material 122b provided along the circumference of the outer circumferential surface of the rotation shaft 122a. The chiller system 1 of the present disclosure may be a cooling system for maintaining the cooling target 10 at a cryogenic temperature. Accordingly, the first insulating material 122b may be provided in a part of the accommodating space inside the second housing in order to prevent a decrease in efficiency due to the effect of low temperature. This can provide the effect of improving operating efficiency, such as enabling continuous use at cryogenic temperatures.

제2하우징(122)의 일단에는 제1하우징(121)이 연결되어 구비될 수 있다. 이 경우, 각 하우징의 적어도 일부는 관통되도록 형성되며, 관통된 공간을 통해 제2하우징(122)에 구비된 회전축(122a)과 제1하우징(121)에 구비된 헬리코기어(121c)가 연결될 수 있다. 이 경우, 제1하우징(121)에 구비되는 헬리코기어(121c)는 복수 개일 수 있으며, 복수 개의 헬리코기어 중 하나의 헬리코기어가 회전축(122a)과 연결될 수 있다. 즉, 복수 개의 헬리코기어 중 적어도 하나는, 모터(123)와 회전 중심축을 공유하도록 커플링 연결되는 것을 특징으로 할 수 있다. The first housing 121 may be connected to one end of the second housing 122 . In this case, at least a portion of each housing is formed to pass through, and the rotation shaft 122a provided in the second housing 122 and the helico gear 121c provided in the first housing 121 are connected through the through space. can In this case, the number of helico gears 121c provided in the first housing 121 may be plural, and one helico gear among the plurality of helico gears may be connected to the rotation shaft 122a. That is, at least one of the plurality of helico gears may be coupled and connected to share a central axis of rotation with the motor 123 .

제1하우징(121)은 투입홀(121a), 제1관(121b), 복수 개의 헬리코기어(121c), 제2관(121d) 및 배출홀(121e)을 포함하여 구비될 수 있다. 투입홀(121a)은 유체가 투입되는 홀이며, 배출홀(121e)은 유체가 배출되는 홀을 의미할 수 있다. 제1관(121b)은 투입홀(121a)과 복수 개의 헬리코기어 중 하나의 헬리코기어(예컨대, 제1헬리코기어)를 연결하는 연결관을 의미할 수 있으며, 제2관(121d)은 복수 개의 헬리코기어 중 다른 하나의 헬리코기어(예컨대, 제2헬리코기어)를 연결하는 연결관을 의미할 수 있다. 일 실시예에서, 제1관(121b) 및 제2관(121d)은 유체에 의한 열팽창 및 열수축을 최소화하기 위한 부싱(bushing)으로 구비될 수 있다. 이러한 부싱은, 자기윤활성을 보유하여 향상된 마찰내구성을 갖는 재질을 통해 구비될 수 있다. 이에 따라, 지속적인 축의 회전에 대한 높은 내구성을 가지며, 극저온에서 지속적인 활용이 가능해지는 등 운용 효율을 향상시키는 효과를 가진다. 펌프(120)를 통해 발생되는 흡입력을 통해 유체는 투입홀(121a)로 투입되어 배출홀(121e)을 통해 배출 또는 토출될 수 있다.The first housing 121 may include an input hole 121a, a first tube 121b, a plurality of helico gears 121c, a second tube 121d, and an exhaust hole 121e. The input hole 121a may be a hole into which the fluid is introduced, and the discharge hole 121e may mean a hole through which the fluid is discharged. The first pipe 121b may mean a connecting pipe connecting the input hole 121a and one of the plurality of helico gears (eg, the first helico gear), and the second pipe 121d may mean a connector for connecting another helico gear (eg, a second helico gear) among the plurality of helico gears. In one embodiment, the first pipe (121b) and the second pipe (121d) may be provided as a bushing (busing) for minimizing thermal expansion and thermal contraction due to the fluid. Such a bushing may be provided through a material having self-lubrication and improved friction durability. Accordingly, it has high durability against continuous shaft rotation, and has the effect of improving operating efficiency, such as enabling continuous use at cryogenic temperatures. The fluid may be introduced into the input hole 121a through the suction force generated through the pump 120 to be discharged or discharged through the discharge hole 121e.

구체적으로, 펌프(120)는 복수 개로 구비되는 헬리코기어(121c) 간의 상호 회전을 통해 야기되는 흡입력으로 유체의 흐름을 발생시킬 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 두 개의 헬리코기어(121c)는 제1하우징(121)에 구비될 수 있다. 여기서 헬리코기어는 서로 대응하는 형상을 통해 구비될 수 있다. 예컨대, 헬리코기어는 홈과 돌출부를 갖도록 구비될 수 있으며, 다른 헬리코기어의 홈 및 돌출부 각각에 맞물려 회전하는 것을 특징으로 할 수 있다.Specifically, the pump 120 may generate a fluid flow with a suction force caused by mutual rotation between the plurality of helico gears 121c. As shown in FIG. 6 , the two helico gears 121c may be provided in the first housing 121 . Here, the helico gears may be provided through shapes corresponding to each other. For example, the helico gear may be provided to have a groove and a protrusion, and may be characterized in that it rotates in engagement with each of the grooves and protrusions of another helico gear.

즉, 모터(123)는 회전축(122a)을 회전력을 인가하며, 회전축(122a)이 회전되는 경우, 해당 회전축(122a)에 연결된 하나의 헬리코기어(121c)가 회전될 수 있다. 또한, 하나의 헬리코기어의 회전은 해당 헬리코기어와 맞물려 구비된 다른 헬리코기어의 회전을 야기시킬 수 있다. 이러한 기계적인 메커니즘을 통해 유체의 흐름이 발생될 수 있다. 즉, 두 개의 헬리코기어(121c) 간의 상호 회전을 통해 발생되는 흡입력으로 인해 제1하우징(121)의 일방향에 위치한 유체가 투입홀(121a)로 투입되며, 제1관(121b), 두 개의 헬리코기어(121c) 및 제2관(121d)을 거쳐 배출홀(121e)을 통해 배출될 수 있다. That is, the motor 123 applies a rotational force to the rotational shaft 122a, and when the rotational shaft 122a is rotated, one helico gear 121c connected to the corresponding rotational shaft 122a may be rotated. In addition, rotation of one helico gear may cause rotation of another helico gear provided in engagement with the helico gear. A flow of fluid may be generated through such a mechanical mechanism. That is, the fluid located in one direction of the first housing 121 is injected into the input hole 121a due to the suction force generated through mutual rotation between the two helico gears 121c, and the first tube 121b and the two It may be discharged through the discharge hole 121e through the helico gear 121c and the second pipe 121d.

전술한 바와 같이, 유체는 제1하우징(121) 내부에서만 이동됨에 따라, 기어의 구동을 위한 모터(123) 및 회전축(122a)이 위치한 제2하우징(122)에는 유체가 전달되지 않을 수 있다. 즉, 기어와 해당 기어에 회전력을 인가하는 모터가 분리되어 구비됨으로써, 유체를 통한 에너지 소모 비율이 현저히 감소될 수 있다. 이는, 모터를 통해 발생되는 회전력의 저항을 최소화하여 에너지 효율을 향상시키는 효과를 가질 수 있다.As described above, as the fluid moves only inside the first housing 121 , the fluid may not be transferred to the second housing 122 in which the motor 123 for driving the gear and the rotation shaft 122a are located. That is, since the gear and the motor for applying the rotational force to the gear are separately provided, the ratio of energy consumption through the fluid can be significantly reduced. This may have the effect of improving energy efficiency by minimizing the resistance of the rotational force generated through the motor.

실시예에서, 투입홀(121a)은 순환탱크(110) 방향에 구비되며, 배출홀(121e)은 유체토출관(170) 방향(즉, 냉각타겟 및 열교환부 방향)에 구비될 수 있다. In an embodiment, the input hole 121a may be provided in the direction of the circulation tank 110 , and the discharge hole 121e may be provided in the fluid discharge pipe 170 direction (ie, the cooling target and the heat exchange unit direction).

본 개시의 일 실시예에 따르면, 펌프(120)는 복수 개의 헬리코기어(121c) 간의 상호 회전을 통한 흡입력으로 유체의 흐름을 발생시킬 수 있다. 여기서 유체의 흐름은, 순환탱크(110)로부터 유체토출관(170)으로 이동하는 유체의 흐름을 의미할 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the pump 120 may generate a flow of fluid by a suction force through mutual rotation between the plurality of helico gears 121c. Here, the flow of the fluid may mean the flow of the fluid moving from the circulation tank 110 to the fluid discharge pipe 170 .

자세히 설명하면, 유체순환부(100)는 순환탱크(110)에 저장된 유체를 토출시키는 유체토출관을 포함할 수 있다. 즉, 펌프(120)는 순환탱크(110)와 유체토출관 사이에 구비되어, 순환탱크(110)에 위치한 유체를 유체토출관으로 토출시키는 역할을 수행할 수 있다. 다시 말해, 펌프(120)의 투입홀(121a)은 순환탱크(110)와 연결되며, 배출홀(121e)은 유체토출관(170)과 연결될 수 있다. In detail, the fluid circulation unit 100 may include a fluid discharge pipe for discharging the fluid stored in the circulation tank 110 . That is, the pump 120 is provided between the circulation tank 110 and the fluid discharge pipe, and may serve to discharge the fluid located in the circulation tank 110 to the fluid discharge pipe. In other words, the input hole 121a of the pump 120 may be connected to the circulation tank 110 , and the discharge hole 121e may be connected to the fluid discharge pipe 170 .

유체토출관은 순환탱크(110)로부터 토출된 유체를, 열교환기(200) 및 냉각타겟(10) 각각으로 공급하기 위한 연결관일 수 있다. 유체토출관은, 도 4 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 순환탱크(110)로부터 토출된 유체를 냉각타겟(10)으로 전달하는 제1공급관(173) 및 순환탱크(110)로부터 토출된 유체를 열교환기(200)로 전달하는 제2공급관(174)을 포함할 수 있다. 또한, 유체토출관은 순환탱크(110)로부터 토출된 유체가 나뉘는 분지부(171)를 포함할 수 있다. 유체토출관은, 분지부(171)를 기준으로 제1공급관(173) 및 제2공급관(174)으로 나뉠 수 있다. The fluid discharge pipe may be a connection pipe for supplying the fluid discharged from the circulation tank 110 to the heat exchanger 200 and the cooling target 10 , respectively. The fluid discharge pipe is, as shown in FIGS. 4 to 5 , the first supply pipe 173 for transferring the fluid discharged from the circulation tank 110 to the cooling target 10 and the fluid discharged from the circulation tank 110 . It may include a second supply pipe 174 for transferring the to the heat exchanger (200). In addition, the fluid discharge pipe may include a branch 171 through which the fluid discharged from the circulation tank 110 is divided. The fluid discharge pipe may be divided into a first supply pipe 173 and a second supply pipe 174 based on the branch 171 .

즉, 펌프(120)를 통해 순환탱크(110)로부터 토출된 유체는, 분지부(171)를 거쳐 제1공급관(173) 및 제2공급관(174) 각각으로 전달되어 냉각타겟(10) 및 열교환기(200) 각각으로 공급될 수 있다. 다시 말해, 본 개시의 유체순환부(100)는 하나의 펌프(120)를 통해 냉각타겟(10) 및 열교환기(200) 각각으로 유체를 전달할 수 있다.That is, the fluid discharged from the circulation tank 110 through the pump 120 is delivered to each of the first supply pipe 173 and the second supply pipe 174 through the branch unit 171 , and the cooling target 10 and heat exchange Each of the groups 200 may be supplied. In other words, the fluid circulation unit 100 of the present disclosure may transfer the fluid to each of the cooling target 10 and the heat exchanger 200 through one pump 120 .

이에 따라, 하나의 펌프에서 양방향(즉, 냉각타겟 방향 및 열교환기 방향)으로의 유체 전달을 가능하게 하여 에너지 효율을 극대화시킴과 동시에 장치의 구비 사이즈 최소화하여 공간(dimension) 효율을 향상시키는 등, 칠러시스템의 효율성을 극대화시키는 효과를 제공할 수 있다. Accordingly, by enabling fluid transfer in one pump in both directions (that is, in the cooling target direction and in the heat exchanger direction), energy efficiency is maximized, and at the same time, the size of the device is minimized to improve space (dimension) efficiency, etc. It can provide the effect of maximizing the efficiency of the chiller system.

한편, 본 발명은 펌프를 한 개만 사용하더라도 유체의 온도 및 압력을 일정하게 유지시킬 수 있는 효과가 있다. 순환탱크(110) 외부로 토출되는 유체의 압력을 일정하게 유지시키기 위해 릴리프밸브(130)가 설치되며 온도를 일정하게 유지시키기 위해 온도센서(172)를 활용한 컨트롤밸브(140) 및 분지부(171) 제어가 가능하며(유체온도 냉각방향) 히터(150)를 활용하여 유체의 온도를 상승시킬 수 있다. On the other hand, the present invention has the effect of maintaining a constant temperature and pressure of the fluid even if only one pump is used. A relief valve 130 is installed to maintain a constant pressure of the fluid discharged to the outside of the circulation tank 110, and a control valve 140 using a temperature sensor 172 to maintain a constant temperature and a branch portion ( 171) is controllable (fluid temperature cooling direction), and the temperature of the fluid can be raised by using the heater 150 .

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는 순환탱크(110)로 유체를 유입시키는 유체유입관(180)을 포함할 수 있다. 유체유입관180)은, 펌프(120)를 통해 유체토출관으로 토출되어 냉각타겟(10) 및 열교환기(200) 각각을 순환한 유체가 순환탱크(110)로 돌아올 수 있도록 연결하는 관을 의미할 수 있다. 일 실시예에서, 제1유입관(181)은 제1공급관(173)과 연결되며, 제2유입관(182)은 제2공급관(174)과 연결될 수 있다. 즉, 유체유입관은, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 냉각타겟(10)과 연결되는 제1유입관(181) 및 열교환기(200)와 연결되는 제2유입관(182)을 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 may include a fluid inlet pipe 180 for introducing a fluid into the circulation tank 110 . The fluid inlet pipe 180 means a pipe that connects the fluid discharged to the fluid discharge pipe through the pump 120 and circulated through each of the cooling target 10 and the heat exchanger 200 to return to the circulation tank 110 . can do. In one embodiment, the first inlet pipe 181 may be connected to the first supply pipe 173 , and the second inlet pipe 182 may be connected to the second supply pipe 174 . That is, the fluid inlet pipe is, as shown in FIGS. 4 and 5 , the first inlet pipe 181 connected to the cooling target 10 and the second inlet pipe 182 connected to the heat exchanger 200 . may include

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는 펌프(120)로부터 토출된 유체의 압력을 제어하는 릴리프밸브(130)를 포함할 수 있다. 릴리프밸브(130)는 온도센서(172)와 펌프(120) 사이에 구비되고 설정된 압력 이상의 유체를 순환탱크(110) 내부로 배출시키는 것을 특징으로 할 수 있다. 구체적으로, 릴리프밸브(130)는 펌프(120)와 분지부(171) 사이에 구비되어 분지부(171)로 전달되는 유체를 일정한 압력을 갖도록 유지시키시 위한 것이다. 릴리프밸브(130)에 대한 보다 구체적인 설명은 도 7을 참조하여 이하에서 후술하도록 한다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 may include a relief valve 130 for controlling the pressure of the fluid discharged from the pump 120 . The relief valve 130 is provided between the temperature sensor 172 and the pump 120 and may be characterized in that the fluid above a set pressure is discharged into the circulation tank 110 . Specifically, the relief valve 130 is provided between the pump 120 and the branch 171 to maintain the fluid delivered to the branch 171 to have a constant pressure. A more detailed description of the relief valve 130 will be described later with reference to FIG. 7 .

본 개시의 일 실시예에 따르면, 릴리프밸브(130)는 펌프(120)와 분지부(171) 사이에 구비될 수 있다. 즉, 펌프(120)를 통해 토출된 유체는 릴리프밸브(130)를 지나 분지부(171)로 전달될 수 있다. 이 경우, 릴리프밸브(130)는 펌프(120)에서 분지부(171)로 전달되는 유체의 압력을 제어할 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the relief valve 130 may be provided between the pump 120 and the branch 171 . That is, the fluid discharged through the pump 120 may be transferred to the branch 171 through the relief valve 130 . In this case, the relief valve 130 may control the pressure of the fluid transferred from the pump 120 to the branch 171 .

구체적으로, 릴리프밸브(130)는 도 7에 도시된 바와 같이, 압력배출홀(131), 압력차단막(132), 압력배출통로(133), 릴리프스프링(134) 및 지지면(135)을 포함할 수 있다. 본 개시에서 분지부(171)로 전달되는 유체는 일정한 온도 및 압력을 가지는 것이 중요할 수 있다. 예컨대, 분지부로 전달되는 유체의 압력이 비교적 높은 경우, 유체를 이동시키는 관들이 가압함으로써 누설을 야기시켜 장치의 운용 효율을 저감시킬 우려가 있다. 이에 따라, 릴리프밸브(130)는 미리 정해진 압력 이상의 유체를 분지부(171) 방향으로 전달하는 것이 아닌, 순환탱크(110)로 재순환시킬 수 있다. Specifically, as shown in FIG. 7 , the relief valve 130 includes a pressure discharge hole 131 , a pressure blocking membrane 132 , a pressure discharge passage 133 , a relief spring 134 and a support surface 135 . can do. In the present disclosure, it may be important that the fluid delivered to the branch 171 has a constant temperature and pressure. For example, when the pressure of the fluid delivered to the branch is relatively high, there is a risk of reducing the operating efficiency of the device by causing leakage by pressurizing the pipes for moving the fluid. Accordingly, the relief valve 130 may recirculate the fluid with a predetermined pressure or more to the circulation tank 110 , rather than transferring the fluid to the branch 171 direction.

자세히 설명하면, 릴리프밸브(130)의 압력배출홀(131)은 유체가 이동하는 방향에 관련하여 구비되는 것일 수 있다. 예컨대, 도 7을 기준으로 압력배출홀(131)의 왼쪽 방향으로 유체가 이동할 수 있다. 이 경우, 미리 정해진 기준치 이상의 유체의 압력이 발생되는 경우, 압력배출홀(131)을 통해 투입된 유체가 압력차단막(132)을 밀어 압력배출통로(133)를 형성하고, 형성된 압력배출통로(133)를 통해 유체가 배출되어, 순환탱크(110)로 재순환될 수 있다. 여기서 미리 정해진 기준치 이상의 압력은, 도 7에 도시된 바와 같이, 지지면(135)과 압력차단막(132) 사이에 구비된 릴리프스프링(134)의 탄성력에 기반한 것일 수 있다. 예컨대, 유체의 압력이 커지는 경우, 압력차단막(132)에 압력이 가해지며, 릴리프스프링(134)이 눌려 압력배출통로(133)가 확보되고, 확보된 압력배출통로(133)를 통해 유체가 배출되어 순환탱크(110)로 되돌아갈 수 있다. 이 경우, 압력배출통로(133)를 통해 유체가 배출됨에 따라 유체의 압력이 낮아지게 되며, 이에 따라, 릴리프스프링(134)이 복원되어 확보된 압력배출통로(133)가 막힐 수 있다. More specifically, the pressure discharge hole 131 of the relief valve 130 may be provided in relation to the direction in which the fluid moves. For example, the fluid may move in the left direction of the pressure discharge hole 131 with reference to FIG. 7 . In this case, when the pressure of the fluid greater than the predetermined reference value is generated, the fluid injected through the pressure discharge hole 131 pushes the pressure blocking membrane 132 to form the pressure discharge passage 133, and the formed pressure discharge passage 133 The fluid may be discharged through and recirculated to the circulation tank 110 . Here, the pressure greater than or equal to the predetermined reference value may be based on the elastic force of the relief spring 134 provided between the support surface 135 and the pressure blocking membrane 132 as shown in FIG. 7 . For example, when the pressure of the fluid increases, pressure is applied to the pressure blocking membrane 132 , the relief spring 134 is pressed to secure the pressure discharge passage 133 , and the fluid is discharged through the secured pressure discharge passage 133 . It can be returned to the circulation tank (110). In this case, as the fluid is discharged through the pressure discharge passage 133 , the pressure of the fluid is lowered. Accordingly, the relief spring 134 is restored and the secured pressure discharge passage 133 may be blocked.

즉, 상술한 바와 같은 릴리프밸브(130)의 구조적 특징을 통해 미리 정해진 압력 이상의 유체가 전달되지 않도록 예방함으로써, 시스템의 안정성을 확보할 수 있다. 또한, 릴리프스프링(134)을 통해 일정치 이상의 압력을 제한할 수 있으므로, 릴리프스프링(134)의 교체만으로도 압력 제한 설정을 용이하게 변경할 수 있어 편의성을 제공할 수 있다.That is, by preventing a fluid exceeding a predetermined pressure from being transmitted through the structural features of the relief valve 130 as described above, the stability of the system can be secured. In addition, since the pressure higher than a certain value can be limited through the relief spring 134 , the pressure limit setting can be easily changed only by replacing the relief spring 134 , thereby providing convenience.

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는 열교환기(200)로부터 순환탱크(110)로 공급되는 유체량을 제어하는 컨트롤밸브(140)를 포함할 수 있다. 컨트롤밸브(140)는 열교환기(200)와 순환탱크(110) 사이에 구비되어 열교환기(200)로부터 순환탱크(110)로 공급되는 저온의 유체의 유체량을 제어할 수 있다. 여기서, 유체량의 제어는, 순환탱크(110) 내부에 믹싱된 유체를 적정한 온도로 유지시키기 위한 것일 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 may include a control valve 140 for controlling the amount of fluid supplied from the heat exchanger 200 to the circulation tank 110 . The control valve 140 may be provided between the heat exchanger 200 and the circulation tank 110 to control the fluid amount of the low-temperature fluid supplied from the heat exchanger 200 to the circulation tank 110 . Here, the control of the amount of fluid may be to maintain the fluid mixed in the circulation tank 110 at an appropriate temperature.

예를 들어, 냉각타겟(10)이 공정에 적합한 온도보다 상승된 경우, 순환탱크(110) 내부에 저장된 유체의 온도를 하강시키기 위해서(즉, 냉각타겟으로 공급되는 유체의 온도를 하강시키기 위해서) 컨트롤밸브(140)는 열교환기(200)로부터 순환탱크(110)로 공급되는 유체량을 늘릴 수 있다. 이와 반대로, 냉각타겟(10)이 공정에 적합한 온도보다 하강된 경우, 순환탱크(110) 내부에 저장된 유체의 온도를 상승시키기 위해서(즉, 냉각타겟으로 공급되는 유체의 온도를 상승시키기 위해서) 컨트롤밸브(140)는 열교환기(200)로부터 순환탱크(110)로 공급되는 유체량을 줄이고 히터(150)를 작동시킬 수 있다. 본 개시의 열교환기(200)로부터 순환탱크(110)로 공급되는 유체량을 결정하는 컨트롤밸브(140)에 대한 구체적인 설명은, 도 8을 참조하여 이하에서 후술하도록 한다. For example, when the cooling target 10 rises from a temperature suitable for the process, in order to lower the temperature of the fluid stored in the circulation tank 110 (that is, to lower the temperature of the fluid supplied to the cooling target) The control valve 140 may increase the amount of fluid supplied from the heat exchanger 200 to the circulation tank 110 . Conversely, when the cooling target 10 is lowered than the temperature suitable for the process, control to increase the temperature of the fluid stored in the circulation tank 110 (that is, to increase the temperature of the fluid supplied to the cooling target) The valve 140 may reduce the amount of fluid supplied from the heat exchanger 200 to the circulation tank 110 and operate the heater 150 . A detailed description of the control valve 140 for determining the amount of fluid supplied from the heat exchanger 200 to the circulation tank 110 of the present disclosure will be described below with reference to FIG. 8 .

도 8에 도시된 바와 같이, 컨트롤밸브(140)는 솔레노이드밸브(141), 상측바디부(142) 및 하측바디부(143)를 포함할 수 있다. 도 8에서 도시되는 컴포넌트들은 예시적인 것으로, 추가적인 컴포넌트들이 컨트롤밸브에 포함되거나 또는 도 8에서 도시되는 컴포넌트들 중 일부는 컨트롤밸브에서 생략될 수 있다As shown in FIG. 8 , the control valve 140 may include a solenoid valve 141 , an upper body part 142 and a lower body part 143 . The components shown in FIG. 8 are exemplary, and additional components may be included in the control valve or some of the components shown in FIG. 8 may be omitted from the control valve.

본 개시의 일 실시예에 따르면, 컨트롤밸브(140)는 컨트롤밸브(140)의 동작을 제어하는 솔레노이드밸브(141)를 포함할 수 있다. 솔레노이드밸브(141)는 컨트롤밸브(140)의 on/off 동작을 제어할 수 있다. 예컨대, 솔레노이드밸브(141)는, 온도센서(172)로부터 수신한 전류 신호에 기반하여 전자 코일의 전자력을 사용하여 자동적으로 밸브를 개폐시킴에 따라, 컨트롤밸브(140)의 작동을 제어할 수 있다. 컨트롤밸브(140)는 솔레노이드밸브(141)의 제어 동작에 기반하여 상/하 운동을 통해 유로의 개폐작용을 수행하여 열교환기(200)로부터 순환탱크(110)로 공급되는 저온의 유체의 유체량을 제어할 수 있다. 즉, 제2유입관(182)으로부터 유입되는 유체는, 컨트롤밸브(140)를 통해 순환탱크(110)로 설정된 양만큼 유입되는 것을 특징으로 할 수 있다.According to an embodiment of the present disclosure, the control valve 140 may include a solenoid valve 141 for controlling the operation of the control valve 140 . The solenoid valve 141 may control the on/off operation of the control valve 140 . For example, the solenoid valve 141 can control the operation of the control valve 140 by automatically opening and closing the valve using the electromagnetic force of the electromagnetic coil based on the current signal received from the temperature sensor 172 . . The control valve 140 performs the opening/closing action of the flow path through up/down movement based on the control operation of the solenoid valve 141 , and the amount of low-temperature fluid supplied from the heat exchanger 200 to the circulation tank 110 . can be controlled. That is, the fluid flowing in from the second inlet pipe 182 may be introduced by an amount set to the circulation tank 110 through the control valve 140 .

또한, 컨트롤밸브(140)는 실린더(142a) 및 실린더(142a)가 수직 운동을 수행하기 위한 수용공간을 포함하는 상측바디부(142)를 포함할 수 있다. 구체적으로, 상측바디부(142)는 솔레노이드밸브(141)의 제어 동작에 기초하여 실린더(142a)의 수직 운동을 허용하는 수용공간을 포함할 수 있다. 해당 수용공간에는, 실린더(142a)의 외주면 둘레를 따라 구비되는 제2보온재(142b)를 포함할 수 있다. 즉, 제2보온재(142b)는, 중심부에 타공을 갖는 원통 형상을 통해 구비되며, 실린더(142a)의 외주면을 감싸는 형태도, 상측바디부(142)의 수용공간 내부에 구비될 수 있다. 본 개시의 칠러시스템(1)은 냉각타겟(10)을 극저온으로 유지시키기 위한 냉각 시스템일 수 있다. 이에 따라, 저온 영향에 따른 효율 저하를 예방하기 위하여 상측바디부(142) 내부 수용공간의 일부에 제2보온재(142b)를 구비할 수 있다. 이는 극저온에서의 효율 저하를 방지할 수 있다. In addition, the control valve 140 may include a cylinder 142a and an upper body portion 142 including an accommodation space for the cylinder 142a to perform a vertical motion. Specifically, the upper body part 142 may include an accommodation space that allows the vertical movement of the cylinder 142a based on the control operation of the solenoid valve 141 . The accommodating space may include a second insulating material 142b provided along the circumference of the outer peripheral surface of the cylinder 142a. That is, the second insulating material 142b is provided through a cylindrical shape having a hole in the center, and a shape surrounding the outer circumferential surface of the cylinder 142a may also be provided inside the accommodation space of the upper body part 142 . The chiller system 1 of the present disclosure may be a cooling system for maintaining the cooling target 10 at a cryogenic temperature. Accordingly, in order to prevent a decrease in efficiency due to the effect of low temperature, the second insulating material 142b may be provided in a portion of the inner accommodation space of the upper body part 142 . This can prevent a decrease in efficiency at cryogenic temperatures.

상측바디부(142)의 일단에는 하측바디부(143)가 연결되어 구비될 수 있다. 이 경우, 각 바디부의 적어도 일부는 관통되도록 형성되며, 관통된 공간을 통해 상측바디부(142)에 구비된 실린더(142a)와 하측바디부(143)에 구비된 포핏(144)이 연결될 수 있다. One end of the upper body part 142 may be provided with a lower body part 143 connected thereto. In this case, at least a portion of each body portion is formed to be penetrated, and the cylinder 142a provided in the upper body portion 142 and the poppet 144 provided in the lower body portion 143 may be connected through the through space. .

실린더(142a)는 솔레노이드밸브(141)의 제어 동작에 기반한 수직운동을 수행할 수 있다. 예를 들어, 솔레노이드밸브(141)가 온도센서(172)로부터 특정 위치의 유체의 온도가 미리 정해진 온도 이상으로 상승하였다는 전류 신호(즉, 사전 결정된 임계치 이상의 전류 신호)를 수신하는 경우, 솔레노이드밸브(141)는 실린더(142a)의 수직 운동을 야기시킬 수 있다. 예컨대, 도 8을 기준으로 하측바디부(143) 방향으로 실린더(142a)가 이동할 수 있다. 실린더(142a)가 하측바디부(143) 방향(즉, 도 8에서의 오른쪽 방향)으로 이동되는 경우, 해당 실린더(142a)의 일단에 연결된 포핏(144)에 힘이 인가됨에 따라, 순환탱크(110)로의 유체의 이동을 허용할 수 있다. The cylinder 142a may perform a vertical motion based on the control operation of the solenoid valve 141 . For example, when the solenoid valve 141 receives a current signal (ie, a current signal above a predetermined threshold) that the temperature of the fluid at a specific location has risen above a predetermined temperature from the temperature sensor 172, the solenoid valve 141 may cause vertical motion of the cylinder 142a. For example, the cylinder 142a may move in the direction of the lower body part 143 with reference to FIG. 8 . When the cylinder 142a is moved in the lower body portion 143 direction (ie, the right direction in FIG. 8), as a force is applied to the poppet 144 connected to one end of the corresponding cylinder 142a, the circulation tank ( 110) may allow movement of the fluid.

컨트롤밸브(140)는 실린더의 일단에 연결되는 유체를 토출하기 위한 통로를 형성하는 하측바디부(143)를 포함할 수 있다. 하측바디부(143)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 고정핀(143a), 유로형성공간(143b), 포핏(144) 및 유체유입홀(143c) 및 유체방출홀(143d)을 포함할 수 있다. 여기서, 고정핀(143a)은 포핏(144)을 고정시키기 위하여 하측바디부(143)의 일단에 돌출 구비될 수 있다. 즉, 고정핀(143a)은 포핏(144)의 일부에 관통되어 끼워질 수 있다. 유로형성공간(143b)은 고정핀(143a)을 기준으로 하는 포핏(144)의 이동에 따라 확보되는 것일 수 있다. 유로형성공간(143b)이 확보되는 경우, 유체유입홀(143c)을 통해 유체가 유입되며, 유체배출홀(143d)을 통해 유체가 배출될 수 있다. 다시 말해, 유로형성공간(143b)이 확보되지 않은 경우에는 유체가 이동될 수 없다. 포핏(144)은 실린더(142a)의 일단에 연결되어 실린더(142a)와 동일 방향으로 수직운동함에 따라 유로형성공간(143b)은 유료를 형성할 수 있다. 포핏(144)은 도 8에 도시된 바와 같이, 유체차단턱(144a), 측면홀(144b), 중심홀(144c) 및 포핏스프링(144d)을 포함할 수 있다. 중심홀(144c)은 고정핀(143a)의 끼워지는 홀일 수 있다. 측면홀(144b)은, 포핏(144)을 일방향에서 대응하는 반대방향으로 관통하여 형성되는 것으로, 내부에 유입되는 유체를 방출하기 위한 홀일 수 있다. 예컨대, 포핏(144)의 상하(또는 좌우)이동 과정에서 포핏(144)의 내부(예컨대, 중심홀)로 유체가 들어가는 경우, 유로방출공간 형성을 위한 상하 동작의 오류를 야기시킬 수 있다. 이에 따라, 내부로 침투되는 유체의 방출을 위한 측면홀(144b)을 확보하여 장치의 안정성을 향상시킬 수 있다. 이러한 포핏(144)은, 예를 들어, 유체에 의한 열팽창 및 열수축이 최소화되며, 자기윤활성을 보유하여 향상된 마찰내구성을 갖는 재질을 통해 구비될 수 있다. 추가적으로, 포핏(144)은, 내마모성, 내충격성 및 부식성에 우수한 재질을 통해 구성될 수 있으며, 이에 따라 지속적인 충격에 변형이 최소화될 수 있다. The control valve 140 may include a lower body portion 143 that forms a passage for discharging a fluid connected to one end of the cylinder. The lower body part 143, as shown in FIG. 8, includes a fixing pin 143a, a flow path forming space 143b, a poppet 144, and a fluid inlet hole 143c and a fluid outlet hole 143d. can Here, the fixing pin 143a may be provided protruding from one end of the lower body portion 143 in order to fix the poppet 144 . That is, the fixing pin 143a may be inserted through a portion of the poppet 144 . The flow path forming space 143b may be secured according to the movement of the poppet 144 with respect to the fixing pin 143a. When the flow path forming space 143b is secured, the fluid may be introduced through the fluid inlet hole 143c, and the fluid may be discharged through the fluid outlet hole 143d. In other words, when the flow path forming space 143b is not secured, the fluid cannot be moved. The poppet 144 is connected to one end of the cylinder 142a and vertically moves in the same direction as the cylinder 142a so that the flow path forming space 143b may form a payload. As shown in FIG. 8 , the poppet 144 may include a fluid barrier 144a, a side hole 144b, a center hole 144c, and a poppet spring 144d. The center hole 144c may be a hole into which the fixing pin 143a is fitted. The side hole 144b is formed by penetrating the poppet 144 from one direction to the corresponding opposite direction, and may be a hole for discharging a fluid flowing therein. For example, when the fluid enters the inside (eg, the central hole) of the poppet 144 in the process of vertical (or left and right) movement of the poppet 144 , an error in the vertical operation for forming the flow path discharge space may be caused. Accordingly, it is possible to improve the stability of the device by securing the side hole 144b for discharging the fluid penetrating therein. The poppet 144 may be provided, for example, by using a material that minimizes thermal expansion and thermal contraction caused by a fluid, and has improved friction durability by maintaining self-lubrication. Additionally, the poppet 144 may be made of a material excellent in abrasion resistance, impact resistance and corrosion resistance, and thus deformation due to continuous impact may be minimized.

예컨대, 솔레노이드밸브(141)의 제어 동작에 의해 실린더(142a)가 하측바디부(143) 방향으로 이동되는 경우, 해당 실린더(142a)에 연결된 포핏(144)이 동일 방향으로 밀려 유로형성공간(143b)을 통해 유로가 확보될 수 있다. 즉, 솔레노이드밸브(141)의 제어 신호에 기초하여 실린더(142a)가 이동하며, 해당 실린더(142a)에 연결된 포핏(144)의 유체차단턱(144a)이 동일 방향으로 밀려 유로형성공간(143b)을 통한 유로가 확보되고, 확보된 유로를 통해 유체가 이동될 수 있다. 즉, 포핏(144)의 이동에 따라 유로 방출 공간이 확보되는 경우, 유체는, 유체투입홀(143c), 유로형성공간(143b) 그리고 유체배출홀(143d)을 순서대로 거쳐 배출될 수 있다. 일 실시예에서, 유체투입홀(143c)의 구비 방향은 열교환기(200) 방향이며 유체배출홀(143d)의 구비 방향은 순환탱크(110) 방향일 수 있다. 또한, 솔레노이드밸브(141)의 제어 동작 이후, 포핏(144)과 하측바디부(143) 사이에 구비된 포핏스프링(144d)의 복원력을 통해 포핏(144)이 실린더(142a) 방향으로 이동되며, 이에 따라 유체차단턱(144a)에 의해 유체의 흐름이 차단되게 된다. For example, when the cylinder 142a is moved in the direction of the lower body 143 by the control operation of the solenoid valve 141, the poppet 144 connected to the cylinder 142a is pushed in the same direction and the flow path forming space 143b ) through which the euro can be secured. That is, the cylinder 142a moves based on the control signal of the solenoid valve 141, and the fluid blocking jaw 144a of the poppet 144 connected to the cylinder 142a is pushed in the same direction to form the flow path space 143b. A flow path is secured, and the fluid can be moved through the secured flow path. That is, when the flow path discharge space is secured according to the movement of the poppet 144 , the fluid may be discharged through the fluid input hole 143c , the flow path forming space 143b , and the fluid discharge hole 143d in order. In one embodiment, the direction in which the fluid inlet hole 143c is provided may be in the direction of the heat exchanger 200 and the direction in which the fluid discharge hole 143d is provided may be in the direction of the circulation tank 110 . In addition, after the control operation of the solenoid valve 141, the poppet 144 is moved in the cylinder 142a direction through the restoring force of the poppet spring 144d provided between the poppet 144 and the lower body part 143, Accordingly, the flow of the fluid is blocked by the fluid blocking step 144a.

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체토출관(170)은 토출된 유체의 온도를 측정하는 온도센서(172)를 포함할 수 있다. 온도센서(172)는 유체토출관(170)에 구비되어 토출된 유체의 온도를 측정할 수 있다. 토출된 유체의 온도를 측정하는 것은, 순환탱크(110)로부터 토출된 유체의 온도가 냉각타겟(10)을 냉각시키기 적정한 온도인지 감지하기 위한 것일 수 있다. 이에 따라, 본 개시의 유체순환부(100)는 온도센서(172)에서 측정된 값에 따라 컨트롤밸브(140)의 작동이 제어되는 것을 특징으로 할 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid discharge pipe 170 may include a temperature sensor 172 that measures the temperature of the discharged fluid. The temperature sensor 172 may be provided in the fluid discharge pipe 170 to measure the temperature of the discharged fluid. Measuring the temperature of the discharged fluid may be for detecting whether the temperature of the fluid discharged from the circulation tank 110 is an appropriate temperature for cooling the cooling target 10 . Accordingly, the fluid circulation unit 100 of the present disclosure may be characterized in that the operation of the control valve 140 is controlled according to the value measured by the temperature sensor 172 .

전술한 바와 같이, 컨트롤밸브(140)는, 순환탱크(110)로 공급되는 저온의 유체량의 결정 또는 제어함으로써, 칠러시스템(1)의 효율성을 보다 향상시킬 수 있다. 자세히 설명하면, 냉각타겟(10)으로 공급된 유체는, 냉각타겟(10)의 순환 과정에서 순환탱크(110)에서 토출된 유체보다 온도가 높아질 수 있다. 이에 따라, 컨트롤밸브(140)는 온도센서(172)의 측정 온도에 기초하여, 처음보다 온도가 상승한 경우, 열교환기(200)에서 순환탱크(110)로 공급되는 저온의 유체량을 증가시켜 순환탱크(110)에 저장된 유체를 보다 저온으로 변화시킬 수 있다. 이에 따라, 균일한 냉각도를 통해 냉각타겟(10)을 냉각시킬 수 있다As described above, the control valve 140 may further improve the efficiency of the chiller system 1 by determining or controlling the amount of low-temperature fluid supplied to the circulation tank 110 . In detail, the fluid supplied to the cooling target 10 may have a higher temperature than the fluid discharged from the circulation tank 110 during the circulation of the cooling target 10 . Accordingly, the control valve 140 circulates by increasing the amount of low-temperature fluid supplied from the heat exchanger 200 to the circulation tank 110 when the temperature rises from the first based on the temperature measured by the temperature sensor 172 . It is possible to change the fluid stored in the tank 110 to a lower temperature. Accordingly, it is possible to cool the cooling target 10 through a uniform cooling degree.

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는 순환탱크(110) 내부의 유체 온도를 제어하는 히터(150)를 포함할 수 있다. 예컨대, 히터(150)는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 순환탱크(110)의 내부에 구비되는 것을 특징으로 할 수 있다. 이를 위해, 순환탱크(110)의 적어도 일부에는 히터(150)를 고정시키기 위한 히터안착부(114)가 구비될 수 있다. 즉, 히터안착부(114)를 통해 히터(150)는 순환탱크(110)의 내부에 안착될 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 may include a heater 150 for controlling the temperature of the fluid inside the circulation tank 110 . For example, the heater 150 may be characterized in that it is provided inside the circulation tank 110 as shown in FIGS. 4 and 5 . To this end, at least a portion of the circulation tank 110 may be provided with a heater seating part 114 for fixing the heater 150 . That is, the heater 150 may be seated in the circulation tank 110 through the heater seating part 114 .

본 개시의 히터(150)는 온도센서(172)에서 측정된 유체의 온도에 기초하여 동작될 수 있다. 즉, 히터(150)는 냉각타겟(10)으로 공급되는 유체의 온도에 기초하여 순환탱크(110) 내부에 저장된 유체의 온도를 조정하는 것을 특징으로 할 수 있다. 예를 들어, 유체토출관(170)에 위치한 온도센서(172)에서 측정된 유체의 온도가 과도하게 낮은 경우, 히터가 동작하여 순환탱크(110)에 저장된 유체의 온도를 상승시킬 수 있다. 이에 따라, 균일한 냉각도를 통해 냉각타겟(10)을 냉각시킬 수 있다.The heater 150 of the present disclosure may be operated based on the temperature of the fluid measured by the temperature sensor 172 . That is, the heater 150 may be characterized in that it adjusts the temperature of the fluid stored in the circulation tank 110 based on the temperature of the fluid supplied to the cooling target 10 . For example, when the temperature of the fluid measured by the temperature sensor 172 located in the fluid discharge pipe 170 is excessively low, the heater may operate to increase the temperature of the fluid stored in the circulation tank 110 . Accordingly, it is possible to cool the cooling target 10 through a uniform cooling degree.

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는 펌프(120)의 전단에 구비되어 유체를 필터링하는 필터(160)를 포함할 수 있다. 필터(160)는 순환탱크(110)의 내부에 구비될 수 있으며, 펌프(120)로 이동되는 유체를 필터링하는 역할을 수행하여 장치의 안정성을 향상시키는 효과를 제공할 수 있다. 이러한 필터(160)는 예컨대, 활용되는 유체의 동점도나 성질에 따라 mesh 변경될 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 may include a filter 160 provided at the front end of the pump 120 to filter the fluid. The filter 160 may be provided inside the circulation tank 110 , and serves to filter the fluid moving to the pump 120 , thereby providing an effect of improving the stability of the device. The filter 160 may be mesh-changed according to, for example, the dynamic viscosity or properties of the fluid used.

전술한 바와 같이, 본 개시의 유체순환부(100)는 극저온 구현 및 온도제어에 필요한 핵심 컴포넌트들(예컨대, 필터, 펌프, 온도센서, 릴리프밸브, 컨트롤밸브 및 히터)를 순환탱크(110)에 구비 가능하도록 구현하여 장치의 구비 사이즈를 최소화할 수 있다. 이와 더불어, 하나의 펌프를 통해 냉각타겟(10) 및 열교환기(200)로의 순환을 동시에 수행함으로써, 에너지 효율을 극대화시킴과 동시에 장치의 구비 사이즈 최소화하여 dimension 효율을 향상시키는 등, 순환 시스템의 효율성을 극대화시키는 효과를 제공할 수 있다. 뿐만 아니라, 유체의 순환 동선을 최적화하여 에너지 효율을 절감 및 구비 비용 절감을 효과를 제공할 수 있다. As described above, the fluid circulation unit 100 of the present disclosure provides the core components (eg, filters, pumps, temperature sensors, relief valves, control valves and heaters) required for cryogenic implementation and temperature control to the circulation tank 110 . By implementing it so that it can be provided, the size of the device can be minimized. In addition, by simultaneously performing circulation to the cooling target 10 and the heat exchanger 200 through a single pump, the efficiency of the circulation system, such as maximizing energy efficiency and minimizing the size of the device at the same time to improve dimensional efficiency can provide a maximizing effect. In addition, by optimizing the circulation flow of the fluid, it is possible to provide the effect of reducing energy efficiency and reducing equipment costs.

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는 순환탱크(110)로 유체를 보충하는 하부탱크(190)를 더 포함할 수 있다. 하부탱크(190)는 순환탱크(110)의 하부측에 위치할 수 있으며, 순환탱크(110)에 저장된 유체가 부족한 경우, 이를 보충하기 위하여 추가적인 유체를 저장하는 저장고 역할을 수행할 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 may further include a lower tank 190 for replenishing the fluid to the circulation tank 110 . The lower tank 190 may be located on the lower side of the circulation tank 110 , and when the fluid stored in the circulation tank 110 is insufficient, it may serve as a storage for storing additional fluid in order to supplement it.

실시예에 따르면, 순환탱크(110) 및 하부탱크(190) 각각에는 유체의 수위를 확인하기 위한 수위확인부(113) 및 수위확인관(193) 각각이 존재할 수 있다. 예컨대, 수위확인부(113)를 통한 수위 확인을 통해, 리필펌프(191)를 동작시켜 순환탱크(110)로 유체를 보충시킬 수 있다. 구체적으로, 리필펌프(191)가 동작되는 경우, 하부탱크(190)에 저장된 유체는 펌프연결관(192) 리필펌프(191) 및 상부공급관(194)을 거쳐 순환탱크(110)로 공급될 수 있다. 즉, 하부탱크(190)와 리필펌프(191) 및 이를 연결하는 관들(즉, 펌프연결관 및 상부공급관)을 통해 순환탱크(110)의 유체 보충이 신속하고 용이하게 이루어져 작업의 편의성이 향상될 수 있다. According to the embodiment, each of the circulation tank 110 and the lower tank 190 may have a water level check unit 113 and a water level check tube 193 for checking the level of the fluid, respectively. For example, by checking the water level through the water level check unit 113 , the refill pump 191 may be operated to replenish the fluid into the circulation tank 110 . Specifically, when the refill pump 191 is operated, the fluid stored in the lower tank 190 may be supplied to the circulation tank 110 through the pump connection pipe 192, the refill pump 191 and the upper supply pipe 194. there is. That is, the fluid replenishment of the circulation tank 110 through the lower tank 190 and the refill pump 191 and the pipes connecting them (that is, the pump connection pipe and the upper supply pipe) is quickly and easily made to improve the convenience of work. can

본 개시의 일 실시예에 따르면, 유체순환부(100)는 복수 개로 구비되고, 각각의 유체순환부로부터 토출되는 유체는 열교환기(200) 내에 구비된 냉매관(210)과 동시에 열교환하는 것을 특징으로 할 수 있다. 구체적인 예를 들어, 본 개시의 유체순환부(100)는 3개로 구비될 수 있으며, 3개의 유체순환부(100)는 하나의 냉매관(210)과 동시에 열교환하는 것을 특징으로 할 수 있다. According to an embodiment of the present disclosure, the fluid circulation unit 100 is provided in plurality, and the fluid discharged from each fluid circulation unit exchanges heat with the refrigerant pipe 210 provided in the heat exchanger 200 at the same time. can be done with As a specific example, three fluid circulation units 100 of the present disclosure may be provided, and the three fluid circulation units 100 may simultaneously exchange heat with one refrigerant pipe 210 .

이상, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 개시의 실시예를 설명하였지만, 본 개시가 속하는 기술분야의 통상의 기술자는 본 개시가 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며, 제한적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Above, although embodiments of the present disclosure have been described with reference to the accompanying drawings, those of ordinary skill in the art to which the present disclosure pertains will realize that the present disclosure may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. you will be able to understand Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.

본 개시에서 설명하는 특정 실행들은 일 실시 예들로서, 어떠한 방법으로도 본 개시의 범위를 한정하는 것은 아니다. 명세서의 간결함을 위하여, 종래 전자적인 구성들, 제어 시스템들, 소프트웨어, 상기 시스템들의 다른 기능적인 측면들의 기재는 생략될 수 있다. 또한, 도면에 도시된 구성 요소들 간의 선들의 연결 또는 연결 부재들은 기능적인 연결 및/또는 물리적 또는 회로적 연결들을 예시적으로 나타낸 것으로서, 실제 장치에서는 대체 가능하거나 추가의 다양한 기능적인 연결, 물리적인 연결, 또는 회로 연결들로서 나타내어질 수 있다. 또한, "필수적인", "중요하게" 등과 같이 구체적인 언급이 없다면 본 발명의 적용을 위하여 반드시 필요한 구성 요소가 아닐 수 있다.The specific implementations described in the present disclosure are only examples, and do not limit the scope of the present disclosure in any way. For brevity of the specification, descriptions of conventional electronic components, control systems, software, and other functional aspects of the systems may be omitted. In addition, the connection or connection members of the lines between the components shown in the drawings illustratively represent functional connections and/or physical or circuit connections, and in an actual device, various functional connections, physical connections that are replaceable or additional may be referred to as connections, or circuit connections. In addition, unless there is a specific reference such as "essential", "importantly", etc., it may not be a necessary component for the application of the present invention.

제시된 프로세스들에 있는 단계들의 특정한 순서 또는 계층 구조는 예시적인 접근들의 일례임을 이해하도록 한다. 설계 우선순위들에 기반하여, 본 개시의 범위 내에서 프로세스들에 있는 단계들의 특정한 순서 또는 계층 구조가 재배열될 수 있다는 것을 이해하도록 한다. 첨부된 방법 청구항들은 샘플 순서로 다양한 단계들의 엘리먼트들을 제공하지만 제시된 특정한 순서 또는 계층 구조에 한정되는 것을 의미하지는 않는다.It is to be understood that the specific order or hierarchy of steps in the presented processes is an example of exemplary approaches. Based on design priorities, it is to be understood that the specific order or hierarchy of steps in the processes may be rearranged within the scope of the present disclosure. The appended method claims present elements of the various steps in a sample order, but are not meant to be limited to the specific order or hierarchy presented.

제시된 실시예들에 대한 설명은 임의의 본 개시의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 개시를 이용하거나 또는 실시할 수 있도록 제공된다. 이러한 실시예들에 대한 다양한 변형들은 본 개시의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이며, 여기에 정의된 일반적인 원리들은 본 개시의 범위를 벗어남이 없이 다른 실시예들에 적용될 수 있다. 그리하여, 본 개시는 여기에 제시된 실시예들로 한정되는 것이 아니라, 여기에 제시된 원리들 및 신규한 특징들과 일관되는 최광의의 범위에서 해석되어야 할 것이다.The description of the presented embodiments is provided to enable any person skilled in the art to make or use the present disclosure. Various modifications to these embodiments will be readily apparent to those skilled in the art, and the generic principles defined herein may be applied to other embodiments without departing from the scope of the present disclosure. Thus, the present disclosure is not intended to be limited to the embodiments presented herein, but is to be construed in the widest scope consistent with the principles and novel features presented herein.

1: 칠러시스템 10: 냉각타겟
100: 유체순환부 110: 순환탱크
111: 유체리필관 112: 수위조절관
113: 수위확인부 114: 히터안착부
120: 펌프 121: 제1하우징
121a: 투입홀 121b: 제1관
121c: 헬리코기어 121d: 제2관
121e: 배출홀 122: 제2하우징
122a: 회전중심축 122b: 제1보온재
123: 모터 130: 릴리프밸브
131: 압력배출홀 132: 압력차단막
133: 압력배출통로 134: 릴리프스프링
135: 지지면 140: 컨트롤밸브
141: 솔레노이드밸브 142: 상측바디부
142a: 실린더 142b: 제2보온재
143: 하측바디부 143a: 고정핀
143b: 유로형성공간 143c: 유체유입홀
143d: 유체배출홀 144: 포핏
144a: 유체차단턱 144b: 측면홀
144c: 중심홀 144d: 포핏스프링
150: 히터 160: 필터
170: 유체토출관 171: 분지부
172: 온도센서 173: 제1공급관
174: 제2공급관 180: 유체유입관
181: 제1유입관 182: 제2유입관
190: 하부탱크 191: 리필펌프
192: 펌프연결관 193: 수위확인관
194: 상부공급관 200: 열교환기
210: 냉매관 300: 냉각부
1: chiller system 10: cooling target
100: fluid circulation unit 110: circulation tank
111: fluid refill pipe 112: water level control pipe
113: water level check part 114: heater seating part
120: pump 121: first housing
121a: input hole 121b: tube 1
121c: Helico Gear 121d: Section 2
121e: discharge hole 122: second housing
122a: axis of rotation 122b: first insulating material
123: motor 130: relief valve
131: pressure discharge hole 132: pressure blocking membrane
133: pressure discharge passage 134: relief spring
135: support surface 140: control valve
141: solenoid valve 142: upper body part
142a: cylinder 142b: second insulating material
143: lower body portion 143a: fixing pin
143b: flow path forming space 143c: fluid inlet hole
143d: fluid discharge hole 144: poppet
144a: fluid barrier 144b: side hole
144c: central hole 144d: poppet spring
150: heater 160: filter
170: fluid discharge pipe 171: branch part
172: temperature sensor 173: first supply pipe
174: second supply pipe 180: fluid inlet pipe
181: first inflow pipe 182: second inflow pipe
190: lower tank 191: refill pump
192: pump connection pipe 193: water level check pipe
194: upper supply pipe 200: heat exchanger
210: refrigerant pipe 300: cooling unit

Claims (10)

제1공급관을 통해 냉각타겟으로 유체를 공급하는 유체순환부;
냉매를 냉각 및 순환시키는 냉각부; 및
상기 냉각부로부터 공급된 상기 냉매와 유체를 열교환시키는 열교환기;
를 포함하고,
상기 냉각타겟으로 공급된 유체는 제1유입관을 통해 상기 유체순환부로 회수되며, 상기 유체순환부에서 토출된 유체의 온도에 따라 토출된 유체의 적어도 일부가 상기 제1공급관으로부터 분지되는 제2공급관을 통해 상기 열교환기로 공급되는 것을 특징으로 하며,
상기 유체순환부는,
내부에 유체를 저장하는 순환탱크;
유체의 흐름을 발생시키는 펌프; 및
상기 펌프로부터 토출된 유체의 압력에 따라 상기 토출된 유체의 적어도 일부를 상기 순환탱크로 공급하는 릴리프밸브;
를 포함하는,
칠러시스템.
a fluid circulation unit for supplying a fluid to the cooling target through the first supply pipe;
a cooling unit for cooling and circulating the refrigerant; and
a heat exchanger for exchanging a fluid with the refrigerant supplied from the cooling unit;
including,
The fluid supplied to the cooling target is recovered to the fluid circulation unit through a first inlet pipe, and at least a portion of the fluid discharged from the fluid circulation unit is branched from the first supply pipe according to the temperature of the fluid discharged from the second supply pipe. It is characterized in that it is supplied to the heat exchanger through
The fluid circulation unit,
a circulation tank for storing the fluid therein;
a pump for generating a flow of fluid; and
a relief valve for supplying at least a portion of the discharged fluid to the circulation tank according to the pressure of the fluid discharged from the pump;
containing,
chiller system.
제 1 항에 있어서,
상기 유체순환부는,
상기 열교환기로부터 상기 순환탱크로 공급되는 유체량을 제어하는 컨트롤밸브;
상기 순환탱크에 저장된 유체를 토출시키는 유체토출관; 및
상기 순환탱크로 유체를 유입시키는 유체유입관;
을 더 포함하는,
칠러시스템.
The method of claim 1,
The fluid circulation unit,
a control valve for controlling the amount of fluid supplied from the heat exchanger to the circulation tank;
a fluid discharge pipe for discharging the fluid stored in the circulation tank; and
a fluid inlet pipe for introducing a fluid into the circulation tank;
further comprising,
chiller system.
제 2 항에 있어서,
상기 유체토출관은,
토출된 유체의 온도를 측정하는 온도센서; 및
토출된 유체가 나뉘는 분지부;
를 더 포함하고,
상기 온도센서에서 측정된 값에 따라 상기 컨트롤밸브의 작동이 제어되는 것을 특징으로 하는,
칠러시스템.
3. The method of claim 2,
The fluid discharge pipe,
a temperature sensor for measuring the temperature of the discharged fluid; and
a branching part through which the discharged fluid is divided;
further comprising,
characterized in that the operation of the control valve is controlled according to the value measured by the temperature sensor,
chiller system.
제 3 항에 있어서,
상기 유체유입관은,
상기 열교환기와 연결되는 제2유입관;
을 더 포함하고,
상기 제2유입관으로부터 유입되는 유체는 상기 컨트롤밸브를 통해 상기 순환탱크로 설정된 양만큼 유입되는 것을 특징으로 하는,
칠러시스템.
4. The method of claim 3,
The fluid inlet pipe,
a second inlet pipe connected to the heat exchanger;
further comprising,
The fluid flowing in from the second inlet pipe is characterized in that the amount introduced into the circulation tank through the control valve by a set amount,
chiller system.
제 3 항에 있어서,
상기 릴리프밸브는,
상기 온도센서와 상기 펌프 사이에 구비되고 설정된 압력 이상의 유체를 순환탱크로 배출시키는 것을 특징으로하는,
칠러시스템.
4. The method of claim 3,
The relief valve is
It is provided between the temperature sensor and the pump, characterized in that the fluid above a set pressure is discharged to the circulation tank,
chiller system.
제 2 항에 있어서,
상기 유체순환부는,
상기 순환탱크 내부의 유체 온도를 제어하는 히터;
상기 펌프의 전단에 구비되어 유체를 필터링하는 필터; 및
상기 순환탱크로 유체를 보충하는 하부탱크;
를 더 포함하는,
칠러시스템.
3. The method of claim 2,
The fluid circulation unit,
a heater for controlling the temperature of the fluid inside the circulation tank;
a filter provided at the front end of the pump to filter the fluid; and
a lower tank for replenishing the fluid into the circulation tank;
further comprising,
chiller system.
제 6 항에 있어서,
상기 순환탱크는,
외부로부터 유체가 공급되는 유체리필관; 및
상기 순환탱크 내부 유체의 수위를 조정하는 수위조절관;
을 더 포함하고,
상기 수위조절관으로 유입된 유체는 상기 하부탱크로 향하는 것을 특징으로 하는,
칠러시스템.
7. The method of claim 6,
The circulation tank is
a fluid refill pipe to which a fluid is supplied from the outside; and
a water level control pipe for adjusting the level of the fluid inside the circulation tank;
further comprising,
The fluid introduced into the water level control pipe is characterized in that it is directed to the lower tank,
chiller system.
제 2 항에 있어서,
상기 펌프는,
복수 개로 구비되는 헬리코기어 간의 상호 회전을 통해 야기되는 흡입력으로 유체의 흐름을 발생시키며, 상기 복수 개의 헬리코기어 중 적어도 하나는, 모터와 회전 중심축을 공유하도록 커플링 연결되는 것을 특징으로 하는,
칠러시스템.

3. The method of claim 2,
The pump is
A fluid flow is generated by a suction force caused by mutual rotation between a plurality of helico gears, wherein at least one of the plurality of helico gears is coupled and connected to share a central axis of rotation with a motor,
chiller system.

제 2 항에 있어서,
상기 컨트롤밸브는,
동작을 제어하는 솔레노이드밸브;
상기 솔레노이드밸브의 제어 동작에 기초한 실린더의 수직 운동을 허용하는 수용공간을 포함하는 상측바디부; 및
상기 실린더의 일단에 연결되어 유체를 토출하기 위한 통로를 형성하는 하측바디부;
를 포함하는,
칠러시스템.
3. The method of claim 2,
The control valve is
a solenoid valve that controls the operation;
an upper body portion including an accommodating space allowing vertical movement of the cylinder based on the control operation of the solenoid valve; and
a lower body part connected to one end of the cylinder to form a passage for discharging the fluid;
containing,
chiller system.
제 1 항에 있어서,
상기 유체순환부는 복수 개로 구비되고, 각각의 유체순환부로부터 토출되는 유체는 상기 열교환기 내에 구비된 냉매관과 동시에 열교환하는 것을 특징으로 하는,
칠러시스템.
The method of claim 1,
The fluid circulation part is provided in plurality, characterized in that the fluid discharged from each fluid circulation part exchanges heat with the refrigerant pipe provided in the heat exchanger at the same time,
chiller system.
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