KR102383954B1 - Jig device capable of adjusting width - Google Patents

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KR102383954B1
KR102383954B1 KR1020210175500A KR20210175500A KR102383954B1 KR 102383954 B1 KR102383954 B1 KR 102383954B1 KR 1020210175500 A KR1020210175500 A KR 1020210175500A KR 20210175500 A KR20210175500 A KR 20210175500A KR 102383954 B1 KR102383954 B1 KR 102383954B1
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차인석
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Abstract

The present invention provides a jig device with an adjustable width, which comprises: a driving member rotated in a first rotational direction; a first transmission member and a second transmission member respectively receiving the rotational force of the driving member, disposed on opposite sides of the driving member, and rotating in a second rotational direction, respectively; first and second movable members receiving the rotational force of the first transmission member and moving in a direction away from or close to the first transmission member; third and fourth movable members receiving the rotational force of the second transmission member and moving in a direction away from or close to the second transmission member; and adsorption members formed at one end of the first, second, third, and fourth movable members in a longitudinal direction, respectively. The distance between the respective adsorption members can be adjusted to correspond to the size of a substrate to be transferred.

Description

폭 조절이 가능한 지그 장치{JIG DEVICE CAPABLE OF ADJUSTING WIDTH}Jig device with adjustable width

본 발명은 폭 조절이 가능한 지그 장치에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 흡착 부재의 위치가 기판의 면적에 대응되도록 폭 조절이 가능한 지그 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a jig device capable of adjusting the width, and more particularly, to a jig device capable of adjusting the width so that the position of the suction member corresponds to the area of the substrate.

종래의 기판 흡착 장치의 경우, 진공 픽업부의 진공 흡착 패드 위치가 고정되어서 기판의 크기에 맞게 진공 흡착 패드의 위치를 수동으로 변경해야 되는 한계가 있다.In the case of the conventional substrate adsorption apparatus, the position of the vacuum suction pad of the vacuum pickup unit is fixed, so there is a limitation in that the position of the vacuum suction pad needs to be manually changed according to the size of the substrate.

즉, 상기 진공 흡착 패드가 일정한 위치에 고정되어 있어 크기가 다른 기판을 이송 또는 픽업하기 위해서는 기판 흡착 장치 전체를 교체하거나 또는 진공 흡착 패드를 분리하여 위치를 작업자가 다른 최적의 위치에 고정하는 작업을 수행해야하는 번거로움이 있다.That is, since the vacuum suction pad is fixed at a certain position, in order to transport or pick up substrates of different sizes, the entire substrate suction device is replaced or the vacuum suction pad is separated and the operator fixed the position to another optimal position. There are cumbersome things to do.

한국공개특허 10-2011-0126819(2011.11.24. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2011-0126819 (published on November 24, 2011) 한국공개특허 10-2020-0142144(2020.12.22. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2020-0142144 (published on December 22, 2020)

본 발명은 위와 같은 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 흡착 부재의 위치가 기판의 면적에 대응되도록 조절됨으로써 다양한 크기의 기판에 적용이 가능할 뿐만 아니라, 안정적인 파지가 가능한 폭 조절이 가능한 지그 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, and by adjusting the position of the adsorption member to correspond to the area of the substrate, it is possible to apply to substrates of various sizes as well as to provide a jig device capable of stably gripping the width. but there is a purpose

본 발명의 일 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치는 제1 회전 방향으로 회전되는 구동 부재, 상기 구동 부재의 회전력을 각각 전달받되, 상기 구동 부재를 기준으로 서로 반대측에 배치되어 제2 회전 방향으로 각각 회전되는 제1 전달 부재 및 제2 전달 부재, 상기 제1 전달 부재의 회전력을 각각 전달받아 상기 제1 전달 부재로부터 이격되거나 근접하는 방향으로 이동되는 제1, 2 가동 부재, 상기 제2 전달 부재의 회전력을 각각 전달 받아 상기 제2 전달 부재로부터 이격되거나 근접하는 방향으로 이동되는 제3, 4 가동 부재 및 상기 제1, 2, 3, 4 가동 부재의 길이 방향을 따른 일단에 각각 형성되는 흡착 부재를 포함할 수 있다.The width-adjustable jig device according to an embodiment of the present invention receives a driving member rotated in a first rotational direction, and a rotational force of the driving member, respectively, disposed on opposite sides with respect to the driving member in a second rotational direction A first transmission member and a second transmission member respectively rotated by the first and second movable members, the first and second movable members being moved in a direction spaced apart from or close to the first transmission member by receiving the rotational force of the first transmission member, respectively, the second transmission Adsorption formed at one end of each of the third and fourth movable members and the first, second, third, and fourth movable members in the longitudinal direction, respectively, by receiving the rotational force of the members and moving in a direction spaced apart or close to the second transmission member member may be included.

상기 제1, 4 가동 부재와 상기 제2, 3 가동 부재는 상기 구동 부재, 상기 제1 전달 부재 및 상기 제2 전달 부재의 중심축을 잇는 가상선을 기준으로 서로 반대측에 위치할 수 있다.The first and fourth movable members and the second and third movable members may be positioned on opposite sides with respect to an imaginary line connecting central axes of the driving member, the first transmission member, and the second transmission member.

상기 제1 전달 부재와 상기 제2 가동 부재 사이에 개재되어 제1 회전 방향으로 회전되는 제1 아이들 회전 부재 및 상기 제2 전달 부재와 상기 제4 가동 부재 사이에 개재되어 제1 회전 방향으로 회전되는 제2 아이들 회전 부재를 포함할 수 있다.a first idle rotation member interposed between the first transmission member and the second movable member to rotate in a first rotation direction, and a first idle rotation member interposed between the second transmission member and the fourth movable member to rotate in a first rotation direction A second idle rotation member may be included.

상기 제1 가동 부재와 제2 가동 부재는 상기 제1 전달 부재를 기준으로 평행하게 이격되고, 상기 제3 가동 부재와 제4 가동 부재는 상기 제2 전달 부재를 기준으로 평행하게 이격될 수 있다.The first movable member and the second movable member may be spaced apart from each other in parallel with respect to the first transmission member, and the third movable member and the fourth movable member may be spaced apart from each other in parallel with respect to the second transmission member.

상기 제1 가동 부재와 제2 가동 부재는 상기 제1 전달 부재 측으로 갈수록 상호 근접하도록 경사지게 형성되고, 상기 제3 가동 부재와 제4 가동 부재는 상기 제2 전달 부재 측으로 갈수록 상호 근접하도록 경사지게 형성될 수 있다.The first movable member and the second movable member may be inclined to approach each other toward the first transmission member, and the third movable member and the fourth movable member may be inclined to approach each other toward the second transmission member. there is.

상기 구동 기어, 제1 전달 기어, 제2 전달 기어, 제1 아이들 회전 부재 및 제2 아이들 회전 부재는 각각의 외주면에 기어치가 형성되는 평기어일 수 있다.The driving gear, the first transmission gear, the second transmission gear, the first idle rotation member, and the second idle rotation member may be spur gears each having gear teeth formed on an outer circumferential surface thereof.

상기 제1, 2, 3, 4 가동 부재는 소정 길이로 형성되고, 일면에 기어치가 형성되는 랙기어를 포함할 수 있다.The first, second, third, and fourth movable members may include a rack gear having a predetermined length and having gear teeth formed on one surface thereof.

상기한 바와 같이 이루어지는 본 발명의 일 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치는 이송하고자 하는 기판의 크기에 대응되도록 각각의 홉착 부재 간의 거리가 조절될 수 있다.In the jig apparatus capable of adjusting the width according to an embodiment of the present invention made as described above, the distance between the respective catching members may be adjusted to correspond to the size of the substrate to be transferred.

또한, 흡착 부재 간의 거리가 조절되되, 기판의 대각선 방향을 따른 길이 조절도 가능하므로 기판의 크기에 따라 직사각형의 각각의 모서리에 근접한 위치를 유지함으로써 안정적인 파지 위치의 유지가 가능해진다.In addition, the distance between the adsorption members is controlled, and since it is also possible to adjust the length along the diagonal direction of the substrate, it is possible to maintain a stable holding position by maintaining a position close to each corner of the rectangle according to the size of the substrate.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 제1 하우징을 분리하여 나타낸 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 1의 사용상태도를 나타낸 것이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치의 사용상태도를 나타낸 것이다.1 is a perspective view showing a jig device capable of adjusting the width according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing the first housing of FIG. 1 separated;
3 and 4 are diagrams showing the state of use of FIG. 1 .
5 and 6 are diagrams showing a state of use of a jig device capable of adjusting the width according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 제한되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 기술자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, and only the present embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully understand the scope of the present invention to those skilled in the art, and the present invention is only defined by the scope of the claims.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 구성요소들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 비록 "제1", "제2" 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, “comprises” and/or “comprising” does not exclude the presence or addition of one or more other components in addition to the stated components. Like reference numerals refer to like elements throughout, and "and/or" includes each and every combination of one or more of the recited elements. Although "first", "second", etc. are used to describe various elements, these elements are not limited by these terms, of course. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, it goes without saying that the first component mentioned below may be the second component within the spirit of the present invention.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used herein will have the meaning commonly understood by those of ordinary skill in the art to which this invention belongs. In addition, terms defined in a commonly used dictionary are not to be interpreted ideally or excessively unless specifically defined explicitly.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 구성요소와 다른 구성요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 구성요소들의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들어, 도면에 도시되어 있는 구성요소를 뒤집을 경우, 다른 구성요소의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 구성요소는 다른 구성요소의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 구성요소는 다른 방향으로도 배향될 수 있으며, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.Spatially relative terms "below", "beneath", "lower", "above", "upper", etc. It can be used to easily describe the correlation between a component and other components. Spatially relative terms should be understood as terms including different directions of components during use or operation in addition to the directions shown in the drawings. For example, when a component shown in the drawing is turned over, a component described as “beneath” or “beneath” of another component may be placed “above” of the other component. can Accordingly, the exemplary term “below” may include both directions below and above. Components may also be oriented in other orientations, and thus spatially relative terms may be interpreted according to orientation.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 제1 하우징을 분리하여 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a jig device capable of adjusting the width according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view showing the first housing of FIG. 1 separated.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치는 구동 부재(100), 제1 전달 부재(110), 제2 전달 부재(120), 제1 가동 부재(111), 제2 가동 부재(112), 제3 가동 부재(121), 제4 가동 부재(122) 및 흡착 부재(111b, 112b, 121b, 122b)를 포함할 수 있다.1 and 2 , the width-adjustable jig device according to an embodiment of the present invention includes a driving member 100 , a first transmission member 110 , a second transmission member 120 , and a first movable member. 111 , a second movable member 112 , a third movable member 121 , a fourth movable member 122 , and adsorption members 111b , 112b , 121b , and 122b may be included.

구동 부재(100)는 제1 케이스(11) 및 제2 케이스(12)에 의해 회전 지지되는 구동 부재 샤프트(100a)를 중심으로 제1 회전 방향으로 회전되도록 구비될 수 있다. 본 실시예에서, 제1 회전 방향은 시계방향 및 반시계방향 중 어느 하나일 수 있다. 다만, 제2 회전 방향은 제1 회전 방향의 반대 방향을 의미하는 것으로, 제1 회전 방향이 시계방향인 경우, 제2 회전 방향은 반시계방향으로 정의될 수 있고, 제1 회전 방향이 반시계 방향인 경우, 제2 회전 방향은 시계방향으로 정의될 수 있다.The driving member 100 may be provided to rotate in the first rotational direction about the driving member shaft 100a rotatably supported by the first case 11 and the second case 12 . In this embodiment, the first rotation direction may be any one of a clockwise direction and a counterclockwise direction. However, the second rotation direction refers to a direction opposite to the first rotation direction, and when the first rotation direction is a clockwise direction, the second rotation direction may be defined as a counterclockwise direction, and the first rotation direction is a counterclockwise direction. direction, the second rotational direction may be defined as a clockwise direction.

제1 전달 부재(110) 및 제2 전달 부재(120)는 구동 부재(100)의 회전력을 각각 전달받되, 구동 부재(100)를 기준으로 서로 반대측에 배치될 수 있다. 즉, 도시된 바와 같이 구동 부재(100), 제1 전달 부재(110) 및 제2 전달 부재(120)가 각각 외주면을 따라 기어치가 형성되는 평기어로 이루어지는 경우, 구동 부재(100)의 회전력을 전달받을 수 있도록 각각의 제1 전달 부재(110) 및 제2 전달 부재(120)가 구동 부재(100)의 기어치에 치합되되, 제1 전달 부재 샤프트(110a) 및 제2 전달 부재 샤프트(120a)가 구동 부재(100)를 중심으로 대략 ±180° 정도로 서로 반대측에 위치하여 회전될 수 있다. 제1 전달 부재(110)와 제2 전달 부재(120)가 서로 간섭되지 않는 위치에 배치된다면 제1 전달 부재(110)와 제2 전달 부재(120)가 구동 부재(100)를 중심으로 배치되는 각도는 이에 한정되지 않는다.The first transmission member 110 and the second transmission member 120 may receive rotational force of the driving member 100 , respectively, and may be disposed on opposite sides with respect to the driving member 100 . That is, when the driving member 100, the first transmission member 110, and the second transmission member 120 are formed of spur gears in which gear teeth are formed along the outer circumferential surface, respectively, as shown in the figure, the rotational force of the driving member 100 is Each of the first transmission member 110 and the second transmission member 120 is engaged with the gear teeth of the driving member 100 to receive the transmission, the first transmission member shaft 110a and the second transmission member shaft 120a ) may be positioned on opposite sides of the driving member 100 by approximately ±180° and rotated. If the first transmission member 110 and the second transmission member 120 are disposed at positions where they do not interfere with each other, the first transmission member 110 and the second transmission member 120 are disposed around the driving member 100 . The angle is not limited thereto.

제1 가동 부재(111) 및 제2 가동 부재(112)는 각각 소정 길이로 형성되고, 길이 방향을 따른 일측에 각각 흡착 부재(111b, 112b)가 형성되며, 각각의 일면에 복수의 기어치가 마련되는 랙 기어 형태를 포함할 수 있다. 여기서, 흡착 부재(111b, 112b)는 진공압이 전달되는 호스류(미도시)와 연통되어 진공 흡착 기능이 작동되어 기판(미도시)의 일면을 파지할 수 있다.The first movable member 111 and the second movable member 112 are each formed to have a predetermined length, respectively, adsorption members 111b and 112b are formed on one side along the longitudinal direction, and a plurality of gear teeth are provided on each surface. It may include a rack gear form that is Here, the adsorption members 111b and 112b communicate with hoses (not shown) to which vacuum pressure is transmitted, so that the vacuum adsorption function is operated to grip one surface of the substrate (not shown).

또한, 제1 가동 부재(111) 및 제2 가동 부재(112)가 각각 선형 이동될 수 있도록 안내 부재(111a, 112a)가 형성될 수 있다. 이때, 안내 부재(111a, 112a)는 각각 제1 가동 부재(111) 및 제2 가동 부재(112)가 끼워지는 안내홈(미도시)을 구비하거나 제1 가동 부재(111) 및 제2 가동 부재(112)의 외주면 일부를 감싸도록 형성될 수 있다.In addition, guide members 111a and 112a may be formed so that the first movable member 111 and the second movable member 112 may be linearly moved, respectively. In this case, the guide members 111a and 112a have a guide groove (not shown) into which the first movable member 111 and the second movable member 112 are fitted, respectively, or the first movable member 111 and the second movable member. It may be formed to surround a portion of the outer peripheral surface of (112).

제1 가동 부재(111) 및 제2 가동 부재(112)는 제1 전달 부재(110)의 회전력을 전달받을 수 있도록 치합되되, 제1 전달 부재 샤프트(110a)를 중심으로 대칭되도록 배치됨으로써 제1 전달 부재(110)의 회전 방향에 따라 일측 또는 타측으로 선형 이동되도록 한다.The first movable member 111 and the second movable member 112 are engaged to receive the rotational force of the first transmission member 110 , and are disposed to be symmetrical about the first transmission member shaft 110a, so that the first It is linearly moved to one side or the other side according to the rotation direction of the transmission member 110 .

다만, 제2 가동 부재(112)와 제1 전달 부재(110)의 사이에는 제1 전달 부재(110)의 회전 방향을 반대로 변환시키기 위한 제1 아이들 회전 부재(110b)가 치합됨으로써 제1 가동 부재(111)와 제2 가동 부재(112)의 선형 이동되는 방향이 동일하도록 유도하게 된다. 다시 말해, 제1 전달 부재(110)가 시계 방향으로 회전되는 경우, 제1 가동 부재(111) 및 제2 가동 부재(112)가 도면 상 동일한 방향인 우측으로 선형이동되고, 그 반대의 경우도 마찬가지이다.However, between the second movable member 112 and the first transmission member 110 , the first idle rotation member 110b for converting the rotation direction of the first transmission member 110 to the opposite direction is engaged with the first movable member The linear movement directions of (111) and the second movable member (112) are induced to be the same. In other words, when the first transmission member 110 is rotated clockwise, the first movable member 111 and the second movable member 112 are linearly moved to the right in the same direction in the drawing, and vice versa. The same is true.

제3 가동 부재(121) 및 제4 가동 부재(122)는 제1 가동 부재(111) 및 제2 가동 부재(112)와 대동소이한 구성으로, 각각 소정 길이로 형성되고, 길이 방향을 따른 일측에 각각 흡착 부재(121b, 122b)가 형성되며, 각각의 일면에 복수의 기어치가 마련되는 랙 기어 형태를 포함할 수 있다. 즉, 제1, 2, 3, 4 가동 부재(111, 112, 121, 122)의 흡착 부재(111b, 112b, 121b, 122b)는 동시에 진공 흡착 기능이 작동되어 상기 기판의 일면을 파지할 수 있다.The third movable member 121 and the fourth movable member 122 have the same configuration as the first movable member 111 and the second movable member 112 , are each formed in a predetermined length, and have one side along the longitudinal direction. Each adsorption member (121b, 122b) is formed on the, and may include a rack gear type in which a plurality of gear teeth are provided on each surface. That is, the suction members 111b, 112b, 121b, and 122b of the first, second, third, and fourth movable members 111, 112, 121 and 122 simultaneously operate the vacuum suction function to grip one surface of the substrate. .

또한, 제3 가동 부재(121) 및 제4 가동 부재(122)가 각각 선형 이동될 수 있도록 안내 부재(121a, 122a)가 구비될 수 있다. 이러한 안내 부재(121a, 122a)는 제1 가동 부재(111) 및 제2 가동 부재(112)의 선형 이동을 안내하는 구성과 비교하여 볼 때, 이동 방향이 상이할 뿐, 유사한 구성이므로 중복되는 설명은 생략한다.In addition, guide members 121a and 122a may be provided so that the third movable member 121 and the fourth movable member 122 may be linearly moved, respectively. These guide members (121a, 122a) are compared with the configuration for guiding the linear movement of the first movable member 111 and the second movable member 112, the movement direction is different, but the same configuration, so overlapping description is omitted.

제3 가동 부재(121) 및 제4 가동 부재(122)는 제2 전달 부재(120)의 회젼력을 전달받을 수 있도록 치합되되, 제2 전달 부재 샤프트(120a)를 중심으로 대칭되도록 배치됨으로써 제2 전달 부재(120)의 회전 방향에 따라 일측 또는 타측으로 선형 이동되도록 한다.The third movable member 121 and the fourth movable member 122 are engaged so as to receive the rotational force of the second transmission member 120, and are disposed to be symmetrical about the second transmission member shaft 120a. 2 to be linearly moved to one side or the other side according to the rotation direction of the transmission member 120 .

다만, 제4 가동 부재(122)와 제2 전달 부재(120)의 사이에는 제2 전달 부재(120)의 회전 방향을 반대로 변환시키기 위한 제2 아이들 회전 부재(120b)가 치합됨으로써 제3 가동 부재(121)와 제4 가동 부재(122)의 선형 이동되는 방향이 동일하도록 유도하게 된다. 다시 말해, 제2 전달 부재(120)가 시계 방향으로 회전되는 경우, 제3 가동 부재(121) 및 제4 가동 부재(122)가 도면 상 동일한 방향인 좌측으로 선형이동되고, 그 반대의 경우도 마찬가지이다.However, between the fourth movable member 122 and the second transmission member 120 , the second idle rotation member 120b for reversely converting the rotation direction of the second transmission member 120 is engaged with the third movable member The linear movement directions of the 121 and the fourth movable member 122 are induced to be the same. In other words, when the second transmission member 120 is rotated clockwise, the third movable member 121 and the fourth movable member 122 are linearly moved to the left in the same direction in the drawing, and vice versa. The same is true.

특히, 제1, 4 가동 부재(111, 122)와 제2, 3 가동 부재(112, 121)는 구동 부재(100), 제1 전달 부재(110) 및 제2 전달 부재(120)의 중심축을 잇는 가상선을 기준으로 서로 반대측에 위치할 수 있다.In particular, the first and fourth movable members 111 and 122 and the second and third movable members 112 and 121 align the central axes of the driving member 100 , the first transmission member 110 , and the second transmission member 120 . They may be located on opposite sides of the connecting virtual line.

제1 가동 부재(111)와 제2 가동 부재(112)는 제1 전달 부재(110)를 기준으로 평행하게 이격되고, 제3 가동 부재(121)와 제4 가동 부재(122)는 제2 전달 부재(120)를 기준으로 평행하게 이격될 수 있다.The first movable member 111 and the second movable member 112 are spaced apart in parallel with respect to the first transmission member 110 , and the third movable member 121 and the fourth movable member 122 are the second transmission members. It may be spaced apart in parallel with respect to the member 120 .

이 경우, 구동 부재(100)의 회전 방향에 의한 제1 전달 부재(110) 및 제2 전달 부재(120)의 회전 방향에 따라 제1 가동 부재(111) 및 제2 가동 부재(112)가 평행하게 선형 이동됨과 동시에 제3 가동 부재(121) 및 제4 가동 부재(122)가 평행하게 선형 이동될 수 있다.In this case, the first movable member 111 and the second movable member 112 are parallel according to the rotation directions of the first transmission member 110 and the second transmission member 120 according to the rotation direction of the driving member 100 . The third movable member 121 and the fourth movable member 122 may be linearly moved in parallel while being linearly moved.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치의 작동을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the jig device capable of adjusting the width according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3 및 도 4는 도 1의 사용상태도를 나타낸 것이다.3 and 4 are diagrams showing the state of use of FIG. 1 .

도 3 및 도 4를 참조하면, 구동 부재(100)가 일 예로, 반시계방향으로 회전되는 경우, 제1 전달 부재(110) 및 제2 전달 부재(120)가 시계방향으로 회전된다.3 and 4 , when the driving member 100 is rotated counterclockwise, for example, the first transmission member 110 and the second transmission member 120 are rotated clockwise.

이때, 제1 전달 부재(110)와 직접적으로 치합되는 제1 가동 부재(111)가 도면 상 우측으로 선형 이동되고, 제2 전달 부재(120)와 직접적으로 치합되는 제3 가동 부재(121)가 도면 상 좌측으로 선형 이동된다.At this time, the first movable member 111 that is directly meshed with the first transmission member 110 is linearly moved to the right in the drawing, and the third movable member 121 that is directly meshed with the second transmission member 120 is It is linearly moved to the left in the drawing.

이와 동시에, 제1 아이들 회전 부재(110b)는 제1 전달 부재(110)의 회전 방향과 반대인 반시계방향으로 회전되므로 제1 아이들 회전 부재(110b)에 치합되는 제2 가동 부재(112)가 도면 상 우측으로 선형 이동하게 되고, 제2 아이들 회전 부재(120b)는 제2 전달 부재(120)의 회전 방향과 반대인 반시계방향으로 회전되므로 제2 아이들 회전 부재(120b)에 치합되는 제4 가동 부재(122)가 도면 상 좌측으로 선형 이동하게 된다.At the same time, since the first idle rotation member 110b rotates in a counterclockwise direction opposite to the rotation direction of the first transmission member 110, the second movable member 112 engaged with the first idle rotation member 110b is Since it is linearly moved to the right in the drawing, and the second idle rotation member 120b rotates in a counterclockwise direction opposite to the rotation direction of the second transmission member 120 , the fourth idle rotation member 120b meshes with the second idle rotation member 120b. The movable member 122 is linearly moved to the left in the drawing.

다시 말해, 구동 부재(100)를 기준으로 제1, 2 가동 부재(111, 112) 및 제3, 4 가동 부재(121, 122)가 구동 부재(100) 측으로 축소되는 형태로 이동되는 바, 도 3의 상태와 비교하여 볼 때, 제1, 2, 3, 4 가동 부재(111, 112, 121, 122)에 고정되는 흡착 부재(111b, 112b, 121b, 122b)가 흡착되는 범위가 좁아지는 형태로 변형되므로 지그 장치를 교체할 필요 없이 구동 부재(100)의 회전 제어만으로, 다양한 기판의 크기에 대응되도록 흡착 부재(111b, 112b, 121b, 122b) 간의 거리가 조절될 수 있다.In other words, the first and second movable members 111 and 112 and the third and fourth movable members 121 and 122 are moved in a reduced form toward the driving member 100 with respect to the driving member 100 , as shown in FIG. When compared to the state of 3, the adsorption range of the adsorption members 111b, 112b, 121b, 122b fixed to the first, second, third, and fourth movable members 111, 112, 121, 122 is narrowed. , so that the distance between the adsorption members 111b, 112b, 121b, and 122b can be adjusted to correspond to the sizes of various substrates only by controlling the rotation of the driving member 100 without replacing the jig device.

도 5 및 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치의 사용상태도를 나타낸 것이다.5 and 6 are views showing a state of use of a jig device capable of adjusting the width according to another embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6을 참조하면, 제1 가동 부재(111)와 제2 가동 부재(112)는 제1 전달 부재(110) 측으로 갈수록 상호 근접하도록 경사지게 형성되고, 제3 가동 부재(121)와 제4 가동 부재(122)는 제2 전달 부재(120) 측으로 갈수록 상호 근접하도록 경사지게 형성될 수 있다. 즉, 제1, 2, 3, 4 가동 부재(111, 112, 121, 122)는 구동 부재(100)를 중심으로 대략 X자 형태를 나타낼 수 있다.5 and 6 , the first movable member 111 and the second movable member 112 are inclined to approach each other toward the first transmission member 110, and the third movable member 121 and the third movable member 121 and the second movable member 112 are inclined toward each other. 4 The movable member 122 may be inclined toward each other toward the second transmission member 120 . That is, the first, second, third, and fourth movable members 111 , 112 , 121 , and 122 may have an approximately X-shape around the driving member 100 .

이와 같이 제1, 2, 3, 4 가동 부재(111, 112, 121, 122)가 구동 부재(100)를 중심으로 X자 형태로 배치되면, 도 3 및 도 4의 경우와 마찬가지로 제1, 2, 3, 4 가동 부재(111, 112, 121, 122)가 구동 부재(100) 측으로 근접하는 방향 또는 이격되는 방향을 따라 선형 이동되되, 대각선으로 이동되므로 제1, 2, 3, 4 가동 부재(111, 112, 121, 122)에 의해 가변되는 4개의 흡착 부재(111b, 112b, 121b, 122b)가 이루는 직사각형 면적이 전체적으로 축소되는 형태이며, 이것은 직사각형 형태의 기판을 파지하는 4점의 흡착 부재(111b, 112b, 121b, 122b)가 직사각형의 4개의 모서리에 근접하는 위치를 유지하게 되므로 안정적인 파지 위치를 유지하는 효과를 갖게 된다.When the first, second, third, and fourth movable members 111 , 112 , 121 , and 122 are disposed in an X-shape around the driving member 100 as described above, as in the case of FIGS. 3 and 4 , the first, second, and second movable members , 3, 4 movable members (111, 112, 121, 122) are moved linearly in a direction adjacent to or spaced apart from the driving member 100 side, and since they are moved diagonally, the first, 2, 3, 4 movable members ( The rectangular area formed by the four adsorption members 111b, 112b, 121b, 122b, which is varied by 111, 112, 121, 122) is in a form in which the overall area is reduced, which is a four-point adsorption member ( 111b, 112b, 121b, 122b) has the effect of maintaining a stable gripping position because it maintains a position close to the four corners of the rectangle.

따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치는 이송하고자 하는 기판의 크기에 대응되도록 각각의 홉착 부재 간의 거리가 조절될 수 있다.Accordingly, in the jig apparatus capable of adjusting the width according to an embodiment of the present invention, the distance between the respective catching members may be adjusted to correspond to the size of the substrate to be transferred.

또한, 흡착 부재 간의 거리가 조절되되, 기판의 대각선 방향을 따른 길이 조절도 가능하므로 기판의 크기에 따라 직사각형의 각각의 모서리에 근접한 위치를 유지함으로써 안정적인 파지 위치의 유지가 가능해진다.In addition, the distance between the adsorption members is controlled, and since it is also possible to adjust the length along the diagonal direction of the substrate, it is possible to maintain a stable holding position by maintaining a position close to each corner of the rectangle according to the size of the substrate.

이상과 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 폭 조절이 가능한 지그 장치를 예시된 도면을 참고하여 설명하였으나, 본 발명은 이상에서 설명된 실시예와 도면에 의해 한정되지 않으며, 특허청구범위 내에서 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자들에 의해 다양한 실시가 가능하다.As described above, the width-adjustable jig device according to an embodiment of the present invention has been described with reference to the illustrated drawings, but the present invention is not limited by the above-described embodiments and drawings, and is within the scope of the claims. Various implementations are possible by those of ordinary skill in the art to which the invention pertains.

100: 구동 부재
110: 제1 전달 부재
120: 제2 전달 부재
111: 제1 가동 부재
111b, 112b, 121b, 122b: 흡착 부재
112: 제2 가동 부재
121: 제3 가동 부재
122: 제4 가동 부재100: drive member
110: first transmission member
120: second transmission member
111: first movable member
111b, 112b, 121b, 122b: adsorption member
112: second movable member
121: third movable member
122: fourth movable member

Claims (7)

제1 회전 방향으로 회전되는 구동 부재;
상기 구동 부재의 회전력을 각각 전달받되, 상기 구동 부재를 기준으로 서로 반대측에 배치되어 제2 회전 방향으로 각각 회전되는 제1 전달 부재 및 제2 전달 부재;
상기 제1 전달 부재의 회전력을 각각 전달받아 상기 제1 전달 부재로부터 이격되거나 근접하는 방향으로 이동되는 제1, 2 가동 부재;
상기 제2 전달 부재의 회전력을 각각 전달 받아 상기 제2 전달 부재로부터 이격되거나 근접하는 방향으로 이동되는 제3, 4 가동 부재;
상기 제1 전달 부재와 상기 제2 가동 부재 사이에 개재되어 제1 회전 방향으로 회전되는 제1 아이들 회전 부재;
상기 제2 전달 부재와 상기 제4 가동 부재 사이에 개재되어 제1 회전 방향으로 회전되는 제2 아이들 회전 부재; 및
상기 제1, 2, 3, 4 가동 부재의 길이 방향을 따른 일단에 각각 형성되는 흡착 부재를 포함하는, 폭 조절이 가능한 지그 장치.a driving member rotated in a first rotational direction;
a first transmission member and a second transmission member receiving the rotational force of the driving member, respectively, disposed on opposite sides with respect to the driving member and rotated in a second rotational direction;
first and second movable members receiving rotational force of the first transmission member and moving in a direction spaced apart from or closer to the first transmission member;
third and fourth movable members receiving rotational force of the second transmission member and moving in a direction spaced apart from or closer to the second transmission member;
a first idle rotation member interposed between the first transmission member and the second movable member to rotate in a first rotation direction;
a second idle rotation member interposed between the second transmission member and the fourth movable member to rotate in a first rotation direction; and
The first, second, third, and fourth movable members including adsorption members respectively formed at one end along the longitudinal direction, the width-adjustable jig device. 제1항에 있어서,
상기 제1, 4 가동 부재와 상기 제2, 3 가동 부재는 상기 구동 부재, 상기 제1 전달 부재 및 상기 제2 전달 부재의 중심축을 잇는 가상선을 기준으로 서로 반대측에 위치하는, 폭 조절이 가능한 지그 장치.The method of claim 1,
The first and fourth movable members and the second and third movable members are located on opposite sides of each other with respect to an imaginary line connecting the central axes of the driving member, the first transmission member, and the second transmission member. jig device. 삭제delete 제2항에 있어서,
상기 제1 가동 부재와 제2 가동 부재는 상기 제1 전달 부재를 기준으로 평행하게 이격되고,
상기 제3 가동 부재와 제4 가동 부재는 상기 제2 전달 부재를 기준으로 평행하게 이격되는, 폭 조절이 가능한 지그 장치.3. The method of claim 2,
The first movable member and the second movable member are spaced apart from each other in parallel with respect to the first transmission member,
The third movable member and the fourth movable member are spaced apart from each other in parallel with respect to the second transmission member, a width-adjustable jig device. 제2항에 있어서,
상기 제1 가동 부재와 제2 가동 부재는 상기 제1 전달 부재 측으로 갈수록 상기 제1 가동 부재와 제2 가동 부재의 각각의 단부가 상호 가까워지는 방향으로 경사지게 형성되고,
상기 제3 가동 부재와 제4 가동 부재는 상기 제2 전달 부재 측으로 갈수록 상기 제3 가동 부재와 제4 가동 부재의 각각의 단부가 상호 가까워지는 방향으로 경사지게 형성되는, 폭 조절이 가능한 지그 장치.3. The method of claim 2,
The first movable member and the second movable member are formed to be inclined in a direction in which respective ends of the first movable member and the second movable member come closer to each other toward the first transmission member,
The third movable member and the fourth movable member are formed to be inclined in a direction in which respective ends of the third movable member and the fourth movable member approach each other toward the second transmission member, the width adjustable jig device. 제1항에 있어서,
상기 구동 부재, 제1 전달 부재, 제2 전달 부재, 제1 아이들 회전 부재 및 제2 아이들 회전 부재는 각각의 외주면에 기어치가 형성되는 평기어인, 폭 조절이 가능한 지그 장치.The method of claim 1,
The drive member, the first transmission member, the second transmission member, the first idle rotation member, and the second idle rotation member are spur gears each having gear teeth formed on an outer circumferential surface thereof, a width-adjustable jig device. 제1항에 있어서,
상기 제1, 2, 3, 4 가동 부재는 소정 길이로 형성되고, 일면에 기어치가 형성되는 랙기어를 포함하는, 폭 조절이 가능한 지그 장치.According to claim 1,
The first, second, third, and fourth movable members are formed to a predetermined length, and include a rack gear having gear teeth formed on one surface thereof.
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