KR102375859B1 - 건식공정을 통한 기능성 필터의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 건식공정을 통한 기능성 필터의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 (a) 고분자 섬유를 플라즈마 처리하여 고분자 섬유의 표면을 개질하는 단계; (b) 상기 개질된 고분자 섬유를 스퍼터링 처리하여 고분자 섬유의 표면에 나노입자를 코팅하는 단계; 및 (c) 상기 나노입자가 코팅된 고분자 섬유로부터 필터를 제조하는 단계를 포함하는 마스크용 필터의 제조방법에 관한 것이다.

Description

건식공정을 통한 기능성 필터의 제조방법{a method for manufacturing functional filter through dry process}
본 발명은 건식공정을 통한 기능성 필터의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 (a) 고분자 섬유를 플라즈마 처리하여 고분자 섬유의 표면을 개질하는 단계; (b) 상기 개질된 고분자 섬유를 스퍼터링 처리하여 고분자 섬유의 표면에 나노입자를 코팅하는 단계; 및 (c) 상기 나노입자가 코팅된 고분자 섬유로부터 필터를 제조하는 단계를 포함하는 마스크용 필터의 제조방법에 관한 것이다.
산업화가 진행되면서 메르스, 코로나 등 신종 바이러스, 미세먼지, 황사 등 환경적으로 인체에 유해한 미세입자들이 증가하고 있으며, 이러한 미세입자들의 인체 유입을 차단하기 위해 다양한 기능성 필터가 개발되고 있다.
특히 2015년에 메르스 환자가 급증하고, 최근에 코로나 바이러스가 확산되면서 이를 예방하기 위한 기능성 필터에 대한 관심이 집중되고 있다.
최근 자동차의 급증과 유류 및 유기용제의 소비로 발생되는 휘발성 유기화합물에 의한 대기오염이 매우 심각하며, 특히 벤젠류는 발암물질로서 인체의 면역체계에 심각한 피해를 끼치므로 배출 이전에 반드시 제거되어야 한다.
또한 봄철에는 황사와 미세먼지 차단을 위한 기능성 필터의 판매량이 급증하며, 식약처 및 안전보건공단의 인증을 받은 고기능성 필터를 찾는 고객은 지속적으로 증가할 것으로 예상된다.
기능성 필터와 관련하여 한국등록실용신안 제20-0365133호 등은 다양한 용도의 필터를 개시하고 있다.
그러나 상기 문헌에 개시된 기술은 바이러스 제거특성, 유해가스 제거특성, 미세먼지 제거 특성, 항균성 등이 열등하여 고기능성 필터를 필요로 하는 소비자의 요구를 충족시킬 수 없다.
한국등록실용신안 제20-0365133호
본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 플라즈마 처리 및 스퍼터링 처리를 통하여 고분자 섬유의 표면에 기공과 나노입자를 형성함으로써 바이러스 제거특성, 유해가스 제거특성, 미세먼지 제거특성 및 항균성이 우수한 마스크용 필터의 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은 고분자 섬유의 표면에 다양한 크기의 기공이 형성되고, 금속 나노입자가 안정적으로 결합됨으로써 바이러스, 유해가스 및 미세먼지의 흡착특성, 항균성 등을 장기간 발현할 수 있는 마스크용 필터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 (a) 고분자 섬유를 플라즈마 처리하여 고분자 섬유의 표면을 개질하는 단계; (b) 상기 개질된 고분자 섬유를 스퍼터링 처리하여 고분자 섬유의 표면에 나노입자를 코팅하는 단계; 및 (c) 상기 나노입자가 코팅된 고분자 섬유로부터 필터를 제조하는 단계를 포함하는 마스크용 필터의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 (a) 단계는 고분자 섬유를 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하고, 상기 이산화탄소 및 아르곤의 부피비는 70~90:10~30 인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 (a) 단계는 고분자 섬유를 질소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하고, 상기 질소 및 아르곤의 부피비는 70~90:10~30 인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 (a) 단계는 고분자 섬유를 산소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하는 단계; 상기 플라즈마 처리된 고분자 섬유를 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하는 단계; 및 상기 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리된 고분자 섬유를 질소 하에서 플라즈마 처리하는 단계를 포함하고, 상기 이산화탄소 및 아르곤의 부피비는 70~90:10~30 인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 (b) 단계는 상기 개질된 고분자 섬유를 스퍼터링 타겟을 사용하여 스퍼터링 처리하고, 상기 스퍼터링 타겟은 구리, 니켈 및 크롬의 도전성과 내산화 특성을 갖는 합금인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 상기 제조방법으로 제조되는 마스크용 필터를 제공한다.
아울러 본 발명은 상기 마스크용 필터를 포함하는 마스크를 제공한다.
본 발명은 플라즈마 처리 및 스퍼터링 처리를 통하여 고분자 섬유의 표면에 기공과 나노입자를 형성함으로써 바이러스 제거특성, 유해가스 제거특성, 미세먼지 제거특성 및 항균성이 우수한 마스크용 필터의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한 본 발명은 고분자 섬유의 표면에 다양한 크기의 기공이 형성되고, 금속 나노입자가 안정적으로 결합됨으로써 바이러스, 유해가스 및 미세먼지의 흡착특성, 항균성 등을 장기간 발현할 수 있는 마스크용 필터를 제공할 수 있다.
이하 실시예를 바탕으로 본 발명을 상세히 설명한다. 본 발명에 사용된 용어, 실시예 등은 본 발명을 보다 구체적으로 설명하고 통상의 기술자의 이해를 돕기 위하여 예시된 것에 불과할 뿐이며, 본 발명의 권리범위 등이 이에 한정되어 해석되어서는 안 된다.
본 발명에 사용되는 기술 용어 및 과학 용어는 다른 정의가 없다면 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 나타낸다.
본 발명은 (a) 고분자 섬유를 플라즈마 처리하여 고분자 섬유의 표면을 개질하는 단계; (b) 상기 개질된 고분자 섬유를 스퍼터링 처리하여 고분자 섬유의 표면에 나노입자를 코팅하는 단계; 및 (c) 상기 나노입자가 코팅된 고분자 섬유로부터 필터를 제조하는 단계를 포함하는 마스크용 필터의 제조방법에 관한 것이다.
상기 (a) 단계는 고분자 섬유를 기체 하에서 플라즈마 처리하여 섬유의 표면을 개질하는 것으로서, 플라즈마 처리에 의하여 섬유의 표면에는 다양한 크기의 기공이 형성되며, 카르복실기, 하이드록실기, 에스테르기, 케톤기, 에테르기, 피리딘기, 피리돈기, 아민기 등의 관능기가 형성될 수 있다.
플라즈마 처리에 의하여 섬유의 표면에 도입된 기공은 바이러스, 미생물, 미세먼지, 유해가스 등을 흡착할 수 있어, 섬유의 흡착특성 및 항균성을 개선할 수 있다.
또한 섬유의 표면에 도입된 카르복실기, 하이드록실기, 에스테르기, 케톤기, 에테르기, 피리딘기, 피리돈기, 아민기 등의 관능기는 바이러스, 미생물, 미세먼지, 유해가스 등이 쉽게 흡착될 수 있도록 하며, 추후 스퍼터링 공정에 의하여 코팅되는 금속 나노입자가 섬유의 표면에 안정적으로 결합될 수 있도록 한다.
고분자 섬유로는 탄소섬유; 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀 섬유; 폴리에스테르 섬유; 폴리아미드 섬유; 폴리우레탄 섬유; 폴리아크릴로니트릴 섬유; 아크릴 섬유 등이 제한 없이 사용될 수 있다.
상기 고분자 섬유는 고분자 섬유의 집합체, 즉 부직포, 매트, 웹, 직물, 필터 등도 포함한다.
플라즈마 처리를 위해서는 고분자 섬유를 플라즈마 장치에 투입한 후, 상압 또는 진공 하에서 기체를 주입하고, 인가된 전원에 의하여 형성된 이온, 전자, 원자, 분자 등이 섬유의 표면을 개질할 수 있다.
이때 사용되는 기체에 따라 섬유의 표면개질 정도, 형성된 기공의 크기 및 분포, 기공율, 표면적, 도입된 관능기의 종류, 표면의 상태 등이 달라질 수 있다.
본 발명은 고분자 섬유를 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리할 수 있으며, 이때 형성되는 기공의 크기는 10~1,000nm 일 수 있다.
상기 이산화탄소 및 아르곤의 부피비는 70~90:10~30 인 것이 바람직하며, 부피비가 70:30 미만인 경우 기공 및 관능기의 도입이 미미하여 흡착특성이 저하되고, 부피비가 90:10을 초과하는 경우 기공율이 감소하여 바이러서, 유해가스 및 미세먼지를 효과적으로 흡착할 수 없게 된다.
또한 본 발명은 고분자 섬유를 질소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리할 수 있다.
이때 상기 질소 및 아르곤의 부피비는 70~90:10~30 인 것이 바람직하고, 부피비가 70:30 미만인 경우 기공 및 관능기의 도입이 미미하여 흡착특성이 저하되고, 부피비가 90:10을 초과하는 경우 기공율이 감소하여 바이러서, 유해가스 및 미세먼지를 효과적으로 흡착할 수 없게 된다.
또한 본 발명은 고분자 섬유를 질소기체 하에서 플라즈마 처리할 수 있으며, 이때 형성되는 기공의 크기는 1~100nm 일 수 있다.
질소 하에서 플라즈마 처리를 하는 경우, 섬유의 표면에 피리딘기, 피리돈기, 아민기 등이 형성되어 추후 스퍼터링 공정에서 형성되는 금속 나노입자가 안정적으로 결합될 수 있다.
또한 본 발명은 고분자 섬유를 산소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리할 수 있으며, 이때 형성되는 기공은 메조포어로서 기공의 크기는 마이크로 사이즈 일 수 있다.
상기 산소 및 아르곤의 부피비는 5~15:85~95 인 것이 바람직하며, 부피비가 5:95 미만인 경우 기공 및 관능기의 도입이 미미하여 흡착특성이 저하되고, 부피비가 15:85을 초과하는 경우 표면이 산화되어 흡착특성이 저하될 수 있다.
또한 본 발명은 고분자 섬유를 산소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하는 단계; 상기 플라즈마 처리된 고분자 섬유를 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하는 단계; 및 상기 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리된 고분자 섬유를 질소 하에서 플라즈마 처리하는 단계를 연속적으로 수행할 수도 있다.
상기 연속 플라즈마 처리에 의하여 섬유의 표면에는 다양한 크기의 기공이 형성될 뿐 아니라 여러 관능기가 효과적으로 형성될 수 있어 흡착특성 및 항균성이 극대화될 수 있다.
또한 본 발명은 고분자 섬유를 산소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하는 단계; 상기 플라즈마 처리된 고분자 섬유를 질소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하는 단계; 및 상기 질소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리된 고분자 섬유를 질소 하에서 플라즈마 처리하는 단계를 연속적으로 수행할 수도 있다.
상기 (b) 단계는 상기 개질된 고분자 섬유를 스퍼터링 처리하여 고분자 섬유의 표면에 나노입자를 코팅할 수 있다.
스퍼터링 처리를 위해서는 표면 개질된 고분자 섬유 및 스퍼터링 타겟을 스퍼터링 장치에 투입한 후, 진공 하에서 아르곤 등의 기체를 주입하고, 인가된 전원에 의하여 형성된 이온이 스퍼터링 타겟에 충돌하면 스퍼터링 타겟을 형성하는 금속입자가 스퍼터링 타겟으로부터 탈리되어 고분자 섬유의 표면에 코팅될 수 있다. 이때 고분자 섬유 표면에 형성된 관능기는 금속 나노입자와 안정적인 결합을 형성할 수 있다.
상기 섬유의 표면에 도입된 금속 나노입자는 바이러스, 미생물, 미세먼지, 유해가스 등을 흡착할 수 있어, 섬유의 흡착특성 및 항균성을 개선할 수 있다.
상기 스퍼터링 타겟은 구리 및 니켈의 합금인 것이 바람직하며, 합금을 구성하는 구리 및 니켈의 중량비는 50~70:30~50 인 것이 좋다.
상기 구리 및 니켈의 중량비가 50:50 미만인 경우 흡착특성이 저하되고, 중량비가 70:30을 초과하는 경우 섬유의 표면에 균일한 코팅을 형성할 수 없다.
또한 상기 스퍼터링 타겟은 구리, 니켈 및 크롬의 합금인 것이 바람직하며, 합금을 구성하는 구리, 니켈 및 크롬의 중량비는 100:50~80:20~50 인 것이 좋다.
상기 중량비를 만족하는 경우 흡착특성 및 항균성을 극대화할 수 있다.
상기 (c) 단계는 상기 나노입자가 코팅된 고분자 섬유로부터 필터를 제조하는 단계로서, 필터를 제조하는 공지의 방법이 제한 없이 사용될 수 있다.
또한 본 발명은 상기 (a) 단계 이후에, 상기 개질된 고분자 섬유를 아크릴레이트기 함유 실란 커플링제 및 아크릴산 모노머의 공중합체로 추가로 표면 처리할 수도 있다.
상기 공중합체는 고분자 섬유 표면에 공유 결합되거나 또는 플라즈마 처리에 의해 도입된 관능기와 결합할 수 있으며, 이를 통해 고분자 섬유 표면에 다수의 카르복실기를 도입할 수 있다.
상기 공중합체 내에 포함된 다수의 카르복실기는 바이러스, 미생물, 미세먼지, 유해가스 등이 쉽게 흡착될 수 있도록 하며, 추후 스퍼터링 공정에 의하여 코팅되는 금속 나노입자가 섬유의 표면에 안정적으로 결합될 수 있도록 한다.
상기 결합을 통하여 도입된 금속 나노입자는 필터 제조공정 등 고온의 조건 하에서도 열적으로 안정하여 분해되지 않으므로, 흡착특성, 항균성 등을 장기간 발현할 수 있다.
상기 아크릴레이트기 함유 실란 커플링제로는 3-메타크릴록시프로필메틸디메톡시실란, 3-메타크릴록시프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴록시프로필메틸디에톡시실란, 3-메타크릴록시프로필트리에톡시실란, 3-아크릴록시프로필트리메톡시실란, 메타크릴록시메틸트리에톡시실란, 메타크릴록시메틸트리메톡시실란 등이 있다.
상기 아크릴산 모노머는 아크릴산, 메타크릴산, 메틸 아크릴산, 에틸 아크릴산, 부틸 아크릴산, 2-에틸 헥실 아크릴산, 데실아크릴산, 메틸 메타크릴산, 에틸 메타크릴산, 부틸 메타크릴산, 2-에틸 헥실 메타크릴산, 데실메타크릴산 등이 있다.
상기 아크릴레이트기 함유 실란 커플링제 및 아크릴산 모노머의 중량비는 10~30:70~90인 것이 바람직하며, 중량비가 10:90 미만이면 섬유와의 결합력이 저하되고, 30:70을 초과하면 흡착특성이 저하된다.
상기 아크릴레이트기 함유 실란 커플링제 및 아크릴산 모노머의 공중합체는 고분자 섬유 100중량부에 대하여 1~10중량부인 것이 바람직하며, 공중합체의 함량이 1중량부 미만인 경우 관능기의 도입이 미미하여 흡착특성이 저하되고, 10중량부를 초과하는 경우 제조된 필터의 기공율이 오히려 작게 되어 바이러스, 유해가스 및 미세먼지를 효과적으로 흡착할 수 없게 된다.
또한 본 발명은 상기 (b) 단계 이후에, 상기 나노입자가 코팅된 고분자 섬유에 자외선을 추가로 조사하여 섬유의 표면을 광산화 처리할 수도 있다.
상기 광산화는 섬유의 표면을 산화물 형태로 기능화 시킬 수 있는 방법이라면 제한 없이 실시할 수 있다. 바람직하게는 자외선을 조사하는 것이 좋고, 조사량 및 조사시간은 광산화 정도에 따라 조절이 가능하다.
상기 광산화에 의하여 도입된 관능기는 바이러스, 금속, 미세먼지, 유기 화합물과의 결합력이 우수하므로, 흡착특성 및 항균성을 향상시킬 수 있다.
또한 상기 광산화에 의하여 섬유의 표면에 미세구조가 형성되고 표면조도, 표면적 및 기공율이 증가하여 흡착특성을 향상시킬 수 있다.
상기 광산화는 2~30분 동안 자외선을 조사하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 5~20분 자외선을 조사하는 것이 좋다. 광산화 시간이 2분 미만인 경우 관능기를 효과적으로 도입할 수 없고, 광산화 시간이 30분을 초과하는 경우 섬유의 표면특성이 저하될 수 있다.
또한 본 발명은 상기 제조방법으로 제조되는 마스크용 필터에 관한 것이다.
상기 섬유의 표면에 도입된 기공 및 금속 나노입자는 바이러스, 미생물, 미세먼지, 유해가스 등을 흡착할 수 있어, 섬유의 흡착특성 및 항균성을 개선할 수 있다.
아울러 본 발명은 상기 마스크용 필터를 포함하는 마스크에 관한 것이다.
상기 마스크는 고분자 섬유의 표면에 다양한 크기의 기공이 형성되고, 금속 나노입자가 안정적으로 결합됨으로써 바이러스, 유해가스 및 미세먼지의 흡착특성, 항균성 등을 장기간 발현할 수 있다.
이하 실시예 및 비교예를 통해 본 발명을 상세히 설명한다. 하기 실시예는 본 발명의 실시를 위하여 예시된 것일 뿐, 본 발명의 내용이 하기 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다.
(실시예 1)
탄소섬유를 플라즈마 장치에 투입한 후, 진공 하에서 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체를 주입하고, 5분 동안 플라즈마 처리를 수행하였다.
이때 이산화탄소 및 아르곤의 부피비는 80:20 이었다.
상기 플라즈마 처리된 탄소섬유 및 스퍼터링 타겟을 스퍼터링 장치에 투입한 후, 진공 하에서 아르곤을 주입하고, 10분 동안 스퍼터링 처리를 수행하였다.
이때 스퍼터링 타겟은 구리 및 니켈의 합금이고, 구리 및 니켈의 중량비는 60:40 이었다.
상기 금속 나노입자가 코팅된 탄소섬유로부터 필터를 제조하였다.
(실시예 2)
이산화탄소 및 아르곤의 부피비가 60:40 인 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 필터를 제조하였다.
(실시예 3)
이산화탄소 및 아르곤의 부피비가 95:5 인 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 필터를 제조하였다.
(실시예 4)
스퍼터링 타겟을 구성하는 구리 및 니켈의 중량비가 40:60 인 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 필터를 제조하였다.
(실시예 5)
스퍼터링 타겟을 구성하는 구리 및 니켈의 중량비가 80:20 인 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 필터를 제조하였다.
(실시예 6)
탄소섬유를 플라즈마 장치에 투입한 후, 진공 하에서 산소 및 아르곤의 혼합기체를 주입하고, 3분 동안 플라즈마 처리를 수행하였다.
이때 산소 및 아르곤의 부피비는 10:90 이었다.
상기 플라즈마 처리된 탄소섬유를 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 3분 동안 플라즈마 처리하였으며, 이때 이산화탄소 및 아르곤의 부피비는 80:20 이었다.
상기 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리된 탄소섬유를 질소 하에서 3분 동안 플라즈마 처리하였다.
상기 플라즈마 처리된 탄소섬유 및 스퍼터링 타겟을 스퍼터링 장치에 투입한 후, 진공 하에서 아르곤을 주입하고, 10분 동안 스퍼터링 처리를 수행하였다.
이때 스퍼터링 타겟은 구리 및 니켈의 합금이고, 구리 및 니켈의 중량비는 60:40 이었다.
상기 금속 나노입자가 코팅된 탄소섬유로부터 필터를 제조하였다.
(비교예 1)
플라즈마 처리를 수행하지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 필터를 제조하였다.
(비교예 2)
스퍼터링 처리를 수행하지 않은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 필터를 제조하였다.
상기 실시예 및 비교예로부터 제조된 필터의 항균특성 및 흡착특성을 측정하여 그 결과를 아래의 표 1에 나타내었다.
항균특성은 공기 중의 미생물을 필터 표면에 채취한 후, 액체배지에 필터를 넣고 흔들어 꺼낸 다음 그 액체배지를 64시간 동안 배양하여 액체배지에 대한 셀카운트를 측정하여 미생물의 증식여부를 확인하였다.
흡착특성은 암모니아 계수 측정 장비를 이용하여 필터를 밀폐된 탱크 안에 방치하고, 이 상태에서 NH4OH 용액을 첨가하여 탱크 안의 암모니아의 농도를 가스 검지관을 사용하여 측정하였다.
탱크 안에 방치된 시료에 암모니아 용액이 흡착, 분해하는 과정에서 탱크 안의 암모니아 농도를 측정하였다.
구분 실시예 비교예
1 2 3 4 5 6 1 2
Visible cell count(×107) at 720분 0 10 8 15 12 0 430 220
탈취율(%) 97.5 93.3 94.1 92.8 93.7 99.2 88.9 90.2
상기 표 1의 결과로부터, 실시예 1 내지 6의 필터는 항균성 및 흡착특성이 우수한 것을 알 수 있다. 특히 실시예 1 및 6은 상기 특성이 가장 우수하다.
반면, 비교예 1 및 2의 필터는 상기 특성이 실시예에 비하여 열등함을 알 수 있다.

Claims (6)

  1. (a) 고분자 섬유를 플라즈마 처리하여 고분자 섬유의 표면을 개질하는 단계;
    (b) 상기 개질된 고분자 섬유를 스퍼터링 처리하여 고분자 섬유의 표면에 나노입자를 코팅하는 단계; 및
    (c) 상기 나노입자가 코팅된 고분자 섬유로부터 필터를 제조하는 단계를 포함하는 마스크용 필터의 제조방법에 있어서,
    상기 (a) 단계는 고분자 섬유를 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하고,
    상기 이산화탄소 및 아르곤의 부피비는 70~90:10~30 이며,
    상기 (a) 단계 이후에, 상기 개질된 고분자 섬유를 아크릴레이트기 함유 실란 커플링제 및 아크릴산 모노머의 공중합체로 표면처리하고,
    상기 아크릴레이트기 함유 실란 커플링제 및 아크릴산 모노머의 중량비는 10~30:70~90 이며,
    상기 (b) 단계는 상기 개질된 고분자 섬유를 스퍼터링 타겟을 사용하여 스퍼터링 처리하는 것을 특징으로 하는 마스크용 필터의 제조방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 (a) 단계는 고분자 섬유를 산소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하는 단계;
    상기 플라즈마 처리된 고분자 섬유를 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리하는 단계; 및
    상기 이산화탄소 및 아르곤의 혼합기체 하에서 플라즈마 처리된 고분자 섬유를 질소 하에서 플라즈마 처리하는 단계를 포함하고,
    상기 이산화탄소 및 아르곤의 부피비는 70~90:10~30 인 것을 특징으로 하는 마스크용 필터의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 (b) 단계의 스퍼터링 타겟은 구리, 니켈 및 크롬의 도전성과 내산화 특성을 갖는 합금인 것을 특징으로 하는 마스크용 필터의 제조방법.
  5. 삭제
  6. 삭제
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