KR102372259B1 - U type ultrasonic flow meter piping structure - Google Patents

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류제호
배일진
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Abstract

A disclosed U-shaped ultrasonic flow meter pipe structure comprises: a measurement pipe body which is provided as a single body and has a flow path of a crank form for guiding chemical solution; an inlet side measurement head which transmits ultrasonic waves in a flowing direction of the chemical solution and receives ultrasonic waves transmitted from an opposite direction of the flowing direction of the chemical solution; and an outlet side measurement head which transmits the ultrasonic waves in the opposite direction of the flowing direction of the chemical solution and receives the ultrasonic waves transmitted from the flowing direction of the chemical solution. The U-shaped ultrasonic flow meter pipe structure fundamentally prevents leakage of the chemical solution through the measurement pipe body.

Description

U자형 초음파 유량계 배관체 구조{U TYPE ULTRASONIC FLOW METER PIPING STRUCTURE}U-shaped ultrasonic flow meter piping structure {U TYPE ULTRASONIC FLOW METER PIPING STRUCTURE}

본 발명(Disclosure)은, U자형 초음파 유량계 배관체 구조에 관한 것으로, 상세하게는 계측 성능 향상 및 약액의 누수를 막을 수 있게 하는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에 관한 것이다. The present invention (Disclosure) relates to a U-shaped ultrasonic flow meter piping structure, and more particularly, to a U-shaped ultrasonic flow meter piping structure that can improve measurement performance and prevent chemical leakage.

여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).Herein, background information related to the present invention is provided, which does not necessarily mean known art (This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).

일반적으로 반도체 제조공정 중 식각(etching) 및 세정(cleaning) 등 많은 부분에서 액체 화학약품(약액)을 사용하고 있으며, 약액을 사용하는 식각 및 세정 공정에서 유량은 매우 중요한 공정 요소이다. In general, liquid chemicals (chemical solutions) are used in many parts of the semiconductor manufacturing process, such as etching and cleaning, and flow rate is a very important process factor in etching and cleaning processes using chemical solutions.

일례로, 약액의 양이 적거나 많을 경우 원하는 정도의 세정 및 식각이 이루어지지 않으며, 이로 인해 생산된 반도체 제품의 품질은 보장할 수 없게 된다.For example, when the amount of the chemical is small or large, cleaning and etching to a desired degree are not performed, and thus the quality of the produced semiconductor product cannot be guaranteed.

따라서, 반도체 공정 설비에는 이러한 약액이 실리콘 웨이퍼(wafer)에 얼마나 공급되고 있는지를 상시 모니터링하기 위해 각각의 노즐마다 유량계가 설치된다.Accordingly, a flow meter is installed in each nozzle in order to constantly monitor how much of the chemical is being supplied to a silicon wafer in a semiconductor process facility.

그리고 유량계로는 강산 및 강알칼리 약액을 계측해야 하는 반도체 공정의 특성상 주로 초음파 유량계가 사용되고 있다. And, as a flow meter, an ultrasonic flow meter is mainly used due to the characteristics of the semiconductor process in which strong acid and strong alkali chemical solution must be measured.

도 1은 종래 초음파 유량계를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 종래 초음파 유량계는 PFA로 이루어진 불소 수지계로 제작되는 측정관체(10)와, 측정관체(10)의 유입 측 및 유출 측에 설치되는 초음파 송수신기(21, 22)를 포함해 이루어진다.1 is a view schematically showing a conventional ultrasonic flow meter, the conventional ultrasonic flow meter is a measuring tube body 10 made of a fluororesin meter made of PFA, and an ultrasonic transceiver 21 installed on the inlet side and the outlet side of the measuring tube body 10 , 22) are included.

여기서, 측정관체(10)는 도시된 바와 같이 직선관로(11)와, 직선관로(11)의 일단에 융착되는 유입 측 사이드 관로(12)와, 직선관로(11)의 타단에 융착되는 유출 측 사이드 관로(13)와, 유입 측 사이드 관로(12)에 융착되는 유입관로(14) 및 유출 측 사이드 관로(13)에 각각 융착되는 유출관로(15)를 포함한다.Here, the measuring tube 10 includes a straight pipe 11, an inflow side pipe 12 fused to one end of the straight pipe 11, and an outlet side fused to the other end of the straight pipe 11, as shown. It includes a side conduit 13 , an inlet conduit 14 fused to the inlet side conduit 12 , and an outlet conduit 15 fused to the outlet side conduit 13 , respectively.

이때, 유입 측 사이드 관로(12)와 유입관로(14)는 90도로 연통하도록 융착되고, 마찬가지로 유출 측 사이드 관로(130)와 유출관로(15)는 90도 연통하도록 융착되며, 이에 의해 측정관체(10)는 크랭크(crank) 형태, 대략 "∪"자 형태로 이루어진다.At this time, the inlet side conduit 12 and the inlet conduit 14 are fused to communicate at 90 degrees, and similarly, the outlet side conduit 130 and the outlet conduit 15 are fused to communicate at 90 degrees, whereby the measuring tube body ( 10) is in the shape of a crank, approximately in the shape of a “∪” shape.

그리고 초음파 송수신기(21, 22)는 도시된 바와 같이 각각 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(12, 13)에 설치된다. And the ultrasonic transceivers 21 and 22 are installed in the inlet side and the outlet side side conduits 12 and 13, respectively, as shown.

이렇게 형성된 초음파 유량계는 누구나 알 수 있듯이 유입 측 초음파 송수신기(21)에서 유출 측 초음파 송수신기(22) 측으로 전파되는 초음파의 속도와 유출 측 초음파 송수신기(22)에서 유입 측 초음파 송수신기(21) 측으로 전파되는 초음파의 속도의 변화를 시간 차 또는 주파수 차 또는 위상 차로 검출하여 유량을 계측한다.As can be seen by anyone in the ultrasonic flowmeter formed in this way, the speed of ultrasonic waves propagating from the inflow-side ultrasonic transceiver 21 to the outflow-side ultrasonic transceiver 22 side and the ultrasonic wave propagating from the outflow-side ultrasonic transceiver 22 to the inflow-side ultrasonic transceiver 21 side The flow rate is measured by detecting the change in the speed of the time difference, frequency difference, or phase difference.

그런데, 종래 초음파 유량계는 측정관체(10)를 형성하는 직선관로(11), 유입 측 사이드 관로(12), 유출 측 사이드 관로(13), 유입관로(14) 및 유출관로(15)들은 개별적으로 제작되어 융착되기 때문에 생산성이 떨어지는 문제가 있었다.However, in the conventional ultrasonic flowmeter, the straight pipe 11, the inflow side pipe 12, the outflow side pipe 13, the inflow pipe 14 and the outflow pipe 15 forming the measuring pipe 10 are individually Since it is manufactured and welded, there is a problem in that productivity is lowered.

또한, 융착 공정 중 파티클이 융착부위에 묻어 있다가 약액에 부식되기 때문에 생산된 반도체 제품의 품질은 보장할 수 없을 뿐만 아니라 융착부위에 균열 등이 발생해 약액이 누수되어 반도체 공정 장비의 고장 및 인명피해를 야기하는 또 다른 문제점이 있었다.In addition, the quality of the produced semiconductor product cannot be guaranteed because particles remain on the fusion site during the fusion process and are corroded by the chemical solution. There was another problem causing damage.

게다가, 종래 초음파 유량계는 직선관로(11)의 유로와 유입 측 사이드 관로(12) 및 유출 측 사이드 관로(13)의 유로가 직각 형태로 연결되기 때문에 직각 형태의 모서리 부분에서는 유동이 거의 존재하지 않아 기포 등이 발생하면 빠져나가지 못하고 정체되고, 이에 의해 초음파의 진폭을 감쇠시키고, 이에 의해 계측 오차 발생 및 계측이 불가한 또 다른 문제점이 있었다. In addition, in the conventional ultrasonic flow meter, since the flow path of the straight pipe 11 and the flow path of the inflow side pipe 12 and the outflow side pipe 13 are connected in a right angle, there is hardly any flow in the corner of the right angle shape. When bubbles or the like are generated, they are not able to escape and are stagnant, thereby attenuating the amplitude of the ultrasonic wave, thereby causing a measurement error and another problem in that measurement is impossible.

한국등록특허공보 제10-1764870호.Korean Patent Publication No. 10-1764870. 한국등록특허공보 제10-1759768호.Korean Patent Publication No. 10-1759768. 한국공개특허공보 제10-2016-0072879호.Korean Patent Application Laid-Open No. 10-2016-0072879. 한국등록특허공보 제10-2050331호.Korean Patent Publication No. 10-2050331.

본 발명(Disclosure)은, 측정관체를 통한 약액의 누수를 원천적으로 막을 수 있게 하는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조의 제공을 일 목적으로 한다.An object of the present invention (Disclosure) is to provide a U-shaped ultrasonic flow meter pipe structure that can fundamentally prevent leakage of chemical liquid through the measuring pipe body.

본 발명((Disclosure)은, 측정관체 내부에 발생하는 기포를 용이하게 배출할 수 있게 하는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조의 제공을 일 목적으로 한다.An object of the present invention (Disclosure) is to provide a structure of a U-shaped ultrasonic flow meter pipe body that can easily discharge air bubbles generated inside the measuring pipe body.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 명확하게 이해될 수 있을 것이다. In addition, the problem to be solved by the present invention is not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned are clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the description below. it could be

여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).Herein, a general summary of the present invention is provided, which should not be construed as limiting the scope of the present invention (This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).

상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명을 기술하는 여러 관점들 중 어느 일 관점(aspect)에 따르면, 반도체 제조공정에 사용되는 약액의 유량을 계측하는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에 있어서, 상기 U자형 초음파 유량계 배관체 구조는, 크랭크 형태의 상기 약액을 안내하는 유로가 형성된, 단일체로 제공되는 측정관체; 상기 약액이 흐르는 방향으로 초음파를 송신하고 상기 약액이 흐르는 반대방향에서 송신되는 초음파를 수신하는 유입 측 측정 헤드; 및 상기 약액이 흐르는 반대방향으로 초음파를 송신하고 상기 약액이 흐르는 방향에서 송신되는 초음파를 수신하는 유출 측 측정 헤드;를 포함할 수 있다. In order to solve the above problems, according to any one aspect of the various aspects describing the present invention, in the U-shaped ultrasonic flow meter pipe structure for measuring the flow rate of the chemical used in the semiconductor manufacturing process, the U The shape of the ultrasonic flow meter pipe body structure includes: a measuring pipe body provided as a single body in which a flow path for guiding the chemical liquid in a crank shape is formed; an inflow-side measuring head for transmitting ultrasonic waves in a direction in which the chemical liquid flows and receiving ultrasonic waves transmitted in a direction opposite to that in which the chemical liquid flows; and an outflow-side measuring head that transmits ultrasonic waves in a direction opposite to the flow of the chemical and receives the ultrasonic waves transmitted in the direction in which the liquid flows.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에서, 상기 측정관체는, 직선관로; 상기 직선관로의 일단에 일체로 형성되는 유입 측 사이드 관로; 상기 직선관로의 타단에 일체로 형성되는 유출 측 사이드 관로; 상기 유입 측 사이드 관로에 일체로 형성되는 유입관로; 및 상기 유출 측 사이드 관로에 일체로 형성되는 유출관로;를 포함하되, 상기 직선관로의 유로와 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로는 수평하게 연결되고, 상기 유입 측 사이드 관로와 상기 유입관로는 수직하게 연결되며, 상기 유출 측 사이드 관로와 상기 유출관로는 수직하게 연결될 수 있다. In the U-shaped ultrasonic flow meter pipe structure according to an aspect of the present invention, the measuring pipe body includes: a straight pipe; an inlet side conduit integrally formed with one end of the straight conduit; an outlet side conduit integrally formed at the other end of the straight conduit; an inlet conduit integrally formed with the inlet side conduit; and an outlet conduit integrally formed with the outlet side conduit; including, wherein the conduit of the straight conduit and the conduit of the inlet side conduit and the outlet side conduit are horizontally connected, and the inlet side conduit and the The inlet pipe may be vertically connected, and the outlet side pipe and the outlet pipe may be vertically connected.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에서, 상기 측정관체는, 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로에는 각각 상기 유입 측 측정 헤드 및 상기 유출 측 측정 헤드가 설치되는 설치공이 형성되며, 상기 설치공들은, 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 자유단 측에서부터 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로와 수평으로 연결되게 관통 형성되되, 상기 설치공들은, 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로와 동일한 직경을 가지며 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로와 이어지게 형성되는 압입홀; 상기 압입홀의 직경보다 큰 직경으로 형성되며, 각각의 상기 압입홀에서부터 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 자유단 측으로 연장 형성되는 삽입홀; 및 상기 압입홀과 상기 삽입홀 사이의 벽면에 형성되는 원형의 압입홈;을 포함할 수 있다. In the U-shaped ultrasonic flow meter piping structure according to an aspect of the present invention, the measuring pipe body, the inflow side measuring head and the outflow side measuring head are installed in the inlet side pipe line and the outlet side pipe line, respectively An installation hole is formed, wherein the installation holes are horizontally connected from the free end side of the inlet side conduit and the outlet side conduit to the flow passages of the inlet side conduit and the outlet side conduit, the The installation holes may include: a press-in hole having the same diameter as the flow paths of the inlet side conduit and the outlet side conduit and connected to the flow paths of the inlet side conduit and the outlet side conduit; an insertion hole formed to have a larger diameter than the diameter of the press-in hole, and extending from each of the press-in holes toward the free end side of the inlet side conduit and the outlet side conduit; and a circular press-in groove formed on a wall surface between the press-in hole and the insertion hole.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에서, 상기 유입 측 측정 헤드 및 상기 유출 측 측정 헤드는, 초음파 송수신기; 일측이 마감된 수평한 원통형상으로 제공되고, 내부에 마련된 공간부에는 상기 초음파 송수신기가 내장되되, 상기 유입 측 사이드 관로의 상기 설치공 및 상기 유출 측 사이드 관로의 상기 설치공에 압입되는 인서트; 및 상기 인서트가 압입된 상기 유입 측 사이드 관로의 상기 설치공 및 상기 유출 측 사이드 관로의 상기 설치공의 자유단 측을 마감하는 앤드 캡;을 포함할 수 있다. In the U-shaped ultrasonic flow meter piping structure according to an aspect of the present invention, the inlet-side measuring head and the outlet-side measuring head may include an ultrasonic transceiver; an insert provided in a horizontal cylindrical shape with one side closed, and the ultrasonic transceiver is built in the space provided therein, and is press-fitted into the installation hole of the inlet side conduit and the installation hole of the outlet side conduit; and an end cap closing the free end side of the installation hole of the inlet side conduit into which the insert is press-fitted and the installation hole of the outlet side conduit.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에서, 상기 초음파 송수신기는 상기 공간부에 체결되는 무두볼트에 의해 상기 공간부에 한정되며, 상기 무두볼트에는 상기 초음파 송수신기에서 연장된 신호선이 관통하는 제 1 관통공이 형성될 수 있다. In the U-shaped ultrasonic flow meter piping structure according to an aspect of the present invention, the ultrasonic transceiver is limited to the space part by a headless bolt fastened to the space part, and the headless bolt has an extension from the ultrasonic transceiver. A first through hole through which the signal line passes may be formed.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에서, 상기 인서트의 외주면 상에는, 상기 인서트의 일측에서 타측으로 연장되며 상기 압입홀에 압입되는 압입컬럼; 상기 압입컬럼에서부터 상기 인서트의 타측으로 연장되며, 상기 삽입홀에 삽입되는 삽입컬럼; 및 압입컬럼과 상기 삽입컬럼 사이의 벽면에 형성되어 상기 압입홈에 압입되는 환형의 링 형상의 압입돌기가 형성될 수 있다. In the U-shaped ultrasonic flow meter piping structure according to an aspect of the present invention, on the outer circumferential surface of the insert, a press-fit column extending from one side of the insert to the other side and press-fitted into the press-fit hole; an insertion column extending from the press-fit column to the other side of the insert and inserted into the insertion hole; and an annular ring-shaped press-in protrusion that is formed on the wall between the press-in column and the insertion column and is press-fitted into the press-in groove.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에서, 상기 인서트의 마감된 일측 하부 측에는 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로와 상기 인서트의 마감된 일측을 부드럽게 연결하는 챔퍼 돌기가 형성될 수 있다. In the U-shaped ultrasonic flow meter piping structure according to an aspect of the present invention, on the lower side of the finished side of the insert, the flow paths of the inlet side conduit and the outlet side conduit and the finished side of the insert are smoothly connected A chamfer projection may be formed.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에서, 상기 삽입컬럼과 상기 삽입컬럼과 이어지는 상기 압입돌기의 외주면 상에는 상기 인서트를 상기 설치공에 압입 시 상기 인서트의 회전을 방지하는 회전방지돌기들이 회전 대칭되게 형성되며, 상기 설치공의 상기 삽입홀과 상기 압입홀 사이의 벽면에는 상기 회전방지돌기가 압입되는 회전방지홈들이 회전 대칭되게 형성될 수 있다. In the U-shaped ultrasonic flow meter piping body structure according to an aspect of the present invention, on the outer peripheral surface of the press-in protrusion connected to the insertion column and the insertion column, when the insert is pressed into the installation hole, rotation of the insert is prevented. The anti-rotation protrusions are formed to be rotationally symmetrical, and the anti-rotation grooves into which the anti-rotation protrusions are press-fitted may be formed rotationally symmetrically on a wall surface between the insertion hole and the press-in hole of the installation hole.

본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에서, 상기 앤드 캡은, 상기 삽입홀에 압입 또는 나사 체결되는 몸체부; 및 상기 몸체부의 외주면 상에 일체로 형성되는 플랜지부;를 포함하되, 상기 플랜지부의 일측은 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 자유단 측에 밀착되고, 상기 플랜지부 일측과 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 자유단 사이에는 상기 약액의 누수를 방지하는 패킹이 개재되며, 상기 몸체부 및 상기 플랜지부에는 상기 초음파 송수신기에서 연장된 신호선이 관통하는 제 2 관통공이 형성될 수 있다. In the U-shaped ultrasonic flow meter piping structure according to an aspect of the present invention, the end cap may include a body portion press-fitted or screwed into the insertion hole; and a flange portion integrally formed on the outer circumferential surface of the body portion, wherein one side of the flange portion is in close contact with the free end side of the inlet side conduit and the outlet side conduit, and one side of the flange portion and the inlet side A packing for preventing leakage of the chemical is interposed between the side conduit and the free end of the outlet side conduit, and a second through hole through which a signal line extending from the ultrasonic transceiver passes is formed in the body portion and the flange portion. there is.

본 발명에 의하면, 측정관체를 형성하는 직선관로, 유입 측 사이드 관로, 유출 측 사이드 관로, 유입관로 및 유출관로가 융착부위 없이 단일체로 제공되기 때문에 생산성의 향상을 도모할 수 있게 하는 효과를 제공할 수 있게 된다.According to the present invention, since the straight pipe, the inflow side pipe, the outflow side pipe, the inflow pipe and the outflow pipe forming the measuring pipe are provided as a single unit without a fusion part, it is possible to improve productivity. be able to

본 발명에 의하면, 측정관체에 종래와 같은 융착부위가 존재하지 않기 때문에 융착부위에 의한 와류, 융착부위에 존재하는 파티클에 의한 공정 부적합 및 융착부위 떠짐으로 인한 공정 장비의 고장 및 인명피해 등을 막을 수 있게 하는 효과를 제공할 수 있게 된다.According to the present invention, since there is no fusion site as in the prior art in the measuring tube, a vortex caused by the fusion site, process inadequacy due to particles present in the fusion site, and process equipment failure and personal injury due to floating of the fusion site are prevented. It is possible to provide an enabling effect.

본 발명에 의하면, 유입 측 및 유출 측 사이드 관로에 압입되어 유입 측 및 유출 측 사이드 관로의 유로와 대면하는 유입 측 및 유출 측 측정 헤드의 일측 하부에 챔퍼 돌기가 형성되기 때문에 유입 측 및 유출 측 사이드 관로의 유로와 유입관로 및 유출관로의 유로 사이에서 약액 및 기포가 정체되는 것을 막을 수 있으며, 이로 인해 계측 오차를 줄일 수 있는 신뢰도가 높은 초음파 유량계를 소비자에게 제공할 수 있게 하는 효과를 제공할 수 있게 된다.According to the present invention, since a chamfer is formed on the lower part of one side of the inlet and outlet side measuring heads that are press-fitted into the inlet and outlet side conduits and face the flow paths of the inlet and outlet side conduits, the inlet and outlet sides It can prevent stagnation of chemical liquid and bubbles between the flow path of the pipe and the flow path of the inflow pipe and the outflow pipe. there will be

도 1은 종래 초음파 유량계를 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.
도 3은 도 2에 도시된 측정관체에서 유입 측 측정 헤드 및 유출 측 측정 헤드를 분해한 단면도.
도 4는 도 2에 도시된 인서트를 확대하여 나타낸 도면.1 is a view schematically showing a conventional ultrasonic flow meter.
Figure 2 is a cross-sectional view schematically showing the U-shaped ultrasonic flow meter pipe structure according to the present invention.
3 is an exploded cross-sectional view of the inlet-side measuring head and the outlet-side measuring head in the measuring tube shown in FIG. 2 .
Figure 4 is an enlarged view of the insert shown in Figure 2;

이하, 본 발명에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조를 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment in which the U-shaped ultrasonic flow meter pipe structure according to the present invention is implemented will be described in detail with reference to the drawings.

다만, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상에 기초하여 통상의 기술자에 의해 이하에서 설명되는 실시형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안될 수 있는 범위를 포섭함을 밝힌다. However, it cannot be said that the intrinsic technical idea of the present invention is limited by the embodiments described below, and the following by those skilled in the art based on the intrinsic technical idea of the present invention It is revealed that the range that can be easily suggested as a method of substitution or modification of the embodiments described in is included.

또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다. In addition, since the terms used below are selected for convenience of description, in grasping the intrinsic technical idea of the present invention, they are not limited to the dictionary meaning and are appropriately interpreted as meanings consistent with the technical spirit of the present invention. it should be

첨부된 도면 중에서, 도 2 내지 도 4는 본 발명에 따른 U자형 초음파 유량계 배관체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.Among the accompanying drawings, FIGS. 2 to 4 are views schematically showing the structure of a U-shaped ultrasonic flow meter pipe body according to the present invention.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 초음파 유량계(100)는 PFA로 이루어지는 불소 수지계의 측정관체(110)와, 마찬가지로 PFA로 이루어지는 불소 수지계의 유입 측 및 유출 측 측정 헤드(130a, 130b)를 포함한다.2 to 4, the ultrasonic flow meter 100 according to the present invention is a fluororesin measuring tube 110 made of PFA, and similarly, inlet and outlet side measuring heads 130a, 130b of a fluororesin system made of PFA. ) is included.

먼저, 측정관체(110)는 직선관로(112)와, 직선관로(112)의 일단 및 타단에 일체로 형성되는 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)와, 유입 측 사이드 관로(114)에 일체로 형성되는 유입관로(118) 및 유출 측 사이드 관로(116)에 일체로 형성되는 유출관로(120)를 포함한다.First, the measurement pipe body 110 includes a straight pipe line 112, inflow side and outflow side side pipes 114 and 116 integrally formed at one end and the other end of the straight pipe line 112, and an inflow side side pipe line 114. It includes an inlet pipe 118 integrally formed with the , and an outlet pipe 120 integrally formed with the outlet side side pipe 116 .

이때, 직선관로(112)의 유로와 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 유로는 도시된 바와 같이 수평하게 연결되며, 유입 측 사이드 관로(114)와 유입관로(118) 및 유출 측 사이드 관로(116)와 유출관로(120)는 수직하게 연결된다. At this time, the flow path of the straight pipe line 112 and the flow paths of the inflow side and the outflow side pipe lines 114 and 116 are horizontally connected as shown, and the inflow side side pipe line 114 and the inflow pipe line 118 and the outflow side pipe line 114 are connected to each other. The side conduit 116 and the outlet conduit 120 are vertically connected.

즉, 측정관체(110)의 유로, 다시 말해 서로 연결된 연통하는 직선관로(112), 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)와, 유입관로(118) 및 유출관로(120)의 유로는 크랭크(crank) 형태, 대략 "∪"자 형태로 형성된다. That is, the flow path of the measuring pipe 110, that is, the straight pipe line 112 connected to each other, the inflow side and the outflow side side pipe lines 114 and 116, and the flow path of the inflow pipe line 118 and the outflow pipe line 120 are It is formed in the shape of a crank, approximately "∪" shape.

여기서, 본 발명에 따른 초음파 유량계(100)의 측정관체(110)는 종래 측정관체(10)와 다르게 측정관체(110)를 형성하는 직선관로(112), 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)와, 유입관로(118) 및 유출관로(120)가 융착부위 없이 단일체로 형성되는 것을 기술적 특징으로 하며, 직선관로(112), 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)와, 유입관로(118) 및 유출관로(120)를 단일체로 형성하는 것은 공지의 기술이므로 상세한 설명은 생략한다.Here, the measuring pipe 110 of the ultrasonic flow meter 100 according to the present invention is a straight pipe 112 that forms the measuring pipe 110 differently from the conventional measuring pipe 10, the inflow side and the outflow side side pipe 114, 116) and the inlet pipe 118 and the outlet pipe 120 are formed as a single body without a fusion part, and the straight pipe 112, the inflow side and the outflow side pipe lines 114 and 116, and the inflow Forming the conduit 118 and the outlet conduit 120 as a single body is a known technique, so a detailed description thereof will be omitted.

한편, 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)에는 각각 유입 측 측정 헤드(130a) 및 유출 측 측정 헤드(130b)가 설치되는 설치공(122a, 122b)이 각각 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 자유단 측에서부터 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 유로와 수평으로 연결되게 관통 형성된다.On the other hand, the inlet and outlet side conduits 114 and 116 have installation holes 122a and 122b in which the inlet-side measuring head 130a and the outlet-side measuring head 130b are installed, respectively, respectively, in the inlet and outlet side conduits. From the free end side of (114, 116), the inflow side and the outflow side side conduits (114, 116) are formed to be horizontally connected to the flow passages.

구체적으로, 설치공(122a, 122b)들은 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 유로와 동일한 직경을 가지며 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 유로와 이어지게 형성되는 압입홀(124a, 124b)과, 압입홀(124a, 124b)의 직경보다 큰 직경으로 형성되며 각각의 압입홀(124a, 124b)에서부터 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 자유단 측으로 연장 형성되는 삽입홀(126a, 126b)로 분할 형성되며, 압입홀(124a, 124b)과 삽입홀(126a, 126b) 사이의 벽면에는 환형의 압입홈(128a, 128b)이 형성된다.Specifically, the installation holes (122a, 122b) have the same diameter as the flow paths of the inlet and outlet side conduits 114 and 116, and are press-in holes formed to be connected to the flow paths of the inlet and outlet side conduits 114 and 116. (124a, 124b), and is formed with a diameter larger than the diameter of the press-in holes (124a, 124b) and extends from the respective press-in holes (124a, 124b) to the free end side of the inlet and outlet side conduits (114, 116). It is divided into insertion holes 126a and 126b, and annular press-fitting grooves 128a and 128b are formed on the wall surface between the press-in holes 124a, 124b and the insertion holes 126a, 126b.

이와 같이 형성된 유입 측 사이드 관로(114)의 설치공(122a)에는 유입 측 측정 헤드(130a)가 설치되고, 유출 측 사이드 관로(116)의 설치공(122b)에는 유출 측 측정 헤드(130b)가 설치된다.The inlet side measuring head 130a is installed in the installation hole 122a of the inlet side conduit 114 formed in this way, and the outlet side measuring head 130b is installed in the installation hole 122b of the outlet side conduit 116 . is installed

유입 측 측정 헤드(130a)는 약액이 흐르는 방향으로 초음파를 송신하고 약액이 흐르는 반대방향에서 송신되는 초음파를 수신한다. 또한, 유출 측 측정 헤드(130b)는 약액이 흐르는 반대방향으로 초음파를 송신하고 약액이 흐르는 방향에서 송신되는 초음파를 수신한다.The inflow-side measuring head 130a transmits an ultrasonic wave in a direction in which the chemical solution flows and receives an ultrasonic wave transmitted in a direction opposite to that in which the chemical solution flows. In addition, the outflow-side measuring head 130b transmits an ultrasonic wave in a direction opposite to the direction in which the chemical solution flows and receives the ultrasonic wave transmitted in the direction in which the chemical solution flows.

유입 측 및 유출 측 측정 헤드(130a, 130b)는 각각 초음파를 송신 및 수신하는 통상의 초음파 송수신기(132a, 132b)와, 인서트(134a, 134b) 및 앤드 캡(154a, 154b)을 포함한다.The inlet-side and outlet-side measurement heads 130a and 130b include conventional ultrasonic transceivers 132a and 132b for transmitting and receiving ultrasonic waves, respectively, and inserts 134a and 134b and end caps 154a and 154b.

인서트(134a, 134b)는 내부에 초음파 송수신기(132a, 132b)를 내장시키며, 설치공(122a, 122b)에 압입된다. The inserts (134a, 134b) embed the ultrasonic transceivers (132a, 132b) therein, and are press-fitted into the installation holes (122a, 122b).

이를 위해서, 인서트(134a, 134b)는 도시된 바와 같이 일측이 마감된 수평한 원통형상으로 제공되고, 인서트(134a, 134b)의 내부에 마련된 공간부(136a, 136b)에는 초음파 송수신기(132a, 132b)가 내장된다. To this end, the inserts (134a, 134b) are provided in a horizontal cylindrical shape with one side closed as shown, and the ultrasonic transceivers (132a, 132b) are provided in the spaces (136a, 136b) provided inside the inserts (134a, 134b). ) is built in.

이때, 각각의 초음파 송수신기(132a, 132b)는 초음파를 인서트(134a, 134b)의 마감된 일측을 통해 송신 및 수신할 수 있게 인서트(134a, 134b)의 공간부(136a, 136b)에 내장되며, 초음파 송수신기(132a, 132b)는 공간부(136a, 136b)에 체결되는 통상의 무두볼트(138a, 138b)에 의해 공간부(136a, 136b)에 한정된다. At this time, each ultrasonic transceiver (132a, 132b) is embedded in the space (136a, 136b) of the insert (134a, 134b) so as to transmit and receive ultrasonic waves through the finished side of the insert (134a, 134b), The ultrasonic transceiver (132a, 132b) is defined in the space (136a, 136b) by the common headless bolts (138a, 138b) fastened to the space (136a, 136b).

바람직하게는, 무두볼트(138a, 138b)에는 초음파 송수신기(132a, 132b)에서 연장된 신호선이 관통하는 제 1 관통공(140a, 140b)이 형성된다.Preferably, first through holes 140a and 140b through which the signal lines extended from the ultrasonic transceivers 132a and 132b pass are formed in the headless bolts 138a and 138b.

그리고 인서트(134a, 134b)의 외주면 상에는 인서트(134a, 134b)의 일측에서 타측으로 연장되며 설치공(122a, 122b)의 압입홀(124a, 124b)에 압입되는 원형의 압입컬럼(142a, 142b)과, 압입컬럼(142a, 142b)에서부터 인서트(134a, 134b)의 타측으로 연장되고 설치공(122a, 122b)의 삽입홀(126a, 126b)에 삽입되는 원형의 삽입컬럼(144a, 144b)이 형성된다.And on the outer circumferential surface of the inserts (134a, 134b), the inserts (134a, 134b) extend from one side to the other side, and the circular press-in columns (142a, 142b) are press-fitted into the press-in holes (124a, 124b) of the installation holes (122a, 122b). And, a circular insertion column (144a, 144b) extending from the press-fitting column (142a, 142b) to the other side of the insert (134a, 134b) and inserted into the insertion hole (126a, 126b) of the installation hole (122a, 122b) is formed. do.

그리고 압입컬럼(142a, 142b)과 삽입컬럼(144a, 144b) 사이의 벽면에는 설치공(122a, 122b)의 압입홈(128a, 128b)에 압입되는 환형의 링 형상의 압입돌기(146a, 146b)가 형성된다.And on the wall between the press-in columns (142a, 142b) and the insertion columns (144a, 144b), the annular ring-shaped press-in projections (146a, 146b) are press-fitted into the press-in grooves (128a, 128b) of the installation holes (122a, 122b). is formed

한편, 인서트(134a, 134b)의 마감된 일측 하부 측에는 유입 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)이 유로와 유입관로(118) 및 유출관로(120)의 유로를 부드럽게 연결하는 챔퍼(斜面) 돌기(148a, 148b)가 형성된다.On the other hand, on the lower side of the finished one side of the inserts (134a, 134b), the inflow and outflow side conduits 114 and 116 are chamfered protrusions that smoothly connect the flow paths with the flow paths of the inflow pipe 118 and the outflow pipe 120 . (148a, 148b) is formed.

챔퍼(斜面) 돌기(148a, 148b)는 도시된 바와 같이 인서트(134a, 134b)의 일측에서부터 인서트(134a, 134b)의 일측 외부로 연장되게 형성되되, 챔퍼 돌기(148a, 148b)는 유입 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)이 유로와 유입관로(118) 및 유출관로(120)의 유로를 부드럽게 연결시켜 약액 및 기포가 정제되지 않게 하면서 약액 및 기포가 용이하게 유동할 수 있게 한다. As shown, the chamfer projections 148a and 148b are formed to extend from one side of the inserts 134a and 134b to the outside of one side of the inserts 134a and 134b, and the chamfer projections 148a and 148b are inflow and outflow. The side side conduits 114 and 116 smoothly connect the flow path with the flow path of the inlet pipe 118 and the outlet pipe 120 so that the chemical solution and the bubble are not purified, and the chemical solution and the bubble can easily flow.

그리고 삽입컬럼(144a, 144b)과 삽입컬럼(144a, 144b)과 이어지는 압입돌기(146a, 146b)의 외주면 상에는 인서트(134a, 134b)를 설치공(122a, 122b)에 압입 시 인서트(134a, 134b)의 회전을 방지하는 회전방지돌기(150a, 150b)들이 회전 대칭되게 형성되며, 설치공(122a, 122b)의 삽입홀(126a, 126b)과 압입홀(124a, 124b) 사이의 벽면에는 회전방지돌기(150a, 150b)가 압입되는 회전방지홈(152a, 152b)들이 회전 대칭되게 형성된다. And inserts (134a, 134b) on the outer circumferential surface of the press-in protrusions (146a, 146b) connected to the insertion columns (144a, 144b) and the insertion columns (144a, 144b) when press-fitting the inserts (134a, 134b) into the installation holes (122a, 122b). ) to prevent rotation of the anti-rotation protrusions (150a, 150b) are formed to be rotationally symmetrical, and on the wall surface between the insertion holes (126a, 126b) and the press-in holes (124a, 124b) of the installation holes (122a, 122b) to prevent rotation. The rotation preventing grooves 152a and 152b into which the protrusions 150a and 150b are press-fitted are formed to be rotationally symmetrical.

앤드 캡(154a, 154b)은 인서트(134a, 134b)가 압입된 각각의 설치공(122a, 122b)의 자유단 측을 마감한다. The end caps 154a and 154b close the free end side of each of the installation holes 122a and 122b into which the inserts 134a and 134b are press-fitted.

앤드 캡(154a, 154b)는 도시된 바와 같이 각각 원형의 몸체부(156a, 156b)와, 몸체부(156a, 156b)의 외주면 상에 일체로 형성되는 플랜지부(158a, 158b)를 포함한다.As shown, the end caps 154a and 154b include circular body parts 156a and 156b, respectively, and flange parts 158a and 158b integrally formed on the outer peripheral surfaces of the body parts 156a and 156b.

이때, 몸체부(156a, 156b)는 설치공(122a, 122b)의 삽입홀(126a, 126b)에 압입 또는 나사 체결되고, 플랜지부(158a, 158b)의 일측은 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 자유단 측에 밀착된다. At this time, the body parts (156a, 156b) are press-fitted or screwed into the insertion holes (126a, 126b) of the installation holes (122a, 122b), and one side of the flange parts (158a, 158b) is inlet-side and outlet-side side conduits ( 114, 116) are in close contact with the free end side.

그리고 밀착된 플랜지부(158a, 158b) 일측과 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 자유단 사이에는 약액의 누수를 방지하는 패킹(160a, 160b)이 개재된다. And the packing (160a, 160b) for preventing leakage of the chemical is interposed between one side of the closely attached flange portion (158a, 158b) and the free ends of the inflow and outflow side conduits (114, 116).

바람직하게는, 앤드 캡(154a, 154b)의 몸체부(156a, 156b) 및 플랜지부(158a, 158b)에는 초음파 송수신기(132a, 132b)에서 연장된 신호선이 관통하는 제 2 관통공(162a, 162b)이 형성된다.Preferably, in the body portions 156a, 156b and the flange portions 158a and 158b of the end caps 154a and 154b, the second through-holes 162a and 162b through which the signal lines extended from the ultrasonic transceivers 132a and 132b pass through. ) is formed.

한편, 본 발명에 따른 초음파 유량계(100)는 종래 초음파 유량계와 동일한 방법으로 유량을 측정하는 것으로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. Meanwhile, the ultrasonic flow meter 100 according to the present invention measures the flow rate in the same way as the conventional ultrasonic flow meter, and a detailed description thereof will be omitted.

이와 같이 형성된 본 발명에 따른 초음파 유량계(100)는 측정관체(110)를 형성하는 직선관로(112), 유입 측 사이드 관로(114), 유출 측 사이드 관로(116), 유입관로(118) 및 유출관로(120)가 융착부위 없이 단일체로 제공되기 때문에 생산성의 향상을 도모할 수 있게 한다. The ultrasonic flowmeter 100 according to the present invention formed in this way has a straight pipe line 112, an inlet side pipe line 114, an outlet side side pipe line 116, an inlet pipe line 118 and an outlet forming the measuring pipe body 110. Since the conduit 120 is provided as a unit without a fusion part, it is possible to improve productivity.

본 발명에 따른 초음파 유량계(100)는 측정관체(110)에 종래와 같은 융착부위가 존재하지 않기 때문에 융착부위에 의한 와류, 융착부위에 존재하는 파티클에 의한 공정 부적합 및 융착부위 떠짐으로 인한 공정 장비의 고장 및 인명피해 등을 막을 수 있게 한다. The ultrasonic flow meter 100 according to the present invention does not have a fusion site as in the prior art in the measuring tube 110, so a vortex due to the fusion site, process inappropriate due to particles present in the fusion site, and process equipment due to floating of the fusion site to prevent malfunction and personal injury.

본 발명에 따른 초음파 유량계(100)는 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)에 압입되어 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 유로와 대면하는 유입 측 및 유출 측 측정 헤드(130a, 130b)의 일측 하부에 챔퍼 돌기(148a, 148b)가 형성되기 때문에 유입 측 및 유출 측 사이드 관로(114, 116)의 유로와 유입관로(118) 및 유출관로(120)의 유로 사이에서 약액 및 기포가 정체되는 것을 막을 수 있으며, 이로 인해 계측 오차를 줄일 수 있는 신뢰도가 높은 초음파 유량계를 소비자에게 제공할 수 있게 한다.The ultrasonic flow meter 100 according to the present invention is press-fitted into the inlet and outlet side conduits 114 and 116 to face the inlet and outlet side conduits 114 and 116 in the inlet and outlet side measuring heads ( Since the chamfer projections 148a and 148b are formed on one side of the lower part of 130a and 130b, the chemical liquid between the flow paths of the inflow and outflow side pipes 114 and 116 and the flow paths of the inflow pipe 118 and the outflow pipe 120. And it is possible to prevent bubbles from stagnating, thereby making it possible to provide consumers with a highly reliable ultrasonic flowmeter capable of reducing measurement errors.

Claims (9)

반도체 제조공정에 사용되는 약액의 유량을 계측하는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조에 있어서,
상기 U자형 초음파 유량계 배관체 구조는,
직선관로, 상기 직선관로의 일단에 일체로 형성되는 유입 측 사이드 관로, 상기 직선관로의 타단에 일체로 형성되는 유출 측 사이드 관로, 상기 유입 측 사이드 관로에 일체로 형성되는 유입관로 및 상기 유출 측 사이드 관로에 일체로 형성되는 유출관로가 상기 약액을 안내하는 크랭크 형태의 유로를 형성하는, 단일체로 제공되는 측정관체;
상기 약액이 흐르는 방향으로 초음파를 송신하고 상기 약액이 흐르는 반대방향에서 송신되는 초음파를 수신하는 유입 측 측정 헤드; 및
상기 약액이 흐르는 반대방향으로 초음파를 송신하고 상기 약액이 흐르는 방향에서 송신되는 초음파를 수신하는 유출 측 측정 헤드;를 포함하고,
상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로에는 각각 상기 유입 측 측정 헤드 및 상기 유출 측 측정 헤드가 설치되는 설치공이 형성되며,
상기 유입 측 측정 헤드 및 상기 유출 측 측정 헤드는,
초음파 송수신기;
일측이 마감된 수평한 원통형상으로 제공되고, 내부에 마련된 공간부에는 상기 초음파 송수신기가 내장되되, 상기 유입 측 사이드 관로의 상기 설치공 및 상기 유출 측 사이드 관로의 상기 설치공에 압입되는 인서트; 및
상기 인서트가 압입된 상기 유입 측 사이드 관로의 상기 설치공 및 상기 유출 측 사이드 관로의 상기 설치공의 자유단 측을 마감하는 앤드 캡;을 포함하되,
상기 인서트의 마감된 일측 하부 측에는 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로와 상기 인서트의 마감된 일측을 부드럽게 연결하는 챔퍼 돌기가 형성되는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조.
In the U-shaped ultrasonic flow meter piping structure for measuring the flow rate of a chemical solution used in a semiconductor manufacturing process,
The U-shaped ultrasonic flow meter piping structure is,
A straight pipe, an inlet side pipe integrally formed at one end of the straight pipe, an outlet side pipe integrally formed at the other end of the straight pipe, an inlet pipe integrally formed in the inflow side pipe, and the outlet side pipe a measuring tube body provided as a single body, in which an outlet pipe formed integrally with the pipe line forms a crank-type flow path for guiding the chemical;
an inflow-side measuring head for transmitting ultrasonic waves in a direction in which the chemical liquid flows and receiving ultrasonic waves transmitted in a direction opposite to that in which the chemical liquid flows; and
Containing; and
Installation holes are formed in the inlet side conduit and the outlet side conduit, respectively, in which the inlet-side measuring head and the outlet-side measuring head are installed,
The inlet-side measuring head and the outlet-side measuring head,
ultrasonic transceiver;
an insert provided in a horizontal cylindrical shape with one side closed, and the ultrasonic transceiver is embedded in a space provided therein, and is press-fitted into the installation hole of the inlet side conduit and the installation hole of the outlet side conduit; and
Containing, including,
A U-shaped ultrasonic flow meter piping structure in which a chamfer protrusion is formed on the lower side of the finished one side of the insert to smoothly connect the flow paths of the inlet side conduit and the outlet side conduit to the finished one side of the insert.
 청구항 1에 있어서,
상기 직선관로의 유로와 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로는 수평하게 연결되고,
상기 유입 측 사이드 관로와 상기 유입관로는 수직하게 연결되며,
상기 유출 측 사이드 관로와 상기 유출관로는 수직하게 연결되는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조.
The method according to claim 1,
The flow path of the straight pipe and the flow path of the inlet side pipe line and the outlet side pipe line are horizontally connected,
The inlet side conduit and the inlet conduit are vertically connected,
The U-shaped ultrasonic flow meter piping structure in which the outlet side pipe line and the outlet pipe line are vertically connected.
 청구항 1에 있어서,
상기 설치공들은,
상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 자유단 측에서부터 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로와 수평으로 연결되게 관통 형성되되,
상기 설치공들은,
상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로와 동일한 직경을 가지며 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 유로와 이어지게 형성되는 압입홀;
상기 압입홀의 직경보다 큰 직경으로 형성되며, 각각의 상기 압입홀에서부터 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 자유단 측으로 연장 형성되는 삽입홀; 및
상기 압입홀과 상기 삽입홀 사이의 벽면에 형성되는 원형의 압입홈;을 포함하는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조.
The method according to claim 1,
The installers
From the free end side of the inlet side conduit and the outlet side conduit, the inlet side conduit and the outlet side conduit are formed to be horizontally connected to the flow path,
The installers
a press-in hole having the same diameter as the flow passages of the inlet side conduit and the outlet side conduit and connected to the flow passages of the inlet side conduit and the outlet side conduit;
an insertion hole formed with a diameter larger than the diameter of the press-in hole and extending from each of the press-in holes toward the free end side of the inlet side conduit and the outlet side conduit; and
A U-shaped ultrasonic flow meter pipe structure comprising a; circular press-in groove formed in a wall surface between the press-in hole and the insertion hole.
 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 초음파 송수신기는 상기 공간부에 체결되는 무두볼트에 의해 상기 공간부에 한정되며,
상기 무두볼트에는 상기 초음파 송수신기에서 연장된 신호선이 관통하는 제 1 관통공이 형성되는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조.
The method according to claim 1,
The ultrasonic transceiver is limited to the space part by a hairless bolt fastened to the space part,
A U-shaped ultrasonic flow meter piping structure in which a first through hole through which a signal line extended from the ultrasonic transceiver passes is formed in the hairless bolt.
 청구항 1에 있어서,
상기 인서트의 외주면 상에는,
상기 인서트의 일측에서 타측으로 연장되며 상기 압입홀에 압입되는 압입컬럼;
상기 압입컬럼에서부터 상기 인서트의 타측으로 연장되며, 상기 삽입홀에 삽입되는 삽입컬럼; 및
압입컬럼과 상기 삽입컬럼 사이의 벽면에 형성되어 상기 압입홈에 압입되는 환형의 링 형상의 압입돌기가 형성되는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조.
The method according to claim 1,
On the outer peripheral surface of the insert,
a press-fit column extending from one side of the insert to the other side and press-fitted into the press-fit hole;
an insertion column extending from the press-fit column to the other side of the insert and inserted into the insertion hole; and
A U-shaped ultrasonic flow meter piping body structure in which an annular ring-shaped press-in protrusion is formed on the wall between the press-in column and the insert column and is press-fitted into the press-in groove.
 삭제delete 청구항 6에 있어서,
상기 삽입컬럼과 상기 삽입컬럼과 이어지는 상기 압입돌기의 외주면 상에는 상기 인서트를 상기 설치공에 압입 시 상기 인서트의 회전을 방지하는 회전방지돌기들이 회전 대칭되게 형성되며,
상기 설치공의 상기 삽입홀과 상기 압입홀 사이의 벽면에는 상기 회전방지돌기가 압입되는 회전방지홈들이 회전 대칭되게 형성되는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조.
7. The method of claim 6,
On the outer peripheral surface of the press-in protrusion connected to the insertion column and the insertion column, anti-rotation protrusions for preventing rotation of the insert when the insert is press-fitted into the installation hole are formed to be rotationally symmetrical,
A U-shaped ultrasonic flow meter piping body structure in which rotation prevention grooves into which the rotation prevention protrusion is press-fitted are formed rotationally symmetrically on a wall surface between the insertion hole and the press-in hole of the installation hole.
 청구항 1에 있어서,
상기 앤드 캡은,
상기 삽입홀에 압입 또는 나사 체결되는 몸체부; 및
상기 몸체부의 외주면 상에 일체로 형성되는 플랜지부;를 포함하되,
상기 플랜지부의 일측은 상기 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 자유단 측에 밀착되고,
상기 플랜지부 일측과 유입 측 사이드 관로 및 상기 유출 측 사이드 관로의 자유단 사이에는 상기 약액의 누수를 방지하는 패킹이 개재되며,
상기 몸체부 및 상기 플랜지부에는 상기 초음파 송수신기에서 연장된 신호선이 관통하는 제 2 관통공이 형성되는 U자형 초음파 유량계 배관체 구조.
The method according to claim 1,
The end cap is
a body portion press-fitted or screwed into the insertion hole; and
Including a; flange portion integrally formed on the outer peripheral surface of the body portion,
One side of the flange portion is in close contact with the free end side of the inlet side conduit and the outlet side conduit,
A packing for preventing leakage of the chemical is interposed between one side of the flange portion and the free end of the inlet side conduit and the outlet side conduit,
A U-shaped ultrasonic flow meter piping structure in which a second through hole through which a signal line extending from the ultrasonic transceiver passes is formed in the body and the flange.
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