KR102367448B1 - 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치 - Google Patents

레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치에 관한 것으로, 띠 형상으로 이루어진 캐리어 테입; 상기 캐리어 테입이 올려지면서 상기 캐리어 테입을 이동시키는 작업부; 상기 작업부의 상부에 배치되며, 상기 작업부에 올려진 상기 캐리어 테입에 레이저 빔을 조사하는 레이저 드릴링 모듈; 상기 작업부에 올려진 상기 캐리어 테입의 위치와 이동 속도를 감지하는 위치 인식부; 상기 레이저 드릴링 모듈을 통해 조사되는 상기 레이저 빔의 위치를 조절할 수 있는 제어부;를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 위치 인식부에서 감지한 상기 캐리어 테입의 이동 속도에 따라 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입을 따라가도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치 {Carrier tape hole processing apparatus using laser drilling}
본 발명은 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저 드릴링을 통해 캐리어 테입의 홀을 가공함에 따라 캐리어 테입의 홀에 버(bur)가 발생하거나 캐리어 테입에 찢김이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 캐리어 테입의 홀을 균일하게 형성할 수 있는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치에 관한 것이다.
IC chip, 전기, 전자 부품 등과 같이 미세 부품은 SMT(surface mounter technology) 공정을 거치면서 생산된다. IC chip, 전기, 전자 부품 등과 같이 미세 부품은 띠 형상으로 이루어지면서 내부에 홈이 구비된 캐리어 테입에 배치되면서 SMT(surface mounter technology) 공정에 투입될 수 있으며, 이를 통해 생산 효율을 높일 수 있게 된다.
캐리어 테입에는 SMT(surface mounter technology) 공정에 투입되는 부품의 유무를 파악하거나 부품의 공급량이나 생산량을 계수하기 위한 ID hole이 형성될 수 있다. 한편, 최근 급격한 반도체, 전기, 전자의 패키지 기술이 발달됨에 따라 장치의 초미세화 추세가 계속되고 있으며, 이에 따라 캐리어 테입에 형성된 ID hole의 미세화도 함께 요구되구 있다.
종래에는 Pin을 통해 펀칭하는 Pin type 방법으로 캐리어 테입에 ID hole을 형성하였는데, 이와 같은 Pin type 방법은 다음과 같은 문제점이 있다. Pin type 방법으로 캐리어 테입에 ID hole을 형성할 경우, 캐리어 테입의 ID hole에 버(bur)가 발생할 수 있으며, ID hole이 균일하지 않게 형성되는 문제점이 있다.
또한, Pin type 방법으로 캐리어 테입에 ID hole을 형성하는 경우, 캐리어 테입의 박막화에 따라 ID hole 주변에서 찢김이 발생하는 문제점이 있다. 이와 함께, Pin type 방법의 경우 주기적으로 다량의 Pin을 교체해야 함에 따라 유지 보수에 소용되는 시간 및 비용이 증가되는 문제가 있으며, 이에 따라 생산량이 감소하는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저 드릴링을 통해 캐리어 테입의 홀을 가공함에 따라 캐리어 테입의 홀에 버(bur)가 발생하거나 캐리어 테입에 찢김이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 캐리어 테입의 홀을 균일하게 형성할 수 있는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치에 관한 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치는, 띠 형상으로 이루어진 캐리어 테입; 상기 캐리어 테입이 올려지면서 상기 캐리어 테입을 이동시키는 작업부; 상기 작업부의 상부에 배치되며, 상기 작업부에 올려진 상기 캐리어 테입에 레이저 빔을 조사하는 레이저 드릴링 모듈; 상기 작업부에 올려진 상기 캐리어 테입의 위치와 이동 속도를 감지하는 위치 인식부; 상기 레이저 드릴링 모듈을 통해 조사되는 상기 레이저 빔의 위치를 조절할 수 있는 제어부;를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 위치 인식부에서 감지한 상기 캐리어 테입의 이동 속도에 따라 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입을 따라가도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 것이다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치의 상기 레이저 드릴링 모듈은, 레이저 빔의 초점 거리를 가변시키는 가변 초점부; 상기 가변 초점부를 통과한 레이저 빔이 입사할 때의 광축을 기준광축이라 할 때, 상기 기준광축에 대하여 소정의 거리만큼 이동되어 상기 레이저 빔을 출사시키는 광축 이동부; 상기 광축 이동부를 회전시키는 광축 구동부;를 포함하며, 상기 광축 구동부에 의해 상기 광축 이동부를 회전시키면서 상기 캐리어 테입의 표면을 드릴링 하여 홀을 형성할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치의 상기 광축 이동부는, 입사하는 레이저 빔을 굴절시키는 제1웨지윈도우와, 상기 제1웨지윈도우와 이격되어 상기 제1웨지윈도우에 대하여 거꾸로 배치되는 제2웨지윈도우를 포함할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치의 상기 제1웨지윈도우와 상기 제2웨지윈도우 사이의 이격 거리를 조절하면서 상기 레이저 빔의 상기 기준광축에 대하여 이동되는 거리를 조절하여, 상기 캐리어 테입의 표면에 형성되는 홀의 크기를 변경할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치의 레이저 빔을 반사시키는 미러가 포함되는 스캐너부를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 위치 인식부에서 감지한 상기 캐리어 테입의 이동 속도에 따라 상기 미러의 위치를 조절하여, 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입을 따라가도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치의 상기 스캐너부는, 레이저 빔을 반사시키는 제1미러; 상기 제1미러를 회전시키는 제1모터; 레이저 빔을 반사시키는 제2미러; 상기 제2미러를 회전시키는 제2모터;를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 위치 인식부에서 감지한 상기 캐리어 테입의 이동 속도에 따라 상기 제1모터와 상기 제2모터를 회전시켜 상기 제1미러와 상기 제2미러의 위치를 조절할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치의 상기 광축 이동부를 통과한 레이저 빔을 포커싱하는 포커싱 렌즈를 더 포함할 수 있다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치의 상기 제어부는, 상기 가변 초점부에서 레이저 빔의 초점거리를 변경하여 상기 레이저 빔의 조사 위치를 변경할 수 있다.
본 발명은 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치에 관한 것으로, 레이저 드릴링을 통해 캐리어 테입의 홀을 가공함에 따라 캐리어 테입의 홀에 버(bur)가 발생하거나 캐리어 테입에 찢김이 발생하는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 캐리어 테입의 위치와 이동 속도를 감지할 수 있는 위치 인식부와, 위치 인식부에서 감지한 캐리어 테입의 이동 속도에 따라 레이저 빔이 캐리어 테입을 따라가도록 레이저 빔의 조사 위치를 조절할 수 있는 제어부를 사용함에 따라 캐리어 테입의 홀이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 홀이 형성된 캐리어 테입을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 캐리어 테입을 확대한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링 모듈이 구비된 캐리어 테입 홀 가공장치를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링 모듈을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 제1웨지윈도우와 제2웨지윈도우를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 4에서 제1웨지윈도우와 제2웨지윈도우가 광축 구동부에 의해 180도 회전한 것을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따라 광축 이동부의 회전에 의해 캐리어 테입에 홀이 형성되는 것을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 예에 따라 캐리어 테입의 이동 속도에 레이저 빔이 연동될 수 있도록 레이저 빔의 조사 위치를 변경할 수 있는 스캐너부가 구비된 것을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 캐리어 테입 홀 가공장치에 레이저 드릴링 모듈의 구성이 배치되는 위치를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 스캐너부를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시 예에 따라 제1포커싱 렌즈와 제2포커싱 렌즈가 구비된 것을 나타내는 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다.
그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용한다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나 축소하여 도시한 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 벗어나지 않으면서, 제1구성요소는 제2구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2구성요소도 제1구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어, 결합되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 결합되어 있을 수도 있지만, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 결합되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 새로운 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있어야 할 것이다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
본 발명은 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치에 관한 것으로, 레이저 드릴링 모듈을 통해 캐리어 테입의 홀을 가공함에 따라 캐리어 테입의 홀에 버(bur)가 발생하거나 캐리어 테입에 찢김이 발생하는 것을 방지할 수 있는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 캐리어 테입에 형성되는 홀은 ID 홀일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 종류의 홀일 수 있다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하기로 한다.
본 발명은 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치는, 캐리어 테입(110), 작업부(120), 레이저 드릴링 모듈(200), 위치 인식부(130), 제어부(140)를 포함한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 캐리어 테입(110)은 길이방향으로 연장되면서 띠 형상으로 이루어질 수 있는 것으로, 상기 캐리어 테입(110)은 IC chip, 전기, 전자 부품 등과 같이 미세 부품을 SMT(surface mounter technology) 공정에 투입할 때 사용될 수 있는 것이다.
상기 캐리어 테입(110)은 띠 형상으로 이루어지면서 내부에 홈이 구비되는 것으로, 상기 홈에 IC chip, 전기, 전자 부품 등과 같이 미세 부품이 안착되어 이동될 수 있다.
상기 캐리어 테입(110)에는 홀(111)이 형성될 수 있다. 상기 홀(111)은 SMT(surface mounter technology) 공정에 투입되는 부품의 유무를 파악하거나 부품의 공급량이나 생산량을 계수하기 위한 ID hole 일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 홀일 수 있다.
상기 캐리어 테입(110)의 상기 홀(111)은 후술할 상기 레이저 드릴링 모듈(200)을 통해 형성될 수 있는 것으로, 상기 레이저 드릴링 모듈(200)을 통해 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 형성하는 방법은 후술한다.
상기 작업부(120)는 상기 캐리어 테입(110)이 올려지면서 상기 캐리어 테입(110)을 이동시킬 수 있는 것이다. 상기 캐리어 테입(110)은 상기 작업부(120)를 통해 지정된 속도를 가지면서 일방향으로 이동될 수 있다.
상기 작업부(120)는 상기 캐리어 테입(110)이 올려지면서 상기 캐리어 테입(110)과 함께 이동하는 가이드 레일(121)과 상기 가이드 레일(121)을 이동시키는 와인더(122)를 포함한다.
도 3을 참조하면, 상기 와인더(122)는 복수 개가 구비될 수 있으며, 상기 가이드 레일(121)은 상기 와인더(122)에 감겨지거나 풀리면서 이동될 수 있다. 상기 가이드 레일(121)이 이동하면, 상기 가이드 레일(121)에 올려진 상기 캐리어 테입(110)도 함께 이동하게 된다.
다만, 상기 작업부(120)는 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 작업부(120)는 상기 캐리어 테입(110)을 지정된 속도로 일방향으로 이동시킬 수 있다면 다양한 구성을 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 레이저 드릴링 모듈(200)은 상기 작업부(120)의 상부에 배치되면서, 상기 작업부(120)에 올려진 상기 캐리어 테입(110)에 레이저 빔을 조사할 수 있는 것이다.
상기 레이저 드릴링 모듈(200)을 통해 상기 캐리어 테입(110)에 상기 레이저 빔을 조사함에 따라 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 형성시킬 수 있게 된다. 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 형성하기 위해 사용되는 상기 레이저 드릴링 모듈(200)의 상세한 구성은 후술하기로 한다.
도 3을 참조하면, 상기 위치 인식부(130)는, 상기 작업부(120)에 올려진 상기 캐리어 테입(110)의 위치와 이동 속도를 감지할 수 있는 것이다. 상기 캐리어 테입(110)에 형성되는 상기 홀(111)은 지정된 위치에 형성되어야 한다.
따라서, 상기 캐리어 테입(110)에서 상기 홀(111)이 형성되는 위치를 인식하고, 그 지점에 상기 레이저 드릴링 모듈(200)으로 상기 레이저 빔을 조사하여야 상기 캐리어 테입(110)의 지정된 위치에 상기 홀(111)을 형성할 수 있다.
상기 위치 인식부(130)는 이를 위해 구비되는 것으로, 상기 위치 인식부(130)는 상기 캐리어 테입(110)의 위치를 감지하여, 상기 레이저 드릴링 모듈(200)에서 조사되는 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절하는 상기 제어부(140)로 신호를 송신하게 된다.
상기 제어부(140)는 상기 위치 인식부(130)의 신호를 수신하여, 상기 위치 인식부(130)에서 감지한 상기 캐리어 테입(110)의 위치에 따라 상기 레이저 드릴링 모듈(200)에서 조사되는 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절하여 상기 캐리어 테입(110)의 지정된 위치에 상기 홀(111)을 형성하게 된다.
상기 제어부(140)는 다양한 방법으로 상기 레이저 드릴링 모듈(200)에서 조사되는 레이저 빔의 조사 위치를 조절할 수 있으며, 상기 제어부(140)를 통해 레이저 빔의 조사 위치를 조절하는 방법은 후술한다.
상기 위치 인식부(130)는 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도도 감지할 수 있다. 상술한 바와 같이 상기 캐리어 테입(110)은 상기 작업부(120)에 올려지면서, 상기 작업부(120)의 상기 가이드 레일(121)을 통해 이동하게 된다.
상기 레이저 드릴링 모듈(200)에서 조사되는 상기 레이저 빔을 통해 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 형성할 때, 상기 캐리어 테입(110)이 정지해 있으면 상기 홀(111)을 균일하게 형성할 수 있다. 그러나 상기 캐리어 테입(110)이 지정된 속도를 가지면서 일방향으로 이동함에 따라, 상기 레이저 빔을 통해 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 균일하게 형성시키기 어려운 문제점이 있다.
이를 해결하기 위해 상기 위치 인식부(130)는 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도를 감지할 수 있으며, 상기 위치 인식부(130)에서 감지된 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도는 상기 제어부(140)로 송신될 수 있다.
상기 제어부(140)는 상기 레이저 드릴링 모듈(200)을 통해 조사되는 상기 레이저 빔의 위치를 조절할 수 있는 것으로, 상기 제어부(140)는 상기 위치 인식부(130)에서 송신한 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도 신호를 수신할 수 있다.
상기 제어부(140)는 상기 위치 인식부(130)에서 감지한 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 따라 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입(110)을 따라가도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절하게 된다.
즉, 상기 제어부(140)는 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 동기화 되어 상기 레이저 빔이 조사되도록 상기 레이저 드릴링 모듈(200)을 제어할 수 있는 것으로, 이를 통해 상기 캐리어 테입(110)이 일방향으로 이동하더라도 상기 레이저 빔을 통해 균일한 상기 홀(111)을 형성할 수 있게 된다.
상기 제어부(140)는 상기 레이저 드릴링 모듈(200)의 구성을 제어할 수 있는 레이저 제어부(141)를 더 포함할 수 있으며, 상기 제어부(140)는 상기 위치 인식부(130)에서 상기 캐리어 테입(110)의 위치와 이동 속도에 대한 신호를 통해 상기 레이저 제어부(141)를 제어하게 된다. 상기 레이저 제어부(141)는 상기 레이저 드릴링 모듈(200)에 구비된 다양한 구성을 조절하여 레이저 빔의 조사 위치를 조절하게 된다.
상기 위치 인식부(130)는 상기 캐리어 테입(110)의 위치와 이동 속도를 감지하기 위해 엔코더로 이루어질 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 위치 인식부(130)는 상기 캐리어 테입(110)의 위치와 이동 속도를 감지할 수 있는 것이라면 다양한 종류의 센서로 이루어질 수 있다.
상기 제어부(140) 및 상기 레이저 제어부(141)는 다양한 방법으로 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 동기화 되면서 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 형성하게 할 수 있는 것으로, 상기 제어부(140) 및 상기 레이저 제어부(141)는 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절할 수 있는 것이라면 다양한 구성을 사용할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 동기화 되면서 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 형성할 수 있는 상기 레이저 빔을 조사하는 상기 레이저 드릴링 모듈(200)은 다음과 같은 구성으로 이루어질 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 레이저 드릴링 모듈(200)은, 가변 초점부(210), 광축 이동부(220), 광축 구동부를 포함한다.
상기 가변 초점부(210)는 레이저 빔의 초점 거리를 가변시킬 수 있는 것이다. 상기 가변 초점부(210)는 서로 사이의 거리가 가변되는 복수 개의 렌즈를 포함할 수 있다. 상기 렌즈 사이의 거리를 조절함으로써, 상기 가변 초점부(210)를 통과한 레이저 빔의 초점 거리가 가변될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 가변 초점부(210)는, 레이저 빔의 광 경로 방향으로 나란하게 배치되는 오목렌즈, 볼록렌즈, 및 상기 오목렌즈 또는 볼록렌즈의 위치를 이동시키는 무빙 모듈을 포함할 수 있다.
따라서, 오목렌즈와 볼록렌즈 사이의 거리를 조정함으로써 상기 가변 초점부(210)를 통과한 레이저 빔의 초점거리가 조절될 수 있다. 상기 가변 초점부(210)를 통과한 레이저 빔은 평행한 상태로 진행하거나, 확산(divergency)되거나, 포커싱되는 형태로 진행할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 가변 초점부(210)는 레이저 빔의 초점 거리를 가변 시킬 수 있다면 다양한 종류의 렌즈를 포함할 수 있다.
상기 광축 이동부(220)는, 상기 가변 초점부(210)를 통과한 레이저 빔이 입사할 때 광축을 기준광축(RA)이라고 할 때, 상기 기준광축(RA)에 대하여 소정의 거리만큼 이동되어 상기 레이저 빔을 출사시키기 위한 것이다. 상기 광축 이동부(220)를 통과하면서 굴절되어 레이저 빔의 진행 경로가 변경된다.
본 발명의 실시 예에 따른 상기 광축 이동부(220)는 제1웨지윈도우(221)와 제2웨지윈도우(222)를 포함할 수 있다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 제1웨지윈도우(221)는 입사하는 레이저 빔을 굴절시킬 수 있으며, 상기 레이저 빔은 상기 제1웨지윈도우(221)을 통과하면서 하방으로 소정의 각도만큼 굴절된다.
상기 제2웨지윈도우(222)는 상기 제1웨지윈도우(221)와 이격되어 배치되는데, 상기 제1웨지윈도우(221)에 대하여 거꾸로 배치된다. 즉, 상기 제2웨지윈도우(222)는 상기 제1웨지윈도우(221)에 대하여 선대칭 구조로 배치된다.
상기 제1웨지윈도우(221)를 통과한 레이저 빔은 상기 제2웨지윈도우(222)에서 2차로 굴절된다. 도 4와 같이, 상기 제2웨지윈도우(222)를 통과한 레이저 빔의 광축은 기준광축(RA)과 소정의 거리(d1)만큼 이격된 상태로 이동되어 레이저 빔의 진행 경로가 변경된다.
도 4는 상기 가변 초점부(210)를 통과한 레이저 빔이 수평으로 진행하는 경우로서, 상기 광축 이동부(220)를 통과한 레이저 빔의 광축은 상기 기준광축(RA)과 소정 거리(d1)만큼 평행하게 이동하게 된다.
도 4에서 이점쇄선의 폭은 레이저 빔의 사이즈를 간략히 도시한 것이며, 상기 광축 이동부(220)를 통과하면서 굴절되는 레이저 빔의 광축은 점선으로 표기하였다.
여기서, 상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222)는 도 5와 같은 형태로 이루어질 수 있는 것이다. 상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222)는 단면이 사다리꼴 형태를 이루어 질 수 있으며, 상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222)는 단면이 삼각형 형태로도 이루어질 수 있다.
상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222)는 도 5와 같은 웨지윈도우 형태로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222)는 프리즘으로 이루어질 수도 있다.
상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222) 사이의 거리가 변경되면, 상기 레이저 빔의 광축의 위치가 변경된다. 도 4를 참조하면, 상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222) 사이의 거리(D)가 증가하면, 상기 광축 이동부(220)를 통과한 레이저 빔의 광축(VA)과 기준광축(RA)과의 거리(d1)는 더 증가하면서 포커싱 렌즈(240)를 통과하는 광축의 위치가 변경된다.
상기 광축 구동부는, 상기 광축 이동부(220)를 회전시키기 위해서 구비되는 것이다. 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 광축 구동부는 상기 광축 이동부(220)를 상기 기준광축(RA)을 중심축으로 하여 회전시킬 수 있는 것이다. 도 6은 상기 광축 구동부를 통해 상기 광축 이동부(220)를 180°만큼 회전시킨 상태를 도시한 것이다.
도 6과 같이, 상기 광축 이동부(220)가 상기 광축 구동부에 의해 180°만큼 회전되면, 상기 제2웨지윈도우(222)를 통과한 레이저 빔의 광축(VA)은 상기 광축 이동부(220)가 180°회전하기 전(도2의 상태)의 상태에서 상기 기준광축(RA)을 중심으로 반 바퀴를 회전하여 반대편에 위치한다.
즉, 레이저 빔의 광축(VA)이 상기 기준광축(RA)에 대하여 180°만큼 회전한다. 도 7은 레이저 빔의 광축(VA)이 180°만큼 회전하여 반원만큼 드릴링한 상태를 도시한다.
상기 광축 구동부가 상기 광축 이동부(220)를 연속적으로 회전시키면, 상기 레이저 빔의 광축(VA)이 상기 기준광축(RA)을 중심으로 회전하고, 상기 레이저 빔은 상기 캐리어 테입(110)의 표면에 원형을 그리면서 상기 캐리어 테입(110)의 표면을 드릴링 하게 된다.
상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222)의 사이의 거리를 조절하면 상기 레이저 빔의 광축(VA)이 상기 기준광축(RA)으로부터 벗어나는 거리(d1)를 조절할 수 있다. 가령, 상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222)의 거리를 더 멀게 하면, 상기 레이저 빔의 광축(VA)은 상기 기준광축(RA)으로 더 멀리 이동하게 된다.
따라서, 상기 레이저 빔이 상기 기준광축(RA)으로부터 벗어난 거리가 커질수록, 상기 캐리어 테입(110)에 형성되는 구멍의 크기를 크게 가공할 수 있다. 즉, 상기 기준광축(RA)으로부터 레이저 빔의 광축을 이동시킨 후, 상기 광축 구동부에 의해 상기 광축 이동부(220)를 회전시키면 상기 기준광축(RA)으로부터 떨어진 상기 레이저 빔의 광축을 반지름으로 하는 홀을 상기 캐리어 테입(110)의 표면에 가공할 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치는 상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222)의 이격 거리를 조절하면서 상기 레이저 빔의 상기 기준광축(RA)에 대하여 이동되는 거리를 조절하여, 상기 캐리어 테입(110)의 표면에 형성되는 홀의 크기를 변경할 수 있다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 상기 레이저 드릴링 모듈(200)은 상기 광축 이동부(220)를 통과한 레이저 빔을 포커싱 하는 포커싱 렌즈(240)를 더 포함할 수 있다. 상기 포커싱 렌즈(240)는 상기 광축 이동부(220)를 통과한 레이저 빔을 포커싱하기 위해서 구비되는 것이다.
상기 포커싱 렌즈(240)는 상기 광축 이동부(220)를 통과한 레이저 빔을 굴절시켜서 포커싱함으로써 상기 캐리어 테입(110)의 표면에 초점을 형성한다. 상기 포커싱 렌즈(240)는 공지된 기술이므로 그 상세한 설명은 생략한다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치는, 레이저 빔을 반사시키는 미러가 포함된 스캐너부(230)를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이 상기 광축 구동부를 통해 상기 광축 이동부(220)를 회전시킴에 따라 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 형성시킬 수 있게 된다. 여기서, 상기 캐리어 테입(110)이 정지한 상태에 있다면, 상기 광축 이동부(220)의 회전만으로 상기 캐리어 테입(110)에 균일한 상기 홀(111)을 형성시킬 수 있게 된다.
그러나 상기 캐리어 테입(110)이 이동하게 되면, 상기 캐리어 테입(110)의 이동에 의해 상기 캐리어 테입(110)에 형성되는 상기 홀(111)이 균일하지 않게 형성될 위험이 있다.
이를 방지하기 위해, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치에는, 레이저 빔을 반사시키는 미러가 포하되는 스캐너부(230)가 구비될 수 있다.
상기 미러는 레이저 빔을 반사시켜 레이저 빔의 경로를 변경할 수 있는 것으로, 상기 미러의 위치를 변경하면 상기 레이저 빔의 경로를 변경할 수 있게 된다. 상기 캐리어 테입(110)에 형성되는 상기 홀(111)을 균일하게 형성하기 위해, 상기 제어부(140)는 상기 위치 인식부(130)에서 감지한 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 따라 상기 미러의 위치를 조절할 수 있다.
구체적으로, 상기 제어부(140)는 상기 미러의 위치를 조절하여, 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입(110)을 따라가도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절할 수 있게 된다. 즉, 상기 제어부(140)를 통해 상기 미러의 위치를 조절함에 따라 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 연동 되면서 조사될 수 있게 된다.
상기 스캐너부(230)에는 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입(110)을 따라가도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절할 수 있다면, 다양한 개수와 다양한 종류의 미러가 구비될 수 있다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 스캐너부(230)는 제1미러(231), 제1모터(232), 제2미러(233), 제2모터(234)를 포함할 수 있다. 상기 제1미러(231)는 레이저 빔을 반사시키는 것이며, 상기 제1모터(232)는 상기 제1미러(231)를 회전시킬 수 있는 것이다.
상기 제1미러(231)는 X축 방향에 대해 상기 레이저 빔을 이동시키기 위해 구비되는 것으로, 상기 제1모터(232)를 통해 상기 제1미러(231)를 회전시킴에 따라 상기 레이저 빔을 X축 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.
상기 제2미러(233)는 레이저 빔을 반사시키는 것이며, 상기 제2모터(234)는 상기 제2미러(233)를 회전시킬 수 있는 것이다. 상기 제2미러(233)는 Y축 방향에 대해 상기 레이저 빔을 이동시키기 위해 구비되는 것으로, 상기 제2모터(234)를 통해 상기 제2미러(233)를 회전시킴에 따라 상기 레이저 빔을 Y축 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.
상기 제어부(140)는, 상기 위치 인식부(130)에서 감지한 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 따라 상기 제1모터(232)와 상기 제2모터(234)를 회전시켜 상기 제1미러(231)와 상기 제2미러(233)의 위치를 조절할 수 있다.
상기 제어부(140)를 통해 상기 제1미러(231)와 상기 제2미러(233)의 위치를 조절함에 따라, 상기 레이저 빔의 조사 위치를 X축, Y축 방향으로 변경할 수 있게 되며, 이를 통해 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 동기화 되면서 조사될 수 있게 된다.
또한, 상기 제어부(140)를 통해 상기 제1미러(231)와 상기 제2미러(233)의 위치를 조절하여 상기 레이저 빔의 조사 위치를 X축, Y축 방향으로 변경함에 따라 상기 캐리어 테입(110)의 지정된 위치에 상기 홀(111)을 형성할 수 있게 된다.
다만, 상기 스캐너부(230)는 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 연동되도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절하거나, 상기 캐리어 테입(110)의 지정된 위치에 상기 레이저 빔이 조사되도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절할 수 있다면 다양한 구성이 사용될 수 있음은 물론이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 상기 스캐너부(230)는 상기 광축 이동부(220)와 상기 포커싱 렌즈(240) 사이에 구비될 수 있다.
상기 광축 구동부에 의해 상기 광축 이동부(220)가 회전함에 따라 상기 캐리어 테입(110)의 상기 홀(111)을 형성시킬 수 있는 레이저 빔이 조사될 수 있다. 상기 광축 이동부(220)에서 조사된 레이저 빔은 상기 스캐너부(230)를 통과함에 따라 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 연동되도록 조사 위치가 변경될 수 있으며, 상기 스캐너부(230)를 통과한 레이저 빔은 상기 포커싱 렌즈(240)를 통해 포커싱 되면서 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 형성하게 된다.
도 4 내지 도 7은 상기 캐리어 테입(110)의 표면에 상기 기준광축(RA)에 대하여 반경이 R1인 홀을 드릴링한 것을 보여준다. 상기 광축 구동부에 의해 상기 광축 이동부(220)가 회전하면서 상기 스캐너부(230)로 조사 위치가 조정된 이후, 상기 포커싱 렌즈(240)로 레이저 빔이 포커싱되면, R1의 반경으로 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 가변 초점부(210)에서 레이저 빔의 초점 거리를 변경하면, 상기 캐리어 테입(110)에 형성되는 상기 홀(111)의 사이즈를 변경할 수 있다.
상기 가변 초점부(210)에서 레이저 빔의 초점 거리가 후퇴하거나 전진하게 되면, 이에 따라 상기 포커싱 렌즈(240)를 통과하는 레이저 빔의 초점거리가 변경될 수 있으며, 이를 통해 상기 캐리어 테입(110)에 형성되는 상기 홀(111)의 사이즈를 변경할 수 있다.
이와 함께, 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제어부(140)는 상기 가변 초점부(210)에서 레이저 빔의 초점거리를 변경하여 상기 레이저 빔의 조사 위치를 변경할 수도 있다.
상기 제어부(140)는 상기 위치 인식부(130)에 감지된 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 따라 상기 가변 초점부(210)에서 상기 레이저 빔의 초점 거리를 변경할 수 있으며, 이를 통해 조사되는 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 연동되도록 할 수도 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 제어부(140)는 상기 제1웨지윈도우(221)와 상기 제2웨지윈도우(222)의 이격 거리를 조절하면서 상기 레이저 빔의 상기 기준광축(RA)에 대하여 이동되는 거리를 조절하여, 상기 캐리어 테입(110)의 표면에 형성되는 홀의 크기를 변경할 수 있다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 상기 포커싱 렌즈(240)는 복수 개의 포커싱 렌즈를 포함할 수도 있다. 상기 포커싱 렌즈(240)는 제1포커싱 렌즈(241)와 제2포커싱 렌즈(242)를 포함할 수 있다.
상기 제1포커싱 렌즈(241)와 상기 제2포커싱 렌즈(242)는 다양한 종류의 포커싱 렌즈가 사용될 수 있는 것으로, 상기 제1포커싱 렌즈(241)와 상기 제2포커싱 렌즈(242)의 종류에 따라 상기 스캐너부(230)를 통과하는 레이저 빔의 초점 거리가 변경될 수도 있다.
또한, 상기 제2포커싱 렌즈(242)는 렌즈 구동부를 통해 이동될 수도 있으며, 상기 렌즈 구동부를 통해 상기 제2포커싱 렌즈(242)를 이동시킴에 따라 상기 스캐너부(230)를 통과하는 레이저 빔의 초점 거리를 변경할 수도 있다.
상술한 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치는 다음과 같이 작동될 수 있다.
상기 제어부(140)는 상기 위치 인식부(130)를 통해 상기 작업부(120)에 배치되는 상기 캐리어 테입(110)의 위치와 이동 속도에 대한 정보를 수신받을 수 있게 된다. 상기 제어부(140)는 상기 위치 인식부(130)에서 수신받은 신호를 상기 레이저 제어부(141)에 전달하며, 상기 레이저 제어부(141)는 상기 신호를 바탕으로 상기 레이저 드릴링 모듈(200)에서 조사되는 레이저 빔의 위치를 조절하게 된다.
상기 레이저 제어부(141) 및 상기 제어부(140)는 상기 광축 구동부를 통해 상기 광축 이동부(220)를 회전 시킴에 따라 상기 캐리어 테입(110)에 상기 홀(111)을 형성시킬 수 있는 원형 형상의 레이저 빔을 조사하게 된다. 이때, 상기 광축 이동부(220)를 통과한 레이저 빔은 상기 스캐너부(230)로 이동된다.
상기 스캐너부(230)에서는, 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도를 계산하여, 상기 레이저 빔이 조사되는 위치를 조절하게 된다. 구체적으로, 상기 레이저 제어부(141) 및 상기 제어부(140)는 상기 스캐너부(230)에 구비되는 모터(상기 제1모터(232), 상기 제2모터(234))를 통해 미러(상기 제1미러(231), 상기 제2미러(233))의 위치를 조절함에 따라 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 연동되도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절하게 된다.
상기 스캐너부(230)에서 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 연동되도록 상기 레이저 빔의 조사 위치가 조절되면, 상기 포커싱 렌즈(240)를 통해 상기 레이저 빔을 포커싱하여 상기 캐리어 테입(110)의 표면에 레이저 빔을 조사하면서 상기 홀(111)을 형성하게 된다.
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치는 상기 캐리어 테입(110)의 이동 속도에 연동하여 상기 레이저 빔을 조사하는 것으로, 이를 통해 상기 캐리어 테입(110)에 균일한 상기 홀(111)을 형성시킬 수 있게 된다.
여기서, 상술한 상기 제어부(140)와 상기 레이저 제어부(141)는 하나의 장치에 구비될 수 있으며, 분리될 수도 있다. 또한, 상기 제어부(140)가 상기 레이저 제어부(141)의 역할도 함께 수행할 수도 있다.
상술한 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치는 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치는 레이저 드릴링을 통해 캐리어 테입의 홀을 가공함에 따라 캐리어 테입의 홀에 버(bur)가 발생하거나 캐리어 테입에 찢김이 발생하는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치는 캐리어 테입의 위치와 이동 속도를 감지할 수 있는 위치 인식부와, 위치 인식부에서 감지한 캐리어 테입의 이동 속도에 따라 레이저 빔이 캐리어 테입을 따라가도록 레이저 빔의 조사 위치를 조절할 수 있는 제어부를 사용함에 따라 캐리어 테입의 홀이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
이상에서와 같이 도면과 명세서에서 예시적인 실시예들이 개시되었다. 본 명세서에서 특정한 용어를 사용하여 실시예들을 설명되었으나, 이는 단지 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 개시의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
110...캐리어 테입 111...홀
120...작업부 121...가이드 레일
122...와인더 130...위치 인식부
140...제어부 141...레이저 제어부
200...레이저 드릴링 모듈 210...가변 초점부
220...광축 이동부 221...제1웨지윈도우
222...제2웨지윈도우 230...스캐너부
231...제1미러 232...제2미러
233...제1모터 234...제2모터
240...포커싱 렌즈 241...제1포커싱 렌즈
242...제2포커싱 렌즈

Claims (8)

  1. 캐리어 테입의 홀을 가공하는 가공장치에 있어서,
    띠 형상으로 이루어진 캐리어 테입을 지지하면서 상기 캐리어 테입을 이동시키는 작업부;
    상기 작업부의 상부에 배치되며, 상기 작업부에 올려진 상기 캐리어 테입에 레이저 빔을 조사하는 레이저 드릴링 모듈;
    상기 작업부에 올려진 상기 캐리어 테입의 위치와 이동 속도를 감지하는 위치 인식부;
    상기 레이저 드릴링 모듈을 통해 조사되는 상기 레이저 빔의 위치를 조절할 수 있는 제어부;를 포함하며,
    상기 제어부는, 상기 위치 인식부에서 감지한 상기 캐리어 테입의 이동 속도에 따라 상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입을 따라가도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링을 이용하고,
    상기 제어부는 상기 레이저 드릴링 모듈을 제어하는 레이저 제어부를 포함하고,
    상기 레이저 제어부는,
    상기 위치 인식부가 감지한 상기 캐리어 테입의 이동 속도에 상기 레이저 빔을 동기화하고, 상기 동기화된 레이저빔이 실시간으로 상기 캐리어 테입의 이동 속도에 연동되어 따라가면서 조사되는 것을 포함하는, 캐리어 테입 홀 가공장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 레이저 드릴링 모듈은,
    레이저 빔의 초점 거리를 가변시키는 가변 초점부;
    상기 가변 초점부를 통과한 레이저 빔이 입사할 때의 광축을 기준광축이라 할 때, 상기 기준광축에 대하여 소정의 거리만큼 이동되어 상기 레이저 빔을 출사시키는 광축 이동부;
    상기 광축 이동부를 회전시키는 광축 구동부;를 포함하며,
    상기 광축 구동부에 의해 상기 광축 이동부를 회전시키면서 상기 캐리어 테입의 표면을 드릴링 하여 홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 광축 이동부는, 입사하는 레이저 빔을 굴절시키는 제1웨지윈도우와,
    상기 제1웨지윈도우와 이격되어 상기 제1웨지윈도우에 대하여 거꾸로 배치되는 제2웨지윈도우를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1웨지윈도우와 상기 제2웨지윈도우 사이의 이격 거리를 조절하면서 상기 레이저 빔의 상기 기준광축에 대하여 이동되는 거리를 조절하여,
    상기 캐리어 테입의 표면에 형성되는 홀의 크기를 변경할 수 있는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치.
  5. 제1항에 있어서,
    레이저 빔을 반사시키는 미러가 포함되는 스캐너부를 더 포함하며,
    상기 제어부는, 상기 위치 인식부에서 감지한 상기 캐리어 테입의 이동 속도에 따라 상기 미러의 위치를 조절하여,
    상기 레이저 빔이 상기 캐리어 테입을 따라가도록 상기 레이저 빔의 조사 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 스캐너부는,
    레이저 빔을 반사시키는 제1미러; 상기 제1미러를 회전시키는 제1모터; 레이저 빔을 반사시키는 제2미러; 상기 제2미러를 회전시키는 제2모터;를 포함하며,
    상기 제어부는, 상기 위치 인식부에서 감지한 상기 캐리어 테입의 이동 속도에 따라 상기 제1모터와 상기 제2모터를 회전시켜 상기 제1미러와 상기 제2미러의 위치를 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 광축 이동부를 통과한 레이저 빔을 포커싱하는 포커싱 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 가변 초점부에서 레이저 빔의 초점거리를 변경하여 상기 레이저 빔의 조사 위치를 변경하는 것을 특징으로 하는 레이저 드릴링을 이용하는 캐리어 테입 홀 가공장치.
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