KR102365981B1 - 고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치에서의 시편 내부온도 평가를 위한 탐침 - Google Patents

고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치에서의 시편 내부온도 평가를 위한 탐침 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치에서의 시편 내부온도 평가를 위한 탐침 모듈에 있어서, 상기 탐침 모듈은 상기 진공 챔버 내에 배치된 회전형 이송 장치를 이루는 시편 탐침 아암 상에 분리 가능하게 결합되는 시편 탐침자(110); 상기 시편 탐침자(110)의 내부를 따라 배치되는 열전대 고정통(120); 상기 열전대 고정통(120)을 통해 매설되는 열전대(130); 상기 시편 탐침 아암(10)에 형성된 열전대 연결 통로(20) 상에 배치되어져 열전대(130)와 시편 사이의 적절한 장력을 조절하는 기능을 하는 장력조절용 스크류(140); 상기 시편 탐침자(110)의 개방된 전단 상에 분리 가능하게 결합되는 시편 연결 어댑터(160); 및 상기 시편 연결 어댑터(160)의 전단에 결합되는 시편(170);을 포함하고, 상기 시편 탐침 아암에 결합된 시편 탐침자(110)의 외주면 상에는 냉각수 유출입을 위한 냉각수 입출구가 형성되고, 상기 시편의 내부온도 측정 후에 손상된 열전대를 교체하는 경우에, 상기 진공 챔버 내부의 시편 탐침 아암에 결합된 탐침 모듈의 분리 및 냉각수의 배수 과정을 생략한 상태에서 상기 시편 연결 어댑터(160) 만을 분리함으로써 손상된 열전대 및 시편의 교체를 가능하게 하는 것을 특징으로 한다.

Description

고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치에서의 시편 내부온도 평가를 위한 탐침{Probe for Specimen Internal Temperature Evaluation in High Enthalpy Arc Heated Plasma Wind Tunnel}
본 발명은 공력가열 아크 플라즈마 풍동장치에서 열보호시스템(TPS, Thermal Protection System) 물질에 대한 특성 평가 시에 고온 상태인 시편의 내부온도 측정을 위한 탐침 구조에 관한 것이다.
지구 궤도로 재진입하는 우주비행체는 주변 기체분자와의 충돌로 인하여 비행체 표면 온도가 2500 K 이상 증가한다. 이러한 공력가열환경으로부터 우주 비행체를 보호하기 위해 우주 비행체 내부에는 TPS(Thermal Protection System)가 적용되어 있다. TPS의 내삭마 평가는 실제 극한환경에서 성능시험이 필요하며 경제적인 측면에서 지상 성능시험이 필수적이다.
현재 전북대학교 고온플라즈마응용연구센터는 초고온 및 초음속 유동을 모사할 수 있는 플라즈마 아크 가열 풍동 시설이 구축되어 있다.
아크가열 플라스마 풍동을 통한 시편평가 시에 탐침에 설치된 TPS 물질의 내부온도는 1000K ~ 2500K에 도달하게 된다. 이러한 고온 영역에서 시편의 내부온도를 측정하는 경우에 열전대의 손상이 발생한다. 특히, 시편 내부의 열전대 교체 시에는 시편을 지지하고 있는 탐침을 탐침 암으로부터 분리해야 하며, 탐침의 분리와 동시에 상기 탐침을 통해 유동하는 냉각수의 배수가 발생한다.
한편, 전로의 서브랜스 본체 노즐부의 파열을 방지하고 측온 및 샘플채취시 노내 용융물의 탕면도 측정할 수 있도록 개선된 다기능 전로 서브랜스용 프로브 고정장치와 관련된 기술을 제시하는 종래의 문헌으로는 등록특허문헌 제10-0418983호를 참조할 수 있다. 상기 등록특허는 프로브가 체결되는 노즐부를 보강하여 파열을 미연에 방지함으로써 냉각수의 누수에 따른 폭발사고를 예방함과 동시에 하나의 프로브로 온도측정, 샘플채취는 물론 용강의 탕면측정을 가능하게 하는 내용을 개시한다.
(특허문헌 1) KR10-0418983 B
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하고자 하는 것으로서, 공력가열 아크 플라즈마 풍동장치에서 TPS 물질에 대한 특성 평가 시에 고온 상태인 시편의 내부온도 측정을 위하여 진공 챔버 내부의 시편 탐침 아암(Arm)에 결합된 탐침(probe)의 분리 및 냉각수의 배수 과정을 요함이 없이 손쉽게 손상된 열전대 및 시편 교체를 가능하게 하는 탐침 구조를 제공한다.
또한, 본 발명에 탐침 구조는 시편과 열전대 간의 접촉을 일정하게 유지시켜 평가 시 신뢰성을 향상할 수 있게 한다.
또한, 본 발명에 따른 탐침 구조는 시편과 열전대 간의 접촉 장력(tension)을 조절하는 조절 장치를 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치에서의 시편 내부온도 평가를 위한 탐침 모듈에 있어서, 상기 플라즈마 풍동장치는 아크 가열 히터, 가스 공급부, 디퓨져, 열 교환기, 냉각수 공급기, 직류 전원 공급기, 진공 펌프와 연결된 진공 챔버를 포함하며, 상기 탐침 모듈은 상기 진공 챔버 내에 배치된 회전형 이송 장치를 이루는 시편 탐침 아암 상에 분리 가능하게 결합되는 시편 탐침자(110); 상기 시편 탐침자(110)의 내부를 따라 배치되는 열전대 고정통(120); 상기 열전대 고정통(120)을 통해 매설되는 열전대(130); 상기 시편 탐침 아암(10)에 형성된 열전대 연결 통로(20) 상에 배치되어져 열전대(130)와 시편 사이의 적절한 장력을 조절하는 기능을 하는 장력조절용 스크류(140); 상기 시편 탐침자(110)의 개방된 전단 상에 분리 가능하게 결합되는 시편 연결 어댑터(160); 및 상기 시편 연결 어댑터(160)의 전단에 결합되는 시편(170);을 포함하고, 상기 시편 탐침 아암에 결합된 시편 탐침자(110)의 외주면 상에는 냉각수 유출입을 위한 냉각수 입출구가 형성되고, 상기 시편의 내부온도 측정 후에 손상된 열전대를 교체하는 경우에, 상기 진공 챔버 내부의 시편 탐침 아암에 결합된 탐침 모듈의 분리 및 냉각수의 배수 과정을 생략한 상태에서 상기 시편 연결 어댑터(160) 만을 분리함으로써 손상된 열전대 및 시편의 교체를 가능하게 하는 것을 특징으로 한다.
상기 시편 탐침자(110) 상에서 상기 열전대 고정통(120) 상에 배치되어져 열전대와 시편의 접촉 범위를 일정하게 유지하기 위한 장력을 제공하는 탄성체(150);을 더 포함한다.
상기 열전대 고정통(120)은 상기 시편 탐침자(110)에 형성된 중심관통홀(111)에 배치되는 제1 몸통(121) 및 상기 시편 탐침자(110) 상에서 탄성체(150)을 통해 상기 제1 몸통(121)과 이격 배치되는 제2 몸통(125)을 포함한다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 본 발명에 따른 고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치에서의 시편 내부온도 평가를 위한 탐침은 공력가열 아크 플라즈마 풍동장치에서 TPS 물질에 대한 특성 평가 시에 고온 상태인 시편의 내부온도 측정을 위하여 진공 챔버 내부의 아암에 결합된 탐침의 분리 및 냉각수의 배수 과정을 요함이 없이 손쉽게 손상된 열전대 및 시편 교체를 가능하게 한다.
도 1은 고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치를 이루는 진공 챔버 내부에 설치된 회전형 시편 이송장치 중에서 시편 탐침 아암(Arm) 및 상기 시편 탐침 아암에 결합된 탐침을 보인다.
도 2는 시편 탐침 아암에 결합된 탐침의 전체적인 구조를 보인다.
도 3은 시편 탐침자, 열전대 고정통, 및 열전대 고정통의 양단에 배치되는 탄성체 간의 배치 관계를 보인다.
도 4는 시편 탐침자, 열전대 고정통, 열전대 고정통의 일측에 배치된 탄성체 및 장력조절용 스크류 간의 배치 관계를 보인다.
도 5는 아크가열 플라즈마 풍동을 이용한 삭마 실험 시 사용되는 전형적인 구조의 시편이다.
도 6은 본 발명에 따른 시편 탐침을 제작한 상태에서 시편의 내부온도를 측정한 데이터를 보인다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면 상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
본 발명에 따라 시편 내부온도 평가를 위한 탐침이 적용되는 고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치의 일 실시예로서는 0.4 MW 아크가열 플라즈마 풍동 시스템을 들 수 있다. 0.4 MW 아크가열 플라즈마 풍동의 구성은 분절형 아크 가열 히터를 중심으로 하여 가스 공급부, 디퓨져, 열 교환기, 냉각수 공급기, 직류 전원 공급기, 진공 펌프와 연결된 진공 챔버로 구성된다.
한편, 도 1은 고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치를 이루는 진공 챔버 내부에 설치된 회전형 시편 이송장치 중에서 시편 탐침 아암(Arm) 및 시편 탐침 아암에 결합된 탐침 모듈을 보인다. 회전형 시편 이송장치는 시편 탐침 아암 외에 복수개의 유동진단용 접촉식 탐침 암(Arm)을 포함할 수 있다. 시편 탐침 아암(10)은 회전형 시편 이송장치의 회전축(1)을 중심으로 복수개가 방사상으로 배치되는 구조일 수 있다.
시편 탐침 아암(10)과 탐침 모듈(100)은 냉각수 유로가 연통되도록 결합되며, 상기 상태에서 시편 탐침 아암에 형성된 냉각수 유출입 관로를 통해 유동하는 냉각수를 탐침 모듈 내부로 유동하게 한다. 일예로서는, 열유속 2~11 MW/m2의 극한환경으로부터 시편 탐침을 보호하기 위해 내부 냉각수는 18 lpm의 유속을 유지한다.
도 2는 시편 탐침 아암에 결합된 탐침 모듈의 내부 구조를 보인다.
탐침 모듈(100)은 시편 탐침 아암(10) 상에 분리 가능하게 결합되는 시편 탐침자(110), 시편 탐침자(110)의 내부 상에 축 방향을 따라 배치되는 열전대 고정통(120), 시편 탐침 아암(10)에 형성된 열전대 연결 통로(20)를 따라 삽입되어져 상기 열전대 고정통(120)을 통해 매설되는 열전대(130), 열전대 연결 통로(20) 상에 배치되어져 열전대(130)와 시편 사이의 적절한 장력을 조절하는 기능을 하는 장력조절용 스크류(140), 시편 탐침자(110) 상에서 열전대 고정통(120) 상에 배치되어져 열전대(130)와 시편(170)의 접촉을 일정하게 유지하기 위한 장력을 제공하는 탄성체(150), 시편 탐침자(110)의 개방된 전단 상에 분리 가능하게 결합되는 시편 연결 어댑터(160) 및 시편 연결 어댑터(160)의 전단에 결합되는 시편(170)을 포함한다.
상기 열전대 고정통(120)은 열전대(130)를 고정하는 역할을 한다. 특히, 시편(170)의 내부 구멍과 열전대(130)는 같은 간격을 유지하게 되어 있다.
탄성체(150)은 열전대와 시편의 접촉을 일정하게 유지하기 위한 장력을 제공한다.
시편 연결 어댑터(160)는 시편과 시편 탐침자(110) 간을 연결할 수 있게 하며 탄소복합재로 제작된다.
시편 탐침 아암(10)은 탐침 모듈(100)을 진공 챔버 내부의 긴 아암 구조체 상에 연결할 수 있게 하며 냉각수 공급 및 평가 시에 시편을 플라즈마에 노출되게 한다.
본 발명은 시편 탐침자(110) 내부에 결합된 열전대의 교체를 용이하게 하는 구조를 제공한다.
특히, 열전대 고정통(120)과 열전대는 시편 탐침 아암 상에서 탐침을 제거하지 않은 상태에서 설치 및 제거를 가능하게 한 것을 특징으로 한다.
또한, 시편 탐침자(110) 내부에서 열전대 고정통(120)을 미세하게 조절하는 경우에, 상기 열전대 고정통(120)에 연결된 장력조절용 스크류(140)를 조절하게 함으로써 결과적으로 시편과 열전대 간의 적정 장력을 작용하게 한다.
도 3은 시편 탐침자(110), 열전대 고정통(120), 및 고정용 몸통의 양단에 배치되는 탄성체(150) 간의 배치관계를 보인다.
시편 탐침자(110)는 전체적으로는 축중심을 따라 중심관통홀(111)이 형성된 중공 원통 형상의 구조체이며, 외측면 상에는 냉각수의 유출입을 가능하게 하는 냉각수 유입구(112)와 냉각수 출수구(113)가 형성된다. 냉각수 유입구(112)와 냉각수 출수구(113)는 시편 탐침 아암(10)의 내부를 통해 유동하는 냉각수의 입출구 기능을 하며, 시편 탐침자(110)의 축방향을 따라 연통되는 상태를 갖는다.
열전대 고정통(120)은 일 실시예로서 시편 탐침자(110)의 중앙부 상에서 중심관통홀(111)에 배치되는 제1 몸통(121) 및 시편 탐침자(110) 상에서 탄성체(150)을 통해 상기 제1 몸통(121)과 이격 배치되는 제2 몸통(125)을 포함한다. 즉, 상기 열전대 고정통(120)은 탄성체(150)을 통해 2단으로 분리된 상태에서 장력을 조절하는 기능을 한다.
탄성체(150)는 제1 몸통(121)을 기준으로 하여 상기 제1 몸통(121)의 전단 상에 배치되는 제1 탄성체(151) 및 제1 몸통(121)과 제2 몸통(125) 간에 배치되는 제2 탄성체(156)을 포함한다. 탄성체(150)는 코일 형상을 갖는 것으로서 중심관통홀(111) 상에서 축방향을 따른 신축이 가능한 상태로 배치된다.
한편, 열전대 고정통(120)의 다른 실시예로서는 분리되지 않은 하나의 일체화된 구조체를 제공하는 것일 수 있는데, 이 경우에는 시편(170)이 결합되는 열전대 고정통(120)의 전단부 상에만 탄성체(150)가 배치되는 것일 수 있다.
도 4는 시편 탐침자(110), 열전대 고정통(120), 탄성체(150) 및 장력조절용 스크류(140) 간의 배치관계를 보인다
장력조절용 스크류(140)는 중공 원통 형상을 갖는 스크류 바디(141), 스크류 바디(141)의 중앙부에 배치된 스크류 중심축(142), 스크류 중심축(142)을 기준으로 양측으로 형성되어져 스크류 중심축(142)의 외주면과 스크류 바디(141)의 내벽면을 연결하는 구조체인 분리벽(143), 및 스크류 중심축(142)의 일측 끝단에 홈 형성되는 위치 조절홈(144)을 포함한다.
도 2에서와 같이, 시편 탐침자(110)의 내부에 이동 가능하게 결합된 열전대 고정통(120)은 전후방 상에 각각 제1 탄성체(151)와 제2 탄성체(156)가 배치됨으로써 탄성체(150)에 의해 전후방이 둘러싸인 구조를 갖는다. 상기와 같은 상태에서,제2 탄성체(156)에 접한 상태의 장력조절용 스크류(140)를 위치 조절홈(144)에 결합된 회전 도구를 사용하여 미세하게 돌리는 과정을 통해서, 제2 탄성체(156)에 가해지는 압축력을 조절한다. 이를 통해, 제2 탄성체(156), 열전대 고정통(120) 및 제1 탄성체(151)로 이어지는 연결 메커니즘을 통해 열전대 고정통(120)을 시편(170) 방향으로 미세하게 이동시킬 수 있다.
상기 장력조절용 스크류(140)를 미세하게 돌리는 작동 과정은 마이크로미터의 손잡이 부분과 유사한 방식일 수 있다. 마이크로미터의 눈금 손잡이(Ratchet stopt)를 일정하게 움직이면 spindle과 Anvil에 측정물체가 마주보며 접촉을 하게 되고 더이상 측정체 방향으로 spindle이 움직이지 않는다는 원리와 유사하게 작동한다.
열전대 고정통(120)은 장력조절용 스크류(140) 조절에 의하여 미세하게 이동하면서 열전대 고정통(120)의 내부면 상에 결합된 열전대(130)를 시편(170) 내부에 완전히 접촉하도록 한다. 즉, 시편 탐침자(110)의 전방 일측 개방구 상에 시편 연결 어댑터(160)를 통해 시편(170)이 결합된 상태에서, 장력조절용 스크류(140)를 회전 구동하여 열전대 고정통(120)의 움직임이 거의 없을 때까지 돌려서 열전대(130)와 시편(170) 간의 접촉을 최대화할 수 있다. 장력조절용 스크류(140)는 시편 탐침자(110)의 후방 개구부 상에 형성된 내부 나사산을 통해 미세하게 움직일 수 있다. 실제로 장력조절용 스크류(140)를 통해 움직이는 이동 거리는 1~5 mm 정도로 설계 가능하다.
도 5는 아크가열 플라즈마 풍동을 이용한 삭마 실험 시 사용되는 전형적인 구조의 시편이다.
본 발명에 따른 시편의 내부구조를 보면, 탐침 내부를 통해 설치된 2개의 열전대(130)를 시편(170) 내부 상으로 삽입 배치한 상태에서 시편 끝단의 표면에서 각각 5mm, 10mm 부분의 내부온도를 측정할 수 있는 구조를 제공한다. 구체적으로는, 전체적으로 원통 형상인 시편(170) 몸체의 일측에 홈 형성된 어댑터 체결구(171)의 내면에서 시편 몸체의 타측을 향하여 소정 거리 연장된 열전대 장착홈이 형성되어진다. 열전대 장착홈은 시편 끝단에서의 거리가 상이한 한쌍이 배치되는 것일 수 있다. 구체적으로, 열전대 장착홈은 시편 끝단에서 제1 거리만큼 이격된 제1 열전대 장착홈 및 시편 끝단에서 상기 제1 거리보다 더 연장된 제2 거리만큼 이격된 제2 열전대 장착홈을 포함하는 것일 수 있다. 시편의 재질과 시편의 형상에 따라 열전대 장착홈 형상은 변경될 수 있다. 상기 시편 몸체의 타측 외면 가장자리는 소정의 값으로 라운딩처리되는 라운드부를 갖는다.
도 6은 본 발명에 따른 시편 탐침을 제작한 상태에서 시편의 내부온도를 측정한 데이터를 보인다.
구체적인 테스트 환경을 보면, 3.6 MW/㎡ 의 플라즈마 열유속에서 60초 동안 노출되었으며, 두 개의 열전대에 성공적으로 기록이 되었다.
입력 전류(I)는 70A, 질량유량(m)은 4g/s , 열유속(q)은 3.63 MW/㎡, 지름(d)은 220 mm, 노출 시간(dt)은 60s 로 설정한다.
가로축으로는 시간축을 보이고 세로축으로는 온도축을 보인다. 초기 100여초 동안은 25.6℃ 스탠바이(stanby) 상태를 유지하는 제1 상태, 상기 제1 상태 이후 78초 간의 진공 조절(vacuum control) 상태를 유지하는 제2 상태, 상기 제2 상태의 종료 지점에서 179.2℃ 의 상태에서 시편을 장입한 후 60초 간의 플라즈마 상태를 유지한 상태에서 최고 온도값으로 상승하는 제3 상태, 및 제3 상태 이후 플라즈마 오프를 유지한 상태에서 온도를 계속적으로 낮추는 상태인 제4 상태를 포함한다.
상기 제2 상태 하에서는 서서히 진공챔버 내부의 온도를 상승하는 과정을 통해 179.2℃ 정도의 온도로 상승시킨 상태에서 시편을 인서트한다.
상기 제3 상태 하에서는 플라즈마 상태를 유지한 상태에서 장입된 시편에 대한 온도 측정을 실시한다. 측정결과 시편 표면에서 5mm 이격된 열전대를 통한 측정 온도는 1171℃의 피크 포인트를 확인하고, 시편 표면에서 10mm 이격된 열전대를 통한 측정 온도는 1171℃ 보다는 낮은 피크 포인트를 확인할 수 있다.
상기 제4 상태 하에서는 7분 9초 가량 플라즈마 오프 상태를 갖는다.
본 발명에 따른 본 발명에 따른 고엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치에서의 시편 내부온도 평가를 위한 탐침 모듈은 공력가열 아크 플라즈마 풍동장치에서 TPS 물질에 대한 특성 평가 시에 고온 상태인 시편의 내부온도 측정을 위하여 챔버 내부의 아암에 결합된 탐침의 분리 및 냉각수의 배수 과정을 요함이 없이 손쉽게 손상된 열전대 및 시편 교체를 가능하게 한다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 : 시편 탐침 아암
100 : 탐침 모듈
110 : 시편 탐침자
120 : 열전대 고정통
130 : 열전대
140 : 장력조절용 스크류
150 : 탄성체
160 : 시편 연결 어댑터
170 : 시편

Claims (3)

  1. 엔탈피 아크가열 플라즈마 풍동장치에 위치한 시편의 내부온도 평가를 위한 탐침 모듈에 있어서, 상기 플라즈마 풍동장치는 아크 가열 히터, 가스 공급부, 디퓨져, 열 교환기, 냉각수 공급기, 직류 전원 공급기, 진공 펌프와 연결된 진공 챔버를 포함하며,
    상기 탐침 모듈은,
    상기 진공 챔버 내에 배치된 회전형 이송 장치를 이루는 시편 탐침 아암 상에 분리 가능하게 결합되는 시편 탐침자(110);
    상기 시편 탐침자(110)의 내부를 따라 배치되는 열전대 고정통(120);
    상기 열전대 고정통(120)을 통해 매설되는 열전대(130);
    상기 시편 탐침 아암(10)에 형성된 열전대 연결 통로(20) 상에 배치되어져 열전대(130)와 시편 사이의 적절한 장력을 조절하는 기능을 하는 장력조절용 스크류(140);
    상기 시편 탐침자(110)의 개방된 전단 상에 분리 가능하게 결합되는 시편 연결 어댑터(160);
    상기 시편 연결 어댑터(160)의 전단에 결합되는 시편(170); 및
    상기 시편 탐침자(110) 상에서 상기 열전대 고정통(120) 상에 배치되어져 열전대와 시편의 접촉 범위를 일정하게 유지하기 위한 장력을 제공하는 탄성체(150);를 포함하고,
    상기 시편 탐침 아암에 결합된 시편 탐침자(110)의 외주면 상에는 냉각수 유출입을 위한 냉각수 입출구가 형성되고,
    상기 시편의 내부온도 측정 후에 손상된 열전대를 교체하는 경우에, 상기 진공 챔버 내부의 시편 탐침 아암에 결합된 탐침 모듈의 분리 및 냉각수의 배수 과정을 생략한 상태에서 상기 시편 연결 어댑터(160) 만을 분리함으로써 손상된 열전대 및 시편의 교체를 가능하게 하는 것을 특징으로 하는,
    탐침 모듈.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 열전대 고정통(120)은 상기 시편 탐침자(110)에 형성된 중심관통홀(111)에 배치되는 제1 몸통(121) 및 상기 시편 탐침자(110) 상에서 탄성체(150)을 통해 상기 제1 몸통(121)과 이격 배치되는 제2 몸통(125)을 포함하는, 탐침 모듈.
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