KR102363228B1 - 가스실린더의 가스자동공급모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스켓공급부재가 전면에 배치 설치되어 가스켓의 유무를 작업자가 육안으로 즉시 확인 가능하고, 커넥터부재가 배면에 배치되어 측면으로부터 유지 보수 공간을 확보한 가스실린더의 가스자동공급모듈에 관한 것이다.

Description

가스실린더의 가스자동공급모듈{gas auto supply module of gas cylinder}

본 발명은 가스켓공급부재가 전면에 배치 설치되어 가스켓의 유무를 작업자가 육안으로 즉시 확인 가능하고, 커넥터부재가 배면에 배치되어 측면으로부터 유지 보수 공간을 확보한 가스실린더의 가스자동공급모듈에 관한 것이다.

일반적으로 반도체장치 제조공정에서는 공정 특성에 따른 가연성 또는 독성이 강한 가스가 많이 사용되고 있으며, 이러한 가스는 통상 가스실린더에 고압 상태로 담겨져 잔존하는 가스 잔량에 따라 교체하여 사용하도록 되어 있다.

즉, 커넥터가 가스실린더의 출구포트에 체결되면서 커넥터의 내부에 배치된 배관과 출구포트가 맞닿아 연결되면 밸브를 열어 가스실린더의 가스를 출구포트 및 배관을 통해 반도체장치의 제조공정으로 공급하게 된다.

종래 가스 캐비닛 탑재형 모듈로서, 특허문헌1(한국공개번호 제10-2019-0014463호)에 공지된 것이 개시되어 있다.

특허문헌1에 있어서, 캐비닛의 가로 × 세로가 800 × 590(mm)인 구형 타입의 가스통 자동 개폐장치에는 공간이 좁아 가스통(60)을 자동으로 상승시키는 리프트의 설치가 불가능하여 제2얼라인수단(130)을 적용하도록 설계되어 있다.

캐비닛의 좌측과 우측에 각각 가스통 자동 개폐장치가 설치되는 구조라서, 한 개는 가스 공급 중이고 다른 한 개는 교체해서 대기중인 것으로 해서 연속 가스 공급을 행한다.

제2얼라인수단(30)은 도 44에 나타낸 바와 같이 메인 플레이트(11)의 저면에 고정되고 2개 이상의 얼라인 핀(31a)을 갖는 얼라이너(31)와, 가스통(60)의 밸브(63)에 착탈 가능하게 고정되며 얼라인 핀(131a)이 끼워지는 위치결정공(32a)이 형성된 얼라인 블럭(32)과, 얼라인 블럭(32)을 밸브(63)에 체결부재(도시는 생략함)로 고정하는 체결판(33)으로 구성되어 있다.

따라서 캐비닛의 내부에 가스통(60)을 위치시킨 상태에서 메인 플레이트(11)가 하강하면 작업자가 얼라인 핀(31a)의 위치를 육안으로 식별하면서 가스통(60)의 위치를 미세하게 조절하여 얼라인 핀(31a)이 얼라인 블럭(132)의 위치결정공(32a)으로 삽입되도록 함으로써, 가스통(60)의 위치가 얼라인된다.

메인 플레이트(11)는 도 43에 도시한 바와 같이 메인 플레이트(11)의 좌우측에 배치되는 실린더와 승강블록 및 도르래를 이용해서, 실린더의 피스톤이 올라가면 메인 플레이트(11)가 내려오고 피스톤이 내려가면 올라가는 구조이다.

이러한 메인 플레이트(11)의 승강구조는 메일 플레이트(11)의 일측면 외측에 설치되어 있기 때문에, 일정한 메일 플레이트(11)의 사이즈에 대해 옆으로 더 튀어나와 있고 특히 한 쌍으로 탑재되는 관계로 캐비닛의 가로 길이(800mm)에 맞추기가 어렵다.

또한, 도 43과 같이 메인 플레이트(11)의 승강은 가이드 블록을 타고 오르고 내리기 때문에 상하 이외에는 움직임에 제한을 받아, 얼라인을 위해 가스통(60)의 위치를 미세하게 조절해야 하는 번거로움이 있다.

또한, 실린더, 도르래, 가이드 블록 등 메인 플레이트를 승강시키기 위한 부품이 매우 많다.

한편, 특허문헌2(한국등록특허 제10-2112765호)의 가스 캐비닛 탑재형 모듈이 도 45와 같은 배치로 공지되어 있다.

특허문헌 2의 가스 캐비닛 탑재형 모듈은 도 45에 도시한 바와 같이, 엔드캡부(60)와 커넥터부(70)가 후면에 배치되고, 가스켓부(81)(82)가 일 측면에 배치되어 있다.

가스켓부(81)(82)는 가스켓 공급부(81)와 가스켓 전달부(80)로 구성되어 있다.

가스켓 공급부(80)는 커넥터부(70)의 옆에 배치되고, 가스켓 전달부(82)는 가스켓 공급부(81)에 대해 전방에 배치되어 있다.

이러한 가스켓 공급부(81)가 일측 후방에 배치됨으로써, 작업자가 가스켓의 공급량을 바로 육안으로 확인하기 힘들고(가스켓을 바로바로 채워있지 않을 경우 그만큼 작업속도가 느리게 되어 반도체 공정에 치명적이다) 가스켓 채울 때도 측 후방의 좁은 공간으로 손을 넣고 수작업으로 넣어야 하는 등 유지 보수 측면에서 바람직하지 않다.

다른 한편, 가스실린더의 미 투입상태에서 커넥터부를 막는 커넥터 플러그가 없기 때문에, 커넥터부 배관의 오염 및 가스 공급배관의 가스 잔여물이 외부로 퍼지는 현상을 막을 수 없다.

한편, 엔드캡부(60)와 커넥터부(70)는 나란히 고정되어 있기 때문에, 점유공간이 좀 더 크게 차지할 뿐만 아니라 회전 또는 전후 이송 시 동시에 움직여야 해서 불필요한 동력손실도 있다.

이러한 종래기술들의 출구포트는 중공 형상의 수나사에 맞춘 커넥터이기 때문에, 본 실시예에서와 같이 중실 형상의 수나사인 경우 종래의 커넥터로는 체결이 불가능하다.

한국공개번호 제10-2019-0014463호 한국등록특허 제10-2112765호

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 가스켓공급부재가 전면에 배치 설치되어 가스켓의 유무를 작업자가 육안으로 즉시 확인 가능하고, 커넥터부재가 배면에 배치되어 측면으로부터 유지 보수 공간을 확보한 가스실린더의 가스자동공급모듈을 제공함에 그 목적이 있다.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 청구항 1에 기재된 가스실린더의 가스자동공급모듈은, 가스실린더(1)의 출구포트(5)에 커넥터(510)가 체결/해제되는 커넥터부재(500)와, 커넥터(510)에 가스켓(G)을 투입/투출하는 가스켓투입/투출부재(700)와, 가스켓투입/투출부재(700)에 가스켓(G)을 공급하는 가스켓공급부재(800)와, 가스실린더(1)의 밸브(3)를 온/오프시키는 밸브셔터부재(900)를 포함하되, 커넥터부재(500)는 프레임(310)의 배면판(311)에 배치되고, 가스켓투입/투출부재(700)는 프레임(310)의 우측판(313)에 설치되고, 가스켓공급부재(800)는 가스켓투입/투출부재(700)의 전방인 프레임(310)의 전면(315) 우측에 설치되고, 밸브셔터부재(900)는 프레임(310)의 상판에 수직하게 설치되어 있다.

본 발명의 청구항 2에 기재된 가스실린더의 가스자동공급모듈에 있어서, 가스켓공급부재(800)는 전면 우측에 배치되는 가스켓공급부(810)와, 가스켓공급부(810)로부터 공급된 가스켓(G)을 차지(charge) 및 척킹하는 가스켓차지부(820)와 가스켓척킹부(830), 가스켓차지부(820)의 가스켓(G)을 가스켓척킹부(830)로 리프팅(업)시키는 제8액추에이터(840)를 포함하되, 가스켓공급부(810)는 상측엔 가스켓투입구(811)가 하측엔 가스켓배출구(812)가 형성되는 가스켓 저장통(813)을 포함하고, 가스켓 저장통(813)은 배면에 배치되는 ㄷ자 단면의 배면케이스(813a)와, 배면케이스(813a)의 전면에 설치되는 투명한 전면커버(813b)를 포함한다.

본 발명의 청구항 3에 기재된 가스실린더의 가스자동공급모듈에 있어서, 가스켓차지부(820)는 가스켓(G)의 하면 및 배면을 받치는 하면 및 배면 받침편(821)(822)을 갖는 가스켓차지판(823)과, 가스켓(G)의 전면을 받치는 가스켓용 블록(824)을 포함하고, 하면 받침편(821)은 가스켓(G)의 하면과 같은 궤적인 아래로 오목한 원호 형상이고, 배면 받침편(822)은 가스켓차지판(823)의 수직 중심 선상에서 돌출된 바 형상이다.

본 발명의 청구항 4에 기재된 가스실린더의 가스자동공급모듈에 있어서, 커넥터(510)에 커넥터플러그(610)가 체결/해제되는 커넥터플러그부재(600)를 더 포함하되, 커넥터플러그부재(600)와 가스켓투입/투출부재(700)는 서로 겹쳐 작동되게 프레임(310)의 우측판(313)에 설치되어 있다.

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

가스켓공급부재가 전면 우측에 배치됨으로써, 작업자가 육안으로 가스켓의 유무를 즉시 확인 가능하여 가스켓의 보충에 따른 유지보수 측면에서 매우 우수하다.

또한, 커넥터부재가 배면에 배치됨으로써, 좌우측으로 유지보수 공간을 확보한다.

또한, 커넥터플러그부재와 가스켓투입/투출부재가 우측판에 서로 겹쳐 작동되게 동시에 설치되어, 커넥터, 커넥터플러그, 가스켓 그립퍼가 같은 선상에서 동작 가능하고, 콤팩트화를 구현한다.

특히 가스켓투입/투출부재가 우측판에 회전 가능하게 구현시킴으로써, 커넥터플러그부재와의 겹침에도 각자의 동작 실현을 가능케 한다.

또한, 우측판에 커넥터플러그부재와 가스켓투입/투출부재가 배치 설치됨으로써, 작업자가 좌우에서 유지보수하기가 매우 쉽다.

도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 가스실린더의 가스자동공급장치를 도시한 외관 정면도.
도 2는 도 1의 가스자동공급모듈이 호이스트모듈에 매달린 저면 사시도.
도 3은 도 2의 호이스트모듈을 도시한 저면도.
도 4는 얼라인 지그 설치된 가스실린더의 헤드가 가스자동공급모듈과 분리된 저면 사시도.
도 5 내지 도 9는 도 4의 가스자동공급모듈의 정면도, 배면도, 좌우 측면도 및 저면도,
도 10은 엔드캡부재와 커넥터부재의 주요 부분을 도시한 사시도.
도 11 및 도 12는 도 10의 배면도 및 저면 사시도.
도 13은 커넥터플러그부재, 가스켓투입/투출부재 및 가스켓공급부재의 실제 배치 사시도.
도 14는 도 13의 가스켓투입/투출부재와 가스켓공급부재를 분리 도시한 사시도.
도 15는 도 14의 가스켓공급부재의 배면 사시도.
도 16(a)(b)은 도 14에서 공급된 가스켓의 리프팅 전후를 도시한 배면도.
도 17 및 도 18은 커넥터플러그가 커넥터에 체결된 평면도 및 좌측면도.
도 19는 커넥터플러그가 후진되어 커넥터로부터 해제된 평면도.
도 20 및 도 21은 엔드캡부재와 커넥터부재가 출구포트에 대해 전후진해서 엔드캡을 분리하는 평면도.
도 22는 가스켓핑거그립퍼가 전진 및 가스켓을 척킹하는 좌측면도.
도 23은 가스켓핑거그립퍼가 후진 및 180도 회전된 좌측면도.
도 24는 가스켓핑거그립퍼가 전진해서 커넥터 투입 및 언 척킹하는 좌측면도.
도 25 및 도 26은 출구포트용 작동부재가 좌측 이송 및 전진해서 출구포트에 커넥팅 된 평면도.
도 27은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 가스자동공급모듈을 도시한 정면 사시도.
도 28 및 도 29는 도 27의 엔드캡툴부와 커넥터부재를 분리 도시한 좌우측 사시도.
도 30은 커넥터부재에서 주요 부분을 감속기에서 분리 도시한 결합도.
도 31은 도 30의 분리 사시도. 도 31a는 다각형 중공부와 그랜드 너트의 결합 단면도.
도 31a는 다각형 중공부와 그랜드 너트의 결합 단면도.
도 32는 엔드캡툴을 확대 도시한 사시도.
도 33은 도 32의 단면도.
도 34는 엔드캡과 엔드캡툴의 홀딩 관계를 비교 도시한 예시도로서, (a) 본 발명 (b)는 종래를 나타내는 예시도.
도 35 및 도 35a는 엔드캡을 분리하기 전 커넥터부재와 엔드캡툴부가 병렬 상태의 사시도 및 정면도.
도 36은 도 35의 엔드캡툴부를 나타낸 사시도.
도 37은 엔드캡을 분리하기 전 커넥터부재와 엔드캡툴부가 직렬 상태의 사시도.
도 38은 도 37의 엔드캡툴부를 나타낸 사시도.
도 39는 커넥터부재와 엔드캡툴부가 전진하여 엔드캡을 분리하는 사시도.
도 40은 도 39의 엔드캡툴부를 나타낸 사시도.
도 41은 도 39에서 후진되어 초기 위치로 복귀된 사시도.
도 42는 엔드캡의 분리 작업이 완료된 사시도.
도 43은 종래 가스자동공급모듈을 도시한 사시도.
도 44는 메인 플레이트의 하강으로 가스통이 얼라인 된 상태의 사시도.
도 45는 종래 가스켓공급부로부터 가스켓 전달부로 이동되는 동작을 나타낸 평면도,

이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

또한, 캐비닛의 가로*세로*높이방향을 x축(좌우), y축(전후), z축(상하)방향이라 한다.

또한, 실린더의 피스톤이 전진한다는 것은 작업할 위치로 접근하는 것을 의미하며, 실린더의 피스톤이 후진한다는 것은 처음 위치로 복귀(후퇴)하는 것을 의미한다.

제1실시예

도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 가스실린더의 가스자동공급장치를 도시한 외관 정면도이고, 도 2는 도 1의 가스자동공급모듈이 호이스트모듈에 매달린 저면 사시도이고, 도 3은 도 2의 호이스트모듈을 도시한 저면도이고, 도 4는 얼라인 지그 설치된 가스실린더의 헤드가 가스자동공급모듈과 분리된 저면 사시도이고, 도 5 내지 도 9는 도 4의 가스자동공급모듈의 정면도, 배면도, 좌우 측면도 및 저면도이고, 도 10은 엔드캡부재와 커넥터부재의 주요 부분을 도시한 사시도이고, 도 11 및 도 12는 도 10의 배면도 및 저면 사시도이고, 도 13은 커넥터플러그부재, 가스켓투입/투출부재 및 가스켓공급부재의 실제 배치 사시도이고, 도 14는 도 13의 가스켓투입/투출부재와 가스켓공급부재를 분리 도시한 사시도이고, 도 15는 도 14의 가스켓공급부재의 배면 사시도이고, 도 16(a)(b)은 도 14에서 공급된 가스켓의 리프팅 전후를 도시한 배면도이고, 도 17 및 도 18은 커넥터플러그가 커넥터에 체결된 평면도 및 좌측면도이고, 도 19는 커넥터플러그가 후진되어 커넥터로부터 해제된 평면도이고, 도 20 및 도 21은 엔드캡부재와 커넥터부재가 출구포트에 대해 전후진해서 엔드캡을 분리하는 평면도이고, 도 22는 가스켓핑거그립퍼가 전진 및 가스켓을 척킹하는 좌측면도이고, 도 23은 가스켓핑거그립퍼가 후진 및 180도 회전된 좌측면도이고, 도 24는 가스켓핑거그립퍼가 전진해서 커넥터 투입 및 언 척킹하는 좌측면도이고, 도 25 및 도 26은 출구포트용 작동부재가 좌측 이송 및 전진해서 출구포트에 커넥팅 된 평면도이다.

본 제1실시예에 따른 가스실린더의 가스자동공급장치는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 가스실린더(1)가 놓이는 캐비닛(100)과, 캐비닛(100)의 천장(110)에 설치되는 호이스트모듈(200)과, 호이스트모듈(200)에 업/다운 가능하게 매달려 있는 가스자동공급모듈(300)을 포함한다.

캐비닛(100)

캐비닛(100)은 전면에 도어가 달린 박스 형상이다.

캐비닛(100)의 바닥에는 로드 셀(미도시)이 설치되고, 상기 로드 셀(미도시) 위에 가스실린더(1)가 놓이게 된다.

호이스트모듈(200)

호이스트모듈(200)은 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 좌우에 있는 가스자동공급모듈(300)이 각각 매달리는 파트(A)와 파트(B)가 전후 배치된 채 설치되어 있다.

또한, 파트(A)와 파트(B)는 한 쌍으로 이루어진다.

또한, 파트(A)에는 좌우에 설치되는 한 쌍의 호이스트모듈이 설치되어, 하나의 가스자동공급모듈(300)의 좌우를 매달아 지지하고 있다.

이하에서는 하나의 호이스트모듈(200)에 대해서만 설명한다.

호이스트모듈(200) 각각은 다단 실린더(210)와, 일단은 다단 실린더(210)에 고정되고 타단은 가스자동공급모듈(300)의 좌측에 고정되는 와이어(220)와, 와이어(220)가 걸리는 수평 도르래(230)와 수직 도르래(240)를 포함한다.

다단 실린더(210)는 천장(110)에 좌우 길이방향으로 배치 설치되는 에어 실린더(211)와 다단 피스톤(213), 다단 피스톤(213)의 좌우 길이방향으로 가이드하는 가이드부(215)를 포함한다.

가이드부(215)는 다단 피스톤(213)과 나란히 천장(110)에 설치되는 고정 가이드 레일(216)과, 일단은 다단 피스톤(213)의 끝단에 고정되고 타단은 고정 가이드 레일(216)에 슬라이딩 가능하게 설치되는 가동 블록(217)을 포함한다.

수평 도르래(230)는 z축을 중심으로 회전되게 수평하게 배치되어 있다.

수평 도르래(230)는 천장(110)에 설치되는 수평 브라켓(231)에 회전 가능하게 지지된다.

수평 브라켓(231)에는 수평 도르래(230)에 걸린 와이어(220)가 아래로 이탈되는 것을 방지하는 하방이탈방지판(232)이 설치되어 있다.

수직 도르래(240)는 x축을 중심으로 회전되게 수직하게 배치되어 있다.

수직 도르래(240)는 천장(110)에 설치되는 수직 브라켓(241)에 회전 가능하게 지지된다.

수직 브라켓(241)에는 수직 도르래(240)에 걸린 와이어(220)가 옆으로 이탈되는 것을 방지하는 측방이탈방지판(242)이 설치되어 있다.

이와 같은 다단 실린더(210)가 천장(110)에 설치될 뿐만 아니라 다단(실시예에서는 2단)으로 피스톤(213)의 수축 팽창으로 와이어(220)의 업/다운 스트로크 량을 확보할 수 있기 때문에, 기존 캐비닛(100)의 가로 길이(가로 폭)를 그대로 유지할 수 있다.

또한, 와이어(220)를 통해 가스자동공급모듈(300)이 매달려 있기 때문에 어느 방향으로든 움직임이 가능하여, 캐비닛(100) 내에 놓인 가스실린더(1)의 헤드에 설치되는 얼라인 지그(9)에 가스자동공급모듈(300)을 내려서 결합시키기가 매우 용이하다.

여기서 얼라인 지그(9)에 맞춰 가스자동공급모듈(300)이 결합되면, 가스실린더(1)의 밸브(3)에 가스자동공급모듈(300)의 밸브셔터(910)가 끼워지고, 가스실린더(1)의 출구포트(5)가 커넥터부재(500) 또는 엔드캡부재(400) 쪽을 향하게 된다.

또한, 다단 실린더(210)는 비례제어밸브(미도시)를 통해 압력을 제어하여, 작업자가 가스자동공급모듈(300)을 잡고 업/다운시키면 그 위치에 멈출 뿐만 아니라, 추락에 대한 인더록(interlock) 구현 및 업/다운 속도 제어도 가능하다.

또한, 다단 실린더(210)가 일정한 힘으로 가스실린더(1)를 고정하고 있어, 하부에 있는 로드 셀(미도시)의 부하 억제 효과가 있다.

한편 캐비닛(100)의 좌우 폭에 상관없다면, 호이스트모듈(200)이 캐비닛(100)의 천장(110) 대신 일 내측벽에 설치되되, 다단 실린더 대신 1단 실린더로 하여 피스톤이 올라가게 가스자동공급모듈(300)을 잡아 아래로 당기면 하강 높이는 충분하다.

가스자동공급모듈(300)

가스자동공급모듈(300)은 도 4 내지 도 9에 도시한 바와 같이, 출구포트(5)에 커넥터(510)가 체결/해제되는 커넥터부재(500)와, 커넥터부재(500)의 커넥터(510)에 커넥터플러그(610)를 체결/해제되는 커넥터플러그부재(600)와, 커넥터(510)에 가스켓(G)을 투입/투출하는 가스켓투입/투출부재(700)와, 가스켓투입/투출부재(700)에 가스켓(G)을 공급하는 가스켓공급부재(800)와, 가스실린더(1)의 밸브(3)를 오픈/클로즈시키는 밸브셔터부재(900)를 포함한다.

또한, 가스자동공급모듈(300)에는 가스실린더(1)의 출구포트(5)의 엔드캡(8)을 분리/체결시키는 엔드캡부재(400)가 더 설치되는 것이 바람직하다.

엔드캡부재(400)는 통상 출구포트(5)의 마개인 엔드캡(8)이 체결되어 있는 경우 사용되는 것으로서, 만약 가스실린더(1)의 출구포트(5)에 엔드캡(8)이 없는 경우 사용하지 않는다.

커넥터부재(500)

커넥터부재(500)는 가스실린더(1)와 가스 배관(511)을 연결함에 있어 작업자 에러(Human Error) 없고 또한 위험성 가스로부터 작업자를 보호하기 위하여 자동으로 가스실린더(1)와 가스 배관(511)을 연결해 주는 부품이다.

즉, 커넥터부재(500)는 가스실린더(1)의 출구포트(5)에 자동으로 체결(가스 공급)되거나 해제(가스실린더의 교체)되는 부재이다.

커넥터부재(500)는 프레임(310)의 배면 측에 배치 설치되어 있다.

커넥터부재(500)는 도 10, 도 11 및 도 12에 도시한 바와 같이, 출구포트(5)에 커넥팅 되는 커넥터(510)와, 커넥터(510)에 y축을 중심으로 회전동력을 전달하는 제1액추에이터(530)와, 커넥터(510)를 y축(전후)으로 직선 이송하는 제2액추에이터(550)와, 커넥터(510)를 x축(좌우)으로 직선 이송하는 제3액추에이터(570)를 포함한다.

커넥터(510)는 출구포트(5)의 형식에 따라 약간 다르지만, 대체적으로 출구포트(5)가 수나사로 되어 있기 때문에 커넥터(510)는 암나사 형태의 너트형으로 되어 있어, 커넥터(510)의 정역회전방향 및 전후진에 체결(가스공급)되거나 분리된다.

커넥터(510)의 배면에는 도 11 및 도 12에 도시한 바와 같이 가스 공급 튜브(미도시)가 연결되는 배관(511)이 돌출되어 있다.

또한, 배관(511)은 도 6에 도시한 바와 같이, 프레임(310)의 배면판(311)에 형성된 좌우방향의 장공(513)을 통해 외부로 노출되고, 커넥터(510)의 좌우 이송 시 걸리지 않게 한다.

커넥터부재(500)가 출구포트(5) 쪽인 좌측으로 이송되면, 커넥터(510)의 회전중심은 출구포트(5)의 중심과 일치된 상태로 배치되게 된다.

제1액추에이터(530)는 에어 모터(531)와, 에어 모터(531)의 회전동력을 커넥터(510)에 전달하는 감속기(533)를 포함한다.

에어 모터(531)는 스파크가 없기 때문에 방폭용으로 매우 좋다.

본 실시예에서는 에어 모터(531)의 회전동력은 타이밍 벨트를 통해 감속기(533)에 전달된다.

감속기(533)는 커넥터(510)의 배면에 위치하고, 에어 모터(531)는 감속기(533) 상부에 설치되어 있다.

제2액추에이터(550)는 도 11에 도시한 바와 같이, 감속기(533)의 밑면에 y방향으로 설치되는 제2가이드레일홈(551)과, 제2가이드레일홈(551)이 결합되는 제2가이드레일(552)이 설치되는 제2가동판(553)과, 제2가이드레일홈(551)이 제2가이드레일(552)을 따라 전후진시키는 제2에어 실린더부(555)를 포함한다.

제2에어 실린더부(555)는 제2가동판(553)에 설치되는 제2에어 실린더(556)와, 제2브라켓(558)을 통해 감속기(533)를 y방향으로 전후진시키는 제2피스톤(557)을 포함한다.

제3액추에이터(570)는 도 12에 도시한 바와 같이, 제2가동판(553)의 밑면에 x방향으로 설치되는 제3가이드레일홈(571)과, 제3가이드레일홈(571)이 결합되는 제3가이드레일(572)이 설치되는 제3고정판(573)과, 제3가이드레일홈(571)이 제3가이드레일(572)을 따라 x축방향으로 전후진시키는 제3에어 실린더부(575)를 포함한다.

제3에어 실린더부(575)는 제3고정판(573)의 밑면에 설치되는 제3에어 실린더(576)와, 제3브라켓(578)을 통해 제2가동판(553)을 x방향으로 전후진시키는 제3피스톤(577)을 포함한다.

제3고정판(573)에는 도 12에 도시한 바와 같이, 제3브라켓(578)이 x축방향으로 슬라이딩 가능하게 장공(574)이 형성되어 있다.

엔드캡부재(400)

엔드캡부재(400)는 커넥터부재(500)와 좌우 나란히 배치되는 엔드캡분리/체결부(410)와, y축을 중심으로 회전동력을 전달하는 제1액추에이터(530)와, 엔드캡분리/체결부(410)를 y축(전후)으로 직선 이송하는 제2액추에이터(550)와, 엔드캡분리/체결부(410)를 x축(좌우)으로 직선 이송하는 제3액추에이터(570)을 포함한다.

즉, 엔드캡분리/체결부(410)는 커넥터(510)와 함께 제1,2,3액추에이터(530)(550)(570)를 공통으로 사용한다.

따라서, 제1액추에이터(530)는 커넥터(510)와 엔드캡분리/체결부(410)를 함께 회전시키고, 제2,3액추에이터(550)(570)는 y축과 x축으로 함께 이송시킨다.

엔드캡분리체결부(410)의 회전중심은 출구포트(5)의 중심과 일치한 상태로 놓이게 된다.

즉, 엔드캡부재(400) 또는 커넥터부재(500)의 회전 중심은 얼라인 지그(9)에 가스자동공급모듈(300)이 다운되어 결합되면 출구포트(5)의 중심과 같은 선상에 맞게 배치되게 된다.

또한, 엔드캡분리/체결부(410)에는 분리된 엔드캡(8)을 홀딩하는 엔드캡홀딩부(미도시)가 설치되어 있다.

상기 엔드캡홀딩부(미도시)는 기계식이나 마그넷 타입 등 다양하게 구현 가능하나, 본 실시예에서와 같이 자석(미도시)으로 구현되는 것이 구조상 간단하여 바람직하다.

커넥터플러그부재(600)

커넥터플러그부재(600)는 가스실린더(1)가 캐비닛(100)에 놓이기 전이라도 커넥터부재(500)의 배관(511)의 오염 및 가스 공급 배관의 가스 잔여물이 외부로 퍼지는 현상을 막기 위한 기능성 부재이며, 가스자동공급모듈(300)이 얼라인 지그(9)에 결합된 후에도 커넥터부재(500)의 동작 없이 대기위치에서 커넥터플러그(610)가 커넥터(510)를 개폐하는데 그 의미가 있다.

커넥터플러그부재(600)는 도 8, 도 13 및 도 14에 도시한 바와 같이, 우측판(313)의 내외측에 배치 설치되어 있다.

커넥터플러그부재(600)는 커넥터(510)에 체결/분리되는 커넥터플러그(610)와, 커넥터플러그(610)를 커넥터(510)에 대해 y방향으로 전후진시키는 제4액추에이터(630)를 포함한다.

커넥터플러그(610)는 수나사 형태의 원통형으로 커넥터(510)의 회전에 의해 체결/분리된다.

또한, 커넥터플러그(610)의 중심은 커넥터(510)의 y축 회전중심과 일치되는 방향으로 배치되게 우측판(313)의 내측에 배향되어 있다.

제4액추에이터(630)는 우측판(313)의 외면에 설치되는 제4에어 실린더(631)와 피스톤(633), 제4피스톤(633)과 커넥터플러그(610)를 연결하는 제4연결블록(635)과, 우측판(313)의 내측에 y방향으로 설치되는 제4가이드레일(637)과, 제4연결블록(635)에 설치되어 제4가이드레일(637)을 따라 슬라이딩하는 제4가이드레일홈(639)을 포함한다.

또한, 제4피스톤(633)과 제4연결블록(635)은 브라켓을 통해 연결되고, 제4가이드레일(637) 사이의 우측판(313)에는 상기 브라켓의 통과 및 y축방향 이동을 허용하는 장공(638)이 형성되어 있다.

가스켓투입/투출부재(700)

가스켓투입/투출부재(700)는 커넥터(510)가 출구포트(5)에 체결되기 전에 가스켓(G)을 투입시키고, 커넥터(510)가 출구포트(5)로부터 분리되면 투입된 가스켓(G)을 꺼내 투출하는 부재이다.

가스켓 투입/투출부재(700)는 커넥터플러그부재(600)와 마찬가지로, 우측판(311)의 내측에 배치 설치되어 있다.

또한, 가스켓 투입/투출부재(700)는 커넥터플러그부재(600)와 y축방향을 따르는 선상에 배치되어 있다.

가스켓 투입/투출부재(700)는 도 13, 도 14 및 도 18에 도시한 바와 같이, 공급되는 새 가스켓(G)의 양측을 척킹하는 한 쌍의 핑거 그립퍼(710)와, 한 쌍의 핑거 그립퍼(710)를 x축방향을 따라 서로 접근/후퇴시키는 제5액추에이터(720)와, 한 쌍의 핑거 그립퍼(710)를 y축방향을 따라 전후진시키는 제6액추에이터(730)와, 한 쌍의 핑거 그립퍼(710)를 x축을 중심으로 커넥터(510) 쪽으로 180도 회전시키는 제7액추에이터(740)를 포함한다.

여기서, 가스켓(G)은 도넛 형상의 금속이며, 그 측면에 C링이 끼워져 있다.

또한, 가스켓(G)은 가스출구(5)에 체결될 때 압축되기 때문에 일회용이다.

한 쌍의 핑거 그립퍼(710)는 제5액추에이터(720)의 전면에 설치되는 한 쌍의 제5가동블록(711)과, 제5가동블록(711)의 상단에 설치되어 가스켓(G)의 양측면에 배치되는 한 쌍의 그립부(713)를 포함한다.

한 쌍의 그립부(713)의 내면에는 가스켓(G)의 측면에 설치된 C링이 끼워지면서 척킹된다.

제5액추에이터(720)는 제5에어 실린더(721)와 피스톤(미도시)을 포함한다.

제5에어 실린더(721)에는 x방향의 가이드레일홈(722)이 형성되고, 제5가동블록(711)에는 가이드레일홈(722)을 따라 x방향으로 슬라이딩 되는 가이드레일돌기(723)가 설치되어 있다.

제6액추에이터(730)는 제6에어 실린더(731)와 피스톤(733)으로 이루어진다.

제6피스톤(733)과 제5액추에이터(720)는 제6브라켓(735)을 통해 연결된다.

제7액추에이터(740)는 우측판(313)의 외측에 설치되는 로터리 에어 실린더(740)이다.

로터리 에어 실린더(740)의 회전판(741)에는 제6에어 실린더(731)가 설치된다.

회전판(741)의 회전중심은 x축이다.

따라서, 커넥터플러그(610)의 후진한 위치가 도 22와 같이 거의 회전판(741)의 중심 선상에 겹쳐있기 때문에, 한 쌍의 그립퍼(710)를 커넥터(510) 쪽으로 옮기기 위해 위쪽으로 180도 회전시키는 구조를 취하고 있다.

이러한 배치로 인해 우측판(313)에 커넥터플러그부재(600)와 가스켓 투입/투출부재(700)가 서로 겹쳐 작동되게 설치할 수 있어, 가스자동공급모듈(300)의 콤팩트화에 기여한다.

가스켓공급부재(800)

가스켓공급부재(800)는 도 5 및 도 15에 도시한 바와 같이, 가스켓공급부(810)와, 가스켓공급부(810)로부터 공급된 가스켓(G)을 차지(charge) 및 척킹하는 가스켓차지부(820)와 가스켓척킹부(830), 가스켓차지부(820)의 가스켓(G)을 가스켓척킹부(830)로 리프팅(업)시키는 제8액추에이터(840)를 포함한다.

또한, 가스켓공급부재(800)에는 가스켓차지부(820)의 하방에 설치되는 가스켓수거통(850)을 더 포함하는 것이 바람직하다.

특히, 가스켓공급부(810)는 도 5에 도시한 바와 같이, 가스자동공급모듈(300)의 우측 전면에 배치되어 있어서, 가스켓(G)이 가스켓공급부(810)에 잘 채워져 있는지 작업자가 육안으로 즉시 확인 가능하여 유지 보수 측면에서 매우 우수하다.

가스켓공급부(810)는 도 15에 도시한 바와 같이, 상측엔 가스켓투입구(811)가 하측엔 가스켓배출구(812)가 형성되는 L자 형상에 가까운 가스켓 저장통(813)을 포함한다.

가스켓 저장통(813)은 수지계열로서, 배면에 배치되는 ㄷ자 단면의 배면케이스(813a)와, 배면케이스(813a)의 전면에 설치되는 투명한 전면커버(813b)로 이루어진다.

투명한 전면커버(813b)로 인해 작업자는 외부에서도 남은 잔량 확인이 매우 용이하다.

가스켓배출구(812)에는 가스켓차지판(823)까지의 통로 배면을 막는 이탈방지판(815)이 더 설치되어 있다.

가스켓차지부(820)는 가스켓(G)의 하면 및 배면을 받치는 하면 및 배면 받침편(821)(822)을 갖는 가스켓차지판(823)과, 가스켓(G)의 전면을 받치는 가스켓용 블록(824)을 포함한다.

가스켓용 블록(824)은 역U자 형상으로 되어 있다.

하면 받침편(821)은 가스켓(G)의 하면과 같은 궤적인 아래로 오목한 원호 형상이다.

배면 받침편(822)은 가스켓차지판(823)의 수직 중심 선상에서 돌출된 바 형상으로, 그 상단은 가스켓(G)의 중심까지 돌출되어 있다.

가스켓용 블록(824)의 일측면에는 가스켓배출구(812)에서 나온 가스켓(G)이 가스켓차지판(823) 상에서 좌측으로 벗어나지 못하게 단차진 차단벽(825)이 형성되어 있다.

제8켓액추에이터(840)는 가스켓용 블록(824)의 전면에 설치되는 제8에어 실린더(841)와 피스톤(842)을 포함한다.

가스켓차지판(823)의 하면과 제8피스톤(842)의 하단은 연결판(843)에 의해 연결된다.

따라서, 도 16(b)과 같이 제8피스톤(842)이 업 되면 가스켓차지판(823)은 리프팅 되어 가스켓(G)을 척킹 위치로 옮기고, 도 16(a)과 같이 제8피스톤(842)이 다운 되면 가스켓차지판(823)은 가스켓(G)을 차지하는 위치로 복귀한다.

가스켓용 블록(824)은 도 5와 같이 프레임(310)의 전면(315) 우측에 지지블록(825)에 지지되어 있다.

가스켓척킹부(830)는 가스켓차지부(820)의 상부인 가스켓용 블록(824)의 배면에 설치되어 있다.

가스켓척킹부(830)에는 전진한 한 쌍의 그립부(713)가 가스켓(G)의 양측을 척킹하기 위해 들어오는 척킹용 홈(831)이 가스켓용 블록(824)에 형성되어 있다.

가스켓수거통(850)은 가스켓용 블록(824)의 하측에 설치되어 있다.

밸브셔터부재(900)

가스실린더(1)의 밸브(3)를 작업자 없이 자동으로 열고 닫게 하여 인체 유해 가스의 누출로 인한 흡입사고를 사전 차단하는 데 목적이 있다.

밸브셔터부재(900)는 프레임(310) 중심 보다 상세히는 프레임(310)의 내부에 설치되는 내부 프레임(317)에 수직하게 설치되어 있다.

밸브셔터부재(900)는 밸브셔터(910)와, 밸브셔터(910)를 회전시키는 제9액추에이터(미도시)를 포함한다.

제9액추에이터(미도시)도 밸브셔터(910)에 결합되는 감속기와, 상기 감속기에 회전동력을 전달하는 에어 모터로 구현되는 것이 바람직하다.

밸브셔터(910)는 가스실린더(1)의 밸브(3) 외주면을 감싸 열고 닫는 부품이다.

가스자동공급방법

이하에서는 도 17 내지 도 26을 참조하여 가스실린더(1)의 가스를 반도체 공정으로 공급되는 방법에 대해 설명한다.

먼저, 작업자는 가스실린더(1)의 헤드에 얼라인 지그(9)를 결합한다.

얼라인 지그(9)가 결합된 가스실린더(1)는 캐비닛(100) 내의 바닥에 설치된 로드 셀 위에 올려놓는다.

캐비닛(100)에 가스실린더(1)가 놓이면, 작업자는 가스자동공급모듈(300)을 잡고 내리면서 얼라인 지그(9)의 위치결정핀이 가스자동공급모듈(300)의 위치결정홀에 끼우면, 밸브셔터(910)가 밸브(3)에 끼워지면서 출구포트(5)가 후방을 향하게 된다.

이와 같이 가스자동공급모듈(300)이 내려와 얼라인 지그(9)에 결합된 상태를 간략히 나타낸 평면도가 도 17이다.

1. 커넥터의 커넥터플러그 해제

도 17 및 도 18은 커넥터플러그(610)가 커넥터(510)에 체결된 상태이다.

이 상태에서, 커넥터(510)가 풀리는 방향으로 회전하면, 커넥터플러그(610)는 제4액추에이터(630)의 무부하 상태에서 풀리는 방향으로 뒤로 밀리다가 풀림이 끝나면, 커넥터(510)의 회전을 정지하고 제4액추에이터(630)가 도 19와 같이 커넥터플러그(610)를 후진시켜 해제시킨다.

2. 출구포트의 엔드캡 분리

커넥터플러그(610)가 커넥터(510)로부터 해제된 후, 도 20과 같이 커넥터부재(500)와 엔드캡부재(400)를 제2액추에이터(550)로 전진시키면, 엔드캡부재(400)의 엔드캡분리/체결부(410)가 엔드캡(8)에 끼워지게 된다.

엔드캡분리/체결부(410)가 풀리는 방향으로 회전 및 후진하면, 도 21과 같이 엔드캡(8)을 홀딩한 상태로 복귀한다.

엔드캡(8)의 홀딩은 엔드캡분리/체결부(410)의 자성에 의해 행해진다.

3. 커넥터의 가스켓 투입

엔드캡(8)이 분리된 후, 도 22와 같이 제6액추에이터(730)를 전진시켜 한 쌍의 그립부(713)가 가스켓척킹부(830)로 공급된 가스켓(G)에 접근하고, 한 쌍의 그립부(713)가 제5액추에이터(720)에 의해 서로 접근해서 가스켓(G)의 양측을 척킹한다.

척킹된 한 쌍의 그립부(731)는 도 23과 같이, 제6액추에이터(730)의 후진 및 제7액추에이터(740)에 의해 180도 회전시켜 척킹한 가스켓(G)을 커넥터(510) 쪽에 마주하게 한다.

그 다음 도 24와 같이, 제6액추에이터(730)의 전진으로 가스켓(G)은 커넥터(510)의 내부에 투입되고, 제5액추에이터(720)의 후퇴로 언 척킹 및 후진되면 투입이 완료된다.

가스켓의 투입이 완료되면, 가스켓투입/투출부재(700)는 도 18과 같은 위치로 복귀한다.

4. 커넥터와 출구포트의 커넥팅

가스켓(G)이 커넥터(510)에 투입이 완료되면, 도 25와 같이 제3액추에이터(570)로 엔드캡부재(400)와 커넥터부재(500)를 좌측으로 이동시켜, 커넥터(510)의 중심이 출구포트(5)의 중심에 맞추어 정지한다.

그 다음 제2액추에이터(550)로 엔드캡부재(400)와 커넥터부재(500)를 전진시키면 커넥터(510)가 출구포트(5)에 닿게 된다.

그러면, 커넥터(510)를 체결되는 방향으로 회전 및 전진하면, 도 26과 같이 커넥팅이 완료되면 정지한다.

5. 밸브 오픈

출구포트(5)에 커넥터(510)가 체결되면, 밸브셔터(910)를 회전시켜 밸브(3)를 오픈시키면, 가스실린더(1)의 가스는 출구포트(5), 커넥터(510)의 배관을 통해 반도체 공정으로 공급하게 된다.

가스자동교환방법

가스실린더(1)의 가스가 다 공급되어 교체하기 위한 방법은 다음과 같다.

1. 밸브 클로즈

밸브 오픈과 반대로 밸브셔터(910)를 회전시켜 밸브(3)는 잠근다.

2. 커넥터 해제

밸브(3)가 잠기면, 커넥터(510)를 회전 및 후진시켜 출구포트(5)로부터 분리 해제시킨다.

3. 커넥터의 가스켓 투출

출구포트(5)로부터 분리된 커넥터(510)는 우측으로 이동하여 도 21과 같이 커넥터플러그(610)와 한 쌍의 그립부(713)가 있는 위치로 복귀한다.

그 다음 도 23과 같이 한 쌍의 그립부(713)가 커넥터(510)와 마주하는 위치로 와서, 헌 가스켓을 척킹하고 후진하면 투출되고, 도 22와 같은 위치로 회전시켜 한 쌍의 그립부(713)를 언척킹하면, 헌 가스켓은 가스켓수거통(850)에 떨어지면 수거가 완료된다.

4. 엔드캡 체결

헌 가스켓의 투출이 완료되면, 도 21의 상태에서 도 20과 같이 엔드캡분리/체결부(510)를 전진 및 회전시켜 홀딩된 엔드캡(8)을 출구포트(5)에 체결을 완료한 후 도 19와 같이 후진시키면 엔드캡(8)의 체결을 완료한다.

5. 커넥터플러그 체결

엔드캡(8)의 체결이 완료된 후, 커넥터플러그(610)를 전진시켜 커넥터(510)의 회전과 함께 체결하면 도 17과 같이 커넥터(510)를 막는다.

6. 얼라인 지그로부터 가스자동공급모듈의 분리

커넥터플러그(610)의 체결이 완료되면, 얼라인 지그(9)를 당기는 에어를 빼고, 가스자동공급모듈(300)을 작업자가 잡고 위로 올리면 가스실린더(1)의 교체가 가능하게 된다.

제2실시예

도 27은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 가스자동공급모듈을 도시한 정면 사시도이고, 도 28 및 도 29는 도 27의 엔드캡툴부와 커넥터부재를 분리 도시한 좌우측 사시도이고, 도 30은 커넥터부재에서 주요 부분을 감속기에서 분리 도시한 결합도이고, 도 31은 도 30의 분리 사시도이고, 도 31a는 다각형 중공부와 그랜드 너트의 결합 단면도이고, 도 32는 엔드캡툴을 확대 도시한 사시도이고, 도 33은 도 32의 단면도이고, 도 34는 엔드캡과 엔드캡툴의 홀딩 관계를 비교 도시한 예시도로서, (a) 본 발명 (b)는 종래를 나타내는 예시도이고, 도 35 및 도 35a는 엔드캡을 분리하기 전 커넥터부재와 엔드캡툴부가 병렬 상태의 사시도 및 정면도이고, 도 36은 도 35의 엔드캡툴부를 나타낸 사시도이고, 도 37은 엔드캡을 분리하기 전 커넥터부재와 엔드캡툴부가 직렬 상태의 사시도이고, 도 38은 도 37의 엔드캡툴부를 나타낸 사시도이고, 도 39는 커넥터부재와 엔드캡툴부가 전진하여 엔드캡을 분리하는 사시도이고, 도 40은 도 39의 엔드캡툴부를 나타낸 사시도이고, 도 41은 도 39에서 후진되어 초기 위치로 복귀된 사시도이고, 도 42는 엔드캡의 분리 작업이 완료된 사시도이다.

제2실시예에 따른 가스자동공급모듈(300a)이 도 27에 도시되어 있다.

제2실시예의 가스자동공급모듈(300a)은 가스자동공급모듈(300)과 그 구조 및 기능은 유사하나, 가스자동공급모듈(300)을 전면에서 볼 때 반시계방향으로 90도 회전시켜 앤드캡툴부(400a)/커넥터부재(500a)와 가스켓공급부재(800a)가 좌우에 배치되고, 커넥터플러그부재(600)와 가스켓투입/투출부재(700)가 배면에 배치되어 있다는 점, 제1실시예의 커넥터부재(500)와 엔드캡부재(400)가 감속기(533)에 복합으로 동작되지만 감속기(533a)와 엔드캡툴부(400a)를 개별 유닛으로 설정하였다는 점에 차이가 있다.

즉, 커넥터부재(500a)의 x축을 중심으로 회전동력을 제공받는 엔드캡툴부(400a)로 엔드캡(8)을 분리/체결하는 구성으로서, 엔드캡툴부(400a)의 엔드캡툴(410a)이 커넥터부재(500a)의 커넥터(510a) 전방에 나란히 직렬로 위치했을 땐 엔드캡 분리/체결 작업 위치이고(도 37 참조), 서로 좌우로 벌어져 병렬로 위치했을 땐 커넥터(510a)가 커넥팅 작업 위치(도 35 참조)로 배치되게 이동되는 것이 특징이다.

또한, 커넥터부재(500a) 동작의 특성상 그랜드 너트(513a)의 자유도와 평소에는 앞쪽으로 돌출되어 있어야 하는 그랜드(514a) 부분이 출구포트(5)/커넥터플러그(610)와 체결 시 그랜드(514a)가 그랜드 너트(513a) 안쪽으로 들어갈 수 있도록 자율성을 주기 위한 그랜드가이드부(515a)가 구현되어 있다.

커넥터부재(500a)는 도 28 및 도 29에 도시한 바와 같이, 지지판(501a)에 의해 프레임(310)의 상면 측에 지지되어 있다.

커넥터부재(500a)는 출구포트(5)에 커넥팅 되는 커넥터(510a)와, 커넥터(510a)에 회전동력을 전달하는 제1액추에이터(530a)와, 커넥터(510a)를 출구포트(5)와 일렬(직렬) 또는 나란히(병렬) 배치되게 출구포트(5)와 커넥터플러그(610) 사이인 전후(y)로 직선 이송하는 제2액추에이터(550a)와, 커넥터(510a)를 출구포트(5)에 대해 접근/후퇴되게 좌우(x)로 직선 이송하는 제3액추에이터(570a)을 포함한다.

실질적으로 커넥터부재(500a)의 전후(y)와 좌우(x) 이송은 커넥터(510a)를 포함하는 제1액추에이터(530a)가 행하는 것이다.

또한, 출구포트(5)와 나란히 배치되는 커넥터(510a)는 커넥터플러그부재(600)/가스켓투입/투출부재(700)와 마주하는 위치이다.

커넥터(510a)는 출구포트(5)/커넥터플러그(610)의 형상에 따라 약간의 차이가 있지만, 본 실시예에서는 출구포트(5)/커넥터플러그(610)가 축봉의 외주면에 수나사산이 형성된 통상의 수나사봉 형상이기 때문에, 체결될 때 배관(511a)이 밀려 들어가게 직선 슬라이딩 되고, 또한 가스켓(G)도 커넥터(510a)의 전면에 걸어놓는 도넛 디스크 형상이다.

물론 출구포트(5)의 중심에는 가스실린더(1)의 가스가 나오는 출구홀이 거의 배관(511a)과 같거나 작게 형성되어 있다.

커넥터(510a)는 도 30 및 도 31에 도시한 바와 같이, 감속기(533a)의 내부를 통과하여 양단측이 외부로 돌출되는 배관(511a)과, 감속기(533a)의 회전력을 전달받는 다각형 중공부(512a)와, 다각형 중공부(512a)와 함께 회전되게 내부에 삽입되는 그랜드 너트(513a)와, 배관(511a)의 일측단의 외주면에 고정된 채 출구포트(5) 또는 커넥터플러그(610)와 나사 체결되는 그랜드 너트(513a)의 내부에 배치되는 그랜드(514a)와, 그랜드 너트(513a)에 대해 그랜드(514a)의 직선 슬라이딩 가능하게 가이드하는 그랜드가이드부(515a)를 포함한다.

배관(511a)의 일측단은 그랜드(514a)에서 앞쪽으로 약간 튀어나와, 이 부분에 가스켓이 끼워 놓이게 된다.

또한, 다각형 중공부(512a), 그랜드 너트(513a) 및 그랜드(514a)는 감속기(533a)의 본체 외부에 돌출되게 배치된다.

그랜드 너트(513a)와 다각형 중공부(512a)는 다각형으로 결합되어 회전력의 전달이 용이하다.

즉, 도 31a에 도시한 바와 같이, 그랜드 너트(513a)의 후방 외주면은 다각형 중공부(512a)에 결합되는 다각형(513a')이면서 다각형 중공부(512a)의 내주면의 걸림(512a')에 걸려 더이상 앞으로 이탈되는 것이 방지된다.

그랜드 너트(513a)가 다각형 중공부(512a)의 후방에서 전방으로 걸림턱(512a)에 걸릴때까지 밀어 넣는다.

이때, 다각형 중공부(512a)의 후방에는 이탈방지링(512a'')이 설치되어 있다.

또한, 이탈방지링(512'')과 그랜드 너트(512a) 사이에는 너트보정스프링(525a)이 더 설치되어 있다.

너트보정스프링(525a)은 체결/분리될 때 출구포트(5)와의 편심을 보정하는 역할을 한다.

그랜드가이드부(515a)는 배관(511a)의 타측에 끼워지는 볼 부시(516a)와, 볼 부시(516a)의 외주면에 끼워지는 볼부시 하우징(517a)과, 감속기(533a) 본체 배면과 볼부시 하우징(517a)에 고정되는 연결편(518a)과, 볼부시 하우징(517a)과 그랜드(514a) 사이의 배관(511a) 외주면에 설치되는 플랜지(519a)와, 볼부시 하우징(517a)과 플랜지(519a) 사이에 설치되는 그랜드복귀스프링(520a)과, 배관(511a)의 타단에 설치되어 연결편(518a)에 걸리는 스토퍼(521a)을 포함한다.

볼 부시(516a)는 배관(511a)에 끼워지는 원통부시와, 원통부시의 외부면에 설치되는 다수의 볼로 이루어진다.

볼부시 하우징(517a)은 대직경 하우징과 소직경 하우징인 단차진 하우징이다.

상기 대직경 하우징의 끝면은 연결편(518a)에 체결 고정된다.

단차 부분(517b)은 플랜지(519a)와 함께 그랜드복귀스프링(520a)의 양단이 닿는 시트 역할을 한다.

연결편(518a)은 배관(511a)의 슬라이딩에 간섭되지 않게 홀, U자 또는 역U자 형태의 관통 부분이 있다.

플랜지(519a)는 그랜드복귀스프링(520a)의 시트 역할뿐 아니라, 감속기(533a) 본체 내의 관통공을 따라 실질적으로 가이드하는 샤프트의 역할을 겸한다.

즉, 그랜드너트(513a)가 커버플러그(610) 또는 출구포트(5)와 전진 체결하면, 배관(511a)과 함께 그랜드(514a)가 안쪽으로 밀려 들어가면서 그랜드복귀스프링(520a)이 압축되고, 체결이 해제되면 배관(511a)과 함께 그랜드(514a)가 원래의 위치로 복귀하게 된다.

또한, 배관(511a)의 선단(511b)은 그랜드(514a)에서 앞으로 돌출되는 끼움돌기로서, 도넛 형상의 가스켓이 끼워져 놓이게 된다.

상기 가스켓은 그랜드(514a)의 전면과 출구포트(5)의 전면 사이를 실링한다.

또한, 스토퍼(521a)는 그랜드복귀스프링(520a)에 의해 배관(511a)이 앞으로 빠져 이탈되는 것을 방지하는 것으로, U자 형태의 양단을 잡아서 배관(511a)에 고정시킨다.

중공감속기(533a)에는 배관(511a)의 선단(511b)에 놓인 가스켓을 감지하는 센서(522a)가 더 설치되어 있다.

이러한 그랜드가이드부(515a)의 구성에 의해서, 정밀성과 자율성, 자유도가 필요한 그랜드(514a)에 가이드를 해 주기 위하여 기존에는 감속기 외부에 LM가이드가 있었지만 공간의 제약이 발생하기 때문에 감속기 내부에 가이드를 구성하여 공간활용을 극대화 시킬 수 있고, 또한 별도의 셋팅이 필요 없도록 볼 부시를 사용해 전방향에서 가이드가 되도록 구성하였다.

제1액추에이터(530a)는 제1실시예와 마찬가지로 에어 모터(531a)와, 에어 모터(531a)의 회전동력을 다각형 중공부(512a)에 전달하는 감속기(533a)를 포함한다.

감속기(533a)는 제1실시예의 엔드캡부재(400)의 동력전달 부분이 삭제되어, L자 형상을 취하고 있다.

에어 모터(531a)는 도 29와 같이, 감속기(533a)의 일측면에 배치되어 있다.

이러한 제1액추에이터(530a)의 회전력은 다각형 중공부(512a)와 그랜드 너트(513a)를 회전시키게 된다.

또한, 그랜드 너트(513a)가 출구 포트(5)에 체결되면, 그랜드(514a)가 뒤로 밀리면서 그랜드복귀스프링(520a)을 압축하게 된다.

제3액추에이터(570a)는 지지판(501a)의 밑면에 설치되는 제3가이드레일(571a)과, 제3가이드레일(571a)에 결합되는 제3가이드레일홈블록(572a)이 설치되는 제3가동판(573a)과, 지지판(501a)에 대해 제3가동판(573a)을 이동시키는 제3에어 실린더부(575a)를 포함한다.

제3가이드레일(571a)과 제3가이드레일홈블록(572a)은 제3LM가이드로서, 그 위치가 바뀌어도 무관한다.

제3에어 실린더부(575a)는 지지판(501a)에 설치되는 제3에어 실린더(576a)와, 제3가동판(573a)을 이동시키는 제3피스톤(577a)을 포함한다.

제2액추에이터(550a)는 제3가동판(573a)의 밑면에 설치되는 제2가이드레일(551a)과, 제2가이드레일(551a)에 결합되는 제2가이드레일홈블록(552a)과 감속기(533a)를 연결하는 제2브라켓(554a)과, 제2가이드레일홈블록(552a)이 제2가이드레일(551a)을 따라 이동하는 제2에어 실린더부(555a)를 포함한다.

제2에어 실린더부(555a)는 제3가동판(573a)에 설치되는 제2에어 실린더(556a)와, 제2브라켓(554a)을 통해 감속기(533a)를 이동시키는 제2피스톤(557a)을 포함한다.

제2액추에이터(550a)는 제1실시예의 엔드캡부재(400)에 해당되는 감속기 부분이 삭제된 공간에 배치시킴으로써 전체적으로 콤팩트하게 할 수 있다.

이와 같은 커넥터부재(500a)는 제1실시예의 커넥터부재(500)가 대신 적용하여도 무방하다.

한편, 엔드캡툴(410a)은 커넥터(510a)의 회전동력을 전달받으면서, 엔드캡(8)이 출구포트(5)에 체결되어 들어가는 양만큼 커넥터부재(500a)의 전진(접근)과 함께 슬라이딩 되고, 엔드캡(8)이 출구포트(5)로부터 분리되어 나오는 양만큼 엔드캡툴(410a)의 복귀력에 의해 커넥터부재(500a)와 함께 후진(후퇴) 슬라이딩 되게 한다.

엔드캡툴부(400a)는 도 28, 도 29 및 도 40에 도시한 바와 같이, 커넥터(510a)와 나란히 병렬로 배치되는 엔드캡툴(410a)과, 커넥터(510a)의 회전동력을 엔드캡툴(410a)에 전달하는 회전동력전달부(430a)와, 엔드캡툴(410a)을 커넥터(510a)와 병렬/직렬로 배치되게 전후 이송시키는 앤드캡툴용 액추에이터(450a)와, 커넥터(510a)와 함께 전진된 엔드캡툴(410a)을 복귀시키는 복귀액추에이터(470a)를 포함한다.

엔드캡툴(410a)은 도 32 및 도 33에 도시한 바와 같이 중공형상으로서, 엔드캡(8)에 끼워지는 엔드캡용 툴(1410a)과, 커넥터(510a)의 회전동력을 전달받는 커넥터용 툴(2410a)을 포함한다.

엔드캡용 툴(1410a)의 내주면에는 안쪽으로 돌출한 돌기(1411a)가 소정 간격마다 설치되어 있다.

즉, 도 34(a)에 도시한 바와 같이, 돌기(1411a)와 돌기(1411a) 사이로 엔드캡(8)의 모서리(8a)가 배치되어, 잡고 돌릴 때 엔드캡(8)의 변(8b)이 돌기(1411a)의 측면에 닿게 하여 엔드캡(8)의 모서리(8a)가 파고 들 수 없기 때문에 엔드캡(8)과 엔드캡용 툴(1410a)이 꽉 끼는 현상을 방지한다.

만약, 도 34(b)에 도시한 바와 같이, 엔드캡용 툴(1410a)의 내주면이 엔드캡(8)과 같이 육각으로 형성된다면, 잡고 돌릴 때 엔드캡(8)의 모서리(8a)가 내주면에 닿아서 강한 힘으로 엔드캡용 툴(1410a)이 회전하게 되면, 엔드캡(8)의 모서리(8a)가 내주면을 파고 들어가 꽉 끼게 된다. 그러면 다시 체결하고 나서 엔드캡툴부(400a)가 복원(후진)될 때 저항을 받아 오류가 발생할 수 있다.

또한, 돌기(1411a)에는 경사면(1413a)이 형성되어, 엔드캡(8)의 변을 타고 잘 들어가는 안내면의 역할을 한다.

또한, 엔드캡용 툴(1410a)에는 도 33과 같이 분리된 엔드캡(8)을 홀딩하는 엔드캡홀딩부(1415a)가 설치되어 있다.

엔드캡홀딩부(1415a)로는 자석이나 기계적 방식이 구현 가능한데, 본 실시예에서는 엔드캡(8)의 변에 압력을 가하는 볼(1416a)로 구현되어 있다.

볼(1416a)은 엔드캡용 툴(1410a)의 둘레를 따라 방사상 방향으로 돌기(1411a)의 바로 뒤에 배치되고, 압축스프링(1417a)이 가압하는 형태이다.

엔드캡툴(410a)이 엔드캡툴용 지지브라켓(2450a) 특히 엔드캡툴용 브라켓(2453a)에 회전 가능하게 끼워진 후 이탈을 방지하기 위해 엔드캡용 툴(1410a)의 외주면에 C링(1440a)이 조립된다.

따라서, 커넥터용 툴(2410a)과 C링(1440a) 사이에 엔드캡툴용 브라켓(2453a)이 배치 설치되어 회전하더라도 이탈되지 않는다.

커넥터용 툴(2410a)은 플랜지 타입으로서, 엔드캡용 툴(1410a)의 외경보다 더 크다.

이와 같은 엔드캡툴(410a)은 가스실린더(1)의 형식에 따라 다른 모양의 엔드캡(8)을 분리/체결할 때 교체가 가능하여 메인터넌스 측면에서 매우 우수하다.

회전동력전달부(430a)는 다각형 중공부(512a)의 전면에서 앞으로 돌출되게 설치된 핀(1430a)과, 핀(1430a)이 삽입되게 커넥터용 툴(2410a)에 형성되는 삽입홀(2430a)을 포함한다.

이때, 삽입홀(2430a)은 도 29에 도시한 바와 같이 회전의 접선방향인 장공형 삽입홀(2430a)로 형성되는 것이 바람직하다.

따라서, 장공형 삽입홀(2430a)에 핀(1430a)의 삽입 적중률을 높이고, 서로 분리도 용이하게 한다.

이러한 핀(1430a)과 장공형 삽입홀(2430a)은 그 둘레를 따라 소정 간격(예컨대 적어도 120도 간격)으로 배치 설치되어 있다.

엔드캡툴용 액추에이터(450a)는 프레임(310)에 설치되는 받침판(350a)에 설치되는 엔드캡툴용 에어 실린더부(1450a)와, 엔드캡툴(410a)을 지지한 채 엔드캡툴용 에어 실린더부(1450a)에 설치되는 엔드캡툴용 브라켓(2450a)과, 받침판(350a)의 상면과 엔드캡툴용 브라켓(2450a)의 하면에 사이에 설치되는 제1엔드캡툴용 LM가이드(3450a)를 포함한다.

제1엔드캡툴용 LM가이드(3450a)는 받침판(350a)에 설치되는 제1가이드레일(3451a)과, 엔드캡툴용 브라켓(2450a)에 설치되는 제1가이드레일홈블록(3453a)의 결합으로 이루어진다.

엔드캡툴용 에어 실린더부(1450a)는 받침판(3450a)의 상면에 설치되는 엔드캡툴용 에어 실린더(1451a)와, 엔드캡툴용 브라켓(2450a)에 설치되는 피스톤(1453a)으로 이루어진다.

엔드캡툴용 지지브라켓(2450a)은 전체적으로 L자 형상으로서, 복귀에추에이터(470a)가 설치되는 판 형상의 엔드캡툴용 블록(2451a)과, 엔드캡툴용 블록(2451a)의 전방에 배치 설치되는 L자형 엔드캡툴용 브라켓(2453a)을 포함한다.

이러한 구성에 의하면, 엔드캡툴(410a)이 항상 커넥터(510a)보다 앞쪽에 위치하고 있는 배치이기 때문에, 가스 실린더의 투입 시나 커넥터(510a)의 수리 시 간섭이 일어날 우려가 있다.

그래서, 엔드캡툴(410a)이 커넥터(510a)와 병렬로 나란히 있을 때 도 27 및 도 35a와 같이 커넥터(510a) 보다 앞쪽으로 나와 있지 않게 캠팔로우부(490a)가 더 포함된다.

캠팔로우부(490a)는 도 36 및 도 38에 도시한 바와 같이, 엔드캡툴용 블록(2451a)에서 아래로 돌출한 캠팔로우(1490a)와, 받침판(350a)에 형성되는 캠팔로우용 레일(2490a)과, 제1가이드레일홈블록(3453a)과 엔드캡툴용 블록(2451a) 사이에 전후진 가이드하는 제2엔드캡툴용 LM가이드(3490a)를 포함하되, 피스톤(1453a)은 제1가이드레일홈블록(3453a)에 설치된다.

캠팔로우용 레일(2490a)은 거의 L자에 가까운 곡선 레일(2491a)과 직선 레일(2493a)로 이루어진다.

직선 레일(2493a)은 제1가이드레일(3451a)과 평행하게 전방에 형성된다.

곡선 레일(2491a)은 적어도 제1가이드레일(3451a)과 직선 레일(2493a) 사이에 외측으로 볼록한 원호로 형성되되, 그 시점이 제1가이드레일(3451a)과 같은 선상에 있고, 종점은 직선 레일(2493a)의 시점과 연결되는 게 바람직하다.

제2엔드캡툴용 LM가이드(3490a)는 제1가이드레일홈블록(3453a)에 설치되는 제2가이드레일블록(3491a)과, 엔드캡툴용 블록(2451a)의 하면에 설치되는 제2가이드레일홈블록(3493a)이 결합되게 이루어진다.

따라서, 제1가이드레일홈블록(3453a)이 후방쪽으로 당겨지면 캠팔로우(1490a)가 곡선 레일(2491a)을 따라 지날 때 제2가이드레일블록(3491a)에 대해 제2가이드레일홈블록(3493a)이 앞으로 전진하기 때문에 자연스럽게 직선 레일(2493a)을 타서 넘어 도 37과 같이 그 앞에 직렬로 배치되게 된다.

복귀액추에이터(470a)는 엔드캡(8)을 분리할 때 분리되는 양에 따라 엔드캡툴(410a)을 후진시키는 프리 백 실린더(free back cylinder)이다.

즉, 복귀액추에이터(470a)는 후진되는 방향으로만 에어가 주입되는 것으로, 전진할 땐 무부하 상태이다.

따라서, 커넥터부재(500a)와 엔드캡툴(410a)이 출구 포트(5)로 전진할 경우, 커넥터부재(500a)는 부하 상태, 엔드캡툴(410a)은 무부하 상태로서 커넥터부재(500a)가 엔드캡툴(410a)을 밀고 간다.

특히, 복귀액추에이터(470a)는 커넥터부재(500a)가 엔드캡툴부(400a)에 가하는 힘을 조절하여 반감시키는 기능도 하여 엔드캡(8)과의 결합에 무리한 힘을 가하지 않게 된다.

반대로, 커넥터부재(500a)와 엔드캡툴(410a)이 출구 포트(5)에서 후진할 경우, 커넥터부재(500a)는 무부하 상태, 엔드캡툴(410a)은 부하 상태로서, 엔드캡툴(410a)이 커넥터부재(500a)를 당겨 간다.

엔드캡툴(410a)의 후진이 완료되는 위치에 오면, 커넥터부재(500a)는 부하상태에서 후진해서 핀(1430a)이 장공형 삽입홀(2430a)에서 완전히 빠져 나오게 된다.

이와 같은 복귀액추에이터(470a)는 도 40에 도시한 바와 같이 엔드캡툴용 블록(2451a)의 상면에 설치되는 백 실린더(1470a)와, 엔드캡툴용 브라켓(2453a)에 설치되는 백 피스톤(2470a)을 포함한다.

백 피스톤(2470a)은 백 실린더(1470a)의 상면에 LM가이드로 결합되는 백피스톤용 블록(2471a)에 설치되고, 백피스톤용 블록(2471)은 엔드캡툴용 브라켓(2453a)에 설치되어 있다.

또한, 복귀액추에이터(470a)의 전후에는 엔드캡툴용 블록(2451a)에 대해 엔드캡툴용 브라켓(2453a)의 슬라이딩을 가이드하는 가이드바(3470a)가 설치되어 있다.

가이드바(3740a)의 일단이 엔드캡툴용 브라켓(2453a)에 고정된 채 엔드캡툴용 블록(2451a)의 가이드홀(3742a)에 삽입된 채 가이드되게 된다.

이러한 복귀액추에이터(470a)와 가이드바(3740a)의 구성에 의해 엔드캡툴(410a)의 전후진이 안정적으로 가이드 되게 된다.

이하에서는 도 35 내지 도 42를 참조하여, 커넥터부재(500a)와 엔드캡툴부(400a)를 조합하여 엔드캡(8)을 출구포트(5)로부터 분리되는 방법을 설명한다.

도 35는 엔드캡(8)과 직선상으로 마주하는 커넥터부재(500a)의 커넥터(510a)와 엔드캡툴부(400a)의 엔드캡툴(410a)이 병렬로 작업 초기 상태이다.

도 35a에 도시한 바와 같이, 정면에서 볼 때 엔드캡툴(410a)이 커넥터(510a)보다 약간 뒤에 배치되어 있지만, 같은 선상에 배치되어도 무방하다.

작업 초기 상태에서, 도 37 및 도 38과 같이 엔드캡툴용 에어 실린더부(1450a)의 피스톤(1453a)이 커넥터(510a)에 접근되는 y방향으로 당기면, 제2엔드캡툴용 LM가이드(3490a)에 의해 캠팔로우(1490)가 곡선 레일(2491a)을 타고 직선 레일(2493a)로 넘어 x방향으로 가서, 커넥터(510a)에 엔드캡툴(410a)이 직렬로 위치하게 된다.

도 37과 같이 엔드캡툴(410a)이 커넥터(510a) 앞에 놓이면, 제3에어 실린더부(575a)를 작동시켜 커넥터부재(500a)를 전진(x방향)시키면, 핀(1430a)이 장공형 삽입홀(2430a)에 삽입된 채 엔드캡툴(410a)도 함께 전진(x방향)되어 도 39와 같이 엔드캡용 툴(1410a)이 엔드캡(8)에 끼워지게 된다.

그 다음 제3에어 실린더부(575a)를 무부하 상태(중간배기상태)로 전환시키고, 제1액추에이터(530a)의 중공감속기(533a)를 통해 다각형 중공부(512a)가 x축 중심으로 회전되면 회전동력전달부(430a)를 통해 엔드캡툴(410a)이 회전되면서 출구포트(5)로부터 엔드캡(8)이 풀려 나오게 된다.

이때 엔드캡(8)이 풀려나오는 양에 따라 복귀액추에이터(470a)에 의해 엔드캡툴(410a)과 커넥터부재(500a)가 함께 복귀되게 된다.

엔드캡툴(410a)의 복귀가 완료되면, 커넥터부재(500a)가 부하상태로 전환시켜 제3에어 실린더부(575a)를 원래 위치로 복귀시켜 핀(1430a)이 장공형 삽입홀(2430a)에서 완전히 빠지게 한다(도 41 참조).

도 41과 같이 엔드캡(8)의 분리가 완료되면, 엔드캡툴용 에어 실린더부(1450a)의 피스톤(1453a)이 커넥터(510a)로부터 멀어지는 y방향으로 밀면, 제2엔드캡툴용 LM가이드(3490a)에 의해 캠팔로우(1490)가 직선 레일(2493a)을 타고 곡선 레일(2491a)로 넘어가서, 도 42와 같이 엔드캡(8)을 홀딩한 엔드캡툴(410a)이 커넥터(510a)와 병렬인 작업 완료 위치로 복귀하게 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.

1 : 가스실린더 3 : 밸브
5 : 출구포트 8 : 엔드캡
9 : 얼라인 지그 100 : 캐비닛
110 : 천장 200 : 호이스트모듈
210 : 다단실린더 220 : 와이어
230 : 수평 도르래 240 : 수직 도르래
300,300a : 가스자동공급모듈 310 : 프레임
400 : 엔드캡부재 410 : 엔드캡분리/체결부
400a : 엔드캡툴부 410a : 엔드캡툴
430a : 회전동력전달부 450a : 엔드캡용 액추에이터
470a : 복귀액추에이터 490a : 캠팔로우부
500 : 커넥터부재 510,510a : 커넥터
511,511a : 배관 512a : 다각형 중공부
513a : 그랜드 너트 514a : 그랜드
515a : 그랜드가이드부 516a : 볼 부시
517a : 볼부시 하우징 518a : 연결편
519a : 플랜지 520a : 그랜드복귀스프링
521a : 스토퍼 600 : 커넥터플러그부재
610 : 커넥터플러그 700 : 가스켓투입/투출부재
800 : 가스켓공급부재 810 : 가스켓공급부
813 : 가스켓 저장통 813a : 배면케이스
813b : 투명한 전면커버 820 : 가스켓차지부
830 : 가스켓척킹부 840 : 제8액추에이터
900 : 밸브셔터부재 910 : 밸브셔터

Claims (4)

1. 가스실린더(1)의 출구포트(5)에 커넥터(510)가 체결/해제되는 커넥터부재(500)와,
   커넥터(510)에 커넥터플러그(610)가 체결/해제되는 커넥터플러그부재(600)와,
   커넥터(510)에 가스켓(G)을 투입/투출하는 가스켓투입/투출부재(700)와,
   가스켓투입/투출부재(700)에 가스켓(G)을 공급하는 가스켓공급부재(800)와,
   가스실린더(1)의 밸브(3)를 온/오프시키는 밸브셔터부재(900)를 포함하되,
   커넥터부재(500)는 프레임(310)의 배면판(311)에 배치되고, 가스켓투입/투출부재(700)는 프레임(310)의 우측판(313)에 설치되고, 커넥터플러그부재(600)와 가스켓투입/투출부재(700)는 서로 겹쳐 작동되게 프레임(310)의 우측판(313)에 설치되고, 가스켓공급부재(800)는 가스켓투입/투출부재(700)의 전방인 프레임(310)의 전면(315) 우측에 설치되고, 밸브셔터부재(900)는 프레임(310)의 상판에 수직하게 설치되는 가스실린더의 가스자동공급모듈.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   가스켓공급부재(800)는 전면 우측에 배치되는 가스켓공급부(810)와, 가스켓공급부(810)로부터 공급된 가스켓(G)을 차지(charge) 및 척킹하는 가스켓차지부(820)와 가스켓척킹부(830), 가스켓차지부(820)의 가스켓(G)을 가스켓척킹부(830)로 리프팅(업)시키는 제8액추에이터(840)를 포함하되, 가스켓공급부(810)는 상측엔 가스켓투입구(811)가 하측엔 가스켓배출구(812)가 형성되는 가스켓 저장통(813)을 포함하고, 가스켓 저장통(813)은 배면에 배치되는 ㄷ자 단면의 배면케이스(813a)와, 배면케이스(813a)의 전면에 설치되는 투명한 전면커버(813b)를 포함하는 가스실린더의 가스자동공급모듈.
   
3. 청구항 2에 있어서,
   가스켓차지부(820)는 가스켓(G)의 하면 및 배면을 받치는 하면 및 배면 받침편(821)(822)을 갖는 가스켓차지판(823)과, 가스켓(G)의 전면을 받치는 가스켓용 블록(824)을 포함하고, 하면 받침편(821)은 가스켓(G)의 하면과 같은 궤적인 아래로 오목한 원호 형상이고, 배면 받침편(822)은 가스켓차지판(823)의 수직 중심 선상에서 돌출된 바 형상인 가스실린더의 가스자동공급모듈.
4. 삭제

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