KR102360920B1 - Foup storage device used in semiconductor production line - Google Patents

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KR102360920B1
KR102360920B1 KR1020210023173A KR20210023173A KR102360920B1 KR 102360920 B1 KR102360920 B1 KR 102360920B1 KR 1020210023173 A KR1020210023173 A KR 1020210023173A KR 20210023173 A KR20210023173 A KR 20210023173A KR 102360920 B1 KR102360920 B1 KR 102360920B1
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김현수
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주식회사 에이치씨씨
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Abstract

The present invention relates to a FOUP storage device located on the side of an OHT running rail in a semiconductor production line and temporarily storing a FOUP in which a plurality of wafers are accommodated. The FOUP storage device (100) includes: one pair of side plates (110) spaced apart to face each other; a lower plate (120) provided between the lower sides of the pair of side plates (110) and seating the FOUP; and a coupling member (130) coupled to the bottom surface of the lower plate (120) and coupled to each of the pair of side plates (110). So, by reducing the number of parts of the FOUP storage device (100), the costs can be reduced, and assembly performance can be improved.

Description

반도체 생산라인에서 사용되는 풉 저장 장치{Foup storage device used in semiconductor production line}Foup storage device used in semiconductor production line

본 발명은 풉 저장 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 생산라인에서 다수의 웨이퍼가 수용된 풉을 다른 공정설비로 이송하기에 앞서 일시적으로 보관하기 위한 반도체 생산라인에서 사용되는 풉 저장 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a FOUP storage device, and more particularly, to a FOOP storage device used in a semiconductor production line for temporarily storing a FOOP containing a plurality of wafers in a semiconductor production line prior to transferring it to another process facility. .

반도체 웨이퍼의 가공공정을 수행하기 위한 장치는 가공 모듈과 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 모듈로 구성되며, 이송 모듈은 스토커(Stocker), Over Head Shuttle(OHS), Overhead Hoist Transport(OHT), Automated Guided Vehicle(AGV), Rail Guided Vehicle(RGV) 등이 있다. The device for performing the semiconductor wafer processing process consists of a processing module and a transfer module for transferring the wafer, and the transfer module is a Stocker, Over Head Shuttle (OHS), Overhead Hoist Transport (OHT), Automated Guided Vehicle. (AGV) and Rail Guided Vehicle (RGV).

이러한 이송 모듈들은 모두 사용자들의 초기 투자비에 대한 부담을 줄여주고 가격 경쟁력 향상을 위한 운전비(Running cost)의 절감, 웨이퍼 이송 중의 오염 방지, 제품 수율 향상 등이 목적이다. All of these transfer modules aim to reduce the burden on users' initial investment, reduce running costs for price competitiveness, prevent contamination during wafer transfer, and improve product yield.

천장 물류 이송 시스템인 OHT는 클린룸 상부에 설치된 레일을 따라 이동하면서 웨이퍼 및 패키지를 저장하는 개구 통합형 포드(FOUP, Front Opening Unified POD, 이하 '풉')들을 이재, 적재하고 이송시키는 역할을 수행하는 장비이다. OHT, the overhead logistics transport system, moves along the rail installed at the top of the clean room and transfers, loads, and transports FOUP (Front Opening Unified POD, hereinafter 'FOUP') that store wafers and packages. it is equipment

반도체 생산라인에서 웨이퍼는 풉이라는 보관수단 내에 다수개가 적재 보관된 상태로 이송로봇에 의해 다른 공정 설비로 이송되거나 또는 다른 공정설비로 이송되기에 앞서 일시적으로 풉 저장 장치에 보관된다. In the semiconductor production line, wafers are transferred to other process facilities by a transfer robot in a state in which a plurality of wafers are loaded and stored in a storage means called FOUP, or are temporarily stored in the FOUP storage device before being transferred to other process equipment.

상기 풉 저장 장치는 OHT 주행레일 측면에 위치한 저장 공간으로 공정을 마친 풉을 저장하는 공간이다. The FOUP storage device is a storage space located on the side of the OHT running rail, and is a space for storing the FOOP that has been processed.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 풉 저장 장치(1)는 다수의 수직부재(11)와 이를 연결하는 수평연결부재(13)에 의해 형성되고 상단에는 천장과 같은 설치장소에 고정하기 위한 고정부재가 구비되는 본체프레임(10)과, 상기 본체프레임(10)의 하단에 설치되고 풉이 안착 가능한 다수의 안착대(20)가 구비되는 선반(12)을 포함하는 구조를 가진다. As shown in Fig. 1, the conventional FOUP storage device 1 is formed by a plurality of vertical members 11 and a horizontal connecting member 13 connecting them, and the upper end is fixed for fixing to an installation place such as a ceiling. It has a structure including a body frame 10 provided with a member, and a shelf 12 installed at the lower end of the body frame 10 and provided with a plurality of mounting tables 20 on which the FOUP can be mounted.

다시 말해서, 종래의 풉 저장 장치(1)는 다수개의 부재들을 필요로 하여 본체프레임(10)을 이루게 된다. In other words, the conventional FOUP storage device 1 requires a plurality of members to form the body frame 10 .

이렇듯 종래의 풉 저장 장치(1)는 부품수가 많아 단가가 높음은 물론 많은 부품수로 조립성이 떨어질 뿐 아니라 각각의 부품들을 나사 결합되는 형태여서 인력에 의한 조립이나 자동화 기계를 이용한 조립 시 많은 시간이 소요된다는 문제점을 갖는다. As such, the conventional FOUP storage device (1) has a high unit price due to the large number of parts, as well as poor assembly properties with a large number of parts. There is a problem that this takes.

대한민국 등록특허공보 등록번호 제10-1674454호Republic of Korea Patent Publication Registration No. 10-1674454 대한민국 공개특허공보 공개번호 제10-2009-0060940호Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2009-0060940 대한민국 공개특허공보 공개번호 제10-2016-0066211호Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2016-0066211 대한민국 공개특허공보 공개번호 제10-2020-0035687호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2020-0035687

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 가능한 부품수를 감소시켜 원가를 절감하고 조립성을 향상시켜 조립을 원활하고 신속하게 할 수 있으며 유지 및 보수를 효율적으로 할 수 있는 반도체 생산라인에서 사용되는 풉 저장 장치를 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.The present invention is intended to solve the above-described problems, and it is used in a semiconductor production line that can reduce the number of possible parts to reduce the cost, improve the assembling property, make assembly smoothly and quickly, and efficiently maintain and repair The purpose is to provide a FOUP storage device that can be used.

그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned object, and another object not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 생산라인에서 OHT 주행레일 측면에 위치하여 다수의 웨이퍼가 수용된 풉(foup)을 일시적으로 보관하기 위한 풉 저장 장치에 있어서, 상기 풉 저장 장치(100)는, 서로 마주 보도록 이격 배치된 한 쌍의 측면 플레이트(110)와, 상기 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 하부측 사이에 구비되며, 상기 풉이 안착되는 하부 플레이트(120)와, 상기 하부 플레이트(120)의 바닥면에 결합되면서 상기 한 쌍의 측면 플레이트(110) 각각과 결합되는 결합부재(130)를 포함하여 이루어져, 상기 풉 저장 장치(100)의 부품수를 감소시켜 원가를 절감하면서 조립성을 향상시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 풉 저장 장치가 제공된다. In order to achieve the above object, the present invention provides a FOUP storage device for temporarily storing a foup in which a plurality of wafers are accommodated by being located on the side of an OHT running rail in a semiconductor production line, wherein the FOOP storage device 100 comprises: , a pair of side plates 110 spaced apart from each other to face each other, a lower plate 120 provided between the lower sides of the pair of side plates 110 and on which the FOUP is seated, and the lower plate ( 120) and includes a coupling member 130 coupled to each of the pair of side plates 110 while being coupled to the bottom surface of the unit 120), thereby reducing the number of parts of the FOUP storage device 100 and reducing the cost while assembling There is provided a FOUP storage device, characterized in that it can improve.

또한, 상기 한 쌍의 측면 플레이트(110)와 하부 플레이트(120) 각각은 소정 두께를 갖는 하나의 플레이트로 형성되고, 상기 하부 플레이트(120)와 결합부재(130) 및 상기 측면 플레이트(110)와 결합부재(130)는 각각 체결부재(200)를 매개로 각각 결합되어, 상기 풉 저장 장치(100)의 부품수를 감소시켜 원가를 절감하면서 조립성을 향상시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 풉 저장 장치가 제공된다. In addition, each of the pair of side plates 110 and the lower plate 120 is formed of one plate having a predetermined thickness, and the lower plate 120, the coupling member 130 and the side plate 110 are The coupling members 130 are respectively coupled through the fastening members 200, respectively, to reduce the number of parts of the FOOP storage device 100, thereby reducing the cost and improving the assembling property. is provided

또한, 상기 하부 플레이트(120)는 상기 풉이 안착되는 시트부(121)가 구비되되, 상기 결합부재(130)는, 상기 시트부(121)의 길이방향을 따라 길게 구비되어 결합될 때, 상기 시트부(121)의 바닥면에 구비되어 결합되는 받침부(131)와, 상기 받침부(131)와 일체로 연결되며 상기 시트부(121)의 길이방향의 양쪽 끝단을 돌출하여 형성된 삽입부(132)를 포함하여 이루어진다.In addition, the lower plate 120 is provided with a seat portion 121 on which the FOUP is seated, and the coupling member 130 is provided long in the longitudinal direction of the seat portion 121 and, when coupled, the A support part 131 provided and coupled to the bottom surface of the seat part 121, and an insertion part ( 132) is included.

또한, 상기 측면 플레이트(110)는, 베이스부(111)와, 상기 베이스부(111)의 양측에 일체로 형성되며, 상기 삽입부(132)가 삽입되는 조립부(112)와, 상기 베이스부(111) 상단에서 상부측으로 돌출된 돌출부(113)를 포함하여 이루어지고, 상기 조립부(112)는, 상기 베이스부(111) 끝단에서 구부러진 제1조립부재(112a)와, 상기 제1조립부재(112a)의 끝단에서 상기 베이스부(111)와 평행하도록 구부러진 제2조립부재(112b)와, 상기 제2조립부재(112b) 끝단에서 상기 제1조립부재(112a)와 마주보도록 구부러진 제3조립부재(112c)를 포함하여 이루어진다. In addition, the side plate 110 includes a base portion 111 and an assembly portion 112 integrally formed on both sides of the base portion 111 and into which the insertion portion 132 is inserted, and the base portion (111) is made including a protrusion 113 protruding from the upper end to the upper side, and the assembly portion 112 includes a first assembly member 112a bent from an end of the base portion 111, and the first assembly member A second assembly member 112b bent so as to be parallel to the base part 111 at the end of the 112a, and a third assembly bent to face the first assembly member 112a at the end of the second assembly member 112b and a member 112c.

또한, 상기 결합부재(130)의 단면은 직사각형을 이루고, 각각의 면에는 길이방향을 따라 내입된 가이드 홈(133)이 하나 이상 형성되며, 상기 가이드 홈(133)은, 상기 결합부재(130)의 길이방향의 양단이 개방되도록 내입된 안내홈(133a)과, 상기 안내홈(133a)에서 결합부재(130)의 반경방향 외측으로 개방되는 개방홈(133b)을 포함하여 이루어지되, 상기 결합부재(130)에는 상기 안내홈(133a)의 개방부를 덮도록 돌출되어 그 사이로 상기 개방홈(133b)이 형성되는 안내돌기(134)가 형성된다. In addition, the cross-section of the coupling member 130 is rectangular, and one or more guide grooves 133 inserted along the longitudinal direction are formed on each surface, and the guide grooves 133 are, the coupling member 130 . A guide groove 133a inserted so that both ends of the longitudinal direction are opened, and an open groove 133b opened radially outwardly of the coupling member 130 in the guide groove 133a, wherein the coupling member At 130, a guide protrusion 134 protrudes to cover the opening of the guide groove 133a, and the open groove 133b is formed therebetween.

또한, 상기 체결부재(200)는, 상기 결합부재(130)의 가이드 홈(133)에 끼워지는 볼트부(210)와, 상기 볼트부(210)에 체결되는 너트부(220)를 포함하여 이루어지되, 상기 볼트부(210)는 상기 안내홈(133a)에 끼워지는 머리부(211)와, 상기 머리부(211)에 결합되어 외주면에 나사산이 형성되고, 상기 개방홈(133b)을 관통하여 구비되는 나사부(212)를 포함하여 이루어진다. In addition, the fastening member 200 includes a bolt part 210 fitted into the guide groove 133 of the coupling member 130 and a nut part 220 fastened to the bolt part 210 . However, the bolt part 210 includes a head 211 fitted into the guide groove 133a, and a screw thread formed on an outer circumferential surface by being coupled to the head 211 and passing through the open groove 133b. It is made to include a screw portion 212 is provided.

또한, 상기 시트부(121)와 제1조립부재(112a) 및 제3조립부재(112c)의 소정의 위치에는 상기 나사부(212)가 관통되는 체결홈(H)이 다수개 형성되어 상기 돌출된 나사부(212)에 상기 너트부(220)가 체결된다. In addition, a plurality of fastening grooves (H) through which the screw portion 212 passes are formed at predetermined positions of the seat portion 121, the first assembly member 112a, and the third assembly member 112c. The nut part 220 is fastened to the screw part 212 .

또한, 상기 풉 저장 장치(100)는, 상기 풉 저장 장치(100)를 천장과 같은 설치장소에 고정하기 위한 서포트 플레이트(140)를 더 포함하여 이루어지되, 상기 서포트 플레이트(140)는, 상기 돌출부(113)에 안착되어 결합되면서 설치장소에 고정되기 위한 고정수단이 구비되는 제1브라켓부(141)와, 상기 조립부(112) 사이에 구비되어 상기 조립부(112)와 결합되는 제2브라켓부(142)와, 상기 제1브라켓부(141)와 제2브라켓부(142)를 일체로 연결하는 이음부(143)를 포함하여 이루어진다. In addition, the FOOP storage device 100 further includes a support plate 140 for fixing the FOOP storage device 100 to an installation place such as a ceiling, wherein the support plate 140 includes the protrusion A first bracket portion 141 provided with a fixing means for being seated and coupled to an installation place while being seated on the 113, and a second bracket provided between the assembly portion 112 and coupled to the assembly portion 112 It comprises a part 142 and a joint part 143 for integrally connecting the first bracket part 141 and the second bracket part 142 .

또한, 상기 제2 브라켓부(142)는, 상기 이음부(143)와 연결되는 수평 프레임부(142a)와, 상기 수평 프레임부(142a)의 양단에서 하부측으로 구부러져 상기 조립부(112)와 결합되는 수직 프레임부(142b)를 포함하여 이루어지되, 상기 서포트 플레이트(140)와 측면 플레이트(110)를 조립할 때, 상기 제1브라켓부(141)를 상기 벤딩부(113a)에 안착시키면 상기 제2브라켓부(142)는 상기 조립부(112) 사이에 삽입되어 조립성을 향상시킨 것을 특징으로 하는 풉 저장 장치가 제공된다. In addition, the second bracket part 142 includes a horizontal frame part 142a connected to the joint part 143 and is bent downward from both ends of the horizontal frame part 142a to be coupled to the assembly part 112 . and a vertical frame portion 142b that becomes The bracket part 142 is inserted between the assembly parts 112 to provide a loot storage device, characterized in that the assembly is improved.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary meaning, and the inventor may properly define the concept of a term to describe his invention in the best way. Based on the principle that there is, it should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 한 쌍의 측면 플레이트와 하부 플레이트 및 결합부재를 구비함으로써 풉 저장 장치의 부품수를 가능한 감소시켜 원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, by providing a pair of side plates, a lower plate, and a coupling member, the number of parts of the FOOP storage device can be reduced as much as possible, thereby reducing costs.

또한, 한 쌍의 측면 플레이트와 하부 플레이트는 결합부재를 매개로 조립됨으로써 조립성을 향상시켜 조립을 원활하고 신속하게 할 수 있으며 유지 및 보수를 효율적으로 할 수 있는 효과가 있다.In addition, the pair of side plates and the lower plate is assembled through a coupling member, thereby improving assembling properties, so that assembly can be performed smoothly and quickly, and maintenance and repair can be performed efficiently.

도 1은 종래의 풉 저장 장치를 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 풉 저장 장치를 개략적으로 도시한 사시도,
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 측면 플레이트와 서포트 플레이트를 개략적으로 도시한 사시도,
도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 측면 플레이트를 개략적으로 도시한 (a)정면도 및 (b)평면도,
도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 하부 플레이트와 결합부재를 개략적으로 도시한 분해 사시도,
도 6은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 하부 플레이트와 결합부재가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 평면도,
도 7은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 하부 플레이트와 결합부재가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 정면도,
도 8은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 측면 플레이트와 결합부재가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 저면도,
도 9는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 서포트 플레이트를 개략적으로 도시한 사시도,
도 10은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 서포트 플레이트를 개략적으로 도시한 (a)정면도 및 (b)측면도,
도 11은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 체결부재를 개략적으로 도시한 사시도이다. 1 is a perspective view schematically showing a conventional FOUP storage device;
2 is a perspective view schematically showing a FOUP storage device according to a preferred embodiment of the present invention;
3 is a perspective view schematically showing a side plate and a support plate according to a preferred embodiment of the present invention;
4 is (a) a front view and (b) a plan view schematically showing a side plate according to a preferred embodiment of the present invention;
5 is an exploded perspective view schematically showing a lower plate and a coupling member according to a preferred embodiment of the present invention;
6 is a plan view schematically showing a state in which a lower plate and a coupling member are coupled according to a preferred embodiment of the present invention;
7 is a front view schematically showing a state in which the lower plate and the coupling member are coupled according to a preferred embodiment of the present invention;
8 is a bottom view schematically showing a state in which a side plate and a coupling member are coupled according to a preferred embodiment of the present invention;
9 is a perspective view schematically showing a support plate according to a preferred embodiment of the present invention;
10 is (a) a front view and (b) a side view schematically showing a support plate according to a preferred embodiment of the present invention;
11 is a perspective view schematically illustrating a fastening member according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of the lines or the size of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.In addition, the terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of the user or operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the content throughout this specification.

아울러, 아래의 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.In addition, the following examples do not limit the scope of the present invention, but are merely exemplary matters of the components presented in the claims of the present invention, and are included in the technical spirit throughout the specification of the present invention and constitute the claims Embodiments including substitutable elements as equivalents in elements may be included in the scope of the present invention.

첨부된 도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 풉 저장 장치를 개략적으로 도시한 사시도, 도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 측면 플레이트와 서포트 플레이트를 개략적으로 도시한 사시도, 도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 측면 플레이트를 개략적으로 도시한 (a)정면도 및 (b)평면도, 도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 하부 플레이트와 결합부재를 개략적으로 도시한 분해 사시도, 도 6은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 하부 플레이트와 결합부재가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 평면도, 도 7은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 하부 플레이트와 결합부재가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 정면도, 도 8은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 측면 플레이트와 결합부재가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 저면도, 도 9는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 서포트 플레이트를 개략적으로 도시한 사시도, 도 10은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 서포트 플레이트를 개략적으로 도시한 (a)정면도 및 (b)측면도, 도 11은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 체결부재를 개략적으로 도시한 사시도이다. Figure 2 is a perspective view schematically showing a FOUP storage device according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a perspective view schematically showing a side plate and a support plate according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 4 is (a) a front view and (b) a plan view schematically showing a side plate according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 5 schematically shows a lower plate and a coupling member according to a preferred embodiment of the present invention. An exploded perspective view, FIG. 6 is a plan view schematically showing a state in which a lower plate and a coupling member are coupled according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a lower plate and a coupling member are coupled according to a preferred embodiment of the present invention. 8 is a bottom view schematically showing a state in which a side plate and a coupling member are coupled according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 9 is a preferred embodiment of the present invention 10 is a perspective view schematically showing a support plate according to (a) a front view and (b) a side view schematically showing a support plate according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. It is a perspective view schematically showing a fastening member according to.

도 2 이하에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 풉 저장 장치(100)는 서로 마주 보도록 이격 배치된 한 쌍의 측면 플레이트(110)와, 상기 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 하부측 사이에 구비되며, 상기 풉이 안착되는 하부 플레이트(120)와, 상기 하부 플레이트(120)의 바닥면에 결합되면서 상기 한 쌍의 측면 플레이트(110) 각각과 결합되는 결합부재(130)를 포함하여 이루어진다. 2 , the FOUP storage device 100 according to the present invention is disposed between a pair of side plates 110 spaced apart to face each other and the lower side of the pair of side plates 110 . and a lower plate 120 on which the FOUP is seated, and a coupling member 130 coupled to the bottom surface of the lower plate 120 and coupled to each of the pair of side plates 110 .

또한, 상기 하부 플레이트(120)는 상기 풉이 안착되는 시트부(121)가 구비된다.In addition, the lower plate 120 is provided with a seat portion 121 on which the FOUP is seated.

또한, 상기 한 쌍의 측면 플레이트(110)는 세워서 구비되며 상기 하부 플레이트(120)는 눕혀진 상태로 각각 결합되어 구비된다. In addition, the pair of side plates 110 is provided standing up, and the lower plate 120 is provided by being coupled to each other in a lying state.

또한, 상기 한 쌍의 측면 플레이트(110)와 하부 플레이트(120) 각각은 소정 두께를 갖는 하나의 플레이트로 형성된다.In addition, each of the pair of side plates 110 and the lower plate 120 is formed of one plate having a predetermined thickness.

그리고 상기 하부 플레이트(120)와 결합부재(130) 및 상기 측면 플레이트(110)와 결합부재(130)는 각각 체결부재(200)를 매개로 각각 결합되어 상기 풉 저장 장치(100)의 부품수를 감소시켜 원가를 절감하면서 조립성을 향상시킬 수 있는 풉 저장 장치를 제공한다. In addition, the lower plate 120 and the coupling member 130 and the side plate 110 and the coupling member 130 are respectively coupled via the coupling member 200 to determine the number of parts of the FOUP storage device 100 . To provide a FOUP storage device that can improve assembly performance while reducing cost.

한편, 상기 결합부재(130)는 상기 시트부(121)의 길이방향을 따라 길게 구비되어 결합될 때, 상기 시트부(121)의 바닥면에 구비되어 결합되는 받침부(131)와, 상기 받침부(131)와 일체로 연결되며 상기 시트부(121)의 길이방향의 양쪽 끝단을 돌출하여 형성된 삽입부(132)를 포함하여 이루어진다.On the other hand, when the coupling member 130 is provided long along the longitudinal direction of the seat portion 121 and coupled, the support portion 131 is provided and coupled to the bottom surface of the seat portion 121 and the support. It is integrally connected with the part 131 and includes an insertion part 132 formed by protruding both ends of the seat part 121 in the longitudinal direction.

그리고 상기 받침부(131)와 시트부(121)는 상기 체결부재(200)를 통해 결합된다. And the support part 131 and the seat part 121 are coupled through the fastening member 200 .

또한, 상기 측면 플레이트(110)는 베이스부(111)와, 상기 베이스부(111)의 양측에 일체로 형성되며, 상기 삽입부(132)가 삽입되는 조립부(112)와, 상기 베이스부(111) 상단에서 상부측으로 돌출된 돌출부(113)를 포함하여 이루어진다. In addition, the side plate 110 is integrally formed on both sides of the base part 111 and the base part 111, and the assembly part 112 into which the insertion part 132 is inserted, the base part ( 111) and a protrusion 113 protruding from the upper end to the upper side.

또한, 상기 조립부(112)는 상기 베이스부(111) 끝단에서 구부러진 제1조립부재(112a)와, 상기 제1조립부재(112a)의 끝단에서 상기 베이스부(111)와 평행하도록 구부러진 제2조립부재(112b)와, 상기 제2조립부재(112b) 끝단에서 상기 제1조립부재(112a)와 마주보도록 구부러진 제3조립부재(112c)를 포함하여 이루어진다.In addition, the assembly part 112 includes a first assembly member 112a bent at the end of the base part 111 , and a second assembly member 112a bent at the end of the first assembly member 112a to be parallel to the base part 111 . and an assembly member 112b and a third assembly member 112c bent to face the first assembly member 112a at the end of the second assembly member 112b.

그리고 상기 제1조립부재(112a)와 제3조립부재(112c) 사이에 상기 삽입부(132)가 삽입되어 상기 체결부재(200)를 통해 결합된다. And the insertion part 132 is inserted between the first assembly member 112a and the third assembly member 112c and is coupled through the fastening member 200 .

또한, 상기 결합부재(130)의 단면은 직사각형을 이루고, 각각의 면에는 길이방향을 따라 내입된 가이드 홈(133)이 하나 이상 형성된다.In addition, the cross-section of the coupling member 130 is rectangular, and one or more guide grooves 133 inserted along the longitudinal direction are formed on each surface.

또한, 상기 가이드 홈(133)은 상기 결합부재(130)의 길이방향의 양단이 개방되도록 내입된 안내홈(133a)과, 상기 안내홈(133a)에서 결합부재(130)의 반경방향 외측으로 개방되는 개방홈(133b)을 포함하여 이루어진다.In addition, the guide groove 133 has a guide groove 133a inserted so that both ends in the longitudinal direction of the coupling member 130 are opened, and the guide groove 133a opens outward in the radial direction of the coupling member 130 in the guide groove 133a. It is made to include an open groove (133b).

그리고 상기 결합부재(130)에는 상기 안내홈(133a)의 개방부를 덮도록 돌출되어 그 사이로 상기 개방홈(133b)이 형성되는 안내돌기(134)가 형성된다.In addition, the coupling member 130 is formed with a guide protrusion 134 protruding to cover the opening of the guide groove 133a and forming the open groove 133b therebetween.

또한, 상기 체결부재(200)는, 상기 결합부재(130)의 가이드 홈(133)에 끼워지는 볼트부(210)와, 상기 볼트부(210)에 체결되는 너트부(220)를 포함하여 이루어진다.In addition, the fastening member 200 includes a bolt part 210 fitted into the guide groove 133 of the coupling member 130 and a nut part 220 fastened to the bolt part 210 . .

그리고 상기 볼트부(210)는 상기 안내홈(133a)에 끼워지는 머리부(211)와, 상기 머리부(211)에 결합되어 외주면에 나사산이 형성되고, 상기 개방홈(133b)을 관통하여 구비되는 나사부(212)를 포함하여 이루어진다.And the bolt part 210 is provided with a head 211 fitted into the guide groove 133a, a screw thread is formed on the outer circumferential surface by being coupled to the head 211, and passing through the open groove 133b. It is made to include a screw portion 212 that is.

또한, 상기 시트부(121)와 제1조립부재(112a) 및 제3조립부재(112c)의 소정의 위치에는 상기 나사부(212)가 관통되는 체결홈(H)이 다수개 형성되어 상기 돌출된 나사부(212)에 상기 너트부(220)가 체결된다. In addition, a plurality of fastening grooves (H) through which the screw portion 212 passes are formed at predetermined positions of the seat portion 121, the first assembly member 112a, and the third assembly member 112c. The nut part 220 is fastened to the screw part 212 .

한편, 상기 풉 저장 장치(100)는 상기 풉 저장 장치(100)를 천장과 같은 설치장소에 고정하기 위한 서포트 플레이트(140)를 더 포함하여 이루어진다.Meanwhile, the FOOP storage device 100 further includes a support plate 140 for fixing the FOOP storage device 100 to an installation place such as a ceiling.

또한, 상기 서포트 플레이트(140)는 상기 돌출부(113)에 안착되어 결합되면서 설치장소에 고정되기 위한 고정수단이 구비되는 제1브라켓부(141)와, 상기 조립부(112) 사이에 구비되어 상기 조립부(112)와 결합되는 제2브라켓부(142)와, 상기 제1브라켓부(141)와 제2브라켓부(142)를 일체로 연결하는 이음부(143)를 포함하여 이루어진다. In addition, the support plate 140 is provided between the first bracket part 141 provided with a fixing means for being fixed to the installation place while being seated on the protrusion 113 and coupled to the protrusion part 113 and the assembling part 112 . A second bracket part 142 coupled to the assembly part 112 and a joint part 143 for integrally connecting the first bracket part 141 and the second bracket part 142 are included.

또한, 상기 제1브라켓부(141)의 단면은 'ㄱ' 형상을 이루도록 구비되고, 상기 돌출부(113)의 상부측은 상기 제1브라켓부(141)와 대응되도록 구부러진 벤딩부(113a)가 형성되어, 상기 제1브라켓부(141)는 상기 벤딩부(113a)의 상부면에 안착되어 결합된다. In addition, the cross-section of the first bracket part 141 is provided to form a 'L' shape, and the upper side of the protrusion part 113 is formed with a bending part 113a bent to correspond to the first bracket part 141, , the first bracket part 141 is seated and coupled to the upper surface of the bending part 113a.

또한, 상기 제2 브라켓부(142)는 상기 이음부(143)와 연결되는 수평 프레임부(142a)와, 상기 수평 프레임부(142a)의 양단에서 하부측으로 구부러져 상기 조립부(112)와 결합되는 수직 프레임부(142b)를 포함하여 이루어진다.In addition, the second bracket part 142 includes a horizontal frame part 142a connected to the joint part 143, and is bent downward from both ends of the horizontal frame part 142a to be coupled to the assembly part 112. It is made to include a vertical frame portion (142b).

또한, 상기 서포트 플레이트(140)와 측면 플레이트(110)를 조립할 때, 상기 제1브라켓부(141)를 상기 벤딩부(113a)에 안착시키면 상기 제2브라켓부(142)는 상기 조립부(112) 사이에 삽입되어 조립성을 향상시킨다. In addition, when assembling the support plate 140 and the side plate 110 , when the first bracket part 141 is seated on the bending part 113a , the second bracket part 142 becomes the assembly part 112 . ) to improve assembly.

또한, 상기 풉 저장 장치(100)는, 상기 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 상부측 사이를 연결하는 상부연결부재(150)를 더 포함하여 이루어진다. In addition, the FOUP storage device 100 further includes an upper connection member 150 connecting the upper sides of the pair of side plates 110 .

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.Although the present invention has been described in detail through specific examples, this is for the purpose of describing the present invention in detail, and the present invention is not limited thereto. It is clear that the modification or improvement is possible.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 범주에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 명확해질 것이다.All simple modifications and variations of the present invention fall within the scope of the present invention, and the specific scope of protection of the present invention will be clarified by the appended claims.

100 : 풉 저장 장치 110 : 측면 플레이트
111 : 베이스 플레이트부 112 : 조립부
112a : 제1조립부재 112b : 제2조립부재
112c : 제3조립부재 113 : 돌출부
113a : 벤딩부 120 : 하부 플레이트
121 : 시트 플레이트부 130 : 결합부재
131 : 받침부 132 : 삽입부
133 : 가이드 홈 133a : 안내홈
133b : 개방홈 134 : 안내돌기
140 : 서포트 플레이트 141 : 제1브라켓부
142 : 제2브라켓부 142a : 수평 프레임부
142b : 수직 프레임부 143 : 이음부
150 : 상부연결부재 200 : 체결부재
210 : 볼트부 211 : 머리부
212 : 나사부 220 : 너트부
100: poop storage device 110: side plate
111: base plate part 112: assembly part
112a: first assembly member 112b: second assembly member
112c: third assembly member 113: protrusion
113a: bending part 120: lower plate
121: seat plate 130: coupling member
131: support part 132: insertion part
133: guide groove 133a: guide groove
133b: open groove 134: guide projection
140: support plate 141: first bracket part
142: second bracket part 142a: horizontal frame part
142b: vertical frame portion 143: joint
150: upper connection member 200: fastening member
210: bolt 211: head
212: screw part 220: nut part

Claims (9)

반도체 생산라인에서 OHT 주행레일 측면에 위치하여 다수의 웨이퍼가 수용된 풉(foup)을 일시적으로 보관하기 위한 풉 저장 장치(100)에 있어서,
상기 풉 저장 장치(100)는,
서로 마주 보도록 이격 배치된 한 쌍의 측면 플레이트(110)와,
상기 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 하부측 사이에 구비되며, 상기 풉이 안착되는 하부 플레이트(120)와,
상기 하부 플레이트(120)의 바닥면에 결합되면서 상기 한 쌍의 측면 플레이트(110) 각각과 결합되는 결합부재(130)를 포함하여 이루어져,
상기 풉 저장 장치(100)의 부품수를 감소시켜 원가를 절감하면서 조립성을 향상시킬 수 있는 것으로,
상기 한 쌍의 측면 플레이트(110)와 하부 플레이트(120) 각각은 소정 두께를 갖는 하나의 플레이트로 형성되고,
상기 하부 플레이트(120)와 결합부재(130) 및 상기 측면 플레이트(110)와 결합부재(130)는 각각 체결부재(200)를 매개로 각각 결합되고,
상기 하부 플레이트(120)는 상기 풉이 안착되는 시트부(121)가 구비되되,
상기 결합부재(130)는,
상기 시트부(121)의 길이방향을 따라 길게 구비되어 결합될 때,
상기 시트부(121)의 바닥면에 구비되어 결합되는 받침부(131)와,
상기 받침부(131)와 일체로 연결되며 상기 시트부(121)의 길이방향의 양쪽 끝단을 돌출하여 형성된 삽입부(132)를 포함하여 이루어지고,
상기 받침부(131)와 시트부(121)는 상기 체결부재(200)를 통해 결합되고,
상기 측면 플레이트(110)는,
베이스부(111)와,
상기 베이스부(111)의 양측에 일체로 형성되며, 삽입부(132)가 삽입되는 조립부(112)와,
상기 베이스부(111) 상단에서 상부측으로 돌출된 돌출부(113)를 포함하며,
상기 조립부(112)는,
상기 베이스부(111) 끝단에서 구부러진 제1조립부재(112a)와,
상기 제1조립부재(112a)의 끝단에서 상기 베이스부(111)와 평행하도록 구부러진 제2조립부재(112b)와,
상기 제2조립부재(112b) 끝단에서 상기 제1조립부재(112a)와 마주보도록 구부러진 제3조립부재(112c)를 포함하여 이루어지되,
상기 제1조립부재(112a)와 제3조립부재(112c) 사이에 상기 삽입부(132)가 삽입되어 상기 체결부재(200)를 통해 결합되고,
상기 결합부재(130)의 단면은 직사각형을 이루고, 각각의 면에는 길이방향을 따라 내입된 가이드 홈(133)이 하나 이상 형성되며,
상기 가이드 홈(133)은, 상기 결합부재(130)의 길이방향의 양단이 개방되도록 내입된 안내홈(133a)과,
상기 안내홈(133a)에서 결합부재(130)의 반경방향 외측으로 개방되는 개방홈(133b)을 포함하여 이루어지되,
상기 결합부재(130)에는 상기 안내홈(133a)의 개방부를 덮도록 돌출되어 그 사이로 상기 개방홈(133b)이 형성되는 안내돌기(134)가 형성되며,
상기 체결부재(200)는,
상기 결합부재(130)의 가이드 홈(133)에 끼워지는 볼트부(210)와,
상기 볼트부(210)에 체결되는 너트부(220)를 포함하여 이루어지되,
상기 볼트부(210)는 상기 안내홈(133a)에 끼워지는 머리부(211)와,
상기 머리부(211)에 결합되어 외주면에 나사산이 형성되고, 상기 개방홈(133b)을 관통하여 구비되는 나사부(212)를 포함하고,
또한, 상기 시트부(121)와 제1조립부재(112a) 및 제3조립부재(112c)의 소정의 위치에는 상기 나사부(212)가 관통되는 체결홈(H)이 복수개 형성되어 상기 돌출된 나사부(212)에 상기 너트부(220)가 체결되는 것이고,
또한, 상기 풉 저장 장치(100)는, 상기 풉 저장 장치(100)를 천장과 같은 설치장소에 고정하기 위한 서포트 플레이트(140)를 더 포함하여 이루어지되,
상기 서포트 플레이트(140)는, 상기 돌출부(113)에 안착되어 결합되면서 설치장소에 고정되기 위한 고정수단이 구비되는 제1브라켓부(141)와,
상기 조립부(112) 사이에 구비되어 상기 조립부(112)와 결합되는 제2브라켓부(142)와, 상기 제1브라켓부(141)와 제2브라켓부(142)를 일체로 연결하는 이음부(143)를 포함하며,
또한, 상기 제1브라켓부(141)의 단면은 'ㄱ' 형상을 이루도록 구비되고, 상기 돌출부(113)의 상부측은 상기 제1브라켓부(141)와 대응되도록 구부러진 벤딩부(113a)가 형성되어, 상기 제1브라켓부(141)는 상기 벤딩부(113a)의 상부면에 안착되어 결합되며,
또한, 상기 제2 브라켓부(142)는, 상기 이음부(143)와 연결되는 수평 프레임부(142a)와, 상기 수평 프레임부(142a)의 양단에서 하부측으로 구부러져 상기 조립부(112)와 결합되는 수직 프레임부(142b)를 포함하여 이루어지되, 상기 서포트 플레이트(140)와 측면 플레이트(110)를 조립할 때, 상기 제1브라켓부(141)를 상기 벤딩부(113a)에 안착시키면 상기 제2브라켓부(142)는 상기 조립부(112) 사이에 삽입되어 조립성을 향상시킨 것을 특징으로 하는 풉 저장 장치.
In the FOUP storage device 100 for temporarily storing a foup in which a plurality of wafers are accommodated by being located on the side of the OHT running rail in a semiconductor production line,
The poop storage device 100,
A pair of side plates 110 spaced apart to face each other,
a lower plate 120 provided between the lower sides of the pair of side plates 110 and on which the FOUP is seated;
and a coupling member 130 coupled to each of the pair of side plates 110 while being coupled to the bottom surface of the lower plate 120;
By reducing the number of parts of the FOUP storage device 100, it is possible to reduce the cost and improve the assembling property,
Each of the pair of side plates 110 and the lower plate 120 is formed of one plate having a predetermined thickness,
The lower plate 120 and the coupling member 130 and the side plate 110 and the coupling member 130 are respectively coupled via the coupling member 200, respectively,
The lower plate 120 is provided with a seat portion 121 on which the FOUP is seated,
The coupling member 130 is
When the sheet portion 121 is long provided along the longitudinal direction and coupled,
a support part 131 provided and coupled to the bottom surface of the seat part 121;
It is integrally connected with the support part 131 and comprises an insertion part 132 formed by protruding both ends in the longitudinal direction of the seat part 121,
The support part 131 and the seat part 121 are coupled through the fastening member 200,
The side plate 110,
a base 111 and
an assembly part 112 integrally formed on both sides of the base part 111 and into which the insertion part 132 is inserted;
and a protrusion 113 protruding from the upper end of the base portion 111 to the upper side,
The assembly part 112 is
A first assembly member (112a) bent at the end of the base portion (111) and,
a second assembly member (112b) bent to be parallel to the base part (111) at the end of the first assembly member (112a);
Doedoe including a third assembly member (112c) bent to face the first assembly member (112a) at the end of the second assembly member (112b),
The insertion part 132 is inserted between the first assembly member 112a and the third assembly member 112c and coupled through the fastening member 200,
The cross section of the coupling member 130 is rectangular, and one or more guide grooves 133 inserted along the longitudinal direction are formed on each surface,
The guide groove 133 includes a guide groove 133a inserted so that both ends in the longitudinal direction of the coupling member 130 are opened;
Doedoe comprising an open groove (133b) that is opened radially outwardly of the coupling member (130) in the guide groove (133a),
The coupling member 130 is formed with a guide protrusion 134 protruding to cover the opening of the guide groove 133a and forming the open groove 133b therebetween,
The fastening member 200,
a bolt part 210 fitted into the guide groove 133 of the coupling member 130;
Doedoe including a nut part 220 fastened to the bolt part 210,
The bolt part 210 includes a head 211 fitted into the guide groove 133a,
It is coupled to the head portion 211, a screw thread is formed on the outer circumferential surface, and includes a screw portion 212 provided through the open groove (133b),
In addition, a plurality of fastening grooves (H) through which the screw portion 212 passes are formed at predetermined positions of the seat portion 121 and the first assembly member 112a and the third assembly member 112c to form the protruding screw portion. The nut part 220 is fastened to (212),
In addition, the FOOP storage device 100 further includes a support plate 140 for fixing the FOOP storage device 100 to an installation place such as a ceiling,
The support plate 140 includes a first bracket part 141 provided with a fixing means for being seated and coupled to the protrusion part 113 and fixed to an installation place;
A second bracket part 142 provided between the assembly parts 112 and coupled to the assembly part 112, and a joint for integrally connecting the first bracket part 141 and the second bracket part 142 part 143;
In addition, the cross section of the first bracket part 141 is provided to form a 'L' shape, and the upper side of the protrusion part 113 is formed with a bending part 113a bent to correspond to the first bracket part 141, , the first bracket part 141 is seated and coupled to the upper surface of the bending part 113a,
In addition, the second bracket part 142 includes a horizontal frame part 142a connected to the joint part 143 , and is bent downward from both ends of the horizontal frame part 142a to be coupled to the assembly part 112 . and a vertical frame portion 142b that becomes The bracket part 142 is inserted between the assembly parts 112 to improve assembly performance.
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