KR102305725B1 - Energy-Sensitive Composition, Cured Product and Its Production Method - Google Patents
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Abstract
본 발명은 열중량 안정성이 우수한 에너지 감수성 조성물, 및 이것을 경화한 경화물 및 경화물의 제조 방법을 제공한다. 본 발명은 (P1) 양이온적 및/혹은 산촉매적으로 중합성 및/또는 가교성의 화합물, (P2) 산의 작용 하에서의 현상액에 있어서의 그 용해성을 증대시키는 화합물, 및 (Px) 라디칼 중합성 또는 가교성의 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 화합물 성분(P)과(Q) 식 (a1)로 표시되는 술포늄염을 포함하는 에너지 감수성 조성물을 제공한다.
The present invention provides an energy-sensitive composition having excellent thermogravimetric stability, and a cured product obtained by curing the same, and a method for producing the cured product. The present invention relates to (P1) a cationic and/or acid catalytically polymerizable and/or crosslinkable compound, (P2) a compound that increases its solubility in a developer under the action of an acid, and (Px) radical polymerizable or crosslinked compound There is provided an energy-sensitive composition comprising at least one compound component (P) selected from the group consisting of a compound of the nature (Q) and a sulfonium salt represented by the formula (a1).
Description
본 발명은 술포늄염을 포함하는 에너지 감수성 조성물, 상기 조성물을 경화한 경화물 및 상기 경화물의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an energy-sensitive composition comprising a sulfonium salt, a cured product obtained by curing the composition, and a method for preparing the cured product.
종래부터, 유기EL 표시소자용 봉지제 또는 웨이퍼 레벨 렌즈용의 에너지 감수성 조성물에 에폭시 화합물을 함유하는 것이 제안되어 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는, 유기EL 표시소자의 열화의 요인이 되는 아웃 가스의 발생을 억제할 수 있는 에너지 감수성 수지로서 에폭시기 또는 옥세타닐기를 갖고 또한 에폭시기 또는 옥세타닐기 이외에 에테르 결합 및 에스테르 결합을 포함하지 않는 에너지 감수성 수지 조성물이 제안되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는, 고온 환경 하에 있어서도 황변이 억제되어 투명성 및 경화성이 우수한 에너지 감수성 수지로서 특정의 구조를 갖는 지환식 에폭시 화합물, 분자 내에 2 이상의 글리시딜기를 갖는 실록산 화합물, 및 경화제를 포함하는 에너지 감수성 수지 조성물이 제안되어 있다.Conventionally, it is proposed to contain an epoxy compound in the encapsulant for organic EL display elements or the energy-sensitive composition for wafer-level lenses. For example, in Patent Document 1, an energy-sensitive resin capable of suppressing the generation of outgas, which is a factor of deterioration of an organic EL display element, has an epoxy group or an oxetanyl group, and an ether bond and an ester other than the epoxy group or oxetanyl group. An energy-sensitive resin composition that does not contain a bond has been proposed. In addition,
그렇지만, 지금까지의 에너지 감수성 조성물에 있어서는, 고온 환경 하에 있어서의 중량 안정성이 요구된다.However, in the energy-sensitive composition so far, weight stability in a high-temperature environment is calculated|required.
본 발명은, 열중량 안정성이 우수한 에너지 감수성 조성물, 상기 조성물을 경화한 경화물 및 상기 경화물의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an energy-sensitive composition excellent in thermogravimetric stability, a cured product obtained by curing the composition, and a method for producing the cured product.
본 발명자들은, 특정의 구조를 갖는 술포늄염을 이용함으로써 열중량 안정성이 향상하는 것을 알아내고, 본 발명을 완성하기에 이르렀다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM The present inventors discovered that thermogravimetric stability improved by using the sulfonium salt which has a specific structure, and came to complete this invention.
본 발명의 제1의 양태는, (P1) 양이온적 및/혹은 산촉매적으로 중합성 및/또는 가교성의 화합물, (P2) 산의 작용 하에서의 현상액에 있어서의 그 용해성을 증대시키는 화합물, 및 (Px) 라디칼 중합성 또는 가교성의 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 화합물 성분 (P)과 (Q) 하기 식 (a1)로 표시되는 술포늄염을 포함하는 에너지 감수성 조성물이다.A first aspect of the present invention is (P1) a cationic and/or acid catalytically polymerizable and/or crosslinkable compound, (P2) a compound that increases its solubility in a developer under the action of an acid, and (Px) ) at least one compound component (P) selected from the group consisting of radically polymerizable or crosslinkable compounds, and (Q) an energy-sensitive composition comprising a sulfonium salt represented by the following formula (a1).
(식 중, R1 및 R2는 독립적으로, 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기 또는 하기 식 (a2)로 표시되는 기를 나타내고, R1 및 R2는 서로 결합하여 식 중의 원자와 함께 환을 형성하여도 되고, R3는 하기 식 (a3)으로 표시되는 기 또는 하기 식 (a4)로 표시되는 기를 나타내고, A1은 S, O, 또는 Se를 나타내고, X-는 1가의 음이온을 나타내고, 단, R1 및 R2는 동시에 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기는 아니다.)(Wherein, R 1 and R 2 independently represent an alkyl group optionally substituted with a halogen atom or a group represented by the following formula (a2), R 1 and R 2 are bonded to each other to form a ring with the atoms in the formula, , R 3 represents a group represented by the following formula (a3) or a group represented by the following formula (a4), A 1 represents S, O, or Se, X − represents a monovalent anion, provided that R 1 and R 2 are not an alkyl group which may be simultaneously substituted with a halogen atom.)
(식 중, 환 Z1은 방향족 탄화수소환을 나타내고, R4는 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아실옥시기, 알킬티오기, 티에닐이기, 티에닐카르보닐기, 푸라닐기, 푸라닐카르보닐기, 셀레노페닐기, 셀레노페닐카르보닐기, 복소환식 지방족 탄화수소기, 알킬술피닐기, 알킬술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 또는 할로겐 원자를 나타내고, m1은 0 이상의 정수를 나타냄)(Wherein, ring Z 1 represents an aromatic hydrocarbon ring, and R 4 represents an optionally substituted alkyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an acyloxy group, an alkylthio group, a thienyl group, or a thienyl group. A carbonyl group, a furanyl group, a furanylcarbonyl group, a selenophenyl group, a selenophenylcarbonyl group, a heterocyclic aliphatic hydrocarbon group, an alkylsulfinyl group, an alkylsulfonyl group, a hydroxy (poly)alkyleneoxy group, an optionally substituted amino group, a cyano group, represents a nitro group or a halogen atom, and m1 represents an integer of 0 or more)
(식 중, R5는 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 혹은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬렌기 또는 하기 식 (a5)로 표시되는 기를 나타내고, R6는 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 혹은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기 또는 하기 식 (a6)으로 표시되는 기를 나타내고, A2는 단결합, S, O, 술피닐기, 또는 카르보닐기를 나타내고, n1은 0 또는 1을 나타냄)(wherein R 5 is a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, an acyloxy group, an arylthio group, an alkylthio group, an aryl group, a heterocyclic hydrocarbon group, an aryl group An oxy group, an alkylsulfinyl group, an arylsulfinyl group, an alkylsulfonyl group, an arylsulfonyl group, a hydroxy (poly)alkyleneoxy group, an optionally substituted amino group, a cyano group, a nitro group, or an alkylene group optionally substituted with a halogen atom; A group represented by the following formula (a5) is represented, and R 6 is a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, an acyloxy group, an arylthio group, an alkylthio group, an aryl group , a heterocyclic hydrocarbon group, an aryloxy group, an alkylsulfinyl group, an arylsulfinyl group, an alkylsulfonyl group, an arylsulfonyl group, a hydroxy(poly)alkyleneoxy group, an optionally substituted amino group, a cyano group, a nitro group, or a halogen atom represents an optionally substituted alkyl group or a group represented by the following formula (a6), A 2 represents a single bond, S, O, a sulfinyl group, or a carbonyl group, n1 represents 0 or 1)
(식 중, R7 및 R8은 독립적으로, 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 혹은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬렌기 또는 하기 식 (a5)로 표시되는 기를 나타내고, R9 및 R10은 독립적으로 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기 또는 상기 식 (a2)로 표시되는 기를 나타내고, R9 및 R10은 서로 결합하여 식 중의 원자와 함께 환을 형성하여도 되고, A3은 단결합, S, O, 술피닐기, 또는 카르보닐기를 나타내고, X-는 상기와 같고, n2는 0 또는 1을 나타내고, 단, R9 및 R10은 동시에 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기는 아니다.)(Wherein, R 7 and R 8 are independently a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, an acyloxy group, an arylthio group, an alkylthio group, an aryl group, Heterocyclic hydrocarbon group, aryloxy group, alkylsulfinyl group, arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, hydroxy(poly)alkyleneoxy group, optionally substituted amino group, cyano group, nitro group, or halogen atom represents an alkylene group or a group represented by the following formula (a5), R 9 and R 10 independently represent an alkyl group optionally substituted with a halogen atom or a group represented by the formula (a2), R 9 and R 10 are may be bonded to each other to form a ring together with the atoms in the formula, A 3 represents a single bond, S, O, a sulfinyl group, or a carbonyl group, X - is the same as above, n2 represents 0 or 1, provided that R 9 and R 10 are not an alkyl group which may be simultaneously substituted with a halogen atom.)
(식 중, 환 Z2는 방향족 탄화수소환을 나타내고, R11은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 또는 할로겐 원자를 나타내고, m2는 0 이상의 정수를 나타냄)(Wherein, ring Z 2 represents an aromatic hydrocarbon ring, and R 11 represents an optionally substituted alkyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, or an acyloxy group. , arylthio group, alkylthio group, aryl group, heterocyclic hydrocarbon group, aryloxy group, alkylsulfinyl group, arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, hydroxy(poly)alkyleneoxy group, optionally substituted represents an amino group, a cyano group, a nitro group, or a halogen atom, and m2 represents an integer of 0 or more)
(식 중, 환 Z3는 방향족 탄화수소환을 나타내고, R12는 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 티에닐카르보닐기, 푸라닐카르보닐기, 셀레노페닐카르보닐기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 또는 할로겐 원자를 나타내고, m3은 0 이상의 정수를 나타냄)(Wherein, ring Z 3 represents an aromatic hydrocarbon ring, and R 12 represents an optionally substituted alkyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, or an acyloxy group. , arylthio group, alkylthio group, thienylcarbonyl group, furanylcarbonyl group, selenophenylcarbonyl group, aryl group, heterocyclic hydrocarbon group, aryloxy group, alkylsulfinyl group, arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, represents a hydroxy (poly)alkyleneoxy group, an optionally substituted amino group, cyano group, nitro group, or halogen atom, and m3 represents an integer of 0 or more)
본 발명의 제2의 양태는, 본 발명의 제1의 양태의 에너지 감수성 조성물을 경화한 경화물이다.A second aspect of the present invention is a cured product obtained by curing the energy-sensitive composition of the first aspect of the present invention.
본 발명의 제3의 양태는, 본 발명의 제1의 양태의 에너지 감수성 조성물을 중합 및/또는 가교시키는 것을 포함하는, 경화물의 제조 방법이다.A third aspect of the present invention is a method for producing a cured product comprising polymerizing and/or crosslinking the energy-sensitive composition of the first aspect of the present invention.
본 발명에 의하면, 열중량 안정성이 우수한 에너지 감수성 조성물, 상기 조성물을 경화한 경화물 및 상기 경화물의 제조 방법을 제공할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the energy-sensitive composition excellent in thermogravimetric stability, the hardened|cured material obtained by hardening the said composition, and the manufacturing method of the said hardened|cured material can be provided.
도 1은 실시예 3의 열중량 변화를 나타내는 TG/DSC 곡선이다.
도 2는 비교예 7의 열중량 변화를 나타내는 TG/DSC 곡선이다.
도 3은 비교예 8의 열중량 변화를 나타내는 TG/DSC 곡선이다.
도 4는 비교예 9의 열중량 변화를 나타내는 TG/DSC 곡선이다.
도 5는 참고예의 열중량 변화를 나타내는 TG/DSC 곡선이다.1 is a TG/DSC curve showing the thermogravimetric change of Example 3.
2 is a TG/DSC curve showing the thermogravimetric change of Comparative Example 7.
3 is a TG/DSC curve showing the thermogravimetric change of Comparative Example 8;
4 is a TG/DSC curve showing the thermogravimetric change of Comparative Example 9.
5 is a TG/DSC curve showing the thermogravimetric change of a reference example.
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시형태로 전혀 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 목적의 범위 내에서 적의 변경을 가하여 실시할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although embodiment of this invention is described in detail, this invention is not limited at all to the following embodiment, It can implement, adding appropriate change within the range of the objective of this invention.
본 명세서에 있어서, 예를 들면 "양이온적 및/혹은 산촉매적으로" 등과 같이 "A 및/혹은 B", "A 및/또는 B", "A 또한/또는 B" 등의 기재는, "A 및 B로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나"를 의미한다. 여기서 A 및 B는 임의의 용어이다.In this specification, for example, a description such as "A and/or B", "A and/or B", "A and/or B" such as "cationically and/or acid catalytically" is "A and at least one selected from the group consisting of "B". where A and B are arbitrary terms.
<에너지 감수성 조성물><Energy Sensitive Composition>
본 발명에 따른 에너지 감수성 조성물은, (P1) 양이온적 및/혹은 산촉매적으로 중합성 및/또는 가교성의 화합물, (P2) 산의 작용 하에서의 현상액에 있어서의 그 용해성을 증대시키는 화합물, 및 (Px) 라디칼 중합성 또는 가교성의 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 화합물 성분(P)이라고(Q) 상기 식 (a1)로 표시되는 술포늄염을 포함한다.The energy-sensitive composition according to the present invention is (P1) a cationic and/or acid-catalyzed polymerizable and/or cross-linkable compound, (P2) a compound that increases its solubility in a developer under the action of an acid, and (Px) ) at least one compound component (P) selected from the group consisting of radically polymerizable or crosslinkable compounds and (Q) a sulfonium salt represented by the formula (a1).
본 발명에 따른 에너지 감수성 조성물은, 상기 식 (a1)로 표시되는 술포늄염(이하, "술포늄염(Q)"이라고도 함)을 포함함으로써 화합물 성분(P)과 술포늄염(Q)을 포함하는 계 중에서, 승온에 수반하여 프로톤의 농도가 높아지기 때문에, 화합물 성분(P)에 있어서의 순차 중합이 계속적으로 진행되어 폴리머화가 촉진되고, 열에 의해서 분해되는 모노머가 적다고 추측된다. 이로써, 본 발명에 따른 에너지 감수성 조성물은 열에 대한 중량 안정성이 향상된다고 추측된다. 또한, 술포늄염(Q)이 프로톤을 발생하는 양태로서는, 술포늄염(Q) 자체의 분해에 의해 프로톤을 발생시키는 양태, 계 중의 성분으로부터 수소를 인발(引拔)함으로써 프로톤을 발생시키는 양태를 포함한다.The energy-sensitive composition according to the present invention comprises a compound component (P) and a sulfonium salt (Q) by including a sulfonium salt (hereinafter also referred to as "sulfonium salt (Q)") represented by the formula (a1) Among them, since the concentration of protons increases with temperature increase, sequential polymerization in the compound component (P) continuously proceeds to promote polymerization, and it is estimated that there are few monomers decomposed by heat. Accordingly, it is assumed that the energy-sensitive composition according to the present invention has improved weight stability against heat. In addition, the mode in which the sulfonium salt (Q) generates protons includes a mode in which protons are generated by decomposition of the sulfonium salt (Q) itself, and an mode in which hydrogen is extracted from components in the system to generate protons. do.
[(P1) 양이온적 및/혹은 산촉매적으로 중합성 및/또는 가교성의 화합물][(P1) Cationic and/or acid-catalyzed polymerizable and/or cross-linkable compound]
양이온적 및/혹은 산촉매적으로 중합성 및/또는 가교성의 화합물 {이하, "화합물(P1)"이라고도 한다.}은, 예를 들면 알킬기 또는 아릴기 함유 양이온에 의해, 혹은 프로톤에 의해 양이온 중합 될 수 있는 화합물을 포함한다. 이들의 예로서는, 환상 에테르, 특히 에폭시 화합물이나 옥세탄 화합물, 추가적으로, 비닐에테르화합물, 히드록시함유 화합물을 들 수 있다. 또한, 락톤 화합물 및 환상 티오에테르화합물 및 비닐티오에테르화합물도 사용될 수 있다. 단, 본 명세서에 있어서, 에틸렌성 불포화기(비닐기)를 갖는 화합물은, 에폭시기 및/또는 옥세타닐기도 갖는 화합물(에폭시·옥세타닐기 함유/비닐기 함유 화합물)인 경우, 화합물(P1)로 하고, 그 이외의 화합물(에폭시·옥세타닐기 비함유/비닐기 함유 화합물)인 경우, 화합물(Px)로 한다. 본 명세서에 있어서, "에폭시"는, 특별히 다른 기재를 하지 않는 한, 일반적으로 옥시라닐 뿐만 아니라 옥세타닐 및 지환식 에폭시도 포함한다.Cationic and/or acid-catalyzed polymerizable and/or cross-linkable compounds {hereinafter also referred to as "compound (P1)"} may be cationic polymerized by, for example, a cation containing an alkyl group or an aryl group, or by a proton. compounds that can be Examples of these include cyclic ethers, particularly epoxy compounds and oxetane compounds, and additionally vinyl ether compounds and hydroxy-containing compounds. Also, lactone compounds and cyclic thioether compounds and vinylthioether compounds can be used. However, in the present specification, when the compound having an ethylenically unsaturated group (vinyl group) is a compound having an epoxy group and/or oxetanyl group (epoxy/oxetanyl group-containing/vinyl group-containing compound), compound (P1) In the case of compounds other than those (epoxy/oxetanyl group-free/vinyl group-containing compound), it is referred to as compound (Px). As used herein, "epoxy" generally includes oxetanyl and alicyclic epoxy as well as oxiranyl, unless otherwise specified.
추가적인 예로서는, 아미노 플라스틱 또는 페놀계 레조르 수지를 들 수 있다. 이들은, 특히 멜라민 수지, 요소 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 아크릴 수지, 폴리에스테르 수지 및 알키드 수지이지만, 특히 멜라민 수지와의 아크릴 수지, 폴리에스테르 수지 또는 알키드 수지의 혼합물이다. 또한, 이들로서는, 변성 표면 코팅 수지 (예를 들면, 아크릴 변성 폴리에스테르 수지나 아크릴 변성 알키드 수지 등)를 들 수 있다. 용어의 표면 코팅 수지는, 바람직하게는, 아미노 수지를 포함한다. 이들의 예로서는, 에테르화 및 비에테르화 멜라민 수지, 요소 수지, 구아니딘 수지, 뷰렛 수지를 들 수 있다. 에테르화 아미노 수지 {예를 들면, 메틸화 멜라민 수지 또는 부틸화 멜라민 수지 (N-메톡시메틸-멜라민 또는 N-부톡시메틸-멜라민)나 메틸화/부틸화 글리콜우릴}를 포함하는 표면 코팅의 경화용 산촉매가 특히 중요하다.Further examples include amino plastics or phenolic resor resins. These are in particular melamine resins, urea resins, epoxy resins, phenol resins, acrylic resins, polyester resins and alkyd resins, but especially mixtures of acrylic resins, polyester resins or alkyd resins with melamine resins. Moreover, as these, modified surface coating resin (For example, an acrylic modified polyester resin, an acrylic modified alkyd resin, etc.) is mentioned. The term surface coating resin preferably includes amino resins. Examples of these include etherified and non-etherified melamine resins, urea resins, guanidine resins, and biuret resins. For curing surface coatings comprising etherified amino resins {e.g. methylated melamine resins or butylated melamine resins (N-methoxymethyl-melamine or N-butoxymethyl-melamine) or methylated/butylated glycoluril} Acid catalysts are particularly important.
화합물(P1)이 에폭시 화합물인 경우에는, 분자 중에 적어도 하나의 에폭시기를 갖는 화합물이라면 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 분자 중에 적어도 2개의 에폭시기를 갖는 화합물이다. 에폭시 화합물은, 종래부터 경화성 조성물에 배합되고 있는 에폭시기를 갖는 여러 가지의 화합물로부터 선택할 수 있다. 에폭시 화합물은, 비(非)중합체인 에폭시기를 갖는 저분자 화합물이어도 되고, 에폭시기를 갖는 중합체이어도 되지만, 비중합체가 바람직하다. 에폭시기를 갖는 비중합체로서는, 에너지 감수성 조성물을 이용하여 형성되는 경화물이 열중량 안정성이 우수한 점으로부터, 방향족기를 포함하지 않는 지방족 에폭시 화합물이 바람직하다. 지방족 에폭시 화합물 중에서는, 개환 중합에 의해 순차 중합이 진행되어, 폴리머화가 촉진되는 점에서, 지환식 에폭시기를 갖는 지방족 에폭시 화합물이 바람직하다.When compound (P1) is an epoxy compound, if it is a compound which has at least one epoxy group in a molecule|numerator, although it will not specifically limit, Preferably it is a compound which has at least two epoxy groups in a molecule|numerator. The epoxy compound can be selected from the various compounds which have the epoxy group conventionally mix|blended with the curable composition. Although the low molecular weight compound which has an epoxy group which is a non-polymer may be sufficient as an epoxy compound, and the polymer which has an epoxy group may be sufficient, a non-polymer is preferable. As the non-polymer having an epoxy group, an aliphatic epoxy compound not containing an aromatic group is preferable from the viewpoint of excellent thermogravimetric stability of a cured product formed using the energy-sensitive composition. In an aliphatic epoxy compound, the aliphatic epoxy compound which has an alicyclic epoxy group is preferable at the point which superposition|polymerization advances sequentially by ring-opening polymerization and polymerization is accelerated|stimulated.
지환식 에폭시기를 갖는 지방족 에폭시 화합물의 구체예로서는, 2-(3,4-에폭시시클로헥실-5,5-스피로-3,4-에폭시)시클로헥산-메타-디옥산, 비스(3,4-에폭시시클로헥실메틸)아디페이트, 비스(3,4-에폭시-6-메틸시클로헥실메틸)아디페이트, 3,4-에폭시-6-메틸시클로헥실-3',4'-에폭시-6'-메틸시클로헥산카르복실레이트, ε-카프로락톤 변성 3,4-에폭시시클로헥실메틸-3',4'-에폭시시클로헥산카르복실레이트, 트리메틸카프로락톤 변성 3,4-에폭시시클로헥실메틸-3',4'-에폭시시클로헥산카르복실레이트, β-메틸-δ-발레로락톤 변성 3,4-에폭시시클로헥실메틸-3',4'-에폭시시클로헥산카르복실레이트, 메틸렌비스(3,4-에폭시시클로헥산), 에틸렌글리콜의 디(3,4-에폭시시클로헥실메틸)에테르, 에틸렌비스(3,4-에폭시시클로헥산카르복실레이트), 에폭시시클로헥사히드로프탈산 디옥틸, 및 에폭시시클로헥사히드로프탈산 디-2-에틸헥실, 트리시클로데센 옥사이드기를 갖는 에폭시 수지나, 하기 식 (P1-1)∼ (P1-5)로 표시되는 화합물을 들 수 있다. 이들 지방족 에폭시 화합물의 구체예 중에서는, 순차 중합이 진행되어, 폴리머화가 촉진되는 점에서, 하기 식 (P1-1)∼(P1-4)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물이 바람직하고, 하기 식 (P1-1)∼(P1-2)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물이 보다 바람직하다. 이들 지환식 에폭시 화합물은 단독으로 이용하여도, 2종 이상 혼합하여 이용하여도 된다. 화합물 성분(P) 내지 화합물(P1)로서는, 특히 아웃 가스를 저감시키는 것을 원하는 경우, 식 (P1-1)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물, 식 (P1-2)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물, 및 식 (P1-8)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물로 이루어지는 군의 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하고, 화합물 성분(P) 내지 화합물(P1) 전체에 있어서의 비율은 1∼99 질량%이어도 되고, 10∼90 질량%, 20∼80 질량%, 30∼70 질량%, 40∼60 질량% 등이다. 또한, 식 (P1-1)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물과 식 (P1-2)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물과의 병용이, 아웃 가스 저감과 에너지 감수성 조성물의 점도를 저하시킬 수 있다는 점에서 바람직하다. 식 (P1-1)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물과 식 (P1-2)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물을 병용하는 경우, 식 (P1-1)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물과 식 (P1-2)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물과의 합계량에 대한 식 (P1-1)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물의 함유량으로서는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 1∼99 질량%이어도 되고, 10∼90 질량%, 20∼80 질량%, 30∼70 질량%, 40∼60 질량% 등이어도 된다.Specific examples of the aliphatic epoxy compound having an alicyclic epoxy group include 2-(3,4-epoxycyclohexyl-5,5-spiro-3,4-epoxy)cyclohexane-meta-dioxane, bis(3,4-epoxy) Cyclohexylmethyl)adipate, bis(3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl)adipate, 3,4-epoxy-6-methylcyclohexyl-3',4'-epoxy-6'-methylcyclo Hexane carboxylate, ε-caprolactone-modified 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3',4'-epoxycyclohexanecarboxylate, trimethylcaprolactone-modified 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3',4' -Epoxycyclohexanecarboxylate, β-methyl-δ-valerolactone-modified 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3',4'-epoxycyclohexanecarboxylate, methylenebis (3,4-epoxycyclohexane) ), di(3,4-epoxycyclohexylmethyl)ether of ethylene glycol, ethylenebis(3,4-epoxycyclohexanecarboxylate), epoxycyclohexahydrophthalate dioctyl, and epoxycyclohexahydrophthalic acid di-2 - The epoxy resin which has an ethylhexyl and tricyclodecene oxide group, and the compound represented by following formula (P1-1) - (P1-5) are mentioned. Among the specific examples of these aliphatic epoxy compounds, the alicyclic epoxy compounds represented by the following formulas (P1-1) to (P1-4) are preferable, and the following formulas ( The alicyclic epoxy compounds represented by P1-1) to (P1-2) are more preferable. These alicyclic epoxy compounds may be used individually or may be used in mixture of 2 or more types. As the compound component (P) to the compound (P1), especially when it is desired to reduce the outgas, the alicyclic epoxy compound represented by the formula (P1-1), the alicyclic epoxy compound represented by the formula (P1-2); And it is preferable to include at least one of the group consisting of an alicyclic epoxy compound represented by the formula (P1-8), and the ratio in the whole of the compound component (P) to the compound (P1) may be 1 to 99 mass%. , 10-90 mass%, 20-80 mass%, 30-70 mass%, 40-60 mass%, and the like. In addition, the combined use of the alicyclic epoxy compound represented by the formula (P1-1) and the alicyclic epoxy compound represented by the formula (P1-2) can reduce outgassing and reduce the viscosity of the energy-sensitive composition. desirable. When using together the alicyclic epoxy compound represented by the formula (P1-1) and the alicyclic epoxy compound represented by the formula (P1-2), the alicyclic epoxy compound represented by the formula (P1-1) and the formula (P1- It does not specifically limit as content of the alicyclic epoxy compound represented by Formula (P1-1) with respect to the total amount with the alicyclic epoxy compound represented by 2), For example, 1-99 mass % may be sufficient, and 10-90 Mass %, 20-80 mass %, 30-70 mass %, 40-60 mass %, etc. may be sufficient.
(식 (P1-1) 중, Z는 단결합 또는 연결기(1 이상의 원자를 갖는 2가의 기)를 나타낸다. Ra1∼Ra18은, 각각 독립적으로, 수소 원자, 할로겐 원자, 및 유기기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기이며, 예를 들면, 수소 원자, 할로겐 원자, 또는 산소 원자 혹은 할로겐 원자를 포함하고 있어도 되는 탄화수소기이며, 각각 동일하여도 되고, 상이하여도 된다.)(In formula (P1-1), Z represents a single bond or a linking group (a divalent group having one or more atoms). R a1 to R a18 are each independently a group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group is a group selected from, for example, a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydrocarbon group which may contain an oxygen atom or a halogen atom, and may be the same or different from each other.)
연결기 Z로서는, 예를 들면, 2가의 탄화수소기, -O-, -O-CO-, -S-, -SO-, -SO2-,-CBr2-,-C(CBr3)2-,-C(CF3)2-, 및 -Ra19-O-CO-로 이루어지는 군으로부터 선택되는 2가의 기 및 이들이 복수개 결합한 기 등을 들 수 있으며, 그 중에서도 -Ra19-O-CO-가 적합하다.Examples of the linking group Z include a divalent hydrocarbon group, -O-, -O-CO-, -S-, -SO-, -SO 2 -, -CBr 2 -, -C(CBr 3 ) 2 -, a divalent group selected from the group consisting of -C(CF 3 ) 2 -, and -R a19 -O-CO- and a group in which a plurality of these groups are bonded, among which -R a19 -O-CO- is preferred. do.
연결기 Z인 2가의 탄화수소기로서는, 예를 들면, 탄소 원자수가 1∼18의 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬렌기, 2가의 지환식 탄화수소기 등을 들 수 있다. 탄소 원자수가 1∼18의 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬렌기로서는, 예를 들면, 메틸렌기, 메틸메틸렌기, 디메틸메틸렌기, 디메틸렌기, 트리메틸렌기 등을 들 수 있다. 상기 2가의 지환식 탄화수소기로서는, 예를 들면, 1,2-시클로펜틸렌기, 1,3-시클로펜틸렌기, 시클로펜틸리덴기, 1,2-시클로헥실렌기, 1,3-시클로헥실렌기, 1,4-시클로헥실렌기, 시클로헥실리덴기 등의 시클로알킬렌기(시클로알킬리덴기를 포함함) 등을 들 수 있다.Examples of the divalent hydrocarbon group as the linking group Z include a linear or branched alkylene group having 1 to 18 carbon atoms and a divalent alicyclic hydrocarbon group. Examples of the linear or branched alkylene group having 1 to 18 carbon atoms include a methylene group, a methylmethylene group, a dimethylmethylene group, a dimethylene group, and a trimethylene group. Examples of the divalent alicyclic hydrocarbon group include 1,2-cyclopentylene group, 1,3-cyclopentylene group, cyclopentylidene group, 1,2-cyclohexylene group, and 1,3-cyclohexylene group. cycloalkylene groups (including cycloalkylidene groups) such as group, 1,4-cyclohexylene group and cyclohexylidene group; and the like.
Ra19는, 탄소 원자수 1∼8의 알킬렌기이고, 바람직하게는 탄소 원자수 1∼5의 알킬렌기, 보다 바람직하게는 탄소 원자수 1∼3의 알킬렌기이며, 그 중에서도 메틸렌기 또는 에틸렌기인 것이 바람직하다.R a19 is an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms, preferably an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms, more preferably an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, and among them, a methylene group or an ethylene group it is preferable
식 (P1-1)로 표시되는 화합물로서는, 탈수소에 의해 공역계 구조 (특히, π-전자 공역계 구조)를 취하기 어려운 화합물이, 열중량 안정성에 더하여 투명성이 우수한 경화물을 얻을 수 있다는 점에서 바람직하고, 특히 지환식 에폭시 화합물, 구체적으로는 1분자 내의 2개의 지환식 에폭시기가 4급 탄소 및/또는 헤테로 원자를 함유하는 연결기를 통해서 결합하고 있는 화합물이 바람직하다.As the compound represented by the formula (P1-1), a compound that does not easily form a conjugated structure (particularly, a π-electron conjugated structure) by dehydrogenation can obtain a cured product having excellent transparency in addition to thermogravimetric stability. Preferably, an alicyclic epoxy compound, specifically, a compound in which two alicyclic epoxy groups in one molecule are bonded through a linking group containing a quaternary carbon and/or a hetero atom is preferable.
또한, 화합물(P1)로서는, 하기 식 (P1-2)∼(P1-5)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물을 들 수 있다.Moreover, as a compound (P1), the alicyclic epoxy compound represented by following formula (P1-2) - (P1-5) is mentioned.
(식 (P1-2) 중, Ra1∼Ra12는, 각각 독립적으로, 수소 원자, 할로겐 원자, 및 유기기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기이며, 예를 들면 수소 원자, 할로겐 원자, 또는 산소 원자 혹은 할로겐 원자를 포함하고 있어도 되는 탄화수소기이며, 각각 동일하여도 되고, 상이하여도 된다. Ra2 및 Ra10는 서로 결합하여도 된다.)(In formula (P1-2), R a1 to R a12 are each independently a group selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group, for example, a hydrogen atom, a halogen atom, or an oxygen atom; A hydrocarbon group which may contain a halogen atom, and may be the same or different, respectively. R a2 and R a10 may be bonded to each other.)
(식 (P1-3) 중, Ra1∼Ra10는, 각각 독립적으로, 수소 원자, 할로겐 원자, 및 유기기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기이며, 예를 들면, 수소 원자, 할로겐 원자, 또는 산소 원자 혹은 할로겐 원자를 포함하고 있어도 되는 탄화수소기이며, 각각 동일하여도 되고, 상이하여도 된다. Ra2 및 Ra8은 서로 결합하여도 된다.)(In formula (P1-3), R a1 to R a10 are each independently a group selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group, for example, a hydrogen atom, a halogen atom, or an oxygen atom or a hydrocarbon group which may contain a halogen atom, and may be the same or different from each other. R a2 and R a8 may be bonded to each other.)
(식 (P1-4) 중, Ra1∼Ra12는, 각각 독립적으로, 수소 원자, 할로겐 원자, 및 유기기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기이며, 예를 들면, 수소 원자, 할로겐 원자, 또는 산소 원자 혹은 할로겐 원자를 포함하고 있어도 되는 탄화수소기이며, 각각 동일하여도 되고, 상이하여도 된다. Ra2 및 Ra10는 서로 결합하여도 된다.)(In formula (P1-4), R a1 to R a12 are each independently a group selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group, for example, a hydrogen atom, a halogen atom, or an oxygen atom or a hydrocarbon group which may contain a halogen atom, and may be the same or different. R a2 and R a10 may be bonded to each other.)
(식 (P1-5) 중, Ra1∼Ra12는, 각각 독립적으로, 수소 원자, 할로겐 원자, 및 유기기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기이며, 예를 들면, 수소 원자, 할로겐 원자, 또는 산소 원자 혹은 할로겐 원자를 포함하고 있어도 되는 탄화수소기이며, 각각 동일하여도 되고, 상이하여도 된다.)(In formula (P1-5), R a1 to R a12 are each independently a group selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group, for example, a hydrogen atom, a halogen atom, or an oxygen atom or a hydrocarbon group which may contain a halogen atom, and may be the same as or different from each other.)
식 (P1-1) 중, Ra1∼Ra12가 유기기인 경우, 유기기는 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않고, 탄화수소기이어도, 탄소 원자와 할로겐 원자로 이루어지는 기이어도, 탄소 원자 및 수소 원자와 함께 할로겐 원자, 산소 원자, 원자, 질소 원자, 규소 원자와 같은 헤테로 원자를 포함하는 기이어도 된다. 할로겐 원자의 예로서는, 염소 원자, 브롬 원자, 요오드 원자, 및 불소 원자 등을 들 수 있다.In the formula (P1-1), when R a1 to R a12 are an organic group, the organic group is not particularly limited as long as the object of the present invention is not impaired. and a group containing a hetero atom such as a halogen atom, an oxygen atom, an atom, a nitrogen atom or a silicon atom together with a hydrogen atom. Examples of the halogen atom include a chlorine atom, a bromine atom, an iodine atom, and a fluorine atom.
유기기로서는, 탄화수소기와, 탄소 원자, 수소 원자, 및 산소 원자로 이루어지는 기와, 할로겐화 탄화수소기와, 탄소 원자, 산소 원자, 및 할로겐 원자로 이루어지는 기와, 탄소 원자, 수소 원자, 산소 원자, 및 할로겐 원자로 이루어지는 기가 바람직하다. 유기기가 탄화수소기인 경우, 탄화수소기는, 방향족 탄화수소기이어도, 지방족 탄화수소기이어도, 방향족 골격과 지방족골격을 포함하는 기이어도 된다. 유기기의 탄소 원자수는 1∼20이 바람직하고, 1∼10이 보다 바람직하고, 1∼5가 특히 바람직하다.As the organic group, a group consisting of a hydrocarbon group, a group consisting of a carbon atom, a hydrogen atom, and an oxygen atom, a group consisting of a halogenated hydrocarbon group, a carbon atom, an oxygen atom, and a halogen atom, and a group consisting of a carbon atom, a hydrogen atom, an oxygen atom, and a halogen atom are preferable. do. When the organic group is a hydrocarbon group, the hydrocarbon group may be an aromatic hydrocarbon group, an aliphatic hydrocarbon group, or a group containing an aromatic skeleton and an aliphatic skeleton. 1-20 are preferable, as for carbon atom number of an organic group, 1-10 are more preferable, and 1-5 are especially preferable.
탄화수소기의 구체예로서는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기, n-펜틸기, n-헥실기, n-헵틸기, n-옥틸기, 2-에틸헥실기, n-노닐기, n-데실기, n-운데실기, n-트리데실기, n-테트라데실기, n-펜타데실기, n-헥사데실기, n-헵타데실기, n-옥타데실기, n-노나데실기, 및 n-이코실기 등의 쇄상 알킬기; 비닐기, 1-프로페닐기, 2-n-프로페닐기(알릴기), 1-n-부테닐기, 2-n-부테닐기, 및 3-n-부테닐기 등의 쇄상 알케닐기; 시클로프로필기, 시클로부틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 및 시클로헵틸기 등의 시클로알킬기; 페닐기, o-톨릴기, m-톨릴기, p-톨릴기, α-나프틸기, β-나프틸기, 비페닐-4-일기, 비페닐-3-일기, 비페닐-2-일기, 안트릴기, 및 페난트릴기 등의 아릴기; 벤질기, 페네틸기, α-나프틸메틸기, β-나프틸메틸기, α-나프틸에틸기, 및 β-나프틸에틸기 등의 아랄킬기를 들 수 있다.Specific examples of the hydrocarbon group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, n-hexyl group, n- Heptyl group, n-octyl group, 2-ethylhexyl group, n-nonyl group, n-decyl group, n-undecyl group, n-tridecyl group, n-tetradecyl group, n-pentadecyl group, n-hexa chain alkyl groups such as decyl group, n-heptadecyl group, n-octadecyl group, n-nonadecyl group, and n-icosyl group; chain alkenyl groups such as a vinyl group, 1-propenyl group, 2-n-propenyl group (allyl group), 1-n-butenyl group, 2-n-butenyl group, and 3-n-butenyl group; cycloalkyl groups such as a cyclopropyl group, a cyclobutyl group, a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, and a cycloheptyl group; Phenyl group, o-tolyl group, m-tolyl group, p-tolyl group, α-naphthyl group, β-naphthyl group, biphenyl-4-yl group, biphenyl-3-yl group, biphenyl-2-yl group, anthryl group an aryl group such as a group and a phenanthryl group; and aralkyl groups such as benzyl group, phenethyl group, α-naphthylmethyl group, β-naphthylmethyl group, α-naphthylethyl group, and β-naphthylethyl group.
할로겐화 탄화수소기의 구체예는, 클로로메틸기, 디클로로메틸기, 트리클로로메틸기, 브로모메틸기, 디브로모메틸기, 트리브로모메틸기, 플루오로메틸기, 디플루오로메틸기, 트리플루오로메틸기, 2,2,2-트리플루오로에틸기, 펜타플루오로에틸기, 헵타플루오로프로필기, 퍼플루오로부틸기, 및 퍼플루오로펜틸기, 퍼플루오로헥실기, 퍼플루오로헵틸기, 퍼플루오로옥틸기, 퍼플루오로노닐기, 및 퍼플루오로데실기 등의 할로겐화 쇄상 알킬기; 2-클로로시클로헥실기, 3-클로로시클로헥실기, 4-클로로시클로헥실기, 2,4-디클로로시클로헥실기, 2-브로모시클로헥실기, 3-브로모시클로헥실기, 및 4-브로모시클로헥실기 등의 할로겐화 시클로알킬기; 2-클로로페닐기, 3-클로로페닐기, 4-클로로페닐기, 2,3-디클로로페닐기, 2,4-디클로로페닐기, 2,5-디클로로페닐기, 2,6-디클로로페닐기, 3,4-디클로로페닐기, 3,5-디클로로페닐기, 2-브로모페닐기, 3-브로모페닐기, 4-브로모페닐기, 2-플루오로페닐기, 3-플루오로페닐기, 4-플루오로페닐기 등의 할로겐화 아릴기; 2-클로로페닐메틸기, 3-클로로페닐메틸기, 4-클로로페닐메틸기, 2-브로모페닐메틸기, 3-브로모페닐메틸기, 4-브로모페닐메틸기, 2-플루오로페닐메틸기, 3-플루오로페닐메틸기, 4-플루오로페닐메틸기 등의 할로겐화 아랄킬기이다.Specific examples of the halogenated hydrocarbon group include a chloromethyl group, a dichloromethyl group, a trichloromethyl group, a bromomethyl group, a dibromomethyl group, a tribromomethyl group, a fluoromethyl group, a difluoromethyl group, a trifluoromethyl group, 2,2, 2-trifluoroethyl group, pentafluoroethyl group, heptafluoropropyl group, perfluorobutyl group, and perfluoropentyl group, perfluorohexyl group, perfluoroheptyl group, perfluorooctyl group, purple halogenated chain alkyl groups such as a luoronyl group and a perfluorodecyl group; 2-chlorocyclohexyl group, 3-chlorocyclohexyl group, 4-chlorocyclohexyl group, 2,4-dichlorocyclohexyl group, 2-bromocyclohexyl group, 3-bromocyclohexyl group, and 4-bro halogenated cycloalkyl groups such as a mocyclohexyl group; 2-chlorophenyl group, 3-chlorophenyl group, 4-chlorophenyl group, 2,3-dichlorophenyl group, 2,4-dichlorophenyl group, 2,5-dichlorophenyl group, 2,6-dichlorophenyl group, 3,4-dichlorophenyl group, halogenated aryl groups such as 3,5-dichlorophenyl group, 2-bromophenyl group, 3-bromophenyl group, 4-bromophenyl group, 2-fluorophenyl group, 3-fluorophenyl group and 4-fluorophenyl group; 2-chlorophenylmethyl group, 3-chlorophenylmethyl group, 4-chlorophenylmethyl group, 2-bromophenylmethyl group, 3-bromophenylmethyl group, 4-bromophenylmethyl group, 2-fluorophenylmethyl group, 3-fluoro halogenated aralkyl groups such as a phenylmethyl group and a 4-fluorophenylmethyl group.
탄소 원자, 수소 원자, 및 산소 원자로 이루어지는 기의 구체예는, 히드록시메틸기, 2-히드록시에틸기, 3-히드록시-n-프로필기, 및 4-히드록시-n-부틸기 등의 히드록시 쇄상 알킬기; 2-히드록시시클로헥실기, 3-히드록시시클로헥실기, 및 4-히드록시시클로헥실기 등의 할로겐화 시클로알킬기; 2-히드록시페닐기, 3-히드록시페닐기, 4-히드록시페닐기, 2,3-디히드록시페닐기, 2,4-디히드록시페닐기, 2,5-디히드록시페닐기, 2,6-디히드록시페닐기, 3,4-디히드록시페닐기, 및 3,5-디히드록시페닐기 등의 히드록시아릴기; 2-히드록시페닐메틸기, 3-히드록시페닐메틸기, 및 4-히드록시페닐메틸기 등의 히드록시아랄킬기; 메톡시기, 에톡시기, n-프로폭시기, 이소프로폭시기, n-부틸옥시기, 이소부틸옥시기, sec-부틸옥시기, tert-부틸옥시기, n-펜틸옥시기, n-헥실옥시기, n-헵틸옥시기, n-옥틸옥시기, 2-에틸헥실옥시기, n-노닐옥시기, n-데실옥시기, n-운데실옥시기, n-트리데실옥시기, n-테트라데실옥시기, n-펜타데실옥시기, n-헥사데실옥시기, n-헵타데실옥시기, n-옥타데실옥시기, n-노나데실옥시기, 및 n-이코실옥시기 등의 쇄상 알콕시기; 비닐옥시기, 1-프로페닐옥시기, 2-n-프로페닐옥시기(아릴옥시기), 1-n-부테닐옥시기, 2-n-부테닐옥시기, 및 3-n-부테닐옥시기 등의 쇄상 알케닐옥시기; 페녹시기, o-톨릴옥시기, m-톨릴옥시기, p-톨릴옥시기, α-나프틸옥시기, β-나프틸옥시기, 비페닐-4-일옥시기, 비페닐-3-일옥시기, 비페닐-2-일옥시기, 안 톨릴옥시기, 및 페난트릴옥시기 등의 아릴옥시기; 벤질옥시기, 페네틸옥시기, α-나프틸메틸옥시기, β-나프틸메틸옥시기, α-나프틸에틸옥시기, 및 β-나프틸에틸옥시기 등의 아랄킬옥시기; 메톡시메틸기, 에톡시메틸기, n-프로폭시메틸기, 2-메톡시에틸기, 2-에톡시에틸기, 2-n-프로폭시에틸기, 3-메톡시-n-프로필기, 3-에톡시-n-프로필기, 3-n-프로폭시 n-프로필기, 4-메톡시-n-부틸기, 4-에톡시-n-부틸기, 및 4-n-프로폭시 n-부틸기 등의 알콕시알킬기; 메톡시메톡시기, 에톡시메톡시기, n-프로폭시에톡시기, 2-메톡시에톡시기, 2-에톡시에톡시기, 2-n-프로폭시에톡시기, 3-메톡시-n-프로폭시기, 3-에톡시-n-프로폭시기, 3-n-프로폭시 n-프로폭시기, 4-메톡시-n-부틸옥시기, 4-에톡시-n-부틸옥시기, 및 4-n-프로폭시 n-부틸옥시기 등의 알콕시 알콕시기; 2-메톡시페닐기, 3-메톡시페닐기, 및 4-메톡시페닐기 등의 알콕시아릴기; 2-메톡시페녹시기, 3-메톡시페녹시기, 및 4-메톡시페녹시기 등의 알콕시아릴옥시기; 포르밀기, 아세틸기, 프로피오닐기, 부타노일기, 펜타노일기, 헥사노일기, 헵타노일기, 옥타노일기, 노나노일기, 및 데카노일기 등의 지방족 아실기; 벤조일기, α-나프토일기, 및 β-나프토일기 등의 방향족 아실기; 에톡시카르보닐기, 에톡시카르보닐기, n-프로폭시카르보닐기, n-부틸옥시카르보닐기, n-펜틸옥시카르보닐기, n-헥실옥시카르보닐기, n-헵틸옥시카르보닐기, n-옥틸옥시카르보닐기, n-노닐옥시카르보닐기, 및 n-데실옥시카르보닐기 등의 쇄상 알킬옥시카르보닐기; 페녹시카르보닐기, α-나프톡시카르보닐기, 및 β-나프톡시카르보닐기 등의 아릴옥시카르보닐기; 포르밀옥시기, 아세틸옥시기, 프로피오닐옥시기, 부타노일옥시기, 펜타노일옥시기, 헥사노일옥시기, 헵타노일옥시기, 옥타노일옥시기, 노나노일옥시기, 및 데카노일옥시기 등의 지방족 아실옥시기; 벤조일옥시기, α-나프토일옥시기, 및 β-나프토일옥시기 등의 방향족 아실옥시기이다.Specific examples of the group consisting of a carbon atom, a hydrogen atom, and an oxygen atom include a hydroxymethyl group, a 2-hydroxyethyl group, a 3-hydroxy-n-propyl group, and a hydroxy group such as a 4-hydroxy-n-butyl group. chain alkyl group; halogenated cycloalkyl groups such as a 2-hydroxycyclohexyl group, a 3-hydroxycyclohexyl group, and a 4-hydroxycyclohexyl group; 2-hydroxyphenyl group, 3-hydroxyphenyl group, 4-hydroxyphenyl group, 2,3-dihydroxyphenyl group, 2,4-dihydroxyphenyl group, 2,5-dihydroxyphenyl group, 2,6-di hydroxyaryl groups such as a hydroxyphenyl group, a 3,4-dihydroxyphenyl group, and a 3,5-dihydroxyphenyl group; hydroxyaralkyl groups such as a 2-hydroxyphenylmethyl group, a 3-hydroxyphenylmethyl group, and a 4-hydroxyphenylmethyl group; Methoxy group, ethoxy group, n-propoxy group, isopropoxy group, n-butyloxy group, isobutyloxy group, sec-butyloxy group, tert-butyloxy group, n-pentyloxy group, n-hexyloxy group Group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, n-nonyloxy group, n-decyloxy group, n-undecyloxy group, n-tridecyloxy group, n-tetradecyl group chain alkoxy groups such as siloxy group, n-pentadecyloxy group, n-hexadecyloxy group, n-heptadecyloxy group, n-octadecyloxy group, n-nonadecyloxy group, and n-icosyloxy group; vinyloxy group, 1-propenyloxy group, 2-n-propenyloxy group (aryloxy group), 1-n-butenyloxy group, 2-n-butenyloxy group, 3-n-butenyloxy group, etc. of a chain alkenyloxy group; Phenoxy group, o-tolyloxy group, m-tolyloxy group, p-tolyloxy group, α-naphthyloxy group, β-naphthyloxy group, biphenyl-4-yloxy group, biphenyl-3-yloxy group, bi aryloxy groups such as phenyl-2-yloxy group, antholyloxy group, and phenanthryloxy group; aralkyloxy groups such as benzyloxy group, phenethyloxy group, α-naphthylmethyloxy group, β-naphthylmethyloxy group, α-naphthylethyloxy group, and β-naphthylethyloxy group; Methoxymethyl group, ethoxymethyl group, n-propoxymethyl group, 2-methoxyethyl group, 2-ethoxyethyl group, 2-n-propoxyethyl group, 3-methoxy-n-propyl group, 3-ethoxy-n Alkoxyalkyl groups such as -propyl group, 3-n-propoxy n-propyl group, 4-methoxy-n-butyl group, 4-ethoxy-n-butyl group, and 4-n-propoxy n-butyl group ; Methoxymethoxy group, ethoxymethoxy group, n-propoxyethoxy group, 2-methoxyethoxy group, 2-ethoxyethoxy group, 2-n-propoxyethoxy group, 3-methoxy-n -propoxy group, 3-ethoxy-n-propoxy group, 3-n-propoxy n-propoxy group, 4-methoxy-n-butyloxy group, 4-ethoxy-n-butyloxy group, and alkoxy alkoxy groups such as 4-n-propoxy n-butyloxy group; alkoxyaryl groups such as a 2-methoxyphenyl group, a 3-methoxyphenyl group, and a 4-methoxyphenyl group; alkoxyaryloxy groups such as a 2-methoxyphenoxy group, a 3-methoxyphenoxy group, and a 4-methoxyphenoxy group; aliphatic acyl groups such as a formyl group, an acetyl group, a propionyl group, a butanoyl group, a pentanoyl group, a hexanoyl group, a heptanoyl group, an octanoyl group, a nonanoyl group, and a decanoyl group; aromatic acyl groups such as a benzoyl group, an α-naphthoyl group, and a β-naphthoyl group; ethoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, n-propoxycarbonyl group, n-butyloxycarbonyl group, n-pentyloxycarbonyl group, n-hexyloxycarbonyl group, n-heptyloxycarbonyl group, n-octyloxycarbonyl group, n-nonyloxycarbonyl group, and chain alkyloxycarbonyl groups such as n-decyloxycarbonyl group; aryloxycarbonyl groups such as phenoxycarbonyl group, α-naphthoxycarbonyl group, and β-naphthoxycarbonyl group; Aliphatic acyloxy groups such as formyloxy group, acetyloxy group, propionyloxy group, butanoyloxy group, pentanoyloxy group, hexanoyloxy group, heptanoyloxy group, octanoyloxy group, nonanoyloxy group, and decanoyloxy group ; aromatic acyloxy groups such as benzoyloxy group, α-naphthoyloxy group, and β-naphthoyloxy group.
Ra1∼Ra18은, 각각 독립적으로, 수소 원자, 할로겐 원자, 탄소 원자수 1∼5의 알킬기, 및 탄소 원자수 1∼5의 알콕시기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기가 바람직하고, 특히 에너지 감수성 조성물을 이용하여 얻어지는 경화물이 기계적 특성이 우수한 점으로부터 Ra1∼Ra18이 모두 수소 원자인 것이 보다 바람직하다.R a1 to R a18 are each independently preferably a group selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, in particular, an energy-sensitive composition Since the hardened|cured material obtained by using is excellent in mechanical properties, it is more preferable that R a1- R a18 are all hydrogen atoms.
식 (P1-2)∼(P1-5) 중, Ra1∼Ra12는, 식 (P1-1)에 있어서의 Ra1∼Ra12와 마찬가지이다. 식 (P1-2) 및 식 (P1-4)에 있어서, Ra2 및 Ra10이 서로 결합하는 경우에 형성되는 2가의 기로서는, 예를 들면, -CH2-,-C(CH3)2-를 들 수 있다. 식 (P1-3)에 있어서, Ra2 및 Ra8가, 서로 결합하는 경우에 형성되는 2가의 기로서는, 예를 들면, -CH2-,-C(CH3)2-를 들 수 있다.Formula (P1-2) ~ (P1-5) of, R a1 ~R a12 is the same as R a1 ~R a12 in equation (P1-1). In formulas (P1-2) and (P1-4), as a divalent group formed when R a2 and R a10 are bonded to each other, for example, -CH 2 -,-C(CH 3 ) 2 - can be heard Examples of the divalent group formed when R a2 and R a8 are bonded to each other in the formula (P1-3) include —CH 2 —, —C(CH 3 ) 2 —.
식 (P1-1)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물 중, 바람직한 화합물의 구체예로서는, 하기 식 (P1-1a), (P1-1b), (P1-1c)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물이나, 2,2-비스(3,4-에폭시시클로헥산-1-일)프로판 [= 2,2-비스(3,4-에폭시시클로헥실)프로판] 등을 들 수 있다.Among the alicyclic epoxy compounds represented by formula (P1-1), specific examples of preferred compounds include alicyclic epoxy compounds represented by the following formulas (P1-1a), (P1-1b), and (P1-1c); ,2-bis(3,4-epoxycyclohexan-1-yl)propane [=2,2-bis(3,4-epoxycyclohexyl)propane] and the like.
식 (P1-2)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물 중, 바람직한 화합물의 구체예로서는, 하기 식 (P1-2a)로 표시되는 비시클로노나디엔디에폭시드, 또는 디시클로노나디엔디에폭시드 등을 들 수 있다.Among the alicyclic epoxy compounds represented by formula (P1-2), specific examples of preferred compounds include bicyclononadiene diepoxide and dicyclononadiene diepoxide represented by the following formula (P1-2a). .
식 (P1-3)으로 표시되는 지환식 에폭시 화합물 중, 바람직한 화합물의 구체예로서는, S스피로[3-옥사트리시클로[3.2.1.02,4]옥탄-6,2'-옥시란] 등을 들 수 있다. Sspiro[3-oxatricyclo[3.2.1.0 2,4 ]octane-6,2'-oxirane] etc. are mentioned as a specific example of a preferable compound among the alicyclic epoxy compounds represented by Formula (P1-3). can
식 (P1-4)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물 중, 바람직한 화합물의 구체예로서는, 4-비닐시클로헥센디옥시드, 디펜텐디옥시드, 리모넨디옥시드, 1-메틸-4-(3-메틸옥시란-2-일)-7-옥사비시클로[4.1.0]헵탄 등을 들 수 있다.Specific examples of preferred compounds among the alicyclic epoxy compounds represented by formula (P1-4) include 4-vinylcyclohexenedioxide, dipentenedioxide, limonenedioxide, and 1-methyl-4-(3-methyloxirane). -2-yl)-7-oxabicyclo[4.1.0]heptane and the like.
식 (P1-5)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물 중, 바람직한 화합물의 구체예로서는, 1,2,5,6-디에폭시시클로옥탄 등을 들 수 있다.Among the alicyclic epoxy compounds represented by Formula (P1-5), 1,2,5,6-diepoxycyclooctane etc. are mentioned as a specific example of a preferable compound.
이상 설명한 지환식 에폭시기를 갖는 지방족 에폭시 화합물 이외에, 화합물(P1)로서 사용할 수 있는, 에폭시기를 갖는 비중합체의 예로서는, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-메틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메타)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메타)아크릴레이트 등의 에폭시알킬(메타)아크릴레이트; 2-글리시딜옥시에틸(메타)아크릴레이트, 3-글리시딜옥시-n-프로필(메타)아크릴레이트, 4-글리시딜옥시-n-부틸(메타)아크릴레이트, 5-글리시딜옥시-n-헥실(메타)아크릴레이트, 6-글리시딜옥시-n-헥실(메타)아크릴레이트 등의 에폭시알킬옥시알킬(메타)아크릴레이트; 비스페놀A형 에폭시 수지, 비스페놀F형 에폭시 수지, 비스페놀S형 에폭시 수지, 비스페놀AD형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 및 비페닐형 에폭시 수지 등의 2관능 에폭시 수지; 페놀노볼락형 에폭시 수지, 브롬화 페놀노볼락형 에폭시 수지, 오르토크레조르노볼락형 에폭시 수지, 비스페놀A노볼락형 에폭시 수지, 및 비스페놀AD노볼락형 에폭시 수지 등의 노볼락 에폭시 수지; 디시클로펜타디엔형 페놀 수지의 에폭시화물 등의 환식 지방족 에폭시 수지; 나프탈렌형 페놀 수지의 에폭시화물 등의 방향족 에폭시 수지; 9,9-비스[4-(글리시딜옥시)페닐]-9H-플루오렌, 9,9-비스[4-[2-(글리시딜옥시)에톡시]페닐]-9H-플루오렌, 9,9-비스[4-[2-(글리시딜옥시)에틸]페닐]-9H-플루오렌, 9,9-비스[4-(글리시딜옥시)-3-메틸페닐]-9H-플루오렌, 9,9-비스[4-(글리시딜옥시)-3,5-디메틸페닐]-9H-플루오렌, 및 9,9-비스(6글리시딜옥시나프탈렌 2-일)-9H-플루오렌, 9,9-비스(6-글리시딜옥시나프탈렌 1-일)-9H-플루오렌, 9,9-비스(5-글리시딜옥시나프탈렌 1-일)-9H-플루오렌 등의 9,9-비스(글리시딜옥시나프틸)플루오렌류; 9,9-비스[6-(2-글리시딜옥시에톡시)나프탈렌-2-일]-9H-플루오렌, 9,9-비스[6-(2-글리시딜옥시프로폭시)나프탈렌-2-일]플루오렌, 9,9-비스[5-(2-글리시딜옥시에톡시)나프탈렌-1-일]플루오렌, 9,9-비스[5-(2-글리시딜옥시프로폭시)나프탈렌-1-일]플루오렌 등의 9,9-비스(글리시딜옥시알콕시나프틸)플루오렌류; 9,9-비스{6-[2-(2-글리시딜옥시에톡시)에톡시]나프탈렌-2-일}-9H-플루오렌, 9,9-비스{6-[2-(2-글리시딜옥시프로폭시)프로폭시]나프탈렌-2-일}-9H-플루오렌, 9,9-비스{5-[2-(2-글리시딜옥시에톡시)에톡시]나프탈렌-1-일}-9H-플루오렌, 9,9-비스{5-[2-(2-글리시딜옥시프로폭시)프로폭시]나프탈렌-1-일}-9H-플루오렌 등의 9,9-비스(글리시딜옥시디알콕시나프틸)플루오렌류; 등의 에폭시기 함유 플루오렌 화합물; 다이머산글리시딜에스테르, 및 트리글리시딜에스테르 등의 글리시딜에스테르형 에폭시 수지; 테트라글리시딜아미노디페닐메탄, 트리글리시딜-p-아미노페놀, 테트라글리시딜메타크실릴렌디아민, 및 테트라글리시딜비스아미노메틸시클로헥산 등의 글리시딜아민형 에폭시 수지; 트리글리시딜이소시아누레이트 등의 복소환식 에폭시 수지; 플루오로글리시놀트리글리시딜에테르, 트리히드록시비페닐트리글리시딜에테르, 트리히드록시페닐메탄트리글리시딜에테르, 글리세린트리글리시딜에테르, 2-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-2-[4-[1,1-비스[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]에틸]페닐]프로판, 및 1,3-비스[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-[4-[1-[4-(2,3-에폭시프로폭시)페닐]-1-메틸에틸]페닐]에틸]페녹시]-2-프로판올 등의 3관능형 에폭시 수지; 테트라히드록시페닐에탄테트라글리시딜에테르, 테트라글리시딜벤조페논, 비스레조르시놀테트라글리시딜에테르, 및 테트라글리시독시비페닐 등의 4관능형 에폭시 수지, 및 2,2-비스(히드록시메틸)-1-부탄올의 1,2-에폭시-4-(2-옥시라닐)시클로헥산 부가물을 들 수 있다. 2,2-비스(히드록시메틸)-1-부탄올의 1,2-에폭시-4-(2-옥시라닐)시클로헥산 부가물은 EHPE-3150(다이셀 사 제)으로서 시판된다.Examples of non-polymers having an epoxy group that can be used as the compound (P1) other than the alicyclic epoxy compound having an alicyclic epoxy group described above include glycidyl (meth) acrylate, 2-methylglycidyl (meth) acrylate, epoxyalkyl (meth)acrylates such as 3,4-epoxybutyl (meth)acrylate and 6,7-epoxyheptyl (meth)acrylate; 2-glycidyloxyethyl (meth)acrylate, 3-glycidyloxy-n-propyl (meth)acrylate, 4-glycidyloxy-n-butyl (meth)acrylate, 5-glycidyl epoxyalkyloxyalkyl (meth)acrylates such as oxy-n-hexyl (meth)acrylate and 6-glycidyloxy-n-hexyl (meth)acrylate; bifunctional epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin; Novolac epoxy resins, such as a phenol novolak-type epoxy resin, a brominated phenol novolak-type epoxy resin, an ortho cresol novolak-type epoxy resin, a bisphenol A novolak-type epoxy resin, and a bisphenol AD novolak-type epoxy resin; Cyclic aliphatic epoxy resins, such as an epoxidized product of a dicyclopentadiene type phenol resin; aromatic epoxy resins such as epoxidized products of naphthalene-type phenol resins; 9,9-bis[4-(glycidyloxy)phenyl]-9H-fluorene, 9,9-bis[4-[2-(glycidyloxy)ethoxy]phenyl]-9H-fluorene; 9,9-bis[4-[2-(glycidyloxy)ethyl]phenyl]-9H-fluorene, 9,9-bis[4-(glycidyloxy)-3-methylphenyl]-9H-flu Orene, 9,9-bis[4-(glycidyloxy)-3,5-dimethylphenyl]-9H-fluorene, and 9,9-bis(6-glycidyloxynaphthalen 2-yl)-9H- fluorene, 9,9-bis(6-glycidyloxynaphthalen 1-yl)-9H-fluorene, 9,9-bis(5-glycidyloxynaphthalen 1-yl)-9H-fluorene, etc. 9,9-bis(glycidyloxynaphthyl)fluorenes; 9,9-bis[6-(2-glycidyloxyethoxy)naphthalen-2-yl]-9H-fluorene, 9,9-bis[6-(2-glycidyloxypropoxy)naphthalene- 2-yl]fluorene, 9,9-bis[5-(2-glycidyloxyethoxy)naphthalen-1-yl]fluorene, 9,9-bis[5-(2-glycidyloxypro 9,9-bis(glycidyloxyalkoxynaphthyl)fluorenes such as poxy)naphthalen-1-yl]fluorene; 9,9-bis{6-[2-(2-glycidyloxyethoxy)ethoxy]naphthalen-2-ylb-9H-fluorene, 9,9-biss6-[2-(2-(2-) Glycidyloxypropoxy)propoxy]naphthalen-2-yld-9H-fluorene, 9,9-bisb5-[2-(2-glycidyloxyethoxy)ethoxy]naphthalene-1- 9,9-bis such as monol-9H-fluorene and 9,9-bis#5-[2-(2-glycidyloxypropoxy)propoxy]naphthalen-1-yld-9H-fluorene (glycidyloxydialkoxynaphthyl)fluorenes; Epoxy group-containing fluorene compounds, such as; glycidyl ester type epoxy resins such as dimer acid glycidyl ester and triglycidyl ester; glycidylamine type epoxy resins such as tetraglycidylaminodiphenylmethane, triglycidyl-p-aminophenol, tetraglycidyl methaxylylenediamine, and tetraglycidylbisaminomethylcyclohexane; Heterocyclic epoxy resins, such as triglycidyl isocyanurate; Fluoroglycinol triglycidyl ether, trihydroxybiphenyl triglycidyl ether, trihydroxyphenylmethane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, 2-[4-(2,3-epoxypropoxy) phenyl]-2-[4-[1,1-bis[4-(2,3-epoxypropoxy)phenyl]ethyl]phenyl]propane, and 1,3-bis[4-[1-[4-( 2,3-epoxypropoxy)phenyl]-1-[4-[1-[4-(2,3-epoxypropoxy)phenyl]-1-methylethyl]phenyl]ethyl]phenoxy]-2-propanol trifunctional epoxy resins, such as; tetrafunctional epoxy resins such as tetrahydroxyphenylethanetetraglycidylether, tetraglycidylbenzophenone, bisresorcinoltetraglycidylether, and tetraglycidoxybiphenyl, and 2,2-bis(hydroxy 1,2-epoxy-4-(2-oxiranyl)cyclohexane adduct of oxymethyl)-1-butanol. A 1,2-epoxy-4-(2-oxiranyl)cyclohexane adduct of 2,2-bis(hydroxymethyl)-1-butanol is commercially available as EHPE-3150 (manufactured by Daicel).
또한, 3-에틸-3-히드록시메틸옥세탄, 2-에틸헥실옥세탄, 3-에틸-3-히드록시메틸옥세타닐메타크릴레이트, 비스-1-에틸-3-옥세타닐메틸에테르, 1,4-비스-3-에틸옥세탄-3-일메톡시메틸벤젠, 3-에틸-3-2-에틸헥실옥시메틸옥세탄, 3-에틸-3-페녹시메틸옥세탄 등의 옥세타닐기를 갖는 화합물(옥세탄 화합물)도 적합하게 들 수 있고, 1 분자 중의 옥세타닐기가 1개 혹은 2개 이상인 1관능 또는 2관능 이상의 옥세탄 화합물도 적합하게 들 수 있다.In addition, 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane, 2-ethylhexyloxetane, 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetanyl methacrylate, bis-1-ethyl-3-oxetanylmethyl ether , 1,4-bis-3-ethyloxetan-3-ylmethoxymethylbenzene, 3-ethyl-3-2-ethylhexyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-phenoxymethyloxetane, etc. A compound having a nyl group (oxetane compound) is also preferably mentioned, and a monofunctional or bifunctional or more than monofunctional oxetane compound having one or two or more oxetanyl groups in one molecule is also preferably mentioned.
지환식 에폭시기를 갖는 지방족 에폭시 화합물 이외에, 화합물(P1)로서 사용할 수 있는, 에폭시기를 갖는 비중합체 중, 고굴절률화의 점에서, 바람직하게는 에폭시기 함유 플루오렌 화합물이며, 9,9-비스(글리시딜옥시나프틸)플루오렌류를 포함하는 하기 식 (P18)이 보다 바람직하다.Among non-polymers having an epoxy group that can be used as the compound (P1) other than the aliphatic epoxy compound having an alicyclic epoxy group, from the viewpoint of high refractive index, it is preferably an epoxy group-containing fluorene compound, 9,9-bis(gly The following formula (P18) containing cidyloxynaphthyl) fluorenes is more preferable.
(식 (P1-8) 중, 환 Z4는 축합다환식 방향족 탄화수소환, RP35 및 RP36는 치환기, RP37는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, k1은 0∼4의 정수, k2는 0 이상의 정수, k3는 1 이상의 정수이다.)(In formula (P1-8), ring Z 4 is a condensed polycyclic aromatic hydrocarbon ring, R P35 and R P36 are a substituent, R P37 is a hydrogen atom or a methyl group, k1 is an integer of 0 to 4, k2 is 0 or more Integer, k3 is an integer greater than or equal to 1.)
상기 식 (P1-8)에 있어서, 환 Z4로 표시되는 축합다환식 방향족 탄화수소환으로서는, 축합 2환식 탄화수소환(예를 들면, 인덴환, 나프탈렌환 등의 C8∼C20 축합 2환식 탄화수소환, 바람직하게는 C10∼C16 축합 2환식 탄화수소환), 축합 3환식 탄화수소환(예를 들면, 안트라센환, 페난트렌환 등) 등의 축합 2∼4 환식 탄화수소환 등을 들 수 있다. 바람직한 축합다환식 방향족 탄화수소환으로서는, 나프탈렌환, 안트라센환 등을 들 수 있고, 특히 나프탈렌환이 바람직하다. 나아가, 플루오렌의 9위치에 치환하는 2개의 환 Z4는 동일한 또는 상이한 환이어도 되고, 통상, 동일한 환이어도 된다.In the formula (P1-8), as the condensed polycyclic aromatic hydrocarbon ring represented by ring Z 4 , a condensed bicyclic hydrocarbon ring (for example, a C8 to C20 condensed bicyclic hydrocarbon ring such as an indene ring or a naphthalene ring; Preferred examples include condensed 2 to 4 cyclic hydrocarbon rings such as C10 to C16 condensed bicyclic hydrocarbon ring) and condensed tricyclic hydrocarbon ring (eg, anthracene ring, phenanthrene ring, etc.). A naphthalene ring, an anthracene ring, etc. are mentioned as a preferable condensed polycyclic aromatic hydrocarbon ring, A naphthalene ring is especially preferable. Further, the two rings Z 4 substituted at the 9-position of fluorene may be the same or different rings, and usually the same ring.
또한, 플루오렌의 9위치에 치환하는 환 Z4의 치환 위치는, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 플루오렌의 9위치에 치환하는 나프틸기는, 1-나프틸기, 2-나프틸기 등이어도 되고, 특히 2-나프틸기인 것이 바람직하다. In addition, the substitution position of the ring Z 4 substituted at the 9th position of fluorene is not particularly limited, For example, the naphthyl group substituted at the 9th position of fluorene may be a 1-naphthyl group, a 2-naphthyl group, etc. and it is particularly preferably a 2-naphthyl group.
또한, 상기 식 (P1-8)에 있어서, RP35로 표시되는 치환기로서는, 예를 들면, 시아노기, 할로겐 원자(불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자 등), 탄화수소기[예를 들면, 알킬기, 아릴기(페닐기 등의 C6∼C10 아릴기) 등]등의 비반응성 치환기를 들 수 있고, 특히 할로겐 원자, 시아노기 또는 알킬기(특히 알킬기)인 경우가 많다. 알킬기로서는, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, 부틸기, t-부틸기 등의 C1∼C6 알킬기(예를 들면, C1∼C4 알킬기, 특히 메틸기) 등을 예시할 수 있다. 나아가, k1이 복수(2 이상)인 경우, RP35는 서로 상이하여도 되고, 동일하여도 된다. 또한, 플루오렌(또는 플루오렌 골격)을 구성하는 2개의 벤젠환에 치환하는 RP35는 동일하여도 되고, 상이하여도 된다. 또한, 플루오렌을 구성하는 벤젠환에 대한 RP35의 결합 위치(치환 위치)는, 특별히 한정되지 않는다. 바람직한 k1은 0∼1, 특히 0이다. 나아가, 플루오렌을 구성하는 2개의 벤젠환에 있어서, k1은 서로 동일 또는 상이하여도 된다.In the above formula (P1-8) , examples of the substituent represented by R P35 include a cyano group, a halogen atom (fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, etc.), a hydrocarbon group [for example, an alkyl group, and non-reactive substituents such as an aryl group (C6-C10 aryl group such as a phenyl group), etc.], and in particular a halogen atom, a cyano group, or an alkyl group (especially an alkyl group) in many cases. Examples of the alkyl group include C1-C6 alkyl groups such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group and a t-butyl group (eg, a C1-C4 alkyl group, particularly a methyl group). Furthermore, when k1 is plural (2 or more), R P35 may be mutually different and may be the same. In addition, R P35 substituted for two benzene rings constituting fluorene (or fluorene skeleton) may be the same or different. In addition, the bonding position (substitution position) of R P35 with respect to the benzene ring which comprises fluorene is not specifically limited. Preferred k1 is 0 to 1, especially 0. Furthermore, in the two benzene rings constituting fluorene, k1 may be the same as or different from each other.
환 Z4에 치환하는 RP36로서는, 예를 들면, 알킬기(예를 들면, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기, 부틸기 등의 C1∼C12 알킬기, 바람직하게는 C1∼C8 알킬기, 더욱 바람직하게는 C1∼C6 알킬기 등), 시클로알킬기(예를 들면, 시클로헥실기 등의 C5∼C8 시클로알킬기, 바람직하게는 C5∼C6 시클로알킬기 등), 아릴기(예를 들면, 페닐기, 톨릴기, 크실릴기 등의 C6∼C14 아릴기, 바람직하게는 C6∼C10 아릴기, 더욱 바람직하게는 C6∼C8 아릴기 등), 아랄킬기(예를 들면, 벤질기, 페네틸기 등의 C6∼C10 아릴기와 C1∼C4 알킬기가 결합해서 이루어지는 아랄킬기 등) 등의 탄화수소기; 알콕시기(예를 들면, 메톡시기 등의 C1∼C8 알콕시기, 바람직하게는 C1∼C6 알콕시기 등), 시클로알콕시기(C5∼C10 시클로알킬옥시기 등), 아릴옥시기(C6∼C10 아릴옥시기 등) 등의 기 -ORP38[식 중, RP38은 탄화수소기(상기 예시의 탄화수소기 등)를 나타낸다.]; 알킬티오기(예를 들면, 메틸티오기 등의 C1∼C8 알킬티오기, 바람직하게는 C1∼C6 알킬티오기 등) 등의 기-SRP38(식 중, RP38은 상기와 같다.); 아실기(예를 들면, 아세틸기 등의 C1∼C6 아실기 등); 알콕시카르보닐기(예를 들면, 에톡시카르보닐기 등의 C1∼C4 알콕시기와 카르보닐기가 결합해서 이루어지는 알콕시카르보닐기 등); 할로겐 원자(불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자, 요오드 원자 등); 히드록실기; 니트로기; 시아노기; 치환 아미노기(예를 들면, 디메틸아미노기 등의 디알킬아미노기 등) 등을 들 수 있다. As R P36 substituted for ring Z 4 , for example, an alkyl group (for example, a C1-C12 alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, or a butyl group, preferably a C1-C8 alkyl group, more preferably a C1-C8 alkyl group preferably a C1-C6 alkyl group), a cycloalkyl group (eg, a C5-C8 cycloalkyl group such as a cyclohexyl group, preferably a C5-C6 cycloalkyl group, etc.), an aryl group (eg, a phenyl group, a tolyl group, A C6-C14 aryl group such as a xylyl group, preferably a C6-C10 aryl group, more preferably a C6-C8 aryl group, etc.), an aralkyl group (eg, a benzyl group, a C6-C10 aryl group such as a phenethyl group) a hydrocarbon group such as an aralkyl group formed by bonding a group and a C1-C4 alkyl group; Alkoxy group (For example, a C1-C8 alkoxy group such as a methoxy group, preferably a C1-C6 alkoxy group, etc.), a cycloalkoxy group (C5-C10 cycloalkyloxy group, etc.), an aryloxy group (C6-C10 aryl) oxy group etc.) and the like group -OR P38 [ wherein R P38 represents a hydrocarbon group (hydrocarbon group in the above example); groups such as an alkylthio group (eg, a C1-C8 alkylthio group such as a methylthio group, preferably a C1-C6 alkylthio group, etc.)-SR P38 ( wherein R P38 is the same as above); an acyl group (for example, a C1-C6 acyl group such as an acetyl group); an alkoxycarbonyl group (eg, an alkoxycarbonyl group formed by bonding a carbonyl group to a C1-C4 alkoxy group such as an ethoxycarbonyl group); halogen atom (fluorine atom, chlorine atom, bromine atom, iodine atom, etc.); hydroxyl group; nitro group; cyano group; Substituted amino groups (For example, dialkylamino groups, such as a dimethylamino group, etc.) etc. are mentioned.
이들 중, RP36는, 탄화수소기, 알콕시기, 시클로알콕시기, 아릴옥시기, 아랄킬옥시기, 아실기, 할로겐 원자, 니트로기, 시아노기, 치환 아미노기 등인 것이 바람직하고, 특히, 바람직한 RP36는, 탄화수소기[예를 들면, 알킬기(예를 들면, C1∼C6 알킬기)], 알콕시기(C1∼C4 알콕시기 등), 할로겐 원자(불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자, 요오드 원자 등) 등이다.Among these, R P36 is preferably a hydrocarbon group, an alkoxy group, a cycloalkoxy group, an aryloxy group, an aralkyloxy group, an acyl group, a halogen atom, a nitro group, a cyano group, a substituted amino group, or the like, and particularly preferably R P36 is , a hydrocarbon group (eg, an alkyl group (eg, a C1-C6 alkyl group)), an alkoxy group (such as a C1-C4 alkoxy group), a halogen atom (such as a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, or an iodine atom) .
나아가, 동일한 환 Z4에 있어서, k2가 복수(2 이상)인 경우, RP36는 서로 상이하여도 되고, 동일하여도 된다. 또한, 2개의 환 Z4에 있어서, RP36는 동일하여도 되고, 상이하여도 된다. 또한, 바람직한 k2는 0∼8, 바람직하게는 0∼6(예를 들면, 1∼5), 더욱 바람직하게는 0∼4, 특히 0∼2(예를 들면, 0∼1) 이어도 된다. 나아가, 2개의 환 Z4에 있어서, k2는 서로 동일 또는 상이하여도 된다.Further, in the same ring Z 4 , when k2 is plural (2 or more), R P36 may be different from or the same as each other. In the two rings Z 4 , R P36 may be the same or different. Moreover, preferable k2 may be 0-8, Preferably it is 0-6 (for example, 1-5), More preferably, it is 0-4, Especially 0-2 (for example, 0-1) may be sufficient. Further, in the two rings Z 4 , k2 may be the same as or different from each other.
나아가, 상기 식 (P1-8)에 있어서, RP37는 수소 원자 또는 메틸기이며, 바람직한 RP37는 수소 원자이다.Further, in the formula (P1-8), R P37 is a hydrogen atom or a methyl group, and preferably R P37 is a hydrogen atom.
상기 식 (P1-8)에 있어서, k3는 1 이상이면 되고, 예를 들면 1∼4, 바람직하게는 1∼3, 더욱 바람직하게는 1∼2, 특히 1이어도 된다. 나아가, k3는 각각의 환 Z에 있어서, 동일 또는 상이하여도 되고, 통상 동일한 경우가 많다. 나아가, 에폭시기 함유기의 치환 위치는, 특별히 한정되지 않고, 환 Z4의 적당한 치환 위치에 치환하고 있으면 된다. 특히, 에폭시기 함유기는 축합다환식 탄화수소환에 있어서, 플루오렌의 9위치에 결합한 탄화수소환과는 다른 탄화수소환(예를 들면, 나프탈렌환의 5위치, 6위치 등)에 적어도 치환하고 있는 경우가 많다.In said formula (P1-8), k3 may be 1 or more, for example, 1-4, Preferably 1-3, More preferably, 1-2, especially 1 may be sufficient. Furthermore, in each ring Z, k3 may be the same or different, and is usually the same in many cases. Further, the substitution position of the epoxy group-containing group is, it is sufficient not particularly limited, and a suitable substituted and the substitution position of the ring Z 4. In particular, in the condensed polycyclic hydrocarbon ring, the epoxy group-containing group is often substituted at least in a hydrocarbon ring different from the hydrocarbon ring bonded to the 9-position of the fluorene (for example, the 5-position, the 6-position of the naphthalene ring, etc.).
상기 식 (P1-8)로 표시되는 구체적인 화합물로서는, 예를 들면 9,9-비스(글리시딜옥시나프틸)플루오렌[예를 들면, 9,9-비스(6-글리시딜옥시-2-나프틸)플루오렌, 9,9-비스(5-글리시딜옥시-1-나프틸)플루오렌 등] 등의 상기 식 (P1-8)에 있어서 k3가 1인 화합물 등을 들 수 있다.Specific examples of the compound represented by the formula (P1-8) include 9,9-bis(glycidyloxynaphthyl)fluorene [eg, 9,9-bis(6-glycidyloxy-) 2-naphthyl) fluorene, 9,9-bis (5-glycidyloxy-1-naphthyl) fluorene, etc.] in the formula (P1-8), such as a compound in which k3 is 1; have.
(에폭시기를 갖는 중합체)(Polymer having an epoxy group)
에폭시기를 갖는 중합체는, 에폭시기를 갖는 단량체 또는 에폭시기를 갖는 단량체를 포함하는 단량체 혼합물을 중합시켜 얻어지는 중합체이어도 되고, 수산기, 카르복시기, 아미노기 등의 반응성을 갖는 관능기를 갖는 중합체에 대해서, 예를 들면 에피클로로히드린과 같은 에폭시기를 갖는 화합물을 이용하여 에폭시기를 도입한 것이어도 된다. 또한, 1,2-폴리부타디엔과 같은 측쇄에 불포화 지방족 탄화수소기를 갖는 중합체의 부분 산화물도 에폭시기를 갖는 중합체로서 적합하게 사용할 수 있다. 이러한 부분 산화물은, 측쇄에 포함되는 불포화 결합의 산화에 의해 생성한 에폭시기를 포함한다.The polymer having an epoxy group may be a polymer obtained by polymerizing a monomer having an epoxy group or a monomer mixture containing a monomer having an epoxy group, and with respect to a polymer having a reactive functional group such as a hydroxyl group, a carboxy group, or an amino group, for example, epichloro What introduce|transduced the epoxy group using the compound which has an epoxy group like hydrin may be used. Further, a partial oxide of a polymer having an unsaturated aliphatic hydrocarbon group in a side chain such as 1,2-polybutadiene can also be suitably used as the polymer having an epoxy group. Such a partial oxide contains the epoxy group produced|generated by oxidation of the unsaturated bond contained in a side chain.
입수, 조제, 중합체 중의 에폭시기의 양의 조정 등이 용이한 점으로부터, 에폭시기를 갖는 중합체로서는, 에폭시기를 갖는 단량체 또는 에폭시기를 갖는 단량체를 포함하는 단량체 혼합물을 중합시켜 얻어지는 중합체와 측쇄에 불포화 지방족 탄화수소기를 갖는 중합체의 부분 산화물이 바람직하다.From the viewpoint of easy availability, preparation, adjustment of the amount of epoxy groups in the polymer, etc., as a polymer having an epoxy group, a polymer obtained by polymerizing a monomer having an epoxy group or a monomer mixture containing a monomer having an epoxy group and an unsaturated aliphatic hydrocarbon group in the side chain Partial oxides of the polymer having it are preferred.
(에폭시기를 갖는 단량체 또는 에폭시기를 갖는 단량체를 포함하는 단량체 혼합물의 중합체)(a polymer of a monomer mixture containing a monomer having an epoxy group or a monomer having an epoxy group)
에폭시기를 갖는 중합체 중에서는, 조제가 용이한 것이나, 에너지 감수성 조성물의 기재에 대한 도포성 등의 점으로부터, 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르의 단독 중합체이거나, 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르와 다른 단량체와의 공중합체가 바람직하다.Among the polymers having an epoxy group, it is a homopolymer of (meth)acrylic acid ester having an epoxy group, or different from (meth)acrylic acid ester having an epoxy group, in terms of ease of preparation and applicability of the energy-sensitive composition to a substrate. Copolymers with monomers are preferred.
에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르는, 쇄상 지방족 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르이어도, 후술하는 지환식 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르이어도 된다. 또한, 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르는, 방향족기를 포함하고 있어도 된다. 에너지 감수성 조성물을 이용하여 형성되는 경화물의 투명성의 점으로부터, 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르 중에서는, 쇄상 지방족 에폭시기를 갖는 지방족 (메타)아크릴산에스테르나, 지환식 에폭시기를 갖는 지방족 (메타)아크릴산에스테르가 바람직하고, 지환식 에폭시기를 갖는 지방족 (메타)아크릴산에스테르가 보다 바람직하다.The (meth)acrylic acid ester which has an epoxy group may be (meth)acrylic acid ester which has a chain|strand-shaped aliphatic epoxy group, or the (meth)acrylic acid ester which has the alicyclic epoxy group mentioned later may be sufficient as it. Moreover, the (meth)acrylic acid ester which has an epoxy group may contain the aromatic group. From the viewpoint of transparency of the cured product formed using the energy-sensitive composition, among the (meth)acrylic acid esters having an epoxy group, an aliphatic (meth)acrylic acid ester having a chain aliphatic epoxy group and an aliphatic (meth)acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group is preferable, and aliphatic (meth)acrylic acid ester having an alicyclic epoxy group is more preferable.
방향족기를 포함하고 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르의 예로서는, 4-글리시딜옥시페닐(메타)아크릴레이트, 3-글리시딜옥시페닐(메타)아크릴레이트, 2-글리시딜옥시페닐(메타)아크릴레이트, 4-글리시딜옥시페닐메틸(메타)아크릴레이트, 3-글리시딜옥시페닐메틸(메타)아크릴레이트, 및 2-글리시딜옥시페닐메틸(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.As an example of the (meth)acrylic acid ester which contains an aromatic group and has an epoxy group, 4-glycidyloxyphenyl (meth)acrylate, 3-glycidyloxyphenyl (meth)acrylate, 2-glycidyloxyphenyl (meth) ) acrylate, 4-glycidyloxyphenylmethyl (meth)acrylate, 3-glycidyloxyphenylmethyl (meth)acrylate, and 2-glycidyloxyphenylmethyl (meth)acrylate. have.
쇄상 지방족 에폭시기를 갖는 지방족 (메타)아크릴산에스테르의 예로서는, 에폭시알킬(메타)아크릴레이트, 및 에폭시알킬옥시알킬(메타)아크릴레이트 등과 같은, 에스테르기(-O-CO-) 중의 옥시기(-O-)에 쇄상 지방족 에폭시기가 결합하는 (메타)아크릴산에스테르를 들 수 있다. 이러한 (메타)아크릴산에스테르가 갖는 쇄상 지방족 에폭시기는, 쇄중에 1 또는 복수의 옥시기(-O-)를 포함하고 있어도 된다. 쇄상 지방족 에폭시기의 탄소 원자수는, 특별히 한정되지 않지만, 3∼20이 바람직하고, 3∼15가 보다 바람직하고, 3∼10이 특히 바람직하다.Examples of the aliphatic (meth)acrylic acid ester having a chain aliphatic epoxy group include an oxy group (-O-CO-) in the ester group (-O-CO-), such as epoxyalkyl (meth)acrylate and epoxyalkyloxyalkyl (meth)acrylate. (meth)acrylic acid ester in which a chain aliphatic epoxy group is bonded to -) is mentioned. The chain|strand-shaped aliphatic epoxy group which such (meth)acrylic acid ester has may contain 1 or several oxy group (-O-) in a chain|strand. Although the number of carbon atoms of a chain|strand-shaped aliphatic epoxy group is not specifically limited, 3-20 are preferable, 3-15 are more preferable, 3-10 are especially preferable.
쇄상 지방족 에폭시기를 갖는 지방족 (메타)아크릴산에스테르의 구체예로서는, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-메틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메타)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메타)아크릴레이트 등의 에폭시알킬(메타)아크릴레이트; 2-글리시딜옥시에틸(메타)아크릴레이트, 3-글리시딜옥시-n-프로필(메타)아크릴레이트, 4-글리시딜옥시-n-부틸(메타)아크릴레이트, 5-글리시딜옥시-n-헥실(메타)아크릴레이트, 6-글리시딜옥시-n-헥실(메타)아크릴레이트 등의 에폭시알킬옥시알킬(메타)아크릴레이트를 들 수 있다.Specific examples of the aliphatic (meth)acrylic acid ester having a chain aliphatic epoxy group include glycidyl (meth)acrylate, 2-methylglycidyl (meth)acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth)acrylate, 6, Epoxyalkyl (meth)acrylates, such as 7-epoxyheptyl (meth)acrylate; 2-glycidyloxyethyl (meth)acrylate, 3-glycidyloxy-n-propyl (meth)acrylate, 4-glycidyloxy-n-butyl (meth)acrylate, 5-glycidyl Epoxyalkyloxyalkyl (meth)acrylates, such as oxy-n-hexyl (meth)acrylate and 6-glycidyloxy-n-hexyl (meth)acrylate, are mentioned.
지환식 에폭시기를 갖는 지방족 (메타)아크릴산에스테르의 구체예로서는, 예를 들면 하기 식 (a2-1)∼(a2-15)로 표시되는 화합물을 들 수 있다. 이들 중에서도, 하기 식 (a2-1)∼(a2-5)로 표시되는 화합물이 바람직하고, 하기 식 (a2-1)∼(a2-3)로 표시되는 화합물이 보다 바람직하다.As a specific example of the aliphatic (meth)acrylic acid ester which has an alicyclic epoxy group, the compound represented, for example by following formula (a2-1) - (a2-15) is mentioned. Among these, compounds represented by the following formulas (a2-1) to (a2-5) are preferable, and compounds represented by the following formulas (a2-1) to (a2-3) are more preferable.
상기 식 중, Ra20는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, Ra21은 탄소 원자수 1∼6의 2가의 지방족 포화 탄화수소기를 나타내고, Ra22는 탄소 원자수 1∼10의 2가의 탄화수소기를 나타내고, t는 0∼10의 정수를 나타낸다. Ra21로서는, 직쇄상 또는 분지쇄상의 알킬렌기, 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기가 바람직하다. Ra22로서는, 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기, 페닐렌기, 시클로헥실렌기가 바람직하다.In the formula, R a20 represents a hydrogen atom or a methyl group, R a21 represents a divalent saturated aliphatic hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, R a22 represents a divalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, and t is An integer of 0 to 10 is represented. As R a21 , a linear or branched alkylene group, for example, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, or a hexamethylene group is preferable. As R a22 , for example, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, a hexamethylene group, a phenylene group, or a cyclohexylene group is preferable.
에폭시기를 갖는 중합체로서는, 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르의 단독 중합체, 및 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르와 다른 단량체와의 공중합체의 어느 것이라도 이용할 수 있지만, 에폭시기를 갖는 중합체 중의, 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르에 유래하는 단위의 함유량은, 70 질량% 이상이 바람직하고, 80 질량% 이상이 보다 바람직하고, 90 질량% 이상이 특히 바람직하고, 100 질량%인 것이 가장 바람직하다.As the polymer having an epoxy group, any of a homopolymer of (meth)acrylic acid ester having an epoxy group and a copolymer of (meth)acrylic acid ester having an epoxy group and another monomer can be used. 70 mass % or more is preferable, as for content of the unit derived from the (meth)acrylic acid ester to have, 80 mass % or more is more preferable, 90 mass % or more is especially preferable, and it is most preferable that it is 100 mass %.
에폭시기를 갖는 중합체가, 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르와 다른 단량체와의 공중합체인 경우, 다른 단량체로서는, 불포화 카르복시산, 에폭시기를 갖지 않는 (메타)아크릴산에스테르, (메타)아크릴아미드류, 아릴 화합물, 비닐에테르류, 비닐에스테르류, 스티렌류 등을 들 수 있다. 이들 화합물은, 단독 또는 2종 이상 조합하여서 이용할 수 있다. 에너지 감수성 조성물의 보존 안정성이나, 에너지 감수성 조성물을 이용하여 형성되는 경화물의 알칼리 등에 대한 내약품성의 점에서는, 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르와 다른 단량체와의 공중합체는, 불포화 카르복시산에 유래하는 단위를 포함하지 않는 것이 바람직하다.When the polymer having an epoxy group is a copolymer of (meth)acrylic acid ester having an epoxy group and another monomer, examples of the other monomer include unsaturated carboxylic acid, (meth)acrylic acid ester having no epoxy group, (meth)acrylamides, aryl compounds, Vinyl ethers, vinyl esters, styrenes, etc. are mentioned. These compounds can be used individually or in combination of 2 or more types. In terms of storage stability of the energy-sensitive composition and chemical resistance to alkali or the like of a cured product formed using the energy-sensitive composition, a copolymer of (meth)acrylic acid ester having an epoxy group and another monomer is a unit derived from an unsaturated carboxylic acid. It is preferable not to include
불포화 카르복시산의 예로서는, (메타)아크릴산; (메타)아크릴산아미드; 크로톤산; 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산, 이들 디카르복시산의 무수물을 들 수 있다.Examples of the unsaturated carboxylic acid include (meth)acrylic acid; (meth)acrylic acid amide; crotonic acid; Maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid, and the anhydrides of these dicarboxylic acids are mentioned.
에폭시기를 갖지 않는 (메타)아크릴산에스테르의 예로서는, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, 아밀(메타)아크릴레이트, t-옥틸(메타)아크릴레이트 등의 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬(메타)아크릴레이트; 클로로에틸(메타)아크릴레이트, 2,2-디메틸히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 트리메티롤프로판모노(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 퍼푸릴(메타)아크릴레이트; 지환식 골격을 갖는 기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르를 들 수 있다. 에폭시기를 갖지 않는 (메타)아크릴산에스테르 중에서는, 에너지 감수성 조성물을 이용하여 형성되는 경화물의 투명성의 점으로부터, 지환식 골격을 갖는 기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르가 바람직하다.As an example of the (meth)acrylic acid ester which does not have an epoxy group, methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, propyl (meth)acrylate, amyl (meth)acrylate, t-octyl (meth)acrylate, etc. linear or branched alkyl (meth)acrylate; Chloroethyl (meth) acrylate, 2,2-dimethylhydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, trimethylolpropane mono (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate , furfuryl (meth) acrylate; (meth)acrylic acid ester which has group which has alicyclic skeleton is mentioned. Among the (meth)acrylic acid esters which do not have an epoxy group, the (meth)acrylic acid ester which has a group which has an alicyclic skeleton from the point of transparency of the hardened|cured material formed using an energy-sensitive composition is preferable.
지환식 골격을 갖는 기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르에 있어서, 지환식 골격을 구성하는 지환식기는, 단환이어도 다환이어도 된다. 단환의 지환식기로서는, 시클로펜틸기, 시클로헥실기 등을 들 수 있다. 또한, 다환의 지환식기로서는, 노르보닐기, 이소보닐기, 트리시클로노닐기, 트리시클로데실기, 테트라시클로도데실기 등을 들 수 있다.In the (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic skeleton, the alicyclic group constituting the alicyclic skeleton may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic group include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. Moreover, as a polycyclic alicyclic group, a norbornyl group, an isobornyl group, a tricyclononyl group, a tricyclodecyl group, tetracyclododecyl group, etc. are mentioned.
지환식 골격을 갖는 기를 갖는 (메타)아크릴산에스테르로서는, 예를 들면 하기 식 (a3-1)∼(a3-8)로 표시되는 화합물을 들 수 있다. 이들 중에서는, 하기 식 (a3-3)∼(a3-8)로 표시되는 화합물이 바람직하고, 하기 식 (a3-3) 또는 (a3-4)로 표시되는 화합물이 보다 바람직하다.Examples of the (meth)acrylic acid ester having a group having an alicyclic skeleton include compounds represented by the following formulas (a3-1) to (a3-8). Among these, the compounds represented by the following formulas (a3-3) to (a3-8) are preferable, and the compounds represented by the following formulas (a3-3) or (a3-4) are more preferable.
상기 식 중, Ra23는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, Ra24는 단결합 또는 탄소 원자수 1∼6의 2가의 지방족 포화 탄화수소기를 나타내고, Ra25는 수소 원자 또는 탄소 원자수 1∼5의 알킬기를 나타낸다. Ra24로서는, 단결합, 직쇄상 또는 분지쇄상의 알킬렌기, 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기가 바람직하다. Ra25로서는, 메틸기, 에틸기가 바람직하다.In the formula, R a23 represents a hydrogen atom or a methyl group, R a24 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and R a25 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. indicates. As R a24 , a single bond, a linear or branched alkylene group, for example, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, or a hexamethylene group is preferable. R a25 is preferably a methyl group or an ethyl group.
(메타)아크릴아미드류의 예로서는, (메타)아크릴아미드, N-알킬(메타)아크릴아미드, N-아릴(메타)아크릴아미드, N,N-디알킬(메타)아크릴아미드, N,N-아릴(메타)아크릴아미드, N-메틸-N-페닐(메타)아크릴아미드, N-히드록시에틸-N-메틸(메타)아크릴아미드 등을 들 수 있다.Examples of (meth)acrylamides include (meth)acrylamide, N-alkyl (meth)acrylamide, N-aryl (meth)acrylamide, N,N-dialkyl (meth)acrylamide, N,N-aryl (meth)acrylamide, N-methyl-N-phenyl (meth)acrylamide, N-hydroxyethyl-N-methyl (meth)acrylamide, etc. are mentioned.
아릴 화합물의 예로서는, 아세트산아릴, 카프론산아릴, 카프릴산아릴, 라우린산아릴, 팔미틴산아릴, 스테아린산아릴, 벤조산아릴, 아세토아세트산아릴, 락트산아릴 등의 아릴 에스테르류; 아릴옥시에탄올; 등을 들 수 있다.Examples of the aryl compound include aryl esters such as aryl acetate, aryl caproate, aryl caprylate, aryl laurate, aryl palmitate, aryl stearate, aryl benzoate, aryl acetoacetate, and aryl lactate; aryloxyethanol; and the like.
비닐에테르류의 예로서는, 헥실비닐에테르, 옥틸비닐에테르, 데실비닐에테르, 에틸헥실비닐에테르, 메톡시에틸비닐에테르, 에톡시에틸비닐에테르, 클로로에틸비닐에테르, 1-메틸-2,2-디메틸프로필비닐에테르, 2-에틸부틸비닐에테르, 히드록시에틸비닐에테르, 디에틸렌글리콜비닐에테르, 디메틸아미노에틸비닐에테르, 디에틸아미노에틸비닐에테르, 부틸아미노에틸비닐에테르, 벤질비닐에테르, 테트라히드로퍼푸릴비닐에테르 등의 알킬비닐에테르; 비닐페닐에테르, 비닐톨릴에테르, 비닐클로로페닐에테르, 비닐-2,4-디클로로페닐에테르, 비닐나프틸에테르, 비닐안트라닐에테르 등의 비닐아릴에테르; 등을 들 수 있다.Examples of vinyl ethers include hexyl vinyl ether, octyl vinyl ether, decyl vinyl ether, ethylhexyl vinyl ether, methoxyethyl vinyl ether, ethoxyethyl vinyl ether, chloroethyl vinyl ether, 1-methyl-2,2-dimethylpropyl Vinyl ether, 2-ethylbutyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, diethylene glycol vinyl ether, dimethylaminoethyl vinyl ether, diethylaminoethyl vinyl ether, butylaminoethyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, tetrahydrofurfuryl vinyl alkyl vinyl ethers such as ether; vinyl aryl ethers such as vinyl phenyl ether, vinyl tolyl ether, vinyl chlorophenyl ether, vinyl-2,4-dichlorophenyl ether, vinyl naphthyl ether, and vinyl anthranyl ether; and the like.
비닐에스테르류의 예로서는, 비닐부티레이트, 비닐이소부티레이트, 비닐트리메틸아세테이트, 비닐디에틸아세테이트, 비닐발레이트, 비닐카프로에이트, 비닐클로로아세테이트, 비닐디클로로아세테이트, 비닐메톡시아세테이트, 비닐부톡시아세테이트, 비닐페닐아세테이트, 비닐아세토아세테이트, 비닐락테이트, 비닐-β-페닐부티레이트, 벤조산비닐, 살리실산비닐, 클로로벤조산비닐, 테트라클로로벤조산비닐, 나프토에산비닐등을 들 수 있다.Examples of vinyl esters include vinyl butyrate, vinyl isobutyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl diethyl acetate, vinyl valate, vinyl caproate, vinyl chloro acetate, vinyl dichloro acetate, vinyl methoxy acetate, vinyl butoxy acetate, vinyl phenyl. acetate, vinylacetoacetate, vinyllactate, vinyl-β-phenylbutyrate, vinyl benzoate, vinyl salicylate, vinyl chlorobenzoate, vinyl tetrachlorobenzoate, vinyl naphthoate, and the like.
스티렌류의 예로서는, 스티렌; 메틸스티렌, 디메틸스티렌, 트리메틸스티렌, 에틸스티렌, 디에틸스티렌, 이소프로필스티렌, 부틸스티렌, 헥실스티렌, 시클로헥실스티렌, 데실스티렌, 벤질스티렌, 클로로메틸스티렌, 트리플루오로메틸스티렌, 에톡시메틸스티렌, 아세톡시메틸스티렌 등의 알킬스티렌; 메톡시스티렌, 4-메톡시-3-메틸스티렌, 디메톡시스티렌 등의 알콕시스티렌; 클로로스티렌, 디클로로스티렌, 트리클로로스티렌, 테트라클로로스티렌, 펜타클로로스티렌, 브로모스티렌, 디브로모스티렌, 요오도스티렌, 플루오로스티렌, 트리플루오로스티렌, 2-브로모-4-트리플루오로메틸스티렌, 4-플루오로-3-트리플루오로메틸스티렌 등의 할로 스티렌; 등을 들 수 있다.Examples of styrenes include styrene; Methyl styrene, dimethyl styrene, trimethyl styrene, ethyl styrene, diethyl styrene, isopropyl styrene, butyl styrene, hexyl styrene, cyclohexyl styrene, decyl styrene, benzyl styrene, chloromethyl styrene, trifluoromethyl styrene, ethoxymethyl styrene , alkyl styrene such as acetoxymethyl styrene; Alkoxy styrene, such as methoxy styrene, 4-methoxy-3- methyl styrene, and dimethoxy styrene; Chlorostyrene, dichlorostyrene, trichlorostyrene, tetrachlorostyrene, pentachlorostyrene, bromostyrene, dibromostyrene, iodostyrene, fluorostyrene, trifluorostyrene, 2-bromo-4-trifluoro halo styrenes such as methyl styrene and 4-fluoro-3-trifluoromethyl styrene; and the like.
(측쇄에 불포화 지방족 탄화수소기를 갖는 중합체의 부분 산화물)(Partial oxide of a polymer having an unsaturated aliphatic hydrocarbon group in the side chain)
측쇄에 불포화 지방족 탄화수소를 갖는 중합체는 특별히 한정되지 않지만, 입수나 합성이 용이한 것 등으로부터, 측쇄에 비닐기를 갖는 1,2-폴리부타디엔이 바람직하다. 1,2-폴리부타디엔을 부분적으로 산화함으로써, 측쇄에 옥시라닐기와 비닐기를 갖는, 에폭시화 폴리부타디엔을 얻을 수 있다. 이러한 에폭시화 폴리부타디엔에 있어서의 옥시라닐기의 비율은, 옥시라닐기와 비닐기의 총 몰수에 대해서 10∼70몰%가 바람직하고, 10∼50몰%가 보다 바람직하고, 10∼40몰%가 보다 바람직하다. 에폭시화 폴리부타디엔으로서는, 닛폰소다 주식회사에서 시판되는, JP-100, 및 JP-200을 적합하게 사용할 수 있다.Although the polymer which has an unsaturated aliphatic hydrocarbon in a side chain is not specifically limited, 1,2-polybutadiene which has a vinyl group in a side chain is preferable from a thing easily available, synthesis|combination, etc.. By partially oxidizing 1,2-polybutadiene, an epoxidized polybutadiene having an oxiranyl group and a vinyl group in the side chain can be obtained. The ratio of the oxiranyl groups in such epoxidized polybutadiene is preferably from 10 to 70 mol%, more preferably from 10 to 50 mol%, and from 10 to 40 mol% with respect to the total number of moles of oxiranyl groups and vinyl groups. more preferably. As the epoxidized polybutadiene, JP-100 and JP-200 commercially available from Nippon Soda Co., Ltd. can be suitably used.
이상 설명한, 에폭시기를 갖는 중합체의 분자량은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 범위에서 특별히 한정되지 않지만, 폴리스티렌 환산의 질량평균분자량으로서 3,000∼30,000이 바람직하고, 5,000∼15,000이 보다 바람직하다.Although the molecular weight of the polymer which has an epoxy group demonstrated above is not specifically limited in the range which does not impair the objective of this invention, As a polystyrene conversion mass average molecular weight, 3,000-30,000 are preferable and 5,000-15,000 are more preferable.
또한, 화합물(P1)로서는, 하기 식 (P1-6)으로 표시되는 화합물을 들 수 있다.Moreover, as a compound (P1), the compound represented by a following formula (P1-6) is mentioned.
(식 (P1-6) 중, RP31∼RP33는 직쇄상, 분기쇄상 또는 환상의 알킬렌기, 알릴렌기, -O-, -C(=O)-, -NH- 및 이들 조합으로 이루어지는 기이며, 각각 동일하여도 되고, 상이하여도 된다. E1∼E3는 에폭시기, 옥세타닐기, 에틸렌성 불포화기, 알콕시실릴기, 이소시아네이트기, 블록 이소시아네이트기, 티올기, 카르복시기, 수산기 및 숙신산무수물기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 치환기 또는 수소 원자이다. 단, E1∼E3의 중 적어도 하나는, 에폭시기 및 옥세타닐기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종이다.)(In formula (P1-6), R P31 to R P33 are a linear, branched or cyclic alkylene group, an allylene group, -O-, -C(=O)-, -NH-, and a group consisting of a combination thereof. E 1 to E 3 are epoxy group, oxetanyl group, ethylenically unsaturated group, alkoxysilyl group, isocyanate group, blocked isocyanate group, thiol group, carboxyl group, hydroxyl group and succinic anhydride At least one substituent or hydrogen atom selected from the group consisting of a group, provided that at least one of E 1 to E 3 is at least one selected from the group consisting of an epoxy group and an oxetanyl group.)
식 (P1-6) 중, RP31과 E1,RP32와 E2, 및 RP33와 E3으로 나타나는 기는, 예를 들면, 적어도 하나가 하기 식 (P1-6a)로 표시되는 기인 것이 바람직하고, 적어도 2개가 각각 하기 식 (P1-6a)로 표시되는 기인 것이 보다 바람직하고, 어느 것이라도 각각 하기 식 (P1-6a)로 표시되는 기인 것이 더욱 바람직하다. 1개의 화합물에 결합하는 식 (P1-6a)로 표시되는 기는, 동일한 기인 것이 바람직하다.In formula (P1-6), it is preferable that at least one of the groups represented by R P31 and E 1 , R P32 and E 2 , and R P33 and E 3 is, for example, a group represented by the following formula (P1-6a). and more preferably at least two groups each represented by the following formula (P1-6a), and even more preferably any group represented by the following formula (P1-6a). It is preferable that the group represented by Formula (P1-6a) couple|bonded with one compound is the same group.
-L-C ………………… (P1-6a)-L-C … … … … … … … (P1-6a)
(식 (P1-6a) 중, L는 직쇄상, 분기쇄상 또는 환상의 알킬렌기, 알릴렌기, -O-, -C(=O)-, -NH- 및 이들 조합으로 이루어지는 기이며, C는 에폭시기 및 옥세타닐기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종이다. 식 (P1-6a) 중, L과 C가 결합하여 환상 구조를 형성하고 있어도 된다.) (In formula (P1-6a), L is a linear, branched or cyclic alkylene group, allylene group, -O-, -C(=O)-, -NH-, and a group consisting of these combinations, and C is At least one member selected from the group consisting of an epoxy group and an oxetanyl group, in the formula (P1-6a), L and C may combine to form a cyclic structure.)
식 (P1-6a) 중, L로서의 직쇄상, 분기쇄상 또는 환상의 알킬렌기로서는, 탄소 원자수 1∼10의 알킬렌기가 바람직하고, 또한, L로서의 알릴렌기로서는, 탄소 원자수 5∼10의 알릴렌기가 바람직하다. 식 (P1-6a) 중, L는, 직쇄상의 탄소 원자수 1∼3의 알킬렌기, 페닐렌기, -O-, -C(=O)-, -NH- 및 이들 조합으로 이루어지는 기인 것이 바람직하고, 메틸렌기 등의 직쇄상의 탄소 원자수 1∼3의 알킬렌기 및 페닐렌기의 적어도 1종, 또는, 이들과-O-, -C(=O)- 및 NH-의 적어도 1종과의 조합으로 이루어지는 기가 바람직하다.In the formula (P1-6a), the linear, branched or cyclic alkylene group as L is preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and the allylene group as L is preferably an alkylene group having 5 to 10 carbon atoms. Allylene groups are preferred. In formula (P1-6a), L is preferably a group consisting of a linear C1-C3 alkylene group, a phenylene group, -O-, -C(=O)-, -NH-, and combinations thereof. and at least one of a phenylene group and a linear alkylene group having 1 to 3 carbon atoms such as a methylene group, or at least one of -O-, -C(=O)- and NH- A group consisting of a combination is preferred.
식 (P1-6a) 중, L과 C가 결합하여 환상 구조를 형성하고 있는 경우로서는, 예를 들면 분기쇄상의 알킬렌기와 에폭시기가 결합하여 환상 구조(지환 구조의 에폭시기를 갖는 구조)를 형성하고 있는 경우, 하기 식 (P1-6b) 또는 (P1-6c)로 표시되는 유기기를 들 수 있다.In the formula (P1-6a), when L and C are bonded to form a cyclic structure, for example, a branched alkylene group and an epoxy group are bonded to form a cyclic structure (structure having an alicyclic epoxy group), When there exists an organic group represented by a following formula (P1-6b) or (P1-6c) is mentioned.
(식 (P1-6b) 중, RP34는 수소 원자 또는 메틸기이다.)(In formula (P1-6b), R P34 is a hydrogen atom or a methyl group.)
이하, 식 (P1-6)으로 표시되는 화합물의 예로서, 옥시라닐기, 옥세타닐기 및 지환식 에폭시기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 기를 갖는 에폭시 화합물의 예를 나타내지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, examples of the epoxy compound having at least one group selected from the group consisting of an oxiranyl group, an oxetanyl group and an alicyclic epoxy group are shown as examples of the compound represented by the formula (P1-6). is not limited to
또한, 화합물(P1)로서는, 예를 들면 분자 내에 2 이상의 글리시딜기를 갖는 실록산 화합물(이하, "실록산 화합물(B)"이라고도 함)을 들 수 있다.Moreover, as a compound (P1), the siloxane compound (henceforth "siloxane compound (B)") which has two or more glycidyl groups in a molecule|numerator is mentioned, for example.
실록산 화합물(B)은 얻어지는 경화물에, 장기에 걸쳐서 고온 환경 하에 노출하였을 경우의 황변 방지성(= 내열투명성)을 부여할 수 있고, 분자 내에 2 이상의 글리시딜기를 갖고, 더욱이 실록산 결합(Si-O-Si)으로 구성된 실록산 골격을 갖는 화합물이다. 실록산 화합물(B)에 있어서의 실록산 골격으로서는, 예를 들면 환상 실록산 골격이나 폴리실록산 골격{예를 들면, 직쇄상 또는 분기쇄상의 실리콘(직쇄상 또는 분기쇄상 폴리실록산)이나, 바구니형이나 사다리형의 폴리실세스퀴옥산 등} 등을 들 수 있다.The siloxane compound (B) can impart anti-yellowing properties (= heat resistance and transparency) to the resulting cured product when exposed to a high-temperature environment over a long period of time, has two or more glycidyl groups in the molecule, and furthermore has a siloxane bond (Si -O-Si) is a compound having a siloxane skeleton. As the siloxane skeleton in the siloxane compound (B), for example, a cyclic siloxane skeleton or a polysiloxane skeleton (for example, linear or branched silicone (linear or branched polysiloxane), cage-shaped or ladder-shaped poly Silsesquioxane etc.} etc. are mentioned.
실록산 화합물(B)로서는, 그 중에서도 경화성이 우수하고 얻어지는 경화물이 내열투명성이 특별히 우수한 점에서, 하기 식 (B-1)로 표시되는 환상 실록산 골격을 갖는 화합물(이하, "환상 실록산"이라고 하는 경우가 있음)이 바람직하다.As the siloxane compound (B), a compound having a cyclic siloxane skeleton represented by the following formula (B-1) (hereinafter referred to as "cyclic siloxane") in some cases) is preferred.
식 (B-1) 중, RB1, RB2는 글리시딜기를 함유하는 1가의 기 또는 알킬기를 나타낸다. 단, 식 (B-1)로 표시되는 화합물에 있어서의 n개의 RB1 및 n개의 RB2중, 적어도 2개는 글리시딜기를 함유하는 1가의 기이다. 또한, 식 (B-1) 중의 n은 3 이상의 정수를 나타낸다. 또한, 식 (B-1)로 표시되는 화합물에 있어서의 RB1,RB2는 동일하여도 되고, 상이하여도 된다. 또한, 복수의 RB1은 동일하여도 되고, 상이하여도 된다. 복수의 RB2도 동일하여도 되고, 상이하여도 된다.In formula (B-1), R B1 , R B2 represents a monovalent group or an alkyl group containing a glycidyl group. However, among n R B1 and n R B2 in the compound represented by formula (B-1), at least two are monovalent groups containing a glycidyl group. In addition, n in Formula (B-1) represents an integer of 3 or more. In addition, R B1 and R B2 in the compound represented by Formula (B-1) may be same or different. In addition, some RB1 may be same and may differ. A plurality of RB2s may be the same or different.
상기 글리시딜기를 함유하는 1가의 기로서는, -D-O-RB3으로 표시되는 글리시딜에테르기[D는 알킬렌기를 나타내고, RB3은 글리시딜기를 나타냄]가 바람직하다. 상기 D(알킬렌기)로서는, 예를 들면, 메틸렌기, 메틸메틸렌기, 디메틸메틸렌기, 디메틸렌기, 트리메틸렌기 등의 탄소 원자수가 1∼18의 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬렌기 등을 들 수 있다.As the monovalent group containing the glycidyl group , a glycidyl ether group represented by -DOR B3 [D represents an alkylene group and R B3 represents a glycidyl group] is preferable. Examples of the D (alkylene group) include a linear or branched alkylene group having 1 to 18 carbon atoms, such as a methylene group, a methylmethylene group, a dimethylmethylene group, a dimethylene group, and a trimethylene group. can
상기 알킬기로서는, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, 프로필기, 이소프로필기 등의 탄소 원자수 1∼18(바람직하게는 탄소 원자수 1∼6, 특히 바람직하게는 탄소 원자수 1∼3)의 직쇄상 또는 분기쇄상의 알킬기를 들 수 있다.Examples of the alkyl group include a direct group having 1 to 18 carbon atoms (preferably 1 to 6 carbon atoms, particularly preferably 1 to 3 carbon atoms) such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and an isopropyl group. and a chain or branched alkyl group.
식 (B-1) 중의 n은 3 이상의 정수를 나타내고, 그 중에서도 에너지 감수성 조성물의 경화성, 및 경화물의 내열성 및 기계 강도가 우수한 점에서 3∼6의 정수가 바람직하다.n in formula (B-1) represents an integer of 3 or more, and an integer of 3-6 is preferable at the point which is excellent especially in sclerosis|hardenability of an energy-sensitive composition, and the heat resistance and mechanical strength of hardened|cured material.
실록산 화합물(B)이 분자 내에 갖는 글리시딜기의 수는 2개 이상이며, 에너지 감수성 조성물의 경화성, 경화물의 내열성 및 기계 강도의 관점으로부터 2∼6개가 바람직하고, 특히 바람직하게는 2∼4개이다.The number of glycidyl groups that the siloxane compound (B) has in the molecule is two or more, and 2 to 6 are preferable from the viewpoint of curability of the energy-sensitive composition, heat resistance of the cured product, and mechanical strength, and particularly preferably 2 to 4 .
실록산 화합물(B)의 에폭시 당량(JlSK 7236에 준거)은 에너지 감수성 조성물의 경화성 및 경화물의 내열투명성이 우수한 점에서 100∼350이 바람직하고, 특히 바람직하게는 150∼300, 가장 바람직하게는 200∼270이다.The epoxy equivalent of the siloxane compound (B) (according to J1SK 7236) is preferably 100 to 350, particularly preferably 150 to 300, and most preferably 200 to 270.
본 실시태양의 에너지 감수성 조성물에는, 실록산 화합물(B) 이외에도 다른 실록산 화합물(예를 들면, 지환식 에폭시기 함유 환상 실록산, 특개 2008-248169호 공보에 기재된 지환식 에폭시기 함유 실리콘 수지, 특개 2008-19422호 공보에 기재된 1 분자 중에 적어도 2개의 에폭시 관능성기를 갖는 오르가노폴리실세스퀴옥산 수지 등)을 함유하고 있어도 된다.In the energy-sensitive composition of this embodiment, in addition to the siloxane compound (B), other siloxane compounds (for example, alicyclic epoxy group-containing cyclic siloxane; You may contain the organopolysilsesquioxane resin etc. which have at least two epoxy functional groups in 1 molecule described in the publication.
실록산 화합물(B)로서는, 보다 구체적으로는, 하기 식으로 표시되는, 분자 내에 2 이상의 글리시딜기를 갖는 환상 실록산 등을 들 수 있다. 또한, 실록산 화합물(B)로서는, 예를 들면, 상품명 "X-40-2701", "X-40-2728", "X-40-2738", "X-40-2740"(이상, 신에츠화학공업사 제) 등의 시판품을 이용할 수 있다.As a siloxane compound (B), the cyclic siloxane etc. which have 2 or more glycidyl groups in a molecule|numerator which are more specifically represented by a following formula are mentioned. Further, as the siloxane compound (B), for example, trade names "X-40-2701", "X-40-2728", "X-40-2738", "X-40-2740" (above, Shin-Etsu Chemical) Commercial products, such as the industrial company make) can be used.
[(P2) 산의 작용 하에서의 현상액에 있어서의 그 용해성을 증대시키는 화합물][(P2) A compound that increases its solubility in a developer under the action of an acid]
산의 작용 하에서의 현상액에 있어서의 그 용해성을 증대시키는 화합물(이하, "화합물(P2)"이라고도 함)의 예로서는, 예를 들면 이하에 예시된 모노머의 공중합에 의해 얻을 수 있는 올리고머, 폴리머, 코폴리머를 들 수 있다.As an example of a compound (hereinafter also referred to as "compound (P2)") that increases its solubility in a developing solution under the action of an acid, for example, an oligomer, a polymer, a copolymer obtainable by copolymerization of the monomers exemplified below. can be heard
비환상 또는 환상 제2급 및 제3급 알킬(메타)아크릴레이트 [예를 들면, tert-부틸아크릴레이트, tert-부틸메타크릴레이트, 3-옥소시클로헥실(메타)아크릴레이트, 테트라히드로피라닐(메타)아크릴레이트, 2-메틸-2-아다만틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 노르보닐(메타)아크릴레이트, 이소보닐메타크릴레이트, 5-노르보넨-2-tert-부틸에스테르, 8-에틸-8-트리시클로데카닐(메타)아크릴레이트, (2-테트라히드로피라닐)옥시노르보닐알코올아크릴레이트, (2-테트라히드로피라닐)옥시메틸트리시클로도데칸메탄올메타크릴레이트, 트리메틸실릴메틸(메타)아크릴레이트, (2-테트라히드로피라닐)옥시노르보닐알코올아크릴레이트, (2-테트라히드로피라닐)옥시메틸트리시클로도데칸메탄올메타크릴레이트, 트리메틸실릴메틸(메타)아크릴레이트], o-/m-/p-(3-옥소시클로헥실옥시)스티렌, o-/m-/p-(1-메틸-1-페닐에톡시)스티렌, o-/m-/p-테트라히드로피라닐옥시스티렌, o-/m-/p-아다만틸옥시스티렌, o-/m-/p-시클로헥실옥시스티렌, o-/m-/p-노르보닐옥시스티렌, 비환상 또는 환상 알콕시카르보닐스티렌[예를 들면, o-/m-/p-tert-부톡시카르보닐스티렌, o-/m-/p-(3-옥소시클로헥실옥시카르보닐)스티렌, o-/m-/p-(1-메틸-1-페닐에톡시카르보닐)스티렌, o-/m-/p-테트라히드로피라닐옥시카르보닐스티렌, o-/m-/p-아다만틸옥시카르보닐스티렌, o-/m-/p-시클로헥실옥시카르보닐스티렌, o-/m-/p-노르보닐옥시카르보닐스티렌], 비환상 또는 환상 알콕시카르보닐옥시스티렌[예를 들면 o-/m-/p-tert-부톡시카르보닐옥시스티렌, o-/m-/p-(3-옥소시클로헥실옥시카르보닐옥시)스티렌, o-/m-/p-(1-메틸-1-페닐에톡시카르보닐옥시)-스티렌, o-/m-/p-테트라히드로피라닐옥시카르보닐옥시스티렌, o-/m-/p-아다만틸옥시카르보닐옥시스티렌, o-/m-/p-시클로헥실옥시카르보닐옥시스티렌, o-/m-/p-노르보닐옥시카르보닐옥시스티렌], 비환상 또는 환상 알콕시카르보닐알콕시스티렌[예를 들면, o-/m-/p-부톡시카르보닐에톡시스티렌, p-tert-부톡시카르보닐에톡시스티렌, o-/m-/p-(3-옥소시클로헥실옥시카르보닐에톡시)스티렌, o-/m-/p-(1-메틸-1-페닐에톡시카르보닐에톡시)스티렌, o-/m-/p-테트라히드로피라닐옥시카르보닐에톡시스티렌, o-/m-/p-아다만틸옥시카르보닐에톡시스티렌, o-/m-/p-시클로헥실옥시카르보닐에톡시스티렌, o-/m-/p-노르보닐옥시카르보닐에톡시스티렌, 트리메틸실록시스티렌, 디메틸(부틸)실록시스티렌], 불포화 알킬아세테이트(예를 들면 이소프로페닐아세테이트, 그 유도체), 5-노르보네닐-2-tert-부틸에스테르]Acyclic or cyclic secondary and tertiary alkyl (meth) acrylates [eg, tert-butyl acrylate, tert-butyl methacrylate, 3-oxocyclohexyl (meth) acrylate, tetrahydropyranyl (meth)acrylate, 2-methyl-2-adamantyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, norbornyl (meth)acrylate, isobornyl methacrylate, 5-norbornene-2- tert-Butyl ester, 8-ethyl-8-tricyclodecanyl (meth)acrylate, (2-tetrahydropyranyl)oxynorbornyl alcohol acrylate, (2-tetrahydropyranyl)oxymethyltricyclododecane Methanol methacrylate, trimethylsilylmethyl (meth)acrylate, (2-tetrahydropyranyl)oxynorbornyl alcohol acrylate, (2-tetrahydropyranyl)oxymethyltricyclododecanemethanol methacrylate, trimethylsilyl methyl (meth)acrylate], o-/m-/p-(3-oxocyclohexyloxy)styrene, o-/m-/p-(1-methyl-1-phenylethoxy)styrene, o- /m-/p-tetrahydropyranyloxystyrene, o-/m-/p-adamantyloxystyrene, o-/m-/p-cyclohexyloxystyrene, o-/m-/p-norbornyl Oxystyrene, acyclic or cyclic alkoxycarbonylstyrene [eg, o-/m-/p-tert-butoxycarbonylstyrene, o-/m-/p-(3-oxocyclohexyloxycarbonyl) ) Styrene, o-/m-/p-(1-methyl-1-phenylethoxycarbonyl)styrene, o-/m-/p-tetrahydropyranyloxycarbonylstyrene, o-/m-/p -adamantyloxycarbonylstyrene, o-/m-/p-cyclohexyloxycarbonylstyrene, o-/m-/p-norbornyloxycarbonylstyrene], acyclic or cyclic alkoxycarbonyloxystyrene [For example, o-/m-/p-tert-butoxycarbonyloxystyrene, o-/m-/p-(3-oxocyclohexyloxycarbonyloxy)styrene, o-/m-/p -(1-methyl-1-phenylethoxycarbonyloxy)-styrene, o-/m-/p-tetrahydropyranyloxycarbonyloxystyrene, o-/m-/p-adamantyloxycarbonyl oxystyrene, o-/m-/p-cyclohexyloxycarbonyloxystyrene, o-/m-/p-norbornyloxycarbonyloxystyrene], acyclic or cyclic alkoxycarbon Nylalkoxystyrene [eg, o-/m-/p-butoxycarbonylethoxystyrene, p-tert-butoxycarbonylethoxystyrene, o-/m-/p-(3-oxocyclohexyl Siloxycarbonylethoxy)styrene, o-/m-/p-(1-methyl-1-phenylethoxycarbonylethoxy)styrene, o-/m-/p-tetrahydropyranyloxycarbonyl Toxystyrene, o-/m-/p-adamantyloxycarbonylethoxystyrene, o-/m-/p-cyclohexyloxycarbonylethoxystyrene, o-/m-/p-norbornyloxy carbonylethoxystyrene, trimethylsiloxystyrene, dimethyl(butyl)siloxystyrene], unsaturated alkyl acetates (eg, isopropenyl acetate, derivatives thereof), 5-norbornenyl-2-tert-butyl ester]
저활성화 에너지를 갖는 산(酸) 불안정기를 담지하는 모노머 [예를 들면, p- 또는 m-(1-메톡시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-메톡시-1-메틸에톡시)-메틸스티렌, p- 또는 m-(1-메톡시-1-메틸프로폭시)스티렌, p- 또는 m-(1-메톡시-1-메틸프로폭시)메틸스티렌, p- 또는 m-(1-메톡시에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-메톡시에톡시)-메틸스티렌, p- 또는 m-(1-에톡시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-에톡시-1-메틸-에톡시)메틸스티렌, p- 또는 m-(1-에톡시-1-메틸프로폭시)스티렌, p- 또는 m-(1-에톡시-1-메틸프로폭시)메틸스티렌, p- 또는 m-(1-에톡시에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-에톡시에톡시)-메틸스티렌, p-(1-에톡시페닐에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-n-프로폭시-1-메틸에톡시)-스티렌, p- 또는 m-(1-n-프로폭시-1-메틸에톡시)메틸스티렌, p- 또는 m-(1-n-프로폭시에톡시)-스티렌, p- 또는 m-(1-n-프로폭시에톡시)메틸스티렌, p- 또는 m-(1-이소프로폭시-1-메틸에톡시)-스티렌, p- 또는 m-(1-이소프로폭시-1-메틸에톡시)메틸스티렌, p- 또는 m-(1-이소프로폭시에톡시)-스티렌, p- 또는 m-(1-이소프로폭시에톡시)메틸스티렌, p- 또는 m-(1-이소프로폭시-1-메틸프로폭시)스티렌, p- 또는 m-(1-이소프로폭시-1-메틸프로폭시)-메틸스티렌, p- 또는 m-(1-이소프로폭시프로폭시)스티렌, p- 또는 m-(1-이소프로폭시프로폭시)-메틸스티렌, p- 또는 m-(1-n-부톡시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-n-부톡시에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-이소부톡시-1-메틸-에톡시)-스티렌, p- 또는 m-(1-tert-부톡시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-n-펜틸옥시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-이소아밀옥시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-n-헥실옥시-1-메틸-에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-시클로헥실옥시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-트리메틸실릴옥시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-트리메틸실릴옥시-1-메틸에톡시)-메틸스티렌, p- 또는 m-(1-벤질옥시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-벤질옥시-1-메틸에톡시)메틸스티렌, p- 또는 m-(1-메톡시-1-메틸에톡시)스티렌, p- 또는 m-(1-메톡시-1-메틸에톡시)-메틸스티렌, p- 또는 m-(1-트리메틸실릴옥시-1-메틸에톡시)-스티렌, p- 또는 m-(1-트리메틸실릴옥시-1-메틸에톡시)메틸스티렌]A monomer carrying an acid labile group having a low activation energy [for example, p- or m-(1-methoxy-1-methylethoxy)styrene, p- or m-(1-methoxy-1) -methylethoxy)-methylstyrene, p- or m-(1-methoxy-1-methylpropoxy)styrene, p- or m-(1-methoxy-1-methylpropoxy)methylstyrene, p- or m-(1-methoxyethoxy)styrene, p- or m-(1-methoxyethoxy)-methylstyrene, p- or m-(1-ethoxy-1-methylethoxy)styrene, p - or m-(1-ethoxy-1-methyl-ethoxy)methylstyrene, p- or m-(1-ethoxy-1-methylpropoxy)styrene, p- or m-(1-ethoxy- 1-methylpropoxy)methylstyrene, p- or m-(1-ethoxyethoxy)styrene, p- or m-(1-ethoxyethoxy)-methylstyrene, p-(1-ethoxyphenyl oxy)styrene, p- or m-(1-n-propoxy-1-methylethoxy)-styrene, p- or m-(1-n-propoxy-1-methylethoxy)methylstyrene, p- or m-(1-n-propoxyethoxy)-styrene, p- or m-(1-n-propoxyethoxy)methylstyrene, p- or m-(1-isopropoxy-1-methyl oxy)-styrene, p- or m-(1-isopropoxy-1-methylethoxy)methylstyrene, p- or m-(1-isopropoxyethoxy)-styrene, p- or m-(1 -isopropoxyethoxy)methylstyrene, p- or m-(1-isopropoxy-1-methylpropoxy)styrene, p- or m-(1-isopropoxy-1-methylpropoxy)-methyl Styrene, p- or m-(1-isopropoxypropoxy)styrene, p- or m-(1-isopropoxypropoxy)-methylstyrene, p- or m-(1-n-butoxy-1 -methylethoxy)styrene, p- or m-(1-n-butoxyethoxy)styrene, p- or m-(1-isobutoxy-1-methyl-ethoxy)-styrene, p- or m- (1-tert-butoxy-1-methylethoxy)styrene, p- or m-(1-n-pentyloxy-1-methylethoxy)styrene, p- or m-(1-isoamyloxy-1 -methylethoxy)styrene, p- or m-(1-n-hexyloxy-1-methyl-ethoxy)styrene, p- or m-(1-cyclohexyloxy-1-methylethoxy) )styrene, p- or m-(1-trimethylsilyloxy-1-methylethoxy)styrene, p- or m-(1-trimethylsilyloxy-1-methylethoxy)-methylstyrene, p- or m- (1-benzyloxy-1-methylethoxy)styrene, p- or m-(1-benzyloxy-1-methylethoxy)methylstyrene, p- or m-(1-methoxy-1-methylethoxy) )styrene, p- or m-(1-methoxy-1-methylethoxy)-methylstyrene, p- or m-(1-trimethylsilyloxy-1-methylethoxy)-styrene, p- or m- (1-trimethylsilyloxy-1-methylethoxy)methylstyrene]
화합물(P2)로서는, 알콕시알킬에스테르산 불안정기를 갖는 폴리머이어도 된다. 알콕시알킬에스테르산 불안정기를 갖는 폴리머의 예는, US5225316 및 EP829766에 있어서 명확해질 수 있다. 아세탈 보호기를 갖는 폴리머의 예는, 예를 들면, US5670299, EP780732, US5627006, US5558976, US5558971, US5468589, EP704762, EP762206, EP342498, EP553737, 및 ACSSymp. Ser. 614, Microelectronics Technology, pp.35-55 (1995), J. Photopolymer Sci. Technol. Vol.10, No.4(1997), pp.571-578, J. Photopolymer Sci. Technol. Vol.12, no.4 (1999) pp.591-599 및 "Proceedings of SPIE", Advances in Resist Technology and Processing XVII, Vol.3999, Part One, pp.579-590, 28.Feb.-1. March 2000에 기재되어 있다. 그렇지만, 본 실시태양에 의한 조성물에 적절한 폴리머는, 이들에 한정되지 않는다.The compound (P2) may be a polymer having an alkoxyalkylester acid labile group. Examples of polymers having an alkoxyalkylester acid labile group can be made clear from US5225316 and EP829766. Examples of polymers having acetal protecting groups are described, for example, in US5670299, EP780732, US5627006, US5558976, US5558971, US5468589, EP704762, EP762206, EP342498, EP553737, and ACSSymp. Ser. 614, Microelectronics Technology, pp.35-55 (1995), J. Photopolymer Sci. Technol. Vol.10, No.4 (1997), pp.571-578, J. Photopolymer Sci. Technol. Vol.12, no.4 (1999) pp.591-599 and "Proceedings of SPIE", Advances in Resist Technology and Processing XVII, Vol.3999, Part One, pp.579-590, 28.Feb.-1. March 2000. However, polymers suitable for the composition according to the present embodiment are not limited thereto.
또한, 산 불안정기를 갖는 모노머는, 적절한 경우, 특정의 용해성 및 부착성을 확립하기 위해서, 산 불안정기를 담지하지 않는 다른 프리라디칼 중합성 모노머[예를 들면, 스티렌, 아크릴로니트릴, 메틸(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴산, 4-히드록시스티렌, 4-아세톡시스티렌, 4-메톡시스티렌, 4-비닐시클로헥산올, 노르보넨, 에틸노르보넨, 무수 말레산]으로 공중합될 수 있다. 혹은, 산 불안정기는 폴리머 유사 반응에 있어서, 이어서 도입될 수 있을 뿐이다. 프리폴리머가, 예를 들면 부분 수소화, 부분 알킬화, 부분 아세틸화에 의해 이러한 폴리머 유사 반응 전에 목표로 하는 방법으로 변성될 수 있는 것은, 당업자에게도 기지이다. 즉, 산 불안정기를 갖는 폴리머가, 모든 경우에 있어서 공중합에 의해 모노머로부터 합성되지 않아도 된다고 하는 것이다.In addition, the monomer having an acid labile group is, if appropriate, other free radically polymerizable monomers not carrying an acid labile group [for example, styrene, acrylonitrile, methyl (meth)) in order to establish specific solubility and adhesion properties. acrylate, (meth)acrylic acid, 4-hydroxystyrene, 4-acetoxystyrene, 4-methoxystyrene, 4-vinylcyclohexanol, norbornene, ethylnorbornene, maleic anhydride]. Alternatively, the acid labile group can only be introduced subsequently, in a polymer-like reaction. It is also known to the person skilled in the art that the prepolymer can be modified in a targeted manner prior to such a polymer-like reaction by, for example, partial hydrogenation, partial alkylation, partial acetylation. That is, the polymer having an acid-labile group does not need to be synthesized from a monomer by copolymerization in all cases.
예를 들면, H. -T. Schacht, P. Falcigno, N. Muenzel, R. Schulz and A. Medina, ACS Symp. Ser. 706 (Micro- and Nanopatterning Polymers), pp.78-94, 1997; H. -T. Schacht, N. Muenzel, P. Falcigno, H. Holzwarth and J. Schneider, J. Photopolymer Science and Technology, Vol.9, (1996), 573-586에 기재되어 있듯이, 산 불안정 가교를 도입하는 것도 가능하다. 이러한 산가교계는, 열안정성의 관점으로부터 바람직하다. 또한, 이러한 산 불안정 가교는, 2 및 다관능성 비닐에테르와의 페놀기 함유 폴리머(예를 들면 4-히드록시스티렌 코폴리머)와의 반응에 의해 얻는 것이 가능하다.For example, H. -T. Schacht, P. Falcigno, N. Muenzel, R. Schulz and A. Medina, ACS Symp. Ser. 706 (Micro- and Nanopatterning Polymers), pp.78-94, 1997; H. -T. It is also possible to introduce acid labile crosslinking, as described in Schacht, N. Muenzel, P. Falcigno, H. Holzwarth and J. Schneider, J. Photopolymer Science and Technology, Vol. 9, (1996), 573-586. . Such an acid crosslinking system is preferable from the viewpoint of thermal stability. Moreover, such acid labile crosslinking can be obtained by reaction with a phenol group containing polymer (for example, 4-hydroxystyrene copolymer) with bi- and polyfunctional vinyl ether.
화합물(P2) 이외의 예는, 카르복시산기 또는 페놀성 OH기의 각각이 산 불안정 보호기에 의해서 블록된 모노머 화합물(예를 들면 카르복시산 및 페놀기 함유 화합물)이다. 이러한 산 불안정 블로킹은, 예를 들면, tert-부틸에스테르기, 2-메틸-2-아다만틸에스테르기, 8-에틸-8-트리시클로데카닐에스테르기, 테트라히드로피라닐에스테르기 또는 몇 개의 다른 산(酸) 개열성(開裂性) 에스테르기로의 카르복시기의 전화(轉化)에 의해 실시하는 것이 가능하다. 페놀성 OH기는, 예를 들면 산 개열성 tert-부틸카보네이트기, 실릴에테르, 아세탈기 및 케탈기로 전화함으로써 기지의 방법에 따라서 블록될 수 있다.Examples other than the compound (P2) are monomer compounds (eg, carboxylic acid and phenol group-containing compounds) in which each of a carboxylic acid group or a phenolic OH group is blocked by an acid labile protecting group. Such acid labile blocking is, for example, tert-butyl ester group, 2-methyl-2-adamantyl ester group, 8-ethyl-8-tricyclodecanyl ester group, tetrahydropyranyl ester group or several It is possible to carry out by conversion of the carboxy group to another acid cleavable ester group. The phenolic OH group can be blocked according to known methods, for example, by conversion to an acid cleavable tert-butylcarbonate group, a silyl ether, an acetal group and a ketal group.
또한, 화합물(P2)은 지환식 코폴리머, 4-히드록시-페닐기 함유 코폴리머, 무수 말레산 함유 코폴리머, 아크릴산 함유 코폴리머, 아크릴산에스테르 함유 코폴리머 및 메타크릴산에스테르 함유 코폴리머로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물인 에너지 감수성 조성물 로서, 이들 코폴리머가 산과의 반응 후에 알칼리성 현상액에 있어서의 폴리머의 용해성을 증가시키는 관능기를 담지한다.In addition, compound (P2) is an alicyclic copolymer, a copolymer containing a 4-hydroxy-phenyl group, a copolymer containing maleic anhydride, a copolymer containing acrylic acid, a copolymer containing an acrylic acid ester, and a copolymer containing a methacrylic acid ester. An energy-sensitive composition comprising at least one compound selected from the group consisting of, wherein these copolymers carry a functional group that increases the solubility of the polymer in an alkaline developer after reaction with an acid.
[(Px) 라디칼 중합성 또는 가교성의 화합물][(Px) radical polymerizable or crosslinkable compound]
라디칼 중합성 또는 가교성의 화합물(본 명세서에 있어서, "화합물(Px)"이라고도 함)은, 예를 들면, 반응성 관능기를 갖는 아크릴레이트를 들 수 있다. 반응성 관능기는, 예를 들면, 히드록실기, 티올기, 이소시아네이트기, 무수물기, 카르복시기, 아미노기 및 블록화 아미노기로 이루어지는 군으로부터 선택될 수 있다. OH기 함유 불포화 아크릴레이트로서는, 히드록시에틸아크릴레이트, 히드록시부틸아크릴레이트 등을 들 수 있다. 또한, 화합물(Px)은 임의의 원하는 구조의 것이어도 되지만 (예를 들면, 그것은 폴리에스테르, 폴리아크릴레이트, 폴리에테르 등의 단위를 함유하여도 됨), 이것은 에틸렌성 불포화 이중 결합 및 추가로 유리 OH기, COOH기, NH2기 또는 NCO기를 함유한다.The radically polymerizable or crosslinkable compound (also referred to as "compound (Px)" in this specification) includes, for example, an acrylate having a reactive functional group. The reactive functional group may be selected from the group consisting of, for example, a hydroxyl group, a thiol group, an isocyanate group, an anhydride group, a carboxy group, an amino group, and a blocked amino group. Examples of the OH group-containing unsaturated acrylate include hydroxyethyl acrylate and hydroxybutyl acrylate. Further, the compound (Px) may be of any desired structure (for example, it may contain units such as polyester, polyacrylate, polyether, etc.), but it may contain an ethylenically unsaturated double bond and further free contains an OH group, a COOH group, an NH 2 group or an NCO group.
또한, 화합물(Px)은, 예를 들면, 아크릴산 또는 메타크릴산과 에폭시 관능성 올리고머를 반응시킴으로써 얻는 것도 가능하다. 비닐성 이중 결합을 갖는 OH관능성 올리고머의 전형예는,The compound (Px) can also be obtained by, for example, reacting acrylic acid or methacrylic acid with an epoxy functional oligomer. A typical example of an OH-functional oligomer having a vinylic double bond is,
로서, CH2=CHCOOH와As, CH 2 =CHCOOH and
와의 반응에 의해 얻어지는 것이다.It is obtained by reaction with
화합물(Px)을 얻는 다른 가능한 방법은, 예를 들면, 에폭시기를 1개만 함유하고, 또한 분자 중의 다른 위치에서 유리 OH기를 갖는 올리고머의 반응이다.Another possible method for obtaining compound (Px) is, for example, the reaction of an oligomer containing only one epoxy group and also having a free OH group at another position in the molecule.
또한, 화합물(Px)로서는, 하기 식 (Px-1)로 표시되는 화합물을 들 수 있다.Moreover, as a compound (Px), the compound represented by a following formula (Px-1) is mentioned.
(식 (Px-1) 중, RP31∼RP33는, 직쇄상, 분기쇄상 또는 환상의 알킬렌기, 알릴렌기, -O-, -C(=O)-, -NH- 및 이들 조합으로 이루어지는 기이며, 각각 동일하여도 되고, 상이하여도 된다. E4∼E6는 화합물(P1)과 식 (Px-1)로 표시되는 화합물과의 사이, 혹은 식 (Px-1)로 표시되는 화합물끼리의 사이에 라디칼적으로 중합 또는 가교할 수 있는 관능기 혹은 수소 원자이다. 단, E4∼E6중 적어도 하나는, 상기 관능기이다.)(In the formula (Px-1), R P31 to R P33 represent a linear, branched or cyclic alkylene group, an allylene group, -O-, -C(=O)-, -NH-, and combinations thereof. group, and each may be the same or different.E 4 to E 6 are between the compound (P1) and the compound represented by the formula (Px-1) or the compound represented by the formula (Px-1) It is a functional group or hydrogen atom that can radically polymerize or crosslink between each other, provided that at least one of E 4 to E 6 is the above functional group.)
식 (Px-1) 중, RP31과 E4,RP32와 E5, 및 RP33와 E6로 나타나는 기는, 예를 들면, 적어도 하나가 하기 식 (Px-1a)로 표시되는 기인 것이 바람직하고, 적어도 2개가 각각 하기 식 (Px-1a)로 표시되는 기인 것이 보다 바람직하고, 어느 것이라도, 각각, 하기 식 (Px-1a)로 표시되는 기인 것이 더욱 바람직하다. 1개의 화합물에 결합하는 식 (Px-1a)로 표시되는 기는 동일한 기인 것이 바람직하다.In the formula (Px-1), it is preferable that at least one of the groups represented by R P31 and E 4 , R P32 and E 5 , and R P33 and E 6 is, for example, a group represented by the following formula (Px-1a). And, it is more preferable that at least two of them are each a group represented by the following formula (Px-1a), and any of them are more preferably a group each represented by the following formula (Px-1a). The groups represented by the formula (Px-1a) bonded to one compound are preferably the same group.
-L'-C' ………………………… (Px-1a)-L'-C' … … … … … … … … … … (Px-1a)
(식 (Px-1a) 중, L'는 직쇄상, 분기쇄상 또는 환상의 알킬렌기, 알릴렌기, -O-, -C(=O)-, -NH- 및 이들 조합으로 이루어지는 기이며, C'는, 에틸렌성 불포화기, 이소시아네이트기, 블록 이소시아네이트기, 알콕시실릴기, 티올기, 카르복시기, 수산기, 피라졸일기, 알콕시기, 케톤기, 락톤환 및 숙신산 무수물기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 치환기이다. 또한, 식 (Px-1a) 중, L'와 C'가 결합하여 환상 구조를 형성하고 있어도 된다.)(In the formula (Px-1a), L' is a linear, branched or cyclic alkylene group, an allylene group, -O-, -C(=O)-, -NH-, and a group consisting of a combination thereof, and C ' is at least one selected from the group consisting of an ethylenically unsaturated group, an isocyanate group, a blocked isocyanate group, an alkoxysilyl group, a thiol group, a carboxyl group, a hydroxyl group, a pyrazolyl group, an alkoxy group, a ketone group, a lactone ring, and a succinic anhydride group In addition, in formula (Px-1a), L' and C' may combine to form a cyclic structure.)
식 (P1-6a) 중, L'로서의 직쇄상, 분기쇄상 또는 환상의 알킬렌기로서는, 탄소 원자수 1∼10의 알킬렌기가 바람직하고, 또한 L로서의 알릴렌기로서는 탄소 원자수 5∼10의 알릴렌기가 바람직하다. 식 (Px-1a) 중, L'는 직쇄상의 탄소 원자수 1∼6의 알킬렌기, 페닐렌기, -O-, -C(=O)-, -NH- 및 이들 조합으로 이루어지는 기인 것이 바람직하고, 메틸렌기 등의 직쇄상의 탄소 원자수 1∼6의 알킬렌기 및 페닐렌기의 적어도 1종, 또는 이들과 -O-, -C(=O)- 및 NH-의 적어도 1종과의 조합으로 이루어지는 기가 바람직하다. 분기쇄상의 알킬렌기와 숙신산 무수물기가 결합하여 환상 구조를 형성하고 있는 경우, 구체적으로는, 시클로헥산-1,2-디카르복시산 무수물을 들 수 있다.In the formula (P1-6a), the linear, branched or cyclic alkylene group as L' is preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and allyl having 5 to 10 carbon atoms as the allylene group as L'. Rengi is preferred. In formula (Px-1a), L' is preferably a group consisting of a linear C1-C6 alkylene group, a phenylene group, -O-, -C(=O)-, -NH-, and combinations thereof. and at least one of a phenylene group and a linear alkylene group having 1 to 6 carbon atoms such as a methylene group, or a combination of these and at least one of -O-, -C(=O)- and NH- A group consisting of is preferred. When a branched alkylene group and a succinic anhydride group couple|bond to form a cyclic structure, cyclohexane-1,2- dicarboxylic acid anhydride is specifically mentioned.
나아가, 본 실시태양의 에너지 감수성 조성물에 있어서, 화합물 성분(P)의 함유량은 조성물 전체(단, 용제를 제외함)에 대해서, 80∼99.999 질량%인 것이 바람직하고, 90∼99.99 질량%인 것이 보다 바람직하고, 92 질량%∼99.9 질량%인 것이 더욱 바람직하다. 화합물 성분(P)의 함유량이 상기 범위 내이면, 열중량 안정성이 양호해지는 경향이 있다.Furthermore, in the energy-sensitive composition of this embodiment, the content of the compound component (P) is preferably 80 to 99.999 mass%, and 90 to 99.99 mass%, with respect to the entire composition (however, excluding the solvent). It is more preferable, and it is still more preferable that they are 92 mass % - 99.9 mass %. There exists a tendency for thermogravimetric stability to become favorable that content of a compound component (P) is in the said range.
화합물 성분(P)은 화합물(P1), 화합물(P2) 및 화합물(Px)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 화합물을 1종 단독으로 또는 2종 이상을 조합하여서 사용할 수 있다. 2종 이상 조합하여서 사용하는 경우에는, 화합물(P1)을 포함하는 것이 바람직하다. 이 경우, 화합물(P1)의 함유량은, 화합물 성분(P) 중, 10 질량% 이상이 바람직하고, 30 질량% 이상이 보다 바람직하고, 50 질량% 이상이 더욱 바람직하다. 화합물(P1)의 함유량이 상기 범위임으로써, 특히 열중량 안정성의 향상 효과가 크다. 또한, 에너지 감수성 조성물을 3D 인쇄용에 이용하는 경우, 화합물(P1)에 화합물(Px)을 조합시켜도 되고, 그 경우 라디칼 광중합 개시제 등의 광중합 개시제를 병용하는 것이 바람직하다.As the compound component (P), a compound selected from the group consisting of compound (P1), compound (P2), and compound (Px) can be used alone or in combination of two or more. When using in combination of 2 or more types, it is preferable to contain compound (P1). In this case, 10 mass % or more is preferable in a compound component (P), as for content of a compound (P1), 30 mass % or more is more preferable, 50 mass % or more is still more preferable. When content of a compound (P1) is the said range, the improvement effect of thermogravimetric stability is especially large. In addition, when using an energy-sensitive composition for 3D printing, you may combine compound (Px) with compound (P1), In that case, it is preferable to use photoinitiators, such as a radical photoinitiator, together.
[(Q) 상기 식 (a1)로 표시되는 술포늄염][(Q) a sulfonium salt represented by the formula (a1)]
상기 식 (a1)로 표시되는 술포늄염(이하, "술포늄염(Q)"이라고도 함)은, 상기 식 (a1) 중의 벤젠환에 있어서, A1이 결합하는 탄소 원자에 대해서 오르토 위치의 탄소 원자에 메틸기가 결합하고 있는 것을 특징으로 한다. 술포늄염(Q)은 상기의 위치에 메틸기를 갖기 때문에, 종래의 술포늄염과 비교하여서 프로톤을 발생하기 쉽고 자외선 등의 활성 에너지선에 대한 감도가 높다.The sulfonium salt represented by the formula (a1) (hereinafter also referred to as “sulfonium salt (Q)”) is a carbon atom ortho-positioned to the carbon atom to which A1 is bonded in the benzene ring in the formula (a1). It is characterized in that the methyl group is bonded. Since the sulfonium salt (Q) has a methyl group at the above position, it tends to generate protons and has high sensitivity to active energy rays such as ultraviolet rays as compared with conventional sulfonium salts.
상기 식 (a1)에 있어서, R1 및 R2의 어느 것이라도 상기 식 (a2)로 표시되는 기인 것이 바람직하다. R1 및 R2는 서로 동일하여도 상이하여도 된다. 상기 식 (a1)에 있어서, R1 및 R2가 서로 결합하여 식 중의 원자와 함께 환을 형성하는 경우, 형성되는 환은 원자를 포함하여 3∼10원환인 것이 바람직하고, 5∼7원환인 것이 보다 바람직하다. 형성되는 환은 다환이어도 되고, 5∼7원환이 축합한 것이 바람직하다.In the formula (a1), any of R 1 and R 2 is preferably a group represented by the formula (a2). R 1 and R 2 may be the same as or different from each other. In the formula (a1), when R 1 and R 2 are bonded to each other to form a ring together with an atom in the formula, the formed ring is preferably a 3 to 10 membered ring including atoms, and a 5 to 7 membered ring more preferably. A polycyclic ring may be sufficient as the ring formed, and it is preferable that 5-7 membered rings condensed.
상기 식 (a1)에 있어서, R3는 상기 식 (a3)으로 표시되는 기인 것이 바람직하다.In the formula (a1), R 3 is preferably a group represented by the formula (a3).
상기 식 (a1)에 있어서, A1은 S 또는 O인 것이 바람직하고, S인 것이 보다 바람직하다.In the formula (a1), A 1 is preferably S or O, more preferably S.
상기 식 (a2)에 있어서, R4는 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 히드록시기, 알킬카르보닐기, 티에닐카르보닐기, 푸라닐카르보닐기, 셀레노페닐카르보닐기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 또는 니트로기인 것이 바람직하고, 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 알킬카르보닐기, 또는 티에닐카르보닐기인 것이 보다 바람직하다. 상기 식 (a2)에 있어서, m1은 환 Z1의 종류에 따라 선택할 수 있고, 예를 들면 0∼4의 정수, 바람직하게는 0∼3의 정수, 보다 바람직하게는 0∼2의 정수이어도 된다.In the formula (a2), R 4 is preferably an alkyl group, hydroxyl group, alkylcarbonyl group, thienylcarbonyl group, furanylcarbonyl group, selenophenylcarbonyl group, optionally substituted amino group, or nitro group which may be substituted with a halogen atom, It is more preferable that they are an alkyl group optionally substituted with a halogen atom, an alkylcarbonyl group, or a thienylcarbonyl group. In the formula (a2), m1 can be selected according to the type of ring Z 1 , for example, an integer of 0 to 4, preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2 .
상기 식 (a3)에 있어서, R5는 알킬렌기 또는 상기 식 (a5)로 표시되는 기를 나타내고, 상기 알킬렌기는 치환기로 치환되어 있어도 된다. 상기 알킬렌기를 치환하고 있어도 되는 치환기로서는, 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 또는 할로겐 원자를 들 수 있다. R5는 알킬렌기; 히드록시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 혹은 니트로기로 치환된 알킬렌기; 또는 상기 식 (a5)로 표시되는 기인 것이 바람직하다.In the formula (a3), R 5 represents an alkylene group or a group represented by the formula (a5), and the alkylene group may be substituted with a substituent. Examples of the substituent optionally substituted for the alkylene group include a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, an acyloxy group, an arylthio group, an alkylthio group, an aryl group, and a heterocyclic group. hydrocarbon group, aryloxy group, alkylsulfinyl group, arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, hydroxy(poly)alkyleneoxy group, optionally substituted amino group, cyano group, nitro group, or halogen atom. have. R 5 is an alkylene group; an alkylene group substituted with a hydroxyl group, an optionally substituted amino group, or a nitro group; Or it is preferable that it is group represented by said Formula (a5).
상기 식 (a3)에 있어서, R6는 알킬기 또는 상기 식 (a6)로 표시되는 기를 나타내고, 상기 알킬기는 치환기로 치환되어 있어도 된다. 상기 알킬기를 치환하고 있어도 되는 치환기로서는, 상기 식 (a3)에서의 R5로서의 알킬렌기를 치환하고 있어도 되는 치환기와 동일하다. R6는 알킬기; 히드록시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 혹은 니트로기로 치환된 알킬기; 또는 상기 식 (a6)으로 표시되는 기인 것이 바람직하다.In the formula (a3), R 6 represents an alkyl group or a group represented by the formula (a6), and the alkyl group may be substituted with a substituent. As a substituent which may substitute the said alkyl group, it is the same as that of the substituent which may substitute the alkylene group as R<5> in the said Formula (a3). R 6 is an alkyl group; an alkyl group substituted with a hydroxyl group, an optionally substituted amino group, or a nitro group; Or it is preferable that it is group represented by said Formula (a6).
상기 식 (a3)에 있어서, A2는 S 또는 O인 것이 바람직하고, S인 것이 보다 바람직하다.In the formula (a3), A 2 is preferably S or O, more preferably S.
상기 식 (a3)에 있어서, n1은 0인 것이 바람직하다.In the formula (a3), n1 is preferably 0.
상기 식 (a4)에 있어서, R7 및 R8은 독립적으로, 알킬렌기 또는 상기 식 (a5)로 표시되는 기를 나타내고, 상기 알킬렌기는 치환기로 치환되어 있어도 된다. 상기 알킬렌기를 치환하고 있어도 되는 치환기로서는, 상기 식 (a3)에서의 R5로서의 알킬렌기를 치환하고 있어도 되는 치환기와 동일하다. R7 및 R8은 독립적으로 알킬렌기; 히드록시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 혹은 니트로기로 치환된 알킬렌기; 또는 상기 식 (a5)로 표시되는 기인 것이 바람직하고, 상기 식 (a5)로 표시되는 기인 것 보다 바람직하다. R7 및 R8은 서로 동일하여도 상이하여도 된다.In the formula (a4), R 7 and R 8 independently represent an alkylene group or a group represented by the formula (a5), and the alkylene group may be substituted with a substituent. As a substituent which may substitute the said alkylene group, it is the same as that of the substituent which may substitute the alkylene group as R<5> in the said Formula (a3). R 7 and R 8 are independently an alkylene group; an alkylene group substituted with a hydroxyl group, an optionally substituted amino group, or a nitro group; Alternatively, the group represented by the formula (a5) is preferable, and more preferably the group represented by the formula (a5). R 7 and R 8 may be the same as or different from each other.
상기 식 (a4)에 있어서, R9 및 R10의 어느 것이라도 상기 식 (a2)로 표시되는 기인 것이 바람직하다. R9 및 R10는 서로 동일하여도 상이하여도 된다.In the formula (a4), any of R 9 and R 10 is preferably a group represented by the formula (a2). R 9 and R 10 may be the same as or different from each other.
상기 식 (a4)에 있어서, R9 및 R10이 서로 결합하여 식 중의 원자와 함께 환을 형성하는 경우, 형성되는 환은 원자를 포함하여 3∼10원환인 것이 바람직하고, 5∼7원환인 것이 보다 바람직하다. 형성되는 환은 다환이어도 되고, 5∼7원환이 축합한 것이 바람직하다.In the formula (a4), when R 9 and R 10 are bonded to each other to form a ring together with the atoms in the formula, the formed ring is preferably a 3 to 10 membered ring including atoms, and a 5 to 7 membered ring more preferably. A polycyclic ring may be sufficient as the ring formed, and it is preferable that 5-7 membered rings condensed.
상기 식 (a4)에 있어서, A3는 S 또는 O인 것이 바람직하고, S인 것이 보다 바람직하다.In the formula (a4), A 3 is preferably S or O, more preferably S.
상기 식 (a4)에 있어서, n2는 0인 것이 바람직하다.In the formula (a4), n2 is preferably 0.
상기 식 (a5)에 있어서, R11은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 히드록시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 또는 니트로기인 것이 바람직하고, 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기인 것이 보다 바람직하다.In the formula (a5), R 11 is preferably an alkyl group, hydroxy group, optionally substituted amino group, or nitro group which may be substituted with a halogen atom, and more preferably an alkyl group which may be substituted with a halogen atom.
상기 식 (a5)에 있어서, m2는 환 Z2의 종류에 따라 선택할 수 있고, 예를 들면, 0∼4의 정수, 바람직하게는 0∼3의 정수, 보다 바람직하게는 0∼2의 정수이어도 된다.In the formula (a5), m2 can be selected according to the type of ring Z 2 , for example, an integer of 0 to 4, preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2 do.
상기 식 (a6)에 있어서, R12는 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 히드록시기, 알킬카르보닐기, 티에닐카르보닐기, 푸라닐카르보닐기, 셀레노페닐카르보닐기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 또는 니트로기인 것이 바람직하고, 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 알킬카르보닐기, 또는 티에닐카르보닐기인 것이 보다 바람직하다.In the formula (a6), R 12 is preferably an alkyl group, hydroxyl group, alkylcarbonyl group, thienylcarbonyl group, furanylcarbonyl group, selenophenylcarbonyl group, optionally substituted amino group, or nitro group which may be substituted with a halogen atom, It is more preferable that they are an alkyl group optionally substituted with a halogen atom, an alkylcarbonyl group, or a thienylcarbonyl group.
상기 식 (a6)에 있어서, m3은 환 Z3의 종류에 따라 선택할 수 있고, 예를 들면, 0∼4의 정수, 바람직하게는 0∼3의 정수, 보다 바람직하게는 0∼2의 정수이어도 된다.In the formula (a6), m3 can be selected according to the type of ring Z 3 , for example, an integer of 0 to 4, preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2 do.
상기 식 (a1)에 있어서, X-는 술포늄염(Q)에 활성 에너지(열, 가시광, 자외선, 전자선, 및 X선 등)를 조사함으로써 발생하는 산(HX)에 대응하는 1가의 음이온이다. 술포늄염(Q)을 산발생제로서 이용하는 경우, X-로서는 1가의 다원자 음이온이 적합하게 들 수 있고, MYa -, (Rf)bPF6 -b -, Rx1 cBY4 -c -, Rx1 cGaY4 -c -, Rx2SO3 -, (Rx2SO2)3C-, 또는 (Rx2SO2)2N-로 표시되는 음이온이 보다 바람직하다. 또한, X-는 할로겐 음이온이어도 되고, 예를 들면, 불화물 이온, 염화물 이온, 브롬화물 이온, 요오드화물 이온 등을 들 수 있다.In the formula (a1), X − is a monovalent anion corresponding to an acid (HX) generated by irradiating the sulfonium salt (Q) with active energy (heat, visible light, ultraviolet light, electron beam, X-ray, etc.). When the sulfonium salt (Q) is used as the acid generator, a monovalent polyatomic anion is suitably exemplified as X - , MY a - , (Rf) b PF 6 -b - , R x1 c BY 4 -c - An anion represented by , R x1 c GaY 4 -c - , R x2 SO 3 - , (R x2 SO 2 ) 3 C - , or (R x2 SO 2 ) 2 N - is more preferable. Moreover, a halogen anion may be sufficient as X<-> , For example, a fluoride ion, a chloride ion, a bromide ion, an iodide ion, etc. are mentioned.
M는 인 원자, 붕소 원자, 또는 안티몬 원자를 나타낸다.M represents a phosphorus atom, a boron atom, or an antimony atom.
Y는 할로겐 원자(불소 원자가 바람직함)를 나타낸다.Y represents a halogen atom (a fluorine atom is preferable).
Rf는 수소 원자의 80 몰% 이상이 불소 원자로 치환된 알킬기(탄소 원자수 1∼8의 알킬기가 바람직함)를 나타낸다. 불소 치환에 의해 Rf로 하는 알킬기로서는, 직쇄 알킬기(메틸, 에틸, 프로필, 부틸, 펜틸 및 옥틸 등), 분기쇄 알킬기(이소프로필, 이소부틸, sec-부틸 및 tert-부틸 등) 및 시클로알킬기(시클로프로필, 시클로부틸, 시클로펜틸 및 시클로헥실 등) 등을 들 수 있다.Rf represents an alkyl group (preferably an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) in which 80 mol% or more of hydrogen atoms are substituted with fluorine atoms. Examples of the alkyl group represented by Rf by fluorine substitution include a straight-chain alkyl group (methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl and octyl, etc.), a branched-chain alkyl group (isopropyl, isobutyl, sec-butyl and tert-butyl, etc.) and a cycloalkyl group ( cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, and cyclohexyl);
Rf에 있어서 이들 알킬기의 수소 원자가 불소 원자로 치환되고 있는 비율은, 원래의 알킬기가 가지고 있던 수소 원자의 몰수에 근거하여서, 80 몰% 이상이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 90몰% 이상, 특히 바람직하게는 100몰%이다. 불소 원자에 의한 치환 비율이 이들 바람직한 범위에 있으면, 술포늄염(Q)의 광 감응성이 더욱 양호해진다. 특히 바람직한 Rf로서는, CF3 -, CF3CF2 -,(CF3)2CF-, CF3CF2CF2 -, CF3CF2CF2CF2 -, (CF3)2CFCF2 -, CF3CF2(CF3)CF- 및 (CF3)3C-를 들 수 있다. b개의 Rf는 서로 독립이며, 따라서 서로 동일하여도 상이하여도 된다.The ratio in which hydrogen atoms of these alkyl groups are substituted with fluorine atoms in Rf is preferably 80 mol% or more, more preferably 90 mol% or more, particularly preferably based on the number of moles of hydrogen atoms in the original alkyl group. is 100 mol%. When the substitution ratio by a fluorine atom exists in these preferable ranges, the photosensitivity of a sulfonium salt (Q) becomes more favorable. Particularly preferred Rf is CF 3 - , CF 3 CF 2 - , (CF 3 ) 2 CF - , CF 3 CF 2 CF 2 - , CF 3 CF 2 CF 2 CF 2 - , (CF 3 ) 2 CFCF 2 - , CF 3 CF 2 (CF 3 )CF — and (CF 3 ) 3 C — . The b pieces of Rf are independent of each other and, therefore, may be the same as or different from each other.
P는 인 원자, F는 불소 원자를 나타낸다.P represents a phosphorus atom, and F represents a fluorine atom.
Rx1은, 수소 원자의 일부가 적어도 하나의 원소 또는 전자구인기로 치환된 페닐기를 나타낸다.R x1 represents a phenyl group in which a part of hydrogen atoms are substituted with at least one element or an electron group.
이들의 1개의 원소의 예로서는, 할로겐 원자가 포함되어 불소 원자, 염소 원자 및 브롬 원자 등을 들 수 있다. 전자구인기로서는 트리플루오로메틸기, 니트로기 및 시아노기 등을 들 수 있다. 이들 중, 적어도 하나의 수소 원자가 불소 원자 또는 트리플루오로메틸기로 치환된 페닐기가 바람직하다. c개의 Rx1은 서로 독립적이며, 따라서, 서로 동일하여도 상이하여도 된다.As an example of these one element, a halogen atom is contained, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc. are mentioned. A trifluoromethyl group, a nitro group, a cyano group etc. are mentioned as an electron withdrawing group. Of these, a phenyl group in which at least one hydrogen atom is substituted with a fluorine atom or a trifluoromethyl group is preferable. The c pieces of R x1 are independent of each other and, therefore, may be the same as or different from each other.
B는 붕소 원자, Ga는 갈륨 원자를 나타낸다.B represents a boron atom, Ga represents a gallium atom.
Rx2는, 탄소 원자수 1∼20의 알킬기, 탄소 원자수 1∼20의 플루오로알킬기 또는 탄소 원자수 6∼20의 아릴기를 나타내고, 알킬기 및 플루오로알킬기는 직쇄상, 분기쇄상 또는 환상의 어느 것이어도 되고, 알킬기, 플루오로알킬기, 또는 아릴기는 무치환이어도, 치환기를 가지고 있어도 된다. 상기 치환기로서는, 예를 들면, 히드록시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기(예를 들면, 상기 식 (a2)∼(a6)에 관한 후술하는 설명 중에서 예시하는 것을 들 수 있음), 니트로기 등을 들 수 있다.R x2 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a fluoroalkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, and the alkyl group and the fluoroalkyl group are linear, branched or cyclic. may be used, and the alkyl group, the fluoroalkyl group, or the aryl group may be unsubstituted or may have a substituent. Examples of the substituent include a hydroxy group, an amino group which may be substituted (for example, those exemplified in the description below regarding the formulas (a2) to (a6)), a nitro group, and the like. .
또한, Rx2로 표시되는 알킬기, 플루오로알킬기 또는 아릴기에 있어서의 탄소쇄는, 산소 원자, 질소 원자, 원자 등의 헤테로 원자를 가지고 있어도 된다. 특히, Rx2로 표시되는 알킬기 또는 플루오로알킬기에 있어서의 탄소쇄는 2가의 관능기(예를 들면, 에테르 결합, 카르보닐 결합, 에스테르 결합, 아미노 결합, 아미드 결합, 이미드 결합, 술포닐 결합, 술포닐아미드 결합, 술포닐이미드 결합, 우레탄 결합 등)를 가지고 있어도 된다.In addition, the carbon chain in the alkyl group, fluoroalkyl group, or aryl group represented by R x2 may have hetero atoms, such as an oxygen atom, a nitrogen atom, and an atom. In particular, the carbon chain in the alkyl group or fluoroalkyl group represented by R x2 is a divalent functional group (eg, an ether bond, a carbonyl bond, an ester bond, an amino bond, an amide bond, an imide bond, a sulfonyl bond, sulfonylamide bond, sulfonylimide bond, urethane bond, etc.).
Rx2로 표시되는 알킬기, 플루오로알킬기 또는 아릴기가 상기 치환기, 헤테로 원자, 또는 관능기를 갖는 경우, 상기 치환기, 헤테로 원자, 또는 관능기의 개수는 1개이어도 2개 이상이어도 된다.When the alkyl group, fluoroalkyl group or aryl group represented by R x2 has the above substituent, hetero atom, or functional group, the number of the substituent, hetero atom, or functional group may be one or two or more.
S는 원자, O는 산소 원자, C는 탄소 원자, N는 질소 원자를 나타낸다.S represents an atom, O represents an oxygen atom, C represents a carbon atom, and N represents a nitrogen atom.
a는 4∼6의 정수를 나타낸다.a represents the integer of 4-6.
b는 1∼5의 정수가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2∼4의 정수, 특히 바람직하게는 2 또는 3이다.b is preferably an integer of 1 to 5, more preferably an integer of 2 to 4, particularly preferably 2 or 3.
c는 1∼4의 정수가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 4이다.As for c, the integer of 1-4 is preferable, More preferably, it is 4.
MYa -로 표시되는 음이온으로서는, SbF6 -, PF6 - 또는 BF4 -로 표시되는 음이온 등을 들 수 있다.Examples of the anion represented by MY a - include an anion represented by S b F 6 - , PF 6 - or BF 4 - .
(Rf)bPF6 -b -로 표시되는 음이온으로서는, (CF3CF2)2PF4 -, (CF3CF2)3PF3 -, ((CF3)2CF)2PF4 -, ((CF3)2CF)3PF3 -, (CF3CF2CF2)2PF4 -, (CF3CF2CF2)3PF3 -, ((CF3)2CFCF2)2PF4 -, ((CF3)2CFCF2)3PF3 -, (CF3CF2CF2CF2)2PF4 - 또는 (CF3CF2CF2CF2)3PF3 -로 표시되는 음이온 등을 들 수 있다. 이들 중, (CF3CF2)3PF3 -, (CF3CF2CF2)3PF3 -, ((CF3)2CF)3PF3 -, ((CF3)2CF)2PF4 -, ((CF3)2CFCF2)3PF3 - 또는 ((CF3)2CFCF2)2PF4 -로 표시되는 음이온이 바람직하다.As an anion represented by (Rf) b PF 6 -b - , (CF 3 CF 2 ) 2 PF 4 - , (CF 3 CF 2 ) 3 PF 3 - , ((CF 3 ) 2 CF) 2 PF 4 - , ((CF 3 ) 2 CF) 3 PF 3 - , (CF 3 CF 2 CF 2 ) 2 PF 4 - , (CF 3 CF 2 CF 2 ) 3 PF 3 - , ((CF 3 ) 2 CFCF 2 ) 2 PF Anion represented by 4 - , ((CF 3 ) 2 CFCF 2 ) 3 PF 3 - , (CF 3 CF 2 CF 2 CF 2 ) 2 PF 4 - or (CF 3 CF 2 CF 2 CF 2 ) 3 PF 3 - and the like. Of these, (CF 3 CF 2 ) 3 PF 3 - , (CF 3 CF 2 CF 2 ) 3 PF 3 - , ((CF 3 ) 2 CF) 3 PF 3 - , ((CF 3 ) 2 CF) 2 PF An anion represented by 4 - , ((CF 3 ) 2 CFCF 2 ) 3 PF 3 - or ((CF 3 ) 2 CFCF 2 ) 2 PF 4 - is preferred.
Rx1 cBY4 -c -로 표시되는 음이온으로서는, 바람직하게는As the anion represented by R x1 c BY 4 -c -, preferably
Rx1 cBY4 -c - R x1 c BY 4 -c -
(식 중, Rx1은 수소 원자의 적어도 일부가 할로겐 원자 또는 전자구인기로 치환된 페닐기를 나타내고, Y는 할로겐 원자를 나타내고, c는 1∼4의 정수를 나타냄)(wherein, R x1 represents a phenyl group in which at least a part of hydrogen atoms is substituted with a halogen atom or an electron group, Y represents a halogen atom, and c represents an integer of 1 to 4)
이고, 예를 들면, (C6F5)4B-, ((CF3)2C6H3)4B-, (CF3C6H4)4B-, (C6F5)2BF2 -, C6F5BF3 - 또는 (C6H3F2)4B-로 표시되는 음이온 등을 들 수 있다. 이들 중, (C6F5)4B- 또는 ((CF3)2C6H3)4B-로 표시되는 음이온이 바람직하다.and, for example, (C 6 F 5 ) 4 B - , ((CF 3 ) 2 C 6 H 3 ) 4 B - , (CF 3 C 6 H 4 ) 4 B - , (C 6 F 5 ) 2 and an anion represented by BF 2 - , C 6 F 5 BF 3 - or (C 6 H 3 F 2 ) 4 B - . Among these, the anion represented by (C 6 F 5 ) 4 B - or ((CF 3 ) 2 C 6 H 3 ) 4 B - is preferable.
Rx1 cGaY4 -c -로 표시되는 음이온으로서는, (C6F5)4Ga-, ((CF3)2C6H3)4Ga-, (CF3C6H4)4Ga-, (C6F5)2GaF2 -, C6F5GaF3 - 또는 (C6H3F2)4Ga-로 표시되는 음이온 등을 들 수 있다. 이들 중, (C6F5)4Ga- 또는 ((CF3)2C6H3)4Ga-로 표시되는 음이온이 바람직하다.As an anion represented by R x1 c GaY 4 -c - , (C 6 F 5 ) 4 Ga - , ((CF 3 ) 2 C 6 H 3 ) 4 Ga - , (CF 3 C 6 H 4 ) 4 Ga - an anion represented by , (C 6 F 5 ) 2 GaF 2 - , C 6 F 5 GaF 3 - or (C 6 H 3 F 2 ) 4 Ga - . Among these, an anion represented by (C 6 F 5 ) 4 Ga − or ((CF 3 ) 2 C 6 H 3 ) 4 Ga − is preferable.
Rx2SO3 -로 표시되는 음이온으로서는, 트리플루오로메탄술폰산 음이온, 펜타플루오로에탄술폰산 음이온, 헵타플루오로프로판술폰산 음이온, 노나플루오로부탄술폰산 음이온, 펜타플루오로페닐술폰산 음이온, p-톨루엔술폰산 음이온, 벤젠술폰산 음이온, 캄퍼술폰산 음이온, 메탄술폰산 음이온, 에탄술폰산 음이온, 프로판술폰산 음이온 및 부탄술폰산 음이온 등을 들 수 있다. 이들 중, 트리플루오로메탄술폰산 음이온, 노나플루오로부탄술폰산 음이온, 메탄술폰산 음이온, 부탄술폰산 음이온, 캄퍼술폰산 음이온, 벤젠술폰산 음이온 또는 p-톨루엔술폰산 음이온이 바람직하다.Examples of the anion represented by R x 2 SO 3 - include a trifluoromethanesulfonic acid anion, a pentafluoroethanesulfonic acid anion, a heptafluoropropanesulfonic acid anion, a nonafluorobutanesulfonic acid anion, a pentafluorophenylsulfonic acid anion, and p-toluenesulfonic acid. an anion, a benzenesulfonic acid anion, a camphorsulfonic acid anion, a methanesulfonic acid anion, an ethanesulfonic acid anion, a propanesulfonic acid anion, a butanesulfonic acid anion, etc. are mentioned. Of these, preferred are trifluoromethanesulfonic acid anion, nonafluorobutanesulfonic acid anion, methanesulfonic acid anion, butanesulfonic acid anion, camphorsulfonic acid anion, benzenesulfonic acid anion, or p-toluenesulfonic acid anion.
(Rx2SO2)3C-로 표시되는 음이온으로서는, (CF3SO2)3C-, (C2F5SO2)3C-, (C3F7SO2)3C- 또는 (C4F9SO2)3C-로 표시되는 음이온 등을 들 수 있다.As an anion represented by (R x2 SO 2 ) 3 C - , (CF 3 SO 2 ) 3 C - , (C 2 F 5 SO 2 ) 3 C - , (C 3 F 7 SO 2 ) 3 C - or ( and an anion represented by C 4 F 9 SO 2 ) 3 C − .
(Rx2SO2)2N-로 표시되는 음이온으로서는, (CF3SO2)2N-, (C2F5SO2)2N-, (C3F7SO2)2N- 또는 (C4F9SO2)2N-로 표시되는 음이온 등을 들 수 있다.Examples of the anion represented by (R x2 SO 2 ) 2 N - include (CF 3 SO 2 ) 2 N - , (C 2 F 5 SO 2 ) 2 N - , (C 3 F 7 SO 2 ) 2 N - or ( and an anion represented by C 4 F 9 SO 2 ) 2 N − .
1가의 다원자 음이온으로서는, MYa -, (Rf)bPF6 -b-, Rx1 cBY4 -c -, Rx1 cGaY4 -c -, Rx2SO3 -, (Rx2SO2)3C- 또는 (Rx2SO2)2N-로 표시되는 음이온 이외에, 과할로겐산 이온(ClO4 -, BrO4 - 등), 할로겐화 술폰산 이온(FSO3 -, ClSO3 - 등), 황산 이온(CH3SO4 -, CF3SO4 -, HSO4 - 등), 탄산 이온(HCO3 -, CH3CO3 - 등), 알루민산 이온(AlCl4 -, AlF4 - 등), 헥사플루오로비스무트산 이온(BiF6 -),카르복시산 이온(CH3COO-, CF3COO-, C6H5COO-, CH3C6H4COO-, C6F5COO-, CF3C6H4COO- 등), 아릴 붕산 이온(B(C6H5)4 -, CH3CH2CH2CH2B(C6H5)3 - 등), 티오시안산 이온(SCN-) 및 질산 이온(NO3 -)등을 사용할 수 있다.Examples of the monovalent polyatomic anion include MY a - , (Rf) b PF 6 -b -, R x1 c BY 4 -c - , R x1 c GaY 4 -c - , R x2 SO 3 - , (R x2 SO 2 ) ) 3 C - or (R x2 SO 2 ) 2 N - In addition to the anion represented by , perhalogenate ions (ClO 4 - , BrO 4 -, etc.), halogenated sulfonate ions (FSO 3 - , ClSO 3 - etc.), sulfuric acid ions (CH 3 SO 4 - , CF 3 SO 4 - , HSO 4 - etc.), carbonate ions (HCO 3 - , CH 3 CO 3 - etc.), aluminate ions (AlCl 4 - , AlF 4 - etc.), hexa Fluorobismuth ion (BiF 6 - ), Carboxylic acid ion (CH 3 COO - , CF 3 COO - , C 6 H 5 COO - , CH 3 C 6 H 4 COO - , C 6 F 5 COO - , CF 3 C 6 H 4 COO - etc.), aryl borate ion (B(C 6 H 5 ) 4 - , CH 3 CH 2 CH 2 CH 2 B(C 6 H 5 ) 3 - etc.), thiocyanate ion (SCN-) and nitrate ions (NO 3 − ).
이들 X-중, 양이온 중합 성능의 점에서는, MYa -, (Rf)bPF6 -b -, Rx1 cBY4 -c -, Rx1 cGaY4-c - 및 (Rx2SO2)3C-로 표시되는 음이온이 바람직하고, SbF6 -, PF6 -, (CF3CF2)3PF3 -, (C6F5)4B-, ((CF3)2C6H3)4B-, (C6F5)4Ga-, ((CF3)2C6H3)4Ga- 및 (CF3SO2)3C-가 보다 바람직하고, Rx1 cBY4 -c -가 더욱 바람직하다.Among these X − , in terms of cationic polymerization performance, MY a − , (Rf) b PF 6 -b − , R x1 c BY 4 -c - , R x1 c GaY 4-c − and (R x2 SO 2 ) An anion represented by 3 C - is preferred, S b F 6 - , PF 6 - , (CF 3 CF 2 ) 3 PF 3 - , (C 6 F 5 ) 4 B - , ((CF 3 ) 2 C 6 H 3 ) 4 B − , (C 6 F 5 ) 4 Ga − , ((CF 3 ) 2 C 6 H 3 ) 4 Ga − and (CF 3 SO 2 ) 3 C − are more preferable, and R x1 c BY 4 -c - is more preferable.
상기 식 (a2), (a5), 및 (a6)에 있어서, 방향족 탄화수소환으로서는, 벤젠환, 축합다환식 방향족 탄화수소환[예를 들면, 축합 2환식 탄화수소환(예를 들면, 나프탈렌환 등의 C8- 20축합 2환식 탄화수소환, 바람직하게는 C10- 16축합 2환식 탄화수소환), 축합 3환식 방향족 탄화수소환(예를 들면, 안트라센환, 페난트렌환 등) 등의 축합 2 내지 4환식 방향족 탄화수소환] 등을 들 수 있다. 방향족 탄화수소환은, 벤젠환 또는 나프탈렌환인 것이 바람직하고, 벤젠환인 것이 보다 바람직하다.In the formulas (a2), (a5), and (a6), examples of the aromatic hydrocarbon ring include a benzene ring, a condensed polycyclic aromatic hydrocarbon ring [for example, a condensed bicyclic hydrocarbon ring (such as a naphthalene ring) 8- C 20 condensed
상기 식 (a1)∼(a6)에 있어서, 할로겐 원자로서는, 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자, 및 요오드 원자 등을 들 수 있다.In the formulas (a1) to (a6), examples of the halogen atom include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
상기 식 (a1)∼(a6)에 있어서, 알킬기로서는, 탄소 원자수 1∼18의 직쇄 알킬기(메틸, 에틸, n-프로필, n-부틸, n-펜틸, n-옥틸, n-데실, n-도데실, n-테트라데실, n-헥사데실, 및 n-옥타데실 등), 탄소 원자수 3∼18의 분기쇄 알킬기(이소프로필, 이소부틸, sec-부틸, tert-부틸, 이소펜틸, 네오펜틸, tert-펜틸, 이소헥실, 및 이소옥타데실 등), 및 탄소 원자수 3∼18의 시클로알킬기(시클로프로필, 시클로부틸, 시클로펜틸, 시클로헥실, 및 4-데실시클로헥실 등) 등을 들 수 있다. 특히, 상기 식 (a1), (a2), 및 (a4)∼(a6)에 있어서, 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기란, 알킬기 및 할로겐 원자로 치환된 알킬기를 의미한다. 할로겐 원자로 치환된 알킬기로서는, 상기의 직쇄 알킬기, 분기쇄 알킬기, 또는 시클로알킬기에 있어서의 적어도 하나의 수소 원자를 할로겐 원자로 치환한 기(모노플루오로메틸, 디플루오로메틸, 트리플루오로메틸 등) 등을 들 수 있다. 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기 중, R1,R2,R9,또는 R10에 있어서는, 트리플루오로메틸기가 특히 바람직하고, R4,R6,R11,또는 R12에 있어서는, 메틸기가 특히 바람직하다.In the formulas (a1) to (a6), the alkyl group is a straight-chain alkyl group having 1 to 18 carbon atoms (methyl, ethyl, n-propyl, n-butyl, n-pentyl, n-octyl, n-decyl, n -dodecyl, n-tetradecyl, n-hexadecyl, n-octadecyl, etc.), a branched chain alkyl group having 3 to 18 carbon atoms (isopropyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, isopentyl, neopentyl, tert-pentyl, isohexyl, and isooctadecyl, etc.), and a cycloalkyl group having 3 to 18 carbon atoms (cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, and 4-decylcyclohexyl, etc.), etc. can be heard In particular, in the formulas (a1), (a2), and (a4) to (a6), the alkyl group optionally substituted with a halogen atom means an alkyl group and an alkyl group substituted with a halogen atom. Examples of the alkyl group substituted with a halogen atom include a group in which at least one hydrogen atom in the aforementioned linear alkyl group, branched chain alkyl group, or cycloalkyl group is substituted with a halogen atom (monofluoromethyl, difluoromethyl, trifluoromethyl, etc.) and the like. Among the optionally substituted alkyl groups with a halogen atom, for R 1 , R 2 , R 9 , or R 10 , a trifluoromethyl group is particularly preferable, and for R 4 , R 6 , R 11 , or R 12 , a methyl group is Especially preferred.
상기 식 (a2)∼(a6)에 있어서, 알콕시기로서는 탄소 원자수 1∼18의 직쇄 또는 분기쇄 알콕시기(메톡시, 에톡시, 프로폭시, 이소프로폭시, 부톡시, 이소부톡시, sec-부톡시, tert-부톡시, 헥실옥시, 데실옥시, 도데실옥시, 및 옥타데실옥시 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a2) to (a6), the alkoxy group is a linear or branched chain alkoxy group having 1 to 18 carbon atoms (methoxy, ethoxy, propoxy, isopropoxy, butoxy, isobutoxy, sec- butoxy, tert-butoxy, hexyloxy, decyloxy, dodecyloxy, and octadecyloxy).
상기 식 (a2)∼(a6)에 있어서, 알킬카르보닐기로 들 수 있는 알킬기로서는 상술한 탄소 원자수 1∼18의 직쇄 알킬기, 탄소 원자수 3∼18의 분기쇄 알킬기 또는 탄소 원자수 3∼18의 시클로알킬기를 들 수 있고, 알킬카르보닐기로서는 탄소 원자수 2∼18의 직쇄상, 분기쇄상 또는 환상의 알킬카르보닐기(아세틸, 프로피오닐, 부타노일, 2-메틸프로피오닐, 헵타노일, 2-메틸부타노일, 3-메틸부타노일, 옥타노일, 데카노일, 도데카노일, 옥타데카노일, 시클로펜타노일기, 및 시클로헥사노일기 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a2) to (a6), examples of the alkyl group exemplified by the alkylcarbonyl group include the aforementioned linear alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, a branched chain alkyl group having 3 to 18 carbon atoms, or a branched chain alkyl group having 3 to 18 carbon atoms. A cycloalkyl group is mentioned, As an alkylcarbonyl group, a C2-C18 linear, branched or cyclic alkylcarbonyl group (acetyl, propionyl, butanoyl, 2-methylpropionyl, heptanoyl, 2-methylbutanoyl) , 3-methylbutanoyl, octanoyl, decanoyl, dodecanoyl, octadecanoyl, cyclopentanoyl, and cyclohexanoyl); and the like.
상기 식 (a3)∼(a6)에 있어서, 아릴카르보닐기로서는 탄소 원자수 7∼11의 아릴카르보닐기(벤조일 및 나프토일 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) to (a6), examples of the arylcarbonyl group include an arylcarbonyl group having 7 to 11 carbon atoms (such as benzoyl and naphthoyl).
상기 식 (a2)∼(a6)에 있어서, 알콕시카르보닐기로서는 탄소 원자수 2∼19의 직쇄 또는 분기쇄 알콕시카르보닐기(에톡시카르보닐, 에톡시카르보닐, 프로폭시카르보닐, 이소프로폭시카르보닐, 부톡시카르보닐, 이소부톡시카르보닐, sec-부톡시카르보닐, tert-부톡시카르보닐, 옥틸옥시카르보닐, 테트라데실옥시카르보닐, 및 옥타데실옥시카르보닐 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a2) to (a6), as the alkoxycarbonyl group, a linear or branched alkoxycarbonyl group having 2 to 19 carbon atoms (ethoxycarbonyl, ethoxycarbonyl, propoxycarbonyl, isopropoxycarbonyl, butoxycarbonyl, isobutoxycarbonyl, sec-butoxycarbonyl, tert-butoxycarbonyl, octyloxycarbonyl, tetradecyloxycarbonyl, and octadecyloxycarbonyl); .
상기 식 (a3)∼(a6)에 있어서, 아릴옥시카르보닐기로서는 탄소 원자수 7∼11의 아릴옥시카르보닐기(페녹시카르보닐 및 나프톡시카르보닐 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) to (a6), examples of the aryloxycarbonyl group include an aryloxycarbonyl group having 7 to 11 carbon atoms (such as phenoxycarbonyl and naphthoxycarbonyl).
상기 식 (a3)∼(a6)에 있어서, 아릴티오카르보닐기로서는 탄소 원자수 7∼11의 아릴티오카르보닐기(페닐티오카르보닐 및 나프톡시티오카르보닐 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) to (a6), examples of the arylthiocarbonyl group include an arylthiocarbonyl group having 7 to 11 carbon atoms (such as phenylthiocarbonyl and naphthoxythiocarbonyl).
상기 식 (a2)∼(a6)에 있어서, 아실옥시기로서는 탄소 원자수 2∼19의 직쇄 또는 분기쇄 아실옥시기(아세톡시, 에틸카르보닐옥시, 프로필카르보닐옥시, 이소프로필카르보닐옥시, 부틸카르보닐옥시, 이소부틸카르보닐옥시, sec-부틸카르보닐옥시, tert-부틸카르보닐옥시, 옥틸카르보닐옥시, 테트라데실카르보닐옥시, 및 옥타데실카르보닐옥시 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a2) to (a6), the acyloxy group is a linear or branched acyloxy group having 2 to 19 carbon atoms (acetoxy, ethylcarbonyloxy, propylcarbonyloxy, isopropylcarbonyloxy, butylcarbonyloxy, isobutylcarbonyloxy, sec-butylcarbonyloxy, tert-butylcarbonyloxy, octylcarbonyloxy, tetradecylcarbonyloxy, and octadecylcarbonyloxy);
상기 식 (a3)∼(a6)에 있어서, 아릴티오기로서는, 탄소 원자수 6∼20의 아릴티오기(페닐티오, 2-메틸페닐티오, 3-메틸페닐티오, 4-메틸페닐티오, 2-클로로페닐티오, 3-클로로페닐티오, 4-클로로페닐티오, 2-브로모페닐티오, 3-브로모페닐티오, 4-브로모페닐티오, 2-플루오로페닐티오, 3-플루오로페닐티오, 4-플루오로페닐티오, 2-히드록시페닐티오, 4-히드록시페닐티오, 2-메톡시페닐티오, 4-메톡시페닐티오, 1-나프틸티오, 2-나프틸티오, 4-[4-(페닐티오)벤조일]페닐티오, 4-[4-(페닐티오)페녹시]페닐티오, 4-[4-(페닐티오)페닐]페닐티오, 4-(페닐티오)페닐티오, 4-벤조일 페닐티오, 4-벤조일-2-클로로페닐티오, 4-벤조일-3-클로로페닐티오, 4-벤조일-3-메틸티오페닐티오, 4-벤조일-2-메틸티오페닐티오, 4-(4-메틸티오벤조일)페닐티오, 4-(2-메틸티오벤조일)페닐티오, 4-(p-메틸벤조일)페닐티오, 4-(p-에틸벤조일)페닐티오, 4-(p-이소프로필벤조일)페닐티오, 및 4-(p-tert-부틸벤조일)페닐티오 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) to (a6), as the arylthio group, an arylthio group having 6 to 20 carbon atoms (phenylthio, 2-methylphenylthio, 3-methylphenylthio, 4-methylphenylthio, 2-chlorophenyl Thio, 3-chlorophenylthio, 4-chlorophenylthio, 2-bromophenylthio, 3-bromophenylthio, 4-bromophenylthio, 2-fluorophenylthio, 3-fluorophenylthio, 4 -Fluorophenylthio, 2-hydroxyphenylthio, 4-hydroxyphenylthio, 2-methoxyphenylthio, 4-methoxyphenylthio, 1-naphthylthio, 2-naphthylthio, 4-[4 -(phenylthio)benzoyl]phenylthio, 4-[4-(phenylthio)phenoxy]phenylthio, 4-[4-(phenylthio)phenyl]phenylthio, 4-(phenylthio)phenylthio, 4- Benzoyl phenylthio, 4-benzoyl-2-chlorophenylthio, 4-benzoyl-3-chlorophenylthio, 4-benzoyl-3-methylthiophenylthio, 4-benzoyl-2-methylthiophenylthio, 4- (4 -Methylthiobenzoyl)phenylthio, 4-(2-methylthiobenzoyl)phenylthio, 4-(p-methylbenzoyl)phenylthio, 4-(p-ethylbenzoyl)phenylthio, 4-(p-isopropylbenzoyl ) phenylthio, and 4-(p-tert-butylbenzoyl)phenylthio).
상기 식 (a2)∼(a6)에 있어서, 알킬티오기로서는 탄소 원자수 1∼18의 직쇄 또는 분기쇄 알킬티오기(메틸티오, 에틸티오, 프로필티오, 이소프로필티오, 부틸티오, 이소부틸티오, sec-부틸티오, tert-부틸티오, 펜틸티오, 이소펜틸티오, 네오펜틸티오, tert-펜틸티오, 옥틸티오, 데실티오, 도데실티오, 및 이소옥타데실티오 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a2) to (a6), the alkylthio group is a linear or branched alkylthio group having 1 to 18 carbon atoms (methylthio, ethylthio, propylthio, isopropylthio, butylthio, isobutylthio) , sec-butylthio, tert-butylthio, pentylthio, isopentylthio, neopentylthio, tert-pentylthio, octylthio, decylthio, dodecylthio, and isooctadecylthio) and the like).
상기 식 (a3)∼(a6)에 있어서, 아릴기로서는, 탄소 원자수 6∼10의 아릴기(페닐, 톨릴, 디메틸페닐, 및 나프틸 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) to (a6), examples of the aryl group include an aryl group having 6 to 10 carbon atoms (phenyl, tolyl, dimethylphenyl, and naphthyl).
상기 식 (a2)에 있어서, 복소환식 지방족 탄화수소기로서는 탄소 원자수 2∼20(바람직하게는 4∼20)의 복소환식 탄화수소기(피롤리디닐, 테트라히드로푸라닐, 테트라히드로티에닐, 피페리디닐, 테트라히드로피라닐, 테트라히드로티오피라닐, 모르포리닐, 등) 등을 들 수 있다.In the formula (a2), as the heterocyclic aliphatic hydrocarbon group, a heterocyclic hydrocarbon group having 2 to 20 (preferably 4 to 20) carbon atoms (pyrrolidinyl, tetrahydrofuranyl, tetrahydrothienyl, piperidi) nyl, tetrahydropyranyl, tetrahydrothiopyranyl, morpholinyl, etc.).
상기 식 (a3)∼(a6)에 있어서, 복소환식 탄화수소기로서는, 탄소 원자수 4∼20의 복소환식 탄화수소기(티에닐, 푸라닐, 셀레노페닐, 피라닐, 피롤릴, 옥사졸릴, 치아졸릴, 피리딜, 피리미딜, 피라지닐, 인돌릴, 벤조푸라닐, 벤조티에닐, 퀴놀릴, 이소퀴놀릴, 퀴녹살리닐, 퀴나졸리닐, 카르바졸릴, 아크리디닐, 페노티아지닐, 페나지닐, 크산테닐, 티안트레닐, 페녹사지닐, 페녹사티닐, 크로마닐, 이소크로마닐, 디벤조티에닐, 크산토닐, 티옥산토닐, 및 디벤조푸라닐 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) to (a6), as the heterocyclic hydrocarbon group, a heterocyclic hydrocarbon group having 4 to 20 carbon atoms (thienyl, furanyl, selenophenyl, pyranyl, pyrrolyl, oxazolyl, chia) Jolyl, pyridyl, pyrimidyl, pyrazinyl, indolyl, benzofuranyl, benzothienyl, quinolyl, isoquinolyl, quinoxalinyl, quinazolinyl, carbazolyl, acridinyl, phenothiazinyl, phena zinyl, xanthenyl, thianthrenyl, phenoxazinyl, phenoxatinyl, chromanyl, isochromanyl, dibenzothienyl, xanthonyl, thioxanthonyl, and dibenzofuranyl); .
상기 식 (a3)∼(a6)에 있어서, 아릴옥시기로서는 탄소 원자수 6∼10의 아릴옥시기(페녹시 및 나프틸옥시 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) to (a6), examples of the aryloxy group include an aryloxy group having 6 to 10 carbon atoms (phenoxy and naphthyloxy, etc.).
상기 식 (a2)∼(a6)에 있어서, 알킬술피닐기로서는 탄소 원자수 1∼18의 직쇄 또는 분기쇄 술피닐기(메틸술피닐, 에틸술피닐, 프로필술피닐, 이소프로필술피닐, 부틸술피닐, 이소부틸술피닐, sec-부틸술피닐, tert-부틸술피닐, 펜틸술피닐, 이소펜틸술피닐, 네오펜틸술피닐, tert-펜틸술피닐, 옥틸술피닐, 및 이소옥타데실술피닐 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a2) to (a6), as the alkylsulfinyl group, a linear or branched chain sulfinyl group having 1 to 18 carbon atoms (methylsulfinyl, ethylsulfinyl, propylsulfinyl, isopropylsulfinyl, butylsulfinyl) , isobutylsulfinyl, sec-butylsulfinyl, tert-butylsulfinyl, pentylsulfinyl, isopentylsulfinyl, neopentylsulfinyl, tert-pentylsulfinyl, octylsulfinyl, and isooctadecylsulfinyl, etc.) and the like.
상기 식 (a3)∼(a6)에 있어서, 아릴술피닐기로서는 탄소 원자수 6∼10의 아릴술피닐기(페닐술피닐, 톨릴술피닐, 및 나프틸술피닐 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) to (a6), examples of the arylsulfinyl group include an arylsulfinyl group having 6 to 10 carbon atoms (such as phenylsulfinyl, tolylsulfinyl, and naphthylsulfinyl).
상기 식 (a2)∼(a6)에 있어서, 알킬술포닐기로서는 탄소 원자수 1∼18의 직쇄 또는 분기쇄 알킬술포닐기(메틸술포닐, 에틸술포닐, 프로필술포닐, 이소프로필술포닐, 부틸술포닐, 이소부틸술포닐, sec-부틸술포닐, tert-부틸술포닐, 펜틸술포닐, 이소펜틸술포닐, 네오펜틸술포닐, tert-펜틸술포닐, 옥틸술포닐, 및 옥타데실술포닐 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a2) to (a6), as the alkylsulfonyl group, a linear or branched alkylsulfonyl group having 1 to 18 carbon atoms (methylsulfonyl, ethylsulfonyl, propylsulfonyl, isopropylsulfonyl, butylsulfonyl) phonyl, isobutylsulfonyl, sec-butylsulfonyl, tert-butylsulfonyl, pentylsulfonyl, isopentylsulfonyl, neopentylsulfonyl, tert-pentylsulfonyl, octylsulfonyl, and octadecylsulfonyl, etc.) and the like.
상기 식 (a3)∼(a6)에 있어서, 아릴술포닐기로서는 탄소 원자수 6∼10의 아릴술포닐기(페닐술포닐, 톨릴술포닐(토실기), 및 나프틸술포닐 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) to (a6), examples of the arylsulfonyl group include an arylsulfonyl group having 6 to 10 carbon atoms (phenylsulfonyl, tolylsulfonyl (tosyl group), and naphthylsulfonyl). .
상기 식 (a2)∼(a6)에 있어서, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기로서는, HO(AO)q -(식 중, AO는 독립적으로 에틸렌옥시기 및/또는 프로필렌옥시기를 나타내고, q는 1∼5의 정수를 나타냄)으로 나타내지는 히드록시(폴리)알킬렌옥시기 등을 들 수 있다.In the formulas (a2) to (a6), as the hydroxy (poly) alkyleneoxy group, HO (AO) q - (wherein AO independently represents an ethyleneoxy group and/or a propyleneoxy group, and q is 1 The hydroxy (poly) alkyleneoxy group etc. represented by the integer of -5 are mentioned.
상기 식 (a2)∼(a6)에 있어서, 치환되어 있어도 되는 아미노기로서는, 아미노기(-NH2) 및 탄소 원자수 1∼15의 치환 아미노기(메틸아미노, 디메틸아미노, 에틸아미노, 메틸에틸아미노, 디에틸아미노, n-프로필아미노, 메틸-n-프로필아미노, 에틸-n-프로필아미노, n-프로필아미노, 이소프로필아미노, 이소프로필메틸아미노, 이소프로필에틸아미노, 디이소프로필아미노, 페닐아미노, 디페닐아미노, 메틸페닐아미노, 에틸페닐아미노, n-프로필페닐아미노, 및 이소프로필페닐아미노 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a2) to (a6), the optionally substituted amino group is an amino group (-NH 2 ) and a substituted amino group having 1 to 15 carbon atoms (methylamino, dimethylamino, ethylamino, methylethylamino, di Ethylamino, n-propylamino, methyl-n-propylamino, ethyl-n-propylamino, n-propylamino, isopropylamino, isopropylmethylamino, isopropylethylamino, diisopropylamino, phenylamino, di phenylamino, methylphenylamino, ethylphenylamino, n-propylphenylamino, and isopropylphenylamino);
상기 식 (a3) 및 (a4)에 있어서, 알킬렌기로서는 탄소 원자수 1∼18의 직쇄 또는 분기쇄 알킬렌기(메틸렌기, 1,2-에틸렌기, 1,1-에틸렌기, 프로판-1,3-디일기, 프로판-1,2-디일기, 프로판-1,1-디일기, 프로판-2,2-디일기, 부탄-1,4-디일기, 부탄-1,3-디일기, 부탄-1,2-디일기, 부탄-1,1-디일기, 부탄-2,2-디일기, 부탄-2,3-디일기, 펜탄-1,5-디일기, 펜탄-1,4-디일기, 헥산-1,6-디일기, 헵탄-1,7-디일기, 옥탄-1,8-디일기, 2-에틸헥산-1,6-디일기, 노난-1,9-디일기, 데칸-1,10-디일기, 운데칸-1,11-디일기, 도데칸-1,12-디일기, 트리데칸-1,13-디일기, 테트라데칸-1,14-디일기, 펜타데칸-1,15-디일기, 및 헥사데칸-1,16-디일기 등) 등을 들 수 있다.In the formulas (a3) and (a4), the alkylene group is a linear or branched alkylene group having 1 to 18 carbon atoms (methylene group, 1,2-ethylene group, 1,1-ethylene group, propane-1, 3-diyl group, propane-1,2-diyl group, propane-1,1-diyl group, propane-2,2-diyl group, butane-1,4-diyl group, butane-1,3-diyl group, Butane-1,2-diyl group, butane-1,1-diyl group, butane-2,2-diyl group, butane-2,3-diyl group, pentane-1,5-diyl group, pentane-1,4 -diyl group, hexane-1,6-diyl group, heptane-1,7-diyl group, octane-1,8-diyl group, 2-ethylhexane-1,6-diyl group, nonane-1,9-diyl group Diary, decane-1,10-diyl group, undecane-1,11-diyl group, dodecane-1,12-diyl group, tridecane-1,13-diyl group, tetradecane-1,14-diyl group , pentadecane-1,15-diyl group, and hexadecane-1,16-diyl group).
술포늄염(Q)은, 예를 들면, 하기 스킴에 따라서 합성할 수 있다. 구체적으로는, 하기 식 (b1)로 표시되는 1-플루오로-2-메틸-4-니트로벤젠에, 수산화칼륨 등의 염기의 존재 하에서, 하기 식 (b2)로 표시되는 화합물을 반응시켜서 하기 식 (b3)으로 표시되는 니트로 화합물을 얻고, 이어서 환원철의 존재 하에서 환원을 실시하여서 하기 식 (b4)로 표시되는 아민 화합물을 얻는다. 이 아민 화합물과 MaNO2(식 중, Ma는 금속 원자, 예를 들면, 나트륨 원자 등의 알칼리 금속 원자를 나타냄)로 나타내지는 아질산염(예를 들면, 아질산나트륨)을 반응시켜서 디아조 화합물을 얻고, 이어서 이 디아조 화합물과 CuX' (식 중, X′는 브롬 원자 등의 할로겐 원자를 나타냄.The sulfonium salt (Q) can be synthesized, for example, according to the following scheme. Specifically, 1-fluoro-2-methyl-4-nitrobenzene represented by the following formula (b1) is reacted with a compound represented by the following formula (b2) in the presence of a base such as potassium hydroxide, and the following formula A nitro compound represented by (b3) is obtained, followed by reduction in the presence of reduced iron to obtain an amine compound represented by the following formula (b4). This amine compound is reacted with a nitrite (for example, sodium nitrite) represented by MaNO 2 (wherein, Ma represents an alkali metal atom such as a metal atom, for example, a sodium atom) to obtain a diazo compound, Next, this diazo compound and CuX' (wherein, X' represents a halogen atom such as a bromine atom.
이하, 마찬가지임.)로 표시되는 할로겐화 제일구리와 HX′로 표시되는 할로겐화 수소를 혼합하고 반응을 진행시켜서, 하기 식 (b5)로 표시되는 할로겐화물을 얻는다. 이 할로겐화물 및 마그네슘으로부터 그리냐르 시약을 조제하고, 이어서 클로로트리메틸실란의 존재 하에 이 그리냐르 시약과 하기 식 (b6)으로 표시되는 술폭시드 화합물을 반응시켜서, 하기 식 (b7)으로 표시되는 술포늄염을 얻을 수 있다. 또한, 이 술포늄염을 Mb+X"- (식 중, Mb+는 금속 양이온, 예를 들면, 칼륨 이온 등의 알칼리 금속 양이온을 나타내고, X"-는X-로 표시되는 1가의 음이온(단, 할로겐 음이온을 제외함)을 나타냄)로 나타내지는 염과 반응시켜서 염교환을 실시함으로써 하기 식 (b8)으로 표시되는 술포늄염을 얻을 수 있다. 나아가, 하기 식 (b2)∼(b8)에 있어서, R1∼R3 및 A1은 상기 식 (a1)과 마찬가지이다.Hereinafter, the same applies.) The cuprous halide represented by the formula (b5) and the hydrogen halide represented by HX' are mixed, the reaction is advanced, and the halide represented by the following formula (b5) is obtained. A Grignard reagent is prepared from this halide and magnesium, and then the Grignard reagent is reacted with a sulfoxide compound represented by the following formula (b6) in the presence of chlorotrimethylsilane, and a sulfonium salt represented by the following formula (b7) can get In addition, this sulfonium salt is mixed with Mb + X" - (wherein, Mb + represents a metal cation, for example, an alkali metal cation such as a potassium ion, and X" - represents a monovalent anion represented by X - (provided that A sulfonium salt represented by the following formula (b8) can be obtained by reacting with a salt represented by )) and performing salt exchange. Furthermore, in the following formulas (b2) to (b8), R 1 to R 3 and A1 are the same as in the formula (a1).
<스킴><Scheme>
상기 식 (a1)로 표시되는 술포늄염(Q)의 양이온부의 구체예로서는, 이하의 것을 들 수 있다. 상기 식 (a1)로 표시되는 술포늄염(Q)의 음이온부의 구체예로서는, 상기 X-의 설명으로 든 것 등, 종래 공지의 것을 들 수 있다. 상기 식 (a1)로 표시되는 술포늄염(Q)은 상기 스킴에 따라서 합성할 수 있고, 필요에 따라서 추가로 염교환 함으로써, 양이온부를 원하는 음이온부와 조합시킬 수 있고, 특히 Rx1 cBY4-c -(식 중, Rx1은 수소 원자의 적어도 일부가 할로겐 원자 또는 전자구인기로 치환된 페닐기를 나타내고, Y는 할로겐 원자를 나타내고, c는 1∼4의 정수를 나타냄)로 나타내지는 음이온과의 조합이 바람직하다.Specific examples of the cation moiety of the sulfonium salt (Q) represented by the formula (a1) include the following. Specific examples of the anion moiety of the sulfonium salt (Q) represented by the formula (a1) include those previously known, such as those given in the description of X − . The sulfonium salt (Q) represented by the above formula (a1) can be synthesized according to the above scheme, and by further salt exchange if necessary, the cation moiety can be combined with the desired anion moiety, in particular R x1 c BY 4- c - (wherein, R x1 represents a phenyl group in which at least a part of hydrogen atoms is substituted with a halogen atom or an electron accepting group, Y represents a halogen atom, and c represents an integer of 1 to 4) A combination is preferred.
나아가, 본 실시태양의 에너지 감수성 조성물에 있어서, 술포늄염(Q)의 함유량은, 조성물 전체(단, 용제를 제외함)에 대해서 0.001∼20 질량%인 것이 바람직하고, 0.01∼10 질량%인 것이 보다 바람직하고, 0.1∼8 질량%인 것이 더욱 바람직하다. 술포늄염(Q)의 함유량이 상기 범위 내이면, 열중량 안정성이 양호해지는 경향이 있다. 특히, 에너지 감수성 조성물의 점도를 예를 들면, 후술하는 1000 mPa·s(1000 cP) 이하와 같이 저점도로 조제하는 경우, 술포늄염(Q)의 함유량은, 조성물 전체(단, 용제를 제외함)에 대해서 상기 범위 내이어도 되지만, 0.001∼1 질량%이어도 되고, 0.005∼0.1 질량%이어도 되고, 0.008∼0.05 질량%이어도 된다.Furthermore, in the energy-sensitive composition of this embodiment, the content of the sulfonium salt (Q) is preferably 0.001 to 20 mass%, and 0.01 to 10 mass%, based on the entire composition (however, excluding the solvent). It is more preferable, and it is still more preferable that it is 0.1-8 mass %. When the content of the sulfonium salt (Q) is within the above range, the thermogravimetric stability tends to be good. In particular, when the viscosity of the energy-sensitive composition is prepared to a low viscosity such as 1000 mPa·s (1000 cP) or less described later, the content of the sulfonium salt (Q) is the entire composition (however, excluding the solvent) may be within the above range, but may be 0.001 to 1 mass%, 0.005 to 0.1 mass%, or 0.008 to 0.05 mass%.
[그 외의 성분][Other ingredients]
(그 외의 술포늄염 등)(Other sulfonium salts, etc.)
본 실시형태의 에너지 감수성 조성물은, 술포늄염(Q)과 함께, 술포늄염(Q) 이외의 오늄염을 함유하고 있어도 된다.The energy-sensitive composition of the present embodiment may contain an onium salt other than the sulfonium salt (Q) together with the sulfonium salt (Q).
이러한 오늄염으로서는, 예를 들면 상기 식 (a1)에 있어서의 X-로 표시되는 1가의 음이온과, 상기 식 (a1)에 있어서의 X- 이외의 양이온과는 상이한 오늄 이온으로 이루어지는 오늄염 등을 들 수 있고, 술포늄염(본 명세서에 있어서, "술포늄염(Q')"이라고도 함)이 바람직하다. X-로 표시되는 1가의 음이온으로서는, 상술한 Rx1 cBY4-c -가 바람직하다.As such an onium salt, for example, an onium salt comprising an onium ion different from a monovalent anion represented by X − in the formula (a1) and a cation other than X − in the formula (a1), etc. and a sulfonium salt (also referred to as "sulfonium salt (Q')" in this specification) is preferable. As the monovalent anion represented by X − , the aforementioned R x1 c BY 4-c − is preferable.
Rx1 cBY4 -c -로 표시되는 1가의 음이온을 갖는 술포늄염(Q')으로서는, 예를 들면 하기 식 (a1')으로 표시되는 술포늄염을 들 수 있다.Examples of the sulfonium salt (Q') having a monovalent anion represented by R x1 c BY 4 -c - include a sulfonium salt represented by the following formula (a1').
(식 중, R1, R2, R3, A1, Rx1, Y 및 c는 상술한 바와 같음.)(Wherein, R 1 , R 2 , R 3 , A1 , R x1 , Y and c are the same as described above.)
상기 식 (a1')으로 표시되는 술포늄염(Q')의 양이온부의 구체예로서는, 이하의 것을 들 수 있다.Specific examples of the cation moiety of the sulfonium salt (Q') represented by the formula (a1') include the following.
술포늄염(Q')으로서는, 또한 상기 식 (a1) (단, 식 중, R1 및 R2는 독립적으로 하기 식 (a2)로 표시되는 기를 나타냄)로 나타내지는 술포늄염을 들 수 있다.Examples of the sulfonium salt (Q') include sulfonium salts represented by the above formula (a1) (wherein, R 1 and R 2 independently represent groups represented by the following formula (a2)).
(식 중, 환 Z1 및 m1은 상술한 대로이며, R4'는 아릴기를 나타냄)(wherein, rings Z 1 and m1 are as described above, and R 4' represents an aryl group)
이러한 술포늄염(Q')의 양이온부의 구체예로서는, 이하의 것을 들 수 있다.Specific examples of the cation moiety of the sulfonium salt (Q') include the following.
술포늄염(Q')의 양이온부의 구체예로서는, 또한 이하의 것을 들 수 있다.Specific examples of the cation moiety of the sulfonium salt (Q') include the following.
(용제)(solvent)
술포늄염(Q)은, 양이온 중합성 화합물에 대한 용해를 용이하게 하기 위해, 미리 양이온 중합을 저해하지 않는 용제(S)에 녹여 두어도 된다.The sulfonium salt (Q) may be previously dissolved in a solvent (S) which does not inhibit cationic polymerization in order to facilitate dissolution in the cationically polymerizable compound.
용제로서는, 카보네이트(프로필렌카보네이트, 에틸렌카보네이트, 1,2-부틸렌카보네이트, 디메틸카보네이트 및 디에틸카보네이트 등); 에스테르(아세트산에틸, 프로피온산메틸, 프로피온산에틸, 부탄산메틸, 부탄산에틸, 펜탄산메틸, 펜탄산에틸, 헥산메틸, 헥산에틸, 헵탄산메틸, 헵탄산에틸 등의 쇄상 알킬에스테르; 아세트산시클로펜틸, 아세트산시클로헥실, 아세트산시클로옥틸, 아세트산메틸시클로헥실, 아세트산에틸시클로헥실, 아세트산프로필시클로헥실, 아세트산이소프로필시클로헥실, 아세트산부틸시클로헥실, 아세트산이소부틸시클로헥실, 아세트산-s-부틸시클로헥실, 아세트산-t-부틸시클로헥실, 아세트산펜틸시클로헥실 등의 환상 알킬에스테르; 락트산에틸, β-프로피오락톤, β-부티로락톤, γ-부티로락톤, δ-발레로락톤 및 ε-카프로락톤 등); β-케토 에스테르 화합물(아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 아세토아세트산-n-프로필, 아세토아세트산이소프로필, 아세토아세트산-n-부틸, α-아세틸γ-부티로락톤 등); β-디케톤 화합물(아세틸아세톤, 2,4-헥산디온, 2,4-헵탄디온 등); 에테르(에틸렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르, 디프로필렌리코르디메틸에테르, 트리에틸렌글리콜디에틸에테르, 트리프로필렌글리콜디부틸에테르 등); 및 에테르에스테르(에틸렌글리콜모노메틸에테르아세트산에스테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세트산에스테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세트산에스테르 및 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세트산에스테르 등) 등을 들 수 있고, 단독 또는 2종 이상으로 이용할 수 있다.Examples of the solvent include carbonates (propylene carbonate, ethylene carbonate, 1,2-butylene carbonate, dimethyl carbonate, diethyl carbonate, etc.); Esters (chain alkyl esters such as ethyl acetate, methyl propionate, ethyl propionate, methyl butanoate, ethyl butanoate, methyl pentanoate, ethyl pentanoate, methyl hexane, ethyl hexane, methyl heptanoate, and ethyl heptanoate; cyclopentyl acetate; Cyclohexyl acetate, cyclooctyl acetate, methyl cyclohexyl acetate, ethyl cyclohexyl acetate, propyl cyclohexyl acetate, isopropyl cyclohexyl acetate, butyl cyclohexyl acetate, isobutyl cyclohexyl acetate, acetate-s-butylcyclohexyl, acetate- cyclic alkyl esters such as t-butylcyclohexyl and pentylcyclohexyl acetate, ethyl lactate, β-propiolactone, β-butyrolactone, γ-butyrolactone, δ-valerolactone and ε-caprolactone); β-keto ester compounds (methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, acetoacetate-n-propyl, acetoacetate isopropyl, acetoacetate-n-butyl, α-acetylγ-butyrolactone, etc.); β-diketone compounds (acetylacetone, 2,4-hexanedione, 2,4-heptanedione, etc.); Ethers (ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol diethyl ether, tripropylene glycol dibutyl ether, etc.) ; and ether esters (such as ethylene glycol monomethyl ether acetate ester, propylene glycol monomethyl ether acetate ester, propylene glycol monoethyl ether acetate ester, and diethylene glycol monobutyl ether acetate ester). Available.
그 외, 종래 공지의 케톤계 용제, 알코올계 용제, 아미드계 용제, 탄화수소계 용제를 이용하여도 된다. 또한, 프로톤성 용제 및/또는 염기성 용제로서 알려진 용제를 이용하여도 된다.In addition, you may use a conventionally well-known ketone type solvent, alcohol type solvent, an amide type solvent, and a hydrocarbon type solvent. Moreover, you may use the solvent known as a protic solvent and/or a basic solvent.
프로톤성 용제로서는, 예를 들면 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 벤질알코올, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르 등의 일가 알코올 및 에틸렌글리콜, 글리세린 등의 다가 알코올과 같은 알코올류; 아세트산, 포름산, (메타)아크릴산과 같은 카르복시산류; 에틸렌 디아민, 디에틸아민과 같은 아민류; N-메틸피롤리돈(NMP)과 같은 환상 아미드(락탐)류; 포름아미드, N,N-디메틸포름아미드와 같은 아미드류; 페놀, p-부틸페놀과 같은 페놀류; 아세틸아세톤, 마론산디에틸과 같은 활성 메틸렌 화합물을 들 수 있다.Examples of the protic solvent include alcohols such as monohydric alcohols such as methanol, ethanol, propanol, butanol, benzyl alcohol and diethylene glycol monomethyl ether and polyhydric alcohols such as ethylene glycol and glycerin; carboxylic acids such as acetic acid, formic acid and (meth)acrylic acid; amines such as ethylenediamine and diethylamine; cyclic amides (lactams) such as N-methylpyrrolidone (NMP); amides such as formamide and N,N-dimethylformamide; phenols such as phenol and p-butylphenol; and active methylene compounds such as acetylacetone and diethyl maronate.
염기성 용제로서는, 예를 들면 상기의 아민류 및 상기의 함질소 아미드류의 예의 외에, 피리딘, 트리에틸아민, N,N-디메틸아세트아미드, 헥사메틸포스포릭트리아미드, 1,3-디메틸-2-이미다졸리디논, N,N,N',N'-테트라메틸우레아, N,N, 2-트리메틸프로피온아미드 등을 들 수 있다.Examples of the basic solvent include pyridine, triethylamine, N,N-dimethylacetamide, hexamethylphosphoric triamide, 1,3-dimethyl-2-, in addition to the above-mentioned amines and nitrogen-containing amides. imidazolidinone, N,N,N',N'-tetramethylurea, N,N,2-trimethylpropionamide, and the like.
용제를 사용하는 경우, 용제의 사용 비율은 본 실시태양의 에너지 감수성 조성물 전체에 대해서, 예를 들면 1∼99 질량%가 바람직하고, 보다 바람직하게는 10∼95 질량%이다.When using a solvent, the use ratio of the solvent is, for example, 1-99 mass % is preferable with respect to the whole energy-sensitive composition of this embodiment, More preferably, it is 10-95 mass %.
(알칼리 가용성 수지)(Alkali-soluble resin)
본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물에는, 필요에 따라서, 알칼리 가용성 수지(A)를 함유시킬 수 있다. 나아가, 본 명세서에 있어서, 알칼리 가용성 수지란 수지 농도 20 질량%의 수지 용액(용매: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트)에 의해서 막두께 1μm의 수지 막을 기판 상에 형성하고, 2.38 질량%의 테트라메틸암모늄히드록시드(TMAH) 수용액에 1분간 침지하였을 때에, 막두께 0.01μm 이상 용해하는 것을 말한다.The energy-sensitive composition according to the present embodiment can contain alkali-soluble resin (A) as needed. Further, in the present specification, alkali-soluble resin refers to a resin film having a film thickness of 1 µm formed on a substrate with a resin solution (solvent: propylene glycol monomethyl ether acetate) having a resin concentration of 20 mass%, and 2.38 mass% tetramethylammonium When immersed in hydroxide (TMAH) aqueous solution for 1 minute, it means to melt|dissolve with a film thickness of 0.01 micrometer or more.
알칼리 가용성 수지로서는, 비스페놀류로부터 유도되는 2개의 글리시딜에테르기를 갖는 에폭시 화합물과 불포화기 함유 모노카르복시산과의 반응물에 대하여, (a) 디카르복시산 혹은 트리카르복실산 또는 그 산무수물, 및 (b) 테트라카르복시산 또는 그의 산 2무수물을 반응시켜서 얻어진 알칼리 가용성 수지(A1), 카르복시기, 페놀 수산기, 또는 술포기(-SO3H) 등의 알칼리 가용성기를 갖는 종래 공지의 수지(A2) 등을 들 수 있다. 본 명세서에 있어서, 바람직하게는, 알칼리 가용성 수지(A2)는 알칼리 가용성 수지(A1) 이외의 알칼리 가용성 수지를 나타낸다. 이들 알칼리 가용성 수지는 얻어지는 경화물이 내열성을 갖는 것을 원하는 경우에도 바람직하다.As the alkali-soluble resin, with respect to a reaction product of an epoxy compound having two glycidyl ether groups derived from bisphenols and a monocarboxylic acid containing an unsaturated group, (a) dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or an acid anhydride thereof, and (b ) alkali-soluble resin (A1) obtained by reacting tetracarboxylic acid or its acid dianhydride, conventionally known resin (A2) having an alkali-soluble group such as a carboxyl group, a phenol hydroxyl group, or a sulfo group (-SO3H), etc. are mentioned. In this specification, Preferably alkali-soluble resin (A2) shows alkali-soluble resins other than alkali-soluble resin (A1). These alkali-soluble resins are preferable also when it is desired that the hardened|cured material obtained has heat resistance.
알칼리 가용성 수지(A2)로서는, 카르드 구조를 갖는 수지, 페놀성 수산기를 갖는 수지, 카르복시기 함유 수지, 폴리이미드 수지, 및 에폭시 수지로 이루어지는 군으로부터 선택되는 수지를 함유하는 것이 바람직하다.As alkali-soluble resin (A2), it is preferable to contain resin chosen from the group which consists of resin which has a card structure, resin which has phenolic hydroxyl group, carboxy group-containing resin, polyimide resin, and an epoxy resin.
알칼리 가용성 수지(A2)로서는 특별히 한정되지 않고, 종래 공지의 알칼리 가용성 수지를 이용할 수 있다. 이 알칼리 가용성 수지는 에틸렌성 불포화기를 갖는 것이어도 되고, 에틸렌성 불포화기를 갖지 않는 것이어도 된다.It does not specifically limit as alkali-soluble resin (A2), Conventionally well-known alkali-soluble resin can be used. What has an ethylenically unsaturated group may be sufficient as this alkali-soluble resin, and the thing which does not have an ethylenically unsaturated group may be sufficient as it.
에틸렌성 불포화기를 갖는 알칼리 가용성 수지로서는, 예를 들면 에폭시 화합물과 불포화 카르복시산과의 반응물을 추가로 다염기산 무수물과 반응시킴으로써 얻어지는 수지를 이용할 수 있다.As alkali-soluble resin which has an ethylenically unsaturated group, resin obtained by making the reaction material of an epoxy compound and unsaturated carboxylic acid further react with polybasic acid anhydride can be used, for example.
그 중에서도, 하기 식 (f-1)로 표시되는 수지가 바람직하다. 이 식 (f-1)로 표시되는 수지는 그 자체가 광 경화성이 높은 점에서 바람직하다.Especially, resin represented by a following formula (f-1) is preferable. Resin represented by this formula (f-1) is preferable at the point with high photocurability itself.
상기 일반식 (f-1) 중, Xf는 하기 식 (f-2)로 표시되는 기를 나타낸다.In the general formula (f-1), X f represents a group represented by the following formula (f-2).
상기 일반식 (f-2) 중, Rf1은 각각 독립적으로 수소 원자, 탄소수 1∼6의 탄화수소기, 또는 할로겐 원자를 나타내고, Rf2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, Wf는 단결합 또는 하기 식 (f-3)으로 표시되는 기를 나타낸다.In the general formula (f-2), R f1 each independently represents a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a halogen atom, R f2 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and W f is A bond or group represented by the following formula (f-3) is shown.
또한, 상기 일반식 (f-1) 중, Yf는 디카르복시산 무수물로부터 산무수물기(-CO-O-CO-)를 제외한 잔기를 나타낸다. 디카르복시산 무수물의 예로서는, 무수 말레산, 무수 숙신산, 무수 이타콘산, 무수 프탈산, 무수 테트라히드로프탈산, 무수 헥사히드로프탈산, 무수 메틸엔도메틸렌테트라히드로프탈산, 무수 클로렌드산, 메틸테트라히드로 무수 프탈산, 무수 글루타르산 등을 들 수 있다.In addition, in the said General formula (f-1), Y f represents the residue except the acid anhydride group (-CO-O-CO-) from dicarboxylic acid anhydride. Examples of dicarboxylic anhydride include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, anhydride glutaric acid etc. are mentioned.
또한, 상기 일반식 (f-1) 중, Zf는 테트라카르복시산 2무수물로부터 2개의 산무수물기를 제외한 잔기를 나타낸다. 테트라카르복시산 2무수물의 예로서는, 피로멜리트산 2무수물, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물, 비페닐테트라카르복시산 2무수물, 비페닐에테르테트라카르복시산 2무수물 등을 들 수 있다.In addition, the following formula (f-1), Z f represents a residue other than two acid anhydride groups from a tetracarboxylic acid dianhydride. Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, and biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride.
또한, 상기 일반식 (f-1) 중, m는 0∼20의 정수를 나타낸다.In addition, in the said General formula (f-1), m represents the integer of 0-20.
또한, 에틸렌성 불포화기를 갖는 알칼리 가용성 수지로서는, 다가 알코올류와 일염기산 또는 다염기산을 축합하여 얻어지는 폴리에스테르프리폴리머에 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 폴리에스테르(메타)아크릴레이트; 폴리올과 2개의 이소시아네이트기를 갖는 화합물을 반응시킨 후, (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 폴리우레탄(메타)아크릴레이트; 비스페놀A형 에폭시 수지, 비스페놀F형 에폭시 수지, 비스페놀S형 에폭시 수지, 페놀 또는 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 레조르형 에폭시 수지, 트리페놀메탄형 에폭시 수지, 폴리카르복시산폴리글리시딜에스테르, 폴리올폴리글리시딜에스테르, 지방족 또는 지환식 에폭시 수지, 아민에폭시 수지, 디히드록시벤젠형 에폭시 수지 등의 에폭시 수지와 (메타)아크릴산을 반응시켜 얻어지는 에폭시(메타)아크릴레이트 수지 등을 이용할 수도 있다.Moreover, as alkali-soluble resin which has an ethylenically unsaturated group, Polyester (meth)acrylate obtained by making (meth)acrylic acid react with the polyester prepolymer obtained by condensing polyhydric alcohol and monobasic acid or polybasic acid; Polyurethane (meth)acrylate obtained by making a polyol and the compound which has two isocyanate groups react, and then making (meth)acrylic acid react; Bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol or cresol novolak type epoxy resin, resor type epoxy resin, triphenol methane type epoxy resin, polycarboxylic acid polyglycidyl ester, polyol polyglycidyl ester An epoxy (meth)acrylate resin obtained by reacting (meth)acrylic acid with an epoxy resin such as a cidyl ester, an aliphatic or alicyclic epoxy resin, an amine epoxy resin, or a dihydroxybenzene type epoxy resin can also be used.
또한, 본 명세서에 있어서, "(메타)아크릴산"은 아크릴산과 메타크릴산의 양쪽을 의미한다. 마찬가지로, "(메타)아크릴레이트"는 아크릴레이트와 메타크릴레이트의 양쪽을 의미한다.In addition, in this specification, "(meth)acrylic acid" means both acrylic acid and methacrylic acid. Likewise, "(meth)acrylate" means both acrylate and methacrylate.
한편, 에틸렌성 불포화기를 갖지 않는 알칼리 가용성 수지로서는 불포화 카르복시산과 지환식기를 갖지 않는 에폭시기 함유 불포화 화합물과 지환식기 함유 불포화 화합물을 적어도 공중합시켜 얻어지는 수지를 이용할 수 있다.On the other hand, as alkali-soluble resin having no ethylenically unsaturated group, resin obtained by copolymerizing at least an unsaturated carboxylic acid, an epoxy group-containing unsaturated compound not having an alicyclic group, and an alicyclic group-containing unsaturated compound can be used.
불포화 카르복시산으로서는 (메타)아크릴산, 크로톤산 등의 모노카르복시산; 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산 등의 디카르복시산; 이들 디카르복시산의 무수물; 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 공중합 반응성, 얻어지는 수지의 알칼리 용해성, 입수의 용이성 등의 점으로부터, (메타)아크릴산 및 무수 말레산이 바람직하다. 이들 불포화 카르복시산은 단독 또는 2종 이상 조합하여서 이용할 수 있다.Examples of the unsaturated carboxylic acid include monocarboxylic acids such as (meth)acrylic acid and crotonic acid; dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, and itaconic acid; anhydrides of these dicarboxylic acids; and the like. Among these, (meth)acrylic acid and maleic anhydride are preferable from points, such as copolymerization reactivity, alkali solubility of resin obtained, and availability. These unsaturated carboxylic acids can be used individually or in combination of 2 or more types.
지환식기를 갖지 않는 에폭시기 함유 불포화 화합물로서는, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-메틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메타)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실(메타)아크릴레이트, 4-옥사테트라시클로[6.2.1.02,703,5]운데카닐(메타)아크릴레이트 등의(메타)아크릴산 에폭시알킬에스테르류; α-에틸아크릴산글리시딜, α-n-프로필아크릴산글리시딜, α-n-부틸아크릴산글리시딜, α-에틸아크릴산-6,7-에폭시헵틸 등의 α-알킬아크릴산 에폭시알킬에스테르류; o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르 등의 글리시딜에테르류; 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 공중합 반응성, 경화 후의 수지의 강도 등의 점으로부터, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-메틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸(메타)아크릴레이트, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, 및 p-비닐벤질글리시딜에테르가 바람직하다. 이들 에폭시기 함유 불포화 화합물은, 단독 또는 2종 이상 조합하여서 이용할 수 있다.Examples of the epoxy group-containing unsaturated compound having no alicyclic group include glycidyl (meth)acrylate, 2-methylglycidyl (meth)acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth)acrylate, and 6,7-epoxyheptyl. (meth)acrylic acid epoxy such as (meth)acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth)acrylate, 4-oxatetracyclo[6.2.1.0 2,7 0 3,5 ]undecanyl (meth)acrylate alkyl esters; α-alkyl acrylic acid epoxyalkyl esters such as α-ethyl acrylate glycidyl, α-n-propyl glycidyl acrylate, α-n-butyl acrylate glycidyl, and α-ethyl acrylic acid-6,7-epoxyheptyl; glycidyl ethers such as o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, and p-vinylbenzyl glycidyl ether; and the like. Among these, glycidyl (meth) acrylate, 2-methylglycidyl (meth) acrylate, 6,7-epoxyheptyl (meth) acrylate, -Vinylbenzylglycidylether, m-vinylbenzylglycidylether, and p-vinylbenzylglycidylether are preferable. These epoxy group-containing unsaturated compounds can be used individually or in combination of 2 or more types.
지환식기 함유 불포화 화합물로서는, 지환식기를 갖는 불포화 화합물이면 특별히 한정되지 않는다. 지환식기는 단환이어도 다환이어도 된이다. 단환의 지환식기로서는, 시클로펜틸기, 시클로헥실기 등을 들 수 있다. 또한, 다환의 지환식기로서는, 아다만틸기, 노르보닐기, 이소보닐기, 트리시클로노닐기, 트리시클로데실기, 테트라시클로도데실기 등을 들 수 있다. 구체적으로, 지환식기 함유 불포화 화합물로서는, 예를 들면 하기 식으로 표시되는 화합물을 들 수 있다.As an alicyclic group-containing unsaturated compound, if it is an unsaturated compound which has an alicyclic group, it will not specifically limit. The alicyclic group may be monocyclic or polycyclic. Examples of the monocyclic alicyclic group include a cyclopentyl group and a cyclohexyl group. Examples of the polycyclic alicyclic group include an adamantyl group, a norbornyl group, an isobornyl group, a tricyclononyl group, a tricyclodecyl group, and a tetracyclododecyl group. Specific examples of the alicyclic group-containing unsaturated compound include compounds represented by the following formula.
상기 일반식 중, Ra3는 수소 원자 또는 메틸기를 나타내고, Ra4는 단결합 또는 탄소수 1∼6의 2가의 지방족 포화 탄화수소기를 나타내고, Ra5는 수소 원자 또는 탄소수 1∼5의 알킬기를 나타낸다. Ra4로서는, 단결합, 직쇄상 또는 분지쇄상의 알킬렌기, 예를 들면 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기, 테트라메틸렌기, 에틸에틸렌기, 펜타메틸렌기, 헥사메틸렌기가 바람직하다. Ra5로서는, 예를 들면 메틸기, 에틸기가 바람직하다.In the above general formula, R a3 represents a hydrogen atom or a methyl group, R a4 represents a single bond or a divalent aliphatic saturated hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, and R a5 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. As R a4 , a single bond, a linear or branched alkylene group, for example, a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a tetramethylene group, an ethylethylene group, a pentamethylene group, or a hexamethylene group is preferable. As R a5 , for example, a methyl group or an ethyl group is preferable.
이 알칼리 가용성 수지 중에 있어서의 상기 불포화 카르복시산에 유래하는 구성 단위의 비율은 3∼25 질량%인 것이 바람직하고, 5∼25 질량%인 것이 보다 바람직하다. 또한, 상기 에폭시기 함유 불포화 화합물에 유래하는 구성 단위의 비율은 71∼95 질량%인 것이 바람직하고, 75∼90 질량%인 것이 보다 바람직하다. 또한, 상기 지환식기 함유 불포화 화합물에 유래하는 구성 단위의 비율은 1∼25 질량%인 것이 바람직하고, 3∼20 질량%인 것이 보다 바람직하고, 5∼15 질량%인 것이 더욱 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 얻어지는 수지의 알칼리 용해성을 적당한 것으로 하면서, 얻어지는 경화물이 충분한 내열성을 가질 수 있다.It is preferable that it is 3-25 mass %, and, as for the ratio of the structural unit derived from the said unsaturated carboxylic acid in this alkali-soluble resin, it is more preferable that it is 5-25 mass %. Moreover, it is preferable that it is 71-95 mass %, and, as for the ratio of the structural unit derived from the said epoxy-group containing unsaturated compound, it is more preferable that it is 75-90 mass %. Moreover, it is preferable that the ratio of the structural unit derived from the said alicyclic group containing unsaturated compound is 1-25 mass %, It is more preferable that it is 3-20 mass %, It is still more preferable that it is 5-15 mass %. By setting it as said range, the hardened|cured material obtained can have sufficient heat resistance, making alkali solubility of resin obtained suitable.
알칼리 가용성 수지의 질량평균분자량은 1000∼40000인 것이 바람직하고, 2000∼30000인 것이 보다 바람직하다. 상기의 범위로 함으로써, 얻어지는 경화물이 충분한 내열성을 가질 수 있다.It is preferable that it is 1000-40000, and, as for the mass average molecular weight of alkali-soluble resin, it is more preferable that it is 2000-30000. By setting it as said range, the hardened|cured material obtained can have sufficient heat resistance.
또한, 알칼리 가용성 수지(A2)에 있어서의 카르복시기 함유 수지로서는, 규소 함유 수지이어도 되고, 예를 들면 하기의 구성 단위를 포함하는 실록산 수지를 들 수 있다. 아래 식 (A2-1)에서 나타나는 구성 단위를 함유하는 것이어도 된다.Moreover, silicon-containing resin may be sufficient as carboxyl group-containing resin in alkali-soluble resin (A2), For example, the siloxane resin containing the following structural unit is mentioned. What contains the structural unit represented by a following formula (A2-1) may be sufficient.
식 (A2-1) 중, Rr1은 그 구조 중에 카르복시기를 적어도 하나가지는 유기기이다. 카르복시기는 연결기를 통해서 Si 원자에 결합하고 있는 것이 바람직하고, 연결기는 예를 들면, 탄소 원자수 1∼10의 직쇄이어도 분기쇄이어도 되는 알킬렌기, 시클로알킬렌기, 혹은 알릴렌기, 또는 이들을 조합한 2가의 기이다.In the formula (A2-1), R r1 is an organic group having at least one carboxy group in its structure. The carboxyl group is preferably bonded to the Si atom through a linking group, and the linking group is, for example, an alkylene group, a cycloalkylene group, or an allylene group, which may be a straight or branched chain having 1 to 10 carbon atoms, or a combination of these 2 is the flag of the family
연결기는, 에테르 결합, 아미노 결합, 아미드 결합, 또는 비닐 결합을 가지고 있어도 되고, 아미드 결합을 가지고 있는 것이 바람직하다. Rr1은 예를 들면, 이하의 것을 들 수 있지만, 이들로 한정되지 않는다. 나아가, 아래 식 중 *는 식 (A2-1) 중의 Si와 결합하는 Rr1의 결합손의 말단을 의미한다.The coupling group may have an ether bond, an amino bond, an amide bond, or a vinyl bond, and it is preferable to have an amide bond. R r1 includes, for example, the following, but is not limited thereto. Furthermore, * in the following formula means the terminal of the bond of R r1 couple|bonded with Si in formula (A2-1).
규소 함유 수지 중의 식 (A2-1)의 구성 단위의 비율은, 예를 들면 1∼90 질량%이다. 규소 함유 수지는 (A2-1) 이외의 종래 공지의 구성 단위를 가지고 있어도 된다.The ratio of the structural unit of Formula (A2-1) in silicon-containing resin is 1-90 mass %, for example. Silicon-containing resin may have a conventionally well-known structural unit other than (A2-1).
규소 함유 수지의 질량평균분자량은, 예를 들면 300∼100000이며, 500∼70000이 보다 바람직하다.The mass average molecular weight of the silicon-containing resin is, for example, 300 to 100000, more preferably 500 to 70000.
알칼리 가용성 수지를 함유하는 경우, 알칼리 가용성 수지의 함유량은 에너지 감수성 조성물 전체(다만, 용제를 제외함)에 대해서, 예를 들면 60 질량% 이하이며, 30 질량% 이하인 것이 바람직하고, 20 질량% 이하인 것이 보다 바람직하고, 15 질량% 이하인 것이 더욱 바람직하고, 이들 범위 내이면, 함유량의 하한치로서는 0 질량% 초과이어도 되고, 예를 들면 3 질량% 이상, 5 질량% 이상이어도 된다. 상기의 범위로 함으로써, 얻어지는 경화물이 충분한 내열성을 가질 수 있다.When an alkali-soluble resin is contained, the content of the alkali-soluble resin is, for example, 60% by mass or less, preferably 30% by mass or less, and 20% by mass or less with respect to the entire energy-sensitive composition (however, excluding the solvent). It is more preferable, and it is still more preferable that it is 15 mass % or less, As long as it is in these ranges, as a lower limit of content, more than 0 mass % may be sufficient, for example, 3 mass % or more and 5 mass % or more may be sufficient. By setting it as said range, the hardened|cured material obtained can have sufficient heat resistance.
(계면활성제)(Surfactants)
본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물에는, 필요에 따라서, 계면활성제를 함유시킬 수 있다. 계면활성제로서는, 예를 들면 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제 등을 들 수 있다.The energy-sensitive composition according to the present embodiment may contain a surfactant if necessary. As surfactant, a fluorochemical surfactant, silicone type surfactant, etc. are mentioned, for example.
(금속 산화물 입자)(metal oxide particles)
본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물에는, 필요에 따라서, 금속 산화물 입자를 함유시킬 수 있다. 이로써, 굴절률의 조정이 가능하고, 저반사성 및/또는 고투명의 경화물을 얻을 수 있다. 금속 산화물 입자로서는 알루미늄, 지르코늄, 티타늄, 아연, 인듐, 주석, 안티몬, 란탄, 세륨, 네오듐, 가돌리늄, 홀뮴, 루테튬, 하프늄, 및 탄탈로부터 선택되는 적어도 일종류의 금속 산화물 입자 등을 들 수 있다. 지르코늄, 티타늄, 또는 세륨의 산화물을 바람직하게 이용할 수 있고, 고굴절률화의 점에서, 특히 바람직하게는 티타늄 산화물 또는 세륨 산화물이다. 이들 금속 산화물 입자의 형상은 특별히 한정되지 않고, 평균 입경이 동적 산란법으로 1∼200 nm의 것을 이용할 수 있고, 보다 바람직하게는 3∼100 nm이다. 금속 산화물 입자의 함유 비율은 에너지 감수성 조성물의 용제를 제외한 성분 중, 예를 들면 1∼120 질량%이며, 3∼110 질량%가 바람직하고, 5∼100 질량%가 보다 바람직하다.The energy-sensitive composition according to the present embodiment may contain metal oxide particles as necessary. Thereby, adjustment of a refractive index is possible, and low-reflectivity and/or highly transparent hardened|cured material can be obtained. Examples of the metal oxide particles include at least one type of metal oxide particles selected from aluminum, zirconium, titanium, zinc, indium, tin, antimony, lanthanum, cerium, neodium, gadolinium, holmium, lutetium, hafnium, and tantalum. . An oxide of zirconium, titanium, or cerium can be preferably used, and from the viewpoint of increasing the refractive index, titanium oxide or cerium oxide is particularly preferable. The shape of these metal oxide particles is not particularly limited, and those having an average particle diameter of 1 to 200 nm by dynamic scattering method can be used, and more preferably 3 to 100 nm. The content rate of the metal oxide particles is, for example, 1-120 mass%, preferably 3-110 mass%, and more preferably 5-100 mass%, among the components excluding the solvent of the energy-sensitive composition.
또한, 본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물에는, 필요에 따라서, 공지의 첨가제(라디칼 광중합 개시제, 증감제, 안료, 분산제, 충전제, 대전 방지제, 난연제, 소포제, 유동 조정제, 광 안정제, 산화 방지제, 밀착성 부여제, 이온 보충제, 착색 방지제, 용제, 비반응성의 수지 및 라디칼 중합성 화합물 등)를 함유시킬 수 있다.In addition, in the energy-sensitive composition according to the present embodiment, if necessary, known additives (radical photopolymerization initiator, sensitizer, pigment, dispersant, filler, antistatic agent, flame retardant, defoaming agent, flow regulator, light stabilizer, antioxidant, adhesion-imparting agents, ion supplements, color inhibitors, solvents, non-reactive resins, radically polymerizable compounds, etc.) may be contained.
특히, 라디칼 광중합 개시제 등을 조합함으로써, 본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물의 열반응성과 광 반응성의 밸런스를 적절히 조정할 수 있다.In particular, by combining a radical photopolymerization initiator or the like, the balance between the thermal reactivity and the photoreactivity of the energy-sensitive composition according to the present embodiment can be appropriately adjusted.
[특성][characteristic]
본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물은, 공기 기류 중 10℃/분에 의해 230℃까지 승온하는 열중량 측정(TG)에 있어서, 피크값으로부터의 중량 감소율이 바람직하게는 10% 이하이다.The energy-sensitive composition according to the present embodiment preferably has a weight reduction rate from the peak value of 10% or less in thermogravimetric measurement (TG) in which the temperature is raised to 230°C at 10°C/min in an air stream.
상술한 바와 같이, 술포늄염(Q)을 포함함으로써 화합물 성분(P)과 술포늄염(Q)을 포함하는 계 중에서, 프로톤의 농도가 올라가고, 화합물 성분(P)에 있어서의 순차 중합이 계속적으로 진행되고 폴리머화가 촉진되고 있다고 추측된다. 이로써, 본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물은 230℃까지 승온한 경우에도 중량 감소율이 바람직하게는 10% 이하로 적다.As described above, by including the sulfonium salt (Q), in the system containing the compound component (P) and the sulfonium salt (Q), the concentration of protons increases, and sequential polymerization in the compound component (P) continues to proceed and it is presumed that the polymerization is promoted. As a result, the energy-sensitive composition according to the present embodiment exhibits a small reduction in weight, preferably 10% or less, even when the temperature is raised to 230°C.
본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물은 유기EL 표시소자용 봉지재 또는 웨이퍼 레벨 렌즈용 경화성 조성물에 이용되어서 바람직하다. 본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물은, 양호한 경화성, 그 중에서도 광경화성을 나타내는 데다가, 고온에 노출되어도 중량 안정성이 우수하고 장기에 걸쳐서 품질이 유지되기 때문에, 유기EL 표시소자용 봉지재 또는 웨이퍼 레벨 렌즈에 이용되어서 바람직하다. 또한, 열 반응성과 광 반응성의 양쪽을 구비하기 때문에 3D 인쇄용 조성물에 이용되어서 바람직하다. 본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물을 유기EL 표시소자용 봉지재, 웨이퍼 레벨 렌즈용 경화성 조성물, 3D 인쇄용 조성물, 또는 잉크젯 인쇄용 조성물에 이용하는 방법도 또한 본 발명의 하나이다.The energy-sensitive composition which concerns on this embodiment is used for the sealing material for organic electroluminescent display elements, or the curable composition for wafer-level lenses, and it is preferable. The energy-sensitive composition according to this embodiment exhibits good curability, particularly photocurability, and has excellent weight stability even when exposed to high temperatures and maintains quality over a long period of time. It is preferable to be used for a lens. Moreover, since it is provided with both thermal reactivity and photoreactivity, it is used for the composition for 3D printing and is preferable. The method of using the energy-sensitive composition which concerns on this embodiment for the sealing material for organic electroluminescent display elements, the curable composition for wafer-level lenses, the composition for 3D printing, or the composition for inkjet printing is also one of this invention.
또한, 본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물은, 예를 들면 코팅액으로서 조제하여서, 폴리이미드 필름 등의 피도포물에 스핀코터, 딥코터, 바코터, 슬릿코터 등의 도포 장치를 이용하여 도포한 후 경화함으로써, 하드코트를 형성할 수 있다. 상기 코팅액은 피도포물이 예를 들면 막두께 10 mm 이하, 바람직하게는 100μm 이하, 예를 들면 50μm 이하, 30μm 이하, 20μm 이하, 더욱이는 15μm 이하와 같은 박막이더라도, 코팅액 내지 하드코트의 경화에 의한 피도포물의 컬 등의 변형의 정도를 억제할 수 있다. 피도포물의 막두께는, 예를 들면 10μm 이상이어도 된다.In addition, the energy-sensitive composition according to the present embodiment is prepared as a coating liquid, for example, and applied to an object to be coated such as a polyimide film using a spin coater, dip coater, bar coater, slit coater or the like coating device. By post-curing, a hard coat can be formed. The coating solution is a thin film such as, for example, a film thickness of 10 mm or less, preferably 100 μm or less, for example 50 μm or less, 30 μm or less, 20 μm or less, and further 15 μm or less. It is possible to suppress the degree of deformation such as curl of the coated object. The film thickness of the to-be-coated object may be 10 micrometers or more, for example.
또한, 일반적으로 조성물의 점도를 내리기 위해서는, 저분자량인 화합물(P1), 예를 들면 에폭시 모노머가 이용되지만, 한편으로 저분자량인 화합물이 배합될수록 내열성이 저하하기 쉽고, 아웃 가스가 발생하기 쉬워진다. 그러나, 본 실시형태와 관련되는 에너지 감수성 조성물은, 술포늄염(Q)을 포함함으로써 점도가 낮아도 내열성이 우수하고 아웃 가스의 발생을 저감할 수 있는 것이 확인되었다. 또한, 의외로, 술포늄염(Q)의 첨가량은 일반적인 양이온 중합 개시제 등의 첨가량에 비해 적은 첨가량이어도 에너지 감수성 조성물의 저점도화, 내열성의 향상 및 아웃 가스의 발생 저감의 효과를 얻어진다는 것이 후술하는 실험에 의해 확인되었다.In addition, in general, in order to lower the viscosity of the composition, a low molecular weight compound (P1), for example, an epoxy monomer is used. On the other hand, as the low molecular weight compound is blended, the heat resistance tends to decrease and outgas is easily generated. . However, it was confirmed that the energy sensitive composition which concerns on this embodiment is excellent in heat resistance and can reduce generation|occurrence|production of an outgas even if a viscosity is low by including a sulfonium salt (Q). In addition, unexpectedly, even if the amount of addition of the sulfonium salt (Q) is small compared to the amount of a general cationic polymerization initiator, etc., the effect of lowering the viscosity of the energy-sensitive composition, improving heat resistance, and reducing the generation of outgas is obtained. was confirmed by
본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물은, 저점도이면서, 내열성이 우수하고 아웃 가스의 발생을 저감할 수 있기 때문에, 저점도의 잉크가 요구되는 잉크젯 인쇄에 대해서도 바람직하게 이용된다. 잉크젯 잉크는 생산성 등의 점으로부터, 비교적 큰 면적에 도포하는 경우, 예를 들면 터치 패널 등의 표시체에 바람직하게 이용되고, 또한 유기EL 표시소자용 봉지재 등의 용도에 바람직하게 이용된다. 본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물을 포함하는 잉크젯 인쇄용 조성물은, 25℃, 전단속도 20(1/s)에서의 점도가 1000 mPa·s (1000 cP) 이하이고, 술포늄염(Q)의 함유량이 조성물 전체 (단, 용제를 제외함)에 대하여 0.001∼1 질량%인 것이 바람직하다.Since the energy-sensitive composition according to the present embodiment is low-viscosity, excellent in heat resistance and capable of reducing the generation of outgas, it is preferably used also for inkjet printing requiring low-viscosity ink. From the viewpoint of productivity, etc., when apply|coating to a comparatively large area, for example, an inkjet ink is used preferably for displays, such as a touch panel, and is used suitably for uses, such as a sealing material for organic electroluminescent display elements. The composition for inkjet printing containing the energy-sensitive composition according to the present embodiment has a viscosity of 1000 mPa·s (1000 cP) or less at 25°C and a shear rate of 20 (1/s), and the content of the sulfonium salt (Q) It is preferable that it is 0.001-1 mass % with respect to this whole composition (however, the solvent is excluded).
<웨이퍼 레벨 렌즈의 제조 방법><Manufacturing method of wafer level lens>
웨이퍼 레벨 렌즈는 상술한 에너지 감수성 조성물을 성형(예를 들면, 캐스팅 성형법, 사출 성형법)함으로써 제조할 수 있다. 또한, 웨이퍼 레벨 렌즈 금형은 금속제, 유리제, 및 플라스틱제의 어느 쪽이어도 된다.A wafer level lens can be manufactured by molding (eg, a casting molding method, an injection molding method) the above-mentioned energy-sensitive composition. Further, the wafer level lens mold may be any of metal, glass, and plastic.
캐스팅 성형법에는 동시성형법이나 개편성형법이 포함되고, 각각 하기 공정을 갖는다.The casting molding method includes a simultaneous molding method and a single piece molding method, each having the following steps.
(동시성형법)(Simultaneous molding method)
공정 1: 상기 에너지 감수성 조성물을 복수개의 렌즈형(型)이 일정 방향으로 정렬한 형상을 갖는 웨이퍼 레벨 렌즈 금형에 흘려 넣고, 가열 및/또는 광 조사를 실시하여서 경화시킴.Step 1: The energy-sensitive composition is poured into a wafer-level lens mold having a shape in which a plurality of lens molds are aligned in a certain direction, and is cured by heating and/or light irradiation.
공정 2: 웨이퍼 레벨 렌즈 금형을 떼내어서 어닐 처리를 실시하고, 웨이퍼 레벨 렌즈가 복수개 결합한 형상을 갖는 경화물을 얻음.Step 2: The wafer-level lens mold is removed and annealed to obtain a cured product having a shape in which a plurality of wafer-level lenses are combined.
공정 3: 웨이퍼 레벨 렌즈가 복수개 결합한 형상을 갖는 경화물을 개편화하여서 웨이퍼 레벨 렌즈를 얻음.Step 3: A wafer-level lens is obtained by separating a cured product having a shape in which a plurality of wafer-level lenses are combined.
(개편성형법)(reformed molding method)
공정 1: 상기 에너지 감수성 조성물을 1개의 렌즈형을 갖는 웨이퍼 레벨 렌즈 금형에 흘려 넣고, 가열 및/또는 광 조사를 실시하여서 경화시킴.Step 1: Pour the energy-sensitive composition into a wafer-level lens mold having a single lens shape, and cure by heating and/or light irradiation.
공정 2: 웨이퍼 레벨 렌즈 금형을 떼내어서 어닐 처리를 실시하고, 웨이퍼 레벨 렌즈를 얻음.Step 2: The wafer-level lens mold is removed and annealed to obtain a wafer-level lens.
(사출성형법)(Injection molding method)
공정 1: 상기 에너지 감수성 조성물을 사출 성형용 웨이퍼 레벨 렌즈 금형에 흘려 넣고, 가열 및/또는 광 조사를 실시하여서 경화시킴.Step 1: Pour the energy-sensitive composition into a wafer-level lens mold for injection molding, and cure by heating and/or light irradiation.
공정 2: 웨이퍼 레벨 렌즈 금형을 떼내어서 어닐 처리를 실시하고, 버(burr)를 절제하여서, 웨이퍼 레벨 렌즈를 얻음.Step 2: The wafer level lens mold is removed, annealed, and a burr is removed to obtain a wafer level lens.
상술한 공정에 있어서의 가열 처리는, 예를 들면 100∼200℃ 정도(바람직하게는 120∼160℃)의 온도에서 단시간(예를 들면 1∼10분간 정도, 바람직하게는 1∼3분 )이어도 된다. 광 조사는, 그 광원으로서 예를 들면, 수은 램프, 크세논 램프, 카본아크 램프, 메탈할라이드 램프, 태양광, 전자선, 레이저광 등을 사용할 수 있다. 또한, 광 조사 후, 예를 들면 50∼180℃ 정도의 온도에서 가열 처리를 실시하여서 추가로 경화 반응을 진행시켜도 된다.The heat treatment in the above-described step may be, for example, at a temperature of about 100 to 200°C (preferably 120 to 160°C) for a short time (for example, about 1 to 10 minutes, preferably 1 to 3 minutes). do. For light irradiation, a mercury lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, a metal halide lamp, sunlight, an electron beam, a laser beam etc. can be used as the light source, for example. Moreover, after light irradiation, you may heat-process at the temperature of about 50-180 degreeC, for example, and you may advance hardening reaction further.
어닐 처리에 의해, 내부 뒤틈림을 제거할 수 있다. 어닐 처리는, 예를 들면 100∼200℃의 온도에서 30분∼1시간 정도 가열하는 것이 바람직하다.By the annealing treatment, internal warpage can be removed. The annealing treatment is preferably performed, for example, by heating at a temperature of 100 to 200°C for about 30 minutes to 1 hour.
상기 동시성형법에 있어서는, 에너지 감수성 조성물은 저점도에서 유동성이 우수한 것이, 금형에 대한 충전성이 우수한 점에서 바람직하다. 상기 동시성형법에 있어서, 사용되는 에너지 감수성 조성물의 25℃, 전단 속도 20(1/s)에 있어서의 점도는, 예를 들면 0.05∼5 Pa·s정도, 바람직하게는 0.1∼2 Pa·s이다. 상기 범위의 점도를 갖는 에너지 감수성 조성물은 유동성이 우수하고 기포가 잔존하기 어렵고, 주입압의 상승을 억제하면서 금형에 충전할 수 있다. 즉, 도포성 및 충전성이 우수하고 성형 작업 전체에 걸쳐서 작업성이 우수하다.In the co-molding method, the energy-sensitive composition is preferably low in viscosity and excellent in fluidity in view of excellent filling properties to the mold. In the co-molding method, the energy-sensitive composition used has a viscosity at 25° C. and a shear rate of 20 (1/s), for example, about 0.05 to 5 Pa·s, preferably 0.1 to 2 Pa·s. . The energy-sensitive composition having a viscosity in the above range has excellent fluidity, bubbles hardly remain, and can be filled in a mold while suppressing an increase in injection pressure. That is, it is excellent in applicability|paintability and filling property, and it is excellent in workability|operativity throughout the molding operation|work.
에너지 감수성 조성물의 경화물은 100∼250℃ 정도의 고온 환경 하에서도 우수한 내열성을 갖는다. 그 때문에, 금형으로부터 떼어낸 후에 어닐 처리를 실시하여도, 우수한 렌즈 중심 위치 정밀도를 갖는 웨이퍼 레벨 렌즈를 효율적으로 제조할 수 있다. 그 때문에, 상기 동시성형법의 공정 3에서는, 웨이퍼 레벨 렌즈가 복수개 결합한 형상을 갖는 경화물을 복수매 겹치고 최상부의 경화물을 기준으로 절단 라인의 위치를 결정하여서 절단함으로써, 웨이퍼 레벨 렌즈를 파손하지 않고 분리시킬 수 있고, 웨이퍼 레벨 렌즈 또는 그 적층체를 저비용으로 효율적으로 제조할 수 있다.The cured product of the energy-sensitive composition has excellent heat resistance even in a high-temperature environment of about 100 to 250°C. Therefore, even if it anneals after removing from a metal mold|die, the wafer-level lens which has the outstanding lens center position precision can be manufactured efficiently. Therefore, in step 3 of the simultaneous molding method, a plurality of cured products having a shape in which a plurality of wafer-level lenses are combined are overlapped, and the position of the cutting line is determined based on the uppermost cured product and cut, without damaging the wafer-level lens. It can be separated, and a wafer level lens or its laminated body can be manufactured efficiently at low cost.
본 실시태양의 에너지 감수성 조성물에 의해 얻어지는 웨이퍼 레벨 렌즈는 고온 환경 하에 장기에 걸쳐서 노출하여도 황변을 방지할 수 있고 높은 투명성을 유지할 수 있다. 그 때문에, 예를 들면, 카메라(차재 카메라, 디지털 카메라, PC용 카메라, 휴대전화용 카메라, 감시 카메라 등의 카메라, 특히 웨이퍼 레벨 카메라)의 촬상용 렌즈, 안경 렌즈, 광빔 집광렌즈, 광 확산용 렌즈 등으로서 특히 내열성이 요구되는 차재 카메라용 웨이퍼 레벨 렌즈로서 적합하게 사용할 수 있다.The wafer-level lens obtained by the energy-sensitive composition of the present embodiment can prevent yellowing and maintain high transparency even when exposed for a long period of time under a high-temperature environment. Therefore, for example, an imaging lens of a camera (in-vehicle camera, digital camera, PC camera, mobile phone camera, surveillance camera, etc., especially wafer level camera), spectacle lens, light beam condensing lens, light diffusion As a lens etc., it can use suitably as a wafer level lens for in-vehicle cameras which especially heat resistance is calculated|required.
더욱이 또한, 본 실시태양의 에너지 감수성 조성물에 의해 얻어지는 웨이퍼 레벨 렌즈는 내열성이 우수하기 때문에, 회로 기판에 실장하는 경우, 리플로우에 의해서 납땜 부착 실장이 가능하다. 그 때문에, 이러한 웨이퍼 레벨 렌즈를 구비하는 카메라는 PCB (Printed Circuit Board) 기반 상에 다른 전자 부품의 표면 실장과 동일한 납땜 리플로우 프로세스로 직접 실장할 수 있고, 매우 효율적인 제품 제조가 가능해진다.Furthermore, since the wafer-level lens obtained by the energy-sensitive composition of this embodiment is excellent in heat resistance, when mounted on a circuit board, it can be mounted by soldering by reflow. Therefore, the camera having such a wafer-level lens can be directly mounted on a printed circuit board (PCB) based on the same solder reflow process as the surface mounting of other electronic components, and very efficient product manufacturing is possible.
<경화물><Cured material>
본 발명에 따른 경화물은, 상술한 화합물(P1), 화합물(P2), 및 화합물(Px)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 화합물 성분(P)과 술포늄염(Q)을 포함하는 에너지 감수성 조성물을 경화한 경화물이다. 본 발명에 따른 경화물은, 상술한 바와 같이, 열에 대한 중량 안정성이 우수하다. 이것은, 에너지 감수성 조성물 중에 술포늄염(Q)을 포함함으로써 화합물 성분(P)과 술포늄염(Q)을 포함하는 계 중에서, 프로톤의 농도가 올라가기 때문에, 화합물 성분(P)에 있어서의 순차 중합이 계속적으로 진행되어서 폴리머화가 촉진되고 열에 의해 분해하는 모노머가 적기 때문에라고 추측된다. 상기 경화물은, 예를 들면 유기EL 표시소자용 봉지재, 웨이퍼 레벨 렌즈, 상술한 하드코트 등으로서 적합하다. 또한, 플렉서블 디바이스용으로도 적합하다.The cured product according to the present invention is energy sensitive comprising at least one compound component (P) selected from the group consisting of the above-described compound (P1), compound (P2), and compound (Px) and a sulfonium salt (Q) It is the hardened|cured material which hardened|cured the composition. As described above, the cured product according to the present invention has excellent weight stability against heat. This is because the concentration of protons in the system containing the compound component (P) and the sulfonium salt (Q) increases by including the sulfonium salt (Q) in the energy-sensitive composition, so sequential polymerization in the compound component (P) is It is presumed that this is because the polymerization proceeds continuously, and there are few monomers that are decomposed by heat. The cured product is suitable, for example, as a sealing material for an organic EL display element, a wafer level lens, the above-mentioned hard coat, and the like. It is also suitable for flexible devices.
본 실시태양의 경화물은, 또한, 에너지 감수성 조성물의 성분을 선택함으로써, 굴절률이 높은 경화물로 할 수 있다. 고굴절률의 경화물을 얻는 관점에서 바람직한 성분으로서는, 예를 들면 금속 산화물 입자, 화합물(P1)로서의 에폭시기 함유 플루오렌 화합물 등을 들 수 있고, 이들은 단독 또는 2종 이상 조합하여서 이용할 수 있고, 고굴절률화의 점에서 금속 산화물 입자를 이용하는 것이 바람직하다. 얻어지는 경화물의 굴절률은, 예를 들면, 파장 633 nm에서의 굴절률로서 1.7 이상의 고굴절률을 얻을 수 있고, 금속 산화물 입자를 이용하는 경우 1.75 이상, 나아가 1.8 이상의 고굴절률화도 가능하다. 상기 파장 633 nm에서의 굴절률의 상한은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 1.9 이하, 1.85 이하 등이다.The hardened|cured material of this embodiment can also be set as the hardened|cured material with a high refractive index by selecting the component of an energy-sensitive composition. Preferred components from the viewpoint of obtaining a cured product having a high refractive index include, for example, metal oxide particles and an epoxy group-containing fluorene compound as the compound (P1), and these can be used alone or in combination of two or more, high refractive index It is preferable to use metal oxide particle|grains from the point of formation. The refractive index of the obtained cured product can obtain a high refractive index of 1.7 or more as a refractive index at a wavelength of 633 nm, for example, and when metal oxide particles are used, a high refractive index of 1.75 or more and further 1.8 or more is possible. Although the upper limit of the refractive index in the said wavelength 633 nm is not specifically limited, For example, they are 1.9 or less, 1.85 or less.
<경화물의 제조 방법><Method for producing cured product>
본 발명에 따른 경화물의 제조 방법은, 상술한 화합물(P1), 화합물(P2), 및 화합물(Px)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 화합물 성분(P)과 술포늄염(Q)을 포함하는 에너지 감수성 조성물을 중합 및/또는 가교시키는 것을 포함한다. 에너지 감수성 조성물은 에너지 감수성을 갖기 때문에, 활성 에너지를 부여함으로써 중합 및/또는 가교시켜서 경화시키는 것이 가능하다. 부여하는 활성 에너지로서는, 술포늄염(Q)의 분해를 유발하는 에너지를 갖는 한 어떠한 것이어도 되지만, 열, 가시광, 자외선, 전자선, 및 X선 등을 들 수 있다.The method for producing a cured product according to the present invention comprises at least one compound component (P) selected from the group consisting of the above-described compound (P1), compound (P2), and compound (Px) and a sulfonium salt (Q) polymerizing and/or crosslinking the energy sensitive composition. Since the energy-sensitive composition is energy-sensitive, it can be cured by polymerization and/or crosslinking by imparting active energy. The active energy to be imparted may be any one as long as it has energy to induce decomposition of the sulfonium salt (Q), and examples thereof include heat, visible light, ultraviolet rays, electron beams, and X-rays.
<잉크젯 잉크><Inkjet Ink>
본 실시태양에 관련되는 에너지 감수성 조성물은 점도를, 예를 들면, 25℃에서 E형 점도계를 이용하여 측정한 값으로, 5000 mPa·s(5000 cP) 이하, 바람직하게는 100 mPa·s(100 cP) 이하와 같이 낮게 조제하는 경우, 잉크젯 잉크로서 바람직하게 이용할 수 있다. 잉크젯 잉크로서 이용하는 본 실시태양의 에너지 감수성 조성물의 점도는, 상기 범위 내이면, 예를 들면 1 mPa·s(1cP) 이상이어도 되고, 10 mPa·s(10 cP) 이상이어도 된다. 잉크젯 잉크로서 이용하는 상기 에너지 감수성 조성물은, 상술한 저점도로 조제하는 경우의 술포늄염(Q)의 함유량인 것이 바람직하다.The energy-sensitive composition according to the present embodiment has a viscosity of, for example, a value measured using an E-type viscometer at 25°C, and is 5000 mPa·s (5000 cP) or less, preferably 100 mPa·s (100 cP) When preparing low as follows, it can use suitably as an inkjet ink. The viscosity of the energy-sensitive composition of this embodiment used as an inkjet ink may be, for example, 1 mPa·s (1 cP) or more, or 10 mPa·s (10 cP) or more, as long as it is within the above range. It is preferable that the said energy-sensitive composition used as an inkjet ink is content of the sulfonium salt (Q) in the case of preparing to the above-mentioned low viscosity.
[실시예][Example]
이하, 본 발명의 실시예를 나타내고, 본 발명에 대해서 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은 하기 실시예로 한정되는 것은 아니다.EXAMPLES Hereinafter, although an Example of this invention is shown and this invention is demonstrated in more detail, this invention is not limited to the following Example.
<<실시예 1∼3 및 비교예 1∼9>><<Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 9>>
실시예 1∼3 및 비교예 1∼9에서는, 하기에 나타내는 화합물(P1)과 술포늄염 등을 표 1에 나타내는 배합비로 혼합하고, 혼합액을 제작하였다. 또한, 표 1 중, 배합비의 단위는 질량부이다.In Examples 1-3 and Comparative Examples 1-9, the compound (P1) shown below, a sulfonium salt, etc. were mixed at the compounding ratio shown in Table 1, and the liquid mixture was produced. In addition, in Table 1, the unit of a compounding ratio is a mass part.
<재료><Material>
[화합물(P1)][Compound (P1)]
○ 하기 식 (P1-1a)로 표시되는 화합물○ A compound represented by the following formula (P1-1a)
○ 하기 식 (P1-1c)로 표시되는 화합물○ A compound represented by the following formula (P1-1c)
○ 하기 식 (P1-2a)로 표시되는 화합물○ A compound represented by the following formula (P1-2a)
[술포늄염][sulfonium salt]
○ 하기 식 (Q1)로 표시되는 술포늄염○ Sulfonium salt represented by the following formula (Q1)
○ 하기 식 (z1)로 표시되는 술포늄염○ A sulfonium salt represented by the following formula (z1)
○ 하기 식 (z2)로 표시되는 술폰 화합물○ A sulfone compound represented by the following formula (z2)
○ 트리페닐술포늄테트라키스(펜타플루오로페닐)보레이트○ Triphenylsulfoniumtetrakis(pentafluorophenyl)borate
[평가 1][Evaluation 1]
실시예 1∼3 및 비교예 1∼9에서 얻어진 혼합액을 시차열/열중량 측정 장치(TG/DTA-6200, 세이코 인스투르먼트사 제)에 의해서 공기 기류 중 승온 속도 10℃/분의 조건 하에서 20℃로부터 250℃까지 승온하고, TG/DSC 곡선을 얻었다. 얻어진 TG곡선에 있어서, 피크값으로부터의 중량 감소율을 산출하였다. 그 결과를 표 1에 나타낸다. 또한, 중량 감소율의 평가는 하기의 기준에 의한다.The mixed solutions obtained in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 9 were subjected to a differential thermal/thermogravimetry apparatus (TG/DTA-6200, manufactured by Seiko Instruments) at 20° C. under the condition of a temperature increase rate of 10° C./min in an air stream. The temperature was raised to 250° C., and a TG/DSC curve was obtained. In the obtained TG curve, the weight reduction rate from the peak value was computed. The results are shown in Table 1. In addition, evaluation of a weight reduction rate is based on the following reference|standard.
○: 중량 감소율이 10% 이하○: Weight reduction rate of 10% or less
△: 중량 감소율이 10% 초과 40% 미만△: weight reduction rate of more than 10% and less than 40%
×: 중량 감소율이 40% 이상×: weight reduction rate of 40% or more
또한, 실시예 3, 비교예 7, 8, 9에서 얻어진 TG/DSC 곡선을 도 1∼도 4에 나타낸다. 또한, 마찬가지의 조건에서 식 (P1-2a)로 표시되는 화합물(P1) 단독을 승온하였을 경우의 TG/DSC 곡선을 참고예로서 도 5에 나타낸다.In addition, the TG/DSC curves obtained in Example 3 and Comparative Examples 7, 8 and 9 are shown in Figs. Moreover, the TG/DSC curve when the temperature of compound (P1) represented by Formula (P1-2a) alone was raised under the same conditions is shown in FIG. 5 as a reference example.
[고찰][Review]
표 1 및 도 1∼4에 나타내는 TG곡선에 나타내는 바와 같이, 화합물(P1)과 술포늄염(Q)을 이용한 실시예 1∼실시예 3에서는 중량 감소율이 10% 이하이며 비교예 1∼9에 비해 양호한 고내열성을 나타내었다. 또한, 도 1에 나타내는 실시예 3의 DSC 곡선에서는 110.6℃, 222.3℃에서 완만한 피크가 보여졌다. 이것은, 화합물(P1)의 에폭시기가 개환하고, 순차 중합이 진행되고 있는 것을 나타내는 피크라고 추찰되고, 110℃ 부근의 저온으로부터 중합이 진행되고 있다고 추찰된다. 이에 대하여, 도 2∼4에 나타내는 비교예의 DSC 곡선에서는 날카로운 피크를 보여졌다. 이것은, 상기 식 (z1)로 표시되는 술포늄염 또는 상기 식 (z2)로 표시되는 술폰 화합물이 분해하고 있는 것을 나타내는 피크라고 추찰되고, 이로써 중량 감소율이 커져 버린다고 추찰된다. 예를 들면, 도 2에 나타내는 바와 같이, 비교예 7에서는 170℃ 부근에서 중량이 약 65% 감소하고 있다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 비교예 8에서는 150℃ 부근에서 중량이 약 30% 감소하고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 비교예 9에서는 170℃ 부근에서 중량이 약 50%나 저하되고 있다. 또한, 도 5의 결과로부터, 식 (P1-2a)로 표시되는 화합물(P1) 단독으로는 DSC 곡선에 있어서 50℃ 이하에 날카로운 피크가 보여졌고, 50℃ 이하에서 식 (P1-2a)로 표시되는 화합물(P1)의 분해가 시작되고, 100℃ 부근으로부터 중량이 내려가서 비로소 165℃ 부근에서 약 80%나 감소하는 것이 확인되었다.As shown in the TG curves shown in Table 1 and FIGS. 1 to 4, in Examples 1 to 3 using the compound (P1) and the sulfonium salt (Q), the weight reduction rate was 10% or less, compared with Comparative Examples 1 to 9 It showed good high heat resistance. Moreover, in the DSC curve of Example 3 shown in FIG. 1, gentle peaks were seen at 110.6 degreeC and 222.3 degreeC. It is estimated that this is a peak indicating that the epoxy group of the compound (P1) is ring-opened and polymerization is proceeding sequentially, and it is inferred that polymerization is proceeding from a low temperature around 110°C. In contrast, sharp peaks were observed in the DSC curves of the comparative examples shown in FIGS. 2 to 4 . This is presumed to be a peak indicating that the sulfonium salt represented by the formula (z1) or the sulfone compound represented by the formula (z2) is decomposed, and it is presumed that the weight reduction rate increases accordingly. For example, as shown in FIG. 2, in Comparative Example 7, the weight decreased by about 65% at around 170°C. As shown in Fig. 3, in Comparative Example 8, the weight is decreased by about 30% around 150°C. As shown in FIG. 4 , in Comparative Example 9, the weight decreased by about 50% at around 170°C. In addition, from the result of FIG. 5, a sharp peak was seen at 50° C. or lower in the DSC curve alone with the compound (P1) represented by the formula (P1-2a), and at 50° C. or lower, it is expressed by the formula (P1-2a) It was confirmed that the decomposition of the compound (P1) used as the compound (P1) started, and the weight decreased from around 100°C until about 80% decreased at around 165°C.
[평가 2][Evaluation 2]
실시예 1에서 얻어진 혼합액의 질량비율을 식 (P1-1a)의 화합물:식 (Q1)의 술포늄염 = 99:1로 변경한 혼합액을 유리 기판 상에 스핀코터로 도포하여서 얻은 두께 20μm의 도막에 대해서, HMW-532D(ORC사 제)를 이용하여 1000 mJ/cm2의 노광량으로 ghi선을 조사한 후, 상기 막의 파장 400 nm에 있어서의 투과율을 MCPD-3000(오오츠카전자사 제)을 이용하여 측정하였다. 투과율은 99.6%였다.The mixture obtained by changing the mass ratio of the mixed solution obtained in Example 1 to the compound of formula (P1-1a): the sulfonium salt of the formula (Q1) = 99:1 was applied on a glass substrate with a spin coater on a 20 μm thick coating film obtained For example, after irradiating ghi rays with an exposure dose of 1000 mJ/cm 2 using HMW-532D (manufactured by ORC), the transmittance of the film at a wavelength of 400 nm was measured using MCPD-3000 (manufactured by Otsuka Electronics). did. The transmittance was 99.6%.
[고찰][Review]
이 결과로부터, 후술하는 실시예 6∼9에 있어서, 실시예 1과 동일한 화합물(P1)과 술포늄염(Q)을 함유하는 코팅액을 폴리이미드 필름 상에 도포하여서 형성한 하드코트에 대해서도, 그 투과율에 악영향을 미치지 않을 것이라는 것이 시사된다.From this result, in Examples 6 to 9 to be described later, the transmittance of the hard coat formed by coating the coating solution containing the same compound (P1) and sulfonium salt (Q) as in Example 1 on a polyimide film. It is suggested that there will be no adverse effect on
<<실시예 4, 5>><<Examples 4 and 5>>
화합물(P1)로서 상기 식 (P1-1a)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물 또는 하기 식 (P1-7a)로 표시되는 옥세탄 화합물인 비스-1-에틸-3-옥세타닐메틸에테르, 및 상기 식 (Q1)로 표시되는 술포늄염을 표 2에 나타내는 배합비로 혼합하고, 얻어진 혼합물에 대해서 자외선 경화기를 이용하여 노광량 100 mJ/cm2에 의한 노광(브로드밴드) 후, 실시예 4는 150℃, 2분간의 포스트베이크를 실시하고, 실시예 5에서는 포스트베이크를 실시하지 않는다고 하는 경화 조건에 의해 경화를 시도했는데, 실시예 4, 5의 혼합물은 어느 것이라도, 태크(tack)를 발생시키지 않고 경화하였다. 또한, 표 2 중 배합비의 단위는 질량부이다.Bis-1-ethyl-3-oxetanylmethyl ether, which is an alicyclic epoxy compound represented by the formula (P1-1a) or an oxetane compound represented by the following formula (P1-7a) as the compound (P1), and The sulfonium salt represented by the formula (Q1) was mixed at the compounding ratio shown in Table 2, and the resulting mixture was exposed (broadband) at an exposure dose of 100 mJ/cm 2 using an ultraviolet curing machine, followed by Example 4 at 150° C., 2 Post-baking was performed for minutes, and curing was attempted under curing conditions of not performing post-baking in Example 5, but the mixtures of Examples 4 and 5 were cured without generating a tack. . In addition, in Table 2, the unit of a compounding ratio is a mass part.
[고찰][Review]
실시예 4 및 5의 결과로부터, 화합물 성분(P) 내지 화합물(P1)로서 옥세탄 화합물을 이용하는 경우에도, 술포늄염(Q)을 배합함으로써 양호한 경화성을 나타내는 것이 확인되었다. 또한, 실시예 5의 결과로부터, 화합물(P1)로서 옥세탄 화합물과 지환식 에폭시 화합물을 병용하여도 양호한 경화성을 나타내는 것이 확인되었다.From the results of Examples 4 and 5, even when using an oxetane compound as a compound component (P) - a compound (P1), it was confirmed that favorable sclerosis|hardenability was exhibited by mix|blending a sulfonium salt (Q). Moreover, it was confirmed from the result of Example 5 that even if it used together an oxetane compound and an alicyclic epoxy compound as a compound (P1), exhibiting favorable sclerosis|hardenability.
<<실시예 6∼9 및 비교예 10∼13>><<Examples 6-9 and Comparative Examples 10-13>>
우선, 폴리이미드로 이루어지는 폴리이미드 필름 1∼4를 하기와 같이 준비하였다.First, polyimide films 1 to 4 made of polyimide were prepared as follows.
[폴리이미드 필름 1의 제조 방법][Method for Producing Polyimide Film 1]
반응기로서 교반기, 질소 주입 장치, 적하 깔때기, 온도 조절기 및 냉각기를 구비한 1L 반응기에 질소를 통과시키면서 N,N-디메틸아세트아미드(DMAc) 832g를 채운 후, 반응기의 온도를 25℃로 한 후, 비스트리플루오로메틸벤지딘(TFDB) 64.046g(0.2 mol)를 반응 용기 내의 용매에 용해하고, 이 용액을 25℃로 유지하였다. 그리고, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)헥사플루오로프로판 디2무수물(6FDA) 31.09g(0.07 mol)과 비페닐테트라카르복시산 2무수물(BPDA) 8.83g(0.03 mol)를 투입한 후, 일정 시간 동안 교반하여서 용해 및 반응시켰다. 이 때, 용액의 온도는 25℃로 유지하였다. 그리고, 염화테레프탈로일(TPC) 20.302g(0.1 mol)를 첨가하고, 고형분 농도 13 중량%의 폴리아믹산용액을 얻었다. 상기 폴리아믹산 용액에 피리딘 25.6g, 무수 아세트산 33.1g를 투입하여서 25℃에서 30분 교반한 후, 추가로 70℃에서 1시간 교반하고, 상온에 냉각하고, 이것을 메탄올 20L에 침전시켜서, 침전된 고형분을 여과하여서 분쇄한 후, 100℃에서 진공으로 6시간 건조하여서 111 g의 고형분말의 폴리이미드를 얻었다.After filling 832 g of N,N-dimethylacetamide (DMAc) while passing nitrogen into a 1L reactor equipped with a stirrer, nitrogen injection device, dropping funnel, temperature controller and cooler as a reactor, the temperature of the reactor was set to 25° C., 64.046 g (0.2 mol) of bistrifluoromethylbenzidine (TFDB) was dissolved in a solvent in a reaction vessel, and the solution was maintained at 25°C. Then, 31.09 g (0.07 mol) of 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride (6FDA) and 8.83 g (0.03 mol) of biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA) were added. After that, it was dissolved and reacted by stirring for a certain period of time. At this time, the temperature of the solution was maintained at 25 ℃. Then, 20.302 g (0.1 mol) of terephthaloyl chloride (TPC) was added to obtain a polyamic acid solution having a solid content concentration of 13 wt%. 25.6 g of pyridine and 33.1 g of acetic anhydride were added to the polyamic acid solution, stirred at 25° C. for 30 minutes, stirred at 70° C. for 1 hour, cooled to room temperature, and precipitated in 20 L of methanol, precipitated solids was filtered and pulverized, and then dried at 100° C. under vacuum for 6 hours to obtain 111 g of polyimide as a solid powder.
표면에 OH기가 결합된 비정질 실리카 입자 0.03g(0.03wt%)를 N,N-디메틸아세트아미드(DMAc)에 분산 농도 0.1%로 투입하고, 용매가 투명하게 될 때까지 초음파 처리를 실시한 후, 상기 100g의 고형 분말의 폴리이미드를 670g의 N,N-디메틸아세트아미드(DMAc)에 녹여 13 wt%의 용액을 수득하였다. 이와 같이 수득된 용액을 스텐레스판에 도포한 후, 340μm의 두께로 캐스팅하고, 130℃의 열풍으로 30분 건조한 후, 필름을 스텐레스판으로부터 박리하고, 프레임에 핀으로 고정하였다. 필름이 고정된 프레임을 진공 오븐에 넣고, 100℃로부터 300℃까지 2시간 동안 서서히 가열한 후, 서서히 냉각하고, 프레임으로부터 분리하여 폴리이미드 필름을 수득하였다. 그 후, 최종 열처리 공정으로서 추가로 300℃에서 30분간 열처리 하였다. 얻어진 폴리이미드 필름 1의 막두께는 50μm, 전광선 투과율은 88%, 황색도(YI)는 2.5이었다.0.03 g (0.03 wt%) of amorphous silica particles having OH groups bonded to the surface were added to N,N-dimethylacetamide (DMAc) at a dispersion concentration of 0.1%, followed by ultrasonication until the solvent became transparent, and then 100 g of solid powder polyimide was dissolved in 670 g of N,N-dimethylacetamide (DMAc) to obtain a 13 wt% solution. The solution thus obtained was applied to a stainless plate, cast to a thickness of 340 μm, dried with hot air at 130° C. for 30 minutes, and then the film was peeled from the stainless plate and fixed to the frame with pins. The frame to which the film was fixed was placed in a vacuum oven, and then slowly heated from 100° C. to 300° C. for 2 hours, cooled slowly, and separated from the frame to obtain a polyimide film. Thereafter, as a final heat treatment step, heat treatment was further performed at 300° C. for 30 minutes. The film thickness of the obtained polyimide film 1 was 50 micrometers, the total light transmittance was 88 %, and yellowness (YI) was 2.5.
[폴리이미드 필름 2의 제조 방법][Method for Producing Polyimide Film 2]
폴리이미드 필름 1의 한 면에, 중량평균분자량이 2000 g/mol의 폴리실라잔(MOPS-1800, Az Materials사 제)을 디부틸에테르(DBE)에 2 wt%로 녹인 용액을 와이어로 도포한 후, 약 80℃의 온도로 건조하여서 두께 300 nm의 폴리실라잔막을 형성하였다. 그 후, 상온에서 약 5분간 방치한 후, 폴리실라잔막을 약 250℃의 온도에서 열경화시켜서 실리콘 산화물층을 형성하고, 무색 투명 폴리이미드 필름/실리콘 산화물층의 구조를 갖는 폴리이미드 필름 2를 제조하였다. 얻어진 폴리이미드 필름 2의 막두께는 50μm, 전광선 투과율은 92%, 황색도(YI)는 1.0이었다.On one side of polyimide film 1, a solution of 2 wt% of polysilazane (MOPS-1800, manufactured by Az Materials) having a weight average molecular weight of 2000 g/mol in dibutyl ether (DBE) was applied with a wire. Then, it was dried at a temperature of about 80° C. to form a polysilazane film having a thickness of 300 nm. Thereafter, after standing at room temperature for about 5 minutes, the polysilazane film is thermally cured at a temperature of about 250° C. to form a silicon oxide layer, and
[폴리이미드 필름 3의 제조 방법][Method for Producing Polyimide Film 3]
오일배스를 구비한 교반봉 부착 3L 세퍼러블 플라스크에, 질소 가스를 도입하면서, N-메틸피롤리돈(NMP) 1000g를 가하고, 3,3-(디아미노디페닐)술폰(디아민 1이라고 함)을 232.4g 교반하면서 가하고, 이어서 피로멜리트산 2무수물을 218.12g 가하여서, 실온에서 30분 교반하였다. 이것을 50℃로 승온하고, 12시간 교반한 후, 양 말단 아민 변성 메틸페닐실리콘 오일(신에츠 화학사 제: X22-1660B-3(수평균분자량 4400)) 105.6g을 NMP 298g에 용해하고, 적하 깔때기를 사용하여서 적하하여 가하였다. 80℃로 승온하고, 1시간 교반한 후, 오일배스를 때내어서 실온으로 되돌리고, 투명한 폴리아미드산의 NMP 용액(이하, 바니스라고도 기재한다)을 얻었다. 얻어진 폴리아미드산의 중량평균분자량(Mw)은 84000이었다.1000 g of N-methylpyrrolidone (NMP) was added to a 3 L separable flask equipped with an oil bath and equipped with a stirring bar while nitrogen gas was introduced, and 3,3-(diaminodiphenyl)sulfone (referred to as diamine 1) 232.4 g of pyromellitic dianhydride was added while stirring, and then 218.12 g of pyromellitic dianhydride was added, followed by stirring at room temperature for 30 minutes. This was heated to 50° C. and stirred for 12 hours, then 105.6 g of both terminal amine-modified methylphenyl silicone oil (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.: X22-1660B-3 (number average molecular weight 4400)) was dissolved in 298 g of NMP, and a dropping funnel was used. Thus, it was added dropwise. After heating up to 80 degreeC and stirring for 1 hour, the oil bath was removed, and it returned to room temperature, and the NMP solution of a transparent polyamic acid (it is also described hereafter as varnish) was obtained. The weight average molecular weight (Mw) of the obtained polyamic acid was 84000.
상기 바니스를, 바코터로 무(無)-알칼리 유리 기판(두께 0.7mm)에 도공하고, 실온에서 5분간∼10분간 레벨링을 실시하고, 종형(縱型) 큐어 오븐(코요린드버그사 제, 형식명 VF-2000B)로 140℃에서 60분간 가열하고, 추가로 질소 분위기(산소 농도 100 ppm) 하에서 350℃로 60분간 가열하고, 실온으로 24시간 정치하고, 수지 필름을 유리로부터 박리하고, 폴리이미드 필름을 제작하였다. 얻어진 폴리이미드 필름 3의 막두께는 20μm, 전광선 투과율은 88%, 황색도(YI)는 7.0이었다.The varnish is applied to an alkali-free glass substrate (thickness 0.7 mm) with a bar coater, leveled at room temperature for 5 minutes to 10 minutes, and a vertical curing oven (manufactured by Koyo Lindbergh, model). VF-2000B) at 140°C for 60 minutes, further heated at 350°C for 60 minutes under a nitrogen atmosphere (oxygen concentration: 100 ppm), left still at room temperature for 24 hours, the resin film is peeled from the glass, and polyimide A film was made. The film thickness of the obtained polyimide film 3 was 20 micrometers, the total light transmittance was 88 %, and yellowness (YI) was 7.0.
[폴리이미드 필름 4의 제조 방법][Method for Producing Polyimide Film 4]
(이미다졸 화합물(d)의 합성)(Synthesis of imidazole compound (d))
우선, 하기 식의 구조의 신남산 유도체 30g을 메탄올 200g에 용해시킨 후, 메탄올 중에 수산화칼륨 7g을 첨가하였다. 이어서, 메탄올 용액을 40℃에서 교반하였다. 메탄올을 류거하고, 잔사를 물 200 g에 현탁시켰다. 얻어진 현탁액에 테트라히드로푸란 200g을 혼합, 교반하고, 수상(水相)을 분액하였다. 빙랭 하에, 염산 4g을 첨가, 교반한 후에, 아세트산에틸 100g을 혼합, 교반하였다. 혼합액을 정치한 후, 유상(油相)을 분취하였다. 유상으로부터 목적물을 정석(晶析)시키고, 석출물을 회수하여서, 하기 구조의 이미다졸 화합물(d)을 얻었다.First, 30 g of a cinnamic acid derivative having the structure of the following formula was dissolved in 200 g of methanol, and then 7 g of potassium hydroxide was added in methanol. Then, the methanol solution was stirred at 40°C. Methanol was distilled off, and the residue was suspended in 200 g of water. 200 g of tetrahydrofuran was mixed with the obtained suspension and stirred, and the aqueous phase was liquid-separated. After adding and stirring 4 g of hydrochloric acid under ice cooling, 100 g of ethyl acetate was mixed and stirred. After allowing the liquid mixture to stand, the oil phase was fractionated. The target substance was crystallized from the oil phase, the precipitate was collect|recovered, and the imidazole compound (d) of the following structure was obtained.
(테트라카르복시산 2무수물의 조제)(Preparation of tetracarboxylic dianhydride)
국제공개 제2011/099518호의 합성예 1, 실시예 1 및 실시예 2에 기재된 방법에 따라서, 하기 식으로 표시되는 테트라카르복시산 2무수물(노르보난-2-스피로-α-시클로펜타논-α'-스피로-2"-노르보난-5,5",6,6"-테트라카르복시산 2무수물)을 조제하였다.According to the method described in Synthesis Example 1, Example 1 and Example 2 of International Publication No. 2011/099518, tetracarboxylic dianhydride represented by the following formula (norbornane-2-spiro-α-cyclopentanone-α′- spiro-2"-norbornane-5,5",6,6"-tetracarboxylic dianhydride) was prepared.
(폴리아미드산의 조제)(Preparation of polyamic acid)
우선, 30ml의 3구 플라스크를 히트암으로 가열하여서 충분히 건조시켰다. 이어서, 3구 플라스크 내의 분위기 가스를 질소로 치환하고, 3구 플라스크 내를 질소 분위기로 하였다. 3구 플라스크 내에, 4,4'-디아미노벤즈아닐리드 0.2045 g(0.90mmol: 일본순양약품사 제: DABAN)를 첨가한 후, N,N,N',N'-테트라메틸우레아(TMU)를 3.12g 첨가하였다. 3구 플라스크의 내용물을 교반하여서, TMU 중에 방향족 디아민(DABAN)이 분산한 슬러리액을 얻었다.First, a 30 ml three-necked flask was heated with a heat arm and dried sufficiently. Next, the atmospheric gas in the three necked flask was replaced with nitrogen, and the inside of the three necked flask was made into nitrogen atmosphere. In a 3-neck flask, 0.2045 g (0.90 mmol: Nippon Sunyang Pharmaceutical Co., Ltd.: DABAN) of 4,4'-diaminobenzanilide was added, and then N,N,N',N'-tetramethylurea (TMU) was added. 3.12 g was added. The contents of the three-neck flask were stirred to obtain a slurry liquid in which aromatic diamine (DABAN) was dispersed in TMU.
이어서, 3구 플라스크 내에 상기 식의 테트라카르복시산 2무수물 0.3459g(0.90 mmol) 첨가한 후, 질소 분위기 하에, 실온(25℃)에서 12시간 플라스크의 내용물을 교반하여서 반응액을 얻었다. 이와 같이 하여서 반응액 중에 폴리아미드산이 15 질량%(TMU 용제: 85 질량부)가 되는 반응액을 형성하였다.Then, 0.3459 g (0.90 mmol) of tetracarboxylic dianhydride of the above formula was added into the three-necked flask, and the contents of the flask were stirred at room temperature (25° C.) for 12 hours under a nitrogen atmosphere to obtain a reaction solution. In this way, a reaction solution was formed in which the polyamic acid content was 15 mass % (TMU solvent: 85 mass parts) in the reaction solution.
(이미다졸 화합물(d)의 첨가 공정)(Addition step of imidazole compound (d))
상술한 바와 같이 하여서 얻어진 반응액에, 질소 분위기 하에서 합성한 이미다졸 화합물(d)(0.206g, 반응액을 100 질량부로 하였을 경우에 대해서 5.6 질량부)를 가하였다. 이어서, 반응액을 25℃에서 12시간 교반하여서, 이미다졸 화합물(d)과 폴리아미드산을 포함하는 액상의 조성물을 얻었다. 상기 조성물에 있어서의 고형분 100 질량부에 대해서, 첨가제로서 하기 식으로 표시되는 실란 커플링제를 1.5 질량부 첨가한 폴리이미드 전구체 조성물을 얻었다.To the reaction solution obtained as described above, the imidazole compound (d) synthesized under a nitrogen atmosphere (0.206 g, 5.6 parts by mass relative to the case where the reaction solution was 100 parts by mass) was added. Next, the reaction solution was stirred at 25°C for 12 hours to obtain a liquid composition containing the imidazole compound (d) and polyamic acid. The polyimide precursor composition which added 1.5 mass parts of silane coupling agents represented by a following formula as an additive with respect to 100 mass parts of solid content in the said composition was obtained.
(폴리이미드막의 조제)(Preparation of polyimide film)
유리 기판(대형 슬라이드 글래스, 마츠나미 초자공업사 제의 상품명 "S9213", 세로: 76 mm, 가로 52 mm, 두께 1.3 mm) 위에, 상술한 바와 같이 하여서 얻어진 폴리이미드 전구체 조성물을 가열 경화 후의 도막의 두께가 13μm가 되도록 스핀코트하여서, 도막을 형성하였다. 이어서, 도막이 형성된 유리 기판을 60℃의 핫 플레이트위에 얹어서 2시간 정치하여서, 상기 도막으로부터 용매를 증발시켜 제거하였다.The thickness of the coating film after heat curing of the polyimide precursor composition obtained as described above on a glass substrate (large slide glass, trade name "S9213" manufactured by Matsunami Chozo Industry Co., Ltd., length: 76 mm, width 52 mm, thickness 1.3 mm) It was spin-coated so that it might become 13 micrometers, and the coating film was formed. Next, the glass substrate on which the coating film was formed was placed on a hot plate at 60 DEG C, left still for 2 hours, and the solvent was removed from the coating film by evaporation.
용매의 제거 후, 도막이 형성된 유리 기판을 3 L/분의 유량으로 질소가 흐르고 있는 이너트오븐에 투입하였다.After removal of the solvent, the glass substrate on which the coating film was formed was put into an inert oven in which nitrogen was flowing at a flow rate of 3 L/min.
이너트오븐 내에서, 질소 분위기(산소 농도 100 ppm) 하에, 25℃의 온도 조건에서 0.5시간 정치한 후, 135℃의 온도 조건에서 0.5시간 가열하고, 추가로 300℃의 온도 조건(최종 가열 온도)에서 1시간 가열하여, 도막을 경화시키켜서고, 상기 유리 기판 상에 폴리이미드로 이루어지는 박막(폴리이미드 필름)이 코트된 폴리이미드 코트 유리를 얻었다.In an inert oven, under a nitrogen atmosphere (oxygen concentration of 100 ppm), after standing at a temperature condition of 25°C for 0.5 hours, heated at a temperature condition of 135°C for 0.5 hours, and further under a temperature condition of 300°C (final heating temperature) ), the coating film was hardened by heating, and the polyimide coated glass in which the thin film (polyimide film) which consists of polyimide was coated on the said glass substrate was obtained.
얻어진 폴리이미드 코트 유리를, 90℃의 열수 중에 침지하여, 유리 기판으로부터 폴리이미드 필름을 박리시켜서, 폴리이미드 필름 4(세로 76 mm, 가로 52 mm, 두께 13μm의 크기의 필름)를 얻었다.The obtained polyimide coated glass was immersed in hot water at 90°C to peel the polyimide film from the glass substrate to obtain a polyimide film 4 (a film having a size of 76 mm in length, 52 mm in width, and 13 µm in thickness).
얻어진 폴리이미드 필름의 재질인 수지의 분자 구조를 동정하기 위해서, IR 측정기(일본분광 주식회사 제, 상품명: FT/IR-4100)을 이용하여서, 폴리이미드 필름의 시료의 IR스펙트럼을 측정하였다. 측정의 결과, 폴리이미드 필름의 재질인 수지의 IR스펙트럼에서는, 이미드카르보닐의 C=O 신축 진동이 1696.2cm-1에 관찰되는 것을 알 수 있었다. 이러한 결과 등에 근거하여서 동정된 분자 구조로부터, 얻어진 폴리이미드 필름은 확실하게 폴리이미드 수지로 이루어지는 것이라는 점이 확인되었다.In order to identify the molecular structure of the resin which is the material of the obtained polyimide film, the IR spectrum of the sample of the polyimide film was measured using an IR measuring instrument (made by Nippon Spectroscopy Corporation, trade name: FT/IR-4100). As a result of the measurement, it was found that C=O stretching vibration of imide carbonyl was observed at 1696.2 cm -1 in the IR spectrum of the resin, which is the material of the polyimide film. From the molecular structure identified based on these results and the like, it was confirmed that the obtained polyimide film was surely made of a polyimide resin.
얻어진 폴리이미드 필름 4의 전광선 투과율은 88%, 황색도(YI)는 3.5이었다.The obtained
또한, 필름의 전광선 투과율의 값(단위: %), 및 황색도(YI)는 측정 장치로서 일본전색공업사 제의 상품명 "헤이즈미터 NDH-5000"을 이용하여서 JIS K7361-1(1997년 발행)에 준거한 측정을 실시함으로써 구하였다.In addition, the value (unit: %) of the total light transmittance of the film, and the yellowness (YI) were measured in JIS K7361-1 (published in 1997) using the product name "Hazemeter NDH-5000" manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd. as a measuring device. It calculated|required by performing the measurement based on it.
[코팅액의 조제][Preparation of coating solution]
상기 식 (P1-1a)로 표시되는 화합물(P1)과 상기 식 (Q1)로 표시되는 술포늄염을 그 질량비 99:1로 함유하는 에너지 감광성 조성물을 용제(프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(PGMEA))에 용해시켜서, 용제의 비율이 80 질량%가 되는 코팅액 1을 준비하였다.An energy photosensitive composition containing the compound (P1) represented by the formula (P1-1a) and the sulfonium salt represented by the formula (Q1) in a mass ratio of 99:1 as a solvent (propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA)) was dissolved to prepare a coating solution 1 having a solvent ratio of 80% by mass.
[비교용의 코팅액의 조제][Preparation of coating liquid for comparison]
아크릴모노머(디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트)와 중합 개시제(1-히드록시-시클로헥실-페닐-케톤)를 그 질량비 99:1로 함유하는 감광성 조성물을 용제(PGMEA)에 용해시켜서, 용제의 비율이 80 질량%가 되는 비교용의 코팅액 2를 준비하였다.A photosensitive composition containing an acryl monomer (dipentaerythritol hexaacrylate) and a polymerization initiator (1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone) in a mass ratio of 99:1 is dissolved in a solvent (PGMEA), the solvent ratio
[평가 3][Evaluation 3]
코팅액 1 및 비교용의 코팅액 2의 각각을 웨이퍼에 붙인 폴리이미드 필름 1∼4의 한 면에 스핀코터로 도포한 후, 80℃의 온도로 건조해 두께 4μm의 도막을 얻었다. 그 후, 365 nm의 파장의 자외선 경화기를 이용하여 100 mJ/cm2로 코팅층에 조사하여서, 하드코트(경화막)가 한 면에 형성된 각 폴리이미드 필름을 얻었다. 얻어진 각 폴리이미드 필름을 웨이퍼로부터 박리하고, 외관을 육안으로 관찰하였다.Each of the coating solution 1 and the
[결과·고찰][Results and considerations]
본 실시예와 관련되는 코팅액 1을 이용한 하드코트를 형성한 폴리이미드 필름 1∼4(실시예 6∼9)에서는, 모두 필름의 투명성이 떨어지지 않고, 또한 코팅액 내지 하드코트의 경화에 의한 필름의 컬의 정도가 작고, 경화 수축이 작은 것이 확인되었다.In all of the polyimide films 1 to 4 (Examples 6 to 9) in which the hard coat was formed using the coating solution 1 according to the present example, the transparency of the film did not deteriorate, and the film curl due to curing of the coating solution or the hard coat. It was confirmed that the degree of was small and the cure shrinkage was small.
이에 대해서, 비교용의 코팅액 2를 이용한 하드코트를 형성한 폴리이미드 필름 1∼4(비교예 10∼13)에서는, 약간 황색으로 변색하고, 코팅액 내지 하드코트의 경화에 의한 컬이 컸다. 본 실시예와 관련되는 코팅액 1로 이루어지는 하드코트는, 코팅액 2로 이루어지는 하드코트에 비하여, 경화 수축율이 작다고 생각되며, 도포 대상인 폴리이미드 필름의 변형의 정도가 억제되는 것이 확인되었다.On the other hand, in the polyimide films 1-4 (Comparative Examples 10-13) in which the hard coat was formed using the
[평가 4][Evaluation 4]
평가 3에 있어서, 폴리이미드 필름 1∼4상에 형성한 각 하드코트의 표면저항 값을 Hiresta MCP-HT450 (미츠비시 애널리테크사 제), 프로브 UR-100, 측정 전압 1,000 V에 의해 측정하였다. 표면저항 값은 어느 것이라도 1ㅧ1015Ω 초과하였다.In evaluation 3, the value of the surface resistance of each hard coat formed on the polyimide films 1 to 4 was measured by Hiresta MCP-HT450 (manufactured by Mitsubishi Analytech), probe UR-100, and a measurement voltage of 1,000 V. Any surface resistance value exceeded 1ㅧ10 15 Ω.
이 결과로부터, 본 실시예와 관련되는 코팅액 1은 표면저항이 높은 하드코트를 형성할 수 있는 것이 확인되었다.From this result, it was confirmed that the coating liquid 1 concerning this Example can form a hard coat with high surface resistance.
<<실시예 10∼14 및 비교예 14∼15>><<Examples 10-14 and Comparative Examples 14-15>>
실시예 10∼14 및 비교예 14∼15에서는, 실시예 1, 3에서 이용한 화합물 (P1-1a), (P1-2a), 술포늄염(Q1), 하기에 나타내는 화합물(P1-6d), 술포늄염 등(z3)을 표 1에 나타내는 배합비로 혼합하고, 혼합액을 제작하였다. 또한, 표 3 중, 배합비의 단위는 질량부이다.In Examples 10 to 14 and Comparative Examples 14 to 15, the compounds (P1-1a) and (P1-2a), the sulfonium salt (Q1) used in Examples 1 and 3, the compound (P1-6d) shown below, and sulfo The nium salt etc. (z3) were mixed in the compounding ratio shown in Table 1, and the liquid mixture was produced. In addition, in Table 3, the unit of a compounding ratio is a mass part.
<재료><Material>
[화합물(p1-6d)][Compound (p1-6d)]
[술포늄염 등(z3)][sulfonium salt, etc. (z3)]
[평가 5][Evaluation 5]
실시예 10∼14 및 비교예 14∼15에서 얻어진 혼합액의 점도를, E형 점도계를 이용하여 25℃, 1∼100 rpm의 조건에서 측정하였다. 그 결과를 표 3에 나타낸다. 또한, 화합물(P1-1a)의 점도는 60 mPa·s(60 cP) 정도, 화합물(P1-2a)의 점도는 20 mPa·s(20 cP) 정도, 화합물(P1-6d)의 점도는 200 mPa·s(200 cP) 정도였다.The viscosity of the liquid mixture obtained in Examples 10-14 and Comparative Examples 14-15 was measured at 25 degreeC and 1-100 rpm conditions using the E-type viscometer. The results are shown in Table 3. In addition, the viscosity of compound (P1-1a) is about 60 mPa·s (60 cP), the viscosity of compound (P1-2a) is about 20 mPa·s (20 cP), and the viscosity of compound (P1-6d) is 200 It was about mPa·s (200 cP).
실시예 10∼14 및 비교예 14∼15에서 얻어진 혼합액 0.3g을 유리 바이알에 정칭 밀봉하고, 자외선 조사기 (HMW-532 D, ORC사 제)를 이용하여 노광량 1500 mJ/cm2에 의해 노광한 후, 100℃에서 15분, 85℃에서 100시간 포스트베이크를 실시하고, 각 시료를 제작하였다.0.3 g of the mixture obtained in Examples 10 to 14 and Comparative Examples 14 to 15 was precisely sealed in a glass vial, and exposed to light at an exposure dose of 1500 mJ/cm 2 using an ultraviolet irradiator (HMW-532 D, manufactured by ORC). , and post-baking at 100°C for 15 minutes and at 85°C for 100 hours to prepare each sample.
상기 각 시료를, 헤드스페이스 샘플러 (Turbo Matrix ATD, 퍼킨엘머사 제)에 세트하고, 100℃에서 30분간 가열한 후, 가스크로마토그래피 질량 분석 장치 (Clarus 580, 퍼킨엘머사 제)를 이용하여 아웃 가스를 측정하였다. 그 결과를 표 3에 나타낸다. 또한, 표 중 비교예 14의 측정치(면적%)를 100으로 한 상대치로 나타낸다.Each of the above samples was set in a headspace sampler (Turbo Matrix ATD, manufactured by Perkin Elmer), heated at 100° C. for 30 minutes, and then out using a gas chromatography mass spectrometer (Clarus 580, manufactured by Perkin Elmer). Gas was measured. The results are shown in Table 3. In addition, the measured value (area %) of the comparative example 14 in a table|surface is shown with the relative value which made 100.
[고찰][Review]
표 3에 나타내는 바와 같이, 화합물(P1-1a)과 술포늄염(Q1)을 이용한 실시예 10은 술포늄염(Q1)을 이용하지 않는 비교예 14에 비하여, 점도가 동등하면서, 아웃 가스의 발생량도 적은 것이 확인되었다. 마찬가지로, 화합물(P1-1a)과 화합물(P1-6d)과 술포늄염(Q1)을 이용한 실시예 14는, 술포늄염(Q1)을 이용하지 않는 비교예 15에 비하여, 점도가 동등하면서, 아웃 가스의 발생량이 적은 것이 확인되었다.As shown in Table 3, Example 10 using the compound (P1-1a) and the sulfonium salt (Q1) compared with Comparative Example 14 not using the sulfonium salt (Q1) had the same viscosity and the amount of outgas generated little was confirmed. Similarly, Example 14 using the compound (P1-1a), the compound (P1-6d), and the sulfonium salt (Q1) compared with Comparative Example 15 not using the sulfonium salt (Q1) had the same viscosity as the outgas was found to be low.
또한, 실시예 10, 11의 결과로부터 알 수 있듯이, 술포늄염(Q1)의 양은 매우 소량에서도 혼합액(에너지 감수성 조성물)의 점도를 저하시키고, 아웃 가스를 저감시키는 효과가 있는 것이 확인되었다. 마찬가지로, 실시예 12, 13의 결과로부터 알 수 있듯이, 술포늄염(Q1)의 양은 매우 소량에서도 혼합액(에너지 감수성 조성물)의 점도를 저하시키고, 아웃 가스를 저감시키는 효과가 있는 것이 확인되었다.Moreover, as can be seen from the results of Examples 10 and 11, it was confirmed that the amount of the sulfonium salt (Q1) was effective in reducing the outgas by reducing the viscosity of the mixed solution (energy-sensitive composition) even in a very small amount. Similarly, as can be seen from the results of Examples 12 and 13, it was confirmed that the amount of the sulfonium salt (Q1) was effective in reducing the outgas by reducing the viscosity of the mixed solution (energy-sensitive composition) even in a very small amount.
실시예 11, 12의 결과로부터, 화합물 성분(P) 내지 화합물(P1)의 합계 함유량이 동일한 경우, 화합물 성분(P) 내지 화합물(P1)로서는, 화합물(P1-1a) 단독 보다도, 화합물(P1-1a)과 화합물(P1-2a)을 병용하는 쪽이, 혼합액(에너지 감수성 조성물)의 점도를 저하시키고, 아웃 가스를 저감시키는 효과가 있는 것이 확인되었다. 이것으로부터, 화합물 성분(P) 내지 화합물(P1)로서는, 상술한 식 (P1-1)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물과 식 (P1-2)로 표시되는 지환식 에폭시 화합물을 병용하는 것이 바람직한 경우가 있는 것이 시사된다.From the results of Examples 11 and 12, when the total content of the compound component (P) to the compound (P1) is the same, as the compound component (P) to the compound (P1), the compound (P1) rather than the compound (P1-1a) alone It was confirmed that using -1a) and compound (P1-2a) together reduced the viscosity of the liquid mixture (energy-sensitive composition) and had an effect of reducing outgas. From this, when it is preferable to use together the alicyclic epoxy compound represented by the above-mentioned formula (P1-1) and the alicyclic epoxy compound represented by a formula (P1-2) as a compound component (P) - a compound (P1) It is suggested that there is
<<실시예 15∼24>><<Examples 15-24>>
[고굴절률의 에너지 감수성 조성물의 조제][Preparation of energy-sensitive composition of high refractive index]
실시예 15∼24에서는, 하기에 나타내는 양이온적 및/혹은 산촉매적으로 중합성 및/또는 가교성의 화합물(P1)과 술포늄염 등을 표 4에 나타내는 배합비로 혼합하고, 에너지 감수성 조성물을 제작하였다. 또한, 표 4 중, 배합비의 단위는 질량부이며, 용제의 배합 비율은 질량비이다. 실시예 23에서는, 실시예 15의 (P1) 성분과 (Q1)의 총합 100 질량부에 대해서, 10 질량부의 산화세륨(평균 입경: 50 nm)를 추가로 첨가하여 조제하였다. 실시예 24에서는, 실시예 15의 (P1) 성분과 (Q1)의 총합 100 질량부에 대해서, 100 질량부의 산화티탄(평균 입경: 5∼10 nm)를 추가로 첨가하여 조제하였다. 실시예 15∼23에서는, 용제를 제외한 성분의 농도가 20 질량%가 되도록 용제량을 조정하였다. 실시예 24에서는, 용제를 제외한 성분의 농도가 10 질량%가 되도록 용제량을 조정하였다.In Examples 15 to 24, the cationic and/or acid catalytically polymerizable and/or crosslinkable compound (P1) and sulfonium salt etc. shown below were mixed in the compounding ratio shown in Table 4, and energy-sensitive composition was produced. In addition, in Table 4, the unit of a compounding ratio is a mass part, and the compounding ratio of a solvent is mass ratio. In Example 23, it was prepared by further adding 10 parts by mass of cerium oxide (average particle size: 50 nm) to 100 parts by mass of the total of the component (P1) and (Q1) of Example 15. In Example 24, 100 mass parts of titanium oxide (average particle diameter: 5-10 nm) was further added with respect to 100 mass parts of total of (P1) component and (Q1) of Example 15, and it was prepared. In Examples 15-23, the amount of solvent was adjusted so that the density|concentration of the component except a solvent might become 20 mass %. In Example 24, the solvent amount was adjusted so that the density|concentration of the component except a solvent might be 10 mass %.
<재료><Material>
[화합물(P)] (화합물(P1))[Compound (P)] (Compound (P1))
○ 하기 식 (P1-8a)로 표시되는 화합물 (9,9-비스(6글리시딜옥시나프탈렌-2-일)-9H-플루오렌)○ A compound represented by the following formula (P1-8a) (9,9-bis(6-glycidyloxynaphthalen-2-yl)-9H-fluorene)
○ (P1-9) 비스페놀A형 에폭시 수지 (비스페놀A와 에피클로로히드린과의 축합 반응물)○ (P1-9) Bisphenol A type epoxy resin (condensation product of bisphenol A and epichlorohydrin)
[알칼리 가용성 수지][Alkali-soluble resin]
○ 알칼리 가용성 수지(A1a)의 조제○ Preparation of alkali-soluble resin (A1a)
우선, 500 ml 4구 플라스크 중에 3,4-에폭시시클로헥실메틸(3,4-에폭시)시클로헥산카르복실레이트 0.34 mol, 아크릴산 0.68 mol, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 139.0g 및 브롬화 테트라에틸암모늄(TEAB) 2.15g을 투입하고, 100∼105℃에서 가열 하에 20 hr 교반하여서 반응시켰다. 이어서, 플라스크 내에 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복시산 2무수물 0.12 mol, 1,2,3,6-테트라히드로프탈산무수물 0.27 mol를 투입하고, 120∼125℃에서 가열 하에 8시간 교반하여서 반응시켰다. 추가로, 메타크릴산글리시딜 0.28 mol를 투입하고, 100∼105℃에서 가열 하에 8시간 교반하고, 알칼리 가용성 수지(A1a)를 얻었다. 얻어진 알칼리 가용성 수지(A1a)의 고형분 농도는 57.0wt%, 산가(고형분 환산)는 82 mgKOH/g, GPC 분석에 의한 Mw는 3500이었다.First, in a 500 ml four-necked flask, 0.34 mol of 3,4-epoxycyclohexylmethyl (3,4-epoxy) cyclohexanecarboxylate, 0.68 mol of acrylic acid, 139.0 g of propylene glycol monomethyl ether acetate and tetraethylammonium bromide (TEAB) ) was added and reacted by stirring for 20 hr under heating at 100 to 105°C. Then, 0.12 mol of 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 0.27 mol of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride were added into the flask, and heated at 120 to 125° C. for 8 hours. It was stirred and reacted. Furthermore, 0.28 mol of glycidyl methacrylate was thrown in, it stirred under heating at 100-105 degreeC for 8 hours, and alkali-soluble resin (A1a) was obtained. The solid content concentration of the obtained alkali-soluble resin (A1a) was 57.0 wt%, the acid value (solid content conversion) was 82 mgKOH/g, and Mw by GPC analysis was 3500.
○ 알칼리 가용성 수지(A2a)의 조제○ Preparation of alkali-soluble resin (A2a)
우선, 500 ml 4구 플라스크 중에, 비스페놀플루오렌형 에폭시 수지(에폭시 당량 235) 235g, 테트라메틸암모늄클로라이드 110mg, 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 100mg, 및 아크릴산 72.0g을 투입하고, 여기에 25 ml/분의 속도로 공기를 불어넣으면서 90∼100℃에서 가열 용해하였다. 이어서, 용액이 백탁한 상태인 채 서서히 승온하고, 120℃로 가열하여서 완전 용해시켰다. 이 때, 용액은 점차 투명 점조로 되었지만, 그대로 교반을 계속하였다. 그 사이, 산가를 측정하고, 1.0mgKOH/g 미만이 될 때까지 가열교반을 계속하였다. 산가가 목표치에 이를 때까지 12시간을 필요로 하였다. 그리고 실온까지 냉각하고, 무색 투명하고 고체상의 하기 식 (f-4)로 표시되는 비스페놀플루오렌형 에폭시아크릴레이트를 얻었다.First, in a 500 ml four-neck flask, 235 g of bisphenol fluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, and 72.0 g of acrylic acid are put Then, it was dissolved by heating at 90-100° C. while blowing air at a rate of 25 ml/min. Then, while the solution was in a cloudy state, the temperature was gradually increased, and the solution was completely dissolved by heating at 120°C. At this time, the solution gradually became transparent and viscous, but stirring was continued as it was. In the meantime, the acid value was measured and heating and stirring was continued until it became less than 1.0 mgKOH/g. It took 12 hours for the acid value to reach the target value. And it cooled to room temperature, and obtained the bisphenol fluorene type epoxy acrylate represented by the following formula (f-4) which is colorless and transparent and is solid.
이어서, 이와 같이 하여서 얻어진 상기의 비스페놀플루오렌형 에폭시아크릴레이트 307.0g에 3-메톡시부틸아세테이트 600g을 가하여 용해한 후, 벤조페논테트라카르복시산 2무수물 80.5g 및 브롬화 테트라에틸암모늄 1g을 혼합하고, 서서히 승온하여서 110∼115℃에서 4시간 반응시켰다. 산무수물기의 소실을 확인한 후, 1,2,3,6-테트라히드로무수프탈산 38.0g을 혼합하고, 90℃에서 6시간 반응시켜, 카르드 구조를 갖는 알칼리 가용성 수지(A2a)를 얻었다. 산무수물기의 소실은 IR 스펙트럼에 의해 확인하였다.Next, 600 g of 3-methoxybutyl acetate was added to and dissolved in 307.0 g of the bisphenol fluorene type epoxy acrylate obtained in this way, 80.5 g of benzophenone tetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were mixed, and the temperature was gradually increased. Thus, the reaction was carried out at 110 to 115°C for 4 hours. After confirming disappearance of an acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed, it was made to react at 90 degreeC for 6 hours, and alkali-soluble resin (A2a) which has a card|card structure was obtained. The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by the IR spectrum.
또한, 이 카르드 구조를 갖는 알칼리 가용성 수지(A2a)는, 상술한 일반식 (f-1)로 표시되는 화합물에 상당한다.In addition, alkali-soluble resin (A2a) which has this card structure corresponds to the compound represented by General formula (f-1) mentioned above.
[첨가제][additive]
○ (Add-1)○ (Add-1)
폴리에테르 변성 폴리디메틸실록산〔빅크케미재팬사 제, BYK302〕Polyether-modified polydimethylsiloxane [manufactured by Bick Chemie Japan, BYK302]
○ (Add-2)○ (Add-2)
퍼플루오로알킬기 함유 올리고머〔DIC사 제, F-477〕Perfluoroalkyl group-containing oligomer [manufactured by DIC, F-477]
[용제][solvent]
○ (S1) 아세트산시클로헥실○ (S1) cyclohexyl acetate
○ (S2) 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세트산에스테르○ (S2) Diethylene glycol monobutyl ether acetate ester
○ (S3) 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세트산에스테르○ (S3) Propylene glycol monomethyl ether acetate ester
○ (S4) 디에틸렌글리콜메틸에틸에테르○ (S4) Diethylene glycol methyl ethyl ether
○ (S5) N-메틸피롤리돈○ (S5) N-methylpyrrolidone
[평가 6][Evaluation 6]
실시예 15∼24의 각 에너지 감수성 조성물을 유리 기판에 스핀코터를 이용하여 도포하고, 100℃에서 120초간 프리베이크를 실시하고, 자외선 경화기를 이용하여 노광량 100 mJ/cm2에 의한 노광(브로드밴드) 후, 150℃, 20분간(실시예 24는 230℃, 20분간)의 포스트베이크 처리를 실시하였다. 실시예 15∼23의 경화막의 막두께는 500 nm이며, 실시예 24는 50 nm였다. 각 경화막은 내열성이 있다. 각 경화막에 대해서, 파장 633 nm에서의 굴절률을 측정하였다. 모든 조성에서, 1.7 이상과 고굴절률을 가지고 있는 것을 확인할 수 있었다. 특히, 금속 산화물 입자인 산화 세륨이 첨가된 실시예 23의 경화막은 굴절률이 1.75 이상이고, 산화티탄이 첨가된 실시예 24에서는 1.8 이상이며, 모두 고굴절률화(투명화)를 도모할 수 있었다.Each of the energy-sensitive compositions of Examples 15 to 24 was applied to a glass substrate using a spin coater, pre-baked at 100° C. for 120 seconds, and exposure (broadband) at an exposure dose of 100 mJ/cm 2 using an ultraviolet curing machine. After that, a post-baking process was performed at 150°C for 20 minutes (230°C for Example 24, for 20 minutes). The film thickness of the cured film of Examples 15-23 was 500 nm, and Example 24 was 50 nm. Each cured film has heat resistance. About each cured film, the refractive index in wavelength 633nm was measured. In all compositions, it was confirmed that the composition had a refractive index of 1.7 or higher and a high refractive index. In particular, the cured film of Example 23 to which cerium oxide which is a metal oxide particle was added had a refractive index of 1.75 or more, and in Example 24 to which titanium oxide was added, it was 1.8 or more, and both were able to achieve high refractive index (transparency).
또한, 내열성에 대해서, 실시예 15∼24의 각 에너지 감수성 조성물을 유리 기판에 스핀코터를 이용하여 도포하고, 100℃에서 120초간 프리베이크를 수행하며, 자외선 경화기를 이용하여 노광량 100 mJ/cm2에 의한 노광 (브로드밴드) 후, 230℃, 20분간의 포스트베이크 처리를 수행하고, 경화막 두께 약 50 nm의 경화막을 얻었다. 각 경화막을 추가로 250℃까지 승온하였을 때의 막 두께 변화율은 10% 이하이고, 내열성이 있다는 것이 확인되었다.In addition, with respect to heat resistance, each energy-sensitive composition of Examples 15 to 24 was applied to a glass substrate using a spin coater, prebaked at 100° C. for 120 seconds, and exposure amount 100 mJ/cm 2 using an ultraviolet curing machine. After exposure (broadband) to , a post-baking treatment was performed at 230°C for 20 minutes to obtain a cured film having a cured film thickness of about 50 nm. The film thickness change rate when each cured film was further heated up to 250 degreeC was 10 % or less, and it was confirmed that there exists heat resistance.
Claims (7)
(P2) 산의 작용 하에서의 현상액에 있어서의 그 용해성을 증대시키는 화합물, 및
(Px) 라디칼 중합성 또는 가교성의 화합물
로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 화합물 성분(P)과,
(Q) 하기 식 (a1)로 표시되는 술포늄염
을 포함하는 에너지 감수성 조성물.
(식 중, R1 및 R2는 독립적으로, 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기 또는 하기 식 (a2)로 표시되는 기를 나타내고, R1 및 R2는 서로 결합하여 식 중의 황 원자와 함께 환을 형성하여도 되고, R3는 하기 식 (a3)으로 표시되는 기 또는 하기 식 (a4)로 표시되는 기를 나타내고, A1은 S, O, 또는 Se를 나타내고, X-는 1가의 음이온을 나타내고, 단, R1 및 R2는 동시에 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기는 아니다.)
(식 중, 환 Z1은 방향족 탄화수소환을 나타내고, R4는 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아실옥시기, 알킬티오기, 티에닐기, 티에닐카르보닐기, 푸라닐기, 푸라닐카르보닐기, 셀레노페닐기, 셀레노페닐카르보닐기, 복소환식 지방족 탄화수소기, 알킬술피닐기, 알킬술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 또는 할로겐 원자를 나타내고, m1은 0 이상의 정수를 나타냄)
(식 중, R5는 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 혹은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬렌기 또는 하기 식 (a5)로 표시되는 기를 나타내고, R6는 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 혹은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기 또는 하기 식 (a6)으로 표시되는 기를 나타내고, A2는 단결합, S, O, 술피닐기, 또는 카르보닐기를 나타내고, n1은 0 또는 1을 나타냄)
(식 중, R7 및 R8은 독립적으로, 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 혹은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬렌기 또는 하기 식 (a5)로 표시되는 기를 나타내고, R9 및 R10은 독립적으로, 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기 또는 상기 식 (a2)로 표시되는 기를 나타내고, R9 및 R10은 서로 결합하여 식 중의 황 원자와 함께 환을 형성하여도 되고, A3는 단결합, S, O, 술피닐기, 또는 카르보닐기를 나타내고, X-는 상기와 같고, n2는 0 또는 1을 나타내고, 단, R9 및 R10는 동시에 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기는 아니다.)
(식 중, 환 Z2는 방향족 탄화수소환을 나타내고, R11은 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 또는 할로겐 원자를 나타내고, m2는 0 이상의 정수를 나타냄)
(식 중, 환 Z3는 방향족 탄화수소환을 나타내고, R12는 할로겐 원자로 치환되어 있어도 되는 알킬기, 히드록시기, 알콕시기, 알킬카르보닐기, 아릴카르보닐기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 아릴티오카르보닐기, 아실옥시기, 아릴티오기, 알킬티오기, 티에닐카르보닐기, 푸라닐카르보닐기, 셀레노페닐카르보닐기, 아릴기, 복소환식 탄화수소기, 아릴옥시기, 알킬술피닐기, 아릴술피닐기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기, 히드록시(폴리)알킬렌옥시기, 치환되어 있어도 되는 아미노기, 시아노기, 니트로기, 또는 할로겐 원자를 나타내고, m3는 0 이상의 정수를 나타냄)(P1) cationic and/or acid catalytically polymerizable and/or crosslinkable compounds;
(P2) a compound that increases its solubility in a developer under the action of an acid, and
(Px) radically polymerizable or crosslinkable compound
At least one compound component (P) selected from the group consisting of,
(Q) a sulfonium salt represented by the following formula (a1)
An energy-sensitive composition comprising a.
(Wherein, R 1 and R 2 independently represent an alkyl group optionally substituted with a halogen atom or a group represented by the following formula (a2), and R 1 and R 2 are bonded to each other to form a ring together with the sulfur atom in the formula. may be, R 3 represents a group represented by the following formula (a3) or a group represented by the following formula (a4), A 1 represents S, O, or Se, X − represents a monovalent anion, provided that , R 1 and R 2 are not an alkyl group which may be simultaneously substituted with a halogen atom.)
(Wherein, ring Z 1 represents an aromatic hydrocarbon ring, and R 4 represents an optionally substituted alkyl group with a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an acyloxy group, an alkylthio group, a thienyl group, or a thienylcarbonyl group. , furanyl group, furanylcarbonyl group, selenophenyl group, selenophenylcarbonyl group, heterocyclic aliphatic hydrocarbon group, alkylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, hydroxy (poly)alkyleneoxy group, optionally substituted amino group, cyano group, nitro represents a group or a halogen atom, and m 1 represents an integer of 0 or more)
(wherein R 5 is a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, an acyloxy group, an arylthio group, an alkylthio group, an aryl group, a heterocyclic hydrocarbon group, an aryl group An oxy group, an alkylsulfinyl group, an arylsulfinyl group, an alkylsulfonyl group, an arylsulfonyl group, a hydroxy (poly)alkyleneoxy group, an optionally substituted amino group, a cyano group, a nitro group, or an alkylene group optionally substituted with a halogen atom; A group represented by the following formula (a5) is represented, and R 6 is a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, an acyloxy group, an arylthio group, an alkylthio group, an aryl group , a heterocyclic hydrocarbon group, an aryloxy group, an alkylsulfinyl group, an arylsulfinyl group, an alkylsulfonyl group, an arylsulfonyl group, a hydroxy(poly)alkyleneoxy group, an optionally substituted amino group, a cyano group, a nitro group, or a halogen atom represents an optionally substituted alkyl group or a group represented by the following formula (a6), A 2 represents a single bond, S, O, a sulfinyl group, or a carbonyl group, n1 represents 0 or 1)
(Wherein, R 7 and R 8 are independently a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, an acyloxy group, an arylthio group, an alkylthio group, an aryl group, Heterocyclic hydrocarbon group, aryloxy group, alkylsulfinyl group, arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, hydroxy(poly)alkyleneoxy group, optionally substituted amino group, cyano group, nitro group, or halogen atom represents an alkylene group or a group represented by the following formula (a5), R 9 and R 10 independently represent an alkyl group optionally substituted with a halogen atom or a group represented by the formula (a2), R 9 and R 10 may combine with each other to form a ring together with the sulfur atom in the formula, A 3 represents a single bond, S, O, a sulfinyl group, or a carbonyl group, X - is the same as above, n2 represents 0 or 1, However, R 9 and R 10 are not an alkyl group which may be simultaneously substituted with a halogen atom.)
(Wherein, ring Z 2 represents an aromatic hydrocarbon ring, and R 11 represents an optionally substituted alkyl group, a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, or an acyloxy group. , arylthio group, alkylthio group, aryl group, heterocyclic hydrocarbon group, aryloxy group, alkylsulfinyl group, arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, hydroxy(poly)alkyleneoxy group, optionally substituted represents an amino group, a cyano group, a nitro group, or a halogen atom, and m2 represents an integer of 0 or more)
(Wherein, ring Z 3 represents an aromatic hydrocarbon ring, and R 12 represents an optionally substituted alkyl group with a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkylcarbonyl group, an arylcarbonyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an arylthiocarbonyl group, or an acyloxy group. , arylthio group, alkylthio group, thienylcarbonyl group, furanylcarbonyl group, selenophenylcarbonyl group, aryl group, heterocyclic hydrocarbon group, aryloxy group, alkylsulfinyl group, arylsulfinyl group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, represents a hydroxy (poly)alkyleneoxy group, an optionally substituted amino group, cyano group, nitro group, or halogen atom, and m3 represents an integer of 0 or more)
상기 화합물 성분 (P)는 상기 (P1) 화합물이고,
상기 (P1) 화합물은 옥시라닐기, 옥세타닐기, 및 지환식 에폭시기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 기를 갖는 에폭시 화합물인, 에너지 감수성 조성물.The method according to claim 1,
The compound component (P) is the compound (P1),
The (P1) compound is an epoxy compound having at least one group selected from the group consisting of an oxiranyl group, an oxetanyl group, and an alicyclic epoxy group, an energy-sensitive composition.
상기 술포늄염은 상기 X-로 나타내는 상기 1가의 음이온이 하기 일반식으로 표시되는 붕소 함유 음이온인, 에너지 감수성 조성물.
Rx1 cBY4-c -
(식 중, Rx1은 수소 원자의 적어도 일부가 할로겐 원자 또는 전자구인기(電子求引基)로 치환된 페닐기를 나타내고, Y는 할로겐 원자를 나타내고, c는 1∼4의 정수를 나타냄)The method according to claim 1,
The sulfonium salt is an energy-sensitive composition, wherein the monovalent anion represented by X − is a boron-containing anion represented by the following general formula.
R x1 c BY 4-c -
(wherein, R x1 represents a phenyl group in which at least a part of hydrogen atoms is substituted with a halogen atom or an electron withdrawing group, Y represents a halogen atom, and c represents an integer of 1 to 4)
공기 기류 중, 승온 속도 10℃/분에 의해 230℃까지 승온하는 열중량 측정(TG)에 있어서, 피크값으로부터의 중량 감소율이 10% 이하인, 에너지 감수성 조성물.The method according to claim 1,
The energy-sensitive composition, wherein in the thermogravimetric measurement (TG) in which the temperature is raised to 230°C at a temperature increase rate of 10°C/min in the air stream, the weight loss rate from the peak value is 10% or less.
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