KR102299891B1 - Method for manufacturing organic light emitting device - Google Patents
Method for manufacturing organic light emitting device Download PDFInfo
- Publication number
- KR102299891B1 KR102299891B1 KR1020140095813A KR20140095813A KR102299891B1 KR 102299891 B1 KR102299891 B1 KR 102299891B1 KR 1020140095813 A KR1020140095813 A KR 1020140095813A KR 20140095813 A KR20140095813 A KR 20140095813A KR 102299891 B1 KR102299891 B1 KR 102299891B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- light emitting
- organic light
- emitting device
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/80—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass using temporary substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
- H10K50/125—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers specially adapted for multicolour light emission, e.g. for emitting white light
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/14—Carrier transporting layers
- H10K50/15—Hole transporting layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/17—Carrier injection layers
Abstract
본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법은 도너 기판에 P형 도핑층을 형성한 후 레이저 열전사법을 통해 제 1 기판과 유기 발광층의 사이에 P형 도핑층을 형성함으로써 레이저 열전사 공정 시 증착면에서 발생할 수 있는 균일하지 않은 불완전 계면을 보완해 주는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 P형 도핑층은 정공이 잘 이동할 수 있도록 하는 역할 그리고 정공을 추가적으로 생성하는 역할을 함으로써 유기 발광 소자의 계면 스트레스를 감소시켜서 구동 전압의 상승을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자는 구동 전압의 상승을 방지하여 유기 발광 소자의 수명을 개선할 수 있는 효과가 있다.In the method of manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention, a P-type doped layer is formed on a donor substrate and then a P-type doped layer is formed between the first substrate and the organic light emitting layer through a laser thermal transfer method. It has the effect of compensating for non-uniform incomplete interfaces that may occur on the deposition surface.
In addition, the P-type doped layer of the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention serves to allow holes to move well and to additionally generate holes, thereby reducing the interfacial stress of the organic light emitting device and preventing the increase of the driving voltage. There is an effect that can be done.
In addition, the organic light emitting device according to an embodiment of the present invention has an effect of improving the lifespan of the organic light emitting device by preventing an increase in the driving voltage.
Description
본 발명은 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 낮은 전압으로 구동 및 발광 수명의 향상이 가능한 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing an organic light emitting device, and more particularly, to a method of manufacturing an organic light emitting device capable of driving at a low voltage and improving light emission lifetime.
유기 발광 표시 장치(OLED)는 자체 발광형 표시 장치로서, 전자(electron) 주입을 위한 전극(cathode)과 정공(hole) 주입을 위한 전극(anode)으로부터 각각 전자와 정공을 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 전자와 정공이 결합한 엑시톤(exciton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발광하는 유기 발광 소자를 이용한 표시 장치이다. An organic light emitting display (OLED) is a self-emitting display device, in which electrons and holes are injected into the light emitting layer from an electrode for electron injection and an electrode for hole injection, respectively. This is a display device using an organic light emitting diode that emits light when excitons in which injected electrons and holes are combined fall from an excited state to a ground state.
유기 발광 표시 장치는 빛이 방출되는 방향에 따라서 상부 발광(Top Emission) 방식, 하부 발광(Bottom Emission) 방식 및 양면 발광(Dual Emission) 방식 등이 있고, 구동 방식에 따라서는 수동 매트릭스형(Passive Matrix)과 능동 매트릭스형(Active Matrix) 등으로 나누어진다.The organic light emitting diode display includes a top emission type, a bottom emission type, a dual emission type, etc. depending on a direction in which light is emitted, and a passive matrix type according to a driving method. ) and active matrix type.
유기 발광 표시 장치는 액정 표시 장치(LCD)와는 달리 별도의 광원이 필요하지 않아 경량 박형으로 제조 가능하다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 저전압 구동에 의해 소비 전력 측면에서 유리할 뿐만 아니라, 색상 구현, 응답 속도, 시야각 및 명암비(contrast ratio: CR)도 우수하여, 차세대 디스플레이로서 연구되고 있다.Unlike a liquid crystal display (LCD), the organic light emitting diode display does not require a separate light source, so it can be manufactured in a lightweight and thin form. In addition, the organic light emitting display device is being researched as a next-generation display because it is advantageous in terms of power consumption due to low voltage driving and excellent in color realization, response speed, viewing angle, and contrast ratio (CR).
고 해상도로 디스플레이가 발전하면서 단위 면적당 픽셀의 개수가 증가하고, 높은 휘도가 요구되고 있지만 유기 발광 표시 장치의 발광 구조 상 단위 면적(A)의 휘도(Cd)에 한계가 있다. 또한, 인가 전류의 증가로 인한 유기 발광 소자의 신뢰성 저하 및 소비 전력이 증가하는 문제점도 있다. With the development of high-resolution displays, the number of pixels per unit area increases, and high luminance is required. In addition, there are problems in that the reliability of the organic light emitting diode decreases and power consumption increases due to an increase in applied current.
이에, 유기 발광 표시 장치의 품질 및 생산성을 저해하는 요인이 되고 있는 유기 발광 소자의 발광 효율, 수명 향상 및 소비 전력 절감이라는 기술적 한계를 극복해야 할 필요성이 대두되고 있다. 나아가, 색감 영역을 유지하면서도 발광 효율, 유기 발광층의 수명 및 시야각 특성을 향상시킬 수 있는 유기 발광 소자 개발에 대한 요구 역시 계속되고 있는 실정이다.Accordingly, there is a need to overcome the technical limitations of improving the luminous efficiency, lifespan, and power consumption of the organic light emitting diode, which are factors that impede the quality and productivity of the organic light emitting display device. Furthermore, the demand for the development of an organic light emitting device capable of improving the luminous efficiency, the lifetime of the organic light emitting layer, and the viewing angle characteristics while maintaining the color gamut is also continuing.
종래 기술에 따른 유기 발광 소자는 유기 발광층의 재료 및 발광 구조로 인한 발광 특성 및 수명 성능에 한계가 있었고, 이에 발광 효율 및 수명을 향상시키기 위한 다양한 방안이 제시된 바 있다. 그러나 휘도를 높이고자 하는 경우에는 소비 전력이 소모되는 문제점이 있고, 또한 높은 수명의 확보를 위해 발광 물질을 변경하면 발광 효율이 낮아지는 문제점이 있었다.The organic light emitting device according to the prior art has limitations in light emitting characteristics and lifespan performance due to the material and light emitting structure of the organic light emitting layer, and various methods for improving light emitting efficiency and lifespan have been proposed. However, there is a problem in that power consumption is consumed when the luminance is increased, and the luminous efficiency is lowered when the light emitting material is changed to secure a high lifespan.
레이저 열전사법(Laser Induced Thermal Printing)을 통한 유기 발광 소자의 제조 방법은 리셉터(receptor) 기판에 형성된 제 1 전극(Anode) 상에 정공 주입층(HIL), 정공 수송층(HTL) 및 전자 저지층(EBL)을 적색 서브 화소 영역(Red), 녹색 서브 화소 영역(Green) 및 청색 서브 화소 영역(Blue)에 공통으로 대응되도록 형성하고, 그 상부에 도너(donor) 기판에 형성한 광학 보조층 및 유기 발광층(EML)을 포함하는 유기물층을 도너 기판에 대한 레이저 조사를 통해서 리셉터 기판에 전사하는 방식으로 수행된다.A method of manufacturing an organic light emitting device through laser induced thermal printing is a hole injection layer (HIL), a hole transport layer (HTL) and an electron blocking layer ( EBL) is formed to correspond in common to the red sub-pixel region Red, the green sub-pixel region Green, and the blue sub-pixel region Blue, and an optical auxiliary layer and an organic layer formed on the donor substrate thereon This is performed by transferring the organic material layer including the light emitting layer (EML) to the receptor substrate through laser irradiation on the donor substrate.
그러나 위와 같이 레이저 열전사법을 수행하는 경우에, 리셉터 기판의 증착면과 도너 기판 사이에 균일하지 않은 불완전 계면(Imperfect Interface)이 존재하게 되면서 정공(hole)의 전달이 어려워지고 이로 인하여 유기 발광층의 재결합 영역(recombination zone)이 이동하여 효율이 저하되고 구동 전압이 높아지는 현상이 발생할 수 있다.However, in the case of performing the laser thermal transfer method as described above, a non-uniform imperfect interface exists between the deposition surface of the receptor substrate and the donor substrate, making it difficult to transfer holes, and thereby recombination of the organic light emitting layer A phenomenon in which the efficiency is lowered and the driving voltage is increased may occur due to the movement of the recombination zone.
위와 같이 유기 발광 소자의 구동 전압이 높아지면 유기 발광 표시 장치의 소비 전력이 증가하는 문제가 발생함과 동시에 구동 전압의 증가에 따라 유기 발광 소자의 유기물층과 전극층의 계면에서 스트레스(stress)가 증가하여 열화가 발생하면서 유기 발광 소자의 수명이 저하되는 문제가 발생하였다. As described above, when the driving voltage of the organic light emitting diode increases, the power consumption of the organic light emitting diode display increases. As deterioration occurs, there is a problem in that the lifespan of the organic light emitting diode is reduced.
본 발명의 실시예에 따른 해결 과제는, 낮은 전압으로 구동 및 발광 수명이 향상된 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. An object to be solved according to an embodiment of the present invention is to provide a method of manufacturing an organic light emitting diode having improved driving and light emission lifespan at a low voltage.
본 발명의 실시예에 따른 해결 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved according to the embodiment of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 있어서 낮은 전압으로 구동 및 발광 수명의 향상이 가능한 유기 발광 소자의 제조 방법이 제공된다.In the method of manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic light emitting device capable of driving at a low voltage and improving light emission lifetime.
본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법은 제 1 기판을 준비하는 단계와 제 2 기판을 준비하는 단계와 제 1 기판과 제 2 기판을 얼라인 및 합착하는 단계와 제 2 기판에 레이저를 조사하여 제 2 기판에 형성된 제 1 유기물층을 제 1 기판 상에 전사하는 단계 및 제 2 기판을 제거하는 단계를 포함하고, 제 2 기판을 준비하는 단계는 제 2 기판 상에 제 1 유기 발광층, 제 1 광학 보조층 및 제 1 P형 도핑층을 포함하는 제 1 유기물층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. A method of manufacturing an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention includes the steps of preparing a first substrate, preparing a second substrate, aligning and bonding the first and second substrates, and applying a laser beam to the second substrate. and transferring the first organic material layer formed on the second substrate onto the first substrate by irradiating the light, and removing the second substrate, wherein preparing the second substrate comprises: a first organic light emitting layer on the second substrate; and sequentially forming a first organic material layer including the first optical auxiliary layer and the first P-type doping layer.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 제 3 기판을 준비하는 단계와 제 1 유기물층이 형성된 제 1 기판과 제 3 기판을 얼라인 및 합착하는 단계와 제 3 기판에 레이저를 조사하여 제 3 기판에 형성된 제 2 유기물층을 제 1 기판 상에 전사하는 단계 및 제 3 기판을 제거하는 단계를 더 포함하고, 제 3 기판을 준비하는 단계는 제 3 기판 상에 제 2 유기 발광층, 제 2 광학 보조층 및 제 2 P형 도핑층을 포함하는 제 2 유기물층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함할 수 있다. According to another feature of the present invention, preparing a third substrate, aligning and bonding the first substrate and the third substrate on which the first organic material layer is formed, and irradiating a laser to the third substrate to form the third substrate The method further includes transferring the second organic material layer onto the first substrate and removing the third substrate, wherein preparing the third substrate includes a second organic light emitting layer, a second optical auxiliary layer, and a second layer on the third substrate. The method may include sequentially forming a second organic material layer including the P-type doping layer.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제 1 기판을 준비하는 단계는 제 1 기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계와 제 1 전극 상에 정공 주입층, 정공 수송층 및 전자 저지층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another feature of the present invention, the step of preparing the first substrate comprises the steps of forming a first electrode on the first substrate and forming a hole injection layer, a hole transport layer and an electron blocking layer on the first electrode. It is characterized in that it further comprises.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제 1 유기물층 및 제 2 유기물층이 형성된 제 1 기판의 전면에 제 3 유기 발광층을 형성하는 단계와 제 3 유기 발광층 상에 전자 수송층을 형성하는 단계와 전자 수송층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계 및 제 2 전극 상에 캡핑층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. According to another feature of the present invention, the steps of forming a third organic light emitting layer on the entire surface of the first substrate on which the first organic material layer and the second organic material layer are formed, forming an electron transport layer on the third organic light emitting layer, and on the electron transport layer The method may further include forming a second electrode and forming a capping layer on the second electrode.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제 2 기판 및 제 3 기판 각각은 레이저 열전사 필름을 포함할 수 있다. According to another feature of the present invention, each of the second substrate and the third substrate may include a laser thermal transfer film.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제 1 P형 도핑층 및 제 2 P형 도핑층 각각은 정공 수송층 물질에 P형 도펀트를 도핑하여 형성되거나 P형 물질로 형성될 수 있다. According to another feature of the present invention, each of the first P-type doped layer and the second P-type doped layer may be formed by doping the hole transport layer material with a P-type dopant or may be formed of a P-type material.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제 1 유기 발광층은 적색 발광층으로 이루어지고, 제 2 유기 발광층은 녹색 발광층으로 이루어질 수 있다. According to another feature of the present invention, the first organic emission layer may include a red emission layer, and the second organic emission layer may include a green emission layer.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제 1 P형 도핑층과 제 2 P형 도핑층은 서로 다른 두께로 형성될 수 있다. According to another feature of the present invention, the first P-type doped layer and the second P-type doped layer may be formed to have different thicknesses.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제 1 P형 도핑층과 제 2 P형 도핑층은 서로 다른 도펀트 농도로 이루어질 수 있다. According to another feature of the present invention, the first P-type doped layer and the second P-type doped layer may have different dopant concentrations.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제 3 유기 발광층은 청색 발광층으로 이루어질 수 있다. According to another feature of the present invention, the third organic light emitting layer may be formed of a blue light emitting layer.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제 1 광학 보조층과 제 2 광학 보조층은 서로 다른 두께로 형성될 수 있다. According to another feature of the present invention, the first optical auxiliary layer and the second optical auxiliary layer may be formed to have different thicknesses.
본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법은 도너(donor) 기판에 P형 도핑층을 형성한 후 레이저 열전사법을 통해 제 1 기판과 유기 발광층의 사이에 P형 도핑층을 형성함으로써 레이저 열전사 공정 시 증착면에서 발생할 수 있는 균일하지 않은 불완전 계면을 보완해 주는 효과가 있다. In the method of manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention, after forming a P-type doping layer on a donor substrate, a P-type doping layer is formed between the first substrate and the organic light emitting layer through laser thermal transfer. It has the effect of compensating for non-uniform incomplete interfaces that may occur on the deposition surface during the thermal transfer process.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 P형 도핑층은 정공이 잘 이동할 수 있도록 하는 역할 그리고 정공을 추가적으로 생성하는 역할을 함으로써 유기 발광 소자의 계면 스트레스를 감소시켜서 구동 전압의 상승을 방지할 수 있는 효과가 있다. In addition, the P-type doped layer of the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention serves to allow holes to move well and to additionally generate holes, thereby reducing the interfacial stress of the organic light emitting device and preventing the increase of the driving voltage. There is an effect that can be done.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자는 구동 전압의 상승을 방지하여 유기 발광 소자의 수명을 개선할 수 있는 효과가 있다.In addition, the organic light emitting device according to an embodiment of the present invention has an effect of improving the lifespan of the organic light emitting device by preventing an increase in the driving voltage.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
이상에서 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 효과에 기재한 발명의 내용이 청구항의 필수적인 특징을 특정하는 것은 아니므로, 청구항의 권리 범위는 발명의 내용에 기재된 사항에 의하여 제한되지 않는다.Since the content of the invention described in the problems to be solved above, the means for solving the problems, and the effects do not specify the essential characteristics of the claims, the scope of the claims is not limited by the matters described in the content of the invention.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2(a) 내지 도 2(e)는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법을 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 3(a) 내지 도 3(d)는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법을 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 4(a) 내지 도 4(c)는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법을 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 5(a) 내지 도 5(d)는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법을 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 6(a) 내지 도 6(c)는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법을 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 7(a) 내지 도 7(d)는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법을 나타내는 개략적인 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자 및 비교예에 따른 유기 발광 소자의 적색 발광 및 녹색 발광 시의 전기 광학 특성 평가 결과를 나타내는 도면이다.
도 9a 및 9b는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자 및 비교예에 따른 유기 발광 소자의 적색 발광 및 녹색 발광 시의 수명 특성 평가 결과를 나타내는 도면이다.1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.
2(a) to 2(e) are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting device according to an exemplary embodiment of the present invention.
3A to 3D are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention.
4(a) to 4(c) are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention.
5(a) to 5(d) are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention.
6(a) to 6(c) are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention.
7(a) to 7(d) are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention.
8 is a view illustrating electro-optical characteristic evaluation results during red light emission and green light emission of an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention and an organic light emitting diode according to a comparative example.
9A and 9B are diagrams illustrating evaluation results of lifespan characteristics during red light emission and green light emission of an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention and an organic light emitting diode according to a comparative example.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.The shapes, sizes, proportions, angles, numbers, etc. disclosed in the drawings for explaining the embodiments of the present invention are illustrative and the present invention is not limited to the illustrated matters. Like reference numerals refer to like elements throughout. In addition, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. When 'including', 'having', 'consisting', etc. mentioned in this specification are used, other parts may be added unless 'only' is used. When a component is expressed in the singular, the case in which the plural is included is included unless otherwise explicitly stated.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다. 위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.In interpreting the components, it is interpreted as including an error range even if there is no separate explicit description. In the case of a description of the positional relationship, for example, when the positional relationship of two parts is described as 'on', 'on', 'on', 'beside', etc., 'right' Alternatively, one or more other parts may be positioned between the two parts unless 'directly' is used.
또한 제 1, 제 2 등이 다양한 구성 요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성 요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 구성 요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성 요소일 수도 있다.Also, although the first, second, etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, the first component mentioned below may be the second component within the spirit of the present invention.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.Each feature of the various embodiments of the present invention may be partially or wholly combined or combined with each other, technically various interlocking and driving are possible, and each of the embodiments may be implemented independently of each other or may be implemented together in a related relationship. may be
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting device according to an embodiment of the present invention.
또한 도 2 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법을 나타내는 개략적인 단면도이다. Also, FIGS. 2 to 7 are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention.
이하, 도 1 및 도 2 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조 방법에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, a method of manufacturing an organic light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2 to 7 .
레이저 열전사법(Laser Induced Thermal Printing)은 광원에서 나오는 레이저를 열에너지로 변환하고, 이 열에너지에 의해 패턴 형성 물질을 대상 기판으로 전사시켜 패턴을 형성하는 방법으로, 레이저 열전사 필름 상에 형성된 패턴 형성 물질을 포함하는 도너(donor) 기판, 패턴 형성 물질이 전사되는 리셉터(receptor) 기판 및 레이저(laser) 광원이 필요하다.Laser Induced Thermal Printing is a method of forming a pattern by converting a laser emitted from a light source into thermal energy and transferring a pattern-forming material to a target substrate by this thermal energy. A pattern-forming material formed on a laser thermal transfer film A donor substrate comprising a, a receptor substrate onto which a pattern forming material is transferred, and a laser light source are required.
상기 레이저 열전사법의 수행 시에, 도너 기판은 리셉터 기판의 전체를 덮은 상태로 광학 스테이지 상에서 리셉터 기판과 서로 합착되어 고정된다. 그리고 상기 도너 기판 상으로 광학계가 이동하고, 상기 광학계 내의 광원으로부터 도너 기판으로 레이저 빔을 조사하여 패턴 형성 물질을 리셉터 기판에 전사하여 패턴을 형성한다. When performing the laser thermal transfer method, the donor substrate is bonded to and fixed to the receptor substrate on the optical stage while covering the entirety of the receptor substrate. Then, the optical system moves on the donor substrate, and a laser beam is irradiated from the light source in the optical system to the donor substrate to transfer the pattern forming material to the receptor substrate to form a pattern.
도 1, 도 2(a) 내지 도 2(e)를 참조하면, 제 1 기판(205)을 준비하는 단계(S101 ~ S104)가 개시된다.1 and 2 (a) to 2 (e), the steps of preparing the first substrate 205 (S101 to S104) are started.
우선, 최종적으로 그 상부에 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자가 형성되는 기판(200)을 준비한다. 본 발명의 실시예에서 설명하는 제 1 기판(205)은 앞서 상기 레이저 열전사법에서 설명한 리셉터 기판을 의미한다. First, finally, the
기판(200)은 유리, 플라스틱, 석영, 실리콘 또는 금속의 재질로 이루어질 수 있으며, 또한 투명한 재질로 이루어질 수 있다.The
도 1 및 도 2(b)를 참조하면, 기판(200)에 제 1 전극(201, anode)을 형성한다(S101). 제 1 전극(201)은 적색 서브 화소 영역(Rp), 녹색 서브 화소 영역(Gp), 및 청색 서브 화소 영역(Bp)에 모두에 대응되도록 형성된다. 제1 전극(201)은 반사 전극으로 형성될 수 있으며, 예를 들어, 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide: ITO)와 같이 일함수가 높은 투명 도전성 물질층과 은(Ag) 또는 은 합금(Ag alloy)과 같은 반사 물질층을 포함할 수 있다. 1 and 2 (b), a first electrode 201 (anode) is formed on the substrate 200 (S101). The
다음으로, 도 1 및 도 2(c)를 참조하면, 제 1 전극(201) 상에 정공 주입층(202, hole injection layer: HIL)을 형성한다(S102). 정공 주입층(202)은 적색 서브 화소 영역(Rp), 녹색 서브 화소 영역(Gp), 및 청색 서브 화소 영역(Bp)에 모두에 대응되도록 제 1 전극(201) 상에 형성된다. Next, referring to FIGS. 1 and 2C , a hole injection layer 202 (HIL) is formed on the first electrode 201 ( S102 ). The
정공 주입층(202)은 정공의 주입을 원활하게 하는 역할을 할 수 있으며, HATCN 및 CuPc(cupper phthalocyanine), PEDOT(poly(3,4)-ethylenedioxythiophene), PANI(polyaniline) 및 NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenylbenzidine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The
다음으로, 도 1 및 도 2(d)를 참조하면, 정공 주입층(202) 상에 정공 수송층(203, hole transporting layer: HTL)을 형성한다(S103). 정공 수송층(203)은 정공의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenylbenzidine), TPD(N,N'-bis-(3-methylphenyl)-N,N'-bis-(phenyl)-benzidine), s-TAD 및 MTDATA(4,4',4"-Tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino)-triphenylamine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Next, referring to FIGS. 1 and 2D , a hole transporting layer (HTL) 203 is formed on the hole injection layer 202 ( S103 ). The
다음으로, 도 1 및 도 2(e)를 참조하면, 정공 수송층(203) 상에 전자 저지층(204, electron blocking layer: EBL)을 형성한다(S104). 전자 저지층(204)은 상기 정공 수송층(203)으로 전자가 이동되는 것을 방지하여 유기 발광층 내에서 정공과 전자의 재결합이 원활히 이루어지도록 함으로써 유기 발광 소자의 발광 효율을 향상시킨다.Next, referring to FIGS. 1 and 2 (e), an electron blocking layer 204 (electron blocking layer: EBL) is formed on the hole transport layer 203 (S104). The
위와 같은 단계들을 거쳐, 기판(200)에 제 1 전극(201), 정공 주입층(202), 정공 수송층(203) 및 전자 저지층(204)이 순차적으로 형성된 제 1 기판(205)이 준비된다.Through the above steps, the
다음으로, 도 1, 도 3(a) 내지 도 3(d)를 참조하면, 제 2 기판(315)을 준비하는 단계(S111 ~ S114)가 개시된다. 본 발명의 실시예에서 설명하는 제 2 기판(315)은 앞서 상기 레이저 열전사법에서 설명한 제 1의 도너 기판을 의미한다. Next, referring to FIGS. 1 and 3 ( a ) to 3 ( d ), the steps of preparing the second substrate 315 ( S111 to S114 ) are started. The
도 1 및 도 3(a)를 참조하면, 제 1 레이저 열전사 필름(311)을 준비한다(S111). 제 1 레이저 열전사 필름(311)은 열변환층에 빛을 전달하기 위하여 투명하며, 적당한 광학적 성질과 충분한 기계적 안정성을 가진 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어서, 제 1 레이저 열전사 필름(311)의 베이스 필름은 폴리에스테르(polyester), 폴리아크릴(polyacryl), 폴리에폭시(polyepoxy), 폴리에틸렌(polyethylene), 및 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate) 및 폴리스티렌(polystyrene)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 고분자 물질 또는 유리로 이루어질 수 있다.1 and 3 (a), a first laser
또한, 베이스 필름과 패턴 형성 물질 사이에는 추가로 열변환층이 형성될 수 있다. 열변환층은 적외선 내지 가시광선 영역의 빛을 흡수하여 빛의 일부를 열로 변환시키는 층으로서, 빛을 흡수하기 위해서 광흡수성 물질을 포함할 수 있다. In addition, a heat conversion layer may be additionally formed between the base film and the pattern forming material. The heat conversion layer is a layer that converts a portion of the light into heat by absorbing light in the infrared to visible ray region, and may include a light absorbing material to absorb light.
열변환층은 알루미늄(Al), 은(Ag) 및 이들의 산화물 및 황화물로 이루어진 금속 물질로 이루어지거나 카본 블랙, 흑연 또는 적외선 염료를 포함하는 고분자로 이루어진 유기 물질로 이루어질 수 있다.The heat conversion layer may be made of a metal material made of aluminum (Al), silver (Ag), oxides and sulfides thereof, or an organic material made of a polymer including carbon black, graphite, or infrared dye.
다음으로, 도 1 및 도 3(b)를 참조하면, 제 1 레이저 열전사 필름(311) 상에 제 1 유기 발광층(312)을 형성한다(S112). 본 발명의 실시예에서 제 1 유기 발광층(312)은 적색의 빛을 발광하는 적색 발광층(Red Emission layer: Red EML)으로 이루어질 수 있다. Next, referring to FIGS. 1 and 3B , a first
제 1 유기 발광층(312)은 CBP(carbazole biphenyl) 또는 mCP(1,3-bis(carbazol-9-yl)를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, PIQIr(acac)(bis(1-phenylisoquinoline) acetylacetonate iridium), PQIr(acac)(bis(1-phenylquinoline) acetylacetonate iridium), PQIr(tris(1-phenylquinoline) iridium) 및 PtOEP(octaethylporphyrin platinum)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하는 도펀트를 포함하는 인광 물질로 이루어질 수 있고, 이와는 달리 PBD:Eu(DBM)3(Phen) 또는 Perylene을 포함하는 형광 물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first
다음으로, 도 1 및 도 3(c)를 참조하면, 제 1 유기 발광층(312) 상에 제 1 광학 보조층(313)을 형성한다(S113). 제 1 광학 보조층(313)은 적색 서브 화소 영역(Rp)에 형성되는 제 1 정공 수송층(R-hole transporting layer: R-HTL)의 역할을 하며, 적색 서브 화소 영역(Rp)에 형성되어 마이크로 캐비티(micro cavity)의 광학적 거리를 형성할 수 있다. Next, referring to FIGS. 1 and 3C , a first optical
제 1 광학 보조층(313)은 정공의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenylbenzidine), TPD(N,N'-bis-(3-methylphenyl)-N,N'-bis-(phenyl)-benzidine), s-TAD 및 MTDATA(4,4',4"-Tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino)-triphenylamine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first optical
다음으로, 도 1 및 도 3(d)를 참조하면, 제 1 광학 보조층(313) 상에 제 1 P형 도핑층(314, 1st p-doped layer)을 형성한다(S114). 제 1 P형 도핑층(314)은 리셉터 기판인 제 1 기판(205)과 제 1의 도너 기판인 제 2 기판(315) 사이의 증착면에 형성되어 증착면에서 발생할 수 있는 균일하지 않은 불완전 계면(imperfect interface)을 보완하는 중간층(interlayer)의 역할을 하며, 정공이 잘 이동할 수 있도록 유도할 뿐만 아니라 정공을 추가로 생성하는 역할을 할 수 있다. Next, referring to FIGS. 1 and 3D , a first P-type doped layer 314 ( 1st p-doped layer) is formed on the first optical auxiliary layer 313 ( S114 ). The first P-type doped
제 1 P형 도핑층(314)은 앞서 설명한 정공 주입층(202), 정공 수송층(203) 또는 제 1 광학 보조층(313) 물질에 P형 도펀트(dopant)를 도핑(doping)하여 형성되거나 P형 물질로 형성될 수 있다.The first P-type doped
제 1 P형 도핑층(314)은 유기 발광 소자 특성에 적합한 광학 거리의 형성을 고려할 때, 1 이상 400Å 이하의 두께로 형성될 수 있다., 정공 주입층(202), 정공 수송층(203) 또는 제 1 광학 보조층(313) 물질에 P형 도펀트를 도핑하여 제 1 P형 도핑층(314)을 형성하는 경우, P형 도펀트의 농도는 0.1 이상 10% 이하의 수준이 바람직하다. The first P-type doped
위와 같은 단계들을 거쳐, 제 1 레이저 열전사 필름(311) 상에 제 1 유기 발광층(312), 제 1 광학 보조층(313) 및 제 1 P형 도핑층(314)을 포함하는 제 1 유기물층이 순차적으로 형성된 제 2 기판(315)이 준비된다.Through the above steps, the first organic material layer including the first organic
다음으로, 도 1, 도 4(a) 내지 도 4(c)를 참조하면, 제 1 기판(205) 및 제 2 기판(315)을 합착 및 전사하는 단계(S131 ~ S133)가 개시된다.Next, referring to FIGS. 1 and 4( a ) to 4( c ), bonding and transferring the
먼저, 도 1 및 도 4(a)를 참조하면,제 1 기판(205)에 제 2 기판(315)이 전면에 대응되도록 얼라인하여 합착한다(S131).First, referring to FIGS. 1 and 4( a ), the
다음으로, 도 1 및 도 4(b)를 참조하면, 제 2 기판(315)의 적색 서브 화소 영역(Rp)에 대응되는 제 1 레이저 열전사 필름(311)에 레이저를 조사하여 제 1 P형 도핑층(314), 제 1 광학 보조층(313) 및 제 1 유기 발광층(312)을 제 1 기판(205)에 형성되어 있는 전자 저지층(204) 상에 전사한다(S132). 이 때 레이저가 선택적으로 조사된 적색 서브 화소 영역(Rp)의 전자 저지층(204) 상에만 제 1 P형 도핑층(314), 제 1 광학 보조층(313) 및 제 1 유기 발광층(312)이 전사되어 형성된다. Next, referring to FIGS. 1 and 4B , the first P-type first P-
다음으로, 도 1 및 도 4(c)를 참조하면, 제 1 P형 도핑층(314), 제 1 광학 보조층(313) 및 제 1 유기 발광층(312)을 제 1 기판(205)의 전자 저지층(204) 상에 전사한 이후, 제 1 레이저 열전사 필름(311)을 제거한다(S133). 도 4(c)에 도시한 바와 같이, 제 1 레이저 열전사 필름(311)을 제거하는 경우, 적색 서브 화소 영역(Rp) 이외의 영역에 형성된 유기물층은 제 1 레이저 열전사 필름(311)과 동시에 함께 제거된다. Next, referring to FIGS. 1 and 4 ( c ), the first P-
위와 같은 단계들을 거쳐, 제 1 기판(205)의 적색 서브 화소 영역(Rp)에서 레이저 열전사를 통한 제 1 P형 도핑층(314), 제 1 광학 보조층(313) 및 제 1 유기 발광층(312)의 형성이 완료된다. Through the above steps, in the red sub-pixel region Rp of the
다음으로, 도 1, 도 5(a) 내지 도 5(d)를 참조하면, 제 3 기판(425)을 준비하는 단계(S121 ~ S124)가 개시된다. 본 발명의 실시예에서 설명하는 제 3 기판(425)은 앞서 상기 레이저 열전사법에서 설명한 제 2의 도너 기판을 의미한다.Next, referring to FIGS. 1 and 5 ( a ) to 5 ( d ), the steps of preparing the third substrate 425 ( S121 to S124 ) are started. The
본 단계를 설명함에 있어서, 이전 설명한 단계와 동일 또는 대응되는 구성 요소에 대한 설명은 생략하기로 한다.In describing this step, a description of the same or corresponding components to the previously described steps will be omitted.
도 1 및 도 5(a)를 참조하면, 우선, 제 2 레이저 열전사 필름(421)을 준비한다(S121). 제 2 레이저 열전사 필름(421)은 열변환층에 빛을 전달하기 위하여 투명하며, 적당한 광학적 성질과 충분한 기계적 안정성을 가진 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어서, 제 2 레이저 열전사 필름(421)의 베이스 필름은 폴리에스테르(polyester), 폴리아크릴(polyacryl), 폴리에폭시(polyepoxy), 폴리에틸렌(polyethylene), 및 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate) 및 폴리스티렌(polystyrene)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 고분자 물질 또는 유리로 이루어질 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 5 ( a ), first, a second laser
다음으로, 도 1 및 도 5(b)를 참조하면, 제 2 레이저 열전사 필름(421) 상에 제 2 유기 발광층(422)을 형성한다(S122). 본 발명의 실시예에서 제 2 유기 발광층(422)은 녹색 빛을 발광하는 녹색 발광층(Green Emission layer: Green EML)으로 이루어질 수 있다.Next, referring to FIGS. 1 and 5B , a second
제 2 유기 발광층(422)은 CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, Ir(ppy)3(fac tris(2-phenylpyridine)iridium)을 포함하는 Ir complex와 같은 도펀트 물질을 포함하는 인광 물질로 이루어질 수 있고, 이와는 달리 Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum)을 포함하는 형광 물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The second
다음으로, 도 1 및 도 5(c)를 참조하면, 제 2 유기 발광층(422) 상에 제 2 광학 보조층(423)을 형성한다(S123). 제 2 광학 보조층(423)은 녹색 서브 화소 영역(Gp)에 형성되는 제 2 정공 수송층(G-hole transporting layer: G-HTL)의 역할을 하며, 녹색 서브 화소 영역(Gp)에 형성되어 마이크로 캐비티의 광학적 거리를 형성할 수 있다. 이와 같이, 적색 서브 화소 영역(Rp)과 녹색 서브 화소 영역(Gp)에 있어서의 광학 거리 형성을 고려할 때, 제 1 광학 보조층(313)과 제 2 광학 보조층(423)의 두께는 서로 다를 수 있다. Next, referring to FIGS. 1 and 5C , a second optical
제 2 광학 보조층(423)은 정공의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, NPD(N,N-dinaphthyl-N,N'-diphenylbenzidine), TPD(N,N'-bis-(3-methylphenyl)-N,N'-bis-(phenyl)-benzidine), s-TAD 및 MTDATA(4,4',4"-Tris(N-3-methylphenyl-N-phenyl-amino)-triphenylamine)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The second optical
다음으로, 도 1 및 도 5(d)를 참조하면, 제 2 광학 보조층(423) 상에 제 2 P형 도핑층(424, 2nd p-doped layer)을 형성한다(S124). 제 2 P형 도핑층(424)은 리셉터 기판인 제 1 기판(205)과 제 2의 도너 기판인 제 3 기판(425) 사이의 증착면에 형성되어 증착면에서 발생할 수 있는 균일하지 않은 불완전 계면(imperfect interface)을 보완하는 중간층(interlayer)의 역할을 하며, 정공이 잘 이동할 수 있도록 유도할 뿐만 아니라 정공을 추가로 생성하는 역할을 할 수 있다. To form the following, Fig. 1 and to FIG. 5 (d), the second optical
제 2 P형 도핑층(424)은 앞서 설명한 정공 주입층(202), 정공 수송층(203) 또는 제 2 광학 보조층(423) 물질에 P형 도펀트(dopant)를 도핑(doping)하여 형성되거나 P형 물질로 형성될 수 있다.The second P-type doped
제 2 P형 도핑층(424)은 유기 발광 소자 특성에 적합한 광학 거리의 형성을 고려할 때, 1 이상 400Å 이하의 두께로 형성될 수 있다. 정공 주입층(202), 정공 수송층(203) 또는 제 2 광학 보조층(423) 물질에 P형 도펀트를 도핑하여 제 2 P형 도핑층(424)을 형성하는 경우, P형 도펀트의 농도는 0.1 이상 10% 이하의 수준이 바람직하다.The second P-type doped
또한, 적색 서브 화소 영역(Rp)과 녹색 서브 화소 영역(Gp)에 있어서의 광학 거리 형성을 고려할 때, 제 1 P형 도핑층(314)과 제 2 P형 도핑층(424)의 두께는 서로 다를 수 있으며, 제 1 P형 도핑층(314)과 제 2 P형 도핑층(424)의 도펀트의 농도를 서로 다르게 형성할 수도 있다. In addition, when considering the formation of an optical distance in the red sub-pixel region Rp and the green sub-pixel region Gp, the thickness of the first P-type doped
위와 같은 단계들을 거쳐, 제 2 레이저 열전사 필름(421) 상에 제 2 유기 발광층(422), 제 2 광학 보조층(423) 및 제 2 P형 도핑층(424)을 포함하는 제 2 유기물층이 순차적으로 형성된 제 3 기판(425)이 준비된다.Through the above steps, a second organic material layer including a second organic
다음으로, 도 1, 도 6(a) 내지 도 6(c)를 참조하면, 제 1 기판(205) 및 제 3 기판(425)을 합착 및 전사하는 단계(S141 ~ S143)가 개시된다.Next, referring to FIGS. 1 and 6(a) to 6(c) , bonding and transferring the
먼저, 도 1 및 도 6(a)를 참조하면, 제 1 기판(205)에 제 3 기판(425)이 전면에 대응되도록 얼라인하여 합착한다(S141).First, referring to FIGS. 1 and 6A , the
다음으로, 도 1 및 도 6(b)를 참조하면, 제 3 기판(425)의 녹색 서브 화소 영역(Gp)에 대응되는 제 2 레이저 열전사 필름(421)에 레이저를 조사하여 제 2 P형 도핑층(424), 제 2 광학 보조층(423) 및 제 2 유기 발광층(422)을 제 1 기판(205)에 형성되어 있는 전자 저지층(204) 상에 전사한다(S142). 이 때 레이저가 선택적으로 조사된 녹색 서브 화소 영역(Gp)의 전자 저지층(204) 상에만 제 2 P형 도핑층(424), 제 2 광학 보조층(423) 및 제 2 유기 발광층(422)이 전사되어 형성된다.Next, referring to FIGS. 1 and 6B , the second P-
다음으로, 도 1 및 도 6(c)를 참조하면, 제 2 P형 도핑층(424), 제 2 광학 보조층(423) 및 제 2 유기 발광층(422)을 제 1 기판(205)의 전자 저지층(204) 상에 전사한 이후, 제 2 레이저 열전사 필름(421)을 제거한다(S143). 도 6(c)에서 볼 수 있는 것과 같이, 제 2 레이저 열전사 필름(421)을 제거하는 경우, 녹색 서브 화소 영역(Gp) 이외의 영역에 형성된 유기물층은 제 2 레이저 열전사 필름(421)과 동시에 함께 제거된다.Next, referring to FIGS. 1 and 6 ( c ), the second P-
위와 같은 단계들을 거쳐, 제 1 기판(205)의 녹색 서브 화소 영역(Gp)에서 레이저 열전사를 통한 제 2 P형 도핑층(424), 제 2 광학 보조층(423) 및 제 2 유기 발광층(422)의 형성이 완료된다. Through the above steps, in the green sub-pixel region Gp of the
다음으로, 도 1, 도 7(a) 내지 7(d)를 참조하면, 상기 레이저 열전사를 통해, 적색 서브 화소 영역(Rp)에 제 1 P형 도핑층(314), 제 1 광학 보조층(313) 및 제 1 유기 발광층(312)과 녹색 서브 화소 영역(Gp)에 제 2 P형 도핑층(424), 제 2 광학 보조층(423) 및 제 2 유기 발광층(422)이 형성된 제 1 기판(205) 상에 제 3 유기 발광층(751)을 형성한다(S151).Next, referring to FIGS. 1 and 7A to 7D , the first P-
제 3 유기 발광층(751)은 청색 빛을 발광하는 청색 발광층(Blue Emission layer: Blue EML)으로 이루어질 수 있다. 제 3 유기 발광층(751)은 제 1 유기 발광층(312) 및 제 2 유기 발광층(422)의 상부에 형성되며, 적색 서브 화소 영역(Rp), 녹색 서브 화소 영역(Gp) 및 청색 서브 화소 영역(Bp)의 전면에 대응되도록 형성된다. The third
제 3 유기 발광층(751)은 CBP 또는 mCP를 포함하는 호스트 물질을 포함하며, (4,6-F2ppy)2Irpic을 포함하는 도펀트 물질을 포함하는 인광 물질로 이루어질 수 있다. 이와는 달리, spiro-DPVBi, spiro-6P, 디스틸벤젠(DSB), 디스트릴아릴렌(DSA), PFO계 고분자 및 PPV계 고분자로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나를 포함하는 형광 물질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The third
다음으로, 도 1 및 도 7(b)를 참조하면, 제 3 유기 발광층(751) 상에 전자 수송층(752, electron transporting layer: ETL)을 형성한다(S152). Next, referring to FIGS. 1 and 7B , an electron transporting layer (ETL) 752 is formed on the third organic emission layer 751 ( S152 ).
전자 수송층(752)은 전자 수송 및 주입의 역할을 할 수 있으며, 전자 수송층(752)의 두께는 전자 수송 특성을 고려하여 조절될 수 있다. The
전자 수송층(752)은 전자의 수송을 원활하게 하는 역할을 하며, Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)[0046] aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq, Liq(lithium quinolate), BMB-3T, PF-6P, TPBI, COT 및 SAlq로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The
또한, 도면에는 도시되지 않았으나, 전자 수송층(752)의 상부에 전자 주입층(electron injection layer: EIL)이 별도로 추가 형성될 수도 있다. In addition, although not shown in the drawings, an electron injection layer (EIL) may be separately additionally formed on the
전자 주입층(EIL)은 Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq 또는 SAlq를 사용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The electron injection layer (EIL) may include, but is not limited to, Alq3 (tris(8-hydroxyquinolino)aluminum), PBD, TAZ, spiro-PBD, BAlq, or SAlq.
여기서, 본 발명의 실시예에 따라 그 구조가 한정되는 것은 아니며, 정공 주입층(202), 정공 수송층(203), 제 1 광학 보조층(313), 제 2 광학 보조층(423) 및 전자 수송층(752) 중 적어도 어느 하나는 생략될 수도 있다. Here, the structure is not limited according to the embodiment of the present invention, and the
또한, 정공 주입층(202), 정공 수송층(203), 제 1 광학 보조층(313), 제 2 광학 보조층(423) 및 전자 수송층(752) 및 전자 주입층(EIL)을 두 개 이상의 층으로 구성하는 것도 가능하다.In addition, the
다음으로, 도 1 및 도 7(c)를 참조하면, 전자 수송층(752)의 상부에 제 2 전극(753, cathode)을 형성한다(S153). 제 2 전극(753)은 예를 들어, 은(Ag) 또는 은(Ag)과 마그네슘(Mg) 합금(Ag:Mg)으로 이루어 질 수 있으나 이에 한정되지 않으며, 반투과 특성을 가질 수 있다. Next, referring to FIGS. 1 and 7C , a second electrode 753 (cathode) is formed on the electron transport layer 752 (S153). The
즉, 유기 발광층으로부터 방출된 빛은 제 2 전극(753)을 통해 외부로 표시되는데, 제 2 전극(753)은 반투과 특성을 갖기 때문에, 일부의 빛은 다시 제 1 전극(201)으로 향하게 된다.That is, the light emitted from the organic emission layer is displayed to the outside through the
이와 같이, 반사층으로 작용하는 제 1 전극(201)과 제 2 전극(753) 사이에서 반복적인 반사가 일어나게 되며, 이와 같은 마이크로 캐비티(micro cavity) 효과에 의해서 제 1 전극(201)과 제 2 전극(753) 사이의 캐비티 내에서 빛이 반복적으로 반사되어 광 효율이 증가하게 된다. In this way, repeated reflection occurs between the
이 외에도, 제 1 전극(201)을 투과 전극으로 형성하고, 제 2 전극(753)을 반사 전극으로 형성하여 제 1 전극(201)을 통해 유기 발광층으로부터의 빛이 외부로 표시되는 것도 가능하다.In addition, light from the organic light emitting layer may be externally displayed through the
다음으로, 도 1 및 도 7(d)를 참조하면, 제 2 전극(753) 상에 캡핑층(754, capping layer: CPL)을 형성한다(S154). 캡핑층(754)은 광 추출 효과를 증가시키기 위한 것으로, 캡핑층(754)은 정공 수송층(203) 물질, 제 1 광학 보조층(313) 물질, 제 2 광학 보조층(423) 물질, 전자 수송층(752) 물질 및 제 1 발광층(312), 제 2 발광층(412), 제 3 발광층(751)의 호스트 물질 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. 또한, 캡핑층(754)을 생략하는 것도 가능하다.Next, referring to FIGS. 1 and 7D , a capping layer 754 (CPL) is formed on the second electrode 753 ( S154 ). The
위와 같은 제조 방법을 통해서, 레이저 열전사법을 이용한 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 제조가 완료된다. Through the above manufacturing method, the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention using the laser thermal transfer method is manufactured.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자 및 비교예에 따른 유기 발광 소자의 적색 발광 및 녹색 발광 시의 전기 광학 특성 평가 결과를 나타내는 도면이다.8 is a view showing electro-optical characteristic evaluation results in red light emission and green light emission of the organic light emitting diode according to the embodiment of the present invention and the organic light emitting diode according to the comparative example.
도 8을 참조하면, P형 도핑층을 적용하지 않은 비교예의 유기 발광 소자는 적색 발광의 경우에 5.4V의 구동 전압 및 44.5cd/A의 휘도를 나타내었다. 반면, P형 도핑층을 적용한 실시예의 유기 발광 소자는 적색 발광의 경우에 4.4V의 구동 전압 및 46cd/A의 휘도를 나타내었다.Referring to FIG. 8 , the organic light emitting diode of Comparative Example to which the P-type doping layer is not applied exhibited a driving voltage of 5.4 V and a luminance of 44.5 cd/A in the case of red light emission. On the other hand, the organic light emitting diode of the embodiment to which the P-type doping layer is applied exhibited a driving voltage of 4.4 V and a luminance of 46 cd/A in the case of red light emission.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 P형 도핑층을 적용한 유기 발광 소자는 적색 발광 시에, P형 도핑층을 적용하지 않은 비교예의 유기 발광 소자와 비교하여, 유사한 수준의 휘도를을 나타내었으나, 약 1.0V 더 낮은 구동 전압을 나타내었다. 이러한 결과로부터, 본 발명의 실시예에 따른 P형 도핑층을 적용한 유기 발광 소자를 이용하는 경우, 구동 전압 감소의 효과를 얻을 수 있음을 확인할 수 있었다. That is, the organic light emitting device to which the P-type doped layer according to the embodiment of the present invention is applied exhibited a similar level of luminance when emitting red light, compared to the organic light emitting device of the Comparative Example to which the P-type doped layer was not applied. About 1.0V lower driving voltage was shown. From these results, it was confirmed that when the organic light-emitting device to which the P-type doping layer according to the embodiment of the present invention is applied is used, the effect of reducing the driving voltage can be obtained.
또한, P형 도핑층을 적용하지 않은 비교예의 유기 발광 소자는 녹색 발광의 경우에 4.7V의 구동 전압 및 113.3cd/A의 휘도를 나타내었다. 반면, P형 도핑층을 적용한 실시예의 유기 발광 소자는 녹색 발광의 경우에 4.3V의 구동 전압 및 115cd/A의 휘도를 나타내었다.In addition, the organic light emitting diode of Comparative Example to which the P-type doping layer was not applied exhibited a driving voltage of 4.7 V and a luminance of 113.3 cd/A in the case of green light emission. On the other hand, the organic light emitting diode of the embodiment to which the P-type doping layer is applied exhibited a driving voltage of 4.3 V and a luminance of 115 cd/A in the case of green light emission.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 P형 도핑층을 적용한 유기 발광 소자는, 녹색 발광 시에, P형 도핑층을 적용하지 않은 비교예의 유기 발광 소자와 비교하여, 유사한 수준의 휘도를 나타내었으나, 약 0.4V 더 낮은 구동 전압을 나타내었다. 이러한 결과로부터, 본 발명의 실시예에 따른 P형 도핑층을 적용한 유기 발광 소자를 이용하는 경우, 구동 전압 감소의 효과를 얻을 수 있음을 다시 한번 확인할 수 있었다.That is, the organic light emitting device to which the P-type doping layer is applied according to the embodiment of the present invention exhibits a similar level of luminance when compared to the organic light emitting device of the Comparative Example to which the P-type doping layer is not applied when green light is emitted. About 0.4V lower driving voltage was shown. From these results, it was confirmed once again that when the organic light-emitting device to which the P-type doping layer is applied according to the embodiment of the present invention is used, the effect of reducing the driving voltage can be obtained.
도 9a 및 9b는 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자 및 비교예에 따른 유기 발광 소자의 적색 발광 및 녹색 발광 시의 수명 특성 평가 결과를 나타내는 도면이다.9A and 9B are views showing results of evaluation of lifespan characteristics during red light emission and green light emission of an organic light emitting diode according to an embodiment of the present invention and an organic light emitting diode according to a comparative example.
도 8 및 도 9a를 참조하여 유기 발광 소자의 수명 특성 평가 결과를 살펴보면, 적색 발광 시에, 비교예에 따른 유기 발광 소자의 수명은 약 325시간을 나타내었으나, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 수명은 약 425시간을 나타내었다. 이러한 결과로부터, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자를 이용하는 경우, 적색 발광 시에 약 100시간 수준의 수명 향상을 달성할 수 있음을 확인할 수 있었다.Referring to the results of evaluation of the lifespan characteristics of the organic light emitting device with reference to FIGS. 8 and 9A , the lifespan of the organic light emitting device according to the comparative example was about 325 hours during red light emission, but the organic light emitting diode according to the embodiment of the present invention The lifetime of the device was about 425 hours. From these results, it was confirmed that, when the organic light emitting device according to the embodiment of the present invention is used, it is possible to achieve a lifespan improvement of about 100 hours during red light emission.
또한, 도 8 및 도 9b를 참조하여 유기 발광 소자의 수명 특성 평가 결과를 살펴보면, 녹색 발광 시에, 비교예에 따른 유기 발광 소자의 수명은 약 200시간을 나타내었으나, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자의 수명은 약 290시간을 나타내었다. 이러한 결과로부터, 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자를 이용하는 경우, 녹색 발광 시에도 약 90시간 수준의 수명 향상을 달성할 수 있음을 확인할 수 있었다. In addition, referring to FIGS. 8 and 9B , when looking at the evaluation results of the lifespan characteristics of the organic light emitting diode, the life of the organic light emitting diode according to the comparative example was about 200 hours when green light was emitted. The lifetime of the organic light emitting device was about 290 hours. From these results, it was confirmed that, when the organic light emitting diode according to the embodiment of the present invention is used, the lifespan improvement of about 90 hours can be achieved even when green light is emitted.
상기 전기 광학 평가 및 수명 특성 평가 결과를 종합해 보면, P형 도핑층을 적용한 본 발명의 실시예에 따른 유기 발광 소자는 비교예의 유기 발광 소자와 대비할 때, 적색 발광시의 경우 동일한 색좌표에서 동등한 수준 이상의 효율과 31% 수준의 수명 향상 및 1.0V 수준의 구동 전압 감소의 효과를 나타내었고, 녹색 발광 시의 경우는 동일한 색좌표에서 동등한 수준 이상의 효율과 45% 수준의 수명 향상 및 0.4V 수준의 구동 전압 감소의 효과를 얻는 것이 가능함을 알 수 있다. Combining the electro-optical evaluation and lifespan characteristic evaluation results, the organic light-emitting device according to the embodiment of the present invention to which the P-type doping layer is applied has the same level in the same color coordinates when compared to the organic light-emitting device of the comparative example, in the case of red light emission. The above efficiency, 31% lifespan improvement, and 1.0V level reduction in driving voltage were exhibited. In the case of green light emission, at the same color coordinate, efficiency above the same level, lifespan improvement of 45%, and driving voltage of 0.4V level It can be seen that it is possible to obtain the effect of reduction.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications may be made within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. . Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. The protection scope of the present invention should be construed by the claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.
200: 기판
201: 제 1 전극
202: 정공 주입층
203: 정공 수송층
204: 전자 저지층
314: 제 1 P형 도핑층
424: 제 2 P형 도핑층
313: 제 1 광학 보조층
423: 제 2 광학 보조층
312: 제 1 유기 발광층
422: 제 2 유기 발광층
751: 제 3 유기 발광층
752: 전자 수송층
753: 제 2 전극
754: 캡핑층
205: 제 1 기판
315: 제 2 기판
425: 제 3 기판200: substrate
201: first electrode
202: hole injection layer
203: hole transport layer
204: electron blocking layer
314: first P-type doped layer
424: second P-type doped layer
313: first optical auxiliary layer
423: second optical auxiliary layer
312: first organic light emitting layer
422: second organic light emitting layer
751: third organic light emitting layer
752: electron transport layer
753: second electrode
754: capping layer
205: first substrate
315: second substrate
425: third substrate
Claims (11)
제 2 기판을 준비하는 단계;
상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 얼라인 및 합착하는 단계;
상기 제 2 기판에 레이저를 조사하여 상기 제 2 기판에 형성된 제 1 유기물층을 상기 제 1 기판 상에 전사하는 단계; 및
상기 제 2 기판을 제거하는 단계를 포함하고,
상기 제 1 기판을 준비하는 단계는,
기판 상에 제 1 전극을 형성하는 단계; 및
상기 제 1 전극 상에 정공 주입층, 정공 수송층 및 전자 저지층을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 제 2 기판을 준비하는 단계는,
상기 제 2 기판 상에 제 1 유기 발광층, 제 1 광학 보조층 및 제 1 P형 도핑층을 포함하는 상기 제 1 유기물층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하며,
상기 제 2 기판에 형성된 제 1 유기물층을 상기 제 1 기판 상에 전사하는 단계에서,
상기 제 2 기판의 상기 제 1 유기물층을 상기 제 1 기판의 상기 전자 저지층 상에 전사하여 상기 전자 저지층과 상기 제 1 광학 보조층 사이에 상기 제 1 P형 도핑층이 형성되도록 하는 유기 발광 소자의 제조 방법.preparing a first substrate;
preparing a second substrate;
aligning and bonding the first substrate and the second substrate;
transferring a first organic material layer formed on the second substrate onto the first substrate by irradiating a laser to the second substrate; and
removing the second substrate;
The step of preparing the first substrate,
forming a first electrode on a substrate; and
Comprising the step of forming a hole injection layer, a hole transport layer and an electron blocking layer on the first electrode,
The step of preparing the second substrate,
and sequentially forming the first organic material layer including a first organic light emitting layer, a first optical auxiliary layer, and a first P-type doping layer on the second substrate,
In the step of transferring the first organic material layer formed on the second substrate on the first substrate,
An organic light emitting device for transferring the first organic material layer of the second substrate onto the electron blocking layer of the first substrate to form the first P-type doped layer between the electron blocking layer and the first optical auxiliary layer manufacturing method.
제 3 기판을 준비하는 단계;
상기 제 1 유기물층이 형성된 상기 제 1 기판과 상기 제 3 기판을 얼라인 및 합착하는 단계;
상기 제 3 기판에 레이저를 조사하여 상기 제 3 기판에 형성된 제 2 유기물층을 상기 제 1 기판 상에 전사하는 단계; 및
상기 제 3 기판을 제거하는 단계를 더 포함하고,
상기 제 3 기판을 준비하는 단계는,
상기 제 3 기판 상에 제 2 유기 발광층, 제 2 광학 보조층 및 제 2 P형 도핑층을 포함하는 상기 제 2 유기물층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.The method of claim 1,
preparing a third substrate;
aligning and bonding the first substrate and the third substrate on which the first organic material layer is formed;
transferring a second organic material layer formed on the third substrate onto the first substrate by irradiating a laser to the third substrate; and
Further comprising the step of removing the third substrate,
The step of preparing the third substrate,
and sequentially forming the second organic material layer including a second organic light emitting layer, a second optical auxiliary layer, and a second P-type doping layer on the third substrate.
상기 제 1 유기물층 및 상기 제 2 유기물층이 형성된 상기 제 1 기판의 전면에 제 3 유기 발광층을 형성하는 단계;
상기 제 3 유기 발광층 상에 전자 수송층을 형성하는 단계;
상기 전자 수송층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계; 및
상기 제 2 전극 상에 캡핑층을 형성하는 단계를 더 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.3. The method of claim 2,
forming a third organic light emitting layer on the entire surface of the first substrate on which the first organic material layer and the second organic material layer are formed;
forming an electron transport layer on the third organic light emitting layer;
forming a second electrode on the electron transport layer; and
The method of manufacturing an organic light-emitting device further comprising the step of forming a capping layer on the second electrode.
상기 제 2 기판 및 상기 제 3 기판 각각은 레이저 열전사 필름을 포함하는 유기 발광 소자의 제조 방법.3. The method of claim 2,
Each of the second substrate and the third substrate includes a laser thermal transfer film.
상기 제 1 P형 도핑층 및 상기 제 2 P형 도핑층 각각은 정공 수송층 물질에 P형 도펀트를 도핑하여 형성되거나 P형 물질로 형성되는 유기 발광 소자의 제조 방법.6. The method of claim 5,
Each of the first P-type doped layer and the second P-type doped layer is formed by doping the hole transport layer material with a P-type dopant or is formed of a P-type material.
상기 제 1 유기 발광층은 적색 발광층으로 이루어지고, 상기 제 2 유기 발광층은 녹색 발광층으로 이루어지는 유기 발광 소자의 제조 방법.7. The method of claim 6,
The method of manufacturing an organic light emitting device, wherein the first organic light emitting layer is made of a red light emitting layer, and the second organic light emitting layer is made of a green light emitting layer.
상기 제 1 P형 도핑층과 상기 제 2 P형 도핑층은 서로 다른 두께로 형성되는 유기 발광 소자의 제조 방법.3. The method of claim 2,
The method of manufacturing an organic light emitting device in which the first P-type doped layer and the second P-type doped layer are formed to have different thicknesses.
상기 제 1 P형 도핑층과 상기 제 2 P형 도핑층은 서로 다른 도펀트 농도로 이루어지는 유기 발광 소자의 제조 방법.7. The method of claim 6,
The method of manufacturing an organic light emitting device comprising the first P-type doped layer and the second P-type doped layer having different dopant concentrations.
상기 제 3 유기 발광층은 청색 발광층으로 이루어지는 유기 발광 소자의 제조 방법.5. The method of claim 4,
The third organic light emitting layer is a method of manufacturing an organic light emitting device comprising a blue light emitting layer.
상기 제 1 광학 보조층과 상기 제 2 광학 보조층은 서로 다른 두께로 형성되는 유기 발광 소자의 제조 방법.3. The method of claim 2,
The method of manufacturing an organic light emitting device in which the first optical auxiliary layer and the second optical auxiliary layer are formed to have different thicknesses.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140095813A KR102299891B1 (en) | 2014-07-28 | 2014-07-28 | Method for manufacturing organic light emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140095813A KR102299891B1 (en) | 2014-07-28 | 2014-07-28 | Method for manufacturing organic light emitting device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160013687A KR20160013687A (en) | 2016-02-05 |
KR102299891B1 true KR102299891B1 (en) | 2021-09-07 |
Family
ID=55353519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140095813A KR102299891B1 (en) | 2014-07-28 | 2014-07-28 | Method for manufacturing organic light emitting device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102299891B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114864839B (en) * | 2022-07-08 | 2022-11-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | Display substrate and display device |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008034280A (en) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Sony Corp | Manufacturing method of display |
KR20120119089A (en) * | 2011-04-20 | 2012-10-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | Method for manufacturing organic luminescent display apparatus |
KR101950827B1 (en) * | 2011-12-21 | 2019-04-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Device and Method for Manufacturing the Same |
KR101703343B1 (en) * | 2012-02-13 | 2017-02-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display device and method for manufacturing thereof |
KR101464270B1 (en) * | 2012-08-24 | 2014-11-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light-emitting diode and method of fabricating the same |
JP2014063829A (en) * | 2012-09-20 | 2014-04-10 | Samsung Display Co Ltd | Organic el display device |
KR102037819B1 (en) * | 2012-12-24 | 2019-10-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method for Manufacturing The Same |
KR102016072B1 (en) * | 2012-12-28 | 2019-08-30 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic light emitting display and method for fabricating the same |
-
2014
- 2014-07-28 KR KR1020140095813A patent/KR102299891B1/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20160013687A (en) | 2016-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102299838B1 (en) | Organic light emitting device and method of fabricating the same | |
US20180309085A1 (en) | Method of manufacturing a display panel | |
US9590203B2 (en) | Organic light-emitting device | |
KR102245164B1 (en) | Organic light emitting device and method of fabricating the same | |
US9508946B2 (en) | Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof | |
KR102125881B1 (en) | Organic light emitting device | |
KR102149685B1 (en) | Organic light emitting device | |
KR102353804B1 (en) | Organic light emitting device | |
KR102339125B1 (en) | Organic light emitting device | |
US10763439B2 (en) | Organic light emitting device and display device including the same | |
KR102196082B1 (en) | Organic light emitting device | |
US9735396B2 (en) | White organic light emitting diode | |
KR102083985B1 (en) | Organic light emitting diode and method for preparing the same | |
KR20220054757A (en) | Organic light emitting element | |
KR102331042B1 (en) | Organic light emitting device | |
KR102299891B1 (en) | Method for manufacturing organic light emitting device | |
KR102415654B1 (en) | Organic light emitting device | |
KR20220066029A (en) | Organic light emitting device | |
KR102316200B1 (en) | Organic light emitting device and method of fabricating the same | |
KR20160038480A (en) | Organic light emitting device | |
KR102493947B1 (en) | Organic light emitting device | |
KR102299481B1 (en) | Organic light emitting device | |
KR101771253B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Device | |
KR20160015481A (en) | Organic light emitting device | |
KR101739131B1 (en) | Organic Light Emitting Diode Device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |