KR102290590B1 - 이동식 화학 기계식 연마시스템 - Google Patents

이동식 화학 기계식 연마시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102290590B1
KR102290590B1 KR1020140152245A KR20140152245A KR102290590B1 KR 102290590 B1 KR102290590 B1 KR 102290590B1 KR 1020140152245 A KR1020140152245 A KR 1020140152245A KR 20140152245 A KR20140152245 A KR 20140152245A KR 102290590 B1 KR102290590 B1 KR 102290590B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate carrier
carrier unit
docking
unit
positioning
Prior art date
Application number
KR1020140152245A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20160052228A (ko
Inventor
김해솔
Original Assignee
주식회사 케이씨텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 케이씨텍 filed Critical 주식회사 케이씨텍
Priority to KR1020140152245A priority Critical patent/KR102290590B1/ko
Publication of KR20160052228A publication Critical patent/KR20160052228A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102290590B1 publication Critical patent/KR102290590B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 이동식 화학 기계식 연마(CMP) 시스템에 관한 것으로, 화학 기계적 연마 공정이 행해지는 하나 이상의 연마 정반을 거칠 수 있는 이동 경로를 따라 기판을 보유한 상태로 이동하고, 위치결정을 위한 위치결정용 구멍이 외면에 형성된 기판 캐리어 유닛과; 상기 기판 캐리어 유닛의 상기 위치결정용 구멍에 삽입되는 위치정렬용 돌기가 구비되어, 상기 기판 캐리어 유닛과의 위치가 상기 위치결정용 구멍과 상기 위치정렬용 돌기의 삽입에 의해 정렬된 상태로 도킹되어, 전원과 공압과 회전 구동력 중 어느 하나 이상을 공급하는 도킹 유닛을; 포함하고, 상기 위치정렬용 돌기가 도킹 방향에 수직한 제1방향에 탄성 지지되어 이동 가능하게 설치되어, 도킹 시에 발생되는 충격을 최소화하여 충격에 의한 위치 틀어짐을 예방할 수 있고, 위치정렬용 돌기가 파손되거나 위치결정용 구멍이 파손되는 것을 방지하여, 장시간 사용하더라도 도킹 유닛과 기판 캐리어 유닛의 도킹 위치를 정확하게 유지하여 항상 동력을 원활하게 공급할 수 있는 이동식 화학 기계식 연마(CMP) 시스템을 제공한다.

Description

이동식 화학 기계식 연마시스템 {MOVABLE CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SYSTEM}
본 발명은 이동식 화학 기계적 연마 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 동력 장치가 탑재되지 않고 외부의 동력으로 기판 캐리어 유닛이 기판을 보유한 상태로 이동하면서 다수의 연마 정반에서 화학 기계적 연마 공정을 행하는 데 있어서, 연마 정반에 도달한 기판 캐리어 유닛에 도킹 유닛이 정확히 도킹할 수 있게 하는 화학 기계적 연마 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 화학 기계식 연마(Chemical Mechanical Polishing; CMP) 공정은 연마층이 구비된 반도체 제작을 위한 웨이퍼 등의 기판과 연마 정반 사이에 상대 회전 시킴으로써 기판의 표면을 연마하는 표준 공정으로 알려져 있다.
최근에는 웨이퍼의 연마층 두께를 보다 정교하게 조절하기 위하여 하나의 웨이퍼에 대하여 여러 단계의 화학 기계적 연마 공정이 행해지는 화학 기계적 연마 시스템이 대한민국 공개특허공보 제2004-75114호 등에서 제안되고 있다.
특히, 본 출원인이 제안하여 특허등록된 대한민국 등록특허공보 제10-1187102호에 따르면, 무한 궤도 경로의 트랙을 따라 기판 캐리어 유닛에 전원 저장 장치를 구비하지 않고 외부의 전원에 의해 이동하고, 기판 캐리어 유닛이 연마 정반 상에 도달하면, 도킹 유닛이 기판 캐리어 유닛에 도킹하여 도킹 유닛으로부터 회전 구동력과 공압을 기판 캐리어 유닛에 공급하여 웨이퍼를 가압하면서 회전시키고 리테이너 링을 가압한다. 즉, 기판을 보유한 상태로 정해진 경로를 따라 이동하는 기판 캐리어 유닛에는 공압과 전원 장치를 구비하지 않아, 기판 캐리어 유닛의 이동에 따라 이를 이동시키는 데 필요한 전기 배선의 꼬임을 자연적으로 방지하면서도, 기판 캐리어 유닛을 경량화하여 이동에 필요한 동력을 최소화할 수 있는 잇점을 얻을 수 있다.
한편, 기판 캐리어 유닛은 내부에 구동 수단을 구비하지 않고 외부의 동력에 의해 정해진 경로를 따라 이동하므로, 연마 정반 상에 도달하면 기판을 가압하기 위한 공압과 기판을 회전시키기 위한 회전 구동력이 전달되어야 하며, 경우에 따라서는 전원이 공급되어야 한다. 이를 위하여 도킹 유닛이 기판 캐리어 유닛에 도킹하는데, 도킹 위치가 부정확하거나 도킹 과정에서의 충격에 의해 일부가 손상되는 문제가 야기되었다.
따라서, 이동식 화학 기계적 연마 시스템에서 기판 캐리어 유닛이 연마 정반에서 연마 공정을 위하여 도킹 유닛과 도킹할 때에, 기판 캐리어 유닛과 도킹 유닛 간의 충격을 완화하면서 도킹을 정확하게 할 필요성이 크게 대두되고 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 외부의 동력으로 기판 캐리어 유닛을 이동시키면서 화학 기계적 연마 공정을 행하는 시스템에 있어서, 기판 캐리어 유닛에 동력을 전달하기 위한 도킹 공정을 정확하고 손상없이 행할 수 있는 화학 기계적 연마 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
즉, 본 발명은, 무동력 상태로 이동하는 기판 캐리어 유닛이 기판의 화학 기계적 연마 공정을 위하여 도킹 유닛과 도킹하여 동력을 전달받는 과정에서, 도킹 유닛과 틀어지거나 위치 편차를 제거하여 위치 정확성을 향상시키는 것을 목적으로 한다.
동시에 본 발명은, 도킹 과정에서 기판 캐리어 유닛과 도킹 유닛의 위치 정확성을 확보하기 위하여 돌기가 구멍에 삽입되는 과정에서, 돌기나 구멍이 손상되는 것을 방지하여, 돌기나 구멍이 손상될 경우에 위치 정확성이 낮아지는 문제점을 해소하여, 장시간동안 사용하더라도 위치 정확성을 그대로 유지하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 화학 기계적 연마 공정이 행해지는 하나 이상의 연마 정반을 거칠 수 있는 이동 경로를 따라 기판을 보유한 상태로 이동하고, 위치결정을 위한 위치결정용 구멍이 외면에 형성된 기판 캐리어 유닛과; 상기 기판 캐리어 유닛의 상기 위치결정용 구멍에 삽입되는 위치정렬용 돌기가 구비되어, 상기 기판 캐리어 유닛과의 위치가 상기 위치결정용 구멍과 상기 위치정렬용 돌기의 삽입에 의해 정렬된 상태로 도킹되어, 전원과 공압과 회전 구동력 중 어느 하나 이상을 공급하는 도킹 유닛을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 이동식 화학 기계적 연마 시스템을 제공한다.
이는, 도킹 유닛이 기판 캐리어 유닛에 도킹될 때에, 기판 캐리어 유닛에 형성된 위치결정용 구멍에 도킹 유닛의 위치정렬용 돌기가 삽입되는 것에 의해, 기판 캐리어 유닛과 도킹 유닛의 상호 위치가 정확히 정렬되므로, 동력을 공급하는 도킹 유닛의 튜브가 기판 캐리어 유닛의 튜브와 정확히 연결되어, 도킹 유닛으로부터 기판 캐리어 유닛에 정확히 동력을 전달할 수 있도록 하기 위함이다.
무엇보다도, 본 발명에 따른 상기 위치정렬용 돌기는 제1방향으로 탄성 지지되어 이동 가능하게 설치된다. 이를 통해, 도킹 유닛과 기판 캐리어 유닛의 위치가 서로 정확히 정렬되지 않더라도, 위치정렬용 돌기가 제1방향으로 탄성 변위가 허용되므로, 위치정렬용 돌기가 위치결정용 도킹 유닛이나 기판 캐리어 유닛에 충돌하여 발생되는 충격을 방지하면서, 도킹 유닛이 기판 캐리어 유닛에 정확히 도킹될 수 있다.
이에 따라, 도킹 유닛과 기판 캐리어 유닛의 위치가 서로 정확히 정렬되지 않아 위치정렬용 돌기가 위치결정용 구멍의 둘레에 충돌하면서 기판 캐리어 유닛과 도킹 유닛의 위치가 틀어지는 것을 방지할 수 있고, 위치정렬용 돌기가 파손되거나 위치결정용 구멍이 파손되어, 위치정렬용 돌기와 위치결정용 구멍의 끼움이 헐거워져 장시간 사용될 경우에 도킹 유닛과 기판 캐리어 유닛의 도킹 위치가 부정확해져 동력이 원활히 공급되지 못하는 문제를 해소할 수 있다.
한편, 기판 캐리어 유닛에 위치결정용 구멍이 형성되는 대신에 도킹 유닛에 위치결정용 구멍이 형성되고, 도킹 유닛에 위치정렬용 돌기가 형성되는 대신에 기판 캐리어 유닛에 위치정렬용 돌기가 형성될 수도 있다. 즉, 본 발명은, 화학 기계적 연마 공정이 행해지는 하나 이상의 연마 정반을 거칠 수 있는 이동 경로를 따라 기판을 보유한 상태로 이동하고, 위치정렬을 위한 위치정렬용 돌기가 외면에 형성된 기판 캐리어 유닛과; 상기 기판 캐리어 유닛의 상기 위치정렬용 돌기에 삽입되는 위치결정용 구멍이 구비되어, 상기 기판 캐리어 유닛과의 위치가 상기 위치결정용 구멍과 상기 위치정렬용 돌기의 삽입에 의해 정렬된 상태로 도킹되어, 전원과 공압과 회전 구동력 중 어느 하나 이상을 공급하는 도킹 유닛을; 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 이동식 화학 기계적 연마 시스템을 제공한다.
이 경우에는, 상기 위치결정용 구멍은 제1방향으로 탄성 지지되어 이동 가능하게 설치되는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 상기 도킹 유닛은 제1몸체와, 상기 기판 캐리어에 공압이나 전원을 전달하는 제2몸체으로 구분되고, 상기 위치결정용 구멍은 상기 제2몸체에 형성되며, 상기 제2몸체는 상기 제1몸체에 대하여 상기 제1방향으로 탄성 지지되어 이동 가능하게 설치될 수 있다.
이 때, 상기 도킹 유닛은 상기 기판 캐리어 유닛에 회전 구동력을 전달하는 제1몸체와, 상기 기판 캐리어에 공압이나 전원을 전달하는 제2몸체으로 구분되고, 상기 제2몸체는 상기 제1몸체에 대하여 상기 제1방향으로 탄성 지지되어 이동 가능하게 설치될 수 있다.
즉, 도킹 유닛으로부터 기판 캐리어 유닛에 전달되는 동력원 중 공압을 공급하는 튜브는 정확히 정렬되지 아니하면 공압이 누설되어 화학 기계적 연마 공정의 제어에 심각한 문제를 야기할 수 있으므로, 공압을 공급하는 제2몸체가 제1방향으로 탄성 지지됨으로써, 공압의 연결부에 대해서는 확실하게 도킹 유닛으로부터 기판 캐리어 유닛으로 전달할 수 있게 된다.
여기서, 제1방향으로 제2몸체가 탄성 지지된 상태로 변위가 허용되도록 하기 위하여, 상기 제1몸체와 상기 제2몸체 중 어느 하나에 고정된 가이드 핀이 다른 하나의 관통공에 상기 제1방향으로 관통하여 상기 제1몸체와 상기 제2몸체가 상기 제1방향으로 이동 가능하고, 상기 가이드 핀의 둘레에 코일 스프링이 배치되는 것에 의해, 상기 제1몸체와 상기 제2몸체가 상기 제1방향으로 탄성 지지되면서 이동 가능하게 구성될 수 있다.
그리고, 상기 핀과 스프링은 상기 제1방향에 수직한 방향으로 상호 이격된 위치에 각각 배치되어, 도킹 과정에서 기판 캐리어 유닛에 대하여 도킹 유닛의 자세가 틀어지는 것을 방지한다.
한편, 상기 제1방향은 상기 도킹 유닛이 상기 기판 캐리어 유닛으로 도킹되는 방향으로 이동하는 방향에 수직한 방향인 것이 바람직하다. 이에 의하여, 위치정렬용 돌기가 위치결정용 핀과의 위치가 정확히 맞지 않더라도, 도킹 방향에 수직한 제1방향으로 위치정렬용 돌기가 미끄러져 이동하여 기판 캐리어 유닛으로 삽입되는 것에 의하여, 상호간 충돌이나 틀어짐없이 매끄럽게 도킹될 수 있다.
이 때, 상기 위치정렬용 돌기의 선단부에는 테이퍼진 모서리면이 형성되어, 위치정렬용 돌기가 위치결정용 핀과의 위치가 정확히 맞지 않는 경우에, 탄성 지지되어 이동하는 위치정렬용 돌기가 선단부의 테이퍼진 모서리면에 의해 위치결정용 구멍에 삽입되도록 안내됨으로써, 국부적으로 응력이 작용하는 것을 회피하면서 자연스럽게 도킹 위치로 도킹 유닛과 기판 캐리어 유닛을 위치시킬 수 있다.
상기 도킹 유닛은 상기 연마 정반 상의 정해진 위치에 도달하면 상기 기판 캐리어 유닛에 도킹하는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마 시스템.
한편, 본 출원인이 출원하여 특허등록된 대한민국 등록특허공보 제10-1187102호의 기재 사항은 본 명세서의 일부로 통합된다.
본 명세서 및 특허청구범위에 기재된 '구멍' 및 이와 유사한 용어는 '돌기' 및 이와 유사한 구성의 일부 이상이 삽입될 수 있는 공간부를 지칭하는 것으로, 반드시 관통 형성되는 것에 국한되지 않으며 '홈'의 형상도 포함하는 것으로 정의하기로 한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 내부에 동력원을 구비하지 않고 외부의 동력원으로 기판 캐리어 유닛을 이동시키면서 화학 기계적 연마 공정을 행하는 이동식 시스템에 있어서, 도킹 유닛이 기판 캐리어 유닛에 도킹될 때에, 기판 캐리어 유닛에 형성된 위치결정용 구멍에 도킹 유닛의 위치정렬용 돌기가 삽입되는 것에 의해, 기판 캐리어 유닛과 도킹 유닛의 상호 위치가 정확히 정렬시켜, 도킹 유닛으로부터 기판 캐리어 유닛에 정확히 동력을 전달할 수 있는 유리한 효과가 있다.
무엇보다도, 본 발명은, 위치정렬용 돌기가 제1방향으로 탄성 지지되어 이동 변위가 허용됨으로써, 도킹 유닛과 기판 캐리어 유닛의 위치가 서로 정확히 정렬되지 않는 위치로 도킹을 위해 상호 근접 이동하더라도, 위치정렬용 돌기가 제1방향으로의 탄성 변위가 허용됨에 따라 위치정렬용 돌기가 위치결정용 구멍으로 정렬되게 제1방향으로도 이동하면서 도킹 유닛과 기판 캐리어 유닛이 도킹함에 따라, 도킹 시에 발생되는 충격을 최소화하여 충격에 의한 위치 틀어짐을 예방할 수 있고, 위치정렬용 돌기가 파손되거나 위치결정용 구멍이 파손되는 것을 방지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
이를 통해, 본 발명은, 위치정렬용 돌기와 위치결정용 구멍의 끼움이 헐거워지지 않게 되므로, 장시간 사용하더라도 도킹 유닛과 기판 캐리어 유닛의 도킹 위치를 정확하게 유지하여 항상 동력을 원활하게 공급할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이동식 화학 기계식 연마시스템의 구성을 도시한 평면도,
도2는 도1의 레이아웃을 구체화한 구성을 뒤집힌 상태로 도시한 이동식 화학 기계식 연마시스템의 이동 구조를 도시한 사시도,
도3은 도2의 기판 캐리어 유닛의 이동 원리를 도시한 개략도,
도4는 도2의 'A'부분의 확대도,
도5는 도2의 도킹 유닛이 기판 캐리어 유닛에 도킹되는 구성을 도시한 도면,
도6은 도2의 기판 캐리어 유닛의 구성을 도시한 사시도,
도7은 도6의 공압 도킹부의 확대도,
도8은 도킹 유닛이 기판 캐리어 유닛에 도킹되는 구성을 도시한 개략도,
도9는 도킹 유닛과 기판 캐리어 유닛의 결합부의 구성을 도시한 측면도,
도10은 도킹 유닛의 결합부의 사시도,
도11은 도10의 정면도,
도12는 도10의 'B'부분의 확대도,
도13은 도9의 평면도,
도14a 및 도14b는 도킹 유닛이 기판 캐리어 유닛에 도킹하는 원리를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 화학 기계식 연마시스템(100)를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학 기계식 연마시스템(100)은, 상면에 연마 패드가 장착되어 회전 가능하게 프레임(10)에 고정 설치된 다수의 연마 정반(110)과, 장착된 기판(W)을 연마 정반(110) 상에서 연마시키도록 기판(W)을 하부에 장착한 상태로 이동하고 내부에 로터리 유니온(123)이 설치된 기판 캐리어 유닛(120)과, 기판 캐리어 유닛(120)을 미리 정해진 경로(130)를 따라 안내하는 레일(132R, 134R, 135R, 136R)과, 기판 캐리어 유닛(120)이 연마 정반(110)의 상측에 위치하면 기판 캐리어 유닛(120)의 로터리 유니온(123)에 공압을 공급하고 장착된 기판(W)을 회전구동시키는 회전 구동력을 전달하도록 기판 캐리어 유닛(120)에 도킹되는 도킹 유닛(180)으로 구성된다.
상기 연마 정반(110)은 웨이퍼 등의 기판(W)을 연마하기 위해 회전 가능하게 프레임(10)에 고정 설치되며, 최상층에는 기판(W)의 연마를 위한 연마 패드가 부착되고, 그 하부에는 이보다 부드러운 재질의 배킹층(backing layer)이 개재된다.
여기서, 연마 정반(110)은 서로 연속하지 않게 직선 형태로 구분되게 배열된 경로로 이루어진 순환형 경로(130) 중 제1경로(132)상에 다수개로 배열된다. 제1경로(132)에서는 기판 캐리어 유닛(130)이 한 방향(왼쪽 방향)으로만 기판(W)을 이동시키면서 연마 정반(110) 상에 연마하도록 작동된다. 이와 같이, 연마될 기판(W)이 어느 한 방향으로만 일률적으로 이동하면서 기판(W)의 연마 공정이 이루어짐으로써 공정의 효율이 향상된다.
연마 정반(110)에는 연마 패드의 표면을 개질하는 컨디셔너가 설치되고, 동시에 기판(W)의 화학적 연마를 위하여 슬러리를 공급하는 슬러리 공급부가 구비된다. 여기서, 연마 정반(110)상에 공급되는 슬러리는 모두 동일한 종류로 공급되지 않으며, 기판(W)의 연마 공정에 따라 순차적으로 적당한 슬러리가 선택되어 연마 패드 상에 공급된다.
상기 순환형 경로(130)는 다수의 연마 정반(110)을 통과하는 2열의 제1경로(132)와, 2열의 제1경로(132)의 사이에 제1경로(132)와 평행하게 배열된 제3경로(134)와, 상기 제1경로(132) 및 상기 제3경로(134)의 양단부에 배열된 한 쌍의 제2경로(131,133)로 이루어진다. 여기서, 제1경로(132)는 제1가이드레일(132R)에 의해 정해지고, 제2경로(131, 133)는 고정 레일(131R, 133R)에 의해 정해지며, 제3경로(134)는 제3가이드레일(134R)에 의해 정해진다.
순환형 경로(130)를 따라 이동하는 기판 캐리어 유닛(120)의 상측을 따라 분절 형태의 코일(90)이 배열되고, 그 양측에는 기판 캐리어 유닛(120)이 연마 정반(110)상의 미리 정해진 위치에 도달하면 장착된 기판(W)이 회전하더라도 기판 캐리어 유닛(120)이 견고하게 요동없이 제 위치로 고정되도록 선택적으로 프레임(10)에 고정하는 위치고정유닛이 설치된다.
여기서, 각각의 경로들(131-134)은 각각 서로 연결되지 않은 형태로 배열되지만, 제2경로(131,133)에는 기판 캐리어 유닛(120)을 파지한 상태로 이동하는 캐리어 홀더(135, 136)이 각각 설치되어, 캐리어 홀더(135, 136)이 제1경로(132) 또는 제3경로(134)로 옮겨갈 수 있는 위치에 도달한 경우에만, 기판 캐리어 유닛(120)이 서로 분절된 경로(131-134)를 서로 왕래할 수 있는 연결된 상태가 된다. 즉, 기판 캐리어 유닛(120)은 제1경로(132)와 제3경로(134)에서는 단독으로 제1가이드레일(132R)과 제3가이드레일(134R)을 따라 이동하지만, 제2경로(131, 133)에서는 단독으로 고정 레일(131R, 133R)을 따라 이동하지 못하고 캐리어 홀더(135, 136)에 위치한 상태에서 캐리어 홀더(135, 136)의 이동에 의해 이동하게 된다.
상기 기판 캐리어 유닛(120)은 다양한 구성 부품(123-127)을 케이싱(122) 내에 고정한 상태로 경로(130)을 따라 이동하도록 제어되며, 다수의 기판 캐리어 유닛(120)은 상호 독립적으로 이동 제어된다. 도1에서는 기판 캐리어 유닛(120)을 ‘조밀하게 밀집된 수직선’으로 표시되어 있다.
그리고, 기판 캐리어 유닛(120)이 순환 경로(130)를 따라 이동하는 과정에서, 기판 캐리어 유닛(120)의 양측에 직선 형태로 배열된 가이드 레일(132R, 133R, 134R, 135R, 136R)을 따라 타고 이동하므로, 기판 캐리어 유닛(120)은 항상 일정한 방향을 바라보는 자세가 유지되어 이동 중에 회전 운동(rotational movement)은 행해지지 않으며 이동 운동(translational movement)만 행하게 된다.
각각의 기판 캐리어 유닛(120)은 도6에 도시된 바와 같이 기판(W)을 파지하는 캐리어 헤드(20)와, 기판(W)의 회전을 허용하면서 기판(W)의 판면 방향으로 가압하는 로터리 유니온(123)과, 도킹 유닛(180)으로부터 회전 구동력을 전달받는 피구동 중공회전축(124)과, 피구동 중공회전축(124)에 전달되는 회전 구동력을 전달하도록 축, 기어 등으로 이루어져 캐리어 헤드(20)에 회전 구동력을 전달하는 동력 전달 요소들(125b, 125w...)과, 기판 캐리어 유닛(120)이 양측의 상,하부에 각각 회전 가능하게 설치되어 그 사이 공간에 가이드 레일(132R, 134R, 135R, 136R)을 수용하는 안내 롤러(127)와, 리니어 모터의 원리로 기판 캐리어 유닛(120)이 이동되도록 상면에 N극 영구자석(128N)과 S극 영구자석(128S)이 교대로 배열된 영구자석 스트립(128)과, 공압을 공급받도록 연결되는 커넥터(123X)로 구성된다.
여기서, 로터리 유니온(123)은 대한민국 공개특허공보 제2004-75114호에 나타난 구성 및 작용과 유사하게 구성된다.
한편, 프레임(10)에는 제1경로(132)의 제1가이드레일(132R)과 제3경로(134)의 제3가이드레일(134R)과 제2경로(131, 133)의 고정 레일(131R, 133R)이 고정된다.
그리고, 기판 캐리어 유닛(120)이 제1경로(132) 및 제3경로(134)를 따라 이동할 수 있도록, 기판 캐리어 유닛(120)의 케이스(122)의 상측에 형성된 영구자석 스트립(128)과 이격된 위치에 코일(90)이 경로(132, 134)의 방향을 따라 배열되어, 외부 전원(88)으로부터 프레임(10)에 고정된 코일(90)로 인가되는 전류의 세기와 방향을 조절함으로써, 도3에 도시된 바와 같이 프레임(10)에 고정된 코일(90)과 기판 캐리어 유닛(120)에 고정된 영구자석 스트립(128S, 128N; 128)과의 상호 작용에 의하여, 리니어 모터의 작동 원리와 유사하게 기판 캐리어 유닛(120)은 제1경로(132) 및 제3경로(134)를 따라 가이드레일(132R, 134R)에 의해 안내되면서 이동한다. 그리고, 기판 캐리어 유닛(120)이 캐리어 홀더(135, 136)에 수용된 상태로 제2경로(131, 133)을 따라 이동할 수 있도록, 캐리어 홀더(135, 136)의 상측에 배열된 영구자석 스트립(미도시)과 이격된 위치에 코일(90)이 배열되어, 코일(90)에 인가되는 전류의 세기와 방향을 조절함으로써 코일(90)과 영구자석 스트립과의 상호 작용에 의하여 리니어 모터의 작동 원리로 캐리어 홀더(135, 136)는 제2경로(131, 133)를 따라 고정 레일(131R, 133R)에 의해 안내되면서 이동한다.
마찬가지로, 캐리어 홀더(135, 136)와 제1경로(132) 및 제3경로(134)로 상호 왕래할 수 있도록, 캐리어 홀더(135, 136)의 상측에도 코일(90)이 배열되어, 기판 캐리어 유닛(120)의 상측에 배열된 영구자석 스트립(128)과의 상호작용으로 캐리어 홀더(135, 136)의 바깥으로 이동할 수도 있고 캐리어 홀더(135, 136)의 내부로 이동할 수도 있다.
이와 같이, 기판 캐리어 유닛(120)에 장착된 기판(W)을 연마하기 위하여 연마 정반을 향하여 미리 정해진 경로(130)를 따라 이동하는 데 있어서, 기판 캐리어 유닛(120)에 이동을 위한 모터나 전원 공급부(88) 등의 구동 장치를 구비하지 않더라도, 기판 캐리어 유닛(120)의 외부에 설치된 코일(90)에 외부 전원(88)으로부터 인가되는 전류의 세기와 방향을 조절하면서 기판 캐리어 유닛(120)에 배열된 다수 쌍의 N극 영구자석 스트립(128N)과 S극 영구자석 스트립(128S)과 자기적인 상호작용을 통하여 기판 캐리어 유닛(120)을 상기 경로(130)를 따라 이동시킬 수 있다. 따라서, 기판 캐리어 유닛(120)의 내부에 이동구동수단을 구비하지 않으므로, 기판 캐리어 유닛(120)은 보다 가벼운 상태가 되어 낮은 동력을 소모하면서 보다 용이한 위치 제어를 통해 연마 정반 상의 미리 정해진 위치로 이동시킬 수 있으며, 기판 캐리어 유닛(120)의 내부에 이동구동수단이 구비되었더라면, 이동구동수단에 전원을 공급해야 하는데, 이 전원 공급 배선이 기판 캐리어 유닛의 이동에 따라 꼬임이 발생되는 치명적인 문제가 생기는 것도 근본적으로 방지할 수 있다.
상기 도킹 유닛(180)은 도2에 도시된 바와 같이 프레임(10)에 고정 설치되어, 기판 캐리어 유닛(120)이 미리 정해진 위치에 도달한 것이 감지되면, 기판 캐리어 유닛(120)을 향하여 이동(180d)하여 도킹됨으로써, 기판(W)을 회전 구동하는 회전 구동력을 중공 회전축(134)에 공급하고 동시에 로터리 유니온(123)이 필요로 하는 공압을 공압 커넥터(123X)를 통해 공급한다.
다시 말하면, 기판 캐리어 유닛(120)에는 회전 구동력을 발생시키거나 공압을 발생시키는 구동원이 구비되지 않았으므로, 기판 캐리어 유닛(120)에 장착된 기판(W)의 연마 공정을 진행하기 위해서는 이들 구동력 및 공압을 공급받아야 한다. 따라서, 기판 캐리어 유닛(120)에 장착된 기판(W)이 연마 정반(110)의 미리 정해진 상측 위치에 도달하면, 도8에 도시된 바와 같이 도킹 유닛(180)이 기판 캐리어 유닛(120)을 향하여 이동(180d)하여 공압과 회전 구동력 및 전원을 공급할 수 있는 도킹 상태가 된다.
도킹 상태에서 도킹 유닛(180)은, 공압 공급관(183)의 공급관 커넥터(183x)가 공압 커넥터(123x)와 연결되어, 공압 공급관(123b)을 통해 로터리 유니언(123)으로 공압을 공급한다. 여기서, 공압은 정압과 부압을 모두 포함한다. 그리고, 도킹 상태에서는, 중공 회전축(124)의 내부에 구동 회전축이 삽입되고, 중공 회전축(124)과 구동 회전축에 설치된 비접촉식 자기 커플러에 의하여 회전 구동력이 중공 회전축(124)에 전달된다. 중공 회전축(124)의 회전 구동력은 감속 기어 박스(125W)를 통해 수직 방향으로 배열된 전달 회전축(125y)으로 전달되고, 전달 회전축(125y)의 회전 구동력이 기어(125b)를 기판 캐리어 유닛(120)의 중앙부 하측에 위치한 캐리어 헤드(20)를 회전 구동하는 데 사용된다.
경우에 따라, 도킹 상태에서 도킹 유닛(180)은, 외부의 전원 공급부(181a)로부터 전원 커넥터(181x, 80x)를 통해 기판 캐리어 유닛(120) 내부에서 전원을 이용하여 작동하는 기구에 전원을 공급한다. 예를 들어, 자기 커플러에 의하여 중공 회전축(124)을 회전 구동하는 대신에, 기판 캐리어 유닛(120)의 내부에는 구동 모터가 직접 장착되고, 전원 커넥터(181x, 80x)를 거쳐 공급 케이블(80a)을 통해 공급되는 전원을 이용하여 캐리어 헤드(20)를 회전 구동할 수도 있다.
도킹 상태가 해제되면, 기판 캐리어 유닛(120)은 공압을 공급받지 못하므로, 도킹 유닛(180)으로부터 공압을 공급받는 공압 연결관의 밸브(182v)를 닫힘 상태로 조작되어, 도킹 상태에서의 공압 상태를 유지시킨다.
한편, 도킹 유닛(180)과 기판 캐리어 유닛(120)의 도킹 상태는 매우 정교하게 결합될 필요가 있다. 특히, 로터리 유니언(123)으로 공압을 공급하는 연결부인 공압 커넥터(123X)에 정확히 도킹 유닛(180)의 공급관 커넥터(183x)가 결합되지 않으면, 도킹 유닛(180)으로부터 기판 캐리어 유닛(120)으로 공압이 정확히 공급되지 않고 누설되어, 화학 기계적 연마 공정이 원활히 이루어질 수 없다.
이를 위하여, 도9에 도시된 바와 같이, 기판 캐리어 유닛(120)에는 위치결정용 구멍(122Z)이 형성되고 도킹 유닛(180)에는 위치정렬용 돌기(189)가 형성되어, 이들이 상호 결합되는 것에 의하여, 도킹 유닛(180)과 기판 캐리어 유닛(120)의 결합 위치가 허용 범위 내에서 정확히 이루어질 수 있다. 이 때, 위치정렬용 돌기(189)의 선단면에는 모서리에 테이퍼진 면(189s)으로 형성된다.
그러나, 도킹 유닛(180)이 기판 캐리어 유닛(120)에 접근(180d)하는 방향이 조금이라도 틀어질 경우에는, 위치정렬용 돌기(189)가 위치결정용 구멍(122Z)에 곧바로 삽입되지 않고 위치결정용 구멍(122Z)의 둘레에 부딪히는 충격이 발생된다. 이 경우에는 도킹 유닛(180)과 기판 캐리어 유닛(120)의 위치가 틀어질 뿐만 아니라, 위치결정용 구멍(122Z)의 둘레와 위치정렬용 돌기(189)의 선단부가 마모되면서 이들 사이의 공차가 헐거워져, 장기간 사용할 경우에 도킹 유닛(180)과 기판 캐리어 유닛(120)의 도킹 위치가 부정확해지고, 이에 따라 도킹 유닛(180)으로부터 기판 캐리어 유닛(120)에 동력을 정확히 공급하기 어려운 문제가 야기될 수 있다.
따라서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 도9에 도시된 바와 같이, 도킹 유닛(180)은 회전 구동력을 전달하는 제1몸체(185o)와 공압을 전달하는 제2몸체(182o)로 구분되고, 제2몸체(182o)는 제1몸체(185o)에 대하여 제1방향(182v)으로 스프링(187)에 의해 탄성 지지되어, 정해진 스트로크(Vx)만큼 이동 가능하게 설치된다. 여기서, 제1방향(182v)은 도면에 도시된 바와 같이 도킹 방향(180d)에 수직한 방향이며, 보다 바람직하게는 수평 방향이다.
이를 위하여, 제1몸체(185o)로부터 도킹 반대 방향으로 연장된 제1플랜지(185m)와 제2몸체(182o)로부터 도킹 반대 방향으로 연장된 제2플랜지(182m)의 사이에 제1몸체(185o)와 제2몸체(182o)의 상대 이동이 가능하게 핀(188)이 설치되고, 제1플랜지(185m)와 제2플랜지(182m)의 사이에서 연장된 가이드 핀(188)의 둘레에 코일 스프링(187)이 설치된다. 이에 따라, 제2몸체(182o)는 제1몸체(185o)에 대하여 도킹 방향(180d)에 수직한 제1방향(182v)으로 탄성 지지되면서 변위가 허용된다.
이와 같이, 작은 누설에 의하여 작동 성능에 중요한 영향을 미치는 공급관 커넥터(183x)가 제2몸체(182o)에 배치됨으로써, 제2몸체(182o)의 위치정렬용 돌기(189)가 기판 캐리어 유닛(120)의 위치결정용 구멍(122Z)에 삽입될 때에 발생될 수 있는 충격과 마모를 억제함으로써, 도킹 유닛(180)의 공급관 커넥터(183x)가 기판 캐리어 유닛(120)의 공압 커넥터(123X)에 항상 정확히 결합되어 누설없이 공압을 공급할 수 있게 된다. 이를 통해, 장시간동안 도킹 유닛(180)이 사용되더라도, 기판 캐리어 유닛(120)에 공압을 신뢰성있게 공급하여 안정되고 정확한 화학 기계적 연마 공정이 행해지도록 한다.
한편, 가이드 핀(188)과 코일 스프링(187)은 도킹 유닛(180)의 양측에 각각 이격(S)된 위치에 형성되어, 도킹 유닛(180)의 위치정렬용 돌기(189)가 기판 캐리어 유닛(120)의 위치결정용 구멍(122Z)에 삽입될 때에 발생될 수 있는 작은 충격에 이들 구성(180, 120)의 위치나 자세가 틀어지는 것을 최소화한다.
또한, 제1몸체(185o)에 대하여 제2몸체(182o)의 제1방향으로의 변위를 허용하도록, 제1몸체(185o)에는 제1방향으로 장공(185h)이 다수 형성되고, 이 장공(185h)에 제2몸체(182o)의 끼움 돌기(182p)가 끼워짐으로써, 제2몸체(182o)가 제1몸체(185o)에 대한 탄성 변위가 발생되더라도 제1몸체(185o)와 제2몸체(182o)가 서로에 대하여 변위를 허용하는 결합 상태를 견고하게 유지될 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 이동식 화학 기계적 시스템(100)의 작동 원리를 상술한다.
먼저, 도14a에 도시된 바와 같이, 도킹 유닛(180)의 도킹 방향(180d)으로 기판 캐리어 유닛(120)으로 접근한다. 이 때, 도킹 방향(180d)을 기준으로 위치정렬용 돌기(189)가 기판 캐리어 유닛(120)의 위치결정용 구멍(122Z)과 제1방향으로의 편차(Ec)가 있더라도, 도킹 유닛(180)의 제2몸체(182o)는 제1방향(182v)으로 탄성 지지되어 변위가 허용된다.
따라서, 도킹 유닛(180)의 위치정렬용 돌기(189)가 기판 캐리어 유닛(120)의 위치결정용 구멍(122Z)에 근접하면, 도14b에 도시된 바와 같이, 위치정렬용 돌기(189)의 선단 모서리에 형성된 테이퍼진 모서리면(189s)이 위치결정용 구멍(122Z)의 모서리를 타고 이동하면서, 도킹 유닛(180)의 위치정렬용 돌기(189)가 기판 캐리어 유닛(120)의 위치결정용 구멍(122Z)에 정렬된 상태가 되어, 위치정렬용 돌기(189)가 위치결정용 구멍(122Z)에 충격없이 매끄럽게 삽입되어, 도킹 유닛(180)은 기판 캐리어 유닛(120)과 정확한 위치에 충격없이 도킹된다.
이 상태에서, 도킹 유닛(180)의 제1몸체(185o)의 제1대향면(185s)과 제2몸체(182o)의 제2대향면(182s)이 기판 캐리어 유닛(120)의 대향면(122s)에 근접하거나 접촉한 상태로, 제1몸체(185o)의 구동 회전축(184)이 중공 회전축(124)의 내부로 삽입되어 회전하는 것에 의하여 자기 커플러의 작용으로 기판 캐리어 유닛(120)의 중공 회전축(124)을 회전 구동하며, 제2몸체(182o)의 공급관 커넥터(183x)가 기판 캐리어 유닛(120)의 공압 커넥터(123x)에 결합되어 공압을 기판 캐리어 유닛(120)의 공압 공급관(123b)을 통해 로터리 유니언(123)으로 공급되므로, 기판 캐리어 유닛(120)이 연마 정반(110)에 도달한 상태에서 원활히 기판에 대한 화학 기계적 연마 공정을 행할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 화학 기계적 연마 시스템은, 내부에 동력원을 구비하지 않고 외부의 동력원으로 기판 캐리어 유닛을 이동시키면서 화학 기계적 연마 공정을 행하는 이동식 시스템(100)에 있어서, 도킹 유닛(180)이 기판 캐리어 유닛(120)에 도킹될 때에, 기판 캐리어 유닛(120)에 형성된 위치결정용 구멍(122Z)에 도킹 유닛의 위치정렬용 돌기(189)를 삽입하여 이들(120, 180)간의 위치를 정확히 정렬키면서, 위치정렬용 돌기(189)가 제1방향(189v)으로 탄성 지지되어 이동 변위가 허용됨으로써, 도킹 유닛(180)과 기판 캐리어 유닛(120)의 위치가 서로 정확히 정렬되지 않는 위치로 도킹을 위해 상호 근접(180d)하더라도, 위치정렬용 돌기(189)가 위치결정용 구멍(122Z)으로 정렬되게 제1방향으로도 이동하면서 도킹 유닛(180)과 기판 캐리어 유닛(120)이 도킹함에 따라, 도킹 시에 발생되는 충격을 최소화하여 충격에 의한 유닛(120, 180)의 자세 틀어짐을 예방하면서도, 장시간 동안 사용하더라도 위치정렬용 돌기(189) 및 위치결정용 구멍(122Z)이 손상되지 않아 정확한 도킹을 보장할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 상기와 같은 특정 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 본 발명의 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
한편, 도면에 예시된 실시예에서는, 기판 캐리어 유닛(120)에 위치결정용 구멍(122Z)이 형성되고 도킹 유닛(180)에 위치정렬용 돌기(189)가 형성된 구성을 예로 들었지만, 기판 캐리어 유닛(120)에 위치정렬용 돌기가 형성되고 도킹 유닛(180)에 위치결정용 구멍(122Z)이 형성될 수도 있다. 또한, 도면에 도시된 실시예에서는 위치정렬용 돌기(189)가 형성된 유닛이 제1방향으로 탄성 지지되어 이동 가능한 구성을 예로 들었지만, 위치결정용 구멍(122Z)이 제1방향으로 탄성 지지되어 이동 가능하게 구성될 수도 있다.
100: 이동식 화학 기계식 연마시스템
110: 연마 정반 120: 기판 캐리어 유닛
123x: 캐리어 공압 커넥터 122Z: 위치결정용 구멍
180: 도킹 유닛 182o: 제2몸체
185o: 제1몸체 189: 위치정렬용 돌기
183x: 도킹 공압 커넥터

Claims (11)

  1. 화학 기계적 연마 공정이 행해지는 하나 이상의 연마 정반을 거칠 수 있는 이동 경로를 따라 기판을 보유한 상태로 이동하고, 회전 구동력과 전원 중 어느 하나와 공압을 서로 다른 위치에서 공급받고, 위치결정을 위한 위치결정용 구멍이 외면에 형성된 기판 캐리어 유닛과;
    상기 기판 캐리어 유닛으로 접근하는 도킹 방향으로 이동하여 상기 기판 캐리어 유닛에 도킹하여, 상기 기판 캐리어 유닛의 중공 회전축에 회전 구동력을 전달하고, 상기 기판 캐리어 유닛의 공압 커넥터에 공압을 전달하는 도킹 유닛을;
    포함하고; 상기 도킹 유닛은,
    상기 기판 캐리어 유닛에 회전 구동력과 전원 중 어느 하나를 전달하도록 구동 회전축과 전원 커넥터 중 어느 하나를 구비한 제1몸체와;
    공압 공급관의 공급관 커넥터 및 위치정렬용 돌기가 구비되고, 상기 제1몸체에 대하여 상기 도킹 방향에 대하여 수직 방향인 제1방향으로 스프링에 의해 탄성 지지되어 상기 제1방향으로 이동 가능하게 설치된 제2몸체를;
    포함하여 구성되어, 상기 제1몸체의 상기 구동 회전축과 상기 전원 커넥터 중 어느 하나가 상기 기판 캐리어 유닛에 도킹되고, 상기 도킹 유닛이 상기 도킹 방향으로 이동하여 상기 위치정렬용 돌기가 상기 위치결정용 구멍에 삽입되고 상기 공압 공급관의 상기 공급관 커넥터가 상기 기판 캐리어 유닛의 공압 커넥터에 도킹되는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 화학 기계적 연마 공정이 행해지는 하나 이상의 연마 정반을 거칠 수 있는 이동 경로를 따라 기판을 보유한 상태로 이동하고, 회전 구동력과 전원 중 어느 하나와 공압을 서로 다른 위치에서 공급받고, 위치결정을 위한 위치정렬용 돌기가 외면에 형성된 기판 캐리어 유닛과;
    상기 기판 캐리어 유닛으로 접근하는 도킹 방향으로 이동하여 상기 기판 캐리어 유닛에 도킹하여, 상기 기판 캐리어 유닛의 중공 회전축에 회전 구동력을 전달하고, 상기 기판 캐리어 유닛의 공압 커넥터에 공압을 전달하는 도킹 유닛을;
    포함하고; 상기 도킹 유닛은,
    상기 기판 캐리어 유닛에 회전 구동력과 전원 중 어느 하나를 전달하도록 구동 회전축과 전원 커넥터 중 어느 하나를 구비한 제1몸체와;
    공압 공급관의 공급관 커넥터 및 위치결정용 구멍이 구비되고, 상기 제1몸체에 대하여 상기 도킹 방향에 대하여 수직 방향인 제1방향으로 스프링에 의해 탄성 지지되어 상기 제1방향으로 이동 가능하게 설치된 제2몸체를;
    포함하여 구성되어, 상기 제1몸체의 상기 구동 회전축과 상기 전원 커넥터 중 어느 하나가 상기 기판 캐리어 유닛에 도킹되고, 상기 도킹 유닛이 상기 도킹 방향으로 이동하여 상기 위치결정용 구멍에 상기 위치정렬용 돌기가 삽입되고 상기 공압 공급관의 상기 공급관 커넥터가 상기 기판 캐리어 유닛의 공압 커넥터에 도킹되는 것을 특징으로 하는 화학 기계적 연마 시스템.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
KR1020140152245A 2014-11-04 2014-11-04 이동식 화학 기계식 연마시스템 KR102290590B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140152245A KR102290590B1 (ko) 2014-11-04 2014-11-04 이동식 화학 기계식 연마시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140152245A KR102290590B1 (ko) 2014-11-04 2014-11-04 이동식 화학 기계식 연마시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160052228A KR20160052228A (ko) 2016-05-12
KR102290590B1 true KR102290590B1 (ko) 2021-08-18

Family

ID=56024751

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140152245A KR102290590B1 (ko) 2014-11-04 2014-11-04 이동식 화학 기계식 연마시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102290590B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102346263B1 (ko) * 2017-04-24 2022-01-03 주식회사 케이씨텍 기판 처리 장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3294174B2 (ja) * 1997-11-05 2002-06-24 東京エレクトロン株式会社 ウエハ保持体の温度測定装置及びウエハ収納室
KR200205148Y1 (ko) * 1997-11-29 2001-01-15 김영환 웨이퍼 운송장비의 도킹장치
KR101187102B1 (ko) * 2009-12-21 2012-09-28 삼성전자주식회사 화학 기계식 연마 장치 및 그 연마 방법
JP5889581B2 (ja) * 2010-09-13 2016-03-22 東京エレクトロン株式会社 ウエハ検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160052228A (ko) 2016-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101356017B (zh) 灰尘除去装置
US8882563B2 (en) Chemical mechanical polishing system
US7749052B2 (en) Carrier head using flexure restraints for retaining ring alignment
KR20090082092A (ko) 기판 파지 장치 및 그것을 구비한 기판 반송 로봇, 반도체 제조 장치
US20110165825A1 (en) Polishing apparatus
CN108029237A (zh) 安装头及表面安装机
KR102290590B1 (ko) 이동식 화학 기계식 연마시스템
CN112309929A (zh) 具备行驶及引导功能的滚轮单元及利用其的托盘移送系统
CN102941478B (zh) 一种全自动数控眼镜镜框加工机的夹具组件
KR101195368B1 (ko) 리니어 스테이지 로봇
KR102576193B1 (ko) 화학 기계식 연마시스템의 웨이퍼 캐리어의 이송 장치
CN108029238A (zh) 安装头及表面安装机
KR101188540B1 (ko) 화학 기계식 연마시스템 및 이의 기판 이송 시스템
KR102107780B1 (ko) 웨이퍼 정렬 장치 및 방법
KR20160055477A (ko) 화학 기계식 연마시스템의 웨이퍼 캐리어의 이송 장치
KR101188579B1 (ko) 화학 기계식 연마시스템 및 이의 기판 이송 시스템
KR20160077600A (ko) 화학 기계적 연마시스템
JP5643540B2 (ja) スクリーン印刷機
CN204819125U (zh) 晶片处理系统
KR101115743B1 (ko) 연마 공정 중에 안정된 자세를 유지하는 이동식 화학 기계적 연마시스템
KR101587007B1 (ko) 화학 기계적 연마시스템
KR101624837B1 (ko) 이동식 스핀들을 구비한 화학 기계적 연마 시스템
KR101515710B1 (ko) 콜릿 공급 장치
KR101163874B1 (ko) 로딩 유닛과 언로딩 유닛 사이의 이송 효율이 향상된 이동식 화학 기계적 연마시스템
KR102346263B1 (ko) 기판 처리 장치

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant