KR102287469B1 - High speed Vacuum Leak Monitoring System - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 진공리크 검출시스템에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 플라즈마를 이용하여 진공 리크를 고속으로 검출할 수 있는 기술에 관한 것이다. The present invention relates to a vacuum leak detection system, and more particularly, to a technology capable of detecting a vacuum leak at high speed using plasma.
진공 기술은 다양하게 적용되고 있으며, 밀폐가 확실해야 한다. 가스저장고, 액체저장고, 반도체장비, 진공챔버와 같이 밀폐의 정확성이 필수적인 설비에 대해 리크를 검사한다. 챔버를 진공화하고 진공 리크현상을 검출하는 것으로 밀폐성을 시험한다. 종래 진공리크 검출에 가장 많이 사용되는 것은 헬륨리크검출기이다. 타물질과 반응하지 않는 불활성 특성과 측정가능 누설량이 10~12Pa m3/s에 이른다는 점이 장점이다. 그러나 헬륨가스가 고갈되고 있고, 고가이며, 헬륨검출기 자체가 수천만원대의 고가장비이고, 온도, 습도 등 환경 요건이 까다롭고 장비 무게가 100kg 정도라 이동이 불편하다. 등록특허 10-1859058호는 진공챔버에 세정가스 주입 세정 후 아르곤을 넣고 플라즈마를 방전시켜 스펙트럼을 분석하여 아르곤만 검출되는지 아니면 다른 물질이 검출되는지 여부에 따라 리크 상태를 판단한다. 이러한 방식은 진공리크에 대해 신속한 판단을 내리기 어렵고, 세정가스의 잔류와 진공리크 사이의 식별도 어렵다.Vacuum technology is applied in a variety of ways, and sealing must be secure. Inspect for leaks in equipment where the accuracy of sealing is essential, such as gas storage, liquid storage, semiconductor equipment, and vacuum chamber. The airtightness is tested by evacuating the chamber and detecting the vacuum leak phenomenon. The most used conventional vacuum leak detector is a helium leak detector. The advantage is that it has an inert property that does not react with other materials and that the measurable leakage amount reaches 10-12 Pa m 3 /s. However, helium gas is depleted and expensive, the helium detector itself is expensive equipment worth tens of thousands of won, environmental requirements such as temperature and humidity are strict, and the weight of the equipment is about 100 kg, so it is inconvenient to move. Registered Patent No. 10-1859058 determines the leak state according to whether only argon or other substances are detected by inserting argon into the vacuum chamber and discharging plasma after cleaning by injection of cleaning gas and analyzing the spectrum. In this method, it is difficult to make a quick judgment about the vacuum leak, and it is also difficult to distinguish between the residual cleaning gas and the vacuum leak.
본 발명의 목적은 좀 더 간소화된 설비와 저비용의 공정으로 진공리크를 신속하게 검출할 수 있는 새로운 진공리크 검출시스템을 제공하고자 하는 것이다. An object of the present invention is to provide a new vacuum leak detection system capable of quickly detecting a vacuum leak with a more simplified facility and a low-cost process.
상기 목적에 따라 본 발명은 진공 챔버의 배관등과 같은 부분에 플라즈마 발생용 장치를 포함한 플라즈마 검출부를 설치하여, 플라즈마 반응물질을 진공챔버의 연결부를 비롯한 진공 리크 예상 부위에 분사하고, 플라즈마 발생 상태를 오감으로 보고 진공리크 여부를 판단할 수 있는 진공리크 검출시스템을 제공한다.In accordance with the above object, the present invention installs a plasma detection unit including a plasma generating device in a part such as a pipe of a vacuum chamber, sprays a plasma reactant to a vacuum leak area including a connection part of the vacuum chamber, and detects the plasma generation state It provides a vacuum leak detection system that can judge whether there is a vacuum leak by looking at it with the five senses.
즉, 본 발명은,That is, the present invention is
진공 장치의 진공 리크를 검출하는 진공리크 검출시스템으로서,A vacuum leak detection system for detecting a vacuum leak in a vacuum device, comprising:
진공 펌프에 의해 진공화될 수 있는 진공 챔버;a vacuum chamber that can be evacuated by a vacuum pump;
상기 진공 챔버의 내부와 외부를 연결하여 진공 챔버와 소통되는 연결부; 및a connection part connecting the inside and the outside of the vacuum chamber to communicate with the vacuum chamber; and
상기 연결부와 소통되어 진공장치와도 소통되는 플라즈마 검출부;를 포함하고,It includes a; plasma detection unit that communicates with the connection unit and communicates with the vacuum device as well,
상기 진공 챔버는 상기 연결부를 비롯한 진공 리크 가능성이 있는 부위를 포함하며, The vacuum chamber includes a potential for vacuum leakage including the connection part,
상기 진공 챔버의 진공 리크 여부를 검출하기 위하여, 플라즈마 반응 물질을 준비하고,In order to detect whether the vacuum leak in the vacuum chamber, to prepare a plasma reaction material,
상기 진공 챔버를 진공펌프로 진공화하고,The vacuum chamber is evacuated with a vacuum pump,
진공 리크 가능성이 있는 진공 리크 예상 부위에 상기 플라즈마 반응 물질을 분사하고, Spraying the plasma reactant to the expected vacuum leak potential area,
플라즈마 반응 물질을 분사한 후, 소정 시간이 지난 다음 상기 플라즈마 검출부의 플라즈마 발생용 전원을 인가하여 플라즈마 방전 여부를 관찰하여 플라즈마 반응 물질이 분사된 부분의 진공 리크 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 진공리크 검출시스템을 제공한다.After spraying the plasma reactant material, after a predetermined time has elapsed, the plasma detection unit applies the plasma generating power to observe whether the plasma is discharged, and vacuum leak is detected in the part where the plasma reactant material is sprayed. A detection system is provided.
상기에 있어서, 진공 챔버에서의 진공 리크여부를 검출하기 위해, 진공 챔버에 플라즈마 모듈을 넣고, 진공 챔버를 진공화 한 다음, 진공 리크 예상 부위에 플라즈마 반응물질 분사하고 소정 시간이 지난 다음, 상기 플라즈마 모듈에 전원을 인가하여 플라즈마 방전 여부에 따라 진공 챔버의 진공 리크 예상 부위에서의 진공 리크 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 진공리크 검출시스템을 제공한다.In the above, in order to detect whether a vacuum leak in the vacuum chamber, a plasma module is put into the vacuum chamber, the vacuum chamber is evacuated, and the plasma reactant is sprayed on the expected vacuum leak area, and after a predetermined time has elapsed, the plasma It provides a vacuum leak detection system, characterized in that by applying power to the module to detect whether or not a vacuum leak in a vacuum leak expected portion of the vacuum chamber depending on whether plasma discharge or not.
상기에 있어서, 다수의 진공 리크 예상 부위가 있을 경우, 플라즈마 검출부는 각각의 진공 리크 예상 부위 마다에 대해 설치되고, 순차적으로 플라즈마 반응물질 분사 후 플라즈마 방전 여부에 의해 각각의 진공 리크 예상 부위 별로 진공 리크 여부를 각각 검출하는 것을 특징으로 하는 진공리크 검출시스템을 제공한다.In the above, when there are a plurality of vacuum leak expected parts, the plasma detection unit is installed for each vacuum leak expected part, and after sequentially spraying the plasma reactant, the vacuum leak for each vacuum leak expected part by plasma discharge or not It provides a vacuum leak detection system, characterized in that each detects whether or not.
상기에 있어서, 다수의 진공 리크 예상 부위가 있을 경우, 플라즈마 검출부는 진공 펌프가 연결된 연결부에 설치되고, 각각의 진공 리크 예상 부위에 대해 순차적으로 플라즈마 반응물질 분사 후 플라즈마 방전 여부에 의해 각각의 진공 리크 예상 부위 별로 진공 리크 여부를 각각 검출하는 것을 특징으로 하는 진공리크 검출시스템을 제공한다.In the above, when there is a plurality of vacuum leak prediction parts, the plasma detection unit is installed in the connection part to which the vacuum pump is connected, and for each vacuum leak expected part, after sequentially spraying the plasma reactant, each vacuum leak by plasma discharge or not It provides a vacuum leak detection system, characterized in that each detects whether a vacuum leak for each expected site.
상기에 있어서, 다수의 리크부위가 있고, 플라즈마 검출부가 설치되지 않은 연결부가 있는 경우, 센서 또는 계측기가 설치되어 플라즈마 검출부가 설치된 곳은 플라즈마 검출부에 의해, 그리고 센서 또는 계측기가 설치된 곳은 센서 또는 계측기에 의해 리크 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 진공리크 검출시스템을 제공한다.In the above, when there is a plurality of leak parts and there is a connection part where the plasma detection part is not installed, the place where the sensor or the measuring device is installed and the plasma detection part is installed is by the plasma detection part, and the place where the sensor or the measuring part is installed is the sensor or the measuring device It provides a vacuum leak detection system, characterized in that for detecting whether the leak by.
상기에 있어서, 상기 진공 센서 및 계측기는 진공 펌프가 연결되는 부위 내의 분위기를 센싱하고, 센싱 결과를 오감으로 알려주는 것을 특징으로 하는 진공리크 검출시스템을 제공한다.In the above, the vacuum sensor and the measuring device provides a vacuum leak detection system, characterized in that it senses the atmosphere in the part to which the vacuum pump is connected, and informs the sensed result with the five senses.
본 발명에 따르면, 헬륨에 비해 훨씬 더 저렴한 플라즈마 반응물질을 이용하여 진공리크를 검출하므로 진공리크 검출시스템을 저가화할 수 있고, 플라즈마 검출부에서 발생되는 플라즈마를 오감으로 보고 리크여부를 실시간으로 판단하므로 고속검출이 가능하다.According to the present invention, since a vacuum leak is detected using a plasma reactant that is much cheaper than helium, the vacuum leak detection system can be reduced at a cost, and the plasma generated from the plasma detection unit is viewed with the five senses and the leak is determined in real time, so high speed detection is possible.
도 1은 본 발명의 진공리크검출시스템의 개념을 보여주는 개략도이다.
도 2는 본 발명과 종래 헬륨에 의한 진공리크검출시스템의 성능 대비표이다.
도 3은 본 발명에 따라 센서를 포함하는 진공리크검출시스템의 구성도이다. 1 is a schematic diagram showing the concept of a vacuum leak detection system of the present invention.
2 is a performance comparison table of the present invention and the conventional vacuum leak detection system by helium.
3 is a block diagram of a vacuum leak detection system including a sensor according to the present invention.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명을 개략적으로 도시한다. 진공챔버의 리크 검출을 위한 플라즈마 검출부가 도시되어 있고, 이와 관련된 센서 또는 계측기와 검출부 상태 변화를 알려주는 검출부가 연결되어 있다. 센서와 검출부에 대한 것은 도 3을 참조하여 후술된다. 1 schematically depicts the present invention. A plasma detector for detecting a leak in the vacuum chamber is shown, and a sensor or measuring device related thereto and a detector informing of a change in the state of the detector are connected. The sensor and the detection unit will be described later with reference to FIG. 3 .
진공챔버의 리크를 검출하기 위해 진공챔버에 형성된 리크 가능성이 있는 연결부가 있는 부분을 체크한다. 진공챔버는 대부분 물품의 반입반출을 위한 도어부가 있고, 진공펌프를 연결하여 진공화하는 진공부가 있다. 그외 전선이나 기타 장치를 연결하기 위한 연결부도 있을 수 있다. 이러한 부분은 오링으로 밀폐 마감처리되거나 용접으로 처리되어 밀폐된다. 편의상 진공챔버의 리크 가능성이 있는 부분을 진공 리크 예상부라 하기로 한다. 즉, 진공 리크 예상부는 상술한 바와 같은 각종 연결부들과 도어부, 그리고 투명창 외주부 등을 포함한다. 연결부는 진공챔버의 내부와 외부를 연결하여 진공챔버와 소통되는 부위이기도 하다. In order to detect a leak in the vacuum chamber, a portion with a leak-probable connection portion formed in the vacuum chamber is checked. Most of the vacuum chambers have a door part for carrying in and out of goods, and a vacuum part connecting a vacuum pump to vacuum. There may also be connections for connecting wires or other devices. These parts are hermetically sealed with O-rings or welded together. For convenience, the part with the possibility of leakage of the vacuum chamber will be referred to as the vacuum leakage prediction part. That is, the vacuum leak predicting unit includes the various connection parts, the door part, and the transparent window outer periphery as described above. The connection part is also a part communicating with the vacuum chamber by connecting the inside and the outside of the vacuum chamber.
"연결부"가 다수 있을 경우, 제1 연결부, 제2 연결부,...제n 연결부로 표기한다. 예를 들어, 진공챔버의 도어부는 오링으로 밀폐되고, 진공펌프 연결부는 용접으로 처리되어 있고 더이상의 리크가능부가 없다고 할 경우, 도어부를 제1 연결부, 진공펌프 연결부를 제2 연결부라 할 수 있다. When there are a plurality of “connection units”, they are denoted as a first connection unit, a second connection unit, ... n-th connection unit. For example, when it is said that the door part of the vacuum chamber is sealed with an O-ring, the vacuum pump connection part is welded, and there is no more leakable part, the door part may be referred to as a first connection part and a vacuum pump connection part as a second connection part.
연결부 부분에 플라즈마 검출부를 설치한다. 즉, 진공챔버의 도어부를 제외한 다른 연결부로부터 브랜치를 형성하며 연결되어 진공챔버와도 소통되는 플라즈마 검출부를 설치한다. 예를 들면, 진공챔버에 진공펌프가 연결된 배관 접속부를 리크가능부로 볼 경우, 진공펌프 배관에서 브랜치로 연결시킨 플라즈마 관이 플라즈마 검출부가 된다. 플라즈마 검출부는 플라즈마 관 외에 플라즈마 발생모듈이 진공을 유지하며 내장될 수 있고 투명창을 갖거나 무명소재로 된 소형 플라즈마 챔버일 수 있다. 즉, 플라즈마 검출부는 투명창을 포함하고 내부에 플라즈마 발생 장치가 포함된다. 바람직하게는 투명한 플라즈마 관으로 구성될 수 있다. Install the plasma detector on the connection part. That is, a branch is formed from the other connection parts except for the door part of the vacuum chamber, and the plasma detection part which is connected and communicates with the vacuum chamber is installed. For example, when a pipe connection part to which a vacuum pump is connected to a vacuum chamber is viewed as a leakable part, a plasma pipe connected to a branch from the vacuum pump pipe becomes a plasma detection part. The plasma detection unit may be a small plasma chamber with a transparent window, or a small plasma chamber made of a non-woven material, and a plasma generating module may be built-in while maintaining a vacuum in addition to the plasma tube. That is, the plasma detection unit includes a transparent window and a plasma generating device is included therein. Preferably, it may be composed of a transparent plasma tube.
플라즈마 검출부는 시각화가 유리한 구조로, 플라즈마 발생의 육안 관찰이 용이하다. The plasma detection unit has an advantageous structure for visualization, and it is easy to observe the plasma generation with the naked eye.
플라즈마 검출부는 진공 펌프가 연결된 연결부로부터 브랜치를 형성하여 설치되는 것이 바람직하다. 이러한 설치는 다른 연결부들에 대해 플라즈마 검출부의 설치를 생략하여도, 진공 펌프에 의한 진공화로 인해, 모든 진공 리크에 대해 진공 펌프 연결부에 설치된 플라즈마 검출부에서 플라즈마를 발생시키기 때문이다. It is preferable that the plasma detection unit is installed by forming a branch from the connection unit to which the vacuum pump is connected. This is because even if the installation of the plasma detection unit is omitted for other connection parts, the plasma is generated in the plasma detection part installed in the vacuum pump connection part for all vacuum leaks due to vacuuming by the vacuum pump.
전극에 연결되는 전원은 플라즈마 검출부 외부에 설치될 수 있다. 또한, 플라즈마 검출부에 전원장치가 내장되고 원적외선 리모콘에 의해 스위칭 온/오프 될 수 있게 구성될 수도 있다. 플라즈마 검출부의 밀폐성과 콤팩트한 구성을 위해, 인버터와 배터리 및 스위치를 포함한 전원장치 내장형을 구성할 경우, 플라즈마 검출부) 자체를 진공챔버에 대해 탈착교환할 수 있게 구성한다. A power source connected to the electrode may be installed outside the plasma detection unit. In addition, the plasma detection unit may be configured to have a built-in power supply and to be switched on/off by a far-infrared remote control. For hermeticity and compact configuration of the plasma detection unit, in the case of a built-in power device including an inverter, a battery and a switch, the plasma detection unit) itself is configured to be detachable and replaceable with respect to the vacuum chamber.
상술한 바와 같이, 플라즈마 검출부는 연결부가 있는 곳에 진공챔버와 소통되도록 구성한다. 플라즈마 검출부의 설치는 용접으로 고정하거나 개스킷과 오링으로 고정한 후 실리콘 실링을 실시할 수 있다. 진공챔버에 연결부가 다수 있는 경우, 도어부를 제외한 연결부에 각각의 플라즈마 관을 설치할 수 있다.As described above, the plasma detection unit is configured to communicate with the vacuum chamber where the connection part is located. The installation of the plasma detection unit may be fixed by welding or silicon sealing may be performed after fixing with a gasket and an O-ring. When the vacuum chamber has a plurality of connection parts, each plasma tube may be installed in the connection part except for the door part.
한편, 도어부 리크 여부를 검출하기 위한 수단으로는 플라즈마 검출부 없이 전원 모듈이 결합된 플라즈마 발생용 모듈을 사용할 수도 있다. 즉, 챔버 안에 플라즈마 발생용 모듈을 넣고, 챔버를 진공화 한 다음, 알콜과 같은 플라즈마 반응 물질을 도어부에 분사한 다음, 알콜의 기화 확산을 위한 소정 시간을 기다린 후, 모듈을 스위칭 온하여 플라즈마 방전 여부를 관찰한다. 도어부 또는 진공 챔버에 있는 창을 통해 육안 관찰로 도어부의 리크 여부를 판단한다. 도어부에 리크가 있다면 조치를 취하고, 도어부가 리크 없음이 확인 된 다음, 제2 연결부를 비롯한 다른 연결부 부분에 대해 진공리크를 시험한다. 상기에서 플라즈마 발생용 전극 모듈에 대한 전원 공급은 진공챔버 자체에 전원을 공급하는 전원접속부를 이용할 수 있고, 별도의 전원 모듈을 함께 내장하고 리모콘에 의해 스위칭 온/오프할 수도 있다. On the other hand, as a means for detecting whether the door is leaking, a plasma generating module coupled with a power module without a plasma detecting unit may be used. That is, a plasma generating module is put in the chamber, the chamber is evacuated, and a plasma reactive material such as alcohol is sprayed on the door, and after waiting a predetermined time for vaporization and diffusion of alcohol, the module is switched on to plasma Observe for discharge. Check whether the door is leaking by visual observation through the door or the window in the vacuum chamber. If there is a leak in the door part, take action, and after confirming that the door part has no leak, test the vacuum leak on other connecting parts including the second connection part. The power supply to the electrode module for plasma generation may use a power connector for supplying power to the vacuum chamber itself, and a separate power module may be built-in together and switched on/off by a remote controller.
그러나 도어부 또는 투명창 외주부와 같이 진공챔버에 대한 연결부가 아닌 진공 리크 예상 부위에 대해 리크 여부를 검출하는 방법도 다른 연결부에 대한 것과 같이, 진공 챔버의 진공화 후, 플라즈마 반응 물질을 도어부 또는 투명창 외주부에 분무하고, 진공펌프 연결부와 같은 연결부에 연결된 플라즈마 관과 같은 플라즈마 검출부에서의 방전 여부를 관찰하여 이루어질 수 있다. 이는 진공챔버 안으로 플라즈마 반응 물질이 확산되면, 그로 인해 진공 펌프 연결 배관을 비롯한 다른 연결부를 통해서도 확산이 이루어져 플라즈마 관에서 반응하게 되기 때문이다. However, the method of detecting leaks in the expected vacuum leak area other than the connection part to the vacuum chamber, such as the door part or the outer periphery of the transparent window, is also the same as for other connection parts, after vacuuming the vacuum chamber, the plasma reaction material is applied to the door part or It can be done by spraying on the outer periphery of the transparent window, and observing whether or not discharge occurs in a plasma detection unit such as a plasma tube connected to a connection unit such as a vacuum pump connection unit. This is because, when the plasma reactant is diffused into the vacuum chamber, diffusion is also made through other connections including the vacuum pump connection pipe to react in the plasma tube.
도어부의 리크가 없을 경우, 플라즈마 관과 같은 플라즈마 검출부가 장착된 진공챔버에 대해 진공화하고, 예를 들면, 10-3torr로 진공화한 다음, 제2 연결부 부분에 플라즈마 반응물질을 분사하고 소정 시간 후, 플라즈마 모듈에 전원을 인가하여 플라즈마 발생 여부를 관찰한다. 알콜의 기화는 신속히 이루어지므로, 제2 연결부 부분에 리크가 있을 경우 제2 연결부 부분에 설치된 플라즈마 검출부 내에 탄화수소에 해당하는 기체 알콜을 방전가스로 하여 플라즈마가 방전된다. 따라서 육안으로 제2 연결부 부분의 진공리크를 실시간으로 신속 확인할 수 있다. 리크가 없을 경우, 플라즈마 검출부내에는 진공을 유지하므로 열전자에 의한 방전만이 가능하며, 인가전압과 전극 구성을 조절하여 분사된 플라즈마 반응 물질에 의한 플라즈마 방전만 일어나도록 한다. 예를 들면, 전극 구성은 유전체장벽방전으로 할 수 있다. If there is no leak in the door, vacuum chamber in which a plasma detection unit such as a plasma tube is mounted, for example, vacuum to 10 -3 torr, and then, a plasma reactant is sprayed to the second connection part, and a predetermined After a period of time, power is applied to the plasma module to observe whether plasma is generated. Since alcohol is vaporized quickly, if there is a leak in the second connecting portion, plasma is discharged using gas alcohol corresponding to hydrocarbon as a discharge gas in the plasma detection unit installed in the second connecting portion. Therefore, it is possible to quickly check the vacuum leak of the second connection part with the naked eye in real time. When there is no leak, since a vacuum is maintained in the plasma detection unit, only discharge by hot electrons is possible. For example, the electrode configuration can be a dielectric barrier discharge.
제3 연결부에 대해서도 제2 연결부에 대해서와 같이 플라즈마 반응 물질(본 실시예의 경우 알콜) 분무 후 플라즈마 방전 여부로 리크를 검출한다.For the third connection part, as with the second connection part, the leak is detected by whether or not plasma is discharged after spraying a plasma reactive material (alcohol in this embodiment).
이와 같이 하여 다수의 연결부에 대해 순차적으로 진공리크를 검사할 수 있다. In this way, it is possible to sequentially inspect the vacuum leak for a plurality of connection parts.
도 2에는 종래 헬륨을 이용하는 진공리크검출시스템과 본 발명의 성능을 대비 하였다. 본 발명의 경우, 신속하게 리크 여부를 알 수 있고, 더 저렴한 비용으로 더 넓은 온도 범위에서 사용될 수 있고, 경량성이 있어 적용성이 좋으며, 오염된 환경에서도 사용될 수 있는 장점이 있다. In Figure 2, the vacuum leak detection system using conventional helium and the performance of the present invention was compared. In the case of the present invention, it is possible to quickly determine whether a leak is present, it can be used in a wider temperature range at a lower cost, and has good applicability because of its light weight, and has the advantage that it can be used in a polluted environment.
상기에서, 진공 리크 검출을 위한 진공챔버의 진공도는 10-3 내지 10-7torr의 고진공으로 형성한 다음 실시한다. 이러한 고진공 상태는 플라즈마가 발생되지 않으며, 진공 리크가 있는 경우, 상술한 바와 같이 알콜 증발에 의한 알콜 기화가스가 챔버 내로 유입되었을 때에 플라즈마가 발생된다. In the above, the vacuum degree of the vacuum chamber for vacuum leak detection is performed after forming a high vacuum of 10 -3 to 10 -7 torr. In this high vacuum state, plasma is not generated, and when there is a vacuum leak, plasma is generated when alcohol vaporized gas by alcohol evaporation is introduced into the chamber as described above.
한편, 플라즈마 검출부 이외에 진공센서를 포함하여 진공리크를 검출할 수 있는 진공 리크 시스템을 구성할 수 있다. 도 3과 같이, 진공센서를 연결부 부분에 설치하여 연결부에서 진공리크가 일어나는 것을 검출한다. 진공센서의 센싱부를 기류가 흐르는 부위 내에 위치시키고, 연결부 부분은 용접이나 개스킷 등을 이용하여 실링한다. 센서는 부저나 점등부에 연결하여 연결부 부분의 진공 리크에 대해 청각적, 시각적 알람을 발하게 한다. 이러한 센서의 배치는 플라즈마 검출부와 함께 시스템의 리크를 전체적으로 검출할 수 있다. 예를 들면, 진공챔버에 도어와 진공펌프 연결부가 있을 경우, 챔버와 진공펌프를 연결하는 연결부재가 챔버에 직접 접속되는 연결부 부분에 플라즈마 검출부를 설치하고, 진공펌프를 연결하는 부재로에 진공밸브, 벤트밸브가 연결되는 부분에는 진공센서들을 설치하여 리크를 검출할 수 있다. On the other hand, it is possible to configure a vacuum leak system capable of detecting a vacuum leak by including a vacuum sensor in addition to the plasma detection unit. As shown in Figure 3, a vacuum sensor is installed in the connection part to detect that a vacuum leak occurs in the connection part. The sensing part of the vacuum sensor is located in the area where the air flow flows, and the connection part is sealed using welding or a gasket. The sensor is connected to a buzzer or a lighting unit to generate an audible and visual alarm for vacuum leaks in the connection part. The arrangement of these sensors together with the plasma detector can detect the leak in the system as a whole. For example, when the vacuum chamber has a door and a vacuum pump connection part, a plasma detection part is installed in the connection part where the connection member connecting the chamber and the vacuum pump is directly connected to the chamber, and a vacuum valve is installed in the member connecting the vacuum pump. , a leak can be detected by installing vacuum sensors in the part where the vent valve is connected.
또한, 진공 센서 외에 계측기를 설치하여 진공 펌프가 연결되는 부위 내의 분위기를 센싱하고, 센싱 결과를 오감으로 알려주는 검출장치를 구성할 수 있다. In addition, by installing a measuring instrument in addition to the vacuum sensor, it is possible to configure a detection device that senses an atmosphere in a region to which the vacuum pump is connected and informs the sensed result with the five senses.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The rights of the present invention are not limited to the above-described embodiments, but are defined by the claims, and those of ordinary skill in the art can make various modifications and adaptations within the scope of the claims. it is self-evident
Claims (6)
진공 펌프에 의해 진공화될 수 있는 진공 챔버;
상기 진공 챔버의 내부와 외부를 연결하여 진공 챔버와 소통되는 연결부; 및
상기 연결부와 소통되어 진공장치와도 소통되는 플라즈마 검출부;를 포함하고,
상기 진공 챔버는 상기 연결부를 비롯한 진공 리크 가능성이 있는 부위를 포함하며,
상기 진공 챔버의 진공 리크 여부를 검출하기 위하여, 알콜을 포함한 플라즈마 반응 물질을 준비하고,
상기 진공 챔버를 진공펌프로 진공화하고,
진공 리크 가능성이 있는 진공 리크 예상 부위에 상기 플라즈마 반응 물질을 분사하고,
플라즈마 반응 물질을 분사한 후, 소정 시간이 지난 다음 상기 플라즈마 검출부의 플라즈마 발생을 위한 전원을 인가하여 플라즈마 방전 여부를 관찰하여 플라즈마 반응 물질이 분사된 부분의 진공 리크 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 진공리크 검출시스템.A vacuum leak detection system for detecting a vacuum leak in a vacuum device, comprising:
a vacuum chamber that can be evacuated by a vacuum pump;
a connection part connecting the inside and the outside of the vacuum chamber to communicate with the vacuum chamber; and
It includes a; plasma detection unit that communicates with the connection unit and communicates with the vacuum device as well,
The vacuum chamber includes a potential for vacuum leakage including the connection part,
In order to detect whether the vacuum leak in the vacuum chamber, prepare a plasma reaction material containing alcohol,
The vacuum chamber is evacuated with a vacuum pump,
Spraying the plasma reactant to the expected vacuum leak potential area,
After spraying the plasma reactant material, after a predetermined time has elapsed, power for plasma generation of the plasma detection unit is applied to observe whether the plasma is discharged, and vacuum leakage is detected in the part where the plasma reactant is sprayed. leak detection system.
[Claim 6] The vacuum leak detection system according to claim 5, wherein the sensor and the measuring device sense the atmosphere in the area to which the vacuum pump is connected, and notify the sensing result through the five senses.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200176084A KR102287469B1 (en) | 2020-12-16 | 2020-12-16 | High speed Vacuum Leak Monitoring System |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200176084A KR102287469B1 (en) | 2020-12-16 | 2020-12-16 | High speed Vacuum Leak Monitoring System |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102287469B1 true KR102287469B1 (en) | 2021-08-09 |
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ID=77313060
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| KR1020200176084A KR102287469B1 (en) | 2020-12-16 | 2020-12-16 | High speed Vacuum Leak Monitoring System |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| KR (1) | KR102287469B1 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000028471A (en) * | 1998-07-15 | 2000-01-28 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | Air leakage inspection in plasma producing device |
| KR200433581Y1 (en) * | 2006-09-25 | 2006-12-11 | 배응준 | Leakage testing apparatus for airtight container |
-
2020
- 2020-12-16 KR KR1020200176084A patent/KR102287469B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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