KR102287158B1 - 근거리무선통신 기반의 온/습도 센서를 이용한 웨이퍼 캐리어 내부 온/습도상태 모니터링 시스템 및 그 방법 - Google Patents

근거리무선통신 기반의 온/습도 센서를 이용한 웨이퍼 캐리어 내부 온/습도상태 모니터링 시스템 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태를 모니터링하는 시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 각 웨이퍼 캐리어 내에 장착되어, 그 내부의온도 및 습도 상태를 측정하는 환경 상태 측정부; 상기 웨이퍼 캐리어의 이동 라인상에 각 소정의 지점마다 구비되어, 근접한 웨이퍼 캐리어의 환경 상태 측정부로부터 근거리무선통신 연결을 통해 측정된 온도 및 습도 데이터를 수집하는 환경 상태데이터 수집부; 각 환경 상태 데이터 수집부로부터 온도 및 습도 데이터를 제공받아, 이를 기반으로 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태를 모니터링하는 환경 상태 모니터링부; 를 포함하여 구성된다.

Description

근거리무선통신 기반의 온/습도 센서를 이용한 웨이퍼 캐리어 내부 온/습도상태 모니터링 시스템 및 그 방법{System and method for monitoring temperature/humidity inside a wafer carrier using a temperature / humidity sensor based on short-distance wireless communication}
본 발명은 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태 모니터링 시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 근거리 무선통신 기반의 온/습도 센서를 이용하여 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태를 모니터링하는 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 웨이퍼는 증착 공정, 식각 공정, 폴리싱 공정, 세정 공정 등과 같은 여러 단계의 공정을 거치면서 반도체 디바이스로 만들어지고, 이러한 공정들을 수행하기 위하여 각각의 공정 설비 내에 웨이퍼를 이송하는 것이 필요하다. 이에, 웨이퍼는 이송되는 동안 이송의 편의성뿐만 아니라 웨이퍼의 손상 등을 방지하여 불량률을 최소화할 수 있도록 웨이퍼 캐리어라 불리는 전용 보관 장치에 적재되어 이송된다.
한편, 상기 웨이퍼는 온도, 습도 등의 환경 조건에 민감하여 항상 주변 환경 조건을 적합한 상태로 항상 일정하게 유지해주는 것이 필요하다. 만일, 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 캐리어 내부의 환경 조건이 불안정한 상태가 조성될 경우에는 그 영향이 웨이퍼에 스트레스로 작용하여 제품 불량 발생의 요인으로 작용할 수 있다. 이에, 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어에 보관되어 이동될 시, 각 공정 중의 이동 과정에서 온도, 습도 등과 같은 웨이퍼 캐리어 내부의 환경 조건을 웨이퍼에 적합한 상태로 유지하여 최상의 품질을 유지할 수 있도록 하는 것이 필수적이다.
웨이퍼 캐리어 내부의 온도, 습도 등의 환경 상태를 모니터링하기 위하여 일반적으로 웨이퍼 캐리어 내에 센서를 부착하고, 측정된 센서 값을 확인하여 그 내부의 환경 상태를 파악하는 방식이 사용되었으나, 이러한 방식의 경우 어느 특정 공정 간의 이동과정에서 온도, 습도 등의 환경 조건이 불안정해졌는지를 확인하기 어려운 문제점이 있다. 또한, 측정된 센서 값을 획득하기 위한 통신장치, 센서의 구동을 위한 전원 공급장치 등 별도의 부속물들이 필요하여 공간, 부피 등의 제약이 따르는 문제가 존재한다.
(특허문헌 1) 한국공개특허공보 특2003-0005495호
(특허문헌 2) 한국공개특허공보 제10-2008-0009568호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 하는 것으로서, 별도의 부속물 없이 근거리무선통신을 기반으로 외부에서 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 측정값을 수집하여, 그 내부의 환경 상태를 모니터링할 수 있도록 하는 시스템을 제공하고자 한다.
본 발명에 따른 근거리무선통신을 기반으로 공정 간에 이동 중인 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태 변화를 실시간으로 모니터링하는 시스템은, 온도 및 습도 상태를 모두 측정하는 하나의 일체형 구조로 이루어져 있으며 각 웨이퍼 캐리어 내부의 바닥면에 장착되어 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태를 센싱하는 센싱부와 해당 웨이퍼 캐리어와 근접한 위치에 설치되어 있는 환경 상태 데이터 수집부로 근거리무선통신 연결을 통해 상기 센싱부에서 센싱된 온도 및 습도 데이터를 전송하는 RF 태그를 포함하여 구성되는 환경 상태 측정부; 복수 개의 웨이퍼 캐리어가 이동하는 라인 상에 소정의 지점마다 구비되어, 상기 이동 라인을 따라 이동 중인 복수 개의 웨이퍼 캐리어 중 해당 지점에 근접한 웨이퍼 캐리어 내부에 장착된 환경 상태 측정부와의 근거리무선통신 연결을 통해 해당 웨이퍼 캐리어를 식별하는 측정부 식별번호 및 측정된 그 내부의 온도 및 습도 데이터를 수집하는 환경 상태 데이터 수집부; 상기 이동 라인 상의 소정 지점마다 설치된 각각의 환경 상태 데이터 수집부와 유/무선 통신 네트워크로 연결되어 해당 환경 상태 데이터 수집부를 식별하는 수집부 식별번호와 상기 환경 상태 데이터 수집부에서 수집한 이동 중인 각 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 환경 상태 측정부의 해당 측정부 식별번호가 연계된 그 내부의 온도 및 습도 데이터를 함께 제공 받아, 이를 기반으로 웨이퍼 캐리어의 공정 간 이동 과정 중 어느 구간에서 그 내부의 온도 및 습도 상태에 이상 변화가 발생하였는지를 검출하여 알림을 제공하는 환경 상태 모니터링부;를 포함하여 구성된다.
구체적으로, 상기 환경 상태 측정부의 RF 태그는, 해당 웨이퍼 캐리어와 근접한 위치에 설치된 환경 상태 데이터 수집부로부터 RF 신호를 수신하고, 그에 대한 RF 응답신호 및 상기 센싱부에서 센싱된 온도 및 습도 데이터를 상기 환경 상태 데이터 수집부로 송신하는 태그 안테나; 상기 태그 안테나를 통해 환경 상태 데이터 수집부로부터 수신한 RF 신호로부터 상기 환경 상태 데이터 측정부의 구동 전원을 생성하고, 상기 RF 신호에 대한 RF 응답신호를 상기 태그 안테나를 통해 상기 환경 상태 데이터 수집부로 전달하는 태그 칩; 상기 태그 칩으로부터의 구동 전원으로 상기 센싱부를 동작시키고, 상기 센싱부로부터 센싱된 온도 및 습도 데이터를 전달 받아 상기 태그 칩에 저장하는 제어부; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 태그 칩은, 상기 태그 안테나를 통해 근접한 환경 상태 수집부로부터 수신한 RF 신호로부터 상기 환경 상태 데이터 측정부의 구동 전원을 생성하는 RF 에너지 생성부; 상기 제어부의 제어에 따라 상기 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 센싱부에서 센싱된 온도 및 습도 데이터를 저장하는 제1 저장부; 상기 태그 안테나를 통해 근접한 환경 상태 데이터 수집부로부터 수신한 RF 신호에 응답하는 RF 응답신호를 생성하여, 상기 태그 안테나를 통해 해당 환경 상태 데이터 수집부로 송신하는 RF 신호 응답부; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 RF 신호 응답부는, 상기 수신한 RF 신호가 고유 식별코드를 요청하는 제1 RF 신호인 경우, 그에 대한 응답으로 해당 RF 태그를 나타내는 고유 식별코드를 포함하는 제1 RF 응답신호를 송신하며, 상기 수신한 RF 신호가 온도 및 습도 데이터의 리딩(Reading)을 요청하는 제2 RF 신호인 경우, 그에 대한 응답으로 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 포함하는 제2 RF 응답신호를 송신하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 제어부는, 상기 태그 칩의 상기 RF 에너지 생성부로부터의 구동 전원으로 생성한 센서 구동신호를 상기 센싱부로 전달하여 상기 센싱부가 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태를 센싱하도록 동작시키는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 환경 상태 데이터 수집부는, 근접한 웨이퍼 캐리어 내부에 장착된 환경 상태 측정부의 RF 태그로 RF 신호를 송신하는 RF 신호 송신부; 상기 송신한 RF 신호에 대한 응답으로 해당 환경 상태 측정부의 RF 태그로부터 RF 응답신호를 수신하는 RF 응답신호 수신부; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이 때, 상기 RF 신호 송신부는, 근접한 웨이퍼 캐리어 내부의 RF 태그로 고유 식별코드를 요청하는 제1 RF 신호를 송신하며, 상기 RF 응답신호 수신부는, 상기 제1 RF 신호에 대한 응답으로 해당 RF 태그로부터 고유 식별코드를 포함하는 제1 RF 응답신호를 수신하여 상기 RF 태그를 인식하는 것을 특징으로 한다.
이에, 상기 RF 신호 송신부는, 상기 RF 태그를 인식한 후 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터의 리딩(Reading)을 요청하는 제2 RF 신호를 송신하며, 상기 RF 응답신호 수신부는, 상기 제2 RF 신호에 대한 응답으로 해당 RF 태그로부터 온도 및 습도 데이터를 포함하는 제2 RF 응답신호를 수신하여 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 획득하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 환경 상태 데이터 수집부는, 상기 RF 응답신호 수신부에서 수신한 제2 RF 응답신호로부터 획득한 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 저장하는 제2 저장부; 상기 환경 상태 모니터링부와 통신 연결하는 제1 통신부; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 환경 상태 모니터링부는, 상기 환경 상태 데이터 수집부의 제1 통신부와 통신 연결되는 제2 통신부; 상기 제2 통신부를 통해 소정의 주기 간격으로 상기 웨이퍼 캐리어의 이동 라인 상에 구비된 각 환경 상태 데이터 수집부에 저장된 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 수신하는 센싱 데이터 수신부; 상기 센싱 데이터 수신부에서 수신한 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 저장하는 제3 저장부; 상기 제3 저장부에 저장된 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 디스플레이하는 디스플레이부; 상기 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터 중 기 설정된 기준 값 이상인 데이터 발생에 따라 경고 알림을 제공하는 알림부; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 웨이퍼 캐리어 내부에 온/습도 센서를 부착하고, 각 소정의 지점에서 상기 온/습도 센서와의 근거리무선통신 연결을 통해 센싱된 온/습도 데이터를 수집하여 웨이퍼 캐리어 내의 온/습도 상태를 모니터링할 수 있다.
따라서, 이를 통해 웨이퍼 캐리어 내에 보관된 웨이퍼의 품질을 최상의 상태로 유지 가능하여 제품의 불량률을 최소화할 수 있어 반도체 생산의 효율성을 향상시킬 수 있다.
또한, 온/습도 센서를 근거리무선통신 기능을 포함하는 하나의 일체형 형태로 구성하여 부피 및 그 제작비용을 최소화시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 근거리무선통신 기반의 온/습도 센서를 이용하여 그 내부 상태 데이터를 수집하는 형태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 근거리무선통신 기반의 온/습도 센서를 이용하여 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도를 모니터링하는 시스템을 나타내는 블록도이다.
도 3은 본 발명에 따른 근거리무선통신 기반의 온/습도 센서를 이용하여 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태를 모니터링하는 방법을 개략적으로 나타내는 블록도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면부호를 붙였다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
1. 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 내의 온/습도 상태 모니터링 시스템
도 1 및 2를 참조하여, 본 발명에 따른 근거리무선통신 기반의 온/습도 센서를 이용한 웨이퍼 캐리어 내의 온/습도 상태 모니터링 시스템에 대하여 설명한다.
1.1. 환경 상태 측정부(100)
환경 상태 측정부는, 도 1과 같이 웨이퍼가 실장된 웨이퍼 캐리어 내에 장착되어 그 내부의 온도 및 습도 상태를 측정하여, 근거리무선통신 연결을 통해 후술할 각 소정의 지점에 구비된 환경 상태 데이터 수집부(200)로 측정된 온도 및 습도 데이터를 제공하는 구성이다. 상기 환경 상태 측정부는 하기의 구성을 포함하여 구성된다.
가. 센싱부(110)
센싱부는, 각 웨이퍼 캐리어 내부에 어느 위치에 장착되어 그 내부의 온도 및 습도 상태를 센싱하고, 센싱된 온도 및 습도 데이터를 후술하는 제어부(126)로 전달한다.
여기서, 센싱부가 장착되는 위치는 한정하는 것은 아니나, 웨이퍼 캐리어가 이동되는 라인 상에 각 소정의 지점에 구비된 후술할 환경 상태 데이터 수집부(200)와의 보다 원활한 근거리무선통신 연결을 위해 웨이퍼 캐리어 내부의 바닥면에 장착되는 것이 바람직할 수 있다.
한편, 상기 센싱부는, 후술할 제어부(126)로부터 센서 구동신호를 입력 받아 온도 및 습도의 센싱 동작을 수행할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 상기 센싱부(110) 및 후술하는 RF 태그(120)는 웨이퍼 캐리어 내 장착을 위한 최소의 공간 및 부피, 무게 등을 고려하여 일체형 구조로 이루어진다. 본 발명에 따른 상기 센싱부는, 하나의 일체형 센서 형태로 구성되어 온도 및 습도를 모두 측정할 수 있다.
나. RF 태그(120)
RF 태그는, 상기 센싱부(110)에서 센싱된 온도 및 습도 데이터를 해당 웨이퍼 캐리어와 근접한 위치의 환경 상태 데이터 수집부(200)로 근거리무선통신 연결을 통해 전송하는 구성이다. 구체적으로, 하기와 같이 구성된다.
1) 태그 안테나(122)
태그 안테나는, 해당 웨이퍼 캐리어와 근접한 위치의 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 RF 신호를 수신하여 후술하는 태그 칩(124)으로 전달한다. 또한, 상기 태그 칩으로부터의 RF 응답신호 및 상기 센싱부(110)에서 센싱된 온도 및 습도 데이터를 상기 환경 상태 데이터 수집부(200) 송신하는 역할을 수행한다.
2) 태그 칩(124)
태그 칩은, 무선 통신을 통해 해당 웨이퍼 캐리어와 근접한 위치의 상기 환경 상태 데이터 수집부(200)와 통신할 수 있다. 또한, 상기 태그 안테나(122)를 통해 근접한 위치의 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 수신한 RF 신호로부터 구동 전원을 생성하여 구동할 수 있다. 구체적으로, 하기와 같은 구성을 포함하여 구성된다.
2-1) RF 에너지 생성부(1242)
RF 에너지 생성부는, 일반적으로 주변 환경을 이용하여 에너지를 획득하는 방법을 통칭하는 에너지 하비스팅(energy harvwsting) 방식에 기반한 구성이다. 구체적으로, 상기 RF 에너지 생성부는 RF(radio frequency) 신호를 이용한 에너지 하비스팅(이하, RF 에너지 하비스팅)에 기반한 것으로서, RF 신호를 에너지원으로 사용하는 방식을 사용하여 환경 상태 측정부(100)의 구동에 필요한 에너지를 획득하여 사용할 수 있다. RF 에너지 하비스팅에 대하여 설명하면, 에너지를 전달하고자 하는 송신기 장치는 큰 출력 전력을 주파수에 실어 신호를 송신하고, 특정 장치는 이를 수신하여 전력으로 사용하는 방식이다. 나아가 에너지 전달을 위한 특정 RF 신호를 이용하지 않고, 일상적인 통신 환경에서 방출되는 RF 신호를 이용하는 방식도 가능하다. 본 발명에서는 환경 상태 데이터 수집부(200)가 송신기 장치, 환경 상태 측정부(100)가 특정 장치에 해당한다.
상기 RF 신호는 이동통신신호, Wifi 신호, 근거리 통신 신호, 이동 단말기에서 송신하는 신호 등의 다양한 신호를 포함할 수 있다. 상기 RF 에너지 생성부는, 상기 태그 안테나(122)에서 수신한 RF 신호로부터 공지의 기술을 이용하여 에너지를 생성하며, 이는 태그 칩(124), 제어부(126) 및 센싱부(110)의 구동을 위한 구동 전원으로 공급된다. 이를 통해, 상기 환경 상태 측정부(100)는 외부의 전원 공급 없이도 동작할 수 있다.
2-2) 제1 저장부(1244)
센싱부(110)에서 센싱된 온도 및 습도 데이터를 저장하는 구성으로, 상기 센싱부(110)로부터 온도 및 습도 데이터를 전달받은 후술하는 제어부(126)에 의해 저장된다. 상기 제1 저장부는, 예를 들면 EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)일 수 있다.
2-3) RF 신호 응답부(1246)
RF 신호 응답부는, 상기 태그 안테나(122)를 통해 수신한 RF 신호에 대하여 응답하는 구성이다. 우선, 상기 태그 안테나(122)를 통해 근접 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 고유 식별번호를 요청하는 RF 신호(제1 RF 신호)를 수신하면, 이에 응답하는 RF 응답신호를 상기 태그 안테나(122)를 통해 해당 환경 상태 데이터 수집부(200)로 전송할 수 있다. 여기서, 고유 식별번호를 요청하는 RF 신호(제1 RF 신호)에 응답하는 RF 응답신호를 제1 RF 응답신호로 지칭하여 설명하며, 상기 제1 RF 응답신호는 해당 환경 상태 측정부(100)의 RF 태그(120)를 나타내는 고유 식별코드를 포함한다. 이에, 환경 상태 데이터 수집부(200)는 수신한 제1 RF 응답신호로부터 고유 식별코드를 확인하여 해당 RF 태그(120)를 인식할 수 있다.
또한, 상기 RF 신호 응답부는, 상기 태그 안테나(122)를 통해 근접환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 리딩(Reading)을 요청하는 RF 신호(제2 RF 신호)를 수신하면, 이에 응답하여 상기 제1 저장부(1244)에 저장된 온도 및 습도 데이터를 포함하는 RF 응답신호를 상기 태그 안테나(122)를 통해 해당 환경 상태 데이터 수집부(200)로 전송해줄 수 있다. 여기서, 온도 및 습도 데이터의 리딩(Reading)을 요청하는 RF 신호(제2 RF 신호)에 응답하는 RF 응답신호를 제2 RF 응답신호로 지칭하여 설명하며, 상기 제2 RF 응답신호는 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 포함한다.
3) 제어부(126)
제어부는, 상기 RF 에너지 생성부(1242)로부터 구동 전원을 입력 받아 동작하고, 이에 따라 센싱부(110)로 센서 구동신호를 센싱부(110)로 전달하여 센싱 동작시킬 수 있다.
또한, 제어부는, 상기 센싱부(110)로부터 센싱된 온도 및 습도 데이터를 전달받아 태그 칩(124)의 제1 저장부(1244)에 저장할 수 있다.
여기서, 제어부는 상기 태그 칩(124)과 하나로 통합된 일체형의 칩 형태로 구성될 수도 있고, 이 경우 상기 센서 구동신호는 센싱부(110)의 구동에 필요한 구동 전원을 포함할 수 있다.
1.2. 환경 상태 데이터 수집부(200)
환경 상태 데이터 수집부는, 근거리무선통신 연결을 통해 근접한 환경 상태 측정부(100)의 온도 및 습도 데이터를 리딩(Reading)하는 RF 리더기로서, 웨이퍼 캐리어가 이동하는 라인 상에 각 소정의 지점에 구비되어 근접한 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 환경 상태 측정부(100)로부터 그 내부의 온도 및 습도 데이터를 수집한다. 여기서, 상기 소정의 지점이라 함은, 웨이퍼 캐리어가 이동되는 라인에서 웨이퍼 캐리어의 이동을 일정 시간 멈춰 점검 또는 확인하는 지점으로서, 구체적으로는 예를 들어 웨이퍼 스토커나 웨이퍼 가이드가 위치하는 지점일 수 있다.
가. RF 신호 송신부(210)
RF 신호 송신부는 RF 신호를 송신하는 구성으로서, 상기 RF 신호는 근접 환경 상태 측정부(100)의 RF 태그(120)로 고유 식별코드를 요청하는 RF 신호를 송신할 수 있고, 이를 통해 해당 RF 태그(120)를 인식한 후에는 온도 및 습도 데이터의 리딩(Reading)을 요청하는 RF 신호를 송신할 수 있다. 여기서, RF 신호의 구분을 위하여 본 명세서에서는 고유 식별코드를 요청하는 RF 신호를 제1 RF 신호, 온도 및 습도 데이터의 리딩(Reading)을 요청하는 신호를 제2 RF 신호로 지칭하여 설명한다.
나. RF 응답신호 수신부(220)
RF 응답신호 수신부는, 상기 RF 신호 송신부(210)에서 근접 웨이퍼 캐리어 내의 RF 태그(120)로 송신한 RF 신호에 대한 응답을 수신하는 구성이다.
상술한 바와 같이, 상기 RF 신호 송신부(210)에서 근접한 웨이퍼 캐리어 내의 RF 태그(120)에 고유 식별코드를 요청하는 제1 RF 신호를 송신함에 따라, 이에 대한 응답으로서 해당 RF 태그(120)를 나타내는 고유 식별코드를 포함하는 RF 응답신호를 수신할 수 있다. 이를 통해, 환경 상태 데이터 수집부(200)는 해당 RF 태그(120)를 인식할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 고유 식별코드를 포함하는 RF 응답신호의 수신을 통해 인식한 후, 상기 RF 신호 송신부(210)에서 해당 RF 태그(120)에 저장된 온도 및 습도 데이터를 수집하기 위한 온도 및 습도 데이터 리딩(Reding)을 요청하는 RF 신호를 송신함에 따라, 이에 대한 응답으로서 해당 RF 태그(120)로부터 온도 및 습도 데이터를 포함하는 RF 응답신호를 수신할 수 있다. 이를 통해, 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태에 대한 데이터를 수집할 수 있다.
여기서, RF 응답신호를 구분하기 위하여 제1 RF 신호에 대한 RF 응답신호인 고유 식별코드를 포함하는 RF 응답신호를 제1 RF 응답신호로, 제2 RF 신호에 대한 RF 응답신호인 온도 및 습도 데이터를 포함하는 RF 응답신호를 제2 RF 응답신호로 지칭한다.
다. 제2 저장부(230)
제2 저장부는, 상기 RF 응답신호 수신부(220)에서 수신한 제2 RF 응답신호에 포함된 온도 및 습도 데이터를 저장하는 구성이다. 여기서, 상기 제2 저장부는, RF 응답신호에 포함된 해당 RF 태그(120)의 고유 식별번호를 연계하여 온도 및 습도 데이터를 저장할 수 있다. 따라서, 어느 웨이퍼 캐리어 내부에 장착된 환경 상태 측정부(100)인지를 알 수 있어 해당 웨이퍼 캐리어 내의 온/습도 상태를 효율적으로 파악할 수 있고, 그 내부에 실장된 웨이퍼 또한 효율적인 관리가 가능하도록 한다.
라. 제1 통신부(240)
제1 통신부는, 후술하는 환경 상태 모니터링부(300)와의 통신 연결을 위한 구성으로서, 유/무선 통신 네트워크를 통해 통신 연결될 수 있다. 예를 들어, LoRa(Long Range), 지그비 등을 이용할 수 있다. 이를 통해, 상기 각각의 웨이퍼 캐리어 내부에 장착된 환경 상태 측정부(100)로부터 수집된 온도 및 습도 데이터를 환경 상태 모니터링부(300)로 제공해줄 수 있다.
1.3. 환경 상태 모니터링부(300)
환경 상태 모니터링부는, 상술한 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 각 각의 웨이퍼 캐리어 내부에 장착된 환경 상태 측정부(100)를 통해 측정된 온도 및 습도 데이터를 제공받아, 이를 바탕으로 각 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태를 모니터링하는 구성이다.
가. 제2 통신부(310)
제2 통신부는, 상기 환경 상태 데이터 수집부(200)와의 통신 연결을 위한 구성으로, 상기 제1 통신부(240)와 유/무선 통신 네트워크를 통해 통신 연결될 수 있으며, 예를 들어 LoRa(Long Range), 지그비 등을 이용할 수 있다.
나. 센싱 데이터 수신부(320)
센싱 데이터 수신부는, 상기 제2 통신부(310)를 통해 상기 환경 상태 데이터 수집부(200)의 제2 저장부(230)에 저장된 각 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 수신하는 구성으로서, 기 설정된 일정 주기 간격으로 수신할 수 있다. 이 때, 수신하는 온도 및 습도 데이터는 해당 RF 태그(120)를 나타내는 고유 식별번호가 연계되어 있다. 또한, 상기 온도 및 습도 데이터 수신 시, 해당 환경 상태 데이터 수집부(200)를 나타내는 리더 식별번호를 함께 획득하여, 이를 통해 온도 및 습도 상태에 문제가 발생한 경우, 어느 지점에 구비된 환경 상태 데이터 수집부(200)에서 획득된 온도 및 습도 데이터인지를 알 수 있기 때문에 어느 공정 간의 이동과정에서 문제가 발생하였는지 파악이 가능하다.
다. 제3 저장부(330)
제3 저장부는, 상기 센싱 데이터 수신부(320)에서 상기 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 수신한 온도 및 습도 데이터를 저장하는 구성으로, 해당 RF 태그(120)를 나타내는 고유 식별번호와 연계하여 저장한다. 이에 따라, 관리자가 후술하는 디스플레이부(340)를 통해 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태를 효율적이고 용이하게 파악할 수 있어 그 내부에 실장된 웨이퍼의 효율적인 관리가 가능하다.
라. 디스플레이부(340)
디스플레이부는, 상기 제3 저장부(330)에 저장된 각 웨이퍼 캐리어 내부에 장착된 환경 상태 측정부(100)의 온도 및 습도 데이터를 디스플레이하여 이를 통해 관리자가 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태를 모니터링할 수 있다.
여기서, 각 온도 및 습도 데이터는 해당 RF 태그(120)를 나타내는 고유 식별코드와 연계되어 디스플레이 되는데, 이 때 각 환경 상태 측정부(100)가 어느 웨이퍼 캐리어에 장착되었는지를 확인할 수 있도록, 예를 들어 각 RF 태그(120)를 나타내는 고유 식별코드와 해당 웨이퍼 캐리어를 나타내는 캐리어 식별번호가 연계된 데이터 테이블이 기 마련되어 있는 것이 바람직할 수 있다.
마. 알림부(350)
각 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 제공받은 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터 중 기 설정된 기준 값 이상인 온도 또는 습도 데이터가 존재하는 경우, 관리자가 이를 인지할 수 있도록 경고 알림을 발생하는 알림부(350)를 포함할 수 있다. 이를 통해, 관리자는 경고 알림이 발생한 온도 및 습도 데이터에 연계되어 있는 고유 식별코드를 이용하여 어느 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태에 해당하는지를 확인하여 조치를 취할 수 있다.
이와 같이, 각 웨이퍼 캐리어 내부에 장착된 환경 상태 측정부(100)와 상기 웨이퍼 캐리어가 이동하는 라인 상에 소정의 지점에 구비된 환경 상태 데이터 수집부(200)와의 근거리무선통신 연결을 통해, 특별한 부속물 없이 용이하게 각 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태를 모니터링할 수 있다. 따라서, 각 웨이퍼 캐리어 내에 실장된 웨이퍼의 효율적인 관리가 가능하여 온도, 습도 등과 같은 환경적인 영향으로 인한 제품 불량율을 최소화할 수 있다.
2. 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어 내의 온/습도 상태 모니터링 방법(도 3 참조)
2.1. 제1 RF 신호 송신단계(S100)
웨이퍼 캐리어가 이동하는 라인 상에 소정의 지점에 구비된 환경 상태 데이터 수집부(200)에서 고유 식별코드를 요청하는 RF 신호를 브로드캐스트하는 단계이다. 여기서, 환경 상태 데이터 수집부(200)가 송신하는 RF 신호가 고유 식별코드를 요청하는 신호임을 구분하기 위하여 해당 RF 신호를 제1 RF 신호로 지칭하도록 한다.
2.2. 제1 RF 신호 응답단계(S200)
이 단계는, 상기 제1 RF 신호 송신단계(S100)를 동작하는 환경 상태 데이터 수집부(200)에 근접한 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 환경 상태 측정부(100)의 RF 태그(120)에서 고유 식별코드를 요청하는 RF 신호인 제1 RF 신호를 수신하여 그에 대한 응답을 하는 단계이다.
구체적으로, 환경 상태 데이터 수집부(200)에 근접한 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 환경 상태 측정부(100)의 RF 태그(120)의 태그 안테나(122)는 상기 환경 상태 데이터 수집부(200)에서 송신하는 제1 RF 신호를 수신하고, 이를 태그 칩(124)로 전달한다.
이에, 상기 태그 칩(124)의 RF 신호 응답부(1246)는 상기 수신한 제1 RF 신호에 응답하여, 해당 RF 태그(120)의 고유 식별코드를 포함하는 RF 응답신호를 상기 태그 안테나(122)를 통해 해당 환경 상태 데이터 수집부(200)로 송신한다. 여기서, 상기 고유 식별코드를 포함하는 RF 응답신호를 제1 RF 응답신호로 지칭하도록 한다.
2.3. RF 태그 인식단계(S300)
상기 제1 RF 신호 응답단계(S200)를 통해 해당 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 환경 상태 측정부(100)의 RF 태그(120)로부터 제1 RF 응답신호를 수신한 환경 상태 데이터 수집부(200)에서, 상기 제1 RF 응답신호에 포함된 고유 식별코드를 이용하여 해당 RF 태그(120)를 인식하는 단계이다.
2.4. 구동 전원 공급단계(S400)
구동 전원 공급단계는, 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 RF 태그(120)의 태그 칩(124)에서, 근접한 위치의 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 수신한 제1 RF 신호로부터 구동 전원을 생성하여 그 내부의 온도 및 습도 상태 측정을 위하여 공급하는 단계이다.
구체적으로, 태그 칩(124)의 RF 에너지 생성부(1242)에서, 태그 안테나(122)를 통해 수신한 제1 RF 신호로부터 RF 에너지 하비스팅 방식에 기반하여 구동 전원을 생성할 수 있다. 상기 제1 RF 신호로부터 구동 전원을 생성하여 센싱부(110) 및 제어부(126)로 공급하여 구동시킬 수 있다. 상기 제어부(126)는 상기 RF 에너지 생성부(1242)에 의해 태그 칩(124)으로부터 구동 전원을 공급 받으면, 상기 센싱부(110)로 센서 구동 신호를 전달하여 웨이퍼 캐리어 내의 온도 및 습도 상태를 센싱하도록 구동시킨다. 여기서, 상기 태그 칩(124)과 제어부(126)는 하나로 통합된 일체형의 칩 형태로 구성될 수 있으며, 상기 센서 구동 신호는 센싱부(110)의 구동에 필요한 구동 전원을 포함할 수 있다.
2.5. 온도 및 습도 센싱단계(S500)
상기 센싱부(100)에서, 상기 구동 전원 공급단계(S400)를 통해 상기 태그 칩(124) 및 제어부(126)로부터 구동에 필요한 전원 및 센서 구동신호를 전달 받아 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태를 센싱하는 단계이다. 상기 센싱부(110)는 제어부(126)로부터의 센서 구동신호에 따라 온도 및 습도 상태를 센싱하고, 센싱된 온도 및 습도 데이터를 제어부(126)로 전달한다. 이에, 상기 센싱부(110)로부터 온도 및 습도 데이터를 전달받은 제어부(126)는 태그 칩(124)의 제1 저장부(1244)에 저장한다.
2.6. 제2 RF 신호 송신단계(S600)
제2 RF 신호 송신단계는, 근접 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 RF 태그(120)를 인식한 상기 환경 상태 데이터 수집부(200)에서, 온도 및 습도 데이터를 수집하기 위해서 해당 RF 태그(120)로 온도 및 습도 데이터의 리딩(Reading)을 요청하는 RF 신호인 제2 RF 신호를 송신하는 단계이다. 여기서, 상기 제2 RF 신호는, 온도 및 습도 데이터의 리딩(Reading)을 요청하는 RF 신호를 지칭한 것이다.
2.7. 제2 RF 신호 응답단계(S700)
상기 제2 RF 신호 송신단계(S600)를 통해 근접 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 온도 및 습도 데이터의 리딩(Reading)을 요청하는 제2 RF 신호를 수신한 RF 태그(120)에서, 그에 대하여 응답하는 단계이다.
구체적으로, 상기 태그 칩(124)의 RF 신호 응답부(1246)는, 상기 태그 안테나(122)를 통해 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 온도 및 습도 데이터를 요청하는 제2 RF 신호를 수신함에 따라, 그에 응답하여 상기 제1 저장부(1244)에 저장된 온도 및 습도 데이터를 추출하여 이를 포함하는 제2 RF 응답신호를 태그 안테나(122)를 통해 해당 환경 상태 데이터 수집부(200)로 전송한다.
2.8. 온도 및 습도 데이터 획득단계(S800)
상기 환경 상태 데이터 수집부(200)에서, 상기 제2 RF 신호 응답단계(S700)를 통해 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 상기 환경 상태 측정부(100)로부터 수신한 제2 RF 응답신호로부터 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 획득하는 단계이다(RF 응답신호 수신부(220)). 상기 획득한 온도 및 습도 데이터는 제2 저장부(230)에 저장되며, 이 때 해당 RF 태그(120)의 고유 식별코드가 연계되어 함께 저장된다.
2.9. 온/습도 상태 모니터링단계(S900)
이 단계는, 상기 환경 상태 데이터 수집부(200)와 통신 연결된 환경 상태 모니터링부(300)에서, 상기 온도 및 습도 데이터 획득단계(S800)를 통해 각 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 환경 상태 측정부(100)로부터 획득한 온도 및 습도 데이터를 제공받아, 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태를 모니터링하는 단계이다.
환경 상태 모니터링부(300)는, 제2 통신부(310)를 통해 상기 환경 상태 데이터 수집부(200)와 통신 연결되어 온도 및 습도 데이터를 제공받을 수 있다. 상기 제공되는 각 온도 및 습도 데이터를 기반으로 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태를 모니터링할 수 있다. 이를 통해, 각 웨이퍼 캐리어 내에 실장된 웨이퍼가 최상의 상태로 유지될 수 있도록 효율적인 관리가 가능하여 온도, 습도 등의 환경적인 영향으로 인한 제품 불량율을 최소화할 수 있는 효과가 발생될 수 있다.
한편, 상기 환경 상태 모니터링부(300)의 알림부(340)에 의해, 각각의 웨이퍼 캐리어 내의 온/습도 데이터 중 기 설정된 기준 값 이상인 데이터가 발생되는 경우 경고 알림이 발생되어 관리가 필요한 웨이퍼 캐리어에 대하여 관리자가 용이하게 파악할 수 있다.
한편, 본 발명의 기술적 사상은 상기 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기 실시 예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
100: 환경 상태 측정부
110: 센싱부
120: RF 태그
122: 태그 안테나
124: 태그 칩
126: 제어부
200: 환경 상태 데이터 수집부
210: RF 신호 송신부
220: RF 응답신호 수신부
230: 제2 저장부
240: 제1 통신부
300: 환경 상태 모니터링부
310: 제2 통신부
320: 센싱 데이터 수신부
330: 제3 저장부
340: 디스플레이부
350: 알림부

Claims (10)

  1. 공정 간에 이동 중인 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태 변화를 실시간으로 모니터링하는 시스템에 있어서,
    웨이퍼가 실장된 웨이퍼 캐리어 내에 장착되어 이동하며, 환경 상태 데이터 수집부의 제어에 따라 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도인 환경 상태 데이터를 측정하고, 측정한 온도 및 습도 데이터를 환경 상태 데이터 수집부로 전송하는 환경 상태 측정부(100);
    상기 웨이퍼 캐리어가 이동하는 라인 상의 각 소정의 지점에 구비되고, 근접한 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 상기 환경 상태 측정부가 환경 상태 데이터를 측정하도록 제어하며, 상기 측정된 환경 상태 데이터를 수집하는 둘 이상의 환경 상태 데이터 수집부(200);
    상기 환경 상태 데이터 수집부(200)로부터 환경 상태 데이터를 전송 받아 모니터링하는 환경 상태 모니터링부(300);
    를 포함하여 구성되며,
    상기 환경 상태 데이터 수집부(200)는,
    환경 상태 측정부(100)의 RF 태그의 고유 식별코드를 요청하는 제1 RF 신호 및 온도 및 습도 데이터의 리딩을 요청하는 제2 RF 신호를 환경 상태 측정부의 RF 태그로 송신하는 RF 신호 송신부(210);
    상기 제1 RF 신호에 대한 응답인 해당 환경 상태 측정부의 RF 태그를 나타내는 고유 식별코드를 포함하는 제1 RF 응답신호 및 제2 RF 신호에 대한 응답인 환경 상태 데이터를 포함하는 제2 RF 응답신호를 수신하는 RF 응답신호 수신부(220);
    상기 제1 RF 응답신호에 포함된 고유 식별코드와 제2 RF 응답신호에 포함된 환경 상태 데이터를 연계하여 저장하는 제2 저장부(230);
    상기 제2 저장부(230)에 저장된 RF 태그의 고유 식별코드와 연계하여 저장된 환경 상태 데이터를 환경 상태 모니터링부(300)로 전송하는 제1 통신부(240);
    를 포함하여 구성되며,
    상기 환경 상태 측정부(100)는,
    제어부(126)로부터 센서 구동신호를 입력 받아 온도 및 습도 데이터를 측정하는 센싱부(110);
    상기 RF 신호 송신부(210)로부터 수신하는 RF 신호로부터 에너지를 생성하는 RF 에너지 생성부(1242) 및 환경 상태 측정부(100)의 고유 식별코드와 상기 센싱부(110)가 측정한 온도 및 습도 데이터를 각각 제1 RF 신호와 제2 RF 신호에 대한 응답으로 제1 RF 응답신호, 제2 RF 응답신호로 전송하는 RF 응답부(1246)를 포함하여 구성되는 RF 태그 칩(124); 상기 RF 에너지 생성부(1242)가 생성하는 에너지를 구동전원으로 하여 센서 구동신호를 센싱부(110)로 전달하는 제어부(126); 를 포함하여 구성되는 RF 태그(120);
    를 포함하여 구성되는 웨이퍼 캐리어 내부 온/습도 상태 모니터링 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 환경 상태 측정부의 RF 태그(120)는,
    상기 센싱부(110)가 센싱한 온도 및 습도 데이터를 저장하는 제1 저장부(1244);
    상기 제1, 제2 RF 신호를 수신하고 제1, 제2 RF 응답신호를 송신하는 태그 안테나(122);
    를 추가로 포함하여 구성되는 웨이퍼 캐리어 내부 온/습도 상태 모니터링 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 환경 상태 모니터링부(300)는,
    상기 환경 상태 데이터 수집부(200)의 제1 통신부(240)와 통신 연결되는 제2 통신부(310);
    상기 제2 통신부(310)를 통해 소정의 주기 간격으로 상기 웨이퍼 캐리어의 이동 라인 상에 구비된 각 환경 상태 데이터 수집부(200)에 저장된 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 수신하는 센싱 데이터 수신부(320);
    상기 센싱 데이터 수신부에서 수신한 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 저장하는 제3 저장부(330);
    상기 제3 저장부(330)에 저장된 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 디스플레이하는 디스플레이부(340);
    상기 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터 중 기 설정된 기준 값 이상인 데이터 발생에 따라 경고 알림을 제공하는 알림부(350);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어 내부 온/습도 상태 모니터링 시스템.
  4. 공정 간에 이동 중인 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태 변화를 실시간으로 모니터링하는 방법에 있어서,
    환경 상태 데이터 수집부(200)의 RF 신호 송신부(210)가 환경 상태 측정부(100)와의 RF 태그의 고유 식별코드를 요청하는 제1 RF 신호를 송신하는 식별코드 요청단계(S100);
    상기 제1 RF 신호를 수신한 환경 상태 데이터 수집부(200)에 근접 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 환경 상태 측정부(100)가 상기 제1 RF 신호를 수신하고, 그 RF 태그(210)의 고유 식별코드를 포함하는 제1 RF 응답신호를 송신하는 제1 RF 신호 응답단계(S200);
    제1 RF 신호 응답단계(S200)를 통해 해당 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 환경 상태 측정부(100)의 RF 태그(120)로부터 제1 RF 응답신호를 수신한 환경 상태 데이터 수집부(200)에서, 상기 제1 RF 응답신호에 포함된 고유 식별코드를 이용하여 해당 RF 태그(120)를 인식하는 RF 태그 인식단계(S300);
    상기 제1 RF 신호를 수신한 환경 상태 데이터 수집부(200)에 근접한 환경 상태 데이터 측정부(100)가 상기 제1 RF 신호로부터 센싱부(110)의 구동전원을 생성하여 센싱부(110)를 구동하는 구동 전원 공급단계(S400);
    상기 센싱부(110)에서, 상기 구동 전원 공급단계(S400)를 통해 센서 구동신호를 전달 받아 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태를 센싱하는 온도 및 습도 센싱단계(S500);
    근접 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 RF 태그(120)를 인식한 상기 환경 상태 데이터 수집부(200)에서, 온도 및 습도 데이터를 수집하기 위해 해당 RF 태그(120)로 온도 및 습도 데이터의 리딩(Reading)을 요청하는 RF 신호인 제2 RF 신호를 송신하는 제2 RF 신호 송신단계(S600);
    상기 제2 RF 신호를 수신한 환경 상태 측정부(100)가 상기 센싱한 온도 및 습도 데이터를 포함하는 제2 RF 응답신호를 해당 환경 상태 데이터 수집부(200)로 전송하는 제2 RF 신호 응답단계(S700);
    환경 상태 데이터 수집부(200)에서, 상기 제2 RF 신호 응답단계(S700)를 통해 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 상기 환경 상태 측정부(100)로부터 수신한 제2 RF 응답신호로부터 해당 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 데이터를 획득하는 온도 및 습도 데이터 획득단계(S800);
    상기 환경 상태 데이터 수집부(200)와 통신 연결된 환경 상태 모니터링부(300)에서, 상기 온도 및 습도 데이터 획득단계(S800)를 통해 각 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 환경 상태 측정부(100)로부터 획득한 온도 및 습도 데이터를 제공 받아, 각각의 웨이퍼 캐리어 내부의 온도 및 습도 상태를 모니터링하는 온/습도 상태 모니터링단계(S900);
    를 포함하여 구성되는 웨이퍼 캐리어 내부의 온/습도 상태 변화를 실시간으로 모니터링하는 방법.
  5. 삭제
  6. 삭제
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  8. 삭제
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009200199A (ja) * 2008-02-21 2009-09-03 Tdk Corp 密閉容器及び当該容器の管理システム
US20100051502A1 (en) 2008-09-04 2010-03-04 3M Innovative Properties Company Carrier having integral detection and measurement of environmental parameters
KR101474124B1 (ko) * 2013-04-29 2014-12-24 (주)루맷 광학 필름 수납함 및 그 수납함의 운반 대차

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110074341A1 (en) * 2009-09-25 2011-03-31 Kla- Tencor Corporation Non-contact interface system
KR101780789B1 (ko) * 2010-03-15 2017-09-22 삼성전자주식회사 기판 이송 용기, 가스 퍼지 모니터링 툴, 그리고 이들을 구비한 반도체 제조 설비

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009200199A (ja) * 2008-02-21 2009-09-03 Tdk Corp 密閉容器及び当該容器の管理システム
US20100051502A1 (en) 2008-09-04 2010-03-04 3M Innovative Properties Company Carrier having integral detection and measurement of environmental parameters
KR101474124B1 (ko) * 2013-04-29 2014-12-24 (주)루맷 광학 필름 수납함 및 그 수납함의 운반 대차

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