KR102283678B1

KR102283678B1 - 디지털 압력 게이지

Info

Publication number: KR102283678B1
Application number: KR1020210041796A
Authority: KR
Inventors: 김영보
Original assignee: (주)센서시스템기술
Priority date: 2021-03-31
Filing date: 2021-03-31
Publication date: 2021-07-30

Abstract

압력을 측정하여 숫자로 표시하고 폭발성 가스의 화재로부터 화재를 방지하는 비점화 방폭(Non-Sparking structure) 구조를 갖는 디지털 압력 게이지가 제공된다. 상기 디지털 압력 게이지는 금속 인서트 사출 성형에 의해 금속 재질의 압력 셀 결합부 및 커넥터 결합부가 서로 다른 면에 형성되고 전면부에는 단차를 가지는 제1 및 제2플랜지의 외면에 제1 및 제2돌기가 형성되어 개구된 바디와; 압력유체가 공급되는 배관이 연결되는 압력유입부로 인가되는 압력에 대응하여 변위되는 압력을 감지하는 내부식성의 고강도 금속을 사용한 경면 처리된 솔리드 다이어프램을 포함하는 압력 감지 셀과; 상기 압력 감지 셀에서 감지된 전기신호를 처리하여 압력 측정값이 미리 설정된 압력 설정값과 비교하여 그 결과값을 출력하는 감지처리부와; 상기 감지처리부에서 출력되는 신호를 외부로 표시하고, 압력 설정값을 상기 감지처리부로 제공하는 신호 입출력부를 포함한다.

Description

디지털 압력 게이지{Digital pressure gauge}

본 발명은 인체에 유해하고 부식성, 가연성, 폭발성을 가진 유체의 압력을 측정하는 압력 게이지(pressure gauge or sensor)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압력을 측정하여 숫자로 표시하고 검출신호를 전송하며, 폭발성 가스의 화재로부터 화재를 방지하는 비점화 방폭(Non-Sparking structure) 구조를 갖는 디지털 압력 게이지에 관한 것이다.

반도체를 만들기 위한 웨이퍼는 사진, 이온 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정을 반복적으로 수행하여 칩으로 만들어진다.

현재, 반도체 공정에는 세정, 식각 등의 공정 특성에 적합한 케미컬들이 선택되어 기체, 또는 액체 상태로 공급됨으로써 공정이 실시된다.

반도체 제조 공정에서는 공정가스가 적정량, 적정온도, 적정 배출 등이 유지되는지를 관리하는 것이 반도체 제조의 기본사항 중 하나이고, 가스 공급 캐비닛에 가스용기를 신규 또는 교체 장착하는 과정에서 적정 위치에 지정된 가스가 장착되는지, 가스라인의 가스 압력이 적절한 것인지 또는 가스 배관으로 이송되는 가스가 누설되고 있는지를 관리하는 것 역시 매우 중요하며, 이러한 가스 장착에 대한 관리가 제대로 이루어지지 않으면 반도체 제조에 막대한 악영향을 끼친다.

과학기술의 발달로 반도체 제조 설비에 사용되는 압력 게이지가 급속도로 고도화, 정밀화되고 있고, 압력 측정값을 육안으로 쉽게 확인할 수 있도록 디스플레이가 부가되고 있다.

또한, 압력의 변화를 전기신호로 변환하고, 상기 전기신호를 증폭 및 신호 처리하여 출력하는 회로 보드(circuits board)와 중앙관제기 간에 압력 감지 데이터를 송수신하여 현재 공정 가스의 상태를 모니터링 할 수 있도록 되어 있다.

이러한 디지털 압력 게이지로서는 아래 특허문헌 1에 기재된 압력 스위치가 있다. 특허문헌 1에 기재된 압력 스위치는 압력 감지기에서 감지된 측정값을 표기시상에 표시하고 압력 감지기에 의한 검출 압력 값이 밀리 설정된 설정 값을 초과하였을 때 외부 기기를 향하여 검출신호를 전송하도록 구성되어 있다.

위 특허문헌 1의 특허권자는 직육면체의 케이스에 표시기 및 압력 감지기가 실장된 압력 스위치를 아래 특허문헌 2에 개시하고 있다.

그러나 특허문헌 1 및 2에 개시된 종래의 기술은 전기적으로 작동되는 전자회로에 의해 연산된 측정 정보를 외부 장치에서 읽거나 버튼을 조작하여 압력 설정 값을 변경 시 전자회로 또는 케이블을 접속하거나 분리 시 상기 전자회로 또는 접속 커넥터 등에서 발생할 수 있는 정전기 또는 스파크에 가스 폭발을 방지하는 비점화 방폭 기능이 전혀 부여 되지 않는 문제가 있었다.

비점화 방폭은 위험지역 2(Zone 2)의 주변에 폭발성 혼합 기체를 발화시킬 수 있는 아크 자체를 없애도록 예방하기 위한 것으로, 크게 스파크를 일으키기 않는 내부 구성품을 사용하는 Ex nA, 발화 가능성이 없는 구성품을 사용하는 Ex nC, 구성품에 최대한 밀착하여 둘러쌓아 연소할 공간을 없애 발화를 방지하는 Ex nR, 발화가 될 만한 충분한 에너지가 없는 구성품을 사용하는 nL으로 구성된다.

또한 인체에 유해하고 부식성, 가연성, 폭발성을 가진 공정가스를 사용하는 반도체 제조 공정의 가스 라인에 사용되는 디지털 압력 게이지에 내부식성의 고강도 합금을 사용한 압력 누출 방지 구조와 비점화 방폭 구조가 부여되지 않는 경우, 인입가스의 누출로 사용 환경의 오염과 화재의 위험성이 매운 큰 문제가 있어 반도체 제조 공정에 적용하기 곤란하였다.

10-1089136 B1(2011.11.28. 등록) 10-0930615 B1(2009.12.01. 등록)

본 발명의 목적은 상기와 같은 제반 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 유입구로 유입되는 유체의 압력을 내부식성의 고강도 금속을 사용한 경면 처리된 솔리드 압력 셀(solid pressure cell)에 의해 검출하여 표시부에 표시하고, 상기 솔리드 압력 셀과 표시부가 내장된 케이스를 기밀(氣密)하여 내부와 외부를 절연(Insulation)하는 비점화 방폭 구조를 갖는 디지털 압력 게이지를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 압력 설정값 등을 설정하는 버튼부와 인체에 유해하고 부식성, 가연성, 폭발성을 가진 공정 가스 등의 피측정 유체를 유입하는 유입관과, 상기 유입관으로 유입되는 유체의 압력을 측정하는 압력 셀, 상기 압력 셀의 전기신호를 검출하여 압력 측정값을 산출하는 회로기판과, 상기 압력 측정값 및 압력 설정값 등을 표시하는 표시부를 바디와 이에 결합된 홀더 커버의 내부에 내장하고 상기 내부와 외부를 기밀하게 절연하여 비점화 방폭 구조를 갖도록 한 디지털 압력 게이지를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 금속 인서트 사출 성형에 의해 금속 재질의 압력 셀 결합부 및 커넥터 결합부가 서로 다른 면에 형성되고 전면부가 개구된 바디의 내부에 회로 기판, 기판홀더, 디스플레이, 확산판, 버튼 및 투명창이 형성된 홀더커버를 기밀하게 결합하여 비점화 방폭 구조를 갖도록 한 디지털 압력 게이지를 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 디지털 압력 게이지는, 금속 인서트 사출 성형에 의해 금속 재질의 압력 셀 결합부 및 커넥터 결합부가 서로 다른 면에 형성되고 전면부에는 단차를 가지는 제1 및 제2플랜지와, 상기 제1, 제2플랜지의 외면에 돌출된 제1 및 제2돌기가 형성되어 개구된 바디와; 압력유체가 공급되는 배관이 연결되는 내식성 금속재질의 압력유입부와, 내부에는 압력 유체가 유통되는 유입 통로를 가지며 일측에는 상기 유입 통로상의 유체 압력을 전기 신호를 변환하는 내식성 고강도 합금을 사용한 솔리드 압력 셀이 형성되어 상기 통로가 상기 압력 유입부의 타측에 용접 결합된 울트라 하이 퓨리티 압력 셀과; 상기 개구를 통해 상기 바디에 삽입되고 상기 경면 처리된 솔리드 압력 셀에서 감지된 전기신호를 처리하여 압력 측정값을 출력하는 회로기판, 상기 제2플랜지에 끼워진 밀봉부재와, 관통된 구멍의 중앙 돌기의 양측에 고정부와 단차를 갖는 제1, 제2결합부가 형성되고 상기 고정부가 형성된 외면에는 상기 제1플랜지의 돌기에 결합되는 제1결합홈이 형성되어 상기 개구에 결합된 기판 홀더와; 다수의 발광소자(LED) 및 택트 스위치(Tact switch)가 형성되며 상기 기판홀더의 제2결합부에 삽입되며 상기 회로기판에서 출력되는 압력 측정값을 표시하거나 상기 택트 스위치에 의한 선택신호를 상기 회로기판으로 제공하는 입출력기판과; 상기 입출력 기판에 배열된 표시소자에 대응하여 숫자 문자를 표시하기 위한 글자판(seven segment display)이 형성되어 상기 택트 스위치의 대응 위치에는 버튼 구멍이 형성되어 상기 기판 홀더의 제1결합부에 삽입된 확산 패널과; 실리콘 수지제로 이루어지며, 내부에는 상기 버튼 구멍에 삽입되는 로드가 돌출되고 외측에는 돌출된 밀착 돌기가 형성된 적어도 하나 이상의 버튼과; 전면에는 투명창과 상기 버튼이 끼워져 돌출되는 버튼 노출 구멍이 형성되고 양측면에는 제2결합홈이 형성되어 타측의 개구측에 상기 기판 홀더, 입출력 기판, 확산 패널, 버튼을 수용하여 상기 바디의 제2플랜지에 제2돌기에 상기 제2결합홈이 결합되는 홀더 커버를 포함함을 특징으로 한다.

상기 택트 스위치는 제1전극 사이에 제2전극이 이격 설치되고, 상기 제1전극들의 상부에 탄성 접점이 연결되며, 상기 탄성 접점의 둘레 상부에는 실(seal)이 부착되고 외면 상부에는 걸쇠가 돌출된 케이스와; 상기 탄성 접점과 실의 상부에는 방수시트와 누름편이 적층되고, 상기 케이스의 상부에는 상기 누름편이 외부로 돌출되어 상기 걸쇠에 고정되는 커버가 결합됨을 특징으로 한다.

상기 커넥터 결합부에는 상기 회로 기판에 전원을 공급하고 그로부터 출력되는 압력 측정값을 외부의 연결기기에 전송하는 케이블 커넥터가 결합되고, 상기 케이블 커넥터의 외주면에는 커넥터 고정부에 환상돌기가 끼워져 나사에 의해 고정되는 오목한 고정홈이 형성됨을 특징으로 한다.

상기 바디의 일측면에는 벤트구멍(Vent hole)이 형성되고 상기 벤트구멍에는 입자가 큰 물질과 액체는 차단하고 크기가 작은 기체 등의 입자는 통할 수 있도록 구멍이 뚫어진 미세 가공 테프론 필터가 부착됨을 특징으로 한다.

본 발명에 실시 예에 따른 디지털 압력 게이지는 바디와 커버 또는 덮개의 결합에 의해 밀봉되는 제품 케이스(하우징)의 내부와 외부를 완전하게 밀폐하여 차단함으로써 위험지역(Zone 2)에서 발생할 수 있는 화재를 미연에 방지할 수 있어 비점화 방폭 조건을 충족할 수 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 디지털 압력 게이지의 사시도.
도 2는 도 1의 분해 사시도.
도 3은 도 1에 도시된 디지털 압력 게이지의 중앙부분의 종단면도.
도 4는 도 2에 도시된 바디에 형성된 벤트 필터의 상세 구성을 설명하기 위한 도면.
도 5는 도 1의 케이블 커넥터와 커넥터 고정부의 결합 관계는 나타낸 도면,
도 6은 도 2 및 도 3에 도시된 택트 스위치의 상세 구성도.

이하 본 발명의 실시예가 첨부된 도면들이 참조되어 구체적으로 설명될 것이다. 본 발명이 실시 예에 따른 발명 내용이 설명될 것이지만, 이러한 설명이 본 발명을 이 실시 예를 제한하기 위한 것이 아니라는 점이 이해될 것이다. 반대로, 본 발명은 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에 포함될 수 있는 변형, 변경 및 균등물을 포함한다.

도 1 내지 도 4에서 참조번호 1은 본 발명의 실시 형태에서 있어서의 디지털 압력 게이지를 나타낸다.

도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 디지털 압력 게이지(1)는 금형에 수지제 재료와 내부식성 금속제로 제작된 원통 형상의 압력 셀 결합부(11) 및 커넥터 결합부(12)를 인서트 사출 형성하여 일측면이 개구된 바디(10)를 갖는다.

이때, 상기 압력 셀 결합부(11) 및 커넥터 결합부(12)는 상기 바디(10)의 서로 다른 면에 형성되고, 상기 바디(10)의 전면부에는 단차를 가지는 제1 및 제2플랜지(15, 16)가 형성되어 있다. 상기 제1, 제2플랜지(15, 16)의 외면에는 제1 및 제2돌기(13, 14)가 형성되어 있다.

위와 같이 인서트 사출하는 경우, 상기 바디(10)와 압력 셀 결합부(11) 및 커넥터 결합부(12)의 결합을 견고하게 할 수 있고 접착면(17)(12a)의 접촉면의 길이를 길게 할 수 있어 밀봉력을 거의 완전하게 높일 수 있다.

니켈을 주원료로 크롬, 몰리브덴 성분의 조성비 비중이 높은 고용체 강화형 합금을 사용한 상기 압력 셀 결합부(11)의 내경에는 경면 처리된 UHP 압력 셀(Ultra High-Purity pressure Cell : 이하 "압력 셀"이라 함)(90)의 솔리드 다이어프램(91)이 삽입되고, 압력 셀 결합부(11)와 솔리드 다이어프램(91)의 제2결합면(95)은 티그 용접되어 있다.

상기 솔리드 다이어프램(91)의 내부에는 압력 유체 유입통로(96)가 형성되며, 상기 솔리드 다이어프램(91)의 유입통로(96)에는 상기 압력유체가 공급되는 배관이 연결되는 부식성이 강한 합금재의 압력유입부(92)의 유입통로(94)가 제살용접에 의해 접합되어 제1결합면(93)을 형성하고 있다.

상기 솔리드 다이어프램(91)에는 두 개의 하프 브리지(half bridge)형 스트레인 게이지(도시하지 않았음)가 풀 브리지(full bridge)로 설치되며, 상기 스트레인 게이지의 출력은 와이어를 통해 바디(10)의 내부로 삽입되어 있다.

상기 솔리드 다이어프램(91)은 본원 출원인에게 특허된 특허 제1016790호(2011. 2. 11. 등록)를 적용할 수 있다. 상기 솔리드 다이어프램(91)의 재질은 니켈을 주원료로 하고 크롬과 몰리브덴 등을 첨가한 고용체 강화형 합금을 사용하여 고강도, 고내식성을 가지며 압력 매질이 고농도의 산이나 알칼리에서 내식성이 우수하다.

상기 바디(10)의 개구를 통해 그 회로 기판(30)이 상기 솔리드 다이어프램(91)의 스트레인 게이지에 연결되어져 스트레인 게이지의 저항값의 변화에 따라 상기 솔리드 다이어프램(91)에 인가되는 압력의 크기를 상기 회로 기판(30)에서 산출 센싱 한다.

상기 바디(10)의 개구측의 외면에 단차로 형성된 제2플랜지(16)에는 외면에 밀봉돌기가 형성된 환상의 밀봉부재(20)가 끼워져 결합된 후 기판 홀더(40)의 내면에 형성된 고정부(42)가 회로 기판(30)을 밀면서 바디(10)의 내부로 들어가도록 결합한다.

위와 같은 결합에 의해 기판 홀더(40)의 외측면에 형성된 제1결합홈(41)이 바디(10)의 제1플랜지(15)에 돌출 형성된 제1돌기(16)에 끼워져 결합됨으로써 회로 기판(30)은 바디(10)의 내부에 넣어져 바디(10)에 견고하게 밀봉 고정된다. 따라서, 바디(10)와 기판홀더(40) 사이로 물과 먼지 또는 가스의 유출입이 방지되어 IP65 등급을 충족시킬 수 있다.

이후, 사용자 설정 등의 정보를 상기 회로기판(30)에 입력시키기 위한 택트 스위치(52)와 상기 회로기판(30)에서 산출 센싱된 압력 측정값 등을 표시하기 위한 발광소자(51)가 실장 된 입출력기판(50)과, 글자판(61) 및 버튼 구멍(62)이 형성된 확산패널(60)을 기판홀더(40)의 제2결합부(44)와 제1결합부(43)에 밀어 넣어 도 3과 같이 결합한다.

이후 실리콘 수지로 형성된 다수의 버튼(70)의 내부 로드(71)를 상기 확산판(60)의 버튼 구멍(62)에 끼워 넣는다. 이때, 상기 버튼(70)의 외측에는 버튼(70)의 몸체 보다 큰 직경을 갖는 밀착돌기(72)가 형성되어 있다.

상기와 같이 밀봉부재(20), 회로기판(30), 기판홀더(40), 입출력기판(50), 확산판(60) 및 버튼(70)이 순차적으로 결합된 바디(10)의 개구측에 홀더커버(80)의 개구부가 끼워져 밀어져 들어가는 형태로 결합되면, 확산판(60)에 결합된 버튼(70)은 홀더커버(80)에 형성된 버튼 노츨 구멍(81)을 관통 결합되어 외부로 노출되고, 확산패널(60)의 글자판(61)은 홀더커버(80)의 투명창(83)의 외부로 노출된다. 이와 같은 결합에 의해 상기 홀더커버(80)의 내측면은 상기 바디(10)의 제2플랜지(16)의 감싸는 형태로 결합된다.

이때, 상기 홀더커버(80)의 양측 외면에 적어도 2 이상으로 형성된 제2결합홈(82)들은 바디(10)의 제2플랜지(16)의 외면에 적어도 둘 이상으로 형성된 제2돌기(14)에 걸어져 결합됨으로써 전술한 회로기판(30), 기판홀더(40), 입출력기판(50), 확산판(60) 및 버튼(70)들은 도 3과 같이 바디(10)의 내부로 완전하게 밀착되어 고정 결합 된다.

상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 디지털 압력 게이지(1)는 바디(10)와 홀더커버(80)에 걸쇠 결합 구조를 갖는 결합부를 적어도 둘 이상 구비하여 견고하게 결합되도록 함으로써 내충격성을 만족할 수 있다.

위과 같은 구조를 갖는 디지털 압력 게이지(1)의 바디(10), 기판홀더(40) 및 홀더커버(80)는 엔지니어링 플라스틱 중에서도 충격에 의해 깨지거나 변형이 일어나지 않는 폴리카보네이트 재질의 수지를 사용하는 것이 좋다.

본 발명의 실시예에 따른 바디(10)의 내측면에는 도 4와 같이 디지털 압력 게이지(1)의 내부와 외부의 대기압 환경 조건이 평형이 이루도록 하는 벤트필터(17)가 부착되어 있다.

상기 벤트필터(17)는 바디(10)의 일 측면을 관통하는 벤트구멍(18)위에 부착되어 기체만을 유통시키고 기체 입자보다 큰 입자의 크기를 갖는 액체 등을 차단하는 테프론을 사용하는 것이 바람직하다.

상기 바디(10)의 측면에 뚫어진 벤트구멍(18) 위에 벤트필터(17)를 부착하면 기체만이 유동됨으로써 압력 센서(1)의 내부 압력과 외부 압력이 평형을 이루어 정확한 압력 측정이 가능해 진다.

상기 홀더커버(80)의 버튼 노출 구멍(81)에 끼워져 결합된 버트(70)의 외주면에는 도 3의 확대부분에 도시된 바와 같이 상기 버튼 노출 구멍(81)의 내측면에 완전하게 밀착된다. 따라서, 실리콘 재질로 성형된 버튼(70)이 눌러져 하중이 도 6의 택트 스위치(52)의 누름편(Knob)(52h)에 전달된다.

이와 같은 동작 상태에서 버튼(70)의 외부면에 돌출 성형된 밀착돌기(71)가 버튼 노출 구멍(81)의 내면에 밀착됨으로써 습기 또는 가스 등의 유입을 방지한다.

상기와 같은 구성 중 회로기판(30)은 UHP 압력 셀(90)에서 감지된 전기신호를 증폭 및 처리하여 출력하는 감지처리부이고, 기판홀더(40), 입출력기판(50)과 확산판(60), 버튼(70) 및 홀더커버(80)는 신호 입출력부이다.

본 발명의 실시 예에 따른 디지털 압력 게이지(1)는 바디(10)의 커넥터 결합부(12)와 이에 나사 결합된 케이블 커넥터(100)간의 유격에 의한 정전기 또는 스파크에 발생을 방지하기 위해 도 5와 같이 케이블 커넥터(100)에 고정홈(113)이 형성되어 있다. 상기 고정홈(113)에는 아래 부분에 환상돌기(114)가 형성된 커넥터 고정부(110)에 고정된다.

상기 커넥터 고정부(110)의 환상돌기(114)가 커넥터 결합부(12)에 나사 결합된 케이블 커넥터(100)의 외주면을 감싼 후 고정홈(113)에 결합되어 고정나사(112)에 의해 풀어지지 않도록 체결되면, 유격을 방지할 수 있고 사용자가 임의로 케이블 커넥터(100)를 해체하는 것에 의한 센서의 오동작이나 스파크의 발생을 방지할 수 있다.

또한 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 택트 스위치(62)는 버튼(70)을 눌려 접점을 접촉하였을 경우 발생할 수도 있는 스파크를 차단한다.

도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 택트 스위치(52)는 제1전극들(52a) 사이에 제2전극(52b)이 이격 설치되고, 상기 제1전극들(52a)의 상부에 탄성 접점(52c)이 연결되어 있다. 그리고, 상기 탄성 접점(52c)의 둘레 상부에는 실(seal)(52d)이 부착되고 외면 상부에는 걸쇠가 돌출된 케이스(52f)를 구비한다.

그리고 상기 탄성 접점(52c)과 실(52d)의 상부에는 방수시트(52e)와 누름편(52h)이 적층되고, 상기 케이스(52f)의 상부에는 상기 누름편(52h)이 외부로 돌출되어 상기 걸쇠에 고정되는 커버(52g)가 결합되어 구성되어 있다. 케이스(52f), 누름편(52h)은 수지재이고 누름편(52h)은 부도체인 실리콘 수지를 사용하는 것이 좋다.

위와 같은 구성을 갖는 택트 스위치(52)는 제1, 제2전극(52a, 52b)을 연결 또는 차단하는 탄성 접점(52c)의 상부 둘레에 실(52d)을 부착하고 그 상부에 방수시트(52e)를 결합하여 케이스(52f)와 커버(52g)를 완전하게 절연시킴으로써 탄성접점(52c)과 제1, 제2전극(52a, 52b)간 접촉에 의해 순간적인 스파크가 발생하더라도 상기 스파크는 택트 스위치(52)의 외부와 차단됨으로써 화재를 방지할 수 있다.

상술한 실시 예에서는 압력 셀 결합부(11)와 커넥터 결합부(12)를 바디(10)의 서로 직교되는 형태로 한 것을 도시하고 있으나 바디(10)의 어느 측면에 형성하는 구성으로 하여도 좋다.

또한 본 발명의 실시 예에서는 기판홀더(40)의 관통구의 양 개구부에 회로기판(30)과 입출력기판(50) 및 확산판(60)을 부착한 구성을 설명하였으나, 기판홀더(40)를 사용하지 않고서 회로기판(30)에 입출력기판(50) 및 확산판(60)을 연속적으로 결합하고, 바디(10)와 홀더커버(80)의 접합면에 밀봉부재(20)를 결합한 후 홀더커버(80)의 개구측의 양측면에서 형성된 결합홈(82)을 바디(10)의 돌기(14)에 걸어지도록 하는 구성으로 하여도 좋다.

본 발명의 구체적 실시에 대한 전술된 설명은 예시적으로 제시된 것이며, 이들은 다른 예들이 제외될 정도로 완전한 것이 아니고, 개시된 정밀한 형태들로 본 발명을 제한하기 위한 것도 아니며, 전술한 교시에 비추어 많은 변경들 및 변형들이 가능할 것이라는 것은 자명하다. 상기 실시 예들은 본 발명의 원리 및 그 현실적 응용을 가장 잘 설명하기 위하여 선택되고 설명되었다. 본 발명의 권리범위는 여기에 첨부된 청구항들 및 그 균등물에 의해 정해져야 한다.

1 디지털 압력 게이지,
10 : 바디,
11 압력 셀 결합부,
12 커넥터 결합부,
13 제1돌기,
14 제2돌기,
15 제1플랜지,
16 제2플랜지,
17 벤트필터,
18 벤트구멍,
20 밀봉부재,
30 회로기판,
40 기판홀더,
41 제1결합홈,
42 고정부,
43 제1결합부,
44 제2결합부,
45 중앙 돌기,
50 입출력기판,
50 택트 스위치.
51 발광소자,
60 확산판,
61 글자판,
62 버튼 구멍,
70 버튼
71 로드,
72 밀착돌기,
80 홀더 커버,
81 버튼 노출 구멍,
82 제2결합홈,
83 투명창,
90 하이 퓨리티 압력 셀.
91 솔리드 압력 셀,
92 압력유입부,
93 제1결합면,
94 유입 통로,
95 제2결합면,
100 : 케이블 커넥터,
110 커넥터 고정부
111 나사구멍,
112 고정나사
113 고정홈,
114 환상돌기,
115, 116 오링

Claims

금속 인서트 사출 성형에 의해 금속 재질의 압력 셀 결합부가 일측면에 형성되고 전면부에는 단차를 가지는 플랜지의 외면에 돌기가 형성되어 개구된 바디와; 압력유체가 공급되는 배관이 연결되는 압력유입부로 입력되는 압력에 대응하여 변위되어 압력을 감지하는 경면 처리된 솔리드 다이어프램을 포함하는 솔리드 압력 셀과; 상기 개구를 통해 상기 바디에 삽입되고 외부로부터 입력되는 압력설정값을 내부 설정하고, 상기 솔리드 압력 셀에서 감지된 전기신호를 처리하여 압력 측정값을 출력하는 회로기판을 포함하는 감지신호 처리부와; 다수의 발광소자 및 택트 스위치가 형성되어 상기 회로기판에 전기적으로 연결되어 그로부터 출력을 표시하거나 상기 택트 스위치에 의한 선택신호를 상기 회로기판으로 제공하는 입출력기판과, 상기 입출력 기판에 배열된 표시소자의 표시를 외부로 투영하고 상기 택트 스위치의 대응 위치에는 버튼 구멍이 형성되어 상기 바디의 개구부에 수용된 확산판을 포함하는 신호 입출력부와; 내부에는 상기 버튼 구멍에 삽입되는 로드가 돌출되고 외주면에는 밀착 돌기가 형성된 적어도 하나 이상의 버튼과; 전면에는 확산판으로부터 비추어지는 광원을 외부로 투영하는 투명창과 상기 버튼이 끼워져 돌출되는 버튼 노출 구멍이 형성되고, 후면의 개구측의 양측면에는 결합홈이 형성되어 상기 후면 개구측의 내측면이 상기 바디의 플랜지에 밀착되어 결합되는 것에 의해 상기 결합홈이 상기 돌기에 걸어져 상기 바디의 내부를 밀봉하는 홀더 커버를 포함함을 구성함을 특징으로 하는 디지털 압력 게이지.
제1항에 있어서, 상기 택트 스위치는 제1전극 사이에 제2전극이 이격 설치되고, 상기 제1전극들의 상부에 탄성 접점이 연결되며, 상기 탄성 접점의 둘레 상부에는 실이 부착되고 외면 상부에는 걸쇠가 돌출된 케이스와; 상기 탄성 접점과 실의 상부에는 방수시트와 누름편이 적층되고, 상기 케이스의 상부에는 상기 누름편이 외부로 돌출되어 상기 걸쇠에 고정되는 커버가 결합됨을 특징으로 하는 디지털 압력 게이지.
제1항에 있어서, 상기 바디의 다른 측면에는 상기 금속 인서트 사출 성형에 의해 금속 재질의 커넥터 결합부가 형성되며, 상기 커넥터 결합부에는 상기 회로 기판에 전원을 공급하고 그로부터 출력되는 압력 측정값을 외부의 연결기기에 전송하는 케이블 커넥터가 결합되고, 상기 케이블 커넥터의 외주면에는 커넥터 고정부에 환상돌기가 끼워져 나사에 의해 고정되는 오목한 고정홈이 형성됨을 특징으로 하는 디지털 압력 게이지.
제1항 내지 제3항 중 어느 하나에 있어서, 상기 바디의 일측면에는 벤트구멍이 형성되고 상기 벤트구멍에는 액체는 차단하고 기체를 통과 할 수 있도록 구멍이 뚫어진 미세 가공 테프론 필터가 부착됨을 특징으로 하는 디지털 압력 게이지.
금속 인서트 사출 성형에 의해 내식성 금속 재질의 압력 셀 결합부 및 커넥터 결합부가 서로 다른 면에 형성되고 전면부에는 단차를 가지는 제1 및 제2플랜지와, 상기 제1, 제2플랜지에 외면에 돌출된 제1 및 제2돌기가 형성되어 개구된 바디와; 압력유체가 공급되는 배관이 연결되는 내식성 금속 재질의 경면 처리된 압력유입부와, 내부에는 상기 압력 유체가 유통되는 유입 통로를 가지며 일측에는 상기 유입 통로상의 유체 압력을 전기 신호를 변환하는 고용체 강화형 합금 재질의 솔리드 압력 셀이 형성되어 상기 통로가 상기 압력 유입부의 타측에 용접 결합되어 경면 처리된 울트라 하이 퓨리티 압력 셀과; 상기 개구를 통해 상기 바디에 삽입되고 상기 솔리드 압력 셀에서 감지된 전기신호를 처리하여 압력 측정값을 출력하는 회로기판, 상기 제2플랜지에 끼워진 밀봉부재와, 관통된 구멍의 중앙 돌기의 양측에 고정부와 단차를 갖는 제1, 제2결합부가 형성되고 상기 고정부가 형성된 외면에는 상기 제1플랜지의 돌기에 결합되는 제1결합홈이 형성되어 상기 개구에 결합된 기판 홀더와; 다수의 발광소자 및 택트 스위치가 형성되며 상기 기판홀더의 제2결합부에 삽입되며 상기 회로기판에서 출력되는 압력 측정값을 표시하거나 상기 택트 스위치에 의한 선택신호를 상기 회로기판으로 제공하는 입출력기판과; 상기 입출력 기판에 배열된 표시소자에 대응하여 숫자와 문자를 표시하기 위한 글자판이 형성되어 상기 택트 스위치의 대응 위치에는 버튼 구멍이 형성되어 상기 기판 홀더의 제1결합부에 삽입된 확산 패널과; 실리콘 수지제로 이루어지며, 내부에는 상기 버튼 구멍에 삽입되는 로드가 돌출되고 외측에는 돌출된 밀착 돌기가 형성된 적어도 하나 이상의 버튼과; 전면에는 투명창과 상기 버튼이 끼워져 돌출되는 버튼 노출 구멍이 형성되고 양측면에는 제2결합홈이 형성되어 타측의 개구측에 상기 기판 홀더, 입출력 기판, 확산 패널, 버튼을 수용하여 상기 바디의 제2플랜지에 제2돌기에 상기 제2결합홈이 결합되는 홀더 커버를 포함함을 특징으로 하는 디지털 압력 게이지.
제5항에 있어서, 상기 택트 스위치는 제1전극 사이에 제2전극이 이격 설치되고, 상기 제1전극들의 상부에 탄성 접점이 연결되며, 상기 탄성 접점의 둘레 상부에는 실이 부착되고 외면 상부에는 걸쇠가 돌출된 케이스와; 상기 탄성 접점과 실의 상부에는 방수시트와 누름편이 적층되고, 상기 케이스의 상부에는 상기 누름편이 외부로 돌출되어 상기 걸쇠에 고정되는 커버가 결합됨을 특징으로 하는 디지털 압력 게이지.
제5항에 있어서, 상기 커넥터 결합부에는 상기 회로 기판에 전원을 공급하고 그로부터 출력되는 압력 측정값을 외부의 연결기기에 전송하는 케이블 커넥터가 결합되고, 상기 케이블 커넥터의 외주면에는 커넥터 고정부에 환상돌기가 끼워져 나사에 의해 고정되는 오목한 고정홈이 형성됨을 특징으로 하는 디지털 압력 게이지.
제5항 내지 제7항 중 어느 하나에 있어서, 상기 바디의 일측면에는 벤트구멍이 형성되고 상기 벤트구멍에는 액체는 차단하고 기체를 통할 수 있도록 구멍이 뚫어진 미세 가공 테프론 필터가 부착됨을 특징으로 하는 디지털 압력 게이지.