KR102279546B1 - 디스플레이 기판 운반용 로봇팔 - Google Patents

Abstract

본 발명은 디스플레이 기판을 안정적으로 탑재 및 운반할 수 있는 기판 운반용 로봇팔에 관한 것으로, 본 발명의 로봇팔은 베이스; 기판을 지지 및 이송하기 위해 상기 베이스 상에 일정 간격을 두고 나란히 배열되며 선형적으로 접이가 가능한 복수의 이송부; 상기 이송부를 구동하기 위한 구동부를 포함하되,
상기 이송부 각각은, 상기 베이스 상에 고정된 고정프레임과, 상기 구동부에서 제공된 동력에 의해 상기 고정프레임 상에서 상기 고정프레임을 따라 이동하는 제 1 이송프레임과, 상기 제 1 이송프레임의 우측면의 전단 및 후단에 형성된 한 쌍의 제 1 풀리와, 상기 제 1 풀리에 체결되며, 상기 제 1 이송프레임의 이동에 따라 움직이는 제 1 벨트와, 상기 제 1 벨트에서 제공된 동력에 의해 상기 제 1 이송프레임 상에서 상기 제 1 이송프레임을 따라 이동하는 제 2 이송프레임을 포함한다.

Description

디스플레이 기판 운반용 로봇팔 {ROBOT ARMS FOR TRANSPORTING DISPLAY PANELS}

본 발명은 디스플레이 기판을 운반하는 로봇팔에 관한 것으로, 상세하게는 디스플레이 기판을 가공 및 제조하는 과정에서 안정적으로 탑재 및 운반할 수 있는 디스플레이 기판 운반용 로봇팔에 관한 것이다.

최근 들어 고화질의 디스플레이 제품이 늘어가고 휴대 가능한 단말기의 소비가 증가하면서 기존의 표시장치인 브라운관(Cathode Ray Tube: CRT) 대신에 경량의 박막형 평판표시장치와 관련한 연구 및 상업화가 활성화되고 있다.

TV, 컴퓨터 모니터, 모바일 단말기 등에 디스플레이 수단으로써 패널이 포함되는데, 패널은 주로 유리기판으로 제조된다. 유리기판의 패널은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등에 적용되고 있다.

LCD는 2개의 얇은 유리판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입해 상하 유리판위 전극의 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시키고 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자다. 구동방법에 따라 수동 매트릭스 방식과 능동 매트릭스 방식으로 분류하는데, 수동 매트릭스 방식에는 TN(Twisted Nematic)과 STN(Super-Twisted Nematic)이 있으며 능동 매트릭스 방식에는 TFT(Thin Film Transistor) 등이 있다.

PDP는 전면유리와 배면유리 및 그 사이의 칸막이에 의해 밀폐된 유리사이에 Ne+Ar, Ne+Xe 등의 가스를 넣어 양극과 음극의 전극에 의해 전압을 인가하여 네온광을 발광시켜 표시광으로 이용하는 전자표시장치를 일컫는다. PDP는 대형 패널로 표시품위가 높을 뿐만 아니라 응답속도가 빠르면서 신뢰성이 높고 수명이 길기 때문에 과거 디스플레이로 수요가 급증했으나 현재는 그 수요가 줄어들고 있다.

OLED는 유기 발광 다이오드 또는 유기 이엘(EL)이라고도 한다. 형광성 유기화합물을 기반으로 한 발광 소자의 일종으로 액정과 달리 백라이트 없이 자체적으로 빛을 발산할 수 있기 때문에 패널의 두께를 얇게 만들 수 있다. 또한, 낮은 전압에서 구동이 가능하고 넓은 시야각과 빠른 응답속도를 갖고 있어 일반 LCD와 달리 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않으며 화면에 잔상이 남지 않는다. 소형 화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 갖는다. 차세대 디스플레이로서 각광을 받고 있다.

이러한 디스플레이 장치들에 사용되는 유리기판의 가공에는 증착(Deposition) 및 사진식각(Photolithography), 식각(Etching) 등의 공정이 수반된다. 각 공정을 수행하기 위해 원형의 중앙 챔버(Chamber)와 그 주변의 프로세스 챔버들이 사용되는데, 로봇(Robot)은 중앙 챔버 내부에서 움직이고 로봇암이 유리기판을 프로세스 챔버 내부로 삽입하거나 배출한다. 공정이 끝난 프로세스 챔버에서 다른 프로세스 챔버로 유리기판을 옮기기 위해서 종래의 로봇/로봇암은 중앙 챔버 내에서 회전하는데, 이때 유리기판이 흔들리거나 낙하하는 등 유리기판의 파손 가능성이 높다. 또한, 종래의 로봇/로봇암은 유리기판을 탑재한 상태에서 회전하기에 충분한 공간을 필요로하므로, 중앙 챔버의 크기는 클 수 밖에 없다.

본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 창안된 것으로서, 디스플레이 기판을 안정적으로 탑재 및 운반할 수 있는 디스플레이 기판 운반용 로봇팔을 제공하는 데 그 목적이 있다.

또한, 챔버의 공간을 최소화할 수 있는 구조의 디스플레이 기판 운반용 로봇팔을 제공하는 데 그 목적이 있다.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스플레이 기판 운반용 로봇팔은, 베이스; 기판을 지지 및 이송하기 위해 상기 베이스 상에 일정 간격을 두고 나란히 배열되며 선형적으로 접이가 가능한 복수의 이송부; 상기 이송부를 구동하기 위한 구동부를 포함하되,

상기 이송부 각각은, 상기 베이스 상에 고정된 고정프레임과, 상기 구동부에서 제공된 동력에 의해 상기 고정프레임 상에서 상기 고정프레임을 따라 이동하는 제 1 이송프레임과, 상기 제 1 이송프레임의 우측면의 전단 및 후단에 형성된 한 쌍의 제 1 풀리와, 상기 제 1 풀리에 체결되며, 상기 제 1 이송프레임의 이동에 따라 움직이는 제 1 벨트와, 상기 제 1 벨트에서 제공된 동력에 의해 상기 제 1 이송프레임 상에서 상기 제 1 이송프레임을 따라 이동하는 제 2 이송프레임을 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 로봇팔은 상기 고정프레임의 우측면에 결합된 제 1 브라켓과, 상기 제 1 이송프레임의 좌측면에 결합된 제 2 브라켓과, 상기 제 2 이송프레임의 우측면에 결합되고 상기 제 1 벨트의 상부에 고정되어 상기 제 1 벨트에서 제공된 동력에 의해 상기 제 2 이송프레임을 이동시키는 제 3 브라켓, 상기 제 2 이송프레임의 좌측면의 전단 및 후단에 형성된 한 쌍의 제 2 풀리와, 상기 제 2 풀리에 체결되며, 상기 제 2 이송프레임의 이동에 따라 움직이는 제 2 벨트와, 상기 제 2 이송프레임 상에서 상기 제 2 이송프레임을 따라 이동하며, 상기 기판을 지지하도록 구성된 지지프레임과, 상기 지지프레임의 좌측면에 결합되고 상기 제 2 벨트의 상부에 고정되어 상기 제 2 벨트에서 제공된 동력에 의해 상기 지지프레임을 이동시키는 제 4 브라켓을 더 포함한다.

상기 제 1 벨트의 하부 일부는 상기 제 1 브라켓에 고정되고, 상기 제 1 벨트의 상부 일부는 상기 제 3 브라켓에 고정된다.

상기 제 2 벨트의 하부 일부는 상기 제 2 브라켓에 고정되고, 상기 제 2 벨트의 상부 일부는 상기 제 4 브라켓에 고정된다.

상기 고정프레임 및 상기 제 1, 2 이송프레임 각각은, 그 상부에서 길이방향을 따라 형성된 상부홈과, 상기 상부홈 내에 형성된 하나 이상의 가이드레일을 포함한다.

상기 제 1, 2 이송프레임 및 상기 지지프레임 각각은, 그 아래에 위치한 해당 상부홈 내에 삽입되고 그 아래에 위치한 해당 가이드레일에 체결되며 해당 가이드레일을 따라 이동하도록 구성된 체결부재를 포함한다.

또한, 상기 제 1, 2 이송프레임 및 상기 지지프레임 각각은, 그 하부에 길이방향을 따라 형성된 하부홈과, 상기 체결부재를 고정 및 지지하도록 상기 하부홈 내에 형성된 고정부재를 더 포함한다.

상기 구동부는 상기 베이스 상에 결합된 볼스크류와, 상기 제 1 이송프레임의 좌우측면 중 적어도 하나에 결합되며 상기 볼스크류의 회전에 따라 상기 제 1 이송프레임을 이동시키는 수평바를 포함한다.

본 발명에 따른 디스플레이 기판 운반용 로봇팔은 회전 동작 없이도 유리기판의 운반이 가능하도록 구성됨으로써 디스플레이 기판을 안정적으로 탑재 및 운반할 수 있고 챔버의 크기를 최소화할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 운반용 로봇팔의 정면을 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 기판 운반용 로봇팔의 측면을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1의 이송부(50)를 상세히 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5는 이송부(50)의 우측면을 나타낸 도면이다.
도 6 및 도 7은 이송부(50)의 좌측면을 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9는 도 1의 기판 운반용 로봇팔이 확장된 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은 도 1의 기판 운반용 로봇팔의 상부 중앙을 상세히 나타낸 도면이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

본 발명에 따른 디스플레이 기판 운반용 로봇팔은 디스플레이 패널용 유리기판을 가공 및 제조하기 위한 것이나, 여기에 한정되지 않고 다른 용도의 기판을 가공 및 제조하는 데에 적용될 수 있다. 본 발명에 따른 로봇팔은 로봇 본체(10)와 결합되며 유리기판을 탑재한 상태로 이동하거나 유리기판을 프로세스 챔버 내부에 삽입 및 배출하도록 구성된다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 기판 운반용 로봇팔은 베이스(30), 복수의 이송부(50), 구동부(70)를 포함한다.

베이스(30)는 로봇 본체(10)의 상부에 결합되며, 이송부(50) 및 구동부(70)를 지지 및 고정한다. 여기서, 로봇 본체(10)는 로봇팔을 지지 및 구동하기 위해 필요한 구성요소들, 예를 들어 모터, 동력전달계, 리프트, 휠 등을 포함하도록 구성될 수 있다.

복수의 이송부(50)는 기판(200)을 지지 및 이송하기 위해 베이스(30) 상에 일정 간격을 두고 나란히 배열되며 선형적으로 접이가 가능하다. 이를 위해, 이송부(50) 각각은 고정프레임(510), 제 1, 2 이송프레임(530, 550), 지지프레임(570), 한 쌍의 제 1 풀리(532), 한 쌍의 제 2 풀리(552), 제 1, 2 벨트(533, 553)를 포함한다.

고정프레임(510)들은 베이스(30) 상에 일정 간격을 두고 평행하게 배열되며, 움직이지 않도록 베이스(30) 상에서 고정된다. 도 5에 도시된 바와 같이 고정프레임(510)의 우측면에 제 1 브라켓(511)이 결합되는데, 제 1 브라켓(511)은 제 1 벨트(533)의 하부 일부에 결합 및 고정되어 제 1 벨트(533) 하부의 움직임을 제한한다. 여기서, 고정프레임(510)의 우측면은 반드시 오른쪽 측면을 의미하는 것이 아니라 좌측면과 반대되는 측면을 의미하는 것으로, '우측면'과 '좌측면'의 용어는 설명의 용이함을 위한 표현이며 그 위치가 반대로 구성될 수 있다. 또한, 도 4에서와 같이 제 1 벨트(533)의 하부는 제 1 풀리(532)에 의해 구분되어진 제 1 벨트(533)의 윗 부분과 아랫 부분 중에서 아랫 부분을 의미한다.

또한, 고정프레임(510)은 그 상부에서 길이방향을 따라 형성된 제 1 상부홈(515)과, 제 1 상부홈(515) 내에 형성된 하나 이상의 제 1 가이드레일(516)을 포함한다. 제 1 가이드레일(516)의 길이는 고정프레임(510)의 길이와 동일하거나 비슷하게 구성되는 것이 바람직하다. 제 1 이송프레임(530)의 제 1 체결부재(537) 일부는 그 아래에 위치한 제 1 상부홈(515) 내에 삽입되고 제 1 가이드레일(516)에 체결되어 제 1 가이드레일(516)을 따라 이동하게 된다. 제 1 체결부재(537)의 길이는 제 1 이송프레임(530)의 이동거리를 제한하므로 제 1 이송프레임(530)이 흔들리지 않는 범위내에서 짧게 형성되는 것이 바람직하다.

제 1 이송프레임(530)은 구동부(70)에서 제공된 동력에 의해 고정프레임(510) 상에서 고정프레임(510)을 따라 이동하도록 구성된다. 즉, 제 1 이송프레임(530)은 구동부(70)의 동력에 의해 고정프레임(510) 상에서 앞뒤로 움직인다. 그리고, 도 6 및 도 7에서와 같이 제 1 이송프레임(530)의 좌측면에 제 2 브라켓(531)이 결합되는데, 제 2 브라켓(531)은 제 2 벨트(553)의 하부 일부에 결합 및 고정되어 제 2 벨트(553) 하부의 움직임을 제한한다.

또한, 제 1 이송프레임(530)은 그 상부에서 길이방향을 따라 형성된 제 2 상부홈(535)과, 제 2 상부홈(535) 내에 형성된 하나 이상의 제 2 가이드레일(536)을 포함한다. 제 2 가이드레일(536)의 길이는 제 1 이송프레임(530)의 길이와 동일하거나 비슷하게 구성되는 것이 바람직하다. 제 2 이송프레임(550)의 제 2 체결부재(557) 일부는 그 아래에 위치한 제 2 상부홈(535) 내에 삽입되고 제 2 가이드레일(536)에 체결되어 제 2 가이드레일(536)을 따라 이동한다.

제 1 이송프레임(530)은 그 하부에 길이방향을 따라 형성된 제 1 하부홈(538)과, 제 1 체결부재(537)를 고정 및 지지하도록 제 1 하부홈(538) 내에 형성된 제 1 고정부재(539)를 더 포함한다. 또한, 제 1 고정부재(539)로부터 윤활유 등과 같은 이물질의 유출을 방지하기 위해 제 1 고정부재(539) 상부에 제 1 보호판(540)이 더 형성될 수 있다.

제 1 풀리(532)는 제 1 이송프레임(530)의 우측면의 전단 및 후단에 형성된다. 제 1 벨트(533)는 일정한 장력이 유지되도록 한 쌍의 제 1 풀리(532)의 둘레에 체결되며, 제 1 이송프레임(530)의 이동에 따라 움직인다. 제 1 이송프레임(530)이 이동하는 동안, 제 1 벨트(533)의 하부 일부는 제 1 브라켓(511)에 의해 고정되어 있으므로 제 1 벨트(533)의 상부가 제 1 이송프레임(530)의 이동 방향을 따라 움직이며, 제 1 벨트(533)의 움직임에 의해 제 1 풀리(532)는 회전하게 된다.

제 2 이송프레임(550)은 제 1 벨트(533)에서 제공된 동력에 의해 제 1 이송프레임(530) 상에서 제 1 이송프레임(530)을 따라 이동하도록 구성된다. 이를 위해, 제 3 브라켓(551)이 제 2 이송프레임(550)의 우측면에 결합되는데, 제 3 브라켓(551)은 제 1 벨트(533)의 상부에 결합 및 고정되어 제 1 벨트(533)의 움직임에 의해 제 2 이송프레임(550)을 이동시킨다. 즉, 제 1 벨트(533)의 하부 일부는 제 1 브라켓(511)에 고정되고 제 1 벨트(533)의 상부 일부는 제 3 브라켓(551)에 고정되어 있기 때문에, 제 1 벨트(533)가 움직이는 방향으로 제 2 이송프레임(550)이 이동한다. 이때, 제 2 이송프레임(550)은 제 1 이송프레임(530)과 연동되어 제 1 이송프레임(530)이 이동하는 동안에 동일한 방향으로 이동하므로, 제 2 이송프레임(550)의 이동속도는 제 1 이송프레임(530)의 2배가 된다.

또한, 제 2 이송프레임(550)은 그 상부에서 길이방향을 따라 형성된 제 3 상부홈(555)과, 제 3 상부홈(555) 내에 형성된 하나 이상의 제 3 가이드레일(556)을 포함한다. 제 3 가이드레일(556)의 길이는 제 2 이송프레임(550)의 길이와 동일하거나 비슷하게 구성되는 것이 바람직하다. 지지프레임(570)의 제 3 체결부재(577) 일부는 그 아래에 위치한 제 3 상부홈(555) 내에 삽입되고 제 3 가이드레일(556)에 체결되어 제 3 가이드레일(556)을 따라 이동한다.

제 2 이송프레임(550)은 그 하부에 길이방향을 따라 형성된 제 2 하부홈(558)과, 제 2 체결부재(557)를 고정 및 지지하도록 제 2 하부홈(558) 내에 형성된 제 2 고정부재(559)를 더 포함한다. 또한, 제 2 고정부재(559)로부터 윤활유 등과 같은 이물질의 유출을 방지하기 위해 제 2 고정부재(559) 상부에 제 2 보호판(560)이 더 형성될 수 있다.

도 6에 도시된 바와 같이, 제 2 풀리(552)는 제 2 이송프레임(550)의 좌측면의 전단 및 후단에 형성된다. 제 2 벨트(553)는 일정한 장력이 유지되도록 한 쌍의 제 2 풀리(552)에 체결되며, 제 2 이송프레임(550)의 이동에 따라 움직인다. 제 2 이송프레임(550)이 이동하는 동안, 제 2 벨트(553)의 하부 일부는 제 2 브라켓(531)에 의해 고정되어 있으므로 제 2 벨트(553)의 상부가 제 2 이송프레임(550)의 이동 방향을 따라 움직이며, 제 2 벨트(553)의 움직임에 의해 제 2 풀리(552)는 회전하게 된다.

지지프레임(570)은 기판(200)을 지지 및 이송하기 위한 것으로, 제 2 벨트(553)에서 제공된 동력에 의해 제 2 이송프레임(550) 상에서 제 2 이송프레임을 따라 이동하도록 구성된다. 이를 위해, 제 4 브라켓(571)이 지지프레임(570)의 좌측면에 결합되는데, 제 4 브라켓(571)은 제 2 벨트(553)의 상부에 결합 및 고정되어 제 2 벨트(553)의 움직임에 의해 지지프레임(570)을 이동시킨다. 즉, 제 2 벨트(553)의 하부 일부는 제 2 브라켓(531)에 고정되고 제 2 벨트(553)의 상부 일부는 제 4 브라켓(571)에 고정되어 있기 때문에, 제 2 벨트(553)가 움직이는 방향으로 지지프레임(570)이 이동한다. 이때, 지지프레임(570)은 제 2 이송프레임(550)과 연동되어 제 2 이송프레임(550)이 이동하는 동안에 동일한 방향으로 이동하므로, 지지프레임(570)의 이동속도는 제 2 이송프레임(550)의 2배가 된다.

또한, 지지프레임(570)은 그 하부에 길이방향을 따라 형성된 제 3 하부홈(578)과, 제 3 체결부재(577)를 고정 및 지지하도록 제 3 하부홈(578) 내에 형성된 제 3 고정부재(579)를 더 포함한다. 또한, 제 3 고정부재(579)로부터 윤활유 등과 같은 이물질의 유출을 방지하기 위해 제 3 고정부재(579) 상부에 제 3 보호판(580)이 더 형성될 수 있다.

이송부(50)의 부피를 줄이고 강성을 높이기 위해 고정프레임(510), 제 1, 2 이송프레임(530, 550), 지지프레임(570)은 H빔과 유사한 형태로 구성된다. 또한, 도 3에서와 같이 제 1, 2 이송프레임(530, 550), 지지프레임(570)의 폭은 서로 상이하며, 제 1, 2, 3 레일(516, 536, 556)의 폭도 서로 상이하다.

본 발명의 실시예는 2개의 이송프레임(530, 550)을 포함하고 있으나, 1개의 이송프레임 또는 2개 이상의 이송프레임을 포함하도록 구성될 수 있다.

도 8에 도시된 바와 같이 이송부(50)는 기판(200)을 탑재한 상태에서 길게 확장되므로 로봇 자체의 이동거리를 최소화할 수 있다. 특히, 이송부(50)는 한 방향으로만 확장되는 것이 아니라 전후방 중 원하는 방향으로 확장이 가능하므로 로봇팔의 회전 동작 없이도 챔버 내에서 기판(200)의 이송이 가능하다. 따라서, 기판(200)을 안정적으로 탑재 및 운반할 수 있으며, 챔버의 공간을 최소화할 수 있다.

도 9에 도시된 바와 같이, 이송부(50)가 최대로 확장되었을 때 고정프레임(510)의 전단과 지지프레임(570)의 후단은 설정된 간격(예를 들어 1m)으로 서로 이격되어야 한다. 이는 고정프레임(510)의 전단과 지지프레임(570)의 후단 사이에 프로세스 챔버의 게이트가 닫히는 공간을 확보하기 위함이다.

도 10에 도시된 바와 같이, 구동부(70)는 이송부(50)와 평행하도록 베이스(30) 상에 결합된 볼스크류(71)와, 제 1 이송프레임(530)의 좌우측면 중 적어도 하나에 결합되며 볼스크류(71)의 회전에 따라 제 1 이송프레임(530)을 이동시키는 수평바(73)를 포함한다. 본 발명의 구동부(70)는 베이스(30) 상에 결합되어 있으나, 베이스(30) 또는 로봇 본체(10) 내부에 위치하도록 구성될 수 있다

이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.

10: 로봇 본체 30: 베이스
50: 이송부 70: 구동부
71: 볼스크류 73: 수평바
510: 고정프레임 511, 531, 551, 571: 제 1,2,3,4 브라켓
515, 535, 555: 제 1,2,3 상부홈 516, 536, 556: 제 1,2,3 레일
530: 제 1 이송프레임 532: 제 1 풀리
533, 553: 제 1,2 벨트 537, 557, 577: 제 1,2,3 체결부재
538, 558, 578: 제 1,2,3 하부홈 539, 559, 579: 제 1,2,3 고정부재
540, 560, 580: 제 1,2,3 보호판 550: 제 2 이송프레임
570: 지지프레임

Claims (10)

1. 베이스;
   기판을 지지 및 이송하기 위해 상기 베이스 상에서 좌우측으로 일정 간격을 두고 나란히 배열되며, 각각 적층된 구조를 갖고 선형적으로 접이가 가능한 복수의 이송부;
   상기 이송부를 구동하기 위한 구동부를 포함하되,
   상기 이송부 각각은,
   상기 베이스 상에 고정된 고정프레임과,
   상기 구동부에서 제공된 동력에 의해 상기 고정프레임 상에서 상기 고정프레임을 따라 이동하는 제 1 이송프레임과,
   상기 제 1 이송프레임의 우측면의 전단 및 후단에 형성된 한 쌍의 제 1 풀리와,
   상기 제 1 풀리에 체결되며, 상기 제 1 이송프레임의 이동에 따라 움직이는 제 1 벨트와,
   상기 제 1 벨트에서 제공된 동력에 의해 상기 제 1 이송프레임 상에서 상기 제 1 이송프레임을 따라 이동하는 제 2 이송프레임과,
   상기 제 2 이송프레임의 좌측면의 전단 및 후단에 형성된 한 쌍의 제 2 풀리와,
   상기 제 2 풀리에 체결되며, 상기 제 2 이송프레임의 이동에 따라 움직이는 제 2 벨트와,
   상기 제 2 이송프레임 상에서 상기 제 2 이송프레임을 따라 이동하며, 상기 기판을 지지하도록 구성된 지지프레임을 포함하되,
   상기 고정프레임 및 상기 제 1, 2 이송프레임 각각은 그 상부에서 길이방향을 따라 형성된 상부홈과, 상기 상부홈 내에 형성된 하나 이상의 가이드레일을 포함하고,
   상기 제 1, 2 이송프레임 및 상기 지지프레임 각각은 그 아래에 위치한 해당 상부홈 내에 삽입되고 그 아래에 위치한 해당 가이드레일에 체결되며 해당 가이드레일을 따라 이동하도록 구성된 체결부재를 포함하고,
   상기 제 1, 2 이송프레임 및 상기 지지프레임 각각은 그 하부에 길이방향을 따라 형성된 하부홈과, 상기 체결부재를 고정 및 지지하도록 상기 하부홈 내에 형성된 고정부재를 더 포함하는 기판 운반용 로봇팔.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 고정프레임의 우측면에 결합된 제 1 브라켓과,
   상기 제 1 이송프레임의 좌측면에 결합된 제 2 브라켓과,
   상기 제 2 이송프레임의 우측면에 결합되고 상기 제 1 벨트의 상부에 고정되어 상기 제 1 벨트에서 제공된 동력에 의해 상기 제 2 이송프레임을 이동시키는 제 3 브라켓을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 로봇팔.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 제 1 벨트의 하부 일부는 상기 제 1 브라켓에 고정되고, 상기 제 1 벨트의 상부 일부는 상기 제 3 브라켓에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 로봇팔.
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 지지프레임의 좌측면에 결합되고 상기 제 2 벨트의 상부에 고정되어 상기 제 2 벨트에서 제공된 동력에 의해 상기 지지프레임을 이동시키는 제 4 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 로봇팔.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 제 2 벨트의 하부 일부는 상기 제 2 브라켓에 고정되고, 상기 제 2 벨트의 상부 일부는 상기 제 4 브라켓에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 로봇팔.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 1, 2 이송프레임은 동일한 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 로봇팔.
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 베이스 상에 결합된 볼스크류와,
    상기 제 1 이송프레임의 좌우측면 중 적어도 하나에 결합되며, 상기 볼스크류의 회전에 따라 상기 제 1 이송프레임을 이동시키는 수평바를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 로봇팔.
    

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