KR102269139B1 - Display apparatus and organic luminescense display apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 본딩 불량을 개선하기 위한 패드 구조로, 기판; 기판 상에 형성된 제1배선; 상기 제1배선과 전기적으로 연결되며 제1배선과 동일한 층에 형성된 제1패드; 상기 제1배선과 절연층을 사이에 두고 다른 층에 형성된 제2배선; 상기 제1패드와 동일한 층에 형성된 제2패드; 및 상기 제2배선과 상기 제2패드를 전기적으로 연결하는 연결부; 를 포함하는 표시 장치를 제공한다. The present invention provides a pad structure for improving bonding defects, comprising: a substrate; a first wiring formed on the substrate; a first pad electrically connected to the first wiring and formed on the same layer as the first wiring; a second wiring formed on another layer with the first wiring and an insulating layer interposed therebetween; a second pad formed on the same layer as the first pad; and a connection part electrically connecting the second wire and the second pad. It provides a display device comprising a.

Description

표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 {DISPLAY APPARATUS AND ORGANIC LUMINESCENSE DISPLAY APPARATUS}Display device and organic light emitting display device {DISPLAY APPARATUS AND ORGANIC LUMINESCENSE DISPLAY APPARATUS}

본 발명은 화상이 표시되는 표시 영역 주변의 비표시 영역에 배치된 패드들을 포함하는 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a display device and an organic light emitting display device including pads disposed in a non-display area around a display area in which an image is displayed.

근래에 표시 장치는 휴대가 가능한 박형의 평판 표시 장치로 대체되는 추세이다. 평판 표시 장치에는 수광형 표시 장치로 액정 표시 장치 등이 있으며, 발광형 표시 장치로 유기 발광 표시 장치, 플라즈마 표시 장치 등이 있다. 2. Description of the Related Art In recent years, a display device is being replaced with a portable thin flat panel display device. A flat panel display includes a liquid crystal display as a light-receiving display, and an organic light emitting display and a plasma display as a light-emitting display.

이러한 평판 표시 장치는 기판 상에 화상이 표시되는 표시 영역 및 표시 영역 주변의 비표시 영역으로 구획된다. 비표시 영역에는 드라이버 IC와 접속하는 패드들 및 표시 영역과 패드들을 연결하는 배선들이 구비된다. Such a flat panel display is divided into a display area in which an image is displayed on a substrate and a non-display area around the display area. In the non-display area, pads connecting to the driver IC and wirings connecting the display area and the pads are provided.

드라이버 IC는 도전성 물질이 함유된 접착제를 이용하여 패드들에 본딩시킨다. 그런데 패드들 하부에 형성된 절연막의 두께가 다른 경우, 패드들간에 높이 차이가 발생하여 드라이버 IC와 패드들 사이에 본딩 불량이 발생하는 문제가 있다.The driver IC is bonded to the pads using an adhesive containing a conductive material. However, when the thickness of the insulating film formed under the pads is different, there is a problem in that a difference in height occurs between the pads, resulting in a bonding defect between the driver IC and the pads.

본 발명은 상술한 본딩 불량을 개선하기 위한 패드들의 구조를 개시하는 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a display device and an organic light emitting display device, which disclose a structure of pads for improving the above-described bonding defect.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판; 기판 상에 형성된 제1배선; 상기 제1배선과 전기적으로 연결되며 제1배선과 동일한 층에 형성된 제1패드; 상기 제1배선과 절연층을 사이에 두고 다른 층에 형성된 제2배선; 상기 제1패드와 동일한 층에 형성된 제2패드; 및 상기 제2배선과 상기 제2패드를 전기적으로 연결하는 연결부; 를 포함하는 표시 장치를 개시한다. According to an embodiment of the present invention for solving the above problems, the substrate; a first wiring formed on the substrate; a first pad electrically connected to the first wiring and formed on the same layer as the first wiring; a second wiring formed on another layer with the first wiring and an insulating layer interposed therebetween; a second pad formed on the same layer as the first pad; and a connection part electrically connecting the second wire and the second pad. Disclosed is a display device comprising a.

복수개의 상기 제1배선들과 복수개의 상기 제2배선들은 서로 교번하여 배치된다. A plurality of the first wirings and a plurality of the second wirings are alternately disposed.

*복수개의 상기 제1패드들과 복수개의 상기 제2패드들은 서로 교번하여 엇갈리게 배치된다. * A plurality of the first pads and a plurality of the second pads are alternately disposed.

상기 제1배선과 상기 제1패드는 일체로 형성된다.The first wiring and the first pad are integrally formed.

상기 제1패드의 일부를 노출하는 제1개구를 포함하는 제1및 제2 절연층; 및 상기 제1개구를 통해 노출된 상기 제1패드를 덮는 제1보호층; 을 더 포함한다. first and second insulating layers including first openings exposing a portion of the first pad; and a first protective layer covering the first pad exposed through the first opening. further includes

상기 제2패드의 일부를 노출하는 제2개구를 포함하는 제1및 제2 절연층; 및 상기 제2개구를 통해 노출된 상기 제2패드를 덮는 제2보호층; 을 더 포함한다. first and second insulating layers including a second opening exposing a portion of the second pad; and a second protective layer covering the second pad exposed through the second opening. further includes

상기 제2절연층은 상기 제2배선을 덮으며 상기 제2배선과 상기 연결부를 연결하기 위한 컨택홀을 포함하며, 상기 연결부는 상기 제2보호층과 일체로 형성된다.The second insulating layer covers the second wiring and includes a contact hole for connecting the second wiring and the connection part, and the connection part is integrally formed with the second protective layer.

상기 제1패드의 일부를 노출하는 제1개구를 포함하는 제1절연층; 및 상기 제1개구를 통해 노출된 상기 제1패드를 덮는 제1보호층; 을 더 포함한다.a first insulating layer including a first opening exposing a portion of the first pad; and a first protective layer covering the first pad exposed through the first opening. further includes

상기 제2패드의 일부를 노출하는 제2개구를 포함하는 제1절연층; 및 상기 제2개구를 통해 노출된 상기 제2패드를 덮는 제2보호층; 을 더 포함한다.a first insulating layer including a second opening exposing a portion of the second pad; and a second protective layer covering the second pad exposed through the second opening. further includes

상기 제2배선 상에 제2절연층 및 상기 제1절연층이 형성되고, 상기 제1 및 제2절연층은 상기 제2배선과 상기 연결부를 연결하기 위한 컨택홀을 포함하며, 상기 연결부는 상기 제2보호층과 일체로 형성된다.A second insulating layer and the first insulating layer are formed on the second wiring, and the first and second insulating layers include a contact hole for connecting the second wiring and the connection part, and the connection part is the It is formed integrally with the second protective layer.

상기 제1배선 및 상기 제2배선의 일단을 화상을 표시하는 표시 영역에 연결된다.One end of the first wiring and the second wiring is connected to a display area displaying an image.

상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 화상이 표시되는 표시 영역과 상기 표시 영역 주변의 비표시 영역으로 구획된 기판; 상기 표시 영역에 형성되며 제1방향으로 연장되는 복수의 제1게이트선; 상기 표시 영역에 형성되며, 상기 제1게이트선과 제1절연층에 의해 절연되며 제2방향으로 연장되는 복수의 제2게이트선; 상기 표시 영역에 형성되며, 상기 제2게이트선과 제2절연층에 의해 절연되며 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장되는 복수의 데이터선; 상기 제1게이트선 또는 상기 제2게이트선과 상기 데이터선에 전기적으로 연결되는 구동 회로부를 포함하는 화소; 상기 화소에 포함되며 상기 구동 회로부에 전기적으로 연결되어 발광하는 유기 발광 소자; 상기 비표시 영역에 배치된 패드들; 및 상기 패드들과 상기 표시 영역을 연결하는 배선들; 을 포함하며, 상기 배선들은 제1배선들, 상기 제1배선들과 절연층을 사이에 두고 다른 층에 형성된 제2배선들을 포함하고, 상기 패드들은 상기 제1배선과 전기적으로 연결되며 제1배선과 동일한 층에 형성된 제1패드들, 상기 제1패드와 동일한 층에 형성된 제2패드들을 포함하며, 여기서, 상기 제2배선과 상기 제2패드를 전기적으로 연결하는 연결부; 를 더 포함하는 유기 발광 표시 장치를 개시한다. According to an embodiment of the present invention for solving the above problems, there is provided a substrate comprising: a substrate partitioned into a display area on which an image is displayed and a non-display area around the display area; a plurality of first gate lines formed in the display area and extending in a first direction; a plurality of second gate lines formed in the display area, insulated by the first gate line and a first insulating layer, and extending in a second direction; a plurality of data lines formed in the display area, insulated by the second gate line and a second insulating layer, and extending in a second direction crossing the first direction; a pixel including a driving circuit part electrically connected to the first gate line or the second gate line and the data line; an organic light emitting device included in the pixel and electrically connected to the driving circuit unit to emit light; pads disposed in the non-display area; and wires connecting the pads and the display area. wherein the wirings include first wirings and second wirings formed on a different layer with an insulating layer interposed therebetween, wherein the pads are electrically connected to the first wiring and the first wirings a connection part comprising first pads formed on the same layer as , and second pads formed on the same layer as the first pad, wherein the second wiring and the second pad are electrically connected to each other; Disclosed is an organic light emitting display device further comprising a.

복수개의 상기 제1배선들과 복수개의 상기 제2배선들은 서로 교번하여 배치된다.A plurality of the first wirings and a plurality of the second wirings are alternately disposed.

복수개의 상기 제1패드들과 복수개의 상기 제2패드들은 서로 교번하여 엇갈리게 배치된다. A plurality of the first pads and a plurality of the second pads are alternately disposed.

상기 제1배선과 상기 제1패드는 일체로 형성된다.The first wiring and the first pad are integrally formed.

상기 제1패드은 상기 제1게이트선과 동일층에 형성되며, 상기 제1 및 제2절연층은 상기 제1패드의 일부를 노출하는 제1개구를 포함하며, 상기 제1개구를 통해 노출된 상기 제1패드를 덮는 제1보호층; 을 더 포함한다. The first pad is formed on the same layer as the first gate line, and the first and second insulating layers include a first opening exposing a portion of the first pad, and the first opening exposed through the first opening. a first protective layer covering the first pad; further includes

상기 제2패드는 상기 제1게이트선과 동일층에 형성되며, 상기 제1 및 제2절연층은 상기 제2패드의 일부를 노출하는 제2개구를 포함하며, 상기 제2개구를 통해 노출된 상기 제2패드를 덮는 제2보호층; 을 더 포함한다. The second pad is formed on the same layer as the first gate line, and the first and second insulating layers include a second opening exposing a portion of the second pad, and the second opening is exposed through the second opening. a second protective layer covering the second pad; further includes

상기 제2배선은 상기 제2게이트선과 동일층에 형성되며, 상기 제2절연층은 상기 제2배선을 덮으며 상기 제2배선과 상기 연결부를 연결하기 위한 컨택홀을 포함하며, 상기 연결부는 상기 제2보호층과 일체로 형성된다.The second wiring is formed on the same layer as the second gate line, and the second insulating layer covers the second wiring and includes a contact hole for connecting the second wiring and the connection part, and the connection part is the It is formed integrally with the second protective layer.

상기 제1패드은 상기 제2게이트선과 동일층에 형성되며, 상기 제2절연층은 상기 제1패드의 일부를 노출하는 제1개구를 포함하며, 상기 제1개구를 통해 노출된 상기 제1패드를 덮는 제1보호층; 을 더 포함한다. The first pad is formed on the same layer as the second gate line, the second insulating layer includes a first opening exposing a portion of the first pad, and the first pad exposed through the first opening a first protective layer covering; further includes

상기 제2패드은 상기 제2게이트선과 동일층에 형성되며, 상기 제2절연층은 상기 제2패드의 일부를 노출하는 제2개구를 포함하며, 상기 제2개구를 통해 노출된 상기 제2패드를 덮는 제2보호층; 을 더 포함한다. The second pad is formed on the same layer as the second gate line, the second insulating layer includes a second opening exposing a portion of the second pad, and the second pad exposed through the second opening a second protective layer covering; further includes

상기 제2배선은 상기 제1게이트선과 동일층에 형성되며, 상기 제1 및 제2절연층은 상기 제2배선과 상기 연결부를 연결하기 위한 컨택홀을 포함하며, 상기 연결부는 상기 제2보호층과 일체로 형성된다.The second wiring is formed on the same layer as the first gate line, the first and second insulating layers include a contact hole for connecting the second wiring and the connection part, and the connection part is the second protective layer formed integrally with

본 발명의 일 실시예에 따르면, 서로 다른 층에 형성된 배선들에 연결된 패드들이라도 연결부를 통해 동일한 층에 형성함으로써, 패드들과 드라이버IC 간에 본딩 불량을 개선하였다. According to an embodiment of the present invention, even the pads connected to the wires formed on different layers are formed on the same layer through the connection part, thereby improving the bonding defect between the pads and the driver IC.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 비표시 영역에 배치된 배선들은 서로 다른 층에 교번하여 배치함으로써, 배선들 간의 간격을 줄여 데드 스페이스를 최소화하고 소형 패널이나 고해상도 표시 장치에서 용이한 팬 아웃부 설계가 가능하다.Meanwhile, according to an embodiment of the present invention, wirings disposed in the non-display area are alternately disposed on different layers, thereby reducing a gap between the wires to minimize a dead space and facilitate fan-out in a small panel or high-resolution display device. Sub-design is possible.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 표시 기판(100)을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1를 Ⅱ-Ⅱ선에 따라 자른 면이다.
도 3 은 도 1의 화소 부분을 확대한 도면이다.
도 4는 도 1의 A를 확대한 도면이다.
도 5는 도 4를 Ⅴ-Ⅴ선에 따라 자른 면이다.
도 6은 도 4의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 자른 면이다.
도 7은 도 4의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 자른 면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 도 1의 A를 나타낸 도면이다.
도 9는 도 8을 ⅠⅩ-ⅠⅩ선에 따라 자른 면이다.
도 10은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ선을 따라 자른 면이다.
1 is a diagram schematically illustrating a display substrate 100 of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG. 1 taken along the line II-II.
FIG. 3 is an enlarged view of a pixel portion of FIG. 1 .
FIG. 4 is an enlarged view of A of FIG. 1 .
FIG. 5 is a plane cut along the line V-V of FIG. 4 .
FIG. 6 is a plane cut along the line VI-VI of FIG. 4 .
FIG. 7 is a plane cut along line VII-VII of FIG. 4 .
8 is a view showing A of FIG. 1 according to another embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a plane cut along the line IX-IX of FIG. 8 .
FIG. 10 is a plane cut along the line X-X of FIG. 8 .

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, various embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art can easily carry out the present invention. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar elements throughout the specification.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 청구항 제8항 내지 제10항에 작성된 제1패드, 제2패드, 제1배선 및 제2배선은 각각 도 8 내지 도 10의 제2a패드, 제1a패드, 제2팬 아웃 배선, 제1팬 아웃 배선을 지칭할 수 있다. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, the first pad, the second pad, the first wiring, and the second wiring prepared according to claims 8 to 10 are the pad 2a, the pad 1a, and the second fan-out wiring of FIGS. 8 to 10, respectively. , may refer to a first fan-out wiring.

본 명세서에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 이는 다른 부분 바로 위에 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In the present specification, when a part such as a layer, film, region, plate, etc. is on or on another part, it includes not only a case directly on the other part but also a case where another part is in the middle.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.In order to clearly express various layers and regions in the drawings, the thicknesses are enlarged. And in the drawings, the thickness of some layers and regions are exaggerated for convenience of description.

이하 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 대해 상세히 알아본다. 본 실시예에서는 표시 장치가 유기 발광 표시 장치인 것을 예로 설명하고 있으나, 이는 예시적인 것에 불과하며 본 발명의 일 실시예는 액정 표시 장치, 플라즈마 표시 장치 등과 같이 비표시 영역에 패드들을 포함하는 표시 장치에는 모두 적용할 수 있다. Hereinafter, a display device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the present embodiment, the display device is an organic light emitting display device as an example, but this is only exemplary and an embodiment of the present invention is a display device including pads in a non-display area, such as a liquid crystal display device or a plasma display device. can be applied to all

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 표시 기판(100)을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 2는 도 1을 Ⅱ-Ⅱ선에 따라 자른 면이다. 도 3 은 도 1의 화소 부분을 확대한 도면이다. 도 4는 도 1의 A를 확대한 도면이다. 도 5는 도 4를 Ⅴ-Ⅴ선에 따라 자른 면이다. 도 6은 도 4의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 자른 면이다. 도 7은 도 4의 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 자른 면이다. 1 is a diagram schematically illustrating a display substrate 100 of an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG. 1 taken along line II-II. FIG. 3 is an enlarged view of a pixel portion of FIG. 1 . FIG. 4 is an enlarged view of A of FIG. 1 . FIG. 5 is a plane cut along the line V-V of FIG. 4 . FIG. 6 is a plane cut along the line VI-VI of FIG. 4 . FIG. 7 is a plane cut along line VII-VII of FIG. 4 .

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 유기 발광 표시 장치는 표시기판(100) 및 도시되지 않은 밀봉 기판을 포함한다. 표시 기판(100)은 화상이 표시되는 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA) 주변의 비표시 영역(NDA)으로 구획된다. 도시되지 않았으나, 비표시 영역(NDA)에는 표시 영역(DA)을 외기로부터 밀봉하는 밀봉 기판을 접합하기 위해 표시 영역(DA)을 둘러싸도록 밀봉 부재가 배치된다. 그러나, 밀봉 기판이 박막 봉지 형태인 경우 밀봉 부재는 생략될 수 있다. 밀봉 부재를 사이에 두고 표시 기판(100)과 대향 하도록 밀봉 기판이 배치되나 도 1에서 밀봉기판은 도시되지 않았다. 이하에서는, 본 발명의 특징이 포함된 표시 기판(100)에 대하여 상세히 설명한다. Referring to FIG. 1 , an organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment includes a display substrate 100 and a sealing substrate (not shown). The display substrate 100 is divided into a display area DA in which an image is displayed and a non-display area NDA around the display area DA. Although not shown, a sealing member is disposed in the non-display area NDA to surround the display area DA in order to bond a sealing substrate that seals the display area DA from outside air. However, when the sealing substrate is in the form of a thin film encapsulation, the sealing member may be omitted. The sealing substrate is disposed to face the display substrate 100 with the sealing member interposed therebetween, but the sealing substrate is not shown in FIG. 1 . Hereinafter, the display substrate 100 including the features of the present invention will be described in detail.

먼저 도 1 내지 도 3을 참조하여, 표시 기판(100)의 표시 영역(DA)에 대해 구체적으로 알아본다. 도 1 내지 도 3에서는 하나의 제1게이트 배선(GL1), 제2게이트 배선(GL2) 및 데이터 배선(DL)과 하나의 화소(P)를 도시하였으나 이는 예시적인 것이며 표시 영역(DA) 전체에 복수개의 배선들 및 화소들이 배치될 수 있다. First, the display area DA of the display substrate 100 will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 3 . 1 to 3 , one first gate line GL1 , a second gate line GL2 , a data line DL and one pixel P are illustrated, but these are exemplary and the entire display area DA is shown. A plurality of wires and pixels may be disposed.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 표시 영역(DA)은 화상이 표시되는 영역이며, 각종 신호 배선들 및 각종 신호 배선들에 연결된 화소(P)들이 배치되는 영역이다. 신호 배선들로는 제1방향으로 연장되는 제1게이트 배선들(GL1) 및 제2게이트 배선들(GL2)과 제2방향으로 연장되는 데이터 배선들(DL)이 포함되며, 제1게이트 배선들(GL1) 및 제2게이트 배선들(GL2)과 데이터 배선들(DL)이 교차되는 영역에 화소(P)가 배치된다. 1 to 3 , the display area DA is an area in which an image is displayed, and is an area in which various signal lines and pixels P connected to various signal lines are disposed. The signal lines include first gate lines GL1 and second gate lines GL2 extending in a first direction, and data lines DL extending in a second direction, and first gate lines GL1 ) and the pixel P is disposed in a region where the second gate lines GL2 and the data lines DL intersect.

제1게이트 배선들(GL1)은 제1게이트 절연막(113) 상에 구비되며 제1방향(X)으로 연장되어 있다. 제1 게이트 배선들(GL1)은 이전 스캔 라인 및 발광 제어 라인 등을 포함할 수 있으나 이에 한정된 것은 아니다. 제1게이트 배선들(GL1)은 미도시된 게이트 구동부 또는 미도시된 발광 제어 구동부에 연결되어 스캔 신호 또는 발광 제어 신호를 공급받을 수 있으나 이에 한정된 것은 아니다. The first gate lines GL1 are provided on the first gate insulating layer 113 and extend in the first direction (X). The first gate lines GL1 may include a previous scan line and an emission control line, but are not limited thereto. The first gate lines GL1 may be connected to a gate driver (not shown) or an emission control driver (not shown) to receive a scan signal or an emission control signal, but are not limited thereto.

제2게이트 배선들(GL2)은 제2게이트 절연막(123)을 사이에 두고 제1게이트 배선들(GL1)과 절연되며, 제1방향(X)으로 연장되어 있다. 제2게이트 배선들(GL2)은 스캔 라인 및 초기화 전원 라인 등을 포함할 수 있으나 이에 한정된 것은 아니다. 제2게이트 배선들(GL2)은 미도시된 게이트 구동부 또는 미도시된 초기화 전원 구동부에 연결되어 스캔 신호 또는 초기화 전원을 공급받을 수 있으나 이에 한정된 것은 아니다. The second gate lines GL2 are insulated from the first gate lines GL1 with the second gate insulating layer 123 interposed therebetween, and extend in the first direction (X). The second gate lines GL2 may include, but are not limited to, a scan line and an initialization power line. The second gate lines GL2 may be connected to a gate driver (not shown) or an initialization power driver (not shown) to receive a scan signal or initialization power, but is not limited thereto.

제1 게이트 배선들(GL1) 및 제2 게이트 배선들(GL2)은 서로 비중첩되어 있다. 즉, 제1 게이트 배선들(GL1)과 제2 게이트 배선들(GL2)은 서로 중첩되지 않는다. 이와 같이, 본 발명의 일실시예에 의한 표시 기판(100)은 게이트 배선들인 제1 게이트 배선들(GL1) 및 제2 게이트 배선들(GL2) 각각이 제2게이트 절연막(123)을 사이에 두고 서로 다른 층에 위치함으로써, 서로 다른 층에 위치하는 이웃하는 게이트 배선들 간의 거리(W1)를 좁게 형성할 수 있기 때문에, 동일한 면적에 보다 많은 화소(P)를 형성할 수 있다. 즉, 고해상도의 표시 장치를 형성할 수 있다.The first gate lines GL1 and the second gate lines GL2 do not overlap each other. That is, the first gate lines GL1 and the second gate lines GL2 do not overlap each other. As described above, in the display substrate 100 according to the exemplary embodiment of the present invention, each of the first gate lines GL1 and the second gate lines GL2, which are gate lines, has the second gate insulating layer 123 interposed therebetween. Since the distance W1 between adjacent gate wirings positioned on different layers can be narrowed by being positioned on different layers, more pixels P can be formed in the same area. That is, a high-resolution display device can be formed.

상술한 제1 게이트 배선들(GL1) 및 제2 게이트 배선들(GL2)이 구성하는 신호 배선의 종류, 신호 배선이 전달하는 신호의 종류 및 신호 배선이 연결되는 구동부의 종류와 개수, 위치 등은 기재한 내용 및 도시된 내용에 한정되지 않고 설계 내용에 따라 다양하게 응용 및 변화될 수 있다. The types of signal wirings configured by the first and second gate wirings GL1 and GL2 described above, the types of signals transmitted by the signal wirings, and the type, number, and location of drivers to which the signal wirings are connected are determined. It is not limited to the described content and the illustrated content, and may be variously applied and changed according to the design content.

데이터 배선들(DL)은 층간 절연막(105)을 사이에 두고 게이트 배선들(GL1, GL2)과 절연되며, 제1 방향(X)과 교차하는 제2 방향(Y)으로 연장되어 있다. 데이터 배선들(DL)은 비표시 영역(NDA)에 장착된 드라이버 IC(미도시)와 패드 및 팬아웃 배선을 통해 연결되어 있다. 데이터 배선(DL)은 드라이버 IC(미도시)로부터 팬 아웃 배선들을 통해 데이터 신호를 공급받는다.The data lines DL are insulated from the gate lines GL1 and GL2 with the interlayer insulating layer 105 interposed therebetween, and extend in a second direction Y crossing the first direction X. The data lines DL are connected to a driver IC (not shown) mounted in the non-display area NDA through pads and fan-out lines. The data line DL receives a data signal from a driver IC (not shown) through fan-out lines.

제1 게이트 배선들(GL1), 제2 게이트 배선들(GL2), 및 데이터 배선들(DL)의 교차 영역에 복수의 화소(P)가 배치된다. 화소는 적색, 녹색, 또는 청색의 빛을 발광할 수 있으며, 이에 한정되지 않고 백색의 빛을 발광할 수도 있다. A plurality of pixels P is disposed in a cross region of the first gate lines GL1 , the second gate lines GL2 , and the data lines DL. The pixel may emit red, green, or blue light, but is not limited thereto, and may emit white light.

화소(P)는 데이터 신호에 대응되는 구동 전류에 상응하는 휘도로 발광하는 유기 발광 소자(OLED)와, 유기 발광 소자(OLED)에 흐르는 구동 전류를 제어하기 위한 화소 회로(또는 구동 회로)를 포함한다. 화소 회로는 제1 게이트 배선들(GL1), 제2 게이트 배선들(GL2) 및 데이터 배선들(DL) 각각과 연결되어 있으며, 유기 발광 소자(OLED)는 화소 회로에 연결되어 있다. 화소 회로는 복수의 박막 트랜지스터(Ta,Tb) 및 적어도 하나의 커패시터(미도시)를 구비할 수 있다. The pixel P includes an organic light emitting diode (OLED) emitting light with a luminance corresponding to a driving current corresponding to a data signal, and a pixel circuit (or a driving circuit) for controlling a driving current flowing through the organic light emitting diode (OLED). do. The pixel circuit is connected to each of the first gate lines GL1 , the second gate lines GL2 , and the data lines DL, and the organic light emitting diode OLED is connected to the pixel circuit. The pixel circuit may include a plurality of thin film transistors Ta and Tb and at least one capacitor (not shown).

도 3을 참조하여, 화소 회로 및 유기 발광 소자를 포함하는 화소(P)의 구조에 대해 상세히 설명한다. The structure of the pixel P including the pixel circuit and the organic light emitting device will be described in detail with reference to FIG. 3 .

한편, 도 3은 화소(P)에 포함된 두 개의 박막 트랜지스터 및 유기 발광 소자를 도시하였으나, 화소(P)는 도시된 소자 이외에도 추가의 박막 트랜지스터 및 커패시터를 더 포함할 수 있다. Meanwhile, although FIG. 3 illustrates two thin film transistors and an organic light emitting device included in the pixel P, the pixel P may further include an additional thin film transistor and a capacitor in addition to the illustrated device.

화소(P)는 기판(10) 상에 형성된다. 기판(10)은 글래스재, 플라스틱재, 또는 금속재로 형성될 수 있다. 자유롭게 접거나 구부릴 수 있는 플렉서블(flexible) 표시 장치를 구현하기 위해서 기판(10)은 가요성 있는 소재, 예컨데 폴리이미드 필름으로 형성될 수도 있다. The pixel P is formed on the substrate 10 . The substrate 10 may be formed of a glass material, a plastic material, or a metal material. In order to realize a flexible display device that can be freely folded or bent, the substrate 10 may be formed of a flexible material, for example, a polyimide film.

기판(10)상에는 기판(10)상부에 평탄면을 제공하고, 기판(10)방향으로 수분 및 이물이 침투하는 것을 방지하도록 절연물을 함유하는 버퍼층(101)이 형성되어 있다. A buffer layer 101 containing an insulating material is formed on the substrate 10 to provide a flat surface on the substrate 10 and prevent moisture and foreign substances from penetrating in the direction of the substrate 10 .

버퍼층(101)상에는 박막 트랜지스터(Ta,Tb(TFT:thin film transistor))와 도시되지 않은 캐패시터(미도시)를 포함하는 화소 회로 및 화소 회로와 연결된 유기 발광 소자(OLED:organic light emitting device)가 형성된다. 박막 트랜지스터(Ta,Tb)는 크게 활성층(102a,b), 게이트 전극(104a,b), 소스/드레인 전극(106sa,da,sb,db)을 포함한다. 두 개의 박막 트랜지스터(Ta,Tb)는 게이트 전극(104a,b)이 서로 다른 레이어에 형성된 것을 특징으로 한다. On the buffer layer 101, a pixel circuit including thin film transistors (Ta and Tb (thin film transistor)) and a capacitor (not shown) and an organic light emitting device (OLED) connected to the pixel circuit are disposed on the buffer layer 101 . is formed The thin film transistors Ta and Tb largely include active layers 102a,b, gate electrodes 104a,b, and source/drain electrodes 106sa,da,sb,db. The two thin film transistors Ta and Tb are characterized in that gate electrodes 104a and b are formed on different layers.

구체적으로 제1박막 트랜지스터(Ta)의 경우, 버퍼층(101)의 윗면에는 소정 패턴으로 형성된 활성층(102a)이 배치된다. 활성층(102a)은 실리콘과 같은 무기 반도체 물질, 유기 반도체 물질 또는 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn), 하프늄(Hf), 아연(Zn) 등의 산화물을 포함하는 산화물 반도체 물질을 함유할 수 있다. 또한 필요에 따라 p형 또는 n형의 도펀트를 주입할 수 있다. 활성층(102a)상부에는 제1게이트 절연막(113)이 형성된다. 제1게이트 절연막(113)의 상부에는 활성층(102a)과 대응되도록 제1게이트 전극(104a)이 형성된다. 제1게이트 전극(104a)을 덮도록 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)이 형성되고, 층간 절연막(105) 상에 소스/드레인 전극(106sa,da)이 형성되는 데, 활성층(102a)의 소정의 영역과 접촉되도록 형성된다. Specifically, in the case of the first thin film transistor Ta, the active layer 102a formed in a predetermined pattern is disposed on the upper surface of the buffer layer 101 . The active layer 102a is formed of an inorganic semiconductor material such as silicon, an organic semiconductor material, or an oxide semiconductor material including an oxide such as indium (In), gallium (Ga), tin (Sn), hafnium (Hf), or zinc (Zn). may contain. In addition, a p-type or n-type dopant may be implanted as needed. A first gate insulating layer 113 is formed on the active layer 102a. A first gate electrode 104a is formed on the first gate insulating layer 113 to correspond to the active layer 102a. The second gate insulating film 123 and the interlayer insulating film 105 are formed to cover the first gate electrode 104a, and the source/drain electrodes 106sa and da are formed on the interlayer insulating film 105, the active layer ( 102a) is formed to be in contact with a predetermined area.

다음으로 제2박막 트랜지스터(Tb)의 경우, 버퍼층(101) 윗면에 소정의 패턴으로 형성된 활성층(102b)이 배치되고, 활성층(102b)의 상부에 제1게이트 절연막(113) 및 제2게이트 절연막(123)이 형성된다. 제2게이트 절연막(123) 상부에는 활성층(102b)과 대응되도록 제2게이트 전극(104b)이 형성된다. 제2게이트 전극(104b)을 덮도록 층간 절연막(105)이 형성되고 층간 절연막(105) 상에 활성층(102b)과 접촉하도록 소스/드레인 전극(106sb,db)이 형성된다. Next, in the case of the second thin film transistor Tb, an active layer 102b formed in a predetermined pattern is disposed on the upper surface of the buffer layer 101, and a first gate insulating film 113 and a second gate insulating film are disposed on the active layer 102b. (123) is formed. A second gate electrode 104b is formed on the second gate insulating layer 123 to correspond to the active layer 102b. An interlayer insulating film 105 is formed to cover the second gate electrode 104b, and source/drain electrodes 106sb and db are formed on the interlayer insulating film 105 to contact the active layer 102b.

여기서 제1게이트 절연막(113) 및 제2게이트 절연막(123)은 산화실리콘이나, 질화실리콘 같은 무기의 단층 또는 다층으로 이루어질 수 있다. 또한, 여기서 층간 절연막(105)은 산화실리콘이나, 질화실리콘 같은 무기의 단층 또는 다층으로 이루어질 수 있다. 층간 절연막(105)의 두께(d3)는 제1게이트 절연막(113)의 두께(d1)이나 제2게이트 절연막(123)의 두께(d2)에 비해 두껍게 형성되어 표면을 평탄화하고, 소스/드레인 전극(106sa,sb,da,db)과 하부 도전층 간에 기생 커패시턴스의 발생을 막는다.Here, the first gate insulating layer 113 and the second gate insulating layer 123 may be formed of a single layer or multiple layers of inorganic materials such as silicon oxide or silicon nitride. Also, the interlayer insulating film 105 may be formed of a single layer or multiple layers of inorganic materials such as silicon oxide or silicon nitride. The thickness d3 of the interlayer insulating layer 105 is thicker than the thickness d1 of the first gate insulating layer 113 or the thickness d2 of the second gate insulating layer 123 to planarize the surface, and source/drain electrodes Prevents the generation of parasitic capacitance between (106sa,sb,da,db) and the lower conductive layer.

한편 상술한 바와 같이 박막 트랜지스터(Ta,Tb)마다 게이트 전극(104a,b)과 활성층(102a,b) 사이의 게이트 절연막의 두께(d1,d1+d2)를 다르게 함으로써, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 먼저 구동 박막 트랜지스터로 사용되는 박막 트랜지스터가 두꺼운 게이트 절연막을 가지도록 형성되는 경우 게이트 전압(Vgs)의 구동 범위(Dr range)가 넓어져 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극에 인가되는 게이트 전압(Vgs)의 크기를 달리하여 유기 발광 소자로부터 발광되는 빛이 보다 풍부한 계조를 가지도록 제어할 수 있다. 한편, 스위칭 박막 트랜지스터로 사용되는 박막 트랜지스터가 얇은 게이트 절연막을 가지도록 형성할 수 있어 빠른 속도로 턴온 및 턴 오프를 수행할 수 있는 특징을 가지며 게이트 전극과 활성층 사이에 발생하는 기생 커패시턴스를 줄일 수 있다. 따라서, 유기 발광 표시 장치에 최적인 화소 회로 구조를 구현할 수 있는 특징이 있다. Meanwhile, as described above, by varying the thickness (d1, d1+d2) of the gate insulating film between the gate electrodes 104a and b and the active layer 102a,b for each of the thin film transistors Ta and Tb, the following effects are obtained. can First, when the thin film transistor used as the driving thin film transistor is formed to have a thick gate insulating layer, the driving range of the gate voltage Vgs is widened, so that the gate voltage Vgs applied to the gate electrode of the driving thin film transistor is increased. It is possible to control so that light emitted from the organic light emitting diode has a richer grayscale by changing the . On the other hand, a thin film transistor used as a switching thin film transistor can be formed to have a thin gate insulating film, so that it can perform turn-on and turn-off at a high speed, and it can reduce parasitic capacitance between the gate electrode and the active layer. . Accordingly, there is a feature of realizing an optimal pixel circuit structure for an organic light emitting diode display.

박막 트랜지스터들(Ta,Tb)의 소스/드레인 전극(106sa,sb,da,db)을 덮도록 패시베이션층(107)이 형성된다. 패시베이션층(107)상부에는 평탄화를 위하여 별도의 절연막을 더 형성할 수도 있다. A passivation layer 107 is formed to cover the source/drain electrodes 106sa, sb, da, and db of the thin film transistors Ta and Tb. A separate insulating layer may be further formed on the passivation layer 107 for planarization.

패시베이션층(107) 상에 유기 발광 소자(OLED)를 형성한다. 유기 발광 소자(OLED)는 제1 전극(111), 제2 전극(112) 및 중간층(114)을 포함한다.An organic light emitting diode (OLED) is formed on the passivation layer 107 . The organic light emitting diode OLED includes a first electrode 111 , a second electrode 112 , and an intermediate layer 114 .

패시베이션층(107)상에 제1 전극(111)을 형성한다. 제1 전극(111)은 소스/드레인 전극(106sa,sb,da,db)중 어느 하나와 전기적으로 연결되도록 형성한다. 그리고, 제1 전극(111)을 덮도록 화소정의막(109)이 형성된다. 이 화소정의막(109)에 소정의 개구를 형성한 후, 이 개구로 한정된 영역 내에 유기 발광층을 구비하는 중간층(114)을 형성한다. 중간층(114)상에 제 2 전극(112)을 형성한다. A first electrode 111 is formed on the passivation layer 107 . The first electrode 111 is formed to be electrically connected to any one of the source/drain electrodes 106sa, sb, da, and db. Then, a pixel defining layer 109 is formed to cover the first electrode 111 . After a predetermined opening is formed in the pixel defining film 109, an intermediate layer 114 having an organic light emitting layer is formed in a region defined by the opening. A second electrode 112 is formed on the intermediate layer 114 .

한편, 상기 유기 발광 소자(OLED)가 풀 컬러 유기 발광 소자(OLED)일 경우, 유기 발광층은 적색 부화소, 녹색 부화소 및 청색 부화소에 따라 각각 적색 발광층, 녹색 발광층 및 청색 발광층으로 패터닝될 수 있다. On the other hand, when the organic light emitting device (OLED) is a full color organic light emitting device (OLED), the organic light emitting layer may be patterned into a red light emitting layer, a green light emitting layer and a blue light emitting layer according to the red sub-pixel, the green sub-pixel, and the blue sub-pixel, respectively have.

한편, 유기 발광층은 백색광을 방출할 수 있도록 적색 발광층, 녹색 발광층 및 청색 발광층이 적층된 다층 구조를 갖거나, 적색 발광 물질, 녹색 발광 물질 및 청색 발광 물질을 포함한 단일층 구조를 가질 수 있다. 이와 같은 유기 발광층을 구비한 유기 발광 소자(OLED)는 적색 컬러 필터, 녹색 컬러 필터 및 청색 컬러 필터를 추가로 구비함으로써, 풀 컬러를 방출할 수 있다.유기 발광 표시 장치가 기판(10)의 방향으로 발광하는 배면 발광 형(bottom emission type)인 경 우에는 제1전극(111) 투명 전극이 되고, 제2전극(112)은 반사 전극이 된다. 한편, 기판(10)의 반대 방향으로 발광하는 전면 발광 형(top emission type)인 경우에는 제1전극(111)이 반사 전극이 되고 제2전극(112)이 반투과 전극이 된다. 양면 발광 형(dual emission type)인 경우에는 제1전극(111)이 투명 전극이 되고 제2전극(112)이 반투과 전극이 된다.Meanwhile, the organic light emitting layer may have a multilayer structure in which a red light emitting layer, a green light emitting layer, and a blue light emitting layer are stacked to emit white light, or may have a single layer structure including a red light emitting material, a green light emitting material, and a blue light emitting material. The organic light emitting diode (OLED) having such an organic light emitting layer may emit full color by additionally including a red color filter, a green color filter, and a blue color filter. In the case of a bottom emission type that emits light as a light, the first electrode 111 becomes a transparent electrode, and the second electrode 112 becomes a reflective electrode. On the other hand, in the case of a top emission type that emits light in the opposite direction of the substrate 10 , the first electrode 111 becomes a reflective electrode and the second electrode 112 becomes a transflective electrode. In the case of the dual emission type, the first electrode 111 becomes a transparent electrode and the second electrode 112 becomes a transflective electrode.

한편 도시 되지 않았으나, 각 화소는 외광을 투과할 수 있는 투명창 구조를 구비함으로써, 투명 표시 장치를 구현할 수도 있다. Meanwhile, although not shown, each pixel has a transparent window structure that can transmit external light, thereby realizing a transparent display device.

다음으로, 도 1과 도 4 내지 도 7을 참조하여 표시 기판(100)의 비표시 영역(NDA)에 대하여 구체적으로 살펴본다. Next, the non-display area NDA of the display substrate 100 will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 4 to 7 .

도 1 및 도 4 내지 도 7을 참조하면, 비표시 영역(NDA)은 화상이 표시되지 않으며 표시 영역(DA)을 구동을 위한 각종 부재 및 그 밖의 다른 모듈들이 장착되는 영역이다. 비표시 영역(NDA)에는 드라이버IC(미도시), 드라이버 IC(미도시)와 표시 영역(DA)을 연결시키는 패드들(300) 및 팬 아웃부(200)가 형성된다. 1 and 4 to 7 , the non-display area NDA is an area in which an image is not displayed and various members for driving the display area DA and other modules are mounted. In the non-display area NDA, a driver IC (not shown), pads 300 connecting the driver IC (not shown) and the display area DA, and a fan-out part 200 are formed.

드라이버 IC(미도시)는 데이터 신호를 공급하기 위한 데이터 구동부가 포함될 수 있으며 그 밖에도 표시 영역(DA)의 구동에 필요한 각종 기능부가 포함될 수 있다. 드라이버 IC(미도시)는 COG(chip on glass) 타입으로 표시 기판(100)에 실장된다. 드라이버 IC(미도시)의 일측에는 표시 기판(100) 상에 형성된 패드들(300)과 전기적으로 접속하는 접속 단자(미도시)를 포함한다. 패드들(300)과 접속 단자(미도시) 사이에는 도전성 볼을 포함하여 통전이 가능한 접착 물질을 개재하여 패드들(300)과 접속 단자(미도시)를 본딩할 수 있다. 이러한 접착 물질로는 예를 들어 이방성 도전 필름 (Anisotropic Conductive Film), 자가 정렬형 전도 필름(Self Organizing Conductive Film) 등을 사용할 수 있다. The driver IC (not shown) may include a data driving unit for supplying a data signal, and in addition, various functional units necessary for driving the display area DA may be included. A driver IC (not shown) is mounted on the display substrate 100 in a chip on glass (COG) type. One side of the driver IC (not shown) includes a connection terminal (not shown) electrically connected to the pads 300 formed on the display substrate 100 . The pads 300 and the connection terminal (not shown) may be bonded between the pads 300 and the connection terminal (not shown) by interposing an electrically conductive adhesive material including a conductive ball. As such an adhesive material, for example, an anisotropic conductive film, a self-aligning conductive film, or the like may be used.

패드들(300)은 표시 기판(100) 상에 형성되어, 드라이버 IC(미도시)의 접속 단자가 전기적으로 접속하는 부분이다. 패드들(200)은 각각 팬 아웃 배선들(210, 220)로부터 신장된다. The pads 300 are formed on the display substrate 100 and are electrically connected to the connection terminals of the driver IC (not shown). The pads 200 extend from the fan-out wirings 210 and 220, respectively.

패드들(300)은 제1패드들(311) 및 제2패드들(312)을 포함한다. 제1패드(311) 및 제2패드(312)는 연결된 팬 아웃 배선들(210, 220)의 레이어(layer)에 따라 구별한 것이다. 즉, 제1패드(311)는 후술할 제1팬 아웃 배선(210)에서 신장된 패드이고, 제2패드(312)는 후술할 제2팬 아웃 배선(220)에서 신장된 패드이다. 제1패드들(311) 및 제2패드들(312)은 서로 교번하여 배치된다. The pads 300 include first pads 311 and second pads 312 . The first pad 311 and the second pad 312 are distinguished according to the layers of the connected fan-out wirings 210 and 220 . That is, the first pad 311 is a pad extended by a first fan-out wiring 210 to be described later, and the second pad 312 is a pad extended by a second fan-out wiring 220 to be described later. The first pads 311 and the second pads 312 are alternately disposed.

제1패드(311)는 비표시 영역(NDA)의 제1위치에 형성된다. 제2패드(312)는 비표시 영역(NDA)의 제2위치에 형성되며, 제2위치는 제1위치와 X방향으로 동일 선 상에 있지 않다. 따라서, 제1패드(311) 및 제2패드(312)는 동일 선 상에 줄지어 배치되는 것이 아니라, 서로 엇갈려서 배치된다. 이와 같이 제1패드들(311) 및 제2패드들(312)이 엇갈려서 배치될 때 두 패드는 도 4에 도시된 V1, V2, V3 영역만큼 오버랩된다. 이로써, 본 발명의 일 실시예에 의하면, X방향으로 폭이 좁은 공간에도 많은 패드들(300)을 배치할 수 있으며, 결국, 비표시 영역(NDA)의 데드 스페이스(dead space)를 줄일 수 있다. The first pad 311 is formed at a first position in the non-display area NDA. The second pad 312 is formed at a second position of the non-display area NDA, and the second position is not on the same line as the first position in the X direction. Accordingly, the first pad 311 and the second pad 312 are not arranged in a line on the same line, but are alternately arranged. As such, when the first pads 311 and the second pads 312 are alternately disposed, the two pads overlap by the regions V1, V2, and V3 shown in FIG. 4 . Accordingly, according to an embodiment of the present invention, many pads 300 may be disposed even in a space having a narrow width in the X direction, and consequently, a dead space of the non-display area NDA may be reduced. .

패드들(300)과 표시 영역(DA) 사이에는 이들을 연결하는 팬 아웃 배선들(210, 220)이 배치된다. 팬 아웃 배선들(210, 220)은 형성된 레이어(layer)에 따라 제1팬 아웃 배선들(210) 및 제2팬 아웃 배선들(220)을 포함한다. 복수의 제1팬 아웃 배선(210)들과 복수의 제2팬 아웃 배선(220)들은 서로 교번하여 배치된다.Fan-out wires 210 and 220 connecting the pads 300 and the display area DA are disposed. The fan-out wires 210 and 220 include first fan-out wires 210 and second fan-out wires 220 according to a formed layer. The plurality of first fan-out wires 210 and the plurality of second fan-out wires 220 are alternately disposed.

제1팬 아웃 배선(210)은 제1게이트 절연막(113) 상에 형성되며, 제1게이트 배선(GL1)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성된다. 제1팬 아웃 배선(210)의 일측은 제1패드(311)와 연결되며, 타측은 표시 영역(DA), 예컨데 표시 영역의 데이터 배선(DL)과 연결된다. 제1팬 아웃 배선(210)은 드라이버 IC(미도시)로부터 데이터 신호를 데이터 배선(DL)으로 전달할 수 있다. The first fan-out wiring 210 is formed on the first gate insulating layer 113 , and is formed on the same layer as the first gate wiring GL1 and made of the same material. One side of the first fan-out wiring 210 is connected to the first pad 311 , and the other side is connected to the display area DA, for example, the data line DL of the display area. The first fan-out line 210 may transmit a data signal from a driver IC (not shown) to the data line DL.

제2팬 아웃 배선(220)은 제2게이트 절연막(123) 상에 형성되며, 제2게이트 배선(GL2)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성된다. 제2팬 아웃 배선(220)의 일측은 제2패드(312)와 연결되며, 타측은 표시 영역(DA), 예컨데 표시 영역의 데이터 배선(DL)과 연결된다. 제2팬 아웃 배선(220)은 드라이버 IC(미도시)로부터 데이터 신호를 데이터 배선(DL)으로 전달할 수 있다. The second fan-out wiring 220 is formed on the second gate insulating layer 123 , and is formed on the same layer as the second gate wiring GL2 and made of the same material. One side of the second fan-out wiring 220 is connected to the second pad 312 , and the other side is connected to the display area DA, for example, the data line DL of the display area. The second fan-out line 220 may transmit a data signal from a driver IC (not shown) to the data line DL.

제1팬 아웃 배선(210)과 제2팬 아웃 배선(220)은 제2게이트 절연막(123)을 사이에 두고 절연되며, 서로 다른 레이어(layer)에 형성된다. 제1팬 아웃 배선(210)과 제2팬 아웃 배선(220)은 서로 비중첩한다. 왜냐하면, 제1팬 아웃 배선(210)과 제2팬 아웃 배선(220) 사이에 형성되는 제2게이트 절연막(123)의 두께(d2)는 비교적 얇은 막이기 때문에, 제1팬 아웃 배선(210)과 제2팬 아웃 배선(220)이 중첩하는 경우 배선 영역의 기생 커패시턴스가 커지는 문제가 발생하기 때문이다. The first fan-out wiring 210 and the second fan-out wiring 220 are insulated with the second gate insulating layer 123 interposed therebetween, and are formed in different layers. The first fan-out wiring 210 and the second fan-out wiring 220 do not overlap each other. Because the thickness d2 of the second gate insulating layer 123 formed between the first fan-out wiring 210 and the second fan-out wiring 220 is relatively thin, the first fan-out wiring 210 This is because, when the second fan-out wiring 220 overlaps, the parasitic capacitance of the wiring region increases.

도 6은 제1팬 아웃 배선(210) 및 제1팬 아웃 배선(210)과 전기적으로 연결된 제1패드(311)를 도시한 단면도이다. 6 is a cross-sectional view illustrating the first fan-out wiring 210 and the first pad 311 electrically connected to the first fan-out wiring 210 .

제1패드(311)는 제1게이트 절연막(113) 상에 형성된다. 제1팬 아웃 배선(210) 또한 제1게이트 절연막(113) 상에 형성되므로, 제1패드(311)와 제1팬 아웃 배선(210)은 일체로 형성될 수 있다. 제1패드(311)와 제1팬 아웃 배선(201) 상에는 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)이 형성된다. 제1패드(311)는 드라이버 IC(미도시)와 접촉되어야 하므로, 제1패드(311) 상에 형성된 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)에는 제1개구(321)가 형성되어 제1패드(311)를 노출한다. 따라서, 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)은 제1패드(311)의 가장자리를 덮고, 제1개구(321)는 제1패드(311)의 중앙을 노출할 수 있다. 그러나 제1팬 아웃 배선(210)은 외부로부터 절연되어야 하므로 제1팬 아웃 배선(210) 상에 형성된 절연막들에는 개구가 형성되지 않는다. The first pad 311 is formed on the first gate insulating layer 113 . Since the first fan-out wiring 210 is also formed on the first gate insulating layer 113 , the first pad 311 and the first fan-out wiring 210 may be integrally formed. A second gate insulating layer 123 and an interlayer insulating layer 105 are formed on the first pad 311 and the first fan-out wiring 201 . Since the first pad 311 must be in contact with a driver IC (not shown), a first opening 321 is formed in the second gate insulating layer 123 and the interlayer insulating layer 105 formed on the first pad 311 . The first pad 311 is exposed. Accordingly, the second gate insulating layer 123 and the interlayer insulating layer 105 may cover the edge of the first pad 311 , and the first opening 321 may expose the center of the first pad 311 . However, since the first fan-out wiring 210 needs to be insulated from the outside, an opening is not formed in the insulating layers formed on the first fan-out wiring 210 .

제1팬 아웃 배선(210) 및 제1패드(311)는 동일한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제1팬 아웃 배선(210) 및 제1패드(311)는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag) 및 티타늄(Ti) 중 선택된 적어도 하나를 포함하는 저저항 금속 물질로 단일층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 그런데 제1패드(311)와 같이 외부로 노출되는 부분은 금속 물질로 형성되어 부식되거나 손상을 받기 쉽다. 따라서, 제1개구(321)에 의해 노출된 제1패드(311) 상에는 제1보호층(331)이 형성된다. The first fan-out wiring 210 and the first pad 311 may be formed of the same material. For example, the first fan-out wiring 210 and the first pad 311 may include at least one selected from molybdenum (Mo), aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), and titanium (Ti). It may be formed as a single layer or multi-layer of a low-resistance metal material. However, the portion exposed to the outside such as the first pad 311 is formed of a metal material and is easily corroded or damaged. Accordingly, the first protective layer 331 is formed on the first pad 311 exposed by the first opening 321 .

제1보호층(331)은 제1개구(321)를 통해 노출된 제1패드(311)와 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)의 일부를 덮도록 형성된다. 제1보호층(331)은 제1패드(311)의 부식을 방지하고, 제1패드(311)와 절연막들 간의 들뜸을 방지하여 패드 신뢰성을 개선하는 역할을 한다. 제1보호층(331)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag) 및 티타늄(Ti)과 같은 저저항 금속물질 및 투명 도전성 산화물(TCO) 중 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 단일층 및 다층으로 이루어질 수 있다. 여기서 투명 도전성 산화물은 인듐틴옥사이드(indium tin oxide: ITO), 인듐징크옥사이드(indium zink oxide: IZO), 징크옥사이드(zink oxide: ZnO), 인듐옥사이드(indium oxide: In2O3), 인듐갈륨옥사이드(indium galium oxide: IGO), 및 알루미늄징크옥사이드(aluminium zink oxide: AZO)을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다. The first protective layer 331 is formed to cover a portion of the first pad 311 exposed through the first opening 321 , the second gate insulating layer 123 , and the interlayer insulating layer 105 . The first passivation layer 331 serves to prevent corrosion of the first pad 311 and to prevent lifting between the first pad 311 and the insulating layers, thereby improving pad reliability. The first protective layer 331 may be formed of at least one material selected from a low-resistance metal material such as molybdenum (Mo), aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), and titanium (Ti) and a transparent conductive oxide (TCO). It may be made of a single layer and a multilayer comprising a. Here, the transparent conductive oxide is indium tin oxide (ITO), indium zink oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium oxide (In2O3), and indium gallium oxide (indium). It may include at least one selected from the group including galium oxide: IGO), and aluminum zinc oxide (AZO).

다음으로, 도 7은 제2팬 아웃 배선(220) 및 제2팬 아웃 배선(220)과 전기적으로 연결된 제2패드(312)를 도시한 단면도이다. Next, FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating the second fan-out wire 220 and the second pad 312 electrically connected to the second fan-out wire 220 .

제2패드(312)는 제1패드(311)와 동일하게 제1게이트 절연막(113) 상에 형성된다. 그런데 제2팬 아웃 배선(220)은 제2게이트 절연막(123) 상에 형성되므로 서로 다른 레이어(layer)에 형성된 제2패드(312)와 연결하기 위한 구조가 필요하다. 이에 본 발명은 연결부(333)를 두어 제2패드(312)와 제2팬 아웃 배선(220)을 연결한다. The second pad 312 is formed on the first gate insulating layer 113 in the same manner as the first pad 311 . However, since the second fan-out wiring 220 is formed on the second gate insulating layer 123 , a structure for connecting to the second pad 312 formed in different layers is required. Accordingly, in the present invention, the second pad 312 and the second fan-out wiring 220 are connected by providing a connection part 333 .

제2패드(312) 상에는 제1패드(311)와 동일하게 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)이 형성된다. 제2패드(312)는 드라이버 IC(미도시)와 접촉되어야 하므로, 제2패드(312) 상에 형성된 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)에는 제2개구(322)가 형성되어 제2패드(312)를 노출한다. 따라서, 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)은 제2패드(312)의 가장자리를 덮고, 제2개구(322)는 제2패드(312)의 중앙을 노출할 수 있다. 한편, 제2팬 아웃 배선(220) 상에는 층간 절연막(105)이 형성된다. 제2팬 아웃 배선(220)은 외부로부터 보호되어야 하므로 제2팬 아웃 배선(220)은 층간 절연막(105)에 덮여 있다. 다만, 제2팬 아웃 배선(220)은 제2패드(312)와 전기적으로 연결되어야 하므로, 층간 절연막(105)에는 제2팬 아웃 배선(220)과 연결부(333)를 연결하기 위한 컨택홀(323)이 형성될 수 있다. 여기서, 컨택홀(323)의 개수, 배치, 모양 등은 도시된 바에 한정되지 않고 다양하게 구현될 수 있다. A second gate insulating layer 123 and an interlayer insulating layer 105 are formed on the second pad 312 in the same manner as the first pad 311 . Since the second pad 312 must be in contact with a driver IC (not shown), a second opening 322 is formed in the second gate insulating layer 123 and the interlayer insulating layer 105 formed on the second pad 312 . The second pad 312 is exposed. Accordingly, the second gate insulating layer 123 and the interlayer insulating layer 105 may cover the edge of the second pad 312 , and the second opening 322 may expose the center of the second pad 312 . Meanwhile, an interlayer insulating layer 105 is formed on the second fan-out wiring 220 . Since the second fan-out wiring 220 needs to be protected from the outside, the second fan-out wiring 220 is covered with the interlayer insulating layer 105 . However, since the second fan-out wiring 220 must be electrically connected to the second pad 312 , the interlayer insulating film 105 has a contact hole ( 323) may be formed. Here, the number, arrangement, shape, etc. of the contact holes 323 are not limited to the illustrated bar and may be implemented in various ways.

제2팬 아웃 배선(220) 및 제2패드(312)는 서로 다른 물질로 형성될 수도 있다. 예를 들어, 제2팬 아웃 배선(220) 및 제2패드(312)는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag) 및 티타늄(Ti) 중 선택된 적어도 하나를 포함하는 저저항 금속 물질로 단일층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 제2팬 아웃 배선(220) 및 제2패드(312)는 동일한 물질로 형성될 수도 있다. 그런데 제2패드(312)와 같이 외부로 노출되는 부분은 금속 물질로 형성되어 부식되거나 손상을 받기 쉽다. 따라서, 제2개구(322)에 의해 노출된 제2패드(312) 상에는 제2보호층(332)이 형성된다. The second fan-out wiring 220 and the second pad 312 may be formed of different materials. For example, the second fan-out wiring 220 and the second pad 312 may include at least one selected from molybdenum (Mo), aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), and titanium (Ti). It may be formed as a single layer or multi-layer of a low-resistance metal material. However, the present invention is not limited thereto, and the second fan-out wiring 220 and the second pad 312 may be formed of the same material. However, the portion exposed to the outside such as the second pad 312 is formed of a metal material and is easily corroded or damaged. Accordingly, the second protective layer 332 is formed on the second pad 312 exposed by the second opening 322 .

제2보호층(332)은 제2개구(322)를 통해 노출된 제2패드(312)와 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)의 일부를 덮도록 형성된다. 제2보호층(332)은 제2패드(312)의 부식을 방지하고, 제2패드(312)와 절연막들 간의 들뜸을 방지하여 패드 신뢰성을 개선하는 역할을 한다. 제2보호층(332)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag) 및 티타늄(Ti)과 같은 저저항 금속물질 및 투명 도전성 산화물(TCO) 중 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는 단일층 및 다층으로 이루어질 수 있다. 여기서 투명 도전성 산화물은 투명도전물로는 인듐틴옥사이드(indium tin oxide: ITO), 인듐징크옥사이드(indium zink oxide: IZO), 징크옥사이드(zink oxide: ZnO), 인듐옥사이드(indium oxide: In2O3), 인듐갈륨옥사이드(indium galium oxide: IGO), 및 알루미늄징크옥사이드(aluminium zink oxide: AZO)을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다. The second protective layer 332 is formed to cover a portion of the second pad 312 exposed through the second opening 322 , the second gate insulating layer 123 , and the interlayer insulating layer 105 . The second passivation layer 332 serves to prevent corrosion of the second pad 312 and to prevent lifting between the second pad 312 and the insulating layers, thereby improving pad reliability. The second protective layer 332 may be formed of at least one selected from a low-resistance metal material such as molybdenum (Mo), aluminum (Al), copper (Cu), silver (Ag), and titanium (Ti) and a transparent conductive oxide (TCO). It may be made of a single layer and a multilayer comprising a. Here, the transparent conductive oxide includes indium tin oxide (ITO), indium zink oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium oxide (In2O3), It may include at least one selected from the group consisting of indium gallium oxide (IGO), and aluminum zinc oxide (AZO).

한편, 상술한 연결부(333)는 제2보호층(332)과 일체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 연결부(333)는 제2팬 아웃 배선(220) 상에 배치된 층간 절연막(105)에 형성된 컨택홀(323)을 통해 제2팬 아웃 배선(220)과 제2보호층(332)을 연결한다. 제2보호층(332)은 제2패드(312)와 직접 접촉한다. 제2보호층(332)은 상술한 도전성 물질로 이루어져 있으므로 결과적으로 제2패드(312)는 제2팬 아웃 배선(220)과 전기적으로 연결될 수 있다. Meanwhile, the above-described connection part 333 may be integrally formed with the second protective layer 332 . Accordingly, the connection part 333 is connected to the second fan-out wiring 220 and the second protective layer 332 through the contact hole 323 formed in the interlayer insulating film 105 disposed on the second fan-out wiring 220 . connect The second protective layer 332 is in direct contact with the second pad 312 . Since the second protective layer 332 is made of the aforementioned conductive material, as a result, the second pad 312 may be electrically connected to the second fan-out wiring 220 .

본 발명의 일 실시예에 의하면, 패드들(300)을 모두 동일한 레이어(layer)에 형성함으로써, 패드들(300)의 높이 차이로 드라이버 IC(미도시)와 패드들(300) 간에 본딩 불량이 발생하는 문제를 해소하였다. 상세히, 제1패드(311)들의 하부에는 버퍼층(101) 및 제1게이트 절연막(113)이 존재하고 제2패드(312)들의 하부에도 버퍼층(101) 및 제1게이트 절연막(113)이 존재한다. 따라서 제1패드(311)들 및 제2패드(312)들은 모두 기판(10)으로부터, 버퍼층(101) 및 제1게이트 절연막(113) 두께만큼의 높이에 위치하게 된다. 즉, 패드들(300)이 기판(10)으로부터 모두 일정한 높이에 배치된다. 이 경우 드라이버 IC(미도시)와 패드들(300)을 접착 물질로 본딩할 때, 본딩 불량이 발생하지 않게 된다. According to an embodiment of the present invention, by forming all the pads 300 on the same layer, a bonding defect between the driver IC (not shown) and the pads 300 is prevented due to the height difference of the pads 300 . Problems that occurred were resolved. In detail, the buffer layer 101 and the first gate insulating layer 113 are disposed under the first pads 311 , and the buffer layer 101 and the first gate insulating layer 113 are also disposed under the second pads 312 . . Accordingly, both the first pads 311 and the second pads 312 are positioned at a height corresponding to the thickness of the buffer layer 101 and the first gate insulating layer 113 from the substrate 10 . That is, the pads 300 are all disposed at a constant height from the substrate 10 . In this case, when bonding the driver IC (not shown) and the pads 300 with an adhesive material, a bonding defect does not occur.

하지만, 비교예로 제2패드가 제2팬 아웃 배선과 동일한 레이어에 형성될 경우, 제2패드 하부에는 버퍼층, 제1게이트 절연막 및 제2게이트 절연막이 존재한다. 따라서, 제1패드에 비해 제2게이트 절연막 두께만큼의 높이차가 발생하게 된다. 이 경우 드라이버 IC 단자와 패드 표면 사이에 뜨는 부분이 발생하여 본딩시 공기, 수분, 이불이 침투할 공간이 생겨 밀착 본딩이 어렵고, 본딩 후에도 신뢰성을 지속하기 어려운 문제가 있다. 그러나 본 발명의 일 실시예와 같이 연결부를 통해 패드들의 높이를 차이를 해소함으로써 이와 같은 문제를 해결하고 신뢰성을 향상시킬 수 있다. However, as a comparative example, when the second pad is formed on the same layer as the second fan-out wiring, the buffer layer, the first gate insulating layer, and the second gate insulating layer are present under the second pad. Accordingly, there is a difference in height corresponding to the thickness of the second gate insulating film compared to the first pad. In this case, a floating part occurs between the driver IC terminal and the surface of the pad, which creates a space for air, moisture, and quilt to penetrate during bonding, making it difficult to adhere closely and to maintain reliability even after bonding. However, as in the embodiment of the present invention, by resolving the difference in height of the pads through the connection part, this problem can be solved and reliability can be improved.

한편, 본 발명의 일 실시예에 의하면 연결부(333)는 제1 및 제2 보호층(331,332)을 형성할 때 함께 형성함으로써, 공정을 간소화하고 접촉 신뢰성을 보다 향상시킬 수 있다. Meanwhile, according to an embodiment of the present invention, the connection part 333 is formed together when the first and second protective layers 331 and 332 are formed, thereby simplifying the process and further improving contact reliability.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 종래에 모두 동일한 레이어에 형성하던 팬 아웃 배선들을 서로 다른 레이어로 분산하여 형성함으로써, 팬 아웃부의 크기를 줄일 수 있는 특징이 있다. 이로써, 데드 스페이스를 줄이고 보다 많은 수의 배선을 팬 아웃부에 배치할 수 있다. 따라서, 동일한 면적에 보다 많은 배선들을 형성할 수 있고, 고해상도의 표시 장치를 형성할 수 있다. 또한, 소형 패널에서도 고해상도를 구현할 수 있는 장점이 있다. In addition, according to an embodiment of the present invention, the fan-out portion size can be reduced by distributing and forming the fan-out wirings, which were all conventionally formed on the same layer, into different layers. Thereby, the dead space can be reduced and a larger number of wirings can be arranged in the fan-out part. Accordingly, more wirings can be formed in the same area, and a high-resolution display device can be formed. In addition, there is an advantage of realizing high resolution even in a small panel.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 도 1의 A를 나타낸 도면이다. 도 9는 도 8을 ⅠⅩ-ⅠⅩ선에 따라 자른 면이다. 도 10은 도 8의 Ⅹ-Ⅹ선을 따라 자른 면이다. 8 is a view showing A of FIG. 1 according to another embodiment of the present invention. FIG. 9 is a plane cut along the line IX-IX of FIG. 8 . FIG. 10 is a plane cut along the line X-X of FIG. 8 .

도 8 내지 도 10에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 의하면, 이전 실시예에 비하여 패드들(300)이 제2게이트 절연막(123) 상에 형성되는 점이 상이하다. 도 8 내지 도 10에 도시된 도면 부호 중 도 1 내지 도 7과 동일한 도면 부호는 동일한 기능 및 동일한 작용을 하므로 이에 대한 중복적인 설명은 생략한다. 이하에서는 도 8 내지 도 10에 특유한 특징을 바탕으로 기술한다. According to another embodiment of the present invention shown in FIGS. 8 to 10 , the pad 300 is different from the previous embodiment in that the pads 300 are formed on the second gate insulating layer 123 . Among the reference numerals shown in FIGS. 8 to 10 , the same reference numerals as those of FIGS. 1 to 7 have the same function and the same operation, and thus a redundant description thereof will be omitted. Hereinafter, it will be described based on the characteristics specific to FIGS. 8 to 10 .

도 8 및 도 9를 참조하면, 제1a패드(311a)는 제2게이트 절연막(123) 상에 형성된다. 그런데 제1팬 아웃 배선(210)은 제1게이트 절연막(113) 상에 형성되므로 서로 다른 레이어에 형성된 제1a패드(311a)와 제1팬 아웃 배선(210)을 연결하기 위한 구조가 필요하다. 이에 본 발명은 연결부(333a)를 두어 제1a패드(311a)와 제1팬 아웃 배선(210)을 연결한다. 8 and 9 , the first pad 311a is formed on the second gate insulating layer 123 . However, since the first fan-out wiring 210 is formed on the first gate insulating layer 113 , a structure is required to connect the first fan-out wiring 210 and the 1a pad 311a formed in different layers. Accordingly, in the present invention, a connection portion 333a is provided to connect the first pad 311a and the first fan-out wiring 210 to each other.

제1a패드(311a) 상에는 층간 절연막(105)이 형성된다. 제1a패드(311a)는 드라이버 IC(미도시)와 접촉되어야 하므로, 제1a패드(311a) 상에 형성된 층간 절연막(105)에는 제1a개구(321a)가 형성되어 제1a패드(311a)를 노출한다. 한편, 제1팬 아웃 배선(210)은 외부로부터 절연되어야 하므로 제1팬 아웃 배선(210)은 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)에 덮여 있다. 다만, 제1팬 아웃 배선(210)은 제1a패드(311a)와 전기적으로 연결되어야 하므로, 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)에는 제1팬 아웃 배선(210)과 연결부(333a)를 연결하기 위한 컨택홀(323a)이 형성될 수 있다. An interlayer insulating layer 105 is formed on the first a pad 311a. Since the first a pad 311a must be in contact with a driver IC (not shown), a first a opening 321a is formed in the interlayer insulating film 105 formed on the first a pad 311a to expose the first a pad 311a. do. Meanwhile, since the first fan-out wiring 210 needs to be insulated from the outside, the first fan-out wiring 210 is covered with the second gate insulating layer 123 and the interlayer insulating layer 105 . However, since the first fan-out wiring 210 needs to be electrically connected to the first a pad 311a, the second gate insulating layer 123 and the interlayer insulating layer 105 have the first fan-out wiring 210 and the connection part 333a. ) may be formed with a contact hole 323a for connecting them.

제1a패드(311a)는 상술한 금속 물질로 이루어 질 수 있는데, 외부로 노출되므로 제1a패드(311a)는 부식되거나 손상을 받기 쉽다. 따라서, 제1a개구(321a)에 의해 노출된 제1a패드(311a) 상에는 제1a보호층(331a)이 형성된다. The first a pad 311a may be made of the above-described metal material, and since it is exposed to the outside, the first a pad 311a is easily corroded or damaged. Accordingly, the 1a protective layer 331a is formed on the 1a pad 311a exposed by the 1a opening 321a.

제1a보호층(331a)은 제1a개구(321a)를 통해 노출된 제1a패드(311a)와 층간 절연막(105)의 일부를 덮도록 형성된다. 제1a보호층(331a)은 제1a패드(311a)의 부식을 방지하고, 제1a패드(311a)와 절연막들 간의 들뜸을 방지하여 패드 신뢰성을 개선하는 역할을 한다. The 1a protective layer 331a is formed to cover the 1a pad 311a exposed through the 1a opening 321a and a portion of the interlayer insulating layer 105 . The first a protective layer 331a serves to prevent corrosion of the first a pad 311a and to prevent the first a pad 311a from floating between the insulating layers to improve pad reliability.

한편, 상술한 연결부(333a)는 제1a보호층(331a)과 일체로 형성될 수 있다. 이에 따라, 연결부(333a)는 제1팬 아웃 배선(210) 상에 배치된 제2게이트 절연막(123) 및 층간 절연막(105)에 형성된 컨택홀(323a)을 통해 제1팬 아웃 배선(210)과 제1a보호층(331a)을 연결한다. 제1a보호층(331a)은 제1a패드(311a)와 직접 접촉한다. 제1a보호층(331a)은 상술한 도전성 물질로 이루어져 있으므로 결과적으로 제1a패드(311a)는 제1팬 아웃 배선(210)과 전기적으로 연결될 수 있다. Meanwhile, the above-described connection portion 333a may be integrally formed with the 1a protective layer 331a. Accordingly, the connection part 333a is connected to the first fan-out wiring 210 through the contact hole 323a formed in the second gate insulating layer 123 and the interlayer insulating layer 105 disposed on the first fan-out wiring 210 . and the 1a protective layer 331a are connected. The 1a protective layer 331a is in direct contact with the 1a pad 311a. Since the 1a protective layer 331a is made of the aforementioned conductive material, as a result, the 1a pad 311a may be electrically connected to the first fan-out wiring 210 .

다음으로 도 8 및 도 10을 참조하면, 제2a패드(312a)는 제1a패드(311a)와 동일하게 제2게이트 절연막(123) 상에 형성된다. 제2팬 아웃 배선(220) 또한 제2게이트 절연막(123) 상에 형성되므로, 제2a패드(312a)와 제2팬 아웃 배선(220)은 일체로 형성될 수 있다. 제2a패드(312a)와 제2팬 아웃 배선(220) 상에는 층간 절연막(105)이 형성된다. 제2a패드(312a)는 드라이버 IC(미도시)와 접촉되어야 하므로, 제2a패드(312a) 상에 형성된 층간 절연막(105)에는 제2a개구(322a)가 형성되어 제2a패드(312a)를 노출한다. Next, referring to FIGS. 8 and 10 , the second a pad 312a is formed on the second gate insulating layer 123 in the same manner as the first a pad 311a. Since the second fan-out wiring 220 is also formed on the second gate insulating layer 123 , the second a pad 312a and the second fan-out wiring 220 may be integrally formed. An interlayer insulating layer 105 is formed on the second a pad 312a and the second fan-out wiring 220 . Since the second a pad 312a must be in contact with a driver IC (not shown), a second a opening 322a is formed in the interlayer insulating film 105 formed on the second a pad 312a to expose the second a pad 312a. do.

제2a패드(312a)는 금속 물질로 형성될 수 있어 노출시 부식되거나 손상을 받기 쉽다. 따라서, 제2a개구(322a)에 의해 노출된 제2a패드(312a) 상에는 제2a보호층(332a)이 형성된다. The second a pad 312a may be formed of a metal material, and thus easily corroded or damaged when exposed. Accordingly, a 2a protective layer 332a is formed on the 2a pad 312a exposed by the 2a opening 322a.

제2a보호층(332a)은 제2a개구(322a)를 통해 노출된 제2a패드(312a)와 층간 절연막(105)의 일부를 덮도록 형성된다. 제2a보호층(332a)은 제2a패드(312a)의 부식을 방지하고, 제2a패드(312a)와 절연막들 간의 들뜸을 방지하여 패드 신뢰성을 개선하는 역할을 한다. The second a protective layer 332a is formed to cover a portion of the second a pad 312a exposed through the second a opening 322a and the interlayer insulating layer 105 . The second a protective layer 332a serves to prevent corrosion of the second a pad 312a, and to prevent lifting between the second a pad 312a and the insulating layers, thereby improving pad reliability.

본 발명의 다른 실시예의 경우도 이전 실시예와 동일하게 패드와 드라이버 IC의 본딩 신뢰성을 향상시키는 효과를 가진다.In the case of another embodiment of the present invention, similarly to the previous embodiment, the bonding reliability between the pad and the driver IC is improved.

한편, 제1보호층(331), 제1a보호층(331a), 제2보호층(332), 제2보호층(332a) 및 연결부(333, 333a)는 표시 영역(DA)에 데이터 배선(DL)을 형성할 때 동시에 형성될 수 있으며, 이에 따라 데이터 배선(DL)과 동일한 레이어(layer)에 동일한 물질로 형성될 수 있다. Meanwhile, the first passivation layer 331 , the 1a passivation layer 331a , the second passivation layer 332 , the second passivation layer 332a and the connection parts 333 and 333a are connected to the data line ( DL) may be formed at the same time, and accordingly, may be formed on the same layer as the data line DL and made of the same material.

한편, 본 발명의 도 6, 7, 9, 및 10에 도시된 제1 및 제2 보호층(331,332, 331a, 332a) 상에는 추가의 보호층이 더 형성될 수 있으며 이러한 추가의 보호층은 패드의 부식 방지를 위해 인듐틴옥사이드(indium tin oxide: ITO), 인듐징크옥사이드(indium zink oxide: IZO), 징크옥사이드(zink oxide: ZnO), 인듐옥사이드(indium oxide: In2O3), 인듐갈륨옥사이드(indium galium oxide: IGO), 및 알루미늄징크옥사이드(aluminium zink oxide: AZO)을 포함하는 그룹에서 선택된 투명 도전성 산화물로 형성할 수 있다. On the other hand, an additional protective layer may be further formed on the first and second protective layers 331, 332, 331a, 332a shown in FIGS. 6, 7, 9, and 10 of the present invention. To prevent corrosion, indium tin oxide (ITO), indium zink oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium oxide (In2O3), indium gallium oxide (indium gallium) oxide: IGO), and may be formed of a transparent conductive oxide selected from the group including aluminum zinc oxide (AZO).

한편, 도 5 내지 7, 도 9 및 도 10에는 도시되지 않았지만, 팬 아웃 배선들(210,220) 상에는 패시베이션층(도 2의 107)이 더 형성되어 표면을 평탄화하고, 하부의 배선들을 보호할 수 있다. 여기서 패시베이션층(도 2의 107)은 산화실리콘 또는 질화실리콘 같은 무기물을 포함하거나, 폴리이미드, 폴리아마이드, 아크릴 수지, 벤조사이클로부텐 및 페놀 수지로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 유기물을 포함할 수도 있다. Meanwhile, although not shown in FIGS. 5 to 7 , 9 and 10 , a passivation layer ( 107 in FIG. 2 ) is further formed on the fan-out wirings 210 and 220 to planarize the surface and protect the wirings below. . Here, the passivation layer (107 in FIG. 2) may include an inorganic material such as silicon oxide or silicon nitride, or may include one or more organic materials selected from the group consisting of polyimide, polyamide, acrylic resin, benzocyclobutene and phenol resin. .

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.Although the present invention has been described through preferred embodiments as described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible without departing from the concept and scope of the following claims. Those in the technical field to which it belongs will readily understand.

210,220: 팬 아웃 배선
310,320: 패드
210,220: fan out wiring
310,320: pad

Claims (13)

화상이 표시되는 표시 영역과 상기 표시 영역 주변의 비표시 영역을 포함하는 기판;
상기 기판 상에 배치된 버퍼층;
상기 버퍼층 상에 배치된 활성층;
상기 활성층 상에 배치된 제1 절연층;
상기 제1 절연층 상에 배치된 제1 금속층;
상기 제1 금속층 상에 배치된 제2 절연층;
상기 제2 절연층 상에 배치된 제2 금속층;
상기 제2 금속층 상에 배치된 제3 절연층;
상기 제3 절연층 상에 배치된 제3 금속층;
상기 제3 금속층 상에 배치되며, 제1 전극, 중간층, 및 제2 전극을 포함하는 표시 소자;
상기 비표시 영역에 배치되며, 상기 제1 금속층과 동일한 물질로 구비된 제1 배선;
상기 제1 배선과 상기 제2 절연층을 사이에 두고 배치된 제2 배선;
상기 제1 배선과 연결되는 제1 패드;
상기 제2 배선과 연결되는 제2 패드;
상기 제1 배선 및 상기 제2 배선은 제1 방향으로 연장되며, 상기 제1 배선은 상기 제2 배선과 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이웃하여 배치되고,
상기 제1 패드의 중심 및 상기 제2 패드의 중심은 서로 엇갈리게 배치된, 표시 장치.
a substrate including a display area on which an image is displayed and a non-display area around the display area;
a buffer layer disposed on the substrate;
an active layer disposed on the buffer layer;
a first insulating layer disposed on the active layer;
a first metal layer disposed on the first insulating layer;
a second insulating layer disposed on the first metal layer;
a second metal layer disposed on the second insulating layer;
a third insulating layer disposed on the second metal layer;
a third metal layer disposed on the third insulating layer;
a display device disposed on the third metal layer and including a first electrode, an intermediate layer, and a second electrode;
a first wiring disposed in the non-display area and made of the same material as the first metal layer;
a second wiring disposed with the first wiring and the second insulating layer interposed therebetween;
a first pad connected to the first wire;
a second pad connected to the second wire;
the first wiring and the second wiring extend in a first direction, and the first wiring is disposed adjacent to the second wiring in a second direction intersecting the first direction;
and a center of the first pad and a center of the second pad are alternately disposed.
제1항에 있어서,
상기 제1 패드 상에 배치되어, 상기 제1 패드와 전기적으로 연결되는 제1 보호층; 및
상기 제2 패드 상에 배치되어, 상기 제2 패드와 전기적으로 연결되는 제2 보호층;을 더 포함하는, 표시 장치.
According to claim 1,
a first protective layer disposed on the first pad and electrically connected to the first pad; and
and a second passivation layer disposed on the second pad and electrically connected to the second pad.
제2항에 있어서,
상기 제2 배선은 상기 제3 절연층에 구비된 제1 개구를 통해 상기 제2 보호층과 접속되는, 표시 장치.
3. The method of claim 2,
The second wiring is connected to the second passivation layer through a first opening provided in the third insulating layer.
제2항에 있어서,
상기 제1 보호층 및 상기 제2 보호층은 상기 제3 금속층과 동일한 재료로 구비된, 표시 장치.
3. The method of claim 2,
The first passivation layer and the second passivation layer are formed of the same material as the third metal layer.
제2항에 있어서,
상기 제1 보호층 및 상기 제2 보호층은 상기 제1 전극과 동일한 재료로 형성된, 표시 장치.
3. The method of claim 2,
The first passivation layer and the second passivation layer are formed of the same material as the first electrode.
제2항에 있어서,
상기 제3 절연층 상부에 배치되며, 상기 제2 배선과 상기 제2 패드를 연결하는 연결부;를 더 포함하고,
상기 제3 절연층은 상기 제2 배선과 상기 연결부를 연결하기 위한 컨택홀을 포함하며, 상기 연결부는 상기 제2 보호층과 일체로 구비된, 표시 장치.
3. The method of claim 2,
It is disposed on the third insulating layer, the connection portion connecting the second wire and the second pad; further comprising,
The third insulating layer includes a contact hole for connecting the second wire and the connection part, and the connection part is provided integrally with the second protective layer.
제1항에 있어서,
상기 제1 패드와 상기 제2 패드는 상기 제2 방향으로 오버랩되도록 배치된, 표시 장치.
According to claim 1,
and the first pad and the second pad are disposed to overlap in the second direction.
제1항에 있어서,
상기 제1 배선과 상기 제1 패드는 일체로 구비된, 표시 장치.
According to claim 1,
and the first wiring and the first pad are integrally provided.
제1항에 있어서,
상기 제1 배선 및 상기 제2 배선의 일단은 상기 표시 영역에 연결된, 표시 장치.
According to claim 1,
and one end of the first wire and the second wire are connected to the display area.
제1항에 있어서,
상기 제2 배선은 단면상 상기 제2 패드와 비중첩하는, 표시 장치.
According to claim 1,
and the second wiring does not overlap the second pad in cross-section.
제1항에 있어서,
상기 제1 배선 및 제2 배선은 복수로 구비되며,
상기 복수의 제1 배선 및 상기 복수의 제2 배선은 상기 제2 방향을 따라 교번적으로 배치되는, 표시 장치.
According to claim 1,
The first wiring and the second wiring are provided in plurality,
The plurality of first wirings and the plurality of second wirings are alternately disposed along the second direction.
제1항에 있어서,
상기 제1 패드 및 제2 패드는 복수로 구비되며,
상기 복수의 제1 패드 및 상기 복수의 제2 패드는 상기 제2 방향을 따라 교번적으로 배치되는, 표시 장치.
According to claim 1,
The first pad and the second pad are provided in plurality,
The plurality of first pads and the plurality of second pads are alternately disposed along the second direction.
제1항에 있어서,
상기 제1 패드의 중심과 상기 제2 패드의 중심은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 대해 엇갈리게 배치된, 표시 장치.


According to claim 1,
and a center of the first pad and a center of the second pad are alternately disposed with respect to the first direction and the second direction.


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