KR102265517B1 - Composite laser cutter with fiber laser and CO₂laser - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a laser cutter having a laser cutting head which includes: a lens tube having an optical lens for collecting and outputting a fiber laser beam and a gas inlet where an auxiliary gas for aiding in a laser cutting process is introduced; and a nozzle tube having a nozzle for outputting a laser beam formed on the lower end portion of the lens tube, wherein one side of the upper part of the nozzle tube is connected at a certain angle to a CO_2 laser tube for outputting a CO_2 laser beam osciliating in a CO_2 laser oscilliator (2) and the nozzle tube selectively outputs the CO_2 laser beam and the fiber laser beam to machine a metal plate. The composite laser cutter of the present invention has one laser cutter which includes a fiber laser and a CO_2 laser, thereby outputting the CO_2 laser beam to remove a protective film attached to the metal plate and then outputting the fiber laser beam to cut the metal plate.

Description

파이버 레이저와 CO₂레이저가 구비된 복합 레이저 커터{Composite laser cutter with fiber laser and CO₂laser}Composite laser cutter with fiber laser and CO₂laser

본 발명은 레이저 커터에 관한 것으로, 보다 상세하게 레이저 커터에 파이버 레이저(Fiber laser) 발진부와 CO₂레이저 발진부를 부가하고, 하나의 레이저 헤드를 통해 파이버 레이저와 CO₂레이저를 출력하는 구조를 구비하되, 파이버 레이저와 CO₂레이저를 선택적으로 각각 출력하여 사용할 수 있도록 하는 하나의 레이저 커터에 파이버 레이저와 CO₂레이저가 구비된 복합 레이저 커터에 관한 기술이다.The present invention relates to a laser cutter, and more particularly, having a structure in which a fiber laser oscillation unit and a CO₂ laser oscillation unit are added to the laser cutter, and a fiber laser and a CO₂ laser are output through one laser head, It is a technology related to a composite laser cutter equipped with a fiber laser and a CO2 laser in one laser cutter that selectively outputs and uses a laser and a CO2 laser.

일반적으로 파이버 레이저 가공장치의 파이버 레이저는 광섬유 케이블에 레이저 광을 전달하고 광섬유 내부에서 레이저 빔을 생성하는 것으로, 광섬유 케이블은 2층 클래드 구조를 갖는 이중클래드파이버(DCF)를 사용하고, 상기 클래드들 사이의 계면 상에서의 전반사에 의해 내측 클래드 내에서 빔을 한정하는 축방향으로 여기빔을 전파시키며, 이렇게 전파 시 빔이 코어를 여러 번 교차하도록 함으로써, 코어 내의 여기원소가 펌핑되도록 하고, 코어의 단면으로부터 축방향으로 소정의 파장을 갖는 파이버 레이저 빔 또는 발진 빔을 취하는 기술이 알려져 있다.In general, the fiber laser of a fiber laser processing apparatus transmits laser light to an optical fiber cable and generates a laser beam inside the optical fiber, and the optical fiber cable uses a double clad fiber (DCF) having a two-layer clad structure, and the clads are Propagation of the excitation beam in the axial direction defining the beam in the inner clad by total reflection on the interface between them, causing the beam to cross the core several times during propagation, so that the excitation element in the core is pumped, and the cross section of the core A technique of taking a fiber laser beam or an oscillation beam having a predetermined wavelength in the axial direction is known.

또한 일반적으로 CO₂레이저 가공장치는 CO₂레이저 유리 방전관에 낮은 압력의 혼합 기체(질소, 이산화 탄소, 헬륨)를 넣어 방전시키고, 이 때 발생되는 질소 분자의 진동에너지가 CO₂가스에 전달되어 진동하면서 발생되는 레이저를 사용하는 것으로, CO₂레이저 커팅장치가 널리 알려져 있다.In addition, in general, CO₂ laser processing equipment discharges a low-pressure mixed gas (nitrogen, carbon dioxide, helium) by putting a low-pressure mixed gas (nitrogen, carbon dioxide, helium) into a CO₂ laser glass discharge tube, and the vibration energy of nitrogen molecules generated at this time is transferred to the CO₂ gas and vibrates. By using a laser, a CO2 laser cutting device is widely known.

상기 파이버 레이저는 강력하고 빔이 가늘고 섬세하여 매우 작은 점이나 폭이 좁은 선에 초점을 맞추기 용이하고, 광섬유 내부에서 레이저 빔을 생성하기 때문에 구조가 단순하며, 광학장치 소요도 적어 간편하며 안정적이고, 반영구적인 장점이 있는 것으로 알려져 있다.The fiber laser is powerful and has a thin and delicate beam, so it is easy to focus on a very small point or a narrow line. Since the laser beam is generated inside the optical fiber, the structure is simple, and it requires less optical equipment, so it is simple and stable. It is known to have semi-permanent advantages.

그러나 파이버 레이저 커터를 이용한 강재 가공 작업 중에서, 표면 처리된 강판재 또는 스테인레스 판재 등은 표면 스크래치를 방지하고 표면을 보호하기 위하여 일반적으로 보호용 비닐을 접착하고 있는데, 파이버 레이저는 일반적인 보호비닐 절단이 어렵기 때문에 보호비닐을 제거한 다음 가공작업을 실시하여야 하는 문제가 발생되고 있다.However, in the steel processing operation using a fiber laser cutter, surface-treated steel or stainless steel plates are generally adhered with protective vinyl to prevent surface scratches and protect the surface, but fiber lasers are difficult to cut in general protective vinyl. Therefore, there is a problem in that the protective vinyl must be removed and then the processing operation must be performed.

이러한 문제를 해소하기 위한 강판재에 파이버 레이저 가공용 특수 보호필름을 부착하고 있으나, 현재 시중에 공급되고 있는 특수 보호필름은 일반 보호필름보다 가격이 비싸고, 또한 레이저 가공용 특수 보호필름은 단지 0.1mm~5m 폭에 해당하는 파이버 레이저 가공 부위에만 필요한 것이어서, 면적이 넓은 강판재의 경우 파이버 레이저 가공시 보호필름 제거 공정이 더 필요하지만 저가의 일반 보호필름을 부착하고 파이버 레이저 가공시 보호필름을 제거하고 사용하는 것이 경제적으로 유리함에 따라 특수 보호필름이 널리 사용되지 않고 있다.To solve this problem, a special protective film for fiber laser processing is attached to the steel plate, but the special protective film currently on the market is more expensive than general protective film, and the special protective film for laser processing is only 0.1mm~5m Since it is only necessary for the fiber laser processing area corresponding to the width, in the case of a large steel sheet, the protective film removal process is more necessary during fiber laser processing, but it is recommended to attach a low-cost general protective film and remove the protective film for fiber laser processing. As it is economically advantageous, special protective films are not widely used.

한편, 복합 레이저 가공장치에 관한 종래기술로서 한국 등록특허공보 제10-0661262호 TFT-LCD 기판의 제작방법이 공지되어 있는데, 이는 편광필름이 부착된 TFT-LCD 모기판을 절단할 때 편광필름 만을 절단하고 이어서 스크라이빙 라인을 형성하거나, 편광필름 절단과 스크라이빙 라인을 동시에 형성하는 커팅방법이 나타나 있다.On the other hand, as a prior art related to a complex laser processing apparatus, there is known a method for manufacturing a TFT-LCD substrate in Korea Patent Publication No. 10-0661262, which only uses a polarizing film when cutting a TFT-LCD mother substrate to which a polarizing film is attached. A cutting method of cutting and then forming a scribing line, or cutting a polarizing film and forming a scribing line at the same time is shown.

상기 종래기술에서 하나의 복합레이저빔으로 편광필름을 절단하고 스크라이빙을 동시에 형성하는 기술은 도 1에 도시한 바와 같이, UV레이저를 사용하는 복합레이저빔 조사장치(400)를 통해 복합레이저빔을 조사하여 편광필름(30)을 녹여서 기화시키고, 이보다 아래에 위치하는 CF(20)에 스크라이빙 라인을 형성하는 것으로, 편광 필름커팅 레이저빔은 CO₂레이저이고, 스크라이빙 레이저빔은 UV 레이저이다.In the prior art, the technique of cutting the polarizing film with one composite laser beam and forming the scribing at the same time as shown in FIG. 1 is a composite laser beam through a composite laser beam irradiation device 400 using a UV laser. The polarizing film 30 is melted and vaporized by irradiating it, and a scribing line is formed on the CF 20 positioned below it. The polarizing film cutting laser beam is a CO₂ laser, and the scribing laser beam is a UV laser. to be.

상기 복합레이저 빔 관련 기술은 복합레이저 빔이 조사되는 레이저 헤드는 일반적으로 알려진 기술이라고 할 수 없음에도 이에 대한 구체적인 구성이 나타나 있지 않고, 설사 하나의 헤드를 통해 CO₂레이저와 UV 레이저를 각각 출력하는 것으로 가정할 경우, CO₂와 UV는 그 파장이 상이하므로 각각에 적합한 광학기기를 구비하여야 하므로 구조가 복잡하고 비용이 과다하게 소요되는 문제가 있다.As for the complex laser beam-related technology, although the laser head to which the complex laser beam is irradiated cannot be said to be a generally known technology, a specific configuration thereof is not shown, and even if it is a single head, it outputs a CO₂ laser and a UV laser, respectively. If it is assumed, since the wavelengths of CO₂ and UV are different, it is necessary to have an optical device suitable for each, so there is a problem in that the structure is complicated and the cost is excessive.

그리고 상기 종래기술에서 편광필름을 절단하고 스크라이빙하는 작업을 동시에 수행하는 기술은 도 2에 도시한 바와 같이, CO₂레이저를 사용하는 필름커팅 레이저빔 조사장치(300)와 UV 레이저를 사용하는 스크라이빙 레이저빔 조사장치(100)를 통해 편광필름을 절단하고 스크라이빙 작업을 수행하는 것으로, 필름커팅 레이저빔 조사장치(300)에 의해 편광필름(30)을 절단 예정선을 따라 끝까지 절단하고, 그 이후에 상기 스크라이빙 레이저빔 조사장치(100)을 이용하여 절단예정선을 따라 스크라이빙 라인을 형성할 수 있는 기술이다.And as shown in FIG. 2, the technique of simultaneously cutting and scribing the polarizing film in the prior art is a film cutting laser beam irradiation device 300 using a CO₂ laser and a switch using a UV laser. The polarizing film is cut through the scribing laser beam irradiation device 100 and the scribing operation is performed, and the polarizing film 30 is cut to the end along the cut line by the film cutting laser beam irradiation device 300, and , and thereafter, by using the scribing laser beam irradiation device 100, it is a technology capable of forming a scribing line along the line to be cut.

상술한 바와 같이, 상기 종래기술은 TFT-LCD 모기판 표면에 부착된 편광필름을 절단한 다음, 편광필름 절단선을 따라 스크라이빙 레이저 빔을 조사하여 스크라이빙 라인을 형성하도록, 하나의 CNC 등 수치제어공작기계에 2개의 레이저 빔 출력장치를 설치하는 것이어서, 레이저 빔 출력장치 구조가 복잡하고, 레이저 빔 출력장치 제조 비용이 배가되는 문제가 있다.As described above, the prior art cuts the polarizing film attached to the surface of the TFT-LCD mother substrate and then irradiates a scribing laser beam along the cutting line of the polarizing film to form a scribing line, one CNC Since two laser beam output devices are installed in a numerical control machine tool, such as, the structure of the laser beam output device is complicated and the manufacturing cost of the laser beam output device is doubled.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 금속판재를 가공하는 레이저 커터에 있어서, 하나의 레이저 커터에 파이버 레이저 장치와 CO₂레이저 장치를 구비하고 파이버 레이저와 CO₂레이저를 선택적으로 출력하여, 금속판재의 표면에 부착되는 표면 보호용 비닐 제거 작업과 금속판재 가공 작업을 수행 할 수 있는 파이버 레이저와 CO₂레이저가 구비된 복합 레이저 커터를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is to solve the above problems, in a laser cutter for processing a metal plate, a fiber laser device and a CO₂ laser device are provided in one laser cutter, and the fiber laser and the CO₂ laser are selectively output, and the metal plate material An object of the present invention is to provide a composite laser cutter equipped with a fiber laser and a CO2 laser that can perform the plastic removal operation for surface protection attached to the surface of the metal plate and the processing operation of the metal plate.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 레이저 커터에 있어서, 상기 레이저 커터에 구비되는 레이저 커팅헤드는 파이버 레이저 빔을 집광하여 출력하는 광학렌즈와 레이저 커팅 작업 보조용 보조가스를 투입하는 가스투입구를 구비하는 렌즈관(6)을 형성하고, 상기 렌즈관의 하단부에 레이저 빔 출력용 노즐(7)이 형성되는 노즐관(8)을 형성하며, 상기 노즐관(8)의 상부 일측에는 CO₂레이저 발진부(2)에 발진된 CO₂레이저 빔을 출력하는 CO₂레이저관(12)을 일정각도로 연결하고, CO₂레이저 빔과 파이버 레이저 빔을 선택적으로 출력하여 금속판재를 가공하되, CO₂레이저 빔을 출력하여 금속판재에 부착되는 보호필름을 제거하고, 파이버 레이저 빔을 출력하여 보호필름이 제거된 부분의 금속판재를 커팅할 수 있도록 하나의 레이저 커터에 파이버 레이저와 CO₂레이저가 구비된 복합 레이저 커터를 제공하도록 한다.In order to achieve the above object, in the present invention, in a laser cutter, the laser cutting head provided in the laser cutter includes an optical lens for condensing and outputting a fiber laser beam and a gas inlet for injecting auxiliary gas for laser cutting operation. A lens tube 6 having a lens tube is formed, and a nozzle tube 8 in which a nozzle 7 for laser beam output is formed is formed at the lower end of the lens tube, and a CO₂ laser oscillation unit ( 2) Connect the CO₂ laser tube 12 that outputs the oscillated CO₂ laser beam at a certain angle, selectively output the CO₂ laser beam and the fiber laser beam to process the metal plate, but output the CO₂ laser beam to produce the metal plate A composite laser cutter equipped with a fiber laser and a CO₂ laser is provided in one laser cutter to remove the protective film attached to the surface and output a fiber laser beam to cut the metal plate where the protective film has been removed.

상기 노즐관(8)과 CO₂레이저관(12)이 연결되는 부위의 CO₂레이저관(12)에는 CO₂ 레이저관을 개폐하는 개폐판(13)을 설치하고, 상기 노즐관(8)의 CO₂레이저관(12)이 연결되는 연결 부위 내부에는 CO₂레이저관(12)을 통해 출력되는 집속된 CO₂레이저 빔의 방향을 노즐(7) 측으로 가이드하여 금속판재의 표면에 부착되는 보호필름의 상면으로 출력하는 컴바이너미러(15)를 설치하도록 한다.An opening/closing plate 13 for opening and closing the CO2 laser tube is installed in the CO2 laser tube 12 in the region where the nozzle tube 8 and the CO2 laser tube 12 are connected, and the CO2 laser tube of the nozzle tube 8 is Inside the connection part where (12) is connected, the direction of the focused CO₂ laser beam output through the CO₂ laser tube 12 is guided toward the nozzle (7) and outputted to the upper surface of the protective film attached to the surface of the metal plate. A binar mirror (15) is to be installed.

상기 컴바이너미러(15)는 파이버 레이저의 진행방향에 지장을 주지 않도록 노즐관(8)의 길이방향 중심선 일측에 설치하되, 컴바이너미러의 상단에 상기 노즐관(8)에 회전 가능하게 회전축(16)을 설치하고, 상기 회전축의 하부에 CO₂레이저 빔을 입력받아 상기 노즐(7)로 방향을 변경하여 출력하는 미러(17)를 형성하며, 상기 회전축(16)은 일측단에 회전축을 일정각도로 왕복 회전시키는 구동체(18)를 설치하도록 한다.The combiner mirror 15 is installed on one side of the longitudinal centerline of the nozzle tube 8 so as not to interfere with the progress direction of the fiber laser, and is rotatable on the nozzle tube 8 at the upper end of the combiner mirror. A rotating shaft 16 is installed, and a mirror 17 that receives a CO₂ laser beam as input and outputs it by changing the direction to the nozzle 7 is formed at the lower portion of the rotating shaft, and the rotating shaft 16 has a rotating shaft at one end A driving body 18 that reciprocates at a certain angle is installed.

본 발명은 하나의 레이저 커터를 통해 파이버 레이저 빔과 CO₂레이저 빔을 선택적으로 출력하여, CO₂레이저 빔에 의해 금속판재에 부착되는 보호필름을 커팅하고, 파이버 레이저 빔에 의해 보호필름이 제거된 부분의 금속판재를 커팅할 수 있는 효과가 발생된다.The present invention selectively outputs a fiber laser beam and a CO₂ laser beam through one laser cutter, cuts the protective film attached to the metal plate by the CO₂ laser beam, and cuts the protective film on the part from which the protective film is removed by the fiber laser beam. The effect of cutting a metal plate is generated.

또한 본 발명은 파이버 레이저 커터에 CO₂레이저를 결합하고, CO₂레이저를 금속판재의 보호용 필름 제거용으로만 사용함으로써, 레이저 커터의 수명을 연장하고, 유지보수가 용이하며, 전력 소비를 감소시켜 레이저 커터의 효율성과 경제성을 향상시키는 효과가 발생된다.In addition, the present invention combines a CO₂ laser with a fiber laser cutter and uses the CO₂ laser only for removing the protective film of a metal plate, thereby extending the life of the laser cutter, making maintenance easier, and reducing power consumption. The effect of improving the efficiency and economic feasibility of

또한 본 발명은 파이버 레이저 커터에서 CO₂레이저를 통해 일반적인 금속판재 보호용 필름을 제거할 수 있어, 고가의 파이버 레이저 커터용 필름 대신 저가의 일반 필름을 부착한 강판재를 사용할 수 있는 효과가 발생된다.In addition, the present invention can remove a general metal plate protective film through a CO₂ laser in the fiber laser cutter, so that a low-cost general film-attached steel plate can be used instead of an expensive fiber laser cutter film.

도 1, 2는 종래기술은 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 레이저 커터헤드의 파이버 레이저 빔 출력 상태를 개념적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 레이저 커터헤드의 CO₂레이저 빔 출력 상태를 개념적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 컴바이너 미러 구성을 도시한 도면이다.1 and 2 are diagrams illustrating the prior art.
3 is a diagram conceptually illustrating an output state of a fiber laser beam of a laser cutter head according to the present invention.
4 is a diagram conceptually illustrating the output state of the CO₂ laser beam of the laser cutter head according to the present invention.
5 is a view showing the configuration of the combiner mirror according to the present invention.

본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지의 균등범위의 형태를 포함하는 것이므로, 그 범위를 아래의 실시예로 한정하여 해석할 수 없는 것이다.A preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the embodiment of the present invention includes the form of various equivalent ranges, the scope cannot be construed as being limited to the following examples.

이하에서 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 금속판재 가공용 파이버 레이저를 출력하는 파이버 레이저 장치와 금속판재의 표면에 부착되는 보호필름을 제거하는 CO₂레이저 장치를 하나의 레이저 커터에 구비하여 복합 기능을 가지는 레이저 커터를 형성하는 것이다.The present invention is to form a laser cutter having a complex function by providing a fiber laser device for outputting a fiber laser for processing a metal plate and a CO₂ laser device for removing a protective film attached to the surface of a metal plate in one laser cutter.

상기 레이저 커터는 도 3에 도시한 바와 같이, 파이버 레이저를 발진시켜 파이버 레이저 빔을 생성하는 파이버 레이저 발진부(1)와; CO₂레이저를 발진시켜 CO₂레이저 빔생성하는 CO₂레이저 발진부(2)와; 생성된 파이버 레이저 빔 또는 CO₂레이저 빔을 선택적으로 집광 출력하는 커팅헤드(3)를 포함하여 형성한다.As shown in FIG. 3, the laser cutter includes: a fiber laser oscillation unit 1 for generating a fiber laser beam by oscillating a fiber laser; a CO2 laser oscillation unit 2 for generating a CO2 laser beam by oscillating a CO2 laser; It is formed by including a cutting head 3 that selectively condenses and outputs the generated fiber laser beam or CO2 laser beam.

상기 파이버 레이저 발진부(1)는 펌프 다이오드 레이저(Pump Diode Laser), 이터븀 엑티브 파이버(Ytterbium Active Fiber), FBG(Fiber Bragg Grating)로 구성되고, 상기 펌프 다이오드 레이저는 파이버의 클래드를 통해 전반사하면서 파이버 코어에 흡수되며, 흡수된 빔은 빛을 방출하고 거울 역할을 하는 FBG에 의해 방출된 빔이 증폭되어 레이저가 발산되는 일반적으로 알려진 구조를 채용한다.The fiber laser oscillator 1 is composed of a pump diode laser, a ytterbium active fiber, and a fiber bragg grating (FBG), and the pump diode laser is totally reflected through the clad of the fiber while being totally reflected through the fiber. Absorbed by the core, the absorbed beam emits light and employs a generally known structure in which the emitted beam is amplified by the FBG, which acts as a mirror, to emit a laser.

상기 CO₂레이저 발진부(2)는 유리관으로 이루어지는 레이저 튜브에 He, Ne 등의 보조가스와 혼합한 CO₂가스를 충전하고 전압을 가하여 방전을 통해 레이저광을 발생시키는 일반적으로 알려진 구조의 밀폐형 레이저 발진부를 채용한다.The CO₂ laser oscillation unit 2 is a closed type laser oscillation unit having a generally known structure that generates laser light through discharging by charging a CO₂ gas mixed with an auxiliary gas such as He or Ne in a laser tube made of a glass tube and applying a voltage. do.

상기 파이버 레이저 발진부(1)는 도 3에 도시한 바와 같이, 파이버 레이저 빔을 발진 생성하는 파이버(4)와 생성된 레이저 빔을 출력하는 콜리메이팅 유니트(Collimating uniit, 5)를 결합하여 형성한다.As shown in FIG. 3 , the fiber laser oscillation unit 1 is formed by combining a fiber 4 that oscillates a fiber laser beam and a collimating unit 5 that outputs the generated laser beam.

상기 콜리메이팅 유니트(5)는 상기 커팅헤드(4)와 연결하되, 상기 커팅헤드는 콜리메이팅 유니트로부터 출력되는 파이버 레이저 빔을 집광하여 출력하는 광학렌즈와 레이저 커팅 작업 보조용 보조가스가 투입되는 가스투입구를 구비하는 렌즈관(6)을 형성하고, 상기 렌즈관의 하단부에 레이저 빔을 출력하는 노즐(7)이 형성되는 노즐관(8)을 형성한다.The collimating unit 5 is connected to the cutting head 4, and the cutting head condenses the fiber laser beam output from the collimating unit and outputs an optical lens and an auxiliary gas for laser cutting operation. A lens tube 6 having an inlet is formed, and a nozzle tube 8 in which a nozzle 7 for outputting a laser beam is formed is formed at the lower end of the lens tube.

상기 렌즈관(6)에 구비되는 광학렌즈는 상기 콜리메이팅 유니트(5)로부터 출력되는 파이버 레이저 빔을 집속하여 가장 작은 빔의 직경으로 수렴하는 포커싱렌즈(9)를 콜리메이팅 유니트의 하단부로부터 일정거리 하향 이격된 곳에 설치한다.The optical lens provided in the lens tube 6 focuses the fiber laser beam output from the collimating unit 5 and converges the focusing lens 9 to the smallest diameter of the beam at a predetermined distance from the lower end of the collimating unit. Install in a spaced down place.

그리고 상기 렌즈관(6)의 포커싱렌즈(9) 하단부로부터 일정거리 하향 이격된 곳에는 파이버(4)와 콜리메이트 유니트(5) 및 포커싱렌즈(9)를 보호하는 프로텍팅렌즈(10)를 설치하고, 상기 렌즈관(6)의 프로텍팅렌즈(10) 하부 측에는 레이저 커팅 작업을 보조하는 가스 투입용 보조가스투입구(11)를 형성한다.And a protecting lens 10 for protecting the fiber 4, the collimating unit 5, and the focusing lens 9 is installed in a place downwardly spaced from the lower end of the focusing lens 9 of the lens tube 6 by a predetermined distance. And, on the lower side of the protecting lens 10 of the lens tube 6, an auxiliary gas inlet 11 for gas input to assist the laser cutting operation is formed.

상기 노즐관(8)의 상부 일측에는 상기 CO₂레이저 발진부(2)에서 발진된 CO₂레이저 빔을 출력하는 CO₂레이저관(12)을 일정각도로 연결하여 형성한다. A CO2 laser tube 12 for outputting the CO2 laser beam oscillated from the CO2 laser oscillation unit 2 is connected to one side of the upper part of the nozzle tube 8 and formed by connecting at a predetermined angle.

상기 노즐관(8)과 CO₂레이저관(12)이 연결되는 부위의 CO₂레이저관(12)에는 CO₂레이저관을 개폐하는 개폐판(13)을 설치하고, CO₂레이저관(12)의 내부 일정 위치에는 CO₂레이저 빔을 집속하는 CO₂포커싱렌즈(14)를 설치한다.An opening/closing plate 13 for opening and closing the CO2 laser tube is installed in the CO2 laser tube 12 in the region where the nozzle tube 8 and the CO₂ laser tube 12 are connected, and a predetermined position inside the CO₂ laser tube 12 A CO2 focusing lens 14 for focusing the CO2 laser beam is installed on the .

또한 상기 노즐관(8)의 CO₂레이저관(12)이 연결되는 연결 부위 내부에는 CO₂레이저관(12)을 통해 출력되는 집속된 CO₂레이저 빔의 방향을 상기 노즐(7) 측으로 가이드하여 금속판재의 표면에 부착되는 보호필름의 상면으로 출력하는 컴바이너 미러(15)를 설치한다.In addition, inside the connection portion where the CO₂ laser tube 12 of the nozzle tube 8 is connected, the direction of the focused CO₂ laser beam output through the CO₂ laser tube 12 is guided toward the nozzle 7 to form the metal plate. Install the combiner mirror 15 that outputs to the upper surface of the protective film attached to the surface.

상기 컴바이너 미러(15)는 도 5에 도시한 바와 같이, 파이버 레이저의 진행방향에 지장을 주지 않도록 노즐관(8)의 길이방향 중심선 일측에 설치하되, 컴바이너 미러의 상단에 상기 노즐관(8)에 회전 가능하게 회전축(16)으로 설치하고, 상기 회전축의 하부에 CO₂레이저 빔을 입력받아 상기 노즐(7)로 방향을 변경하여 출력하는 미러(17)를 형성한다. As shown in FIG. 5, the combiner mirror 15 is installed on one side of the longitudinal centerline of the nozzle tube 8 so as not to interfere with the progress direction of the fiber laser, and the nozzle is located on the upper end of the combiner mirror. A mirror 17 is formed that is rotatably installed in the tube 8 as a rotating shaft 16, and receives a CO2 laser beam as an input at the lower portion of the rotating shaft and changes the direction to the nozzle 7 and outputs it.

상기 컴바이너 미러의 미러(17)는 노즐관(8) 내부에서 일정각도로 회전이 가능하도록 미러(17)의 단부 측 외주를 좁혀서 형성하고, 상기 회전축(16)은 일측단에 회전축을 일정각도로 왕복 회동시키는 모터 또는 액추에이터 등의 구동체(18)를 장착한다.The mirror 17 of the combiner mirror is formed by narrowing the outer periphery of the end side of the mirror 17 so that it can be rotated at a predetermined angle inside the nozzle tube 8, and the rotation shaft 16 has a rotation axis at one end at a constant level. A driving body 18 such as a motor or actuator for reciprocating at an angle is mounted.

이어서 본 발명에 따른 파이버 레이저와 CO₂레이저를 하나의 레이저 커터에 결합한 하나의 레이저 커터에서 파이버 레이저 빔과 CO₂레이저 빔을 선택적으로 출력하고 사용하는 상태를 설명한다.Next, a state in which a fiber laser beam and a CO2 laser beam are selectively output and used in one laser cutter combining a fiber laser and a CO2 laser according to the present invention to one laser cutter will be described.

먼저 금속재 커팅 작업시 금속재 표면에 부착된 보호용 필름 제거작업을 수행하기 위하여 파이버 레이저 발진부(1)와 CO₂레이저 발진부(2)를 구비한 하나의 복합 레이저 커터에서, 파이버 레이저 발진부를 OFF 시킨 상태에서 CO₂레이저 발진부(2)를 구동시켜 CO₂레이저를 발진시킨다.First, in one composite laser cutter equipped with a fiber laser oscillation unit (1) and a CO₂ laser oscillation unit (2) to remove a protective film attached to the surface of a metal material during metal material cutting operation, with the The laser oscillation unit 2 is driven to oscillate the CO2 laser.

이처럼 파이버 레이저 발진부를 OFF 시킨 상태에서 CO₂레이저 발진부를 구동시키면, 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 CO₂레이저관(12)의 일측 단부를 개폐하는 개폐판(13)이 구동장치(미도시)에 의해 열림 측으로 구동되어 CO₂레이저관을 개방한다.When the CO₂ laser oscillation unit is driven in the state that the fiber laser oscillation unit is turned off in this way, as shown in FIG. 4 , the opening/closing plate 13 for opening and closing one end of the CO₂ laser tube 12 is attached to the driving device (not shown). It is driven to the open side by means of a CO2 laser tube.

그리고 상기 노즐관(8)에 설치된 컴바이너 미러(15)의 구동체(18)가 구동되어 회전축(16)을 회전시키고 이에 따라 미러(17)가 노즐관(8) 내에서 일정각도 회전하여 "열림" 위치로 이동한다. And the driving body 18 of the combiner mirror 15 installed in the nozzle tube 8 is driven to rotate the rotation shaft 16, and accordingly the mirror 17 rotates at a certain angle in the nozzle tube 8, Move to the "open" position.

이어서 CO₂레이저 발진부에서 CO₂레이저 빔이 출력되면, CO₂레이저 빔은 CO₂레이저관(12)의 CO₂포커스렌즈(14)를 통해 집속되고, 집속된 CO₂레이저 빔은 상기 컴바이너 미러(15)를 향하여 진행한다.Then, when the CO2 laser beam is output from the CO2 laser oscillator, the CO2 laser beam is focused through the CO2 focus lens 14 of the CO2 laser tube 12, and the focused CO2 laser beam is directed toward the combiner mirror 15. proceed

상기 컴바이너 미러(15)를 향해 진행된 CO₂레이저 빔은 컴바이너 미러(15)의 전환된 회전 각에 따라 진행방향을 상기 노즐(7) 측으로 전환하여 노즐관(8)의 하단부 노즐(7)을 통해 출력되고, 출력되는 CO₂레이저 빔에 의해 금속판재의 표면에 부착된 보호필름을 제거하는 작업이 수행된다.The CO2 laser beam, which has progressed toward the combiner mirror 15, changes the traveling direction toward the nozzle 7 according to the converted rotation angle of the combiner mirror 15, and the lower end nozzle 7 of the nozzle tube 8 ), and the outputted CO₂ laser beam removes the protective film attached to the surface of the metal plate.

상기 CO₂레이저 빔에 의해 금속판재의 표면에 부착된 보호필름의 제거가 완료가 확인되면, CO₂레이저 발진부(2)를 OFF 시키고, 금속판재 커팅을 위해 파이버 레이저 발진부(1)를 구동시킨다.When the removal of the protective film attached to the surface of the metal plate is confirmed by the CO₂ laser beam, the CO₂ laser oscillation unit 2 is turned off, and the fiber laser oscillation unit 1 is driven for cutting the metal plate.

상기 파이버 레이저 발진부(1)가 구동되면, 상기 컴바이너 미러(15)의 회전체(17)가 역방향으로 작동되어 미러(17)가 “닫힘" 위치로 회전하고, CO₂레이저관(12)의 개폐판(13) 구동장치에 의해 개폐판(13)이 이동되어 CO₂레이저관(12)을 폐쇄한다.When the fiber laser oscillation unit 1 is driven, the rotating body 17 of the combiner mirror 15 is operated in the reverse direction to rotate the mirror 17 to the “closed” position, and the CO₂ laser tube 12 The opening/closing plate 13 is moved by the opening/closing plate 13 driving device to close the CO₂ laser tube 12 .

그리고 파이버 레이저 발진부에서 파이버 레이저 빔이 출력되고, 출력되는 파이버 레이저 빔은 상기 포커싱렌즈(9)를 통해 집속되며 노즐관(8)을 통해 노즐(7)로 출력되어 금속재의 커팅 작업을 수행할 수 있게 된다.In addition, a fiber laser beam is output from the fiber laser oscillation unit, and the output fiber laser beam is focused through the focusing lens 9 and is outputted to the nozzle 7 through the nozzle tube 8 to perform cutting of metal materials. there will be

한편, 표면 보호용 필름이 부착되지 않은 금속판재는 파이버 레이저 발진부 구동을 통해 커팅을 포함하는 가공작업이 가능하다.On the other hand, the metal plate material to which the surface protection film is not attached can be processed including cutting by driving the fiber laser oscillation unit.

상술한 바와 같이, 본 발명은 하나의 레이저 커터에 파이버 레이저 발진부와 CO₂레이저 발진부를 구비하고, 파이버 레이저 빔과 CO₂레이저 빔을 선택적으로 출력하여, CO₂레이저 빔에 의해 금속판재에 부착되는 보호필름을 제거하고 파이버 레이저 빔에 의해 보호필름이 제거된 부분의 금속판재를 커팅할 수 있는 효과가 발생된다.As described above, the present invention includes a fiber laser oscillation unit and a CO₂ laser oscillation unit in one laser cutter, selectively outputs a fiber laser beam and a CO₂ laser beam, and a protective film attached to a metal plate by the CO₂ laser beam. The effect of being able to cut the metal plate material in the portion where the protective film has been removed by the fiber laser beam is generated.

또한 본 발명은 파이버 레이저 커터에 CO₂레이저를 결합하고, CO₂레이저를 금속판재의 보호용 필름 제거용으로만 사용하여, 레이저 커터를 파이버 레이저의 수명에 상당하는 반영구적 사용이 가능하고, 유지보수가 용이하며, 소비전력이 낮아 레이저 커터의 효율성과 경제성을 향상시키는 효과가 발생된다.In addition, the present invention combines a CO₂ laser with a fiber laser cutter, and uses the CO₂ laser only for removing the protective film of a metal plate, so that the laser cutter can be used semi-permanently equivalent to the life of the fiber laser, and maintenance is easy. , the effect of improving the efficiency and economic feasibility of the laser cutter is generated due to low power consumption.

또한 본 발명은 파이버 레이저 커터에 CO₂레이저를 결합하고, CO₂레이저를 통해 일반적인 금속판재 보호용 필름을 제거할 수 있어, 고가의 파이버 레이저 커터용 필름 대신 저가의 일반 필름을 부착한 강판재를 사용할 수 있는 효과가 발생된다.In addition, the present invention combines a CO₂ laser with a fiber laser cutter and can remove a general metal plate protection film through the CO₂ laser, so that a low-cost general film-attached steel plate can be used instead of an expensive fiber laser cutter film. effect occurs.

1 : 파이버 레이저 발진부 2 : CO₂레이저 발진부
3 : 레이저 커팅헤드 4 : 파이버
5 : 콜리메이팅 유니트 6 : 렌즈관
7 : 노즐 8 : 노즐관
9 : 포커싱렌즈 10 : 프러텍팅렌즈
11 : 보조가스투입구 12 : CO₂레이저관
13 : 개폐판 14 : CO₂포커싱렌즈
15 : 컴바이너 미러 16 : 회전축
17 : 미러 18 : 구동체1: Fiber laser oscillation unit 2: CO₂ laser oscillation unit
3: laser cutting head 4: fiber
5: collimating unit 6: lens tube
7: Nozzle 8: Nozzle tube
9: focusing lens 10: protecting lens
11: Auxiliary gas inlet 12: CO₂ laser tube
13: opening/closing plate 14: CO₂ focusing lens
15: combiner mirror 16: rotation axis
17: mirror 18: driving body

Claims (3)

레이저 커터에 있어서,
상기 레이저 커터에 구비되는 레이저 커팅헤드는 파이버 레이저 빔을 집광하여 출력하는 광학렌즈와 레이저 커팅 작업 보조용 보조가스를 투입하는 가스투입구를 구비하는 렌즈관(6)을 형성하고, 상기 렌즈관의 하단부에 레이저 빔 출력용 노즐(7)이 형성되는 노즐관(8)을 형성하며,
상기 노즐관(8)의 상부 일측에는 CO₂레이저 발진부(2)에서 발진된 CO₂레이저 빔을 출력하는 CO₂레이저관(12)을 일정각도로 연결하고,
CO₂레이저 빔과 파이버 레이저 빔을 선택적으로 출력하여 금속판재를 가공하되,
CO₂레이저 빔을 출력하여 금속판재에 부착되는 보호필름을 제거하고, 파이버 레이저 빔을 출력하여 보호필름이 제거된 부분의 금속판재를 커팅할 수 있도록, 하나의 레이저 커터에 파이버 레이저와 CO₂레이저를 구비하는 복합 레이저 커터를 형성하되,
상기 노즐관(8)과 CO₂레이저관(12)이 연결되는 부위의 CO₂레이저관(12)에는 CO₂레이저관을 개폐하는 개폐판(13)을 설치하고,
상기 노즐관(8)의 CO₂레이저관(12)이 연결되는 연결 부위 내부에는 CO₂레이저관(12)을 통해 출력되는 집속된 CO2 레이저 빔의 방향을 노즐(7) 측으로 가이드하여 금속판재의 표면에 부착되는 보호필름의 상면으로 출력하는 컴바이너 미러(15)를 설치하는 것을 특징으로 하는 파이버 레이저와 CO₂레이저가 결합된 복합 레이저 커터.In the laser cutter,
The laser cutting head provided in the laser cutter forms a lens tube 6 having an optical lens for condensing and outputting a fiber laser beam and a gas inlet for injecting an auxiliary gas for assisting laser cutting, the lower end of the lens tube to form a nozzle tube 8 in which a nozzle 7 for outputting a laser beam is formed,
A CO2 laser tube 12 for outputting the CO2 laser beam oscillated from the CO2 laser oscillation unit 2 is connected at an angle to one upper side of the nozzle tube 8,
Process metal plate by selectively outputting CO₂ laser beam and fiber laser beam,
One laser cutter is equipped with a fiber laser and a CO₂ laser to remove the protective film attached to the metal plate by outputting a CO₂ laser beam and output a fiber laser beam to cut the metal plate where the protective film has been removed. However, to form a composite laser cutter that
An opening/closing plate 13 for opening and closing the CO₂ laser tube is installed in the CO₂ laser tube 12 in the region where the nozzle tube 8 and the CO₂ laser tube 12 are connected,
Inside the connection portion where the CO₂ laser tube 12 of the nozzle tube 8 is connected, the direction of the focused CO 2 laser beam output through the CO₂ laser tube 12 is guided toward the nozzle 7 to the surface of the metal plate. A composite laser cutter in which a fiber laser and a CO₂ laser are combined, characterized in that a combiner mirror (15) is installed to output to the upper surface of the protective film attached to the . 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 컴바이너 미러(15)는 파이버 레이저의 진행방향에 지장을 주지 않도록 노즐관(8)의 길이방향 중심선 일측에 설치하되,
컴바이너 미러의 상단에 상기 노즐관(8)에 회전 가능하게 회전축(16)을 설치하고, 상기 회전축의 하부에 CO₂레이저 빔을 입력받아 상기 노즐(7)로 방향을 변경하여 출력하는 미러(17)를 형성하며,
상기 회전축(16)은 일측단에 회전축을 일정각도로 왕복 회전시키는 구동체(18)를 설치하는 것을 특징으로 하는 파이버 레이저와 CO₂레이저가 결합된 복합 레이저 커터.According to claim 1,
The combiner mirror 15 is installed on one side of the longitudinal centerline of the nozzle tube 8 so as not to interfere with the progress direction of the fiber laser,
A mirror that rotatably installs a rotating shaft 16 on the nozzle tube 8 at the upper end of the combiner mirror, receives a CO₂ laser beam from the lower portion of the rotating shaft, changes the direction to the nozzle 7, and outputs it ( 17) is formed,
The fiber laser and the CO₂ laser combined laser cutter, characterized in that the rotating shaft (16) is provided with a driving body (18) for reciprocating the rotating shaft at a predetermined angle at one end.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114101929A (en) * 2021-12-08 2022-03-01 广东洛克智能科技设备有限公司 Laser cutting process and device for aluminum-based circuit board
KR20230025129A (en) * 2021-08-13 2023-02-21 한국원자력연구원 Laser cutting monitroing method and device using a spectrometer

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140062518A (en) * 2011-10-17 2014-05-23 가부시끼가이샤 도시바 Laser irradiation device and method for diagnosing integrity of laser irradiation head
KR20200091871A (en) * 2017-12-07 2020-07-31 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 Cutting method and manufacturing method of laminated film

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140062518A (en) * 2011-10-17 2014-05-23 가부시끼가이샤 도시바 Laser irradiation device and method for diagnosing integrity of laser irradiation head
KR20200091871A (en) * 2017-12-07 2020-07-31 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 Cutting method and manufacturing method of laminated film

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230025129A (en) * 2021-08-13 2023-02-21 한국원자력연구원 Laser cutting monitroing method and device using a spectrometer
KR102592154B1 (en) * 2021-08-13 2023-10-23 한국원자력연구원 Laser cutting monitroing method and device using a spectrometer
CN114101929A (en) * 2021-12-08 2022-03-01 广东洛克智能科技设备有限公司 Laser cutting process and device for aluminum-based circuit board
CN114101929B (en) * 2021-12-08 2024-02-27 广东洛克智能科技设备有限公司 Aluminum-based circuit board laser cutting equipment

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