KR102263648B1 - 자기장 커 효과 측정 장치 - Google Patents

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KR102263648B1
KR102263648B1 KR1020190170510A KR20190170510A KR102263648B1 KR 102263648 B1 KR102263648 B1 KR 102263648B1 KR 1020190170510 A KR1020190170510 A KR 1020190170510A KR 20190170510 A KR20190170510 A KR 20190170510A KR 102263648 B1 KR102263648 B1 KR 102263648B1
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이기석
강명환
이수석
김남규
한희성
정대한
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울산과학기술원
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/032—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect
    • G01R33/0325—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect using the Kerr effect

Abstract

일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치는, 시편에 대하여 자기장을 형성하고 상기 시편에 대하여 광을 조사하며 상기 시편에 의해 반사된 광을 감지하는 측정부, 상기 시편에 대한 입사광과 반사광 사이에 생겨나는 변화를 분석하는 분석부 및 상기 측정부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하고, 선택적으로 상기 시편에 대한 피-모크(P-Moke, Polar Moke), 엘-모크(L-Moke, Longitudinal Moke) 또는 티-모크(T-Moke, Transverse Moke)를 측정함으로써 상기 시편에 대한 자기광 커 효과(Magneto-optic Kerr effect)를 분석할 수 있다.

Description

자기장 커 효과 측정 장치{A DEVIECE FOR MEASURING MAGNETO-OPTIC KERR EFFECT}
아래의 실시예들은 자기장 커 효과 측정 장치에 관한 것이다.
광자기 커 회전각과 타원율을 빛의 파장을 바꾸어 가면서 측정할 수 있는 광자기 커 분광기(magneto-optical Kerr spectrometer)와 광학적 특성을 측정할 수 있는 분광 타원 해석기(spectroscopic ellipsometer)의 기능을 동시에 갖춘 광자기ㆍ타원 분광기가 존재한다.
광자기 커 효과란 제1 자성체에서 반사된 빛이 자화된 시료의 영향으로 그 편광 상태가 변하는 현상을 의미한다. 이때, 일반적으로 선 편광된 빛이 타원 편광되었을 경우 편광축이 회전한 각도를 커 회전각이라 하고 타원의 장축과 단축의 비의 구형 탄젠트(arc tangent)가 타원율이다.
이러한 광자기 커 효과란 시료의 스핀 편극된 띠 구조에 기인하여 스핀이 양의 방향으로 정렬된 전자들과 음의 방향으로 정렬된 전자들의 빛에 대한 반응이 달라지기 때문에 생기는 물리적 현상이다. 이러한 효과를 이해하기 위해서는 시료의 유전율 텐서에 대한 측정이 필요하다.
광자기 커 효과(Kerr effect)를 제대로 연구하기 위해서는 광자기 커 효과(Kerr effect)와 타원율을 측정할 수 있는 광자기 커 분광기와 복소 굴절률을 측정할 수 있는 분광 타원 해석기가 반드시 필요하다.
먼저, 광자기 커 효과(Kerr effect)를 측정하는 장비들을 살펴보면 가장 기본적인 방법으로 직교 편광자 방법이 있는데, 이 방법의 장점은 장치가 간단하다는 것이다. 그러나 정확성이 떨어지고, 타원율의 측정이 곤란하므로, 현재는 많이 사용되고 있는 방법은 아니다.
또 다른 방법으로 패러데이 셀(Faraday Cell)을 이용하는 방법과 회전 검광자를 이용하는 방법이 있으나, 이 방법들 모두는 타원율을 측정하기 위해서는 각파장에 적합한 λ/4 판이나 솔레일-바비넷 보정기(Soleil-Babinet compensator)를 각 파장에 맞게 조절할 필요가 있다. 따라서 커회전각과 타원율을 한꺼번에 측정할 수 있는 광 탄성 변조기(PEM : photoelastic modulator)를 이용한 위상 변조 방식의 커 분광기가 이 응용에는 가장 적합하다고 할 수 있다.
또, 광학적 성질을 나타내는 분광 타원 해석기의 경우도 가장 보편화된 방법으로는 회전 검광자/편광자 방법이 있다. 또 다른 방식으로는 광 탄성 변조기(photoelastic modulator)를 이용한 위상변조 방식의 분광 타원 해석기가 있는데, 이 경우는 빠른 분석 속도로 인해 최근 실시간 측정에 있어서 많은 각광을 받고 있는 방법이다.
따라서, 앞에서 지적한 바와 같이 광자기 효과의 연구를 위해서는 광자기 커 분광기와 분광 타원 해석기가 반드시 필요하다. 그러나, 두 가지 장비를 각각 독립적으로 제작하거나 구입하여야 함으로써, 그 비용 부담이 매우 크다는 문제점이 발생되었다.
예를 들어, 한국공개특허 KR 2013-0061640 에는 '결정 구조를 이용한 자기광 커 효과의 증폭 방법, 자기광 커 효과가 증폭된 광결정, 및 광결정의 제조방법'에 대하여 개시되어 있다.
일 실시예에 따른 목적은 간단하고 저렴한 자기장 커 효과 측정 장치를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 목적은 하나의 장비를 이용하여 시편에 대한 피-모크(P-Moke, Polar Moke), 엘-모크(L-Moke, Longitudinal Moke) 및 티-모크(T-Moke, Transverse Moke)를 측정할 수 있는 자기장 커 효과 측정 장치를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 목적은 강한 자기장을 시편 주위에 형성할 수 있는 자기장 커 효과 측정 장치를 제공하는 것이다.
일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치는, 시편에 대하여 자기장을 형성하고 상기 시편에 대하여 광을 조사하며 상기 시편에 의해 반사된 광을 감지하는 측정부, 상기 시편에 대한 입사광과 반사광 사이에 생겨나는 변화를 분석하는 분석부 및 상기 측정부의 작동을 제어하는 제어부를 포함하고, 선택적으로 상기 시편에 대한 피-모크(P-Moke, Polar Moke), 엘-모크(L-Moke, Longitudinal Moke) 또는 티-모크(T-Moke, Transverse Moke)를 측정함으로써 상기 시편에 대한 자기광 커 효과(Magneto-optic Kerr effect)를 분석할 수 있다.
이 때, 상기 측정부는, 상기 시편에 대하여 광을 조사하는 광원, 상기 시편을 지지하는 홀더, 상기 시편에서 반사된 광을 감지하는 디텍터 및 상기 시편 주위에 자기장을 형성하는 자기장 형성 부재를 포함하고, 상기 자기장 형성 부재는 상기 시편의 표면과 수직한 방향으로 자기장을 형성하거나 상기 시편의 표면과 평행한 방향으로 자기장을 형성할 수 있다.
상기 자기장 형성 부재는, 사각형 형상을 형성하는 프레임, 상기 프레임의 양측을 따라 이동가능한 제1 이동요소, 상기 제1 이동요소 상에 배치되어 상기 제1 이동요소의 상에서 이동될 수 있는 제1 연결요소 및 상기 제1 연결요소에 탈부착될 수 있으며 자기장을 형성하는 제1 자성체를 포함할 수 있다.
상기 자기장 형성 부재는, 상기 제1 연결요소에 일단이 열결되고 상기 프레임의 상측으로 연장되는 제2 이동요소 및 상기 제2 이동요소 상에 배치되어 상기 제2 이동요소의 상에서 이동될 수 있는 제2 연결요소를 더 포함할 수 있으며, 상기 제1 자성체는 상기 제2 연결요소에 탈부착될 수 있다.
상기 제1 이동요소, 제1 연결요소, 제2 이동요소 또는 제2 연결요소는 각각 모터를 포함하고, 상기 제어부에 의하여 상기 제1 이동요소, 제1 연결요소, 제2 이동요소 또는 제2 연결요소의 이동이 각각 자동적으로 제어될 수 있다.
아울러, 상기 측정부는, 상기 광원과 상기 홀더 사이에 배치되는 편광기 및 상기 홀더와 상기 디텍터 사이에 배치되는 분광기를 더 포함할 수 있다.
이 때, 상기 홀더 및 상기 제1 자성체는 상기 프레임의 내측에 배치되고, 상기 광원, 상기 편광기, 상기 분광기 및 상기 디텍터는 상기 프레임의 외측에 배치될 수 있다.
또한, 상기 자기장 형성 부재는, 상기 프레임 상에 또는 상기 프레임의 내측에 배치될 수 있는 제3 이동요소, 상기 제3 이동요소 상에 배치되어 상기 제3 이동요소의 상에서 이동될 수 있는 제3 연결요소 및 상기 제3 연결요소에 탈부착될 수 있으며 자기장을 형성하는 제2 자성체를 더 포함할 수 있다.
아울러, 상기 제1 자성체는 복수 개의 자성요소로 구성되고, 각각의 자성요소는 N극과 S극이 서로 교차하는 구조로 형성되며, 서로 마주하는 제1 자성요소의 일단과 제2 자성요소의 일단은 서로 동일한 극성으로 배치될 수 있다.
뿐만 아니라, 상기 제2 자성체는 상기 제1 자성체 주위에 배치되며, 상기 제1 자성체와 인접하여 배치되는 제2 자성체의 일단은 인접한 제1 자성체의 부분의 극성과 반대되는 극성을 가질 수 있다.
일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치는 간단하고 저렴한 구조를 지닐수 있다.
일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치는 하나의 장비를 이용하여 시편에 대한 피-모크(P-Moke, Polar Moke), 엘-모크(L-Moke, Longitudinal Moke) 및 티-모크(T-Moke, Transverse Moke)를 측정할 수 있다.
일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치는 강한 자기장을 시편 주위에 형성할 수 있다.
도1 내지 도3은 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치를 나타낸다.
도4 및 도5는 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치의 자기장 형성 부재를 나타낸다.
도6 및 도7은 일 실시예에 따른 제2 자성체를 포함한 자기장 형성 부재를 나타낸다.
도8은 일 실시예에 따른 제1 자성체 및 제2 자성체의 배치를 나타낸다.
도9은 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치를 이용하여 시편에 대한 피-모크를 측정하는 상태를 나타낸다.
도10는 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치를 이용하여 시편에 대한 엘-모크를 측정하는 상태를 나타낸다.
도11은 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치를 이용하여 시편에 대한 티-모크를 측정하는 상태를 나타낸다.
이하, 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 이하의 설명은 실시예들의 여러 태양(aspects) 중 하나이며, 하기의 기술(description)은 실시예에 대한 상세한 기술(detailed description)의 일부를 이룬다.
다만, 일 실시예를 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
또한, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도1 내지 도3은 은 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치를 나타내며, 도4 및 도5는 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치의 자기장 형성 부재를 나타낸다. 도6및 도7은 일 실시예에 따른 제2 자성체를 포함한 자기장 형성 부재를 나타내며, 도8은 일 실시예에 따른 제1 자성체 및 제2 자성체의 배치를 나타낸다. 도9은 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치를 이용하여 시편에 대한 피-모크를 측정하는 상태를 나타내고, 도10은 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치를 이용하여 시편에 대한 엘-모크를 측정하는 상태를 나타낸다. 도11은 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치를 이용하여 시편에 대한 티-모크를 측정하는 상태를 나타낸다.
도1 내지 도3을 참조하면, 일 실시예에 따른 자기장 커 효과 측정 장치는 시편에 대하여 자기장을 형성하고 시편에 대하여 광을 조사하며 시편에 의해 반사된 광을 감지하는 측정부(100), 시편에 대한 입사광과 반사광 사이에 생겨나는 변화를 분석하는 분석부(200) 및 측정부의 작동을 제어하는 제어부(300)를 포함할 수 있다. 이 때, 상기 자기장 커 효과 측정 장치는 선택적으로 시편에 대한 피-모크(P-Moke, Polar Moke), 엘-모크(L-Moke, Longitudinal Moke) 또는 티-모크(T-Moke, Transverse Moke)를 측정함으로써 시편에 대한 자기광 커 효과(Magneto-optic Kerr effect)를 분석할 수 있다.
즉, 도1과 같은 구조로 측정부가 배치됨으로써 시편의 표면과 수직한 방향으로 자기장을 형성하여 시편에 대한 피-모크를 측정할 수 있으며, 이와 달리, 도2와 같은 구조로 측정부가 배치됨으로써 시편의 표면과 평행한 방향으로 자기장을 형성하여 시편에 대한 엘-모크를 측정할 수 있으며, 도3과 같은 구조로 측정부가 배치됨으로써 시편의 표면과 평행한 방향으로 자기장을 형성하여 시편에 대한 티-모크를 측정할 수 있다.
보다 구체적으로, 측정부(100)는, 시편에 대하여 광을 조사하는 광원(110), 시편을 지지하는 홀더(120), 시편에서 반사된 광을 감지하는 디텍터(130) 및 시편 주위에 자기장을 형성하는 자기장 형성 부재(140), 광원(110)과 홀더(120) 사이에 배치되는 편광기(150) 및 홀더(120)와 디텍터(130) 사이에 배치되는 분광기(160)를 포함할 수 있다.
이 때, 후술할 홀더(120) 및 제1 자성체(144)는 후술할 프레임(141)의 내측에 배치되고, 광원, 편광기, 분광기 및 디텍터는 프레임의 외측에 배치될 수 있다.
도4를 참조하면, 자기장 형성 부재(140)는 사각형 형상을 형성하는 프레임(141), 프레임의 양측을 따라 이동가능한 제1 이동요소(142), 제1 이동요소 상에 배치되어 제1 이동요소의 상에서 이동될 수 있는 제1 연결요소(143) 및 제1 연결요소에 탈부착될 수 있으며 자기장을 형성하는 제1 자성체(144)를 포함할 수 있다.
이 때, 제1 이동요소 및 제1 연결요소는 각각 모터를 포함하고, 제어부에 의하여 제1 이동요소 및 제1 연결요소의 이동이 각각 자동적으로 제어될 수 있으며, 상기 모터는 일 예로서 스텝 모터로 구성될 수 있다.
이와 같은 구조에서, 제1 이동요소 또는 제1 연결요소의 이동에 따라 제1 자성체(144)는 프레임(141)의 내측에서 그 위치를 변화시킬 수 있다. 즉, 제1 이동요소(142)는 프레임의 양측을 따라 전방 또는 후방으로 이동될 수 있으며, 제1 연결요소(143)는 제1 이동요소 상에서 좌측 또는 우측으로 이동할 수 있음에 따라, 상기 제1 연결요소에 부착된 제1 자성체(144)는 상기 프레임 상에서 전방, 후방, 좌측 또는 우측으로 자유롭게 그 위치가 변화될 수 있다. 즉, 제1 자성체(144)의 위치는 2차원적으로 변화될 수 있다.
그에 따라, 시편의 표면에 대하여 수직한 방향으로 자기장을 형성할 수 있으며, 상기 시편에 대한 피-모크를 측정할 수 있다.
또한, 도5를 참조하면, 자기장 형성 부재(140)는, 제1 연결요소(143)에 일단이 열결되고 프레임의 상측으로 연장되는 제2 이동요소(145) 및 제2 이동요소 상에 배치되어 제2 이동요소의 상에서 이동될 수 있는 제2 연결요소(146)를 더 포함할 수 있으며, 이 경우, 제1 자성체(144)는 제1 연결요소(143)에서 탈착된 상태이며 제2 연결요소에 부착된 상태이다.
이 때, 제2 이동요소 및 제2 연결요소는 각각 모터를 포함하고, 제어부에 의하여 제2 이동요소 및 제2 연결요소의 이동은 각각 자동적으로 제어될 수 있으며, 상기 모터는 일 예로서 스텝 모터로 구성될 수 있다.
이와 같은 구조에서, 제2 이동요소 또는 제2 연결요소의 이동에 따라 제1 자성체(144)는 프레임(141)의 내측에서 그 위치를 변화시킬 수 있다. 즉, 제2 이동요소(145)는 제1 연결요소의 움직임에 의하여 제1 이동요소 상에서 좌측 또는 우측으로 이동할 수 있으며, 제2 연결요소(146)는 제2 이동요소 상에서 상측 또는 하측으로 이동할 수 있음에 따라, 제2 연결요소에 부착된 제1 자성체(144)는 상기 프레임 상에서 전방, 후방, 좌측, 우측, 상측 또는 하측으로 자유롭게 그 위치가 변화될 수 있다. 즉, 제1 자성체(144)의 위치는 3차원적으로 변화될 수 있다.
그에 따라, 시편의 표면에 대하여 평행한 방향으로 자기장을 형성할 수 있으며, 상기 시편에 대한 티-모크를 측정할 수 있다.
또한, 도6및 도7을 참조하면, 자기장 형성 부재(140)는, 프레임 상에 또는 프레임의 내측에 배치될 수 있는 제3 이동요소(147), 제3 이동요소 상에 배치되어 제3 이동요소의 상에서 이동될 수 있는 제3 연결요소(148) 및 제3 연결요소에 탈부착될 수 있으며 자기장을 형성하는 제2 자성체(149)를 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 시편의 표면에 대하여 수직의 방향으로 자기장을 형성하고자 할 경우, 도6과 같이 제3 이동요소(147)는 프레임 상에 배치되고, 제2 자성체(149)는 프레임의 전방 또는 후방으로 이동될 수 있다.
반면, 시편의 표면에 대하여 평행한 방향으로 자기장을 형성하고자 할 경우, 도7과 같이 제3 이동요소(147)의 일단은 프레임의 내측의 바닥면에 배치되고, 제2 자성체(149)는 상측 또는 하측으로 이동될 수 있다.
도8을 참조하면, 제1 자성체(144)는 복수 개의 자성요소(1441, 1442)로 구성되고, 각각의 자성요소는 N극과 S극이 서로 교차하는 구조로 형성될 수 있다. 서로 마주하는 제1 자성요소(1441)의 일단과 제2 자성요소(1442)의 일단은 서로 동일한 극성으로 배치될 수 있다. 일 예로서 제1 자성요소(1441)의 일단에는 S극이 배치되고, 제2 자성요소(1442)의 일단에도 S극이 배치되어 동일한 극성의 단부들이 서로 마주볼 수 있다.
또한, 이 때 보다 강한 자기장을 형성하기 위하여, 제2 자성체(149)가 제1 자성체(144) 주위에 배치될 수 있다. 이 때, 제1 자성체와 인접하여 배치되는 제2 자성체의 일단은 인접한 제1 자성체의 부분의 극성과 반대되는 극성을 가질 수 있다. 일 예로서, 위에서 설명한 바와 같이 제1 자성요소(1441)의 일단에는 S극이 배치되고 제2 자성요소(1442)의 일단에도 S극이 배치되어 이들이 마주 보고 있는 경우, 이 부분들에 인접한 제2 자성체(149)의 일단은 N극으로 형성될 수 있다.
도9를 참조하면, 시편의 표면에 대하여 수직의 방향으로 자기장이 형성된 상태를 확인할 수 있다. 이 경우, 시편의 자화된 방향(M)은 광(L)이 입사하고 반사되는 평면에 평행한 상태이며 시편의 표면에 대하여는 수직한 방향을 의미한다. 즉, 시편에 대한 피-모크(P-Moke, Polar Moke)를 측정할 수 있다.
도10을 참조하면, 시편에 대한 시편에 대하여 평행한 방향으로 자기장이 형성된 상태를 확인할 수 있다. 이 경우, 시편의 자화된 방향(M)은 광(L)이 입사하고 반사되는 평면에 평행한 상태일 뿐만 아니라 시편의 표면에 대해서도 팽형한 방향을 의미한다. 이 때, 자화된 방향(M)은 광(L)이 진행되는 방향과 동일한 방향이다. 즉, 시편에 대한 엘-모크(L-Moke, Longitudinal Moke)를 측정할 수 있다.
도11을 참조하면, 시편에 대하여 평행한 방향으로 자기장이 형성된 상태를 확인할 수 있다. 이 경우, 시편의 자화된 방향(M)은 광(L)이 입사하고 반사되는 평면에 평행한 상태일 뿐만 아니라 시편의 표면에 대해서도 팽형한 방향을 의미한다. 이 때, 자화된 방향(M)은 광(L)이 진행되는 방향과 직교되는 방향이다. 즉, 시편에 대한 티-모크(T-Moke, Transverse Moke)를 측정할 수 있다.
이와 같은 구조를 지니는 자기장 커 효과 측정 장치는 간단하고 저렴한 구조를 지닐수 있으며, 하나의 장비를 이용하여 시편에 대한 피-모크(P-Moke, Polar Moke), 엘-모크(L-Moke, Longitudinal Moke) 또는 티-모크(T-Moke, Transverse Moke)를 측정할 수 있다. 뿐만 아니라, 강한 자기장을 시편 주위에 형성할 수 있다. 그에 따라, 기타 다른 광학 장비의 위치를 고정시킨 상태에서 측정 모드의 변경이 용이할 수 있다.
이상과 같이 실시예에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 실시예가 설명되었으나 이는 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것이다. 또한, 본 발명이 상술한 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 그러므로, 본 발명의 사상은 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100 : 측정부
200 : 분석부
300 : 제어부

Claims (10)

  1. 시편에 대하여 자기장을 형성하고 상기 시편에 대하여 광을 조사하며 상기 시편에 의해 반사된 광을 감지하는 측정부;
    상기 시편에 대한 입사광과 반사광 사이에 생겨나는 변화를 분석하는 분석부; 및
    상기 측정부의 작동을 제어하는 제어부;
    를 포함하고,
    선택적으로 상기 시편에 대한 피-모크(P-Moke, Polar Moke), 엘-모크(L-Moke, Longitudinal Moke) 또는 티-모크(T-Moke, Transverse Moke)를 측정함으로써, 상기 시편에 대한 자기광 커 효과(Magneto-optic Kerr effect)를 분석할 수 있으며,
    상기 측정부는,
    상기 시편에 대하여 광을 조사하는 광원;
    상기 시편을 지지하는 홀더;
    상기 시편에서 반사된 광을 감지하는 디텍터; 및
    상기 시편 주위에 자기장을 형성하는 자기장 형성 부재;
    를 포함하고,
    상기 자기장 형성 부재는,
    상기 시편의 표면과 수직한 방향으로 자기장을 형성하거나, 상기 시편의 표면과 평행한 방향으로 자기장을 형성할 수 있고,
    상기 자기장 형성 부재는,
    사각형 형상을 형성하는 프레임;
    상기 프레임의 양측을 따라 이동가능한 제1 이동요소;
    상기 제1 이동요소 상에 배치되어 상기 제1 이동요소의 상에서 이동될 수 있는 제1 연결요소;
    상기 제1 연결요소에 일단이 열결되고 상기 프레임의 상측으로 연장되는 제2 이동요소;
    상기 제2 이동요소 상에 배치되어 상기 제2 이동요소의 상에서 이동될 수 있는 제2 연결요소; 및
    상기 제2 연결요소에 탈부착될 수 있으며 자기장을 형성하는 제1 자성체;
    를 포함하고,
    상기 제1 자성체가 상기 프레임 상에서 전방, 후방, 좌측 또는 우측으로 이동되어 상기 제1 자성체의 위치가 2차원적으로 변화되는 경우, 상기 시편의 표면에 대하여 수직한 방향으로 자기장을 형성하여 상기 시편에 대한 피-모크를 측정할 수 있으며,
    상기 제1 자성체가 상기 프레임 상에서 전방, 후방, 좌측, 우측, 상측 또는 하측으로 이동되어 상기 제1 자성체의 위치가 3차원적으로 변화되는 경우, 상기 시편의 표면에 대하여 평행한 방향으로 자기장을 형성하여 상기 시편에 대한 엘-모크 또는 티-모크를 측정할 수 있는,
    자기장 커 효과 측정 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 이동요소, 제1 연결요소, 제2 이동요소, 제2 연결요소는 각각 모터를 포함하고,
    상기 제어부에 의하여 상기 제1 이동요소, 제1 연결요소, 제2 이동요소, 제2 연결요소의 이동이 각각 자동적으로 제어될 수 있는,
    자기장 커 효과 측정 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 측정부는,
    상기 광원과 상기 홀더 사이에 배치되는 편광기; 및
    상기 홀더와 상기 디텍터 사이에 배치되는 분광기;
    를 더 포함하는,
    자기장 커 효과 측정 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 홀더 및 상기 제1 자성체는 상기 프레임의 내측에 배치되고,
    상기 광원, 상기 편광기, 상기 분광기 및 상기 디텍터는 상기 프레임의 외측에 배치되는,
    자기장 커 효과 측정 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 자기장 형성 부재는,
    상기 프레임 상에 또는 상기 프레임의 내측에 배치될 수 있는 제3 이동요소;
    상기 제3 이동요소 상에 배치되어 상기 제3 이동요소의 상에서 이동될 수 있는 제3 연결요소; 및
    상기 제3 연결요소에 탈부착될 수 있으며 자기장을 형성하는 제2 자성체;
    를 더 포함하는,
    자기장 커 효과 측정 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 자성체는 복수 개의 자성요소로 구성되고,
    각각의 자성요소는 N극과 S극이 서로 교차하는 구조로 형성되며,
    서로 마주하는 제1 자성요소의 일단과 제2 자성요소의 일단은 서로 동일한 극성으로 배치될 수 있는,
    자기장 커 효과 측정 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2 자성체는 상기 제1 자성체 주위에 배치되며,
    상기 제1 자성체와 인접하여 배치되는 제2 자성체의 일단은 인접한 제1 자성체의 부분의 극성과 반대되는 극성을 가지는,
    자기장 커 효과 측정 장치.
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