KR102257055B1 - Smart vision alignment system and smart vision alignment method using thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 비전 얼라인먼트(Vision Alignment) 시스템 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 반도체 및 디스플레이 설비에서 비전 얼라인먼트를 수행시 카메라(Camera)의 위치나 스테이지(Stage)의 위치를 변경할 때마다 캘리브레이션(Calibration)을 다시 하고 그 결과를 관리해야만 하는 불편함이 있었던 종래기술의 문제점을 해결하기 위해, 카메라를 통해 얻어진 이미지로부터 카메라와 스테이지의 최초 위치를 각각 산출하고, 스테이지의 위치를 변경하여 다시 변경된 카메라와 스테이지의 위치를 각각 산출하며, 산출된 각각의 위치에 근거하여 카메라와 스테이지의 위치를 계산하는 과정을 반복 수행하면서 카메라와 스테이지의 위치값 분포를 측정하는 것에 의해 해당 정렬시스템에서의 위치값 변화에 따른 최적의 비전 캘리브레이션 값을 결정하는 처리가 수행되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a vision alignment system and method, and more particularly, calibration whenever a position of a camera or a position of a stage is changed when performing vision alignment in semiconductor and display facilities ( In order to solve the problem of the prior art, which had to perform calibration again and manage the result, the initial position of the camera and the stage were calculated from the image obtained through the camera, respectively, and the camera changed again by changing the position of the stage. The position value changes in the alignment system by measuring the distribution of the position values of the camera and the stage while repeating the process of calculating the position of the camera and the stage based on each calculated position and calculating the position of the and stage respectively. The present invention relates to a smart vision alignment system and a smart vision alignment method using the same.
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최근, 반도체나 디스플레이 등의 제조장치 및 생산설비에 있어서, 기존에 사람이 직접 눈으로 보고 불량 여부를 판단하던 것을 대신하여, 예를 들면, 머신 비전(Machine Vision) 등과 같이, 카메라를 통해 촬영된 영상을 분석하여 불량 여부를 자동으로 판단하도록 구성되는 비전 시스템이 널리 이용되고 있다. In recent years, in manufacturing devices and production facilities such as semiconductors and displays, instead of determining whether or not a defect has been determined by human eyes, for example, machine vision, etc., photographed through a camera. A vision system configured to automatically determine whether there is a defect by analyzing an image is widely used.
이러한 비전 시스템은, 장치 및 생산설비의 정확성을 높이고 제품의 불량률을 낮추는 동시에 생산성을 높이기 위하여 매우 효과적이나, 그러한 효과를 얻기 위하여는 카메라와 스테이지(stage)를 정확한 위치에 정렬(align)하고 이동시에도 지정된 위치에 정확히 도달하도록 하기 위해 비전 얼라인먼트(Vision Alignment) 및 캘리브레이션(calibration) 작업이 필수적으로 선행되어야 한다. Such a vision system is very effective in increasing the accuracy of equipment and production facilities, lowering the defect rate of products, and increasing productivity, but in order to obtain such an effect, align the camera and stage in the correct position and even when moving. In order to accurately reach the designated position, the vision alignment and calibration work must be preceded.
여기서, 상기한 바와 같은 머신 비전 및 비전 얼라인먼트에 관한 종래기술의 예로는, 예를 들면, 한국 공개특허공보 제10-2020-0125397호에 제시된 바와 같은 "얼라인먼트 장치, 성막 장치, 얼라인먼트 방법, 성막 방법 및 전자 디바이스의 제조 방법"이 있다. Here, examples of the prior art related to machine vision and vision alignment as described above are, for example, "alignment apparatus, film formation apparatus, alignment method, film formation method, as disclosed in Korean Patent Application Laid-Open No. 10-2020-0125397. And a method of manufacturing an electronic device.
더 상세하게는, 상기한 한국 공개특허공보 제10-2020-0125397호는 기판과 마스크의 위치맞춤을 행하는 얼라인먼트 장치로서, 기판지지수단, 기판지지수단에 지지된 기판을 병진 또는 회전시키는 얼라인먼트 스테이지, 얼라인먼트 스테이지를 구동하는 제어부, 기판 얼라인먼트 마크를 검출하여 위치정보를 취득하는 위치취득 수단을 포함하여 이루어지고, 이때, 제어부는, 스테이지 중심위치를 중심으로 하여 얼라인먼트 스테이지를 회전시키면서 위치취득수단에 의해 기판 얼라인먼트 마크의 위치정보를 복수회 취득하고, 복수의 위치정보에 기초하여 스테이지 중심위치의 정보를 취득하며, 기판의 중심인 기판 중심위치가 스테이지 중심위치를 지나는 얼라인먼트 스테이지의 회전축상에 오도록 기판을 기판지지수단에 대하여 이동시키는 것에 의해, 성막장치에서 얼라인먼트 스테이지를 이용하여 기판과 마스크를 얼라인먼트할 때의 얼라인먼트 정밀도를 향상시킬 수 있도록 구성되는 얼라인먼트 장치 및 방법과, 이를 이용한 성막장치 및 방법에 관한 것이다. In more detail, Korean Patent Application Laid-Open No. 10-2020-0125397 is an alignment device for aligning a substrate and a mask, comprising: a substrate support means, an alignment stage for translating or rotating a substrate supported by the substrate support means, It comprises a control unit for driving the alignment stage, and a position acquisition means for acquiring position information by detecting the substrate alignment mark. At this time, the control unit rotates the alignment stage around the center position of the stage, while the position acquisition unit rotates the substrate by the position acquisition unit. The substrate is placed so that the position information of the alignment mark is acquired a plurality of times, the center position of the stage is acquired based on the plurality of position information, and the central position of the substrate, which is the center of the substrate, is on the axis of rotation of the alignment stage passing through the center position of the stage. The present invention relates to an alignment apparatus and method configured to improve alignment accuracy when a substrate and a mask are aligned using an alignment stage in a film forming apparatus by moving relative to the support means, and a film forming apparatus and method using the same.
또한, 상기한 바와 같은 머신 비전 및 비전 얼라인먼트에 관한 종래기술의 다른 예로는, 예를 들면, 한국 공개특허공보 제10-2019-0063839호에 제시된 바와 같은 "제조공정에서 딥러닝을 활용한 머신비전 기반 품질검사 방법 및 시스템"이 있다. In addition, another example of the prior art related to machine vision and vision alignment as described above is, for example, "Machine Vision Using Deep Learning in the Manufacturing Process" as disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2019-0063839. Based quality inspection method and system".
더 상세하게는, 상기한 한국 공개특허공보 제10-2020-0125397호는, 학습용 제품영상을 생성하고, 생성된 학습용 제품영상으로 양품과 불량품을 구분하기 위한 분류기를 학습시키며, 학습된 분류기를 이용하여 제품을 양품 또는 불량품으로 판정하는 것에 의해, 학습에 의해 판별대상의 데이터의 특징값을 스스로 찾을 수 있으므로 결함의 정형화가 어려워 수동 검사에 의존하는 검사영역에 대해서도 머신 비전 기반 검사가 가능하도록 구성되는 머신비전 기반 품질검사 방법 및 시스템에 관한 것이다. More specifically, Korean Patent Application Publication No. 10-2020-0125397 described above generates a product image for learning, learns a classifier for classifying good and bad products with the generated product image for learning, and uses the learned classifier. By determining the product as good or defective, it is possible to find the characteristic value of the data to be determined by learning, so it is difficult to standardize the defect, so that machine vision-based inspection is possible even in the inspection area that relies on manual inspection. It relates to a machine vision-based quality inspection method and system.
상기한 바와 같이, 종래, 머신 비전 및 비전 얼라인먼트에 관하여 여러 가지 기술내용이 제시된 바 있으나, 상기한 바와 같은 종래기술의 내용들은 다음과 같은 문제점이 있는 것이었다. As described above, conventionally, various technical contents have been presented with respect to machine vision and vision alignment, but the contents of the prior art as described above have the following problems.
즉, 비전 얼라인먼트에 있어서 가장 중요한 부분의 하나는 카메라로 촬영된 영상과 스테이지의 캘리브레이션이나, 종래의 얼라인먼트 장치나 방법들은 카메라의 위치나 스테이지의 위치를 변경할 때마다 캘리브레이션을 다시 해야 하는 번거로움이 있는 것이었다. In other words, one of the most important parts in vision alignment is the calibration of the stage and the image captured by the camera, but conventional alignment devices and methods have the hassle of having to re-calibrate each time the position of the camera or the position of the stage is changed. It was.
아울러, 종래의 얼라인먼트 장치나 방법들은, 카메라의 위치나 스테이지의 위치를 변경할 때마다 캘리브레이션을 다시 하는 것에 그치는 것이 아니라, 그러한 캘리브레이션 결과를 계속해서 관리해야만 하는 불편함도 있는 것었다. In addition, conventional alignment apparatuses and methods are not limited to recalibration whenever the position of the camera or the position of the stage is changed, but there is also an inconvenience in that such calibration results must be continuously managed.
더욱이, 종래의 얼라인먼트 장치나 방법들은, 상기한 바와 같이 얼라인먼트나 캘리브레이션 작업이 번거롭고 시간이 걸리게 되므로, 이러한 단점들로 인해 전체적인 제품이나 시스템의 생산성 및 작업효율까지 떨어지게 되는 문제점도 있는 것이었다. Moreover, conventional alignment devices and methods, as described above, are cumbersome and time-consuming for alignment or calibration, and thus, due to these disadvantages, there is also a problem in that the productivity and work efficiency of the overall product or system are degraded.
이에, 상기한 바와 같은 종래기술의 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결하기 위하여는, 정렬을 하는 도중에 해당 정렬시스템에서의 위치값 변화를 측정하여 최적의 비전 캘리브레이션 값을 결정하는 것에 의해 추가적인 캘리브레이션 동작이 필요 없도록 구성됨으로써, 비전 얼라인먼트 작업을 보다 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 동시에, 그것에 의해, 전체적인 시스템 및 제품의 생산성 및 작업효율을 더욱 높일 수 있도록 구성되는 새로운 구성의 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법을 제공하는 것이 바람직하나, 아직까지 그러한 요구를 모두 만족시키는 장치나 방법은 제시되지 못하고 있는 실정이다. Accordingly, in order to solve the problems of the conventional vision alignment system and methods as described above, an additional calibration operation is performed by determining the optimal vision calibration value by measuring the change in the position value in the alignment system during alignment. By being configured so that it is not necessary, it is possible to perform the vision alignment work more quickly and easily, and thereby, a new configuration of the smart vision alignment system and method, which is configured to further increase the productivity and work efficiency of the overall system and product. Although it is desirable to provide a device or a method that satisfies all such demands, there is no present situation.
[선행기술문헌] [Prior technical literature]
1. 한국 공개특허공보 제10-2020-0125397호 (2020.11.04.) 1. Korean Patent Application Publication No. 10-2020-0125397 (2020.11.04.)
2. 한국 공개특허공보 제10-2019-0063839호 (2019.06.10.) 2. Korean Patent Application Publication No. 10-2019-0063839 (2019.06.10.)
본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하고자 하는 것으로, 따라서 본 발명의 목적은, 비전 얼라인먼트를 수행시 카메라의 위치나 스테이지의 위치를 변경할 때마다 캘리브레이션을 다시 하고 그 결과를 관리해야만 하는 불편함이 있었던 종래기술의 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결하기 위해 카메라를 통해 얻어진 이미지로부터 카메라와 스테이지의 최초 위치를 각각 산출하고, 스테이지의 위치를 변경하여 다시 변경된 카메라와 스테이지의 위치를 각각 산출하며, 산출된 각각의 위치에 근거하여 카메라와 스테이지의 위치를 계산하는 과정을 반복 수행하면서 카메라와 스테이지의 위치값 분포를 측정하는 것에 의해, 해당 정렬시스템에서의 위치값 변화에 따른 최적의 비전 캘리브레이션 값을 결정하는 처리가 수행되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법을 제시하고자 하는 것이다. The present invention is to solve the problems of the prior art as described above, therefore, the object of the present invention is to perform calibration again and manage the result whenever the position of the camera or the position of the stage is changed when performing vision alignment. In order to solve the problems of the conventional vision alignment system and methods, which were inconvenient, the initial positions of the camera and the stage were calculated from images obtained through the camera, and the positions of the camera and the stage changed again by changing the position of the stage. By measuring the distribution of the position values of the camera and the stage while repeating the process of calculating the position of the camera and the stage based on each calculated position, the optimal vision according to the position value change in the alignment system An object of the present invention is to present a smart vision alignment system, which is configured to perform a process of determining a calibration value, and a smart vision alignment method using the same.
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아울러, 본 발명의 또 다른 목적은, 상기한 바와 같이 추가적인 캘리브레이션 동작이 필요 없도록 구성됨으로써 비전 얼라인먼트 작업을 보다 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 동시에, 그것에 의해, 전체적인 시스템이나 제품의 생산성 및 작업효율을 더욱 높일 수 있도록 구성되는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법을 제시하고자 하는 것이다. In addition, another object of the present invention is that the vision alignment operation can be performed more quickly and easily by being configured so as not to require an additional calibration operation as described above, thereby improving the productivity and work efficiency of the overall system or product. It is intended to present a smart vision alignment system configured to be further enhanced and a smart vision alignment method using the same.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따르면, 피사체(target)와 상기 피사체를 촬영하기 위한 적어도 하나 이상의 카메라(Camera) 및 상기 피사체의 위치를 변경하기 위한 무빙 스테이지(Moving Stage)의 위치를 정렬하기 위한 비전 얼라인먼트(Vision Alignment) 시스템에서 상기 카메라의 위치나 상기 무빙 스테이지의 위치를 변경할 때마다 캘리브레이션(Calibration)을 다시 해야 하는 문제점을 해결할 수 있도록 구성되는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템에 있어서, 상기 카메라와 상기 무빙 스테이지의 동작 및 전체적인 시스템의 동작을 제어하는 제어부를 포함하여 구성되고, 상기 제어부는, 상기 카메라의 초기 위치 및 상기 무빙 스테이지의 초기 위치를 설정하는 초기화 과정; 상기 카메라의 위치 및 상기 무빙 스테이지의 위치를 취득하고 상기 피사체의 위치에 대한 상기 무빙 스테이지의 이동값을 계산하여 상기 무빙 스테이지를 이동시키는 1차 비전 얼라인먼트 과정; 상기 1차 비전 얼라인먼트 과정 후에 다시 상기 카메라의 위치 및 상기 무빙 스테이지의 위치를 취득하고 상기 피사체의 위치에 대한 상기 무빙 스테이지의 이동값을 계산하여 상기 무빙 스테이지를 이동시키는 2차 비전 얼라인먼트 과정; 상기 1차 비전 얼라인먼트 과정의 상기 카메라의 위치와 상기 무빙 스테이지의 위치 및 상기 무빙 스테이지의 이동값과, 상기 2차 비전 얼라인먼트 과정의 상기 카메라의 위치와 상기 무빙 스테이지의 위치 및 상기 무빙 스테이지의 이동값을 포함하는 측정데이터를 이용하여 상기 카메라 및 상기 무빙 스테이지의 위치값을 재연산하는 재연산과정; 및 상기 재연산과정을 통해 얻어진 각각의 위치값들에 대하여 표준편차 및 정규분포를 산출하고, 이후 취득되는 상기 카메라의 위치값 및 상기 무빙 스테이지의 위치값이 상기 정규분포에서 미리 정해진 기준범위 내에 있는 경우는 현재의 캘리브레이션 값을 유지하며, 상기 카메라의 위치값 및 상기 무빙 스테이지의 위치값이 상기 기준범위 밖으로 벗어나는 경우가 미리 정해진 기준횟수를 초과하여 발생되면, 실제로 상기 카메라의 위치 또는 상기 무빙 스테이지의 위치가 변경된 것으로 판단하여 기존에 구해진 정규분포를 버리고 상기 기준범위를 벗어난 위치값들에 근거하여 새로운 표준편차 및 정규분포를 재계산하고 평균값을 구하여 상기 캘리브레이션 값을 수정하는 분석과정을 포함하는 처리가 수행되도록 구성됨으로써, 상기 스마트 비전 얼라인먼트 시스템에서 상기 카메라의 위치와 상기 무빙 스테이지의 위치 변화에 따라 캘리브레이션 값을 결정하는 것에 의해 상기 카메라나 상기 무빙 스테이지의 위치가 변경되더라도 캘리브레이션을 다시 수행하지 않고 상기 카메라와 상기 무빙 스테이지의 정렬 상태가 유지될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템이 제공된다. In order to achieve the above object, according to the present invention, a target and at least one camera for photographing the subject, and a location of a moving stage for changing the position of the subject In a smart vision alignment system configured to solve a problem of having to recalibrate each time the position of the camera or the position of the moving stage is changed in a vision alignment system for aligning the camera, the camera And a control unit for controlling an operation of the moving stage and an operation of an overall system, wherein the control unit includes: an initialization process of setting an initial position of the camera and an initial position of the moving stage; A first vision alignment process of moving the moving stage by acquiring the position of the camera and the position of the moving stage and calculating a moving value of the moving stage with respect to the position of the subject; A second vision alignment process of acquiring a position of the camera and a position of the moving stage again after the first vision alignment process, and moving the moving stage by calculating a moving value of the moving stage with respect to the position of the subject; The position of the camera, the position of the moving stage and the moving value of the moving stage in the primary vision alignment process, the position of the camera and the position of the moving stage in the secondary vision alignment process, and the moving value of the moving stage A recalculation process of recalculating the position values of the camera and the moving stage using the measurement data including; And a standard deviation and a normal distribution are calculated for each of the position values obtained through the recomputation process, and the position value of the camera and the position value of the moving stage, which are then acquired, are within a predetermined reference range from the normal distribution. In this case, the current calibration value is maintained, and when a case where the position value of the camera and the position value of the moving stage are out of the reference range exceeds a predetermined reference number, the position of the camera or the moving stage is actually A process including an analysis process that discards the previously obtained normal distribution by determining that the position has changed, recalculates the new standard deviation and normal distribution based on the position values outside the reference range, calculates the average value, and corrects the calibration value. By being configured to be performed, by determining a calibration value according to the position of the camera and the position of the moving stage in the smart vision alignment system, even if the position of the camera or the moving stage is changed, the camera does not perform calibration again. There is provided a smart vision alignment system, characterized in that configured to maintain the alignment of the moving stage and.
아울러, 본 발명에 따르면, 상기에 기재된 스마트 비전 얼라인먼트 시스템을 이용하여 비전 얼라인먼트 시스템을 구축하는 단계; 및 상기 비전 얼라인먼트 시스템을 이용하여 비전 얼라인먼트 작업을 수행하는 단계를 포함하여 구성됨으로써, 카메라나 무빙 스테이지의 위치가 변경되더라도 캘리브레이션을 다시 수행할 필요가 없도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스마트 비전 얼라인먼트 방법이 제공된다. In addition, according to the present invention, the steps of constructing a vision alignment system using the smart vision alignment system described above; And performing a vision alignment operation using the vision alignment system, so that it is not necessary to perform calibration again even if the position of the camera or the moving stage is changed. do.
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상기한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 카메라를 통해 얻어진 이미지로부터 카메라와 스테이지의 최초 위치를 각각 산출하고, 스테이지의 위치를 변경하여 다시 변경된 카메라와 스테이지의 위치를 각각 산출하며, 산출된 각각의 위치에 근거하여 카메라와 스테이지의 위치를 계산하는 과정을 반복 수행하면서 카메라와 스테이지의 위치값 분포를 측정하는 것에 의해 해당 정렬시스템에서의 위치값 변화에 따른 최적의 비전 캘리브레이션 값을 결정하는 처리가 수행되도록 구성되는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법이 제공됨으로써, 비전 얼라인먼트를 수행시 카메라의 위치나 스테이지의 위치를 변경할 때마다 캘리브레이션을 다시 하고 그 결과를 관리해야만 하는 불편함이 있었던 종래기술의 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결할 수 있다. As described above, according to the present invention, each of the initial positions of the camera and the stage is calculated from the image obtained through the camera, the position of the stage is changed to calculate the position of the changed camera and the stage, respectively, and each of the calculated positions Based on the process of calculating the position of the camera and the stage repeatedly, and measuring the distribution of the position values of the camera and the stage, the process of determining the optimal vision calibration value according to the position value change in the corresponding alignment system is performed. By providing the configured smart vision alignment system and the smart vision alignment method using the same, when performing vision alignment, whenever the position of the camera or the stage is changed, calibration is re-calibrated and the result is inconvenient to manage. It is possible to solve the problems of vision alignment systems and methods.
또한, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 얼라인먼트 작업중에 시스템의 상태를 파악하여 추가적인 캘리브레이션 동작이 필요 없도록 구성되는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법이 제공됨으로써, 추가적인 캘리브레이션 동작이 필요 없으므로 비전 얼라인먼트 작업을 보다 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 동시에, 그것에 의해, 전체적인 시스템이나 제품의 생산성 및 작업효율을 더욱 높일 수 있다. In addition, according to the present invention, as described above, a smart vision alignment system and a smart vision alignment method using the same are provided by identifying the state of the system during the alignment operation so that an additional calibration operation is not required. While the alignment operation can be performed more quickly and easily, it is possible to further increase the productivity and work efficiency of the overall system or product.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 기존의 비전 얼라인먼트 시스템에서 초기 설치시의 비전 얼라인먼트 과정을 개략적으로 나타내는 플로차트이다.
도 3은 기존의 비전 얼라인먼트 시스템에서 모델변경으로 카메라나 스테이지의 위치변경이 발생했을시의 비전 얼라인먼트 과정을 개략적으로 나타내는 플로차트이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템에서 수행되는 비전 얼라인먼트 동작의 전체적인 처리과정에 대한 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 플로차트이다.
도 5는 도 4에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템의 비전 얼라인먼트 동작 중 재연산 과정의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 플로차트이다.
도 6은 도 4에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템의 비전 얼라인먼트 동작 중 분석과정의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 플로차트이다. 1 is a diagram schematically showing the overall configuration of a smart vision alignment system according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart schematically illustrating a vision alignment process during initial installation in an existing vision alignment system.
3 is a flowchart schematically illustrating a vision alignment process when a position change of a camera or a stage occurs due to a model change in the existing vision alignment system.
4 is a flowchart schematically showing a detailed configuration of an overall processing process of a vision alignment operation performed in a smart vision alignment system according to an embodiment of the present invention.
5 is a flowchart schematically showing a detailed configuration of a recalculation process during a vision alignment operation of the smart vision alignment system according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 4.
6 is a flowchart schematically showing a detailed configuration of an analysis process during a vision alignment operation of the smart vision alignment system according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 4.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다. Hereinafter, a specific embodiment of a smart vision alignment system and a smart vision alignment method using the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
여기서, 이하에 설명하는 내용은 본 발명을 실시하기 위한 하나의 실시예일 뿐이며, 본 발명은 이하에 설명하는 실시예의 내용으로만 한정되는 것은 아니라는 사실에 유념해야 한다. Here, it should be noted that the contents described below are only one embodiment for carrying out the present invention, and the present invention is not limited to the contents of the embodiments described below.
또한, 이하의 본 발명의 실시예에 대한 설명에 있어서, 종래기술의 내용과 동일 또는 유사하거나 당업자의 수준에서 용이하게 이해하고 실시할 수 있다고 판단되는 부분에 대하여는, 설명을 간략히 하기 위해 그 상세한 설명을 생략하였음에 유념해야 한다. In addition, in the following description of the embodiments of the present invention, for portions that are the same or similar to the content of the prior art, or are judged to be easily understood and implemented at the level of those skilled in the art, detailed descriptions thereof are provided to simplify the description. It should be noted that is omitted.
즉, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 비전 얼라인먼트를 수행시 카메라의 위치나 스테이지의 위치를 변경할 때마다 캘리브레이션을 다시 하고 그 결과를 관리해야만 하는 불편함이 있었던 종래기술의 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결하기 위해 카메라를 통해 얻어진 이미지로부터 카메라와 스테이지의 최초 위치를 각각 산출하고, 스테이지의 위치를 변경하여 다시 변경된 카메라와 스테이지의 위치를 각각 산출하며, 산출된 각각의 위치에 근거하여 카메라와 스테이지의 위치를 계산하는 과정을 반복 수행하면서 카메라와 스테이지의 위치값 분포를 측정하는 것에 의해, 해당 정렬시스템에서의 위치값 변화에 따른 최적의 비전 캘리브레이션 값을 결정하는 처리가 수행되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법에 관한 것이다. That is, the present invention, as described later, is inconvenient to perform calibration and manage the result whenever the position of the camera or the stage is changed when performing vision alignment. In order to solve the problem, the initial positions of the camera and the stage are respectively calculated from the image obtained through the camera, the position of the camera and the stage changed again by changing the position of the stage, respectively, and based on the calculated positions, the camera and the stage It is configured to perform the process of determining the optimal vision calibration value according to the change in the position value in the corresponding alignment system by measuring the position value distribution of the camera and the stage while repeatedly performing the process of calculating the position of the stage. It relates to a smart vision alignment system and a smart vision alignment method using the same.
또한, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 추가적인 캘리브레이션 동작이 필요 없도록 구성됨으로써 비전 얼라인먼트 작업을 보다 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 동시에, 그것에 의해, 전체적인 시스템이나 제품의 생산성 및 작업효율을 더욱 높일 수 있도록 구성되는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법에 관한 것이다. In addition, the present invention, as described later, is configured so that an additional calibration operation is not required, so that the vision alignment operation can be performed more quickly and easily, thereby further increasing the productivity and work efficiency of the overall system or product. It relates to a smart vision alignment system configured to be configured and a smart vision alignment method using the same.
아울러, 본 발명은, 후술하는 바와 같이, 추가적인 캘리브레이션 동작이 필요 없도록 구성됨으로써 비전 얼라인먼트 작업을 보다 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 동시에, 그것에 의해, 전체적인 시스템이나 제품의 생산성 및 작업효율을 더욱 높일 수 있도록 구성되는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법에 관한 것이다. In addition, the present invention, as described later, is configured so that an additional calibration operation is not required, so that the vision alignment operation can be performed more quickly and easily, thereby further increasing the productivity and work efficiency of the overall system or product. It relates to a smart vision alignment system configured to be configured and a smart vision alignment method using the same.
계속해서, 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법의 구체적인 내용에 대하여 설명한다. Subsequently, with reference to the drawings, specific contents of a smart vision alignment system and a smart vision alignment method using the same according to the present invention will be described.
먼저, 도 1을 참조하면, 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템의 전체적인 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. First, referring to FIG. 1, FIG. 1 is a diagram schematically showing the overall configuration of a smart vision alignment system according to an embodiment of the present invention.
더 상세하게는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템(10)은, 크게 나누어, 피사체를 촬영하기 위한 적어도 하나 이상의 카메라(Camera)(11)와, 피사체의 위치를 변경하기 위한 무빙 스테이지(Moving Stage)(12) 및 무빙 스테이지(12)의 이동 및 시스템의 전체적인 동작을 제어하는 제어부(13)를 포함하여 구성될 수 있다. More specifically, as shown in FIG. 1, the smart
여기서, 상기한 카메라(11)와 무빙 스테이지(12)의 구체적인 구성은 기존의 비전 시스템들을 참조하여 당업자가 용이하게 구현할 수 있는 사항이므로, 이에, 본 발명에서는, 설명을 간략히 하기 위해, 상기한 바와 같이 당업자가 종래기술의 내용 등을 참조하여 용이하게 이해하고 실시할 수 있는 내용에 대하여는 그 상세한 설명을 생략하였음에 유념해야 한다. Here, the specific configuration of the
또한, 상기한 제어부(13)는, 후술하는 바와 같은 비전 얼라인먼트 알고리즘을 이용하여, 카메라(11)를 통해 얻어진 이미지로부터 카메라(11)(또는 피사체(target))와 무빙 스테이지(12)의 최초 위치를 각각 산출하고, 무빙 스테이지(12)의 위치를 변경하여 다시 변경된 카메라(11)와 무빙 스테이지(12)의 위치를 각각 산출하며, 산출된 각각의 위치에 근거하여 카메라(11)와 무빙 스테이지(12)의 위치를 계산하는 과정을 반복 수행하면서 카메라(11)와 무빙 스테이지(12)의 위치값 분포를 측정하고 측정된 위치값 분포를 분석하는 것에 의해, 해당 시스템에서의 위치값 변화를 측정하고 최적의 비전 캘리브레이션 값을 결정하는 처리가 수행되도록 구성될 수 있다. In addition, the above-described
따라서 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템(10)은, 정렬(Align)을 진행하면서 자동으로 현재 상태를 측정하고, 카메라(11) 및 무빙 스테이지(12)의 위치변화를 각각 측정 및 분석하며, 분석결과에 근거하여 캘리브레이션 파라미터(Calibration Parameter)를 보정함으로써, 설비를 멈추거나 추가적인 설정(Set-up)을 하지 않고 정렬 성능 및 상태를 유지할 수 있는 장점을 가지는 것이다. Therefore, the smart
더 상세하게는, 일반적으로, 비전 얼라인먼트 시스템에 있어서, 캘리브레이션에 문제가 없을 경우는 목표한 위치로 정확하게 이동하지만 캘리브레이션에 문제가 있을 경우는 목표한 위치와 오차가 발생하게 되며, 이러한 오차를 보정하기 위해 캘리브레이션 작업이 수행된다. More specifically, in general, in the vision alignment system, if there is no problem with calibration, it moves accurately to the target position, but if there is a problem with the calibration, an error with the target position occurs. For this, a calibration operation is performed.
이때, 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템(10)은, 정렬 이후 목표한 위치로 정확하게 이동할 경우엔 기존의 캘리브레이션 값을 그대로 유지하며, 정렬 이후에도 목표한 위치와 오차가 발생할 경우에는 카메라(11) 및 무빙 스테이지(12)에 대하여 위치값을 각각 재측정하고, 발생하는 오차에 따라 최적의 캘리브레이션값을 재연산하여 다음 정렬시에 반영함으로써, 얼라인먼트 시스템에 문제가 발생하더라도 스스로 문제를 보정하여 정렬 성능을 유지할 수 있다. At this time, the smart
즉, 머신 비전 시스템에 있어서, 머신 비전 캘리브레이션의 특징적인 3가지 요소는 픽셀 분해능(Pixel resolution), 스테이지의 축방향 및 카메라와 스테이지의 위치값(또는 좌표값, 즉, 카메라와 스테이지의 상대적인 위치관계)이라 할 수 있다. In other words, in a machine vision system, the three characteristic elements of machine vision calibration are pixel resolution, the axial direction of the stage, and the position value (or coordinate value) of the camera and the stage, that is, the relative positional relationship between the camera and the stage. ).
여기서, 픽셀 분해능 및 스테이지의 축방향은 초기 설치 이후에 변화되지 않는 고정된 값이나, 카메라와 스테이지의 위치값은 정렬 대상의 크기의 변화 및 스테이지의 정렬위치 변화에 따라서 변화하게 되며, 어느 한쪽이라도 변화가 발생할 경우 처음부터 다시 캘리브레이션을 진행해야 한다. Here, the pixel resolution and the axial direction of the stage are fixed values that do not change after initial installation, but the position values of the camera and the stage change according to the change in the size of the alignment object and the change in the alignment position of the stage. If a change occurs, it is necessary to recalibrate from the beginning.
더 상세하게는, 도 2 및 도 3을 참조하면, 도 2 및 도 3은 종래기술의 비전 얼라인먼트 시스템의 전체적인 캘리브레이션 및 동작 과정을 개략적으로 나타내는 플로차트이다. In more detail, referring to FIGS. 2 and 3, FIGS. 2 and 3 are flowcharts schematically showing an overall calibration and operation process of a conventional vision alignment system.
또한, 도 2는 기존의 비전 얼라인먼트 시스템에서 초기 설치시의 비전 얼라인먼트 과정을 개략적으로 나타내는 플로차트이고, 도 3은 모델면경으로 카메라나 스테이지의 위치변경이 발생했을시의 비전 얼라인먼트 과정을 개략적으로 나타내는 플로차트이다. In addition, FIG. 2 is a flowchart schematically showing a vision alignment process at the time of initial installation in an existing vision alignment system, and FIG. 3 is a flowchart schematically showing a vision alignment process when a position change of a camera or stage occurs with a model surface mirror. to be.
도 2에 나타낸 바와 같이, 기존의 비전 얼라인먼트 시스템은, 최초 캘리브레이션 수행시 카메라와 스테이지의 위치를 설정하고, 비전 캘리브레이션을 수행하여 결과값을 저장한다. As shown in FIG. 2, the existing vision alignment system sets the positions of the camera and the stage when performing the initial calibration, performs vision calibration, and stores the result value.
이후, 1차 비전 얼라인먼트 과정에서, 특정 목표(target)(피사체)가 등록되면 해당 영상 및 스테이지의 위치를 획득하고, 목표(target)(피사체)의 위치를 파악하여 스테이지 이동값을 연산한 후 스테이지를 이동시킨다. Thereafter, in the first vision alignment process, when a specific target (subject) is registered, the image and the position of the stage are obtained, the position of the target (subject) is determined, and the stage movement value is calculated, and then the stage Move.
다음으로, 2차 비전 얼라인먼트 과정을 통하여, 1차와 마찬가지로 영상 및 스테이지의 위치를 획득하고, 목표(target)(피사체)의 위치를 파악하여 스테이지 이동값을 연산한 후 스테이지를 이동시킨다. Next, through the secondary vision alignment process, the image and the position of the stage are acquired as in the primary, the position of the target (subject) is calculated, the stage movement value is calculated, and the stage is moved.
이때, 모델 변경 등으로 인해 카메라나 스테이지의 위치가 변경되면 도 3에 나타낸 바와 같이 다시 캘리브레이션, 1차 얼라인먼트 및 2차 얼라인먼트 과정을 수행하게 되며, 카메라나 스테이지의 위치가 변경될 때마다 이러한 작업이 반복되어야 한다. At this time, if the position of the camera or the stage is changed due to a model change, etc., as shown in FIG. 3, calibration, the first alignment, and the second alignment are performed again, and this operation is performed whenever the position of the camera or stage is changed. It must be repeated.
따라서 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 종래의 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들은 카메라나 스테이지의 위치가 변경될 때마다 캘리브레이션, 1차 얼라인먼트 및 2차 얼라인먼트 과정을 반복해야 하므로 정렬작업이 번거로울뿐만 아니라, 정렬작업에 시간이 오래 걸림으로 인해 전체적인 작업의 속도가 느려지게 되고, 그로 인해 전체적인 제품의 생산성이 떨어지게 되는 문제가 있었다. Therefore, as shown in FIGS. 2 and 3, conventional vision alignment systems and methods require repeating calibration, primary alignment, and secondary alignment processes whenever the position of a camera or stage is changed. There is a problem that the overall speed of the work is slowed down due to a long time for the alignment work, and thus the productivity of the whole product is degraded.
이에, 본 발명에서는, 상기한 바와 같은 종래기술의 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결하기 위해, 최초 캘리브레이션 및 정렬작업 후 카메라나 스테이지의 위치가 변경되더라도 추가적인 캘리브레이션 작업이 필요 없도록 구성되는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법을 제시하였다. Therefore, in the present invention, in order to solve the problems of the prior art vision alignment system and methods as described above, even if the position of the camera or the stage is changed after the initial calibration and alignment work, the smart vision alignment is configured so that no additional calibration work is required. The system and method are presented.
계속해서, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템의 제어부에서 수행되는 캘리브레이션 및 얼라인먼트 동작의 구체적인 처리과정에 대하여 설명한다. Subsequently, with reference to FIGS. 4 to 6, a detailed process of a calibration and alignment operation performed by the control unit of the smart vision alignment system according to an embodiment of the present invention will be described.
먼저, 도 4를 참조하면, 도 4는 도 1에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템(10)에서 수행되는 비전 얼라인먼트 동작의 전체적인 처리과정에 대한 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 플로차트이다. First, referring to FIG. 4, FIG. 4 is a flowchart schematically showing a detailed configuration of an overall processing process of a vision alignment operation performed in the smart
즉, 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템(10)에서 수행되는 비전 얼라인먼트 동작은, 크게 나누어, 초기화 과정, 1차 비전 얼라인먼트 과정, 2차 비전 얼라인먼트 과정, 재연산과정, 분석과정을 포함하여 구성될 수 있다. That is, as shown in FIG. 4, the vision alignment operation performed in the smart
여기서, 도 4에 나타낸 초기화 과정과 1차 및 2차 얼라인먼트 과정은, 도 2 및 도 3을 참조하여 상기한 기존의 비전 얼라인먼트 시스템과 동일 내지 유사하게 하여 구성될 수 있으므로, 여기서는, 설명을 간략히 하기 위해 중복되는 설명을 생략하였음에 유념해야 한다. Here, the initialization process and the primary and secondary alignment processes shown in FIG. 4 may be configured in the same or similar manner to the existing vision alignment system described above with reference to FIGS. 2 and 3, so here, the description will be simplified. It should be noted that redundant descriptions have been omitted for this purpose.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 비전 얼라인먼트 방법은, 도 4 내지 도 6에 나타낸 바와 같이, 초기화 과정 및 1, 2차 얼라인먼트 과정 이후에 각각의 얼라인먼트 과정에서 얻어진 카메라(11)(또는 피사체(target))의 위치와 스테이지의 위치 및 스테이지의 이동값을 포함하는 1, 2차 얼라인먼트의 측정값들에 근거하여 카메라 및 스테이지의 위치값을 재연산하는 재연산과정과, 재연산한 결과에 근거하여 카메라와 스테이지에 대한 최적의 위치값을 산출하고 캘리브레이션 데이터의 위치값에 적용하는 분석과정을 더 포함하여, 이러한 캘리브레이션 과정이 최초 시스템 설치시 한번만 수행되면 이후 카메라나 스테이지의 위치가 변경되더라도 캘리브레이션을 다시 수행할 필요가 없는 점이 기존의 시스템 및 방법들과 다르다. In addition, the vision alignment method according to the embodiment of the present invention, as shown in Figs. 4 to 6, the camera 11 (or target) obtained in each alignment process after the initialization process and the first and second alignment processes. Based on the recalculation process of recalculating the position values of the camera and the stage based on the measured values of the first and second alignment including the position of )), the position of the stage, and the moving value of the stage, and the recalculation result In addition to the analysis process of calculating the optimum position values for the camera and stage and applying them to the position values of the calibration data, this calibration process is performed only once when the system is installed for the first time, and calibration is performed again even if the position of the camera or stage is changed afterwards. It is different from existing systems and methods in that it does not need to be performed.
더 상세하게는, 도 5를 참조하면, 도 5는 도 4에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템(10)의 비전 얼라인먼트 동작 중 재연산 과정의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 플로차트이다. In more detail, referring to FIG. 5, FIG. 5 is a flowchart schematically showing a detailed configuration of a recalculation process during a vision alignment operation of the smart
도 5에 나타낸 바와 같이, 재연산 과정은, 1차 얼라인먼트시의 카메라(11)와 스테이지의 위치 및 스테이지의 이동값을 확인하고, 마찬가지로 2차 얼라인먼트시의 카메라(11)와 스테이지의 위치 및 스테이지의 이동값을 확인하며, 이와 같이 하여 얻어진 측정값 데이터를 이용하여 카메라 및 스테이지의 위치값을 재연산하는 처리가 수행되도록 구성될 수 있다. As shown in Fig. 5, in the recalculation process, the position of the
즉, 스테이지와 정렬대상이 되는 목표(target)(피사체) 사이의 거리값은 변하지 않으므로, 스테이지의 이동량을 알면 이동한 2차 목표의 위치를 정확하게 계산할 수 있으며, 또한, 오차가 발생할 경우, 카메라와 스테이지와의 상대적인 거리값을 재계산할 수 있다. In other words, since the distance value between the stage and the target (subject) to be aligned does not change, knowing the amount of movement of the stage can accurately calculate the position of the moved secondary target. The relative distance to the stage can be recalculated.
아울러, 이러한 재계산과정은, 예를 들면, 회전변환 행렬과 역회전변환 행렬의 공식을 이용하여, 회전에 따른 이동량 계산식을 사용하여 카메라 및 스테이지의 위치값을 재연산하는 처리가 수행되도록 구성될 수 있는 등, 종래기술의 문헌 등을 참조하여 당업자에 의해 적절히 구성될 수 있다. In addition, this recalculation process is configured to perform a process of recalculating the position values of the camera and the stage using, for example, a formula of a rotation transformation matrix and an inverse rotation transformation matrix, using a movement amount calculation formula according to rotation. It may be appropriately configured by a person skilled in the art with reference to the prior art literature, etc.
계속해서, 도 6을 참조하면, 도 6은 도 4에 나타낸 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템(10)의 비전 얼라인먼트 동작 중 분석과정의 구체적인 구성을 개략적으로 나타내는 플로차트이다. Subsequently, referring to FIG. 6, FIG. 6 is a flowchart schematically showing a detailed configuration of an analysis process during a vision alignment operation of the smart
도 6에 나타낸 바와 같이, 분석과정은, 재연산과정에서 재연산한 위치값에 대하여 표준편차 및 정규분포를 산출하여 위치값의 변화를 측정하고 분석하는 것에 의해 최적의 카메라 및 스테이지의 위치값을 산출하고, 그 결과를 캘리브레이션 데이터의 위치값에 적용하는 처리가 수행되도록 구성될 수 있다. As shown in Fig. 6, in the analysis process, the optimal camera and stage position values are determined by measuring and analyzing the change of the position value by calculating a standard deviation and a normal distribution for the position value recalculated in the recalculation process. It may be configured to perform a process of calculating and applying the result to the position value of the calibration data.
더 상세하게는, 카메라와 스테이지와의 거리값 계산이 반복되면 그 결과에 편차가 발생하고, 이는 정규분포 형태로 나타나게 된다. More specifically, if the calculation of the distance value between the camera and the stage is repeated, a deviation occurs in the result, which appears in the form of a normal distribution.
또한, 설비의 진동 및 목표(target)(피사체)의 검출오차에 의해 카메라와 스테이지간의 상대거리값에 오차가 발생하므로, 일정한 정규분포 내에 있는 데이터를 캘리브레이션에 적용 가능한 신뢰성이 높은 데이터로 볼 수 있으며, 이러한 데이터를 수집해서 평균값을 산출한다. In addition, since errors occur in the relative distance value between the camera and the stage due to the vibration of the facility and the detection error of the target (subject), data within a certain normal distribution can be viewed as highly reliable data applicable to calibration. , These data are collected and the average value is calculated.
아울러, 카메라의 위치가 실제로 변경된 경우, 또는, 스테이지의 위치가 변경된 경우에는 수집되는 데이터값이 정규분포 밖으로 벗어 나게 되고, 반복적인 정규분포 밖의 데이터가 발생하면 실제적인 시스템의 변화로 인지하여 기존에 구해진 데이터 및 정규분포 형태를 버리고 최근의 정규분포 밖으로 벗어난 데이터에 근거하여 새로운 정규분포 형태와 평균화된 값을 재계산한다.
즉, 상기한 분석과정은, 재연산과정을 통해 얻어진 각각의 위치값들에 대하여 표준편차 및 정규분포를 산출하고, 이후 취득되는 카메라(11)의 위치값 및 무빙 스테이지(12)의 위치값이 정규분포에서 일정한 기준범위 내에 있는 경우는 현재의 캘리브레이션 값을 유지하며, 기준범위 밖으로 벗어나는 경우가 일정 횟수를 초과하여 발생되면 실제로 카메라(11)의 위치 또는 무빙 스테이지(12)의 위치가 변경된 것으로 판단하여 기존에 구해진 정규분포를 버리고 기준범위를 벗어난 위치값들에 대하여 새로운 표준편차 및 정규분포를 재계산하고 이들의 평균값을 구하여 캘리브레이션 데이터의 위치값을 새로 구해진 평균값으로 수정하는 처리가 수행되도록 구성될 수 있으며, 그것에 의해, 스마트 비전 얼라인먼트 시스템(10)에서 카메라(11)의 위치와 무빙 스테이지(12)의 위치 변화에 따라 캘리브레이션 값을 결정하여 카메라(11)나 무빙 스테이지(12)의 위치가 변경되더라도 캘리브레이션을 다시 수행하지 않고 시스템의 정렬 상태가 항상 일정 수준 이상으로 유지될 수 있다. In addition, when the position of the camera is actually changed or the position of the stage is changed, the collected data value is out of the normal distribution, and if data outside the repetitive normal distribution occurs, it is recognized as a change in the actual system. The obtained data and the normal distribution form are discarded, and a new normal distribution form and the averaged value are recalculated based on the data deviating from the recent normal distribution.
That is, in the above-described analysis process, the standard deviation and normal distribution are calculated for each of the position values obtained through the recalculation process, and the position value of the
따라서 상기한 바와 같이, 표준편차 및 정규분포에 근거하여 시스템이 안정화된 상태와 불안정한 상태를 판단할 수 있으며, 이를 평균값을 산출하는 알고리즘의 파라미터에 반영하여, 안정화된 상태에서는 평균값을 산출하는 저대역필터(Low pass filter)의 알고리즘에서 변화량을 최소화하며, 아직 안정화된 상태가 아닐 경우엔 변화를 빠르게 추적하도록 변화량을 자동으로 조절한다. Therefore, as described above, it is possible to determine the stable and unstable state of the system based on the standard deviation and normal distribution, and reflect this to the parameters of the algorithm that calculates the average value, and calculate the average value in the stabilized state. The algorithm of the filter (low pass filter) minimizes the amount of change, and if it is not yet stabilized, the amount of change is automatically adjusted to quickly track the change.
여기서, 상기한 저대역필터(Low Pass Filter)의 경우, 예를 들면, IIR(Infinite Impulse Response) 필터 방식을 사용하도록 구성될 수 있다. Here, in the case of the above-described low pass filter, for example, it may be configured to use an Infinite Impulse Response (IIR) filter method.
따라서 상기한 바와 같이 하여 구해진 위치값의 변화량, 즉, 카메라의 위치와 스테이지의 위치를 이용하여 캘리브레이션 데이터에서 위치값에 대한 부분을 수정함으로써, 추가적인 캘리브레이션 동작을 하지 않고 정렬성능을 유지할 수 있다. Therefore, by using the amount of change in the position value obtained as described above, that is, the position of the camera and the position of the stage, by modifying the portion of the position value in the calibration data, it is possible to maintain the alignment performance without performing an additional calibration operation.
여기서, 도 4 내지 도 6을 참조하여 상기한 본 발명의 실시예에서는 1차 및 2차 얼라인먼트 과정에서 얻어진 데이터에 근거하여 위치값을 재연산하고 재연산한 위치값의 표준편차 및 정규분포의 변화를 분석하여 최적의 카메라 및 스테이지의 위치값을 산출하는 경우를 예로 하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 반드시 상기한 실시예의 경우로만 한정되는 것은 아니며, 즉, 본 발명은, 예를 들면, 2차보다 더 많은 얼라인먼트 데이터를 수집하고 분석하여 최적의 위치값을 산출하도록 구성될 수도 있는 등, 필요에 따라 다양하게 구성될 수 있는 것임에 유념해야 한다. Here, in the embodiment of the present invention described above with reference to FIGS. 4 to 6, the position value is recalculated based on the data obtained in the first and second alignment processes, and the standard deviation and normal distribution of the recalculated position value are changed. The present invention has been described by taking as an example the case of calculating the optimal position values of the camera and the stage by analyzing the results, but the present invention is not necessarily limited to the case of the above-described embodiment, that is, the present invention is, for example, 2 It should be noted that it may be configured to collect and analyze more alignment data than a car to calculate an optimal position value, etc., as it may be configured in various ways as needed.
따라서 상기한 바와 같이 하여 본 발명의 실시예에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법을 구현할 수 있다. Accordingly, as described above, a smart vision alignment system according to an embodiment of the present invention and a smart vision alignment method using the same can be implemented.
또한, 상기한 바와 같이 하여 본 발명에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법을 구현하는 것에 의해, 본 발명에 따르면, 카메라를 통해 얻어진 이미지로부터 카메라와 스테이지의 최초 위치를 각각 산출하고, 스테이지의 위치를 변경하여 다시 변경된 카메라와 스테이지의 위치를 각각 산출하며, 산출된 각각의 위치에 근거하여 카메라와 스테이지의 위치를 계산하는 과정을 반복 수행하면서 카메라와 스테이지의 위치값 분포를 측정하는 것에 의해 해당 정렬시스템에서의 위치값 변화에 따른 최적의 비전 캘리브레이션 값을 결정하는 처리가 수행되도록 구성되는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법이 제공됨으로써, 비전 얼라인먼트를 수행시 카메라의 위치나 스테이지의 위치를 변경할 때마다 캘리브레이션을 다시 하고 그 결과를 관리해야만 하는 불편함이 있었던 종래기술의 비전 얼라인먼트 시스템 및 방법들의 문제점을 해결할 수 있다. In addition, by implementing the smart vision alignment system according to the present invention and the smart vision alignment method using the same as described above, according to the present invention, each of the initial positions of the camera and the stage is calculated from the image obtained through the camera, By changing the position of the stage, calculating the position of the changed camera and stage again, and measuring the distribution of the position values of the camera and the stage while repeating the process of calculating the positions of the camera and the stage based on the calculated positions. As a result, a smart vision alignment system and a smart vision alignment method using the same are provided to determine the optimal vision calibration value according to the change in the position value in the corresponding alignment system. It is possible to solve the problems of prior art vision alignment systems and methods, which have inconvenient to perform calibration every time the position of is changed and manage the results.
아울러, 본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 얼라인먼트 작업중에 시스템의 상태를 파악하여 추가적인 캘리브레이션 동작이 필요 없도록 구성되는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법이 제공됨으로써, 추가적인 캘리브레이션 동작이 필요 없으므로 비전 얼라인먼트 작업을 보다 신속하고 용이하게 수행할 수 있는 동시에, 그것에 의해, 전체적인 시스템이나 제품의 생산성 및 작업효율을 더욱 높일 수 있다. In addition, according to the present invention, as described above, a smart vision alignment system and a smart vision alignment method using the same are provided by identifying the state of the system during the alignment operation so that an additional calibration operation is not required. While the alignment operation can be performed more quickly and easily, it is possible to further increase the productivity and work efficiency of the overall system or product.
이상, 상기한 바와 같은 본 발명의 실시예를 통하여 본 발명에 따른 스마트 비전 얼라인먼트 시스템 및 이를 이용한 스마트 비전 얼라인먼트 방법의 상세한 내용에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 기재된 내용으로만 한정되는 것은 아니며, 따라서 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 설계상의 필요 및 기타 다양한 요인에 따라 여러 가지 수정, 변경, 결합 및 대체 등이 가능한 것임은 당연한 일이라 하겠다. In the above, detailed contents of the smart vision alignment system and the smart vision alignment method using the same according to the present invention have been described through the embodiments of the present invention as described above, but the present invention is limited to the contents described in the above embodiment. Therefore, it is natural that the present invention is capable of various modifications, changes, combinations, and substitutions according to design needs and other various factors by a person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention pertains. .
10. 스마트 비전 얼라인먼트 시스템
11. 카메라 12. 무빙 스테이지
13. 제어부 10. Smart Vision Alignment System
11.
13. Control unit
Claims (7)
상기 카메라와 상기 무빙 스테이지의 동작 및 전체적인 시스템의 동작을 제어하는 제어부를 포함하여 구성되고,
상기 제어부는,
상기 카메라의 초기 위치 및 상기 무빙 스테이지의 초기 위치를 설정하는 초기화 과정;
상기 카메라의 위치 및 상기 무빙 스테이지의 위치를 취득하고 상기 피사체의 위치에 대한 상기 무빙 스테이지의 이동값을 계산하여 상기 무빙 스테이지를 이동시키는 1차 비전 얼라인먼트 과정;
상기 1차 비전 얼라인먼트 과정 후에 다시 상기 카메라의 위치 및 상기 무빙 스테이지의 위치를 취득하고 상기 피사체의 위치에 대한 상기 무빙 스테이지의 이동값을 계산하여 상기 무빙 스테이지를 이동시키는 2차 비전 얼라인먼트 과정;
상기 1차 비전 얼라인먼트 과정의 상기 카메라의 위치와 상기 무빙 스테이지의 위치 및 상기 무빙 스테이지의 이동값과, 상기 2차 비전 얼라인먼트 과정의 상기 카메라의 위치와 상기 무빙 스테이지의 위치 및 상기 무빙 스테이지의 이동값을 포함하는 측정데이터를 이용하여 상기 카메라 및 상기 무빙 스테이지의 위치값을 재연산하는 재연산과정; 및
상기 재연산과정을 통해 얻어진 각각의 위치값들에 대하여 표준편차 및 정규분포를 산출하고, 이후 취득되는 상기 카메라의 위치값 및 상기 무빙 스테이지의 위치값이 상기 정규분포에서 미리 정해진 기준범위 내에 있는 경우는 현재의 캘리브레이션 값을 유지하며, 상기 카메라의 위치값 및 상기 무빙 스테이지의 위치값이 상기 기준범위 밖으로 벗어나는 경우가 미리 정해진 기준횟수를 초과하여 발생되면, 실제로 상기 카메라의 위치 또는 상기 무빙 스테이지의 위치가 변경된 것으로 판단하여 기존에 구해진 정규분포를 버리고 상기 기준범위를 벗어난 위치값들에 근거하여 새로운 표준편차 및 정규분포를 재계산하고 평균값을 구하여 상기 캘리브레이션 값을 수정하는 분석과정을 포함하는 처리가 수행되도록 구성됨으로써,
상기 스마트 비전 얼라인먼트 시스템에서 상기 카메라의 위치와 상기 무빙 스테이지의 위치 변화에 따라 캘리브레이션 값을 결정하는 것에 의해 상기 카메라나 상기 무빙 스테이지의 위치가 변경되더라도 캘리브레이션을 다시 수행하지 않고 상기 카메라와 상기 무빙 스테이지의 정렬 상태가 유지될 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스마트 비전 얼라인먼트 시스템.
In a vision alignment system for aligning the position of a target and at least one camera for photographing the subject and a moving stage for changing the position of the subject, In the smart vision alignment system configured to solve the problem of re-calibration whenever the position or the position of the moving stage is changed,
It is configured to include a control unit that controls the operation of the camera and the moving stage and the operation of the overall system,
The control unit,
An initialization process of setting an initial position of the camera and an initial position of the moving stage;
A first vision alignment process of moving the moving stage by acquiring the position of the camera and the position of the moving stage and calculating a moving value of the moving stage with respect to the position of the subject;
A second vision alignment process of moving the moving stage by acquiring the position of the camera and the position of the moving stage again after the first vision alignment process and calculating a moving value of the moving stage with respect to the position of the subject;
The position of the camera, the position of the moving stage and the moving value of the moving stage in the primary vision alignment process, the position of the camera and the position of the moving stage in the secondary vision alignment process, and the moving value of the moving stage A recalculation process of recalculating the position values of the camera and the moving stage using the measurement data including; And
When the standard deviation and normal distribution are calculated for each of the position values obtained through the recalculation process, and the position value of the camera and the position value of the moving stage, which are then acquired, are within a reference range predetermined from the normal distribution. Maintains the current calibration value, and when the case where the position value of the camera and the position value of the moving stage are out of the reference range exceeds a predetermined reference number, actually the position of the camera or the position of the moving stage A process including an analysis process that discards the previously obtained normal distribution by determining that is changed, recalculates the new standard deviation and normal distribution based on the position values outside the reference range, calculates the average value, and corrects the calibration value is performed. By being configured to be,
By determining a calibration value according to the position of the camera and the position of the moving stage in the smart vision alignment system, even if the position of the camera or the moving stage is changed, the camera and the moving stage are not calibrated again. Smart vision alignment system, characterized in that configured to maintain the alignment state.
청구항 1항에 기재된 스마트 비전 얼라인먼트 시스템을 이용하여 비전 얼라인먼트 시스템을 구축하는 단계; 및
상기 비전 얼라인먼트 시스템을 이용하여 비전 얼라인먼트 작업을 수행하는 단계를 포함하여 구성됨으로써,
카메라나 무빙 스테이지의 위치가 변경되더라도 캘리브레이션을 다시 수행할 필요가 없도록 구성되는 것을 특징으로 하는 스마트 비전 얼라인먼트 방법.
In the smart vision alignment method,
Constructing a vision alignment system using the smart vision alignment system according to claim 1; And
By comprising the step of performing a vision alignment operation using the vision alignment system,
Smart vision alignment method, characterized in that it is configured so that it is not necessary to perform calibration again even if the position of the camera or the moving stage is changed.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102520647B1 (en) | 2021-11-30 | 2023-04-11 | 이재준 | Vision alignment system with self diagnosis and calibration function and vision alignment method using thereof |
| KR20240067639A (en) | 2022-11-09 | 2024-05-17 | 이재준 | Vision alignment system and error correction method for vibration and vibration during stage movement using the same |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5424144B2 (en) * | 1974-05-10 | 1979-08-18 | ||
| JP4165871B2 (en) * | 2002-03-15 | 2008-10-15 | キヤノン株式会社 | Position detection method, position detection apparatus, and exposure apparatus |
| KR20120041655A (en) * | 2010-10-21 | 2012-05-02 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | Contact exposure method and apparatus |
| JP5424144B2 (en) | 2009-05-07 | 2014-02-26 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー，リミテッド | Vision inspection system and coordinate conversion method using the same |
| KR101748162B1 (en) * | 2016-11-04 | 2017-06-16 | 다래비젼주식회사 | Active Vision Inspection Apparatus For Circuit Board And Method Of The Same |
| KR20180006311A (en) * | 2016-07-08 | 2018-01-17 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | Alignment mark detecting method, alignment method and vapor deposition method |
| KR20200096134A (en) * | 2019-02-01 | 2020-08-11 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
| KR20200123005A (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-28 | 캐논 가부시끼가이샤 | Substrate processing apparatus, article manufacturing method, substrate processing method, substrate processing system, management apparatus, and program |
| KR20200125397A (en) * | 2019-04-26 | 2020-11-04 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | Alignment apparatus, film formation apparatus, alignment method, film formation method, and manufacturing method of electronic device |
-
2020
- 2020-11-30 KR KR1020200164958A patent/KR102257055B1/en active IP Right Grant
- 2020-12-02 WO PCT/KR2020/017477 patent/WO2022114340A1/en active Application Filing
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5424144B2 (en) * | 1974-05-10 | 1979-08-18 | ||
| JP4165871B2 (en) * | 2002-03-15 | 2008-10-15 | キヤノン株式会社 | Position detection method, position detection apparatus, and exposure apparatus |
| JP5424144B2 (en) | 2009-05-07 | 2014-02-26 | エスエヌユー プレシジョン カンパニー，リミテッド | Vision inspection system and coordinate conversion method using the same |
| KR20120041655A (en) * | 2010-10-21 | 2012-05-02 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | Contact exposure method and apparatus |
| KR20180006311A (en) * | 2016-07-08 | 2018-01-17 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | Alignment mark detecting method, alignment method and vapor deposition method |
| KR101748162B1 (en) * | 2016-11-04 | 2017-06-16 | 다래비젼주식회사 | Active Vision Inspection Apparatus For Circuit Board And Method Of The Same |
| KR20200096134A (en) * | 2019-02-01 | 2020-08-11 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
| KR20200123005A (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-28 | 캐논 가부시끼가이샤 | Substrate processing apparatus, article manufacturing method, substrate processing method, substrate processing system, management apparatus, and program |
| KR20200125397A (en) * | 2019-04-26 | 2020-11-04 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | Alignment apparatus, film formation apparatus, alignment method, film formation method, and manufacturing method of electronic device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102520647B1 (en) | 2021-11-30 | 2023-04-11 | 이재준 | Vision alignment system with self diagnosis and calibration function and vision alignment method using thereof |
| KR20240067639A (en) | 2022-11-09 | 2024-05-17 | 이재준 | Vision alignment system and error correction method for vibration and vibration during stage movement using the same |
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|---|---|
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