KR102249873B1 - Photographic assembly and packaging method thereof, lens module, electronic device - Google Patents

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Abstract

촬영 어셈블리 및 이의 패키징 방법, 렌즈 모듈, 전자 기기에 있어서, 촬영 어셈블리의 패키징 방법은, 용접 패드를 구비하는 감광성 칩 및 필터를 제공하는 단계; 상기 감광성 칩의 용접 패드를 향하는 상기 필터를 상기 감광성 칩에 장착하는 단계; 용접 패드를 구비하는 기능 소자 및 상기 필터가 임시 본딩되는 제1 캐리어 기판을 제공하되, 상기 기능 소자의 용접 패드는 상기 제1 캐리어 기판을 향하는 단계; 상기 제1 캐리어 기판 및 기능 소자를 커버하고 상기 감광성 칩의 부분 측벽을 적어도 커버하는 패키징층을 형성하는 단계; 상기 제1 캐리어 기판을 제거하는 단계; 및 상기 제1 캐리어 기판을 제거한 후, 상기 패키징층에서의 상기 필터에 근접하는 일측에 상기 감광성 칩의 용접 패드 및 상기 기능 소자의 용접 패드에 전기적으로 연결되는 재배선 구조를 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명은 렌즈 모듈의 사용 성능을 향상시키고, 렌즈 모듈의 전체 두께를 감소시킨다.A photographing assembly and a method of packaging the same, a lens module, and an electronic device, wherein the packaging method of the photographing assembly comprises: providing a photosensitive chip and a filter having a welding pad; Mounting the filter facing the welding pad of the photosensitive chip on the photosensitive chip; Providing a functional element having a welding pad and a first carrier substrate on which the filter is temporarily bonded, wherein the welding pad of the functional element faces the first carrier substrate; Forming a packaging layer covering the first carrier substrate and the functional device and covering at least a partial sidewall of the photosensitive chip; Removing the first carrier substrate; And after removing the first carrier substrate, forming a rewiring structure electrically connected to the welding pad of the photosensitive chip and the welding pad of the functional element on one side of the packaging layer adjacent to the filter. . The present invention improves the use performance of the lens module and reduces the overall thickness of the lens module.

Description

촬영 어셈블리 및 이의 패키징 방법, 렌즈 모듈, 전자 기기Photographic assembly and packaging method thereof, lens module, electronic device

본 발명의 실시예는 렌즈 모듈 분야에 속하는 것으로, 특히 촬영 어셈블리 및 이의 패키징 방법, 렌즈 모듈, 전자 기기에 관한 것이다.Embodiments of the present invention pertain to the field of lens modules, and more particularly, to an imaging assembly and a packaging method thereof, a lens module, and an electronic device.

사람들의 생활 수준의 끊임없는 향상에 따라, 여가 생활도 더욱 풍부해지는데, 촬영은 점점 사람들이 여행 및 다양한 일상 생활을 기록하는데 흔히 사용하는 수단으로 되고 있으므로, 촬영 기능을 구비하는 전자 기기(예를 들어, 휴대폰, 태블릿 PC, 카메라 등)는 사람들의 일상 생활 및 작업에 점점 더 많이 사용되고 있고, 촬영 기능을 구비하는 전자 기기는 현대 생활에서 필수적이고 중요한 도구로 자리잡고 있다.With the constant improvement of people's living standards, leisure life becomes more abundant, and photography is increasingly becoming a means commonly used by people to record travel and various daily lives, so an electronic device equipped with a photographing function (e.g. For example, mobile phones, tablet PCs, cameras, etc.) are increasingly used in people's daily life and work, and electronic devices equipped with a shooting function are becoming essential and important tools in modern life.

촬영 기능을 구비하는 전자 기기에는 일반적으로 모두 렌즈 모듈이 설치되고, 렌즈 모듈의 설계 수준은 촬영 품질을 결정하는 중요한 요소 중 하나이다. 렌즈 모듈은 일반적으로 감광성 칩을 구비하는 촬영 어셈블리 및 상기 촬영 어셈블리 상방에 고정되어 피사체 영상을 형성하기 위한 렌즈 어셈블리를 포함한다.Lens modules are generally installed in electronic devices having a photographing function, and the design level of the lens modules is one of the important factors that determine photographing quality. The lens module generally includes a photographing assembly including a photosensitive chip and a lens assembly fixed above the photographing assembly to form a subject image.

또한, 렌즈 모듈의 이미징 능력을 향상시키기 위하여, 보다 큰 이미징 면적을 구비하는 감광성 칩을 구비해야 하고, 일반적으로 상기 렌즈 모듈에 레지스터, 콘덴서 등 수동 소자 및 주변 칩이 배치될 수도 있다.In addition, in order to improve the imaging capability of the lens module, a photosensitive chip having a larger imaging area should be provided, and in general, passive elements such as resistors and capacitors and peripheral chips may be disposed in the lens module.

본 발명의 실시예가 해결하고자 하는 과제는 렌즈 모듈의 사용 성능을 향상시키고 렌즈 모듈의 전체 두께를 감소시키는, 촬영 어셈블리 및 이의 패키징 방법, 렌즈 모듈, 전자 기기를 제공하는 것이다.The problem to be solved by an embodiment of the present invention is to provide a photographing assembly and a packaging method thereof, a lens module, and an electronic device, which improves the use performance of a lens module and reduces the overall thickness of the lens module.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 실시예는, 용접 패드를 구비하는 감광성 칩 및 필터를 제공하는 단계; 상기 감광성 칩의 용접 패드를 향하는 상기 필터를 상기 감광성 칩에 장착하는 단계; 용접 패드를 구비하는 기능 소자 및 상기 필터가 임시 본딩되는 제1 캐리어 기판을 제공하되, 상기 기능 소자의 용접 패드는 상기 제1 캐리어 기판을 향하는 단계; 상기 제1 캐리어 기판 및 기능 소자를 커버하고 상기 감광성 칩의 부분 측벽을 적어도 커버하는 패키징층을 형성하는 단계; 상기 제1 캐리어 기판을 제거하는 단계; 및 상기 제1 캐리어 기판을 제거한 후, 상기 패키징층에서의 상기 필터에 근접하는 일측에 상기 감광성 칩의 용접 패드 및 상기 기능 소자의 용접 패드에 전기적으로 연결되는 재배선 구조를 형성하는 단계를 포함하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법을 제공한다. In order to solve the above problems, an embodiment of the present invention includes the steps of providing a photosensitive chip and a filter having a welding pad; Mounting the filter facing the welding pad of the photosensitive chip on the photosensitive chip; Providing a functional element having a welding pad and a first carrier substrate on which the filter is temporarily bonded, wherein the welding pad of the functional element faces the first carrier substrate; Forming a packaging layer covering the first carrier substrate and the functional device and covering at least a partial sidewall of the photosensitive chip; Removing the first carrier substrate; And after removing the first carrier substrate, forming a redistribution structure electrically connected to the welding pad of the photosensitive chip and the welding pad of the functional element on one side of the packaging layer adjacent to the filter. It provides a packaging method of an imaging assembly.

상응하게, 본 발명의 실시예는, 패키징층, 상기 패키징층에 삽입되는 감광성 유닛, 기능 소자 및 재배선 구조를 포함하되, 상기 감광성 유닛은 감광성 칩 및 상기 감광성 칩에 장착되는 필터를 포함하고, 상기 패키징층의 저면은 상기 기능 소자보다 높고, 상기 패키징층은 상기 감광성 칩의 부분 측벽을 적어도 커버하며, 상기 감광성 칩 및 기능 소자는 모두 용접 패드를 구비하고, 상기 감광성 칩의 용접 패드는 상기 패키징층의 최상면을 향하며, 상기 기능 소자의 용접 패드는 상기 패키징층의 최상면에 노출되고, 상기 재배선 구조는 상기 패키징층에서의 상기 필터에 근접하는 일측에 위치하고, 상기 재배선 구조는 상기 용접 패드에 전기적으로 연결되는, 촬영 어셈블리를 더 제공한다.Correspondingly, an embodiment of the present invention includes a packaging layer, a photosensitive unit inserted into the packaging layer, a functional element, and a redistribution structure, wherein the photosensitive unit includes a photosensitive chip and a filter mounted on the photosensitive chip, The bottom surface of the packaging layer is higher than the functional element, the packaging layer covers at least a partial sidewall of the photosensitive chip, and both the photosensitive chip and the functional element have a welding pad, and the welding pad of the photosensitive chip is the packaging. Facing the uppermost surface of the layer, the welding pad of the functional element is exposed to the uppermost surface of the packaging layer, the redistribution structure is located at one side close to the filter in the packaging layer, and the redistribution structure is in the welding pad It further provides a photographing assembly that is electrically connected.

상응하게, 본 발명의 실시예는, 본 발명의 실시예에 따른 촬영 어셈블리; 및 상기 패키징층의 최상면에 장착되고 상기 감광성 유닛 및 기능 소자를 둘러싸는 홀더를 포함하고 상기 감광성 칩 및 기능 소자에 전기적으로 연결되는 렌즈 어셈블리를 포함하는 렌즈 모듈을 더 제공한다.Correspondingly, an embodiment of the present invention includes a photographing assembly according to an embodiment of the present invention; And a lens assembly mounted on an uppermost surface of the packaging layer, including a holder surrounding the photosensitive unit and the functional element, and electrically connected to the photosensitive chip and the functional element.

상응하게, 본 발명의 실시예는 본 발명의 실시예에 따른 렌즈 모듈을 포함하는 전자 기기를 더 제공한다.Correspondingly, an embodiment of the present invention further provides an electronic device including a lens module according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 기술적 해결수단은 선행기술에 비해 하기와 같은 장점을 구비한다.The technical solution according to an embodiment of the present invention has the following advantages over the prior art.

본 발명의 실시예는 감광성 칩과 기능 소자를 패키징층에 집적시키고 재배선 구조를 통해 전기적 연결을 실현함으로써, 기능 소자를 주변 메인보드에 장착하는 해결수단에 비해 본 발명의 실시예는 기능 소자와 감광성 칩 사이의 거리를 단축시키고, 상응하게 감광성 칩과 기능 소자 사이의 전기적 연결 거리를 단축시키므로, 신호를 전송하는 속도를 현저히 향상시킴으로써, 렌즈 모듈의 사용 성능을 향상시킨다(예를 들어, 촬영 속도 및 저장 속도를 향상시킴). 또한, 상기 패키징층과 재배선 구조로 인해 상응하게 회로기판(예를 들어, PCB)을 생략하여, 렌즈 모듈의 전체 두께를 감소시킴으로써, 렌즈 모듈의 소형화, 박형화 요구를 만족시킨다.The embodiment of the present invention integrates a photosensitive chip and a functional element on a packaging layer and realizes electrical connection through a redistribution structure. Since the distance between the photosensitive chips is shortened, and the electrical connection distance between the photosensitive chip and the functional element is correspondingly shortened, the speed of transmitting signals is remarkably improved, thereby improving the usability of the lens module (e.g., shooting speed And improves the storage speed). In addition, due to the packaging layer and the rewiring structure, a circuit board (eg, a PCB) is correspondingly omitted, thereby reducing the overall thickness of the lens module, thereby satisfying the need for miniaturization and thinning of the lens module.

도 1 내지 도 16은 본 발명에 따른 촬영 어셈블리의 패키징 방법의 일 실시예에서의 각 단계에 대응되는 구조 모식도이다.
도 17 내지 도 20은 본 발명에 따른 촬영 어셈블리의 패키징 방법의 다른 일 실시예에서의 각 단계에 대응되는 구조 모식도이다.
도 21은 본 발명에 따른 렌즈 모듈의 일 실시예의 구조 모식도이다.
도 22는 본 발명에 따른 전자 기기의 일 실시예의 구조 모식도이다.
1 to 16 are structural schematic diagrams corresponding to each step in an embodiment of a packaging method of a photographing assembly according to the present invention.
17 to 20 are structural schematic diagrams corresponding to each step in another embodiment of the packaging method of the photographing assembly according to the present invention.
21 is a schematic structural diagram of an embodiment of a lens module according to the present invention.
22 is a structural schematic diagram of an embodiment of an electronic device according to the present invention.

현재, 렌즈 모듈의 사용 성능은 향상시킬 필요가 있고, 렌즈 모듈은 렌즈 모듈의 소형화, 박형화의 요구를 만족시키기 어렵다. 분석한 결과 그 원인은 하기와 같다.Currently, the use performance of the lens module needs to be improved, and it is difficult for the lens module to satisfy the demand for miniaturization and thinning of the lens module. As a result of analysis, the cause is as follows.

기존의 렌즈 모듈은 주로 회로기판, 감광성 칩, 기능 소자(예를 들어, 주변 칩) 및 렌즈 어셈블리로 조립되고, 주변 칩은 일반적으로 주변 메인보드에 장착되며, 감광성 칩과 기능 소자 사이는 서로 분리된다. 여기서, 회로기판은 감광성 칩, 기능 소자 및 렌즈 어셈블리에 대해 지지 작용을 하고, 회로기판을 통해 상기 감광성 칩, 기능 소자 및 렌즈 모듈 사이의 전기적 연결을 실현한다.Conventional lens modules are mainly assembled with circuit boards, photosensitive chips, functional elements (eg, peripheral chips) and lens assemblies, and peripheral chips are generally mounted on peripheral main boards, and the photosensitive chips and functional elements are separated from each other. do. Here, the circuit board serves to support the photosensitive chip, the functional element, and the lens assembly, and realizes electrical connection between the photosensitive chip, the functional element, and the lens module through the circuit board.

하지만, 하이 픽셀, 초박형 렌즈 모듈의 요구에 따라, 렌즈 모듈의 이미징에 대한 요구도 점점 높아지고 있고, 감광성 칩의 면적은 상응하게 증가되며, 기능 소자도 상응하게 많아짐으로써, 렌즈 모듈의 사이즈는 점점 커지므로, 렌즈 모듈의 소형화, 박형화의 요구를 만족시키지 못한다. 또한, 감광성 칩은 일반적으로 렌즈 모듈 중의 홀더 내부에 설치되고, 주변 칩은 일반적으로 홀더 외부에 설치되므로, 주변 칩과 감광성 칩 사이에는 일정한 거리가 있음으로써, 신호를 전송하는 속도를 감소시킨다. 주변 칩은 일반적으로 디지털 신호 프로세서(digital signal processor, DSP) 칩 및 메모리 칩을 포함하므로, 촬영 속도와 저장 속도에 대해 나쁜 영향을 미치기 쉬우므로, 렌즈 모듈의 사용 성능을 저하시킨다.However, in accordance with the demands of high-pixel and ultra-thin lens modules, the demand for imaging of the lens module is increasing, and the area of the photosensitive chip is correspondingly increased, and the functional elements are correspondingly increased, so that the size of the lens module is gradually increased. Therefore, it does not satisfy the demand for miniaturization and thinning of the lens module. In addition, since the photosensitive chip is generally installed inside the holder of the lens module, and the peripheral chip is generally installed outside the holder, there is a certain distance between the peripheral chip and the photosensitive chip, thereby reducing the speed of signal transmission. Since the peripheral chips generally include a digital signal processor (DSP) chip and a memory chip, it is easy to adversely affect the recording speed and the storage speed, thereby deteriorating the use performance of the lens module.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 실시예는 감광성 칩과 기능 소자를 패키징층에 집적시키고 재배선 구조를 통해 전기적 연결을 실현함으로써, 기능 소자를 주변 메인보드에 장착하는 해결수단에 비해 본 발명의 실시예는 기능 소자와 감광성 칩 사이의 거리를 단축시키고, 상응하게 감광성 칩과 기능 소자 사이의 전기적 연결 거리를 단축시키므로, 신호를 전송하는 속도를 현저히 향상시킴으로써, 렌즈 모듈의 사용 성능을 향상시킨다. 또한, 상기 패키징층과 재배선 구조로 인해 상응하게 회로기판을 생략하여, 렌즈 모듈의 전체 두께를 감소시킴으로써, 렌즈 모듈의 소형화, 박형화 요구를 만족시킨다.In order to solve the above technical problem, the embodiment of the present invention integrates a photosensitive chip and a functional element in a packaging layer and realizes electrical connection through a rewiring structure, compared to a solution means of mounting the functional element on a peripheral main board. Embodiments of the invention shorten the distance between the functional element and the photosensitive chip, and correspondingly shorten the electrical connection distance between the photosensitive chip and the functional element, thereby significantly improving the speed of signal transmission, thereby improving the use performance of the lens module. Let it. Further, due to the packaging layer and the redistribution structure, the circuit board is correspondingly omitted, thereby reducing the overall thickness of the lens module, thereby satisfying the need for miniaturization and thinning of the lens module.

본 발명의 상기 목적, 특징 및 장점이 보다 명확하고 용이하게 이해될 수 있도록 아래 도면을 결부하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세히 설명한다.Specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the following drawings so that the objects, features, and advantages of the present invention may be more clearly and easily understood.

도 1 내지 도 16은 본 발명에 따른 촬영 어셈블리의 패키징 방법의 일 실시예에서의 각 단계에 대응되는 구조 모식도이다.1 to 16 are structural schematic diagrams corresponding to each step in an embodiment of a packaging method of a photographing assembly according to the present invention.

도 1 내지 도 3을 결부하여 참조하면, 도 2는 도 1에서의 하나의 감광성 칩의 확대도이고, 도 3은 도 1에서의 하나의 필터의 확대도이며, 용접 패드를 구비하는 감광성 칩(200) 및 필터(400)를 제공하고, 상기 감광성 칩(200)의 용접 패드를 향하는 상기 필터(400)를 상기 감광성 칩(200)에 장착한다.1 to 3, FIG. 2 is an enlarged view of one photosensitive chip in FIG. 1, and FIG. 3 is an enlarged view of one filter in FIG. 1, and a photosensitive chip having a welding pad ( 200) and a filter 400 are provided, and the filter 400 facing the welding pad of the photosensitive chip 200 is mounted on the photosensitive chip 200.

상기 감광성 칩(200)은 이미지 센서 칩이고, 본 실시예에서, 상기 감광성 칩(200)은 CMOS 이미지 센서(CMOS image sensor, CIS) 칩이다. 다른 실시예에서, 상기 감광성 칩은 CCD(charge coupled device, 전하 결합 소자) 이미지 센서 칩일 수도 있다.The photosensitive chip 200 is an image sensor chip, and in this embodiment, the photosensitive chip 200 is a CMOS image sensor (CIS) chip. In another embodiment, the photosensitive chip may be a charge coupled device (CCD) image sensor chip.

본 실시예에서, 상기 감광성 칩(200)은 광 신호 수신면(201)(도 2에 도시된 바와 같음)을 구비하고, 상기 감광성 칩(200)은 상기 광 신호 수신면(201)을 통해 광 복사 신호를 수신하여 센싱한다. 구체적으로, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 감광성 칩(200)은 감광성 영역(200C) 및 상기 감광성 영역(200C)을 둘러싸는 주변 영역(200E)을 포함하고, 상기 광 신호 수신면(201)은 상기 감광성 영역(200C)에 위치한다.In this embodiment, the photosensitive chip 200 includes an optical signal receiving surface 201 (as shown in FIG. 2), and the photosensitive chip 200 is Is received and sensed. Specifically, as shown in FIG. 2, the photosensitive chip 200 includes a photosensitive area 200C and a peripheral area 200E surrounding the photosensitive area 200C, and the optical signal receiving surface 201 is It is located in the photosensitive region 200C.

상기 감광성 칩(200)은 복수개의 픽셀 유닛을 포함하므로, 감광성 칩(200)은 복수개의 반도체 감광 소자(미도시), 및 상기 반도체 감광 소자에 위치하는 복수개의 필터 코팅(filter coating)(미도시)을 포함하고, 필터 코팅은 광 신호 수신면(201)에 의해 수신된 광 신호를 선택적으로 흡수시키거나 통과시킨다. 상기 감광성 칩(200)은 필터 코팅에 위치하는 마이크로렌즈(210)를 더 포함하고, 마이크로렌즈(210)는 반도체 감광 소자와 일대일로 대응됨으로써, 수신된 광 복사 신호 광선을 반도체 감광 소자에 집광시킨다. 상기 광 신호 수신면(201)은 상응하게 상기 마이크로렌즈(210)의 최상면이다.Since the photosensitive chip 200 includes a plurality of pixel units, the photosensitive chip 200 includes a plurality of semiconductor photosensitive devices (not shown), and a plurality of filter coatings (not shown) located on the semiconductor photosensitive device. ), and the filter coating selectively absorbs or passes the optical signal received by the optical signal receiving surface 201. The photosensitive chip 200 further includes a microlens 210 positioned on the filter coating, and the microlens 210 is a one-to-one correspondence with the semiconductor photosensitive device, thereby condensing the received light radiation signal beam to the semiconductor photosensitive device. . The optical signal receiving surface 201 is correspondingly the uppermost surface of the microlens 210.

상기 감광성 칩(200)은 일반적으로 실리콘 기판 칩이고, 집적 회로 제작 기술로 제작되며, 감광성 칩(200)은 감광성 칩(200)과 다른 칩 또는 부재의 전기적 연결을 실현하기 위한 용접 패드를 구비한다. 본 실시예에서, 상기 감광성 칩(200)은 주변 영역(200E)에 형성되는 제1 칩 용접 패드(220)를 구비한다. 구체적으로, 광 신호 수신면(201)의 동일 측에 위치하는 감광성 칩(200) 표면은 제1 칩 용접 패드(220)를 노출시킨다.The photosensitive chip 200 is generally a silicon substrate chip, and is manufactured by an integrated circuit manufacturing technology, and the photosensitive chip 200 includes a welding pad for realizing electrical connection between the photosensitive chip 200 and other chips or members. . In this embodiment, the photosensitive chip 200 includes a first chip welding pad 220 formed in the peripheral area 200E. Specifically, the surface of the photosensitive chip 200 positioned on the same side of the optical signal receiving surface 201 exposes the first chip welding pad 220.

상기 필터(400)는 상기 감광성 칩(200)에 장착되어 후속적인 패키징 공정이 광 신호 수신면(201)을 오염시키는 것을 방지하며, 후속적인 렌즈 모듈의 전체적인 두께를 감소시키는데 유리함으로써, 렌즈 모듈의 소형화, 박형화의 요구를 만족시킨다.The filter 400 is mounted on the photosensitive chip 200 to prevent contamination of the optical signal receiving surface 201 by a subsequent packaging process, and is advantageous in reducing the overall thickness of the subsequent lens module, thereby miniaturizing the lens module. , Satisfy the needs of thinner.

상기 필터(400)는 적외선 필터 유리편 또는 전체 투과 유리편일 수 있다. 본 실시예에서, 상기 필터(400)는 적외선 필터 유리편이고, 입사광 중의 적외선이 감광성 칩(200) 성능에 미치는 영향을 제거한다.The filter 400 may be an infrared filter glass piece or an entire transmission glass piece. In this embodiment, the filter 400 is an infrared filter glass piece, and the effect of infrared rays in incident light on the performance of the photosensitive chip 200 is eliminated.

구체적으로, 상기 필터(400)는 적외선 차단 필터(infrared cut filter, IRCF)이고, 상기 적외선 차단 필터는 푸른색 유리 적외선 차단 필터일 수 있거나, 유리 및 상기 유리 표면에 위치하는 적외선 차단 코팅(IR cut coating)을 포함한다.Specifically, the filter 400 is an infrared cut filter (IRCF), and the infrared cut filter may be a blue glass infrared cut filter, or an infrared cut filter located on the glass and the glass surface (IR cut filter). coating).

본 실시예에서, 상기 필터(400)는 조립면(401)(도 1에 도시된 바와 같음)을 포함한다. 상기 조립면(401)은 감광성 칩(200)과 장착되는 면이고, 즉, 상기 감광성 칩(200)을 향하는 면이다.In this embodiment, the filter 400 includes an assembly surface 401 (as shown in Fig. 1). The assembly surface 401 is a surface on which the photosensitive chip 200 is mounted, that is, a surface facing the photosensitive chip 200.

구체적으로, 필터(400)가 푸른색 유리 적외선 차단 필터일 경우, 푸른색 유리 적외선 차단 필터의 하나의 표면에는 반사 방지 코팅(reflection reducing coating) 또는 반사 방지막(antireflection coating)이 도금되어 있고, 반사 방지 코팅 또는 반사 방지막 표면과 등지는 면은 조립면(401)이다. 필터(400)가 유리 및 상기 표면에 위치하는 적외선 차단 코팅을 포함할 경우, 적외선 차단 코팅과 등지는 유리 표면은 조립면(401)이다. 다른 실시예에서, 필터가 전체 투과 유리편일 경우, 전체 투과 유리편의 어느 하나의 표면은 조립면이다.Specifically, when the filter 400 is a blue glass infrared cut filter, a reflection reducing coating or an antireflection coating is plated on one surface of the blue glass infrared cut filter, and antireflection The surface of the coating or anti-reflective film and the other surface is the assembly surface 401. When the filter 400 includes glass and an infrared blocking coating positioned on the surface, the glass surface that is opposite to the infrared blocking coating is an assembly surface 401. In another embodiment, when the filter is a whole piece of transparent glass, either surface of the whole piece of transparent glass is an assembled surface.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 필터(400)는 투광 영역(400C) 및 상기 투광 영역(400C)을 둘러싸는 가장자리 영역(400E)을 포함한다. 후속적으로 렌즈 모듈을 형성한 후, 상기 투광 영역(400C)은 외부의 입사광이 투과되도록 함으로써, 광 신호 수신면(201)이 광 신호를 수신하도록 하여 렌즈 모듈의 정상적인 사용 기능을 보장한다. 상기 가장자리 영역(400E)은 필터(400)와 감광성 칩(200)의 장착을 위해 공간 위치를 남겨둔다.As shown in FIG. 3, the filter 400 includes a light-transmitting area 400C and an edge area 400E surrounding the light-transmitting area 400C. After the lens module is subsequently formed, the light-transmitting area 400C allows external incident light to pass therethrough, so that the optical signal receiving surface 201 receives the optical signal, thereby ensuring a normal use function of the lens module. The edge region 400E leaves a space position for mounting the filter 400 and the photosensitive chip 200.

본 실시예에서, 상기 필터(400)를 상기 감광성 칩(200)에 장착한 후, 상기 필터(400)와 감광성 칩(200)은 감광성 유닛(250)(도 1에 도시된 바와 같음)을 구성한다.In this embodiment, after mounting the filter 400 on the photosensitive chip 200, the filter 400 and the photosensitive chip 200 constitute a photosensitive unit 250 (as shown in FIG. 1). do.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서, 상기 필터(400)는 접착 구조(410)를 통해 감광성 칩(200)에 장착되고, 상기 접착 구조(410)는 상기 광 신호 수신면(201)을 둘러싼다.1, in this embodiment, the filter 400 is mounted on the photosensitive chip 200 through an adhesive structure 410, and the adhesive structure 410 attaches the optical signal receiving surface 201 to the Surround.

상기 접착 구조(410)는 필터(400)와 감광성 칩(200)을 물리적으로 연결시킨다. 또한, 상기 필터(400), 접착 구조(410) 및 감광성 칩(200)은 캐비티(미도시)를 이루어, 상기 필터(400)와 감광성 칩(200)의 직접적인 접촉을 방지함으로써, 상기 필터(400)가 감광성 칩(200)의 성능에 대해 나쁜 영향을 미치는 것을 방지한다.The adhesive structure 410 physically connects the filter 400 and the photosensitive chip 200. In addition, the filter 400, the adhesive structure 410, and the photosensitive chip 200 form a cavity (not shown) to prevent direct contact between the filter 400 and the photosensitive chip 200, so that the filter 400 ) Is prevented from adversely affecting the performance of the photosensitive chip 200.

본 실시예에서, 상기 접착 구조(410)는 상기 광 신호 수신면(201)을 둘러쌈으로써, 광 신호 수신면(201) 상방의 필터(400)가 상기 감광성 칩(200)의 감광성 경로에 위치하도록 한다.In this embodiment, the adhesive structure 410 surrounds the optical signal receiving surface 201 so that the filter 400 above the optical signal receiving surface 201 is located in the photosensitive path of the photosensitive chip 200. .

구체적으로, 상기 접착 구조(410)의 재료는 포토리소그래피 가능한 재료이므로, 포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 접착 구조(410)를 형성할 수 있는데, 이는 접착 구조(410)의 형태 품질과 사이즈 정밀도를 향상시키고 패키징 효율과 생산 능력을 향상시키는데 유리할 뿐만 아니라, 접착 구조(410)의 접착 강도에 대한 영향을 감소시킬 수도 있다. 본 실시예에서, 상기 접착 구조(410)의 재료는 포토리소그래피 가능한 드라이 필름(dry film)이다. 다른 실시예에서, 상기 접착 구조의 재료는 포토리소그래피 가능한 폴리이미드(polyimide), 포토리소그래피 가능한 폴리벤즈옥사졸(PBO) 또는 포토리소그래피 가능한 벤조시클로부텐(BCB)일 수도 있다.Specifically, since the material of the bonding structure 410 is a material capable of photolithography, the bonding structure 410 can be formed using a photolithography process, which improves the shape quality and size precision of the bonding structure 410 In addition, it is advantageous in improving packaging efficiency and production capacity, and it is also possible to reduce the influence on the adhesive strength of the adhesive structure 410. In this embodiment, the material of the adhesive structure 410 is a photolithographic dry film. In another embodiment, the material of the adhesive structure may be a photolithographic polyimide, a photolithographic polybenzoxazole (PBO), or a photolithographic benzocyclobutene (BCB).

본 실시예에서, 접착 구조(410)를 형성하는 공정 난도를 감소시키고 접착 구조(410)의 형성이 광 신호 수신면(201)에 대한 영향을 감소시키기 위하여, 필터(400)에 상기 접착 구조(410)를 형성한다.In this embodiment, in order to reduce the difficulty of forming the adhesive structure 410 and reduce the influence of the formation of the adhesive structure 410 on the optical signal receiving surface 201, the adhesive structure 410 is applied to the filter 400. ) To form.

구체적으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 장착 단계는, 제3 캐리어 기판(340)을 제공하는 단계; 필터(400)의 조립면(401)을 등지는 면을 제3 캐리어 기판(340)에 임시 본딩시키는 단계; 상기 임시 본딩 단계 이후에 상기 필터(400)의 가장자리 영역(400E)에 고리형 접착 구조(410)를 형성하는 단계; 및 상기 감광성 칩(200)의 광 신호 수신면(201)이 고리형 접착 구조(410)를 향하도록 하여 상기 감광성 칩(200)의 주변 영역(200E)(도 2에 도시된 바와 같음)을 고리형 접착 구조(410)에 장착하여 감광성 유닛(250)을 형성하는 단계를 포함한다.Specifically, as shown in FIG. 1, the mounting step may include providing a third carrier substrate 340; Temporarily bonding a surface of the filter 400 against the assembly surface 401 to the third carrier substrate 340; Forming an annular adhesive structure 410 on the edge region 400E of the filter 400 after the temporary bonding step; And a peripheral area 200E (as shown in FIG. 2) of the photosensitive chip 200 so that the optical signal receiving surface 201 of the photosensitive chip 200 faces the annular adhesive structure 410. Attaching to the adhesive structure 410 to form the photosensitive unit 250.

상기 제3 캐리어 기판(340)은 상기 접착 단계를 위해 공정 플랫폼을 제공함으로써, 공정 조작 가능성을 향상시킨다. 본 실시예에서, 상기 제3 캐리어 기판(340)은 캐리어 웨이퍼(carrier wafer)이다. 다른 실시예에서, 상기 제3 캐리어 기판은 다른 타입의 기판일 수도 있다.The third carrier substrate 340 improves process operability by providing a process platform for the bonding step. In this embodiment, the third carrier substrate 340 is a carrier wafer. In another embodiment, the third carrier substrate may be a different type of substrate.

구체적으로, 제1 임시 본딩층(345)을 통해 필터(400)를 제3 캐리어 기판(340)에 임시 본딩시킨다. 상기 제1 임시 본딩층(345)은 박리층으로서, 후속적인 디본딩에 용이하다.Specifically, the filter 400 is temporarily bonded to the third carrier substrate 340 through the first temporary bonding layer 345. The first temporary bonding layer 345 is a peeling layer and is easy for subsequent debonding.

본 실시예에서, 상기 제1 임시 본딩층(345)은 발포막이다. 발포막은 대향되는 미세 접착면과 발포면을 포함하고, 발포막은 상온에서 접착성을 구비하며, 발포면은 제3 캐리어 기판(340)에 접착되므로, 후속적으로 발포막을 가열하여 발포면의 접착성을 제거함으로써 디본딩을 실현할 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 제1 임시 본딩층은 다이 어태치 필름(die attach film, DAF)일 수도 있다.In this embodiment, the first temporary bonding layer 345 is a foam film. Since the foam membrane includes a micro-adhesive surface and a foam surface facing each other, the foam membrane has adhesiveness at room temperature, and the foam surface is adhered to the third carrier substrate 340, the foam membrane is subsequently heated to adhere to the foam surface. Debonding can be realized by removing. In another embodiment, the first temporary bonding layer may be a die attach film (DAF).

도 4를 결부하여 참조하면, 설명해야 할 점은, 상기 장착 단계 이후에, 상기 감광성 칩(200)의 광 신호 수신면(201)을 등지는 면을 UV 필름(310)에 접착시키는 단계; 및 상기 접착 단계 이후에 제1 디본딩 처리를 진행하여 상기 제3 캐리어 기판(340)(도 1에 도시된 바와 같음)을 제거하는 단계를 더 포함한다.Referring to FIG. 4 with reference to FIG. 4, the point to be described is the step of adhering a surface of the photosensitive chip 200 to the UV film 310 on the back surface of the photosensitive chip 200 after the mounting step; And performing a first debonding treatment after the bonding step to remove the third carrier substrate 340 (as shown in FIG. 1 ).

상기 접착 단계를 통해 후속적으로 감광성 유닛(250)(도 1에 도시된 바와 같음)을 다른 캐리어 기판에 임시 본딩시키는 것을 위해 공정 준비를 하고, 상기 UV 필름(310)은 제3 캐리어 기판(340)을 제거한 후 감광성 유닛(250)에 지지 작용과 고정 작용을 제공한다. 여기서, 자외선의 조사 하에 UV 필름(310)의 접착력은 감소될 수 있으므로, 후속적으로 상기 감광성 유닛(250)을 상기 UV 필름(310)으로부터 제거하는데 용이하다.Through the bonding step, a process is prepared for temporarily bonding the photosensitive unit 250 (as shown in FIG. 1) to another carrier substrate, and the UV film 310 is a third carrier substrate 340 ) To provide a supporting action and a fixing action to the photosensitive unit 250 after removal. Here, since the adhesion of the UV film 310 may be reduced under the irradiation of ultraviolet rays, it is easy to subsequently remove the photosensitive unit 250 from the UV film 310.

구체적으로, 라미네이터를 사용하여 상기 UV 필름(310)을 상기 감광성 칩(200)의 광 신호 수신면(201)을 등지는 면에 밀착시키고, 직경이 비교적 큰 프레임(315) 저부에 접착시키며, 상기 프레임(315)을 통해 필름을 팽팽하게 함으로써, 상기 감광성 유닛(250)이 상기 UV 필름(310)에 분립 고정되도록 한다. 본 실시예는 상기 UV 필름(310)과 프레임(315)을 더 구체적으로 설명하지 않는다.Specifically, by using a laminator, the UV film 310 is in close contact with the light signal receiving surface 201 of the photosensitive chip 200 to the back surface, and adhered to the bottom of the frame 315 having a relatively large diameter, and the frame By tightening the film through 315, the photosensitive unit 250 is divided and fixed to the UV film 310. This embodiment does not describe the UV film 310 and the frame 315 in more detail.

본 실시예에서, 제1 임시 본딩층(345)(도 1에 도시된 바와 같음)은 발포막이므로, 제1 디본딩 처리의 단계에서, 제1 임시 본딩층(345)에 대해 열처리를 진행하여 발포막의 발포면의 접착성을 제거함으로써, 제3 캐리어 기판(340)을 제거하고, 이어서 떼어 내는 방식으로 제1 임시 본딩층(345)을 제거한다.In this embodiment, since the first temporary bonding layer 345 (as shown in Fig. 1) is a foam film, in the step of the first debonding treatment, heat treatment is performed on the first temporary bonding layer 345 The first temporary bonding layer 345 is removed by removing the third carrier substrate 340 by removing the adhesiveness of the foam surface of the foam film, and then removing it.

도 5를 결부하여 참조하면, 설명해야 할 점은, 상기 패키징 방법은, 상기 필터(400)의 측벽을 커버하는 응력 완충층(420)을 형성하는 단계를 더 포함한다.With reference to FIG. 5, it should be described that the packaging method further includes forming a stress buffer layer 420 covering a sidewall of the filter 400.

상기 응력 완충층(420)은 후속적으로 패키징층이 필터(400)에 대해 발생되는 응력을 감소시켜 상기 필터(400)가 파열되는 확률을 감소시킴으로써, 패키징 공정의 신뢰성 및 일드율(yield rate)을 향상시키고, 상응하게 렌즈 모듈의 신뢰성을 향상시킨다. 특히, 상기 필터(400)는 적외선 필터 유리편 또는 전체 투과 유리편이므로, 유리편이 응력 영향을 받아 파열되는 가능성이 높기에, 상기 응력 완충층(420)을 통해 필터(400)가 파열되는 확률을 현저히 감소시킬 수 있다.The stress buffer layer 420 decreases the probability that the filter 400 is ruptured by subsequently reducing the stress generated by the packaging layer on the filter 400, thereby improving the reliability and yield rate of the packaging process. And correspondingly improve the reliability of the lens module. In particular, since the filter 400 is an infrared filter glass piece or an entire transmission glass piece, there is a high possibility that the glass piece is ruptured under the influence of stress, and thus the probability that the filter 400 is ruptured through the stress buffer layer 420 is significantly reduced. Can be reduced.

상기 응력 완충층(420)은 접착성을 구비하므로 필터(400)에서의 접착성을 보장한다. 본 실시예에서, 상기 응력 완충층(420)의 재료는 에폭시계 접착제이다. 에폭시계 접착제는 에폭시 수지 접착제(epoxy resin adhesive)이고, 에폭시계 접착제는 다양한 형태로 구현되며, 이의 성분을 개변시켜 상이한 탄성 계수의 재료를 획득할 수 있음으로써, 실제 정황에 따라, 상기 필터(400)가 받는 응력을 조절할 수 있다.Since the stress buffer layer 420 has adhesiveness, adhesiveness in the filter 400 is guaranteed. In this embodiment, the material of the stress buffer layer 420 is an epoxy-based adhesive. The epoxy-based adhesive is an epoxy resin adhesive, and the epoxy-based adhesive is implemented in various forms, and by changing its components to obtain a material having a different modulus of elasticity, according to the actual situation, the filter 400 ), you can control the stress.

본 실시예에서, 상기 응력 완충층(420)은 또한 접착 구조(410)의 측벽을 커버하여 패키징층이 접착 구조(410)에 대해 발생되는 응력을 감소시킴으로써, 패키징 공정의 신뢰성과 일드율을 더 향상시킨다.In this embodiment, the stress buffer layer 420 also covers the sidewall of the adhesive structure 410 to reduce the stress generated by the packaging layer on the adhesive structure 410, thereby further improving the reliability and yield rate of the packaging process. Let it.

본 실시예에서, 상기 감광성 칩(250)의 광 신호 수신면(201)을 등지는 면을 상기 UV 필름(310)에 접착한 후, 디스펜싱(dispensing) 공정을 통해 상기 응력 완충층(420)을 형성한다. 디스펜싱 공정을 선택하여 응력 완충층(420)을 형성하는 단계와 현재 패키징 공정의 호환성을 향상시키며, 공정이 간단하다.In this embodiment, after bonding the surface facing the light signal receiving surface 201 of the photosensitive chip 250 to the UV film 310, the stress buffer layer 420 is formed through a dispensing process. do. The step of forming the stress buffer layer 420 by selecting a dispensing process improves the compatibility between the current packaging process and the process is simple.

다른 실시예에서, 감광성 칩과 필터를 합착하기 전에, 상기 응력 완충층을 형성할 수도 있다.In another embodiment, before bonding the photosensitive chip and the filter, the stress buffer layer may be formed.

도 6을 참조하면, 제1 캐리어 기판(320)을 제공하고, 상기 제1 캐리어 기판(320)에 기능 소자(미도시) 및 상기 필터(400)를 임시 본딩시키며, 상기 기능 소자는 용접 패드(미도시)를 구비하고, 상기 기능 소자의 용접 패드는 상기 제1 캐리어 기판(320)을 향한다.6, a first carrier substrate 320 is provided, and a functional element (not shown) and the filter 400 are temporarily bonded to the first carrier substrate 320, and the functional element is a welding pad ( (Not shown), and the welding pad of the functional element faces the first carrier substrate 320.

기능 소자 및 감광성 칩(200)을 제1 캐리어 기판(320)에 임시 본딩시킴으로써, 후속적인 기능 소자와 감광성 칩(200)의 패키징 집적 및 전기학 집적을 위해 공정 준비를 한다.By temporarily bonding the functional device and the photosensitive chip 200 to the first carrier substrate 320, a process is prepared for packaging integration and electrical integration of the subsequent functional device and the photosensitive chip 200.

임시 본딩(temporary bonding, TB) 방식을 통해 후속적으로 디본딩이 편리하다. 여기서. 상기 제1 캐리어 기판(320)은 또한 후속적인 패키징층의 형성에 공정 플랫폼을 제공한다.Subsequent debonding is convenient through a temporary bonding (TB) method. here. The first carrier substrate 320 also provides a processing platform for the subsequent formation of the packaging layer.

본 실시예에서, 상기 제1 캐리어 기판(320)은 캐리어 웨이퍼이다. 다른 실시예에서, 상기 제1 캐리어 기판은 다른 타입의 기판일 수도 있다In this embodiment, the first carrier substrate 320 is a carrier wafer. In another embodiment, the first carrier substrate may be a different type of substrate.

구체적으로, 제2 임시 본딩층(325)을 통해 필터(400) 및 기능 소자를 제1 캐리어 기판(320)에 임시 본딩시킨다. 상기 제2 임시 본딩층(325)에 대한 구체적인 설명은 전술한 제1 임시 본딩층(345)(도 1에 도시된 바와 같음)에 대한 상응한 설명을 참조할 수 있고, 여기서 더 설명하지 않도록 한다.Specifically, the filter 400 and the functional element are temporarily bonded to the first carrier substrate 320 through the second temporary bonding layer 325. For a detailed description of the second temporary bonding layer 325, reference may be made to the corresponding description of the first temporary bonding layer 345 (as shown in FIG. 1), which will not be described further here. .

본 실시예에서, 필터(400)를 제1 캐리어 기판(320)에 임시 본딩시킨 후, 상기 감광성 칩(200)의 제1 칩 용접 패드(220)는 상기 제1 캐리어 기판(320)을 향한다.In this embodiment, after temporarily bonding the filter 400 to the first carrier substrate 320, the first chip welding pad 220 of the photosensitive chip 200 faces the first carrier substrate 320.

구체적으로, 하나의 감광성 유닛(250)(도 1에 도시된 바와 같음) 위치의 UV 필름(310)(도 5에 도시된 바와 같음)에 대해 자외선을 조사하여 자외선 조사를 받은 UV 필름(310)의 접착성이 제거되고, 피어싱 핀을 통해 하나의 감광성 유닛(250)을 푸싱하며, 이어서 흡착 기기를 통해 상기 감광성 유닛(250)을 들어올리고, 상기 감광성 유닛(250)을 UV 필름(310)으로부터 순차적으로 박리시키고 상기 제1 캐리어 기판(320)의 기설정된 위치에 장착한다. 상기 감광성 유닛(250)을 하나씩 제1 캐리어 기판(320)에 장착하는 방식을 통해 감광성 유닛(250)이 상기 제1 캐리어 기판(320)에서의 위치 정밀도를 향상시키는데 유리하다.Specifically, one photosensitive unit 250 (as shown in Fig. 1) UV film 310 (as shown in Fig. 5) at the location of the UV film 310 irradiated by UV irradiation to the UV film 310 Is removed, one photosensitive unit 250 is pushed through a piercing pin, and then the photosensitive unit 250 is lifted through an adsorption device, and the photosensitive unit 250 is removed from the UV film 310. They are sequentially peeled off and mounted on the first carrier substrate 320 at a predetermined position. By mounting the photosensitive units 250 to the first carrier substrate 320 one by one, the photosensitive unit 250 is advantageous in improving the positional accuracy of the first carrier substrate 320.

본 실시예에서 하나의 감광성 유닛(250)만 설명하였다. 다른 실시예에서, 형성된 렌즈 모듈이 이중 촬영 또는 어레이 모듈 제품에 적용될 경우, 상기 감광성 유닛의 수량은 복수개일 수도 있다.In this embodiment, only one photosensitive unit 250 has been described. In another embodiment, when the formed lens module is applied to a dual photographing or array module product, the number of the photosensitive units may be plural.

설명해야 할 점은, 본 실시예에서, 상기 감광성 칩(200)과 필터(400)를 장착한 후, 상기 필터(400)를 제1 캐리어 기판(320)에 임시 본딩시킨다. 다른 실시예에서, 필터를 제1 캐리어 기판에 임시 본딩시킨 후, 상기 감광성 칩과 필터를 장착할 수도 있다.It should be explained that in this embodiment, after the photosensitive chip 200 and the filter 400 are mounted, the filter 400 is temporarily bonded to the first carrier substrate 320. In another embodiment, after temporarily bonding the filter to the first carrier substrate, the photosensitive chip and the filter may be mounted.

상기 기능 소자는 촬영 어셈블리 중 감광성 칩(200)을 제외한 특정 기능 소자이고, 주변 칩(230) 및 수동 소자(240) 중 적어도 한 가지를 포함한다.The functional element is a specific functional element other than the photosensitive chip 200 in the photographing assembly, and includes at least one of a peripheral chip 230 and a passive element 240.

본 실시예에서, 후속적으로 재배선 구조를 형성하는 공정 난도를 감소시키기 위하여, 기능 소자를 제1 캐리어 기판(320)에 임시 본딩시킨 후, 상기 기능 소자의 용접 패드는 제1 캐리어 기판(320)을 향한다.In this embodiment, after temporarily bonding the functional element to the first carrier substrate 320 in order to reduce the difficulty in the process of subsequently forming the redistribution structure, the welding pad of the functional element is the first carrier substrate 320 ).

여기서, 필터(400)를 제1 캐리어 기판(320)에 임시 본딩시키고 각 기능 소자의 용접 패드가 제1 캐리어 기판(320)을 향하도록 함으로써, 감광성 칩(200)과 기능 소자의 두께 차이가 패키징층 형성 공정에 대한 영향을 방지할 수 있고, 후속적으로 패키징층을 형성하는 공정 복잡도를 감소시키는데 유리하다.Here, the filter 400 is temporarily bonded to the first carrier substrate 320 and the welding pad of each functional element faces the first carrier substrate 320, so that the difference in thickness between the photosensitive chip 200 and the functional element is packaged. It is possible to prevent the influence on the layer forming process, and is advantageous in reducing the process complexity of subsequently forming the packaging layer.

본 실시예에서, 상기 기능 소자는 주변 칩(230) 및 수동 소자(240)를 포함한다.In this embodiment, the functional element includes a peripheral chip 230 and a passive element 240.

상기 주변 칩(230)은 능동 소자이고, 후속적으로 감광성 칩(200)과 전기적으로 연결될 경우, 상기 감광성 칩(200)에 주변 회로를 제공하는데, 예를 들어, 아날로그 전력 공급 회로, 디지털 전력 공급 회로, 전압 완충 회로, 셔터 회로, 셔터 구동 회로 등을 제공한다.The peripheral chip 230 is an active element, and when it is subsequently electrically connected to the photosensitive chip 200, a peripheral circuit is provided to the photosensitive chip 200, for example, an analog power supply circuit, a digital power supply. Circuits, voltage buffer circuits, shutter circuits, shutter driving circuits, and the like.

본 실시예에서, 상기 주변 칩(230)은 디지털 신호 프로세서 칩 및 메모리 칩 중 한 가지 또는 두 가지를 포함한다. 다른 실시예에서, 다른 기능 타입의 칩일 수도 있다. 도 6에서 하나의 주변 칩(230)만 도시하였지만, 주변 칩(230)의 수량은 하나에 한정되지 않는다.In this embodiment, the peripheral chip 230 includes one or both of a digital signal processor chip and a memory chip. In other embodiments, it may be a chip of another functional type. Although only one peripheral chip 230 is illustrated in FIG. 6, the number of peripheral chips 230 is not limited to one.

상기 주변 칩(230)은 일반적으로 실리콘 기판 칩이고, 집적 회로 제작 기술로 제작되며, 상기 주변 칩(230)과 다른 칩 또는 부재의 전기적 연결을 실현하기 위한 용접 패드를 구비한다. 본 실시예에서, 상기 주변 칩(230)은 제2 칩 용접 패드(235)를 포함하고, 상기 주변 칩(230)이 제1 캐리어 기판(320)에 임시 본딩된 후, 상기 제2 칩 용접 패드(235)는 제1 캐리어 기판(320)을 향한다.The peripheral chip 230 is generally a silicon substrate chip, manufactured by an integrated circuit manufacturing technology, and includes a welding pad for realizing electrical connection between the peripheral chip 230 and other chips or members. In this embodiment, the peripheral chip 230 includes a second chip welding pad 235, and after the peripheral chip 230 is temporarily bonded to the first carrier substrate 320, the second chip welding pad 235 faces the first carrier substrate 320.

상기 수동 소자(240)는 감광성 칩(200)의 감광성 작업에 대해 특정 작용을 한다. 상기 수동 소자(240)는 레지스터, 커패시턴스, 인덕턴스, 다이오드, 삼극관, 전위차계, 릴레이 또는 구동기 등 부피가 비교적 작은 전자 소자를 포함할 수 있다. 도 6에서 하나의 수동 소자(240)만 도시하였지만, 상기 수동 소자(240)의 수량은 하나에 한정되지 않는다.The passive element 240 performs a specific action on the photosensitive operation of the photosensitive chip 200. The passive element 240 may include an electronic element having a relatively small volume, such as a resistor, a capacitance, an inductance, a diode, a triode, a potentiometer, a relay, or a driver. Although only one passive element 240 is shown in FIG. 6, the number of the passive elements 240 is not limited to one.

상기 수동 소자(240)도 상기 수동 소자(240)와 다른 칩 또는 부재의 전기적 연결을 실현하기 위한 용접 패드를 구비한다. 본 실시예에서, 상기 수동 소자(240)의 용접 패드는 전극(245)이고, 상기 수동 소자(240)를 제1 캐리어 기판(320)에 임시 본딩시킨 후, 상기 전극(245)은 제1 캐리어 기판(320)을 향한다.The passive element 240 also includes a welding pad for realizing electrical connection between the passive element 240 and another chip or member. In this embodiment, the welding pad of the passive element 240 is an electrode 245, and after temporarily bonding the passive element 240 to the first carrier substrate 320, the electrode 245 is a first carrier. It faces the substrate 320.

도 7 및 도 8을 결부하여 참조하면, 상기 제1 캐리어 기판(320) 및 기능 소자(미도시)를 커버하고 상기 감광성 칩(200)의 부분 측벽을 적어도 커버하는 패키징층(350)(도 8에 도시된 바와 같음)을 형성한다.7 and 8, a packaging layer 350 (FIG. 8) covering the first carrier substrate 320 and a functional device (not shown) and at least covering a partial sidewall of the photosensitive chip 200 (FIG. 8). As shown in).

상기 패키징층(350)은 감광성 칩(200)과 기능 소자(예를 들어, 주변 칩(230), 수동 소자(240))에 대해 고정 작용을 하고, 감광성 칩(200)과 기능 소자에 대해 패키징 집적을 실현한다.The packaging layer 350 serves to fix the photosensitive chip 200 and functional elements (for example, the peripheral chip 230 and the passive element 240), and package the photosensitive chip 200 and the functional element. Realize integration.

여기서, 상기 패키징층(350)을 통해 렌즈 어셈블리 중 홀더가 차지하는 공간을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 회로기판(예를 들어, PCB)을 생략할 수 있음으로써, 후속적으로 형성된 렌즈 모듈의 전체 두께를 현저히 감소시켜, 렌즈 모듈의 소형화, 박형화의 요구를 만족시킨다. 또한, 기능 소자를 주변 메인보드에 장착하는 해결수단에 비해, 감광성 칩과 기능 소자를 모두 패키징층(350)에 집적시키는 방식은 감광성 칩(200)과 각 기능 소자 사이의 거리를 감소시키고, 상응하게 감광성 칩과 각 기능 소자 사이의 전기적 연결 거리를 단축시키는데 유리함으로써, 신호 전송 속도를 향상시키고, 렌즈 모듈의 사용 성능을 향상시킨다(예를 들어, 촬영 속도 및 저장 속도를 향상시킴).Here, not only the space occupied by the holder in the lens assembly can be reduced through the packaging layer 350, and the circuit board (eg, PCB) can be omitted, so that the total thickness of the subsequently formed lens module Is significantly reduced, thereby satisfying the demands of miniaturization and thinning of the lens module. In addition, compared to the solution means of mounting the functional element on the peripheral main board, the method of integrating both the photosensitive chip and the functional element on the packaging layer 350 reduces the distance between the photosensitive chip 200 and each functional element, and corresponds to It is advantageous in shortening the electrical connection distance between the photosensitive chip and each functional element, thereby improving the signal transmission speed and improving the use performance of the lens module (for example, improving the shooting speed and storage speed).

상기 패키징층(350)은 또한 절연, 밀봉 및 방습 작용이 있고, 렌즈 모듈의 신뢰성을 향상시키는데 유리하다.The packaging layer 350 also has insulating, sealing and moisture-proof functions, and is advantageous in improving the reliability of the lens module.

본 실시예에서, 상기 패키징층(350)의 재료는 에폭시 수지이다. 에폭시 수지는 수축률이 낮고, 접착성이 좋으며, 내부식성이 좋고, 전기적 특성이 우수하며 원가가 비교적 낮은 등 장점을 구비한다. 따라서 전자 소자와 집적 회로의 패키징 재료로서 광범위하게 사용된다.In this embodiment, the material of the packaging layer 350 is an epoxy resin. Epoxy resin has advantages such as low shrinkage, good adhesion, good corrosion resistance, excellent electrical properties, and relatively low cost. Therefore, it is widely used as a packaging material for electronic devices and integrated circuits.

구체적으로, 사출성형(injection molding) 공정을 이용하여 상기 패키징층(350)을 형성한다. 사출성형 공정은 생산 속도가 빠르고, 효율이 높으며, 조작 자동화가 가능한 등 특징을 구비하고, 생산량을 향상시키고 공정 원가를 절감시키는데 유리하다. 다른 실시예에서, 다른 몰딩 공정을 이용하여 상기 패키징층을 형성할 수도 있다.Specifically, the packaging layer 350 is formed using an injection molding process. The injection molding process has features such as fast production speed, high efficiency, and possible operation automation, and is advantageous in improving production volume and reducing process cost. In another embodiment, the packaging layer may be formed using another molding process.

본 실시예에서, 상기 패키징층(350)을 형성하는 단계는, 상기 제1 캐리어 기판(320), 기능 소자 및 감광성 칩(200)을 커버하는 패키징 재료층(355)(도 7에 도시된 바와 같음)을 형성하는 단계; 상기 패키징 재료층(355)에 대해 연삭(grinding) 처리를 진행하여 상기 감광성 유닛(250) 및 기능 소자 중 높은 것과 서로 평행되는 상기 패키징층(350)을 형성하는 단계를 포함한다.In this embodiment, the forming of the packaging layer 350 includes a packaging material layer 355 (as shown in FIG. 7) covering the first carrier substrate 320, the functional element, and the photosensitive chip 200. Equal to); And performing a grinding treatment on the packaging material layer 355 to form the packaging layer 350 parallel to the higher one of the photosensitive unit 250 and the functional element.

상기 연삭 처리를 통해 상기 패키징층(350)의 두께가 작아지므로, 형성된 렌즈 모듈의 전체 두께를 감소시킨다.Since the thickness of the packaging layer 350 is reduced through the grinding treatment, the total thickness of the formed lens module is reduced.

필터(400)를 제1 캐리어 기판(320)에 임시 본딩시키므로, 상기 패키징 재료층(355)을 형성하는 과정에서, 사출성형 공정에 필요한 금형을 제작할 필요가 없으므로 공정이 간단하다.Since the filter 400 is temporarily bonded to the first carrier substrate 320, in the process of forming the packaging material layer 355, there is no need to manufacture a mold required for the injection molding process, so the process is simple.

본 실시예에서, 상기 감광성 유닛(250)의 전체 두께는 기능 소자의 두께보다 크므로, 상기 연삭 처리 후, 상기 패키징층(350)의 제1 캐리어 기판(320)을 등지는 면과 감광성 칩(200)의 제1 캐리어 기판(320)을 등지는 면은 서로 평행되고, 즉, 상기 패키징층(350)은 상기 감광성 칩(200)의 측벽을 커버한다.In this embodiment, since the total thickness of the photosensitive unit 250 is greater than the thickness of the functional element, after the grinding treatment, the surface of the packaging layer 350 facing the first carrier substrate 320 and the photosensitive chip ( Surfaces of the first carrier substrate 320 of 200 are parallel to each other, that is, the packaging layer 350 covers the sidewalls of the photosensitive chip 200.

본 실시예에서, 상기 패키징층(350)은 상응하게 필터(400)의 측벽을 더 커버함으로써, 감광성 유닛(250) 중 캐비티의 밀봉성을 향상시키며, 수증기, 산화 기체 등이 상기 캐비티 내에 들어가는 확률을 감소시켜 감광성 칩(200)의 성능을 보장한다. In this embodiment, the packaging layer 350 further covers the sidewall of the filter 400 correspondingly, thereby improving the sealing property of the cavity among the photosensitive unit 250, and the probability that water vapor, oxidizing gas, etc. enter the cavity. Is reduced to ensure the performance of the photosensitive chip 200.

설명해야 할 점은, 상기 패키징층(350)의 작용 하에, 회로기판을 생략함으로써, 렌즈 모듈의 두께를 감소시키는 효과를 발생하므로, 감광성 칩(200)과 주변 칩(230)에 대해 박화 처리를 진행할 필요가 없기에, 상기 감광성 칩(200)과 주변 칩(230)의 기계적 강도와 신뢰성을 향상시킨다. 다른 실시예에서, 공정 요구에 따라, 상기 감광성 칩과 주변 칩의 두께를 적절히 감소시킬 수 있지만, 이의 기계적 강도와 신뢰성이 영향을 받지 않도록 박화량이 비교적 작다.It should be explained that under the action of the packaging layer 350, the circuit board is omitted, thereby reducing the thickness of the lens module, so that the photosensitive chip 200 and the peripheral chip 230 are thinned. Since there is no need to proceed, the mechanical strength and reliability of the photosensitive chip 200 and the peripheral chip 230 are improved. In another embodiment, the thickness of the photosensitive chip and the peripheral chip may be appropriately reduced according to the process requirements, but the thinning amount is relatively small so that the mechanical strength and reliability thereof are not affected.

도 9를 참조하면, 제2 디본딩 처리를 진행하여 상기 제1 캐리어 기판(320)(도 8에 도시된 바와 같음)을 제거한다.Referring to FIG. 9, a second debonding process is performed to remove the first carrier substrate 320 (as shown in FIG. 8 ).

상기 제1 캐리어 기판(320)을 제거하여 상기 기능 소자의 용접 패드를 노출시킴으로써, 후속적인 전기적 연결 공정을 위해 공정 준비를 한다.The first carrier substrate 320 is removed to expose the welding pad of the functional device, thereby preparing a process for a subsequent electrical connection process.

본 실시예에서, 상기 제2 디본딩 처리의 단계는, 상기 제1 캐리어 기판(320) 및 제2 임시 본딩층(325)(도 8에 도시된 바와 같음)을 순차적으로 제거하는 단계를 포함한다. 상기 제2 디본딩 처리에 대한 구체적인 설명은 전술한 상기 제1 디본딩 처리에 대한 관련 설명을 참조할 수 있고, 여기서 더 설명하지 않도록 한다.In this embodiment, the step of the second debonding process includes sequentially removing the first carrier substrate 320 and the second temporary bonding layer 325 (as shown in FIG. 8 ). . For a detailed description of the second debonding process, reference may be made to the related description of the first debonding process, which will not be further described herein.

도 10 내지 도 14를 결부하여 참조하면, 상기 제1 캐리어 기판(320)(도 8에 도시된 바와 같음)을 제거한 후, 상기 패키징층(350)에서의 상기 필터(400)에 근접하는 일측에 상기 감광성 칩(200)의 용접 패드 및 상기 기능 소자(미도시)의 용접 패드(미도시)에 전기적으로 연결되는 재배선(redistribution layer, RDL) 구조(360)(도 14에 도시된 바와 같음)를 형성한다.10 to 14, after removing the first carrier substrate 320 (as shown in FIG. 8), one side of the packaging layer 350 close to the filter 400 A redistribution layer (RDL) structure 360 electrically connected to the welding pad of the photosensitive chip 200 and the welding pad (not shown) of the functional element (not shown) (as shown in FIG. 14) To form.

상기 재배선 구조(360)는 형성된 촬영 어셈블리의 전기학 집적을 실현한다. 여기서, 상기 패키징층(350) 및 재배선 구조(360)을 통해 감광성 칩(200)과 기능 소자 사이의 거리를 감소시키고, 상응하게 전기적 연결 거리를 단축시키므로, 신호를 전송하는 속도를 향상시킴으로써, 렌즈 모듈의 사용 성능을 향상시킨다. 구체적으로, 상기 주변 칩(230)은 디지털 신호 프로세서 칩 및 메모리 칩 중 한 가지 또는 두 가지를 포함하므로, 상응하게 촬영 속도 및 저장 속도를 향상시키는데 유리하다.The redistribution structure 360 realizes electrical integration of the formed photographing assembly. Here, by reducing the distance between the photosensitive chip 200 and the functional element through the packaging layer 350 and the redistribution structure 360, and correspondingly shortening the electrical connection distance, the speed of transmitting a signal is improved, Improves the use performance of the lens module. Specifically, since the peripheral chip 230 includes one or two of a digital signal processor chip and a memory chip, it is advantageous to increase a shooting speed and a storage speed accordingly.

또한, 재배선 구조(360)를 선택하여 상기 감광성 칩(200)과 기능 소자 사이의 거리를 감소시키는 동시에 전기적 연결 공정 가능성을 향상시킬 수 있고, 와이어 본딩 공정에 비해, 재배선 구조(360)는 대량 생산이 가능하여 패키징 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, by selecting the rewiring structure 360, the distance between the photosensitive chip 200 and the functional element can be reduced, and the possibility of an electrical connection process can be improved. Compared to the wire bonding process, the rewiring structure 360 Mass production is possible, and packaging efficiency can be improved.

이 밖에, 상기 패키징층(350)에서의 필터(400)에 근접하는 일측에 상기 재배선 구조(360)를 형성하고, 후속적으로 렌즈 어셈블리를 상기 패키징층(350)에 조립한 후, 상기 재배선 구조(360)는 상응하게 렌즈 어셈블리의 홀더에 위치하여 재배선 구조(360)가 보호 받으므로, 렌즈 모듈의 신뢰성과 안정성을 향상시키는데 유리하고, 렌즈 모듈의 후속적인 패키징에 용이하다.In addition, after forming the rewiring structure 360 on one side of the packaging layer 350 close to the filter 400, and subsequently assembling the lens assembly to the packaging layer 350, the cultivation Since the wire structure 360 is correspondingly positioned in the holder of the lens assembly to protect the redistribution structure 360, it is advantageous to improve the reliability and stability of the lens module, and to facilitate subsequent packaging of the lens module.

본 실시예에서, 상기 재배선 구조(360)는 상기 제1 칩 용접 패드(220), 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245)에 전기적으로 연결된다. 여기서, 상기 패키징층(350)은 상기 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245)을 노출시키므로, 상기 재배선 구조(360)를 형성하는 공정이 비교적 간단하다.In this embodiment, the redistribution structure 360 is electrically connected to the first chip welding pad 220, the second chip welding pad 235 and the electrode 245. Here, since the packaging layer 350 exposes the second chip welding pad 235 and the electrode 245, the process of forming the redistribution structure 360 is relatively simple.

구체적으로, 상기 재배선 구조(360)를 형성하는 단계는 하기와 같은 단계를 포함한다.Specifically, the step of forming the redistribution structure 360 includes the following steps.

도 10 및 도 11을 결부하여 참조하면, 상기 패키징층(350) 내에 상기 감광성 칩(200)의 용접 패드에 전기적으로 연결되는 전도성 칼럼(280)(도 11에 도시된 바와 같음)을 형성한다.Referring to FIGS. 10 and 11, a conductive column 280 (as shown in FIG. 11) electrically connected to the welding pad of the photosensitive chip 200 is formed in the packaging layer 350.

상기 전도성 칼럼(280)은 상기 제1 칩 용접 패드(220)에 전기적으로 연결되어 상기 감광성 칩(200)의 외부 연결 전극으로 작용하고, 상기 감광성 칩(200)은 상기 전도성 칼럼(280)을 통해 기능 소자와 전기적으로 연결된다. 여기서, 상기 전도성 칼럼(280)은 상기 감광성 칩(200) 중의 금속 연결 구조와 전기적으로 연결될 수 있고, 상기 감광성 칩(200)을 관통하여 상기 제1 칩 용접 패드(220)와 직접 전기적으로 연결될 수도 있다.The conductive column 280 is electrically connected to the first chip welding pad 220 to serve as an external connection electrode of the photosensitive chip 200, and the photosensitive chip 200 is provided through the conductive column 280. It is electrically connected to the functional element. Here, the conductive column 280 may be electrically connected to a metal connection structure in the photosensitive chip 200, and may be directly electrically connected to the first chip welding pad 220 through the photosensitive chip 200. have.

상기 전도성 칼럼(280)의 최상면은 상기 패키징층(350)에 노출되고, 상기 전도성 칼럼(280)을 통해 상기 감광성 칩(200)의 외부 연결 전극과 기능 소자의 용접 패드가 상기 패키징층(350)의 동일측에 위치하도로 함으로써, 상기 재배선 구조를 형성하는 공정 난도를 감소시킨다. 상기 전도성 칼럼(280)의 최상면은 상기 전도성 칼럼(280)의 연장 방향을 따라 상기 전도성 칼럼(280)이 감광성 칩(200)을 등지는 면을 의미한다.The top surface of the conductive column 280 is exposed to the packaging layer 350, and an external connection electrode of the photosensitive chip 200 and a welding pad of the functional element are formed through the conductive column 280 to the packaging layer 350. By setting it to be located on the same side of, the difficulty in the process of forming the redistribution structure is reduced. The top surface of the conductive column 280 refers to a surface on which the conductive column 280 faces the photosensitive chip 200 along the extending direction of the conductive column 280.

본 실시예에서, 상기 전도성 칼럼(280)의 재료는 구리이므로, 상기 전도성 칼럼(280)의 전도성을 향상시키고, 상기 전도성 칼럼(280)의 공정 난도를 감소시킨다. 다른 실시예에서, 상기 전도성 칼럼의 재료는 텅스텐(tungsten)과 같은 다른 적용 가능한 전도성 재료일 수 있다.In this embodiment, since the material of the conductive column 280 is copper, the conductivity of the conductive column 280 is improved and the difficulty of the process of the conductive column 280 is reduced. In another embodiment, the material of the conductive column may be another applicable conductive material such as tungsten.

구체적으로, 전도성 칼럼(280)을 형성하는 단계는, 상기 패키징층(350)을 패턴화하여 상기 패키징층(350) 내에 제1 칩 용접 패드(220)를 노출시키는 전도성 관통홀(351)(도 10에 도시된 바와 같음)을 형성하는 단계; 및 상기 전도성 관통홀(351) 내에 상기 전도성 칼럼(280)을 형성하는 단계를 포함한다.Specifically, the forming of the conductive column 280 includes a conductive through hole 351 for exposing the first chip welding pad 220 in the packaging layer 350 by patterning the packaging layer 350 (Fig. As shown in Fig. 10); And forming the conductive column 280 in the conductive through hole 351.

본 실시예에서, 식각 공정을 통해 상기 전도성 관통홀(351)을 형성한다. 구체적으로, 레이저 식각 공정을 통해 상기 패키징층(350)을 식각하여 상기 전도성 관통홀(351)을 형성한다. 레이저 식각 공정은 정밀도가 비교적 높으므로, 상기 전도성 관통홀(351)의 형성 위치와 사이즈를 비교적 정밀하게 결정할 수 있다.In this embodiment, the conductive through hole 351 is formed through an etching process. Specifically, the conductive through hole 351 is formed by etching the packaging layer 350 through a laser etching process. Since the laser etching process has a relatively high precision, the formation position and size of the conductive through-hole 351 can be determined with relatively high precision.

본 실시예에서, 전기도금 공정을 통해 상기 전도성 관통홀(351) 내에 상기 전도성 칼럼(280)을 형성한다.In this embodiment, the conductive column 280 is formed in the conductive through hole 351 through an electroplating process.

전도성 칼럼을 전도성 관통홀 내에 본딩시키는 해결수단에 비해, 본 실시예의 충진 방식을 통해 상기 전도성 관통홀(351) 내에 전도성 칼럼(280)을 형성하는 해결수단은 전도성 칼럼(280)을 형성하는 공정 난도를 감소시키고, 정렬 문제가 발생되는 것을 방지하며, 전도성 칼럼(280)과 제1 칩 용접 패드(220)의 전기적 연결 신뢰성을 향상시킨다.Compared to the solution of bonding the conductive column into the conductive through-hole, the solution of forming the conductive column 280 in the conductive through-hole 351 through the filling method of the present embodiment is difficult in the process of forming the conductive column 280 , Prevents an alignment problem from occurring, and improves electrical connection reliability between the conductive column 280 and the first chip welding pad 220.

도 12 내지 도 14를 결부하여 참조하면, 상기 패키징층(350)에서의 상기 필터(400)에 근접하는 일측에 상기 전도성 칼럼(280) 및 기능 소자의 용접 패드에 전기적으로 연결되는 연결선(290)을 형성한다.12 to 14, a connection line 290 electrically connected to the conductive column 280 and the welding pad of the functional element at one side of the packaging layer 350 close to the filter 400 To form.

본 실시예에서, 상기 연결선(290)을 형성하는 단계는 하기와 같은 단계를 포함한다.In this embodiment, the step of forming the connection line 290 includes the following steps.

도 12에 도시된 바와 같이, 상기 연결선(290)이 형성되는 제2 캐리어 기판(330)을 제공한다.As shown in FIG. 12, a second carrier substrate 330 on which the connection line 290 is formed is provided.

구체적으로, 상기 제2 캐리어 기판(330)에 제3 임시 본딩층(331)을 형성하고; 제3 임시 본딩층에 제1 매질층(332)을 형성하며; 제1 매질층(332)을 패턴화하여 상기 제1 매질층(332) 내에 제1 연결홈(미도시)을 형성하고; 상기 제1 연결홈 내에 상기 연결선(290)을 형성한다.Specifically, forming a third temporary bonding layer 331 on the second carrier substrate 330; Forming a first medium layer 332 on the third temporary bonding layer; Forming a first connection groove (not shown) in the first medium layer 332 by patterning the first medium layer 332; The connection line 290 is formed in the first connection groove.

본 실시예에서, 상기 연결선(290)은 상기 제1 연결홈 내에 충진되므로, 상응하게 상기 연결선(290)을 형성하는 공정 복잡도를 감소시킨다.In this embodiment, since the connection line 290 is filled in the first connection groove, the complexity of the process of forming the connection line 290 is correspondingly reduced.

여기서, 상기 제3 임시 본딩층(331)은 박리층으로서, 후속적으로 상기 연결선(290)과 제2 캐리어 기판(330)의 분리에 용이하다. 본 실시예에서, 상기 제3 임시 본딩층(331)은 발포막일 수 있고, 상기 제3 임시 본딩층(331)에 대한 구체적인 설명은 전술한 제2 임시 본딩층(345)(도 1에 도시된 바와 같음)에 대한 상응한 설명을 참조할 수 있고, 여기서 더 설명하지 않도록 한다.Here, the third temporary bonding layer 331 is a peeling layer, and it is easy to subsequently separate the connection line 290 from the second carrier substrate 330. In this embodiment, the third temporary bonding layer 331 may be a foam film, and a detailed description of the third temporary bonding layer 331 is described in the second temporary bonding layer 345 (shown in FIG. 1 ). As described above), the corresponding description can be referred to, and no further explanation is made here.

상기 제1 매질층(332) 내의 제1 연결홈은 상기 연결선(290)의 형상, 위치 및 사이즈를 정의하기 위한 것이다. 본 실시예에서, 상기 제1 매질층(332)의 재료는 감광성 재료이고, 상응하게 포토리소그래피 공정을 통해 패턴화할 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 매질층(332)의 재료는 감광성 폴리이미드, 감광성 벤조시클로부텐 또는 감광성 폴리벤즈옥사졸이다.The first connection groove in the first medium layer 332 is for defining the shape, position, and size of the connection line 290. In this embodiment, the material of the first medium layer 332 is a photosensitive material, and correspondingly, it may be patterned through a photolithography process. Specifically, the material of the first medium layer 332 is photosensitive polyimide, photosensitive benzocyclobutene, or photosensitive polybenzoxazole.

전술한 재료의 제1 매질층(332)은 비교적 강한 내부식성을 구비하므로, 상기 연결선(290)을 형성한 후, 반응 이온 식각 공정을 이용하여 상기 제1 매질층(332)을 제거함으로써, 후속적인 전기적 연결 공정을 위해 공정 기초를 제공한다.Since the first medium layer 332 of the above-described material has relatively strong corrosion resistance, after forming the connection line 290, by removing the first medium layer 332 using a reactive ion etching process, subsequent It provides a process basis for a more efficient electrical connection process.

설명해야 할 점은, 다른 실시예에서, 상기 제2 캐리어 기판에 제3 임시 본딩층을 형성하는 단계 이전에, 상기 제2 캐리어 기판에 패시베이션층을 형성하는 단계를 더 포함한다. 상기 패시베이션층을 통해 상기 제2 캐리어 기판이 오염되는 것을 방지함으로써, 상기 제2 캐리어 기판이 재이용될 수 있도록 한다. 본 실시예에서, 상기 패시베이션층의 재료는 산화 규소 또는 질화 규소일 수 있다.It should be noted that in another embodiment, prior to the step of forming a third temporary bonding layer on the second carrier substrate, the step of forming a passivation layer on the second carrier substrate is further included. By preventing contamination of the second carrier substrate through the passivation layer, the second carrier substrate can be reused. In this embodiment, the material of the passivation layer may be silicon oxide or silicon nitride.

더 설명해야 할 점은, 다른 실시예에서, 상기 연결선으로서 식각을 통해 패턴화가 용이한 재료(예를 들어, 알루미늄)를 선택할 경우, 식각 방식을 통해 상기 연결선을 형성할 수도 있다. 상응하게, 상기 연결선을 형성하는 단계는, 상기 제3 임시 본딩층에 전도층을 형성하는 단계; 및 상기 전도층을 식각하여 연결선을 형성하는 단계를 포함한다.It should be further explained that, in another embodiment, when a material (eg, aluminum) that is easily patterned through etching is selected as the connection line, the connection line may be formed through an etching method. Correspondingly, the forming of the connection line may include forming a conductive layer on the third temporary bonding layer; And etching the conductive layer to form a connection line.

도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서, 상기 재배선 구조(360)(도 14에 도시된 바와 같음)을 형성하는 단계는, 상기 전도성 칼럼(280) 및 기능 소자의 용접 패드에 전도성 돌출 블록(365)을 형성하는 단계; 및 상기 연결선(290)을 상기 전도성 돌출 블록(365)에 본딩시켜 상기 전도성 돌출 블록(365)과 전기적으로 연결시키는 단계를 더 포함한다.13 and 14, in the present embodiment, the step of forming the redistribution structure 360 (as shown in FIG. 14) includes the conductive column 280 and the welding pad of the functional element. Forming a conductive protruding block 365 on the; And bonding the connection line 290 to the conductive protruding block 365 to electrically connect the conductive protruding block 365 to the conductive protruding block 365.

상기 전도성 칼럼(280), 전도성 돌출 블록(365) 및 연결선(290)은 상기 재배선 구조(360)를 구성한다.The conductive column 280, the conductive protruding block 365, and the connection line 290 constitute the redistribution structure 360.

상기 전도성 돌출 블록(365)은 전도성 칼럼(280), 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245)에 돌출되고, 상기 전도성 돌출 블록(365)을 통해 연결선(290)과 전도성 칼럼(280), 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245) 사이의 본딩 신뢰성을 향상시킨다.The conductive protruding block 365 protrudes from the conductive column 280, the second chip welding pad 235 and the electrode 245, and the connection line 290 and the conductive column 280 through the conductive protruding block 365. , It improves the bonding reliability between the second chip welding pad 235 and the electrode 245.

또한, 전도성 칼럼(280), 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245)에 전도성 돌출 블록(365)을 형성하는 방식은 전도성 돌출 블록(365)의 위치 정밀도를 향상시키는데 유리하고, 상기 전도성 돌출 블록(365)을 형성하는 공정 난도를 감소시킨다.In addition, the method of forming the conductive protruding block 365 on the conductive column 280, the second chip welding pad 235 and the electrode 245 is advantageous in improving the positional accuracy of the conductive protruding block 365, and the conductive The difficulty of forming the protruding block 365 is reduced.

본 실시예에서, 범핑(bumping) 공정을 이용하여 상기 전도성 돌출 블록(365)을 형성한다. 범핑 공정을 선택하면 각 칩 및 소자와 상기 재배선 구조(360) 사이의 신호 전송 신뢰성을 향상시키는데 유리하다. 구체적으로, 상기 전도성 돌출 블록(365)의 재료는 주석일 수 있다.In this embodiment, the conductive protruding block 365 is formed using a bumping process. Selecting the bumping process is advantageous in improving the reliability of signal transmission between each chip and device and the redistribution structure 360. Specifically, the material of the conductive protruding block 365 may be tin.

본 실시예에서, 금속 본딩 공정을 이용하여 연결선(290)을 전도성 돌출 블록(365)에 본딩시킨다.In this embodiment, the connection line 290 is bonded to the conductive protruding block 365 using a metal bonding process.

구체적으로, 상기 금속 본딩 공정은 열압축 본딩 공정이다. 상기 금속 본딩 공정에서, 연결선(290)과 전도성 돌출 블록(365)의 접촉면은 압력의 작용 하에 소성 변형을 일으켜 접촉면의 원자가 서로 접촉되도록 하고, 본딩 온도가 상승함에 따라 접촉면의 원자의 확산이 가속화되어 크로스오버 확산이 이루어진다. 일정한 본딩 시간에 도달한 후, 접촉면의 결정 격자는 재조합됨으로써 본딩이 이루어지고, 본딩 강도, 전기전도 열전도성, 전계확산 내성 및 기계적 연결 성능이 비교적 높다.Specifically, the metal bonding process is a thermal compression bonding process. In the metal bonding process, the contact surface of the connection line 290 and the conductive protrusion block 365 undergoes plastic deformation under the action of pressure so that the atoms of the contact surface come into contact with each other, and as the bonding temperature increases, the diffusion of atoms on the contact surface is accelerated. Crossover spread is made. After reaching a certain bonding time, the crystal lattice of the contact surface is recombined to perform bonding, and the bonding strength, electrical conduction thermal conductivity, electric field diffusion resistance, and mechanical connection performance are relatively high.

설명해야 할 점은, 본딩 온도가 상승함에 따라, 접촉면의 원자는 보다 많은 에너지를 획득하고, 원자 사이의 확산은 보다 더 현저하며, 본딩 온도의 상승은 결정립 성장을 촉진시킬 수 있고, 에너지를 획득한 결정립은 크로스오버 성장할 수 있으므로, 경계면을 제거하는데 유리함으로써, 접촉면의 재료가 일체가 되도록 한다. 하지만, 본딩 온도가 지나치게 높으면, 상기 감광성 칩(200)과 주변 칩(230), 특히 형성된 촬영 어셈블리 중의 감광 소자의 성능에 대해 나쁜 영향을 미치고, 공정 온도가 지나치게 높으면 열응력이 발생할 수도 있어 정렬 정밀도가 저하되고 공정 원가가 증가되며 생산 효율이 감소되는 등 문제가 발생한다. 이에, 본 실시예에서, 상기 금속 본딩 공정은 금속 저온 본딩 공정이고, 상기 금속 본딩 공정의 본딩 온도는 250 ℃보다 작거나 같다. 여기서, 본딩 온도의 최소값은 본딩이 가능하기만 하면 된다.It should be explained that as the bonding temperature increases, the atoms on the contact surface acquire more energy, the diffusion between the atoms is more pronounced, and the increase in the bonding temperature can promote grain growth and acquire energy. Since one crystal grain can crossover grow, it is advantageous in removing the interface, thus allowing the material of the contact surface to be integrated. However, if the bonding temperature is too high, the photosensitive chip 200 and the peripheral chip 230, in particular, have a bad effect on the performance of the photosensitive element in the formed photographing assembly, and if the process temperature is too high, thermal stress may occur. Is lowered, process cost increases, and production efficiency decreases. Accordingly, in this embodiment, the metal bonding process is a metal low-temperature bonding process, and the bonding temperature of the metal bonding process is less than or equal to 250°C. Here, the minimum value of the bonding temperature only needs to be capable of bonding.

상기 본딩 온도의 설정 하에, 압력을 증가시켜 원자 사이의 확산이 보다 더 용이하도록 함으로써, 상기 연결선(290)과 전도성 돌출 블록(365)의 본딩 품질을 향상시킨다. 이에, 본 실시예에서, 상기 금속 본딩 공정의 압력은 200 kPa보다 크거나 같다. 여기서, 상기 압력은 압착 도구에 의해 발생된다.Under the setting of the bonding temperature, the bonding quality of the connection line 290 and the conductive protruding block 365 is improved by increasing the pressure to facilitate diffusion between atoms. Thus, in this embodiment, the pressure of the metal bonding process is greater than or equal to 200 kPa. Here, the pressure is generated by the pressing tool.

본딩 시간도 본딩 품질을 증가시킬 수 있다. 이에, 본 실시예에서, 상기 금속 본딩 공정의 본딩 시간은 30 분보다 크거나 같다.Bonding time can also increase bonding quality. Accordingly, in this embodiment, the bonding time of the metal bonding process is greater than or equal to 30 minutes.

설명해야 할 점은, 실제 공정에서, 상기 본딩 온도, 압력 및 본딩 시간을 합리적으로 조절하고 서로 배합하여 금속 본딩 품질과 효율을 보장할 수 있다. 더 설명해야 할 점은, 접촉면이 산화되거나 오염되는 확률을 감소시키기 위하여, 진공 환경에서 상기 금속 본딩 공정을 진행할 수 있다.It should be explained that in an actual process, the bonding temperature, pressure, and bonding time are rationally adjusted and mixed with each other to ensure metal bonding quality and efficiency. It should be further explained, in order to reduce the probability that the contact surface is oxidized or contaminated, the metal bonding process may be performed in a vacuum environment.

더 설명해야 할 점은, 다른 실시예에서, 상기 제2 캐리어 기판에 상기 연결선을 형성한 후, 상기 연결선에 상기 전도성 돌출 블록을 형성할 수도 있다. 상응하게, 금속 본딩 공정을 이용하여 상기 전도성 돌출 블록을 대응되는 상기 전도성 칼럼 및 기능 소자의 용접 패드에 본딩시키고, 상기 전도성 칼럼, 전도성 돌출 블록 및 연결선은 상기 재배선 구조를 구성한다.It should be further explained that in another embodiment, after forming the connection line on the second carrier substrate, the conductive protruding block may be formed on the connection line. Correspondingly, the conductive protruding block is bonded to the corresponding conductive column and the welding pad of the functional element using a metal bonding process, and the conductive column, the conductive protruding block, and the connection line constitute the redistribution structure.

상기 실시예에서, 상기 연결선에 전도성 돌출 블록을 형성하는 단계는, 상기 제2 캐리어 기판 및 연결선을 커버하는 제2 매질층을 형성하는 단계; 상기 제2 매질층을 패턴화하여 상기 제2 매질층 내에 연결 관통홀을 형성하고 상기 연결선의 일부분을 노출시키는 단계; 전기도금 공정을 이용하여 상기 연결 관통홀 내에 상기 전도성 돌출 블록을 형성하는 단계; 및 상기 제2 매질층을 제거하는 단계를 포함한다.In the above embodiment, the forming of the conductive protruding block on the connection line may include forming a second medium layer covering the second carrier substrate and the connection line; Forming a connection through hole in the second medium layer by patterning the second medium layer and exposing a portion of the connection line; Forming the conductive protruding block in the connection through hole using an electroplating process; And removing the second medium layer.

상응하게, 상기 전도성 돌출 블록의 재료는 상기 전도성 칼럼 및 연결층의 재료와 동일할 수 있다.Correspondingly, the material of the conductive protruding block may be the same as the material of the conductive column and the connection layer.

상기 전도성 돌출 블록을 형성한 후, 반응 이온 식각 공정을 이용하여 상기 제2 매질층을 제거한다.After forming the conductive protruding block, the second medium layer is removed using a reactive ion etching process.

상기 제2 매질층에 대한 설명은 전술한 제1 매질층의 상응한 설명을 참조할 수 있고, 여기서 더 설명하지 않도록 한다.For the description of the second medium layer, reference may be made to the corresponding description of the first medium layer, which will not be further described herein.

본 실시예에서, 상기 재배선 구조(360)를 형성한 후, 제3 디본딩 처리를 진행하여 상기 제2 캐리어 기판(330) 및 제3 임시 본딩층(331)을 제거한다. 상기 제3 디본딩 처리에 대한 구체적인 설명은 제1 디본딩 처리에 대한 관련 설명을 참조할 수 있고, 여기서 더 설명하지 않도록 한다.In this embodiment, after the redistribution structure 360 is formed, a third debonding process is performed to remove the second carrier substrate 330 and the third temporary bonding layer 331. For a detailed description of the third debonding process, reference may be made to a related description of the first debonding process, which will not be further described herein.

도 15를 결부하여 참조하면, 상기 제3 디본딩 처리 단계 이후에, 상기 패키징층(350)에 대해 다이싱(dicing) 처리를 진행하는 단계를 더 포함한다.Referring to FIG. 15, after the third debonding process step, a step of performing a dicing process on the packaging layer 350 is further included.

상기 다이싱 처리를 통해 사이즈가 공정 요구에 부합되는 하나의 촬영 어셈블리(260)를 형성함으로써, 후속적으로 렌즈 어셈블리를 장착하기 위해 공정 준비를 한다. 본 실시예에서, 레이저 절단 공정을 이용하여 상기 다이싱 처리를 진행한다.By forming one photographing assembly 260 whose size meets the process requirements through the dicing process, a process is prepared for subsequent mounting of the lens assembly. In this embodiment, the dicing treatment is performed using a laser cutting process.

도 16을 결부하여 참조하면, 상기 재배선 구조(360)를 형성하는 단계 이후에, 상기 재배선 구조(360)에 연성회로기판(FPC, flexible printed circuit board)(510)을 본딩시키는 단계를 더 포함한다.Referring to FIG. 16, after the step of forming the redistribution structure 360, bonding a flexible printed circuit board (FPC) 510 to the redistribution structure 360 is further performed. Includes.

상기 연성회로기판(FPC)(510)은 회로기판을 생략할 경우 상기 촬영 어셈블리(260)와 후속적인 렌즈 어셈블리 사이의 전기적 연결, 및 형성된 렌즈 모듈과 다른 소자 사이의 전기적 연결을 실현한다. 후속적으로 렌즈 모듈을 형성한 후, 상기 렌즈 모듈도 상기 연성회로기판(FPC)(510)을 통해 전자 기기 중 다른 소자와 전기적으로 연결될 수 있음으로써, 전자 기기의 정상적인 촬영 기능을 실현한다.When the circuit board is omitted, the flexible circuit board (FPC) 510 realizes an electrical connection between the photographing assembly 260 and a subsequent lens assembly, and an electrical connection between the formed lens module and other elements. After the lens module is subsequently formed, the lens module can also be electrically connected to other elements of the electronic device through the flexible circuit board (FPC) 510, thereby realizing a normal photographing function of the electronic device.

본 실시예에서, 상기 연성회로기판(FPC)(510)에 회로 구조가 구비되므로, 금속 본딩 공정을 통해 상기 연성회로기판(FPC)(510)을 상기 재배선 구조(360)에 본딩시킴으로써, 전기적 연결을 실현한다. 구체적으로, 상기 연성회로기판(FPC)(510)을 상기 연결선(290)에 본딩시킨다.In this embodiment, since the circuit structure is provided on the flexible circuit board (FPC) 510, by bonding the flexible circuit board (FPC) 510 to the redistribution structure 360 through a metal bonding process, electrical Realize the connection. Specifically, the flexible circuit board (FPC) 510 is bonded to the connection line 290.

본 실시예에서, 공정 가능성을 향상시키기 위하여, 상기 제3 디본딩 처리 및 다이싱 처리 후, 상기 재배선 구조(360)에 상기 연성회로기판(FPC)(510)을 본딩시킨다.In this embodiment, in order to improve the processability, after the third debonding and dicing treatment, the flexible circuit board (FPC) 510 is bonded to the redistribution structure 360.

설명해야 할 점은, 상기 연성회로기판(FPC)(510)에 상기 연성회로기판(FPC)(510)과 다른 회로 소자를 전기적으로 연결시키는 커넥터(connector)(520)가 형성된다. 렌즈 모듈이 전자 기기에 적용될 경우, 상기 커넥터(520)는 상기 전자 기기의 메인보드에 전기적으로 연결됨으로써, 상기 렌즈 모듈과 상기 전자 기기 중 다른 소자 사이의 정보 전송을 실현하고, 상기 렌즈 모듈의 이미지 정보를 상기 전자 기기에 전달한다. 구체적으로, 상기 커넥터(520)는 골드핑거 커넥터일 수 있다.It should be described that a connector 520 is formed on the flexible circuit board (FPC) 510 to electrically connect the flexible circuit board (FPC) 510 and other circuit elements. When the lens module is applied to an electronic device, the connector 520 is electrically connected to the main board of the electronic device, thereby realizing information transmission between the lens module and another element of the electronic device, and an image of the lens module. Information is transmitted to the electronic device. Specifically, the connector 520 may be a gold finger connector.

도 17 내지 도 20은 본 발명에 따른 촬영 어셈블리의 패키징 방법의 다른 일 실시예에서의 각 단계에 대응되는 구조 모식도이다.17 to 20 are structural schematic diagrams corresponding to each step in another embodiment of the packaging method of the photographing assembly according to the present invention.

본 실시예와 전술한 실시예의 동일한 부분은 여기서 더 설명하지 않도록 한다. 본 실시예와 전술한 실시예의 상이한 부분은, 상기 재배선 구조(360a)를 형성하는 단계는 동일한 단계에서 상기 전도성 칼럼(280a) 및 연결선(290a)을 형성하는 단계를 포함하는 것이다.The same parts of this embodiment and the above-described embodiment will not be described further herein. A different part of this embodiment and the above-described embodiment is that the step of forming the redistribution structure 360a includes forming the conductive column 280a and the connection line 290a in the same step.

구체적으로, 도 17을 참조하면, 상기 패키징층(250a)을 패턴화하여 상기 패키징층(250a) 내에 상기 제1 칩 용접 패드(220a)를 노출시키는 전도성 관통홀(351a)을 형성한다.Specifically, referring to FIG. 17, a conductive through hole 351a exposing the first chip welding pad 220a is formed in the packaging layer 250a by patterning the packaging layer 250a.

본 실시예에서, 레이저 식각 공정을 통해 상기 전도성 관통홀(351a)을 형성한다. 상기 전도성 관통홀(351a)을 형성하는 단계에 대한 구체적인 설명은 전술한 실시예에서의 상응한 설명을 참조할 수 있고, 여기서 더 설명하지 않도록 한다.In this embodiment, the conductive through hole 351a is formed through a laser etching process. For a detailed description of the step of forming the conductive through hole 351a, reference may be made to the corresponding description in the above-described embodiment, and no further description will be made here.

도18을 참조하면, 상기 패키징층(350a), 필터(미도시) 및 기능 소자(미도시)를 커버하고 전도성 관통홀(351a) 내에 위치하는 제3 매질층(332a)을 형성하고; 상기 제3 매질층(332a)을 패턴화하여 상기 전도성 관통홀(351a) 내에 위치하고 상기 패키징층(350a) 최상부의 부분 영역보다 높은 제3 매질층(332a)을 제거하고, 상기 제3 매질층 내에 제2 연결홈(338a)을 형성하며, 상기 제2 연결홈(338a)은 상기 제2 칩 용접 패드(235a) 및 전극(245a)을 노출시키고, 상기 제2 연결홈(338a)과 상기 전도성 관통홀(351a)을 전기적으로 연결시킨다.18, forming a third medium layer 332a that covers the packaging layer 350a, a filter (not shown), and a functional element (not shown) and is located in the conductive through hole 351a; The third medium layer 332a is patterned to remove the third medium layer 332a located in the conductive through hole 351a and higher than the uppermost partial region of the packaging layer 350a. A second connection groove (338a) is formed, and the second connection groove (338a) exposes the second chip welding pad (235a) and the electrode (245a), the second connection groove (338a) and the conductive penetration The hole 351a is electrically connected.

상기 제3 매질층(332a)에 대한 구체적인 설명은 전술한 실시예에서의 제1 매질층에의 상응한 설명을 참조할 수 있고, 여기서 더 설명하지 않도록 한다.For a detailed description of the third medium layer 332a, reference may be made to the description corresponding to the first medium layer in the above-described embodiment, which will not be further described herein.

도 19를 참조하면, 상기 제2 연결홈(338a)(도 18에 도시된 바와 같음) 및 전도성 관통홀(351a)(도 18에 도시된 바와 같음) 내에 전도성 재료를 충진하고, 상기 전도성 관통홀(351a) 내에 전도성 칼럼(280a)을 형성하며, 상기 제2 연결홈(338a) 내에 연결선(290a)을 형성하고, 상기 연결선(290a)과 전도성 칼럼(280a)은 일체화 구조의 상기 재배선 구조(360a)를 구성한다.Referring to FIG. 19, a conductive material is filled in the second connection groove 338a (as shown in FIG. 18) and the conductive through hole 351a (as shown in FIG. 18), and the conductive through hole A conductive column 280a is formed in 351a, a connection line 290a is formed in the second connection groove 338a, and the connection line 290a and the conductive column 280a are integrated with the redistribution structure ( 360a).

본 실시예에서, 전기도금 공정을 통해 상기 전도성 관통홀(351a) 내에 전도성 칼럼(280a)을 형성하고, 상기 제2 연결홈(338a) 내에 연결선(290a)을 형성한다.In this embodiment, a conductive column 280a is formed in the conductive through hole 351a through an electroplating process, and a connection line 290a is formed in the second connection groove 338a.

도 20을 참조하면, 상기 제3 매질층(332a)(도 19에 도시된 바와 같음)을 제거한다.Referring to FIG. 20, the third medium layer 332a (as shown in FIG. 19) is removed.

본 실시예에서, 반응 이온 식각 공정을 이용하여 상기 제3 매질층(332a)을 제거한다.In this embodiment, the third medium layer 332a is removed using a reactive ion etching process.

본 실시예에 따른 패키징 방법에 대한 구체적인 설명은 전술한 실시예에서의 상응한 설명을 참조할 수 있고, 여기서 더 설명하지 않도록 한다.For a detailed description of the packaging method according to the present embodiment, reference may be made to the corresponding description in the above-described embodiment, which will not be further described herein.

상응하게, 본 발명의 실시예는 촬영 어셈블리를 더 제공한다. 계속하여 도 16을 참조하면, 본 발명에 따른 촬영 어셈블리의 일 실시예의 구조 모식도를 나타낸다.Correspondingly, an embodiment of the present invention further provides an imaging assembly. With continued reference to FIG. 16, a schematic structural diagram of an embodiment of an imaging assembly according to the present invention is shown.

상기 촬영 어셈블리(260)는 패키징층(350), 상기 패키징층(350)에 삽입되는 감광성 유닛(250)(도 1에 도시된 바와 같음), 기능 소자(미도시) 및 재배선 구조(360)를 포함하되, 상기 감광성 유닛(250)은 감광성 칩(200) 및 상기 감광성 칩(200)에 장착되는 필터(400)를 포함하고, 상기 패키징층(350)의 최상면은 상기 필터(400) 및 기능 소자를 노출시키며, 상기 패키징층(350)의 저면은 상기 기능 소자보다 높고, 상기 패키징층(350)은 상기 감광성 칩(200)의 부분 측벽을 적어도 커버하며, 여기서, 상기 감광성 칩(200) 및 기능 소자는 모두 용접 패드를 구비하고, 상기 감광성 칩(200)의 용접 패드는 상기 패키징층(350)의 최상면을 향하며, 상기 기능 소자의 용접 패드는 상기 패키징층(350)의 최상면에 노출되고, 상기 재배선 구조(360)는 상기 패키징층(350)에서의 상기 필터(400)에 근접하는 일측에 위치하고, 상기 재배선 구조(360)는 상기 용접 패드에 전기적으로 연결된다.The photographing assembly 260 includes a packaging layer 350, a photosensitive unit 250 (as shown in FIG. 1) inserted into the packaging layer 350 (as shown in FIG. 1), a functional element (not shown), and a redistribution structure 360 Including, wherein the photosensitive unit 250 includes a photosensitive chip 200 and a filter 400 mounted on the photosensitive chip 200, and the top surface of the packaging layer 350 is the filter 400 and functions Exposing the device, the bottom surface of the packaging layer 350 is higher than the functional device, the packaging layer 350 covers at least a partial sidewall of the photosensitive chip 200, wherein the photosensitive chip 200 and All functional elements are provided with a welding pad, the welding pad of the photosensitive chip 200 faces the uppermost surface of the packaging layer 350, the welding pad of the functional element is exposed to the uppermost surface of the packaging layer 350, The redistribution structure 360 is located at one side of the packaging layer 350 adjacent to the filter 400, and the redistribution structure 360 is electrically connected to the welding pad.

상기 패키징층(350)은 감광성 칩(200) 및 기능 소자에 대해 고정 작용을 하고, 감광성 칩(200) 및 기능 소자에 대해 패키징 집적을 실현한다. 여기서, 상기 패키징층(350)을 통해 렌즈 어셈블리 중 홀더가 차지하는 공간을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 회로기판을 생략할 수 있음으로써, 상기 렌즈 모듈의 전체 두께를 현저히 감소시켜, 렌즈 모듈의 소형화, 박형화의 요구를 만족시킨다.The packaging layer 350 fixes the photosensitive chip 200 and functional elements, and realizes packaging integration for the photosensitive chip 200 and functional elements. Here, the space occupied by the holder in the lens assembly can be reduced through the packaging layer 350, and the circuit board can be omitted, thereby significantly reducing the overall thickness of the lens module, thereby miniaturizing the lens module, Satisfies the needs of thinner.

상기 패키징층(350)의 재료는 몰딩 재료이고, 상기 패키징층(350)은 또한 절연, 밀봉 및 방습 작용이 있으므로, 렌즈 모듈의 신뢰성을 향상시키는데 유리하다. 본 실시예에서, 상기 패키징층(350)의 재료는 에폭시 수지이다.The material of the packaging layer 350 is a molding material, and the packaging layer 350 also has insulation, sealing, and moisture-proof effects, which is advantageous in improving the reliability of the lens module. In this embodiment, the material of the packaging layer 350 is an epoxy resin.

본 실시예에서, 상기 패키징층(350)은 대향되는 최상면과 저면을 포함한다. 여기서, 상기 패키징층(350)의 최상면은 렌즈 어셈블리를 장착하기 위한 면이다.In this embodiment, the packaging layer 350 includes a top surface and a bottom surface facing each other. Here, the top surface of the packaging layer 350 is a surface for mounting the lens assembly.

본 실시예에서, 상기 패키징층(350)의 저면은 상기 감광성 유닛(250) 및 기능 소자 중 높은 것과 서로 평행된다. 상응하게, 상기 패키징층(350)의 형성 공정이 감광성 칩(200)과 기능 소자 사이의 두께 차이의 영향을 받는 것을 방지하고, 상기 패키징층(350)을 형성하는 과정에서, 금형을 제작할 필요가 없으므로 공정이 간단하다.In this embodiment, the bottom surface of the packaging layer 350 is parallel to the higher one of the photosensitive unit 250 and the functional element. Correspondingly, the process of forming the packaging layer 350 is prevented from being affected by the difference in thickness between the photosensitive chip 200 and the functional element, and in the process of forming the packaging layer 350, it is necessary to manufacture a mold. So, the process is simple.

본 실시예에서, 상기 감광성 유닛(250)의 전체 두께는 기능 소자의 두께보다 크므로, 상기 패키징층(350)의 저면과 상기 감광성 칩(200)의 상기 필터(400)를 등지는 면은 한 평면에 있고, 즉, 상기 패키징층(350)은 상기 감광성 칩(200)의 측벽을 커버한다.In the present embodiment, since the total thickness of the photosensitive unit 250 is greater than the thickness of the functional element, the bottom surface of the packaging layer 350 and the surface facing the filter 400 of the photosensitive chip 200 are one It is in a plane, that is, the packaging layer 350 covers the sidewall of the photosensitive chip 200.

또한, 상기 패키징층(350)은 필터(400)의 측벽을 더 커버함으로써, 감광성 유닛(250) 중 캐비티의 밀봉성을 향상시키며, 수증기, 산화 기체 등이 상기 캐비티 내에 들어가는 확률을 감소시켜 감광성 칩(200)의 성능을 보장한다.In addition, the packaging layer 350 further covers the sidewall of the filter 400, thereby improving the sealing property of the cavity in the photosensitive unit 250, and reducing the probability that water vapor, oxidizing gas, etc. enter the cavity, thereby reducing the photosensitive chip. To ensure the performance of 200.

상기 감광성 칩(200)은 이미지 센서 칩이다. 본 실시예에서, 상기 감광성 칩(200)은 CMOS 이미지 센서 칩이다. 다른 실시예에서, 상기 감광성 칩은 CCD 이미지 센서 칩일 수도 있다.The photosensitive chip 200 is an image sensor chip. In this embodiment, the photosensitive chip 200 is a CMOS image sensor chip. In another embodiment, the photosensitive chip may be a CCD image sensor chip.

본 실시예에서, 상기 감광성 칩(200)은 감광성 영역(200C)(도 2에 도시된 바와 같음) 및 상기 감광성 영역(200C)을 둘러싸는 주변 영역(200E)(도 2에 도시된 바와 같음)을 포함하고, 상기 감광성 칩(200)은 상기 감광성 영역(200C)에 위치하는 광 신호 수신면(201)을 더 구비한다.In this embodiment, the photosensitive chip 200 includes a photosensitive area 200C (as shown in FIG. 2) and a peripheral area 200E surrounding the photosensitive area 200C (as shown in FIG. 2). Including, the photosensitive chip 200 further includes an optical signal receiving surface 201 located in the photosensitive region (200C).

상기 감광성 칩(200)은 일반적으로 실리콘 기판 칩이고, 감광성 칩(200)의 용접 패드는 감광성 칩(200)과 다른 칩 또는 부재의 전기적 연결을 실현하기 위한 것이다. 본 실시예에서, 상기 감광성 칩(200)은 주변 영역(200E)에 위치하는 제1 칩 용접 패드(220)를 구비하고, 제1 칩 용접 패드(220)는 패키징층(350)의 최상면을 향한다.The photosensitive chip 200 is generally a silicon substrate chip, and a welding pad of the photosensitive chip 200 is for realizing electrical connection between the photosensitive chip 200 and other chips or members. In this embodiment, the photosensitive chip 200 includes a first chip welding pad 220 positioned in the peripheral region 200E, and the first chip welding pad 220 faces the top surface of the packaging layer 350. .

상기 필터(400)를 감광성 칩(200)에 장착하여 패키징 공정이 광 신호 수신면(201)을 오염시키는 것을 방지하고, 렌즈 모듈의 전체적인 두께를 감소시켜 렌즈 모듈의 소형화, 박형화의 요구를 만족시킨다.Mounting the filter 400 on the photosensitive chip 200 prevents the packaging process from contaminating the optical signal receiving surface 201, and reduces the overall thickness of the lens module, thereby satisfying the need for miniaturization and thinning of the lens module.

렌즈 모듈의 정상적인 기능을 실현하기 위하여, 상기 필터(400)는 적외선 필터 유리편 또는 전체 투과 유리편일 수 있다. 본 실시예에서, 상기 필터(400)는 적외선 필터 유리편이고, 입사광 중의 적외선이 상기 감광성 칩(200) 성능에 대한 영향을 제거하며, 이미징 효과 향상에 유리하다.In order to realize the normal function of the lens module, the filter 400 may be an infrared filter glass piece or an entire transmission glass piece. In this embodiment, the filter 400 is an infrared filter glass piece, and the infrared ray in incident light removes an effect on the performance of the photosensitive chip 200, and is advantageous in improving the imaging effect.

본 실시예에서, 상기 필터(400)는 접착 구조(410)를 통해 상기 감광성 칩(200)에 장착되고, 상기 접착 구조(410)는 광 신호 수신면(201)을 둘러싼다. 상기 접착 구조(410)는 필터(400)와 감광성 칩(200)을 물리적으로 연결시킨다. 필터(400)와 감광성 칩(200)의 직접적인 접촉을 방지함으로써, 감광성 칩(200)의 광학 성능에 대해 나쁜 영향을 미치는 것을 방지한다.In this embodiment, the filter 400 is mounted on the photosensitive chip 200 through an adhesive structure 410, and the adhesive structure 410 surrounds the optical signal receiving surface 201. The adhesive structure 410 physically connects the filter 400 and the photosensitive chip 200. By preventing direct contact between the filter 400 and the photosensitive chip 200, it is prevented from exerting a bad influence on the optical performance of the photosensitive chip 200.

본 실시예에서, 상기 접착 구조(410)의 재료는 포토리소그래피 가능한 드라이 필름이다. 다른 실시예에서, 상기 접착 구조의 재료는 포토리소그래피 가능한 폴리이미드, 포토리소그래피 가능한 폴리벤즈옥사졸 또는 포토리소그래피 가능한 벤조시클로부텐일 수도 있다.In this embodiment, the material of the adhesive structure 410 is a photolithographic dry film. In another embodiment, the material of the adhesive structure may be a photolithographic polyimide, a photolithographic polybenzoxazole, or a photolithographic benzocyclobutene.

본 실시예에서, 상기 접착 구조(410)는 상기 광 신호 수신면(201)을 둘러쌈으로써, 상기 광 신호 수신면(201) 상방의 필터(400)가 상기 감광성 칩(200)의 감광성 경로에 위치하도록 하여, 상기 감광성 칩(200)의 성능을 보장한다.In this embodiment, the adhesive structure 410 surrounds the optical signal receiving surface 201 so that the filter 400 above the optical signal receiving surface 201 is located in the photosensitive path of the photosensitive chip 200. Thus, the performance of the photosensitive chip 200 is guaranteed.

설명해야 할 점은, 본 실시예에서 하나의 감광성 유닛(250)만 설명하였다. 다른 실시예에서, 렌즈 모듈이 이중 촬영 또는 어레이 모듈 제품에 적용될 경우, 감광성 유닛의 수량은 복수개일 수도 있다.It should be described that only one photosensitive unit 250 has been described in this embodiment. In another embodiment, when the lens module is applied to a dual imaging or array module product, the number of photosensitive units may be plural.

더 설명해야 할 점은, 패키징층(350)은 필터(400)의 측벽을 커버하므로, 상기 촬영 어셈블리(260)는 상기 패키징층(350)과 필터(400)의 측벽 사이에 위치하는 응력 완충층(420)을 더 포함한다. 상기 응력 완충층(420)은 패키징층(350)이 필터(400)에 대해 발생되는 응력을 감소시키는데 유리하여, 상기 필터(400)가 파열되는 확률을 감소시킴으로써, 렌즈 모듈의 신뢰성을 향상시킨다.It should be described further that, since the packaging layer 350 covers the sidewall of the filter 400, the photographing assembly 260 includes a stress buffer layer positioned between the packaging layer 350 and the sidewall of the filter 400 ( 420). The stress buffer layer 420 is advantageous in reducing the stress generated by the packaging layer 350 on the filter 400, and thus reduces the probability that the filter 400 is ruptured, thereby improving the reliability of the lens module.

본 실시예에서, 상기 응력 완충층(420)의 재료는 에폭시계 접착제이다. In this embodiment, the material of the stress buffer layer 420 is an epoxy-based adhesive.

본 실시예에서, 상기 응력 완충층(420)은 또한 상기 패키징층(350)과 상기 접착 구조(410)의 측벽 사이에 위치함으로써, 상기 패키징층(350)이 상기 접착 구조(410)에 대해 발생되는 응력을 감소시키므로, 상기 촬영 어셈블리(260)의 신뢰성과 일드율을 더 향상시키는데 유리하다.In this embodiment, the stress buffer layer 420 is also located between the packaging layer 350 and the sidewall of the adhesive structure 410, so that the packaging layer 350 is generated with respect to the adhesive structure 410. Since the stress is reduced, it is advantageous to further improve the reliability and yield rate of the photographing assembly 260.

상기 기능 소자는 촬영 어셈블리 중 상기 감광성 칩(200)을 제외한 특정 기능 소자이고, 주변 칩(230) 및 수동 소자(240) 중 적어도 한 가지를 포함한다.The functional element is a specific functional element other than the photosensitive chip 200 in the photographing assembly, and includes at least one of a peripheral chip 230 and a passive element 240.

본 실시예에서, 상기 기능 소자는 주변 칩(230) 및 수동 소자(240)를 포함한다. In this embodiment, the functional element includes a peripheral chip 230 and a passive element 240.

본 실시예에서, 상기 기능 소자의 용접 패드는 상기 패키징층(350)의 최상면에 노출됨으로써, 연결 구조(360)를 형성하는 공정 복잡도를 감소시킨다.In this embodiment, the welding pad of the functional device is exposed on the top surface of the packaging layer 350, thereby reducing the complexity of a process of forming the connection structure 360.

상기 주변 칩(230)은 능동 소자이고, 감광성 칩(200)에 주변 회로를 제공하는데, 예를 들어, 아날로그 전력 공급 회로, 디지털 전력 공급 회로, 전압 완충 회로, 셔터 회로, 셔터 구동 회로 등을 제공한다.The peripheral chip 230 is an active element, and provides a peripheral circuit to the photosensitive chip 200, for example, an analog power supply circuit, a digital power supply circuit, a voltage buffer circuit, a shutter circuit, a shutter driving circuit, etc. do.

본 실시예에서, 상기 주변 칩(230)은 디지털 신호 프로세서 칩 및 메모리 칩 중 한 가지 또는 두 가지를 포함한다. 다른 실시예에서, 상기 주변 칩은 다른 기능 타입의 칩일 수도 있다. 도 16에서 하나의 주변 칩(230)만 도시하였지만, 주변 칩(230)의 수량은 하나에 한정되지 않는다.In this embodiment, the peripheral chip 230 includes one or both of a digital signal processor chip and a memory chip. In another embodiment, the peripheral chip may be a chip of another functional type. Although only one peripheral chip 230 is illustrated in FIG. 16, the number of peripheral chips 230 is not limited to one.

상기 주변 칩(230)은 일반적으로 실리콘 기판 칩이고, 상기 주변 칩(230)의 용접 패드는 상기 주변 칩(230)과 다른 칩 또는 부재의 전기적 연결을 실현하기 위한 것이다. 본 실시예에서, 상기 주변 칩(230)은 상기 패키징층(350)의 최상면에 노출되는 제2 칩 용접 패드(235)를 포함한다.The peripheral chip 230 is generally a silicon substrate chip, and a welding pad of the peripheral chip 230 is for realizing electrical connection between the peripheral chip 230 and other chips or members. In this embodiment, the peripheral chip 230 includes a second chip welding pad 235 exposed on the top surface of the packaging layer 350.

상기 수동 소자(240)는 상기 감광성 칩(200)의 감광성 작업에 대해 특정 작용을 한다. 상기 수동 소자(240)는 레지스터, 커패시턴스, 인덕턴스, 다이오드, 삼극관, 전위차계, 릴레이 또는 구동기 등 부피가 비교적 작은 전자 소자를 포함할 수 있다. 도 16에서 하나의 수동 소자(240)만 도시하였지만, 상기 수동 소자(240)의 수량은 하나에 한정되지 않는다.The passive element 240 performs a specific action on the photosensitive operation of the photosensitive chip 200. The passive element 240 may include an electronic element having a relatively small volume, such as a resistor, a capacitance, an inductance, a diode, a triode, a potentiometer, a relay, or a driver. Although only one passive element 240 is shown in FIG. 16, the number of the passive elements 240 is not limited to one.

상기 수동 소자(240)의 용접 패드는 상기 수동 소자(240)와 다른 칩 또는 부재의 전기적 연결을 실현하기 위한 것이다. 본 실시예에서, 상기 수동 소자(240)의 용접 패드는 전극(245)이고, 상기 전극(245)은 상기 패키징층(350)의 최상면에 노출된다.The welding pad of the passive element 240 is for realizing electrical connection between the passive element 240 and another chip or member. In this embodiment, the welding pad of the passive element 240 is an electrode 245, and the electrode 245 is exposed on the top surface of the packaging layer 350.

상기 재배선 구조(360)는 촬영 어셈블리의 전기학 집적을 실현한다. 상기 재배선 구조(360) 및 패키징층(350)을 통해 렌즈 모듈의 사용 성능을 향상시킨다(예를 들어, 촬영 속도 및 저장 속도를 향상시킴). 또한, 재배선 구조(360)를 통해 전기적 연결 공정 가능성과 패키징 효율을 향상시킨다.The redistribution structure 360 realizes electrical integration of the imaging assembly. Through the redistribution structure 360 and the packaging layer 350, the use performance of the lens module is improved (for example, a photographing speed and a storage speed are improved). In addition, the possibility of an electrical connection process and packaging efficiency are improved through the redistribution structure 360.

상기 재배선 구조(360)는 패키징층(350)에서의 필터(400)에 근접하는 일측에 위치하고, 렌즈 어셈블리를 패키징층(350)의 최상면에 조립한 후, 상기 재배선 구조(360)는 상응하게 렌즈 어셈블리의 홀더에 위치하여, 렌즈 모듈의 신뢰성과 안정성을 향상시키는데 유리하고, 렌즈 모듈의 후속적인 패키징에 용이하다.The redistribution structure 360 is located on one side of the packaging layer 350 close to the filter 400, and after assembling the lens assembly on the top surface of the packaging layer 350, the redistribution structure 360 corresponds to Since it is positioned in the holder of the lens assembly, it is advantageous to improve the reliability and stability of the lens module, and it is easy for subsequent packaging of the lens module.

본 실시예에서, 상기 재배선 구조(360)는 상기 제1 칩 용접 패드(220), 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245)에 전기적으로 연결된다.In this embodiment, the redistribution structure 360 is electrically connected to the first chip welding pad 220, the second chip welding pad 235 and the electrode 245.

감광성 칩(200)의 제1 칩 용접 패드(220)는 필터(400)를 향하고, 즉, 제1 칩 용접 패드(220)는 패키징층(350)의 최상면을 향하며, 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245)은 패키징층(350)의 최상면에 노출되므로, 상기 재배선 구조(360)는, 패키징층(350) 내에 위치하고 제1 칩 용접 패드(220)에 전기적으로 연결되는 전도성 칼럼(280); 및 제2 칩 용접 패드(235), 전극(245) 및 전도성 칼럼(280)에 위치하고 제2 칩 용접 패드(235), 전극(245) 및 전도성 칼럼(280)에 전기적으로 연결되는 연결선(290)을 포함한다.The first chip welding pad 220 of the photosensitive chip 200 faces the filter 400, that is, the first chip welding pad 220 faces the uppermost surface of the packaging layer 350, and the second chip welding pad 235 ) And the electrode 245 are exposed on the top surface of the packaging layer 350, so the redistribution structure 360 is located in the packaging layer 350 and electrically connected to the first chip welding pad 220 ( 280); And a connection line 290 positioned on the second chip welding pad 235, the electrode 245 and the conductive column 280 and electrically connected to the second chip welding pad 235, the electrode 245 and the conductive column 280. Includes.

상기 전도성 칼럼(280)은 상기 제1 칩 용접 패드(220)에 전기적으로 연결되어 감광성 칩(200)의 외부 연결 전극으로 작용하여, 감광성 칩(200)의 외부 연결 전극과 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245)이 패키징층(350)의 동일 측에 위치하도록 함으로써, 감광성 칩(200), 주변 칩(230) 및 수동 소자(240) 사이의 전기적 연결을 실현한다. 여기서, 상기 전도성 칼럼(280)은 상기 감광성 칩(200) 중의 금속 연결 구조와 전기적으로 연결될 수 있고, 상기 감광성 칩(200)을 관통하여 상기 제1 칩 용접 패드(220)와 직접 전기적으로 연결될 수도 있다.The conductive column 280 is electrically connected to the first chip welding pad 220 to act as an external connection electrode of the photosensitive chip 200, and the external connection electrode of the photosensitive chip 200 and the second chip welding pad ( By allowing the 235 and the electrode 245 to be positioned on the same side of the packaging layer 350, electrical connection between the photosensitive chip 200, the peripheral chip 230 and the passive element 240 is realized. Here, the conductive column 280 may be electrically connected to a metal connection structure in the photosensitive chip 200, and may be directly electrically connected to the first chip welding pad 220 through the photosensitive chip 200. have.

본 실시예에서, 상기 전도성 칼럼(280)과 연결선(290)의 재료는 모두 구리이다. 구리 재료를 선택하면, 재배선 구조(360)의 전기적 연결 신뢰성과 전도성을 향상시키는데 유리하고, 이 밖에, 전도성 칼럼(280)과 연결선(290)을 형성하는 공정 난도를 감소시킬 수도 있다. 다른 실시예에서, 상기 전도성 칼럼과 연결선의 재료는 다른 적용 가능한 전도성 재료일 수도 있다.In this embodiment, the materials of the conductive column 280 and the connection line 290 are all copper. If the copper material is selected, it is advantageous to improve the electrical connection reliability and conductivity of the redistribution structure 360, and in addition, the difficulty of forming the conductive column 280 and the connection line 290 may be reduced. In another embodiment, the material of the conductive column and the connection line may be another applicable conductive material.

본 실시예에서, 상기 전도성 칼럼(280)과 연결선(290)은 상이한 형성 단계에서 각각 형성되므로, 상기 연결선(290)과 전도성 칼럼(280), 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245) 사이는 금속 본딩 방식을 통해 서로 본딩된다.In this embodiment, since the conductive column 280 and the connection line 290 are formed in different formation steps, the connection line 290 and the conductive column 280, the second chip welding pad 235 and the electrode 245 are formed. The spaces are bonded to each other through a metal bonding method.

본 실시예에서, 상기 재배선 구조(360)는 연결선(290)과 제2 칩 용접 패드(235), 전극(245) 및 전도성 칼럼(280) 사이에 각각 위치하는 전도성 돌출 블록(365)을 더 포함한다. 전도성 돌출 블록(365)은 전도성 칼럼(280), 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245)에 돌출되어, 연결선(290)과 전도성 칼럼(280), 제2 칩 용접 패드(235) 및 전극(245) 사이의 본딩 신뢰성을 향상시킨다. In this embodiment, the redistribution structure 360 further includes a conductive protruding block 365 positioned between the connection line 290 and the second chip welding pad 235, the electrode 245, and the conductive column 280, respectively. Includes. The conductive protruding block 365 protrudes from the conductive column 280, the second chip welding pad 235 and the electrode 245, and the connection line 290 and the conductive column 280, the second chip welding pad 235, and Bonding reliability between the electrodes 245 is improved.

본 실시예에서, 상기 전도성 돌출 블록(365)은 범프이다. 범프를 선택하여 각 칩 및 소자와 재배선 구조(360) 사이의 신호 전송 신뢰성를 향상시킨다. 구체적으로, 상기 전도성 돌출 블록(365)의 재료는 주석일 수 있다. 다른 실시예에서, 상기 전도성 돌출 블록의 재료는 연결선의 재료와 동일할 수 있다.In this embodiment, the conductive protruding block 365 is a bump. By selecting the bump, the reliability of signal transmission between each chip and device and the redistribution structure 360 is improved. Specifically, the material of the conductive protruding block 365 may be tin. In another embodiment, the material of the conductive protruding block may be the same as the material of the connection line.

본 실시예에서, 상기 촬영 어셈블리(260)는 재배선 구조(360)에 위치하는 연성회로기판(FPC)(510)을 더 포함한다. 상기 연성회로기판(FPC)(510)은 회로기판을 생략할 경우 촬영 어셈블리(260)와 렌즈 어셈블리 사이의 전기적 연결, 및 렌즈 모듈과 다른 소자 사이의 전기적 연결을 실현하고, 렌즈 모듈은 상기 연성회로기판(FPC)(510)을 통해 전자 기기 중 다른 소자와 전기적으로 연결될 수 있음으로써, 전자 기기의 정상적인 촬영 기능을 실현한다.In this embodiment, the photographing assembly 260 further includes a flexible circuit board (FPC) 510 positioned on the redistribution structure 360. When the circuit board is omitted, the flexible circuit board (FPC) 510 realizes an electrical connection between the photographing assembly 260 and the lens assembly, and between the lens module and other elements, and the lens module is the flexible circuit. The substrate (FPC) 510 can be electrically connected to other elements of the electronic device, thereby realizing a normal photographing function of the electronic device.

구체적으로, 상기 연성회로기판(FPC)(510)은 상기 연결선(290)에 본딩된다. 상기 연성회로기판(FPC)(510)에 회로 구조가 구비됨으로써, 상기 연성회로기판(FPC)(510)과 재배선 구조(360)의 전기적 연결을 실현한다.Specifically, the flexible circuit board (FPC) 510 is bonded to the connection line 290. The flexible circuit board (FPC) 510 is provided with a circuit structure, thereby realizing electrical connection between the flexible circuit board (FPC) 510 and the redistribution structure 360.

설명해야 할 점은, 상기 연성회로기판(FPC)(510)에 커넥터(520)가 구비된다. 렌즈 모듈이 전자 기기에 적용될 경우, 상기 커넥터(520)는 상기 전자 기기의 메인보드에 전기적으로 연결됨으로써, 렌즈 모듈과 전자 기기 중 다른 소자 사이의 정보 전송을 실현하고, 상기 렌즈 모듈의 이미지 정보를 상기 전자 기기에 전달한다. 구체적으로, 상기 커넥터(520)는 골드핑거 커넥터일 수 있다.The point to be described is that the connector 520 is provided on the flexible circuit board (FPC) 510. When the lens module is applied to an electronic device, the connector 520 is electrically connected to the main board of the electronic device, thereby realizing information transmission between the lens module and other elements of the electronic device, and transmitting image information of the lens module. To the electronic device. Specifically, the connector 520 may be a gold finger connector.

본 실시예에 따른 촬영 어셈블리는 제1 실시예에 따른 패키징 방법에 의해 형성될 수 있고, 다른 패키징 방법에 의해 형성될 수도 있다. 본 실시예에 따른 촬영 어셈블리의 구체적인 설명은 전술한 제1 실시예에서의 상응한 설명을 참조할 수 있고, 본 실시예는 여기서 더 설명하지 않도록 한다.The photographing assembly according to the present exemplary embodiment may be formed by the packaging method according to the first exemplary embodiment, or may be formed by another packaging method. For a detailed description of the photographing assembly according to the present embodiment, reference may be made to the corresponding description in the above-described first embodiment, and the present embodiment will not be described further herein.

계속하여 도 20을 참조하면, 촬영 어셈블리의 다른 일 실시예의 구조 모식도를 나타낸다.With continued reference to FIG. 20, a schematic structural diagram of another embodiment of the photographing assembly is shown.

본 실시예와 전술한 실시예의 동일한 부분은 여기서 더 설명하지 않도록 한다. 본 실시예와 전술한 실시예의 상이한 부분은, 상기 재배선 구조(360a)는 전도성 칼럼(280a) 및 연결선(290a)만 포함하는 것이다.The same parts of this embodiment and the above-described embodiment will not be described further herein. A different part of this embodiment and the above-described embodiment is that the redistribution structure 360a includes only the conductive column 280a and the connection line 290a.

본 실시예에 따른 촬영 어셈블리는 제2 실시예에 다른 패키징 방법으로 형성될 수 있고, 다른 패키징 방법으로 형성될 수도 있다. 본 실시예에 따른 촬영 어셈블리에 대한 구체적인 설명은 제2 실시예에서의 상응한 설명을 참조할 수 있고, 본 실시예는 더 설명하지 않도록 한다.The photographing assembly according to the present embodiment may be formed by a packaging method different from that of the second embodiment, or may be formed by a different packaging method. For a detailed description of the photographing assembly according to the present embodiment, reference may be made to the corresponding description in the second embodiment, and the present embodiment will not be described further.

상응하게, 본 발명의 실시예는 렌즈 모듈을 더 제공한다. 도 21에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 렌즈 모듈의 일 실시예의 구조 모식도를 나타낸다.Correspondingly, an embodiment of the present invention further provides a lens module. As shown in Fig. 21, a structural schematic diagram of an embodiment of a lens module according to the present invention is shown.

상기 렌즈 모듈(600)은 본 발명의 실시예에 따른 촬영 어셈블리(도 21 중 점선 블록에 도시된 바와 같음)를 포함한다. 렌즈 어셈블리(530)는 홀더(535)를 포함하고, 상기 홀더(535)는 상기 패키징층(미도시)의 최상면에 장착되며 상기 감광성 유닛(미도시) 및 기능 소자(미도시)를 둘러싸고, 상기 렌즈 어셈블리(530)는 상기 감광성 칩(미도시) 및 기능 소자와 전기적으로 연결된다.The lens module 600 includes a photographing assembly (as shown in a dotted block in FIG. 21) according to an embodiment of the present invention. The lens assembly 530 includes a holder 535, and the holder 535 is mounted on an uppermost surface of the packaging layer (not shown) and surrounds the photosensitive unit (not shown) and a functional element (not shown), and the The lens assembly 530 is electrically connected to the photosensitive chip (not shown) and the functional element.

상기 렌즈 어셈블리(530)는 일반적으로 홀더(535), 상기 홀더(535)에 장착되는 모터(미도시), 및 상기 모터에 장착되는 렌즈 시스템(미도시)을 포함하고, 상기 홀더(535)를 통해 상기 렌즈 어셈블리(530)를 용이하게 조립하고, 렌즈 시스템이 감광성 유닛의 감광성 경로에 위치하도록 한다.The lens assembly 530 generally includes a holder 535, a motor (not shown) mounted on the holder 535, and a lens system (not shown) mounted on the motor, and includes the holder 535 Through this, the lens assembly 530 is easily assembled, and the lens system is positioned in the photosensitive path of the photosensitive unit.

본 실시예에서, 상기 촬영 어셈블리의 두께는 비교적 작고, 상기 패키징층을 통해 상기 렌즈 어셈블리(530)의 두께를 감소시킴으로써, 상기 렌즈 모듈(600)의 전체 두께를 감소시킨다.In this embodiment, the thickness of the photographing assembly is relatively small, and the overall thickness of the lens module 600 is reduced by reducing the thickness of the lens assembly 530 through the packaging layer.

또한, 상기 감광성 유닛 및 기능 소자(예를 들어, 주변 칩)를 모두 상기 홀더(535) 내부에 설치하는 해결수단과 기능 소자를 주변 메인보드에 장착하는 해결수단을 비교해보면, 본 실시예는 렌즈 모듈(600)의 사이즈를 감소시키고, 전기적 연결의 거리를 단축시키므로, 렌즈 모듈(600)의 신호 전송 속도를 향상시키고, 렌즈 모듈(600)의 사용 성능을 향상시킨다(예를 들어, 촬영 속도 및 저장 속도를 향상시킴).In addition, when comparing the solution means for installing both the photosensitive unit and the functional element (for example, a peripheral chip) inside the holder 535 and the solution means for mounting the functional element on the peripheral main board, this embodiment is a lens Since the size of the module 600 is reduced and the distance of the electrical connection is shortened, the signal transmission speed of the lens module 600 is improved, and the use performance of the lens module 600 is improved (for example, the shooting speed and Improves the storage speed).

또한, 상기 감광성 유닛 및 기능 소자를 모두 패키징층 내에 집적시키고 상기 감광성 유닛, 기능 소자 및 재배선 구조를 모두 상기 홀더(535) 내부에 설치하여, 상기 감광성 유닛, 기능 소자 및 재배선 구조를 모두 보호하므로, 상기 렌즈 모듈(600)의 신뢰성과 안정성을 향상시키는데 유리하고, 상기 렌즈 모듈(600)의 이미징 품질을 보장할 수 있다.In addition, the photosensitive unit and the functional element are all integrated in the packaging layer, and the photosensitive unit, the functional element, and the redistribution structure are all installed inside the holder 535 to protect the photosensitive unit, the functional element, and the redistribution structure. Therefore, it is advantageous to improve the reliability and stability of the lens module 600, and the imaging quality of the lens module 600 can be guaranteed.

본 실시예에서, 상기 재배선 구조에 연성회로기판(FPC)이 본딩되므로, 상기 렌즈 어셈블리(530) 중의 모터는 상응하게 연성회로기판(FPC)을 통해 촬영 어셈블리 중의 각 칩 및 소자와 전기적으로 연결된다.In this embodiment, since the flexible circuit board (FPC) is bonded to the rewiring structure, the motor in the lens assembly 530 is correspondingly electrically connected to each chip and element in the photographing assembly through the flexible circuit board (FPC). do.

본 실시예에 따른 촬영 어셈블리의 구체적인 설명은 전술한 실시예에서의 상응한 설명을 참조할 수 있고, 여기서 더 설명하지 않도록 한다.For a detailed description of the photographing assembly according to the present embodiment, reference may be made to the corresponding description in the above-described embodiment, and no further description will be made herein.

상응하게, 본 발명의 실시예는 전자 기기를 더 제공한다. 도 22를 참조하면, 본 발명에 따른 전자 기기의 일 실시예의 구조 모식도를 나타낸다.Correspondingly, an embodiment of the present invention further provides an electronic device. Referring to FIG. 22, a schematic structural diagram of an embodiment of an electronic device according to the present invention is shown.

본 실시예에서, 상기 전자 기기(700)는 본 발명의 실시예에 따른 렌즈 모듈(600)을 포함한다.In this embodiment, the electronic device 700 includes a lens module 600 according to an embodiment of the present invention.

상기 렌즈 모듈(600)의 신뢰성과 성능은 비교적 높기에, 상응하게 상기 전자 기기(700)의 촬영 품질, 촬영 속도 및 저장 속도를 향상시킨다. 또한, 상기 렌즈 모듈(600)의 전체 두께가 비교적 작으므로, 사용자의 사용 체험을 향상시키는데 유리하다.Since the reliability and performance of the lens module 600 is relatively high, the photographing quality, photographing speed, and storage speed of the electronic device 700 are correspondingly improved. In addition, since the overall thickness of the lens module 600 is relatively small, it is advantageous in improving the user experience.

구체적으로, 상기 전자 기기(700)는 휴대폰, 태블릿 PC, 카메라 또는 비디오 카메라 등 각종 촬영 기능을 구비하는 기기일 수 있다.Specifically, the electronic device 700 may be a device having various photographing functions such as a mobile phone, a tablet PC, a camera, or a video camera.

본 발명은 상술한 바와 같이 개시하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 임의의 당업자는 본 발명의 사상과 범위를 벗어나지 않는 전제 하에 모두 여러가지 변경과 수정을 진행할 수 있으므로, 본 발명의 보호 범위는 청구범위에 한정된 범위를 기준으로 해야 한다.Although the present invention has been disclosed as described above, the present invention is not limited thereto. Any person skilled in the art can make various changes and modifications without departing from the spirit and scope of the present invention, so the scope of protection of the present invention should be based on the scope defined in the claims.

Claims (27)

촬영 어셈블리의 패키징 방법으로서,
용접 패드를 구비하는 감광성 칩 및 필터를 제공하는 단계;
상기 감광성 칩의 용접 패드를 향하는 상기 필터를 상기 감광성 칩에 장착하는 단계;
용접 패드를 구비하는 기능 소자 및 상기 필터가 임시 본딩되는 제1 캐리어 기판을 제공하되, 상기 기능 소자의 용접 패드는 상기 제1 캐리어 기판을 향하는 단계;
상기 제1 캐리어 기판 및 기능 소자를 커버하고 상기 감광성 칩의 부분 측벽을 적어도 커버하는 패키징층을 형성하는 단계;
상기 제1 캐리어 기판을 제거하는 단계; 및
상기 제1 캐리어 기판을 제거한 후, 상기 패키징층에서의 상기 필터에 근접하는 일측에 상기 감광성 칩의 용접 패드 및 상기 기능 소자의 용접 패드에 전기적으로 연결되는 재배선 구조를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
As a packaging method of a photographic assembly,
Providing a photosensitive chip and filter having a welding pad;
Mounting the filter facing the welding pad of the photosensitive chip on the photosensitive chip;
Providing a functional element having a welding pad and a first carrier substrate on which the filter is temporarily bonded, wherein the welding pad of the functional element faces the first carrier substrate;
Forming a packaging layer covering the first carrier substrate and the functional device and covering at least a partial sidewall of the photosensitive chip;
Removing the first carrier substrate; And
After removing the first carrier substrate, forming a rewiring structure electrically connected to a welding pad of the photosensitive chip and a welding pad of the functional element on one side of the packaging layer adjacent to the filter. Packaging method of a photographing assembly, characterized in that.
제1항에 있어서,
상기 재배선 구조를 형성하는 단계는,
상기 패키징층 내에 상기 감광성 칩의 용접 패드에 전기적으로 연결되는 전도성 칼럼을 형성하는 단계; 및
상기 패키징층에서의 상기 필터에 근접하는 일측에 상기 전도성 칼럼 및 기능 소자의 용접 패드에 전기적으로 연결되는 연결선을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 1,
The step of forming the redistribution structure,
Forming a conductive column electrically connected to the welding pad of the photosensitive chip in the packaging layer; And
And forming a connection line electrically connected to the conductive column and the welding pad of the functional element on one side of the packaging layer adjacent to the filter.
제2항에 있어서,
상기 전도성 칼럼을 형성하는 단계는,
상기 패키징층을 패턴화하여 상기 패키징층 내에 상기 감광성 칩의 용접 패드를 노출시키는 전도성 관통홀을 형성하는 단계; 및
상기 전도성 관통홀 내에 상기 전도성 칼럼을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 2,
Forming the conductive column,
Forming a conductive through hole in the packaging layer by patterning the packaging layer to expose the welding pad of the photosensitive chip; And
And forming the conductive column in the conductive through hole.
제2항에 있어서,
상기 연결선을 형성하는 단계는,
상기 연결선이 형성되는 제2 캐리어 기판을 제공하는 단계를 포함하고,
상기 재배선 구조를 형성하는 단계는,
상기 전도성 칼럼 및 기능 소자의 용접 패드에 전도성 돌출 블록을 형성하는 단계; 및
상기 연결선을 상기 전도성 돌출 블록에 본딩시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 2,
The step of forming the connection line,
Including the step of providing a second carrier substrate on which the connection line is formed,
The step of forming the redistribution structure,
Forming a conductive protruding block on the conductive column and the welding pad of the functional element; And
And bonding the connection line to the conductive protruding block.
제2항에 있어서,
상기 연결선을 형성하는 단계는,
상기 연결선이 형성되는 제2 캐리어 기판을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 재배선 구조를 형성하는 단계는,
상기 연결선에 전도성 돌출 블록을 형성하는 단계; 및
상기 전도성 돌출 블록을 대응되는 상기 전도성 칼럼 및 기능 소자의 용접 패드에 본딩시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 2,
The step of forming the connection line,
Including the step of forming a second carrier substrate on which the connection line is formed,
The step of forming the redistribution structure,
Forming a conductive protruding block on the connection line; And
And bonding the conductive protruding block to the corresponding conductive column and the welding pad of the functional element.
제4항 또는 제5항에 있어서,
상기 제2 캐리어 기판에 상기 연결선을 형성하는 단계는,
상기 제2 캐리어 기판에 제1 매질층을 형성하는 단계;
상기 제1 매질층을 패턴화하여 상기 제1 매질층 내에 제1 연결홈을 형성하는 단계;
상기 제1 연결홈 내에 상기 연결선을 형성하는 단계; 및
상기 제1 매질층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method according to claim 4 or 5,
Forming the connection line on the second carrier substrate,
Forming a first medium layer on the second carrier substrate;
Forming a first connection groove in the first medium layer by patterning the first medium layer;
Forming the connection line in the first connection groove; And
And removing the first medium layer.
제5항에 있어서,
상기 연결선에 전도성 돌출 블록을 형성하는 단계는,
상기 제2 캐리어 기판 및 연결선을 커버하는 제2 매질층을 형성하는 단계;
상기 제2 매질층을 패턴화하여 상기 제2 매질층 내에 연결 관통홀을 형성하고 상기 연결선의 일부분을 노출시키는 단계;
상기 연결 관통홀 내에 상기 전도성 돌출 블록을 형성하는 단계; 및
상기 제2 매질층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 5,
Forming the conductive protruding block on the connection line,
Forming a second medium layer covering the second carrier substrate and the connection line;
Forming a connection through hole in the second medium layer by patterning the second medium layer and exposing a portion of the connection line;
Forming the conductive protruding block in the connection through hole; And
And removing the second medium layer.
제3항에 있어서,
상기 연결선을 형성하는 단계는,
상기 전도성 관통홀을 형성한 후, 상기 패키징층 및 필터를 커버하는, 상기 전도성 관통홀 내에 위치하는 제3 매질층을 형성하는 단계;
상기 제3 매질층을 패턴화하여 상기 전도성 관통홀 내에 위치하고 상기 패키징층 최상부의 부분 영역보다 높은 제3 매질층을 제거하고, 상기 제3 매질층 내에 제2 연결홈을 형성하며, 상기 기능 소자의 용접 패드를 노출시키고, 상기 제2 연결홈과 상기 전도성 관통홀을 전기적으로 연결시키는 단계;
상기 전도성 관통홀 내에 상기 전도성 칼럼을 형성하는 단계에서, 상기 제2 연결홈 내에 상기 연결선을 형성하는 단계; 및
상기 제3 매질층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 3,
The step of forming the connection line,
After forming the conductive through hole, forming a third medium layer located in the conductive through hole covering the packaging layer and the filter;
The third medium layer is patterned to remove a third medium layer located in the conductive through hole and higher than a partial region of the uppermost portion of the packaging layer, forming a second connection groove in the third medium layer, and Exposing the welding pad and electrically connecting the second connection groove and the conductive through hole;
In the step of forming the conductive column in the conductive through hole, forming the connection line in the second connection groove; And
And removing the third medium layer.
제3항에 있어서,
레이저 식각 공정을 통해 상기 패키징층을 패턴화하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 3,
A packaging method of an imaging assembly, characterized in that the packaging layer is patterned through a laser etching process.
제3항에 있어서,
전기도금 공정을 이용하여 상기 전도성 관통홀 내에 상기 전도성 칼럼을 형성하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 3,
Packaging method of a photographing assembly, characterized in that forming the conductive column in the conductive through hole by using an electroplating process.
제4항에 있어서,
범핑(bumping) 공정을 이용하여 상기 전도성 돌출 블록을 형성하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 4,
Packaging method of a photographing assembly, characterized in that forming the conductive protruding block using a bumping process.
제8항에 있어서,
전기도금 공정을 이용하여 상기 전도성 관통홀 내에 상기 전도성 칼럼을 형성하고 상기 제2 연결홈 내에 상기 연결선을 형성하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 8,
The packaging method of a photographing assembly, comprising forming the conductive column in the conductive through hole using an electroplating process and forming the connection line in the second connection groove.
제4항 또는 제5항에 있어서,
금속 본딩 공정을 이용하여 본딩 단계를 진행하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method according to claim 4 or 5,
A packaging method of a photographing assembly, characterized in that the bonding step is performed using a metal bonding process.
제1항에 있어서,
상기 필터를 상기 감광성 칩에 장착한 후, 상기 제1 캐리어 기판에 상기 필터를 임시 본딩시키거나; 또는
상기 제1 캐리어 기판에 상기 필터를 임시 본딩시킨 후, 상기 필터를 상기 감광성 칩에 장착하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 1,
After mounting the filter on the photosensitive chip, temporarily bonding the filter to the first carrier substrate; or
After temporarily bonding the filter to the first carrier substrate, the filter is mounted on the photosensitive chip.
제1항에 있어서,
상기 패키징층을 형성하는 단계 이전에,
상기 필터의 측벽을 커버하는 응력 완충층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 1,
Before the step of forming the packaging layer,
And forming a stress buffer layer covering the sidewall of the filter.
제1항에 있어서,
상기 패키징층을 형성하는 단계는,
상기 제1 캐리어 기판, 기능 소자 및 감광성 칩을 커버하는 패키징 재료층을 형성하는 단계; 및
상기 패키징 재료층에 대해 연삭(grinding) 처리를 진행하여 상기 감광성 유닛 및 기능 소자 높은 것과 서로 평행되는 상기 패키징층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 1,
The step of forming the packaging layer,
Forming a packaging material layer covering the first carrier substrate, the functional element, and the photosensitive chip; And
And forming the packaging layer parallel to the photosensitive unit and the functional element by performing a grinding treatment on the packaging material layer.
제1항에 있어서,
상기 패키징층에서의 상기 필터에 근접하는 일측에 재배선 구조를 형성하는 단계 이후에, 상기 재배선 구조에 연성회로기판(FPC)을 본딩시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 1,
After the step of forming a redistribution structure on one side of the packaging layer adjacent to the filter, bonding a flexible circuit board (FPC) to the redistribution structure. .
제13항에 있어서,
상기 금속 본딩 공정의 공정 온도는 250 ℃보다 작거나 같고, 공정 압력은 200 kPa보다 크거나 같으며, 공정 시간은 30 분보다 크거나 같은 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리의 패키징 방법.
The method of claim 13,
The process temperature of the metal bonding process is less than or equal to 250° C., the process pressure is greater than or equal to 200 kPa, and the process time is greater than or equal to 30 minutes.
촬영 어셈블리로서,
패키징층, 상기 패키징층에 삽입되는 감광성 유닛, 기능 소자 및 재배선 구조를 포함하되,
상기 감광성 유닛은 감광성 칩 및 상기 감광성 칩에 장착되는 필터를 포함하고, 상기 패키징층의 최상면은 상기 필터 및 기능 소자를 노출시키며, 상기 패키징층의 저면은 상기 기능 소자보다 높고, 상기 패키징층은 상기 감광성 칩의 부분 측벽을 적어도 커버하며, 상기 감광성 칩 및 기능 소자는 모두 용접 패드를 구비하고, 상기 감광성 칩의 용접 패드는 상기 패키징층의 최상면을 향하며, 상기 기능 소자의 용접 패드는 상기 패키징층의 최상면에 노출되고,
상기 재배선 구조는 상기 패키징층에서의 상기 필터에 근접하는 일측에 위치하고, 상기 재배선 구조는 상기 용접 패드에 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리.
As a shooting assembly,
Including a packaging layer, a photosensitive unit inserted into the packaging layer, a functional element and a redistribution structure,
The photosensitive unit includes a photosensitive chip and a filter mounted on the photosensitive chip, the uppermost surface of the packaging layer exposes the filter and the functional element, the bottom surface of the packaging layer is higher than the functional element, and the packaging layer is the Covers at least a partial sidewall of the photosensitive chip, both of the photosensitive chip and the functional element have a welding pad, the welding pad of the photosensitive chip faces the uppermost surface of the packaging layer, and the welding pad of the functional element is of the packaging layer. Exposed on the top,
Wherein the redistribution structure is located at one side of the packaging layer adjacent to the filter, and the redistribution structure is electrically connected to the welding pad.
제19항에 있어서,
상기 재배선 구조는,
상기 패키징층 내에 위치하고 상기 감광성 칩의 용접 패드에 전기적으로 연결되는 전도성 칼럼; 및
상기 기능 소자의 용접 패드 및 상기 전도성 칼럼에 위치하고, 상기 기능 소자의 용접 패드 및 상기 전도성 칼럼에 전기적으로 연결되는 연결선을 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리.
The method of claim 19,
The rewiring structure,
A conductive column located in the packaging layer and electrically connected to a welding pad of the photosensitive chip; And
A photographing assembly comprising: a welding pad of the functional element and a connection line positioned on the conductive column and electrically connected to the welding pad of the functional element and the conductive column.
제20항에 있어서,
상기 재배선 구조는, 상기 연결선과 상기 기능 소자의 용접 패드 및 전도성 칼럼 사이에 각각 위치하는 전도성 돌출 블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리.
The method of claim 20,
The redistribution structure further comprises a conductive protruding block positioned between the connection line and the welding pad and the conductive column of the functional element, respectively.
제19항에 있어서,
상기 패키징층의 저면은 상기 감광성 유닛 및 기능 소자 중 높은 것과 서로 평행되는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리.
The method of claim 19,
A photographing assembly, wherein a bottom surface of the packaging layer is parallel to a higher one of the photosensitive unit and the functional element.
제19항에 있어서,
상기 촬영 어셈블리는 상기 필터의 측벽과 상기 패키징층 사이에 위치하는 응력 완충층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리.
The method of claim 19,
The photographing assembly further comprises a stress buffer layer positioned between the sidewall of the filter and the packaging layer.
제19항에 있어서,
상기 기능 소자는 주변 칩 및 수동 소자 중 적어도 한 가지를 포함하고, 상기 주변 칩은 디지털 신호 프로세서 칩 및 메모리 칩 중 한 가지 또는 두 가지를 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리.
The method of claim 19,
The functional element includes at least one of a peripheral chip and a passive element, and the peripheral chip includes one or two of a digital signal processor chip and a memory chip.
제19항에 있어서,
상기 촬영 어셈블리는 상기 재배선 구조에 위치하는 연성회로기판(FPC)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 촬영 어셈블리.
The method of claim 19,
The photographing assembly further comprises a flexible circuit board (FPC) positioned on the redistribution structure.
렌즈 모듈로서,
제19항 내지 제25항 중 어느 한 항에 따른 촬영 어셈블리; 및
상기 패키징층의 최상면에 장착되고 상기 감광성 유닛 및 기능 소자를 둘러싸는 홀더를 포함하고 상기 감광성 칩 및 기능 소자에 전기적으로 연결되는 렌즈 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌즈 모듈.
As a lens module,
The photographing assembly according to any one of claims 19 to 25; And
And a lens assembly mounted on an uppermost surface of the packaging layer, including a holder surrounding the photosensitive unit and the functional element, and electrically connected to the photosensitive chip and the functional element.
제26항에 따른 렌즈 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
An electronic device comprising the lens module according to claim 26.
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