KR102243634B1 - 다축 mems 관성센서의 3축 동시 검보정 기구 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 22
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 6
- 238000012886 linear function Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- YBJHBAHKTGYVGT-ZKWXMUAHSA-N (+)-Biotin Chemical compound N1C(=O)N[C@@H]2[C@H](CCCCC(=O)O)SC[C@@H]21 YBJHBAHKTGYVGT-ZKWXMUAHSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000011990 functional testing Methods 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- FEPMHVLSLDOMQC-UHFFFAOYSA-N virginiamycin-S1 Natural products CC1OC(=O)C(C=2C=CC=CC=2)NC(=O)C2CC(=O)CCN2C(=O)C(CC=2C=CC=CC=2)N(C)C(=O)C2CCCN2C(=O)C(CC)NC(=O)C1NC(=O)C1=NC=CC=C1O FEPMHVLSLDOMQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 1
- 238000012417 linear regression Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C25/00—Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract
Description
도 2는 일반적인 MEMS 관성센서의 1축 검보정을 나타내는 개념도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다축 MEMS 관성센서의 3축 동시 검보정을 나타내는 개념도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 다축 MEMS 관성센서의 3축 동시 검보정 기구를 나타내는 사진이다.
도 5는 일반적인 MEMS 관성센서의 1축 검보정에 의해 측정된 각 축의 센서 특성을 나타낸다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 다축 MEMS 관성센서의 3축 동시 검보정 기구에 의해 측정된 각 축의 센서 특성을 나타낸다.
도 7은 일반적인 1축 검보정의 결과에 대한, 3축 동시 검보정 기구의 경사면 각도 오차에 따른 다축 MEMS 관성센서의 검보정 오차를 나타낸다.
Claims (5)
- Z축을 회전축으로 하는 X-Y-Z좌표계;
상기 X-Y-Z좌표계가 Y축을 중심으로 제1각도로 회전된 X"-Y"-Z"좌표계;
상기 X"-Y"-Z"좌표계가 X"축을 중심으로 제2각도로 회전된 X'-Y'-Z'좌표계;
상기 X-Y-Z좌표계가 부착되고, 상기 Z축을 중심으로 회전하는 회전테이블(rate table): 및
X-Y평면과 평행한 제1평면 및 Y"-Z"평면과 평행한 제2평면을 포함하는 고정구(fixture)
를 포함하되,
상기 제2평면에 배치되는 3축 MEMS 관성센서의 3개 측정 축이 X'-Y'-Z'와 평행하게 배치되어, 상기 제1각도 및 상기 제2각도에 의해 상기 회전테이블의 회전력이 X'축, Y'축 및 Z'축으로 동일한 크기로 분배되어 작용함으로써, 3축 동시 검보정이 가능하도록 형성된
다축 MEMS 관성센서의 3축 동시 검보정 기구. - 제1항에 있어서,
상기 제1각도는 54.74° 또는 125.26°이고,
상기 제2각도는 45° 또는 135°인
다축 MEMS 관성센서의 3축 동시 검보정 기구. - 제1항에 있어서,
상기 회전테이블은,
상기 3축 MEMS 관성센서의 측정 각속도 범위를 단계적으로 가변하며 상기 3축 MEMS 관성센서의 출력을 측정한 후 선형함수로 근사함으로써 3축 방향의 스케일팩터(scale factor)를 구하는
다축 MEMS 관성센서의 3축 동시 검보정 기구. - 제1항에 있어서,
상기 회전테이블이 정지된 상태에서,
상기 3축 MEMS 관성센서의 바이어스 오차 및 노이즈 성능이 평가되는
다축 MEMS 관성센서의 3축 동시 검보정 기구. - 제3항에 있어서,
상기 고정구의 상기 제1각도 및 상기 제2각도는,
교정 완료된 마스터 3축 MEMS 관성센서를 상기 고정구에 설치하여 얻어진 상기 스케일팩터를 이용하여 교정한 후, 테스트 대상인 상기 3축 MEMS 관성센서의 스케일팩터를 구하는
다축 MEMS 관성센서의 3축 동시 검보정 기구.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190129393A KR102243634B1 (ko) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | 다축 mems 관성센서의 3축 동시 검보정 기구 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190129393A KR102243634B1 (ko) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | 다축 mems 관성센서의 3축 동시 검보정 기구 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR102243634B1 true KR102243634B1 (ko) | 2021-04-22 |
Family
ID=75731314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190129393A Expired - Fee Related KR102243634B1 (ko) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | 다축 mems 관성센서의 3축 동시 검보정 기구 |
Country Status (1)
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KR (1) | KR102243634B1 (ko) |
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PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20191017 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20201006 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
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PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20210419 Patent event code: PR07011E01D |
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PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20210419 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
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