KR102234578B1 - Piezoelectric vibration module - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 16
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 208000006930 Pseudomyxoma Peritonei Diseases 0.000 description 1
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 230000035807 sensation Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
본 발명은 압전 진동 모듈에 관한 것으로 케이스의 고정부에 일측이 고정되는 진동 플레이트, 상기 진동 플레이트와 일면을 접하고 있는 압전체, 상기 압전체에 전원을 인가할 수 있는 연성 회로 기판 및 상기 진동 플레이트의 타측과 결합되는 중량체를 포함한다. 또한, 진동 플레이트의 일측만 케이스에 고정하여 구동 주파수를 낮추고 진동 플레이트의 길이를 짧게 제작할 수 있으며 진동 플레이트의 고정되지 않은 끝부분에 중량체를 부착해 구동 주파수를 더욱 낮추고 진동력을 배가시키며 압전 진동 모듈의 전체적인 두께를 얇게 제작할 수 있는 것을 목적으로 한다.The present invention relates to a piezoelectric vibration module, a vibration plate having one side fixed to a fixed part of a case, a piezoelectric body in contact with the vibration plate, a flexible circuit board capable of applying power to the piezoelectric body, and the other side of the vibration plate. It includes the weight body to be combined. In addition, only one side of the vibration plate can be fixed to the case to lower the driving frequency and the length of the vibration plate can be shortened.A weight body is attached to the unfixed end of the vibration plate to further lower the driving frequency and increase the vibration force, and piezoelectric vibration Its purpose is to be able to make the overall thickness of the module thinner.
Description
본 발명은 압전 진동 모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 휴대용 전자기기에 탑재되어 진동을 발생시키는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a piezoelectric vibration module, and more particularly, to a device mounted in a portable electronic device to generate vibration.
일반적으로 휴대전화, 전자책(E-book) 단말기, 게임기, 태블릿PC, PMP 등의 휴대용 전자기기에 있어서 진동 기능은 메시지, 전화 등의 정보 알림 기능, 사용자의 조작감을 높이기 위한 햅틱 기능 등으로 이용되고 있는데 이러한 진동 기능을 구현하기 위한 진동발생장치는 기술의 발달에 따라 소형화, 집적화, 다양화, 고기능화를 요구하고 있다.In general, in portable electronic devices such as mobile phones, e-book terminals, game consoles, tablet PCs, and PMPs, the vibration function is used as a notification function for information such as messages and phone calls, and a haptic function to enhance the user's sense of operation. However, according to the development of technology, a vibration generating device for implementing such a vibration function is required to be miniaturized, integrated, diversified, and highly functional.
진동발생장치는 사용자가 좀 더 직관적인 경험을 할 수 있고 다양한 촉감을 느낄 수 있도록 하기 위해 압전 물질을 이용한 방식이 다양한 형태로 개발 및 적용되고 있다. 압전 물질(Piezoelectric material)은 압력을 가하면 전압이 얻어지고(기계에너지를 전기에너지로 바꾸는 압전효과), 반대로 전압을 가하면 압전물질 내의 압력 변화로 인해 부피나 길이가 증감(전기에너지를 기계에너지로 바꾸는 역 압전효과)한다.Vibration generating devices are developed and applied in various forms using piezoelectric materials in order to allow users to have a more intuitive experience and to feel a variety of tactile sensations. When pressure is applied to a piezoelectric material, a voltage is obtained (the piezoelectric effect that converts mechanical energy into electrical energy), and when a voltage is applied on the contrary, the volume or length increases or decreases due to the pressure change in the piezoelectric material. Reverse piezoelectric effect).
이러한 압전 물질의 성질을 이용한 압전 진동 모듈은 교류 전원이 인가되면 진동하는 압전체가 양쪽 또는 중앙부가 고정된 진동 플레이트 일면에 접착제로 접합되어 있으며, 구동 주파수를 낮추고 진동력을 배가시키기 위해 중량체를 부착하는 형태가 일반적이다. In the piezoelectric vibration module using the properties of such a piezoelectric material, the piezoelectric material that vibrates when AC power is applied is bonded with an adhesive to one side of a vibration plate in which both or the center part is fixed, and a weight body is attached to lower the driving frequency and increase the vibration force. It is a common form.
한국등록특허 10-1319974 에서는 압전 진동 모듈의 진동 플레이트 양쪽이 케이스에 고정된 형태인 것을 확인할 수 있다. 이렇게 진동 플레이트의 양쪽 끝을 고정할 경우에는 압전체가 부착되어있는 진동 플레이트의 중심부에서 강한 진동이 발생하게 되어 구동 중 압전체의 파손 및 크랙 등의 문제가 발생할 가능성이 클 뿐만 아니라, 구동하는 주파수를 낮추고 진동을 극대화하기 위해 진동 플레이트의 길이가 길어지고 중량체 또한 무거워지는 단점이 있다.In Korean Patent Registration No. 10-1319974, it can be seen that both sides of the vibration plate of the piezoelectric vibration module are fixed to the case. When both ends of the vibrating plate are fixed in this way, strong vibration occurs in the center of the vibrating plate to which the piezoelectric material is attached, and there is a high possibility that problems such as damage and cracking of the piezoelectric material may occur during driving, as well as lowering the driving frequency. In order to maximize vibration, the length of the vibration plate is lengthened and the weight is also heavy.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로 진동 플레이트의 일측을 케이스에 고정하여 구동 주파수를 낮추고 진동 플레이트의 길이를 짧게 제작할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다. The present invention is to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to fix one side of a vibration plate to a case to lower a driving frequency and to shorten the length of the vibration plate.
또한 진동 플레이트의 타측 끝부분에 중량체를 부착해 구동 주파수를 더욱 낮추고 진동력을 배가시키며 압전 진동 모듈의 전체적인 두께를 얇게 제작할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.Also, by attaching a weight body to the other end of the vibration plate, the purpose of this is to further lower the driving frequency, increase the vibration force, and make the overall thickness of the piezoelectric vibration module thinner.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 압전 진동 모듈은 케이스의 고정부에 일측이 고정되는 진동 플레이트, 상기 진동 플레이트와 일면을 접하고 있는 압전체, 상기 압전체에 전원을 인가할 수 있는 연성 회로 기판 및 상기 진동 플레이트의 타측과 결합되는 중량체를 포함한다.A piezoelectric vibration module for solving the above problems includes a vibration plate having one side fixed to a fixing part of a case, a piezoelectric body in contact with the vibration plate, a flexible circuit board capable of applying power to the piezoelectric body, and the vibration plate. It includes a weight body coupled to the other side of the.
상기 압전체는 상기 진동 플레이트의 양면 모두에 부착할 수 있고 상기 진동 플레이트 사이에 접착제를 매개체로 결합하는 것을 특징으로 한다.The piezoelectric body may be attached to both sides of the vibration plate, and an adhesive is bonded between the vibration plates as a medium.
또한 상기 압전체의 양 끝단 또는 한쪽 끝단에 대응하는 진동 플레이트 상에 상기 진동 플레이트의 1~50% 두께의 홈이 형성되어 있고 상기 홈에 상기 접착제가 유입되는 것을 특징으로 한다.In addition, a groove having a thickness of 1 to 50% of the vibration plate is formed on the vibration plate corresponding to both ends or one end of the piezoelectric body, and the adhesive is introduced into the groove.
상기 진동 플레이트의 재질은 열팽창계수가 0.5 ~ 20 * (10-6 ㎝/㎝/℃) 사이인 것을 특징으로 하고 상기 진동 플레이트의 표면에 돌기 형태의 요철이 형성되며 상기 진동 플레이트의 표면 거칠기 전체 평균(Ra)이 0.5um 이상인 것을 특징으로 한다.The material of the vibration plate is characterized in that the coefficient of thermal expansion is between 0.5 ~ 20 * (10-6 cm/cm/℃), and protrusion-shaped irregularities are formed on the surface of the vibration plate, and the overall surface roughness of the vibration plate is averaged. It is characterized in that (Ra) is 0.5um or more.
상기 압전체는 그린시트, 복수의 제 1 전극, 복수의 제 2 전극, 외부 전극 패드를 포함하고 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극은 모서리가 곡선 형상이며 상기 그린시트의 일면에 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극이 교대로 적층되어 있고 상기 각 제 1 전극 및 제 2 전극 사이의 간격은 50um 이하인 것을 특징으로 한다.The piezoelectric body includes a green sheet, a plurality of first electrodes, a plurality of second electrodes, and an external electrode pad, and the first electrode and the second electrode have a curved edge and the first electrode on one surface of the green sheet, The second electrodes are alternately stacked, and an interval between each of the first and second electrodes is 50 μm or less.
상기 그린시트의 경계와 상기 제 1 전극 경계 및 상기 제 2 전극 경계 사이의 거리가 적어도 0.05mm 이상이고 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극에 지름이 50um 이상인 비아홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.A distance between the boundary of the green sheet and the boundary of the first electrode and the boundary of the second electrode is at least 0.05 mm, and a via hole having a diameter of 50 μm or more is formed in the first electrode and the second electrode.
상기 외부 전극 패드는 상기 압전체와 상기 연성 회로 기판 사이에 형성되어 있고 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은 복수의 상기 제 1 전극끼리 혹은 복수의 상기 제 2 전극끼리 서로 연결되어 있으며 각 외부 전극 패드와도 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.The external electrode pad is formed between the piezoelectric material and the flexible circuit board, and the first electrode and the second electrode are connected to each other with a plurality of the first electrodes or the plurality of second electrodes, and each external electrode pad It is characterized in that it is also connected to.
상기 중량체는 상기 진동 플레이트와 결합되는 중량체 결합부 및 상기 중량체 결합부와 연장되고 상기 진동 플레이트의 옆면과 일정 거리 이상 이격되어 있는 것을 특징으로 한다.The weight body is characterized in that the weight body coupling portion coupled to the vibration plate and extending from the weight body coupling portion and spaced apart from a side surface of the vibration plate by a predetermined distance or more.
상기 고정부는 진동 플레이트의 일측 및 상기 케이스의 옆면과 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.The fixing part is characterized in that it is coupled to one side of the vibration plate and the side surface of the case.
상기 진동 플레이트의 종단부와 마주보고 있고 상기 케이스의 양면에 고정되어 있는 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 한다.And a stopper facing the end portion of the vibration plate and fixed to both surfaces of the case.
본 발명에 따르면 압전 진동 모듈은 진동 플레이트의 일측을 케이스에 고정하여 구동 주파수를 낮추고 진동 플레이트의 길이를 짧게 제작할 수 있다. According to the present invention, the piezoelectric vibration module can be manufactured to reduce the driving frequency and shorten the length of the vibration plate by fixing one side of the vibration plate to the case.
또한 진동 플레이트의 고정되지 않은 끝부분에 중량체를 부착해 구동 주파수를 더욱 낮추고 진동력을 배가시키며 압전 진동 모듈의 전체적인 두께를 얇게 제작할 수 있다.In addition, by attaching a weight body to the unfixed end of the vibration plate, the driving frequency can be further lowered, the vibration force doubled, and the overall thickness of the piezoelectric vibration module can be made thin.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 우측면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 압전체 부착방법을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 전극 및 제 2 전극을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다수의 제 1 전극과 다수의 제 2 전극이 적층된 것을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 숏트 방지 홈을 나타낸 도면이다.1 is a diagram showing a piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention.
2 is a front view of a piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of a piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention.
4 is a right side view of a piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a piezoelectric attachment method of a piezoelectric vibration module according to another embodiment of the present invention.
6 is a view showing a first electrode and a second electrode according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram illustrating a stack of a plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes according to an exemplary embodiment of the present invention.
8 is a view showing a short prevention groove according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 관한 구성 및 동작을 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈을 도시한 도면이다.1 is a diagram showing a piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈은 연성 회로 기판(미도시), 연성 회로 기판과 일면이 결합되고 교류 전압에 의해 수축 및 팽창하는 압전체(200), 압전체와 접착제를 통해 부착 되어있는 진동 플레이트(300), 진동 플레이트에 부착되어 진동력을 배가시키고 주파수를 낮추기 위한 중량체(400)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention includes a flexible circuit board (not shown), a
연성 회로 기판(미도시)은 압전체(200)에 교류 전원을 인가하기 위한 구성요소이며, 압전체(200)가 압전 진동 모듈 안에서 수축 또는 팽창에 따라 여러 방향으로 진동하므로 오목 또는 볼록하게 구부러질 수 있도록 유연성과 탄성력이 있는 금속 재질로 제작되어 압전체(200)와 결합될 수 있다.The flexible circuit board (not shown) is a component for applying AC power to the
압전체(200)는 수 ~ 수십 um 두께의 그린 시트의 일면에 일정한 형태의 내부 전극 패턴인 제 1 전극과 제 2 전극을 도전성 페이스트 공정으로 인쇄하며, 각 전극을 교대로 쌓아올려 제작한다. 압전체(200)는 전원공급장치를 통해 외부로부터 전원이 인가되면, 전압이 인가되는 방향에 따라 그 길이 방향으로 수축 또는 팽창하게 되는 특성을 갖는다. 따라서 이러한 특성을 지니는 압전체(200)가 결합된 연성 회로 기판(미도시) 또한 압전체(200)의 수축 또는 팽창에 따라 휘어지게 되어 진동을 발생시킨다.The
그린 시트는 일반적으로 전기 전도도가 우수한 전극 또는 수동 소자를 인쇄하기 위한 시트로서, PZT계(PbZrTiO3) 압전 세라믹으로 구성되는 원료 분말을 사용할 수 있다. The green sheet is generally a sheet for printing an electrode or passive element having excellent electrical conductivity, and a raw material powder composed of a PZT-based (PbZrTiO3) piezoelectric ceramic may be used.
준비된 원료분말에 첨가제로 PVB계 바인더(binder)를 원료 분말 대비 약 6wt% 정도 측량한 후 톨루엔/알코올(toluene/alcohol)계 솔벤트(solvent)에 용해시켜 투입한다. 그 후, 소형 볼밀로 약 24시간 동안 밀링(milling) 및 혼합하여 슬러리(slurry)를 제조한다. 이러한 슬러리를 닥터 블레이드(doctor blade) 등의 방법으로 원하는 사이즈의 그린 시트를 제작할 수 있다.After measuring about 6wt% of PVB-based binder as an additive to the prepared raw material powder, it is dissolved in toluene/alcohol-based solvent and added. Thereafter, a slurry is prepared by milling and mixing for about 24 hours with a small ball mill. A green sheet having a desired size can be manufactured by using such a slurry by a method such as a doctor blade.
제조된 그린 시트에는 내부 전극용 패턴을 인쇄할 수 있는데 내부 전극은 Ag 또는 AgPd 등이 있지만 Ag는 녹는점이 대략 960도이기 때문에 그린시트 제작 후 소결 시 녹을 수 있어 주로 AgPd를 내부 전극으로 사용하나, 기판의 재질에 따른 소결 온도에 따라서 Ag 역시 내부 전극으로 사용될 수 있다.A pattern for internal electrodes can be printed on the manufactured green sheet, but the internal electrode includes Ag or AgPd, but since Ag has a melting point of approximately 960 degrees, it can be melted during sintering after the green sheet is manufactured, so AgPd is mainly used as an internal electrode. Depending on the sintering temperature according to the material of the substrate, Ag can also be used as an internal electrode.
제작된 그린 시트의 일면에 원하는 층수만큼 제 1 전극과 제 2 전극을 적층한 후에 소성을 통해 일체화 하고 다이싱 공정을 통해 적층된 전극을 원하는 크기로 절단한다. 소성 전에 미리 절단(Knife cut)한 이후 소성하는 방법과, 절단하는 방법은 도 6에서 자세히 설명한다.After stacking the first electrode and the second electrode as many as a desired number of layers on one surface of the produced green sheet, they are integrated through firing, and the stacked electrode is cut to a desired size through a dicing process. A method of firing after knife cut before firing and a method of cutting will be described in detail with reference to FIG. 6.
또한 압전체(200)를 구성함에 있어서 적층된 각 전극층의 제 1 전극은 제 1 전극끼리, 제 2 전극은 제 2 전극끼리 연결되어 있어야 하며 각 전극에 전원이 인가되어야 하므로 각 전극과 연결될 수 있는 외부 전극 패드가 압전체(200) 외부에 형성 될 수 있다. 전극을 적층하는 방법과 적층된 전극에 외부 전극 패드를 연결하는 방법은 도 7에서 자세히 설명한다.In addition, in configuring the
진동 플레이트(300)는 긴 막대 판 형태로 압전체(200)와 일면이 접착제로 접합되어 있고 옆면이 케이스(미도시)의 한 면에 고정되어 있으며 진동 플레이트 종단부에 중량체(400)가 연결되어 있다. The
진동 플레이트(300)와 압전체(200)를 부착할 때 접착제를 사용하며 접착제는 열 경화 수지, UV 경화 수지, 상온 경화 수지, 열 경화 Tape 또는 혐기성 접착제 등을 사용할 수 있다. 열 경화 접착제를 사용할 경우 접착력이 우수한 장점이 있지만 고온에서 접합이 이루어지기 때문에 압전체(200)와 진동 플레이트(300)의 열팽창계수가 서로 달라 평평한 형태가 아닌 휘어진 형태로 제작이 될 수 있다.When attaching the
이러한 문제를 방지하기 위해 진동 플레이트(300)의 재질은 압전체(200)와 열팽창계수가 유사한 인바(Invar), 코바(Kovar)가 사용될 수 있고 열팽창계수 차이는 크지만 가격이 저렴한 서스(SUS) 재질도 사용할 수 있으며 일반적으로는 열팽창계수가 0.5 ~ 20 * (10-6 ㎝/㎝/℃) 인 재질을 사용 가능하나 이에 한정된 것은 아니다.In order to prevent such a problem, the material of the
압전체(200)와 진동 플레이트(300)를 좀 더 강하게 접합하기 위해 압전체(200)가 접합되는 진동 플레이트(300) 표면에 돌기 형태의 요철을 생성할 수 있으며 일반적으로는 표면 거칠기를 임의로 조정해 압전체(200)와 좀 더 강한 접착력을 유지하도록 제작할 수 있다. 압전체(200)와 진동 플레이트(300)의 접합은 도 8에서 자세히 설명한다.In order to more strongly bond the
또한, 진동 플레이트(300)의 한 면만을 케이스에 고정하는 경우, 압전체(200)의 진동에 따라 진동 플레이트(300)가 같이 진동하게 되고 진동 플레이트 종단부에서 가장 큰 진동을 발생시켜 압전 진동 모듈의 진동을 구현할 뿐만 아니라 구동 주파수를 낮출 수 있고, 기존의 중앙 고정 진동 플레이트(300) 방식보다 길이를 짧게 제작할 수 있다. In addition, when only one side of the
중량체(400)는 진동 플레이트 종단부에 결합되며 중량체(400)의 재질은 비중이 큰 텅스텐을 사용 가능하나 재질을 한정하는 것은 아니며 적은 체적으로도 높은 중량을 나타낼 수 있는 재질이면 사용 가능하다. 중량체(400)의 비중이 클수록 소형/초박형 압전 진동 모듈 제작 시 구동 주파수를 더 낮출 수 있으며 진동이 더 강해질 수 있다. 중량체(400)에 대해서는 도 3과 도 4에서 자세히 설명한다.The
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 정면도이다.2 is a front view of a piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈은 적어도 한번 이상 구부러진 연성 회로 기판(100), 연성 회로 기판과 일면이 결합되고 교류 전압에 의해 수축 및 팽창하는 압전체(200), 압전체와 접착제를 통해 부착 되어있는 진동 플레이트(300), 진동 플레이트에 부착되어 진동력을 배가시키고 주파수를 낮추기 위한 중량체(400), 진동 플레이트(300)를 케이스(600)에 고정시키기 위한 고정부(601), 중량체(400)의 진동폭을 제한하는 스토퍼(500)를 포함한다.Referring to FIG. 2, a piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention includes a
도 2를 설명하기에 앞서, 스토퍼(500), 고정부(601)의 구조를 제외한 다른 구성요소들은 도 1에서 이미 설명하였으므로 스토퍼, 고정부를 제외한 설명은 생략하기로 한다.Prior to the description of FIG. 2, components other than the structure of the
스토퍼(500)는 케이스(600) 안쪽의 양면에 설치되어 있고 진동 플레이트 종단부(301) 및 중량체 결합부(401)와 마주보고 있다. 스토퍼(500)는 진동 플레이트(300)와 동일한 재질 또는 외부 충격에 의한 신뢰성을 확보하기 위해 일정한 두께를 갖는 완충테이프, 폼테이프 등의 재질을 케이스에 접착함으로써 스토퍼로 사용될 수 있다. 스토퍼는 진동 플레이트 종단부(301) 및 중량체(400)와 일정 거리 이상 이격 되어있어 교류 전압에 의해 압전체(200)가 진동 운동을 할 때 진동 폭을 제한할 수 있다.The
고정부(601)는 진동 플레이트(300)의 일측 및 케이스(600) 옆면과 결합되어 있고, 교류 전압에 의해 압전체(200)가 진동운동을 하게 되면 압전체(200), 압전체(200)와 연결되어 있는 진동 플레이트(300) 및 중량체(400)가 같이 진동하게 되는데 진동 플레이트 종단부(301)에서 진동에 의한 가장 큰 변위를 발생시킬 수 있다.The fixing
이로 인해 압전체(200)로부터 발생되는 진동 주파수를 낮출 수 있을 뿐만 아니라 진동 플레이트(300)의 길이를 짧게 제작할 수 있어 전체적인 압전 진동 모듈의 크기를 줄이고 단가를 낮출 수 있다. Accordingly, not only can the vibration frequency generated from the
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 우측면도이다.3 is a plan view of a piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a right side view of the piezoelectric vibration module according to an embodiment of the present invention.
도 3과 도 4를 설명하기에 앞서, 진동플레이트 종단부(301), 중량체 결합부(401)의 결합 구조를 제외하고 다른 구성요소들은 도 1에서 이미 설명하였으므로 진동플레이트 종단부, 중량체 결합부를 제외한 설명은 생략하기로 한다.Prior to the description of FIGS. 3 and 4, other components except for the coupling structure of the vibration
도 3을 참조하면, 중량체(400)는 'ㄷ'자 형태로 제작되어 중량체 결합부(401)가 진동 플레이트 종단부(301)에 결합되어 있다. 또한 중량체 결합부(401)로부터 연장된 부분은 진동 플레이트(300)의 옆면과 일정 거리 이상 이격되어 있는데 이는 압전체(200)의 진동운동을 방해하지 않으면서 충격으로부터 압전체(200)를 보호하는 역할 뿐만 아니라 진동을 더욱 크게 하는 역할을 하고 있다. 도 4 역시 중량체(400)는 'ㄷ'자 형태로 제작되어 있는데, 이는 도 3과 마찬가지로 압전체(200)의 진동운동을 방해하지 않는 범위 내에서 충격을 보호할 뿐만 아니라 진동을 더욱 크게 하도록 도와준다.Referring to FIG. 3, the
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 압전체 부착방법을 나타낸 도면이다.5 is a view showing a piezoelectric attachment method of a piezoelectric vibration module according to another embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면 압전 진동 모듈은 도 5-1과 같이 압전체(200)가 진동 플레이트(300)의 하면에 결합되는 형태가 일반적이지만 압전체(200)를 부착하는 위치에 따라 도 5-2와 같이 압전체(200)가 진동 플레이트(300)의 상면에 결합될 수도 있고 도 5-3과 같이 압전체(200)가 진동 플레이트(300)의 양면에 결합 될 수도 있다. 특히 압전체(200)가 진동 플레이트(300)의 양면에 결합 될 경우 한면에 결합 되었을 때보다 더욱 큰 진동을 낼 수 있다.Referring to FIG. 5, the piezoelectric vibration module is generally in a form in which the
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 전극 및 제 2 전극을 나타낸 도면이다.6 is a view showing a first electrode and a second electrode according to an embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 전극(201) 및 제 2 전극(202)은 외부로 노출되지 않도록 균일한 폭으로 잘려 압전체(200) 외부와 간격을 유지하고 있으며 그 간격은 적어도 0.05mm 이상일 수 있다.6, the
이는 내부 전극이 외부 표면에 노출될 경우, 연성 회로 기판(100)을 통해 교류 전압을 인가하여 압전 진동 모듈을 구현할 때 제 1 전극(201)과 제 2 전극(202)의 간격이 가까워져 단락될 가능성이 있고, 이로 인해 압전 진동 모듈이 정상적으로 작동되지 않거나 파손될 수 있기 때문에 전극이 외부에 노출되지 않도록 하기 위함이다.This is because when the internal electrode is exposed to the external surface, when the piezoelectric vibration module is implemented by applying an AC voltage through the
또한 압전체(200)는 일반적으로 사각 형태로 형성되는데 제 1 전극(201) 및 제 2 전극(202) 제작시 사각 형태의 내부 패턴 모서리 부분을 곡선 모양(모서리 부분이 R 값을 가지도록)으로 제작할 수 있도록 하여 전극에 교류 전압을 인가할 때 전압이 꼭지점 부분에 집중되지 않고 고르게 인가될 수 있다.In addition, the
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다수의 제 1 전극(201)과 다수의 제 2 전극(202)이 적층된 것을 나타낸 도면이다7 is a diagram illustrating a stack of a plurality of
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 다수의 제 1 전극(201)과 다수의 제 2 전극(202)을 제 1 전극 - 제 2 전극 - 제 1 전극 - 제 2 전극과 같이 교대로 적층할 수 있고, 각 층의 두께를 조절 가능하며, 제 1 전극은 제 1 전극끼리, 제 2 전극은 제 2 전극끼리 연결할 수 있다. 또한, 전극에 전원 인가를 위한 외부 전극 패드(203)가 압전체(200)의 외부에 형성되어 있어 연결된 전극과 외부 전극 패드(203)가 결합되도록 도 7과 같은 구조를 구성할 수 있다.Referring to FIG. 7, according to an embodiment of the present invention, a plurality of
현재 일반적으로 사용되고 있는 LRA(Linear Resonance Actuator)와 같은 VCM(Voice coil motor) 방식은 구동전압이 3Vrms 이하로 낮은 전압에서 구동되는데, 일반적인 압전 진동 모듈에 사용된 압전체(200)의 층 두께는 50~100um 수준으로 구동 시 상당히 높은 교류 전압이 요구된다.VCM (Voice coil motor) method, such as LRA (Linear Resonance Actuator), which is currently generally used, is driven at a low voltage with a driving voltage of 3Vrms or less, and the layer thickness of the
이러한 높은 구동 전압으로 인해 별도의 증폭기(Amplifier)를 포함한 구동 회로가 필요하게 되고 전체적인 제품의 단가가 증가되므로 이를 해결하기 위해 LRA 수준의 낮은 전압에서도 구동이 가능하도록 압전체(200)의 각 층 두께를 50um 이내로 구현할 수 있다.Due to such a high driving voltage, a driving circuit including a separate amplifier is required, and the unit cost of the entire product is increased. To solve this problem, the thickness of each layer of the
제 1 전극(201) 및 제 2 전극(202) 간 연결과 전원을 인가하기 위한 외부 전극을 결합하기 위해 제 1 전극(201) 및 제 2 전극(202)에 일정한 크기의 비아홀을 형성해 전극을 채워서 각 전극을 연결시키는 Via Filling 방법을 사용할 수 있다. 다른 방법으로는, 각 전극의 일부를 외부로 노출시킨 후 이 부분에 도전성 수지 또는 도전성 페이스트를 도포해 결합하는 방법을 사용할 수 있다. In order to connect the
또한 압전체(200)의 외면에 결합되어 교류 전압을 인가할 수 있는 외부 전극 패드(203)는 압전 진동 모듈 제작 과정에서 연성 회로 기판과 부착되는데 도전성 수지 또는 도전성 페이스트를 사용할 수 있고, 솔더링(Soldering)을 통해서도 부착이 가능하다.In addition, the
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 숏트 방지 홈을 나타낸 도면이다.8 is a view showing a short prevention groove according to an embodiment of the present invention.
도 8에 따르면 압전체(200)를 진동 플레이트(300)에 접합할 때 압전체(200)와 진동 플레이트(300)를 좀 더 강하게 접합하기 위해 압전체(200)가 접합되는 진동 플레이트(300) 표면 거칠기를 임의로 조정해 압전체(200)와 좀 더 강한 접착력을 유지하도록 제작할 수 있다. 일례로 요철 모양의 돌기를 형성할 수도 있고, 표면의 평균 거칠기를 나타내는 척도인 Ra(표면 거칠기 전체 평균)가 0.5um 이상일 수도 있다.According to FIG. 8, the surface roughness of the vibrating
또한, 접착제의 두께가 얇아 압전체(200) 측면 전극으로 인해 기기가 단락될 수 있다. 이를 개선하기 위해 진동 플레이트(300)와 압전체(200)가 맞닿는 한쪽 끝부분 또는 양 끝부분에 진동 플레이트 홈(302)을 생성하고 진동 플레이트 홈(302)에 접착제를 채워 넣는다. 홈의 두께는 진동 플레이트(300)의 두께의 1~50% 정도로 형성될 수 있고 적당하게는 진동 플레이트(300)의 두께의 10~20% 정도이다. In addition, since the thickness of the adhesive is thin, the device may be short-circuited due to the side electrode of the
이로 인해 진동 플레이트(300)와 압전체(200)가 맞닿아 생기는 단락을 방지하여 안정적으로 전압 구동을 할 수 있을 뿐만 아니라, 압전 진동 모듈 구동 시 압전체(200)의 양 끝 부분에 집중된 응력을 홈에 채워진 접착제로 인해 응력이 분산되는 효과가 있어 압전 진동 모듈을 장기간 사용하더라도 안정적인 동작이 가능하다.
This prevents a short circuit that occurs when the
이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 실시 형태로 실시될 수 있다는 것을 인지할 수 있을 것이다. 따라서 이상에서 기술한 실시 예들은 예시적인 것일 뿐이며, 그 범위를 제한해놓은 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 또한, 도면에 도시된 순서도들은 본 발명을 실시함에 있어서 가장 바람직한 결과를 달성하기 위해 예시적으로 도시된 순차적인 순서에 불과하며, 다른 추가적인 단계들이 제공되거나, 일부 단계가 삭제될 수 있음은 물론이다.As such, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will recognize that the present invention can be implemented in other specific embodiments without changing the technical spirit or essential features thereof. Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are only illustrative, and are not restrictive, limiting the scope. In addition, the flow charts shown in the drawings are merely a sequential order illustrated by way of example to achieve the most desirable results in carrying out the present invention, and of course, other additional steps may be provided or some steps may be deleted. .
또한, 본 명세서는 그 제시된 구체적인 용어에 의해 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 따라서, 이상에서 기술한 실시예를 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않으면서도 본 실시예들에 대한 개조, 변경 및 변형을 가할 수 있다.
In addition, this specification is not intended to limit the invention by the specific terms presented. Therefore, although the present invention has been described with reference to the above-described embodiments, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the spirit of the present invention, modifications, changes and modifications to the embodiments, and Transformation can be applied.
100 - 연성 회로 기판
200 - 압전체
201 - 제 1 전극
202 - 제 2 전극
203 - 외부 전극 패드
300 - 진동 플레이트
301 - 진동 플레이트 종단부
302 - 진동 플레이트 홈
400 - 중량체
401 - 중량체 결합부
500 - 스토퍼
600 - 케이스
601 - 고정부100-flexible circuit board
200-piezoelectric
201-first electrode
202-second electrode
203-External electrode pad
300-vibrating plate
301-vibrating plate end
302-vibrating plate groove
400-heavy body
401-heavy body joint
500-stopper
600-case
601-Fixed part
Claims (19)
상기 진동 플레이트와 일면을 접하고 있는 압전체;
상기 압전체에 전원을 인가할 수 있는 연성 회로 기판; 및
상기 진동 플레이트의 타측과 결합되는 중량체;
를 포함하되,
상기 중량체는,
내부에 상기 진동 플레이트가 수용되는 ㄷ 자 형상으로서, 상기 진동 플레이트의 옆면과 일정 거리 이상 이격되어 상기 진동 플레이트를 수용하며,
상기 진동 플레이트에 수직인 방향의 단면 형상이 상부가 덮여 있는 ㄷ 자 형상이고, 상기 진동 플레이트에 수평 방향의 단면 형상은 상기 진동 플레이트의 고정되지 않은 쪽 단부가 막혀 있는 ㄷ 자 형상이며,
상기 진동 플레이트는,
고정되지 않는 쪽 단부에서 상기 중량체의 단부를 지지하기 위해 윗 방향으로 절곡되어 있고,
상기 압전체와 접착제를 매개체로 결합하되,
상기 압전체의 한쪽 끝단 또는 양 끝단에 대응하는 위치에 진동 플레이트의 1~50% 두께의 홈이 형성 되어 있으며,
상기 홈에 상기 접착제가 유입되어 상기 압전체와 결합하는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
A vibration plate having one side fixed to the fixing part of the case;
A piezoelectric material in contact with the vibration plate;
A flexible circuit board capable of applying power to the piezoelectric material; And
A weight body coupled to the other side of the vibration plate;
Including,
The weight body,
As a C shape in which the vibration plate is accommodated, the vibration plate is accommodated by being spaced apart from the side surface of the vibration plate by a predetermined distance or more,
The cross-sectional shape in the direction perpendicular to the vibration plate is a c-shaped shape with an upper portion covered, and the cross-sectional shape in the horizontal direction on the vibration plate is a c-shaped shape in which the unfixed end of the vibration plate is blocked,
The vibration plate,
It is bent upward to support the end of the weight body at the non-fixed end,
Bonding the piezoelectric material and the adhesive as a medium,
A groove having a thickness of 1 to 50% of the vibration plate is formed at a position corresponding to one end or both ends of the piezoelectric body,
Piezoelectric vibration module, characterized in that the adhesive is introduced into the groove and coupled to the piezoelectric material.
상기 진동 플레이트의 표면에 돌기 형태의 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
The method of claim 1,
Piezoelectric vibration module, characterized in that the protrusion-shaped irregularities are formed on the surface of the vibration plate.
상기 진동 플레이트의 표면 거칠기 전체 평균(Ra)이 0.5um 이상인 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
The method of claim 1,
Piezoelectric vibration module, characterized in that the total surface roughness (Ra) of the vibration plate is 0.5um or more.
상기 압전체는 그린시트, 복수의 제 1 전극, 복수의 제 2 전극, 외부 전극 패드를 포함하고, 상기 그린시트의 일면에 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극이 교대로 적층되어 있으며, 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극은 모서리가 곡선 형상인 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
The method of claim 1,
The piezoelectric body includes a green sheet, a plurality of first electrodes, a plurality of second electrodes, and an external electrode pad, the first electrode and the second electrode are alternately stacked on one surface of the green sheet, and the first The piezoelectric vibration module, characterized in that the electrode, the second electrode has a curved edge.
상기 그린시트의 일면에 적층된 상기 각 제 1 전극 및 제 2 전극 사이의 간격은 50um 이하인 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
The method of claim 9,
Piezoelectric vibration module, characterized in that the spacing between each of the first electrode and the second electrode stacked on one surface of the green sheet is 50 μm or less.
상기 그린시트의 경계와 상기 제 1 전극 경계 및 상기 제 2 전극 경계 사이의 거리가 적어도 0.05mm 이상인 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
The method of claim 9,
A piezoelectric vibration module, wherein a distance between the boundary of the green sheet and the boundary of the first electrode and the boundary of the second electrode is at least 0.05 mm or more.
상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극에 지름이 50um 이상인 비아홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
The method of claim 9,
The piezoelectric vibration module, characterized in that a via hole having a diameter of 50 μm or more is formed in the first electrode and the second electrode.
상기 중량체는 상기 진동 플레이트와 결합되는 중량체 결합부 및 상기 중량체 결합부와 연장되고 상기 진동 플레이트의 옆면과 일정 거리 이상 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
The method of claim 1,
The weight body is a piezoelectric vibration module, characterized in that the weight body coupling portion coupled to the vibration plate and extending from the weight body coupling portion and spaced apart from a side surface of the vibration plate by a predetermined distance or more.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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ID=57446159
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR102234578B1 (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR101319974B1 (en) | 2013-05-20 | 2013-10-18 | 주식회사 이노칩테크놀로지 | Piezoelectric vibrating device |
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