KR102223677B1 - Mask frame assembly for thin layer deposition, manufacturing method of the same and manufacturing method of organic light emitting display device there used - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은, 개구부와 지지부를 구비하는 프레임과, 상기 개구부에 대응하는 위치에 증착영역을 포함하는 마스크 및 상기 마스크를 관통하도록 상기 마스크에 주입되어 상기 프레임 및 상기 마스크와 고정되어 상기 마스크를 상기 프레임에 고정시키는 제1 고정부재를 포함한다.The present invention discloses a thin film deposition mask frame assembly, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing an organic light emitting display device. In the present invention, a frame having an opening and a support portion, a mask including a deposition region at a position corresponding to the opening, and a mask injected into the mask so as to penetrate the mask, and fixed to the frame and the mask, thereby attaching the mask to the frame. It includes a first fixing member fixed to the.

Description

박막 증착용 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법{Mask frame assembly for thin layer deposition, manufacturing method of the same and manufacturing method of organic light emitting display device there used}BACKGROUND ART Mask frame assembly for thin layer deposition, manufacturing method of the same and manufacturing method of organic light emitting display device there used}

본 발명의 실시예들은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a mask frame assembly for thin film deposition, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing an organic light emitting display device.

일반적으로 평탄 디스크플레이 중의 하나인 유기 발광 표시 장치는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 저전압으로 구동이 가능하며, 경량의 박형이면서 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 소자로서 주목을 받고 있다. Organic light-emitting display devices, which are generally one of flat disk players, are active light-emitting display devices. They have a wide viewing angle and excellent contrast, as well as low voltage driving, lightweight, thin, and fast response times. It is attracting attention as a device.

이러한 발광 소자는 발광층을 형성하는 물질에 따라 무기 발광 소자와 유기 발광 소자로 구분되는데, 유기 발광 소자는 무기 발광 소자에 비해 휘도, 응답속도 등의 특성이 우수하고, 컬러 디스플레이가 가능하다는 장점을 가지고 있어 최근 그 개발이 활발하게 진행되고 있다.These light-emitting devices are classified into inorganic light-emitting devices and organic light-emitting devices according to the material forming the light-emitting layer. The organic light-emitting device has the advantage of superior properties such as luminance and response speed compared to inorganic light-emitting devices, and color display is possible. In recent years, its development is actively progressing.

유기 발광 표시 장치는 유기막 및/또는 전극을 진공 증착법에 의해 형성한다. 그러나 유기 발광 표시 장치가 점차 고해상도화 함에 따라 증착 공정시 사용되는 마스크의 오픈슬릿(open slit)의 폭이 점점 좁아지고 있으며 그 산포 또한 점점 더 감소될 것이 요구되어지고 있다. In the organic light emitting diode display, an organic film and/or an electrode is formed by a vacuum evaporation method. However, as the organic light emitting display device gradually increases in resolution, the width of the open slit of the mask used in the deposition process is gradually becoming narrower, and the distribution thereof is also required to be gradually reduced.

또한, 고해상도 유기 발광 표시 장치를 제작하기 위해서는 궤도우 현상(shadow effect)을 줄이거나 없애는 것이 필요하다. 그에 따라, 기판과 마스크를 밀착시킨 상태에서 증착 공정을 진행하고 있으며, 기판과 마스크의 밀착도를 향상시키기 위한 기술의 개발이 대두되고 있다.In addition, in order to manufacture a high-resolution OLED display, it is necessary to reduce or eliminate a shadow effect. Accordingly, a vapor deposition process is performed in a state in which the substrate and the mask are in close contact, and the development of a technology for improving the adhesion between the substrate and the mask is on the rise.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.The above-described background technology is technical information possessed by the inventor for derivation of the present invention or acquired during the derivation process of the present invention, and is not necessarily known to be known to the general public prior to filing the present invention.

본 발명의 실시예들은 박막 증착용 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다. Embodiments of the present invention provide a mask frame assembly for thin film deposition, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing an organic light emitting display device.

본 발명의 일 측면은, 개구부와 지지부를 구비하는 프레임과, 상기 개구부에 대응하는 위치에 증착영역을 포함하는 마스크 및 상기 마스크를 관통하도록 상기 마스크에 주입되어 상기 프레임 및 상기 마스크와 고정되어 상기 마스크를 상기 프레임에 고정시키는 제1 고정부재를 포함하는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 제공한다.An aspect of the present invention is a frame having an opening and a support, a mask including a deposition region at a position corresponding to the opening, and a mask injected into the mask so as to penetrate the mask to be fixed to the frame and the mask, and the mask It provides a mask frame assembly for thin film deposition comprising a first fixing member fixing the frame to the frame.

또한, 상기 제1 고정부재는 전주도금법 및 무전해도금법 중 적어도 하나의 방법으로 상기 마스크에 주입될 수 있다.In addition, the first fixing member may be injected into the mask by at least one of an electroplating method and an electroless plating method.

또한, 상기 제1 고정부재는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Invar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Kovar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.In addition, the first fixing member is iron, nickel, copper, tin, gold, stainless steel (SUS), Invar alloy, Inconel alloy, Kovar alloy, iron alloy, nickel alloy It may include at least one or more of.

또한, 상기 프레임은 상기 지지부에 제1 홈이 형성되고, 상기 마스크는 상기 제1 홈에 대응하는 위치에 제1 홀이 형성되며, 상기 제1 홈 및 상기 제1 홀에 상기 제1 고정부재가 주입될 수 있다.In addition, in the frame, a first groove is formed in the support portion, a first hole is formed in a position corresponding to the first groove in the mask, and the first fixing member is formed in the first groove and the first hole. Can be injected.

또한, 상기 제1 홈이 형성하는 내부공간의 크기는 상기 제1 홀이 형성하는 내부공간의 크기와 다르게 형성될 수 있다.In addition, the size of the inner space formed by the first groove may be different from the size of the inner space formed by the first hole.

또한, 상기 제1 홈 및 상기 제1 홀 중 적어도 하나는 테이퍼지도록 형성될 수 있다.In addition, at least one of the first groove and the first hole may be formed to be tapered.

또한, 상기 제1 홀은 상기 제1 고정부재가 주입되는 주입부 및 상기 주입부에서 연장되도록 형성되어, 상기 제1 고정부재가 상기 제1 홈에 이동하도록 하는 연결부를 구비할 수 있다.In addition, the first hole may include an injection part into which the first fixing member is injected and a connection part formed to extend from the injection part so that the first fixing member moves to the first groove.

또한, 상기 주입부의 반경은 상기 연결부의 반경보다 크게 형성될 수 있다.In addition, a radius of the injection part may be larger than a radius of the connection part.

또한, 상기 프레임은 상기 제1 홈과 이격되도록 형성된 제2 홈을 구비하고, 상기 마스크는 상기 제2 홈에 대응하는 위치에 상기 제1 홀과 이격되도록 형성된 제2 홀을 구비하며, 상기 제2 홈 및 상기 제2 홀에 주입되는 제2 고정부재;를 더 포함할 수 있다.In addition, the frame has a second groove formed to be spaced apart from the first groove, the mask has a second hole formed to be spaced apart from the first hole at a position corresponding to the second groove, and the second It may further include a groove and a second fixing member injected into the second hole.

또한, 상기 마스크는 스틱형태로 형성될 수 있다.In addition, the mask may be formed in a stick shape.

본 발명의 다른 측면은, 프레임의 지지부에 제1 홈을 형성하고, 마스크의 테두리부에 상기 제1 홈과 대응하는 위치에 제1 홀을 형성하는 단계와, 상기 제1 홈과 상기 제1 홀을 얼라인하는 단계와, 상기 제1 홀에 제1 고정부재를 주입하고, 상기 제1 홈에 상기 제1 고정부재를 채워서 상기 프레임과 상기 마스크를 고정하는 단계를 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 제조 방법을 제공한다.In another aspect of the present invention, forming a first groove in a support portion of a frame, forming a first hole in a position corresponding to the first groove in an edge portion of a mask, the first groove and the first hole Aligning, and injecting a first fixing member into the first hole, filling the first fixing member into the first groove, and fixing the frame and the mask. Provides a manufacturing method.

또한, 상기 제1 고정부재는 전주도금법 및 무전해도금법 중 적어도 하나의 방법으로 주입될 수 있다.In addition, the first fixing member may be injected by at least one of an electroplating method and an electroless plating method.

또한, 상기 제1 고정부재는 온도가 섭씨 100도 이하의 온도에서 주입될 수 있다.In addition, the first fixing member may be injected at a temperature of 100 degrees Celsius or less.

또한, 상기 제1 고정부재는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Incar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Covar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상를 포함할 수 있다.In addition, the first fixing member is iron, nickel, copper, tin, gold, stainless steel (SUS), Incar alloy, Inconel alloy, Covar alloy, iron alloy, nickel alloy It may include at least one or more of.

또한, 상기 제1 홈이 형성하는 내부공간의 크기는 상기 제1 홀이 형성하는 내부공간의 크기와 다르게 형성될 수 있다.In addition, the size of the inner space formed by the first groove may be different from the size of the inner space formed by the first hole.

또한, 상기 제1 홈 및 상기 제1 홀 중 적어도 하나는 테이퍼지도록 형성될 수 있다.In addition, at least one of the first groove and the first hole may be formed to be tapered.

또한, 상기 제1 홀은 상기 제1 고정부재가 주입되는 주입부와, 상기 주입부에서 연장되도록 형성되어, 상기 제1 고정부재가 상기 제1 홈에 이동하도록 하는 연결부를 구비할 수 있다.In addition, the first hole may include an injection part into which the first fixing member is injected, and a connection part formed to extend from the injection part so that the first fixing member moves into the first groove.

또한, 상기 주입부의 반경은 상기 연결부의 반경보다 크게 형성될 수 있다.In addition, a radius of the injection part may be larger than a radius of the connection part.

본 발명의 또 다른 측면은, 기판 상에 서로 대향된 제1 및 제2 전극과 상기 제1 및 제2 전극의 사이에 구비된 유기막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 유기막 또는 제2 전극은, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 의해 증착 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.Another aspect of the present invention is a method of manufacturing an organic light-emitting display device including first and second electrodes facing each other on a substrate and an organic layer provided between the first and second electrodes, the organic layer Alternatively, the second electrode provides a method of manufacturing an organic light emitting display device that is formed by vapor deposition using a thin film deposition mask frame assembly.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. Other aspects, features, and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims, and detailed description of the invention.

본 발명의 실시예들에 따르면 박막 증착용 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 기판과 마스크 사이의 간격을 최소화 하고 마스크의 열 변형을 줄여 기판에 유기 발광 소자를 정밀하게 형성할 수 있다.According to embodiments of the present invention, a mask frame assembly for thin film deposition, a method of manufacturing the same, and a method of manufacturing an organic light emitting display device minimize the gap between the substrate and the mask and reduce thermal deformation of the mask to precisely attach the organic light emitting device to the substrate. Can be formed.

도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 보여주는 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 보여주는 단면도이다.
도 3a 내지 3e는 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 변형예를 보여주는 부분단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 보여주는 부분단면도이다.
도 5는 도1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체가 구비된 증착장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 증착 장치를 이용하여 제조되는 유기 발광 표시 장치를 보여주는 도면이다.
도 7은 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조 방법을 보여주는 블록도이다.1 is an exploded perspective view showing a mask frame assembly for thin film deposition according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view illustrating the mask frame assembly for thin film deposition of FIG. 1.
3A to 3E are partial cross-sectional views showing a modified example of the mask frame assembly for thin film deposition of FIG. 1.
4 is a partial cross-sectional view showing a mask frame assembly for thin film deposition according to another embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating a deposition apparatus including a mask frame assembly for thin film deposition of FIG. 1.
6 is a diagram illustrating an organic light emitting display device manufactured using the deposition apparatus illustrated in FIG. 5.
7 is a block diagram illustrating a method of manufacturing the mask frame assembly for thin film deposition of FIG. 1.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. 이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and will be described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail together with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms. In the following embodiments, terms such as first and second are used for the purpose of distinguishing one constituent element from other constituent elements rather than a limiting meaning. In addition, expressions in the singular include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In addition, terms such as include or have means that the features or components described in the specification are present, and do not preclude the possibility of adding one or more other features or components in advance.

또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 또한, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.In addition, in the drawings, the size of components may be exaggerated or reduced for convenience of description. For example, the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, and thus the present invention is not necessarily limited to what is shown. In addition, when a certain embodiment can be implemented differently, a specific process order may be performed differently from the described order. For example, two processes described in succession may be performed substantially simultaneously, or may be performed in an order opposite to the described order.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when describing with reference to the drawings, the same or corresponding constituent elements are assigned the same reference numerals, and redundant descriptions thereof will be omitted. .

도 1는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)를 보여주는 분해 사시도이고, 도 2는 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)를 보여주는 단면도이다.1 is an exploded perspective view showing a mask frame assembly 100 for thin film deposition according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view showing the mask frame assembly 100 for thin film deposition of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)는 프레임(10)과 마스크를 구비할 수 있다.1 and 2, the mask frame assembly 100 for thin film deposition may include a frame 10 and a mask.

프레임(10)은 마스크(20)와 결합하여 마스크(20)가 지지될 수 있다. 프레임(10)은 증착물질이 통과할 수 있는 개구부(10a)와 개구부(10a)의 외측에 형성되는 지지부(10b)를 구비할수 있다. 프레임(10)은 금속 또는 합성수지 등으로 제조될 수 있으며, 사각 형상으로 하나 이상의 개구부(10a)를 갖도록 형성되어 있으나, 일 실시의 사상은 이에 제한되지 아니하며, 원형 또는 육각형 등의 다양한 형태로 형성될 수 있다. The frame 10 may be combined with the mask 20 to support the mask 20. The frame 10 may include an opening 10a through which a deposition material can pass and a support portion 10b formed outside the opening 10a. The frame 10 may be made of metal or synthetic resin, and is formed to have one or more openings 10a in a square shape, but the idea of one embodiment is not limited thereto, and may be formed in various shapes such as circular or hexagonal shape. I can.

지지부(10b)는 마스크(20)의 테두리부(20b)와 접촉하는 부분이다. 지지부(10b)는 제1 홈(12)을 구비할 수 있다. 제1 홈(12)은 복수개로 형성될 수 있다. 제1 홈(12)의 단면은 특정형상에 한정되지 않으며 다각형, 원형 또는 타원형으로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위해서 원형으로 형성된 경우를 중심으로 설명하기로 한다.The support portion 10b is a portion in contact with the edge portion 20b of the mask 20. The support part 10b may have a first groove 12. The first groove 12 may be formed in plural. The cross section of the first groove 12 is not limited to a specific shape and may be formed in a polygonal, circular or elliptical shape. However, in the following description, for convenience of explanation, a case formed in a circular shape will be mainly described.

마스크(20)는 증착영역(20a)과 증착영역(20a)의 외측에 형성되는 테두리부(20b)를 구비할 수 있다. 증착영역(20a)은 증착용 패턴부(21)를 구비할 수 있다. 증착영역(20a)은 프레임(10)의 개구부(10a)에 대응하도록 배치되어 개구부(10a)를 통과한 증착물질이 증착용 패턴부(21)를 통과하여 기판에 증착할 수 있다.The mask 20 may include a deposition region 20a and an edge portion 20b formed outside the deposition region 20a. The deposition region 20a may include a deposition pattern portion 21. The deposition region 20a is disposed to correspond to the opening 10a of the frame 10 so that the deposition material passing through the opening 10a passes through the deposition pattern portion 21 to be deposited on the substrate.

증착용 패턴부(21)는 복수 개의 슬릿이 형성된 마스킹 패턴이 구비된 것으로 도시되어 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 당업자라면 다양한 변형예가 가능함을 알 것이다. 즉, 증착용 패턴부(21)에는 전면 개방된 상태를 유지하는 마스킹 패턴이 구비되거나 도트 형상의 마스킹 패턴이 구비될 수 있다. 도 1에 도시된 증착용 패턴부(21)의 개수나 배치 위치, 형상은 일 예시로서, 본 발명은 이에 제한 되지 않는다. 마스크(20)는 하나의 큰 부재로 형성되어 프레임(10)에 결합될 수 있다. 또한, 마스크(20)의 자중을 분할하기 위해 다수개의 스틱형 마스크로 형성될 수 있다.The deposition pattern part 21 is shown to be provided with a masking pattern in which a plurality of slits are formed. However, the present invention is not limited thereto, and those skilled in the art will recognize that various modifications are possible. That is, the evaporation pattern part 21 may be provided with a masking pattern that maintains the front open state or may be provided with a dot-shaped masking pattern. The number, arrangement position, and shape of the deposition pattern portions 21 shown in FIG. 1 are exemplary, and the present invention is not limited thereto. The mask 20 may be formed of one large member and may be coupled to the frame 10. In addition, it may be formed of a plurality of stick-type masks to divide the self-weight of the mask 20.

마스크(20)는 테두리부(20b)에 마스크(20)를 관통하는 홀을 형성할 수 있다. 테두리부(20b)는 제1 홈(12)에 대응하는 위치에 제1 홀(22)을 형성할 수 있다. 제1 홀(22)은 복수개로 형성될 수 있다. 제1 홀(22)의 마스크(20)와 평행한 방향으로의 단면은 특정 형상에 한정되지 않으며 다각형, 원형 또는 타원형으로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위해서 제1 홀(22)의 단면은 원형으로 형성된 경우를 중심으로 설명하기로 한다.The mask 20 may form a hole penetrating the mask 20 in the edge portion 20b. The edge portion 20b may form a first hole 22 at a position corresponding to the first groove 12. The first hole 22 may be formed in plural. A cross section of the first hole 22 in a direction parallel to the mask 20 is not limited to a specific shape, and may be formed in a polygonal, circular, or elliptical shape. However, hereinafter, for convenience of description, the first hole 22 will be described centering on the case where the cross section is formed in a circular shape.

제1 고정부재(30)는 마스크(20)를 관통하도록 마스크(20)에 주입되어 프레임(10) 및 마스크(20)와 고정되어 마스크(20)를 프레임(10)에 고정 시킬수 있다. 즉, 제1 고정부재(30)는 제1 홈(12)과 제1 홀(22)에 주입되어 마스크(20)와 프레임(10)을 고정 시킬수 있다.The first fixing member 30 may be injected into the mask 20 to penetrate the mask 20 and fixed to the frame 10 and the mask 20 to fix the mask 20 to the frame 10. That is, the first fixing member 30 may be injected into the first groove 12 and the first hole 22 to fix the mask 20 and the frame 10.

제1 고정부재(30)는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Incar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Covar alloy), 철 합금, 니켈 합금, 니켈-인 합금(NI-P), 니켈-인-폴리테트라 플루오로에틸렌(Nickel-Phosphorous- Polytetrafluoroethylene,NI-P-PTFE) 합금 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.The first fixing member 30 is iron, nickel, copper, tin, gold, stainless steel (SUS), Incar alloy, Inconel alloy, Covar alloy, iron alloy, nickel alloy , A nickel-phosphorus alloy (NI-P), and a nickel-phosphorus-polytetrafluoroethylene (NI-P-PTFE) alloy.

제1 고정부재(30)는 전주도금법(electroforming) 및 무전해도금법(electroless planting) 중 적어도 하나의 방법으로 마스크(20) 및 프레임(10)에 주입될 수 있다. 제1 고정부재(30)를 제1 홈(12) 및 제1 홀(22)에 주입하여, 프레임(10) 및 마스크(20)의 변형없이 프레임(10)을 마스크(20)에 고정할 수 있다. 일반적으로 전주도금법은 섭씨 70도 이하에서 공정이 이루어지고, 무전해도금법은 섭씨 100도 이하에서 공정이 이루어 진다.The first fixing member 30 may be injected into the mask 20 and the frame 10 by at least one of electroforming and electroless planting. By injecting the first fixing member 30 into the first groove 12 and the first hole 22, the frame 10 can be fixed to the mask 20 without deforming the frame 10 and the mask 20. have. In general, the electroplating method is performed at 70 degrees Celsius or less, and the electroless plating method is performed at 100 degrees Celsius or less.

도 3a 내지 3e는 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 변형예를 보여주는 부분단면도이다.3A to 3E are partial cross-sectional views showing a modified example of the mask frame assembly for thin film deposition of FIG. 1.

도 3a 내지 도 3e를 검토하면, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 변형예들을 검토할 수 있다. 본 발명의 일실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)와 비교하면 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 변형예들은 프레임(10)에 형성된 제1 홈의 형상 및 마스크(20)에 형성된 제1 홀의 형상에 특징이 있다. 따라서, 이하에서는 설명의 편의를 위해 제1 홈 및 제1 홀을 중심으로 설명하기로 한다. 3A to 3E, modified examples of the mask frame assembly for thin film deposition can be reviewed. Compared with the mask frame assembly 100 for thin film deposition according to an embodiment of the present invention, modified examples of the mask frame assembly for thin film deposition are the shape of the first groove formed in the frame 10 and the first groove formed in the mask 20. There is a characteristic in the shape of the hole. Therefore, in the following description, for convenience of description, the first groove and the first hole will be mainly described.

도 3a를 살펴보면, 제1 홈(12a)이 형성하는 내부공간의 크기는 제1 홀(22a)이 형성하는 내부공간의 크기와 다르게 형성될 수 있다. 즉, 제1 홈(12a)의 반경을 제1 홀(22a)의 반경보다 크게 형성하여 제1 홈(12a)이 형성하는 내부공간의 크기가 제1 홀(22a)이 형성하는 내부공간의 크기보다 크게 형성할 수 있다. Referring to FIG. 3A, the size of the inner space formed by the first groove 12a may be different from the size of the inner space formed by the first hole 22a. That is, the size of the inner space formed by the first groove 12a by forming the radius of the first groove 12a larger than the radius of the first hole 22a is the size of the inner space formed by the first hole 22a It can be formed larger.

제1 고정부재(30)가 제1 홈(12a)과 제1 홀(22a)에 주입되면, 프레임(10)과 마스크(20)의 결합력을 향상 시킬 수 있다. 제1 홈(12a)의 내부공간에 주입된 제1 고정부재(30)의 일부는 마스크(20)의 저면 일부와 접촉할 수 있다. 즉, 제1 고정부재(30)와 마스크(20)의 접촉면적은 증가되어 결합력을 향상시킬 수 있다.When the first fixing member 30 is injected into the first groove 12a and the first hole 22a, the bonding force between the frame 10 and the mask 20 may be improved. A portion of the first fixing member 30 injected into the inner space of the first groove 12a may contact a portion of the bottom surface of the mask 20. That is, the contact area between the first fixing member 30 and the mask 20 is increased, so that the bonding force may be improved.

도 3b를 살펴보면, 제1 홈(12b)은 테이퍼지도록 형성할 수 있다. 제1 홈(12b)의 반경은 프레임(10)의 높이방향에 따라 가변될 수 있다. 제1 홀(22b)을 통해서 주입된 제1 고정부재(30)는 제1 홈(12b)의 테이퍼진 면을 따라 이동할 수 있다. 즉, 제1 홈(12b)의 테이퍼진 면은 제1 고정부재(30)의 유동을 안내하여 제1 고정부재(30)가 골고루 퍼지도록 할 수 있다. Referring to FIG. 3B, the first groove 12b may be formed to be tapered. The radius of the first groove 12b may vary according to the height direction of the frame 10. The first fixing member 30 injected through the first hole 22b may move along the tapered surface of the first groove 12b. That is, the tapered surface of the first groove 12b may guide the flow of the first fixing member 30 to spread the first fixing member 30 evenly.

도 3c를 살펴보면, 제1 홀(22c)을 다단지도록 형성될 수 있다. 제1 홀(22c)은 주입부(23c)와 연결부(24c)로 구분될 수 있다. 주입부(23c)는 제1 고정부재(30)가 유입된다. 연결부(24c)는 주입부(23c)에서 연장되도록 형성되어, 제1 고정부재(30)가 제1 홈(12c)에 이동하는 통로를 형성한다.Referring to FIG. 3C, the first hole 22c may be formed to have multiple stages. The first hole 22c may be divided into an injection part 23c and a connection part 24c. The first fixing member 30 is introduced into the injection part 23c. The connection portion 24c is formed to extend from the injection portion 23c, thereby forming a passage through which the first fixing member 30 moves to the first groove 12c.

주입부(23c)의 반경은 연결부(24c)의 반경보다 크게 형성될 수 있다. 마스크(20)와 기판의 접촉성을 향상시키기 위해서, 제1 고정부재(30)는 돌출되어 마스크(20)의 표면보다 높게 형성되지 않아야 한다. 이를 위해서 제1 고정부재(30)의 주입 속력을 조절하면서 제1 고정부재(30)를 주입하는 것이 중요하다. The radius of the injection part 23c may be larger than the radius of the connection part 24c. In order to improve the contact property between the mask 20 and the substrate, the first fixing member 30 should not protrude and be formed higher than the surface of the mask 20. To this end, it is important to inject the first fixing member 30 while adjusting the injection speed of the first fixing member 30.

주입부(23c)의 반경이 연결부(24c)의 반경보다 크게 형성되면, 주입부(23c)에서 제1 고정부재(30)가 채워지는 속력는 연결부(24c)에서 제1 고정부재(30)가 채워지는 속력보다 느리다. 상세히, 일정한 속도로 제1 고정부재(30)가 주입된다면, 주입부(23c)의 내부공간이 연결부(24c)의 내부공간보다 크므로 주입부(23c)에서 옆면을 따라 제1 고정부재(30)가 채워지는 속력는 연결부(24c)에서 옆면을 따라 제1 고정부재(30)가 채워지는 속력보다 느리다. 그리하여, 작업자는 제1 고정부재(30)의 양을 조절하면서 프레임(10)과 마스크(20)를 용이하게 결합할 수 있다.When the radius of the injection part 23c is formed larger than the radius of the connection part 24c, the speed at which the first fixing member 30 is filled at the injection part 23c is the first fixing member 30 at the connection part 24c. Is slower than speed. In detail, if the first fixing member 30 is injected at a constant speed, since the internal space of the injection part 23c is larger than the internal space of the connection part 24c, the first fixing member 30 along the side surface of the injection part 23c The speed at which) is filled is slower than the speed at which the first fixing member 30 is filled along the side surface at the connection part 24c. Thus, the operator can easily combine the frame 10 and the mask 20 while adjusting the amount of the first fixing member 30.

도 3d를 살펴보면, 마스크(20)의 제1 홀(22d)은 주입부(23d)와, 주입부(23d)보다 반경이 작은 연결부(24d)를 구비하여 상기 검토한 바와 같이 제1 고정부재(30)의 양을 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 프레임(10)의 제1 홈(12d)은 주입부(23d)보다 반경이 크게 형성되어 상기 검토한 바와 같이 제1 고정부재(30)와 마스크(20)의 접촉면적이 증가되어 결합력이 증가될 수 있다.Referring to FIG. 3D, the first hole 22d of the mask 20 includes an injection portion 23d and a connection portion 24d having a smaller radius than the injection portion 23d. The amount of 30) can be easily controlled. In addition, the first groove 12d of the frame 10 has a larger radius than the injection portion 23d, and as discussed above, the contact area between the first fixing member 30 and the mask 20 is increased, so that the coupling force is increased. Can be increased.

도 3e를 살펴보면, 제1 홈(12e) 및 제1 홀(22e) 중 적어도 하나는 테이퍼지도록 형성될 수 있다. 제1 홈(12e)을 통해서 주입된 제1 고정부재(30)는 제1 홈(12e)의 테이퍼진 면을 따라 이동할 수 있다. 즉, 제1 홈(12e)의 테이퍼진 면은 제1 고정부재(30)의 유동을 안내하여 제1 고정부재(30)가 골고루 퍼지도록 할 수 있다.Referring to FIG. 3E, at least one of the first groove 12e and the first hole 22e may be formed to be tapered. The first fixing member 30 injected through the first groove 12e may move along the tapered surface of the first groove 12e. That is, the tapered surface of the first groove 12e may guide the flow of the first fixing member 30 to spread the first fixing member 30 evenly.

또한, 제1 홀(22e)을 통해서 주입된 제1 고정부재(30)는 제1 홀(22e)의 테이퍼진 면을 따라 이동할 수 있다. 제1 홀(22e)의 테이퍼진 면은 제1 고정부재(30)의 유동을 안내하여 제1 홈(12e)에 유입되게 할 수 있다.In addition, the first fixing member 30 injected through the first hole 22e may move along the tapered surface of the first hole 22e. The tapered surface of the first hole 22e may guide the flow of the first fixing member 30 to flow into the first groove 12e.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 보여주는 부분단면도이다.4 is a partial cross-sectional view showing a mask frame assembly for thin film deposition according to another embodiment of the present invention.

도 4를 검토하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체를 검토할 수 있다. 다만, 본 발명의 일실시예에 따른 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)와 비교하면 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)는 제1 고정부재(230) 및 제2 고정부재(240)의 배치에 특징이 있다. 따라서, 이하에서는 설명의 편의를 위해 프레임(10)에 형성된 제1 홈(212) 및 제2 홈(213)과 마스크(20)에 형성된 제1 홀(222) 및 제2 홀(223)을 중심으로 설명하기로 한다.4, it is possible to examine a mask frame assembly for thin film deposition according to another embodiment of the present invention. However, compared to the thin film deposition mask frame assembly 100 according to an embodiment of the present invention, the thin film deposition mask frame assembly 100 is There are features. Therefore, in the following, for convenience of description, the first and second grooves 212 and 213 formed in the frame 10 and the first and second holes 222 and 223 formed in the mask 20 are centered. It will be described as.

프레임(210)은 복수의 열을 가지도록 홈을 구비할 수 있다. 홈이 형성하는 열의 개수는 특정개수에 한정되지 않으나, 설명의 편의를 위해서 2열의 홈을 형성하는 프레임을 중심으로 설명하기로 한다. 프레임(210)은 제1 홈(212)과 이격되도록 형성된 제2 홈(213)을 구비할 수 있다. The frame 210 may have a groove to have a plurality of rows. The number of rows formed by the grooves is not limited to a specific number, but for convenience of explanation, a frame forming two rows of grooves will be mainly described. The frame 210 may include a second groove 213 formed to be spaced apart from the first groove 212.

마스크(220)는 프레임(210)의 복수의 홈에 대응하는 위치에 복수의 홀을 형성할 수 있다. 마스크(220)는 제2 홈(213)에 대응하는 위치에 제1 홀(222)과 이격되도록 형성된 제2 홀(223)을 구비할 수 있다.The mask 220 may form a plurality of holes at positions corresponding to the plurality of grooves of the frame 210. The mask 220 may include a second hole 223 formed to be spaced apart from the first hole 222 at a position corresponding to the second groove 213.

제2 고정부재(240)는 제2 홈(213)과 제2 홀(223)에 주입되고, 프레임(210)과 마스크(220)에 고정되어, 마스크(220)를 프레임(210)에 고정시킬 수 있다. 제2 고정부재(240)는 제1 고정부재(230)와 동시에 주입되거나, 독립적으로 주입될 수 있다.The second fixing member 240 is injected into the second groove 213 and the second hole 223 and fixed to the frame 210 and the mask 220 to fix the mask 220 to the frame 210. I can. The second fixing member 240 may be injected simultaneously with the first fixing member 230 or may be injected independently.

도 4에서 제1 홀(222)과 제1 홈(212)은 도 2에 형성된 제1 홀(22)과 제1 홈(12)과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 다만, 제1 홀(222)과 제1 홈(212)은 이에 한정되지 않으며 도 3a 내지 도 3e 중 어느 하나에 형성된 제1 홈 및 제1 홈과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.In FIG. 4, the first hole 222 and the first groove 212 may be formed in the same or similar to the first hole 22 and the first groove 12 formed in FIG. 2. However, the first hole 222 and the first groove 212 are not limited thereto, and may be formed in the same or similar to the first groove and the first groove formed in any one of FIGS. 3A to 3E.

도 4에서 제2 홀(223)과 제2 홈(213)은 도 2에 형성된 제1 홀(22)과 제1 홈(12)과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 다만, 제2 홀(223)과 제2 홈(213)은 이에 한정되지 않으며 도 3a 내지 도 3e 중 어느 하나에 형성된 제1 홈 및 제1 홈과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.In FIG. 4, the second hole 223 and the second groove 213 may be formed in the same or similar to the first hole 22 and the first groove 12 formed in FIG. 2. However, the second hole 223 and the second groove 213 are not limited thereto, and may be formed in the same or similar to the first groove and the first groove formed in any one of FIGS. 3A to 3E.

도 5는 도1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)가 구비된 증착장치를 보여주는 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing a deposition apparatus including the mask frame assembly 100 for thin film deposition of FIG. 1.

도 5를 검토하면, 증착장치는, 기판(300)에 대한 증착 작업 공간을 형성하는 챔버(700)와, 그 챔버(700) 내에 설치된 증착원(500)과, 기판(300)의 증착원(500) 대향면에 배치되는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100) 및, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)를 자력으로 끌어당겨서 기판(300)에 밀착시키는 마그넷(400) 등을 구비하고 있다. 참조부호 600는 마그넷(400)의 자력을 작용시키기 전에 먼저 자중으로 기판(300)을 눌러서 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)와 기판(300) 간의 틈새를 줄어주는 가압판을 나타낸다. Referring to FIG. 5, the evaporation apparatus includes a chamber 700 for forming a deposition working space for the substrate 300, a deposition source 500 installed in the chamber 700, and a deposition source for the substrate 300 ( 500) A thin film deposition mask frame assembly 100 disposed on the opposite surface, and a magnet 400 for pulling the thin film deposition mask frame assembly 100 with magnetic force to adhere to the substrate 300 and the like are provided. Reference numeral 600 denotes a pressurizing plate for reducing a gap between the thin film deposition mask frame assembly 100 and the substrate 300 by first pressing the substrate 300 with its own weight before applying the magnetic force of the magnet 400.

고해상도의 유기 발광 표시 장치를 제작하기 위해서는 증착공정시에 발생하는 쉐도우 현상(shadow effect)를 줄이거나 없애는 것이 중요하다. 이는 서로 접촉하는 기판(300)과 마스크(20) 사이의 간격을 최소화 하여서, 마스크(20)가 기판(300)에서 들뜨지 않도록 해야한다. 즉, 기판(300)과 마스크(20) 사이의 밀착도가 향상되어야 한다. In order to manufacture a high-resolution organic light emitting display device, it is important to reduce or eliminate a shadow effect that occurs during a deposition process. This minimizes the gap between the substrate 300 and the mask 20 in contact with each other, so that the mask 20 does not lift off the substrate 300. That is, the degree of adhesion between the substrate 300 and the mask 20 should be improved.

종래에는 용접방법을 이용하여 마스크를 프레임에 고정하였다. 용접공정에 의해서 마스크의 상면에는 용접버(welding burr)가 형성되어 용접버 높이 만큼 기판과 마스크 사이에 간극이 형성되어 쉐도우 현상을 야기하였다. 또한, 용접버가 기판과 접촉하여 기판의 스크레치 등의 불량의 원인이 되었다. 또한, 용접공정 시에 생성되는 용접파편이 마스크 내부로 유입되어 마스크의 불량을 발생시키거나, 열이 가해진 마스크의 용접부위에 내부응력을 형성하여 마스크 상의 패턴부의 위치가 변경될 수 있다. 즉, 용접버는 증착공정시 유기물의 증착위치를 변형시켜서 픽셀 위치 정확도(Pixel Position Accuracy,PPA)를 감소 시킨다.Conventionally, the mask was fixed to the frame using a welding method. A welding burr was formed on the upper surface of the mask by the welding process, and a gap was formed between the substrate and the mask by the height of the welding burr, causing a shadow phenomenon. In addition, the welding burr contacted the substrate, causing defects such as scratches on the substrate. In addition, welding fragments generated during the welding process may flow into the mask to cause defects in the mask, or the position of the pattern portion on the mask may be changed by forming an internal stress on the welded portion of the mask to which heat is applied. That is, the welding burr reduces the pixel position accuracy (PPA) by changing the deposition position of the organic material during the deposition process.

박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)는 전주도금법 또는 무전해도금법으로 제1 고정부재(30)를 프레임(10) 및 마스크(20)와 고정하여 마스크(20)를 프레임(10)에 고정시킬수 있다. 제1 고정부재는 마스크(20)의 표면에서 돌출되지 않아 마스크(20)와 기판(300)의 밀착성을 향상시킬수 있어 증착공정시 쉐도우 현상을 최소화 할 수 있다. The mask frame assembly 100 for thin film deposition may fix the mask 20 to the frame 10 by fixing the first fixing member 30 to the frame 10 and the mask 20 by an electroplating method or an electroless plating method. . Since the first fixing member does not protrude from the surface of the mask 20, the adhesion between the mask 20 and the substrate 300 may be improved, thereby minimizing a shadow phenomenon during the deposition process.

또한, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)는 전주도금법 또는 무전해도금법 이용하여 마스크(20)의 열변형 또는 내부응력 형성을 최소화하는 박막 증착용 마스크를 제작할 수 있다. 일반적으로 전주도금법과 무전해 도금법은 용접공정에 비해서 상대적으로 낮은 온도에서 공정이 진행되므로 마스크의 열변형 및 내부응력 형성을 최소화하여 마스크 패턴부의 변형을 최소화 할 수 있다.In addition, the thin film deposition mask frame assembly 100 may manufacture a thin film deposition mask that minimizes thermal deformation or internal stress formation of the mask 20 by using an electroplating method or an electroless plating method. In general, since the electroplating method and the electroless plating method are performed at a relatively lower temperature than the welding process, the thermal deformation of the mask and the formation of internal stress can be minimized, thereby minimizing the deformation of the mask pattern part.

또한, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)는 다각형상의 홀과 홈을 구비하여 프레임과 마스크를 고정부재가 견고하게 고정할 수 있다.In addition, the thin film deposition mask frame assembly 100 may have polygonal holes and grooves, so that the frame and the mask may be rigidly fixed by the fixing member.

도 6은 도 5에 도시된 증착 장치를 이용하여 제조되는 유기 발광 표시 장치를 보여주는 도면이다.6 is a diagram illustrating an organic light emitting display device manufactured using the deposition apparatus illustrated in FIG. 5.

도 5 및 도 6을 참조하여, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)에 의해 증착이 형성되는 유기 발광 표시 장치를 검토하면 다음과 같다.Referring to FIGS. 5 and 6, an organic light emitting display device in which deposition is formed by the mask frame assembly 100 for thin film deposition will be described as follows.

기판(320)상에 버퍼층(330)이 형성되어 있고, 이 버퍼층(330) 상부로 TFT가 구비된다. TFT는 반도체 활성층(331)과, 이 활성층(331)을 덮도록 형성된 게이트 절연막(332)과, 게이트 절연막(332) 상부의 게이트 전극(333)을 갖는다. 게이트 전극(333)을 덮도록 층간 절연막(334)이 형성되며, 층간 절연막(334)의 상부에 소스 및 드레인 전극(335)이 형성된다. A buffer layer 330 is formed on the substrate 320, and a TFT is provided on the buffer layer 330. The TFT has a semiconductor active layer 331, a gate insulating film 332 formed to cover the active layer 331, and a gate electrode 333 on the gate insulating film 332. An interlayer insulating layer 334 is formed to cover the gate electrode 333, and source and drain electrodes 335 are formed on the interlayer insulating layer 334.

소스 및 드레인 전극(335)은 게이트 절연막(332) 및 층간 절연막(334)에 형성된 컨택홀에 의해 활성층(331)의 소스 영역 및 드레인 영역에 각각 접촉된다.The source and drain electrodes 335 are respectively in contact with the source region and the drain region of the active layer 331 by contact holes formed in the gate insulating layer 332 and the interlayer insulating layer 334.

그리고, 소스 및 드레인 전극(335)에 유기 발광 소자(OLED)의 애노우드 전극이 되는 제1 전극층(321)이 연결된다. 제1 전극층(321)은 평탄화막(337) 상부에 형성되어 있으며, 이 제1 전극층(321)을 덮도록 화소정의막(Pixel defining layer: 338)이 형성된다. 그리고, 이 화소정의막(338)에 소정의 개구부가 형성된 후, 유기 발광 소자(OLED)의 유기발광층(326)이 형성되고, 그 위에 공통전극으로 제2 전극층(327)이 증착된다.In addition, a first electrode layer 321 serving as an anode electrode of the organic light emitting diode OLED is connected to the source and drain electrodes 335. The first electrode layer 321 is formed on the planarization layer 337, and a pixel defining layer 338 is formed to cover the first electrode layer 321. Then, after a predetermined opening is formed in the pixel definition layer 338, the organic light emitting layer 326 of the organic light emitting element (OLED) is formed, and a second electrode layer 327 is deposited thereon as a common electrode.

증착 공정시에 박막 증착용 마스크 프레임 조립체(100)를 준비해서 사용하면, 기판(320)과 마스크(20)의 밀착성이 높아져서 정밀한 패턴을 얻을 수 있다.When the mask frame assembly 100 for thin film deposition is prepared and used during the deposition process, the adhesion between the substrate 320 and the mask 20 is increased, so that a precise pattern can be obtained.

도 7은 도 1의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체의 제조 방법을 보여주는 블록도이다.7 is a block diagram illustrating a method of manufacturing the mask frame assembly for thin film deposition of FIG. 1.

프레임(10)의 지지부(10b)에 제1 홈(12)을 형성하고, 마스크(20)의 테두리부(20b)에 제1 홈(12)과 대응하는 위치에 제1 홀(22)을 형성한다.(S10) 제1 홈(12) 및 제1 홀(22)을 형성하는 방법은 주조(casting) 또는 전주공정 등과 같이 프레임(10)과 마스크(20)를 제작시에 형성할 수 있다. 또한, 프레임(10)과 마스크(20)를 제작한 후에 이를 성형하여 제1 홈(12) 및 제1 홀(22)을 형성할 수 있다. A first groove 12 is formed in the support portion 10b of the frame 10, and a first hole 22 is formed in a position corresponding to the first groove 12 in the edge portion 20b of the mask 20 (S10) The method of forming the first groove 12 and the first hole 22 may be formed when the frame 10 and the mask 20 are manufactured, such as in a casting process or an electroforming process. In addition, after the frame 10 and the mask 20 are manufactured, the first groove 12 and the first hole 22 may be formed by molding them.

제1 홈(12)에 제1 홀(22)이 대응하도록 마스크(20)를 프레임(10)에 정렬한다.(S20)The mask 20 is aligned with the frame 10 so that the first hole 22 corresponds to the first groove 12 (S20).

제1 홈(12) 및 제1 홀(22)에 제1 고정부재(30)를 주입한다.(S30) 전주도금법이나 무전해도금법으로 제1 고정부재(30)를 제1 홈(12) 및 제1 홀(22)에 주입하여 마스크(20)를 프레임(10)에 고정시킨다.The first fixing member 30 is injected into the first groove 12 and the first hole 22. (S30) The first fixing member 30 is inserted into the first groove 12 and the electroless plating method. The mask 20 is fixed to the frame 10 by injection into the first hole 22.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As described above, the present invention has been described with reference to an embodiment shown in the drawings, but this is only exemplary, and it will be appreciated by those of ordinary skill in the art that various modifications and variations of the embodiment are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

10, 210: 프레임
12, 212: 제1 홈
20, 220: 마스크
22, 222: 제1 홀
30, 230: 제1 고정부재
100: 마스크 프레임 조립체
213:제2 홈
223: 제2 홀
240: 제2 고정부재10, 210: frame
12, 212: first groove
20, 220: mask
22, 222: first hole
30, 230: first fixing member
100: mask frame assembly
213: The second groove
223: second hall
240: second fixing member

Claims (19)

개구부와 지지부를 구비하며, 지지부에 제1 홈을 갖는 프레임;
상기 개구부에 대응하는 위치에 증착영역을 포함하며, 상기 제1 홈에 대응하는 위치에 제1 홀을 갖는, 마스크; 및
상기 마스크를 관통하도록 상기 제1 홀 및 상기 제1 홈에 주입되어, 상기 프레임 및 상기 마스크와 고정되어 상기 마스크를 상기 프레임에 고정시키는 제1 고정부재;를 포함하고, 상기 제1 홈 및 상기 제1 홀 중 적어도 하나는 테이퍼진 형상을 갖는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.A frame having an opening portion and a support portion, and having a first groove in the support portion;
A mask including a deposition region at a position corresponding to the opening and having a first hole at a position corresponding to the first groove; And
And a first fixing member that is injected into the first hole and the first groove so as to penetrate the mask, and is fixed to the frame and the mask to fix the mask to the frame. At least one of the holes has a tapered shape, a thin film deposition mask frame assembly. 제1 항에 있어서,
상기 제1 고정부재는 전주도금법 및 무전해도금법 중 적어도 하나의 방법으로 상기 마스크에 주입되는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.The method of claim 1,
The first fixing member is injected into the mask by at least one of an electroplating method and an electroless plating method, a mask frame assembly for thin film deposition. 제1 항에 있어서,
상기 제1 고정부재는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Invar alloy), 인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Kovar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상을 포함하는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체. The method of claim 1,
The first fixing member is at least one of iron, nickel, copper, tin, gold, stainless steel (SUS), Invar alloy, Inconel alloy, Kovar alloy, iron alloy, and nickel alloy. Including one or more, thin film deposition mask frame assembly. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 제1 홈이 형성하는 내부공간의 크기는 상기 제1 홀이 형성하는 내부공간의 크기와 다른, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.The method of claim 1,
A mask frame assembly for thin film deposition, wherein the size of the inner space formed by the first groove is different from the size of the inner space formed by the first hole. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 제1 홀은,
상기 제1 고정부재가 주입되는 주입부; 및
상기 주입부에서 연장되도록 형성되어, 상기 제1 고정부재가 상기 제1 홈에 이동하도록 하는 연결부;를 구비하는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.The method of claim 1,
The first hole,
An injection part into which the first fixing member is injected; And
And a connection part formed to extend from the injection part to allow the first fixing member to move to the first groove. 제7 항에 있어서,
상기 주입부의 반경은 상기 연결부의 반경보다 크게 형성된, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.The method of claim 7,
A radius of the injection part is formed larger than a radius of the connection part, a thin film deposition mask frame assembly. 제1 항에 있어서,
상기 프레임은 상기 제1 홈과 이격되도록 형성된 제2 홈을 구비하고,
상기 마스크는 상기 제2 홈에 대응하는 위치에 상기 제1 홀과 이격되도록 형성된 제2 홀을 구비하며,
상기 제2 홈 및 상기 제2 홀에 주입되는 제2 고정부재;를 더 포함하는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.The method of claim 1,
The frame has a second groove formed to be spaced apart from the first groove,
The mask has a second hole formed to be spaced apart from the first hole at a position corresponding to the second groove,
A mask frame assembly for thin film deposition further comprising; a second fixing member injected into the second groove and the second hole. 제1 항에 있어서,
상기 마스크는 스틱형태로 형성된, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체.The method of claim 1,
The mask is formed in a stick shape, thin film deposition mask frame assembly. 프레임의 지지부에 제1 홈을 형성하고, 마스크의 테두리부에 상기 제1 홈과 대응하는 위치에 제1 홀을 형성하되, 상기 제1 홈 및 상기 제1 홀 중 적어도 하나는 테이퍼진 형상을 갖도록 하는 단계;
상기 제1 홈과 상기 제1 홀을 얼라인하는 단계;
상기 제1 홀에 제1 고정부재를 주입하고, 상기 제1 홈에 상기 제1 고정부재를 채워서 상기 프레임과 상기 마스크를 고정하는 단계;를 포함하는 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 제조 방법.A first groove is formed in the support portion of the frame, and a first hole is formed in a position corresponding to the first groove in the edge portion of the mask, and at least one of the first groove and the first hole has a tapered shape. The step of doing;
Aligning the first groove and the first hole;
Injecting a first fixing member into the first hole and filling the first fixing member into the first groove to fix the frame and the mask. 제11 항에 있어서,
상기 제1 고정부재는 전주도금법 및 무전해도금법 중 적어도 하나의 방법으로 주입되는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 제조 방법.The method of claim 11,
The first fixing member is injected by at least one of an electroplating method and an electroless plating method, a method of manufacturing a mask frame assembly for thin film deposition. 제11 항에 있어서,
상기 제1 고정부재는 온도가 섭씨 100도 이하의 온도에서 주입되는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 제조 방법.The method of claim 11,
The first fixing member is injected at a temperature of 100 degrees Celsius or less, a thin film deposition mask frame assembly manufacturing method. 제11 항에 있어서,
상기 제1 고정부재는 철, 니켈, 구리, 주석, 금, 스테인리스스틸(SUS), 인바 합금(Invar alloy),인코넬 합금(Inconel alloy), 코바 합금(Kovar alloy), 철 합금, 니켈 합금 중 적어도 하나 이상을 포함하는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 제조 방법. The method of claim 11,
The first fixing member is at least one of iron, nickel, copper, tin, gold, stainless steel (SUS), Invar alloy, Inconel alloy, Kovar alloy, iron alloy, and nickel alloy. A method of manufacturing a mask frame assembly for thin film deposition, including one or more. 제11 항에 있어서,
상기 제1 홈이 형성하는 내부공간의 크기는 상기 제1 홀이 형성하는 내부공간의 크기와 다른, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 제조 방법.The method of claim 11,
A method of manufacturing a mask frame assembly for thin film deposition, wherein the size of the internal space formed by the first groove is different from the size of the internal space formed by the first hole. 삭제delete 제11 항에 있어서,
상기 제1 홀은 상기 제1 고정부재가 주입되는 주입부와, 상기 주입부에서 연장되도록 형성되어, 상기 제1 고정부재가 상기 제1 홈에 이동하도록 하는 연결부를 구비하는, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 제조 방법.The method of claim 11,
The first hole includes an injection part into which the first fixing member is injected, and a connection part formed to extend from the injection part to allow the first fixing member to move to the first groove. Assembly manufacturing method. 제17 항에 있어서,
상기 주입부의 반경은 상기 연결부의 반경보다 크게 형성된, 박막 증착용 마스크 프레임 조립체 제조 방법.The method of claim 17,
A method of manufacturing a mask frame assembly for thin film deposition, wherein the injection portion has a radius larger than that of the connection portion. 기판 상에 서로 대향된 제1 및 제2 전극과 상기 제1 및 제2 전극의 사이에 구비된 유기막을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
상기 유기막 또는 제2 전극은, 제1 항 내지 제3 항, 제5 항 및 제7 항 내지 제10 항 중 어느 한 항의 박막 증착용 마스크 프레임 조립체에 의해 증착 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.A method of manufacturing an organic light emitting display device comprising first and second electrodes opposite to each other on a substrate and an organic layer provided between the first and second electrodes,
The organic layer or the second electrode is a method of manufacturing an organic light-emitting display device in which the organic layer or the second electrode is formed by deposition using the thin film deposition mask frame assembly of any one of claims 1 to 3 .
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