KR102203536B1 - A uniform contact area stage device for indentation inspection - Google Patents

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KR102203536B1
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백남석
정재완
최우범
김종희
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(주)제이스텍
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Abstract

The present invention relates to a uniform contact area stage device for denting inspection and more specifically, comprises a vacuum pressure stage unit and a detachable and replaceable electrostatic stage unit together for more completely fixating a denting inspection target surface to the stage during denting inspection of a flexible display. The uniform contact area stage device enables an object to be inspected to be more completely and closely attached to the stage to maximize flatness of an inspection area surface.

Description

압흔검사용 균일 접촉면적 스테이지 장치{A uniform contact area stage device for indentation inspection}A uniform contact area stage device for indentation inspection

본 발명은 본 발명은 압흔검사시 검사대상체를 균일하게 스테이지에 밀착시켜 평탄을 맞추기 위한 압흔검사용 균일 접촉면적 스테이지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a uniform contact area stage device for indentation inspection for uniformly bringing an object to be inspected to a stage during indentation to achieve a flatness.

기존의 디스플레이의 압흔 검사용 스테이지는 검사대상체를 흡착시키는 수단으로 스테이지에 다수 개의 구멍을 뚫어 음압의 공기로 빨아들이는 방법을 사용하였다.In the conventional display stage for indentation inspection, as a means of adsorbing an object to be inspected, a method of making a number of holes in the stage and sucking in air of negative pressure is used.

(압흔검사는 ACF가 기판의 전극에 부착된 후, 다양한 압흔 검사장치에 의하여 연결부의 이물상태, 탑재위치, 압흔상태(ACF 도전입자의 압흔개수, 압흔강도, 압흔길이, 압흔분포) 등이 검사되는 것이 필수적인 공정으로, 이러한 압흔검사는 널리 공지된 기술로써, 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다.)(For indentation inspection, after ACF is attached to the electrode of the board, the foreign body condition, mounting position, and indentation status (number of indentations of ACF conductive particles, indentation strength, indentation length, indentation distribution) of the connection are inspected by various indentation inspection devices. This is an essential process, and this indentation test is a well-known technique, and a detailed description thereof will be omitted.)

이 경우 물리적인 구조로 인해 구멍 사이에 간격이 발생하고 특히 Flexible 검사대상체(플렉시블 디스플레이)의 경우, 이러한 구간에서 굴곡이나 들뜸 현상이 발생할 수 있다.In this case, a gap occurs between the holes due to the physical structure, and in particular, in the case of a flexible inspection object (flexible display), bending or lifting may occur in this section.

이를 해결하기 위해 상부에서 물리적으로 눌러 주는 방법을 사용하기도 하는데 이는 검사대상체에 손상을 가져오기도 한다.To solve this problem, a method of physically pressing from the top is used, which may cause damage to the object to be inspected.

특히, 라인스캔 압흔 검사시, 고 배율 광학계 사용으로 인해 초점심도(Depth Of Focus)가 제한적이며, 따라서 검사대상체를 스캔하는 동안 검사대상체가 놓인 스테이지의 평탄도 확보가 매우 중요하다.In particular, during line scan indentation inspection, the depth of focus is limited due to the use of a high-magnification optical system, so it is very important to secure the flatness of the stage on which the inspection object is placed while scanning the inspection object.

또한, 검사대상체가 휘어지기 쉬운(Flexible) 재질일 경우, 검사대상체 자체를 스테이지에 밀착시켜 곧게 펴주는 것이 영상 품질 확보에 지배적인 요소이다.In addition, when the object to be inspected is a flexible material, the dominant factor in securing image quality is to straighten the object to be inspected in close contact with the stage.

이에, 검사대상체를 검사를 위한 스테이지에 확실하게 밀착고정할 수 있는 장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.Accordingly, there is a demand for the development of a device capable of reliably tightly fixing an object to be inspected to a stage for inspection.

대한민국 등록특허공보 10-1331692호(2013.11.14.등록)Korean Patent Publication No. 10-1331692 (registered on November 14, 2013)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 플렉시블 디스플레이의 압흔검사시 고정하기 위한 스테이지를 진공압 스테이지부 및 정전 스테이지부로 이루어지는 하이브리드 스테이지 형태를 가지도록 하며, 상기 정전 스테이지부는 검사대상체에 따라 착탈 및 교체가 가능하도록 구성하여, 기존보다 더 효과적으로 검사대상체를 스테이지에 밀착시킬 수 있도록 하는 압흔검사용 균일 접촉면적 스테이지 장치를 제공하는데 있다.The present invention was conceived to solve the above problems, and an object of the present invention is to have a hybrid stage form comprising a vacuum pressure stage part and an electrostatic stage part for fixing a stage for indentation inspection of a flexible display. The stage unit is configured to be detachable and replaceable according to the object to be inspected to provide a stage device with a uniform contact area for indentation inspection, which enables the object to be in close contact with the stage more effectively than before.

본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기에 설명될 것이며, 본 발명의 실시예에 의해 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허청구범위에 나타낸 수단 및 조합에 의해 실현될 수 있다.Other objects and advantages of the present invention will be described below, and will be understood by examples of the present invention. Further, the objects and advantages of the present invention can be realized by means and combinations shown in the claims.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 수단으로서, The present invention is a means for solving the above problems,

검사대상체(10)인 플렉시블 디스플레이의 압흔 검사를 위해, 검사용 스테이지에 균일밀착시키기 위한 것으로서, 검사대상체(10)가 상면에 올려지며, 공기를 흡입하여 진공으로 검사대상체(10)가 상면에 밀착고정되도록 하는 진공압 스테이지부(20); 상기 진공 흡착홀(21)의 일측에서 진공 흡착홀(21)의 상면과 동일수평선상을 이루도록 설치되며, 상기 검사대상체(10)의 압흔 검사대상영역(11)이 상부에 올려지도록 하되, 정전력을 발생시켜, 상면에 올려진 검사대상체(10)의 압흔 검사대상영역(11)이 정전방식으로 상면에 밀착고정되어, 진공흡입시 진공흡입되는 부위만 스테이지에 밀착되는 문제가 발생되지 않아, 평탄도가 증가되도록 하는 정전 스테이지부(30); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.For the inspection of the indentation of the flexible display, which is the object to be inspected 10, the object to be inspected 10 is placed on the upper surface, and the object to be inspected 10 is in close contact with the upper surface by vacuum by suctioning air. A vacuum pressure stage part 20 to be fixed; It is installed so as to form the same horizontal line as the upper surface of the vacuum adsorption hole 21 at one side of the vacuum adsorption hole 21, and the indentation test area 11 of the test object 10 is placed on the top, Is generated, the indentation of the object 10 placed on the upper surface of the test object 10 is tightly fixed to the upper surface in an electrostatic method, and there is no problem that only the part that is vacuum sucked when vacuum is in close contact with the stage does not occur. An electrostatic stage unit 30 to increase the degree; It characterized in that it consists of.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 검사대상체인 플렉시블 디스플레이를 스테이지에 밀착고정시킴으로써, 검사대상영역의 평탄도를 극대화할 수 있어, 평탄 미확보(아웃 포커스)로 인한 검사 불가능 영역이 감소되는 효과가 있다.As described above, the present invention can maximize the flatness of the inspection subject area by closely fixing the flexible display, which is an inspection object, to the stage, thereby reducing the area that cannot be inspected due to the unsecured flatness (out focus). .

또한, 본 발명은 진공압 스테이브와 정전력을 이용한 정전 스테이지부가 하이브리드로 제작되고, 정전 스테이지부는 검사대상체에 따라 착탈 및 교체가 가능토록 하여, 장비 전체를 교체해야하는 비용이 감소되는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, the electrostatic stage unit using a vacuum stave and constant power is manufactured in a hybrid manner, and the electrostatic stage unit is detachable and replaceable according to an object to be inspected, thereby reducing the cost of replacing the entire equipment.

도 1은 본 발명에 따른 압흔검사용 균일 접촉면적 스테이지 장치를 나타낸 평면도.
도 2는 도 1의 일측단면도.1 is a plan view showing a uniform contact area stage device for indentation inspection according to the present invention.
Figure 2 is a side cross-sectional view of Figure 1;

본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기 전에, 다음의 상세한 설명에 기재되거나 도면에 도시된 구성요소들의 구성 및 배열들의 상세로 그 응용이 제한되는 것이 아니라는 것을 알 수 있을 것이다. 본 발명은 다른 실시예들로 구현되고 실시될 수 있고 다양한 방법으로 수행될 수 있다. 또, 장치 또는 요소 방향(예를 들어 "전(front)", "후(back)", "위(up)", "아래(down)", "상(top)", "하(bottom)", "좌(left)", "우(right)", "횡(lateral)")등과 같은 용어들에 관하여 본원에 사용된 표현 및 술어는 단지 본 발명의 설명을 단순화하기 위해 사용되고, 관련된 장치 또는 요소가 단순히 특정 방향을 가져야 함을 나타내거나 의미하지 않는다는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, "제 1(first)", "제 2(second)"와 같은 용어는 설명을 위해 본원 및 첨부 청구항들에 사용되고 상대적인 중요성 또는 취지를 나타내거나 의미하는 것으로 의도되지 않는다.Before describing various embodiments of the present invention in detail, it will be appreciated that the application is not limited to the details of configurations and arrangements of elements described in the following detailed description or illustrated in the drawings. The present invention may be implemented and practiced in different embodiments and may be performed in various ways. Also, the device or element orientation (eg "front", "back", "up", "down", "top", "bottom" The expressions and predicates used herein with respect to terms such as ", "left", "right", "lateral"), etc. are used only to simplify the description of the present invention, and related devices Or you may find that the element simply indicates or does not mean that it should have a specific orientation. Further, terms such as “first” and “second” are used in this application and the appended claims for purposes of explanation and are not intended to represent or imply any relative importance or spirit.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래의 특징을 갖는다.The present invention has the following features to achieve the above object.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하도록 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms or words used in the specification and claims should not be construed as being limited to their usual or dictionary meanings, and the inventors appropriately explain the concept of terms in order to explain their own invention in the best way. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as a meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Accordingly, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention, and do not represent all the technical spirit of the present invention, and thus various alternatives that can be substituted for them at the time of application It should be understood that there may be equivalents and variations.

본 발명에 따른 일실시예를 살펴보면 하기와 같다.Looking at an embodiment according to the present invention is as follows.

검사대상체(10)인 플렉시블 디스플레이의 압흔 검사를 위해, 검사용 스테이지에 균일밀착시키기 위한 것으로서, 검사대상체(10)가 상면에 올려지며, 공기를 흡입하여 진공으로 검사대상체(10)가 상면에 밀착고정되도록 하는 진공압 스테이지부(20); 상기 진공압 스테이지부(20)의 일측에서 진공압 스테이지부(20)의 상면과 동일수평선상을 이루도록 설치되며, 상기 검사대상체(10)의 압흔 검사대상영역(11)이 상부에 올려지도록 하되, 정전력을 발생시켜, 상면에 올려진 검사대상체(10)의 압흔 검사대상영역(11)이 정전방식으로 상면에 균일하게 밀착고정되어, 진공흡입시 진공흡입되는 부위만 스테이지에 밀착되는 문제가 발생되지 않아, 평탄도가 증가되도록 하는 정전 스테이지부(30); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.For the inspection of the indentation of the flexible display, which is the object to be inspected 10, the object to be inspected 10 is placed on the upper surface, and the object to be inspected 10 is in close contact with the upper surface by vacuum by suctioning air. A vacuum pressure stage part 20 to be fixed; It is installed so as to form the same horizontal line with the upper surface of the vacuum pressure stage part 20 at one side of the vacuum pressure stage part 20, and the indentation test area 11 of the test object 10 is placed on the top, By generating static power, the indentation of the object 10 placed on the upper surface is uniformly fixed to the upper surface by an electrostatic method, so that only the part that is vacuum sucked is in close contact with the stage when vacuum is sucked. The electrostatic stage unit 30 to increase the flatness of the unit 30; It characterized in that it consists of.

또한, 상기 정전 스테이지부(30)는 상기 정전 스테이지부(30) 내부에 설치되는 전극부(31); 상기 정전 스테이지부(30) 외부에서, 상기 전극부(31)와 연결설치되어, 전극부(31)에 전원을 인가하여 정전력이 발생되도록 하며, 전원인가 여부 및 전압조절을 통해 밀착력의 조절이 가능토록 하는 제어부(32); 상기 정전 스테이지부(30)의 상면에 형성되어, 상기 검사대상체(10)에 돌출되어 설치되는 부속품(12)이 정전 스테이지부(30) 내부로 삽입되어, 검사대상체(10)가 정전 스테이지부(30)에 밀착될 수 있도록 하는 삽입부(33); 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the electrostatic stage part 30 includes an electrode part 31 installed inside the electrostatic stage part 30; Outside the electrostatic stage part 30, it is connected and installed with the electrode part 31 so that constant power is generated by applying power to the electrode part 31, and the adhesion can be adjusted through whether power is applied and voltage control. A control unit 32 to enable; An accessory 12 formed on the upper surface of the electrostatic stage unit 30 and protruding from the test object 10 is inserted into the electrostatic stage unit 30 so that the test object 10 is inserted into the electrostatic stage unit ( Inserting portion 33 to be in close contact with 30; It characterized in that it consists of.

또한, 상기 정전 스테이지부(30)는 상기 진공압 스테이지부(20)와 상호 착탈가능하게 설치되어, 검사대상체(10)의 크기 또는 형상에 따라 교체가 가능한 것을 특징으로 한다.In addition, the electrostatic stage unit 30 is installed to be detachable from each other with the vacuum pressure stage unit 20, and can be replaced according to the size or shape of the object 10 to be inspected.

또한, 상기 정전 스테이지부(30)는 세라믹 소재로 구성되어, 평탄도가 증대되도록 하는 것을 특징으로 한다.In addition, the electrostatic stage unit 30 is made of a ceramic material to increase flatness.

또한, 상기 진공압 스테이지부(20)는 저면의 진공압장치(22)로 공기가 흡입되는 다수의 진공 흡착홀(21)이 상면에 형성되어 있도록 하며, 진공흡착하기 위한 검사대상체(10)의 크기에 따라, 상기 다수의 진공 흡착홀(21)은 별도의 조절부(23)를 통해, 진공 흡착홀(21) 개별 또는 진공 흡착홀(21)의 형성위치별로 선택적 개/폐 또는 작동유무의 제어가 가능토록 하는 것을 특징으로 한다.In addition, the vacuum pressure stage unit 20 has a plurality of vacuum adsorption holes 21 through which air is sucked into the vacuum pressure device 22 on the bottom surface, and is formed on the upper surface of the test object 10 for vacuum adsorption. Depending on the size, the plurality of vacuum adsorption holes 21 are selectively opened/closed or operated for each individual vacuum adsorption hole 21 or at each location of the vacuum adsorption hole 21 through a separate control unit 23. It is characterized in that control is possible.

이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 압흔검사용 균일 접촉면적 스테이지 장치를 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, a uniform contact area stage device for indentation inspection according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.

본 발명의 압흔검사용 균일 접촉면적 스테이지 장치는, 검사대상체(10)인 플렉시블 디스플레이의 압흔 검사를 위해, 검사용 스테이지에 균일밀착시키기 위한 것으로, 진공압 스테이지부(20), 정전 스테이지부(30)를 포함한다.The uniform contact area stage device for indentation inspection of the present invention is for uniformly in close contact with the inspection stage for indentation inspection of a flexible display, which is an inspection object 10, and the vacuum pressure stage unit 20, the electrostatic stage unit 30 ).

상기 진공압 스테이지부(20)는 검사대상체(10)인 플렉시블 디스플레이가 상면에 올려지며, 공기를 흡입하여 진공으로 검사대상체(10)가 상면에 밀착고정되도록 하는 것이다.The vacuum pressure stage unit 20 is a flexible display, which is the object 10 to be inspected, is placed on the upper surface, and sucks air so that the object 10 is in close contact with the upper surface by vacuum.

이러한 진공압 스테이지부(20)는 저면에 설치된 진공압장치(22)로 공기가 흡입되는 다수의 진공 흡착홀(21)이 상, 하면을 연통하는 형태로 상면에 형성되어 있도록 하며, 진공흡착하기 위한 검사대상체(10)의 크기에 따라, 상기 다수의 진공 흡착홀(21)은 별도의 조절부(23)를 다수의 진공 흡착홀(21)과 진공압장치(22) 사이에 연결하는 등 다양한 방식을 통해, 진공 흡착홀(21) 개별 또는 진공 흡착홀(21)의 위치별로 선택적으로 개/폐 또는 작동유무의 제어가 가능토록 할 수 있음이다.This vacuum pressure stage unit 20 allows a plurality of vacuum adsorption holes 21 through which air is sucked into the vacuum pressure device 22 installed on the bottom surface to be formed on the upper surface in a form communicating the upper and lower surfaces, and vacuum adsorption. Depending on the size of the object 10 to be inspected for, the plurality of vacuum adsorption holes 21 connect a separate control unit 23 between the plurality of vacuum adsorption holes 21 and the vacuum pressure device 22. Through the method, it is possible to selectively open/close or control whether or not the vacuum adsorption hole 21 is operated individually or for each position of the vacuum adsorption hole 21.

(기존에 이러한 물리적인 힘인 진공압만 이용하는 경우, 진공압을 위한 진공 흡착홀(21) 부분은 흡착이 용이하나, 진공 흡착홀(21)과 진공 흡착홀(21) 사이에서는 밀착대상면에 균일한 밀착이 되지 않고 들뜨는 문제도 발생하게 된다.)(In the case of using only vacuum pressure, which is a physical force in the past, the vacuum adsorption hole 21 for vacuum pressure is easily adsorbed, but between the vacuum adsorption hole 21 and the vacuum adsorption hole 21, it is uniform on the surface to be adhered. As long as it does not adhere, there is also a problem of excitement.)

상기 정전 스테이지부(30)는 전술된 진공압 스테이지부(20)의 일측에서 상면이 동일수평선상을 이루도록 설치되며, 상기 검사대상체(10)의 압흔 검사 대상면이 상부에 올려지도록 하되, 내부에서 상면을 향해 정전력을 발생시켜, 상면에 올려진 검사대상체(10)의 압흔 검사대상영역(11)이 정전방식으로 전체면이 균일하게 밀착고정되어, 진공흡입시 진공흡입되는 부위만 스테이지에 밀착되는 문제가 발생되지 않아, 평탄도가 증가되도록 하는 것이다.The electrostatic stage part 30 is installed so that the top surface forms the same horizontal line at one side of the vacuum pressure stage part 20 described above, and the indentation test surface of the test object 10 is placed on the upper side, By generating an electrostatic force toward the upper surface, the indentation of the test object 10 placed on the upper surface is uniformly fixed on the entire surface by the electrostatic method, so that only the part that is vacuum sucked when vacuum is in close contact with the stage This is to increase the flatness because no problem occurs.

이를 위한 정전 스테이지부(30)는 전극부(31), 제어부(32), 삽입부(33)를 포함한다.For this, the electrostatic stage unit 30 includes an electrode unit 31, a control unit 32, and an insertion unit 33.

상기 전극부(31)는 정전 스테이지부(30) 내부에 설치되는 것이며,The electrode part 31 is installed inside the electrostatic stage part 30,

상기 제어부(32)는 전술된 정전 스테이지부(30) 외부에서, 상기 전극부(31)와 연결설치되어, 전극부(31)에 전원을 인가하여 정전력이 발생되도록 하며, 전원인가 여부(정전력 발생여부) 및 전압조절을 통해 밀착력의 조절이 가능토록 하는 제어를 하는 것이다.The control unit 32 is connected to the electrode unit 31 from the outside of the electrostatic stage unit 30 described above, and applies power to the electrode unit 31 to generate static power. Power generation) and voltage control to enable control of adhesion.

상기 삽입부(33)는 정전 스테이지부(30)의 상면에 함몰형성되어, 상기 검사대상체(10)에 돌출되어 설치되는 부속품(Driver IC 등, 12)이 정전 스테이지부(30) 내부로 삽입되어, 검사대상체(10)가 정전 스테이지부(30)에 밀착될 수 있도록 하는 것으로, 물론 이러한 삽입부(33)의 형상은 부속품(12)이 대응삽입될 수 있도록, 사전에 이러한 부속품(12)의 크기 및 형성위치에 대응되는 위치에 함몰형성되어 있도록 할 수 있음이다. The insertion part 33 is recessed in the upper surface of the electrostatic stage part 30, and accessories (Driver IC, etc. 12) protruding from the inspection object 10 are inserted into the electrostatic stage part 30 , In order to allow the object to be inspected 10 to be in close contact with the electrostatic stage unit 30, of course, the shape of the insertion portion 33 is such that the accessory 12 can be correspondingly inserted, This is because it can be formed to be recessed in a position corresponding to the size and formation position.

즉, 삽입부(33)는 이러한 부속품(12)에 의해 정전 스테이지부(30)의 상면에 검사대상체(10)(검사대상체(10)의 압흔 검사대상영역(11) 면)가 완전히 밀착되지 않는 것을 방지하고자 한 것이다.That is, the insertion portion 33 is not completely in close contact with the inspection object 10 (the surface of the indentation inspection object area 11 of the inspection object 10) on the upper surface of the electrostatic stage portion 30 by the accessory 12. I was trying to prevent it.

또한, 이러한 정전 스테이지부(30)는 전술된 진공압 스테이지부(20)에 착탈가능하게 설치되어, 검사대상체(10)의 크기 또는 형상에 따라 교체가 가능하며, 세라믹 소재로 구성되어, 평탄도가 증대되도록(ex: 모바일 디스플레이 사이즈의 경우 3um이하) 할 수도 있음이다.In addition, the electrostatic stage unit 30 is detachably installed on the vacuum pressure stage unit 20 described above, can be replaced according to the size or shape of the object 10 to be inspected, and is made of a ceramic material, and has flatness. It is possible to increase (ex: 3um or less in case of mobile display size).

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변경이 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by the limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical spirit of the present invention and the following by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention pertains. It goes without saying that various modifications and changes are possible within the equivalent range of the claims to be described.

10: 검사대상체 11: 압흔 검사대상영역
12: 부속품 20: 진공압 스테이지부
21: 진공 흡착홀 22: 진공압장치
23: 조절부 30: 정전 스테이지부
31: 전극부 32: 제어부
33: 삽입부10: test object 11: indentation test target area
12: accessory 20: vacuum pressure stage unit
21: vacuum adsorption hole 22: vacuum pressure device
23: control unit 30: electrostatic stage unit
31: electrode unit 32: control unit
33: insert

Claims (5)

검사대상체(10)인 플렉시블 디스플레이의 압흔 검사를 위해, 검사용 스테이지에 균일밀착시키기 위한 것으로서,
검사대상체(10)가 상면에 올려지며, 공기를 흡입하여 진공으로 검사대상체(10)가 상면에 밀착고정되도록 하는 진공압 스테이지부(20);
상기 진공압 스테이지부(20)의 일측에서 진공압 스테이지부(20)의 상면과 동일수평선상을 이루도록 설치되며, 상기 검사대상체(10)의 압흔 검사대상영역(11)이 상부에 올려지도록 하되, 정전력을 발생시켜, 상면에 올려진 검사대상체(10)의 압흔 검사대상영역(11)이 정전방식으로 상면에 균일하게 밀착고정되어, 진공흡입시 진공흡입되는 부위만 스테이지에 밀착되는 문제가 발생되지 않아, 평탄도가 증가되도록 하는 정전 스테이지부(30);로 이루어지며,
상기 정전 스테이지부(30)는
상기 정전 스테이지부(30) 내부에 설치되는 전극부(31);
상기 정전 스테이지부(30) 외부에서, 상기 전극부(31)와 연결설치되어, 전극부(31)에 전원을 인가하여 정전력이 발생되도록 하며, 전원인가 여부 및 전압조절을 통해 밀착력의 조절이 가능토록 하는 제어부(32);
상기 정전 스테이지부(30)의 상면에 형성되어, 상기 검사대상체(10)에 돌출되어 설치되는 부속품(12)이 정전 스테이지부(30) 내부로 삽입되어, 검사대상체(10)가 정전 스테이지부(30)에 밀착될 수 있도록 하는 삽입부(33); 로 이루어지고,
상기 정전 스테이지부(30)는 진공압 스테이지부(20)와 상호 착탈가능하게 설치되어, 검사대상체(10)의 크기 또는 형상에 따라 교체가 가능하며,
상기 정전 스테이지부(30)는 세라믹 소재로 구성되어, 평탄도가 증대되도록 하며,
상기 진공압 스테이지부(20)는 저면의 진공압장치(22)로 공기가 흡입되는 다수의 진공 흡착홀(21)이 상면에 형성되어 있도록 하며, 진공흡착하기 위한 검사대상체(10)의 크기에 따라, 상기 다수의 진공 흡착홀(21)은 별도의 조절부(23)를 통해, 진공 흡착홀(21) 개별 또는 진공 흡착홀(21)의 형성위치별로 선택적 개/폐 또는 작동유무의 제어가 가능토록 하는 것을 특징으로 하는 압흔검사용 균일 접촉면적 스테이지 장치.
For inspection of the indentation of the flexible display, which is the object to be inspected 10, for uniformly adhering to the inspection stage,
A vacuum pressure stage unit 20 in which the inspection object 10 is placed on the upper surface and suctions air so that the inspection object 10 is in close contact with the upper surface by vacuum;
It is installed so as to form the same horizontal line with the upper surface of the vacuum pressure stage part 20 at one side of the vacuum pressure stage part 20, and the indentation test area 11 of the test object 10 is placed on the top, By generating static power, the indentation of the object 10 placed on the upper surface is uniformly fixed to the upper surface by an electrostatic method, so that only the part that is vacuum sucked is in close contact with the stage when vacuum is sucked. It is not made, the electrostatic stage portion 30 to increase the flatness;
The electrostatic stage part 30 is
An electrode part 31 installed inside the electrostatic stage part 30;
Outside the electrostatic stage part 30, it is connected and installed with the electrode part 31 so that constant power is generated by applying power to the electrode part 31, and the adhesion can be adjusted through whether power is applied and voltage control. A control unit 32 to enable;
An accessory 12 formed on the upper surface of the electrostatic stage unit 30 and protruding from the test object 10 is inserted into the electrostatic stage unit 30 so that the test object 10 is inserted into the electrostatic stage unit ( Inserting portion 33 to be in close contact with 30; Consists of,
The electrostatic stage unit 30 is installed to be detachable from each other with the vacuum pressure stage unit 20, and can be replaced according to the size or shape of the inspection object 10,
The electrostatic stage unit 30 is made of a ceramic material to increase flatness,
The vacuum pressure stage unit 20 has a plurality of vacuum adsorption holes 21 through which air is sucked into the vacuum pressure device 22 on the bottom surface, and is adapted to the size of the inspection object 10 for vacuum adsorption. Accordingly, the plurality of vacuum adsorption holes 21 can be selectively opened/closed or operated or not controlled for each individual vacuum adsorption hole 21 or for each location of the vacuum adsorption hole 21 through a separate control unit 23. Uniform contact area stage device for indentation inspection, characterized in that to enable.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040043457A (en) * 2002-11-18 2004-05-24 엘지.필립스 엘시디 주식회사 manufacturing of liquid crystal display and method for loading of substrate
KR101328609B1 (en) * 2012-11-12 2013-11-13 (주)바론시스템 Trace inspection device
KR101331692B1 (en) 2013-07-25 2013-11-20 주식회사 에이디시러스코리아 Vacuum suction appartus for display panels
KR20160109420A (en) * 2015-03-11 2016-09-21 주식회사 영우디에스피 Turnover apparatus for measuring flexible display panel
JP2017015564A (en) * 2015-07-01 2017-01-19 日立化成株式会社 Thin film inspection system

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040043457A (en) * 2002-11-18 2004-05-24 엘지.필립스 엘시디 주식회사 manufacturing of liquid crystal display and method for loading of substrate
KR101328609B1 (en) * 2012-11-12 2013-11-13 (주)바론시스템 Trace inspection device
KR101331692B1 (en) 2013-07-25 2013-11-20 주식회사 에이디시러스코리아 Vacuum suction appartus for display panels
KR20160109420A (en) * 2015-03-11 2016-09-21 주식회사 영우디에스피 Turnover apparatus for measuring flexible display panel
JP2017015564A (en) * 2015-07-01 2017-01-19 日立化成株式会社 Thin film inspection system

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