KR102199413B1 - Embedded Printed Circuit Board and Method of Manufacturing the Same - Google Patents

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Abstract

본 출원의 일 측면에 따르는 인쇄회로기판은 베이스 절연층, 상기 베이스 절연층의 상면 및 하면 상에 각각 배치되는 제1 및 제2 내층 회로 패턴층, 상기 베이스 절연층의 상기 상면 및 상기 하면 상에서, 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층을 각각 덮는 제1 및 제2 층간 절연층, 상기 제1 및 제2 층간 절연층 중 적어도 하나를 관통하여, 상기 베이스 절연층을 노출시키는 캐비티, 상기 캐비티 내에서 상기 측면이 노출된 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나와 접하고, 상기 캐비티의 측벽면의 적어도 일부분을 커버하도록 배치되는 접속 패드층, 및 상기 캐비티 내부에 배치되고, 전도성 솔더 물질층을 통해, 상기 접속 패드층과 전기적으로 연결되는 소자 칩을 포함한다. 상기 캐비티는 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나의 측면을 노출시킨다.The printed circuit board according to an aspect of the present application includes a base insulating layer, a first and second inner circuit pattern layer disposed on the upper and lower surfaces of the base insulating layer, respectively, and on the upper and lower surfaces of the base insulating layer, A cavity exposing the base insulating layer by penetrating at least one of the first and second interlayer insulating layers respectively covering the first and second inner circuit pattern layers, the first and second interlayer insulating layers, and in the cavity A connection pad layer disposed in contact with at least one of the first and second inner circuit pattern layers exposed at the side surface and covering at least a portion of the sidewall surface of the cavity, and a conductive solder material layer disposed inside the cavity And a device chip electrically connected to the connection pad layer through the connection pad layer. The cavity exposes at least one side surface of the first and second inner circuit pattern layers.

Description

임베디드 인쇄회로기판 및 그 제조 방법{Embedded Printed Circuit Board and Method of Manufacturing the Same}Embedded Printed Circuit Board and Method of Manufacturing the Same}

본 출원은 임베디드 인쇄회로기판에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐비티의 측벽면에 접속 패드를 구비하는 임베디드 인쇄회로기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present application relates to an embedded printed circuit board, and more particularly, to an embedded printed circuit board including a connection pad on a sidewall of a cavity, and a method of manufacturing the same.

오늘날 반도체 산업은 경량화, 소형화, 고속화, 다기능화, 고성능화되고 높은 신뢰성을 갖는 반도체 제품을 낮은 비용으로 제조하는 방향으로 발전하고 있으며, 이를 달성하기 위한 중요한 기술 중의 하나가 반도체 패키지 기술이다. 반도체 패키지 기술은 웨이퍼 공정을 거쳐 회로부가 형성된 반도체 칩을 인쇄회로기판에 실장하는 기술, 상기 인쇄회로기판을 통하여 반도체 칩과 외부 전자 기기와의 전기적 연결을 확보하는 기술, 상기 반도체 칩을 외부 환경으로부터 보호하는 기술 등을 의미한다. Today, the semiconductor industry is developing toward manufacturing light weight, miniaturization, high speed, multifunctional, high performance, and highly reliable semiconductor products at low cost, and one of the important technologies to achieve this is semiconductor package technology. Semiconductor package technology is a technology for mounting a semiconductor chip on a printed circuit board through a wafer process to form a circuit part, a technology for securing an electrical connection between a semiconductor chip and an external electronic device through the printed circuit board, and removing the semiconductor chip from an external environment. It means the technology to protect, etc.

최근에는, 패키지 제품의 경박단소화 경향에 따라, 상기 인쇄회로기판의 두께를 감소시키고 인쇄회로패턴도 미세화할 수 있는 공정 기술이 다양하게 연구되고 있다. 상기 인쇄회로기판의 두께를 감소시키는 기술의 하나로서, 기판 내에 캐비티를 형성하고 상기 캐비티 내부에 소자 칩을 실장시키는 임베디드 인쇄회로기판 기술이 제안되고 있다.In recent years, in accordance with the trend of light, thin, and short package products, various researches have been conducted on process technologies capable of reducing the thickness of the printed circuit board and miniaturizing the printed circuit pattern. As one of the techniques for reducing the thickness of the printed circuit board, an embedded printed circuit board technology has been proposed in which a cavity is formed in a substrate and a device chip is mounted inside the cavity.

본 출원의 일 실시 예는, 전체 두께를 감소시킬 수 있는 임베디드 인쇄회로기판의 구조 및 그 제조 방법을 제공한다.An embodiment of the present application provides a structure of an embedded printed circuit board capable of reducing an overall thickness and a method of manufacturing the same.

본 출원의 일 측면에 따르는 인쇄회로기판은 베이스 절연층, 상기 베이스 절연층의 상면 및 하면 상에 각각 배치되는 제1 및 제2 내층 회로 패턴층, 상기 베이스 절연층의 상기 상면 및 상기 하면 상에서, 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층을 각각 덮는 제1 및 제2 층간 절연층, 상기 제1 및 제2 층간 절연층 중 적어도 하나를 관통하여, 상기 베이스 절연층을 노출시키는 캐비티, 상기 캐비티 내에서 상기 측면이 노출된 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나와 접하고, 상기 캐비티의 측벽면의 적어도 일부분을 커버하도록 배치되는 접속 패드층, 및 상기 캐비티 내부에 배치되고, 전도성 솔더 물질층을 통해, 상기 접속 패드층과 전기적으로 연결되는 소자 칩을 포함한다. 상기 캐비티는 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나의 측면을 노출시킨다.The printed circuit board according to an aspect of the present application includes a base insulating layer, a first and second inner circuit pattern layer disposed on the upper and lower surfaces of the base insulating layer, respectively, and on the upper and lower surfaces of the base insulating layer, A cavity exposing the base insulating layer by penetrating at least one of the first and second interlayer insulating layers respectively covering the first and second inner circuit pattern layers, the first and second interlayer insulating layers, and in the cavity A connection pad layer disposed in contact with at least one of the first and second inner circuit pattern layers exposed at the side surface and covering at least a portion of the sidewall surface of the cavity, and a conductive solder material layer disposed inside the cavity And a device chip electrically connected to the connection pad layer through the connection pad layer. The cavity exposes at least one side surface of the first and second inner circuit pattern layers.

본 출원의 다른 측면에 따르는 인쇄회로기판의 제조 방법에 있어서, 베이스 절연층을 포함하는 베이스 기판을 준비한다. 상기 베이스 절연층의 상면 및 하면 상에 제1 및 제2 내층 회로 패턴층을 각각 형성한다. 상기 베이스 절연층의 상기 상면 및 하면 상에서 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층을 각각 덮는 제1 및 제2 층간 절연층을 형성한다. 상기 제1 및 제2 층간 절연층 중 적어도 하나를 관통하여, 상기 베이스 절연층을 노출시키는 캐비티를 형성한다. 이때, 상기 캐비티가 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나의 측면을 노출시킨다. 상기 캐비티 내에서 상기 측면이 노출된 제1 및 제2 내층 회로 패턴층과 접하고, 상기 캐비티의 측벽면의 적어도 일부분을 커버하는 접속 패드층을 형성한다. 상기 캐비티 내에 소자 칩을 배치한다. 상기 소자 칩과 상기 접속 패드층을 전기적으로 접속시키는 전도성 솔더 물질층을 형성한다. In a method of manufacturing a printed circuit board according to another aspect of the present application, a base substrate including a base insulating layer is prepared. First and second inner circuit pattern layers are formed on the upper and lower surfaces of the base insulating layer, respectively. First and second interlayer insulating layers are formed on the upper and lower surfaces of the base insulating layer to cover the first and second inner circuit pattern layers, respectively. A cavity is formed through at least one of the first and second interlayer insulating layers to expose the base insulating layer. In this case, the cavity exposes at least one side surface of the first and second inner circuit pattern layers. In the cavity, a connection pad layer is formed in contact with the exposed first and second inner circuit pattern layers and covers at least a portion of a sidewall surface of the cavity. A device chip is placed in the cavity. A conductive solder material layer electrically connecting the device chip and the connection pad layer is formed.

본 출원의 실시 예들에 따르면, 베이스 절연층 내부에 형성되는 캐비티 및 상기 캐비티의 측벽면에 배치되는 접속 패드층을 구비하는 임베디드 인쇄회로기판을 제공할 수 있다. 상기 캐비티 내에 실장되는 소자 칩은, 측면 방향으로 배치되는 전도성 솔더 물질층을 통해 상기 접속 패드층과 전기적으로 접속될 수 있다.According to embodiments of the present application, an embedded printed circuit board including a cavity formed inside a base insulating layer and a connection pad layer disposed on a sidewall surface of the cavity may be provided. A device chip mounted in the cavity may be electrically connected to the connection pad layer through a conductive solder material layer disposed in a lateral direction.

상술한 바와 같이, 임베디드 인쇄회로기판의 접속 패드층과 소자 칩의 전극층이 측면 방향으로 서로 접속되도록 배치됨으로써, 상기 캐비티 내의 상기 베이스 절연층의 상면으로부터 상기 소자 칩의 상면까지의 높이가 감소될 수 있다. 즉, 접속 패드층 및 범프와 같은 접속 구조물이 캐비티 내부의 상기 베이스 절연층의 상면 상에 순차적으로 배치되는 종래의 경우와 대비하여, 본 출원의 실시예에서는, 임베디드 인쇄회로기판에서, 상기 접속 패드층과 상기 범프의 두께만큼의 높이를 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 박형의 임베디드 인쇄회로기판을 제공할 수 있다.As described above, the connection pad layer of the embedded printed circuit board and the electrode layer of the device chip are arranged to be connected to each other in the lateral direction, so that the height from the top surface of the base insulating layer in the cavity to the top surface of the device chip can be reduced. have. That is, compared to the conventional case in which connection structures such as a connection pad layer and a bump are sequentially disposed on the upper surface of the base insulating layer inside the cavity, in the embodiment of the present application, in the embedded printed circuit board, the connection pad The height of the layer and the bump may be reduced. Accordingly, it is possible to provide a thin embedded printed circuit board.

도 1은 본 출원의 일 실시 예에 따르는 임베디드 인쇄회로기판(1)을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 2는 도 1의 임베디드 인쇄회로기판(1)의 일부분을 'U'방향에서 바라본 일 평면도이다.
도 3 내지 도 10은 본 출원의 일 실시 예에 따르는 임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
1 is a cross-sectional view schematically showing an embedded printed circuit board 1 according to an exemplary embodiment of the present application.
FIG. 2 is a plan view of a part of the embedded printed circuit board 1 of FIG. 1 as viewed from a'U' direction.
3 to 10 are cross-sectional views schematically illustrating a method of manufacturing an embedded printed circuit board according to an embodiment of the present application.

본 출원의 예의 기재에서 사용하는 용어들은 제시된 실시예에서의 기능을 고려하여 선택된 용어들로서, 그 용어의 의미는 기술 분야에서의 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 사용된 용어의 의미는 본 명세서에 구체적으로 정의된 경우 정의된 정의에 따르며, 구체적인 정의가 없는 경우 당업자들이 일반적으로 인식하는 의미로 해석될 수 있다. 본 출원의 예의 기재에서 "제1" 및 "제2", "상부(top)" 및 "하부(bottom or lower)", "좌측(left)"및 "우측(right)"와 같은 기재는 부재를 구분하기 위한 것이며, 부재 자체를 한정하거나 특정한 순서를 의미하는 것으로 사용된 것은 아니다.The terms used in the description of the examples in the present application are terms selected in consideration of functions in the presented embodiments, and the meaning of the terms may vary according to the intention or custom of users or operators in the technical field. The meanings of the terms used are in accordance with the defined definitions when they are specifically defined in the present specification, and may be interpreted as meanings generally recognized by those skilled in the art if there is no specific definition. In the description of the examples of the present application, descriptions such as "first" and "second", "top" and "bottom or lower", "left" and "right" are absent. It is intended to distinguish between, and is not used to limit the member itself or to mean a specific order.

명세서 전문에 걸쳐 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지칭할 수 있다. 동일한 참조 부호 또는 유사한 참조 부호들은 해당 도면에서 언급 또는 설명되지 않았더라도, 다른 도면을 참조하여 설명될 수 있다. 또한, 참조 부호가 표시되지 않았더라도, 다른 도면들을 참조하여 설명될 수 있다.The same reference numerals may refer to the same elements throughout the specification. The same or similar reference numerals may be described with reference to other drawings, even if they are not mentioned or described in the corresponding drawings. Further, even if a reference numeral is not indicated, it may be described with reference to other drawings.

도 1은 본 출원의 일 실시 예에 따르는 임베디드 인쇄회로기판(1)을 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 2는 도 1의 임베디드 인쇄회로기판(1)의 일부분을 'U'방향에서 바라본 일 평면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an embedded printed circuit board 1 according to an exemplary embodiment of the present application. FIG. 2 is a plan view of a part of the embedded printed circuit board 1 of FIG. 1 as viewed from a'U' direction.

도 1을 참조하면, 임베디드 인쇄회로기판(1)은 베이스 절연층(110), 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b), 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b), 제1 층간 절연층(132a) 내부의 캐비티(1000), 캐비티(1000)의 측벽면의 적어도 일부분을 커버하도록 배치되는 접속 패드층(142a1, 142a2) 및 캐비티(1000) 내부에 배치되어 접속 패드층(142a1, 142a2)과 전기적으로 연결되는 소자 칩(20)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the embedded printed circuit board 1 includes a base insulating layer 110, first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b, first and second interlayer insulating layers 132a and 132b, The connection pad layers 142a1 and 142a2 disposed to cover at least a portion of the cavity 1000 inside the first interlayer insulating layer 132a, the sidewall surface of the cavity 1000, and the connection pad layer disposed inside the cavity 1000 And a device chip 20 electrically connected to the 142a1 and 142a2.

베이스 절연층(110)은 일 예로서, 열경화성 수지를 포함할 수 있다. 베이스 절연층(110)은 일 예로서, 탄소 섬유 또는 유리 섬유를 구조재로서 더 포함할 수 있다. 일 예로서, 베이스 절연층(110)은 페놀 수지, 에폭시 수지 또는 프리프레그(PPG)를 포함할 수 있다. 베이스 절연층(110)은 서로 반대쪽에 위치하는 상면(110S1) 및 하면(110S2)을 구비할 수 있다.The base insulating layer 110 may include, as an example, a thermosetting resin. The base insulating layer 110 may further include carbon fiber or glass fiber as a structural material, as an example. As an example, the base insulating layer 110 may include a phenol resin, an epoxy resin, or a prepreg (PPG). The base insulating layer 110 may have an upper surface 110S1 and a lower surface 110S2 positioned opposite each other.

제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)는 베이스 절연층(110)의 상면(110S1) 및 하면(110S2) 상에서, 각각 배치될 수 있다. 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)은 구리 도금층일 수 있다. The first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b may be disposed on the upper surface 110S1 and the lower surface 110S2 of the base insulating layer 110, respectively. The first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b may be copper plating layers.

제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)은 베이스 절연층(110)의 상면(110S1) 및 하면(110S2) 상에서, 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)를 각각 덮도록 배치될 수 있다. 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)은 일 예로서, 열경화성 수지를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)은 일 예로서, 탄소 섬유 또는 유리 섬유를 구조재로서 더 포함할 수 있다. 일 예로서, 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)은 페놀 수지, 에폭시 수지 또는 프리프레그(PPG)를 포함할 수 있다.The first and second interlayer insulating layers 132a and 132b cover the first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b, respectively, on the upper surface 110S1 and the lower surface 110S2 of the base insulating layer 110. Can be placed. The first and second interlayer insulating layers 132a and 132b may include, for example, a thermosetting resin. As an example, the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b may further include carbon fibers or glass fibers as a structural material. As an example, the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b may include a phenol resin, an epoxy resin, or a prepreg (PPG).

제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b) 상에는 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)이 각각 배치될 수 있다. 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)은 구리 패턴층일 수 있다. 또한, 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b) 내부에는 비아(144a, 144b)가 각각 배치될 수 있다. 비아(144a, 144b)는 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)을 관통하여 형성되며, 각각 대응하는 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)과 제1 및 제2 외층 회로층(146a, 146b)을 전기적으로 연결할 수 있다. 비아(144a, 144b)는 구리 도금층일 수 있다. First and second outer circuit pattern layers 146a and 146b may be disposed on the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b, respectively. The first and second outer circuit pattern layers 146a and 146b may be copper pattern layers. In addition, vias 144a and 144b may be disposed inside the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b, respectively. Vias 144a and 144b are formed through the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b, respectively, corresponding first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b and first and second outer layers The circuit layers 146a and 146b may be electrically connected. The vias 144a and 144b may be a copper plating layer.

제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b) 상에는 제1 및 제2 솔더 레지스트 패턴층(160a, 160b)이 각각 배치될 수 있다. 제1 및 제2 솔더 레지스트 패턴층(160a, 160b)은 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)을 선택적으로 덮도록 배치될 수 있다. 제1 및 제2 솔더 레지스트 패턴층(160a, 160b)에 의해 노출되는 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)는 다른 소자 칩, 또는 다른 패키지와의 접속을 위한 패드로 기능할 수 있다.First and second solder resist pattern layers 160a and 160b may be disposed on the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b, respectively. The first and second solder resist pattern layers 160a and 160b may be disposed to selectively cover the first and second outer circuit pattern layers 146a and 146b. The first and second outer circuit pattern layers 146a and 146b exposed by the first and second solder resist pattern layers 160a and 160b may function as pads for connection with other device chips or other packages. have.

도 1을 다시 참조하면, 제1 층간 절연층(132a)을 관통하여 베이스 절연층(110)을 노출시키는 캐비티(1000)가 형성된다. 캐비티(1000)는 제1 내층 회로 패턴층(120a)의 측면을 노출시킬 수 있다. 또한, 캐비티(1000)의 측벽면에는 접속 패드층(142a1, 142a2)이 배치될 수 있다. 접속 패드층(142a1, 142a2)은 상기 측면이 노출된 제1 내층 회로 패턴층(120a)과 접하고, 캐비티(1000)의 측벽면의 적어도 일부분을 커버하도록 배치될 수 있다. 즉, 접속 패드층(142a1, 142a2)는 제1 내층 회로 패턴층(120a) 및 제1 층간 절연층(132a)의 측면과 직접 접하도록 배치될 수 있다.Referring back to FIG. 1, a cavity 1000 is formed through the first interlayer insulating layer 132a to expose the base insulating layer 110. The cavity 1000 may expose a side surface of the first inner circuit pattern layer 120a. In addition, connection pad layers 142a1 and 142a2 may be disposed on a sidewall surface of the cavity 1000. The connection pad layers 142a1 and 142a2 may be disposed to be in contact with the first inner circuit pattern layer 120a with the side surfaces exposed and to cover at least a portion of the sidewall surface of the cavity 1000. That is, the connection pad layers 142a1 and 142a2 may be disposed to directly contact side surfaces of the first inner circuit pattern layer 120a and the first interlayer insulating layer 132a.

도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 접속 패드층(142a1, 142a2)은 캐비티(1000)의 측벽면 상에서 서로 마주보는 한 쌍의 전도성 패턴으로 배치될 수 있다. 접속 패드층(142a1, 142a2)는 x-방향으로 제1 폭(w1), y-방향으로 제2 폭(w2), 및 z-방향으로 높이(h1)를 가질 수 있다. 특히, 도 2에서와 같이, 캐비티(1000)가 평면도 상에서 직사각형 형태의 내부 공간을 가질 수 있으며, 접속 패드층(142a1, 142a2)은 서로 마주보는 측벽면에서, 상기 측면면의 높이 방향(일 예로서, 도 1의 z-방향)을 따라 배치될 수 있다. 이때, 도 1을 참조하면, 접속 패드층(142a1, 142a2)의 높이(h1)는 캐비티(1000)가 형성된 제1 층간 절연층(132a)의 높이와 실질적으로 동일할 수 있다. Referring to FIGS. 1 and 2 together, the connection pad layers 142a1 and 142a2 may be disposed in a pair of conductive patterns facing each other on a sidewall surface of the cavity 1000. The connection pad layers 142a1 and 142a2 may have a first width w1 in the x-direction, a second width w2 in the y-direction, and a height h1 in the z-direction. In particular, as shown in FIG. 2, the cavity 1000 may have a rectangular internal space on a plan view, and the connection pad layers 142a1 and 142a2 are in the sidewall surfaces facing each other, in the height direction of the side surface (for example, As, it may be disposed along the z-direction of FIG. 1). In this case, referring to FIG. 1, the height h1 of the connection pad layers 142a1 and 142a2 may be substantially the same as the height of the first interlayer insulating layer 132a in which the cavity 1000 is formed.

한편, 캐비티(1000) 내부에는 소자 칩(20)이 실장될 수 있다. 소자 칩(20)은 일 예로서, 수동 소자일 수 있다. 상기 수동 소자는 일 예로서, 캐패시터, 저항 또는 인턱터를 포함할 수 있다. 소자 칩(20)은 제1 전극부(210), 제2 전극부(220) 및 기능부(230)을 포함할 수 있다. 기능부(230)는 일 예로서, 캐패시터 물질층, 저항 물질층, 또는 코일 물질층을 포함할 수 있다. 일 실시 예로서, 소자 칩(20)이 적층세라믹콘덴서(MLCC)인 경우, 기능부(230)는 유전체층과 내부전극층이 상호 교차되는 형태로 복층으로 적층되는 적층부일 수 있으며, 제1 및 제2 전극부(210, 220)는 내부전극층과 전기적으로 연결된 외부 터미널 전극일 수 있다. Meanwhile, the device chip 20 may be mounted inside the cavity 1000. The device chip 20 may be, for example, a passive device. As an example, the passive element may include a capacitor, a resistor, or an inductor. The device chip 20 may include a first electrode part 210, a second electrode part 220, and a function part 230. The functional unit 230 may include, for example, a capacitor material layer, a resistive material layer, or a coil material layer. As an embodiment, when the device chip 20 is a multilayer ceramic capacitor (MLCC), the functional unit 230 may be a multilayered unit in which a dielectric layer and an internal electrode layer cross each other, and the first and second layers are stacked. The electrode parts 210 and 220 may be external terminal electrodes electrically connected to the internal electrode layer.

소자 칩(20)은 베이스 절연층(110)의 상면(110S1) 상에서 한 쌍의 접속 패드층(142a1, 142a2)과 마주보도록 배치될 수 있다. 소자 칩(20)은 전도성 솔더 물질층(150a1, 150a2)을 통해, 접속 패드층(142a1, 142a2)와 전기적으로 연결될 수 있다. 전도성 솔더 물질층(150a1, 150a2)은 제1 전극부(210)과 상기 한 쌍의 접속 패드층(142a1, 142a2) 중 어느 하나(142a1)를 접착시키며, 또한, 제2 전극부(220)와 상기 한 쌍의 접속 패드층(142a1, 142a2) 중 나머지 하나(142a2)를 접착시킬 수 있다. 이를 통해, 전도성 솔더 물질층(150a1, 150a2)은 베이스 절연층(110)의 상면(110S1) 상에서 접속 패드층(142a1, 142a2)와 소자 칩(20)을 측면 방향(일 예로서, x-방향)으로 접합시킬 수 있다. The device chip 20 may be disposed on the upper surface 110S1 of the base insulating layer 110 to face the pair of connection pad layers 142a1 and 142a2. The device chip 20 may be electrically connected to the connection pad layers 142a1 and 142a2 through the conductive solder material layers 150a1 and 150a2. The conductive solder material layers 150a1 and 150a2 adhere to the first electrode part 210 and any one of the pair of connection pad layers 142a1 and 142a2 (142a1), and further, the second electrode part 220 and The remaining one 142a2 of the pair of connection pad layers 142a1 and 142a2 may be adhered. Through this, the conductive solder material layers 150a1 and 150a2 move the connection pad layers 142a1 and 142a2 and the device chip 20 in the lateral direction (for example, the x-direction) on the upper surface 110S1 of the base insulating layer 110. ) Can be joined.

도시되지 않은 몇몇 실시 예들에 있어서, 소자 칩(20)의 안정성을 위해, 소자 칩(20)과 베이스 절연층(110)의 상면(110S1) 사이에는 별도의 접착층이 배치될 수 있다. 상기 접착층은 소자 칩(20)과 베이스 절연층(110) 사이의 접착력을 향상시킬 수 있다.In some embodiments not shown, for stability of the device chip 20, a separate adhesive layer may be disposed between the device chip 20 and the upper surface 110S1 of the base insulating layer 110. The adhesive layer may improve adhesion between the device chip 20 and the base insulating layer 110.

몇몇 다른 실시 예들에 있어서, 캐비티(1000)는 제2 층간 절연층(132b)에 형성될 수 있다. 이에 따라, 소자 칩을 제2 층간 절연층(132b)에 형성된 캐비티(1000) 내부에 실장하기 위한, 접속 패드층 및 전도성 솔더 물질층의 구성 배치는 도 1 및 도 2와 관련하여 상술한, 제1 층간 절연층(132a)에 형성된 캐비티(1000) 내부의 접속 패드층(142a1, 142a2), 및 전도성 솔더 물질층(150a1, 150a2)의 구성 배치와 실질적으로 동일하다. In some other embodiments, the cavity 1000 may be formed in the second interlayer insulating layer 132b. Accordingly, the configuration and arrangement of the connection pad layer and the conductive solder material layer for mounting the device chip in the cavity 1000 formed in the second interlayer insulating layer 132b is described above with reference to FIGS. 1 and 2. The configurations of the connection pad layers 142a1 and 142a2 inside the cavity 1000 formed in the one interlayer insulating layer 132a and the conductive solder material layers 150a1 and 150a2 are substantially the same.

몇몇 다른 실시 예들에 있어서, 캐비티(1000)는 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)에 모두 형성될 수 있다. 이에 따라, 소자 칩을 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)에 형성된 캐비티(1000) 내부에 실장하기 위한, 접속 패드층 및 전도성 솔더 물질층의 구성 배치는 상술한 제1 층간 절연층(132a)에 형성된 캐비티(1000) 내부의 접속 패드층(142a1, 142a2), 및 전도성 솔더 물질층(150a1, 150a2)의 구성 배치를 동일하게 적용할 수 있다. In some other embodiments, the cavity 1000 may be formed in both the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b. Accordingly, the configuration and arrangement of the connection pad layer and the conductive solder material layer for mounting the device chip in the cavity 1000 formed in the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b is the above-described first interlayer insulating layer The configuration arrangement of the connection pad layers 142a1 and 142a2 inside the cavity 1000 formed in the 132a and the conductive solder material layers 150a1 and 150a2 may be applied in the same manner.

상술한 바와 같이, 본 출원의 실시 예에 따르면, 임베디드 인쇄회로기판(1)의 캐비티(1000) 내에서, 소자 칩(20)은 캐비티(1000)의 측벽면에 배치되는 한 쌍의 접속 패드층(142a1, 142a2)과 측면 방향(일 예로서, x-방향)으로 전기적 접합을 이룰 수 있다. 이를 위해, 소자 칩(20)의 제1 및 제2 전극부(210, 220)와 접속 패드층(142a1, 142a2) 사이에 측면 방향으로 전도성 솔더 물질층(150a1, 150a2)가 배치될 수 있다. 종래의 임베디드 인쇄회로기판의 경우, 캐비티(1000)의 하면, 즉, 베이스 절연층(110)의 상면(110S1)에 접속 패드층 및 전도성 솔더 물질층이 순차적으로 배치된 후에, 상기 전도성 솔더층이 소자 칩과 접합하는 구조를 적용하고 있다. 이와 같이, 상기 소자 칩이 상기 전도성 솔더 물질층 상부에 배치됨으로써, 상기 접속 패드층 및 상기 전도성 솔더 물질층의 두께만큼 임베디드 인쇄회로기판의 두께가 증가할 수 있다. As described above, according to the embodiment of the present application, in the cavity 1000 of the embedded printed circuit board 1, the device chip 20 is a pair of connection pad layers disposed on the sidewalls of the cavity 1000 (142a1, 142a2) and the lateral direction (for example, x-direction) can be made an electrical junction. To this end, conductive solder material layers 150a1 and 150a2 may be disposed in the lateral direction between the first and second electrode portions 210 and 220 of the device chip 20 and the connection pad layers 142a1 and 142a2. In the case of a conventional embedded printed circuit board, after the connection pad layer and the conductive solder material layer are sequentially disposed on the lower surface of the cavity 1000, that is, the upper surface 110S1 of the base insulating layer 110, the conductive solder layer is A structure that bonds to the device chip is applied. In this way, since the device chip is disposed on the conductive solder material layer, the thickness of the embedded printed circuit board may increase as much as the thickness of the connection pad layer and the conductive solder material layer.

이에 반하여, 본 출원의 실시 예에 따르면, 접속 패드층(142a1, 142a2)이 캐비티(1000)의 하면이 아니라, 측벽면에 배치된다. 또한, 전도성 솔더 물질층(150a1, 150a2)이 접속 패드층(142a1, 142a2)과 소자 칩(20)을 측면 방향(일 예로서, x-방향)으로 접합시키므로, 종래의 임베디드 인쇄회로기판과 대비하여, 상기 접속 패드층 및 상기 전도성 솔더 물질층의 두께만큼, 전체 임베디드 인쇄회로기판의 두께를 감소시킬 수 있는 장점이 있다.On the contrary, according to the exemplary embodiment of the present application, the connection pad layers 142a1 and 142a2 are disposed on the sidewall of the cavity 1000, not on the lower surface of the cavity 1000. In addition, since the conductive solder material layers 150a1 and 150a2 bond the connection pad layers 142a1 and 142a2 and the device chip 20 in the lateral direction (for example, the x-direction), compared to the conventional embedded printed circuit board. Thus, there is an advantage of reducing the thickness of the entire embedded printed circuit board by the thickness of the connection pad layer and the conductive solder material layer.

도 3 내지 도 10은 본 출원의 일 실시 예에 따르는 임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 3을 참조하면, 베이스 기판(10)을 준비한다. 베이스 기판(10)은 상면(110S1)과 하면(110S2)를 구비하는 베이스 절연층(110)을 포함한다. 또한, 베이스 기판(10)은 베이스 절연층(110)의 상면(110S1)과 하면(110S2)에 제1 및 제2 시드 구리층(112a, 112b)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 베이스 기판(10)은 구리 적층 기판(Copper Clad Laminate)일 수 있다.3 to 10 are cross-sectional views schematically illustrating a method of manufacturing an embedded printed circuit board according to an embodiment of the present application. Referring to FIG. 3, a base substrate 10 is prepared. The base substrate 10 includes a base insulating layer 110 having an upper surface 110S1 and a lower surface 110S2. In addition, the base substrate 10 may include first and second seed copper layers 112a and 112b on the upper surface 110S1 and the lower surface 110S2 of the base insulating layer 110. As an example, the base substrate 10 may be a copper laminated substrate (Copper Clad Laminate).

도 4를 참조하면, 베이스 기판(10)의 제1 및 제2 시드 구리층(112a, 112b)을 이용하는 도금법을 수행하여, 베이스 절연층(110)의 상면(110S1) 및 하면(110S2) 상에 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)을 각각 형성한다. 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)은 구리 도금층일 수 있다. 상기 도금법은 전해 도금, 무전해 도금 또는 이들의 둘 이상의 조합을 적용할 수 있다. 구체적으로, 도금법은 SAP(Semi-Additive Process) 또는 MSAP(Modified Semi-Additive Process)를 적용할 수 있다.Referring to FIG. 4, by performing a plating method using the first and second seed copper layers 112a and 112b of the base substrate 10, the upper surface 110S1 and the lower surface 110S2 of the base insulating layer 110 are First and second inner circuit pattern layers 120a and 120b are formed, respectively. The first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b may be copper plating layers. The plating method may apply electrolytic plating, electroless plating, or a combination of two or more thereof. Specifically, as the plating method, SAP (Semi-Additive Process) or MSAP (Modified Semi-Additive Process) may be applied.

일 실시 예에서, 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)을 형성하는 방법은, 제1 및 제2 시드 구리층(112a, 112b) 상에 드라이 필름 패턴을 형성한다. 드라이 필름 패턴에 의해 노출되는 제1 및 제2 시드 구리층(112a, 112b)으로부터 구리 도금층을 형성한다. 이어서, 상기 드라이 필름 패턴과 상기 드라이 필름 패턴의 직하부에 위치하는 제1 및 제2 시드 구리층(112a, 112b)을 제거함으로써, 구리 패턴층을 형성할 수 있다. 상기 구리 패턴층은 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)을 구성할 수 있다.In an embodiment, the method of forming the first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b is to form a dry film pattern on the first and second seed copper layers 112a and 112b. A copper plating layer is formed from the first and second seed copper layers 112a and 112b exposed by the dry film pattern. Subsequently, a copper pattern layer may be formed by removing the dry film pattern and the first and second seed copper layers 112a and 112b positioned directly under the dry film pattern. The copper pattern layer may constitute first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b.

도 5를 참조하면, 베이스 절연층(110)의 상면(110S1) 및 하면(110S2) 상에서 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)을 각각 덮는 제1 및 제2 층간 적층 구조물(130a, 130b)를 형성한다. 제1 및 제2 층간 적층 구조물(130a, 130b)은 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b) 및 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b) 상에 각각 배치되는 제1 및 제2 구리 포일층(134a, 134b)을 각각 포함한다.Referring to FIG. 5, first and second interlayer stacked structures 130a covering the first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b on the upper surface 110S1 and the lower surface 110S2 of the base insulating layer 110, respectively. , 130b). The first and second interlayered structures 130a and 130b are respectively disposed on the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b and the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b. It includes 2 copper foil layers 134a and 134b, respectively.

구체적인 실시 예에서, 다음과 같은 공정을 통해 제1 및 제2 층간 적층 구조물(130a, 130b)을 형성할 수 있다. In a specific embodiment, the first and second interlayer stacked structures 130a and 130b may be formed through the following process.

먼저, 제1 층간 절연층(132a) 및 제1 층간 절연층(132a) 상에 배치되는 제1 구리 포일층(134a)을 구비하는 제1 중간 기판재(130a)를 준비한다. 마찬가지로, 제2 층간 절연층(132b) 및 제2 층간 절연층(132b) 상에 배치되는 제2 구리 포일층(134b)을 구비하는 제2 중간 기판재(130b)를 준비한다.First, a first intermediate substrate material 130a including a first interlayer insulating layer 132a and a first copper foil layer 134a disposed on the first interlayer insulating layer 132a is prepared. Similarly, a second intermediate substrate 130b including a second interlayer insulating layer 132b and a second copper foil layer 134b disposed on the second interlayer insulating layer 132b is prepared.

이어서, 제1 중간 기판재(130a)의 제1 층간 절연층(132a)이 제1 내층 회로 패턴층(120a)과 대면하는 방향으로, 제1 중간 기판재(130a)를 도 4의 구조물의 상부에 이격하여 배치하고, 제2 중간 기판재(130b)의 제2 층간 절연층(132b)이 제2 내층 회로 패턴층(120b)과 대면하는 방향으로, 제2 중간 기판재(130b)를 도 4의 구조물의 하부에 이격하여 배치시킨다. 이어서, 제1 및 제2 중간 기판재(130a, 130b)를 도 4의 구조물에, 열과 압력을 이용하여 접합시킨다. 그 결과, 제1 및 제2 중간 기판재(130b)는 도 4의 구조물에 접합하여, 제1 및 제2 층간 적층 구조물(130a, 130b)로 변환될 수 있다. Subsequently, in a direction in which the first interlayer insulating layer 132a of the first intermediate substrate material 130a faces the first inner circuit pattern layer 120a, the first intermediate substrate material 130a is placed over the structure of FIG. 4. And the second intermediate substrate material 130b in a direction in which the second interlayer insulating layer 132b of the second intermediate substrate material 130b faces the second inner circuit pattern layer 120b. It should be placed apart from the bottom of the structure of Subsequently, the first and second intermediate substrate materials 130a and 130b are bonded to the structure of FIG. 4 using heat and pressure. As a result, the first and second intermediate substrate materials 130b may be bonded to the structure of FIG. 4 to be converted into first and second interlayer stacked structures 130a and 130b.

도 6을 참조하면, 제1 구리 포일층(134a) 및 제1 층간 절연층(132a)를 관통하여, 베이스 절연층(110)을 선택적으로 노출시키는 캐비티(1000)을 형성한다. 이때, 캐비티(1000)는 제1 층간 적층 구조물(130a), 제1 내층 회로 패턴층(120a)의 측면을 노출시킬 수 있다. 이때, 노출되는 제1 내층 회로 패턴층(120a)은 캐비티(1000)의 서로 마주보는 측벽부에 한 쌍으로 위치할 수 있다.Referring to FIG. 6, a cavity 1000 for selectively exposing the base insulating layer 110 is formed through the first copper foil layer 134a and the first interlayer insulating layer 132a. In this case, the cavity 1000 may expose side surfaces of the first interlayer stacked structure 130a and the first inner circuit pattern layer 120a. In this case, the exposed first inner circuit pattern layers 120a may be positioned in a pair on sidewalls of the cavity 1000 facing each other.

도 7을 참조하면, 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)를 각각 관통하여 제1 및 제2 내층 회로 패턴층(120a, 120b)를 각각 노출시키는 비아홀을 형성한다. 상기 비아홀을 형성하는 방법은 레이저 드릴링 또는 기계적 드릴링을 적용할 수 있다. 이어서, 상기 비아홀을 채우는 제1 및 제2 비아(144a, 144b)를 형성한다. 이어서, 제1 및 제2 비아(144a, 144b)와 전기적으로 연결되는 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)을 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b) 상에 각각 형성한다. 제1 및 제2 비아(144a, 144b), 및 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)을 형성하는 방법은, 일 예로서, 전해 도금, 무전해 도금, 또는 이들의 둘 이상의 조합을 적용할 수 있다. 구체적으로, 도금법은 SAP(Semi-Additive Process) 또는 MSAP(Modified Semi-Additive Process)를 적용할 수 있다. 이때, 제1 및 제2 층간 적층 구조물(130a, 130b)의 구리 코일층(134a, 134b)은 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)을 도금법에 의해 형성할 때, 시드 구리층으로 각각 기능할 수 있다.Referring to FIG. 7, via holes are formed through each of the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b to expose the first and second inner circuit pattern layers 120a and 120b, respectively. As a method of forming the via hole, laser drilling or mechanical drilling may be applied. Subsequently, first and second vias 144a and 144b filling the via hole are formed. Subsequently, first and second outer circuit pattern layers 146a and 146b electrically connected to the first and second vias 144a and 144b are formed on the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b, respectively. do. The method of forming the first and second vias 144a and 144b, and the first and second outer circuit pattern layers 146a and 146b is, as an example, electrolytic plating, electroless plating, or a combination of two or more thereof. Can be applied. Specifically, as the plating method, SAP (Semi-Additive Process) or MSAP (Modified Semi-Additive Process) may be applied. At this time, the copper coil layers 134a and 134b of the first and second interlayer stacked structures 130a and 130b are formed when the first and second outer circuit pattern layers 146a and 146b are formed by plating, a seed copper layer Each can function as.

도 8을 참조하면, 캐비티(1000) 내에서 측면이 노출된 제1 내층 회로 패턴층(120a)과 접하고, 캐비티(1000)의 측벽면의 적어도 일부분을 커버하는 접속 패드층(142a1, 142a2)을 형성한다. 접속 패드층(142a1, 142a2)은 캐비티(1000)의 측벽면을 따라 형성되는 구리 패턴층일 수 있다. 상기 도금법은 일 예로서, 전해 도금, 무전해 도금, 또는 이들의 둘 이상의 조합을 적용할 수 있다. 구체적으로, 상기 도금법은 SAP(Semi-Additive Process) 또는 MSAP(Modified Semi-Additive Process)를 적용할 수 있다.Referring to FIG. 8, connection pad layers 142a1 and 142a2 that are in contact with the first inner circuit pattern layer 120a with exposed side surfaces of the cavity 1000 and cover at least a portion of the sidewall surface of the cavity 1000 are formed. To form. The connection pad layers 142a1 and 142a2 may be copper pattern layers formed along a sidewall surface of the cavity 1000. As an example, the plating method may be electrolytic plating, electroless plating, or a combination of two or more thereof. Specifically, as the plating method, SAP (Semi-Additive Process) or MSAP (Modified Semi-Additive Process) may be applied.

일 실시 예에서, 접속 패드층(142a1, 142a2)은 상기 캐비티의 측벽면을 따라 구리 패턴층을 형성하는 과정으로 진행될 수 있다. 접속 패드층(142a1, 142a2)는 x-방향으로 제1 폭(w1) 및 z-방향으로 높이(h1)를 가질 수 있다. 높이(h1)는 제1 폭(w1)보다 클 수 있다. 상기 높이(h1)는 제1 층간 절연층(132a)의 높이와 실질적으로 동일할 수 있다. In an embodiment, the connection pad layers 142a1 and 142a2 may be performed in a process of forming a copper pattern layer along a sidewall surface of the cavity. The connection pad layers 142a1 and 142a2 may have a first width w1 in the x-direction and a height h1 in the z-direction. The height h1 may be greater than the first width w1. The height h1 may be substantially the same as the height of the first interlayer insulating layer 132a.

도 9을 참조하면, 제1 및 제2 전극부(210, 220) 및 기능부(230)를 구비하는 소자 칩(20)을 준비한다. 일 예로서, 소자 칩(20)은 수동 소자 칩일 수 있다. 일 실시 예에서, 상기 수동 소자 칩은 적층세라믹콘덴서(MLCC)일 수 있다. 소자 칩(20)을 캐비티(1000) 내에 실장한다. 이때, 소자 칩(20)을 접속 패드층(142a1, 142a2)과 측면 방향(즉, x-방향)으로 이격하여 배치한다. 도시되지 않았지만, 소자 칩(20)을 실장할 때, 소자 칩(20)의 하면과 베이스 절연층(110)의 상면(110S1)을 별도의 접착층에 의해 접착할 수도 있다.Referring to FIG. 9, a device chip 20 including first and second electrode units 210 and 220 and a function unit 230 is prepared. As an example, the device chip 20 may be a passive device chip. In an embodiment, the passive component chip may be a multilayer ceramic capacitor (MLCC). The device chip 20 is mounted in the cavity 1000. At this time, the device chip 20 is disposed to be spaced apart from the connection pad layers 142a1 and 142a2 in the lateral direction (ie, x-direction). Although not shown, when the device chip 20 is mounted, the lower surface of the device chip 20 and the upper surface 110S1 of the base insulating layer 110 may be adhered by a separate adhesive layer.

이어서, 전도성 솔더 물질을 준비하고, 상기 전도성 솔더 물질에 열을 가하여, 상기 전도성 솔더 물질이 유동성을 가지도록 한다. 상기 유동성을 가지게 된 전도성 솔더 물질을 제1 및 제2 전극부(210, 220)와 접속 패드층(142a1, 142a2) 사이의 공간에 제공한다. 상기 공간을 채운 상기 전도성 솔더 물질이 응고하면서, 제1 및 제2 전극부(210, 220)와 접속 패드층(142a1, 142a2)을 접착시킨다. 이를 통해, 전도성 솔더 물질층(150a1, 150a2)을 형성시킬 수 있다.Subsequently, a conductive solder material is prepared, and heat is applied to the conductive solder material so that the conductive solder material has fluidity. The conductive solder material having the fluidity is provided in the space between the first and second electrode portions 210 and 220 and the connection pad layers 142a1 and 142a2. As the conductive solder material filling the space solidifies, the first and second electrode portions 210 and 220 and the connection pad layers 142a1 and 142a2 are adhered. Through this, conductive solder material layers 150a1 and 150a2 may be formed.

도 10을 참조하면, 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b) 상에서, 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)을 선택적으로 덮는 제1 및 제2 솔더 레지스트 패턴층(160a, 160b)을 형성한다. 제1 및 제2 솔더 레지스트 패턴층(160a, 160b)에 의해 노출되는 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)은 다른 소자 칩, 또는 다른 패키지와의 접속을 위한 패드로 기능할 수 있다. 상술한 공정을 통해 본 출원의 일 실시 예에 따르는 임베디드 인쇄회로기판을 제조할 수 있다. Referring to FIG. 10, first and second solder resist pattern layers 160a selectively covering the first and second outer circuit pattern layers 146a and 146b on the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b. , 160b). The first and second outer circuit pattern layers 146a and 146b exposed by the first and second solder resist pattern layers 160a and 160b can function as pads for connection with other device chips or other packages. have. Through the above-described process, an embedded printed circuit board according to an embodiment of the present application may be manufactured.

몇몇 다른 실시예들에 따르면, 도 7과 관련하여 상술한 제1 및 제2 비아(144a, 144b), 및 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)을 형성하는 공정은, 도 8과 관련하여 상술한 접속 패드층(142a1, 142a2)을 형성하는 공정 후에 진행될 수 있다. 즉, 도 8과 관련하여 상술한 접속 패드층(142a, 142a2)를 먼저 형성한 후에, 도 7과 관련하여 상술한 제1 및 제2 비아(144a, 144b), 및 제1 및 제2 외층 회로 패턴층(146a, 146b)을 형성할 수 있다. 이후에, 도 9 및 도 10과 관련하여 상술한 캐비티(1000) 내에 소자 칩(20)을 실장하고 제1 및 제2 솔더 레지스트 패턴층(160a, 160b)을 형성하는 공정이 후속하여 진행될 수 있다. According to some other embodiments, the process of forming the first and second vias 144a and 144b and the first and second outer circuit pattern layers 146a and 146b described above with reference to FIG. This may be performed after the process of forming the connection pad layers 142a1 and 142a2 described above. That is, after first forming the connection pad layers 142a and 142a2 described above with respect to FIG. 8, the first and second vias 144a and 144b described above with respect to FIG. 7, and the first and second outer layer circuits Pattern layers 146a and 146b may be formed. Thereafter, a process of mounting the device chip 20 in the cavity 1000 described above with respect to FIGS. 9 and 10 and forming the first and second solder resist pattern layers 160a and 160b may be subsequently performed. .

몇몇 다른 실시 예들에 따르면, 소자 칩은 제1 층간 절연층(132a) 내의 캐비티(1000)가 아닌 제2 층간 절연층(132b) 내의 캐비티 내에 실장될 수도 있다. 제2 층간 절연층(132b) 내의 캐비티를 형성하는 공정 및 상기 캐비티 내에 소자 칩을 실장시키는 공정은, 도 6 내지 도 10과 관련하여 상술한 제1 층간 절연층(132a) 내에 캐비티(1000)를 형성하는 공정 및 캐비티(1000)에 소자 칩을 실장하는 공정과 실질적으로 동일하다. 또한, 몇몇 다른 실시 예들에 따르면, 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)에 캐비티를 모두 형성하고, 상기 캐비티들에 소자 칩을 실장될 수도 있다. 이때, 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b) 내의 캐비티를 형성하고 상기 캐비티 내에 소자 칩을 실장시키는 공정은, 도 6 내지 도 10과 관련하여 상술한 제1 층간 절연층(132a) 내의 캐비티(1000)를 형성하고, 캐비티(1000) 내에 소자 칩을 실장하는 공정을 실질적으로 동일하게 적용할 수 있다.According to some other embodiments, the device chip may be mounted in a cavity in the second interlayer insulating layer 132b rather than the cavity 1000 in the first interlayer insulating layer 132a. The process of forming a cavity in the second interlayer insulating layer 132b and the process of mounting a device chip in the cavity include the cavity 1000 in the first interlayer insulating layer 132a described above with reference to FIGS. 6 to 10. It is substantially the same as the forming process and the mounting process of the device chip in the cavity 1000. Further, according to some other embodiments, cavities may be formed in both the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b, and device chips may be mounted in the cavities. At this time, the process of forming cavities in the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b and mounting the device chip in the cavity may be performed in the first interlayer insulating layer 132a described above with reference to FIGS. 6 to 10. The process of forming the cavity 1000 and mounting the device chip in the cavity 1000 may be substantially the same.

몇몇 다른 실시 예들에 있어서, 도 5와 관련하여 상술한 제1 및 제2 층간 적층 구조물(130a, 130b)를 형성하는 공정에서, 제조된 제1 및 제2 층간 적층 구조물(130a, 130b)은 제1 및 제2 구리 포일층(134a, 134b)을 제외한 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)으로만 구성될 수도 있다. 이에 따라, 해당 제조 과정에서 사용되는 제1 및 제2 중간 기판재(130a, 130b)는 각각 제1 및 제2 구리 포일층(134a, 134b)를 포함하지 않고, 제1 및 제2 층간 절연층(132a, 132b)으로만 이루어질 수도 있다. In some other embodiments, in the process of forming the first and second interlayered structures 130a and 130b described above with reference to FIG. 5, the manufactured first and second interlayered structures 130a and 130b are It may be formed of only the first and second interlayer insulating layers 132a and 132b excluding the first and second copper foil layers 134a and 134b. Accordingly, the first and second intermediate substrate materials 130a and 130b used in the manufacturing process do not include the first and second copper foil layers 134a and 134b, respectively, and the first and second interlayer insulating layers It may also consist of only (132a, 132b).

상술한 바와 같이 본 출원의 실시 형태들을 도면들을 예시하며 설명하지만, 이는 본 출원에서 제시하고자 하는 바를 설명하기 위한 것이며, 세밀하게 제시된 형상으로 본 출원에서 제시하고자 하는 바를 한정하고자 한 것은 아니다. 본 출원에서 제시한 기술적 사상이 반영되는 한 다양한 다른 변형예들이 가능할 것이다.As described above, embodiments of the present application are illustrated and described with the drawings, but this is for explaining what is to be presented in the present application, and is not intended to limit what is to be presented in the present application in a detailed shape. As long as the technical idea presented in the present application is reflected, various other modifications will be possible.

1: 임베디드 인쇄회로기판, 20: 소자칩,
110: 베이스 절연층, 110S1: 상면, 110S2: 하면,
120a, 120b: 제1 및 제2 내층 회로 패턴층,
132a, 132b: 제1 및 제2 층간 절연층,
142a1, 142a2: 접속 패드층,
144a, 144b: 비아,
146a, 146b: 제1 및 제2 외층 회로 패턴층,
210, 220: 제1 및 제2 전극부, 230: 기능부,
150a1, 150a2: 전도성 솔더 물질층,
160a, 160b: 제1 및 제2 솔더 레지스트 패턴층.
1000: 캐비티.
1: embedded printed circuit board, 20: device chip,
110: base insulating layer, 110S1: upper surface, 110S2: lower surface,
120a, 120b: first and second inner circuit pattern layers,
132a, 132b: first and second interlayer insulating layers,
142a1, 142a2: connection pad layer,
144a, 144b: via,
146a, 146b: first and second outer circuit pattern layers,
210, 220: first and second electrode portions, 230: functional portion,
150a1, 150a2: conductive solder material layer,
160a, 160b: first and second solder resist pattern layers.
1000: cavity.

Claims (15)

베이스 절연층;
상기 베이스 절연층의 상면 및 하면 상에 각각 배치되는 제1 및 제2 내층 회로 패턴층;
상기 베이스 절연층의 상기 상면 및 상기 하면 상에서, 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층을 각각 덮는 제1 및 제2 층간 절연층;
상기 제1 및 제2 층간 절연층 중 적어도 하나를 관통하여, 상기 베이스 절연층을 노출시키는 캐비티, 상기 캐비티는 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나의 측면을 노출시킴;
상기 캐비티 내에서 상기 측면이 노출된 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나와 접하고, 상기 캐비티의 측벽면 상에 배치되는 접속 패드층;
상기 캐비티 내부에 배치되고, 전도성 솔더 물질층을 통해, 상기 접속 패드층과 전기적으로 연결되는 소자 칩; 및
상기 캐비티 내부에서 상기 소자 칩과 상기 베이스 절연층 사이에 배치되는 접착층을 포함하고,
상기 소자 칩은 상기 캐비티의 측벽면에 배치되는 상기 접속 패드층과만 전기적으로 접속하는
임베디드 인쇄회로기판.
A base insulating layer;
First and second inner circuit pattern layers disposed on upper and lower surfaces of the base insulating layer, respectively;
First and second interlayer insulating layers covering the first and second inner circuit pattern layers, respectively, on the upper and lower surfaces of the base insulating layer;
A cavity through at least one of the first and second interlayer insulating layers to expose the base insulating layer, the cavity exposing at least one side surface of the first and second inner circuit pattern layers;
A connection pad layer disposed on a sidewall surface of the cavity and in contact with at least one of the first and second inner circuit pattern layers with the side surfaces exposed in the cavity;
A device chip disposed inside the cavity and electrically connected to the connection pad layer through a conductive solder material layer; And
Including an adhesive layer disposed between the device chip and the base insulating layer inside the cavity,
The device chip is electrically connected only to the connection pad layer disposed on the sidewall surface of the cavity.
Embedded printed circuit board.
제1 항에 있어서,
상기 접속 패드층은
상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나 및 상기 제1 및 제2 층간 절연층 중 적어도 하나와 직접 접하도록 배치되는
임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
The connection pad layer
Disposed to directly contact at least one of the first and second inner circuit pattern layers and at least one of the first and second interlayer insulating layers
Embedded printed circuit board.
제2 항에 있어서,
상기 접속 패드층은
상기 캐비티의 측벽면 상에서 서로 마주보는 한 쌍의 전도성 패턴으로 배치되는
임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 2,
The connection pad layer
Arranged in a pair of conductive patterns facing each other on the sidewall surface of the cavity
Embedded printed circuit board.
제1 항에 있어서,
상기 소자 칩은
서로 전기적으로 절연되는 제1 및 제2 전극부 및 상기 제1 및 제2 전극부 사이에 배치되는 기능부를 포함하는 수동 소자 칩인
임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
The device chip is
A passive element chip comprising first and second electrode units electrically insulated from each other and a functional unit disposed between the first and second electrode units
Embedded printed circuit board.
제4 항에 있어서,
상기 소자 칩은
상기 베이스 절연층의 상면 및 하면 중 적어도 하나 상에서 측면 방향으로 한 쌍의 접속 패드층과 마주보도록 배치되며,
상기 전도성 솔더 물질층은 상기 제1 전극부와 상기 한 쌍의 접속 패드층 중 어느 하나를 접착시키며, 또한, 상기 제2 전극부와 상기 한 쌍의 접속 패드층 중 나머지 하나를 접착시키는
임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 4,
The device chip is
It is disposed to face a pair of connection pad layers in a lateral direction on at least one of the upper and lower surfaces of the base insulating layer,
The conductive solder material layer adheres any one of the first electrode portion and the pair of connection pad layers, and also bonds the second electrode portion and the other one of the pair of connection pad layers.
Embedded printed circuit board.
제1 항에 있어서,
상기 접속 패드층의 높이는
상기 캐비티가 형성된 제1 및 제2 층간 절연층 중 적어도 하나의 높이와 실질적으로 동일한
임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
The height of the connection pad layer is
Substantially equal to the height of at least one of the first and second interlayer insulating layers in which the cavity is formed
Embedded printed circuit board.
제1 항에 있어서,
상기 전도성 솔더 물질층은
상기 베이스 절연층의 상기 상면 및 상기 하면 중 적어도 하나 상에서 상기 접속 패드층과 상기 소자 칩을 측면 방향으로 접합시키는
임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
The conductive solder material layer
Bonding the connection pad layer and the device chip in a lateral direction on at least one of the upper and lower surfaces of the base insulating layer
Embedded printed circuit board.
제1 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 층간 절연층 상에서 배치되는 제1 및 제2 외층 회로 패턴층;
상기 제1 및 제2 층간 절연층을 관통하여 배치되며, 대응하는 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층과 상기 제1 및 제2 외층 회로층을 전기적으로 연결하는 제1 및 제2 비아;
상기 제1 및 제2 층간 절연층 상에서 상기 제1 및 제2 외층 회로 패턴층을 선택적으로 덮는 제1 및 제2 솔더 레지스트 패턴층을 더 포함하는
임베디드 인쇄회로기판.
The method of claim 1,
First and second outer circuit pattern layers disposed on the first and second interlayer insulating layers;
First and second vias disposed through the first and second interlayer insulating layers and electrically connecting the corresponding first and second inner circuit pattern layers and the first and second outer circuit layers;
Further comprising first and second solder resist pattern layers selectively covering the first and second outer circuit pattern layers on the first and second interlayer insulating layers
Embedded printed circuit board.
베이스 절연층을 포함하는 베이스 기판을 준비하는 단계;
상기 베이스 절연층의 상면 및 하면 상에 제1 및 제2 내층 회로 패턴층을 각각 형성하는 단계;
상기 베이스 절연층의 상기 상면 및 하면 상에서 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층을 각각 덮는 제1 및 제2 층간 절연층을 형성하는 단계;
상기 제1 및 제2 층간 절연층 중 적어도 하나를 관통하여, 상기 베이스 절연층을 선택적으로 노출시키는 캐비티를 형성하되, 상기 캐비티가 상기 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나의 측면을 노출시키는 단계;
상기 캐비티 내에서 상기 측면이 노출된 제1 및 제2 내층 회로 패턴층 중 적어도 하나와 접하고, 상기 캐비티의 측벽면 상에 접속 패드층을 형성하는 단계;
상기 캐비티 내에 소자 칩을 배치하는 단계; 및
상기 소자 칩과 상기 접속 패드층을 전기적으로 접속시키는 전도성 솔더 물질층을 형성하는 단계를 포함하되,
상기 캐비티 내에 소자 칩을 배치하는 단계는 상기 캐비티 내부의 상기 베이스 절연층 상에 접착층을 형성하고, 상기 접착층에 의해 상기 소자 칩과 상기 베이스 절연층을 접착시키는 단계를 포함하고,
상기 소자 칩은 상기 캐비티의 측벽면에 배치되는 상기 접속 패드층과만 전기적으로 접속하도록 구성되는
임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법.
Preparing a base substrate including a base insulating layer;
Forming first and second inner circuit pattern layers on upper and lower surfaces of the base insulating layer, respectively;
Forming first and second interlayer insulating layers covering the first and second inner circuit pattern layers, respectively, on the upper and lower surfaces of the base insulating layer;
A cavity is formed to selectively expose the base insulating layer by penetrating at least one of the first and second interlayer insulating layers, wherein the cavity exposes at least one side surface of the first and second inner circuit pattern layers Letting go;
Forming a connection pad layer on the sidewall surface of the cavity and in contact with at least one of the first and second inner circuit pattern layers exposed at the side surfaces of the cavity;
Placing a device chip in the cavity; And
Including the step of forming a conductive solder material layer electrically connecting the device chip and the connection pad layer,
Arranging the device chip in the cavity includes forming an adhesive layer on the base insulating layer inside the cavity, and bonding the device chip and the base insulating layer by the adhesive layer,
The device chip is configured to electrically connect only with the connection pad layer disposed on the sidewall surface of the cavity.
Manufacturing method of embedded printed circuit board.
제9 항에 있어서,
상기 캐비티를 형성하는 단계는
상기 노출되는 제1 및 제2 내층 회로 패턴층이 상기 캐비티의 서로 마주보는 측벽부에 한 쌍으로 위치하도록 형성하는
임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법.
The method of claim 9,
The step of forming the cavity
Forming the exposed first and second inner circuit pattern layers to be positioned in a pair on sidewalls of the cavity facing each other
Manufacturing method of embedded printed circuit board.
제9 항에 있어서,
상기 접속 패드층을 형성하는 단계는
전해 도금 및 무전해 도금 중에서 선택되는 적어도 하나의 방법에 의해 수행되는
임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법.
The method of claim 9,
The step of forming the connection pad layer
Performed by at least one method selected from electrolytic plating and electroless plating
Manufacturing method of embedded printed circuit board.
제11 항에 있어서,
상기 접속 패드층을 형성하는 단계는
상기 캐비티의 측벽면을 따라 구리 패턴층을 형성하는 단계를 포함하는
임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법.
The method of claim 11,
The step of forming the connection pad layer
Including the step of forming a copper pattern layer along the sidewall surface of the cavity
Manufacturing method of embedded printed circuit board.
제9 항에 있어서,
상기 접속 패드층을 형성하는 단계는
상기 캐비티의 측벽면 상에서 서로 마주보는 한 쌍의 전도성 패턴을 형성하는 단계를 포함하는
임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법.
The method of claim 9,
The step of forming the connection pad layer
Comprising the step of forming a pair of conductive patterns facing each other on the sidewall surface of the cavity
Manufacturing method of embedded printed circuit board.
제9 항에 있어서,
상기 캐비티 내에 소자 칩을 배치하는 단계는
서로 전기적으로 절연되는 제1 및 제2 전극층 및 상기 제1 및 제2 전극층 사이에 배치되는 기능층을 포함하는 수동 소자 칩을 준비하는 단계; 및
상기 수동 소자 칩을 상기 접속 패드층과 측면 방향으로 이격하여 배치하는 단계를 포함하는
임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법.
The method of claim 9,
Arranging the device chip in the cavity
Preparing a passive element chip including first and second electrode layers electrically insulated from each other and a functional layer disposed between the first and second electrode layers; And
And disposing the passive device chip to be spaced apart from the connection pad layer in a lateral direction.
Manufacturing method of embedded printed circuit board.
제14 항에 있어서,
상기 전도성 솔더 물질층을 형성하는 단계는
전도성 솔더 물질을 준비하는 단계;
상기 전도성 솔더 물질에 열을 가하여 유동성을 가지도록 한 후에, 상기 전도성 솔더 물질을 상기 수동 소자 칩과 상기 접속 패드층 사이의 공간에 제공하는 단계; 및
상기 전도성 솔더 물질을 응고시켜, 상기 수동 소자 칩과 상기 접속 패드층을 접착시키는 단계를 포함하는
임베디드 인쇄회로기판의 제조 방법.
The method of claim 14,
Forming the conductive solder material layer
Preparing a conductive solder material;
Applying heat to the conductive solder material to have fluidity, and then providing the conductive solder material in the space between the passive element chip and the connection pad layer; And
Solidifying the conductive solder material to adhere the passive component chip and the connection pad layer
Manufacturing method of embedded printed circuit board.
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