KR102191989B1 - 기상 증착 장치 - Google Patents

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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 기상 증착 장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 기상 증착 장치는, 기판이 이동하면서 증착 공정이 진행되는 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 상기 기판 방향으로 하나 이상의 원료 기체를 주입하는 공급부, 상기 공급부의 양측면에서 상기 기판의 이동방향과 나란한 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 기판 상으로 불순물이 낙하하는 것을 방지하는 커버 플레이트 및 상기 기판, 상기 공급부 및 상기 커버 플레이트를 내부에 배치하도록 형성된 챔버를 포함할 수 있다. 이에 의해, 증착 공정 중에 기판상으로 파티클 등의 불순물이 낙하하는 것을 방지하여 기상 증착 장치의 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

기상 증착 장치{Vapor deposition apparatus}
본 발명은 기상 증착 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증착 공정 중에 불순물의 낙하에 의해 기판의 오염을 방지할 수 있는 기상 증착 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 표시 장치 및 기타 전자 소자 등은 복수의 박막을 구비한다. 이러한 복수의 박막을 형성하는 방법은 다양한데 그 중 기상 증착 방법이 하나의 방법이다.
기상 증착 방법은 박막을 형성할 원료로서 하나 이상의 기체를 사용한다. 이러한 기상 증착 방법은 화학적 기상 증착(CVD: chemical vapor deposition), 원자층 증착(ALD: atomic layer deposition) 기타 다양한 방법이 있다.
이중, 원자층 증착 방법은 하나의 원료 물질을 주입후, 퍼지/펌핑 후 단일 분자층 또는 그 이상의 층을 기판에 흡착한 후, 또 다른 원료 물질을 주입후 퍼지/펌핑하여 최종적으로 원하는 단일의 원자층 또는 다층의 원자층을 형성하게 된다.
한편, 표시 장치들 중, 유기 발광 표시 장치는 시야각이 넓고 컨트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다. 유기 발광 표시 장치는 서로 대향된 제1 전극 및 제2 전극 사이에 유기 발광층을 구비하는 중간층을 포함하고, 그 외에 하나 이상의 다양한 박막을 구비한다. 이때 유기 발광 표시 장치의 박막을 형성하기 위하여 증착 공정을 이용하기도 한다.
그러나, 유기 발광 표시 장치가 대형화되고 고해상도를 요구함에 따라 대면적의 박막을 원하는 특성으로 증착 하기가 용이하지 않다. 특히, 증착 공정 중 파티클 등의 분술물이 박막이 증착되는 기판 상으로 낙하하는 것에 의해 기판의 오염을 초래할 수 있다.
본 발명의 목적은, 증착 공정 중에 불순물의 낙하에 의해 기판의 오염을 방지할 수 있는 기상 증착 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 기상 증착 장치는, 기판이 이동하면서 증착 공정이 진행되는 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 상기 기판 방향으로 하나 이상의 원료 기체를 주입하는 공급부, 상기 공급부의 양측면에서 상기 기판의 이동방향과 나란한 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 기판 상으로 불순물이 낙하하는 것을 방지하는 커버 플레이트 및 상기 기판, 상기 공급부 및 상기 커버 플레이트를 내부에 배치하도록 형성된 챔버를 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 커버 플레이트 및 상기 공급부의 면적이 상기 기판의 이동 면적보다 클 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 기판이 이동하도록 배치된 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 기판은 스테이지에 배치되고, 상기 구동부는 상기 스테이지에 연결되어 상기 스테이지를 이동시킬 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 구동부는 가이드 레일을 따라 왕복 운동하도록 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 공급부는 지면을 향하는 방향으로 상기 원료 기체를 주입할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 공급부는 제1 원료 물질을 주입하는 제1 주입부, 제2 원료 물질을 주입하는 제2 주입부 및 배기부를 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제1 주입부는 상기 제1 원료 물질을 주입하면서 동시에 플라즈마를 생성하여 상기 제1 원료 물질을 라디칼 형태로 상기 기판에 주입할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 커버 플레이트는 복수의 홀을 구비할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 커버 플레이트는 상기 복수의 홀을 통해 불활성 가스를 분사할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 복수의 슬릿은 지면을 향하도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 기상 증착 장치는, 기판이 이동하면서 증착 공정이 진행되는 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 상기 기판 방향으로 하나 이상의 원료 기체를 주입하는 공급부 및 상기 공급부의 양측면에서 상기 기판의 이동방향과 나란한 방향으로 연장되어 형성된 커버 플레이트를 포함하고, 상기 커버 플레이트는, 상기 공급부가 상기 원료 기체를 주입하는 방향과 동일한 방향으로 불활성 가스를 분사할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 커버 플레이트는 상기 불활성 가스를 분사하기 위한 복수의 홀을 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 커버 플레이트는 상기 기판 상으로 불순물이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 기판, 상기 공급부 및 상기 커버 플레이트를 내부에 배치하도록 형성된 챔버를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 공급부 및 상기 커버 플레이트의 면적이 상기 기판의 이동 면적보다 클 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 기판은 왕복 운동할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 기판이 이동하도록 배치된 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 구동부는 가이드 레일을 따라 왕복 운동하도록 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 공급부는 제1 원료 물질을 주입하는 제1 주입부, 제2 원료 물질을 주입하는 제2 주입부 및 배기부를 구비할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 증착 공정 중에 기판 상으로 파티클 등의 불순물이 낙하하는 것을 방지하여 기상 증착 장치의 수율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과는 상술한 내용 이외에도, 도면을 참조하여 이하에서 설명할 내용으로부터도 도출될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기상 증착 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 절취한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기상 증착 장치를 개략적으로 도시한 사이도이다.
도 4는 본 발명의 기상 증착 장치를 이용하여 제조된 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 도 4의 F의 확대도이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 보다 상세하게 설명한다.
이하의 도면에서, 각 구성요소는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. 또한, 각 구성요소의 설명에 있어서, "상(on)"에 또는 "하(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "하(under)"는 직접 또는 다른 구성요소를 개재하여 형성되는 것을 모두 포함하며, "상(on)" 및 "하(under)"에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 또한, 동일한 구성요소에 대하여서는 비록 다른 도면에 도시되어 있다 하더라도 동일한 식별부호를 사용한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기상 증착 장치를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 절취한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기상 증착 장치(100)는 챔버(101), 공급부(110), 커버 플레이트(150), 구동부(130) 및 스테이지(120)를 포함할 수 있다.
챔버(101)는 증착 공정의 압력 분위기를 제어하도록 펌프(미도시)에 연결될 수 있고, 기판(30), 공급부(110) 및 커버 플레이트(150) 등 기타 부재를 모두 수용하여 이들을 보호한다. 또한 도시하지 않았으나 챔버(101)는 기판(30)의 출입을 위한 하나 이상의 출입구를 구비한다.
공급부(110)는 기판(30)에 대하여 증착 공정을 진행할 수 있도록 하나 이상의 기체를 기판(30)방향으로 공급한다. 공급부(110)는 다양한 형태를 가질 수 있다. 일 예로, 도 2에 도시된 바와 같이, 공급부(110)는 제1 주입부(111), 제2 주입부(112) 및 배기부(113)를 구비할 수 있다. 제1 주입부(111)는 제1 원료 물질을 주입하고 제2 주입부(112)는 제2 원료 물질을 주입할 수 있다.
공급부(110)를 통한 공정의 예를 간략하게 설명하면 다음과 같다. 기판(30)이 제1 주입부(111)에 대응되도록 이동하여 제1 주입부(111)로부터 주입된 제1 원료 물질을 함유하는 층이 기판(30)상에 형성되고, 순차적으로 기판(30)이 제2 주입부(112)에 대응되는 영역으로 이동하여 제2 주입부(112)로부터 주입된 제2 원료 물질을 함유하는 층이 전술한 제1 원료 물질을 함유하는 층과 반응하여 제1 원료 물질 및 제2 원료 물질을 함유하는 층이 기판(30)상에 형성된다. 이때, 증착 공정 중 잔존하는 부산물 및 여분의 기체는 배기부(113)로 배기된다. 또한 도시하지 않았으나 제1 주입부(111)는 제1 원료 물질을 주입 시 플라즈마를 발생하여 제1 원료 물질을 라디칼 형태로 변환하여 기판(30)으로 주입할 수도 있다.
기판(30)은 화살표 방향, 즉 도 1의 M1, M2 방향으로 왕복 운동이 가능하도록 배치된다. 다만, 본 발명은 이에 한하지 않으며, 기판(30)은 M1 방향 또는 M2 방향으로만 이동할 수도 있다.
기판(30)은 스테이지(120)에 배치되며, 기판(30)이 스테이지(120) 상에 배치되면, 특정한 패턴의 박막을 형성하기 위해 마스크(미도시)가 기판(30) 상에 더 배치될 수 있다. 스테이지(120)는 기판(30)을 안정적으로 배치하도록 클램프(미도시)와 같은 고정 부재(미도시)를 더 포함할 수도 있다.
기판(30)은 공급부(110)의 하부에 배치되므로 공급부(110)에서는 기판(30)방향, 즉 지면을 향하는 방향으로 하나 이상의 기체를 주입한다.
구동부(130)는 스테이지(120)의 하부에 스테이지(120)와 연결되도록 배치된다. 구동부(130)를 통하여 기판(30)이 배치된 스테이지(120)가 이동한다. 예를 들어, 구동부(130)가 도 1의 M1 및 M2 방향으로 왕복 운동하여 결과적으로 기판(30)이 왕복운동 할 수 있다.
구동부(130)는 가이드 레일(140)을 따라서 운동한다. 보다 구체적으로, 구동부(130)는 지지 부재(미도시)에 의해 가이드 레일(140)과 연결될 수 있다. 이를 통하여 구동부(130)는 수평 상태를 용이하게 유지할 수 있고 떨림이나 흔들림이 방지된다. 결과적으로 기판(30)이 증착 공정 중 균일한 왕복운동을 할 수 있고 증착막 특성이 균일하게 확보될 수 있다.
한편, 도면에 도시하지는 않았으나, 기상 증착 장치(100)는 정렬부재(Aligner, 미도시)를 더 포함할 수 있다. 정렬부재(미도시)는 예를 들어, 마스크(미도시)를 지지하면서 X축 방향 및 Y축 방향으로 운동하여 마스크(미도시)를 기판(S)에 대하여 정렬시킬 수 있다. 이를 위해, 정렬부재(미도시)는 X축 방향 및 Y축 방향으로 운동할 수 있도록 구동부(미도시)를 포함할 수 있다.
한편, 챔버(101) 내의 압력을 조절하기 위해 펌프(미도시)를 작동하거나, 구동부(130)에 의한 기판(30)의 운동, 또는 정렬부재(미도시)의 운동에 의해 챔버(101) 내에는 기류가 발생할 수 있다. 이때, 배기부(113)에 의해 배기되지 않은 증착 공정 중 잔존하는 부산물 및 여분의 기체 중 일부는 기류에 의해 챔버(101) 내를 이동할 수 있고, 기판(30) 상으로 낙하하여 기판(30)의 오염을 초래할 수 있다.
커버 플레이트(150)는 공급부(110)의 양측면에서 기판(30)의 이동방향(M1, M2)과 나란한 방향으로 연장되어 형성됨으로써, 기판(30) 상으로 파티클 등의 불순물이 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
이를 위해, 커버 플레이트(150) 및 공급부(110)의 면적이 기판(30)의 이동 면적보다 크게 형성될 수 있다. 일 예로, 기판(30)은 왕복 운동할 수 있으므로, 커버 플레이트(150)와 공급부(110)가 형성하는 면적이 기판(30)이 왕복 운동하는 면적보다 크게 형성될 수 있다. 이에 의해, 공정 진행 중에 기판(30)의 이동 등에 의해 기류가 발생하여 챔버(101) 내에 파티클 등이 기류에 의해 이동하더라도, 기판(30) 상으로 파티클 등의 불순물이 낙하하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 따라서, 기상 증착 장치의 수율을 향상시킬 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기상 증착 장치를 개략적으로 도시한 사이도이다. 설명의 편의상 도 3은 도 2와 같이 도 1의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 절취한 단면도를 도시한다.
도 3을 참조하면, 기상 증착 장치(200)는 챔버(201), 공급부(210), 커버 플레이트(250), 구동부(미도시) 및 스테이지(220)를 포함할 수 있다. 챔버(201), 공급부(210), 구동부(미도시) 및 스테이지(220)는 도 1 및 도 2에서 도시하고 설명한 챔버(101), 공급부(110), 구동부(130) 및 스테이지(120)와 동일하므로 반복하여 설명하지 않는다.
커버 플레이트(250)는 공급부(210)의 양측면에서 기판(30)의 이동방향(M1, M2)과 나란한 방향으로 연장되어 형성됨으로써, 기판(30) 상으로 파티클 등의 불순물이 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 이를 위해 공급부(210) 및 커버 플레이트(250)의 면적이 기판(30)의 이동 면적보다 클 수 있다.
또한, 커버 플레이트(250)는 복수의 홀(252)을 구비할 할 수 있으며, 복수의 홀(252)을 통해 불활성 가스(G)를 분사할 수 있다. 보다 구체적으로, 커버 플레이트(250)의 일단은 외부의 가스 공급 라인과 연결되어 불활성 가스(G)를 공급받고, 공급된 상기 불활성 가스(G)를 복수의 홀(252)을 통해 분사할 수 있다.
복수의 홀(252)은 지면을 향하도록 형성되어, 기판(30) 방향을 향하도록 불활성 가스(G)를 분사한다. 즉, 커버 플레이트(250)는 공급부(210)가 원료 기체를 주입하는 방향과 동일한 방향으로 불활성 가스(G)를 분사한다. 이에 의해, 파티클 등의 불순물이 기판(30) 상으로 낙하하는 것을 더욱 효과적으로 방지할 수 있다.
이를 보다 구체적으로 설명하면, 도 1 및 도 2에서 상술한 바와 같이 공급부(210)는 기판(30) 방향으로 원료 기체를 주입하며, 기판(30)은 공급부(210) 하부에서 이동할 수 있다. 예를 들어, 기판(30)이 제1 주입부(211)에 대응되도록 이동하여 제1 주입부(211)로부터 주입된 제1 원료 물질을 함유하는 층이 기판(30)상에 형성되고, 순차적으로 기판(30)이 제2 주입부(212)에 대응되는 영역으로 이동하여 제2 주입부(212)로부터 주입된 제2 원료 물질을 함유하는 층이 전술한 제1 원료 물질을 함유하는 층과 반응하여 제1 원료 물질 및 제2 원료 물질을 함유하는 층이 기판(30)상에 형성된다. 이때, 증착 공정 중 잔존하는 부산물 및 여분의 기체는 배기부(213)로 배기된다.
이때, 기판(30)의 이동으로 인하여 기판(30)이 공급부(210)의 제1 주입부(211) 또는 제2 주입부(212)에서 벗어나는 경우는 공급부(210) 하부의 압력이 급격히 변화할 수 있고, 이에 의해 챔버(201) 내의 기류가 공급부(210)를 향하여 발생될 수 있다.
따라서, 챔버(201) 내의 파티클 등의 불순물이 기류를 따라 상승한 후, 기판(30) 상으로 낙하할 수 있는데, 커버 플레이트(250)의 복수의 홀(252)을 통해 불활성 가스(G)를 분사함으로써, 하부 방향으로 강제적인 기류를 형성하여 상기와 같은 문제를 방지할 수 있다.
도 4는 본 발명의 기상 증착 장치를 이용하여 제조된 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 5는 도 4의 F의 확대도이다.
구체적으로 도 4 및 도 5은 전술한 기상 증착 장치(100, 200)를 이용하여 제조된 유기 발광 표시 장치를 도시한다.
유기 발광 표시 장치(10:organic light emitting display apparatus)는 기판(30) 상에 형성된다. 기판(30)은 글래스재, 플라스틱재, 또는 금속재로 형성될 수 있다.
기판(30)상에는 기판(30)상부에 평탄면을 제공하고, 기판(30)방향으로 수분 및 이물이 침투하는 것을 방지하도록 절연물을 함유하는 버퍼층(31)이 형성되어 있다.
버퍼층(31)상에는 박막 트랜지스터(40(TFT: thin film transistor))와, 캐패시터(50)와, 유기 발광 소자(60:organic light emitting device)가 형성된다. 박막 트랜지스터(40)는 크게 활성층(41), 게이트 전극(42), 소스/드레인 전극(43)을 포함한다. 유기 발광 소자(60)는 제1 전극(61), 제2 전극(62) 및 중간층(63)을 포함한다. 캐패시터(50)는 제1 캐패시터 전극(51) 및 제2 캐패시터 전극(52)을 구비한다.
구체적으로 버퍼층(31)의 윗면에는 소정 패턴으로 형성된 활성층(41)이 배치된다. 활성층(41)은 실리콘과 같은 무기 반도체 물질, 유기 반도체 물질 또는 산화물 반도체 물질을 함유할 수 있고, p형 또는 n형의 도펀트를 주입하여 형성될 수 있다.
활성층(41)상부에는 게이트 절연막(32)이 형성된다. 게이트 절연막(32)의 상부에는 활성층(41)과 대응되도록 게이트 전극(42)이 형성된다. 게이트 절연막(32)의 상부에는 제1 캐패시터 전극(51)이 형성될 수 있고, 게이트 전극(42)과 동일한 재질로 형성될 수 있다.
게이트 전극(42)을 덮도록 층간 절연막(33)이 형성되고, 층간 절연막(33) 상에 소스/드레인 전극(43)이 형성되는 데, 활성층(41)의 소정의 영역과 접촉되도록 형성된다. 절연막(33) 상에는 제2 캐패시터 전극(52)이 형성될 수 있고, 소스/드레인 전극(43)과 동일한 재질로 형성될 수 있다.
소스/드레인 전극(43)을 덮도록 패시베이션층(34)이 형성되고, 패시베이션층(34)상부에는 박막트랜지스터(40)의 평탄화를 위하여 별도의 절연막을 더 형성할 수도 있다.
패시베이션층(34)상에 제1 전극(61)을 형성한다. 제1 전극(61)은 소스/드레인 전극(43)중 어느 하나와 전기적으로 연결되도록 형성한다. 그리고, 제1 전극(61)을 덮도록 화소정의막(35)이 형성된다. 이 화소정의막(35)에 소정의 개구(64)를 형성한 후, 이 개구(64)로 한정된 영역 내에 유기 발광층을 구비하는 중간층(63)을 형성한다. 중간층(63)상에 제 2 전극(62)을 형성한다.
제2 전극(62)상에 봉지층(70)을 형성한다. 봉지층(70)은 유기물 또는 무기물을 함유할 수 있고, 유기물과 무기물을 교대로 적층한 구조일 수 있다.
봉지층(70)은 전술한 기상 증착 장치(100, 200)를 이용하여 형성할 수 있다. 즉 제2 전극(62)이 형성된 기판(30)을 챔버내에서 이동하면서 기상 증착 장치(100, 200)를 이용하여 원하는 층을 형성할 수 있다.
특히, 봉지층(70)은 무기층(71) 및 유기층(72)을 구비하고, 무기층(71)은 복수의 층(71a, 71b, 71c)을 구비하고, 유기층(72)은 복수의 층 (72a, 72b, 72c)을 구비한다. 이 때 기상 증착 장치(100, 200)를 이용하여 무기층(71)의 복수의 층(71a, 71b, 71c)을 형성할 수 있다.
그러나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 즉 유기 발광 표시 장치(10)의 버퍼층(31), 게이트 절연막(32), 층간 절연막(33), 패시베이션층(34) 및 화소 정의막(35) 등 기타 절연막을 본 발명의 기상 증착 장치(100, 200)로 형성할 수도 있다.
또한 활성층(41), 게이트 전극(42), 소스/드레인 전극(43), 제1 전극(61), 중간층(63) 및 제2 전극(62)등 기타 다양한 박막을 본 발명의 기상 증착 장치(100, 200)로 형성하는 것도 물론 가능하다.
전술한 것과 같이 본 실시예의 기상 증착 장치(100, 200)를 이용할 경우 유기 발광 표시 장치(10)에 형성되는 증착막 특성을 향상하여 결과적으로 유기 발광 표시 장치(10)의 전기적 특성 및 화질 특성을 향상할 수 있다.
또한, 본 실시예의 기상 증착 장치(100, 200)를 이용하여 유기 발광 표시 장치(10)외에 액정 표시 장치에 구비된 박막 또는 기타 다양한 표시 장치에 구비된 박막을 형성할 수 있다. 물론, 본 발명은 이에 한정되지 않고 다양한 용도의 박막을 기상 증착 장치(100, 200)를 이용하여 형성할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.
30: 기판
100, 200: 기상 증착 장치
101, 201: 챔버
110, 210: 공급부
111, 211: 제1 주입부
112, 212: 제2 주입부
113, 213: 배기부
120, 220: 스테이지
130: 구동부
140: 가이드 레일
150, 250: 커버 플레이트
252: 홀

Claims (20)

  1. 기판이 이동하면서 증착 공정이 진행되는 기상 증착 장치에 관한 것으로서,
    상기 기판 방향으로 하나 이상의 원료 기체를 주입하는 공급부;
    상기 공급부의 양측면에서 상기 기판의 이동방향과 나란한 방향으로 연장되어 형성되고, 상기 기판 상으로 불순물이 낙하하는 것을 방지하는 커버 플레이트; 및
    상기 기판, 상기 공급부 및 상기 커버 플레이트를 내부에 배치하도록 형성된 챔버;를 포함하고,
    상기 커버 플레이트 및 상기 공급부의 면적이 상기 기판의 이동 면적보다 큰 기상 증착 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판이 이동하도록 배치된 구동부를 더 포함하는 기상 증착 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판은 스테이지에 배치되고,
    상기 구동부는 상기 스테이지에 연결되어 상기 스테이지를 이동시키는 기상 증착 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 구동부는 가이드 레일을 따라 왕복 운동하도록 배치된 기상 증착 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 공급부는 지면을 향하는 방향으로 상기 원료 기체를 주입하는 기상 증착 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 공급부는 제1 원료 물질을 주입하는 제1 주입부, 제2 원료 물질을 주입하는 제2 주입부 및 배기부를 구비하는 기상 증착 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 주입부는 상기 제1 원료 물질을 주입하면서 동시에 플라즈마를 생성하여 상기 제1 원료 물질을 라디칼 형태로 상기 기판에 주입하는 기상 증착 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는 복수의 홀을 구비하는 기상 증착 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는 상기 복수의 홀을 통해 불활성 가스를 분사하는 기상 증착 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 홀은 지면을 향하도록 형성된 기상 증착 장치.
  12. 기판이 이동하면서 증착 공정이 진행되는 기상 증착 장치에 관한 것으로서,
    상기 기판 방향으로 하나 이상의 원료 기체를 주입하는 공급부; 및
    상기 공급부의 양측면에서 상기 기판의 이동방향과 나란한 방향으로 연장되어 형성된 커버 플레이트;를 포함하고,
    상기 커버 플레이트는, 상기 공급부가 상기 원료 기체를 주입하는 방향과 동일한 방향으로 불활성 가스를 분사하고,
    상기 공급부 및 상기 커버 플레이트의 면적이 상기 기판의 이동 면적보다 큰 기상 증착 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는 상기 불활성 가스를 분사하기 위한 복수의 홀을 포함하는 기상 증착 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는 상기 기판 상으로 불순물이 낙하하는 것을 방지하는 기상 증착 장치.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 기판, 상기 공급부 및 상기 커버 플레이트를 내부에 배치하도록 형성된 챔버를 더 포함하는 기상 증착 장치.
  16. 삭제
  17. 제12항에 있어서,
    상기 기판은 왕복 운동하는 기상 증착 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 기판이 이동하도록 배치된 구동부를 더 포함하는 기상 증착 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 구동부는 가이드 레일을 따라 왕복 운동하도록 배치된 기상 증착 장치.
  20. 제12항에 있어서,
    상기 공급부는 제1 원료 물질을 주입하는 제1 주입부, 제2 원료 물질을 주입하는 제2 주입부 및 배기부를 구비하는 기상 증착 장치.
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