KR102190893B1 - Heat drying device to prevent the ingress of external particles through positive pressure - Google Patents

Heat drying device to prevent the ingress of external particles through positive pressure Download PDF

Info

Publication number
KR102190893B1
KR102190893B1 KR1020200033559A KR20200033559A KR102190893B1 KR 102190893 B1 KR102190893 B1 KR 102190893B1 KR 1020200033559 A KR1020200033559 A KR 1020200033559A KR 20200033559 A KR20200033559 A KR 20200033559A KR 102190893 B1 KR102190893 B1 KR 102190893B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
air
unit
heating
drying
drying space
Prior art date
Application number
KR1020200033559A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
윤석봉
Original Assignee
윤석봉
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤석봉 filed Critical 윤석봉
Priority to KR1020200033559A priority Critical patent/KR102190893B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102190893B1 publication Critical patent/KR102190893B1/en

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/02—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air
    • F26B3/04—Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by convection, i.e. heat being conveyed from a heat source to the materials or objects to be dried by a gas or vapour, e.g. air the gas or vapour circulating over or surrounding the materials or objects to be dried
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/003—Supply-air or gas filters
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/02—Circulating air or gases in closed cycles, e.g. wholly within the drying enclosure
    • F26B21/04—Circulating air or gases in closed cycles, e.g. wholly within the drying enclosure partly outside the drying enclosure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B23/00—Heating arrangements
    • F26B23/04—Heating arrangements using electric heating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B25/00—Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
    • F26B25/06—Chambers, containers, or receptacles
    • F26B25/08—Parts thereof
    • F26B25/12—Walls or sides; Doors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B25/00—Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
    • F26B25/06—Chambers, containers, or receptacles
    • F26B25/14—Chambers, containers, receptacles of simple construction
    • F26B25/16—Chambers, containers, receptacles of simple construction mainly closed, e.g. drum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
    • F26B5/14—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by applying pressure, e.g. wringing; by brushing; by wiping
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like

Abstract

The present invention relates to a heating and drying device that prevents the inflow of external particles through positive pressure, and more specifically, to a heating and drying device that prevents the inflow of external particles through positive pressure, wherein the inside is maintained in a positive pressure state by the pressure of introduced air to prevent the inflow of dust from the outside, and particles of the introduced air and internal air are removed and the internal air is heated to dry a semiconductor.

Description

양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치{Heat drying device to prevent the ingress of external particles through positive pressure}Heat drying device to prevent the ingress of external particles through positive pressure

본 발명은 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 유입되는 공기의 압력에 의해 내부가 양압상태를 유지하여 외부의 먼지가 유입되는 것을 방지하고, 유입된 공기와 내부공기의 파티클을 제거하고 내부공기를 가열하여 반도체를 건조할 수 있는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heating drying device that prevents the inflow of external particles through positive pressure, and more particularly, to prevent the inflow of external dust by maintaining a positive internal pressure state by the pressure of the incoming air, and The present invention relates to a heating and drying apparatus that removes particles of the air and internal air and prevents the inflow of external particles through positive pressure capable of drying the semiconductor by heating the internal air.

일반적으로, 반도체 장치는 다수의 반복적인 공정들을 수행하여 제조된다.In general, semiconductor devices are manufactured by performing a number of repetitive processes.

이러한 공정들 중 세정공정은 표면에 부착된 이물질 및 불필요한 막을 제거하는 공정으로, 최근 웨이퍼 상에 형성되는 패턴이 미세화되고, 패턴의 대조비(aspect ratio)가 커짐에 따라 점차 중요도가 높아지고 있다.Among these processes, the cleaning process is a process of removing foreign substances and unnecessary films adhering to the surface. Recently, as patterns formed on wafers are finer and the aspect ratio of the patterns increases, the importance is gradually increasing.

또한, 건조공정은 세정공정을 통해 기판의 표면에 잔존하는 수분을 건조하는 공정으로, 건조 공정 후 기판의 표면에 잔존하는 파티클을 감소시키기 위한 후속공정으로 중요한 공정로 부각되고 있다.In addition, the drying process is a process of drying moisture remaining on the surface of the substrate through a cleaning process, and is emerging as an important process as a subsequent process for reducing particles remaining on the surface of the substrate after the drying process.

이러한 건조공정을 위해 건조장치가 별도로 제작, 개발되고 있으며, 종래기술로 "기판건조장치"가 제시된 바 있다.A drying device is separately manufactured and developed for this drying process, and a "substrate drying device" has been proposed as a conventional technique.

종래기술은 초임계 상태의 압력과 온도 조건을 만족시키는 초임계상태의 유체를 신속하게 생성함으로써 기판의 건조 시간을 단축하고 건조 성능향상 시킨다.The prior art shortens the drying time of the substrate and improves drying performance by rapidly generating a fluid in a supercritical state that satisfies the pressure and temperature conditions in the supercritical state.

하지만, 종래기술은 초임계 상태를 유지하는 이산화탄소를 공급하여 건조가 이루어지나, 건조시 내부의 파티클을 제거하기 않고 있어 건조 중 이물질이 흡착되는 문제가 있다.However, in the prior art, drying is performed by supplying carbon dioxide that maintains a supercritical state, but there is a problem in that foreign substances are adsorbed during drying since internal particles are not removed during drying.

따라서 초임계 상태의 이산화탄소 공급 전 건조실 내부의 파티클을 별도로 제거해야 하는 공정이 추가되어 비용 및 시간이 증가하는 문제점이 있다.Therefore, there is a problem in that cost and time increase due to the addition of a process in which particles in the drying chamber must be separately removed before supplying carbon dioxide in a supercritical state.

한국공개특허 제10-2018-0116803호(2018.10.26.)Korean Patent Publication No. 10-2018-0116803 (2018.10.26.)

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 외부에서 유입되는 공기와 내부공기를 순환시켜 이물질을 제거하고 가열된 공기를 통해 파티클이 일정량 이하의 가열공기를 통해 건조가 이루어지는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치를 제공하는 데 있다.The present invention has been conceived to solve the above problems, and an object of the present invention is to circulate air introduced from the outside and internal air to remove foreign substances, and particles through heated air of a certain amount or less through heated air. It is to provide a heating drying device that prevents the inflow of external particles through positive pressure at which drying is performed.

본 발명의 또 다른 목적은, 외부공기를 유입시켜 내부가 외부보다 높은 압력을 가지는 공기를 순환시켜 내부에서 발생되는 양압상태를 통해 임의의 외부공기가 유입되는 것을 방지하는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치를 제고하는 데 있다.Another object of the present invention is to introduce external particles through positive pressure that prevents any external air from entering through a positive pressure state generated inside by circulating air having a higher pressure inside by introducing outside air. It is to improve the heating and drying device to prevent.

본 발명의 또 다른 목적은, 순환되는 공기의 속도를 제어하여 가열이 용이하게 이루어지는 것을 특징으로 하는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치.Another object of the present invention is a heating and drying apparatus that prevents the inflow of external particles through positive pressure, characterized in that heating is facilitated by controlling the speed of circulated air.

본 발명의 또 다른 목적은 공기의 파티클 제거 및 가열되는 초기 작동시간에 진동을 통해 건조가 이루어지는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a heating and drying apparatus that prevents the inflow of external particles through positive pressure, which is dried through vibration during the initial operation time when air particles are removed and heated.

본 발명의 또 다른 목적은 가열되는 공기의 온도를 조절할 수 있는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a heating drying apparatus that prevents the inflow of external particles through positive pressure capable of controlling the temperature of heated air.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 도어를 통해 개방되는 건조공간이 형성된 본체; 상기 본체의 측면에 결합되며, 외부 공기를 상기 건조공간으로 공급하며, 공급되는 공기의 이물질을 제거하는 제1헤파필터가 구비된 공급부; 상기 공급부에서 유입된 외부공기와, 상기 건조공간의 내부공기를 상기 건조공간의 외벽을 따라 순환하여 이물질을 제거하여 상기 건조공간으로 공급하는 순환부; 상기 순환부에 형성되어 상기 건조공간의 공기를 흡입하는 흡입부; 상기 순환부에 형성되어 상기 흡입부에 의해 흡입된 공기를 가열하는 가열부로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the object as described above is a body formed with a drying space that is opened through a door; A supply unit coupled to a side surface of the main body and provided with a first HEPA filter that supplies external air to the drying space and removes foreign substances from the supplied air; A circulation unit configured to circulate the external air introduced from the supply unit and the internal air of the drying space along the outer wall of the drying space to remove foreign substances and supply them to the drying space; A suction part formed in the circulation part to suck air in the drying space; And a heating unit formed in the circulation unit to heat the air sucked by the suction unit.

상기 본체의 상면에 결합되어 상기 건조공간의 내부공기를 배출하는 배출부가 더 포함되는 것이 바람직하다.It is preferable that a discharge unit that is coupled to the upper surface of the main body and discharges the internal air of the drying space is further included.

상기 본체의 내측면에 설치되어 상기 순환부를 통해 순환되는 공기의 열기가 외부로 전달되는 것을 방지하는 단열부가 더 포함되는 것이 바람직하다.It is preferable that the heat insulating portion is installed on the inner surface of the main body to prevent the heat of air circulated through the circulation portion from being transmitted to the outside.

상기 순환부는, 상기 건조공간의 일측면에서 상기 공급부 및 상기 건조공간에서 공기가 유입되는 유입라인과, 상기 유입라인에 유입된 공기를 상기 흡입부를 통해 흡입한 후, 상기 가열부를 통해 가열시켜 이동하는 제1순환라인과, 상기 제1순환라인을 통해 유입된 공기를 상기 건조공간의 상면을 통해 상기 건조공간의 타면으로 순환되는 제2순환라인과, 상기 제2순환라인에서 유입된 공기가 상기 건조공간으로 공급되며, 공기에 혼합된 이물질을 제거하는 제2헤파필터가 형성된 정화라인으로 이루어지는 것이 바람직하다.The circulation unit is configured to suck the air introduced into the supply unit and the drying space from one side of the drying space through the suction unit, and then heat and move through the heating unit. A first circulation line and a second circulation line circulating the air introduced through the first circulation line to the other surface of the drying space through the upper surface of the drying space, and the air introduced from the second circulation line are dried. It is preferably made of a purification line provided to the space and provided with a second HEPA filter for removing foreign substances mixed with air.

상기 건조공간의 양측면은, 상기 유입라인 및 상기 정화라인으로 공기가 유입 및 배출될 수 있도록 다수개의 통공이 형성된 타공판으로 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that both side surfaces of the drying space are formed of perforated plates having a plurality of through holes so that air can be introduced and discharged into the inflow line and the purification line.

상기 흡입부는, 상기 제1순환라인에 다수개 설치되어 상기 유입라인의 공기를 흡입하여 상기 제2순환라인으로 공급하는 송풍팬으로 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that the suction unit includes a plurality of blowing fans installed in the first circulation line to suck air from the inlet line and supply it to the second circulation line.

상기 가열부는, 상기 흡입부의 후측에 위치하도록 상기 제1순환라인에 설치되며, 상기 제1순환라인의 폭에 맞춰 지그재그 방식으로 형성된 가열배관과, 상기 가열배관을 외부로 돌출되도록 다수개 결합된 방열핀과, 상기 본체의 외부에 설치되어 상기 가열배관을 가열하는 가열수단으로 이루어지는 것이 바람직하다.The heating unit is installed in the first circulation line so as to be located at the rear side of the suction unit, a heating pipe formed in a zigzag manner according to the width of the first circulation line, and a plurality of heat dissipation fins coupled to protrude the heating pipe to the outside And, it is preferably made of a heating means installed outside the body to heat the heating pipe.

본 발명에 따른 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치에 따르면, 외부에서 유입되는 공기와 내부공기를 순환시켜 이물질을 제거하고 가열된 공기를 통해 파티클이 일정량 이하의 가열공기를 통해 건조가 가능한 효과가 있다.According to the heating drying device that prevents the inflow of external particles through positive pressure according to the present invention, foreign substances are removed by circulating air introduced from the outside and internal air, and particles are dried through heated air of a certain amount or less through the heated air. Has a possible effect.

본 발명에 따르면, 공급부를 통해 외부공기를 유입시켜 외부보다 높은 내부압력에 의해 양압상태를 유지하여 본체의 틈새로 유입되는 외부공기를 차단하는 이점이 있다.According to the present invention, external air is introduced through the supply unit to maintain a positive pressure state by an internal pressure higher than the outside, thereby blocking external air flowing into the gap of the main body.

본 발명에 따르면, 순환되는 공기의 속도를 제어하여, 가열부와 접촉하는 공기의 흐름을 느리게하여 가열의 효율을 증가시키고, 가열된 공기를 빠르게 이동하여 순환시켜, 짧은 시간에 효율적으로 가열 및 순환이 이루어지는 장점이 있다.According to the present invention, the speed of circulating air is controlled to increase the efficiency of heating by slowing the flow of air in contact with the heating unit, and by rapidly moving and circulating heated air, heating and circulating efficiently in a short time. There are advantages to this made.

본 발명에 따르면, 초기 작동시 내부공기의 파티클 제거 및 가열공기를 생성하는 동안 초음파 진동을 통해 건조가 이루어져, 빠르게 건조가 가능한 효과가 있다.According to the present invention, during the initial operation, particles are removed from the internal air and drying is performed through ultrasonic vibration while heating air is generated, thereby enabling rapid drying.

본 발명의 또 다른 목적은 가열부의 내부에 외부공기를 순환시켜 신속하게 온도를 낮춰 용이하게 온도제어가 가능하며, 온도차에 의해 발생되는 물을 외부로 배출하여 본체 내부의 습기가 발생하는 것을 방지하는 이점이 있다.Another object of the present invention is to reduce the temperature quickly by circulating external air inside the heating unit to allow easy temperature control, and to prevent moisture in the body from being generated by discharging water generated by the temperature difference to the outside. There is an advantage.

도 1은 본 발명에 따른 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치를 도시한 사시도,
도 2는 도 1의 A-A'선에 따른 단면도,
도 3은 본 발명에 따른 순환부를 도시한 단면사시도,
도 4는 본 발명에 따른 흡입부 및 가열부를 도시한 개념도,
도 5는 본 발명에 따른 냉각배관을 도시한 개념도,
도 6은 본 발명에 따른 작동상태를 도시한 개념도이다.1 is a perspective view showing a heating and drying apparatus for preventing the inflow of external particles through positive pressure according to the present invention;
2 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 1;
3 is a cross-sectional perspective view showing a circulation unit according to the present invention,
4 is a conceptual diagram showing a suction unit and a heating unit according to the present invention,
5 is a conceptual diagram showing a cooling pipe according to the present invention,
6 is a conceptual diagram showing an operating state according to the present invention.

이하에서는 본 발명에 따른 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치에 관하여 첨부된 도면과 함께 더불어 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a heating and drying apparatus for preventing the inflow of external particles through positive pressure according to the present invention will be described in detail together with the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치를 도시한 사시도이며, 도 2는 도 1의 A-A'선에 따른 단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 순환부를 도시한 단면사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 흡입부 및 가열부를 도시한 개념도이고, 도 5는 본 발명에 따른 냉각배관을 도시한 개념도이며, 도 6은 본 발명에 따른 작동상태를 도시한 개념도이다.1 is a perspective view showing a heating and drying apparatus for preventing the inflow of external particles through positive pressure according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A-A' of FIG. 1, and FIG. 3 is a circulation according to the present invention. It is a cross-sectional perspective view showing the part, Figure 4 is a conceptual diagram showing a suction part and a heating part according to the present invention, Figure 5 is a conceptual diagram showing a cooling pipe according to the present invention, Figure 6 shows an operating state according to the present invention It is a conceptual diagram.

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명은 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 유입되는 공기의 압력에 의해 내부가 양압상태를 유지하여 외부의 먼지가 유입되는 것을 방지하고, 유입된 공기와 내부공기의 파티클을 제거하고 내부공기를 가열하여 반도체를 건조할 수 있는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치에 관한 것이다.As shown in FIGS. 1 to 6, the present invention relates to a heating drying apparatus that prevents the inflow of external particles through positive pressure, and more particularly, the inside maintains a positive pressure state by the pressure of the incoming air, The present invention relates to a heating and drying apparatus that prevents the inflow of external particles through positive pressure that prevents the inflow of dust of the air, removes particles of the introduced air and internal air, and heats the internal air to dry the semiconductor.

이를 위해 본 발명은 내부로 공급되는 공기를 통해 양압상태를 유지하여 임의의 위치에서 외부공기가 유입되는 것을 방지하며, 내부공기를 순환시켜 파티클을 제거한 후 건조가 이루어질 수 있도록 본체(10), 공급부(20), 순환부(30), 흡입부(40) 및 가열부(50)로 이루어진다.To this end, the present invention maintains a positive pressure state through the air supplied to the inside to prevent the inflow of external air at any location, and the main body 10 and the supply unit to allow drying after removing particles by circulating the internal air. (20), consisting of a circulation unit 30, a suction unit 40 and a heating unit 50.

상기 본체(10)는 도어(11)를 통해 개방되는 건조공간(12)이 형성된다.The body 10 is formed with a drying space 12 opened through the door 11.

이러한 본체(10)는 전면 및 후면에 상기 도어(11)를 설치하여 상기 건조공간(12)을 개폐시켜 상기 건조공간(12)에 반도체, 기판, 웨이퍼 등을 건조할 수 있도록 공급된다.The main body 10 is supplied with the door 11 installed on the front and rear surfaces to open and close the drying space 12 to dry semiconductors, substrates, wafers, and the like in the drying space 12.

상기 공급부(20)는 상기 본체(10)의 측면에 결합되며, 외부 공기를 상기 건조공간(12)으로 공급하며, 공급되는 공기의 이물질을 제거하는 제1헤파필터(21)가 구비된다.The supply unit 20 is coupled to a side surface of the main body 10 and includes a first HEPA filter 21 that supplies external air to the drying space 12 and removes foreign substances from the supplied air.

상기 순환부(30)는 상기 공급부(20)에서 유입된 외부공기와, 상기 건조공간(12)의 내부공기를 상기 건조공간(12)의 외벽을 따라 순환하여 이물질을 제거하여 상기 건조공간(12)으로 공급한다.The circulation unit 30 circulates the external air introduced from the supply unit 20 and the internal air of the drying space 12 along the outer wall of the drying space 12 to remove foreign substances, thereby removing the drying space 12 ).

이러한 상기 순환부(30)는 상기 본체(10)의 내부에서 공기를 순환시킨다.The circulation part 30 circulates air in the body 10.

상기 흡입부(40)는 상기 순환부(30)에 형성되어 상기 건조공간(12)의 공기를 흡입한다.The suction part 40 is formed in the circulation part 30 to suck air in the drying space 12.

상기 가열부(50)는 상기 순환부(30)에 형성되어 상기 흡입부(40)에 의해 흡입된 공기를 가열한다.The heating unit 50 is formed in the circulation unit 30 to heat the air sucked by the suction unit 40.

이를 통해 상기 본체(10)의 내부에 반도체, 기판, 웨이퍼 등을 삽입한 후, 상기 공급부(20) 상기 순환부(30), 상기 흡입부(40) 및 상기 가열부(50)를 통해 상기 본체(10)의 내부 파티클을 제거하며, 가열된 공기를 순환시켜 건조가 이루어진다.Through this, after inserting a semiconductor, a substrate, a wafer, etc. into the main body 10, the main body through the supply unit 20, the circulation unit 30, the suction unit 40, and the heating unit 50 The internal particles of (10) are removed, and the heated air is circulated to dry.

이때, 상기 공급부(20)를 통해 외부공기를 계속 유입되어 상기 본체(10)의 내부에서 양압상태를 발생시켜 상기 공급부(20) 이외의 위치에서 공기 및 이물질이 유입되는 것을 방지한다.In this case, external air is continuously introduced through the supply unit 20 to generate a positive pressure state inside the main body 10 to prevent air and foreign substances from entering from a position other than the supply unit 20.

이러한 각 구성에 대하여 자세히 설명하기로 한다.Each of these configurations will be described in detail.

상기 본체(10)는, 상기 도어(11) 및 상기 건조공간(12)이 형성되며, 일면에 상기 공급부(20)가 결합되어 공기가 유입된다.The main body 10 has the door 11 and the drying space 12 formed therein, and the supply unit 20 is coupled to one surface to allow air to flow therein.

이때, 상기 본체(10)의 상면에 결합되어 상기 건조공간(12)의 내부공기를 배출하는 배출부(14)가 더 포함된다.In this case, a discharge unit 14 coupled to the upper surface of the main body 10 to discharge the internal air of the drying space 12 is further included.

따라서 상기 배출부(14)는 상기 본체(10)를 관통하며, 밸브가 구비되어 상기 건조공간(12)의 공기를 선택적으로 배출한다.Accordingly, the discharge part 14 passes through the main body 10 and is provided with a valve to selectively discharge the air in the drying space 12.

그리고 상기 본체(10)의 내측면에 설치되어 상기 순환부(30)를 통해 순환되는 공기의 열기가 외부로 전달되는 것을 방지하는 단열부(15)가 더 포함된다.Further, a heat insulating part 15 installed on the inner surface of the main body 10 to prevent heat of air circulating through the circulation part 30 from being transmitted to the outside is further included.

이러한 상기 단열부(15)는, 스티로폼, 발포 폴리스틸, 폴리우레탄 등을 사용하여 상기 건조공간(12)의 고온이 외부로 전달되지 않도록 상기 본체(10)의 외벽 내측면에 부착된다.The heat insulating part 15 is attached to the inner surface of the outer wall of the main body 10 so that the high temperature of the drying space 12 is not transmitted to the outside by using styrofoam, foamed polysteel, polyurethane, or the like.

따라서, 상기 본체(10)는 상기 외벽과 상기 순환부(30) 사이에 격벽(16)을 통해 공간을 확보하여 상기 단열부(15)가 설치된다.Accordingly, the main body 10 secures a space between the outer wall and the circulation unit 30 through the partition wall 16 so that the heat insulation unit 15 is installed.

이를 통해 상기 본체(10)는 상기 건조공간(12)이 형성된 상태에서 상기 도어(11)를 개폐하여 반도체 등의 건조를 위한 물품을 넣어 보관할 수 있도록 이루어진다.Through this, the main body 10 opens and closes the door 11 in a state in which the drying space 12 is formed, so that an article for drying such as a semiconductor can be stored therein.

다음으로, 상기 공급부(20)는 상기 건조공간(12)에 공기를 공급한다.Next, the supply unit 20 supplies air to the drying space 12.

이러한 상기 공급부(20)는 상기 본체(10)에 일면이 결합되며, 내부에 상기 제1헤파필터(21)가 삽입되는 몸체(22)와, 상기 몸체(22)와 연결되며, 외부공기를 흡입하여 상기 몸체(22)를 통과시켜 상기 본체(10)로 공급하는 에어펌프(23)로 이루어진다.One side of the supply unit 20 is coupled to the body 10, the body 22 into which the first HEPA filter 21 is inserted, the body 22 is connected to the body 22, and sucks external air. Thus, it consists of an air pump 23 that passes through the body 22 and supplies it to the body 10.

여기서 상기 에어펌프(23) 상기 몸체(22)의 내부에 설치되거나 상기 몸체(22)의 외부에 상기 몸체(22)와 연결되어 외부공기를 흡입한다.Here, the air pump 23 is installed inside the body 22 or is connected to the body 22 outside the body 22 to inhale external air.

또한, 상기 에어펌프(23)는 공기를 흡입하는 팬 등으로 교체가 가능하다.In addition, the air pump 23 can be replaced with a fan that sucks air.

따라서 상기 몸체(22)에는 상기 본체(10) 및 상기 에어펌프(23)에서 유입되는 공기가 유입 및 배출되는 통공(13a)이 형성되는 것이 바람직히다.Therefore, it is preferable that the body 22 has a through hole 13a through which air introduced from the main body 10 and the air pump 23 is introduced and discharged.

이를 통해 상기 에어펌프(23)에서 유입된 공기는 상기 몸체(22)의 제1헤파필터(21)를 통해 이물질을 제거한 후 상기 본체(10)로 공급한다.Through this, the air introduced from the air pump 23 is supplied to the body 10 after removing foreign substances through the first HEPA filter 21 of the body 22.

다음으로, 상기 순환부(30)는 상기 본체(10)의 내부에서 상기 공급부(20) 및 상기 건조공간(12)의 공기를 순환시킨다.Next, the circulation unit 30 circulates the air in the supply unit 20 and the drying space 12 inside the main body 10.

이를 위해 상기 순환부(30)는, 유입라인(31), 제1순환라인(32), 제2순환라인(33) 및 정화라인(34)으로 이루어진다.To this end, the circulation unit 30 includes an inlet line 31, a first circulation line 32, a second circulation line 33, and a purification line 34.

상기 유입라인(31)은 상기 건조공간(12)의 일측면에서 상기 공급부(20) 및 상기 건조공간(12)에서 공기가 유입된다.Air is introduced into the inlet line 31 from the supply unit 20 and the drying space 12 from one side of the drying space 12.

상기 제1순환라인(32)은 상기 유입라인(31)에 유입된 공기를 상기 흡입부(40)를 통해 흡입한 후, 상기 가열부(50)를 통해 가열시켜 이동한다.The first circulation line 32 sucks the air introduced into the inlet line 31 through the suction part 40 and then heats it through the heating part 50 to move.

상기 제2순환라인(33)은 상기 제1순환라인(32)을 통해 유입된 공기를 상기 건조공간(12)의 상면을 통해 상기 건조공간(12)의 타면으로 순환된다.The second circulation line 33 circulates the air introduced through the first circulation line 32 to the other surface of the drying space 12 through the upper surface of the drying space 12.

상기 정화라인(34)은 상기 제2순환라인(33)에서 유입된 공기가 상기 건조공간(12)으로 공급되며, 공기에 혼합된 이물질을 제거하는 제2헤파필터(35)가 형성된다.The purification line 34 supplies air introduced from the second circulation line 33 to the drying space 12, and a second HEPA filter 35 for removing foreign substances mixed with the air is formed.

즉, 상기 유입라인(31)은 상기 건조공간(12)의 일측에 위치하여 상기 공급부(20) 및 상기 건조공간(12)의 공기가 유입되는 유입공(31a)이 형성된다.That is, the inlet line 31 is located at one side of the drying space 12 to form an inlet hole 31a through which air from the supply unit 20 and the drying space 12 is introduced.

그리고 상기 제1순환라인(32)은 상기 유입라인(31)과 연결되어 공기를 상기 본체(10)의 상부로 이동할 수 있도록 설치되며, 상기 흡입부(40) 및 상기 가열부(50)가 순차적으로 배치된다.And the first circulation line 32 is connected to the inlet line 31 to be installed to move air to the upper portion of the main body 10, the suction unit 40 and the heating unit 50 Is placed as.

여기서 상기 흡입부(40)를 통해 상기 유입라인(31)에서 공기를 흡입하고 상기 가열부(50)를 통해 공기를 가열한다.Here, air is sucked from the inlet line 31 through the suction part 40 and the air is heated through the heating part 50.

또한, 상기 제2순환라인(33)은 상기 제1순환라인(32)과 연결되어 상기 흡입부(40)에 의해 흡입된 공기를 상기 건조공간(12)의 상부면을 거쳐 타측으로 이동한다.In addition, the second circulation line 33 is connected to the first circulation line 32 to move the air sucked by the suction unit 40 to the other side through the upper surface of the drying space 12.

이러한 상기 제2순환라인(33)은, 이동하는 공기가 상기 정화라인(34)의 전체면적으로 공기가 이동할 수 있도록 상기 건조공간(12)의 상부면과 상기 정화라인(34)의 후면으로 공기가 이동할 수 있도록 형성된다.The second circulation line 33 is provided with air to the upper surface of the drying space 12 and the rear surface of the purification line 34 so that the moving air can move the air over the entire area of the purification line 34. Is formed to be able to move.

그리고 상기 정화라인(34)은 상기 제2헤파필터(35)가 형성되어, 상기 제2순환라인(33)을 통해 이동하는 공기 중 혼합된 파티클을 제거한 후 공기가 상기 건조공간(12)으로 유입된다.In addition, the purification line 34 is formed with the second HEPA filter 35 to remove mixed particles from the air moving through the second circulation line 33, and then the air flows into the drying space 12. do.

이때, 상기 정화라인(34)은 상기 건조공간(12)의 타측면의 전체 크기에 맞춰 상기 제2헤파필터(35)가 설치될 수 있도록 형성된다.In this case, the purification line 34 is formed so that the second HEPA filter 35 can be installed in accordance with the overall size of the other side of the drying space 12.

이와 같이 상기 순환부(30)는 상기 건조공간(12) 및 상기 공급부(20)의 공기를 순환시킨 후 상기 건조공간(12)으로 공급하며, 순환되는 공기 중 혼합된 파티클을 제거한다.As described above, the circulation unit 30 circulates the air in the drying space 12 and the supply unit 20 and then supplies it to the drying space 12 and removes mixed particles from the circulating air.

그리고 상기 건조공간(12)의 양측면은, 상기 유입라인(31) 및 상기 정화라인(34)으로 공기가 유입 및 배출될 수 있도록 다수개의 통공(13a)이 형성된 타공판(13)으로 이루어진다.In addition, both sides of the drying space 12 are formed of perforated plates 13 having a plurality of through holes 13a so that air can be introduced and discharged into the inflow line 31 and the purification line 34.

즉, 상기 건조공간(12)의 양측면은 상기 순환부(30)를 통해 공기가 유입 및 배출될 수 있도록 이루어진다.That is, both side surfaces of the drying space 12 are made so that air can be introduced and discharged through the circulation unit 30.

그리고 상기 제1순환라인(32)과 상기 제2순환라인(33)이 연결되는 지점은 상기 제1순환라인(32)의 공기 흐름이 느리게 이동하고, 상기 제2순환라인(33)의 공기 흐름을 빠르게 이동할 수 있도록 플레이트(36)가 형성된다.And at the point where the first circulation line 32 and the second circulation line 33 are connected, the air flow of the first circulation line 32 slowly moves, and the air flow of the second circulation line 33 The plate 36 is formed so as to move quickly.

이러한 상기 플레이트(36)는, 상기 가열부(50)가 형성된 후측에서 상기 제1 및 제2 순환라인(32, 33)의 연결되는 지점에 배치되어 공기가 순환되는 공간을 이동하는 공간을 축수시킨다.The plate 36 is disposed at a point connected to the first and second circulation lines 32 and 33 at the rear side of the heating unit 50 to accumulate a space moving through the space in which air is circulated. .

즉, 상기 플레이트(36) 상기 제1 및 제2 순환라인(32, 33)의 내측면에 설치되어 공기가 이동하는 통로의 면적을 축소시켜, 오리피스 원리에 의해 공기의 이동속도를 제어한다.That is, the plate 36 is installed on the inner surfaces of the first and second circulation lines 32 and 33 to reduce the area of the passage through which air moves, thereby controlling the moving speed of air by the orifice principle.

따라서 상기 플레이트(36)는, 상기 제1 및 제2 순환라인(32, 33) 중 어느 한군데에 선택적으로 설치되며, 양쪽 내측면에 내부로 돌출되어 공기가 이동하는 통로의 면적을 좁히도록 이루어진다.Accordingly, the plate 36 is selectively installed in any one of the first and second circulation lines 32 and 33, and protrudes to the inside on both inner surfaces to narrow the area of the passage through which air moves.

이를 통해 상기 제1순환라인(32)의 공기의 흐름이 느리게 이루어져, 상기 가열부(50)에 의해 가열효율을 향상시킨 후, 상기 제2순환라인(33)을 따라 빠르게 이동하여 상기 건조공간(12)으로 공급이 이루어진다.Through this, the flow of air in the first circulation line 32 is made slow, and the heating efficiency is improved by the heating unit 50, and then rapidly moves along the second circulation line 33 to the drying space ( 12).

다음으로, 상기 흡입부(40)는 상기 제1순환라인(32)에 다수개 설치되어 상기 유입라인(31)의 공기를 흡입하여 상기 제2순환라인(33)으로 공급하는 송풍팬(41)으로 이루어진다.Next, a plurality of the suction units 40 are installed in the first circulation line 32, and a blowing fan 41 that sucks air from the inlet line 31 and supplies it to the second circulation line 33 Consists of

즉, 상기 흡입부(40)는 전력에 의해 구동되며, 상기 제1순환라인(32)에 설치되어 상기 건조공간(12) 및 상기 공급부(20)를 통해 유입되는 공기를 흡입하여 상기 제2순환라인(33)으로 이동한다.That is, the suction unit 40 is driven by electric power, and is installed in the first circulation line 32 to suck the air flowing in through the drying space 12 and the supply unit 20 to obtain the second circulation. Go to line 33.

따라서, 다수개의 상기 송풍팬(41)을 통해 공기를 순환시킨다.Accordingly, air is circulated through the plurality of blowing fans 41.

이와 같이 상기 순환부(30)는 상기 공급부(20) 및 상기 건조공간(12)의 공기를 순환시키며, 상기 공급부(20)에 의해 유입되는 공기에 의해 외부보다 내부가 높은 압력을 유지하여 상기 본체(10)의 틈으로 파티클 및 이물질이 혼합된 외부공기가 유입되는 것을 방지할 수 있다. In this way, the circulation unit 30 circulates the air in the supply unit 20 and the drying space 12, and maintains a higher pressure inside the body than the outside by the air introduced by the supply unit 20 It is possible to prevent the inflow of external air mixed with particles and foreign substances through the gap in (10).

그리고 상기 가열부(50)는, 상기 송풍팬(41)에 의해 상기 순환부(30)를 따라 이동하는 공기를 가열하여 상기 건조공간(12)으로 이동한다.In addition, the heating unit 50 heats the air moving along the circulation unit 30 by the blowing fan 41 and moves to the drying space 12.

이러한 상기 가열부(50)는 가열배관(51), 방열핀(52), 가열수단(53)으로 이루어진다.The heating unit 50 is composed of a heating pipe 51, a radiating fin 52, and a heating means 53.

상기 가열배관(51)은 상기 흡입부(40)의 후측에 위치하도록 상기 제1순환라인(32)에 설치되며, 상기 제1순환라인(32)의 폭에 맞춰 지그재그 방식으로 형성된다.The heating pipe 51 is installed in the first circulation line 32 so as to be located at the rear side of the suction part 40, and is formed in a zigzag manner according to the width of the first circulation line 32.

따라서 상기 제1순환라인(32)의 폭방향에 맞춰 지그재그 방식으로 배치되어 공기의 접촉면적을 향상시킨다.Therefore, it is arranged in a zigzag manner in accordance with the width direction of the first circulation line 32 to improve the contact area of air.

아울러 상기 가열배관(51)은 전기를 통해 가열되며, 열전도율이 높은 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.In addition, the heating pipe 51 is heated through electricity and is preferably made of a material having high thermal conductivity.

상기 방열핀(52)은 상기 가열배관(51)을 외부로 돌출되도록 다수개 결합된다.A plurality of the radiating fins 52 are coupled to protrude the heating pipe 51 to the outside.

여기서 상기 방열핀(52)은 지그재그 방식으로 배치된 상기 가열배관(51)의 외부로 다수개 돌출되어 의해 순환되는 공기를 효율적으로 가열할 수 있다.Here, the radiating fins 52 protrude to the outside of the heating pipe 51 arranged in a zigzag manner, thereby effectively heating the circulated air.

상기 가열수단(53)은 상기 본체(10)의 외부에 설치되어 상기 가열배관(51)을 가열한다.The heating means 53 is installed outside the main body 10 to heat the heating pipe 51.

즉, 상기 가열수단(53)은 전력을 통해 상기 가열배관(51)을 가열시켜 공기를 가열할 수 있도록 이루어진다.That is, the heating means 53 is made to heat the air by heating the heating pipe 51 through electric power.

이와 같이 상기 가열부(50)는 상기 가열수단(53)을 통해 본체(10)의 외부에서 온도제어가 이루어지며, 상기 가열수단(53)에 의해 가열된 상기 가열배관(51) 및 방열핀(52)을 통해 상기 제1순환라인(32)을 이동하는 공기를 가열한다.In this way, the heating unit 50 is temperature controlled outside the main body 10 through the heating means 53, and the heating pipe 51 and the radiating fin 52 heated by the heating means 53 ) To heat the air moving through the first circulation line (32).

그리고 상기 가열배관(51)은 가열된 온도를 신속하게 제어할 수 있도록 내부에 냉각배관(60)이 설치된 이중구조로 형성된다.In addition, the heating pipe 51 is formed in a double structure with a cooling pipe 60 installed therein so as to quickly control the heated temperature.

즉, 상기 가열배관(51)은 파이프 형상으로 이루어져, 상기 가열수단(53)에 의해 가열된다.That is, the heating pipe 51 has a pipe shape and is heated by the heating means 53.

그리고 상기 가열배관(51)의 내부에 설치되어 냉기를 전달하는 냉각배관(60)과 냉각수단(61)이 포함된다.In addition, a cooling pipe 60 and a cooling means 61 installed inside the heating pipe 51 to transmit cool air are included.

상기 냉각배관(60)은 파이프 형상을 가지며, 상기 가열배관(51)의 내부에 일정간격 이격되어 설치된다.The cooling pipe 60 has a pipe shape, and is installed in the heating pipe 51 at regular intervals.

상기 냉각수단(61)은, 상기 본체(10)의 외부에 설치되어 상기 냉각배관(60)에 저온의 공기를 순환시킨다.The cooling means 61 is installed outside the main body 10 to circulate low temperature air in the cooling pipe 60.

즉, 상기 냉각수단(61)은 외부의 공기를 흡입하며, 외부공기의 온도를 측정하여 일정온도 이하일 경우 상기 냉각배관(60)으로 순환시켜 외부로 배출한다.That is, the cooling means 61 sucks in the outside air, measures the temperature of the outside air, and when the temperature is below a certain temperature, it circulates through the cooling pipe 60 and discharges it to the outside.

따라서 상기 냉각수단(61)에 의해 유입된 외부공기는 상기 냉각배관(60)을 순환하여, 상기 가열배관(51)의 온도를 조절할 수 있다.Therefore, the external air introduced by the cooling means 61 circulates through the cooling pipe 60 to control the temperature of the heating pipe 51.

이때, 상기 냉각배관(60)과 상기 가열배관(51)은 온도차에 의해 발생된 물은 상기 가열배관(51)과 상기 냉각배관(60) 사이의 공간을 통해 외부로 배출한다.In this case, the cooling pipe 60 and the heating pipe 51 discharge water generated by a temperature difference to the outside through the space between the heating pipe 51 and the cooling pipe 60.

이를 통해 상기 냉각배관(60) 및 상기 냉각수단(61)을 통해 상기 가열부(50)의 온도를 제어할 수 있다.Through this, the temperature of the heating part 50 may be controlled through the cooling pipe 60 and the cooling means 61.

그리고 상기 건조공간(12)의 내부에는 공기를 진동시키는 다수개의 초음파진동자(70)가 더 포함된다.In addition, a plurality of ultrasonic vibrators 70 for vibrating air are further included in the drying space 12.

이러한 상기 초음파진동자(70)는 상기 건조공간(12)의 내벽에 설치되어 상기 건조공간(12)의 내부 공기를 진동시켜 건조가 이루어진다.The ultrasonic vibrator 70 is installed on the inner wall of the drying space 12 to vibrate the air inside the drying space 12 to perform drying.

따라서, 상기 본체(10) 내부의 초기 작동시 저온공기는 가열되지 않은 상태에서 초음파 진동을 통해 건조가 이루어진다.Therefore, during the initial operation inside the main body 10, the low-temperature air is dried through ultrasonic vibration while not being heated.

다음으로는 본 발명에 따른 작동상태에 대하여 설명하기로 한다.Next, the operating state according to the present invention will be described.

먼저, 상기 도어(11)가 형성된 상기 본체(10)에 상기 공급부(20), 상기 순환부(30), 상기 흡입부(40) 및 상기 가열부(50)가 상기와 같이 이루어진다.First, the supply unit 20, the circulation unit 30, the suction unit 40, and the heating unit 50 are formed as described above in the main body 10 on which the door 11 is formed.

이와 같이 설치된 상태에서 상기 도어(11)를 개방시켜 상기 건조공간(12) 내에 건조를 위한 반도체 등을 보관한다.In the installed state, the door 11 is opened to store semiconductors for drying in the drying space 12.

이때, 반도체, 기판 및 웨이퍼 등을 건조 목적으로 사용하나 이외에 과일, 채소 등의 음식물 등 다양한 용도에 맞춰 보관 및 건조가 가능하다.At this time, semiconductors, substrates, wafers, etc. are used for drying purposes, but can be stored and dried according to various uses such as foods such as fruits and vegetables.

그리고 상기 건조공간(12)에 삽입된 후, 상기 도어(11)를 닫아 상기 건조공간(12)을 밀폐한다.And after being inserted into the drying space 12, the door 11 is closed to seal the drying space 12.

이후, 상기 흡입부(40)의 작동에 의해 상기 공급부(20)를 통해 외부의 공기와 상기 건조공간(12)의 공기를 상기 순환부(30)로 흡입하여 순환시킨다.Thereafter, external air and air of the drying space 12 are sucked into the circulation unit 30 through the supply unit 20 by the operation of the suction unit 40 and circulated.

이때 상기 공급부(20)는 유입되는 공기 중 혼합된 파티클을 제1헤파필터(21)를 통해 제거하여 공급된다.At this time, the supply unit 20 is supplied by removing the mixed particles in the incoming air through the first HEPA filter 21.

그리고 상기 흡입부(40)를 통해 상기 순환부(30)로 유입된 공기는 상기 가열부(50)를 통해 가열한다.In addition, air introduced into the circulation unit 30 through the suction unit 40 is heated through the heating unit 50.

여기서 상기 가열부(50)는 상기 건조공간(12)에 유입된 반도체, 기판 등을 건조할 수 있도록 90℃~150℃의 온도를 유지할 수 있도록 제어한다.Here, the heating unit 50 controls to maintain a temperature of 90°C to 150°C so as to dry the semiconductors, substrates, etc. introduced into the drying space 12.

또한, 상기 본체(10)의 내측면에는 상기 단열부(15)를 형성하여 내부의 온도가 외부로 전달되는 것을 방지한다.In addition, the heat insulating portion 15 is formed on the inner surface of the main body 10 to prevent the internal temperature from being transmitted to the outside.

이러한 상기 가열부(50)는 상기 가열수단(53)의 전력에 의해 상기 가열배관(51)의 온도를 상승시켜 공기를 가열하며, 상기 방열핀(52) 및 지그재그 배치를 통해 상기 공기와 접촉면적을 향상시켜 용이하게 가열이 이루어진다.The heating unit 50 heats the air by increasing the temperature of the heating pipe 51 by the power of the heating means 53, and a contact area with the air through the heat dissipation fin 52 and zigzag Heating is achieved easily.

그리고 상기 가열부(50)의 온도가 설정된 온도보다 높아지면, 상기 냉각수단(61)을 통해 외부공기를 흡입하여 상기 냉각배관(60)을 순환시켜 외부로 배출한다.And when the temperature of the heating unit 50 is higher than the set temperature, external air is sucked through the cooling means 61 to circulate the cooling pipe 60 and discharge it to the outside.

따라서 상기 가열배관(51)의 온도보다 상대적으로 낮은 외부공기를 통해 상기 가열배관(51)을 냉각시킬 수 있다.Therefore, the heating pipe 51 can be cooled through external air that is relatively lower than the temperature of the heating pipe 51.

이때, 상기 냉각배관(60) 상기 가열배관(51)의 내부에 이중구조로 설치되며, 상기 가열배관(51)과 냉각배관(60) 사이의 공간을 확보하여, 열교환시 온도차에 의해 발생하는 물을 외부로 배출할 수 있다.At this time, the cooling pipe 60 is installed in a double structure inside the heating pipe 51, and a space between the heating pipe 51 and the cooling pipe 60 is secured, and water generated by a temperature difference during heat exchange Can be discharged to the outside.

이를 통해 상기 본체(10)의 내부에 습기가 발생하는 것을 방지한다.This prevents moisture from being generated in the body 10.

아울러, 상기 순환부(30)는 선택적으로 상기 플레이트(36)를 설치하여 상기 제1 및 제2 순환라인(32, 33)을 이동하는 공기의 속도를 제어한다.In addition, the circulation unit 30 selectively installs the plate 36 to control the speed of air moving through the first and second circulation lines 32 and 33.

즉, 상기 플레이트(36)에 의해 상기 흡입부(40)를 통해 상기 제1순환라인(32)으로 유입된 공기의 이동속도를 느리게하여 상기 가열부(50)에서 효율적으로 공기를 가열한 후, 상기 플레이트(36)를 지나 상기 제2순환라인(33)에서 빠르게 이동한다.That is, after the plate 36 efficiently heats the air in the heating unit 50 by slowing the moving speed of the air introduced into the first circulation line 32 through the suction unit 40, Passing through the plate 36, it moves rapidly in the second circulation line 33.

이를 통해 적은 순환 사이클을 통해 공기의 가열이 원활하게 이루어진다.This facilitates heating of the air through a small circulation cycle.

그리고 상기 가열부(50)에 의해 가열된 공기는 상기 순환부(30)를 통해 상기 건조공간(12)의 일면, 상면 및 타면을 순차적으로 이동하여 상기 건조공간(12)으로 유입된다.In addition, the air heated by the heating unit 50 moves sequentially through the circulation unit 30 to one surface, an upper surface, and the other surface of the drying space 12 and is introduced into the drying space 12.

이때, 상기 건조공간(12)의 유입 전 상기 정화라인(34)을 통해 내부공기에 혼합된 파티클을 제거한다.At this time, particles mixed with the internal air are removed through the purification line 34 before entering the drying space 12.

즉, 상기 도어(11)를 개방했을 때 상기 건조공간(12)으로 유입된 파티클을 제거할 수 있다.That is, when the door 11 is opened, particles introduced into the drying space 12 may be removed.

또한, 상기 공급부(20)를 통해 공기가 계속 유입되어 상기 본체(10)의 내부공기는 외부공기보다 높은 압력을 통해 양압상태를 유지한다.In addition, air is continuously introduced through the supply unit 20 so that the internal air of the main body 10 maintains a positive pressure state through a higher pressure than the external air.

이를 통해 상기 본체(10)의 결합구조에서 생기는 틈으로 파티클이 혼합된 외부공기의 유입을 차단하여 내부공기의 파티클을 class 100을 유지한다.Through this, the inflow of external air mixed with particles is blocked through a gap created in the coupling structure of the main body 10 to maintain class 100 particles of the internal air.

즉, 상기 건조공간(12)은 1㎥ 이내에 0.3㎛ 이내의 파티클을 유지한다.That is, the drying space 12 maintains particles within 0.3 μm within 1㎥.

이와 같이 상기 순환부(30)를 통해 공기를 순환시켜며, 상기 제2헤파필터(35)를 파이클을 제거한 가열공기를 통해 건조가 이루어진다.In this way, air is circulated through the circulation unit 30, and the second HEPA filter 35 is dried through heated air from which the particles are removed.

아울러, 상기 본체(10)는 초기 작동시 공기를 가열하면서 파티클을 제거한 후, 일정 온도 이상 가열이 이루어진 상태에서 원활한 건조가 이루어진다.In addition, after the main body 10 removes particles while heating air during the initial operation, smooth drying is performed while heating is performed at a predetermined temperature or higher.

그리고 상기 초음파진동자(70)를 상기 본체(10)의 내부에 다수개 설치하여, 내부공기 및 외부공기의 순환을 통해 파티클 제거 및 가열이 이루어지는 동안 진동을 통해 건조가 이루어진다.In addition, a plurality of ultrasonic vibrators 70 are installed inside the main body 10 to remove particles through circulation of internal air and external air, and drying through vibration while heating is performed.

즉, 상기 본체(10)는 상기와 같이 상기 건조공간(12)에 반도체 등을 삽입한 후 작동 시, 일정시간 내지 다수번을 순환시켜 내부공기의 파티클 제거 및 공기가 가열되는 시간동안, 공기에 진동을 전달하여 건조가 이루어진다.That is, when the main body 10 is operated after inserting a semiconductor or the like into the drying space 12 as described above, it is circulated for a certain period of time or a number of times to remove particles of the internal air and for a time when the air is heated. Drying is achieved by transmitting vibration.

이를 통해 상기 초음파진동자(70)는 상기 흡입부(40) 및 상기 가열부(50)의 작동과 동시에 작동하여 내부공기가 충분히 가열되는 동안 진동을 통해 초기에 건조가 이루어진다.Through this, the ultrasonic vibrator 70 operates at the same time as the operation of the suction unit 40 and the heating unit 50 so that the internal air is sufficiently heated while drying is performed initially through vibration.

이후 상기 본체 내부의 공기에서 파티클이 제거된 후 충분한 온도의 가열공기가 생성되면, 상기 초음파진동자(70)는 작동을 중지하여 가열공기를 통해 건조가 이루어진다.Thereafter, when heated air having a sufficient temperature is generated after particles are removed from the air inside the body, the ultrasonic vibrator 70 stops operating and is dried through heated air.

아울러 상기 초음파진동자(70)는 선택적으로 가열공기와 같이 건조가 이루어질 수 있도록 작동을 제어할 수 있다.In addition, the ultrasonic vibrator 70 may selectively control the operation so that drying can be performed with heated air.

그리고 상기 본체(10)내부에서 건조가 완료되면, 상기 배출부(14)를 통해 상기 건조공기의 공기를 외부로 배출하여 내부의 온도 및 압력을 낮춘다.And when drying is completed inside the main body 10, the air of the dry air is discharged to the outside through the discharge part 14 to lower the internal temperature and pressure.

따라서, 상기 흡입부(40) 및 상기 가열부(50)의 작동을 정지한 후, 내부 공기를 배출하여 온도와 압력을 제어한 뒤 상기 도어(11)를 개방하여 건조된 반도체 등을 배출할 수 있다.Therefore, after the operation of the suction unit 40 and the heating unit 50 is stopped, internal air is discharged to control temperature and pressure, and then the door 11 is opened to discharge dried semiconductors, etc. have.

이상에서와 같이 본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.As described above, the rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by what is described in the claims, and various modifications and adaptations within the scope of the rights described in the claims by those of ordinary skill in the field of the present invention It is self-evident that you can do it.

10: 본체 11: 도어 12: 건조공간
13: 타공판 13a: 통공
14: 배출부 15: 단열부
16: 격벽
20: 공급부 21: 제1헤파필터 22: 몸체
23: 에어펌프
30: 순환부 31: 유입라인 31a:유입공
32: 제1순환라인 33: 제2순환라인
34: 정화라인 35: 제2헤파필터
36: 플레이트
40: 흡입부 41: 송풍팬
50: 가열부 51: 가열배관 52: 방열핀
53: 가열수단
60: 냉각배관 61: 냉각수단
70: 초음파진동자10: main body 11: door 12: drying space
13: perforated plate 13a: through hole
14: discharge unit 15: heat insulation unit
16: bulkhead
20: supply unit 21: first HEPA filter 22: body
23: air pump
30: circulation part 31: inflow line 31a: inflow hole
32: first circulation line 33: second circulation line
34: purification line 35: second HEPA filter
36: plate
40: suction part 41: blowing fan
50: heating part 51: heating pipe 52: radiating fin
53: heating means
60: cooling pipe 61: cooling means
70: ultrasonic vibrator

Claims (7)

도어(11)를 통해 개방되는 건조공간(12)이 형성된 본체(10);
상기 본체(10)의 측면에 결합되며, 외부 공기를 상기 건조공간(12)으로 공급하며, 공급되는 공기의 이물질을 제거하는 제1헤파필터(21)가 구비된 공급부(20);
상기 공급부(20)에서 유입된 외부공기와, 상기 건조공간(12)의 내부공기를 상기 건조공간(12)의 외벽을 따라 순환하여 이물질을 제거하여 상기 건조공간(12)으로 공급하는 순환부(30);
상기 순환부(30)에 형성되어 상기 건조공간(12)의 공기를 흡입하는 흡입부(40);
상기 순환부(30)에 형성되어 상기 흡입부(40)에 의해 흡입된 공기를 가열하는 가열부(50);로 이루어지되,
상기 순환부(30)는,
상기 건조공간(12)의 일측면에서 상기 공급부(20) 및 상기 건조공간(12)에서 공기가 유입되는 유입라인(31)과,
상기 유입라인(31)에 유입된 공기를 상기 흡입부(40)를 통해 흡입한 후, 상기 가열부(50)를 통해 가열시켜 이동하는 제1순환라인(32)과,
상기 제1순환라인(32)을 통해 유입된 공기를 상기 건조공간(12)의 상면을 통해 상기 건조공간(12)의 타면으로 순환되는 제2순환라인(33)과,
상기 제2순환라인(33)에서 유입된 공기가 상기 건조공간(12)으로 공급되며, 공기에 혼합된 이물질을 제거하는 제2헤파필터(35)가 형성된 정화라인(34)으로 이루어지고,
상기 제1순환라인(32)과 상기 제2순환라인(33)이 연결되는 지점에는 상기 제1순환라인(32)의 공기 흐름을 느리게 이동하고, 상기 제2순환라인(33)의 공기 흐름을 빠르게 이동하는 플레이트(36)가 형성되고,
상기 플레이트(36)는 상기 제1순환라인(32)과 상기 제2순환라인(33)이 연결되는 지점의 내측면에 내부로 돌출 형성되어 공기의 이동 통로 면적을 좁히도록 이루어지고,
상기 건조공간(12)의 내부에는 내부 공기를 진동시켜 건조가 이루어지도록 하는 다수개의 초음파진동자(70)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치.A main body 10 having a drying space 12 opened through the door 11;
A supply unit 20 provided with a first HEPA filter 21 that is coupled to a side surface of the main body 10 and supplies external air to the drying space 12 and removes foreign matter from the supplied air;
A circulation unit that circulates the external air introduced from the supply unit 20 and the internal air of the drying space 12 along the outer wall of the drying space 12 to remove foreign substances and supply them to the drying space 12 ( 30);
A suction part 40 formed in the circulation part 30 to suck air in the drying space 12;
Consisting of; a heating unit 50 formed in the circulation unit 30 to heat the air sucked by the suction unit 40,
The circulation unit 30,
An inlet line 31 through which air is introduced from the supply unit 20 and the drying space 12 from one side of the drying space 12,
A first circulation line 32 that moves by inhaling the air introduced into the inlet line 31 through the suction unit 40 and then heating it through the heating unit 50,
A second circulation line 33 circulating the air introduced through the first circulation line 32 to the other surface of the drying space 12 through the upper surface of the drying space 12,
Air introduced from the second circulation line 33 is supplied to the drying space 12 and consists of a purification line 34 having a second HEPA filter 35 for removing foreign substances mixed with the air,
At the point where the first circulation line 32 and the second circulation line 33 are connected, the air flow of the first circulation line 32 slowly moves, and the air flow of the second circulation line 33 is reduced. A fast moving plate 36 is formed,
The plate 36 is formed to protrude inward on the inner surface of the point where the first circulation line 32 and the second circulation line 33 are connected to narrow the area of the passage of air,
A heat drying apparatus for preventing the inflow of external particles through positive pressure, characterized in that a plurality of ultrasonic vibrators 70 for drying by vibrating the internal air are further included in the drying space 12. 제 1항에 있어서,
상기 본체(10)의 상면에 결합되어 상기 건조공간(12)의 내부공기를 배출하는 배출부(14)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치.The method of claim 1,
A heating drying apparatus for preventing the inflow of external particles through positive pressure, characterized in that it further comprises a discharge unit 14 coupled to the upper surface of the main body 10 to discharge the internal air of the drying space 12. 제 1항에 있어서,
상기 본체(10)의 내측면에 설치되어 상기 순환부(30)를 통해 순환되는 공기의 열기가 외부로 전달되는 것을 방지하는 단열부(15)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치.The method of claim 1,
External particles through positive pressure, characterized in that it further includes an insulation unit 15 installed on the inner surface of the main body 10 to prevent heat of air circulating through the circulation unit 30 from being transmitted to the outside. Heating drying device to prevent inflow of water. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 건조공간(12)의 양측면은, 상기 유입라인(31) 및 상기 정화라인(34)으로 공기가 유입 및 배출될 수 있도록 다수개의 통공(13a)이 형성된 타공판(13)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치.The method of claim 1,
Both sides of the drying space 12 are formed of a perforated plate 13 having a plurality of through holes 13a so that air can be introduced and discharged into the inflow line 31 and the purification line 34. Heat drying device that prevents the inflow of external particles through positive pressure. 제 1항에 있어서,
상기 흡입부(40)는,
상기 제1순환라인(32)에 다수개 설치되어 상기 유입라인(31)의 공기를 흡입하여 상기 제2순환라인(33)으로 공급하는 송풍팬(41)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치.The method of claim 1,
The suction unit 40,
Externally through positive pressure, characterized in that it consists of a blower fan 41 installed in the first circulation line 32 to suck the air from the inlet line 31 and supply it to the second circulation line 33 Heat-drying device that prevents particle inflow. 제 1항에 있어서,
상기 가열부(50)는,
상기 흡입부(40)의 후측에 위치하도록 상기 제1순환라인(32)에 설치되며, 상기 제1순환라인(32)의 폭에 맞춰 지그재그 방식으로 형성된 가열배관(51)과,
상기 가열배관(51)을 외부로 돌출되도록 다수개 결합된 방열핀(52)과,
상기 본체(10)의 외부에 설치되어 상기 가열배관(51)을 가열하는 가열수단(53)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양압을 통해 외부 파티클의 유입을 방지하는 가열 건조장치.

The method of claim 1,
The heating unit 50,
A heating pipe 51 installed in the first circulation line 32 so as to be located at the rear side of the suction part 40 and formed in a zigzag manner in accordance with the width of the first circulation line 32,
A plurality of radiating fins 52 coupled to protrude the heating pipe 51 to the outside,
Heating and drying apparatus for preventing the inflow of external particles through positive pressure, characterized in that comprising a heating means (53) installed outside the body (10) to heat the heating pipe (51).
KR1020200033559A 2020-03-19 2020-03-19 Heat drying device to prevent the ingress of external particles through positive pressure KR102190893B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200033559A KR102190893B1 (en) 2020-03-19 2020-03-19 Heat drying device to prevent the ingress of external particles through positive pressure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200033559A KR102190893B1 (en) 2020-03-19 2020-03-19 Heat drying device to prevent the ingress of external particles through positive pressure

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102190893B1 true KR102190893B1 (en) 2020-12-14

Family

ID=73780028

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200033559A KR102190893B1 (en) 2020-03-19 2020-03-19 Heat drying device to prevent the ingress of external particles through positive pressure

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102190893B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113465310A (en) * 2021-06-04 2021-10-01 老肯医疗科技股份有限公司 Medical quick drying cabinet
TWI790942B (en) * 2022-03-10 2023-01-21 精材科技股份有限公司 Semiconductor oven

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080029812A (en) * 2006-09-28 2008-04-03 주식회사 케이피씨 Thermal treatment device
KR100991931B1 (en) * 2010-01-27 2010-11-04 배덕수 Dry machine
KR20170051814A (en) * 2015-11-02 2017-05-12 (주)캠코리아 Apparatus for drying fire fighting equipments and the air circulation control method thereof
KR20180116803A (en) 2017-04-18 2018-10-26 주식회사 케이씨텍 Substrate drying apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080029812A (en) * 2006-09-28 2008-04-03 주식회사 케이피씨 Thermal treatment device
KR100991931B1 (en) * 2010-01-27 2010-11-04 배덕수 Dry machine
KR20170051814A (en) * 2015-11-02 2017-05-12 (주)캠코리아 Apparatus for drying fire fighting equipments and the air circulation control method thereof
KR20180116803A (en) 2017-04-18 2018-10-26 주식회사 케이씨텍 Substrate drying apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113465310A (en) * 2021-06-04 2021-10-01 老肯医疗科技股份有限公司 Medical quick drying cabinet
TWI790942B (en) * 2022-03-10 2023-01-21 精材科技股份有限公司 Semiconductor oven

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102190893B1 (en) Heat drying device to prevent the ingress of external particles through positive pressure
CA2471860C (en) Compact convection drying chamber for drying printed circuit boards and other electronic assemblies by enhanced evaporation
KR960019563A (en) Polishing device
KR101277691B1 (en) Dryer system of leather automatic painting apparatus
WO1992020984A1 (en) Vacuum drying apparatus
KR20210146266A (en) EFEM, Equipment Front End Module
TW202125678A (en) Substrate processing device and substrate processing method
KR101852937B1 (en) Rapid cooling device and heat-treat oven system having the device
JP2008244276A (en) Substrate drying apparatus and substrate drying method
JP5173463B2 (en) Clean air circulation system and clean air circulation method
KR20090021160A (en) Climate control device
US20190287834A1 (en) Efem, equipment front end module
KR100895695B1 (en) Cooling apparatus for Fan Filter Unit using theremoelectric element
JP2006300409A (en) Dryer
KR20200040159A (en) Moisture removal apparatus for dryer agricultural and livestock product
KR100603434B1 (en) Cleaning Apparatus using plasma generating device
JP2003090681A (en) Hot-air treating apparatus
KR100909611B1 (en) Cooling device of fan filter unit using thermoelectric element
JP6675761B2 (en) Continuous rapid cooling device and method for preventing frost and dew condensation
JPH11173774A (en) Plate type heat pipe and temperature controller using it
WO2023127766A1 (en) Burn-in test device, chamber for burn-in test device, and environment formation device
KR200308144Y1 (en) Device for drying ginseng
KR100535376B1 (en) Apparatus for diffusing uniformly injection air of ventilator using air conditioner
CN220670007U (en) Drying system
KR101130408B1 (en) Clothes treating apparatus with wasted heat regeneration means

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant