KR102178988B1 - 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 개시한다. 개시된 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치는, 반도체 제조 설비의 챔버 외측에 설치되는 메인 브래킷 부재과, 메인 브래킷 부재에 결합되며 챔버 내부의 중량물을 견인하여 인양할 수 있는 인양 와이어를 선택적으로 권취하는 전동 윈치부와, 인양 와이어가 통과하도록 메인 브래킷 부재의 하부에 고정되며 전동 윈치부의 구동을 선택적으로 정지하기 위한 스위치를 구비하는 스위치 유닛과, 스위치 유닛에 회전 가능하게 결합되어 인양 와이어의 끝단에 결합되는 인양훅이 선택적으로 접촉함에 따라 회전하면서 스위치를 선택적으로 작동시키는 스위치 구동부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 챔버 내부의 중량물인 진공 펌프를 인양할 때 인양훅이 전동 윈치부에 충돌하기 스위치 구동부에 접촉되면서 전동 윈치부의 구동을 정지시키므로, 인양훅에 의한 전동 윈치부의 파손을 방지할 수 있다.

Description

반도체 제조 설비용 펌프 인양장치{Lifting device for semiconductor manufacturing equipment}
본 발명은 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 설비의 챔버 내부에 설치되는 중량물을 인양할 수 있도록 하는 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자의 제조를 위해서는 증착, 사진, 식각, 애칭, 그리고 세정 등 다양한 공정이 요구되며, 많은 공정이 챔버(chamber) 내에서 이루어지고 있다.
그리고 폴리실리콘막, 질화막, 산화막 등의 막질을 반도체 웨이퍼 상에 증착시키기 위해서는 주로 확산 공정 또는 화학 기상 증착(CVD: Chemical Vapor Deposition) 공정을 수행하게 된다.
이러한 확산 공정이나 CVD 공정을 수행하는 제조 설비는, 하나의 반도체 웨이퍼를 처리하는 매엽 방식(single type)의 장치와, 복수의 반도체 웨이퍼들을 동시에 처리하는 배치 방식(Batch type)으로 구별될 수 있다.
한편, 반도체 제조 설비에는 반도체 제조를 위한 각 공정의 진행을 위한 공정 챔버가 구비되며, 공정 챔버에서 수행되는 공정 중 많은 공정에서 공정 챔버의 내부를 진공 상태로 유지하게 된다.
그리고, 각 공정에서는 공정 챔버 내부의 진공을 형성하기 위하여, 공정 챔버에서 연장되는 펌핑 배관 상에 터보 펌프, 드라이 펌프, 아이솔레이션 밸브 등과 같은 여러 가지 부품이 설치된다.
그러나, 상기와 같은 종래 기술의 반도체 설비는, 중량물인 펌프 등과 같은 부품을 교체하기 위해서는 작업자가 직접 운반하여 하므로, 교체 작업이 매우 어렵고, 협소한 공간에서 부품 교체작업을 진행되므로, 다른 부품과의 간섭으로 인하여 교체 작업 중에 안전사고가 빈번하게 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
한편, 대한민국 등록특허 제10-0852259호(등록일:2008.08.07)에는 "반도체용 진공펌프의 랙 구조"가 개시되어 있고, 공개특허 제10-2015-0089959호(공개일:2015.08.05)에는 "웨이퍼 핸들링 견인 제어 시스템"가 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 반도체 제조 설비에 설치하여 챔버 내부의 중량물을 인양할 때 인양훅의 충돌에 의한 전동 윈치부의 파손을 방지할 수 있는 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 인양훅의 지지판이 접촉되는 스톱퍼림의 파손이나 변형시 그 교체를 간편하게 할 수 있는 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치는, 반도체 제조 설비의 챔버 외측에 설치되는 메인 브래킷 부재와, 상기 메인 브래킷 부재에 결합되며, 상기 챔버 내부의 중량물을 견인하여 인양할 수 있는 인양 와이어를 선택적으로 권취하는 전동 윈치부와, 상기 인양 와이어가 통과하도록 상기 메인 브래킷 부재의 하부에 고정되며, 상기 전동 윈치부의 구동을 선택적으로 정지하기 위한 스위치를 구비하는 스위치 유닛과, 상기 스위치 유닛에 회전 가능하게 결합되어 상기 인양 와이어의 끝단에 결합되는 인양훅이 선택적으로 접촉함에 따라 회전하면서 상기 스위치를 선택적으로 작동시키는 스위치 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 전동 윈치부는, 상기 인양 와이어가 권취됨에 따라 상기 스위치 구동부에 선택적으로 접촉되는 지지판이 상기 인양훅의 상측 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 스위치 유닛은, 중앙부에 상기 인양 와이어가 관통하는 와이어 관통홀부가 형성되고, 양단부가 하측으로 절곡되어 상기 스위치 구동부가 회전 가능하게 설치되는 보조 브래킷과, 상기 스위치 구동부를 통해 선택적으로 작동하도록 상기 보조 브래킷에 결합되는 스위치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 스위치 유닛은, 상기 인양 와이어의 접촉시 파손을 방지하도록 상기 보조 브래킷에 결합되는 와이어 보호 완충부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 상기 스위치 구동부는, 상기 스위치와 접촉하도록 힌지핀을 통해 상기 보조 브래킷에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 스위치 접촉블록과, 상기 지지판이 선택적으로 접촉하도록 "U"자 형으로 절곡되어 양단부가 상기 스위치 접촉블록에 각각 결합되는 스톱퍼림과, 상기 접촉블록을 상기 스위치측으로 탄성 지지하도록 상기 접촉블록과 상기 보조 브래킷을 연결하는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치는 종래기술과는 달리 반도체 제조 설비에 설치하여 챔버 내부의 중량물인 진공 펌프를 인양할 때 인양훅이 전동 윈치부에 충돌하기 스위치 구동부에 접촉되면서 전동 윈치부의 구동을 정지시키므로, 인양훅에 의한 전동 윈치부의 파손을 방지할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치는 인양훅의 지지판이 접촉되는 스톱퍼림의 파손이나 변형시 스톱퍼림만을 신속하고 간편하게 교체할 수 있으므로, 유지보수 비용을 줄일 수 있는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 설명하기 위한 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스위치 구동부를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스위치 구동부를 설명하기 위한 작동 상태도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치의 바람직한 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치를 설명하기 위한 정면도이다.
또한, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스위치 구동부를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 스위치 구동부를 설명하기 위한 작동 상태도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치(100)는, 반도체 제조 설비에 설치되는 메인 브래킷 부재(110)와, 메인 브래킷 부재(110)에 결합되는 전동 윈치부(120)와, 전동 윈치부(120)의 구동을 선택적으로 정지하기 위한 스위치 유닛(130)과, 전동 윈치부(120)의 정지를 위하여 스위치 유닛(130)을 선택적으로 작동시키는 스위치 구동부(140)를 포함한다.
이러한 본 실시 예에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치(100)는, 반도체 제조 설비에 설치되며, 진공 챔버의 내부에 구비되는 중량물 예를 들어 진공펌프, 밸브 등의 부품을 교체할 때 주량물을 견인하는데 사용된다.
메인 브래킷 부재(110)는, 반도체 제조 설비의 천정, 프레임, 챔버의 외부에 고정되며, 전동 윈치부(120)와 스위치 유닛(130)이 결합된다.
본 실시 예에 따른 메인 브래킷 부재(110)는, 전동 윈치부(120)의 노출이 최소화되도록 "ㄷ"자 형태를 가지며, 내부에 전동 윈치부(120)가 결합되고, 하면에 스위치 유닛(130)이 결합된다.
구체적으로, 메인 브래킷 부재(110)는, 상판부(111) 내면에 전동 윈치부(120)가 결합되고, 하판부(113)에 인양 와이어(121)가 관통하는 와이어 관통홀부(115)가 형성된다. 이러한, 메인 브래킷 부재(110)는 하판부(113)에 스위치 유닛(130)이 결합된다.
전동 윈치부(120)는, 메인 브래킷 부재(110)의 상판부(111) 하면에 접촉되어 볼트 및 너트를 통해 결합되며, 챔버 내부의 중량물을 견인하여 인양할 수 있는 인양 와이어(121)를 선택적으로 권취한다.
이를 위하여 전동 윈치부(120)는, 지지 플랜지(123)에 회전 가능하게 결합되는 권취드럼(125)과, 권취드럼(125)의 구동을 위하여 권취드럼(125)에 연결되는 구동모터(127)를 포함하며, 권취드럼(125)에 인양 와이어(121)가 권취되고, 인양 와이어(121)의 끝단에 인양훅(129)이 연결된다.
또한, 전동 윈치부(120)는, 인양 와이어(121)가 권취드럼(125)에 권취됨에 따라 인양훅(129)이 스위치 유닛(130)에 충돌하는 것을 방지하도록 인양훅(129)의 상측에 지지판(121a)이 구비되고, 지지판(121a)이 스위치 구동부(140)에 선택적으로 접촉되면서 스위치 구동부(140)를 작동시키게 된다. 지지판(121a)은 인양훅(129)의 상측에 위치하도록 인양 와이어(121)가 중앙부를 관통한다.
더하여 전동 윈치부(120)는 인양 와이어(121)가 와이어 관통홀부(115)와 스위치 유닛(130) 및 스위치 구동부(140)를 통과하여 하측으로 노출된 상태에서 지지판(121a)과 인양훅(129)이 결합된다.
스위치 유닛(130)은, 인양 와이어(121)가 통과하도록 메인 브래킷 부재(110)의 하판부(113)에 볼트 및 너트 결합방식으로 고정되며, 스위치 구동부(140)에서 전송되는 정지 신호에 의해 전동 윈치부(120)의 구동모터(127)로 공급되는 전력을 선택적으로 차단하게 된다.
본 실시 예에서는 스위치 유닛(130)이 볼트 및 너트에 의해 메인 브래킷 부재(110)에 고정되는 것을 예를 들어 설명하고 있지만, 용접 또는 리벳 방식을 통해 결합될 수도 있다.
본 실시 예에 따른 스위치 유닛(130)은 하판부(113)에 결합되는 보조 브래킷(131)과, 보조 브래킷(131)의 일측에 결합되어 정지신호를 선택적으로 출력하는 스위치(133)와, 스위치 구동부(140)가 회전 가능하게 설치되는 힌지핀(135)과, 인양 와이어(121)의 충돌을 방지하기 위한 와이어 보호 완충부재(137)를 포함한다.
보조 브래킷(131)은, 양단부가 하측으로 절곡되어 힌지핀(135)이 결합되는 핀고정판(131a)이 형성되며, 중앙부에 인양 와이어(121)가 관통하는 와이어 연장 개구부(131b)가 형성된다.
또한, 보조 브래킷(131)은 와이어 연장 개구부(131b)의 하측으로 와이어 보호 완충부재(137)가 결합된다.
스위치(133)는 스위치 구동부(140)가 접촉함에 따라 구동모터(127)의 정지 신호를 출력하게 된다.
힌지핀(135)은, 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치(100)의 설치 위치에 따라 스위치 구동부(140)의 설치 방향과 위치를 변경 가능하도록 핀고정판(131a)에 복수개 구비된다. 이때 핀고정판(131a)에는 힌지핀(135)이 결합되는 핀 고정홀이 형성된다.
와이어 보호 완충부재(137)는 인양 와이어(121)가 유동 됨에 따라 보조 브래킷(131) 등의 다른 부품에 접촉하여 파손되는 것을 방지하도록 보조 브래킷(131)에 4개가 4각형 형태로 결합된다. 이때 2개의 와이어 보호 완충부재(137)는 핀고정판(131a)에 정렬된 상태에서 힌지핀(135)이 관통됨에 따라 힌지핀(135)에 고정된다.
스위치 구동부(140)는, 스위치 유닛(130)의 힌지핀(135)에 회전 가능하게 설치되며, 인양 와이어(121)가 권취되면서 지지판(121a)이 접촉함에 따라 회전되면서 스위치(133)를 작동시키게 된다. 이때 스위치(133)는 스위치 구동부(140)가 접촉함에 따라 작동하여 구동모터(127)의 정시 신호를 출력한다.
또한, 스위치 구동부(140)는 지지판(121a)이 이격되면 원위치로 복원된다. 그러면 스위치(133)에 의해 차단되었던 구동모터(127)의 구동전력이 구동모터(127)로 다시 공급된다.
이를 위하여 본 실시 예에 따른 스위치 구동부(140)는, 스위치(133)와 접촉하도록 힌지핀(135)에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 스위치 접촉블록(141)과, 지지판(121a)의 접촉을 위하여 스위치 접촉블록(141)에 결합되는 스톱퍼림(143)과, 스위치(133)가 구동하도록 스위치 접촉블록(141)을 스위치(133)측으로 탄성 지지하는 탄성부재(145)를 포함한다.
스위치 접촉블록(141)은 힌지핀(135)에 회전 가능하게 연결되는 핀 결합판(141a)이 형성되고, 핀 결합판(141a)에 힌지핀(135)이 관통하는 힌지홀이 형성된다. 또한, 스위치 접촉블록(141)은 측면에 스톱퍼림(143)이 결합되는 고정홈이 형성되고, 상면에 탄성부재의 연결을 위한 연결리브가 돌출 형성된다.
스톱퍼림(143)은, "U"자 형으로 절곡되어 양단부가 스위치 접촉블록(141)의 고정홈에 결합되며, 그 내측으로 인양 와이어(121)가 통과하고, 그 하측으로 인양 와이어(121)의 지지판(121a)이 위치하게 된다.
탄성부재(145)는, 일단부가 보조 브래킷(131)에 연결되고 타단부가 스위치 접촉블록(141)의 연결리브에 결합된다.
본 실시 예에 따른 스위치 구동부(140)는 전동 윈치부(120)를 사용하지 않을 때 인양 와이어(121)가 권취드럼(125)에 권취된 상태로 인양 와이어(121)의 지지판(121a)이 스톱퍼림(143)에 접촉되어 스위치 접촉블록(141)을 상측으로 회전시키게 되고, 스위치 접촉블록(141)의 회전을 통해 스위치 접촉블록(141)이 스위치(133)에서 이격된다. 그러면 스위치(133)가 작동하여 모터 정지시호를 출력하여 구동모터(127)의 구동이 정지된다.
이후, 전동 윈치부(120)를 사용하기 위하여 작업자가 구동모터(127)를 작동시켜 권취드럼(125)에서 인양와이어()를 풀어주게 되면 지지판(121a)이 스톱퍼림(143)에서 이격되고, 탄성부재(145)의 탄성을 통해 스위치 접촉블록(141)이 스위치(133)측으로 회전되면서 구동모터(127)로 구동전력이 공급된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치(100)는 메인 브래킷 부재(110)의 내측에 권취드럼(125)이 결합되므로, 권취드럼(125)의 외부 노출이 최소화 되어 권취드럼(125)의 작동에 의해 안전사고를 방지할 수 있으며, 전동 윈치부(120)의 유지보수시에 메인 브래킷 부재(110)에서 간편하게 탈착할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치(100)는 인양훅(129)이 상승함에 따라 인양 와이어(121)의 지지판(121a)이 스톱퍼림(143)에 접촉하게 되면, 스톱퍼림(143)과 스위치 접촉블록(141)이 상측으로 회전하면서 스위치 접촉블록(141)이 스위치(133)에서 이격되면서 구동모터(127)의 정지 신호가 출력되어 구동모터(127)가 정지하게 된다. 이를 통해 전동 윈치부(120)의 구동을 정지되므로, 인양훅(129)에 의한 전동 윈치부(120)의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치(100)는 인양훅(129)의 지지판(121a)이 접촉되는 스톱퍼림(143)의 파손이나 변형시 스위치 접촉블록(141)에서 스톱퍼림(143)만을 분리하여 신속하고 간편하게 교체할 수 있으므로, 유지보수 비용을 줄일 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
100 : 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치 110 : 메인 브래킷 부재
111 : 상판부 113 : 하판부
115 : 와이어 관통홀부 120 : 전동 윈치부
121 : 인양 와이어 121a : 지지판
123 : 지지 플랜지 125 : 권취드럼
127 : 구동모터 130 : 스위치 유닛
131 : 보조 브래킷 133 : 스위치
135 : 힌지핀 137 : 와이어 보호 완충부재
140 : 스위치 구동부 141 : 스위치 접촉블록
143 : 스톱퍼림 145 : 탄성부재

Claims (4)

  1. 반도체 제조 설비의 챔버 외측에 설치되는 메인 브래킷 부재; 상기 메인 브래킷 부재에 결합되며, 상기 챔버 내부의 중량물을 견인하여 인양할 수 있는 인양 와이어를 선택적으로 권취하는 전동 윈치부; 상기 인양 와이어가 통과하도록 상기 메인 브래킷 부재의 하부에 고정되며, 상기 전동 윈치부의 구동을 선택적으로 정지하기 위한 스위치를 구비하는 스위치 유닛; 및 상기 스위치 유닛에 회전 가능하게 결합되어 상기 인양 와이어의 끝단에 결합되는 인양훅이 선택적으로 접촉함에 따라 회전하면서 상기 스위치를 선택적으로 작동시키는 스위치 구동부;를 포함하며,
    상기 전동 윈치부는, 상기 인양 와이어가 권취됨에 따라 상기 스위치 구동부에 선택적으로 접촉되는 지지판이 상기 인양훅의 상측 구비되며,
    상기 스위치 유닛은, 중앙부에 상기 인양 와이어가 관통하는 와이어 관통홀부가 형성되고, 양단부가 하측으로 절곡되어 상기 스위치 구동부가 회전 가능하게 설치되는 보조 브래킷; 및 상기 스위치 구동부를 통해 선택적으로 작동하도록 상기 보조 브래킷에 결합되는 스위치;를 포함하고,
    상기 스위치 구동부는, 상기 스위치와 접촉하도록 힌지핀을 통해 상기 보조 브래킷에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 스위치 접촉블록; 상기 지지판이 선택적으로 접촉하도록 "U"자 형으로 절곡되어 양단부가 상기 스위치 접촉블록에 각각 결합되는 스톱퍼림; 및 상기 접촉블록을 상기 스위치측으로 탄성 지지하도록 상기 접촉블록과 상기 보조 브래킷을 연결하는 탄성부재;를 포함하며,
    상기 스위치 접촉블록은, 상기 힌지핀이 회전 가능하게 관통하는 힌지홀이 형성되는 핀 결합판이 형성되고, 측면에 상기 스톱퍼림이 결합되는 고정홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 스위치 유닛은, 상기 인양 와이어의 접촉시 파손을 방지하도록 상기 보조 브래킷에 결합되는 와이어 보호 완충부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비용 펌프 인양장치.
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