KR102172068B1 - Driving Unit and vehicle having the same - Google Patents

Driving Unit and vehicle having the same Download PDF

Info

Publication number
KR102172068B1
KR102172068B1 KR1020190086955A KR20190086955A KR102172068B1 KR 102172068 B1 KR102172068 B1 KR 102172068B1 KR 1020190086955 A KR1020190086955 A KR 1020190086955A KR 20190086955 A KR20190086955 A KR 20190086955A KR 102172068 B1 KR102172068 B1 KR 102172068B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
driving
unit
motor
driving unit
connection member
Prior art date
Application number
KR1020190086955A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
정우혁
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020190086955A priority Critical patent/KR102172068B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102172068B1 publication Critical patent/KR102172068B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0457Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Abstract

According to the present invention, a driving unit comprises: a first driving unit including a first driving wheel that comes into contact with a driving rail; a motor provided on the first driving unit and configured to rotate the first driving wheel; a first connection member connecting a rotary shaft of the motor with a first driving shaft of the first driving wheel so as to transmit rotational force of the motor to the first driving shaft of the first driving wheel; a second driving unit disposed separately from the first driving unit and including a second driving wheel that comes into contact with the driving rail; a second connection member provided on the second driving unit and connected to a second driving shaft of the second driving wheel; and a third connection member connecting the rotary shaft of the motor with the second connection member to transmit the rotational force of the motor to the second driving shaft and having a flexible structure to correspond even when the distance between the first driving unit and the second driving unit changes. According to the present invention, the driving unit has a simple structure, thereby being easily maintained and repaired.

Description

주행 유닛 및 이를 갖는 비히클{Driving Unit and vehicle having the same}Driving unit and vehicle having the same

본 발명은 주행 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛 및 이를 갖는 비히클에 관한 것이다.The present invention relates to a traveling unit and a vehicle having the same, and more particularly, to a traveling unit traveling along a traveling rail and a vehicle having the same.

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor processing devices for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. The object for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus while being accommodated in a cassette, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.

상기 카세트는 천장 반송 장치에 의해 이송된다. 상기 천장 반송 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. 상기 비히클은 상기 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛 및 상기 주행 유닛과 연결되며, 내부에 상기 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛을 포함한다. The cassette is conveyed by the ceiling conveying device. The ceiling conveying device includes a traveling rail provided along a ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged, and a vehicle that grips the cassette and runs along the traveling rail. The vehicle includes a traveling unit running along the traveling rail and a transfer unit connected to the traveling unit and gripping and transferring the cassette therein.

상기 주행 레일은 분기 구간이나 유턴 구간에서 곡선 형태를 갖는다. 상기 비히클이 상기 곡선 형태의 주행 레일을 주행하기 위해서 상기 주행 유닛에는 서로 분리된 한 쌍의 주행부들이 구비된다. 상기 각 주행부들은 주행 휠 및 상기 주행 휠을 회전시키기 위한 모터를 갖는다. The running rail has a curved shape in a branch section or a U-turn section. In order for the vehicle to travel on the curved driving rail, a pair of driving units separated from each other are provided in the driving unit. Each of the driving units has a driving wheel and a motor for rotating the driving wheel.

상기 주행부들에 상기 모터가 각각 구비되므로, 상기 주행 유닛의 구조가 복잡해지고, 상기 주행 유닛의 무게가 증가하며, 상기 주행 유닛의 단가가 상승할 수 있다. 또한, 상기 주행 유닛의 구조가 복잡해짐에 따라 상기 주행 유닛의 유지 보수가 어려울 수 있다. Since the motors are provided in each of the driving units, the structure of the driving unit may be complicated, the weight of the driving unit may increase, and the unit cost of the driving unit may increase. In addition, as the structure of the driving unit becomes complicated, maintenance of the driving unit may be difficult.

본 발명은 한 쌍의 주행부가 하나의 모터에 의해 구동되는 주행 유닛을 제공한다. The present invention provides a traveling unit in which a pair of traveling parts are driven by one motor.

본 발명은 상기 구동 유닛을 갖는 비히클을 제공한다.The present invention provides a vehicle having the drive unit.

본 발명에 따른 주행 유닛은, 주행 레일과 접촉하는 제1 주행 휠을 갖는 제1 주행부와, 상기 제1 주행부에 구비되며, 상기 제1 주행 휠을 회전시키기 위한 모터와, 상기 모터의 회전력을 상기 제1 주행 휠의 제1 구동축으로 전달하기 위해 상기 모터의 회전축과 상기 제1 구동축을 연결하는 제1 연결 부재와, 상기 제1 주행부와 이격되도록 배치되며, 상기 주행 레일과 접촉하는 제2 주행 휠을 갖는 제2 주행부와, 상기 제2 주행부에 구비되며, 상기 제2 주행 휠의 제2 구동축과 연결되는 제2 연결 부재 및 상기 모터의 회전력을 상기 제2 구동축으로 전달하기 위해 상기 모터의 회전축과 상기 제2 연결 부재를 연결하며, 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부 사이의 거리가 변화되더라도 대응하도록 유연 구조를 갖는 제3 연결 부재를 포함할 수 있다. The traveling unit according to the present invention includes a first traveling unit having a first traveling wheel in contact with a traveling rail, a motor provided on the first traveling section, and rotating the first traveling wheel, and a rotational force of the motor. A first connection member connecting the rotation shaft of the motor and the first driving shaft to transmit the first driving shaft to the first driving shaft of the first driving wheel, and a first connecting member disposed to be spaced apart from the first driving part, and contacting the driving rail. To transmit a second driving unit having a second driving wheel, a second connecting member provided on the second driving unit and connected to a second driving shaft of the second driving wheel, and a rotational force of the motor to the second driving shaft A third connection member that connects the rotation shaft of the motor and the second connection member, and has a flexible structure to correspond to a change in a distance between the first driving part and the second driving part.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 연결 부재 및 상기 제2 연결 부재는 각각 풀리들과 상기 풀리들을 연결하는 벨트로 이루어지거나, 기어들로 이루어질 수 있다. According to exemplary embodiments of the present invention, the first connection member and the second connection member may be formed of pulleys and a belt connecting the pulleys, or may be formed of gears.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제3 연결 부재는 플렉서블 비트일 수 있다. According to embodiments of the present invention, the third connection member may be a flexible bit.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 모터의 회전 속도가 상기 제3 연결 부재에 의해 일정한 비율로 손실되는 경우, 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부의 속도가 동일하도록 상기 제1 주행 휠과 상기 제2 주행 휠의 지름비가 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, when the rotation speed of the motor is lost at a constant rate by the third connecting member, the first driving wheel is configured such that the first driving unit and the second driving unit have the same speed. And the diameter ratio of the second driving wheel may be inversely proportional to the loss ratio of the rotation speed.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 모터의 회전 속도가 상기 제3 연결 부재에 의해 일정한 비율로 손실되는 경우, 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부의 속도가 동일하도록 상기 제2 연결 부재의 회전 속도 비율이 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, when the rotation speed of the motor is lost at a constant rate by the third connection member, the second connection member may have the same speed as the first driving part and the second driving part. The rotation speed ratio of may be inversely proportional to the loss ratio of the rotation speed.

본 발명에 따른 비히클은, 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛 및 상기 주행 유닛과 연결되며, 내부에 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛을 포함하고, 상기 주행 유닛은, 상기 주행 레일과 접촉하는 제1 주행 휠을 갖는 제1 주행부와, 상기 제1 주행부에 구비되며, 상기 제1 주행 휠을 회전시키기 위한 모터와, 상기 모터의 회전력을 상기 제1 주행 휠의 제1 구동축으로 전달하기 위해 상기 모터의 회전축과 상기 제1 구동축을 연결하는 제1 연결 부재와, 상기 제1 주행부와 이격되도록 배치되며, 상기 주행 레일과 접촉하는 제2 주행 휠을 갖는 제2 주행부와, 상기 제2 주행부에 구비되며, 상기 제2 주행 휠의 제2 구동축과 연결되는 제2 연결 부재 및 상기 모터의 회전력을 상기 제2 구동축으로 전달하기 위해 상기 모터의 회전축과 상기 제2 연결 부재를 연결하며, 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부 사이의 거리가 변화되더라도 대응하도록 유연 구조를 갖는 제3 연결 부재를 포함할 수 있다. A vehicle according to the present invention includes a traveling unit traveling along a traveling rail and a transport unit connected to the traveling unit and gripping and transporting a cassette therein, wherein the traveling unit comprises: a first traveling unit in contact with the traveling rail. A first driving unit having a driving wheel, a motor provided on the first driving unit, for rotating the first driving wheel, and the rotational force of the motor to be transmitted to the first driving shaft of the first driving wheel. A second driving unit having a first connecting member connecting the rotation shaft of the motor and the first driving shaft, a second driving wheel disposed to be spaced apart from the first driving unit, and contacting the driving rail, and the second driving A second connection member provided in the unit and connected to the second driving shaft of the second driving wheel and the rotation shaft of the motor and the second connection member to transmit the rotational force of the motor to the second driving shaft, and the A third connection member having a flexible structure may be included to correspond to a change in the distance between the first driving part and the second driving part.

본 발명에 따른 주행 유닛은 상기 제3 연결 부재를 이용하여 상기 모터로 상기 제1 주행부의 상기 제1 주행 휠 및 상기 제2 주행부의 상기 제2 주행 휠을 동시에 회전시킬 수 있다. 상기 주행 유닛에 상기 모터가 하나 구비되므로, 상기 주행 유닛의 구조를 단순화할 수 있고, 상기 주행 유닛의 무게를 줄일 수 있으며, 상기 주행 유닛의 단가를 줄일 수 있다. 또한, 상기 주행 유닛의 구조가 단순해짐에 따라 상기 주행 유닛의 유지 보수가 편리할 수 있다. The driving unit according to the present invention may simultaneously rotate the first driving wheel of the first driving part and the second driving wheel of the second driving part by the motor using the third connecting member. Since one motor is provided in the traveling unit, the structure of the traveling unit can be simplified, the weight of the traveling unit can be reduced, and the cost of the traveling unit can be reduced. In addition, as the structure of the traveling unit is simplified, maintenance of the traveling unit may be convenient.

또한, 상기 제3 연결 부재가 유연 구조를 가지므로, 곡선 형태의 주행 레일에서 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부가 서로 틀어지더라도 상기 모터와 상기 제2 연결 부재의 연결을 유지할 수 있다. 따라서, 상기 비히클이 상기 주행 레일을 안정적으로 주행할 수 있다.In addition, since the third connection member has a flexible structure, connection between the motor and the second connection member can be maintained even if the first driving unit and the second driving unit are twisted from each other in the curved driving rail. Accordingly, the vehicle can stably travel the travel rail.

그리고, 상기 모터의 회전 속도가 상기 제3 연결 부재에 의해 일정한 비율로 손실되는 경우, 상기 제1 주행 휠과 상기 제2 주행 휠의 지름비가 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례하거나, 상기 제2 연결 부재의 회전 속도 비율이 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례할 수 있다. 따라서, 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부가 동일한 속도로 주행할 수 있다. And, when the rotational speed of the motor is lost at a constant rate by the third connecting member, the diameter ratio of the first driving wheel and the second driving wheel is inversely proportional to the loss ratio of the rotational speed, or the second connection The rotational speed ratio of the member may be inversely proportional to the loss ratio of the rotational speed. Accordingly, the first driving unit and the second driving unit may travel at the same speed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 비히클을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 주행부, 제2 주행부 및 모터의 동력 전달을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 비히클이 곡선 형태의 주행 레일을 주행하는 형태를 설명하기 위한 평면도이다.
1 is a plan view illustrating a vehicle according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic side view for describing the vehicle shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a schematic plan view illustrating power transmission of a first driving unit, a second driving unit, and a motor illustrated in FIG. 1.
FIG. 4 is a plan view illustrating a manner in which the vehicle shown in FIG. 1 travels on a curved travel rail.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged compared to the actual size for clarity of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of being added.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 비히클을 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 제1 주행부, 제2 주행부 및 모터의 동력 전달을 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 비히클이 곡선 형태의 주행 레일을 주행하는 형태를 설명하기 위한 평면도이다.1 is a plan view for explaining a vehicle according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic side view for explaining the vehicle shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a first driving part shown in FIG. It is a schematic plan view for explaining the power transmission of the second traveling unit and the motor, and FIG. 4 is a plan view for explaining a form in which the vehicle shown in FIG. 1 travels on a curved traveling rail.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 비히클(300)은 주행 유닛(100) 및 이송 유닛(200)을 갖는다. 1 to 4, the vehicle 300 includes a traveling unit 100 and a transfer unit 200.

상기 주행 유닛(100)은 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 상기 주행 레일(10)은 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비될 수 있다. The traveling unit 100 runs along the traveling rail 10. The traveling rail 10 may be provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line.

상기 주행 유닛(100)은 제1 주행부(110) 및 제2 주행부(150)를 포함할 수 있다. 사익 제1 주행부(110) 및 상기 제2 주행부(150)는 상기 비히클(300)이 주행하는 주행 방향을 따라 서로 이격될 수 있다. The driving unit 100 may include a first driving unit 110 and a second driving unit 150. The first driving unit 110 and the second driving unit 150 may be spaced apart from each other along a driving direction in which the vehicle 300 travels.

상기 제1 주행부(110)는 대략 육면체 형상을 가지며, 상기 주행 방향과 수직하는 수평 방향의 양측에 제1 주행 휠(112)들을 갖는다. 상기 제1 주행 휠(112)들은 상기 주행 레일(10)과 접촉할 수 있다. The first driving part 110 has an approximately hexahedral shape, and has first driving wheels 112 on both sides in a horizontal direction perpendicular to the driving direction. The first driving wheels 112 may contact the driving rail 10.

상기 제1 주행부(110)의 상부면에는 제1 조향 휠(120)이 구비된다. 상기 제1 조향 휠(120)은 상기 수평 방향을 따라 이동 가능할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 조향 휠(120)은 상기 제1 주행부(110)의 좌우 방향으로 이동할 수 있다. A first steering wheel 120 is provided on an upper surface of the first driving part 110. The first steering wheel 120 may be movable along the horizontal direction. For example, the first steering wheel 120 may move in the left-right direction of the first driving part 110.

상기 제1 조향 휠(120)은 조향 레일(미도시)과 접촉할 수 있다. 상기 조향 레일(20)은 상기 주행 레일(10)의 분기 영역에서 직진 레일과 분기 레일을 따라 분기되도록 구비되며, 상기 비히클(300)의 주행 경로를 조절하는데 이용된다. The first steering wheel 120 may contact a steering rail (not shown). The steering rail 20 is provided to branch along the straight rail and the branch rail in the branch region of the travel rail 10 and is used to adjust the travel path of the vehicle 300.

상기 조향 레일은 직진 조향 레일과 분기 조향 레일을 포함한다. The steering rail includes a straight steering rail and a branch steering rail.

성기 직진 조향 레일은 상기 직진 레일을 따라 연장하면서 직진 주행을 안내하고, 상기 분기 조향 레일은 상기 분기 레일을 따라 연장하면서 분기 주행을 안내한다. The penis straight steering rail guides straight travel while extending along the straight rail, and the branch steering rail guides branch driving while extending along the branch rail.

상기 제1 조향 휠(120)은 상기 수평 방향으로 이동하면서 상기 직진 조향 레일의 측면 및 상기 분기 조향 레일의 측면과 선택적으로 접촉할 수 있다. The first steering wheel 120 may selectively contact a side surface of the straight steering rail and a side surface of the branch steering rail while moving in the horizontal direction.

예를 들면, 상기 비히클(300)이 직진 주행하는 경우, 상기 제1 조향 휠(120)은 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 직진 조향 레일의 측면과 접촉하고, 상기 비히클(300)이 분기 주행하는 경우, 상기 제1 조향 휠(120)은 상기 수평 방향으로 이동하여 상기 분기 조향 레일과 접촉할 수 있다. For example, when the vehicle 300 travels straight, the first steering wheel 120 moves in the horizontal direction to contact a side surface of the straight steering rail, and the vehicle 300 diverges , The first steering wheel 120 may move in the horizontal direction to contact the branch steering rail.

한편, 상기 제1 조향 휠(120)은 제1 구동부(122)에 의해 상기 수평 방향으로 이동할 수 있다. 상기 구동부는 제1 조향 휠(120)을 직선 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다. 일 예로는 스텝 모터, 솔레노이드, 리니어 모터 등을 들 수 있다. Meanwhile, the first steering wheel 120 may be moved in the horizontal direction by the first driving unit 122. Any of the driving units may be used as long as the first steering wheel 120 can be linearly reciprocated. An example is a step motor, a solenoid, a linear motor, and the like.

상기 제1 조향 휠(120)이 상기 수평 방향으로 이동할 때 제1 가이드 레일(124)에 의해 가이드될 수 있다. 상기 제1 가이드 레일(124)은 상기 제1 주행부(110)의 상부면에 상기 수평 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 조향 휠(120)이 상기 제1 가이드 레일(124)을 따라 상기 수평 이동하므로, 상기 제1 조향 휠(120)이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐만 아니라 상기 제1 조향 휠(120)의 상기 수평 이동시 발생하는 진동을 줄일 수 있다. When the first steering wheel 120 moves in the horizontal direction, it may be guided by the first guide rail 124. The first guide rail 124 may be provided on an upper surface of the first driving part 110 to extend in the horizontal direction. Since the first steering wheel 120 moves horizontally along the first guide rail 124, not only the first steering wheel 120 can stably move, but also the first steering wheel 120 Vibration generated during horizontal movement can be reduced.

상기 모터(130)는 상기 제1 주행부(110)에 구비되며, 상기 제1 주행 휠(112)을 회전시킬 수 있다. 상기 모터(130)의 예로는 서보 모터를 들 수 있다. The motor 130 is provided in the first driving part 110 and may rotate the first driving wheel 112. An example of the motor 130 may be a servo motor.

상기 모터(130)의 회전력은 제1 연결 부재(140)에 의해 전달될 수 있다. 상기 제1 연결 부재(140)는 상기 모터(130)의 회전축(132)과 상기 제1 주행 휠(112)의 제1 구동축(114)을 연결할 수 있다. The rotational force of the motor 130 may be transmitted by the first connection member 140. The first connection member 140 may connect the rotation shaft 132 of the motor 130 and the first drive shaft 114 of the first driving wheel 112.

구체적으로, 상기 제1 연결 부재(140)는 제1 구동 풀리(142), 제1 종동 풀리(144) 및 제1 벨트(146)를 포함할 수 있다.Specifically, the first connection member 140 may include a first driving pulley 142, a first driven pulley 144, and a first belt 146.

상기 제1 구동 풀리(142)는 상기 회전축(132)에 구비될 수 있다. 상기 제1 종동 풀리(144)는 상기 제1 구동축(114)에 구비될 수 있다. 상기 제1 벨트(146)는 상기 제1 구동 풀리(142)와 상기 제1 종동 풀리(144)를 연결할 수 있다. The first driving pulley 142 may be provided on the rotation shaft 132. The first driven pulley 144 may be provided on the first drive shaft 114. The first belt 146 may connect the first driving pulley 142 and the first driven pulley 144.

한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제1 연결 부재(140)는 상기 회전축(132)에 고정되는 제1 구동 기어 및 상기 제1 구동축(114)에 구비되며, 상기 제1 구동 기어와 맞물리는 제1 종동 기어를 포함할 수도 있다. On the other hand, although not shown, the first connection member 140 is provided on the first drive gear fixed to the rotation shaft 132 and the first drive shaft 114, and meshes with the first drive gear. It may also include a driven gear.

따라서, 상기 모터(130)의 회전력이 상기 제1 구동축(114)으로 안정적으로 전달될 수 있다. Accordingly, the rotational force of the motor 130 may be stably transmitted to the first drive shaft 114.

상기 제2 주행부(150)는 대략 육면체 형상을 가지며, 상기 수평 방향의 양측에 제2 주행 휠(152)들을 갖는다. 상기 제2 주행 휠(152)들은 상기 주행 레일(10)과 접촉할 수 있다. The second driving part 150 has an approximately hexahedral shape, and has second driving wheels 152 on both sides in the horizontal direction. The second driving wheels 152 may contact the driving rail 10.

상기 제2 주행부(150)의 상부면에는 제2 조향 휠(160)이 구비된다. 또한, 제2 조향 휠(160)은 제2 구동부(162)에 의해 상기 수평 방향으로 이동할 수 있고, 제2 가이드 레일(164)은 상기 제2 주행부(150)의 상부면에 상기 수평 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. A second steering wheel 160 is provided on an upper surface of the second driving part 150. In addition, the second steering wheel 160 can be moved in the horizontal direction by the second driving unit 162, and the second guide rail 164 is positioned in the horizontal direction on the upper surface of the second driving unit 150. It may be provided to extend along.

상기 제2 조향 휠(160), 상기 제2 구동부(162) 및 상기 제2 가이드 레일(164)에 대한 구체적인 설명은 상기 제1 조향 휠(120), 상기 제1 구동부(122) 및 상기 제1 가이드 레일(124)에 대한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다. For a detailed description of the second steering wheel 160, the second driving part 162, and the second guide rail 164, the first steering wheel 120, the first driving part 122, and the first Since it is substantially the same as the description of the guide rail 124 is omitted.

상기 제2 주행부(150)에는 상기 제2 주행 휠(152)을 회전시키기 위한 회전력을 전달하기 위해 제2 연결 부재(170)가 구비될 수 있다. 상기 제2 연결 부재(170)는 고정 부재(180)에 의해 상기 제2 주행부(150)에 고정될 수 있다. The second driving part 150 may be provided with a second connecting member 170 to transmit a rotational force for rotating the second driving wheel 152. The second connection member 170 may be fixed to the second driving part 150 by a fixing member 180.

구체적으로, 상기 제2 연결 부재(170)는 제2 구동 풀리(172), 제2 종동 풀리(174) 및 제2 벨트(176)를 포함할 수 있다.Specifically, the second connection member 170 may include a second driving pulley 172, a second driven pulley 174, and a second belt 176.

상기 제2 구동 풀리(172)는 상기 고정 부재(180)에 의해 상기 제2 주행부(150)의 외측면에 회전 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 종동 풀리(174)는 상기 제2 구동축(154)에 구비될 수 있다. 상기 제2 벨트(176)는 상기 제2 구동 풀리(172)와 상기 제2 종동 풀리(174)를 연결할 수 있다. The second driving pulley 172 may be provided to be rotatable on the outer surface of the second driving part 150 by the fixing member 180. The second driven pulley 174 may be provided on the second drive shaft 154. The second belt 176 may connect the second driving pulley 172 and the second driven pulley 174.

한편, 도시되지는 않았지만, 상기 제2 연결 부재(170)는 상기 고정 부재(180)에 고정되는 제2 구동 기어 및 상기 제2 구동축(154)에 구비되며, 상기 제2 구동 기어와 맞물리는 제2 종동 기어를 포함할 수도 있다. Meanwhile, although not shown, the second connection member 170 is provided on the second drive gear fixed to the fixing member 180 and the second drive shaft 154, and meshes with the second drive gear. It may also include two driven gears.

따라서, 상기 회전력이 상기 제2 구동축(154)으로 안정적으로 전달될 수 있다. Accordingly, the rotational force can be stably transmitted to the second drive shaft 154.

상기 모터(160)의 회전력을 상기 제2 구동축(154)으로 전달하기 위해 상기 제3 연결 부재(190)가 구비될 수 있다. 상기 제3 연결 부재(190)는 상기 회전축(132)과 상기 제2 연결 부재(170)를 연결한다. The third connection member 190 may be provided to transmit the rotational force of the motor 160 to the second drive shaft 154. The third connection member 190 connects the rotation shaft 132 and the second connection member 170.

예를 들면, 상기 제3 연결 부재(190)의 제1 단부(192) 및 제2 단부(194)를 갖는다. 상기 제1 단부(192)에는 홈(미도시)이 구비되며, 상기 홈에 상기 회전축(132)을 수용할 수 있다. 따라서, 상기 제1 단부(192)가 상기 회전축(132)과 고정될 수 있다. 상기 제2 단부(194)는 상기 제2 구동 풀리(172)에 구비된 홈에 삽입될 수 있다. 따라서, 상기 제2 단부(194)가 상기 제2 구동 풀리(172)와 고정될 수 있다. For example, it has a first end 192 and a second end 194 of the third connection member 190. A groove (not shown) is provided at the first end 192, and the rotation shaft 132 may be accommodated in the groove. Accordingly, the first end 192 may be fixed to the rotation shaft 132. The second end 194 may be inserted into a groove provided in the second driving pulley 172. Accordingly, the second end 194 may be fixed to the second driving pulley 172.

상기 제3 연결 부재(190)에 의해 상기 회전축(132)과 상기 제2 연결 부재(170)가 연결된 상태에서 상기 회전축(132)이 회전함에 따라 상기 제3 연결 부재(190)와 상기 제2 구동 풀리(172)도 같이 회전할 수 있다. 따라서, 상기 모터(160)의 회전력에 의해 상기 제2 구동축(154)이 회전할 수 있다. As the rotation shaft 132 rotates while the rotation shaft 132 and the second connection member 170 are connected by the third connection member 190, the third connection member 190 and the second drive The pulley 172 can also rotate. Accordingly, the second drive shaft 154 may rotate by the rotational force of the motor 160.

한편, 상기 제3 연결 부재(190)는 유연 구조를 갖는다. 상기 제3 연결 부재(190)의 예로는 플렉시블 비트(flexible bit)를 들 수 있다. 따라서, 상기 제3 연결 부재(190)는 휘어진 상태에서도 상기 모터(160)의 회전력을 상기 제2 연결 부재(170)로 전달할 수 있다.Meanwhile, the third connection member 190 has a flexible structure. An example of the third connection member 190 may be a flexible bit. Accordingly, the third connection member 190 may transmit the rotational force of the motor 160 to the second connection member 170 even in a bent state.

상기 비히클(300)이 곡선 형태의 주행 레일(10)을 주행하는 경우, 상기 제1 주행부(110)와 상기 제2 주행부(150)가 서로 틀어져 상기 제1 주행부(110)와 상기 제2 주행부(150) 사이의 거리가 변화될 수 있다. 상기 제3 연결 부재(190)가 상기 유연 구조를 가지므로, 상기 제1 주행부(110)와 상기 제2 주행부(150) 사이의 거리가 변화되더라도 상기 제3 연결 부재(190)가 상기 모터(130)와 상기 제2 연결 부재(170)의 연결을 유지할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(300)이 상기 주행 레일(10)을 안정적으로 주행할 수 있다.When the vehicle 300 travels on the curved driving rail 10, the first driving unit 110 and the second driving unit 150 are twisted to each other, so that the first driving unit 110 and the first driving unit 110 2 The distance between the driving units 150 may be changed. Since the third connection member 190 has the flexible structure, even if the distance between the first driving unit 110 and the second driving unit 150 changes, the third connection member 190 is The connection between 130 and the second connection member 170 may be maintained. Accordingly, the vehicle 300 can stably travel the travel rail 10.

상기와 같이 상기 모터(130) 하나로 상기 제1 주행부(110)의 상기 제1 주행 휠(112) 및 상기 제2 주행부(150)의 상기 제2 주행 휠(152)을 동시에 회전시킬 수 있다. 상기 주행 유닛(100)에 상기 모터(130)가 하나 구비되므로, 상기 주행 유닛(100)의 구조를 단순화할 수 있고, 상기 주행 유닛(100)의 무게를 줄일 수 있으며, 상기 주행 유닛(100)의 단가를 줄일 수 있다. 또한, 상기 주행 유닛(100)의 구조가 단순해짐에 따라 상기 주행 유닛(100)의 유지 보수가 편리할 수 있다. As described above, the first driving wheel 112 of the first driving part 110 and the second driving wheel 152 of the second driving part 150 can be rotated simultaneously with one motor 130. . Since one motor 130 is provided in the traveling unit 100, the structure of the traveling unit 100 can be simplified, the weight of the traveling unit 100 can be reduced, and the traveling unit 100 Can reduce the unit price. In addition, as the structure of the driving unit 100 is simplified, maintenance of the driving unit 100 may be convenient.

상기 제3 연결 부재(190)가 상기 모터(130)의 회전 속도를 그대로 상기 제2 연결 부재(170)로 전달하는 것이 바람직하지만, 상기 제3 연결 부재(190)의 내부 구조로 인해 상기 모터(130)의 회전 속도가 상기 제2 연결 부재(170)로 전달되는 과정에서 일정한 비율로 손실될 수 있다. It is preferable that the third connection member 190 transmits the rotational speed of the motor 130 as it is to the second connection member 170, but due to the internal structure of the third connection member 190, the motor ( While the rotation speed of 130) is transmitted to the second connection member 170, a certain rate may be lost.

이 경우, 일 예로, 상기 제1 주행 휠(112)과 상기 제2 주행 휠(152)의 지름비가 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례할 수 있다. 구체적, 상기 회전 속도의 손실 비율이 1 : n(n은 1보다 작은 양의 수)일 때, 상기 제1 주행 휠(112)과 상기 제2 주행 휠(152)의 지름비는 n : 1일 수 있다. In this case, for example, a diameter ratio of the first driving wheel 112 and the second driving wheel 152 may be inversely proportional to the loss ratio of the rotation speed. Specifically, when the loss ratio of the rotational speed is 1:n (n is a positive number less than 1), the diameter ratio of the first driving wheel 112 and the second driving wheel 152 is n: 1 day I can.

다른 예로, 상기 제2 연결 부재(170)의 회전 속도 비율이 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례할 수 있다. 구체적으로, 상기 회전 속도의 손실 비율이 1 : n(n은 1보다 작은 양의 수)일 때, 상기 제2 구동 풀리(172)와 상기 제2 종동 풀리(174)의 지름비는 n : 1일 수 있다. As another example, the rotation speed ratio of the second connection member 170 may be inversely proportional to the loss ratio of the rotation speed. Specifically, when the loss ratio of the rotational speed is 1:n (n is a positive number less than 1), the diameter ratio of the second driving pulley 172 and the second driven pulley 174 is n:1 Can be

상기 제1 주행 휠(112)과 상기 제2 주행 휠(152)의 지름비가 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례하거나, 상기 제2 연결 부재(170)의 회전 속도 비율이 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례하므로, 상기 모터(130)의 회전 속도가 상기 제2 연결 부재(170)로 전달되는 과정에서 일정한 비율로 손실되는 것을 보상할 수 있다. 따라서, 상기 제1 주행부(110)와 상기 제2 주행부(150)의 동일한 속도로 주행할 수 있다. The diameter ratio of the first driving wheel 112 and the second driving wheel 152 is inversely proportional to the loss ratio of the rotation speed, or the rotation speed ratio of the second connection member 170 is related to the loss ratio of the rotation speed. Since it is inversely proportional, it is possible to compensate for loss of the rotational speed of the motor 130 at a constant rate in the process of being transmitted to the second connection member 170. Accordingly, the first driving unit 110 and the second driving unit 150 can travel at the same speed.

상기 제1 주행부(110)와 상기 제2 주행부(150)의 속도 차이로 인해 상기 제1 주행 휠(112) 및 상기 제2 주행 휠(152)이 상기 주행 레일(10)에 대해 미끄러지거나, 상기 주행 레일(10)과 마찰하는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 주행 유닛(100)이 안정적으로 주행할 수 있다. Due to the difference in speed between the first driving unit 110 and the second driving unit 150, the first driving wheel 112 and the second driving wheel 152 slide relative to the driving rail 10, or , It is possible to prevent friction with the running rail 10. Therefore, the driving unit 100 can stably travel.

상기 이송 유닛(200)은 상기 주행 유닛(100)과 연결될 수 있다. 상기 주행 유닛(100)의 상기 제1 주행부(110) 및 상기 제2 주행부(150)는 상기 이송 유닛(200)에 대해 회전 가능하도록 연결될 수 있다. The transfer unit 200 may be connected to the traveling unit 100. The first driving unit 110 and the second driving unit 150 of the driving unit 100 may be connected to be rotatable with respect to the transfer unit 200.

또한, 상기 이송 유닛(200)은 내부에 카세트(20)를 파지하여 이송한다. 상기 카세트(20)의 내부에는 이송하기 위한 대상물이 수용될 수 있다. In addition, the transfer unit 200 grips and transfers the cassette 20 therein. An object for transport may be accommodated in the cassette 20.

상기 이송 유닛(200)은 하우징(210), 이동부(220), 승강부(230) 및 파지부(240)를 포함한다. The transfer unit 200 includes a housing 210, a moving part 220, an elevating part 230, and a gripping part 240.

상기 하우징(210)은 상기 주행 유닛(210)의 하부에 매달리듯 고정된다. 상기 하우징(210)은 상기 카세트(20)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 일측 측면인 정면이 개방될 수 있다. 이때, 상기 일측 측면은 상기 수평 방향일 수 있다.The housing 210 is fixed as if hanging from the lower portion of the driving unit 210. The housing 210 may have a lower side and a front side thereof open for vertical and horizontal movement of the cassette 20. In this case, the one side surface may be in the horizontal direction.

상기 이동부(220)는 상기 하우징(210)의 내부 상면에 구비되며, 상기 하우징(210)의 개방된 정면을 통해 상기 수평 방향을 따라 이동할 수 있다. The moving part 220 is provided on the inner upper surface of the housing 210 and may move along the horizontal direction through the open front surface of the housing 210.

상기 승강부(230)는 상기 이동부(220)의 하부면에 고정된다. 상기 승강부(230)는 벨트(232)를 권취하거나 권출하여 상기 벨트(232)를 승강시킬 수 있다.The lifting part 230 is fixed to the lower surface of the moving part 220. The lifting part 230 may wind up or unwind the belt 232 to lift the belt 232.

상기 파지부(240)는 상기 벨트(232)의 단부에 고정되며, 상기 카세트(20)를 파지한다. The gripping part 240 is fixed to the end of the belt 232 and grips the cassette 20.

상기 승강부(230)가 상기 벨트(232)를 승강시킴에 따라 상기 파지부(240)에 파지된 상기 카세트(20)가 상기 하우징(210)에 대해 승강할 수 있다. As the lifting part 230 lifts the belt 232, the cassette 20 gripped by the gripping part 240 may be lifted with respect to the housing 210.

또한, 상기 이동부(220)가 상기 수평 방향을 따라 이동하므로, 상기 카세트가(20)가 상기 하우징(210)에 대해 상기 수평 방향을 따라 이동할 수 있다. In addition, since the moving part 220 moves along the horizontal direction, the cassette 20 may move with respect to the housing 210 along the horizontal direction.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 주행 유닛 및 비히클은 상기 모터 하나로 상기 제1 주행부 및 상기 제2 주행부를 모두 주행시킬 수 있다. 따라서, 상기 주행 유닛의 구조를 단순화할 수 있고, 상기 주행 유닛의 무게를 줄일 수 있으며, 상기 주행 유닛의 단가를 줄일 수 있다. 또한, 상기 주행 유닛의 구조가 단순해짐에 따라 상기 주행 유닛의 유지 보수가 편리할 수 있다. As described above, the driving unit and the vehicle according to the present invention can drive both the first driving unit and the second driving unit with one motor. Accordingly, the structure of the traveling unit can be simplified, the weight of the traveling unit can be reduced, and the cost of the traveling unit can be reduced. In addition, as the structure of the traveling unit is simplified, maintenance of the traveling unit may be convenient.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.

100 : 주행 유닛 110 : 제1 주행부
112 : 제1 주행 휠 120 : 제1 조향 휠
122 : 제1 구동부 124 : 제1 가이드 레일
130: 모터 140 : 제1 연결 부재
150 : 제2 주행부 152 : 제2 주행 휠
160 : 제2 조향 휠 162 : 제2 구동부
164 : 제2 가이드 레일 170 : 제2 연결 부재
180 : 고정 부재 190 : 제3 연결 부재
10 : 주행 레일 20 : 카세트
100: traveling unit 110: first traveling unit
112: first driving wheel 120: first steering wheel
122: first drive unit 124: first guide rail
130: motor 140: first connecting member
150: second driving unit 152: second driving wheel
160: second steering wheel 162: second driving unit
164: second guide rail 170: second connecting member
180: fixing member 190: third connecting member
10: running rail 20: cassette

Claims (6)

주행 레일과 접촉하는 제1 주행 휠을 갖는 제1 주행부;
상기 제1 주행부에 구비되며, 상기 제1 주행 휠을 회전시키기 위한 모터;
상기 모터의 회전력을 상기 제1 주행 휠의 제1 구동축으로 전달하기 위해 상기 모터의 회전축과 상기 제1 구동축을 연결하는 제1 연결 부재;
상기 제1 주행부와 이격되도록 배치되며, 상기 주행 레일과 접촉하는 제2 주행 휠을 갖는 제2 주행부;
상기 제2 주행부에 구비되며, 상기 제2 주행 휠의 제2 구동축과 연결되는 제2 연결 부재; 및
상기 모터의 회전력을 상기 제2 구동축으로 전달하기 위해 상기 모터의 회전축과 상기 제2 연결 부재를 연결하며, 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부 사이의 거리가 변화되더라도 대응하도록 유연 구조를 갖는 제3 연결 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 주행 유닛.
A first driving unit having a first driving wheel in contact with the driving rail;
A motor provided on the first driving unit and configured to rotate the first driving wheel;
A first connecting member connecting the rotation shaft of the motor and the first driving shaft to transmit the rotational force of the motor to the first driving shaft of the first driving wheel;
A second driving unit disposed to be spaced apart from the first driving unit and having a second driving wheel in contact with the driving rail;
A second connection member provided on the second driving unit and connected to a second driving shaft of the second driving wheel; And
In order to transmit the rotational force of the motor to the second driving shaft, the rotational shaft of the motor and the second connection member are connected, and having a flexible structure corresponding to a change in the distance between the first driving part and the second driving part. The traveling unit of the vehicle, characterized in that it comprises a third connecting member.
제1항에 있어서, 상기 제1 연결 부재 및 상기 제2 연결 부재는 각각 풀리들과 상기 풀리들을 연결하는 벨트로 이루어지거나, 기어들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비히클의 주행 유닛. The driving unit of claim 1, wherein the first connection member and the second connection member are formed of pulleys and a belt connecting the pulleys, respectively, or are formed of gears. 제1항에 있어서, 상기 제3 연결 부재는 플렉서블 비트인 것을 특징으로 하는 비히클의 주행 유닛. The traveling unit of claim 1, wherein the third connecting member is a flexible bit. 제1항에 있어서, 상기 모터의 회전 속도가 상기 제3 연결 부재에 의해 일정한 비율로 손실되는 경우, 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부의 속도가 동일하도록 상기 제1 주행 휠과 상기 제2 주행 휠의 지름비가 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례하는 것을 특징으로 하는 비히클의 주행 유닛. The method of claim 1, wherein, when the rotation speed of the motor is lost at a constant rate by the third connecting member, the first driving wheel and the second driving unit are configured to have the same speeds as the first driving unit and the second driving unit. A traveling unit of a vehicle, wherein the diameter ratio of the traveling wheel is inversely proportional to the loss ratio of the rotational speed. 제1항에 있어서, 상기 모터의 회전 속도가 상기 제3 연결 부재에 의해 일정한 비율로 손실되는 경우, 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부의 속도가 동일하도록 상기 제2 연결 부재의 회전 속도 비율이 상기 회전 속도의 손실 비율에 반비례하는 것을 특징으로 하는 비히클의 주행 유닛. The rotation speed ratio of the second connection member according to claim 1, wherein when the rotation speed of the motor is lost at a constant rate by the third connection member, the speed of the first driving part and the second driving part are the same. The traveling unit of a vehicle, characterized in that inversely proportional to the loss ratio of the rotation speed. 주행 레일을 따라 주행하는 주행 유닛; 및
상기 주행 유닛과 연결되며, 내부에 카세트를 파지하여 이송하는 이송 유닛을 포함하고,
상기 주행 유닛은,
상기 주행 레일과 접촉하는 제1 주행 휠을 갖는 제1 주행부;
상기 제1 주행부에 구비되며, 상기 제1 주행 휠을 회전시키기 위한 모터;
상기 모터의 회전력을 상기 제1 주행 휠의 제1 구동축으로 전달하기 위해 상기 모터의 회전축과 상기 제1 구동축을 연결하는 제1 연결 부재;
상기 제1 주행부와 이격되도록 배치되며, 상기 주행 레일과 접촉하는 제2 주행 휠을 갖는 제2 주행부;
상기 제2 주행부에 구비되며, 상기 제2 주행 휠의 제2 구동축과 연결되는 제2 연결 부재; 및
상기 모터의 회전력을 상기 제2 구동축으로 전달하기 위해 상기 모터의 회전축과 상기 제2 연결 부재를 연결하며, 상기 제1 주행부와 상기 제2 주행부 사이의 거리가 변화되더라도 대응하도록 유연 구조를 갖는 제3 연결 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
A traveling unit traveling along the traveling rail; And
It is connected to the driving unit, and includes a transfer unit that grips and transfers a cassette therein,
The traveling unit,
A first driving unit having a first driving wheel in contact with the driving rail;
A motor provided on the first driving unit and configured to rotate the first driving wheel;
A first connecting member connecting the rotation shaft of the motor and the first driving shaft to transmit the rotational force of the motor to the first driving shaft of the first driving wheel;
A second driving unit disposed to be spaced apart from the first driving unit and having a second driving wheel in contact with the driving rail;
A second connection member provided on the second driving unit and connected to a second driving shaft of the second driving wheel; And
In order to transmit the rotational force of the motor to the second driving shaft, the rotational shaft of the motor and the second connection member are connected, and having a flexible structure corresponding to a change in the distance between the first driving part and the second driving part. Vehicle comprising a third connecting member.
KR1020190086955A 2019-07-18 2019-07-18 Driving Unit and vehicle having the same KR102172068B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190086955A KR102172068B1 (en) 2019-07-18 2019-07-18 Driving Unit and vehicle having the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190086955A KR102172068B1 (en) 2019-07-18 2019-07-18 Driving Unit and vehicle having the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102172068B1 true KR102172068B1 (en) 2020-10-30

Family

ID=73048316

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190086955A KR102172068B1 (en) 2019-07-18 2019-07-18 Driving Unit and vehicle having the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102172068B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010265077A (en) * 2009-05-14 2010-11-25 Hitachi Plant Technologies Ltd Tray tilting device in article carrying sorting system
KR20170071617A (en) * 2015-12-15 2017-06-26 김대희 the device and method to transfer 2 wheel driving car to 4 wheel driving car by using flexible shaft
WO2018020980A1 (en) * 2016-07-29 2018-02-01 新日鐵住金株式会社 Bogie for railroad car, and railroad car provided with bogie
KR20180116144A (en) * 2017-04-14 2018-10-24 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010265077A (en) * 2009-05-14 2010-11-25 Hitachi Plant Technologies Ltd Tray tilting device in article carrying sorting system
KR20170071617A (en) * 2015-12-15 2017-06-26 김대희 the device and method to transfer 2 wheel driving car to 4 wheel driving car by using flexible shaft
WO2018020980A1 (en) * 2016-07-29 2018-02-01 新日鐵住金株式会社 Bogie for railroad car, and railroad car provided with bogie
KR20180116144A (en) * 2017-04-14 2018-10-24 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102202077B1 (en) Vehicle for Overhead Hoist Transport device
KR20180061542A (en) Overhead Hoist transport device
CN107381048A (en) Commutate conveying equipment and glass post-processing production line
US9028197B2 (en) Robot with plurality of belts and intermediate pulley
KR20210002427A (en) Unit for supporting cassette and vehicle having the unit
KR102172068B1 (en) Driving Unit and vehicle having the same
CN105209367B (en) Asymmetric directive wheel for many transmission belt elevator devices of torsional mode
CN108341266B (en) Device and method for reversing and conveying plate glass and automatic sorting system
KR102300631B1 (en) Guide rail and overhead hoist transport device having the same
KR102344111B1 (en) Overhead hoist transport device
WO2020022107A1 (en) Extension and contraction device
CN207107877U (en) Commutate conveying equipment and glass post-processing production line
KR102238169B1 (en) Vehicle and overhead hoist transport
KR20220023460A (en) Driving Unit and vehicle having the same
JP4085624B2 (en) Rotating device for square bottle
JP5395324B2 (en) Door opener
KR20210016832A (en) Method of controlling traveling wheels of vehicle
JP4288747B2 (en) Transport device
KR20210116999A (en) Overhead Hoist transport device
CN111361944A (en) Sliding device for transmission of arbitrary continuous curve guide rail
KR100456792B1 (en) Belting Apparatus for mechanical restrained backlash
JP4210117B2 (en) Belt drive equipment
KR101346670B1 (en) Device using the vehicle belt pully
CN219435617U (en) Inner belt traction assembly, double-drive belt traction assembly and belt traction machine
CN214298059U (en) But translation transport mechanism

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant