KR102151320B1 - 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치 - Google Patents

코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치를 개시한다. 이러한 본 발명은 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 상부 및 하부 노즐에서, 상부 노즐의 전,후 수평 이동을 하나의 수평 결합형 구동모듈로 제어한 것이고, 이에 따라 상부 노즐의 전,후 수평 이동에 따른 슬라이딩면과 구동 방향을 일치시켜 코팅 갭 편차가 발생하는 것을 방지하고, 캔틸 레버를 통한 수동 조작으로 상부 노즐을 전,후 방향으로 수평 이동킬 때에는 좌굴(bucking)이 발생하는 것을 방지시키면서, 코팅 두께의 적절한 조절을 통해 다운스트림 매니스커스(downstream meniscus)만이 형성시켜 코팅 대상물에서 마이크로 단위 이상의 이중 액막이 편차없이 균일한 두께로 도포될 수 있도록 하는 등 그 코팅 성능을 향상시키는 것이다.

Description

코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치 {DOUBLE NOZZLE DRIVING APPARATUS FOR COATING MATERIAL OF SEMICONDUCTOR COATER}
본 발명은 코팅액 도포장치에 적용되는 코팅액 분사용 노즐을 수평 이동시키는 구동장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 이중 노즐의 전,후 수평 이동이 하나의 구동부를 통해 이루어질 수 있도록 하는 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치에 관한 것이다.
코팅이란 기판위의 공기를 액상의 코팅액으로 대체하는 것을 말하고, 코팅공정은 고분자 용액, 현탁액 등의 코팅액을 분사노즐을 통해 기판 위에 도포됨으로써 마이크로 단위 이하의 액막을 만드는 공정이라 할 수 있다.
상기 코팅 공정은 산업적 응용범위가 매우 넓은데, 예를들면, LCD/PDP 등과 같은 디스플레이, 자성 또는 광학디스크, 노광, 고집적회로기판, 광섬유 등의 일반산업용 및 가정용에 이르기까지 코팅공정은 모든 산업의 핵심이 되는 분야라 할 수 있다.
최근 그 중요성으로 인해 코팅 분야에 대한 연구가 활발히 진행되고 있는데 생산 속도를 빠르게 하면서 얇고 정밀한 코팅 제품을 생산하기 위한 최적화/안정성 연구, 다층 필름 및 동시 양면 코팅 제품 등과 같이 코팅의 기능성을 부여하는 신기술 개발, 환경 문제를 해결하기 위한 비뉴튼(Non-Newtonian) 특성의 코팅액 개발, 최적의 공정조건을 도출하고자 하는 이론적, 실험적 연구 등이 그것이다.
상기 코팅 방식은 코팅 대상물의 구조 및 종류, 코팅액, 코팅 두께 등에 따라 슬라이드 코팅(side coating), 슬롯 코팅(slot coating), 딥 코팅(dip coating), 롤 코팅(roll coating), 스핀 코팅(spin coating), 다층 코팅(multi-layered coating), 커튼 코팅(curtain coating) 등으로 분류되며, 현재에는 슬롯 코팅이 주로 많이 이용되고 있는 실정이다.
이때, 상기 슬롯 코팅이나 커튼 코팅의 경우에는 슬롯형 분사구를 가지는 코팅액 분사용 노즐을 사용하게 되며, 상기 노즐은 코팅액 유입구와 이에 연통되어 코팅액을 분산시키는 배기슬롯공간을 가지는 제 1 다이 블럭과, 상기 제 1 다이 블럭에 결합되는 제 2 다이 블럭으로 이루어지고, 상기 제 1 및 제 2 다이 블럭의 결합으로부터 상기 배기슬롯공간으로부터 분산되어 안내되는 코팅액을 외부로 분사하도록 일정한 갭(gap)을 유지하는 슬롯형 분사구가 형성되는 것이다.
그리고, 상기 슬롯형 분사구를 형성하기 위한 복수의 립부(lip)가 일정 면적을 가지게 되므로, 상기 립부와 코팅 대상물 사이에서 코팅액 분사를 통해 형성되는 코팅 비드(coating bead) 부분에서는 상기 슬롯형 분사구를 중심으로 하여 다운스트림 매니스커스(downstream meniscus)만이 형성되어야 하지만, 노즐의 폭 방향으로 코팅 대상물의 이동이 이루어질 때 업스트림 매니스커스(upstream meniscus)가 형성되면서, 상기 업스트림 매니스커스에서 작용하는 압력 강하로 인해 코팅 대상물의 속도, 코팅액의 유량, 립부와 코팅 대상물 사이의 간격 등이 불량해지는 문제가 발생하기도 하였다.
이에 현재에는 두개 이상의 층을 한번에 코팅하는 기술이 대두되고 있으며, 이를 위해 첨부된 도 1 및 도 2에서와 같이, 코팅액 분사용 노즐(100, 200)을 상부 및 하부로 분할시킨 이중 구조(Dual Slot Die)로 구성하기에 이르렀다.
즉, 이중 구조를 가지는 상부 및 하부 노즐(100, 200)은 각각 서로 마주하는 다이블럭(101, 102)(201, 202)으로 구성한 것으로, 서로 마주하는 다이블럭(101, 102)(201, 202)에는 각각 슬롯형 분사구(100a, 200a)가 형성될 수 있는 것이다.
여기서, 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 노즐(100, 200)을 사용하는 주된 목적은 다운스트림 매니스커스(downstream meniscus)만을 형성하기 위한 것으로, 이를 제어하는 방법에 따라 코팅 두께가 결정될 수 있기 때문이다.
한편, 상기와 같은 종래 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 상부 및 하부 노즐(100, 200)은 슬롯형 분사구(100a, 200a)에서 분사되는 코팅액의 코팅 갭을 각각 서로 조정할 수 있는 장점이 있고, 또한 그 조정 단위를 ㎛단위로 하여 세밀하게 조정 가능하다는 장점이 있으며, 더불어, 2대의 노즐(100, 200)이 필요한 다층 코팅의 공정시 설비를 간소화하는 장점이 있음은 물론, 즉시 다층 코팅이 이루어져 외부 입자의 유입을 차단하기 때문에 품질 향상에도 도움되는 장점을 가진 것이다.
그러나, 상기와 같은 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 상부 및 하부 노즐(100, 200)이 일체형 구조이기 때문에 코팅 조건을 맞추기 까다롭다는 단점이 있었다.
이에 코팅액 분사용 상부 및 하부 노즐(100, 200)에서의 코팅 갭 조정을 위해, 상부 노즐(100)을 수평 전진 이동시키는 제 1 구동모듈(300)을 적용하는 한편, 상기 상부 노즐(100)의 수평 후진 이동시키도록 에어 실린더(Air Cylinder)로 이루어진 제 2 구동모듈(400)을 적용하였다.
이때, 상기 제 1 구동모듈(300)은, 서보모터(301), 복수의 감속기(302, 303), 커플링부(304), 볼스크류(305), 작동체(306), LM 롤러(307), LM 가이드(308)를 포함하는 것으로, 상기 서보모터(301)의 구동에 따라 커플링부(304)에 의해 연결되는 볼스크류(305)가 회전하게 되면, 상기 볼스크류(305)의 외주면에 결합되는 작동체(306)가 LM 가이드(308)를 따라 하강하게 되면서, 상기 작동체(306)와 접촉되는 LM 롤러(307)가 전진 이동하는 것이며, 이에따라 상기 LM 롤러(307)와 결합되는 상기 상부 노즐(100)이 전진의 수평 이동이 이루어질 수 있는 것이다.
한편, 상기 상부 노즐(300)에는 링크부(309)를 통해 에어 실린더로 이루어진 상기 제 2 구동모듈(400)의 연결로드(401)가 연결되어 있으므로, 상기 상부 노즐(300)은 상기 제 2 구동모듈(400)에 의해 후진의 수평 이동이 이루어질 수 있는 것이다.
그러나, 상기와 같은 수직 결합형 제 1 구동모듈(300)은 상부 노즐(100)을 수평 전진 이동시키도록 수직 체결되는 것으로, 상기 상부 노즐(100)의 전진 이동에 따른 슬라이딩(Sliding)면과 상기 제 1 구동모듈(300)의 구동 방향이 서로 다르기 때문에 실제 조작시 코팅 갭에 편차가 발생하는 문제점이 있었다.
또한, 상기와 같은 수직 결합형 제 1 구동모듈(300)은 상기 서보모터(301)를 구동시키지 않고, 캔틸 레버(309)로 조작하여 상기 상부 노즐(300)을 전진 이동시킬 때, 상기 볼스크류(305)에서 작동체(306)가 움직이지 않고, 상기 볼스크류(305)에서 좌굴(bucking)이 발생하는 문제점을 가지고 있었다.
등록특허공보 제10-1325318호(공고일 2013.11.08)
등록특허공보 제10-1357979호(공고일 2014.02.05)
등록특허공보 제10-1357988호(공고일 2014.02.05)
등록특허공보 제10-1393211호(공고일 2014.05.08)
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 상부 및 하부 노즐에서, 상부 노즐의 전,후 수평 이동을 하나의 수평 결합형 구동모듈로 제어함으로써, 상부 노즐의 전,후 수평 이동에 따른 슬라이딩면과 구동 방향을 일치시켜 코팅 갭 편차가 발생하는 것을 방지하고, 캔틸 레버를 통한 수동 조작으로 상부 노즐을 전,후 방향으로 수평 이동킬 때에는 좌굴(bucking)이 발생하는 것을 방지시킬 수 있도록 하는 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 과제 해결 수단인 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치는, 서로 마주하는 제 1 및 제 2 다이블럭에 의해 제 1 슬롯형 분사구가 형성되는 상부 노즐과, 서로 마주하는 제 3 및 제 4 다이블럭에 의해 제 2 슬롯형 분사구가 형성되는 하부 노즐이 적층되는 이중 구조의 코팅액 분사용 노즐에서, 상기 상부 노즐이 적층된 상기 하부 노즐은 고정블럭을 가지는 베이스의 평면에 결합 구성하고, 상기 상부 노즐에는 상기 고정블럭의 경사면에 하우징이 고정된 상태에서 상기 상부 노즐을 수평 방향으로 전진 또는 후진 이동시키는 좌우 한 쌍을 이루는 하나의 수평형 구동모듈을 결합 구성하며, 상기 수평형 구동모듈은, 상기 고정블럭의 경사면에 고정되는 상기 하우징의 외부 일단에 결합되는 핸들; 상기 핸들과 연결되는 감속기; 상기 하우징내에 형성되면서 상기 감속기와 커플링으로 연결되고, 상기 감속기의 감속된 회전력을 전달받아 회전하는 볼스크류; 상기 볼스크류에 결합되면서, 상기 볼스크류가 회전시, 상기 볼스크류를 따라 전진 또는 후진 방향으로 회전 이동하는 회전 이동체; 상기 회전 이동체가 회전 가능하게 결합되는 것으로, 상기 회전 이동체의 회전 이동에 따라 직선 이동하는 직선 이동체; 및, 상기 직선 이동체에 결합되면서 상기 하우징의 외부로 연장되어 상기 상부 노즐에 연결되며, 상기 직선 이동체와 연동하여 상기 상부 노즐을 전진 또는 후진 방향으로 직선 이동시키는 연결로드; 로 이루어지고, 상기 핸들과 상기 감속기는 제 1 연결체로 연결하되, 상기 제 1 연결체는, 상기 핸들에 일단이 결합되는 연결봉; 상기 연결봉의 외주면에 결합되는 베어링을 가진 회전 가이드; 및, 상기 감속기의 일단과 결합되는 것으로, 상기 연결봉의 타단과 결합되는 회전체; 를 포함하는 것이다.
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또한, 상기 감속기의 타단에는 제 1 회전로드의 일단이 결합되고, 상기 제 1 회전로드의 타단은 상기 커플링에 결합되며, 상기 커플링의 타단에는 상기 볼스크류가 결합되는 것이다.
또한, 상기 하우징의 내부에는 상기 직선 이동체의 전진 또는 후진에 따른 직선 이동을 가이드하는 LM 가이드가 형성되는 것이다.
또한, 상기 볼스크류는 서포트 유닛에 의해 지지되는 것이다.
이와 같이, 본 발명은 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 상부 및 하부 노즐에서, 상부 노즐의 전,후 수평 이동을 하나의 수평 결합형 구동모듈로 제어한 것이며, 이를 통해 상부 노즐의 전,후 수평 이동에 따른 슬라이딩면과 구동 방향을 일치시켜 코팅 갭 편차가 발생하는 것을 방지하고, 캔틸 레버를 통한 수동 조작으로 상부 노즐을 전,후 방향으로 수평 이동킬 때에는 좌굴(bucking)이 발생하는 것을 방지시키면서, 코팅 두께의 적절한 조절을 통해 다운스트림 매니스커스(downstream meniscus)만이 형성시켜 코팅 대상물에서 마이크로 단위 이상의 이중 액막이 편차없이 균일한 두께로 도포될 수 있도록 하는 등 그 코팅 성능을 향상시키는 효과를 기대할 수 있는 것이다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 노즐에 복수의 구동모듈이 적용된 상태의 구조를 보인 사시도.
도 2는 종래 도 1의 측단면 개략도.
도 3은 본 발명의 실시예로 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 노즐에 하나의 구동모듈이 적용된 상태의 구조를 보인 사시도.
도 4는 본 발명의 실시예로 도 3에 대한 측면 개략도.
도 5는 본 발명의 실시예로 구동모듈에 대한 단면 개략도.
도 6의 (a),(b)는 본 발명의 실시예로 한 쌍을 이루는 하나의 구동모듈에 의해 상부 노즐이 전진하거나 후진하는 상태를 보인 단면 개략도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예로 이중 구조를 가지는 코팅액 분사용 노즐에 하나의 구동모듈이 적용된 상태의 구조를 보인 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예로 도 3에 대한 측면 개략도이며, 도 5는 본 발명의 실시예로 구동모듈에 대한 단면 개략도를 도시한 것이다.
첨부된 도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치는, 서로 마주하는 제 1 및 제 2 다이블럭(101, 102)에 의해 제 1 슬롯형 분사구(100a)가 형성되는 상부 노즐(100)과, 서로 마주하는 제 3 및 제 4 다이블럭(201, 202)에 의해 제 2 슬롯형 분사구(200a)가 형성되는 하부 노즐(200)이 적층되는 이중 구조의 코팅액 분사용 노즐을 좌우 한쌍으로 이루어진 하나의 수평형 구동모듈(30, 30')을 통해 전진 직선 이동시키거나 또는 후진 직선 이동시킬 수 있도록 구성하여둔 것이다.
이때, 상기 상부 노즐(100)이 적층된 상기 하부 노즐(200)은 고정블럭(21)을 가지는 베이스(20)의 평면에 결합될 수 있는 것이고, 상기 상부 노즐(100)에는 상기 고정블럭(21)의 경사면에 하우징(31)이 고정된 상태에서 상기 상부 노즐(100)을 수평 방향으로 전진 또는 후진 직선 이동시키는 상기 수평형 구동모듈(30, 30')을 결합하여둔 것으로서, 상기 수평형 구동모듈(30, 30')은 핸들(32), 감속기(33), 볼스크류(34), 회전 이동체(35), 직선 이동체(36), 연결로드(37), 제 1 연결체(38)를 포함하는 것이다.
상기 핸들(32)은 상기 고정블럭(21)의 경사면에 고정되는 상기 하우징(31)의 외부 일단에 결합되는 것이다.
상기 감속기(33)는 상기 제 1 연결체(38)를 통해 상기 핸들(32)과 연결되는 것으로, 상기 핸들(32)의 정방향 또는 역방향 회전력을 상기 제 1 연결체(38)를 통해 전달받을 때 그 회전력을 감속시켜 상기 볼스크류(34)에 전달하도록 구성하여둔 것이다.
이때, 상기 제 1 연결체(38)는 상기 핸들(32)에 일단이 결합되는 연결봉(38a)과, 상기 연결봉(38a)의 외주면에 결합되는 베어링(38b)을 가진 회전 가이드(38c), 그리고 상기 감속기(33)의 일단과 결합되는 것으로서 상기 연결봉(38a)의 타단과 결합되는 회전체(38d)를 포함하는 것이고, 이에 더하여 상기 감속기(33)의 타단에는 제 1 회전로드(38e)의 일단이 결합되고, 상기 제 1 회전로드(38e)의 타단은 후술하는 커플링(34a)에 결합되며, 상기 커플링(34a)의 타단에는 상기 볼스크류(34)를 결합하여둔 것이다.
상기 볼스크류(34)는 상기 하우징(31)내에 형성되면서 상기 감속기(33)와 커플링(34a)으로 연결되는 것으로서 상기 감속기(33)의 감속된 회전력을 전달받아 회전하게 되는 것이다.
상기 회전 이동체(35)는 상기 볼스크류(34)에 결합되면서, 상기 볼스크류(34)가 회전시, 상기 볼스크류(34)를 따라 전진 또는 후진 방향으로 회전 이동하도록 구성하여둔 것이다.
상기 직선 이동체(36)는 상기 회전 이동체(35)가 회전 가능하게 결합되는 것으로, 상기 회전 이동체(35)의 회전 이동에 따라 LM 가이드(39)를 따라 직선 이동하도록 구성하여둔 것이다.
상기 연결로드(37)는 상기 직선 이동체(36)에 결합되면서 상기 하우징(31)의 외부로 연장되어 상기 상부 노즐(100)에 연결되는 것이며, 상기 직선 이동체(36)와 연동하여 상기 상부 노즐(100)을 전진 또는 후진 방향으로 직선 이동시킬 수 있는 것이다.
여기서, 상기 하우징(31)의 내부에는 회전하는 상기 볼스크류(34)를 지지하기 위한 서포트 유닛(34b)을 더 포함할 수 있는 것이다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치는 첨부된 도 3 내지 도 6에서와 같이, 두개 이상의 코팅층을 한번에 코팅하되 그 코팅시 다이블럭의 립부와 코팅 대상물 사이에서 코팅액 분사를 통해 형성되는 코팅 비드(coating bead) 부분에서 다운스트림 매니스커스(downstream meniscus)만을 형성시키기 위해서는, 우선 하부 노즐(200)의 상부에 적층 구조를 이루는 상부 노즐(100)을 전진 또는 후진시켜야 한다.
이에 따라 작업자가 수평형 구동모듈(30, 30')에 포함되는 핸들(32)을 정방향으로 회전시키게 되면, 상기 핸들(32)과 연결되는 제 1 연결체(38)를 통해 상기 핸들(32)의 정방향 회전력은 감속기(33)에 전달된다.
그러면, 상기 감속기(33)는 상기의 정방향 회전력을 감속시킨 후 이를 커플링(34a)에 의해 연결되는 볼스크류(34)에 전달하게 되면서, 상기 볼스크류(34)가 정방향으로 회전하게 된다.
이때, 상기 볼스크류(34)에는 회전 이동체(35)가 결합되어 있고, 상기 회전 이동체(35)는 직선 이동체(36)에 회전 가능하게 결합되어 있으므로, 상기 볼스크류(34)의 정방향 회전에 따라 상기 회전 이동체(35)는 전진의 회전 이동이 이루어진다.
그러면, 상기 회전 이동체(35)의 전진 회전 이동으로부터 직선 이동체(36)는 LM 가이드(39)를 따라 전진의 직선 이동이 이루어지면서, 상기 직선 이동체(36)에 결합 고정된 연결로드(37)가 전진의 직선 이동을 하게 된다.
이때, 상기 연결로드(37)에는 서로 마주하면서 제 1 슬롯형 분사구(100a)를 형성하여둔 제 1 및 제 2 다이블럭(101, 102)으로 이루어진 상부 노즐(100)이 연결 고정되어 있으므로, 상기 연결로드(37)의 전진 직선이동으로부터 상기 상부 노즐(100)은 첨부된 도 6(a)에서와 같이 일정거리(d1)로 전진의 직선 이동이 가능하게 되는 것이다.
그러면, 상기 상부 노즐(100)의 제 1 슬롯형 분사구(100a)는 하부 노즐(200)의 제 2 슬롯형 분사구(200a)보다 전진 배치되면서, 상기 제 1 슬롯형 분사구(100a)를 통해 분사되는 코팅액과 상기 제 2 슬롯형 분사구(200a)에서 분사되는 코팅액은 시차를 두고 분사될 수 있으며, 이에따라 코팅 대상물에 두개 이상의 코팅층을 한번에 코팅시킬 때, 각 코팅층의 코팅 갭을 ㎛ 단위로 정밀하게 조정할 수 있는 것이다.
한편, 작업자가 수평형 구동모듈(30, 30')에 포함되는 핸들(32)을 역방향으로 회전시키게 되면, 상기 핸들(32)과 연결되는 제 1 연결체(38)를 통해 상기 핸들(32)의 역방향 회전력은 감속기(33)에 전달된다.
그러면, 상기 감속기(33)는 상기의 역방향 회전력을 감속시킨 후 이를 커플링(34a)에 의해 연결되는 볼스크류(34)에 전달하게 되면서, 상기 볼스크류(34)가 역방향으로 회전하게 된다.
이때, 상기 볼스크류(34)에는 회전 이동체(35)가 결합되어 있고, 상기 회전 이동체(35)는 직선 이동체(36)에 회전 가능하게 결합되어 있으므로, 상기 볼스크류(34)의 역방향 회전에 따라 상기 회전 이동체(35)는 후진의 회전 이동이 이루어진다.
그러면, 상기 회전 이동체(35)의 후진 회전 이동으로부터 직선 이동체(36)는 LM 가이드(39)를 따라 후진의 직선 이동이 이루어지면서, 상기 직선 이동체(36)에 결합 고정된 연결로드(37)가 후진의 직선 이동을 하게 된다.
이때, 상기 연결로드(37)에는 서로 마주하면서 제 1 슬롯형 분사구(100a)를 형성하여둔 제 1 및 제 2 다이블럭(101, 102)으로 이루어진 상부 노즐(100)이 연결 고정되어 있으므로, 상기 연결로드(37)의 후진 직선이동으로부터 상기 상부 노즐(100)은 첨부된 도 6(b)에서와 같이 일정거리(d2)로 후진의 직선 이동이 가능하게 되는 것이다.
그러면, 상기 상부 노즐(100)의 제 1 슬롯형 분사구(100a)는 하부 노즐(200)의 제 2 슬롯형 분사구(200a)보다 후진 배치되면서, 상기 제 1 슬롯형 분사구(100a)를 통해 분사되는 코팅액과 상기 제 2 슬롯형 분사구(200a)에서 분사되는 코팅액은 시차를 두고 분사될 수 있으며, 이에따라 코팅 대상물에 두개 이상의 코팅층을 한번에 코팅시킬 때, 각 코팅층의 코팅 갭을 ㎛ 단위로 정밀 조정이 가능하게 되는 것이다.
이상에서 본 발명의 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.
따라서, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.
20; 베이스 21; 고정부
30, 30'; 수평형 구동모듈 31; 하우징
32; 핸들 33; 감속기
34; 볼스크류 34a; 커플링
34b; 서포트 유닛 35; 회전 이동체
36; 직선 이동체 37; 연결로드
38; 제 1 연결체 38a; 연결봉
38b; 베어링 38c; 회전 가이드
38d; 회전체 38e; 제 1 회전로드
39; LM 가이드 100; 상부 노블
200; 하부 노즐 101, 102, 201, 202; 다이블럭
100a, 200a; 슬롯형 분사구

Claims (6)

  1. 서로 마주하는 제 1 및 제 2 다이블럭에 의해 제 1 슬롯형 분사구가 형성되는 상부 노즐과, 서로 마주하는 제 3 및 제 4 다이블럭에 의해 제 2 슬롯형 분사구가 형성되는 하부 노즐이 적층되는 이중 구조의 코팅액 분사용 노즐에서,
    상기 상부 노즐이 적층된 상기 하부 노즐은 고정블럭을 가지는 베이스의 평면에 결합 구성하고, 상기 상부 노즐에는 상기 고정블럭의 경사면에 하우징이 고정된 상태에서 상기 상부 노즐을 수평 방향으로 전진 또는 후진 이동시키는 좌우 한 쌍을 이루는 하나의 수평형 구동모듈을 결합 구성하며,
    상기 수평형 구동모듈은,
    상기 고정블럭의 경사면에 고정되는 상기 하우징의 외부 일단에 결합되는 핸들; 상기 핸들과 연결되는 감속기; 상기 하우징내에 형성되면서 상기 감속기와 커플링으로 연결되고, 상기 감속기의 감속된 회전력을 전달받아 회전하는 볼스크류; 상기 볼스크류에 결합되면서, 상기 볼스크류가 회전시, 상기 볼스크류를 따라 전진 또는 후진 방향으로 회전 이동하는 회전 이동체; 상기 회전 이동체가 회전 가능하게 결합되는 것으로, 상기 회전 이동체의 회전 이동에 따라 직선 이동하는 직선 이동체; 및, 상기 직선 이동체에 결합되면서 상기 하우징의 외부로 연장되어 상기 상부 노즐에 연결되며, 상기 직선 이동체와 연동하여 상기 상부 노즐을 전진 또는 후진 방향으로 직선 이동시키는 연결로드; 로 이루어지고,
    상기 핸들과 상기 감속기는 제 1 연결체로 연결하되,
    상기 제 1 연결체는, 상기 핸들에 일단이 결합되는 연결봉; 상기 연결봉의 외주면에 결합되는 베어링을 가진 회전 가이드; 및, 상기 감속기의 일단과 결합되는 것으로, 상기 연결봉의 타단과 결합되는 회전체; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 감속기의 타단에는 제 1 회전로드의 일단이 결합되고, 상기 제 1 회전로드의 타단은 상기 커플링에 결합되며, 상기 커플링의 타단에는 상기 볼스크류가 결합되는 것을 특징으로 하는 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 하우징의 내부에는 상기 직선 이동체의 전진 또는 후진에 따른 직선 이동을 가이드하는 LM 가이드를 형성하는 것을 특징으로 하는 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 볼스크류는 서포트 유닛에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 코팅액 분사용 이중 노즐 구동장치.
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